WO2022096621A1 - Method and device for controlling emitter elements of a lidar measurement system, and lidar measurement system - Google Patents

Method and device for controlling emitter elements of a lidar measurement system, and lidar measurement system Download PDF

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WO2022096621A1
WO2022096621A1 PCT/EP2021/080716 EP2021080716W WO2022096621A1 WO 2022096621 A1 WO2022096621 A1 WO 2022096621A1 EP 2021080716 W EP2021080716 W EP 2021080716W WO 2022096621 A1 WO2022096621 A1 WO 2022096621A1
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elements
subset
receiving
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PCT/EP2021/080716
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Jörg Kliewer
Michael Schmalz
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Zf Friedrichshafen Ag
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    • G01S7/484—Transmitters

Definitions

  • the invention relates to a method and a device for controlling emitter elements of a LIDAR measuring system, which is designed in a focal plane array arrangement.
  • the invention also relates to a LIDAR measurement system with a transmission unit and a control unit.
  • a scanning sensor for example a LIDAR (light detection and ranging) sensor, which periodically emits pulses, is usually used for optical distance measurements, in particular for use in vehicles.
  • the pulses, in particular light pulses are reflected by objects and the reflected pulse is detected. From the determination of the propagation time of the pulses from the sensor to the object and back, the distance or distance to the object can be inferred using the speed of light.
  • a LIDAR receiving unit for a LIDAR measurement system is known from document DE 102017222971 A1, in which several sensor elements are arranged in macro cells and each sensor element can be activated and deactivated individually or can be activated and deactivated in groups of sensor elements.
  • the known LIDAR sensor concepts enable distance measurements, there is no possibility of detecting speed states of an object to be detected, in particular within a frame, in order to enable a speed analysis per imaging frame.
  • the object of the invention is to functionally improve a method mentioned at the outset.
  • the invention is based on the object of structurally and/or functionally improving a device mentioned at the outset and a LIDAR measuring system mentioned at the outset. The object is achieved with a method having the features of claim 1.
  • the object is also achieved with a device having the features of claim 12 and with a LIDAR measuring system having the features of claim 13.
  • Advantageous versions and/or developments are counter- stand of the dependent claims.
  • the emitter elements of an emitter subset can be activated one after the other.
  • the respective following emitter element of the emitter subset can only be activated after the end of a waiting time.
  • the respectively following emitter element can in each case be the emitter element which precedes, in particular directly, follows an emitter element within the emitter subset.
  • the emitter elements of the emitter subset can be deactivated one after the other.
  • the emitter elements of the emitter subset can be activated and deactivated one after the other.
  • the emitter subset may be part of a transmit matrix. There may be multiple, such as two, three, four, etc., emitter subsets. Each emitter subset may have multiple, such as two, three, four, etc., emitter elements.
  • the emitter subset or emitter subsets can form the transmission matrix.
  • the emitter subset can be an emitter row or an emitter column.
  • the emitter row(s) and/or emitter column(s) can form the transmission matrix.
  • the emitter subset and/or transmission matrix can be part of a transmission unit of the LIDAR measurement system.
  • the emitter elements can essentially be arranged on one level, for example on a chip, such as a sensor chip or transmission chip.
  • the emitter elements can be arranged uniformly, for example in a uniform grid pattern.
  • the arrangement of the emitter elements can be divided into rows and/or columns, such as emitter rows and/or emitter columns, in particular in the transmission matrix.
  • the rows and/or columns can have a constant row spacing or column spacing. For example, row spacing and column spacing can be the same be tall
  • the emitter elements of a row and/or column can be at a constant distance from one another. For example, a column has an emitter element in each row of the transmission matrix and/or a row has an emitter element in each column of the transmission matrix.
  • the LIDAR measurement system and/or the transmission unit and/or transmission matrix can be configured in a focal plane array.
  • a focal plane array configuration can be understood to mean a two-dimensional arrangement of emitter elements in one plane, in particular the focal plane of at least one optical transmission system.
  • the focal plane of the at least one transmission optics can determine the field of view of the sensor or the transmission optics in accordance with the extent of the transmission matrix.
  • the transmission optics can be a lens arrangement, such as an objective.
  • the individual emitter elements can be arranged in the focal point of the transmission optics. By placing the transmission matrix or parts thereof in the focal plane of the transmission optics, the position of the individual emitter elements can be converted into an angle by the transmission optics.
  • the pulses such as measurement pulses or light beams, which impinge on the transmission optics and run, for example, in a parallel direction, can be deflected into different angles by the transmission optics. As a result, a large field of view can be illuminated without the need for moving parts to deflect the pulses or light beams.
  • a focal plane array configuration can therefore enable a static design of the LIDAR measurement system and/or its transmission unit and/or its reception unit, so that it does not include any moving parts.
  • the LIDAR measurement system can be arranged statically on a vehicle.
  • the emitter elements can be transmission elements.
  • the emitter elements can each have an active area for sending pulses, such as measurement pulses, and/or beams, such as light beams.
  • An active area can be understood as meaning the area of an emitter element at which a pulse or light beam leaves the emitter element.
  • the emitter elements can be designed to emit light, in particular laser light or a laser pulse.
  • a measuring pulse can be an optical signal, for example an electromagnetic signal.
  • a measurement pulse can be a light pulse, such as a laser pulse.
  • a measurement pulse can have a pulse duration.
  • the emitter elements can each be in the form of lasers, such as pulsed lasers.
  • the emitter elements can each be in the form of a laser diode, such as an electrically pulsed laser diode, or in the form of a passive microlaser, such as a passive Q-switched microlaser.
  • the emitter elements can each be formed as a surface emitter, such as a vertical cavity surface emitting laser (VCSEL).
  • VCSEL vertical cavity surface emitting laser
  • a pixel such as a transmission pixel, can be assigned to each emitter element.
  • the emitter elements of the emitter subset can be activated and/or deactivated in such a way that the emitter elements are activated and/or deactivated one after the other, for example such that only one emitter element of the emitter subset is activated at a time.
  • an emitter element When an emitter element is active, it emits a pulse, such as a measurement pulse, or a light beam, such as a laser beam.
  • the order of activation and/or deactivation of the emitter elements of the emitter subset can be predetermined by the arrangement of the emitter elements in a row or column. By activating only one emitter element of the emitter subset, a partial area of the field of view can be illuminated in a targeted manner. Due to the fact that only one emitter element of the emitter subset is active at a time and the activation of the emitter elements of the emitter subset takes place one after the other with a defined time interval, it is possible to scan, for example, spatially connected partial areas of the field of view without the use of moving parts required for this .
  • the term scanning can be understood as scanning the field of view.
  • a delay in the switch-on process or activation process can be achieved between the individual emitter elements by the waiting time until the respectively following emitter element of the emitter subset is activated. This can inherently result in a time resolution.
  • a controlled delay of the switch-on process or activation process takes place.
  • the delay can be formed or defined by the waiting time.
  • the waiting time can be referred to as a delay element and/or be formed and/or defined by a delay element, for example an electronic one.
  • the waiting times, in particular within the emitter subset, of successive emitter elements can differ.
  • the waiting times, in particular within the emitter subset, of consecutive emitter elements can be the same.
  • the waiting time for each subsequent emitter element, in particular within the emitter subset can increase or decrease.
  • the waiting time for each subsequent emitter element, in particular within the emitter subset can increase or decrease with a defined time interval or time segment.
  • the defined period of time can be a time difference.
  • the time difference can be positive or negative.
  • the waiting time can increase or decrease linearly or exponentially, in particular for each subsequent emitter element of the emitter subset.
  • the waiting time or waiting times can be extended from emitter element to emitter element by a specific value, such as a time interval or time period.
  • the waiting time or waiting times and/or the time intervals or time sections can be determined and/or determined in advance.
  • a separate waiting time can be assigned to each emitter element of the emitter subset.
  • a subsequent emitter element of the emitter subset can only be activated after the deactivation of the, in particular directly, preceding emitter element of the emitter subset and after the end of the waiting time.
  • the waiting time can start at the time of the deactivation of the previous emitter element.
  • an emitter element, in particular the first emitter element, of a following emitter subset can only be activated when the last emitter element of the emitter subset preceding this emitter subset has been deactivated.
  • all emitter elements of an emitter subset can be activated and/or deactivated at the same time. If the emitter subset or emitter subsets is/are an emitter row or emitter rows, then the emitter elements can be activated and/or deactivated one after the other in columns. In this case, the emitter elements of the sub-groups which are associated with one, in particular common, emitter column can be activated and/or deactivated simultaneously. If the emitter subset or emitter subsets is/are an emitter column or emitter columns, then the emitter elements can be activated and/or deactivated one after the other line by line.
  • the emitter elements of the subgroups that are assigned to an emitter row, in particular a common one, can be activated and/or deactivated at the same time.
  • An emitter element can be allocated or allocated to a receiving element of the LIDAR measurement system.
  • a receiving element can be referred to as a sensor element.
  • An emitter element can be assigned or assigned to a group and/or number of receiving elements.
  • An emitter subset can be assigned or assigned to a receiving element.
  • An emitter subset can be assigned or assigned to a group and/or plurality of receiving elements.
  • the group and/or plurality of receiving elements can form a macro cell made up of a number of receiving elements.
  • the macro cell or all receiving elements of a macro cell can be assigned or assigned to an emitter element and/or emitter subset.
  • the group of receiving elements and/or the macro cell can be referred to as a receiving subset.
  • the receive subset may be a sensor subset.
  • the receive subset may be part of a receive matrix. There may be multiple, such as two, three, four, etc., receive subsets. Each receiving subset may have multiple, such as two, three, four, etc., receiving elements.
  • the reception subset or reception subsets can form the reception matrix.
  • the receive subset can be a receive row or receive column.
  • the receiving parts can be a sensor line.
  • the receiving column can be a sensor column.
  • the receiving row(s) and/or receiving column(s) can form the receiving matrix.
  • the reception subset and/or reception matrix can be part of a reception unit of the LIDAR measurement system.
  • the reception elements can essentially be arranged on one level, for example on a chip, such as a sensor chip or reception chip.
  • the receiving elements can be arranged uniformly, for example in a uniform grid pattern.
  • the arrangement of the reception elements can be divided into rows and/or columns, such as reception rows and/or reception columns, in particular of the reception matrix.
  • the rows and/or columns can have a constant row spacing or column spacing. For example, the line spacing and the column spacing can be the same.
  • the receiving elements of a row and/or column can be at a constant distance from one another.
  • a column has a receiving element in each row of the receiving matrix and/or a row has a receiving element in each column of the receiving matrix.
  • the receiving unit and/or receiving matrix can be designed in a focal plane array configuration.
  • a focal plane array configuration can be understood to mean a two-dimensional arrangement of receiving elements in one plane, in particular the focal plane of at least one optical receiving system.
  • the focal plane of the at least one receiving optics can determine the field of view of the sensor or the receiving optics in accordance with the expansion of the receiving matrix.
  • the individual receiving elements can be arranged at the focal point of the receiving optics.
  • the receiving optics can be a lens arrangement, such as a lens, for example a wide-angle lens.
  • the receiving elements and emitter elements can be arranged on the same level or different levels.
  • the receiving elements can each have an active surface, for example a photosensitive surface, which can receive, in particular detect, reflected pulses, such as measurement pulses, and/or rays, such as light rays, on objects such as measurement objects.
  • An active surface can be understood as meaning the surface of a receiving element on which a pulse or light beam impinges on the receiving element.
  • the receiving elements can be designed to detect light, in particular laser light or a laser pulse.
  • the receiving elements can be designed to detect the pulses or light emitted by the emitter elements.
  • the receiving elements can each be in the form of photodiodes or avalanche photodiodes.
  • the receiving elements can each be designed as a solid-state photodetector.
  • the receiving elements can each be in the form of a single photon avalanche diode, such as a single photon avalanche diode (SPAD).
  • a pixel such as a receiving pixel, can be assigned to each receiving element.
  • reflected pulses or light beams in particular from different angles, such as solid angles, can be imaged onto the receiving elements or receiving matrix. This can be done by means of the receiving optics.
  • the light/pulse emitted by an emitter element can be assigned to a solid angle by the transmission optics.
  • a receiving element can always view the same solid angle via the receiving optics.
  • a receiving element and the associated or assigned emitter element can therefore both be assigned or assigned to the same solid angle.
  • the emitted light/pulse of an emitter element can therefore, after a reflection, for example in the far field, always impinge on the same receiving element assigned to the emitting emitter element.
  • Emitter element-receiving element pairings can be formed in this way.
  • the receiving elements can be controlled in such a way that a receiving element assigned to the activated emitter element is activated or, for example, is activated essentially at the same time as the emitter element.
  • the receiving elements can be controlled in such a way that all receiving elements of one dem activated emitter element assigned receiving subset are activated or, for example, substantially simultaneously with the emitter element, are activated.
  • the receiving elements can be activated and/or deactivated in such a way that essentially at the same time as the emitter element and/or emitter subset is activated, only the receiving element or receiving subset assigned or assigned to this emitter element or emitter subset is active or activated for example in such a way that the associated or assigned receiving element or receiving subset receives the pulse or light beam emitted and reflected by the emitter element or emitter subset. In this way, only the receiving elements and/or receiving subset that are assigned or assigned to the respective emitter element or emitter subset can be or become activated.
  • Substantially simultaneously can be understood to mean that the activation of the reception elements or reception subset occurs either at the same time as the associated emitter elements or emitter subset are activated or at least simultaneously in such a way that pulses or light beams emitted by the emitter elements or emitter subset are transmitted by the associated reception elements or Received subset can be detected.
  • the activation of the receiving element, the receiving elements and/or the receiving subset can already take place before the associated emitter element, the emitter elements and/or the emitter subset are activated.
  • a horizontal scan can be carried out in which one column, for example emitter column and/or reception column, can be activated or deactivated sequentially in ascending or descending order after the other.
  • a vertical scan can be carried out in the method, in which one line, for example emitter line and/or reception line, can be activated or deactivated sequentially after the other in ascending or descending order.
  • points in time can be determined at which pulses or light beams were received or detected, in particular by means of the receiving elements. These points in time can be determined using an evaluation device.
  • the receiving elements can be effectively connected to the evaluation device.
  • the method can be or have a time-correlated single photon counting method, such as a TCSPC method (Time Correlated Single Photon Counting), and/or be part of such a method.
  • the method can be stored and/or implemented as a computer program at least partially on a computer, microcomputer, in an electronic control and/or computing unit or on a storage medium.
  • the computer program can be distributed to one or more storage media, control and/or computing units or computers, etc. in terms of software.
  • a computer program product can cause a device, such as a controller, a control and/or computing unit/device, a control system, a processor or a computer, to execute the method described above and/or below.
  • the computer program product can have corresponding data sets and/or the computer program.
  • a device for controlling emitter elements of a LIDAR measurement system which is embodied in a focal plane array arrangement, can be set up and/or intended to carry out the method described above and/or below.
  • the device may be or include a control unit or controller.
  • the device may be or comprise a time control unit.
  • the device can have an evaluation device.
  • the device may include a processor and memory.
  • the computer program product may be stored in the memory of the device.
  • the device can be a driver assistance system and/or a safety system or be a part thereof.
  • a LIDAR measurement system can have a transmission unit and/or a control unit, such as a time control unit, for the time-controlled activation and/or deactivation of emitter elements of the transmission unit.
  • the LIDAR measurement system can have a receiving unit.
  • the transmission unit can have the emitter elements and/or emitter subset.
  • the receiving unit can have the receiving elements and/or receiving subset.
  • the LIDAR measurement system can have the device described above and/or below.
  • the LIDAR measurement system can be set up and/or intended to carry out the method described above and/or below.
  • the LIDAR measurement system can be a driver assistance system and/or a safety system or be a part thereof. Measurements can be carried out with the LIDAR measurement system in order to be able to detect objects and/or determine their distance and/or their speed.
  • a measurement process can be carried out for each pairing of emitter element and receiver element.
  • a measurement process can include a number of measurement cycles. During a measurement cycle, an emitter element can emit a pulse or light beam, which can be detected again by one or more receiving elements after being reflected on an object. With the invention, in addition to the distance from the sensor to the object, the speed of the object can also be made specifically measurable or ascertainable.
  • Speed states of an object to be detected, in particular within a frame, can be recorded. Velocity analysis per imaging frame may be enabled. A time resolution can take place. The algorithms of an object classification can therefore not only have distance values available based on the actual propagation time of the laser pulses per emitter element, such as emitter pixel, to the receiver element, such as receiver pixel, but also a controlled time offset. Two neighboring pixels, which can be used for algorithms such as object classification, can then be further classified using motion vectoring. Exemplary embodiments of the invention are described in more detail below with reference to figures, in which the figures show, schematically and by way of example: FIG. and FIG. 2 schematically shows a transmission unit with a transmission matrix with emitter elements; and FIG.
  • FIG. 3 shows a LIDAR measuring system in a schematic representation.
  • 1 shows a flow chart of a method for controlling emitter elements of a LIDAR measuring system, which is designed in a focal plane array arrangement.
  • a receiving line of a receiving matrix of a receiving unit of the LIDAR measuring system for detecting measuring pulses, such as laser light is activated.
  • the receiving line has several receiving elements arranged one behind the other in a row.
  • emitter elements of an emitter row of a transmission unit of the LIDAR measurement system are activated one after the other, with the respectively following emitter element of the emitter row only being activated after the end of a waiting time.
  • the emitter line is assigned or assigned to the receiving line.
  • the emitter elements are arranged one behind the other in a row within the emitter line.
  • a subsequent emitter element is only activated after the previous emitter element has been deactivated and after the end of the waiting time.
  • the waiting time increases for each subsequent emitter element.
  • the method described above with reference to FIG. 1 can be part of a computer program product that causes a device to execute the method for controlling emitter elements of a LIDAR measuring system.
  • 2 schematically shows a transmission unit 3 with a transmission matrix 4 that has a plurality of emitter elements 5 .
  • the emitter elements 5 are in emitter rows Z 1 , Z 2 , Z 3 , . . . , Z n and emitter columns S 1 , S 2 , S 4 , S 4 , arranged in a row.
  • the emitter rows Z 1 , Z 2 , Z 3 , ..., Z n and emitter columns S 1 , S 2 , S 4 , S 4 , ..., S n form the transmission matrix 4.
  • Each emitter row Z 1 , Z 2 , Z 3 , . . . , Z n forms an emitter subset 6.
  • the emitter elements 5 of an emitter line Z 1 , Z 2 , Z 3 , . . . Z 2 , Z 3 , . . . , Z n is only activated after a waiting time t n or t n + ⁇ t x has ended.
  • the subsequent emitter element 5 is only activated after the deactivation of the preceding emitter element 5 and after the end of the waiting time t n or t n + ⁇ t x .
  • the waiting time t n or t n + ⁇ t x increases by ⁇ t x for each subsequent emitter element 5 .
  • the periods of time t n or t n + ⁇ t x represent delay elements until the respectively subsequent emitter element is activated.
  • the first emitter element 5 (the emitter element at the bottom left in FIG. 2) of the first emitter subset 6 of the first emitter row Z 1 is activated.
  • the waiting time t 1 begins to run.
  • the emitter element 5 directly following in the row of the emitter row Z 1 (here the second emitter element 5 in the row from the left) is activated.
  • the waiting time t 1 + ⁇ t 1 begins to run.
  • the waiting time t 1 + ⁇ t 1 is longer by the time segment ⁇ t 1 .
  • the emitter element 5 directly following, in this case the third, in the row of the emitter line Z 1 is activated.
  • the waiting time t 1 + ⁇ t 2 begins to run.
  • the waiting time t 1 + ⁇ t 2 is longer by the time segment ⁇ t 2 .
  • the time segment ⁇ t 2 is greater than the time segment ⁇ t 1 . This is repeated until the last emitter element 5 of the emitter row Z 1 has been activated after the waiting time t 1 + ⁇ t x , the waiting time increasing in each case compared to the preceding waiting time
  • the activation and deactivation process described above begins again, but in an analogous manner with the following emitter row, here for example with emitter row Z 2 .
  • the waiting times t 1 , t 2 , t 3 , t n can become longer or longer. That is, the waiting time t 2 can be longer than the waiting time t 1 and the waiting time t 3 can be longer than the waiting time t 2 , etc.
  • the waiting time t 2 can also be longer than the waiting time t 1 + ⁇ t x and the waiting time t 3 can also be greater than the waiting time t 2 + ⁇ t x , etc.
  • an electronically controlled delay in the switch-on or Activation process can be achieved, whereby a time resolution inherently comes about.
  • FIG. 1 and the associated description. 3 shows a LIDAR measuring system 7 in a schematic representation.
  • the LIDAR measurement system 7 is intended for use on a vehicle, such as a motor vehicle.
  • the LIDAR measurement system 7 can be arranged statically on the motor vehicle.
  • the LIDAR measuring system 7 has the transmission unit 3 , a reception unit 8 , transmission optics 9 , reception optics 10 and electronics 11 .
  • the transmission unit 3 is designed as a transmission chip 13 on which a plurality of emitter elements 5 are arranged in a transmission matrix 4 in one plane.
  • the transmission unit 3 is designed in a focal plane array configuration. This means that the transmission chip 13 and the emitter elements 5 are arranged on a flat plane, which is arranged in the focal point or the focal plane of the transmission optics 9 .
  • the emitter elements 5 can each be in the form of surface emitters, such as a vertical cavity surface emitting laser (VCSEL).
  • the receiving unit 8 is designed as a receiving chip 14 on which a plurality of receiving elements 15 are arranged in a receiving matrix in one plane.
  • the receiving unit 8 is formed in a focal plane array configuration. This means that the receiving chip 14 and the receiving elements 15 are arranged on a flat plane, which is arranged in the focal point or the focal plane of the receiving optics 10 .
  • the receiving elements 15 can each be in the form of a single photon avalanche diode, such as a single photon avalanche diode (SPAD).
  • SPAD single photon avalanche diode
  • a laser light emitted by an emitter element 5 passes through the sending optics 9.
  • a light impinging on a receiving element 15 passes through the receiving optics 10.
  • the transmitting optics 9 assigns each emitter element 5 a specific solid angle.
  • the receiving optics 10 assigns each receiving element 15 a specific solid angle.
  • An emitter element 5 emits laser light 16 in the form of a laser pulse 16 at the start of a measurement cycle. The reflected laser pulse 16 is directed through the receiving optics 10 to the associated receiving element 15 .
  • the associated receiving element 15 detects the incoming laser pulse 16, it being possible for triggering to be read out with a corresponding evaluation device and for example to be written into a histogram. Through the determined running time of the laser pulse 16 the distance to the object can be determined. Furthermore, the speed of the object can be determined by a time resolution.
  • the course of a measuring cycle is controlled by the electronics 11 .
  • the electronics 11 are designed in particular as a device 11 for controlling the emitter elements 5 and the receiving elements 15 .
  • the electronics 11 can have or be a time control unit.
  • the time control unit is used for the time-controlled activation and/or deactivation of the emitter elements 5 of the transmitting unit 3.
  • the time control unit can also be used for the time-controlled activation and/or deactivation of the receiving elements 15 of the receiving unit 8.
  • the electronics 11 thus controls the activation and deactivation of the individual emitter elements 5.
  • the timing can have a timing controller.
  • the time control unit controls the precise observance of the waiting times t n or t n + ⁇ t x between the activation of the individual emitter elements 5.
  • the electronics 11 are set up and intended to carry out the method described above and/or below.
  • the electronics 11 have a processor and a memory.
  • a computer program product with data records which causes the electronics 11 to carry out the method described above and/or below is stored in the memory of the electronics.
  • FIGS. 1 and 2 and the associated description are examples of data records which causes the electronics 11 to carry out the method described above and/or below.

Abstract

The invention relates to a method for controlling emitter elements (5) of a LIDAR measurement system which is designed as a focal plane array, wherein the emitter elements (5) of a subset of emitters (6) are activated successively, wherein the respectively following emitter element (5) of the subset of emitters (6) is activated only after the end of a waiting time (tn, tn+Δtx). The invention also relates to a corresponding device for controlling emitter elements (5) of a LIDAR measurement system and to a corresponding LIDAR measurement system.

Description

Verfahren und Vorrichtung zur Ansteuerung von Emitterelementen eines LIDAR- Messsystems sowie LIDAR-Messsystem Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Ansteuerung von Emit- terelementen eines LIDAR-Messsystems, das in einer Focal-Plane-Array Anordnung ausgebildet ist. Außerdem betrifft die Erfindung ein LIDAR-Messsystem mit einer Sendeeinheit und einer Steuereinheit. Für optische Distanzmessungen, insbesondere zur Anwendung in Fahrzeugen, wird meist ein scannender Sensor, beispielsweise ein LIDAR (Light detection and ranging) Sensor, eingesetzt, der periodisch Pulse aussendet. Die Pulse, insbesondere Licht- pulse, werden von Objekten reflektiert und der reflektierte Puls detektiert. Aus der Bestimmung der Laufzeit der Pulse von dem Sensor zum Objekt und zurück kann mittels der Lichtgeschwindigkeit auf die Distanz bzw. die Entfernung zu dem Objekt geschlossen werden. Beispielsweise ist aus dem Dokument DE 102017222971 A1 eine LIDAR Emp- fangseinheit für ein LIDAR-Messsystem bekannt, bei dem mehrere Sensorelemente in Makrozellen angeordnet sind und jedes Sensorelement einzeln aktiviert und deak- tiviert werden kann oder in Gruppen von Sensorelementen aktiviert und deaktiviert werden können. Die bekannten LIDAR-Sensorkonzepte ermöglichen zwar Distanzmessungen, jedoch besteht keine Möglichkeit Geschwindigkeitszustände eines zu detektierenden Objekts, insbesondere innerhalb eines Frames, zu erfassen, um damit eine Geschwindigkeitsanalyse pro Bildgebungs-Frame zu ermöglichen. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein eingangs genanntes Verfahren funkti- onell zu verbessern. Außerdem liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine ein- gangs genannte Vorrichtung und eine eingangs genanntes LIDAR-Messsystem strukturell und/oder funktionell zu verbessern. Die Aufgabe wird gelöst mit einem Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1. Außerdem wird die Aufgabe gelöst mit einer Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 12 sowie mit einem LIDAR-Messsystem mit den Merkmalen des Anspruchs 13. Vorteilhafte Ausführungen und/oder Weiterbildungen sind Gegen- stand der Unteransprüche. Bei einem Verfahren zur Ansteuerung von Emitterelementen eines LIDAR- Messsystems, das beispielsweise in einer Focal-Plane-Array Anordnung ausgebildet sein kann, können die Emitterelemente einer Emitteruntermenge nacheinander akti- viert werden. Dabei kann das jeweils folgende Emitterelement der Emitteruntermen- ge erst nach dem Ende einer Wartezeit aktiviert werden. Das jeweils folgende Emit- terelement kann das jeweils einem innerhalb der Emitteruntermenge vorangegange- nen Emitterelement, insbesondere direkt, nachfolgende Emitterelement sein. Die Emitterelemente der Emitteruntermenge können nacheinander deaktiviert werden. Die Emitterelemente der Emitteruntermenge können nacheinander aktiviert und deaktiviert werden. Die Emitteruntermenge kann Teil einer Sendematrix sein. Es können mehrere, wie zwei, drei, vier, usw., Emitteruntermengen vorgesehen sein. Jede Emitteruntermenge kann mehrere, wie zwei, drei, vier, usw., Emitterelemente aufweisen. Die Emitterun- termenge bzw. Emitteruntermengen kann/können die Sendematrix bilden. Die Emit- teruntermenge kann eine Emitterzeile oder Emitterspalte sein. Die Emitterzeile/n und/oder Emitterspalte/n kann/können die Sendematrix bilden. Die Emitteruntermen- ge und/oder Sendematrix kann/können Teil einer Sendeeinheit des LIDAR- Messsystems sein. Die Emitterelemente können im Wesentlichen auf einer Ebene, beispielsweise einem Chip, wie Sensorchip oder Sendechip, angeordnet sein. Die Emitterelemente können gleichmäßig, beispielsweise in einem gleichmäßigen Gitterraster, angeordnet sein. Die Anordnung der Emitterelemente kann sich in Zeilen und/oder Spalten, wie Emit- terzeilen und/oder Emitterspalten, insbesondere der Sendematrix, aufteilen. Die Zei- len und/oder Spalten können einen konstanten Zeilenabstand bzw. Spaltenabstand aufweisen. Beispielsweise können der Zeilenabstand und der Spaltenabstand gleich groß sein. Die Emitterelemente einer Zeile und/oder Spalte können einen konstanten Abstand zueinander aufweisen. Beispielsweise weist eine Spalte ein Emitterelement in jeder Zeile der Sendematrix und/oder eine Zeile ein Emitterelement in jeder Spalte der Sendematrix auf. Das LIDAR-Messsystems und/oder die Sendeeinheit und/oder Sendematrix kann/können in einer Focal-Plane-Array Konfiguration ausgebildet sein. Unter einer Focal-Plane-Array Konfiguration kann eine zweidimensionale Anordnung von Emit- terelementen in einer Ebene, insbesondere der Brennebene mindestens einer Sen- deoptik, verstanden werden. Die Brennebene der mindestens einen Sendeoptik kann entsprechend der Ausdehnung der Sendematrix das Sichtfeld des Sensors bzw. der Sendeoptik bestimmen. Die Sendeoptik kann eine Linsenanordnung, wie ein Objek- tiv, sein. Die einzelnen Emitterelemente können im Brennpunkt der Sendeoptik angeordnet sein. Durch Platzierung der Sendematrix oder Teilen davon in der Brennebene der Sendeoptik kann die Position der einzelnen Emitterelemente durch die Sendeoptik in einen Winkel umgesetzt werden. Die auf die Sendeoptik treffen- den, beispielsweise in parallele Richtung verlaufenden, Pulse, wie Messpulse, bzw. Lichtstrahlen können durch die Sendeoptik in unterschiedliche Winkel abgelenkt werden. Dadurch kann ein großes Sichtfeld ausgeleuchtet werden, ohne dass dazu bewegliche Teile zum Ablenken der Pulse bzw. Lichtstrahlen notwendig sind. Eine Focal-Plane-Array Konfiguration kann daher eine statische Ausbildung des LIDAR- Messsystems und/oder deren Sendeeinheit und/oder deren Empfangseinheit ermög- lichen, so dass dieses keine beweglichen Teile umfasst. Das LIDAR-Messsystems kann statisch an einem Fahrzeug angeordnet sein. Die Emitterelemente können Sendeelemente sein. Die Emitterelemente können jeweils eine aktive Fläche zum Versenden von Pulsen, wie Messpulsen, und/oder Strahlen, wie Lichtstrahlen, aufweisen. Unter einer aktiven Fläche kann die Fläche eines Emitterelements verstanden werden, an der ein Puls oder Lichtstrahl das Emit- terelement verlässt. Die Emitterelemente können dazu ausgebildet sein, Licht, insbe- sondere Laserlicht oder ein Laserpuls, zu emittieren. Ein Messpuls kann ein opti- sches, beispielsweise elektromagnetisches, Signal sein. Ein Messpuls kann ein Lichtpuls, wie Laserpuls, sein. Ein Messpuls kann eine Pulsdauer aufweisen. Basie- rend auf der Geschwindigkeit und der Laufzeit des Messpulses und mithilfe der Lichtgeschwindigkeit kann auf die Strecke geschlossen werden, die der Puls in der Laufzeit hinter sich gebracht hat. Die Emitterelemente können jeweils als Laser, wie gepulste Laser, ausgebildet sein. Die Emitterelemente können jeweils als Laser- diode, wie elektrisch gepulste Laserdiode, oder durch einen passiven Mikrolaser, wie passiven Q-switched Microlaser, ausgebildet sein. Die Emitterelemente können jeweils als ein Oberflächenemitter, wie ein Vertical Cavity Surface Emitting Laser (VCSEL), ausgebildet sein. Jedem Emitterelement kann ein Pixel, wie Sendepixel, zugeordnet sein. Bei dem Verfahren können die Emitterelemente der Emitteruntermenge derart akti- viert und/der deaktiviert werden, dass die Emitterelemente jeweils nacheinander akti- viert und/oder deaktiviert werden, beispielsweise so, dass zu einem Zeitpunkt immer nur ein Emitterelement der Emitteruntermenge aktiviert ist. Bei Aktivität eines Emit- terelements sendet dieses einen Puls, wie Messpuls, oder Lichtstrahl, wie Laser- strahl, aus. Die Reihenfolge der Aktivierung und/oder Deaktivierung der Emitter- elemente der Emitteruntermenge kann durch die Anordnung der Emitterelemente in einer Zeile oder Spalte vorgegeben sein. Durch die Aktivierung von nur einem Emitterelement der Emitteruntermenge kann gezielt ein Teilbereich des Sichtfeldes ausgeleuchtet werden. Dadurch, dass immer nur ein Emitterelement der Emitteruntermenge aktiv ist und die Aktivierung der Emit- terelemente der Emitteruntermenge nacheinander mit einem definierten Zeitabstand erfolgt, kann ein Scannen, beispielsweise von räumlich zusammenhängenden Teilbe- reichen, des Sichtfeldes ohne die dazu notwendige Verwendung beweglicher Teile ermöglicht werden. Unter dem Begriff Scannen kann ein Abtasten des Sichtfelds ver- standen werden. Bei dem Verfahren kann durch die Wartezeit bis das jeweils folgende Emitterelement der Emitteruntermenge aktiviert wird zwischen den einzelnen Emitterelementen eine Verzögerung im Einschaltvorgang bzw. Aktivierungsvorgang erreicht werden. Dadurch kann inhärent eine Zeitauflösung zustande kommen. Bei dem Verfahren kann, beispielsweise elektronisch, zwischen einzelnen, wie zwei aufeinanderfolgen- der, Emitterelementen einer Emitteruntermenge, wie Emitterpixel einer Zeile oder Spalte, eine kontrollierte Verzögerung des Einschaltvorgangs bzw. Aktivierungsvor- gangs erfolgen. Die Verzögerung kann durch die Wartezeit ausgebildet bzw. definiert sein. Die Wartezeit kann als Verzögerungselement bezeichnet werden und/oder durch ein, beispielsweise elektronisches, Verzögerungselement gebildet und/oder definiert sein. Die Wartezeiten, insbesondere innerhalb der Emitteruntermenge, aufeinanderfolgen- der Emitterelemente können sich unterscheiden. Die Wartezeiten, insbesondere innerhalb der Emitteruntermenge, aufeinanderfolgender Emitterelemente können gleich sein. Die Wartezeit für jedes, insbesondere innerhalb der Emitteruntermenge, folgende Emitterelement kann zunehmen oder abnehmen. Die Wartezeit für jedes, insbesondere innerhalb der Emitteruntermenge, folgende Emitterelement kann mit einem definierten Zeitintervall bzw. Zeitabschnitt zunehmen oder abnehmen. Der definierte Zeitabschnitt kann eine Zeitdifferenz sein. Die Zeitdifferenz kann positiv oder negativ sein. Die Wartezeit kann, insbesondere für jedes folgende Emitterele- ment der Emitteruntermenge, linear oder exponentiell ansteigen oder abnehmen. Die Wartezeit bzw. Wartezeiten kann/können von Emitterelement zu Emitterelement um einen bestimmten Wert, wie Zeitinterwall bzw. Zeitabschnitt, verlängert werden. Die Wartezeit bzw. Wartezeiten und/oder die Zeitintervalle bzw. Zeitabschnitte können vorab festgelegt und/oder ermittelt werden. Jedem Emitterelement der Emitterunter- menge kann eine eigene Wartezeit zugeordnet sein. Bei dem Verfahren kann ein nachfolgendes Emitterelement der Emitteruntermenge erst nach der Deaktivierung des, insbesondere unmittelbar, vorangegangenen Emit- terelements der Emitteruntermenge und nach dem Ende der Wartezeit aktiviert wer- den. Die Wartezeit kann zum Zeitpunkt der Deaktivierung des vorangegangenen Emitterelements beginnen. Bei dem Verfahren kann ein Emitterelement, insbesondere das erste Emitterelement, einer folgenden Emitteruntermenge erst aktiviert werden, wenn das letzte Emit- terelement der dieser Emitteruntermenge vorangegangenen Emitteruntermenge deaktiviert wurde. In einer Variante können alle Emitterelemente einer Emitteruntermenge, wie Emitter- spalte oder Emitterzeile, gleichzeitig aktiviert und/oder deaktiviert werden. Wenn die Emitteruntermenge bzw. Emitteruntermengen eine Emitterzeile bzw. Emit- terzeilen ist/sind, dann können die Emitterelemente nacheinander spaltenweise akti- viert und/oder deaktiviert werden. In diesem Fall können die Emitterelemente der Unterbraugruppen, die einer, insbesondere gemeinsamen, Emitterspalte zugeordnet sind, gleichzeitig aktiviert und/oder deaktiviert werden. Wenn die Emitteruntermenge bzw. Emitteruntermengen eine Emitterspalte bzw. Emitterspalten ist/sind, dann können die Emitterelemente nacheinander zeilenweise aktiviert und/oder deaktiviert werden. In diesem Fall können die Emitterelemente der Unterbraugruppen, die einer, insbesondere gemeinsamen, Emitterzeile zugeordnet sind, gleichzeitig aktiviert und/oder deaktiviert werden. Ein Emitterelement kann einem Empfangselement des LIDAR-Messsystems zuge- wiesen bzw. zugeordnet sein oder werden. Ein Empfangselement kann als Sensor- element bezeichnet werden. Ein Emitterelement kann einer Gruppe und/oder Mehr- zahl von Empfangselementen zugewiesen bzw. zugeordnet sein oder werden. Eine Emitteruntermenge kann einem Empfangselement zugewiesen bzw. zugeordnet sein oder werden. Ein Emitteruntermenge kann einer Gruppe und/oder Mehrzahl von Empfangselementen zugewiesen bzw. zugeordnet sein oder werden. Die Gruppe und/oder Mehrzahl von Empfangselementen kann eine Makrozelle aus mehreren Empfangselementen bilden. Die Makrozelle bzw. alle Empfangselemente einer Makrozelle können einem Emitterelement und/oder Emitteruntermenge einer zuge- wiesen bzw. zugeordnet sein oder werden. Es können mehrere Makrozelle vorgese- hen sein. Die Gruppe von Empfangselementen und/oder die Makrozelle kann als Empfangsuntermenge bezeichnet werden. Die Empfangsuntermenge kann eine Sensoruntermenge sein. Die Empfangsuntermenge kann Teil einer Empfangsmatrix sein. Es können mehrere, wie zwei, drei, vier, usw., Empfangsuntermenge vorgesehen sein. Jede Empfangs- untermenge kann mehrere, wie zwei, drei, vier, usw., Empfangselemente aufweisen. Die Empfangsuntermenge bzw. Empfangsuntermengen kann/können die Empfangsmatrix bilden. Die Empfangsuntermenge kann eine Empfangszeile oder Empfangsspalte sein. Die Empfangsteile kann eine Sensorzeile sein. Die Empfangs- spalte kann eine Sensorspalte sein. Die Empfangszeile/n und/oder Empfangsspalte/n kann/können die Empfangsmatrix bilden. Die Empfangsuntermenge und/oder Empfangsmatrix kann/können Teil einer Empfangseinheit des LIDAR-Messsystems sein. Die Empfangselemente können im Wesentlichen auf einer Ebene, beispielsweise einem Chip, wie Sensorchip oder Empfangschip, angeordnet sein. Die Empfangs- elemente können gleichmäßig, beispielsweise in einem gleichmäßigen Gitterraster, angeordnet sein. Die Anordnung der Empfangselemente kann sich in Zeilen und/oder Spalten, wie Empfangszeilen und/oder Empfangsspalten, insbesondere der Empfangsmatrix, aufteilen. Die Zeilen und/oder Spalten können einen konstanten Zeilenabstand bzw. Spaltenabstand aufweisen. Beispielsweise können der Zeilenab- stand und der Spaltenabstand gleich groß sein. Die Empfangselemente einer Zeile und/oder Spalte können einen konstanten Abstand zueinander aufweisen. Beispiels- weise weist eine Spalte ein Empfangselement in jeder Zeile der Empfangsmatrix und/oder eine Zeile ein Empfangselement in jeder Spalte der Empfangsmatrix auf. Die Empfangseinheit und/oder Empfangsmatrix kann/können in einer Focal-Plane- Array Konfiguration ausgebildet sein. Unter einer Focal-Plane-Array Konfiguration kann eine zweidimensionale Anordnung von Empfangselementen in einer Ebene, insbesondere der Brennebene mindestens einer Empfangsoptik, verstanden werden. Die Brennebene der mindestens einen Empfangsoptik kann entsprechend der Aus- dehnung der Empfangsmatrix das Sichtfeld des Sensors bzw. der Empfangsoptik bestimmen. Die einzelnen Empfangselemente können im Brennpunkt der Empfangs- optik angeordnet sein. Die Empfangsoptik kann eine Linsenanordnung, wie ein Objektiv, beispielsweise ein Weitwinkelobjektiv, sein. Die Empfangselemente und Emitterelemente können auf derselben Ebene oder unterschiedlichen Ebenen ange- ordnet sein. Die Empfangselemente können jeweils eine aktive Fläche, beispielsweise eine photosensitive Fläche, aufweisen, die an Objekten, wie Messobjekten, reflektierte Pulse, wie Messpulse, und/oder Strahlen, wie Lichtstrahlen empfangen, insbesonde- re detektieren, kann. Unter einer aktiven Fläche kann die Fläche eines Empfangs- elemente verstanden werden, an der ein Puls oder Lichtstrahl auf das Empfangsele- mente trifft. Die Empfangselemente können dazu ausgebildet sein, Licht, insbeson- dere Laserlicht oder ein Laserpuls, zu detektieren. Die Empfangselemente können dazu ausgebildet sein, die bzw. das von den Emitterelementen ausgesendeten Pulse bzw. ausgesendete Licht zu detektieren. Die Empfangselemente können jeweils als Fotodioden oder Lawinenphotodioden ausgebildet sein. Die Empfangselemente können jeweils als Festkörper-Fotodetektor ausgebildet sein. Die Empfangselemente können jeweils als Einzelphotonen-Lawinendiode, wie eine Single Photon Avalanche Diode (SPAD), ausgebildet sein. Jedem Empfangselement kann ein Pixel, wie Empfangspixel, zugeordnet sein. Bei dem Verfahren können reflektierte Pulse oder Lichtstrahlen, insbesondere aus unterschiedlichen Winkeln, wie Raumwinkeln, auf die Empfangselemente bzw. Empfangsmatrix abgebildet werden. Das kann mittels der Empfangsoptik erfolgen. Das von einem Emitterelement ausgesendete Licht/Puls kann durch die Sendeoptik einem Raumwinkel zugeordnet sein oder werden. Ein Empfangselement kann über die Empfangsoptik immer denselben Raumwinkel betrachten. Ein Empfangselement und das diesem zugehörige bzw. zugewiesene Emitterelement können daher beide demselben Raumwinkel zugeordnet bzw. zugewiesen sein oder werden. Das ausge- sendete Licht/Puls eines Emitterelements kann daher nach einer Reflektion, beispielsweise im Fernfeld, immer auf dasselbe, dem aussendenden Emitterelement zugeordnete, Empfangselement treffen. Es können so Emitterelement- Empfangselement-Paarungen gebildet sein oder werden. Die Empfangselemente können derart angesteuert werden, dass ein dem aktivierten Emitterelement zugeordnetes Empfangselement aktiviert ist oder, beispielsweise im Wesentlichen gleichzeitig mit dem Emitterelement, aktiviert wird. Die Empfangsele- mente können derart angesteuert werden, dass alle Empfangselemente einer dem aktivierten Emitterelement zugeordneten Empfangsuntermenge aktiviert sind oder, beispielsweise im Wesentlichen gleichzeitig mit dem Emitterelement, aktiviert wer- den. Die Empfangselemente können derart aktiviert und/oder deaktiviert werden, dass im Wesentlichen gleichzeitig mit der Aktivierung des Emitterelements und/oder Emit- teruntermenge ausschließlich die diesem Emitterelement bzw. dieser Emitterunter- menge zugewiesenes bzw. zugeordnetes Empfangselement bzw. Empfangsunter- menge aktiv ist oder aktiviert wird, beispielsweise so, dass das zugeordnete bzw. zugewiesene Empfangselement bzw. Empfangsuntermenge die von dem Emit- terelement bzw. Emitteruntermenge ausgesandten und reflektierten Puls bzw. Licht- strahl empfängt. Es können so nur die Empfangselemente und/oder Empfangsunter- menge aktiviert sein oder werden, die dem jeweiligen Emitterelement bzw. Emitter- untermenge zugewiesen bzw. zugeordnet sind. Unter im Wesentlichen gleichzeitig kann verstanden werden, dass die Aktivierung der Empfangselemente bzw. Empfangsuntermenge entweder gleichzeitig mit der Aktivierung der zugeordneten Emitterelemente bzw. Emitteruntermenge erfolgt oder zumindest derart gleichzeitig, dass von den Emitterelementen bzw. Emitteruntermenge ausgesandte Pulse bzw. Lichtstrahlen von den zugeordneten Empfangselementen bzw. Empfangsunter- menge detektiert werden können. Alternativ kann die Aktivierung des Empfangs- elements, der Empfangselemente und/oder der Empfangsuntermenge bereits vor Aktivierung des zugehörigen Emitterelements, der Emitterelemente und/oder der Emitteruntermenge erfolgen. Bei dem Verfahren kann ein horizontaler Scan durchgeführt werden, bei dem eine Spalte, beispielsweise Emitterspalte und/oder Empfangsspalte, nach der anderen sequentiell in auf oder absteigender Reihenfolge aktiviert bzw. deaktiviert werden kann. Bei dem Verfahren kann ein vertikaler Scan durchgeführt werden, bei dem eine Zeile, beispielsweise Emitterzeile und/oder Empfangszeile, nach der anderen sequentiell in auf oder absteigender Reihenfolge aktiviert bzw. deaktiviert werden kann. Bei dem Verfahren können Zeitpunkte bestimmt werden, zu denen Pulse bzw. Licht- strahlen, insbesondere mittels der Empfangselemente, empfangen bzw. detektiert wurden. Die Bestimmung dieser Zeitpunkte kann mit einer Auswerteeinrichtung erfol- gen. Hierzu können die Empfangselemente mit der Auswerteeinrichtung wirksam verbunden sein. Das Verfahren kann ein zeitkorreliertes Einzelphotonenzählverfahren, wie TCSPC- Verfahren (Time Correlated Single Photon Counting), sein oder aufweisen und/oder Teil eines solchen Verfahrens sein. Das Verfahren kann als Computerprogramm zumindest teilweise auf einem Compu- ter, Mikrocomputer, in einer elektronischen Steuer- und/oder Recheneinheit oder auf einem Speichermedium abgespeichert und/oder dort implementiert sein. Das Com- puterprogramm kann software-technisch auf eine oder mehrere Speichermedien, Steuer- und/oder Recheneinheiten oder Computer, etc. verteilt sein. Ein Computerprogrammprodukt kann eine Vorrichtung, wie eine Steuerung, eine Steuer- und/oder Recheneinheit/gerät, ein Steuerungssystem, einen Prozessor oder einen Computer, dazu veranlassen, das vorstehend und/oder nachfolgend beschrie- bene Verfahren auszuführen. Hierzu kann das Computerprogrammprodukt entspre- chende Datensätze und/oder das Computerprogramm aufweisen. Eine Vorrichtung zur Ansteuerung von Emitterelementen eines LIDAR-Messsystems, das in einer Focal-Plane-Array Anordnung ausgebildet ist, kann dazu eingerichtet und/oder bestimmt sein, das vorstehend und/oder nachfolgend beschriebene Verfah- ren auszuführen. Die Vorrichtung kann eine Steuereinheit oder Steuergerät sein oder aufweisen. Die Vorrichtung kann eine Zeitsteuereinheit sein oder aufweisen. Die Vorrichtung kann eine Auswerteeinrichtung aufweisen. Die Vorrichtung kann einen Prozessor und einen Speicher aufweisen. Das Computerprogrammprodukt kann in dem Speicher der Vorrichtung gespeichert sein. Die Vorrichtung kann ein Fahreras- sistenzsystem und/oder ein Sicherheitssystem sein oder ein Teil davon sein. Ein LIDAR-Messsystem kann eine Sendeeinheit und/oder eine Steuereinheit, wie Zeitsteuereinheit, zur zeitgesteuerten Aktivierung und/oder Deaktivierung von Emit- terelementen der Sendeeinheit aufweisen. Das LIDAR-Messsystem kann eine Empfangseinheit aufweisen. Die Sendeeinheit kann die Emitterelemente und/oder Emitteruntermenge aufweisen. Die Empfangseinheit kann die Empfangselemente und/oder Empfangsuntermenge aufweisen. Das LIDAR-Messsystem kann die vor- stehend und/oder nachfolgend beschriebene Vorrichtung aufweisen. Das LIDAR- Messsystem kann dazu eingerichtet und/oder bestimmt sein, das vorstehend und/oder nachfolgend beschriebene Verfahren auszuführen. Das LIDAR- Messsystem kann ein Fahrerassistenzsystem und/oder ein Sicherheitssystem sein oder ein Teil davon sein. Mit dem LIDAR-Messsystem können Messungen ausgeführt werden, um Objekte erkennen und/oder deren Abstand und/oder deren Geschwindigkeit bestimmen zu können. Für jede Emitterelement-Empfangselement-Paarungen kann ein Messvor- gang durchgeführt werden. Ein Messvorgang kann eine Mehrzahl an Messzyklen umfassen. Bei einem Messzyklus kann durch ein Emitterelement ein Puls bzw. Licht- strahl ausgesendet werden, der nach einer Reflektion an einem Objekt wieder durch ein oder mehrere Empfangselemente detektiert werden kann. Mit der Erfindung können neben der Entfernung von Sensor zu Objekt auch die Geschwindigkeit des Objekts spezifisch messbar bzw. ermittelbar gemacht werden. Es können Geschwindigkeitszustände eines zu detektierenden Objekts, insbesonde- re innerhalb eines Frames, erfasst werden. Eine Geschwindigkeitsanalyse pro Bildgebungs-Frame kann ermöglich werden. Eine Zeitauflösung kann erfolgen. Den Algorithmen einer Objektklassifizierung können somit nicht nur Distanzwerte auf- grund der eigentlichen Laufzeit der Laserpulse pro Emitterelement, wie Emitterpixel, bis zum Empfangselement, wie Empfängerpixel, zur Verfügung stehenden, sondern zusätzlich auch ein kontrollierter Zeitversatz. Zwei Nachbarpixel, welche für Algorith- men, zum Beispiel zur Objektklassifizierung, herangezogen werden können, können dann über Bewegungsvektoring noch weiter klassifiziert werden. Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung unter Bezugnahme auf Figuren näher beschrieben, dabei zeigen schematisch und beispielhaft: Fig.1 ein Flussdiagramm eines Verfahrens zur Ansteuerung von Emitterelementen eines LIDAR-Messsystems, das in einer Focal-Plane-Array Anordnung aus- gebildet ist; und Fig.2 schematisch eine Sendeeinheit mit einer Sendematrix mit Emitterelementen; und Fig.3 ein LIDAR-Messsystem in schematischer Darstellung. Fig.1 zeigt ein Flussdiagram eines Verfahrens zur Ansteuerung von Emitterelemen- ten eines LIDAR-Messsystems, das in einer Focal-Plane-Array Anordnung ausgebil- det ist. In einem Schritt 1 wird eine Empfangszeile einer Empfangsmatrix einer Empfangs- einheit des LIDAR-Messsystems zum Detektieren von Messpulsen, wie Laserlicht, aktiviert. Die Empfangszeile weist mehrere hintereinander in einer Reihe angeordne- te Empfangselemente auf. In einem Schritt 2 werden Emitterelemente einer Emitterzeile einer Sendeeinheit des LIDAR-Messsystems nacheinander aktiviert, wobei das jeweils folgende Emitterele- ment der Emitterzeile erst nach dem Ende einer Wartezeit aktiviert wird. Die Emitter- zeile ist der Empfangszeile zugeordnet bzw. zugewiesen. Die Emitterelemente sind innerhalb der Emitterzeile hintereinander in einer Reihe angeordnet. Ein nachfolgen- des Emitterelement wird erst nach der Deaktivierung des vorangegangenen Emitter- elements und nach dem Ende der Wartezeit aktiviert. Die Wartezeit nimmt für jedes folgende Emitterelement zu. Das vorstehend mit Bezug auf Fig.1 beschriebene Verfahren kann teil eines Compu- terprogrammprodukts sein, dass eine Vorrichtung dazu veranlasst, das Verfahren zur Ansteuerung von Emitterelementen eines LIDAR-Messsystems auszuführen. Fig.2 zeigt schematisch eine Sendeeinheit 3 mit einer Sendematrix 4, die mehrere Emitterelemente 5 aufweist. Die Emitterelemente 5 sind in Emitterzeilen Z1, Z2, Z3, ..., Zn und Emitterspalten S1, S2, S4, S4, ..., Sn jeweils horizontal bzw. vertikal hinterei- nander in Reihe angeordnet. Die Emitterzeilen Z1, Z2, Z3, ..., Zn und Emitterspalten S1, S2, S4, S4, ..., Sn bilden die Sendematrix 4. Jede Emitterzeile Z1, Z2, Z3, ..., Zn bildet eine Emitteruntermenge 6. Jede Emitterzeile Z1, Z2, Z3, ..., Zn bzw. jede Emit- teruntermenge 6 ist einer Empfangszeile der Empfangseinheit zugeordnet bzw. zugewiesen. Die Emitterelemente 5 jeweils einer Emitterzeile Z1, Z2, Z3, ..., Zn werden nacheinan- der aktiviert (in Fig.2 von links nach rechts), wobei das jeweils folgende Emitterele- ment 5 einer Emitterzeile Z1, Z2, Z3, ..., Zn erst nach dem Ende einer Wartezeit tn bzw. tn+Δtx aktiviert wird. Das nachfolgende Emitterelement 5 wird erst nach der Deaktivierung des vorangegangenen Emitterelements 5 und nach dem Ende der Wartezeit tn bzw. tn+Δtx aktiviert. Die Wartezeit tn bzw. tn+Δtx nimmt für jedes folgende Emitterelement 5 um ein Δtx zu. Die Zeitabschnitt tn bzw. tn+Δtx stellen Verzögerungs- elemente dar, bis das jeweils nachfolgende Emitterelement aktiviert wird. Beispielsweise wird das erste Emitterelement 5 (in Fig.2 das Emitterelement ganz links unten) der ersten Emitteruntermenge 6 der ersten Emitterzeile Z1 aktiviert. Nach Deaktivierung des ersten Emitterelements 5, beginnt die Wartezeit t1 zu laufen. Sobald die Wartezeit t1 abgelaufen ist, wird das in der Reihe der Emitterzeile Z1 direkt nachfolgende Emitterelement 5 (hier das zweite Emitterelement 5 in der Reihe von links) aktiviert. Nach Deaktivierung des zweiten Emitterelements 5, beginnt die Wartezeit t1+Δt1 zu laufen. Die Wartezeit t1+Δt1 ist um den Zeitabschnitt Δt1 länger. Sobald die Wartezeit t1+Δt1 abgelaufen ist, wird das in der Reihe der Emitterzeile Z1 direkt nachfolgende, hier dritte, Emitterelement 5 aktiviert. Nach Deaktivierung des dritten Emitterelements 5, beginnt die Wartezeit t1+Δt2 zu laufen. Die Wartezeit t1+Δt2 ist um den Zeitabschnitt Δt2 länger. Der Zeitabschnitt Δt2 ist größer als der Zeitab- schnitt Δt1. Dies wir solange wiederholt, bis das letzte Emitterelement 5 der Emitter- zeile Z1 nach der Wartezeit t1+Δtx aktiviert wurde, wobei die Wartezeit im Vergleich zur vorangegangenen Wartezeit jeweils zunimmt Nach Deaktivierung des letzten Emitterelement 5 der Emitterzeile Z1 beginnt der vor- stehend beschriebene Aktivierungs- und Deaktivierungsvorgang von neuem, jedoch in analoger Weise mit der folgenden Emitterzeile, hier beispielsweise mit Emitterzeile Z2. Das erste Emitterelement 5 der folgenden Emitterzeile Z2, Z3, ..., Zn wird also erst aktiviert, wenn das letzte Emitterelement 5 der vorangegangenen Emitterzeile Z1, Z2, Z3, ..., Zn deaktiviert wurde. Dies geschieht solange, bis alle Emitterelemente 5 aller Emitterzeile Z1, Z2, Z3, ..., Zn jeweils zumindest einmal aktiviert wurden. Dadurch kann ein horizontaler Scan (in Fig.2 von links nach rechts) und ein vertikaler Scan (in Fig.2 von unten nach oben) durchgeführt werden. Die einzelnen Emitterelemente 5 werden so nacheinander jeweils zeitverzögert aktiviert, bis alle Emitterelemente 5 der Emittermatrix 4 durchlaufen bzw. zumindest einmal aktiviert worden sind. Die Warte- zeiten t1, t2, t3, tn für das jeweils zweite Emitterelement 5 einer Emitterzeile Z1, Z2, Z3, ..., Zn können alle gleich oder unterschiedlich sein. Beispielsweise können die Warte- zeiten t1, t2, t3, tn immer länger bzw. größer werden. D.h., die Wartezeit t2 kann größer als die Wartezeit t1 sein und die Wartezeit t3 kann größer als die Wartezeit t2 sein, usw. Die Wartezeit t2 kann auch größer als die Wartezeit t1+Δtx sein und die Wartezeit t3 kann auch größer als die Wartezeit t2+Δtx sein, usw. Somit kann elektronisch zwischen den einzelnen Emitterelementen 5 einer Emitter- zeile Z1, Z2, Z3, ..., Zn kontrolliert eine Verzögerung im Einschalt- bzw. Aktivierungs- vorgang erreicht werden, wodurch inhärent eine Zeitauflösung zustande kommt. Im Übrigen wird ergänzend insbesondere auf Fig.1 und die zugehörige Beschrei- bung verwiesen. Fig.3 zeigt ein LIDAR-Messsystem 7 in schematischer Darstellung. Das LIDAR- Messsystem 7 ist für die Verwendung an einem Fahrzeug, wie Kraftfahrzeug, bestimmt. Das LIDAR-Messsystem 7 kann statisch an dem Kraftfahrzeug angeordnet sein. Das LIDAR-Messsystem 7 weist die Sendeeinheit 3, eine Empfangseinheit 8, eine Sendeoptik 9, eine Empfangsoptik 10 und eine Elektronik 11 auf. Die Sendeeinheit 3 ist als Sendechip 13 ausgebildet, auf dem in einer Ebene eine Mehrzahl von Emitterelementen 5 in einer Sendematrix 4 angeordnet ist. Die Sen- deeinheit 3 sind in einer Focal-Plane-Array Konfiguration ausgebildet. Das bedeutet, dass der Sendechip 13 und die Emitterelemente 5 auf einer flachen Ebene angeord- net sind, die in dem Brennpunkt bzw. der Brennebene der Sendeoptik 9 angeordnet ist. Die Emitterelemente 5 können jeweils als Oberflächenemitter, wie ein Vertical Cavity Surface Emitting Laser (VCSEL), ausgebildet sein. Die Empfangseinheit 8 ist als Empfangschip 14 ausgebildet, auf dem in einer Ebene eine Mehrzahl von Empfangselementen 15 in einer Empfangsmatrix angeordnet ist. Die Empfangseinheit 8 sind in einer Focal-Plane-Array Konfiguration ausgebildet. Das bedeutet, dass der Empfangschip 14 und die Empfangselementen 15 auf einer flachen Ebene angeordnet sind, die in dem Brennpunkt bzw. der Brennebene der Empfangsoptik 10 angeordnet ist. Die Empfangselemente 15 können jeweils als Ein- zelphotonen-Lawinendiode, wie eine Single Photon Avalanche Diode (SPAD), aus- gebildet sein. Ein von einem Emitterelement 5 ausgesendetes Laserlicht (in Fig.3 schematisch durch die auf der rechten Seite der Sendeinheit 3 dargestellte Linie veranschaulicht) durchläuft die Sendeoptik 9. Ein auf ein Empfangselement 15 eintreffendes Licht (in Fig.3 schematisch durch die auf der rechten Seite der Empfangseinheit 8 dargestell- te Linie veranschaulicht) durchläuft die Empfangsoptik 10. Die Sendeoptik 9 weist jedem Emitterelement 5 einen bestimmten Raumwinkel zu. Die Empfangsoptik 10 weist jedem Empfangselement 15 einen bestimmten Raumwinkel zu. Ein Emitterelement 5 emittiert zu beginn eines Messzyklus Laserlicht 16 in Form eines Laserpuls 16. Der Laserpuls 16 passiert die Sendeoptik 9 und wird von einem Objekt 17 reflektiert. Der reflektierte Laserpuls 16 wird durch die Empfangsoptik 10 auf das zugehörige Empfangselement 15 geleitet. Das zugehörige Empfangselement 15 detektiert den eintreffenden Laserpuls 16, wobei ein Auslösen mit einer entspre- chend Auswerteinrichtung ausgelesen werden kann und beispielsweise in ein Histo- gramm geschrieben werden kann. Durch die ermittelte Laufzeit des Laserpulses 16 kann die Entfernung zum Objekt bestimmt werden. Ferner kann durch eine Zeitauflö- sung die Geschwindigkeit des Objekts bestimmt werden. Der Ablauf eines Messzyklus wird durch die Elektronik 11 gesteuert. Die Elektronik 11 ist insbesondere als Vorrichtung 11 zur Ansteuerung der Emitterelemente 5 und der Empfangselemente 15 ausgebildet. Die Elektronik 11 kann eine Zeitsteuereinheit aufweisen oder sein. Die Zeitsteuereinheit dient zur zeitgesteuerten Aktivierung und/oder Deaktivierung der Emitterelemente 5 der Sendeeinheit 3. Ebenso kann die Zeitsteuereinheit zur zeitgesteuerten Aktivierung und/oder Deaktivierung der Emp- fangselemente 15 der Empfangseinheit 8 dienen. Die Elektronik 11 steuert somit die Aktivierung und Deaktivierung der einzelnen Emitterelemente 5. Die Zeitsteuerung kann einen Timing-Controller aufweisen. Die Zeitsteuereinheit steuert die genaue Einhaltung der Wartezeiten tn bzw. tn+Δtx zwischen der Aktivierung der einzelnen Emitterelemente 5. Die Elektronik 11 ist dazu eingerichtet und bestimmt, das vorste- hend und/oder nachfolgend beschriebene Verfahren auszuführen. Dazu weist die Elektronik 11 einen Prozessor und einen Speicher auf. Ein Computerprogrammpro- dukt mit Datensätzen auf, das die Elektronik 11 dazu veranlasst, das vorstehend und/oder nachfolgend beschriebene Verfahren auszuführen ist in dem Speicher der Elektronik gespeichert. Im Übrigen wird ergänzend insbesondere auf Fign.1 und 2 und die zugehörige Beschreibung verwiesen. Mit „kann“ sind insbesondere optionale Merkmale der Erfindung bezeichnet. Dem- zufolge gibt es auch Weiterbildungen und/oder Ausführungsbeispiele der Erfindung, die zusätzlich oder alternativ das jeweilige Merkmal oder die jeweiligen Merkmale aufweisen. Aus den vorliegend offenbarten Merkmalskombinationen können bedarfsweise auch isolierte Merkmale herausgegriffen und unter Auflösung eines zwischen den Merkma- len gegebenenfalls bestehenden strukturellen und/oder funktionellen Zusammen- hangs in Kombination mit anderen Merkmalen zur Abgrenzung des Anspruchs- gegenstands verwendet werden. Die Reihenfolge und/oder Anzahl aller Schritte des Verfahrens kann variiert werden. Method and device for controlling emitter elements of a LIDAR measuring system and LIDAR measuring system The invention relates to a method and a device for controlling emitter elements of a LIDAR measuring system, which is designed in a focal plane array arrangement. The invention also relates to a LIDAR measurement system with a transmission unit and a control unit. A scanning sensor, for example a LIDAR (light detection and ranging) sensor, which periodically emits pulses, is usually used for optical distance measurements, in particular for use in vehicles. The pulses, in particular light pulses, are reflected by objects and the reflected pulse is detected. From the determination of the propagation time of the pulses from the sensor to the object and back, the distance or distance to the object can be inferred using the speed of light. For example, a LIDAR receiving unit for a LIDAR measurement system is known from document DE 102017222971 A1, in which several sensor elements are arranged in macro cells and each sensor element can be activated and deactivated individually or can be activated and deactivated in groups of sensor elements. Although the known LIDAR sensor concepts enable distance measurements, there is no possibility of detecting speed states of an object to be detected, in particular within a frame, in order to enable a speed analysis per imaging frame. The object of the invention is to functionally improve a method mentioned at the outset. In addition, the invention is based on the object of structurally and/or functionally improving a device mentioned at the outset and a LIDAR measuring system mentioned at the outset. The object is achieved with a method having the features of claim 1. The object is also achieved with a device having the features of claim 12 and with a LIDAR measuring system having the features of claim 13. Advantageous versions and/or developments are counter- stand of the dependent claims. In a method for controlling emitter elements of a LIDAR measurement system, which can be embodied in a focal plane array arrangement, for example, the emitter elements of an emitter subset can be activated one after the other. In this case, the respective following emitter element of the emitter subset can only be activated after the end of a waiting time. The respectively following emitter element can in each case be the emitter element which precedes, in particular directly, follows an emitter element within the emitter subset. The emitter elements of the emitter subset can be deactivated one after the other. The emitter elements of the emitter subset can be activated and deactivated one after the other. The emitter subset may be part of a transmit matrix. There may be multiple, such as two, three, four, etc., emitter subsets. Each emitter subset may have multiple, such as two, three, four, etc., emitter elements. The emitter subset or emitter subsets can form the transmission matrix. The emitter subset can be an emitter row or an emitter column. The emitter row(s) and/or emitter column(s) can form the transmission matrix. The emitter subset and/or transmission matrix can be part of a transmission unit of the LIDAR measurement system. The emitter elements can essentially be arranged on one level, for example on a chip, such as a sensor chip or transmission chip. The emitter elements can be arranged uniformly, for example in a uniform grid pattern. The arrangement of the emitter elements can be divided into rows and/or columns, such as emitter rows and/or emitter columns, in particular in the transmission matrix. The rows and/or columns can have a constant row spacing or column spacing. For example, row spacing and column spacing can be the same be tall The emitter elements of a row and/or column can be at a constant distance from one another. For example, a column has an emitter element in each row of the transmission matrix and/or a row has an emitter element in each column of the transmission matrix. The LIDAR measurement system and/or the transmission unit and/or transmission matrix can be configured in a focal plane array. A focal plane array configuration can be understood to mean a two-dimensional arrangement of emitter elements in one plane, in particular the focal plane of at least one optical transmission system. The focal plane of the at least one transmission optics can determine the field of view of the sensor or the transmission optics in accordance with the extent of the transmission matrix. The transmission optics can be a lens arrangement, such as an objective. The individual emitter elements can be arranged in the focal point of the transmission optics. By placing the transmission matrix or parts thereof in the focal plane of the transmission optics, the position of the individual emitter elements can be converted into an angle by the transmission optics. The pulses, such as measurement pulses or light beams, which impinge on the transmission optics and run, for example, in a parallel direction, can be deflected into different angles by the transmission optics. As a result, a large field of view can be illuminated without the need for moving parts to deflect the pulses or light beams. A focal plane array configuration can therefore enable a static design of the LIDAR measurement system and/or its transmission unit and/or its reception unit, so that it does not include any moving parts. The LIDAR measurement system can be arranged statically on a vehicle. The emitter elements can be transmission elements. The emitter elements can each have an active area for sending pulses, such as measurement pulses, and/or beams, such as light beams. An active area can be understood as meaning the area of an emitter element at which a pulse or light beam leaves the emitter element. The emitter elements can be designed to emit light, in particular laser light or a laser pulse. A measuring pulse can be an optical signal, for example an electromagnetic signal. A measurement pulse can be a light pulse, such as a laser pulse. A measurement pulse can have a pulse duration. basic Based on the speed and transit time of the measurement pulse, and using the speed of light, the distance covered by the pulse during transit time can be deduced. The emitter elements can each be in the form of lasers, such as pulsed lasers. The emitter elements can each be in the form of a laser diode, such as an electrically pulsed laser diode, or in the form of a passive microlaser, such as a passive Q-switched microlaser. The emitter elements can each be formed as a surface emitter, such as a vertical cavity surface emitting laser (VCSEL). A pixel, such as a transmission pixel, can be assigned to each emitter element. In the method, the emitter elements of the emitter subset can be activated and/or deactivated in such a way that the emitter elements are activated and/or deactivated one after the other, for example such that only one emitter element of the emitter subset is activated at a time. When an emitter element is active, it emits a pulse, such as a measurement pulse, or a light beam, such as a laser beam. The order of activation and/or deactivation of the emitter elements of the emitter subset can be predetermined by the arrangement of the emitter elements in a row or column. By activating only one emitter element of the emitter subset, a partial area of the field of view can be illuminated in a targeted manner. Due to the fact that only one emitter element of the emitter subset is active at a time and the activation of the emitter elements of the emitter subset takes place one after the other with a defined time interval, it is possible to scan, for example, spatially connected partial areas of the field of view without the use of moving parts required for this . The term scanning can be understood as scanning the field of view. In the method, a delay in the switch-on process or activation process can be achieved between the individual emitter elements by the waiting time until the respectively following emitter element of the emitter subset is activated. This can inherently result in a time resolution. In the method, for example electronically, between individual, such as two consecutive der, emitter elements of an emitter subset, such as emitter pixels of a row or column, a controlled delay of the switch-on process or activation process takes place. The delay can be formed or defined by the waiting time. The waiting time can be referred to as a delay element and/or be formed and/or defined by a delay element, for example an electronic one. The waiting times, in particular within the emitter subset, of successive emitter elements can differ. The waiting times, in particular within the emitter subset, of consecutive emitter elements can be the same. The waiting time for each subsequent emitter element, in particular within the emitter subset, can increase or decrease. The waiting time for each subsequent emitter element, in particular within the emitter subset, can increase or decrease with a defined time interval or time segment. The defined period of time can be a time difference. The time difference can be positive or negative. The waiting time can increase or decrease linearly or exponentially, in particular for each subsequent emitter element of the emitter subset. The waiting time or waiting times can be extended from emitter element to emitter element by a specific value, such as a time interval or time period. The waiting time or waiting times and/or the time intervals or time sections can be determined and/or determined in advance. A separate waiting time can be assigned to each emitter element of the emitter subset. In the method, a subsequent emitter element of the emitter subset can only be activated after the deactivation of the, in particular directly, preceding emitter element of the emitter subset and after the end of the waiting time. The waiting time can start at the time of the deactivation of the previous emitter element. In the method, an emitter element, in particular the first emitter element, of a following emitter subset can only be activated when the last emitter element of the emitter subset preceding this emitter subset has been deactivated. In one variant, all emitter elements of an emitter subset, such as an emitter column or emitter row, can be activated and/or deactivated at the same time. If the emitter subset or emitter subsets is/are an emitter row or emitter rows, then the emitter elements can be activated and/or deactivated one after the other in columns. In this case, the emitter elements of the sub-groups which are associated with one, in particular common, emitter column can be activated and/or deactivated simultaneously. If the emitter subset or emitter subsets is/are an emitter column or emitter columns, then the emitter elements can be activated and/or deactivated one after the other line by line. In this case, the emitter elements of the subgroups that are assigned to an emitter row, in particular a common one, can be activated and/or deactivated at the same time. An emitter element can be allocated or allocated to a receiving element of the LIDAR measurement system. A receiving element can be referred to as a sensor element. An emitter element can be assigned or assigned to a group and/or number of receiving elements. An emitter subset can be assigned or assigned to a receiving element. An emitter subset can be assigned or assigned to a group and/or plurality of receiving elements. The group and/or plurality of receiving elements can form a macro cell made up of a number of receiving elements. The macro cell or all receiving elements of a macro cell can be assigned or assigned to an emitter element and/or emitter subset. Several macro cells can be provided. The group of receiving elements and/or the macro cell can be referred to as a receiving subset. The receive subset may be a sensor subset. The receive subset may be part of a receive matrix. There may be multiple, such as two, three, four, etc., receive subsets. Each receiving subset may have multiple, such as two, three, four, etc., receiving elements. The reception subset or reception subsets can form the reception matrix. The receive subset can be a receive row or receive column. The receiving parts can be a sensor line. The receiving column can be a sensor column. The receiving row(s) and/or receiving column(s) can form the receiving matrix. The reception subset and/or reception matrix can be part of a reception unit of the LIDAR measurement system. The reception elements can essentially be arranged on one level, for example on a chip, such as a sensor chip or reception chip. The receiving elements can be arranged uniformly, for example in a uniform grid pattern. The arrangement of the reception elements can be divided into rows and/or columns, such as reception rows and/or reception columns, in particular of the reception matrix. The rows and/or columns can have a constant row spacing or column spacing. For example, the line spacing and the column spacing can be the same. The receiving elements of a row and/or column can be at a constant distance from one another. For example, a column has a receiving element in each row of the receiving matrix and/or a row has a receiving element in each column of the receiving matrix. The receiving unit and/or receiving matrix can be designed in a focal plane array configuration. A focal plane array configuration can be understood to mean a two-dimensional arrangement of receiving elements in one plane, in particular the focal plane of at least one optical receiving system. The focal plane of the at least one receiving optics can determine the field of view of the sensor or the receiving optics in accordance with the expansion of the receiving matrix. The individual receiving elements can be arranged at the focal point of the receiving optics. The receiving optics can be a lens arrangement, such as a lens, for example a wide-angle lens. The receiving elements and emitter elements can be arranged on the same level or different levels. The receiving elements can each have an active surface, for example a photosensitive surface, which can receive, in particular detect, reflected pulses, such as measurement pulses, and/or rays, such as light rays, on objects such as measurement objects. An active surface can be understood as meaning the surface of a receiving element on which a pulse or light beam impinges on the receiving element. The receiving elements can be designed to detect light, in particular laser light or a laser pulse. The receiving elements can be designed to detect the pulses or light emitted by the emitter elements. The receiving elements can each be in the form of photodiodes or avalanche photodiodes. The receiving elements can each be designed as a solid-state photodetector. The receiving elements can each be in the form of a single photon avalanche diode, such as a single photon avalanche diode (SPAD). A pixel, such as a receiving pixel, can be assigned to each receiving element. In the method, reflected pulses or light beams, in particular from different angles, such as solid angles, can be imaged onto the receiving elements or receiving matrix. This can be done by means of the receiving optics. The light/pulse emitted by an emitter element can be assigned to a solid angle by the transmission optics. A receiving element can always view the same solid angle via the receiving optics. A receiving element and the associated or assigned emitter element can therefore both be assigned or assigned to the same solid angle. The emitted light/pulse of an emitter element can therefore, after a reflection, for example in the far field, always impinge on the same receiving element assigned to the emitting emitter element. Emitter element-receiving element pairings can be formed in this way. The receiving elements can be controlled in such a way that a receiving element assigned to the activated emitter element is activated or, for example, is activated essentially at the same time as the emitter element. The receiving elements can be controlled in such a way that all receiving elements of one dem activated emitter element assigned receiving subset are activated or, for example, substantially simultaneously with the emitter element, are activated. The receiving elements can be activated and/or deactivated in such a way that essentially at the same time as the emitter element and/or emitter subset is activated, only the receiving element or receiving subset assigned or assigned to this emitter element or emitter subset is active or activated for example in such a way that the associated or assigned receiving element or receiving subset receives the pulse or light beam emitted and reflected by the emitter element or emitter subset. In this way, only the receiving elements and/or receiving subset that are assigned or assigned to the respective emitter element or emitter subset can be or become activated. Substantially simultaneously can be understood to mean that the activation of the reception elements or reception subset occurs either at the same time as the associated emitter elements or emitter subset are activated or at least simultaneously in such a way that pulses or light beams emitted by the emitter elements or emitter subset are transmitted by the associated reception elements or Received subset can be detected. Alternatively, the activation of the receiving element, the receiving elements and/or the receiving subset can already take place before the associated emitter element, the emitter elements and/or the emitter subset are activated. In the method, a horizontal scan can be carried out in which one column, for example emitter column and/or reception column, can be activated or deactivated sequentially in ascending or descending order after the other. A vertical scan can be carried out in the method, in which one line, for example emitter line and/or reception line, can be activated or deactivated sequentially after the other in ascending or descending order. In the method, points in time can be determined at which pulses or light beams were received or detected, in particular by means of the receiving elements. These points in time can be determined using an evaluation device. For this purpose, the receiving elements can be effectively connected to the evaluation device. The method can be or have a time-correlated single photon counting method, such as a TCSPC method (Time Correlated Single Photon Counting), and/or be part of such a method. The method can be stored and/or implemented as a computer program at least partially on a computer, microcomputer, in an electronic control and/or computing unit or on a storage medium. The computer program can be distributed to one or more storage media, control and/or computing units or computers, etc. in terms of software. A computer program product can cause a device, such as a controller, a control and/or computing unit/device, a control system, a processor or a computer, to execute the method described above and/or below. For this purpose, the computer program product can have corresponding data sets and/or the computer program. A device for controlling emitter elements of a LIDAR measurement system, which is embodied in a focal plane array arrangement, can be set up and/or intended to carry out the method described above and/or below. The device may be or include a control unit or controller. The device may be or comprise a time control unit. The device can have an evaluation device. The device may include a processor and memory. The computer program product may be stored in the memory of the device. The device can be a driver assistance system and/or a safety system or be a part thereof. A LIDAR measurement system can have a transmission unit and/or a control unit, such as a time control unit, for the time-controlled activation and/or deactivation of emitter elements of the transmission unit. The LIDAR measurement system can have a receiving unit. The transmission unit can have the emitter elements and/or emitter subset. The receiving unit can have the receiving elements and/or receiving subset. The LIDAR measurement system can have the device described above and/or below. The LIDAR measurement system can be set up and/or intended to carry out the method described above and/or below. The LIDAR measurement system can be a driver assistance system and/or a safety system or be a part thereof. Measurements can be carried out with the LIDAR measurement system in order to be able to detect objects and/or determine their distance and/or their speed. A measurement process can be carried out for each pairing of emitter element and receiver element. A measurement process can include a number of measurement cycles. During a measurement cycle, an emitter element can emit a pulse or light beam, which can be detected again by one or more receiving elements after being reflected on an object. With the invention, in addition to the distance from the sensor to the object, the speed of the object can also be made specifically measurable or ascertainable. Speed states of an object to be detected, in particular within a frame, can be recorded. Velocity analysis per imaging frame may be enabled. A time resolution can take place. The algorithms of an object classification can therefore not only have distance values available based on the actual propagation time of the laser pulses per emitter element, such as emitter pixel, to the receiver element, such as receiver pixel, but also a controlled time offset. Two neighboring pixels, which can be used for algorithms such as object classification, can then be further classified using motion vectoring. Exemplary embodiments of the invention are described in more detail below with reference to figures, in which the figures show, schematically and by way of example: FIG. and FIG. 2 schematically shows a transmission unit with a transmission matrix with emitter elements; and FIG. 3 shows a LIDAR measuring system in a schematic representation. 1 shows a flow chart of a method for controlling emitter elements of a LIDAR measuring system, which is designed in a focal plane array arrangement. In a step 1, a receiving line of a receiving matrix of a receiving unit of the LIDAR measuring system for detecting measuring pulses, such as laser light, is activated. The receiving line has several receiving elements arranged one behind the other in a row. In a step 2, emitter elements of an emitter row of a transmission unit of the LIDAR measurement system are activated one after the other, with the respectively following emitter element of the emitter row only being activated after the end of a waiting time. The emitter line is assigned or assigned to the receiving line. The emitter elements are arranged one behind the other in a row within the emitter line. A subsequent emitter element is only activated after the previous emitter element has been deactivated and after the end of the waiting time. The waiting time increases for each subsequent emitter element. The method described above with reference to FIG. 1 can be part of a computer program product that causes a device to execute the method for controlling emitter elements of a LIDAR measuring system. 2 schematically shows a transmission unit 3 with a transmission matrix 4 that has a plurality of emitter elements 5 . The emitter elements 5 are in emitter rows Z 1 , Z 2 , Z 3 , . . . , Z n and emitter columns S 1 , S 2 , S 4 , S 4 , arranged in a row. The emitter rows Z 1 , Z 2 , Z 3 , ..., Z n and emitter columns S 1 , S 2 , S 4 , S 4 , ..., S n form the transmission matrix 4. Each emitter row Z 1 , Z 2 , Z 3 , . . . , Z n forms an emitter subset 6. Each emitter row Z 1 , Z 2 , Z 3 , . The emitter elements 5 of an emitter line Z 1 , Z 2 , Z 3 , . . . Z 2 , Z 3 , . . . , Z n is only activated after a waiting time t n or t n +Δt x has ended. The subsequent emitter element 5 is only activated after the deactivation of the preceding emitter element 5 and after the end of the waiting time t n or t n +Δt x . The waiting time t n or t n +Δt x increases by Δt x for each subsequent emitter element 5 . The periods of time t n or t n +Δt x represent delay elements until the respectively subsequent emitter element is activated. For example, the first emitter element 5 (the emitter element at the bottom left in FIG. 2) of the first emitter subset 6 of the first emitter row Z 1 is activated. After deactivation of the first emitter element 5, the waiting time t 1 begins to run. As soon as the waiting time t 1 has expired, the emitter element 5 directly following in the row of the emitter row Z 1 (here the second emitter element 5 in the row from the left) is activated. After the second emitter element 5 has been deactivated, the waiting time t 1 +Δt 1 begins to run. The waiting time t 1 +Δt 1 is longer by the time segment Δt 1 . As soon as the waiting time t 1 +Δt 1 has elapsed, the emitter element 5 directly following, in this case the third, in the row of the emitter line Z 1 is activated. After the third emitter element 5 has been deactivated, the waiting time t 1 +Δt 2 begins to run. The waiting time t 1 +Δt 2 is longer by the time segment Δt 2 . The time segment Δt 2 is greater than the time segment Δt 1 . This is repeated until the last emitter element 5 of the emitter row Z 1 has been activated after the waiting time t 1 +Δt x , the waiting time increasing in each case compared to the preceding waiting time After deactivation of the last emitter element 5 of the emitter row Z 1 , the activation and deactivation process described above begins again, but in an analogous manner with the following emitter row, here for example with emitter row Z 2 . The first emitter element 5 of the following emitter row Z 2 , Z 3 , . This continues until all emitter elements 5 of all emitter rows Z 1 , Z 2 , Z 3 , . . . , Z n have each been activated at least once. As a result, a horizontal scan (from left to right in FIG. 2) and a vertical scan (from bottom to top in FIG. 2) can be carried out. The individual emitter elements 5 are activated one after the other with a time delay until all emitter elements 5 of the emitter matrix 4 have run through or have been activated at least once. The waiting times t 1 , t 2 , t 3 , t n for the respective second emitter element 5 of an emitter row Z 1 , Z 2 , Z 3 , . . . , Z n can all be the same or different. For example, the waiting times t 1 , t 2 , t 3 , t n can become longer or longer. That is, the waiting time t 2 can be longer than the waiting time t 1 and the waiting time t 3 can be longer than the waiting time t 2 , etc. The waiting time t 2 can also be longer than the waiting time t 1 +Δt x and the waiting time t 3 can also be greater than the waiting time t 2 + Δt x , etc. In this way, an electronically controlled delay in the switch-on or Activation process can be achieved, whereby a time resolution inherently comes about. In addition, reference is made in particular to FIG. 1 and the associated description. 3 shows a LIDAR measuring system 7 in a schematic representation. The LIDAR measurement system 7 is intended for use on a vehicle, such as a motor vehicle. The LIDAR measurement system 7 can be arranged statically on the motor vehicle. The LIDAR measuring system 7 has the transmission unit 3 , a reception unit 8 , transmission optics 9 , reception optics 10 and electronics 11 . The transmission unit 3 is designed as a transmission chip 13 on which a plurality of emitter elements 5 are arranged in a transmission matrix 4 in one plane. The transmission unit 3 is designed in a focal plane array configuration. This means that the transmission chip 13 and the emitter elements 5 are arranged on a flat plane, which is arranged in the focal point or the focal plane of the transmission optics 9 . The emitter elements 5 can each be in the form of surface emitters, such as a vertical cavity surface emitting laser (VCSEL). The receiving unit 8 is designed as a receiving chip 14 on which a plurality of receiving elements 15 are arranged in a receiving matrix in one plane. The receiving unit 8 is formed in a focal plane array configuration. This means that the receiving chip 14 and the receiving elements 15 are arranged on a flat plane, which is arranged in the focal point or the focal plane of the receiving optics 10 . The receiving elements 15 can each be in the form of a single photon avalanche diode, such as a single photon avalanche diode (SPAD). A laser light emitted by an emitter element 5 (shown schematically in Fig.3 by the line shown on the right side of the sending unit 3) passes through the sending optics 9. A light impinging on a receiving element 15 (shown schematically in Fig.3 by the line shown on the right side of the receiving unit 8 illustrated) passes through the receiving optics 10. The transmitting optics 9 assigns each emitter element 5 a specific solid angle. The receiving optics 10 assigns each receiving element 15 a specific solid angle. An emitter element 5 emits laser light 16 in the form of a laser pulse 16 at the start of a measurement cycle. The reflected laser pulse 16 is directed through the receiving optics 10 to the associated receiving element 15 . The associated receiving element 15 detects the incoming laser pulse 16, it being possible for triggering to be read out with a corresponding evaluation device and for example to be written into a histogram. Through the determined running time of the laser pulse 16 the distance to the object can be determined. Furthermore, the speed of the object can be determined by a time resolution. The course of a measuring cycle is controlled by the electronics 11 . The electronics 11 are designed in particular as a device 11 for controlling the emitter elements 5 and the receiving elements 15 . The electronics 11 can have or be a time control unit. The time control unit is used for the time-controlled activation and/or deactivation of the emitter elements 5 of the transmitting unit 3. The time control unit can also be used for the time-controlled activation and/or deactivation of the receiving elements 15 of the receiving unit 8. The electronics 11 thus controls the activation and deactivation of the individual emitter elements 5. The timing can have a timing controller. The time control unit controls the precise observance of the waiting times t n or t n +Δt x between the activation of the individual emitter elements 5. The electronics 11 are set up and intended to carry out the method described above and/or below. For this purpose, the electronics 11 have a processor and a memory. A computer program product with data records which causes the electronics 11 to carry out the method described above and/or below is stored in the memory of the electronics. In addition, reference is made in particular to FIGS. 1 and 2 and the associated description. In particular, “may” denotes optional features of the invention. Accordingly, there are also developments and/or exemplary embodiments of the invention which additionally or alternatively have the respective feature or features. If necessary, isolated features can also be selected from the combinations of features disclosed here and combined with other features to delimit the claim, eliminating any structural and/or functional connection that may exist between the features. subject to be used. The order and/or number of all steps of the method can be varied.
Bezugszeichen 1 Schritt zum Aktivieren der Empfangszeile 2 Schritt zum Aktivieren der Emitterelemente 3 Sendeeinheit 4 Sendematrix 5 Emitterelemente 6 Emitteruntermenge 7 LIDAR-Messsystem 8 Empfangseinheit 9 Sendeoptik 10 Empfangsoptik 11 Elektronik 13 Sendechip 14 Empfangschip 15 Empfangselemente 16 Laserlicht 17 Objekt tn, tn+Δtx Wartezeiten Z1, Z2, Z3, ..., Zn Emitterzeilen S1, S2, S4, S4, ..., Sn Emitterspalten Reference numeral 1 step for activating the receiving line 2 step for activating the emitter elements 3 transmitting unit 4 transmitting matrix 5 emitter elements 6 emitter subset 7 LIDAR measuring system 8 receiving unit 9 transmitting optics 10 receiving optics 11 electronics 13 transmitting chip 14 receiving chip 15 receiving elements 16 laser light 17 object t n , t n +Δt x waiting times Z 1 , Z 2 , Z 3 , ..., Z n emitter rows S 1 , S 2 , S 4 , S 4 , ..., S n emitter columns

Claims

Patentansprüche 1. Verfahren zur Ansteuerung von Emitterelementen (5) eines LIDAR-Messsystems (7), das in einer Focal-Plane-Array Anordnung ausgebildet ist, wobei die Emitterele- mente (5) einer Emitteruntermenge (6) nacheinander aktiviert werden, wobei das jeweils folgende Emitterelement (5) der Emitteruntermenge (6) erst nach dem Ende einer Wartezeit (tn, tn+Δtx) aktiviert wird. Claims 1. A method for controlling emitter elements (5) of a LIDAR measuring system (7), which is formed in a focal plane array arrangement, wherein the emitter elements (5) of an emitter subset (6) are activated one after the other, wherein the each following emitter element (5) of the emitter subset (6) is only activated after the end of a waiting time (t n , t n +Δt x ).
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Wartezeiten (tn, tn+Δtx), insbesondere innerhalb der Emitteruntermenge (6), aufeinanderfolgender Emitterelemente (5) unterscheiden. 2. The method as claimed in claim 1, characterized in that the waiting times (t n , t n +Δt x ), in particular within the emitter subset (6), of successive emitter elements (5) differ.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Wartezeit (tn, tn+Δtx) für jedes, insbesondere innerhalb der Emitteruntermenge (6), folgende Emitterelement (5) zunimmt oder abnimmt. 3. The method as claimed in claim 1 or 2, characterized in that the waiting time (t n , t n +Δt x ) increases or decreases for each subsequent emitter element (5), in particular within the emitter subset (6).
4. Verfahren nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Emitterelemente (5) der Emitteruntermenge (6) nacheinan- der aktiviert und deaktiviert werden. 4. The method according to at least one of the preceding claims, characterized in that the emitter elements (5) of the emitter subset (6) are activated and deactivated one after the other.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass ein nachfolgendes Emitterelement (5) erst nach der Deaktivierung des vorangegangenen Emitterele- ments (5) und nach dem Ende der Wartezeit (tn, tn+Δtx) aktiviert wird. 5. The method according to claim 4, characterized in that a subsequent emitter element (5) only after the deactivation of the preceding emitter element (5) and after the end of the waiting time (t n , t n + Δt x ) is activated.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Wartezeit (tn, tn+Δtx) zum Zeitpunkt der Deaktivierung des vorangegangenen Emitterelements (5) beginnt. 6. The method according to claim 5, characterized in that the waiting time (t n , t n + Δt x ) begins at the time of deactivation of the preceding emitter element (5).
7. Verfahren nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Emitterelement (5), insbesondere das erste Emitterelement (5), einer folgenden Emitteruntermenge (6) erst aktiviert wird, wenn das letzte Emitterelement (5) der dieser Emitteruntermenge (6) vorangegangenen Emitterun- termenge (6) deaktiviert wurde. 7. The method according to at least one of the preceding claims, characterized in that an emitter element (5), in particular the first emitter element (5), of a following emitter subset (6) is only activated when the last emitter element (5) of this emitter subset (6 ) previous emitter subset (6) has been deactivated.
8. Verfahren nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass alle Emitterelemente (5) einer Emitterspalte (S1, S2, S4, S4, ..., Sn) oder einer Emitterzeile (Z1, Z2, Z3, ..., Zn) gleichzeitig aktiviert und/oder deaktiviert werden. 8. The method according to at least one of the preceding claims 1 to 6, characterized in that all emitter elements (5) of an emitter column (S 1 , S 2 , S 4 , S 4 , ..., S n ) or an emitter row (Z 1 , Z 2 , Z 3 , ..., Z n ) can be activated and/or deactivated simultaneously.
9. Verfahren nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Emitteruntermenge (6) eine Emitterzeile (Z1, Z2, Z3, ..., Zn) oder Emitterspalte (S1, S2, S4, S4, ..., Sn) ist. 9. The method according to at least one of the preceding claims, characterized in that the emitter subset (6) has an emitter row (Z 1 , Z 2 , Z 3 , ..., Z n ) or emitter columns (S 1 , S 2 , S 4 , S 4 , ..., S n ).
10. Verfahren nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Empfangselemente (5) des LIDAR-Messsystems (7) derart angesteuert werden, dass ein dem aktivierten Emitterelement (5) zugeordnetes Empfangselement (15) aktiviert ist oder wird, oder alle Empfangselemente (15) einer dem aktivierten Emitterelement (5) zugeordneten Empfangsuntermenge aktiviert sind oder werden. 10. The method according to at least one of the preceding claims, characterized in that receiving elements (5) of the LIDAR measuring system (7) are controlled in such a way that a receiving element (15) assigned to the activated emitter element (5) is or will be activated, or all receiving elements (15) of a receiving subset assigned to the activated emitter element (5) are or will be activated.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Empfangsun- termenge eine Empfangszeile oder Empfangsspalte ist. 11. The method of claim 10, characterized in that the receive subset is a receive row or receive column.
12. Vorrichtung (11) zur Ansteuerung von Emitterelementen (5) eines LIDAR- Messsystems (7), das in einer Focal-Plane-Array Anordnung ausgebildet ist, wobei die Vorrichtung (11) dazu eingerichtet und bestimmt ist, ein Verfahren nach wenigs- tens einem der vorhergehenden Ansprüche auszuführen. 12. Device (11) for controlling emitter elements (5) of a LIDAR measuring system (7), which is formed in a focal plane array arrangement, wherein the device (11) is set up and intended to use a method according to at least tens to execute one of the preceding claims.
13. LIDAR-Messsystem (7) mit einer Sendeeinheit (3) und einer Steuereinheit (11), wie Zeitsteuereinheit (11), zur zeitgesteuerten Aktivierung und/oder Deaktivierung von Emitterelementen (5) der Sendeeinheit (3). 13. LIDAR measuring system (7) with a transmitter unit (3) and a control unit (11), such as a time control unit (11), for the time-controlled activation and/or deactivation of emitter elements (5) of the transmitter unit (3).
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