WO2022059907A1

WO2022059907A1 - 가스 센서의 캘리브레이션 방법 및 장치

Info

Publication number: WO2022059907A1
Application number: PCT/KR2021/009878
Authority: WO
Inventors: 김재준; 오병주
Original assignee: 울산과학기술원
Priority date: 2020-09-17
Filing date: 2021-07-29
Publication date: 2022-03-24
Also published as: KR102365419B1

Abstract

실시예는 가스 센서의 센싱 저항 및 상기 센싱 저항을 측정하기 위해 사용되는 제1 저항의 저항값을 캘리브레이션하는 방법에 있어서, 초기의 제1 저항의 저항값을 저장하는 단계와, 상기 초기의 제1 저항의 저항값과 제2 저항의 저항값을 비교하고, 상기 제1 저항의 저항값과 상기 제2 저항의 저항값의 초기 비율을 저장하는 단계와, 상기 제1 저항의 저항값과 상기 제2 저항의 저항값의 비율을 주기적으로 체크하는 단계와, 상기 제1 저항의 저항값과 상기 제2 저항의 저항값의 비율이 상기 초기 비율과 차이가 발생되면, 상기 제1 저항의 저항값을 조절하여 상기 제1 저항의 저항값과 상기 제2 저항의 저항값의 초기 비율이 유지되도록 보정하는 단계를 포함할 수 있다.

Description

가스 센서의 캘리브레이션 방법 및 장치

실시예는 가스 센서의 캘리브레이션 방법 및 장치에 관한 것이다.

일반적으로 센서 시스템의 경우, 센싱 저항을 통해 센서 데이터를 센싱하고 있으며, 이때 센싱 저항의 저항값을 측정하기 위해, 반도체 칩 내부 또는 반도체 칩 외부에 구비된 측정 저항을 통해 센싱 저항의 저항 값을 확인하고 있다.

한편, 센서의 데이터값을 센싱하는 센싱 저항과 센싱 저항을 측정하기 위해 쓰이는 측정 저항은 온도에 따라 값이 변화되는데 이때, 센싱저항 및 측정 저항의 온도 값에 따른 변화율은 서로 다르기 때문에 이를 보정하는 회로 또는 백그라운드 캘리브레이션(background calibration)을 필요로 하고 있는 실정이다.

그러나, 최근 센서의 작동시간이 길어짐에 따라 칩 및 센서에 노화가 발생되면, 센서 및 칩 내부의 저항 특성이 달라지게 되었고 기존에 적용했던 캘리브레이션 시스템에서 보상을 위한 데이터를 구할 때는 센서 및 칩 노화에 따른 저항 특성은 고려되지 않기 때문에 센서 데이터 측정에 오차가 발생하게 되었다.

따라서, 센서 및 칩의 노화에 따른 저항 특성이 고려되어 센서 데이터 변화 값을 보상할 수 있는 기술이 필요한 실정이다.

상술한 문제점을 해결하기 위해, 실시예는 히터 저항의 온도값에 따른 성능 저하를 방지하기 위한 가스 센서의 캘리브레이션 방법 및 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

또한, 실시예는 측정 저항의 노화에 따른 오동작을 방지하기 위한 가스 센서의 캘리브레이션 방법 및 장치를 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.

상기 제2 저항의 저항값은 상기 제1 저항의 저항값과 동일하게 설정될 수 있다.

상기 제1 저항과 상기 제2 저항은 동일한 칩 내부에 배치될 수 있다.

상기 제2 저항은 상기 제1 저항의 일단에 연결될 수 있다.

또한, 실시예의 가스 센서의 캘리브레이션 방법은 가스 센서의 히터 저항에 공급하는 전류를 주기적으로 수집하는 단계와, 상기 히터 저항에 공급할 기준 전압을 생성하는 단계와, 상기 히터 저항에 흐르는 전류를 이용하여 계산된 상기 히터 저항에 흐르는 전압과 상기 기준 전압을 비교하는 단계와, 상기 히터 저항에 흐르는 전압과 상기 기준 전압의 차이가 발생되면, 상기 히터 저항의 초기 저항값을 유지하도록 상기 기준 전압을 조정하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 가스 센서의 히터 저항에 흐르는 전압을 주기적으로 수집하는 단계에서, 상기 히터 저항에 흐르는 전압은 상기 히터 저항에 전류를 공급하고, 상기 히터 저항에 걸리는 전류값에 의해 계산될 수 있다.

또한, 실시예의 가스 센서의 캘리브레이션 장치는 센싱 저항을 포함하는 가스 센서와, 상기 가스 센서의 히터 저항의 온도를 제어하는 히터 제어부와, 상기 센싱 저항을 측정하기 위해 사용되는 측정 저항의 저항값을 이용하여 가스 농도를 측정하는 가스 검출부와, 상기 측정 저항을 캘리브레이션 및 상기 히터 저항을 캘리브레이션하는 제어부를 포함할 수 있다.

상기 측정 저항은 제1 저항과 제2 저항을 포함하고, 상기 제어부는 초기의 제1 저항의 저항값을 저장하고, 상기 초기의 제1 저항의 저항값과 상기 제1 저항과 제2 저항의 저항값을 비교하고, 상기 제1 저항의 저항값과 상기 제2 저항의 저항값의 초기 비율을 저장하고, 상기 제1 저항의 저항값과 상기 제2 저항의 저항값의 비율을 주기적으로 체크하고, 상기 제1 저항의 저항값과 상기 제2 저항의 저항값의 비율이 상기 초기 비율과 차이가 발생되면, 상기 제1 저항의 저항값을 조절하여 상기 제1 저항의 저항값과 상기 제2 저항의 저항값의 초기 비율이 유지되도록 보정하는 측정 저항을 캘리브레이션하도록 제어할 수 있다.

상기 제2 저항의 저항값은 상기 제1 저항의 저항값과 동일할 수 있다.

상기 제2 저항은 상기 제1 저항의 일단에 연결될 수 있다.

상기 제어부는 가스 센서의 히터 저항에 공급하는 전류를 주기적으로 수집하고, 상기 히터 저항에 공급할 기준 전압을 생성하고, 상기 히터 저항에 흐르는 전류를 이용하여 계산된 상기 히터 저항에 흐르는 전압과 상기 기준 전압을 비교하고, 상기 히터 저항에 흐르는 전압과 상기 기준 전압의 차이가 발생되면, 상기 히터 저항의 초기 저항값을 유지하도록 상기 기준 전압을 조정하여 상기 히터 저항을 캘리브레이션하도록 제어할 수 있다.

실시예는 측정 저항을 주기적으로 센싱하여 캘리브레이션 함으로써, 측정 저항의 노화로 인해 가스 검출 성능이 저하되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

또한, 실시예는 히터 저항의 온도를 캘리브레이션 함으로써, 가스 검출 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 실시예에 따른 가스 센서의 캘리브레이션 방법을 수행하는 가스 센서의 캘리브레이션 장치를 나타낸 구성도이다.

도 2 및 도 3은 실시예에 따른 측정 저항을 캘리브레이션 하는 방법을 설명하기 위한 회로도이다.

도 4는 실시예에 따른 가스 센서의 히터 저항을 캘리브레이션 하는 방법을 설명하기 위한 회로도이다.

도 5 내지 도 8은 가스를 검출하기 위한 동작을 설명하기 위한 회로도이다.

이하, 도면을 참조하여 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 1을 참조하면, 실시예에 따른 가스 센서 캘리브레이션 장치(100)는 히터 제어부(100)와 가스 검출부(200)와 제어부(300)를 포함할 수 있다.

히터 제어부(100)는 외부 가스 센서(400)의 히터 저항의 온도를 제어하는 역할을 한다. 가스 검출부(200)는 가스 센서(400)로부터 측정된 센서 저항을 측정 저항을 이용하여 가스 농도를 측정할 수 있다. 가스 검출부(200)는 오토 모드 및 칩 캘리브레이션 모드 선택부(210)를 포함할 수 있다. 가스 검출부(200)는 가스 검출기(Coarse Gas Detector)를 포함하여 가스를 검출할 수 있다. 여기서, 히터 제어부(100)의 가스 검출부(200)는 원칩 형태로 형성될 수 있다.

제어부(300)는 가스 검출을 위한 칩 내의 변수 및 동작들을 조정하며, 실시예에 따른 측정 저항 및 히터 저항의 온도를 캘리브레이션 하기 위한 동작들을 제어할 수 있다. 제어부(300)는 외부 정보를 수집 또는 제공하기 위한 통신 수단(500)을 포함할 수 있다. 통신 수단(500)으로는 블루투스, LTE 모듈을 포함할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.

이하에서는 도 2 및 도 3을 참조하여, 가스 센서의 센싱 저항 및 상기 센싱 저항을 측정하기 위해 사용되는 측정 저항의 저항값을 캘리브레이션하는 방법에 대해 상세히 설명하기로 한다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 측정 저항(R_DAC)을 캘리브레이션 하는 방법은 가스 센싱 모드와 보정 모드를 포함할 수 있다. 도 2는 가스 센싱 모드의 모식도를 나타내며, 도 3은 보정 모드 모식도를 나타낼 수 있다. 가스 센싱 모드와 보정 모드는 제1 스위치(S_SENSE)와 제2 스위치(S_CAL)의 동작에 의해 모드가 전환될 수 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 가스 센싱 모드에서는 측정 저항(R_DAC)과 Comparator & ADC(212)를 통해 가스 센서의 저항(R_SENSOR) 및 전류(I_SENSOR)를 판단하여 가스 농도를 추정할 수 있다. 여기서, Comparator & ADC는 별도의 구성일 수 있으나, 설명의 편의상 하나의 구성으로 표시하였다.

하지만, 칩 안의 측정 저항(R_DAC)은 사용 빈도 및 시간이 지남에 따라 저항 값들이 변하게 되고 이러한 변화치를 추산할 필요가 있다. 이에 실시예에서는 보정 모드를 수행할 수 있다.

도 3에 도시된 바와 같이, 보정 모드에서는 제어부는 제1 측정저항(R_DAC)의 저항값을 저장할 수 있다. 제1 측정저항(R_DAC)의 저항값은 ADC(212)를 통해 변환되어 제어부(300)에 저장될 수 있다.

제어부(300)는 제1 측정저항(R_DAC)의 저항값과 제2 측정저항(R_CAL)의 저항값의 비교된 값을 저장할 수 있다. 여기서, 제2 측정저항(R_CAL)은 사용자에 의해 미리 설정된 값일 수 있으며, 제1 측정저항(R_DAC)과 동일하게 설정될 수 있다. 제2 측정저항(R_CAL)은 제1 측정저항(R_DAC)의 일측에 연결될 수 있다. 제1 측정저항(R_DAC)과 제2 측정저항(R_CAL)은 가변 저항일 수 있다.

제1 측정저항(R_DAC)의 저항값과 제2 측정저항(R_CAL)의 저항값의 비교는 비교부(Comparator, 212)에 의해 수행될 수 있다. 제어부(300)는 제1 측정저항(R_DAC)의 저항값과 제2 측정저항(R_CAL)의 저항값의 초기 비율을 저장할 수 있다.

제어부(300)는 제1 측정저항(R_DAC)의 저항값을 주기적으로 체크하여 저장할 수 있다. 제어부(300)는 제1 측정저항(R_DAC)의 저항값과 제2 측정저항(R_CAL)의 저항값의 비율이 초기 비율과 차이가 발생되면 제1 측정저항(R_DAC)의 저항값을 조절할 수 있다.

예컨대, 제1 측정저항(R_DAC)의 저항값과 제2 측정저항(R_CAL)의 저항값의 비율의 초기 비율이 1:1일 경우, 다음 측정시 제1 측정저항(R_DAC)의 저항값과 제2 측정저항(R_CAL)의 저항값의 비율의 차이가 발생될 수 있다. 그 이유는 제1 측정저항(R_DAC)은 지속적으로 사용됨에 따라 노화가 발생되어 성능이 저하되기 때문이다. 반면, 제2 측정저항(R_CAL)은 보정 모드에서만 사용되기 때문에 노화에 의해 성능이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

따라서, 제어부(300)는 제1 측정저항(R_DAC)의 저항값과 제2 측정저항(R_CAL)의 저항값의 비율이 1:1을 유지하도록 캘리브레이션을 수행할 수 있다. 이를 위해 제1 측정저항(R_DAC)의 저항값을 높여 제1 측정저항(R_DAC)의 저항값과 제2 측정저항(R_CAL)의 저항값의 비율이 1:1이 되도록 할 수 있다.

이러한 보정 모드는 ADC의 입력에 해당하는 노드가 제1 측정저항(R_DAC)의 변화에도 크게 변화하지 않으므로 높은 선형성을 가질 수 있고, 전류 DAC을 측정할 때에도 VDS 변화에 따른 전류량이 크게 변화하지 않아 정확한 전류 노후화 측정이 가능할 수 있다.

상기와 같이, 실시예는 측정 저항이 노화로 인한 가스 검출 성능이 저하되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

도 4에 도시된 바와 같이, 제어부(300)는 Current DAC에 의해 히터 저항(R_Heat)에 공급하는 전류를 주기적으로 수집할 수 있다. Current DAC에 의해 생성된 전류는 히터 저항(R_Heat)에 공급되고, 전류와 히터 저항(R_Heat)의 저항값에 의해 히터 저항(R_Heat)에 흐르는 전압값을 계산할 수 있다.

여기서, 히터 저항(R_Heat)은 수학식 1과 같이 히터 온도에 영향을 받을 수 있다.

[수학식 1]

(여기서, R(R_Heat)은 히터 저항, Ro는 물질의 고유 저항, Ta는 상온에서의 온도, Tp는 히터 저항의 온도, α와 β는 임의의 계수를 의미한다.)

제어부(300)는 히터 저항(R_Heat)이 최적의 온도로 유지될 수 있도록 R-2R DAC를 제어하여 기준 전압을 생성할 수 있다.

제어부(300)는 히터 저항(R_Heat)에 흐르는 전압값과 기준 전압을 비교할 수 있다. 히터 저항(R_Heat)에 흐르는 전압이 기준 전압과 차이가 발생하게 되면, 히터 저항(R_Heat)에 흐르는 전압값이 초기의 히터 저항(R_Heat)에 흐르는 전압에 가까워지도록 기준 전압을 조정할 수 있다.

상기와 같이, 실시예는 히터 저항(R_Heat)에 흐르는 온도를 조정하여 가스 검출 성능을 향상시킬 수 있다.

이하에서는 가스를 검출하기 위한 동작을 설명하기로 한다. 가스를 검출하기 위한 동작은 도 1의 가스 검출기에서 수행될 수 있다.

실시예에서는 센서 저항이 기존에 설계한 Rdac의 최대 저항(8k~2M)보다 높거나 낮은 경우를 커버하기 위해, 작은 LSB IDAC(I_{DAC1_S})과 RDAC (R_{DAC2_S})을 추가하였다.

도 5a에 도시된 바와 같이, 높은 저항(2M~112.5M)에서 가스 검출을 수행하기 위한 동작을 살펴보면, 먼저, 기존의 저항 센싱처럼 RDAC를 이용하여 센서 저항을 찾을 수 있다(Step 1).

만약 센서 저항 값이 RDAC 저항 범위를 넘어가게 되어 저항 디지털 코드 값이 최대가 나오게 되면, LSB IDAC(I_{DAC1_S})를 센서 저항에 연결하여 Vcm에 가깝도록 SAR logic을 통해 conversion 진행할 수 있다(Step 2). 이때, R_DAC2의 크기는 2M로 고정할 수 있다.

가스 센서 저항 R_sense로 흐르는 전류는 I_{DAC1_S}에서 R_DAC2로 흐르는 전류를 뺀 값이므로 이를 통해 가스 센서 저항 값을 얻을 수 있다. 또한, CDS와 ADC를 통한 정밀한 conversion은 Vref 노드에 Vcm을 연결하여 얻을 수 있다.

이러한 방법으로 큰 저항의 가스 센서를 센싱하는 경우, R_DAC2가 고정되어 있어 R_sense와 병렬연결이 되므로 V_sense가 R_sense에 의해 크게 변화하지 않는다. I_{DAC1_S}가 흘리는 전류가 V_DS에 의해 크게 변화하지 않으므로 정확한 센싱이 가능한 효과가 있다.

도 6에 도시된 바와 같이, 낮은 저항(40~10.2k)에서 가스 검출을 수행하기 위한 동작을 살펴보면, 먼저, 기존의 저항 센싱처럼 RDAC을 이용하여 센서 저항을 찾을 수 있다(Step 1).

만약 센서 저항 값이 RDAC 저항 범위를 넘어가게 되어 저항 디지털 코드 값이 최소가 나오게 되면, LSB RDAC(R_{DAC2_S})를 센서 저항에 연결하여 Vcm에 가깝도록 SAR logic을 통해 conversion 진행할 수 있다(Step 2).

CDS와 ADC를 통한 정밀한 conversion은 Vref 노드에 Vcm을 연결하여 얻을 수 있다.

도 7에 도시된 바와 같이, 높은 전류(102㎂~22.5㎃)에서 가스 검출을 수행하기 위한 동작을 살펴보면, 센서 전류가 기존에 설계한 Idac의 최대 전류(500n~128uA)보다 높거나 낮은 경우를 커버하기 위해, 작은 LSB IDAC(I_{DAC1_S})과 RDAC (R_{DAC2_S})을 추가 하였다.

먼저, 기존의 전류 센싱처럼 RDAC을 이용하여 센서 전류를 찾을 수 있다(Step 1).

만약 센서 전류 값이 너무 커서 최소 RDAC 저항 디지털 코드 값이 나오게 되면, LSB RDAC(R_{DAC2_S})를 센서 전류에 연결하여 Vcm에 가깝도록 SAR logic을 통해 conversion 진행할 수 있다(Step 2).

도 8에 도시된 바와 같이, 낮은 전류(8㎁~2.048㎂)에서 가스 검출을 수행하기 위한 동작을 살펴보면, pre setting을 위해 LSB IDAC (I_{DAC1_S})을 RDAC2(2M)에 연결하여 전류 센서의 전류가 '0'일 때, LSB IDAC (I_{DAC1_S})값 SAR logic을 통해 얻고 MCU 저장할 수 있다.

만약 센서 전류 값이 너무 작아서 최대 RDAC 저항 디지털 코드 값이 나오게 되면, LSB IDAC(I_{DAC1_S})를 RDAC과 전류 센서에 연결하여 Vcm에 가깝도록 SAR logic을 통해 conversion 진행할 수 있다(Step 2).

이 때, 얻어진 LSB IDAC의 디지털 값은 센서 전류가 '0'일 때 얻어 진 값에서 센서 전류값 만큼 감소된 값이 될 것이고, 이를 통해 센서 전류를 확인할 수 있다.

본 문서의 다양한 실시예들은 기기(machine)(예: 컴퓨터)로 읽을 수 있는 저장 매체(machine-readable storage media)(예: 메모리(내장 메모리 또는 외장 메모리))에 저장된 명령어를 포함하는 소프트웨어(예: 프로그램)로 구현될 수 있다. 기기는, 저장 매체로부터 저장된 명령어를 호출하고, 호출된 명령어에 따라 동작이 가능한 장치로서, 개시된 실시예들에 따른 전자 장치를 포함할 수 있다. 상기 명령이 제어부에 의해 실행될 경우, 제어부가 직접, 또는 상기 제어부의 제어하에 다른 구성요소들을 이용하여 상기 명령에 해당하는 기능을 수행할 수 있다. 명령은 컴파일러 또는 인터프리터에 의해 생성 또는 실행되는 코드를 포함할 수 있다. 기기로 읽을 수 있는 저장매체는, 비일시적(non-transitory) 저장매체의 형태로 제공될 수 있다. 여기서, 비일시적은 저장매체가 신호(signal)를 포함하지 않으며 실재(tangible)한다는 것을 의미할 뿐 데이터가 저장매체에 반영구적 또는 임시적으로 저장됨을 구분하지 않는다.

실시예에 따르면, 본 문서에 개시된 다양한 실시예들에 따른 방법은 컴퓨터 프로그램 제품(computer program product)에 포함되어 제공될 수 있다.

일 실시예에 따르면, 컴퓨터 판독 가능한 기록매체에 저장되어 있는 컴퓨터 프로그램으로서, 초기의 제1 저항의 저항값을 저장하는 단계와, 상기 초기의 제1 저항의 저항값과 제2 저항의 저항값을 비교하고, 상기 제1 저항의 저항값과 상기 제2 저항의 저항값의 초기 비율을 저장하는 단계와, 상기 제1 저항의 저항값과 상기 제2 저항의 저항값의 비율을 주기적으로 체크하는 단계와, 상기 제1 저항의 저항값과 상기 제2 저항의 저항값의 비율이 상기 초기 비율과 차이가 발생되면, 상기 제1 저항의 저항값을 조절하여 상기 제1 저항의 저항값과 상기 제2 저항의 저항값의 초기 비율이 유지되도록 보정하는 단계를 수행하기 위한 동작을 포함하는 방법을 프로세서가 수행하도록 하기 위한 명령어를 포함할 수 있다.

다른 실시예에 따르면, 컴퓨터 판독 가능한 기록매체에 저장되어 있는 컴퓨터 프로그램으로서, 가스 센서의 히터 저항에 공급하는 전류를 주기적으로 수집하는 단계와, 상기 히터 저항에 공급할 기준 전압을 생성하는 단계와, 상기 히터 저항에 흐르는 전류를 이용하여 계산된 상기 히터 저항에 흐르는 전압과 상기 기준 전압을 비교하는 단계와, 상기 히터 저항에 흐르는 전압과 상기 기준 전압의 차이가 발생되면, 상기 히터 저항의 초기 저항값을 유지하도록 상기 기준 전압을 조정하는 단계를 수행하기 위한 동작을 포함하는 방법을 프로세서가 수행하도록 하기 위한 명령어를 포함할 수 있다.

상기에서는 도면 및 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 실시예의 기술적 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 실시예는 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음은 이해할 수 있을 것이다.

Claims

가스 센서의 센싱 저항 및 상기 센싱 저항을 측정하기 위해 사용되는 제1 저항의 저항값을 캘리브레이션하는 방법에 있어서,

초기의 제1 저항의 저항값을 저장하는 단계;

상기 초기의 제1 저항의 저항값과 제2 저항의 저항값을 비교하고, 상기 제1 저항의 저항값과 상기 제2 저항의 저항값의 초기 비율을 저장하는 단계;

상기 제1 저항의 저항값과 상기 제2 저항의 저항값의 비율을 주기적으로 체크하는 단계; 및

상기 제1 저항의 저항값과 상기 제2 저항의 저항값의 비율이 상기 초기 비율과 차이가 발생되면, 상기 제1 저항의 저항값을 조절하여 상기 제1 저항의 저항값과 상기 제2 저항의 저항값의 초기 비율이 유지되도록 보정하는 단계

를 포함하는 가스 센서의 캘리브레이션 방법.
제1항에 있어서,

상기 제2 저항의 저항값은 상기 제1 저항의 저항값과 동일한 가스 센서의 캘리브레이션 방법.
제1항에 있어서,

상기 제1 저항과 상기 제2 저항은 동일한 칩 내부에 배치되는 가스 센서의 캘리브레이션 방법.
제3항에 있어서,

상기 제2 저항은 상기 제1 저항의 일단에 연결되는 가스 센서의 캘리브레이션 방법.
가스 센서의 히터 저항에 공급하는 전류를 주기적으로 수집하는 단계;

상기 히터 저항에 공급할 기준 전압을 생성하는 단계;

상기 히터 저항에 흐르는 전류를 이용하여 계산된 상기 히터 저항에 흐르는 전압과 상기 기준 전압을 비교하는 단계; 및

상기 히터 저항에 흐르는 전압과 상기 기준 전압의 차이가 발생되면, 상기 히터 저항의 초기 저항값을 유지하도록 상기 기준 전압을 조정하는 단계;

를 포함하는 가스 센서의 캘리브레이션 방법.
센싱 저항을 포함하는 가스 센서;

상기 가스 센서의 히터 저항의 온도를 제어하는 히터 제어부;

상기 센싱 저항을 측정하기 위해 사용되는 측정 저항의 저항값을 이용하여 가스 농도를 측정하는 가스 검출부; 및

상기 측정 저항을 캘리브레이션 및 상기 히터 저항을 캘리브레이션하는 제어부를 포함하는 가스 센서의 캘리브레이션 장치.
제6항에 있어서,

상기 측정 저항은 제1 저항과 제2 저항을 포함하고,

상기 제어부는 초기의 제1 저항의 저항값을 저장하고, 상기 초기의 제1 저항의 저항값과 상기 제1 저항과 제2 저항의 저항값을 비교하고, 상기 제1 저항의 저항값과 상기 제2 저항의 저항값의 초기 비율을 저장하고, 상기 제1 저항의 저항값과 상기 제2 저항의 저항값의 비율을 주기적으로 체크하고, 상기 제1 저항의 저항값과 상기 제2 저항의 저항값의 비율이 상기 초기 비율과 차이가 발생되면, 상기 제1 저항의 저항값을 조절하여 상기 제1 저항의 저항값과 상기 제2 저항의 저항값의 초기 비율이 유지되도록 보정하는 측정 저항을 캘리브레이션하도록 제어하는 가스 센서의 캘리브레이션 장치.
제7항에 있어서,

상기 제2 저항의 저항값은 상기 제1 저항의 저항값과 동일한 가스 센서의 캘리브레이션 장치.
제7항에 있어서,

상기 제1 저항과 상기 제2 저항은 동일한 칩 내부에 배치되는 가스 센서의 캘리브레이션 장치.
제9항에 있어서,

상기 제2 저항은 상기 제1 저항의 일단에 연결되는 가스 센서의 캘리브레이션 장치.
제6항에 있어서,

상기 제어부는 가스 센서의 히터 저항에 공급하는 전류를 주기적으로 수집하고, 상기 히터 저항에 공급할 기준 전압을 생성하고, 상기 히터 저항에 흐르는 전류를 이용하여 계산된 상기 히터 저항에 흐르는 전압과 상기 기준 전압을 비교하고, 상기 히터 저항에 흐르는 전압과 상기 기준 전압의 차이가 발생되면, 상기 히터 저항의 초기 저항값을 유지하도록 상기 기준 전압을 조정하여 상기 히터 저항을 캘리브레이션하도록 제어하는 가스 센서의 캘리브레이션 장치.