WO2021209082A1 - Verfahren zur verbesserung des ohmschen kontaktverhaltens zwischen einem kontaktgitter und einer emitterschicht einer siliziumsolarzelle - Google Patents

Verfahren zur verbesserung des ohmschen kontaktverhaltens zwischen einem kontaktgitter und einer emitterschicht einer siliziumsolarzelle Download PDF

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Hongming ZHAO
Stefan STÖCKEL
Eckehard Hofmüller
Eve KRASSOWSKI
Marko Turek
Christian Hagendorf
Stephan Grosser
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Ce Cell Engineering Gmbh
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Definitions

  • the invention relates to a method for improving the ohmic contact behavior between a contact grid and an emitter layer of a silicon solar cell. is applied between the contact grid and a back contact of the silicon solar cell and when this voltage is applied a point light source is guided over the sun-facing side of the silicon solar cell and treatment sections of sub-areas of the sun-facing side are illuminated and a treatment current flow is thus induced in the respective sub-area and this treatment current flow is based on the treatment section has a current density of 200 A / cm 2 to 20,000 A / cm 2 and acts on the partial area for 10 ns to 10 ms t.
  • a metal paste is applied to the front side coated with dielectric silicon nitride in the form of a contact grid using a screen printing process.
  • a tempering step at 800-900 ° C. is carried out after the application of the metal paste.
  • the silver of the metal paste diffuses through the silicon nitride layer into the emitter layer, supported by a glass frit contained in the metal paste.
  • the process control during the tempering step has a decisive influence on the formation of contacts. If the process is carried out correctly, the transition between the contact grid and the emitter layer is characterized by a low contact resistance.
  • DE 10 2018 001 057 A1 discloses a method for improving the ohmic contact behavior between a contact grid and an emitter layer of a silicon solar cell.
  • a silicon solar cell is electrically biased against its forward direction and scanned with a point light source.
  • a treatment current flow with a current density of the order of magnitude of 200 A / cm 2 to 20,000 A / cm 2 is generated in the respective illuminated sub-area of the solar cell.
  • the point light source is guided over the solar cell in such a way that the treatment current flow acts on the partial area for 10 ns to 10 ms.
  • This current flow caused by the interaction of the lighting and the voltage directed against the forward direction of the silicon solar cell results in an improvement in the ohmic contact behavior between the contact grid and the emitter layer of the silicon solar cell.
  • the solar cell has to be electrically characterized after the method has been applied.
  • a characterization can be, for example, the recording of the IU characteristic curve of the solar cell under irradiation in a sun simulator, the improvement in the contact behavior being derived from the series resistance of the silicon solar cell determined from the IU characteristic curve.
  • a measurement of the solar cell before and after the application of the known method makes the processing of the solar cells complex overall.
  • the application of the method to improve the ohmic contact behavior of individual solar cells can also lead to damage, since, for example, different parameters (for example a shorter exposure time of the current flow) would have to be set for individual subregions of these solar cells than for the rest of these solar cells.
  • the ohmic contact behavior between the contact grid and the emitter layer of the silicon solar cell can vary locally, which in principle entails a corresponding change in the parameters when using the known method. With the known method, such local variations of the parameters can be set. However, when the known method is used, the areas of the silicon solar cell in which a corresponding local variation of the parameters is necessary are not known.
  • the object of the invention is to improve the method for improving the ohmic contact behavior between a contact grid and an emitter layer of a silicon solar cell.
  • possible damage due to the use of unfavorable method parameters should be recognized.
  • this object is achieved with a method for improving the ohmic contact behavior between a contact grid and an emitter layer of a silicon solar cell with the features of claim 1.
  • Advantageous refinements are shown in claims 2 to 20.
  • a silicon solar cell with the emitter layer, the contact grid and a back contact is first provided.
  • a contacting device and a voltage source are used to apply a voltage, which is directed against the forward direction of the silicon solar cell and is smaller than the breakdown voltage of the silicon solar cell, by means of a contacting device and a voltage source.
  • a measuring step is carried out before and / or after the treatment step.
  • an electrical voltage is applied between the contact grid and the rear contact using the voltage source and the contacting device.
  • this voltage is applied, measurement sections of sub-areas of the side of the silicon solar cell facing the sun are illuminated with the point light source, the voltage and an illumination intensity being set so that a measuring current flow is induced in the respective sub-area, which, based on the measuring section, has a current density of 1 mA / cm 2 to 500 mA / cm 2 .
  • the measuring current flow at a given voltage and lighting intensity is recorded with an ammeter and stored assigned to the respective measurement section.
  • the current intensities measured for the respective measurement section are then available for further processing, for example for process monitoring, process control or quality control. Areas with good ohmic contact behavior between the contact grid and emitter layer or low local short-circuit currents stand out due to a higher current intensity compared to areas with a poorer ohmic Contact behavior. Since the current intensities are stored assigned to the respective measurement section and / or treatment section, spatially resolved information on the electrical properties of the silicon solar cell is available. This spatially resolved information can then be used as control variables for the treatment step. In the treatment step, a lighting intensity of the point light source and / or an exposure time of the lighting and / or a level of the voltage directed against the forward direction of the silicon solar cell during the lighting can be adapted to influence the treatment current flow.
  • the voltage applied in the measurement step is directed against the forward direction of the silicon solar cell and its amount is lower than the breakdown voltage of the silicon solar cell or the voltage applied in the measurement step is directed in the forward direction of the silicon solar cell.
  • the respective treatment current flow is also recorded with the current measuring device for at least some of the illuminated treatment sections during the treatment step and stored assigned to the respective treatment section.
  • the acquisition of the strength of the measuring current flow and the acquisition of the strength of the treatment current flow can optionally take place with respect to one another.
  • a measuring step can only be carried out before the treatment step, without the treatment current also being recorded in the treatment step and without the treatment step being followed by a further measuring step.
  • the treatment current flow can also only be recorded in the treatment step, without a measuring step occurring upstream or downstream of the treatment step at all. It is also possible for a measurement step to take place before and after the treatment step and for the treatment current flow to be recorded in the treatment step or for measurement current flows to be recorded only in the measurement steps preceding and following the treatment step without treatment currents being recorded in the treatment step.
  • the recorded and stored values of the treatment current flows are then available for further processing, for example for process monitoring, process control or quality control.
  • the strength of the measuring current flow is detected in the measuring step for a given voltage and a given lighting intensity. It is well known that an electrical measurement can be made even with constant current and Detection of the respective voltage can take place, so that the measuring step of the method according to the invention can also be carried out in such a way that a constant current flow is specified and the respective electrical voltage is recorded with a voltmeter and stored assigned to the respective measurement section or treatment section. Both forms of measurement are therefore to be regarded as equivalent in the subject matter of the invention.
  • the method according to the invention is also not limited to the storage of the current strengths of the measurement current flows or treatment current flows assigned to the respective measurement section or treatment section.
  • the storage can also take place in a converted form, for example as a current density, with the respective current strength being offset against the area of the measurement section, for example.
  • the current strength is stored as a resistance value based on the applied voltage, for example.
  • the voltage source and the contacting device in the measuring step can be the same as those used in the treatment step. This has the advantage that no further contacting device is necessary. However, the invention is not limited to this. In principle, a different contacting device and / or a different voltage source than the one used for recording the treatment current can also be used to record the measurement current flow. With regard to the point light source, too, it is of course advantageous to use the same point light source both in the treatment step and in the measuring step, although the invention is not limited to this and, in principle, different point light sources can also be used.
  • a recording of the measurement current flows after the treatment step can be used, for example, as a quality feature for the further processing of the silicon solar cell in the solar module.
  • the improvement in the ohmic contact behavior achieved by the treatment step can be determined in a spatially resolved manner.
  • An improvement in the ohmic contact behavior becomes visible with constant parameters for voltage and lighting intensity as an amplification of the measuring current flow.
  • the locally assigned treatment current flows measured in the treatment step can also be used for setting the parameters of the treatment step itself.
  • the current intensity assigned to a treatment section can be used as a control variable for setting the lighting intensity of the point light source and / or the exposure time of the lighting and / or the level of the voltage directed against the forward direction of the silicon solar cell when illuminating a subsequent treatment section in the same treatment step.
  • a first current intensity and, laterally, a second current intensity is recorded with the current measuring device and both current intensities are stored assigned to the treatment section. From these two current intensities, a current intensity gradient can then be calculated for the respective treatment section, which gradient can be used as a measure for the improvement of the ohmic contact behavior through the treatment step for each treatment section.
  • the current intensity gradient can be used either within a treatment step for regulating the parameters of a subsequent treatment section or also for a completely subsequent treatment step.
  • a reverse current of the silicon solar cell can also be recorded in the upstream and / or downstream measurement step and / or in the treatment step when the silicon solar cell is not illuminated and stored assigned to the respective treatment sections or measurement sections.
  • the value of the reverse current is suitable for evaluating possible damage to the silicon solar cell through application of the treatment step with unfavorable parameters.
  • the reverse current is assessed on the basis of a reference value which is compared, for example, with a reverse current value obtained from an electrical characterization of the silicon solar cell (eg recording an IU characteristic) obtained from an upstream electrical characterization of the method according to the invention.
  • the reverse current measured when applying the method according to the invention is higher than the reverse current value generated from the previous electrical characterization, this can be an indication of damage to the silicon solar cell due to unfavorable parameters when using the improvement method.
  • damage can be, for example, the generation of short circuits within the silicon solar cell, which can be seen in an increase in the reverse current of the silicon solar cell.
  • a reference value can also be a reverse current detected in the measurement step preceding the treatment step. Or the reverse current is measured in the treatment step before at least some of the treatment sections are illuminated.
  • deviations of the reverse current from the respective reference reverse current can also be used as a control variable for setting the lighting intensity and / or the exposure time of the lighting and / or the level of the voltage directed against the forward direction of the silicon solar cell when illuminating at least part of the treatment sections.
  • a sorting criterion for the silicon solar cell can also be created so that corresponding silicon solar cells can be withdrawn from the further processing method, for example in order not to to be installed in a solar module.
  • the voltage directed opposite to the forward direction which is smaller in magnitude than the Breakdown voltage of the silicon solar cell can also be varied.
  • a reverse current is thus determined for each predetermined voltage and is stored assigned to the respective measurement section or treatment section.
  • the type of damage to the silicon solar cell can be identified via the variation of the voltage directed against the forward direction, so that, for example, a distinction can be made between damage in the form of a crack in the silicon solar cell and damage resulting in increased charge carrier recombination.
  • the wavelength of the light radiation emitted by the point light source is advantageously changed and the current intensities for this light radiation are also recorded in the measurement step and / or treatment step and stored assigned to the respective section.
  • one and the same current measuring device can advantageously be used.
  • the invention is not restricted to this. Different measuring devices can also be used depending on the measuring range.
  • the current strengths of the treatment currents and the current strengths of the reverse currents are different by orders of magnitude, so that the use of two current measuring devices optimized for the respective area can be useful here.
  • the silicon solar cell with the emitter layer, the contact grid and a back contact is first provided.
  • This can, for example, be a polycrystalline silicon solar cell with the dimensions 15.7 cm x 15.7 cm, which is positioned on a processing table.
  • the contact grid is then electrically connected to one pole of a voltage source and the back contact to the other pole of the voltage source by means of a contacting device.
  • the contacting device can, for example, have spring contact pins which rest on the contact grid or the back contact of the silicon solar cell and are connected to the voltage source via cable connections.
  • a voltage directed in the forward direction of the silicon solar cell is applied via the contacting device with the voltage source between the contact grid and the rear contact.
  • a point light source can be, for example, a laser or a focused white light source.
  • the lighting induces a measuring current flow in the respective sub-area, the applied voltage and an illumination intensity of the point light source being set so that this measuring current flow has a current density of 1 mA / cm 2 to 500 mA / cm 2 in relation to the measuring section.
  • the light emitted by the point light source is now guided from measurement section to measurement section, with the applied voltage and the illumination intensity of the point light source being kept constant.
  • a current measuring device ammeter
  • the current flow in the silicon solar cell is measured for each measurement section, with the recorded current strengths of the respective measurement current flow being stored assigned to the respective measurement section.
  • the assignment of the measured current intensity to the respective measurement section takes place in that for the respective current intensity, for example, the position coordinates of this measurement section are also stored on the side of the silicon solar cell facing the sun.
  • a voltage directed counter to the forward direction of the silicon solar cell which is lower in magnitude than the breakdown voltage of the silicon solar cell, is then applied with the voltage source and the contacting device.
  • the point light source already used in the measuring step is then guided over the side of the silicon solar cell facing the sun, whereby treatment sections of partial areas of the side facing the sun are illuminated.
  • the lighting induces a current flow in the respective sub-area.
  • this current flow has a current density of 200 A / cm 2 to 20,000 A / cm 2 and is effective for 10 ns to 10 ms on the sub-area.
  • the current intensity and the exposure time are set within this parameter window via a movement speed of the point light source in relation to the silicon solar cell, an illumination intensity of the point light source and the level of the voltage directed against the forward direction of the silicon solar cell (but with a lower amount compared to the breakdown voltage).
  • This treatment step significantly improves the ohmic contact behavior between the contact fingers and the emitter layer of the silicon solar cell, particularly in areas that have high contact resistances between the contact grid and the emitter layer before the treatment step.
  • a further second measuring step analogous to the first measuring step, is carried out.
  • the current intensities of the measuring current flows are again recorded and stored assigned to the respective measuring section.
  • For each measurement section there is now a value for the strength of the measurement current flow before the treatment step and a value for the strength of the measurement current flow after the treatment step. From the change in the values of the respective measurement current, a spatially resolved quantification for the improvement of the ohmic contact behavior between the contact grid and the emitter layer is obtained.
  • the change calculated from the measurement current flows can also be stored and assigned to the respective measurement section.
  • the silicon solar cell can then be fed to a further treatment step.
  • this further treatment step for example, only those treatment segments are processed in which the corresponding measurement segments in the measurement steps have not yet reached the specified change in the measurement current flows and / or a specified target value for the measurement current flow.
  • the voltage applied in the measuring steps can either be directed against the forward direction of the silicon solar cell and its amount is lower than the breakdown voltage of the silicon solar cell or the voltage applied in the measuring steps is directed in the forward direction of the silicon solar cell.
  • the measuring steps are carried out analogously to the first exemplary embodiment.
  • the parameters for the voltage directed against the forward direction and the illumination intensity of the point light source are different based on those in the first Measurement step adjusted current strengths of the measurement current flows. Areas that show low amperage of the measuring current flow in the first measuring step are processed in the treatment step with a stronger treatment current flow and / or a longer exposure time of the treatment current flow than areas that already show a high amperage of the measuring current flow.
  • the increase in the flow of treatment current can be achieved by increasing the voltage directed against the forward direction and / or increasing the illumination intensity of the point light source.
  • An increase in the exposure time of the treatment current flow is controlled via a dwell time of the point light source at the respective treatment section.
  • the measuring current flows are recorded in the measuring steps when the measuring sections are illuminated and the treatment step is carried out accordingly.
  • the side of the silicon solar cell facing the sun is left unilluminated and, with the voltage source, a voltage directed opposite to the forward direction, which is lower in magnitude than the breakdown voltage of the silicon solar cell, via the contacting device applied between the contact grid and the back contact, so that when the voltage is applied, a reverse current of the silicon solar cell is detected with the ammeter.
  • This reverse current is then stored and assigned to the respective measurement sections.
  • the respective reverse current can then be used as a characteristic value for possible damage to the silicon solar cell as a result of the treatment step.
  • the reverse currents ascertained in the measured measurement sections are compared with a reference reverse current obtained from an electrical characterization of the silicon solar cell upstream of the method.
  • This electrical characterization can be, for example, the usual recording of the IU characteristic in the production process of the silicon solar cell when determining the solar cell efficiency.
  • the reverse current is advantageously measured in the measuring step before or after the illumination of all measuring sections.
  • the change in the reverse current determined in the second measuring step compared to the previously determined reference reverse current serves as a measure of the damage to the silicon solar cell generated by the treatment step. If the reverse current of the silicon solar cell increases after the treatment step, it can be concluded that the silicon solar cell has been damaged by the treatment step.
  • the procedure is carried out analogously to the third exemplary embodiment.
  • the reference reverse current is generated in the first measurement step.
  • the second measurement step before and / or after the illumination, at least a first part of the measurement sections, the side of the silicon solar cell facing the sun, is left unilluminated, so that when the voltage is applied, a reverse current of the silicon solar cell is recorded with the current measuring device.
  • the change in the reverse current detected in the second measuring step compared to the reverse current detected in the first measuring step then serves as a measure for possible damage to the silicon solar cell caused by the treatment step.
  • the actual current strengths of the treatment current flows are also recorded in the treatment step for at least some of the illuminated treatment sections and are stored assigned to the respective treatment section.
  • the current strength is recorded at the end of the time the current flow has applied to the respective sub-area.
  • the treatment currents recorded for the treatment sections serve as a measure of the improvement in the ohmic contact behavior between the contact grid and the emitter layer achieved by the treatment step.
  • the treatment sections are processed with identical parameters for the voltage and illumination intensity of the point light source directed against the forward direction of the silicon solar cell, areas with a better ohmic contact ratio between the contact grid and the emitter layer become visible because the current strengths are higher at the end of the treatment of the respective treatment section.
  • the treatment currents recorded and stored for the individual treatment sections are used, for example, in the further processing of the silicon solar cell as a quality feature.
  • the recorded and stored treatment currents can also be used to carry out a further treatment step, for example, in the further treatment step, the areas with low measured treatment currents are specifically processed again with changed parameters.
  • the changed parameters here are again the illumination intensity of the point light source and / or the exposure time of the illumination and / or the level of the voltage directed against the forward direction of the silicon solar cell.
  • a reference blocking current for the comparison with the blocking current determined in the second measuring step can also be determined in the treatment step.
  • the side of the silicon solar cell facing the sun is left unilluminated and the reverse current is detected when the voltage is applied, which is directed against the forward direction of the silicon solar cells.
  • both the reference blocking current and that after the processing of the treatment sections can only be measured in the treatment step.
  • the side of the silicon solar cell facing the sun is left unilluminated and the reverse current is detected when the voltage directed against the forward direction is applied.
  • the first part of the treatment sections is then gradually illuminated.
  • the side of the silicon solar cell facing the sun is again left unilluminated and the reverse current is detected again.
  • the value of the reverse current detected before the illumination of the first part of the treatment sections then serves as a reference value for the reverse current detected after the illumination of the first part of the treatment sections.
  • the treatment sections lying along each line are illuminated one after the other.
  • the point light source is switched off or, when switched on, it is led away from the side of the solar cell facing the sun over the edge of the silicon solar cell, so that the side of the solar cell facing the sun is completely unlit and the reverse current can be detected when the voltage directed against the forward direction is applied.
  • the reverse current detected after a row has been illuminated in each case then serves as the reference reverse current for the reverse current generated after the lighting of a subsequent row. In this way, possible damage to the silicon solar cell can even be assigned to the processing of a specific line (or treatment sections).
  • the processing takes place analogously to the seventh exemplary embodiment.
  • a change in the reverse currents generated before and after the illumination of a line is used as a control variable for setting the parameters (illumination intensity of the point light source, exposure time of the illumination, level of the voltage directed against the forward direction) for the illumination of a following line in the processing step. If, for example, an increase in the reverse current is detected, the parameters (for example exposure time of the lighting) are changed when the following line is illuminated so that a further increase in the reverse current is avoided.
  • the voltage directed against the forward direction can also be varied, provided this is still lower in terms of amount than the breakdown voltage of the silicon solar cell.
  • a reverse current is thus determined for each predetermined voltage and is stored assigned to the respective measurement section or treatment section.
  • the treatment current flows recorded in the treatment step (cf. fifth exemplary embodiment) of the treatment sections are used to regulate the parameters in the processing of the following treatment sections.
  • the regulation takes place in such a way that the treatment current flow recorded during the processing of a treatment section is compared with a reference value. If the recorded treatment current flow is less than this reference value, for example, this can be a sign of an inadequate improvement in the ohmic contact behavior between the contact grid and the emitter layer. In a treatment section following this, the parameters for the illumination of this treatment section are therefore adapted accordingly.
  • a first current intensity is initially used here for each treatment section when it is illuminated, followed by a second Amperage is detected with the ammeter and both amperages are stored assigned to the treatment section.
  • the change (gradient) in the current strength is used as a measure for improving the ohmic contact behavior between the contact grid and the emitter layer.
  • the increase in the current intensity during the illumination of a treatment section indicates an improvement in the ohmic contact behavior. An only slight or no increase in the current strength indicates only a slight or no improvement in the ohmic contact behavior.
  • the change in the current intensity during the illumination of a treatment section is therefore used to regulate the parameters (illumination intensity of the point light source, exposure time of the lighting, level of the voltage directed against the forward direction) of at least one subsequent treatment section.
  • the gradient of the current intensity is also stored and assigned to the respective treatment segment.
  • the wavelength of the light radiation emitted by the point light source is optionally changed, the reflected portion being recorded for predetermined wavelengths and stored assigned to the respective section.
  • the wavelength of the light radiation emitted by the point light source is also optionally changed when the current strengths of the measurement current flows and / or the treatment current flows are recorded, with the current strengths of the measurement current flows and / or the treatment current flows being recorded for specified wavelengths and stored assigned to the respective section.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens zwischen einem Kontaktgitter und einer Emitterschicht einer Siliziumsolarzelle, wobei in einem Behandlungsschritt unter Vorspannung und Beleuchtung der Siliziumsolarzelle ein Behandlungsstromfluss mit einer auf den Behandlungsausschnitt bezogenen Stromdichte von 200 A/cm2 bis 20.000 A/cm2 induziert wird. Aufgabe der Erfindung ist es, das Verfahren zur Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens zwischen einem Kontaktgitter und einer Emitterschicht einer Siliziumsolarzelle zu verbessern. Insbesondere soll bei der Durchführung des Verfahrens eine Quantifizierung der durch das Verfahren erreichten Verbesserung möglich sein. Weiterhin soll bei der Durchführung des Verfahrens eine mögliche Schädigung durch Anwendung ungünstiger Verfahrensparameter erkannt werden. Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, dass vor und/oder nach dem Behandlungsschritt ein Messschritt ausgeführt wird und bei diesem Messschritt über eine Beleuchtung der sonnenzugewandten Seite der Siliziumsolarzellen und eine Vorspannung ein Messstromfluss mit einer Stromstärke von 1 mA/cm2 bis 500 mA/cm2 induziert wird und eine Stromstärke dieses Messstromflusses mit einem Strommessgerät erfasst und dem jeweiligen Messausschnitt zugeordnet abgespeichert wird.

Description

Verfahren zur Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens zwischen einem Kontaktgitter und einer Emitterschicht einer Siliziumsolarzelle
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens zwischen einem Kontaktgitter und einer Emitterschicht einer Siliziumsolarzelle, wobei in einem Behandlungsschritt mit einer Spannungsquelle und einer damit verbundenen Kontaktiereinrichtung eine entgegen der Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichtete Spannung, die betragsmäßig geringer ist als die Durchbruchsspannung der Siliziumsolarzelle, zwischen dem Kontaktgitter und einem Rückkontakt der Siliziumsolarzelle angelegt wird und beim Anliegen dieser Spannung eine Punktlichtquelle über die sonnenzugewandte Seite der Siliziumsolarzelle geführt wird und dabei Behandlungsausschnitte von Teilbereichen der sonnenzugewandten Seite beleuchtet werden und damit ein Behandlungsstromfluss in dem jeweiligen Teilbereich induziert wird und dieser Behandlungsstromfluss bezogen auf den Behandlungsausschnitt eine Stromdichte von 200 A/cm2 bis 20.000 A/cm2 hat und für 10 ns bis 10 ms auf den Teilbereich einwirkt.
Im Zuge des Herstellungsprozesses von kristallinen Siliziumsolarzellen wird eine Metallpaste auf die mit dielektrischem Siliziumnitrid beschichtete Frontseite in Form eines Kontaktgitters im Siebdruckverfahren aufgetragen. Für die Kontaktierung der unterhalb der Siliziumnitridschicht liegenden Emitterschicht der Siliziumsolarzelle wird nach dem Aufträgen der Metallpaste ein Temperschritt bei 800 - 900 °C durchgeführt. Dabei diffundiert das Silber der Metallpaste unterstützt durch eine in der Metallpaste enthaltene Glasfritte durch die Siliziumnitridschicht in die Emitterschicht ein. Die Prozessführung während des Temperschrittes hat dabei einen entscheidenden Einfluss auf die Kontaktausbildung. Bei einer korrekten Prozessführung ist der Übergang zwischen dem Kontaktgitter und der Emitterschicht von einem niedrigen Kontaktwiderstand gekennzeichnet. Bei einer fehlerhaften Prozessführung wird meist nur ein hoher Kontaktwiderstand erreicht. Werden im Temperschritt beispielsweise zu niedrige Temperaturen angewendet, kann die Metallpaste nicht im ausreichenden Maße durch die Siliziumnitridschicht diffundieren, womit sich nur eine geringe Kontaktfläche und damit ein hoher Kontaktwiderstand zwischen Kontaktgitter und Emitterschicht ausbildet. Hohe Kontaktwiderstände führen wiederum zu stark reduzierten Wirkungsgraden bei den Solarzellen, sodass diese dann nicht in Solarmodulen verbaut werden können und damit Ausschuss sind. Aus dem Stand der Technik ist aus DE 10 2018 001 057 A1 ein Verfahren zur Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens zwischen einem Kontaktgitter und einer Emitterschicht einer Siliziumsolarzelle bekannt. Hierbei wird in einem Behandlungsschritt eine Siliziumsolarzelle entgegen ihrer Vorwärtsrichtung elektrisch vorgespannt und mit einer Punktlichtquelle abgerastert. Dabei wird in dem jeweils beleuchteten Teilbereich der Solarzelle ein Behandlungsstromfluss mit einer Stromdichte der Größenordnung 200 A/cm2 bis 20.000 A/cm2 erzeugt. Die Punktlichtquelle wird dabei so über die Solarzelle geführt, dass der Behandlungsstromfluss für 10 ns bis 10 ms auf den Teilbereich einwirkt. Dieser durch das Zusammenspiel von der Beleuchtung und der entgegen der Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichteten Spannung hervorgerufene Stromfluss resultiert in einer Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens zwischen dem Kontaktgitter und der Emitterschicht der Siliziumsolarzelle.
Nachteilig ist allerdings, dass zur Quantifizierung der durch das Verfahren erreichten Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens die Solarzelle nach dem Anwenden des Verfahrens elektrisch charakterisiert werden muss. Eine derartige Charakterisierung kann beispielsweise die Aufnahme der IU-Kennlinie der Solarzelle unter Bestrahlung in einem Sonnensimulator sein, wobei die Verbesserung des Kontaktverhaltens aus dem aus der IU- Kennlinie bestimmten Serienwiderstand der Siliziumsolarzelle abgeleitet werden kann. Eine Vermessung der Solarzelle vor und nach dem Anwenden des bekannten Verfahrens macht das Prozessieren der Solarzellen insgesamt aber aufwändig. Weiterhin kann die Anwendung des Verfahrens zur Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens bei einzelnen Solarzellen auch zu einer Schädigung führen, da beispielsweise bei einzelnen Teilbereichen dieser Solarzellen andere Parameter (beispielsweise eine kürzere Einwirkdauer des Stromflusses) anzusetzen wäre als für den Rest dieser Solarzellen. Ebenso kann das ohmsche Kontaktverhalten zwischen dem Kontaktgitter und der Emitterschicht der Siliziumsolarzelle lokal variieren, was grundsätzlich eine entsprechende Veränderung der Parameter bei der Anwendung des bekannten Verfahrens nach sich zieht. Mit dem bekannten Verfahren sind derartige lokale Variationen der Parameter zwar einstellbar. Allerdings sind bei der Anwendung des bekannten Verfahrens die Bereiche der Siliziumsolarzelle, bei denen eine entsprechende lokale Variation der Parameter notwendig ist, nicht bekannt.
Aufgabe der Erfindung ist es, das Verfahren zur Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens zwischen einem Kontaktgitter und einer Emitterschicht einer Siliziumsolarzelle zu verbessern. Insbesondere soll bei der Durchführung des Verfahrens eine Quantifizierung der durch das Verfahren erreichten Verbesserung möglich sein. Weiterhin soll bei der Durchführung des Verfahrens eine mögliche Schädigung durch Anwendung ungünstiger Verfahrensparameter erkannt werden.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit einem Verfahren zur Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens zwischen einem Kontaktgitter und einer Emitterschicht einer Siliziumsolarzelle mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Ansprüchen 2 bis 20 aufgezeigt.
Beim an sich bekannten Verfahrensteil wird zunächst eine Siliziumsolarzelle mit der Emitterschicht, dem Kontaktgitter und einem Rückkontakt bereitgestellt. In einem Behandlungsschritt wird mittels einer Kontaktiereinrichtung und einer Spannungsquelle zwischen dem Kontaktgitter und dem Rückkontakt eine entgegen der Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichtete Spannung, die betragsmäßig kleiner ist als die Durchbruchsspannung der Siliziumsolarzelle ist, angelegt. Beim Anliegen dieser Spannung wird dann eine Punktlichtquelle über die sonnenzugewandte Seite der Siliziumsolarzelle geführt, wobei Behandlungsausschnitte von Teilbereichen der sonnenzugewandten Seite beleuchtet werden und damit ein Behandlungsstromfluss in dem jeweiligen Teilbereich induziert wird und dieser Behandlungsstromfluss bezogen auf den Behandlungsausschnitt eine Stromdichte von 200 A/cm2 bis 20.000 A/cm2 hat und für 10 ns bis 10 ms auf den Teilbereich einwirkt.
Erfindungsgemäß wird vor und/oder nach dem Behandlungsschritt ein Messschritt ausgeführt. Bei diesem Messschritt wird mit der Spannungsquelle und der Kontaktiereinrichtung eine elektrische Spannung zwischen dem Kontaktgitter und dem Rückkontakt angelegt. Beim Anliegen dieser Spannung werden dann Messausschnitte von Teilbereichen der sonnenzugewandten Seite der Siliziumsolarzelle mit der Punktlichtquelle beleuchtet, wobei die Spannung und eine Beleuchtungsintensität so eingestellt werden, dass in dem jeweiligen Teilbereich ein Messstromfluss induziert wird, der bezogen auf den Messausschnitt eine Stromdichte von 1 mA/cm2 bis 500 mA/cm2 hat. Der Messstromfluss bei gegebener Spannung und Beleuchtungsintensität wird mit einem Strommessgerät erfasst und dem jeweiligen Messausschnitt zugeordnet abgespeichert.
Die für den jeweiligen Messausschnitt gemessenen Stromstärken stehen dann zur Weiterverarbeitung beispielsweise zum Prozess-Monitoring, zur Prozesssteuerung oder zur Qualitätskontrolle zur Verfügung. Bereiche mit einem guten ohmschen Kontaktverhalten zwischen Kontaktgitter und Emitterschicht oder niedrigen lokalen Kurzschlussströmen heben sich durch eine höhere Stromstärke gegenüber Bereichen mit einem schlechteren ohmschen Kontaktverhalten ab. Da die Stromstärken zum jeweiligen Messausschnitt und/oder Behandlungsausschnitt zugeordnet abgespeichert werden, liegt eine ortsaufgelöste Information zu den elektrischen Eigenschaften der Siliziumsolarzelle vor. Diese ortsaufgelösten Informationen können dann als Regelgrößen für den Behandlungsschritt genutzt werden. Im Behandlungsschritt können zur Beeinflussung des Behandlungsstromflusses eine Beleuchtungsintensität der Punktlichtquelle und/oder eine Einwirkzeit der Beleuchtung und/oder eine Höhe der entgegen der Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichteten Spannung bei der Beleuchtung angepasst werden.
Je nach gewünschter Messinformation ist die im Messschritt angelegte Spannung entgegen der Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichtet und betragsmäßig geringer als die Durchbruchsspannung der Siliziumsolarzelle ist oder die im Messschritt angelegte Spannung ist in Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichtet.
In einer weiteren Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird während des Behandlungsschrittes für zumindest einen Teil der beleuchteten Behandlungsausschnitte der jeweilige Behandlungsstromfluss ebenfalls mit dem Strommessgerät erfasst und dem jeweiligen Behandlungsausschnitt zugeordnet abgespeichert. Die Erfassung der Stärke des Messstromflusses und die Erfassung der Stärke des Behandlungsstromflusses können zueinander optional erfolgen. Beispielsweise kann lediglich vor dem Behandlungsschritt ein Messschritt ausgeführt werden, ohne dass auch im Behandlungsschritt der Behandlungsstrom erfasst wird und ohne dass dem Behandlungsschritt ein weiterer Messschritt folgt. Ebenso kann beispielsweise auch nur im Behandlungsschritt der Behandlungsstromfluss erfasst werden, ohne dass überhaupt ein dem Behandlungsschritt vorgelagerter oder nachgelagerter Messschritt erfolgt. Auch ist es möglich, dass vor und nach dem Behandlungsschritt ein Messschritt erfolgt und auch im Behandlungsschritt der Behandlungsstromfluss erfasst wird oder es erfolgt nur eine Erfassung von Messstromflüssen in den dem Behandlungsschritt vor- und nachgelagerten Messschritten, ohne dass im Behandlungsschritt Behandlungsströme erfasst werden.
Auch die erfassten und abgespeicherten Werte der Behandlungsstromflüsse stehen dann zur Weiterverarbeitung beispielsweise zum Prozess-Monitoring, zur Prozesssteuerung oder zur Qualitätskontrolle zur Verfügung.
Beim erfindungsgemäßen Verfahren wird im Messschritt bei gegebener Spannung und gegebener Beleuchtungsintensität die Stärke des Messstromflusses detektiert. Es ist allgemein bekannt, dass eine elektrische Messung auch bei konstantem Strom und Detektion der jeweiligen Spannung erfolgen kann, sodass der Messschritt des erfindungsgemäßen Verfahrens auch derart ausgeführt werden kann, dass ein konstanter Stromfluss vorgegeben wird und die jeweilige elektrische Spannung mit einem Spannungsmesser erfasst und dem jeweiligen Messausschnitt bzw. Behandlungsausschnitt zugeordnet abgespeichert wird. Beide Formen der Messung sind beim Gegenstand der Erfindung also als äquivalent zu betrachten.
Ebenso ist das erfindungsgemäße Verfahren auch nicht auf die Abspeicherung der dem jeweiligen Messausschnitt bzw. Behandlungsausschnitt zugeordneten Stromstärken der Messstromflüsse bzw. Behandlungsstromflüsse beschränkt. Die Abspeicherung kann ebenso auch in einer umgerechneten Form, beispielsweise als Stromdichte erfolgen, wobei hierzu die jeweilige Stromstärke beispielsweise mit der Fläche des Messausschnittes verrechnet wird. Oder die Stromstärke wird beispielsweise bezogen auf die anliegende Spannung als Widerstandswert abgespeichert.
Die Spannungsquelle und die Kontaktiereinrichtung im Messschritt können dieselben sein, die auch im Behandlungsschritt verwendet werden. Dies hat den Vorteil, dass keine weitere Kontaktiereinrichtung notwendig ist. Allerdings ist die Erfindung nicht hierauf beschränkt. Für die Erfassung des Messstromflusses können grundsätzlich auch eine andere Kontaktiereinrichtung und/oder eine andere Spannungsquelle als die zur Erfassung des Behandlungsstroms verwendet werden. Auch hinsichtlich der Punktlichtquelle ist es natürlich vorteilhaft, sowohl im Behandlungsschritt, als auch im Messschritt dieselbe Punktlichtquelle zu verwenden, wobei die Erfindung aber nicht hierauf beschränkt ist und grundsätzlich auch unterschiedliche Punktlichtquellen verwendet werden können.
Mit der Erfassung des Behandlungsstromflusses und/oder des Messstromflusses bietet sich die Möglichkeit, die erfassten Stromflüsse als Maß für die Qualität das ohmschen Kontaktverhaltens zwischen dem Kontaktgitter und der Emitterschicht heranzuziehen. Bei konstanter Beleuchtung und angelegter Spannung wird ein Teilbereich mit einem guten ohmschen Kontaktverhalten zwischen dem Kontaktgitter und der Emitterschicht einen stärkeren Messstromfluss aufweisen, als ein Teilbereich mit einem schlechten ohmschen Kontaktverhalten. Mit einem dem Behandlungsschritt vorgelagerten Messschritt können dabei Teilbereiche mit einem schlechten ohmschen Kontaktverhalten ausfindig gemacht werden. Für diese Bereiche werden dann im Behandlungsschritt beispielsweise abgewandelte Parameter für die entgegen der Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichtete Spannung und der Beleuchtungsintensität der Punktlichtquelle vorgesehen. Oder nur die Teilbereiche mit schlechten ohmschen Kontaktverhalten werden im Behandlungsschritt bearbeitet und die Teilbereiche, die bereits ein gutes ohmsches Kontaktverhalten zeigen, können im Behandlungsschritt ausgelassen werden.
Eine dem Behandlungsschritt nachgelagerte Erfassung der Messstromflüsse kann beispielsweise als Qualitätsmerkmal für die weitere Verarbeitung der Siliziumsolarzelle im Solarmodul verwendet werden.
Mit einer Erfassung der Messstromflüsse sowohl vor, als auch nach dem Behandlungsschritt kann die durch den Behandlungsschritt erzielte Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens ortsaufgelöst bestimmt werden. Eine Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens wird bei konstanten Parametern für Spannung und Beleuchtungsintensität als Verstärkung des Messstromflusses sichtbar. Auch hier ergibt sich die Möglichkeit, Teilbereiche ausfindig zu machen, die ggf. noch nicht die Zielwerte für ein gutes ohmsches Kontaktverhalten zwischen Kontaktgitter und Emitterschicht erreicht haben und somit gezielt einem weiteren auf diese Teilbereiche begrenzten Behandlungsschritt unterzogen werden können.
Weiterhin können auch die im Behandlungsschritt gemessenen und lokal zugeordneten Behandlungsstromflüsse für die Einstellung der Parameter des Behandlungsschrittes selbst genutzt werden. Beispielsweise kann die einem Behandlungsausschnitt zugeordnete Stromstärke als Regelgröße für die Einstellung der Beleuchtungsintensität der Punktlichtquelle und/oder der Einwirkzeit der Beleuchtung und/oder der Höhe der entgegen der Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichteten Spannung bei der Beleuchtung eines folgenden Behandlungsausschnittes im selben Behandlungsschritt eingesetzt werden.
Vorteilhaft ist ebenfalls, wenn im Behandlungsschritt bei der Beleuchtung eines der Behandlungsausschnitte eine erste Stromstärke und zeitlich nachgelagert eine zweite Stromstärke mit dem Strommessgerät erfasst wird und beide Stromstärken dem Behandlungsausschnitt zugeordnet abgespeichert werden. Aus diesen beiden Stromstärken kann dann für den jeweiligen Behandlungsausschnitt ein Stromstärkegradient berechnet werden, der als Maß für die Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens durch den Behandlungsschritt für jeden Behandlungsausschnitt herangezogen werden kann. Auch hier ist der Stromstärkegradient entweder innerhalb eines Behandlungsschrittes für die Regelung der Parameter eines nachgelagerten Behandlungsausschnittes oder auch für einen gänzlich nachgelagerten Behandlungsschritt verwendbar. Neben der Erfassung der Stärke von Messstromflüssen oder Behandlungsstromflüssen bei Beleuchtung kann auch im vorgelagerten und/oder nachgelagerten Messschritt und/oder im Behandlungsschritt bei unbeleuchteter Siliziumsolarzelle ein Sperrstrom der Siliziumsolarzelle erfasst werden und zu den jeweiligen Behandlungsausschnitten oder Messausschnitten zugeordnet abgespeichert werden. Der Wert des Sperrstroms eignet sich dabei zur Bewertung einer möglichen Schädigung der Siliziumsolarzelle durch Anwendung des Behandlungsschrittes mit ungünstigen Parametern. Die Bewertung des Sperrstromes erfolgt anhand eines Referenzwertes, der beispielsweise mit einem aus einer dem erfindungsgemäßen Verfahren vorgelagerten elektrischen Charakterisierung der Siliziumsolarzelle (z.B. Aufnahme einer IU-Kennlinie) gewonnenen Wert des Sperrstroms verglichen wird. Liegt beispielsweise der beim Anwenden des erfindungsgemäßen Verfahrens gemessene Sperrstrom höher als der aus der vorherigen elektrischen Charakterisierung generierte Wert des Sperrstroms, kann dies ein Hinweis auf eine Schädigung der Siliziumsolarzelle aufgrund unvorteilhafter Parameter bei der Anwendung des Verbesserungsverfahrens sein. Eine derartige Schädigung kann beispielsweise eine Erzeugung von Kurzschlüssen innerhalb der Siliziumsolarzelle sein, was in einer Erhöhung des Sperrstroms der Siliziumsolarzelle erkennbar wird.
Neben der Nutzung des aus einer vorherigen elektrischen Charakterisierung generierten Wertes des Sperrstroms kann ein Referenzwert auch ein im zum Behandlungsschritt vorgelagerten Messschritt erfasster Sperrstrom sein. Oder der Sperrstrom wird im Behandlungsschritt vor der Beleuchtung zumindest eines Teils der Behandlungsausschnitte gemessen.
In vorteilhafter Ausführung können Abweichungen des Sperrstroms vom jeweiligen Referenzsperrstrom ebenfalls als Regelgröße für die Einstellung der Beleuchtungsintensität und/oder der Einwirkzeit der Beleuchtung und/oder der Höhe der entgegen der Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichteten Spannung bei der Beleuchtung zumindest eines Teils der Behandlungsausschnitte verwendet werden. Ebenso kann über die Festlegung eines Grenzwertes des Sperrstroms nach dem Behandlungsschritt und/oder über die Festlegung eines Grenzwertes für die Veränderung des Sperrstroms durch den Behandlungsschritt auch ein Aussortierkriterium für die Siliziumsolarzelle geschaffen werden, sodass entsprechende Siliziumsolarzellen dem weiteren Verarbeitungsverfahren entzogen werden können, um beispielsweise nicht in einem Solarmodul verbaut zu werden.
Bei der Erfassung der Sperrströme im Messschritt oder Behandlungsschritt kann die entgegen der Vorwärtsrichtung gerichtete Spannung, die betragsmäßig geringer ist als die Durchbruchsspannung der Siliziumsolarzelle ist, auch variiert werden. Zu vorgegebenen Spannungen wird damit je ein Sperrstrom bestimmt und dem jeweiligen Messausschnitt bzw. Behandlungsausschnitt zugeordnet abgespeichert. Über die Variation der entgegen der Vorwärtsrichtung gerichteten Spannung wird die Art der Schädigung der Siliziumsolarzelle erkennbar, sodass beispielsweise zwischen einer Schädigung in Form eines Risses in der Siliziumsolarzelle und einer in erhöhter Ladungsträgerrekombination resultierenden Schädigung unterschieden werden kann.
In weiteren Ausgestaltungen des Verfahrens wird im Behandlungsschritt und/oder im Messschritt bei der Beleuchtung zumindest eines Teils der Behandlungssauschnitte oder Messausschnitte ein von der sonnenzugewandten Seite der Siliziumsolarzelle reflektierter Anteil der Beleuchtung messtechnisch erfasst und dem jeweiligen Ausschnitt zugeordnet abgespeichert. Es werden damit auch Veränderungen der optischen Eigenschaften aufgrund des Behandlungsschrittes erkennbar.
Bei der Beleuchtung der Messausschnitte im Messschritt und/oder der Beleuchtung der Behandlungsausschnitte im Behandlungsschritt werden vorteilhafterweise die Wellenlänge der von der Punktlichtquelle emittierten Lichtstrahlung verändert und auch für diese Lichtstrahlung im Messschritt und/oder Behandlungsschritt die Stromstärken erfasst und dem jeweiligen Ausschnitt zugeordnet abgespeichert.
Bei der Erfassung der Stromstärken der Messstromflüsse und/oder der Behandlungsstromflüsse und/oder der Sperrströme kann vorteilhafterweise ein und dasselbe Strommessgerät eingesetzt werden. Die Erfindung ist aber nicht hierauf beschränkt. Je nach Messbereich können auch verschiedene Messgeräte verwendet werden. Beispielsweise sind die Stromstärken der Behandlungsströme und die Stromstärken der Sperrströme um Größenordnungen verschieden, sodass hier die Verwendung von zwei auf den jeweiligen Bereich optimierten Strommessgeräten sinnvoll sein kann.
Nachfolgend werden verschiedene Ausführungsbeispiele der Erfindung erläutert.
Erstes Ausführunqsbeispiel:
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens zwischen einem Kontaktgitter und einer Emitterschicht einer Siliziumsolarzelle wird zunächst die Siliziumsolarzelle mit der Emitterschicht, dem Kontaktgitter und einem Rückkontakt bereitgestellt. Dies kann beispielsweise eine polykristalline Siliziumsolarzelle mit den Maßen 15,7 cm x 15,7 cm sein, die auf einem Bearbeitungstisch positioniert wird. Anschließend werden mittels einer Kontaktiereinrichtung das Kontaktgitter mit einem Pol einer Spannungsquelle und der Rückkontakt mit dem anderen Pol der Spannungsquelle elektrisch verbunden. Die Kontaktiereinrichtung kann beispielsweise Federkontaktstifte aufweisen, die auf dem Kontaktgitter bzw. dem Rückkontakt der Siliziumsolarzelle aufliegen und über Kabelverbindungen mit der Spannungsquelle verbunden sind.
In einem ersten Messschritt wird über die Kontaktiereinrichtung mit der Spannungsquelle zwischen dem Kontaktgitter und dem Rückkontakt eine in Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichtete Spannung angelegt. Beim Anliegen dieser Spannung werden dann einzelne Messausausschnitte von Teilbereichen der sonnenzugewandten Seite der Siliziumsolarzelle mit einer Punktlichtquelle beleuchtet. Diese Punktlichtquelle kann beispielsweise ein Laser oder auch eine fokussierte Weißlichtquelle sein. Durch die Beleuchtung wird ein Messstromfluss in dem jeweiligen Teilbereich induziert, wobei die angelegte Spannung und eine Beleuchtungsintensität der Punktlichtquelle so eingestellt sind, dass dieser Messstromfluss bezogen auf den Messausschnitt eine Stromdichte von 1 mA/cm2 bis 500 mA/cm2 hat. Für die Beleuchtung der einzelnen Messausschnitte wird nun das von der Punktlichtquelle emittierte Licht von Messausschnitt zu Messausschnitt geführt, wobei dabei die angelegte Spannung und die Beleuchtungsintensität der Punktlichtquelle konstant gehalten werden. Mit einem Strommessgerät (Amperemeter) und der Kontaktiereinrichtung wird nun für jeden Messausschnitt der Stromfluss in der Siliziumsolarzelle gemessen, wobei die erfassten Stromstärken des jeweiligen Messstromflusses dem jeweiligen Messausschnitt zugeordnet abgespeichert werden. Die Zuordnung der gemessenen Stromstärke zum jeweiligen Messausschnitt erfolgt dadurch, dass zur jeweiligen Stromstärke beispielsweise auch die Lagekoordinaten dieses Messausschnitts auf der sonnenzugewandten Seite der Siliziumsolarzelle mit gespeichert werden.
In einem dem ersten Messschritt folgenden Behandlungsschritt wird dann mit der Spannungsquelle und der Kontaktiereinrichtung eine entgegen der Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichtete Spannung, die betragsmäßig geringer ist als die Durchbruchsspannung der Siliziumsolarzelle, angelegt. Beim Anliegen dieser Spannung wird dann die bereits im Messschritt verwendete Punktlichtquelle über die sonnenzugewandte Seite der Siliziumsolarzelle geführt, wobei dabei Behandlungsausschnitte von Teilbereichen der sonnenzugewandten Seite beleuchtet werden. Durch die Beleuchtung wird in dem jeweiligen Teilbereich ein Stromfluss induziert. Dieser Stromfluss hat bezogen auf den Ausschnitt eine Stromdichte von 200 A/cm2 bis 20.000 A/cm2 und wirkt für 10 ns bis 10 ms auf den Teilbereich ein. Die Stromstärke und die Einwirkzeit werden innerhalb dieses Parameterfensters über eine Bewegungsgeschwindigkeit der Punktlichtquelle gegenüber der Siliziumsolarzelle, eine Beleuchtungsintensität der Punktlichtquelle und die Höhe der entgegen der Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichteten (aber gegenüber der Durchbruchsspannung betragsmäßig geringeren) Spannung eingestellt. Durch diesen Behandlungsschritt wird das ohmsche Kontaktverhalten zwischen den Kontaktfingern und der Emitterschicht der Siliziumsolarzelle insbesondere in Bereichen, die vor dem Behandlungsschritt hohe Kontaktwiderstände zwischen Kontaktgitter und Emitterschicht aufweisen, deutlich verbessert.
Nach dem Behandlungsschritt wird ein weiterer zum ersten Messschritt analoger zweiter Messschritt ausgeführt. Auch hier werden vorzugsweise bei zum ersten Messschritt identischen Parametern für Spannung und Beleuchtungsintensität erneut die Stromstärken der Messstromflüsse erfasst und dem jeweiligen Messsauschnitt zugeordnet abgespeichert. Für jeden Messausschnitt liegen nun ein Wert für die Stärke des Messstromflusses vor dem Behandlungsschritt und ein Wert für die Stärke des Messstromflusses nach dem Behandlungsschritt vor. Aus der Veränderung der Werte des jeweiligen Messstroms erhält man damit eine ortsaufgelöste Quantifizierung für die Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens zwischen Kontaktgitter und Emitterschicht. Auch die aus den Messstromflüssen berechnete Veränderung kann dem jeweiligen Messausschnitt zugeordnet abgespeichert werden. Je nach erzieltem Ergebnis (Veränderung der Stärke der Messstromflüsse) kann dann die Siliziumsolarzelle einem weiteren Behandlungsschritt zugeführt werden. In diesem weiteren Behandlungsschritt werden dann beispielsweise nur die Behandlungsausschnitte bearbeitet, bei denen die entsprechenden Messausschnitte in den Messschritten noch nicht die vorgegebene Veränderung der Messstromflüsse und/oder einen vorgegebene Zielwert des Messstromflusses erreicht haben.
Die in den Messschritten angelegte Spannung kann entweder entgegen der Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichtet und betragsmäßig geringer ist als die Durchbruchsspannung der Siliziumsolarzelle sein oder die in den Messschritten angelegte Spannung ist in Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichtet.
Zweites Ausführunqsbeispiel:
Die Messschritte erfolgen analog zum ersten Ausführungsbeispiel. Abweichend werden aber im Behandlungsschritt die Parameter für die entgegen der Vorwärtsrichtung gerichteten Spannung und die Beleuchtungsintensität der Punktlichtquelle anhand der im ersten Messschritt erfassten Stromstärken der Messstromflüsse angepasst. Bereiche, die im ersten Messschritt niedrige Stromstärken des Messstromflusses zeigen, werden im Behandlungsschritt mit einem stärkeren Behandlungsstromfluss und/oder einer längeren Einwirkzeit des Behandlungsstromflusses bearbeitet als Bereiche, die bereits eine hohe Stromstärke des Messstromflusses zeigen. Die Erhöhung des Behandlungsstromflusses kann über eine Erhöhung der entgegen der Vorwärtsrichtung gerichteten Spannung und/oder einer Erhöhung der Beleuchtungsintensität der Punktlichtquelle erreicht werden. Eine Erhöhung der Einwirkzeit des Behandlungsstromflusses wird über eine Verweildauer der Punktlichtquelle am jeweiligen Behandlungsausschnitt gesteuert.
Drittes Ausführunqsbeispiel:
Auch hier werden in den Messschritten die Messstromflüsse bei Beleuchtung der Messausschnitte erfasst und der Behandlungsschritt zur entsprechend ausgeführt. Darüber hinaus wird im zweiten Messschritt vor und/oder nach der Beleuchtung zumindest eines ersten Teils der Messausschnitte die sonnenzugewandte Seite der Siliziumsolarzelle unbeleuchtet belassen und mit der Spannungsquelle eine entgegen der Vorwärtsrichtung gerichtete Spannung, die betragsmäßig geringer ist als die Durchbruchsspannung der Siliziumsolarzelle, über die Kontaktiereinrichtung zwischen dem Kontaktgitter und dem Rückkontakt angelegt, sodass beim Anliegen der Spannung ein Sperrstrom der Siliziumsolarzelle mit dem Strommessgerät erfasst wird. Dieser Sperrstrom wird dann den jeweiligen Messausschnitten zugeordnet abgespeichert. Der jeweilige Sperrstrom kann dann als Kennwert für eine mögliche Schädigung der Siliziumsolarzelle durch den Behandlungsschritt herangezogen werden. Hierzu werden die ermittelten Sperrströme der vermessenen Messausschnitte mit einem Referenzsperrstrom verglichen, der aus einer dem Verfahren vorgelagerten elektrischen Charakterisierung der Siliziumsolarzelle gewonnenen worden ist. Diese elektrische Charakterisierung kann beispielsweise die im Herstellungsverfahren der Siliziumsolarzelle übliche Aufnahme der IU-Kennlinie bei der Bestimmung des Solarzellenwirkungsgrades sein. Vorteilhafterweise wird der Sperrstrom im Messschritt vor oder nach der Beleuchtung aller Messausschnitte gemessen.
Die Veränderung des im zweiten Messschritt ermittelten Sperrstroms gegenüber dem vorher ermittelten Referenzsperrstrom dient als Maß der durch den Behandlungsschritt erzeugten Schädigung der Siliziumsolarzelle. Steigt der Sperrstrom der Siliziumsolarzelle nach dem Behandlungsschritt an, kann auf eine Schädigung der Siliziumsolarzelle durch den Behandlungsschritt geschlossen werden. Viertes Ausführunqsbeispiel:
Der Ablauf des Verfahrens erfolgt analog zum dritten Ausführungsbeispiel. Abweichend hiervon wird der Referenzsperrstrom allerdings im ersten Messschritt generiert. Hierzu wird wie im zweiten Messschritt vor und/oder nach der Beleuchtung zumindest ein erster Teil der Messausschnitte die sonnenzugewandte Seite der Siliziumsolarzelle unbeleuchtet belassen, sodass beim Anliegen der Spannung ein Sperrstrom der Siliziumsolarzelle mit dem Strom messgerät erfasst wird. Die Veränderung des im zweiten Messschritt erfassten Sperrstroms gegenüber dem im ersten Messschritt erfassten Sperrstrom dient dann als Maß für eine mögliche durch den Behandlungsschritt verursachte Schädigung der Siliziumsolarzelle.
Fünftes Ausführunqsbeispiel:
Neben oder anstelle der Erfassung der Messstromflüsse und/oder Sperrströme in den Messschritten werden auch im Behandlungsschritt für zumindest einen Teil der beleuchteten Behandlungsausschnitte die tatsächlichen Stromstärken der Behandlungsstromflüsse erfasst und dem jeweiligen Behandlungsausschnitt zugeordnet abgespeichert. Die Stromstärke wird am Ende der Einwirkzeit des Stromflusses auf den jeweiligen Teilbereich erfasst. Die zu den Behandlungsausschnitten erfassten Behandlungsströme dienen als Maß für die durch den Behandlungsschritt erreichte Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens zwischen Kontaktgitter und Emitterschicht. Werden die Behandlungsausschnitte mit identischen Parametern für die entgegen der Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichteten Spannung und Beleuchtungsintensität der Punktlichtquelle bearbeitet, werden Bereiche mit einem besseren ohmschen Kontaktverhältnis zwischen Kontaktgitter und Emitterschicht dadurch sichtbar, dass die Stromstärken am Ende der Behandlung des jeweiligen Behandlungsausschnitts höher liegen. Die für die einzelnen Behandlungsausschnitte erfassten und gespeicherten Behandlungsströme werden beispielsweise in der Weiterverarbeitung der Siliziumsolarzelle als Qualitätsmerkmal verwendet. Ebenso können die erfassten und gespeicherten Behandlungsströme auch hinsichtlich einer Durchführung eines weiteren Behandlungsschrittes genutzt werden, wobei beispielswiese im weiteren Behandlungsschritt gezielt die Bereiche mit niedrigen gemessenen Behandlungsströmen nochmals mit veränderten Parametern bearbeitet werden. Die veränderten Parameter sind hier wieder die Beleuchtungsintensität der Punktlichtquelle und/oder die Einwirkzeit der Beleuchtung und/oder die Höhe der entgegen der Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichteten Spannung. Sechstes Ausführunqsbeispiel:
Wird anders als im vierten Ausführungsbeispiel vor dem Behandlungsschritt kein Messschritt durchgeführt, kann ein Referenzsperrstrom für den Vergleich mit dem im zweiten Messschritt ermittelten Sperrstrom auch im Behandlungsschritt bestimmt werden. Hierzu wird im Behandlungsschritt vor der Beleuchtung der Behandlungsausschnitte die sonnenzugewandte Seite der Siliziumsolarzelle unbeleuchtet belassen und beim Anliegen der entgegen der Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzellen gerichteten Spannung der Sperrstrom erfasst.
Siebtes Ausführunqsbeispiel:
Anders als bei den vorgenannten Ausführungsbeispielen können, sowohl der Referenzsperrstrom, als auch die nach der Bearbeitung der Behandlungsausschnitte nur im Behandlungsschritt gemessen werden. Hierzu wird im Behandlungsschritt vor der Beleuchtung eines ersten Teils der Behandlungsausschnitte die sonnenzugewandte Seite der Siliziumsolarzelle unbeleuchtet belassen und beim Anliegen der entgegen der Vorwärtsrichtung gerichteten Spannung der Sperrstrom erfasst. Anschließend wird der erste Teil der Behandlungsausschnitte nach und nach beleuchtet. Am Ende der Beleuchtung des ersten Teils der Behandlungsausschnitte wird die sonnenzugewandte Seite der Siliziumsolarzelle wieder unbeleuchtet belassen und erneut der Sperrstrom erfasst. Der Wert des vor der Beleuchtung des ersten Teils der Behandlungsausschnitte erfassten Sperrstroms dient dann als Referenzwert für den nach der Beleuchtung des ersten Teils der Behandlungsausschnitte erfassten Sperrstrom.
Wird die sonnenzugewandte Seite der Siliziumsolarzelle im Behandlungsschritt bei der Bearbeitung der Behandlungsausschnitte beispielsweise zeilenweise mit der Punktlichtquelle abgerastert, werden die entlang jeder Zeile liegenden Behandlungsausschnitte nacheinander beleuchtet. Nach jeder Zeile wird die Punktlichtquelle ausgeschaltet oder im eingeschalteten Zustand über den Rand der Siliziumsolarzelle hinweg von der sonnenzugewandten Seite der Solarzelle weggeführt, sodass die sonnenzugewandte Seite der Solarzelle vollständig unbeleuchtet ist und beim Anliegen der entgegen der Vorwärtsrichtung gerichteten Spannung der Sperrstrom erfasst werden kann. Jeweils der nach dem Beleuchten einer Zeile erfasste Sperrstrom dient dann als Referenzsperrstrom für den nach der Beleuchtung einer folgenden Zeile generierten Sperrstrom. Damit kann eine mögliche Schädigung der Siliziumsolarzelle sogar der Bearbeitung einer bestimmten Zeile (bzw. Behandlungsausschnitten) zugeordnet werden. Achtes Ausführunqsbeispiel:
Die Bearbeitung erfolgt analog zum siebten Ausführungsbeispiel. Darüber hinaus wird eine Veränderung der vor und nach der Beleuchtung einer Zeile generierten Sperrströme als Regelgröße für die Einstellung der Parameter (Beleuchtungsintensität der Punktlichtquelle, Einwirkzeit der Beleuchtung, Höhe der entgegen der Vorwärtsrichtung gerichteten Spannung) bei der Beleuchtung einer folgenden Zeile im Bearbeitungsschritt eingesetzt. Wird beispielsweise eine Erhöhung des Sperrstroms erkannt, werden die Parameter (beispielsweise Einwirkzeit der Beleuchtung) bei der Beleuchtung der folgenden Zeile dahingehend geändert, dass eine weitere Erhöhung des Sperrstroms vermieden wird.
Bei allen vorgenannten Ausführungsbeispielen kann als weitere Ausführung bei der Erfassung der Sperrströme im Messschritt oder Behandlungsschritt auch die entgegen der Vorwärtsrichtung gerichtete Spannung variiert werden, sofern diese nach wie vor betragsmäßig geringer ist als die Durchbruchsspannung der Siliziumsolarzelle. Zu vorgegebenen Spannungen wird damit je ein Sperrstrom bestimmt und dem jeweiligen Messausschnitt bzw. Behandlungsausschnitt zugeordnet abgespeichert.
Neuntes Ausführunqsbeispiel:
Die im Behandlungsschritt erfassten Behandlungsstromflüsse (vgl. fünftes Ausführungsbeispiel) der Behandlungsausschnitte werden zur Regelung der Parameter bei der Bearbeitung folgender Behandlungsausschnitte eingesetzt. Die Regelung erfolgt dabei so, dass der bei der Bearbeitung eines Behandlungsausschnittes erfasste Behandlungsstromfluss mit einem Referenzwert verglichen wird. Ist der erfasste Behandlungsstromfluss beispielsweise geringer als dieser Referenzwert kann dies ein Zeichen für eine noch nicht ausreichende Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens zwischen Kontaktgitter und Emitterschicht sein. In einem hierzu folgenden Behandlungsausschnitt werden daher die Parameter bei der Beleuchtung dieses Behandlungsausschnitts entsprechend angepasst.
Zehntes Ausführunqsbeispiel:
Abweichend zum fünften Ausführungsbeispiel, wo die Stromstärke des Behandlungsstromflusses jeweils am Ende der Einwirkzeit des Stromflusses auf den jeweiligen Teilbereich erfasst wird, werden hier für jeden Behandlungsausschnitt bei dessen Beleuchtung zunächst eine erste Stromstärke und zeitlich nachgelagert eine zweite Stromstärke mit dem Strommessgerät erfasst und beide Stromstärken dem Behandlungsausschnitt zugeordnet abgespeichert. Die Veränderung (Gradient) der Stromstärke wird als Maß für die Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens zwischen dem Kontaktgitter und der Emitterschicht genutzt. Die Erhöhung der Stromstärke während der Beleuchtung eines Behandlungsausschnittes zeigt eine Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens an. Eine nur geringe oder keine Erhöhung der Stromstärke deutet auf nur eine geringe oder keine Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens hin. Die Änderung der Stromstärke während der Beleuchtung eines Behandlungsausschnitts wird daher für die Regelung der Parameter (Beleuchtungsintensität der Punktlichtquelle, Einwirkzeit der Beleuchtung, Höhe der entgegen der Vorwärtsrichtung gerichteten Spannung) zumindest eines folgenden Behandlungsausschnittes verwendet. Neben der Verwendung des Gradienten der Stromstärke als Regelgröße, wird dieser auch dem jeweiligen Behandlungsausschnitt zugeordnet abgespeichert.
Bei allen aufgeführten Ausführungsbeispielen wird optional im Behandlungsschritt und/oder im Messschritt bei der Beleuchtung zumindest eines Teils der Behandlungssauschnitte oder Messausschnitte ein von der sonnenzugewandten Seite der Siliziumsolarzelle reflektierter Anteil der Beleuchtung messtechnisch erfasst und dem jeweiligen Ausschnitt zugeordnet abgespeichert. Weiterhin wird optional bei der Erfassung des reflektierten Anteils die Wellenlänge der von der Punktlichtquelle emittierten Lichtstrahlung verändert, wobei der reflektierte Anteil für vorgegebene Wellenlängen erfasst und dem jeweiligen Ausschnitt zugeordnet abgespeichert wird. Auch bei der Erfassung der Stromstärken der Messstromflüsse und/oder der Behandlungsstromflüsse wird optional die Wellenlänge der von der Punktlichtquelle emittierten Lichtstrahlung verändert, wobei auch hier die Stromstärken der Messstromflüsse und/oder der Behandlungsstromflüsse jeweils für vorgegebene Wellenlängen erfasst und dem jeweiligen Ausschnitt zugeordnet abgespeichert werden.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens zwischen einem Kontaktgitter und einer Emitterschicht einer Siliziumsolarzelle, wobei in einem Behandlungsschritt mit einer Spannungsquelle und einer damit verbundenen Kontaktiereinrichtung eine entgegen der Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichtete Spannung, die betragsmäßig geringer ist als die Durchbruchsspannung der Siliziumsolarzelle, zwischen dem Kontaktgitter und einem Rückkontakt der Siliziumsolarzelle angelegt wird und beim Anliegen dieser Spannung eine Punktlichtquelle über die sonnenzugewandte Seite der Siliziumsolarzelle geführt wird und dabei Behandlungsausschnitte von Teilbereichen der sonnenzugewandten Seite beleuchtet werden und damit ein Behandlungsstromfluss in dem jeweiligen Teilbereich induziert wird und dieser Behandlungsstromfluss bezogen auf den Behandlungsausschnitt eine Stromdichte von 200 A/cm2 bis 20.000 A/cm2 hat und für 10 ns bis 10 ms auf den Teilbereich einwirkt, dadurch gekennzeichnet, dass vor und/oder nach dem Behandlungsschritt ein Messschritt ausgeführt wird und bei diesem Messschritt mit der Spannungsquelle und der Kontaktiereinrichtung eine elektrische Spannung zwischen dem Kontaktgitter und dem Rückkontakt angelegt wird und beim Anliegen dieser Spannung Messausschnitte von Teilbereichen der sonnenzugewandten Seite der Siliziumsolarzelle mit der Punktlichtquelle beleuchtet werden und damit ein Messstromfluss in dem jeweiligen Teilbereich induziert wird und dieser Messstromfluss bezogen auf den Messausschnitt eine Stromdichte von 1 mA/cm2 bis 500 mA/cm2 hat und eine Stromstärke des Messstromflusses mit einem Strommessgerät erfasst und dem jeweiligen Messausschnitt zugeordnet abgespeichert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass während des Behandlungsschrittes eine Stromstärke des Behandlungsstromflusses für zumindest einen Teil der beleuchteten Behandlungsausschnitte mit einem Strommessgerät erfasst und dem jeweiligen Behandlungsausschnitt zugeordnet abgespeichert wird.
3. Verfahren nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die im Messschritt angelegte Spannung entgegen der Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichtet und betragsmäßig geringer ist als die Durchbruchsspannung der Siliziumsolarzelle ist oder dass die im Messschritt angelegte Spannung in Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichtet ist.
4. Verfahren nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die im Messschritt einem Messausschnitt zugeordnete Stromstärke des Messstromflusses als Regelgröße in dem diesem Messschritt folgenden Behandlungsschritt für die Einstellung einer Beleuchtungsintensität der Punktlichtquelle und/oder der Einwirkzeit der Beleuchtung und/oder der Höhe der entgegen der Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichteten Spannung bei der Beleuchtung zumindest eines der Behandlungsausschnitte dient.
5. Verfahren nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass aus der im dem Behandlungsschritt vorgelagerten Messschritt erfassten Stromstärke eines der Messausschnitte und der im dem Behandlungsschritt nachgelagerten Messschritt erfassten Stromstärke dieses Messausschnittes eine Änderung bestimmt wird und diese Änderung dem jeweiligen Messausschnitt zugeordnet abgespeichert wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die einem Messausschnitt zugeordnete Änderung der Stromstärke als Regelgröße für einen weiteren Behandlungsschritt für die Einstellung einer Beleuchtungsintensität der Punktlichtquelle und/oder der Einwirkzeit der Beleuchtung und/oder der Höhe der entgegen der Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichteten Spannung bei der Beleuchtung zumindest eines der Behandlungsausschnitte dient.
7. Verfahren nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im Behandlungsschritt die einem Behandlungsausschnitt zugeordnete Stromstärke als Regelgröße für die Einstellung einer Beleuchtungsintensität der Punktlichtquelle und/oder der Einwirkzeit der Beleuchtung und/oder der Höhe der entgegen der Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichteten Spannung bei der Beleuchtung eines folgenden Behandlungsausschnittes des Behandlungsschrittes dient.
8. Verfahren nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im Behandlungsschritt bei der Beleuchtung eines der Behandlungsausschnitte eine erste Stromstärke und zeitlich nachgelagert eine zweite Stromstärke mit dem Strommessgerät erfasst wird und beide Stromstärken dem Behandlungsausschnitt zugeordnet abgespeichert werden.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass aus der ersten und der zweiten Stromstärke ein Stromstärkegradient bestimmt und dem Behandlungsausschnitt zugeordnet abgespeichert wird.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der im Behandlungsschritt dem Behandlungsausschnitt zugeordnete Stromstärkegradient als Regelgröße für die Einstellung der Beleuchtungsintensität und/oder der Einwirkzeit der Beleuchtung und/oder der Höhe der entgegen der Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichteten Spannung bei der Beleuchtung eines folgenden Behandlungsausschnittes in dem Behandlungsschritt dient.
11. Verfahren nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im Behandlungsschritt vor und/oder nach der Beleuchtung zumindest eines ersten Teils der Behandlungsausschnitte die sonnenzugewandte Seite der Siliziumsolarzelle unbeleuchtet ist und dabei ein Sperrstrom der Siliziumsolarzelle mit dem Strommessgerät erfasst wird.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass im Messschritt vor und/oder nach der Beleuchtung zumindest eines ersten Teils der Messausschnitte die sonnenzugewandte Seite der Siliziumsolarzelle unbeleuchtet ist und mit der Spannungsquelle über die Kontaktiereinrichtung zwischen dem Kontaktgitter und dem Rückkontakt eine entgegen der Vorwärtsrichtung gerichtete Spannung, die betragsmäßig geringer ist als die Durchbruchsspannung der Siliziumsolarzelle ist, angelegt wird und dabei ein Sperrstrom der Siliziumsolarzelle mit dem Strommessgerät erfasst wird und den Messausschnitten zugeordnet abgespeichert wird.
13. Verfahren nach Anspruch 11 , dadurch gekennzeichnet, dass der Sperrstrom mit einem Referenzsperrstrom verglichen wird und eine Abweichung des Sperrstroms vom Referenzsperrstrom als Regelgröße für die Einstellung der
Beleuchtungsintensität und/oder der Einwirkzeit der Beleuchtung und/oder der Höhe der entgegen der Vorwärtsrichtung der Siliziumsolarzelle gerichteten Spannung bei der Beleuchtung eines weiteren Teils der Ausschnitte der sonnenzugewandten Seite der Siliziumsolarzelle dient.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der
Referenzsperrstrom aus einer dem Verfahren vorgelagerten elektrischen Charakterisierung der Siliziumsolarzelle gewonnenen wurde.
15. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der im Behandlungsschritt vor der Beleuchtung des ersten Teils der Behandlungsausschnitte erfasste Sperrstrom als Referenzsperrstrom für den nach dem für den ersten Teil der Behandlungsausschnitte erfassten Sperrstrom dient.
16. Verfahren nach Anspruch 11 und 12, dadurch gekennzeichnet, dass der im Behandlungsschritt für einen Behandlungsausschnitt herangezogene Referenzsperrstrom der Sperrstrom ist, der in dem dem Behandlungsschritt vorgelagerten Messschritt für einen Messausschnitt ermittelt worden ist.
17. Verfahren nach einem der Ansprüche n bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass im Messschritt und/oder im Behandlungsschritt zur Erfassung des Sperrstroms die entgegen der Vorwärtsrichtung gerichtete Spannung, die betragsmäßig geringer ist als die Durchbruchsspannung der Siliziumsolarzelle ist, variiert wird.
18. Verfahren nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im Behandlungsschritt und/oder im Messschritt bei der Beleuchtung zumindest eines Teils der Behandlungssauschnitte oder Messausschnitte ein von der sonnenzugewandten Seite der Siliziumsolarzelle reflektierter Anteil der Beleuchtung messtechnisch erfasst und dem jeweiligen Ausschnitt zugeordnet abgespeichert wird.
19. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass im Behandlungsschritt und/oder im Messschritt bei der Beleuchtung des zumindest eines Teils der Behandlungssauschnitte oder Messausschnitte die Wellenlänge einer von der Punktlichtquelle emittierten Lichtstrahlung verändert wird und auch bei dieser Wellenlänge ein von der sonnenzugewandten Seite der Siliziumsolarzelle reflektierter Anteil der Beleuchtung messtechnisch erfasst und dem jeweiligen Ausschnitt zugeordnet abgespeichert wird.
20. Verfahren nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im Messschritt und/oder im Behandlungsschritt die Wellenlänge einer von der Punktlichtquelle emittierten Lichtstrahlung verändert wird und auch für diese Lichtstrahlung im Messschritt und/oder Behandlungsschritt die Stromstärken erfasst und dem jeweiligen Ausschnitt zugeordnet abgespeichert werden.
21. Verfahren nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Strommessgerät mit der Kontaktiereinrichtung oder einer weiteren mit dem Kontaktgitter und dem Rückkontakt der Siliziumsolarzelle verbundenen Kontaktiereinrichtung verbunden ist.
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