WO2020221823A1 - Systeme d'alignement d'un dispositif de traitement thermique et son fonctionnement - Google Patents

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WO2020221823A1
WO2020221823A1 PCT/EP2020/061945 EP2020061945W WO2020221823A1 WO 2020221823 A1 WO2020221823 A1 WO 2020221823A1 EP 2020061945 W EP2020061945 W EP 2020061945W WO 2020221823 A1 WO2020221823 A1 WO 2020221823A1
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shaping
shaping module
laser beam
laser
optical
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PCT/EP2020/061945
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Emmanuel Mimoun
Cécile OZANAM
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Saint-Gobain Glass France
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Definitions

  • the present invention relates to the field of thermal treatment of thin films on glass substrates.
  • Laser annealing allows thin coatings to be heated to high temperatures, on the order of several hundred degrees, while preserving the underlying substrate.
  • the scrolling speeds are of course preferably the highest possible, advantageously at least several meters per minute.
  • the width of the laser line is less than 100 ⁇ m, the environmental disturbances are not negligible and disrupt the alignment. It therefore becomes necessary to perform alignment adjustment operations. This alignment adjustment is done during the heating time of the lasers or over the long term in the event of a disturbance during production.
  • these heat treatment devices have a heating period, that is to say a period during which the laser beam is not stable. Indeed, the components which compose it are subjected to changing thermal conditions causing a modification of the position of the beam randomly during this transient heating period.
  • the present invention therefore proposes to resolve these drawbacks by providing a heat treatment device which is provided with an alignment system which allows adjustment of the alignment of the lasers during the transient heating period.
  • the present invention relates to a module for shaping a laser beam
  • a module for shaping a laser beam comprising an enclosure comprising an inlet opening for the entry of a laser beam and an outlet opening for the exit of said beam, said enclosure further comprising at least one optical shaping element arranged in the beam path and a first optical element for providing a focused output beam
  • said module further comprising a splitter element, arranged between said optical shaping element form and the first optical element, for extracting a part of at least a portion of the incoming beam and a position sensor of the laser beam arranged in the path of the extracted part of the beam measuring the position in at least one direction.
  • said position sensor of the light beam is suitable for being connected to a computing unit.
  • said at least one optical shaping element is a reflector element making it possible to lengthen the path of the laser beam in said shaping module.
  • At least one reflector element is arranged between the laser beam splitter element and the laser beam position sensor.
  • said at least one optical shaping element is a shaping lens.
  • At least a second optical element is arranged between the laser beam splitter element and the laser beam position sensor to focus the extracted beam on said position sensor.
  • the first optical element and / or the second element comprise a lens or at least two lenses or a focusing mirror.
  • the separator element comprises an optical prism or a thin plate on which a partially reflecting coating is arranged.
  • said at least one reflector element comprises a flat or curved mirror.
  • the invention further relates to a device for heat treatment of a substrate extending in a first direction and a second direction orthogonal to the first direction, said heat treatment device comprising means for conveying said glass substrate and heating means. for carrying out the heat treatment, characterized in that said heating means comprise at least two laser generators each generating a laser beam, said laser generators being arranged so that the beams together form a continuous laser line, said device further comprising a module of shaping of a laser beam according to the invention for each generator and a computing unit connected to each shaping module, each shaping module being associated with adjustment means.
  • said calculation unit is arranged to recover data representative of the position of the beam at the output of each shaping module, to compare them each with a data item representative of a reference position and to generate a control signal for the means of adjustment of each shaping module for which the data representative of the position of the output beam is difference from the data representative of a reference position.
  • the adjustment means are adjustment means internal to the shaping module and arranged to adjust the position of said at least one optical shaping element.
  • the adjustment means are adjustment means external to the shaping module and arranged to adjust the overall position of said shaping module.
  • the invention also relates to a method of heat treatment of a glass substrate using the heat treatment device according to the invention, characterized in that it comprises the steps: a) providing a substrate and making it circulate over the conveying means; b) start up the laser generators; c) generating, at an instant t, data representative of the position of the output beam of each shaping module via the position sensor of each shaping module; d) sending these data representative of the measured position of the output beam from each shaping module to a calculation unit; e) compare the data representative of the position of the output beam of each shaping module with a data representative of a reference position;
  • f) generate a control signal, via the calculation unit, and send it to the adjustment means associated with each shaping module for which the data representative of the position of the output beam is different from the datum representative of a reference position, said control signal making it possible to act on the adjustment means in order to modify the position of the output beam; g) repeating steps c) to f) at a defined interval for a defined period of time.
  • the repetition interval is variable and increases with the duration of treatment.
  • fig. 1 a and 1 b is a schematic representation of the heat treatment device according to the invention.
  • -the fig. 2 to 5 are schematic representations of the formatting module according to the invention and its variants;
  • FIGS 1a and 1b the heat treatment device 1 of a substrate S according to the invention.
  • the substrate S treated is, for example glass, and, for example, a substrate of great width, such as a sheet of flat glass of "jumbo" size (6 mx 3.21 m) emerging from the flat glass or float glass processes. .
  • This heat treatment device 1 comprises conveying means 2 allowing the transport of the substrates S.
  • Such conveying means 2 can be in the form of two parallel rails on which a frame provided with supports for the substrate are arranged. Provision can also be made for the conveying means 2 to be in the form of two parallel rails on which are mounted wheels allowing the substrate to be mobile. Certain wheels are then connected to a motor to allow the substrate to travel. Likewise, the conveying can be done on a roller conveyor.
  • the heat treatment device 1 further comprises heating means C.
  • These heating means C comprise a plurality of laser generators L.
  • Each laser generator L can use solid-state laser technology or diode laser or fiber laser or disc laser presenting itself as being the perfect association of a solid-state laser with a diode laser allowing a quality of beam and a higher output.
  • the laser generators L each provide a beam F and are associated with a shaping module M to obtain a line-shaped beam having a length ranging from 10 to 50 cm and a width less than or equal to 10Oprn. These L laser generators are then arranged one beside the other so that the beams add up to form a single line of great length.
  • the present invention uses the shaping module (s) M to effect this alignment.
  • Each laser generator L is associated with a shaping module M.
  • Each shaping module M shown in Figure 2, consists of an enclosure 10 comprising an input E through which an input beam Fe, the laser beam generated by the laser generator L, enters.
  • the beam entering Fe into the shaping module M is arranged in circular form, that is to say coming directly from the laser generator L or in the form of a line, that is to say by having passed through an optical element of formatting.
  • the optical shaping element is arranged in the shaping module.
  • a first optical element 11 is arranged. This first optical element 11 is used to focus the laser beam. This laser beam is focused in the direction of an exit from the enclosure and is the exit beam Fs.
  • Said first optical element 11 may be a mirror or a lens or a prism. Depending on the power of the laser beam, a mirror will be preferred to a lens for its thermal performance.
  • the enclosure 10 of the shaping module M comprises at least one optical shaping element for shaping the laser beam.
  • an optical shaping element O may be in the form of a P shaping lens or reflector element R.
  • An R reflector element is used to "bend" the extracted beam to make the assembly more compact as seen in Figure 4.
  • the enclosure 10 can include at least one optical shaping element O in the form of a reflective element R and / or at least one optical shaping element O in the form of an optic or lens P.
  • the shaping module M is configured so that the first optical element 11 is a curved mirror.
  • the first optical element 11 is a curved mirror.
  • reflector elements R are arranged between the entrance of the enclosure E and the first optical element 11.
  • the example of Figure 5 shows the presence of a first reflector element R1 used to deflect said beam by at least at least equal to 90 °, preferably greater than 90 °.
  • a second reflector element R2 is arranged to deflect the laser beam deflected by the first reflector element R1. This deflection is operated to deflect the laser beam in a direction towards the wall through which the beam exits. This deflected laser beam is picked up by the first optical element 11.
  • the first reflector element R1 and the second reflector element R2 are flat mirrors.
  • the shaping module M comprises a separator element 12.
  • This separator element 12 is arranged between the input E of the enclosure through which the laser beam enters and the optical element 11.
  • This separating element 12 is used to extract a part of the laser beam.
  • This extraction which is carried out on a portion or all of the beam, aims to direct the extracted part fe of the laser beam towards an optical receiver 20.
  • Such an optical receiver 20 is a sensor provided with a target or reception surface. on which the extracted beam is directed.
  • This sensor 20 is designed to make it possible to detect the position of the extracted beam fe on this target and therefore the variation in position of said extracted beam fe.
  • This sensor 20 is connected to a calculation unit 100, preferably arranged outside said shaping module M, processing the data sent by the sensor.
  • This calculation unit 100 is preferably connected to the different M shaping modules.
  • This separator element 12 is, according to one example, is a glass slide on which an antireflection coating is deposited. This coated blade is arranged so that the angle formed by the laser beam and the plane of the glass slide is not zero or equal to 90 °.
  • a separator element 12 is arranged between the second reflector element R2 and the first optical element. In fact, this portion is rectilinear, that is to say adapted to place said separator element 12 therein.
  • a third reflector element R3 is, optionally, arranged between the separator element 12 and the sensor 20.
  • a second optical element 13 is associated with this separating element 12 as visible in FIG. 3. This second optical element 13 is used to focus the beam extracted towards the sensor 20.
  • This arrangement is designed to allow, in addition to detecting the position of the extracted beam, the determination of the position deviation between a reference position and the detected position.
  • a shaping module M is subjected to thermal behavior so that when cold or in a stabilized state, the alignment can vary. It is therefore necessary to determine the amplitude of the displacement of each shaping module M relative to a reference position.
  • the arrangement of the first optical element 11, of the second optical element 13 and of the separator element 12 is such that a movement detected by the sensor 20 is reflected at the level of the output beam Fs by a modification of the position of the focusing point.
  • this separator element 12 is arranged between the last optical shaping element O and the first optical element 11.
  • the optical shaping elements O are the elements which, under the effect heat from the laser beam, have a transient behavior.
  • the placement of the reflector element 12 just before the first optical element 11 and therefore, after the optical shaping elements O makes it possible to capture the movements of the beam during this transient behavior
  • the characteristics of the first optical element 11 and the second optical element 13 are used. More particularly, the effective focal lengths of these optical elements are used. There is then a simple mathematical relationship linking the displacement of the beam extracted by the splitter element and the displacement of the focused beam at the exit.
  • the focal length f1 of the first optical element 11 and the focal length f2 of the second optical element 13 are identical then the amplitude of the movement of the extracted beam is equal to the amplitude of the focused beam at the output. If it is desired to amplify the movement of the extracted beam in order to increase the precision of the detected position then it is necessary to increase the focal length f2 of the second optical element 13, that is to say of the optical element associated with the 'separator element 12.
  • one option consists in using at least one reflector element R to compact the extracted beam as visible in FIG. 4. Indeed, if a second optical element is used 13 with a large focal length f2 and it is considered that the sensor 20 must be located at the level of the focal point of the second optical element 13, then the necessary length of the extracted beam will be important.
  • the latter can comprise several elements such as a reflecting element which can be a flat mirror or a curved mirror. Indeed, if a flat mirror reflects a beam without deforming it, a curved mirror deforms it.
  • a curved mirror as a third reflector element advantageously makes it possible to help the focusing of the beam. laser output. If it is possible to use, as the first optical element 11, only one piece for focusing the laser beam, it is possible to focus said laser beam in two times by using a curved mirror acting as a reflector element R.
  • the effective focal length at the output is the combination of the focal length of each part forming the first optical element 11.
  • optical elements 11, 13 in the form of a lens can comprise at least two parts such as lenses or curved mirrors to obtain the desired result.
  • the reflector elements 12, R can be prisms or mirrors or thin blades provided with a more or less reflective coating.
  • This shaping module M is associated with adjustment means 30. These adjustment means 30 are used to allow adjustment of the alignment. Indeed, if the shaping module M and its integrated sensor 20 make it possible to detect the position of the laser beam and therefore to deduce a variation in the position which may cause misalignment, it is necessary to correct this potential misalignment. The adjustment means 30 therefore make it possible to remedy this.
  • the adjustment means 30 are adjustment means 31 external to the shaping module and therefore come in different forms, such as for example; an articulated support.
  • an articulated support comprises a base or base plate fixed to a frame.
  • the articulated support further comprises a fixing plate to which the laser generator is fixed, for example, by bolting.
  • the fixing plate is connected to the base plate via feet. These feet, at least two in number, preferably three, more preferably five, and even more preferably six, are adjustable so that the fixing plate on which the laser generator is fixed can move with several degrees of freedom.
  • the fixing plate on which the laser generator is fixed has six degrees of freedom.
  • each foot comprises two sliding tubes one in the other and ball joints at each end for the connection of the foot to the base plate and to the fixing plate.
  • Each adjustment step causes a variation in the position of the focusing point.
  • the adjustment means 30 are adjustment means 32 internal to the shaping module M.
  • These internal adjustment means 32 comprise at least one adjustable support on which at least one element O shaping optic is arranged.
  • This adjustable support is a support having at least one degree of displacement of said optical element O which is attached to it.
  • This degree of displacement may be a translation in the direction of propagation of the laser beam or orthogonally thereto (height) or an inclination.
  • this shaping module M associated with adjustment means 30 consists, for a laser line consisting of at least two laser generators L, in connecting the sensors 20 of said shaping modules M to the same calculation unit 100 .
  • a preliminary step consists in obtaining a reference position for the lasers forming the line.
  • the various laser generators are put into operation so that the sensor 20 integrated in each shaping module M can detect a beam and its position.
  • the position information is sent to a calculation unit 100.
  • the calculation unit 100 generates control signals to the adjustment means 30 of the shaping modules M. This action on the adjustment means 30 of each shaping module M makes it possible to obtain an alignment of the different beams forming the laser line.
  • the reference position is taken as a reference for adjusting the alignment during the transient start-up phase during which thermal stability is not present, provided that the adjustment means 30 have not not changed.
  • the calculation unit 100 receives data at regular intervals concerning the position of the laser beams of each M shaping module.
  • the first possibility is to have the calculation unit programmed to simultaneously send a measurement command to the M shaping modules.
  • This measurement command sent to each shaping module M causes the detection, by the position sensor 20 of each shaping module M, of the position of the beam of said shaping module.
  • the position value thus detected by each sensor is sent to said calculation unit 100 making it possible to have a position value carried out simultaneously for the different shaping modules M.
  • This command is sent at regular intervals to make it possible to have a monitoring of the position of the laser beams.
  • the sensor 20 of each shaping module M permanently sends a data stream corresponding to the position of the laser beam.
  • the calculation unit 100 thus receives a number of data streams equal to the number of formatting modules M.
  • This calculation unit 100 is programmed to be able, at an instant t, to store a particular piece of data from the data stream. in a memory unit. This capacity is used for each stream so that the calculation unit is capable, at an instant t, of memorizing a particular datum of each of the streams.
  • This data being representative of the position of the beam, the calculation unit 100 can thus memorize the position of each beam at the same time. This storage action is carried out at regular intervals in order to obtain a table of values of the positions of the different beams.
  • each of these positions is compared, by said calculation unit, with the reference position.
  • the calculation unit 100 is programmed with an algorithm in which the mathematical relationship linking the displacement of the beam at the output of the shaping module M with its displacement at the level of the sensor is integrated and in which the scale of the sensor 20 is integrated . This allows the calculation unit 100 to know, as a function of the difference in position between the detected position and the reference position, the magnitude of the offset between these two positions. This determination of the amplitude of the offset between these two positions is carried out for each shaping module M so that the calculation unit 100 can, for each shaping module M, generate a control signal sent to the means adjustment 30 associated with each shaping module M.
  • This control signal is a signal making it possible to act on the adjustment means 30 of each shaping module M to modify their attitude, thus making it possible to correct the position offset .
  • the adjustment means 30 are external which means that an action on these external adjustment means 31 causes a modification of the position of the shaping module without modifying the position of the beam on the beam. sensor. Consequently, an action on the external adjustment means 31 does not allow the beam picked up by the sensor 20 to approach the reference position.
  • the use of the dependence between the position of the focusing point and the position on the sensor and the dependence between the position of the focusing point and the external adjustment means is used.
  • an offset, at the level of the sensor 20, between the reference position and the detected position is observed. This shift on the sensor is representative of a variation in the position of the focusing point. If this variation is known, it is possible to act on the external adjustment means 31 to compensate for this variation by using the relation between the position of the focusing point and the adjustment of the external adjustment means 31. When a new position is detected, an adjustment is made. Two solutions are possible.
  • a first solution is to compare this new position detected with the previous position to determine the deviation from said previous position. This difference makes it possible, via the relations between the position of the focusing point and the position on the sensor 20 and between the position of the focusing point and the external adjustment means 31, to determine the amplitude of the adjustment to be made for the adjustment means. external settings.
  • a second solution is to compare this new detected position with the reference position to determine the difference between them. This difference allows, via the relationships between the position of the focusing point and the position on the sensor 20 and between the position of the focusing point and the external adjustment means 31 and through the knowledge of the current position of the external adjustment means 31 , to determine the amplitude of the adjustment to be made for the external adjustment means.
  • this operation of taking measurements and comparing them with a reference position is repeated. This repetition is done according to a fixed or variable interval. Indeed, if a fixed interval makes it possible to have simple regulation, a variable measurement interval will be able to allow finer regulation over a determined period. Indeed, it may be of interest to the operator of the production line that the position measurements and the associated corrections are carried out with a shorter interval towards the end of the transitional period than at the beginning.
  • the duration of this transient period is more or less known so that the calculation unit can be programmed to narrow the interval between two position measurements - adjustment when the end of the transitional phase approaches.

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Abstract

La présente invention concerne un module de mise en forme (M) d'un faisceau laser comprenant une enceinte (10) comprenant une ouverture d'entrée (E) pour l'entrée d'un faisceau laser et d'une ouverture de sortie pour la sortie dudit faisceau, ladite enceinte (10) comprenant en outre au moins un élément optique de mise en forme (0) agencé sur le trajet du faisceau et un premier élément optique (11) pour fournir un faisceau de sortie focalisé, ledit module (M) comprend en outre un élément séparateur (12), agencé entre ledit élément optique de mise en forme (0) et le premier élément optique (11), pour extraire une partie (fe) d'au moins une portion du faisceau entrant et un capteur de position (20) du faisceau laser agencé sur le chemin de la partie extraite du faisceau mesurant la position dans au moins une direction.

Description

Description
Titre : SYSTEME D’ALIGNEMENT D’UN DISPOSITIF DE TRAITEMENT
THERMIQUE ET SON FONCTIONNEMENT
La présente invention est relative au domaine du traitement thermique de couche mince sur des substrats verriers.
ART ANTERIEUR
Il est connu d’effectuer un recuit laser local et rapide (laser flash heating) de revêtements déposés sur des substrats plats. Pour cela, on fait défiler le substrat avec le revêtement à recuire sous une ligne laser, ou bien une ligne laser au-dessus du substrat portant le revêtement.
Le recuit laser permet de chauffer des revêtements minces à des températures élevées, de l’ordre de plusieurs centaines de degrés, tout en préservant le substrat sous-jacent. Les vitesses de défilement sont bien entendu de préférence les plus élevées possibles, avantageusement au moins de plusieurs mètres par minute.
Or, actuellement, il existe des lignes lasers de petites tailles, inférieures à 30 cm ou des lignes monolithiques allant jusqu’à 150 cm. Il existe également la possibilité de créer une ligne laser en additionnant une multitude de lignes lasers de quelques dizaines de centimètres chacune, afin de créer une ligne laser de grande taille. Or, la largeur d’une telle ligne laser est de quelques centaines de microns.
On comprend donc que l’alignement des différentes lignes lasers formant la ligne est important. Cet alignement est réalisé lors de l’installation de la ligne.
Néanmoins, lorsque la largeur de la ligne laser se trouve inférieure à 100 pm, les perturbations environnementales ne sont pas négligeables et dérèglent l’alignement. Il devient donc nécessaire d’effectuer des opérations de réglage de l’alignement. Ce réglage de l’alignement se fait pendant le temps de chauffe des lasers ou sur le long terme en cas de dérèglement pendant la production.
Un inconvénient de ces ajustements qui doivent être fréquemment réalisés est qu’ils génèrent une inefficacité de production tout en mobilisant du personnel. De même, cela génère des pertes car, étant donné que le convoyage du substrat verrier est continu, le désalignement n’est pas détecté immédiatement entraînant perte de substrat.
De plus, ces ajustements sont réalisés manuellement, par exemple, en agissant sur au moins une vis de réglage. Ce type d’ajustement est compliqué à mettre en œuvre et nécessite une grosse expérience de l’opérateur pour être opéré efficacement.
Enfin, ces dispositifs de traitement thermiques ont une période de chauffe c’est-à-dire une période durant laquelle le faisceau laser n’est pas stable. En effet, les composants qui le composent sont soumis à des conditions thermiques changeantes entraînant une modification de la position du faisceau aléatoirement durant cette période transitoire de chauffe.
RÉSUMÉ DE L’INVENTION
La présente invention se propose donc de résoudre ces inconvénients en fournissant un dispositif de traitement thermique qui soit muni d’un système d’alignement qui permette un réglage de l’alignement des lasers durant la période transitoire de chauffe.
A cet effet, la présente invention concerne un module de mise en forme d’un faisceau laser comprenant une enceinte comprenant une ouverture d’entrée pour l’entrée d’un faisceau laser et d’une ouverture de sortie pour la sortie dudit faisceau, ladite enceinte comprenant en outre au moins un élément optique de mise en forme agencé sur le trajet du faisceau et un premier élément optique pour fournir un faisceau de sortie focalisé, ledit module comprend en outre un élément séparateur, agencé entre ledit élément optique de mise en forme et le premier élément optique, pour extraire une partie d’au moins une portion du faisceau entrant et un capteur de position du faisceau laser agencé sur le chemin de la partie extraite du faisceau mesurant la position dans au moins une direction.
Selon un exemple, ledit capteur de position du faisceau lumineux est apte à être connecté à une unité de calcul. Selon un exemple, ledit au moins un élément optique de mise en forme est un élément réflecteur permettant d’allonger le trajet du faisceau laser dans ledit module de mise en forme.
Selon un exemple, au moins un élément réflecteur est agencé entre l’élément séparateur du faisceau laser et le capteur de position du faisceau laser.
Selon un exemple, ledit au moins un élément optique de mise en forme est une lentille de mise en forme.
Selon un exemple, au moins un second élément optique est agencé entre l’élément séparateur du faisceau laser et le capteur de position du faisceau laser pour focaliser le faisceau extrait sur ledit capteur de position.
Selon un exemple, le premier élément optique et/ou le second élément comprennent une lentille ou un moins deux lentilles ou un miroir focalisant.
Selon un exemple, l’élément séparateur comprend un prisme optique ou une lame mince sur laquelle un revêtement partiellement réfléchissant est agencé.
Selon un exemple, ledit au moins un élément réflecteur comprend un miroir plat ou courbe.
L’invention concerne en outre un dispositif de traitement thermique d’un substrat s’étendant selon une première direction et une seconde direction orthogonale à la première direction, ledit dispositif de traitement thermique comprenant des moyens de convoyage dudit substrat verrier et des moyens de chauffage pour opérer le traitement thermique, caractérisé en ce que lesdits moyens de chauffage comprennent au moins deux générateurs laser générant chacun un faisceau laser, lesdits générateurs laser étant agencés pour que les faisceaux forment ensembles une ligne laser continue, ledit dispositif comprenant en outre un module de mise en forme d’un faisceau laser selon l’invention pour chaque générateur et une unité de calcul connectée à chaque module de mise en forme, chaque module de mise en forme étant associé à des moyens de réglage.
Selon un exemple, ladite unité de calcul est agencée pour récupérer des données représentatives de la position du faisceau en sortie de chaque module de mise en forme, les comparer chacune à une donnée représentative d’une position de de référence et générer un signal de commande pour les moyens de réglage de chaque module de mise en forme pour lequel les données représentatives de la position du faisceau en sortie est différence de la donnée représentative d’une position de référence.
Selon un exemple, les moyens de réglage sont des moyens de réglage internes au module de mise en forme et agencés pour régler la position dudit au moins un élément optique de mise en forme.
Selon un exemple, les moyens de réglage sont des moyens de réglage externes au module de mise en forme et agencés pour régler la position globale dudit module de mise en forme.
L’invention concerne également un procédé de traitement thermique d’un substrat verrier utilisant le dispositif de traitement thermique selon l’invention, caractérisé en ce qu’il comprend les étapes : a) se munir d’un substrat et le faire circuler sur les moyens de convoyage ; b) mettre fonctionnement les générateurs lasers ; c) générer, à un instant t, des données représentatives de la position du faisceau de sortie de chaque module de mise en forme par l’intermédiaire du capteur de position de chaque module de mise en forme ; d) envoyer ces données représentatives de la position mesurée du faisceau de sortie de chaque module de mise en forme à une unité de calcul ; e) comparer les données représentatives de la position du faisceau de sortie de chaque module de mise en forme à une donnée représentative d’une position de référence ;
f) générer un signal de commande, par l’intermédiaire de l’unité de calcul, et l’envoyer aux moyens de réglage associés à chaque module de mise en forme pour lequel les données représentatives de la position du faisceau en sortie est différente de la donnée représentative d’une position de référence, ledit signal de commande permettant d’agir sur les moyens de réglage pour modifier la position du faisceau de sortie ; g) répéter les étapes c) à f) à un intervalle défini durant une durée définie.
Selon un exemple, l’intervalle de répétition est variable et augmente avec la durée de traitement. DESCRIPTION DES FIGURES
D’autres particularités et avantages ressortiront clairement de la description qui en est faite ci-après, à titre indicatif et nullement limitatif, en référence aux dessins annexés, dans lesquels:
-les fig. 1 a et 1 b est une représentation schématique du dispositif de traitement thermique selon l’invention;
-les fig. 2 à 5 sont des représentations schématiques module de mise en forme selon l’invention et de ses variantes;
DESCRIPTION DETAILLEE DE L’INVENTION
Aux figures 1a et 1 b est représenté le dispositif de traitement thermique 1 d’un substrat S selon l’invention. Le substrat S traité est, par exemple verrier, et, par exemple, un substrat de grande largeur, tels qu’une feuille de verre plat de taille « jumbo » (6 m x 3,21 m) sortant des procédés de verre plat ou float.
Ce dispositif de traitement thermique 1 comprend des moyens de convoyage 2 permettant le transport des substrats S. De tels moyens de convoyage 2 peuvent se présenter sous la forme de deux rails parallèles sur lesquels un châssis muni de supports pour le substrat sont agencés. Il peut être également prévu que les moyens de convoyage 2 se présentent sous la forme de deux rails parallèles sur lesquels sont montées des roues permettant au substrat d’être mobile. Certaines roues sont alors connectées à un moteur pour permettre le défilement du substrat. De même le convoyage peut se faire sur un convoyeur à rouleaux.
Pour une feuille de verre plat de taille « jumbo » (6 m x 3,21 m), il sera prévu que le convoyage se fasse dans une première direction s’étendant suivant la plus grande des deux dimensions de la feuille. Dans le cas d’une feuille de taille « jumbo » (6 m x 3,21 m), on définira que la feuille présente une longueur de 6m et une largeur de 3.21 m et que les moyens de convoyage permettent à ladite feuille de verre de se déplacer suivant sa longueur. Le dispositif de traitement thermique 1 comprend en outre des moyens de chauffage C. Ces moyens de chauffage C comprennent une pluralité de générateurs lasers L. Chaque générateur laser L peut utiliser la technologie du laser solide ou du laser à diode ou du laser à fibre ou du laser à disque se présentant comme étant l'association parfaite d'un laser à solide avec un laser à diode permettant une qualité de faisceau et un rendement supérieur.
Les générateurs lasers L fournissent chacun un faisceau F et sont associés à un module de mise en forme M pour obtenir un faisceau en forme de ligne ayant une longueur allant de 10 à 50cm et une largeur inférieure ou égale à 10Oprn. Ces générateurs lasers L sont alors agencés les uns à côtés des autres afin que les faisceaux s’additionnent pour former une seule ligne de grande longueur.
Afin de pouvoir régler l’alignement de ces différents faisceaux et ainsi obtenir une ligne laser la plus précise possible, la présente invention utilise le ou les modules de mise en forme M pour opérer cet alignement. Chaque générateur laser L est associé à un module de mise en forme M.
Chaque module de mise en forme M, représenté en figure 2, consiste en une enceinte 10 comprenant une entrée E par laquelle un faisceau d’entrée Fe, le faisceau laser généré par le générateur laser L, entre. Le faisceau entrant Fe dans le module de mise en forme M est agencé sous forme circulaire c’est-à-dire sortant directement du générateur laser L ou sous forme de ligne c’est-à-dire en étant passé par un élément optique de mise en forme. Dans le cas ou le faisceau entrant est circulaire, l’élément optique de mise en forme est agencé dans le module de mise en forme. Dans cette enceinte 10, un premier élément optique 11 est agencé. Ce premier élément optique 11 est utilisé pour focaliser le faisceau laser. Ce faisceau laser est focalisé en direction d’une sortie de l’enceinte et est le faisceau de sortie Fs.
Ledit premier élément optique 11 peut être un miroir ou une lentille ou un prisme. Suivant la puissance du faisceau laser, un miroir sera préféré à une lentille pour ses performances thermiques.
L’enceinte 10 du module de mise en forme M comprend au moins un élément optique de mise en forme pour la mise en forme du faisceau laser. Un tel élément optique de mise en forme O peut se présenter sous la forme d’une lentille de mise en forme P ou d’un élément réflecteur R. Un élément réflecteur R est utilisé pour « plier » le faisceau extrait afin de rendre l’ensemble plus compact comme visible à la figure 4.
Le nombre d’éléments optiques de mise en forme O utilisé sera dépendant de la compacité souhaitée et/ou de la forme souhaitée pour le faisceau. Bien entendu, l’enceinte 10 peut comprendre au moins un élément optique de mise en forme O sous forme d’élément réflecteur R et/ou au moins un élément optique de mise en forme O sous forme d’une optique ou lentille P.
Cette notion de compacité peut aussi s’appliquer pour la portion de faisceau laser entre l’entrée de l’enceinte E et le premier élément optique 11. En effet, suivant les dimensions de l’enceinte et la nature du premier élément optique, il peut être nécessaire de recourir à au moins un élément réflecteur R.
Dans un exemple de réalisation visible à la figure 5, le module de mise en forme M est configuré pour que le premier élément optique 11 soit un miroir courbe. Un tel miroir permet de concentrer et donc de focaliser le faisceau laser. Dans cet exemple, des éléments réflecteurs R sont agencés entre l’entrée de l’enceinte E et le premier élément optique 11.
En effet, comme c’est la courbure du premier élément optique 11 qui génère la focalisation et qu’elle se trouve en direction de la sortie de l’enceinte 10, il est nécessaire de dévier le faisceau laser pour le pointer en direction de la surface courbe du premier élément optique 11 afin qu’il soit également dévié et focalisé. Ainsi, l’exemple de la figure 5 montre la présence d’un premier élément réflecteur R1 utilisé pour dévier ledit faisceau d’au moins au moins égale à 90°, de préférence supérieure à 90°. La présence d’un angle supérieur à 90° permet d’orienter le faisceau en direction de la paroi par laquelle le faisceau laser entre. Un second élément réflecteur R2 est agencé pour dévier le faisceau laser dévié par le premier élément réflecteur R1. Cette déviation est opérée pour dévier le faisceau laser dans une direction allant vers la paroi par laquelle le faisceau sort. Ce faisceau laser dévié est capté par le premier élément optique 11.
Le premier élément réflecteur R1 et le second élément réflecteur R2 sont des miroirs plats.
Astucieusement, le module de mise en forme M comprend un élément séparateur 12. Cet élément séparateur 12 est agencé entre l’entrée E de l’enceinte par laquelle le faisceau laser entre et l’élément optique 11. Cet élément séparateur 12 est utilisé pour extraire une partie fe du faisceau laser. Cette extraction, qui est opérée sur une portion ou la totalité du faisceau, a pour but de diriger la partie extraite fe du faisceau laser vers un récepteur optique 20. Un tel récepteur optique 20 est un capteur muni d’une cible ou surface de réception sur laquelle le faisceau extrait est dirigé. Ce capteur 20 est conçu pour permettre de détecter la position du faisceau extrait fe sur cette cible et donc la variation de position dudit faisceau extrait fe. Ce capteur 20 est connecté à une unité de calcul 100, de préférence agencée en dehors dudit module de mise en forme M, traitant les données envoyées par le capteur. Cette unité de calcul 100 est, préférentiellement, connectée aux différents modules de mise en forme M.
Cet élément séparateur 12 est, selon un exemple, est une lame de verre sur laquelle est déposé un revêtement antireflet. Cette lame revêtue est agencée pour que l’angle formé par le faisceau laser et le plan de la lame de verre ne soit pas nul ou égal à 90°.
Dans le cas de la figure 5, un élément séparateur 12 est agencé entre le second élément réflecteur R2 et le premier élément optique. En effet, cette portion est rectiligne, c’est-à-dire adaptée pour y placer ledit élément séparateur 12. Un troisième élément réflecteur R3 est, optionnellement, agencé entre l’élément séparateur 12 et le capteur 20.
Optionnellement, un second élément optique 13 est associé à cet élément séparateur 12 comme visible à la figure 3. Ce second élément optique 13 est utilisé pour focaliser le faisceau extrait vers le capteur 20.
Cet agencement est conçu pour permettre, outre la détection de la position du faisceau extrait, la détermination de l’écart de position entre une position de référence et la position détectée. En effet, un tel module de mise en forme M est soumis à des comportements thermiques de sorte qu’à froid ou en régime stabilisé, l’alignement peut varier. Il faut donc déterminer l’amplitude du déplacement de chaque module de mise en forme M par rapport à une position de référence.
En effet, l’agencement du premier élément optique 11 , du second élément optique 13 et de l’élément séparateur 12 est tel que qu’un mouvement détecté par le capteur 20 est répercuté au niveau du faisceau de sortie Fs par une modification de la position du point de focalisation.
On comprendra qu’idéalement, cet élément séparateur 12 est, agencé entre le dernier élément optique de mise en forme O et le premier élément optique 11. En effet, les éléments optiques de mise en forme O sont les éléments qui, sous l’effet de la chaleur du faisceau laser, ont un comportement transitoire. Ainsi, le placement de l’élément réflecteur 12 juste avant le premier élément optique 11 et donc, après les éléments optiques de mise en forme O, permet de capter les déplacements du faisceau lors de ce comportement transitoire
Pour déterminer l’amplitude du déplacement, les caractéristiques du premier élément optique 11 et du second élément optique 13 sont utilisées. Plus particulièrement, les longueurs focales effectives de ces éléments optiques sont utilisées. Il existe alors une relation mathématique simple liant le déplacement du faisceau extrait par l’élément séparateur et le déplacement du faisceau focalisé en sortie. Ainsi, si la longueur focale f1 du premier élément optique 11 et la longueur focale f2 du second élément optique 13 sont identiques alors l’amplitude du mouvement du faisceau extrait est égale à l’amplitude du faisceau focalisé en sortie. Si on souhaite amplifier le mouvement du faisceau extrait afin d’augmenter la précision de la position détectée alors il est nécessaire d’augmenter la longueur focale f2 du second élément optique 13 c’est-à-dire de l’élément optique associé à l’élément séparateur 12.
Dans ce cas d’une augmentation de la longueur focale du second élément optique 13, une option consiste à utiliser au moins un élément réflecteur R pour compacter le faisceau extrait comme visible à la figure 4. En effet, si on utilise un second élément optique 13 avec une grande longueur focale f2 et qu’on considère que le capteur 20 doit être situé au niveau du point de focalisation du second élément optique 13, alors la longueur nécessaire du faisceau extrait sera importante.
Dans le cas du premier élément optique 11 , celui-ci peut comprend plusieurs éléments comme un élément réflecteur pouvant être un miroir plat ou un miroir courbe. En effet, si un miroir plat réfléchi un faisceau sans le déformer, un miroir courbe le déforme. L’utilisation d’un miroir courbe comme troisième élément réflecteur permet avantageusement d’aider à la focalisation du faisceau laser en sortie. S’il est possible de n’utiliser comme premier élément 11 optique, qu’une seule pièce pour focaliser le faisceau laser, il est possible de focaliser ledit faisceau laser en deux fois en utilisant un miroir courbe faisant office d’élément réflecteur R.
Dans ce cas, la longueur focale effective en sortie est la combinaison de la longueur focale de chaque pièce formant le premier élément optique 11.
On comprendra que les éléments optiques 11 , 13 se présentant sous forme de lentille peuvent comprendre au moins deux pièces comme des lentilles ou miroirs courbes pour obtenir le résultat souhaité
De même, on comprendra que les éléments réflecteurs 12, R peuvent être des prismes ou miroirs ou lame minces munies d’un revêtement plus ou moins réflectif.
Ce module de mise en forme M est associé à des moyens de réglage 30. Ces moyens de réglage 30 sont utilisés pour permettre le réglage de l’alignement. En effet, si le module de mise en forme M et son capteur 20 intégré permettent de détecter la position du faisceau laser et donc, de déduire une variation de la position pouvant entraîner un désalignement, il est nécessaire de corriger ce potentiel désalignement. Les moyens de réglage 30 permettent donc de remédier à cela.
Dans un premier mode de réalisation visible à la figure 1 a, les moyens de réglage 30 sont des moyens de réglage externes 31 au module de mise en forme et se présentent donc sous différentes formes, comme par exemple ; un support articulé. Un tel support articulé comprend une embase ou plaque de base fixée sur un bâti. Le support articulé comprend en outre une plaque de fixation sur laquelle le générateur laser est fixé, par exemple, par boulonnage. La plaque de fixation est connectée à la plaque de base par l’intermédiaire de pieds. Ces pieds, au nombre d’au moins deux, préférablement trois, encore préférablement cinq, et encore plus préférablement six, sont réglables de sorte que la plaque de fixation sur laquelle est fixé le générateur laser puisse se mouvoir selon plusieurs degrés de liberté. Préférablement, avec six pieds, la plaque de fixation sur laquelle est fixé le générateur laser présente six degrés de liberté. Dans un exemple non limitatif, chaque pieds comporte deux tubes coulissants l’un dans l’autre et des rotules à chaque extrémité pour la connexion du pied à la plaque de base et à la plaque de fixation.
Par conséquent, le réglage de la position des deux tubes l’un par rapport à l’autre permet, lorsque la totalité des pieds sont réglées, d’obtenir un positionnement précis de la plaque de fixation par rapport à la plaque de base.
Pour le réglage de la position des deux tubes l’un par rapport à l’autre, il est possible d’utiliser différents systèmes comme un système hydraulique utilisant des micro pompes et un fluide hydraulique ou un système micromécanique utilisant des moteurs, le tout étant géré par une unité de calcul II existe alors une relation entre la position des moyens de réglage externe
31 et la position du point de focalisation. Chaque pas de réglage entraîne une variation de la position du point de focalisation.
Dans un second mode de réalisation visible à la figure 3, les moyens de réglage 30 sont des moyens de réglage internes 32 au module de mise en forme M. Ces moyens de réglage internes 32 comprennent au moins un support réglable sur lequel au moins un élément optique de mise en forme O est agencé.
Ce support réglable est un support présentant au moins un degré de déplacement dudit élément optique O qui y est fixé. Ce degré de déplacement peut être une translation dans la direction de propagation du faisceau laser ou orthogonalement à celui-ci (hauteur) ou une inclinaison.
Le fonctionnement de ce module de mise en forme M associé à des moyens de réglage 30 consiste, pour une ligne laser constituée au moins deux générateurs lasers L, à connecter les capteurs 20 desdits modules de mise en forme M à la même unité de calcul 100.
Une étape préalable consiste à obtenir une position de référence pour les lasers formant la ligne. Pour cela, les différents générateurs lasers sont mis en fonctionnement de sorte que le capteur 20 intégré dans chaque module de mise en forme M puisse détecter un faisceau et sa position. Les informations de position sont envoyées à une unité de calcul 100. Une fois que le système est stable c’est-à-dire que le module de mise en forme M est chaud. Générateurs laser L et éléments optiques, éléments réflecteurs à température de fonctionnement, les positions détectées par les capteurs 20 sont stockées en mémoire. Une opération d’alignement est alors opérée en prenant une des positions comme référence et en réglant les autres modules de mise en forme M. Pour cela, l’unité de calcul 100 génère des signaux de commande vers les moyens de réglage 30 des modules de mise en forme M. Cette action sur les moyens de réglage 30 de chaque module de mise en forme M permet d’obtenir un alignement des différents faisceaux formant la ligne laser.
Les positions ainsi détectées sont mémorisées et considérées comme des valeurs de référence.
Lors d’une utilisation ultérieure, la position de référence est prise comme référence pour le réglage de l’alignement pendant la phase de démarrage transitoire durant laquelle la stabilité thermique n’est pas présente, pour peu que les moyens de réglage 30 n’aient pas été modifiés. Durant cette période non stable thermiquement, l’unité de calcul 100 reçoit à intervalle régulier des données concernant la position des faisceaux lasers de chaque module de mise en forme M.
Pour être fiables, ces données doivent être mesurées au même instant t.
Pour cela, il existe deux possibilités. La première possibilité est d’avoir l’unité de calcul programmée pour envoyer simultanément aux modules de mise en forme M une commande de mesure. Cette commande de mesure envoyée à chaque module de mise en forme M entraîne la détection, par le capteur 20 de position de chaque module de mise en forme M, de la position du faisceau dudit module de mise en forme. La valeur de position ainsi détectée par chaque capteur est envoyée à ladite unité de calcul 100 permettant d’avoir une valeur de position réalisée simultanément pour les différents modules de mise en forme M. Cette commande est envoyée à intervalle régulier pour permettre d’avoir une surveillance de la position des faisceaux lasers.
Dans une seconde possibilité, le capteur 20 de chaque module de mise en forme M envoie en permanence un flux de données correspondant à la position du faisceau laser. L’unité de calcul 100 reçoit ainsi un nombre de flux de données égal au nombre de module de mise en forme M. Cette unité de calcul 100 est programmée pour être capable, à un instant t, de mémoriser une donnée particulière du flux de donnée dans une unité mémoire. Cette capacité est utilisé pour chaque flux de sorte que l’unité de calcul est capable, à un instant t, de mémoriser une donnée particulière de chacun des flux. Cette donnée étant représentative de la position du faisceau, l’unité de calcul 100 peut ainsi mémoriser la position de chaque faisceau au même instant. Cette action de mémorisation est opérée à intervalle régulier afin d’obtenir un tableau de valeurs des positions des différents faisceaux.
Lorsqu’une première série de position est mémorisée par l’unité de calcul, chacune de ces positions est comparée, par ladite unité de calcul, à la position de référence. L’unité de calcul 100 est programmée avec un algorithme dans lequel la relation mathématique liant le déplacement du faisceau en sortie du module de mise en forme M avec son déplacement au niveau du capteur est intégrée et dans lequel l’échelle du capteur 20 est intégrée. Cela permet à l’unité de calcul 100 de connaître, en fonction de la différence de position entre la position détectée et la position de référence, l’amplitude du décalage entre ces deux positions. Cette détermination de l’amplitude du décalage entre ces deux positions est réalisée pour chaque module de mise en forme M de sorte que l’unité de calcul 100 peut, pour chaque module de mise en forme M, générer un signal de commande envoyé aux moyens de réglage 30 associés à chaque module de mise en forme M. Ce signal de commande est un signal permettant d’agir sur les moyens de réglage 30 de chaque module de mise en forme M pour modifier leur assiette permettant ainsi de corriger le décalage de position.
Dans le cas du premier mode de réalisation, les moyens de réglage 30 sont externes ce qui signifie qu’une action sur ces moyens de réglage externes 31 entraînent une modification de la position du module de mise en forme sans modifier la position du faisceau sur le capteur. Par conséquent, une action sur les moyens de réglage externes 31 ne permet pas au faisceau capté par le capteur 20 de se rapprocher de la position de référence. Dans ce cas, l’utilisation de la dépendance entre la position du point de focalisation et la position sur le capteur et la dépendance entre la position du point de focalisation et les moyens de réglage externes sont utilisées. En effet, suite à la première mesure, un décalage, au niveau du capteur 20, entre la position de référence et la position détectée est observé. Ce décalage sur le capteur est représentatif d’une variation de position du point de focalisation. Si cette variation est connue, il est possible d’agir sur les moyens de réglage externes 31 pour compenser cette variation en utilisation la relation entre la position du point de focalisation et le réglage des moyens de réglage externes 31. Lorsqu’une nouvelle position est détectée, un réglage est effectué. Deux solutions sont possibles.
Une première solution consiste à comparer cette nouvelle position détectée à la position précédente pour déterminer l’écart avec ladite position précédente. Cet écart permet, via les relations entre la position du point de focalisation et la position sur le capteur 20 et entre la position du point de focalisation et les moyens de réglage externes 31 , de déterminer l’amplitude du réglage à opérer pour les moyens de réglage externes.
Une seconde solution consiste à comparer cette nouvelle position détectée à la position de référence pour déterminer l’écart entre elles. Cet écart permet, via les relations entre la position du point de focalisation et la position sur le capteur 20 et entre la position du point de focalisation et les moyens de réglage externes 31 et via la connaissance de la position actuelle des moyens de réglage externes 31 , de déterminer l’amplitude du réglage à opérer pour les moyens de réglage externes.
Dans le cas du second mode de réalisation, c’est-à-dire avec des moyens de réglage 30 sous forme de moyens de réglage internes 32, la position de référence reste la même. En effet, on considère que, dans ce second mode de réalisation, une action sur les moyens de réglage internes 32 entraîne une modification de la position du faisceau sur le capteur 20. Par conséquent, à chaque action des moyens de réglage internes 32, on tend à faire en sorte que la position du faisceau après réglage soit au niveau de la position de référence.
Etant donné que, lors de la phase de démarrage transitoire, les conditions thermiques évoluent, cette opération de prise de mesures et de comparaison par rapport à une position de référence est répétée. Cette répétition se fait suivant un intervalle fixe ou variable. En effet, si un intervalle fixe permet d’avoir une régulation simple, un intervalle de mesure variable pourra permettre d’avoir une régulation plus fine sur une période déterminée. Effectivement, il peut être intéressant pour l’opérateur de la ligne de production que les mesures de positions et les corrections associées soient réalisées avec un intervalle plus court vers la fin de la période transitoire qu’au début. La durée de cette période transitoire est sensiblement connue de sorte que l’unité de calcul peut être programmée pour rétrécir l’intervalle entre deux mesures de position - réglage lorsque la fin de la phase transitoire approche. Mais, il peut être également prévu d’avoir une intervalle de mesure qui est plus court au début de la période transitoire qu’a la fin. Cette configuration est avantageuse en ce qu’elle permet d’effectuer les réglages plus fréquemment quand les variations sont plus rapides.
Bien entendu, la présente invention ne se limite pas à l’exemple illustré mais est susceptible de diverses variantes et modifications qui apparaîtront à l’homme de l’art.

Claims

REVENDICATIONS
1. Module de mise en forme (M) d’un faisceau laser comprenant une enceinte (10) comprenant une ouverture d’entrée (E) pour l’entrée d’un faisceau laser et d’une ouverture de sortie pour la sortie dudit faisceau, ladite enceinte comprenant en outre au moins un élément optique de mise en forme (O) agencé sur le trajet du faisceau et un premier élément optique (11 ) pour fournir un faisceau de sortie focalisé, ledit module comprend en outre un élément séparateur (12), agencé entre ledit élément optique de mise en forme (O) et le premier élément optique
(11 ), pour extraire une partie (fe) d’au moins une portion du faisceau entrant et un capteur de position (20) du faisceau laser agencé sur le chemin de la partie extraite du faisceau mesurant la position dans au moins une direction.
2. Module de mise en forme selon la revendication 1 , dans lequel ledit capteur de position du faisceau lumineux est apte à être connecté à une unité de calcul (100).
3. Module de mise en forme selon l’une des revendications précédentes, dans lequel ledit au moins un élément optique de mise en forme (O) est un élément réflecteur (R) permettant d’allonger le trajet du faisceau laser dans ledit module de mise en forme.
4. Module de mise en forme selon l’une des revendications précédentes, dans lequel au moins un élément réflecteur (R) est agencé entre l’élément séparateur
(12) du faisceau laser et le capteur de position (20) du faisceau laser.
5. Module de mise en forme selon l’une des revendications précédentes, dans lequel ledit au moins un élément optique de mise en forme (O) est une lentille de mise en forme (P).
6. Module de mise en forme selon l’une des revendications précédentes, dans lequel au moins un second élément optique (13) est agencé entre l’élément séparateur (12) du faisceau laser et le capteur de position (20) du faisceau laser pour focaliser le faisceau extrait sur ledit capteur de position.
7. Module de mise en forme selon l’une des revendications précédentes, dans lequel le premier élément optique et/ou le second élément comprennent une lentille ou un moins deux lentilles ou un miroir focalisant.
8. Module de mise en forme selon l’une des revendications précédentes, dans lequel l’élément séparateur comprend un prisme optique ou une lame mince sur laquelle un revêtement partiellement réfléchissant est agencé.
9. Module de mise en forme selon l’une des revendications précédentes, dans lequel ledit au moins un élément réflecteur comprend un miroir plat ou courbe.
10. Dispositif de traitement thermique (1 ) d’un substrat (S) s’étendant selon une première direction et une seconde direction orthogonale à la première direction, ledit dispositif de traitement thermique comprenant des moyens de convoyage (2) dudit substrat verrier et des moyens de chauffage (C) pour opérer le traitement thermique, caractérisé en ce que lesdits moyens de chauffage (C) comprennent au moins deux générateurs (L) laser générant chacun un faisceau laser (F), lesdits générateurs laser étant agencés pour que les faisceaux forment ensembles une ligne laser continue, ledit dispositif comprenant en outre un module de mise en forme d’un faisceau laser (M) selon l’une des revendications précédentes pour chaque générateur et une unité de calcul (100) connectée à chaque module de mise en forme, chaque module de mise en forme étant associé à des moyens de réglage (30).
11. Dispositif de traitement thermique selon la revendication précédente, dans lequel ladite unité de calcul est agencée pour récupérer des données représentatives de la position du faisceau en sortie de chaque module de mise en forme, les comparer chacune à une donnée représentative d’une position de de référence et générer un signal de commande pour les moyens de réglage de chaque module de mise en forme pour lequel les données représentatives de la position du faisceau en sortie est différente de la donnée représentative d’une position de référence.
12. Dispositif selon l’une des revendications 10 ou 1 1 , dans lequel les moyens de réglage (30) sont des moyens de réglage internes (32) au module de mise en forme et agencés pour régler la position dudit au moins un élément optique de mise en forme.
13. Dispositif selon l’une des revendications 10 ou 1 1 , dans lequel les moyens de réglage (30) sont des moyens de réglage externes (31 ) au module de mise en forme et agencés pour régler la position globale dudit module de mise en forme.
14. Procédé de traitement thermique d’un substrat verrier utilisant le dispositif de traitement thermique selon l’une des revendications 10 à 13, caractérisé en ce qu’il comprend les étapes :
a) se munir d’un substrat et le faire circuler sur les moyens de convoyage ;
b) mettre fonctionnement les générateurs (L) laser ;
c) générer, à un instant t, des données représentatives de la position du faisceau de sortie de chaque module de mise en forme par l’intermédiaire du capteur de position de chaque module de mise en forme ;
d) envoyer ces données représentatives de la position mesurée du faisceau de sortie de chaque module de mise en forme à une unité de calcul ;
e) comparer les données représentatives de la position du faisceau de sortie de chaque module de mise en forme à une donnée représentative d’une position de référence ;
f) générer un signal de commande, par l’intermédiaire de l’unité de calcul, et l’envoyer aux moyens de réglage associés à chaque module de mise en forme pour lequel les données représentatives de la position du faisceau en sortie est différente de la donnée représentative d’une position de référence, ledit signal de commande permettant d’agir sur les moyens de réglage pour modifier la position du faisceau de sortie ;
g) répéter les étapes c) à f) à un intervalle défini durant une durée définie.
15. Procédé de traitement thermique selon la revendication précédente, dans lequel l’intervalle de répétition est variable et augmente avec la durée de traitement.
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