WO2021043464A1 - Dispositif interféromètre et procédé de production d'un dispositif interféromètre - Google Patents
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Abstract
La présente invention concerne un dispositif interféromètre (10) comprenant : un interféromètre de Fabry-Pérot (1) qui comprend au moins deux dispositifs miroirs espacés (SP1 ; SP2) et un substrat (2), les dispositifs miroirs (SP1 ; SP2) étant chacun agencés en parallèle au-dessus du substrat (2), et au moins l'un des dispositifs miroirs (SP1 ; SP2) étant mobile, le substrat (2) comprenant un évidement (A) dans une région optique (OB) latéralement à l'intérieur d'une région de bord (RB) ; un substrat de base (3), qui comprend un conducteur électrique imprimé (5), l'interféromètre de Fabry-Pérot (1) étant disposé sur le substrat de base (3) ; et au moins un dispositif détecteur (6), qui est disposé sur le substrat de base (2) et peut être mis en contact électrique au moyen du conducteur électrique imprimé (5), l'interféromètre de Fabry-Pérot (1) étant disposé au-dessus du dispositif détecteur (6) et s'étendant au moins partiellement avec l'évidement (A) ; et une couche réfléchissante (8) sur laquelle est agencé le dispositif détecteur (6) et qui est située entre le substrat de base (3) et le dispositif détecteur (6).
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