WO2020194416A1

WO2020194416A1 - 加工システム及び加工方法

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Publication number: WO2020194416A1
Application number: PCT/JP2019/012305
Authority: WO
Inventors: 秀実川井; 和樹上野; 壮史松田; 重紀杉下
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2019-03-25
Filing date: 2019-03-25
Publication date: 2020-10-01
Anticipated expiration: 2021-09-25

Abstract

加工システムは、物体が収容される収容空間が内部に形成された収容部材と、収容空間と接続する第１経路とを備え、第１経路を介して収容空間に供給された第１気体と第１気体とは異なる第２気体とを収容部材の内部において混合し、第１及び第２気体が混合された混合気体を収容部材の外部へ排出する。

Description

加工システム及び加工方法

　本発明は、例えば、物体を加工する加工システム及び加工方法の技術分野に関する。

　特許文献１には、粉状の材料をエネルギビームで溶融した後に、溶融した材料を固化させることで物体を加工する加工装置が記載されている。このような物体を加工する加工装置では、物体が加工される加工空間から、窒素ガス等のパージガスを安全に排出することが技術的課題となる。

米国特許第５，０３８，０１４号

　第１の態様によれば、物体が収容される収容空間が内部に形成された収容部材と、第１気体によってパージされた前記収容空間内で前記物体に対する加工処理を行う加工装置と、前記収容空間に供給された前記第１気体を少なくとも含む気体が排出される排気口とを備え、前記収容空間に供給された前記第１気体が前記排気口から排出される前に、前記第１気体と前記第１気体とは異なる第２気体とを混合する加工システムが提供される。

　第２の態様によれば、物体が収容される収容空間が内部に形成された収容部材と、第１気体によってパージされた前記収容空間内で前記物体に対する加工処理を行う加工装置と、前記収容空間に供給された前記第１気体を少なくとも含む気体が排出される排気口とを備え、前記収容空間に供給された前記第１気体が前記排気口から排出される前に、前記第１気体を希釈する加工システムが提供される。

　第３の態様によれば、物体が収容される収容空間が内部に形成された収容部材と、第１気体によってパージされた前記収容空間内で前記物体に対する加工処理を行う加工装置と、前記収容空間に供給された前記第１気体を少なくとも含む気体が排出される排気口とを備え、前記収容空間に供給された前記第１気体が前記排気口から排出される前に、前記第１気体が存在する空間に、前記第１気体と異なる第２気体を供給し、前記第２気体が供給された空間の気体を前記排気口から排出する加工システムが提供される。

　第４の態様によれば、収容空間と、前記収容空間に気体を供給する供給装置とを備え、前記供給装置からの前記気体の供給に関する情報に基づいて前記収容空間からの排出量を調整する加工システムが提供される。

　第５の態様によれば、収容空間と、粉粒体の供給装置と、前記供給装置から供給される前記粉粒体を用いて前記収容空間内で加工処理を行う加工装置とを備え、前記収容空間の内部の気体を排出する排出装置を介して前記供給装置の少なくとも一部の空間から気体を排出可能である加工システムが提供される。

　第６の態様によれば、収容空間と、粉粒体の供給装置と、前記供給装置から供給される前記粉粒体を用いて前記収容空間内で加工処理を行う加工装置とを備え、前記収容空間を介さずに、前記供給装置の少なくとも一部の空間から気体を排出可能である加工システムが提供される。

　第７の態様によれば、収容空間と、粉粒体の供給装置と、前記供給装置から供給される前記粉粒体を用いて前記収容空間内で加工処理を行う加工装置とを備え、前記収容空間の内部の気体と、前記粉粒体の供給装置の少なくとも一部の内部の気体とを個別に排出可能である加工システムが提供される。

　第８の態様によれば、収容空間と、粉粒体の供給装置と、前記収容空間内で前記供給装置から供給される前記粉粒体を用いて加工処理を行う加工装置とを備え、前記収容空間に気体を給気する給気装置を介して前記供給装置の少なくとも一部を給気可能である加工システムが提供される。

　第９の態様によれば、収容空間と、粉粒体の供給装置と、前記供給装置から供給される前記粉粒体を用いて前記収容空間内で加工処理を行う加工装置とを備え、前記収容空間と、前記粉体の供給装置の少なくとも一部とに個別に気体を給気可能である加工システムが提供される。

　第１０の態様によれば、収容空間と、粉粒体の供給装置と、前記供給装置から供給される前記粉粒体を用いて前記収容空間内で加工処理を行う加工装置とを備え、前記収容空間と前記供給装置の少なくとも一部との一方を大気開放するとき、前記収容空間と前記供給装置の少なくとも一部との他方を大気開放しない加工システムが提供される。

　第１１の態様によれば、収容空間と、粉粒体の供給装置と、前記供給装置から供給される前記粉粒体を用いて前記収容空間内で加工処理を行う加工装置とを備え、前記供給装置からの前記粉粒体の供給に関する情報に基づいて前記収容空間からの気体の排出量を調整する加工システムが提供される。

　第１２の態様によれば、収容部材の内部に形成され且つ物体が収容される収容空間に第１気体を供給することと、前記第１気体によってパージされた前記収容空間内で前記物体に対する加工処理を行うことと、前記収容空間に供給された前記第１気体を少なくとも含む気体を排気口から排出することと、前記収容空間に供給された前記第１気体が前記排気口から排出される前に、前記第１気体を、前記第１気体とは異なる第２気体と混合することとを含む加工方法が提供される。

　第１３の態様によれば、収容部材の内部に形成され且つ物体が収容される収容空間に第１気体を供給することと、前記第１気体によってパージされた前記収容空間内で前記物体に対する加工処理を行うことと、前記収容空間に供給された前記第１気体を少なくとも含む気体を排気口から排出することと、前記収容空間に供給された前記第１気体が前記排気口から排出される前に、前記収容空間に供給された前記気体を希釈することとを含む加工方法が提供される。

　本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための形態から明らかにされる。

図１は、第１実施形態の加工システムの構造を示す断面図である。図２は、第１実施形態の筐体の構造を示す断面図である。図３（ａ）から図３（ｃ）の夫々は、ワーク上のある領域において光を照射し且つ造形材料を供給した場合の様子を示す断面図である。図４（ａ）から図４（ｃ）の夫々は、３次元構造物を形成する過程を示す断面図である。図５は、加工システムが加工動作を開始する前におけるパージガスの流れを示す断面図である。図６は、加工システムが加工動作を行っている間のパージガスの流れを示す断面図である。図７は、加工システムが加工動作を完了した後のパージガスの流れを示す断面図である。図８は、第２実施形態の筐体の構造を示す断面図である。図９は、第３実施形態の筐体の構造を示す断面図である。図１０は、第４実施形態の筐体の構造を示す断面図である。図１１は、第５実施形態の筐体の構造を示す断面図である。図１２は、第５実施形態の筐体の混合空間内においてパージガスの流れを示す断面図である。図１３は、第６実施形態の筐体の構造を示す断面図である。図１４は、第７実施形態の筐体の構造を示す断面図である。図１５は、第８実施形態の筐体の構造を示す断面図である。図１６は、第９実施形態の加工システムの構造を示す断面図である。図１７は、第１０実施形態の筐体の構造を示す断面図である。図１８は、第１０実施形態の加工システムが加工動作を行っている間のパージガスの流れを示す断面図である。図１９は、第１１実施形態の筐体の構造を示す断面図である。図２０は、第１１実施形態における加工システムが加工動作を完了した後に加工空間のパージガスが外部空間に排出される一工程を示す断面図である。図２１は、第１１実施形態における加工システムが加工動作を完了した後に加工空間のパージガスが外部空間に排出される一工程を示す断面図である。図２２は、第１１実施形態における加工システムが加工動作を完了した後に加工空間のパージガスが外部空間に排出される一工程を示す断面図である。図２３は、第１２実施形態の筐体の構造を示す断面図である。図２４は、第１２実施形態における加工システムが加工動作を開始する前に加工空間にパージガスが供給される一工程を示す断面図である。図２５は、第１２実施形態における加工システムが加工動作を完了した後に加工空間のパージガスが外部空間に排出される一工程を示す断面図である。図２６は、第１２実施形態における加工システムが加工動作を完了した後に加工空間のパージガスが外部空間に排出される一工程を示す断面図である。図２７は、第１３実施形態の加工システムの構造を示す断面図である。図２８は、第１４実施形態の加工システムの構造を示す断面図である。図２９は、第１５実施形態の筐体の構造を示す断面図である。図３０は、第１６実施形態の加工システムの構造を示す断面図である。図３１は、ディスプレイにおけるシステム状態情報の表示例を示す平面図である。図３２は、ディスプレイにおける充填情報の表示例を示す平面図である。図３３は、ディスプレイにおける充填情報の表示例を示す平面図である。図３４２は、ディスプレイにおける充填情報の表示例を示す平面図である。図３５は、ディスプレイにおける充填情報の表示例を示す平面図である。図３６は、ディスプレイにおける充填情報の表示例を示す平面図である。図３７は、ディスプレイにおける充填情報の表示例を示す平面図である。図３８は、ディスプレイにおける充填情報の表示例を示す平面図である。図３９は、ディスプレイにおける充填情報の表示例を示す平面図である。図４０は、ディスプレイにおける排出情報の表示例を示す平面図である。図４１は、ディスプレイにおける排出情報の表示例を示す平面図である。図４２は、ディスプレイにおける排出情報の表示例を示す平面図である。図４３は、ディスプレイにおける排出情報の表示例を示す平面図である。

　以下、図面を参照しながら、加工システム及び加工方法の実施形態について説明する。以下では、物体の一例であるワークＷに付加加工を行う加工システムＳＹＳを用いて、加工システム及び加工方法の実施形態を説明する。特に、以下では、レーザ肉盛溶接法（ＬＭＤ：Ｌａｓｅｒ　Ｍｅｔａｌ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）に基づく付加加工を行う加工システムＳＹＳを用いて、加工システム及び加工方法の実施形態を説明する。レーザ肉盛溶接法に基づく付加加工は、ワークＷに供給した造形材料Ｍを加工光ＥＬで溶融することで、ワークＷと一体化された又はワークＷから分離可能な３次元構造物ＳＴを形成する付加加工である。尚、レーザ肉盛溶接法（ＬＭＤ）は、ダイレクト・メタル・デポジション、ディレクティッド・エナジー・デポジション、レーザクラッディング、レーザ・エンジニアード・ネット・シェイピング、ダイレクト・ライト・ファブリケーション、レーザ・コンソリデーション、シェイプ・デポジション・マニュファクチャリング、ワイヤ－フィード・レーザ・デポジション、ガス・スルー・ワイヤ、レーザ・パウダー・フージョン、レーザ・メタル・フォーミング、セレクティブ・レーザ・パウダー・リメルティング、レーザ・ダイレクト・キャスティング、レーザ・パウダー・デポジション、レーザ・アディティブ・マニュファクチャリング、レーザ・ラピッド・フォーミングと称してもよい。

　また、以下の説明では、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸から定義されるＸＹＺ直交座標系を用いて、加工システムＳＹＳを構成する各種構成要素の位置関係について説明する。尚、以下の説明では、説明の便宜上、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれが水平方向（つまり、水平面内の所定方向）であり、Ｚ軸方向が鉛直方向（つまり、水平面に直交する方向であり、実質的には上下方向）であるものとする。また、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸周りの回転方向（言い換えれば、傾斜方向）を、それぞれ、θＸ方向、θＹ方向及びθＺ方向と称する。ここで、Ｚ軸方向を重力方向としてもよい。また、ＸＹ平面を水平方向としてもよい。

　（１）第１実施形態の加工システムＳＹＳａ
　初めに、第１実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第１実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳａ”と称する）について説明する。

　（１－１）第１実施形態の加工システムＳＹＳａの全体構造
　初めに、図１を参照しながら、第１実施形態の加工システムＳＹＳａの構造について説明する。図１は、第１実施形態の加工システムＳＹＳａの構造の一例を示す断面図である。但し、図１は、説明の便宜上、加工システムＳＹＳａの構成要素（具体的には、後述する材料供給装置１、光源５、ガス供給装置６及び制御装置７）については、その断面を示していない。

　加工システムＳＹＳａは、３次元構造物ＳＴ（つまり、３次元方向のいずれの方向においても大きさを持つ３次元の物体であり、立体物）を形成可能である。加工システムＳＹＳａは、３次元構造物ＳＴを形成するための基礎となるワークＷ上に、３次元構造物ＳＴを形成可能である。このワークＷを基材又は台座と称してもよい。加工システムＳＹＳａは、ワークＷに付加加工を行うことで、３次元構造物ＳＴを形成可能である。ワークＷが後述するステージ３１である場合には、加工システムＳＹＳａは、ステージ３１上に、３次元構造物ＳＴを形成可能である。ワークＷがステージ３１によって保持されている（或いは、ステージ３１に載置又は支持されている）既存構造物である場合には、加工システムＳＹＳａは、既存構造物上に、３次元構造物ＳＴを形成可能である。この場合、加工システムＳＹＳａは、既存構造物と一体化された３次元構造物ＳＴを形成してもよい。既存構造物と一体化された３次元構造物ＳＴを形成する動作は、既存構造物に新たな構造物を付加する動作と等価とみなせる。尚、既存構造物は例えば欠損箇所がある要修理品であってもよい。加工システムＳＹＳａは、要修理品の欠損箇所を埋めるように、要修理品に３次元構造物を形成してもよい。或いは、加工システムＳＹＳａは、既存構造物と分離可能な３次元構造物ＳＴを形成してもよい。尚、図１は、ワークＷが、ステージ３１によって保持されている既存構造物である例を示している。また、以下でも、ワークＷがステージ３１によって保持されている既存構造物である例を用いて説明を進める。

　上述したように、加工システムＳＹＳａは、レーザ肉盛溶接法により３次元構造物ＳＴを形成可能である。つまり、加工システムＳＹＳａは、積層造形技術を用いて物体を形成する３Ｄプリンタであるとも言える。尚、積層造形技術は、ラピッドプロトタイピング（Ｒａｐｉｄ　Ｐｒｏｔｏｔｙｐｉｎｇ）、ラピッドマニュファクチャリング（Ｒａｐｉｄ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ）、又は、アディティブマニュファクチャリング（Ａｄｄｉｔｉｖｅ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ）とも称される。

　３次元構造物ＳＴを形成するために、加工システムＳＹＳａは、図１に示すように、材料供給装置１と、加工装置２と、ステージ装置３と、筐体４と、光源５と、ガス供給装置６と、制御装置７とを備える。加工装置２とステージ装置３とは、筐体４の内部に形成される加工空間４１１ＩＮ内に収容されている。このため、加工空間４１１ＩＮは、加工装置２とステージ装置３（更には、ステージ装置３が保持するワークＷ）を収容するための収容空間として用いられる。

　材料供給装置１は、加工装置２に造形材料Ｍを供給する。材料供給装置１は、加工装置２が３次元構造物ＳＴを形成するために単位時間あたりに必要とする分量の造形材料Ｍが加工装置２に供給されるように、当該必要な分量に応じた所望量の造形材料Ｍを供給する。

　造形材料Ｍは、所定強度以上の加工光ＥＬの照射によって溶融可能な材料である。このような造形材料Ｍとして、例えば、金属性の材料及び樹脂性の材料の少なくとも一方が使用可能である。但し、造形材料Ｍとして、金属性の材料及び樹脂性の材料とは異なるその他の材料が用いられてもよい。造形材料Ｍは、粉状の材料である。つまり、造形材料Ｍは、粉体である。粉体は、粉状の材料に加えて、粒状の材料を含んでいてもよい。造形材料Ｍは、例えば、９０マイクロメートル±４０マイクロメートルの範囲に収まる粒径の粉体を含んでいてもよい。造形材料Ｍを構成する粉体の平均粒径は、例えば、７５マイクロメートルであってもよいし、その他のサイズであってもよい。造形材料Ｍは、粉体でなくてもよく、例えばワイヤ状の造形材料やガス状の造形材料が用いられてもよい。

　加工装置２は、材料供給装置１から供給される造形材料Ｍを用いて３次元構造物ＳＴを形成する。造形材料Ｍを用いて３次元構造物ＳＴを形成するために、加工装置２は、加工ヘッド２１と、駆動系２２とを備える。更に、加工ヘッド２１は、照射光学系２１１と、材料ノズル（つまり造形材料Ｍを供給する供給系）２１２とを備えている。加工ヘッド２１と、駆動系２２とは、加工空間４１１ＩＮ内に収容されている。

　照射光学系２１１は、射出部２１３から加工光ＥＬを射出するための光学系（例えば、集光光学系）である。具体的には、照射光学系２１１は、加工光ＥＬを発する光源５と、光ファイバやライトパイプ等の不図示の光伝送部材を介して光学的に接続されている。照射光学系２１１は、光伝送部材を介して光源５から伝搬してくる加工光ＥＬを射出する。照射光学系２１１は、加工光ＥＬが加工空間４１１ＩＮを進むように加工光ＥＬを射出する。照射光学系２１１は、照射光学系２１１から下方（つまり、－Ｚ側）に向けて加工光ＥＬを照射する。照射光学系２１１の下方には、ステージ３１が配置されている。ステージ３１にワークＷが載置（或いは、ステージ３１に保持又は支持）されている場合には、照射光学系２１１は、ワークＷに向けて加工光ＥＬを照射する。具体的には、照射光学系２１１は、加工光ＥＬが照射される（典型的には、集光される）領域としてワークＷ上に設定される照射領域ＥＡに加工光ＥＬを照射可能である。更に、照射光学系２１１の状態は、制御装置７の制御下で、照射領域ＥＡに加工光ＥＬを照射する状態と、照射領域ＥＡに加工光ＥＬを照射しない状態との間で切替可能である。尚、照射光学系２１１から射出される加工光ＥＬの方向は真下（つまり、－Ｚ軸方向と一致）には限定されず、例えば、Ｚ軸に対して所定の角度だけ傾いた方向であってもよい。

　材料ノズル２１２は、造形材料Ｍを供給する供給アウトレット２１４を有する。材料ノズル２１２は、供給アウトレット２１４から造形材料Ｍを供給（具体的には、噴射、噴出、吹き付ける）する。このため、材料ノズル２１２は、材料供給装置１と共に、造形材料Ｍを供給するための装置として機能する。材料ノズル２１２は、材料供給装置１が備える造形材料Ｍの供給源と、材料供給装置１が備える材料供給パイプ１１等を介して物理的に接続されている。材料ノズル２１２は、材料供給パイプ１１を介して材料供給装置１から供給される造形材料Ｍを供給する。材料ノズル２１２は、材料供給パイプ１１を介して材料供給装置１から供給される造形材料Ｍを圧送してもよい。即ち、材料供給装置１からの造形材料Ｍと搬送用の気体（例えば、窒素やアルゴン等の不活性ガス）とを混合して材料供給パイプ１１を介して材料ノズル２１２に圧送してもよい。尚、図１において材料ノズル２１２は、チューブ状に描かれているが、材料ノズル２１２の形状は、この形状に限定されない。材料ノズル２１２は、加工空間４１１ＩＮに向けて造形材料Ｍを供給する。材料ノズル２１２は、材料ノズル２１２から下方（つまり、－Ｚ側）に向けて造形材料Ｍを供給する。材料ノズル２１２の下方には、ステージ３１が配置されている。ステージ３１にワークＷが搭載されている場合には、材料ノズル２１２は、ワークＷに向けて造形材料Ｍを供給する。尚、材料ノズル２１２から供給される造形材料Ｍの進行方向はＺ軸方向に対して所定の角度（一例として鋭角）だけ傾いた方向であるが、－Ｚ側（つまり、真下）であってもよい。

　第１実施形態では、材料ノズル２１２は、照射光学系２１１が加工光ＥＬを照射する照射領域ＥＡに向けて造形材料Ｍを供給するように、照射光学系２１１に対して位置合わせされている。つまり、材料ノズル２１２が造形材料Ｍを供給する領域としてワークＷ上に設定される供給領域ＭＡと照射領域ＥＡとが一致する（或いは、少なくとも部分的に重複する）ように、材料ノズル２１２と照射光学系２１１とが位置合わせされている。尚、照射光学系２１１から射出された加工光ＥＬによって形成される溶融池ＭＰに、材料ノズル２１２が造形材料Ｍを供給するように位置合わせされていてもよい。

　駆動系２２は、加工ヘッド２１を移動させる。駆動系２２は、例えば、加工空間４１１ＩＮ内で加工ヘッド２１を移動させる。駆動系２２は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の少なくとも一つに沿って加工ヘッド２１を移動させる。加工ヘッド２１がＸ軸及びＹ軸の少なくとも一方に沿って移動すると、照射領域ＥＡは、ワークＷ上をＸ軸及びＹ軸の少なくとも一方に沿って移動する。更に、駆動系２２は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の少なくとも一つに加えて、θＸ方向、θＹ方向及びθＺ方向の少なくとも一つの回転方向に沿って加工ヘッド２１を移動させてもよい。言い換えると、駆動系２２は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の少なくとも一つの軸回りに加工ヘッド２１を回転させてもよい。駆動系２２は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の少なくとも一つの軸回りに加工ヘッド２１の姿勢を変えてもよい。駆動系２２は、例えば、モータ等のアクチュエータを含む。尚、駆動系２２は、照射光学系２１１と材料ノズル２１２とを別々に移動させてもよい。具体的には、例えば、駆動系２２は、射出部２１３の位置、射出部２１３の向き、供給アウトレット２１４の位置及び供給アウトレット２１４の向きの少なくとも一つを調整可能であってもよい。この場合、照射光学系２１１が加工光ＥＬを照射する照射領域ＥＡと、材料ノズル２１２が造形材料Ｍを供給する供給領域ＭＡとが別々に制御可能となる。

　ステージ装置３は、ステージ３１を備えている。ステージ３１は、チャンバ空間６３ＩＮに収容される。ステージ３１は、ワークＷを支持可能である。尚、ここで言う「ステージ３１がワークＷを支持する」状態は、ワークＷがステージ３１によって直接的に又は間接的に支えられている状態を意味していてもよい。ステージ３１は、ワークＷを保持可能であってもよい。つまり、ステージ３１は、ワークＷを保持することでワークＷを支持してもよい。或いは、ステージ３１は、ワークＷを保持可能でなくてもよい。この場合、ワークＷは、ステージ３１に載置されていてもよい。つまり、ステージ３１は、ステージ３１に載置されたワークＷを支持してもよい。このとき、ワークＷは、クランプレスでステージ３１に載置されていてもよい。従って、本実施形態における「ステージ３１がワークＷを支持する」状態は、ステージ３１がワークＷを保持する状態及びワークＷがステージ３１に載置される状態をも含んでいてもよい。ステージ３１がチャンバ空間６３ＩＮに収容されるため、ステージ３１が支持するワークＷもまた、チャンバ空間６３ＩＮに収容される。更に、ステージ３１は、ワークＷが保持されている場合には、保持したワークＷをリリース可能である。上述した照射光学系２１１は、ステージ３１がワークＷを支持している期間の少なくとも一部において加工ビームＰＬを照射する。更に、上述した材料ノズル２１２は、ステージ３１がワークＷを支持している期間の少なくとも一部において造形材料Ｍを供給する。尚、材料ノズル２１２が供給した造形材料Ｍの一部は、ワークＷの表面からワークＷの外部へと（例えば、ステージ３１の周囲へと）散乱する又はこぼれ落ちる可能性がある。このため、加工システムＳＹＳａは、ステージ３１の周囲に、散乱した又はこぼれ落ちた造形材料Ｍを回収する回収装置を備えていてもよい。尚、ステージ３１は、ワークＷを保持するために、機械的なチャックや真空吸着チャック等を備えていてもよい。

　ステージ３１は、図１では不図示のステージ駆動系によって移動可能であってもよい。この場合、ステージ駆動系は、例えば、加工空間４１１ＩＮ内でステージ３１を移動させてもよい。ステージ駆動系は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の少なくとも一つの回転方向に沿ってステージ３１を移動させてもよい。ステージ３１がＸ軸及びＹ軸の少なくとも一方に沿って移動すると、照射領域ＥＡは、ワークＷ上をＸ軸及びＹ軸の少なくとも一方に沿って移動する。更に、ステージ駆動系は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の少なくとも一つに加えて、θＸ方向、θＹ方向及びθＺ方向の少なくとも一つに沿ってステージ３１を移動させてもよい。ステージ駆動系３１は、例えば、モータ等のアクチュエータを含む。

　筐体４は、筐体４の内部空間である加工空間４１１ＩＮに少なくとも加工装置２、ステージ装置３及びワークＷを収容する収容装置である。筐体４は、加工空間４１１ＩＮを規定する隔壁部材４２を含む。隔壁部材４２は、加工空間４１１ＩＮと、筐体４の外部空間ＳＰ＿ＯＵＴとを隔てる部材である。筐体４の外部空間ＳＰ＿ＯＵＴは、例えば、大気圧空間である。外部空間ＳＰ＿ＯＵＴは、加工システムＳＹＳａのユーザ（オペレータ）が立ち入る空間を含んでいてもよい。尚、筐体４の構造については、図２を参照しながら説明するため、ここでの詳細な説明を省略する。このため、図１においても、筐体４の構造が簡略的に記載されている。

　光源５は、例えば、赤外光及び紫外光のうちの少なくとも一つを、加工光ＥＬとして射出する。但し、加工光ＥＬとして、その他の波長の光、例えば可視域の波長の光が用いられてもよい。加工光ＥＬは、レーザ光である。この場合、光源５は、半導体レーザ等のレーザ光源を含んでいてもよい。レーザ光源の一例としては、レーザダイオード（ＬＤ：Ｌａｓｅｒ　Ｄｉｏｄｅ）、ファイバ・レーザ、ＣＯ_２レーザ、ＹＡＧレーザ及びエキシマレーザ等の少なくとも一つがあげられる。但し、加工光ＥＬはレーザ光でなくてもよいし、光源５は任意の光源（例えば、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ　Ｅｍｉｔｔｉｎｇ　Ｄｉｏｄｅ）及び放電ランプ等の少なくとも一つ）を含んでいてもよい。

　ガス供給装置６は、加工空間４１１ＩＮをパージするためのパージガスの供給源である。パージガスは、不活性ガスを含む。不活性ガスの一例として、窒素ガス又はアルゴンガスがあげられる。ガス供給装置６は、加工空間４１１ＩＮにパージガスを供給する。ガス供給装置６は、窒素ガスやアルゴンガス等の不活性ガスが格納されたボンベであってもよい。不活性ガスが窒素ガスである場合には、ガス供給装置６は、大気を原料として窒素ガスを発生する窒素ガス発生装置であってもよい。ガス供給装置６が加工空間４１１ＩＮにパージガスを供給した結果、加工空間４１１ＩＮは、パージガスによってパージされた空間となる。尚、第１実施形態では、パージガスによってパージされた空間は、パージガスによって満たされた空間（つまり、パージガス以外の他の気体であって（例えば、酸素ガス）が、その濃度が所定量を下回るまで排除された空間）を意味していてもよい。

　ガス供給装置６は更に、材料供給装置１（例えば、材料供給パイプ１１）に対してもパージガスを供給してもよい。材料供給装置１に供給されたパージガスは、主として造形材料Ｍを圧送するために用いられてもよい。このため、ガス供給装置６は、材料供給装置１と共に、造形材料Ｍを供給するための装置としても機能可能である。この場合、ガス供給装置６は、材料供給装置１に対して、加圧されたパージガスを供給してもよい。

　加工空間４１１ＩＮへのパージガスの供給と材料供給装置１へのパージガスの供給が別々に制御されてもよい。つまり、ガス供給装置６は、加工空間４１１ＩＮ及び材料供給装置１のそれぞれに対してパージガスを個別に供給可能であってもよい。例えば、加工空間４１１ＩＮへの単位時間あたりのパージガスの供給量と、材料供給装置１への単位時間あたりのパージガスの供給量とが異なっていてもよい。例えば、ガス供給装置６は、加工空間４１１ＩＮと材料供給装置１とのいずれか一方へのパージガスの供給を停止した状態で、加工空間４１１ＩＮと材料供給装置１とのいずれか他方へパージガスを供給してもよい。或いは、加工空間４１１ＩＮにパージガスを供給するガス供給装置と、材料供給装置１にパージガスを供給するガス供給装置が異なっていてもよい。

　制御装置７は、加工システムＳＹＳａの動作を制御する。制御装置７は、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）（或いは、ＣＰＵに加えて又は代えてＧＰＵ（Ｇｒａｐｈｉｃｓ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ））と、メモリとを含んでいてもよい。制御装置７は、ＣＰＵがコンピュータプログラムを実行することで、加工システムＳＹＳａの動作を制御する装置として機能する。このコンピュータプログラムは、制御装置７が行うべき後述する動作を制御装置７（例えば、ＣＰＵ）に行わせる（つまり、実行させる）ためのコンピュータプログラムである。つまり、このコンピュータプログラムは、加工システムＳＹＳａに後述する動作を行わせるように制御装置７を機能させるためのコンピュータプログラムである。ＣＰＵが実行するコンピュータプログラムは、制御装置７が備えるメモリ（つまり、記録媒体）に記録されていてもよいし、制御装置７に内蔵された又は制御装置７に外付け可能な任意の記憶媒体（例えば、ハードディスクや半導体メモリ）に記録されていてもよい。或いは、ＣＰＵは、実行するべきコンピュータプログラムを、ネットワークインタフェースを介して、制御装置７の外部の装置からダウンロードしてもよい。

　例えば、制御装置７は、照射光学系２１１による加工光ＥＬの射出態様を制御してもよい。射出態様は、例えば、加工光ＥＬの強度及び加工光ＥＬの射出タイミングの少なくとも一方を含んでいてもよい。加工光ＥＬがパルス光である場合には、射出態様は、例えば、パルス光の発光時間の長さとパルス光の発光周期との比（いわゆる、デューティ比）を含んでいてもよい。また、射出態様は、例えば、パルス光の発光時間の長さそのものや、発光周期そのものを含んでいてもよい。更に、制御装置７は、駆動系２２による加工ヘッド２１の移動態様を制御してもよい。移動態様は、例えば、移動量、移動速度、移動方向及び移動タイミングの少なくとも一つを含んでいてもよい。更に、制御装置７は、材料ノズル２１２による造形材料Ｍの供給態様を制御してもよい。供給態様は、例えば、供給量（特に、単位時間当たりの供給量）及び供給タイミングの少なくとも一方を含んでいてもよい。

　制御装置７は、加工システムＳＹＳａの内部に設けられていなくてもよく、例えば、加工システムＳＹＳａ外にサーバ等として設けられていてもよい。この場合、制御装置７と加工システムＳＹＳａとは、有線及び／又は無線のネットワーク（或いは、データバス及び／又は通信回線）で接続されていてもよい。有線のネットワークとして、例えばＩＥＥＥ１３９４、ＲＳ－２３２ｘ、ＲＳ－４２２、ＲＳ－４２３、ＲＳ－４８５及びＵＳＢの少なくとも一つに代表されるシリアルバス方式のインタフェースを用いるネットワークが用いられてもよい。有線のネットワークとして、パラレルバス方式のインタフェースを用いるネットワークが用いられてもよい。有線のネットワークとして、１０ＢＡＳＥ－Ｔ、１００ＢＡＳＥ－ＴＸ及び１０００ＢＡＳＥ－Ｔの少なくとも一つに代表されるイーサネット（登録商標）に準拠したインタフェースを用いるネットワークが用いられてもよい。無線のネットワークとして、電波を用いたネットワークが用いられてもよい。電波を用いたネットワークの一例として、ＩＥＥＥ８０２．１ｘに準拠したネットワーク（例えば、無線ＬＡＮ及びＢｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）の少なくとも一方）があげられる。無線のネットワークとして、赤外線を用いたネットワークが用いられてもよい。無線のネットワークとして、光通信を用いたネットワークが用いられてもよい。この場合、制御装置７と加工システムＳＹＳａとはネットワークを介して各種の情報の送受信が可能となるように構成されていてもよい。また、制御装置７は、ネットワークを介して加工システムＳＹＳａにコマンドや制御パラメータ等の情報を送信可能であってもよい。加工システムＳＹＳａは、制御装置７からのコマンドや制御パラメータ等の情報を、上記ネットワークを介して受信する受信装置を備えていてもよい。

　尚、制御装置７は、一部が加工システムＳＹＳａの内部に設けられ、他の一部が加工システムＳＹＳａの外部に設けられていてもよい。

　尚、ＣＰＵが実行するコンピュータプログラムを記録する記録媒体としては、ＣＤ－ＲＯＭ、ＣＤ－Ｒ、ＣＤ－ＲＷやフレキシブルディスク、ＭＯ、ＤＶＤ－ＲＯＭ、ＤＶＤ－ＲＡＭ、ＤＶＤ－Ｒ、ＤＶＤ＋Ｒ、ＤＶＤ－ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷ及びＢｌｕ－ｒａｙ（登録商標）等の光ディスク、磁気テープ等の磁気媒体、光磁気ディスク、ＵＳＢメモリ等の半導体メモリ、及び、その他プログラムを格納可能な任意の媒体の少なくとも一つが用いられてもよい。記録媒体には、コンピュータプログラムを記録可能な機器（例えば、コンピュータプログラムがソフトウェア及びファームウェア等の少なくとも一方の形態で実行可能な状態に実装された汎用機器又は専用機器）が含まれていてもよい。更に、コンピュータプログラムに含まれる各処理や機能は、制御装置７（つまり、コンピュータ）がコンピュータプログラムを実行することで制御装置７内に実現される論理的な処理ブロックによって実現されてもよいし、制御装置７が備える所定のゲートアレイ（ＦＰＧＡ、ＡＳＩＣ）等のハードウェアによって実現されてもよいし、論理的な処理ブロックとハードウェアの一部の要素を実現する部分的ハードウェアモジュールとが混在する形式で実現してもよい。

　（１－２）筐体４の構造
　続いて、図２を参照しながら、第１実施形態の筐体４の構造について説明する。図２は、第１実施形態の筐体４の構造を示す断面図である。

　図２に示すように、筐体４は、内部に加工空間４１１ＩＮが形成された隔壁部材４２を含む。隔壁部材４２は、加工空間４１１ＩＮを規定する内面４２１を含む。この場合、内面４２１によって取り囲まれた空間が、加工空間４１１ＩＮとなる。加工空間４１１ＩＮは、上述したように、加工装置２、ステージ装置３及びワークＷを収容するための空間である。このため、加工空間４１１ＩＮは、加工装置２がワークＷを加工するための空間でもある。尚、隔壁部材４２には、開閉可能な扉が設けられていてもよい。この扉は、ワークＷをステージ３１に載置する際、およびステージ３１からワークＷおよび／または造形物を取り出す際に開かれ、且つ造形中には閉じられていてもよい。

　隔壁部材４２には、内面４２１から隔壁部材４２の外面４２２に向かって隔壁部材４２を貫通する貫通孔４３１が形成されている。外面４２２が筐体４の外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに面する面であるがゆえに、隔壁部材４２には、加工空間４１１ＳＰから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに向かって隔壁部材４２を貫通する貫通孔４３１が形成されているとも言える。貫通孔４３１は、ガス供給装置６がパージガスを加工空間４１１ＩＮに供給するための供給管として用いられる。このため、以下では、“貫通孔４３１”を、必要に応じて“供給管４３１”と称する。具体的には、貫通孔４３１は、隔壁部材４２の外面４２２に、開口である供給口４３２を形成する。ガス供給装置６と供給口４３２とは、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴ内で延びる供給管４３５を介して接続されている。更に、貫通孔４３１は、隔壁部材４２の内面４２１に、開口である供給口４３３を形成する。このため、ガス供給装置６は、供給管４３５、供給口４３２、供給管４３１及び供給口４３３を介して、パージガスを加工空間４１１ＩＮに供給する。

　供給管４３１には、バルブ４３４が配置されている。パージガスは、バルブ４３４を介して加工空間４１１ＩＮに供給される。このため、バルブ４３４は、加工空間４１１ＩＮにパージガスを供給するための供給装置として機能可能である。

　バルブ４３４の状態は、制御装置７の制御下で、供給管４３１を閉塞する閉状態と、供給管４３１を開放する開状態との間で切り替えられてもよい。バルブ４３４が閉状態にある場合には、供給管４３１を介してガス供給装置６から加工空間４１１ＩＮに対してパージガスが供給されることはない。一方で、バルブ４３４が開状態にある場合には、供給管４３１を介してガス供給装置６から加工空間４１１ＩＮに対してパージガスが供給可能となる。更に、バルブ４３４が開状態にある場合には、バルブ４３４は、供給管４３１を介して加工空間４１１ＩＮに供給されるパージガスの供給量を調整可能であってもよい。つまり、バルブ４３４は、供給管４３１を介して加工空間４１１ＩＮに供給されるパージガスの供給量を調整する装置として機能可能であってもよい。例えば、制御装置７は、パージガスの供給量を第１の所望供給量に設定してもよい。この場合、バルブ４３４を介して、ガス供給装置６から加工空間４１１ＩＮに対して、第１の所望供給量でパージガスが供給される。例えば、制御装置７は、パージガスの供給量を第１の所望供給量から第２の所望供給量に変更してもよい。この場合、バルブ４３４を介して、ガス供給装置６から加工空間４１１ＩＮに対して、第２の所望供給量でパージガスが供給される。

　筐体４の内部（つまり、隔壁部材４２の内部）には更に、混合空間４１２ＩＮが形成されている。具体的には、隔壁部材４２は、混合空間４１２ＩＮを規定する内面４２３を含む。この場合、内面４２３によって取り囲まれた空間が、混合空間４１２ＩＮとなる。混合空間４１２ＩＮは、加工空間４１１ＩＮとは別の空間である。混合空間４１２ＩＮは、加工空間４１１ＩＮを含まない空間である。

　混合空間４１２ＩＮは、加工空間４１１ＩＮ内の気体が流入する（つまり、供給される）空間である。この場合、混合空間４１２ＩＮは、加工空間４１１ＩＮにつながっている。尚、混合空間４１２ＩＮと加工空間４１１ＩＮとの間に、混合空間４１２ＩＮと加工空間４１１ＩＮとをつなぐための空間（例えば、供給管内の管路）が配置されていてもよいし、配置されていなくてもよい。混合空間４１２ＩＮは、加工空間４１１ＩＮの気体が加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへと供給可能となるように、加工空間４１１ＩＮにつながっている。尚、上述したように、加工空間４１１ＩＮは、パージガスによってパージされた空間である。このため、加工空間４１１ＩＮ内の気体は、主としてパージガスである。但し、加工空間４１１ＩＮ内の気体は、パージガスとは異なる気体を含んでいてもよい。例えば、加工空間４１１ＩＮがパージガスによってパージされる前は、加工空間４１１ＩＮには、パージガスとは異なる気体（後述する残留ガス）が残留していてもよい。以下では、説明の簡略化のため、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに流入する気体がパージガスである例を用いて説明を進める。

　混合空間４１２ＩＮと加工空間４１１ＩＮとの間の境界（或いは、当該境界の近傍）には、フィルタ４４１が配置されている。このため、加工空間４１１ＩＮ内のパージガスは、フィルタ４４１を介して加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへと供給される。フィルタ４４１は、パージガスに含まれる不要物質を吸着する。不要物質の一例として、加工動作に用いられる物質（例えば、造形材料Ｍ）及び加工動作に起因して発生する物質（例えば、ヒューム）の少なくとも一方があげられる。不要物質を吸着するフィルタ４４１の一例として、ＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ　Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ　Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ　Ａｉｒ）フィルタがあげられる。

　混合空間４１２ＩＮと加工空間４１１ＩＮとの間の境界（或いは、当該境界の近傍）には更に、送風機４４２が配置されている。このため、加工空間４１１ＩＮ内のパージガスは、送風機４４２を介して加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへと供給される。送風機４４２は、制御装置７の制御下で、送風機４４２が備える羽根車等を回転させることで、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへとパージガスを送り出す。この場合、送風機４４２は、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへとパージガスを供給する供給装置として機能可能である。

　送風機４４２の状態は、送風機４４２を介して加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへとパージガスを供給する状態と、送風機４４２を介して加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへとパージガスを供給しない状態との間で切り替えられてもよい。送風機４４２は更に、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへと供給されるパージガスの供給量を調整可能であってもよい。つまり、送風機４４２は、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへと流入するパージガスの流量を調整可能であってもよい。例えば、送風機４４２は、制御装置７の制御下で、送風機４４２が備える羽根車等の回転速度を調整することで、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへと供給されるパージガスの供給量を調整してもよい。例えば、制御装置７は、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへと供給されるパージガスの供給量を第３の所望供給量に設定してもよい。この場合、送風機４４２を介して、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに対して、第３の所望供給量でパージガスが供給される。例えば、制御装置７は、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへと供給されるパージガスの供給量を第３の所望供給量から第４の所望供給量に変更してもよい。この場合、送風機４４２を介して、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに対して、第４の所望供給量でパージガスが供給される。

　送風機４４２は、混合空間４１２ＩＮへと送り出されたパージガスが加工空間４１１ＩＮに逆流することを抑制する装置として機能してもよい。例えば、送風機４４２が備える羽根車等が同じ回転方向（具体的には、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへとパージガスを供給することが可能な回転方向）に回転している場合には、送風機４４２は、実質的には、混合空間４１２ＩＮへと送り出されたパージガスが加工空間４１１ＩＮに逆流することを抑制する装置として機能し得る。

　尚、フィルタ４４１及び送風機４４２の少なくとも一方は、混合空間４１２ＩＮと加工空間４１１ＩＮとの間に配置されていてもよい。フィルタ４４１及び送風機４４２の少なくとも一方は、混合空間４１２ＩＮに配置されていてもよい。フィルタ４４１及び送風機４４２の少なくとも一方は、加工空間４１１ＩＮに配置されていてもよい。いずれの場合であっても、フィルタ４４１及び送風機４４２のそれぞれが加工空間４１１ＩＮと混合空間４１２ＩＮとの間の境界（或いは、その近傍）に配置されている限りは、フィルタ４１１及び送風機４２２を介して加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに対してパージガスが供給されることに変わりはない。

　混合空間４１２ＩＮは、加工空間４１１ＩＮから供給されたパージガスが希釈される空間である。このため、混合空間４１２ＩＮは、加工空間４１１ＩＮから供給されたパージガスを希釈するための希釈空間と称されてもよい。第１実施形態では、パージガスは、混合空間４１２ＩＮにおいて希釈用の希釈ガスと混合されることで希釈される。この場合、混合空間４１２ＩＮは、加工空間４１１ＩＮから供給されたパージガスが希釈ガスと混合される空間である。

　希釈ガスは、少なくとも酸素を含むガスであってもよい。例えば、希釈ガスは、酸素ガスであってもよい。例えば、希釈ガスは、空気であってもよい。希釈ガスは、希釈ガスと混合されたパージガスを加工システムＳＹＳａのユーザ（例えば、人間）が吸入したとしても、ユーザに対して何らの害を及ぼさない（つまり、希釈ガスと混合されたパージガスがユーザにとって無害になる）という条件を満たすガスであってもよい。上述した酸素ガス及び空気のそれぞれは、この条件を満たすガスの一例である。

　混合空間４１２ＩＮにおいてパージガスと希釈ガスとを混合するために、混合空間４１２ＩＮには、パージガスに加えて、希釈ガスが供給される。混合空間４１２ＩＮに希釈ガスを供給するために、隔壁部材４２には、隔壁部材４２の内面４２３から隔壁部材４２の外面４２２に向かって隔壁部材４２を貫通する貫通孔４５１が形成されている。つまり、隔壁部材４２には、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに向かって隔壁部材４２を貫通する貫通孔４５１が形成されている。貫通孔４５１は、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに対して希釈ガスを供給するための供給管として用いられる。このため、以下では、“貫通孔４５１”を、必要に応じて“供給管４５１”と称する。具体的には、貫通孔４５１は、隔壁部材４２の外面４２２に、開口である吸気口４５２を形成する。更に、貫通孔４５１は、隔壁部材４２の内面４２３に、開口である供給口４５３を形成する。このため、希釈ガスは、吸気口４５２、供給管４５１及び供給口４５３を介して、混合空間４１２ＩＮに供給される。

　第１実施形態では、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴの気体が希釈ガスとして用いられる。特に、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴが大気圧空間であるため、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴの空気が希釈ガスとして用いられる。従って、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴの空気は、吸気口４５２、供給管４５１及び供給口４５３を介して、希釈ガスとして混合空間４１２ＩＮに供給される（言い換えれば、流入する）。

　供給管４５１には、バルブ４５４が配置されている。希釈ガスは、バルブ４５４を介して混合空間４１２ＩＮに供給される。このため、バルブ４５４は、混合空間４１２ＩＮに希釈ガスを供給するための供給装置として機能可能である。

　バルブ４５４の状態は、制御装置７の制御下で、供給管４５１を閉塞する閉状態と、供給管４５１を開放する開状態との間で切り替えられてもよい。バルブ４５４が閉状態にある場合には、供給管４５１を介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに対して希釈ガスが供給されることはない。更には、バルブ４５４が閉状態にある場合には、供給管４５１を介して混合空間４１２ＩＮ内のパージガス（特に、希釈ガスによって希釈されていない又は希釈ガスによる希釈が不十分なパージガス）が外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに排出される（つまり、放出される）ことはない。一方で、バルブ４５４が開状態にある場合には、供給管４５１を介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに対して希釈ガスが供給可能となる。更に、バルブ４５４が開状態にある場合には、バルブ４５４は、供給管４５１を介して混合空間４１２ＩＮに供給される希釈ガスの供給量を調整可能であってもよい。つまり、バルブ４５４は、供給管４５１を介して混合空間４１２ＩＮに供給される希釈ガスの供給量を調整する装置として機能可能であってもよい。例えば、制御装置７は、希釈ガスの供給量を第５の所望供給量に設定してもよい。この場合、バルブ４５４を介して、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに対して、第５の所望供給量で希釈ガスが供給される。例えば、制御装置７は、希釈ガスの供給量を第５の所望供給量から第６の所望供給量に変更してもよい。この場合、バルブ４５４を介して、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに対して、第６の所望供給量で希釈ガスが供給される。

　混合空間４１２ＩＮ内の気体は、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに向けて排出される（つまり、放出される）。具体的には、混合空間４１２ＩＮでは、パージガスと希釈ガスとが混合される。このため、混合空間４１２ＩＮ内の気体は、混合空間４１２ＩＮにおいて希釈ガスと混合されたパージガス（つまり、希釈されたパージガスであり、以下、“混合ガス”と称する）を含む。つまり、混合ガスは、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに向けて排出される。例えば、混合ガスは、混合空間４１２ＩＮから、混合空間４１２ＩＮが隔壁部材４２の外面４２２に形成する開口である排気口４４４を介して、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに向けて排出されてもよい。例えば、混合ガスは、混合空間４１２ＩＮから、混合空間４１２ＩＮと排気口４４４とをつなぐ不図示の排出管及び排気口４４４を介して、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに向けて排出されてもよい。つまり、混合空間４１２ＩＮと外部空間ＳＰ＿ＯＵＴとの間に、混合空間４１２ＩＮと外部空間ＳＰ＿ＯＵＴとをつなぐための空間（例えば、供給管内の管路）が配置されていてもよいし、配置されていなくてもよい。いずれの場合であっても、混合空間４１２ＩＮは、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴにつながっている。このように混合ガスが放出されたとしても、混合ガスは、パージガスが希釈ガスによって希釈されたガスであるがゆえに、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴにいる人間にとって害はない。

　つまり、加工空間４１１ＩＮに供給されたパージガスは、加工空間４１１ＩＮから排気口４４４までの経路に確保される混合空間４１２ＩＮにおいて希釈ガスと混合された後に、排気口４４４から混合ガスとして排出される。加工空間４１１ＩＮに供給されたパージガスは、加工空間４１１ＩＮから排気口４４４までの経路の少なくとも一部で希釈ガスと混合された後に、排気口４４４から混合ガスとして排出される。

　外部空間ＳＰ＿ＯＵＴが大気圧空間である場合には、混合空間４１２ＩＮを外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して混合気体が排出される状態は、実質的には、混合空間４１２ＩＮが大気開放された状態と等価である。更には、混合空間４１２ＩＮが加工空間４１１ＩＮにつながっているため、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮを介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して混合気体が排出される状態は、実質的には、加工空間４１１ＩＮが大気開放された状態と等価である。つまり、加工システムＳＹＳａは、加工空間４１１ＩＮ及び混合空間４１２ＩＮを大気開放することで、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮを介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して混合気体を排出しているとも言える。

　排気口４４４は、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに供給されるパージガスの流路と、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに供給される希釈ガスの流路とが交差する位置よりも、加工空間４１１ＩＮから遠い側（つまり、送風機４４２から遠い側）に形成されていてもよい。つまり、排気口４４４は、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに供給されるパージガスの流路と、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに供給される希釈ガスの流路とが、排気口４４４と送風機４４３との間において交差するように、形成されていてもよい。この場合、希釈ガスによって希釈されたパージガスが排気口４４４から排出されやすくなる。つまり、希釈ガスによって希釈されていないパージガスが排気口４４４から排出されにくくなる。

　混合空間４１２ＩＮと外部空間ＳＰ＿ＯＵＴとの間の境界（或いは、その近傍）には更に、送風機４４３が配置されている。混合空間４１２ＩＮと外部空間ＳＰ＿ＯＵＴとの間には、排気口４４４が形成されている。従って、送風機４４３は、排気口４４４又は排気口４４４の近傍に配置されていてもよい。この場合、混合空間４１２ＩＮ内の混合ガスは、送風機４４３を介して混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへと排出される。送風機４４３は、制御装置７の制御下で、送風機４４３が備える羽根車等を回転させることで、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへと混合ガスを送り出す。この場合、送風機４４３は、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへと混合ガスを排出する排出装置として機能可能である。

　送風機４４３の状態は、送風機４４３を介して混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへと混合ガスを排出する状態と、送風機４４３を介して混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへと混合ガスを排出しない状態との間で切り替えられてもよい。送風機４４３は更に、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへと排出されるパージガスの流量を調整可能であってもよい。つまり、送風機４４３は、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへの混合ガスの排出量を調整する排出量調整装置として機能可能であってもよい。例えば、送風機４４３は、制御装置７の制御下で、送風機４４３が備える羽根車等の回転速度を調整することで、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへと排出される混合ガスの流量を調整してもよい。例えば、制御装置７は、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへと排出する混合ガスの排出量を第１の所望排出量に設定してもよい。この場合、送風機４４３を介して、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して、第１の所望排出量で混合ガスが排出される。例えば、制御装置７は、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへと排出される混合ガスの排出量を第１の所望排出量から第２の所望排出量に変更してもよい。この場合、送風機４４３を介して、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して、第２の所望排出量で混合ガスが排出される。

　尚、送風機４４３は、混合空間４１２ＩＮと外部空間ＳＰ＿ＯＵＴとの間に配置されていてもよい。送風機４４３は、混合空間４１２ＩＮに配置されていてもよい。送風機４４３は、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに配置されていてもよい。いずれの場合であっても、送風機４４３が混合空間４１２ＩＮと外部空間ＳＰ＿ＯＵＴとの間の境界（或いは、その近傍）に配置されている限りは、送風機４２３を介して混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して混合ガスが排出されることに変わりはない。

　（１－２）加工システムＳＹＳａによる加工動作
　続いて、加工システムＳＹＳａによる加工動作（つまり、３次元構造物ＳＴを形成するための動作）について説明する。上述したように、加工システムＳＹＳａは、レーザ肉盛溶接法により３次元構造物ＳＴを形成する。このため、加工システムＳＹＳａは、レーザ肉盛溶接法に準拠した既存の加工動作（この場合、造形動作）を行うことで、３次元構造物ＳＴを形成してもよい。以下、レーザ肉盛溶接法を用いて３次元構造物ＳＴを形成する加工動作の一例について簡単に説明する。

　加工システムＳＹＳａは、形成するべき３次元構造物ＳＴの３次元モデルデータ（例えば、ＣＡＤ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ　Ａｉｄｅｄ　Ｄｅｓｉｇｎ）データ）等に基づいて、ワークＷ上に３次元構造物ＳＴを形成する。３次元モデルデータとして、加工システムＳＹＳａ内に設けられた不図示の計測装置で計測された立体物の計測データ、加工システムＳＹＳａとは別に設けられた３次元形状計測機、例えばワークＷに対して移動可能でワークＷに接触可能なプローブを有する接触型の３次元座標測定機や、非接触型の３次元計測機（一例としてパターン投影方式の３次元計測機、光切断方式の３次元計測機、タイム・オブ・フライト方式の３次元計測機、モアレトポグラフィ方式の３次元計測機、ホログラフィック干渉方式の３次元計測機、ＣＴ（ＣｏｍｐｕｔｅｄＴｏｍｏｇｒａｐｈｙ）方式の３次元計測機、ＭＲＩ（Ｍａｇｎｅｔｉｃ　ｒｅｓｏｎａｎｃｅ　ｉｍａｇｉｎｇ）方式の３次元計測機等の計測データを用いてもよい。尚、３次元モデルデータとしては、例えばＳＴＬ（Ｓｔｅｒｅｏ　Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）フォーマット、ＶＲＭＬ（Ｖｉｒｔｕａｌ　Ｒｅａｌｉｔｙ　Ｍｏｄｅｌｉｎｇ　Ｌａｎｇｕａｇｅ）フォーマット、ＡＭＦ（Ａｄｄｉｔｉｖｅ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ　Ｆｉｌｅ　Ｆｏｒｍａｔ）、ＩＧＥＳ（Ｉｎｉｔｉａｌ　Ｇｒａｐｈｉｃｓ　Ｅｘｃｈａｎｇｅ　Ｓｐｅｃｉｆｉｃａｔｉｏｎ）フォーマット、ＶＤＡ－ＦＳ（Ａｓｓｏｃｉａｔｉｏｎ　ｏｆ　Ｇｅｒｍａｎ　Ａｕｔｏｍｏｔｉｖｅ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅｓ－Ｓｕｒｆａｃｅｓ　Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）フォーマット、ＨＰ／ＧＬ（Ｈｅｗｌｅｔｔ－Ｐａｃｋａｒｄ　Ｇｒａｐｈｉｃｓ　Ｌａｎｇｕａｇｅ）フォーマット、ビットマップフォーマット等を用いることができる。加工システムＳＹＳａは、３次元構造物ＳＴを形成するために、例えば、Ｚ軸方向に沿って並ぶ複数の層状の部分構造物（以下、“構造層”と称する）ＳＬを順に形成していく。例えば、加工システムＳＹＳａは、３次元構造物ＳＴをＺ軸方向に沿って輪切りにすることで得られる複数の構造層ＳＬを１層ずつ順に形成していく。その結果、複数の構造層ＳＬが積層された積層構造体である３次元構造物ＳＴが形成される。以下、複数の構造層ＳＬを１層ずつ順に形成していくことで３次元構造物ＳＴを形成する動作の流れについて説明する。

　まず、各構造層ＳＬを形成する動作について説明する。加工システムＳＹＳａは、制御装置７の制御下で、ワークＷの表面又は形成済みの構造層ＳＬの表面に相当する造形面ＣＳ上の所望領域に照射領域ＥＡを設定し、当該照射領域ＥＡに対して照射光学系２１１から加工光ＥＬを照射する。尚、照射光学系２１１から照射される加工光ＥＬが造形面ＣＳ上に占める領域を照射領域ＥＡと称してもよい。第１実施形態においては、加工光ＥＬのフォーカス位置（つまり、集光位置）が造形面ＣＳに一致している。その結果、図３（ａ）に示すように、照射光学系２１１から射出された加工光ＥＬによって造形面ＣＳ上の所望領域に溶融池（つまり、加工光ＥＬによって溶融した金属のプール）ＭＰが形成される。更に、加工システムＳＹＳａは、制御装置７の制御下で、造形面ＣＳ上の所望領域に供給領域ＭＡを設定し、当該供給領域ＭＡに対して材料ノズル２１２から造形材料Ｍを供給する。ここで、上述したように照射領域ＥＡと供給領域ＭＡとが一致しているため、供給領域ＭＡは、溶融池ＭＰが形成された領域に設定されている。このため、加工システムＳＹＳａは、図３（ｂ）に示すように、溶融池ＭＰに対して、材料ノズル２１２から造形材料Ｍを供給する。その結果、溶融池ＭＰに供給された造形材料Ｍが溶融する。加工ヘッド２１の移動に伴って溶融池ＭＰに加工光ＥＬが照射されなくなると、溶融池ＭＰにおいて溶融した造形材料Ｍは、冷却されて再度固化（つまり、凝固）する。その結果、図３（ｃ）に示すように、固化した造形材料Ｍが造形面ＣＳ上に堆積される。つまり、固化した造形材料Ｍの堆積物による造形物が形成される。

　このような光の照射ＥＬによる溶融池ＭＰの形成、溶融池ＭＰへの造形材料Ｍの供給、供給された造形材料Ｍの溶融及び溶融した造形材料Ｍの固化を含む一連の造形処理が、造形面ＣＳに対して加工ヘッド２１をＸＹ平面に沿って相対的に移動させながら繰り返される。つまり、造形面ＣＳに対して加工ヘッド２１が相対的に移動すると、造形面ＣＳに対して照射領域ＥＡもまた相対的に移動する。従って、一連の造形処理が、造形面ＣＳに対して照射領域ＥＡをＸＹ平面に沿って（つまり、二次元平面内において）相対的に移動させながら繰り返される。この際、加工光ＥＬは、造形面ＣＳ上において造形物を形成したい領域に設定された照射領域ＥＡに対して選択的に照射される一方で、造形面ＣＳ上において造形物を形成したくない領域に設定された照射領域ＥＡに対して選択的に照射されない（造形物を形成したくない領域には照射領域ＥＡが設定されないとも言える）。つまり、加工システムＳＹＳａは、造形面ＣＳ上を所定の移動軌跡に沿って照射領域ＥＡを移動させながら、造形物を形成したい領域の分布の態様に応じたタイミングで加工光ＥＬを造形面ＣＳに照射する。尚、造形物を形成したい領域の分布の態様を分布パターンとも構造層ＳＬのパターンとも称してもよい。その結果、溶融池ＭＰもまた、照射領域ＥＡの移動軌跡に応じた移動軌跡に沿って造形面ＣＳ上を移動することになる。具体的には、溶融池ＭＰは、造形面ＣＳ上において、照射領域ＥＡの移動軌跡に沿った領域のうち加工光ＥＬが照射された部分に順次形成される。更に、上述したように照射領域ＥＡと供給領域ＭＡとが一致しているため、供給領域ＭＡもまた、照射領域ＥＡの移動軌跡に応じた移動軌跡に沿って造形面ＣＳ上を移動することになる。その結果、造形面ＣＳ上に、凝固した造形材料Ｍによる造形物の集合体に相当する構造層ＳＬが形成される。つまり、溶融池ＭＰの移動軌跡に応じたパターンで造形面ＣＳ上に形成された造形物の集合体に相当する構造層ＳＬ（つまり、平面視において、溶融池ＭＰの移動軌跡に応じた形状を有する構造層ＳＬ）が形成される。尚、造形物を形成したくない領域に照射領域ＥＡが設定されている場合、加工光ＥＬを照射領域ＥＡに照射するとともに、造形材料Ｍの供給を停止してもよい。また、造形物を形成したくない領域に照射領域ＥＡが設定されている場合に、造形材料Ｍを照射領域ＥＬに供給するとともに、溶融池ＭＰができない強度の加工光ＥＬを照射領域ＥＬに照射してもよい。

　尚、上述の説明では、加工システムＳＹＳａは、造形面ＣＳに対して加工ヘッド２１を移動させる（即ち、加工光ＥＬを移動させる）ことにより、造形面ＣＳに対して照射領域ＥＡを移動させている。しかしながら、加工システムＳＹＳａは、造形面ＣＳに対して加工ヘッド２１を移動させることに加えて又は代えて、加工ヘッド２１に対してステージ３１を移動させる（即ち、造形面ＣＳを移動させる）ことで、造形面ＣＳに対して照射領域ＥＡを移動させてもよい。

　加工システムＳＹＳａは、このような構造層ＳＬを形成するための動作を、制御装置７の制御下で、３次元モデルデータに基づいて繰り返し行う。具体的には、まず、３次元モデルデータを積層ピッチでスライス処理してスライスデータを作成する。尚、加工システムＳＹＳａの特性に応じてこのスライスデータを一部修正したデータを用いてもよい。加工システムＳＹＳａは、ワークＷの表面に相当する造形面ＣＳ上に１層目の構造層ＳＬ＃１を形成するための動作を、構造層ＳＬ＃１に対応する３次元モデルデータ、即ち構造層ＳＬ＃１に対応するスライスデータに基づいて行う。その結果、造形面ＣＳ上には、図４（ａ）に示すように、構造層ＳＬ＃１が形成される。その後、加工システムＳＹＳａは、構造層ＳＬ＃１の表面（つまり、上面）を新たな造形面ＣＳに設定した上で、当該新たな造形面ＣＳ上に２層目の構造層ＳＬ＃２を形成する。構造層ＳＬ＃２を形成するために、制御装置７は、まず、加工ヘッド２１がＺ軸に沿って移動するように駆動系２２を制御する。具体的には、制御装置７は、駆動系２２を制御して、照射領域ＥＡ及び供給領域ＭＡが構造層ＳＬ＃１の表面（つまり、新たな造形面ＣＳ）に設定されるように、＋Ｚ側に向かって加工ヘッド２１を移動させる。これにより、加工光ＥＬのフォーカス位置が新たな造形面ＣＳに一致する。その後、加工システムＳＹＳａは、制御装置７の制御下で、構造層ＳＬ＃１を形成する動作と同様の動作で、構造層ＳＬ＃２に対応するスライスデータに基づいて、構造層ＳＬ＃１上に構造層ＳＬ＃２を形成する。その結果、図４（ｂ）に示すように、構造層ＳＬ＃２が形成される。以降、同様の動作が、ワークＷ上に形成するべき３次元構造物ＳＴを構成する全ての構造層ＳＬが形成されるまで繰り返される。その結果、図４（ｃ）に示すように、複数の構造層ＳＬが積層された積層構造物によって、３次元構造物ＳＴが形成される。

　（１－４）パージガスの流れ
　続いて、加工システムＳＹＳａにおけるパージガスの流れについて説明する。

　（１－４－１）加工動作の開始前におけるパージガスの流れ
　はじめに、図５を参照しながら、加工システムＳＹＳａが加工動作を開始する前におけるパージガスの流れについて説明する。図５は、加工システムＳＹＳａが加工動作を開始する前におけるパージガスの流れを示す断面図である。

　図５に示すように、加工システムＳＹＳａが加工動作を開始する前には、パージガスは、加工空間４１１ＩＮがパージガスによってパージされた空間となるように、加工空間４１１ＩＮに供給される。具体的には、制御装置７の制御下で、バルブ４３４の状態が開状態に設定される。その結果、加工空間４１１ＩＮには、ガス供給装置６から、供給管４３５、供給口４３２、供給管４３１及び供給口４３３を介して、パージガスが供給される。

　加工空間４１１ＩＮがパージガスによってパージされる前には、加工空間４１１ＩＮには、パージガス以外の気体（例えば、空気等）が存在している。以降、説明の便宜上、加工空間４１１ＩＮがパージガスによってパージされる前に加工空間４１１ＩＮに存在していた（つまり、残留していた）気体を、“残留ガス”と称する。従って、加工空間４１１ＩＮへのパージガスの供給に伴って、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへと残留ガスが排出される。この場合、残留ガスの加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへの排出を早めるために、送風機４４２が動作してもよい。つまり、送風機４４２は、加工空間４１１ＩＮ内の気体（特に、残留ガス）が加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに排出されるように動作してもよい。更に、混合空間４１２ＩＮへと排出された残留ガスの混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへの排出を早めるために、送風機４４３もまた動作してもよい。つまり、送風機４４３は、混合空間４１２ＩＮ内の気体（特に、残留ガス）が混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに排出されるように動作してもよい。

　加工空間４１１ＩＮへのパージガスの供給に伴って、残留ガスだけでなく、パージガスが、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへと排出される可能性がある。このため、混合空間４１２ＩＮへと排出されたパージガスを希釈するために、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに対して希釈ガス（例えば、空気）が供給されてもよい。具体的には、制御装置７の制御下で、バルブ４５４の状態が開状態に設定されてもよい。その結果、混合空間４１２ＩＮには、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから、吸気口４５２、供給管４５１及び供給口４５３を介して、希釈ガスが供給される。

　混合空間４１２ＩＮでのパージガスと希釈ガスとの混合は、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴにおける酸素欠乏を防止する目的で行われてもよい。例えば、パージガスと希釈ガスとが混合された混合ガスにおける酸素の濃度が許容下限値（例えば、１８％）以上になるという第１希釈条件が満たされれば、混合ガスが外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに放出されたとしても、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴにおける酸素欠乏が防止可能となる。例えば、混合ガスにおける希釈ガス（或いは、希釈ガスを構成するガス成分又は希釈ガスと共に供給される他のガス）の濃度が許容下限値以上になるという第２希釈条件が満たされれば、混合ガスが外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに放出されたとしても、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴにおける酸素欠乏が防止可能となる。例えば、混合ガスにおけるパージガスの濃度が許容上限値以下になるという第３希釈条件が満たされれば、混合ガスが外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに放出されたとしても、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴにおける酸素欠乏が防止可能となる。従って、これら第１から第３希釈条件の少なくとも一つが満たされるように、混合空間４１２ＩＮにおいてパージガスと希釈ガスとが混合されてもよい。第１から第３希釈条件の少なくとも一つが満たされた後に混合ガスが外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに放出されるように、混合空間４１２ＩＮにおいてパージガスと希釈ガスとが混合されてもよい。

　一例として、加工空間４１１ＩＮのパージガスが１００％の濃度の窒素ガスであり且つ希釈ガスが２１％の酸素濃度及び７９％の窒素ガスを含む空気である場合には、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに供給されるパージガスの約６倍以上の容積の空気が外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに供給されると、混合ガスにおける酸素の濃度が１８％以上になる。

　パージガスと希釈ガスとの混合態様は、主として、バルブ４５４の状態（つまり、供給管４５１を介した希釈ガスの供給量）、送風機４４２の状態（つまり、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへのパージガスの供給量）及び送風機４４３の状態（つまり、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへの混合ガスの排出量）に依存する。具体的には、バルブ４５４の状態は、主として、供給管４５１を介した希釈ガスの供給量に影響を与える。送風機４４２の状態は、主として、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへのパージガスの供給量に影響を与える。送風機４４３の状態は、主として、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへの混合ガスの排出量に影響を与える。従って、制御装置７は、第１から第３希釈条件の少なくとも一つが満たされるように、バルブ４５４、送風機４４２及び送風機４４３の少なくとも一つの状態を制御してもよい。制御装置７は、第１から第３希釈条件の少なくとも一つが満たされた後に混合ガスが外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに放出されるように、バルブ４５４、送風機４４２及び送風機４４３の少なくとも一つの状態を制御してもよい。

　このようにパージガスと希釈ガスとが混合された結果、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して、送風機４４３を介して混合ガスが排出される。

　但し、加工システムＳＹＳａが加工動作を開始する前には、加工空間４１１ＩＮ内のパージガスが混合空間４１２ＩＮへと積極的に供給されることはない。つまり、加工システムＳＹＳａが加工動作を開始する前には、加工空間４１１ＩＮ内のパージガスは、混合空間４１２ＩＮへと本来は供給されることはない。一方で、加工システムＳＹＳａが加工動作を完了した後には、加工空間４１１ＩＮ内のパージガスを外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへ排出するために、加工空間４１１ＩＮ内のパージガスが混合空間４１２ＩＮへと積極的に供給される。このため、加工システムＳＹＳａが加工動作を開始する前における加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへのパージガスの供給量は、加工システムＳＹＳａが加工動作を完了した後における加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへのパージガスの供給量よりも少ない可能性がある。このため、加工システムＳＹＳａが加工動作を開始する前における混合空間４１２ＩＮへの希釈ガスの供給量は、後述する加工システムＳＹＳａが加工動作を完了した後における混合空間４１２ＩＮへの希釈ガスの供給量よりも少なくてもよい。更に、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへのパージガスの供給量が少なくなればなるほど、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへの混合ガスの排出量もまた少なくてもよいことから、加工システムＳＹＳａが加工動作を開始する前における混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへの混合ガスの排出量は、加工システムＳＹＳａが加工動作を完了した後における混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへの混合ガスの排出量よりも少なくてもよい。

　（１－４－２）加工動作が行われている間のパージガスの流れ
　続いて、図６を参照しながら、加工システムＳＹＳａが加工動作を行っている間のパージガスの流れについて説明する。図６は、加工システムＳＹＳａが加工動作を行っている間のパージガスの流れを示す断面図である。

　図６に示すように、加工システムＳＹＳａが加工動作を行っている間は、ガス供給装置６から加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの供給は停止される。つまり、ガス供給装置６から加工空間４１１ＩＮに対して、パージガスは供給されない。このため、制御装置７の制御下で、バルブ４３４の状態が閉状態に設定される。

　ガス供給装置６から加工空間４１１ＩＮに対して新たなパージガスが供給されない場合には、ガス供給装置６からのパージガスの供給に起因して加工空間４１１ＩＮの圧力が高まる可能性は小さい。つまり、加工空間４１１ＩＮの圧力が混合空間４１２ＩＮの圧力よりも高くなる可能性は小さい。このため、送風機４４２が停止していれば、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに対してパージガスが供給される可能性は小さい。或いは、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに対してパージガスが供給されたとしても、その供給量は、無害と言えるほどに（言い換えれば、無視できるほどに）小さい。従って、加工システムＳＹＳａが加工動作を行っている間は、送風機４４２が停止していてもよい。

　更には、混合空間４１２ＩＮにパージガスが供給されないがゆえに、混合空間４１２ＩＮにおいてパージガスを希釈ガスで希釈する必要性も相対的に低い。このため、加工システムＳＹＳａが加工動作を行っている間は、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに対する希釈ガスの供給は停止されてもよい。つまり、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに対して、希釈ガスは供給されなくてもよい。このため、制御装置７の制御下で、バルブ４５４の状態が閉状態に設定されてもよい。

　更には、混合空間４１２ＩＮにパージガスが供給されないがゆえに、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して希釈されたパージガスを排出する必要性も相対的に低い。このため、加工システムＳＹＳａが加工動作を行っている間は、送風機４４３が停止していてもよい。送風機４４２と共に送風機４４３が停止していれば、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに対してパージガスが供給され且つ混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対してパージガスが排出される可能性は小さい。

　但し、加工システムＳＹＳａが加工動作を行っている間に、パージガスが加工空間４１１ＩＮに供給されることがある。例えば、照射光学系２１１が備える光学部材の光学面に対してパージガスを吹き付けることで光学面への物質の付着を防ぐ気体供給装置を加工システムＳＹＳａが備えている場合には、加工システムＳＹＳａが加工動作を行っている間に、パージガスが加工空間４１１ＩＮに供給されることがある。尚、光学面に付着する可能性がある物質の一例として、加工動作に用いられる物質（例えば、造形材料Ｍ）及び加工動作に起因して発生する物質（例えば、ヒューム）の少なくとも一方があげられる。例えば、材料供給装置１が造形材料Ｍを圧送する場合には、圧送に用いられるパージガスが、材料ノズル２１２の供給アウトレット２１４を介して加工空間４１１ＩＮに供給される可能性がある。この場合には、加工システムＳＹＳａが加工動作を行っている場合であっても、加工システムＳＹＳａが加工動作を開始する前と同様の動作（図５参照）が行われてもよい。つまり、バルブ４３４及び４５４のそれぞれの状態が開状態に設定され、且つ、送風機４４２及び４４３のそれぞれが動作してもよい。

　但し、加工システムＳＹＳａが加工動作を行っている間は、加工空間４１１ＩＮは、パージガスでパージされた空間となっている。つまり、加工システムＳＹＳａが加工動作を行っている間は、加工空間４１１ＩＮには、残留ガスは殆ど存在しない。このため、加工システムＳＹＳａが加工動作を行っている間に加工空間４１１ＩＮに供給されるパージガスの供給量は、加工システムＳＹＳａが加工動作を開始する前に加工空間４１１ＩＮに供給されるパージガスの供給量（つまり、残留ガスが存在する加工空間４１１ＩＮに供給されるパージガスの供給量）よりも少ない。この場合、過度に多くのパージガスが加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへと供給されないように、送風機４４２及び４４３のそれぞれが動作してもよい。過度に多くのパージガスが加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮを介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへと排出されないように、送風機４４２及び４４３のそれぞれが動作してもよい。例えば、加工システムＳＹＳａが加工動作を開始する前と同じ又は弱い送風能力（言い換えれば、供給能力又は排出能力）で送風機４４３が動作する一方で、送風機４４２が停止してもよい。或いは、加工システムＳＹＳａが加工動作を開始する前よりも弱い送風能力で送風機４４３が動作する一方で、加工システムＳＹＳａが加工動作を開始する前と同じ又は弱い送風能力で送風機４４２が動作してもよい。この場合、加工システムＳＹＳａが加工動作を開始する前と同じ送風能力で送風機４４２及び４４３の双方が動作している場合と比較して、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへと供給されるパージガスの供給量が少なくなる。更には、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮを介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへと排出されるパージガス（具体的には、希釈されたパージガス）の排出流量が少なくなる。従って、過度に多くのパージガスが加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへと供給されにくくなる。

　パージガスが加工空間４１１ＩＮに供給される場合には、制御装置７は、加工空間４１１ＩＮへのパージガスの供給に関するガス供給情報に基づいて、供給管４５１を介した希釈ガスの供給量、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへのパージガスの供給量及び混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへのパージガスの供給量の少なくとも一つを調整してもよい。つまり、制御装置７は、ガス供給情報に基づいて、バルブ４５４、送風機４４２及び送風機４４３の少なくとも一つの状態を制御してもよい。ガス供給情報は、例えば、ガス供給装置６によるパージガスの供給量（例えば、単位時間当たりの供給量）及びパージガスの圧力の少なくとも一つに関する情報を含んでいてもよい。パージガスが造形材料Ｍの圧送に用いられる場合には、ガス供給情報は、ガス供給装置６及び材料供給装置１が造形材料Ｍを圧送する圧力に関する情報を含んでいてもよい。

　パージガスによって造形材料Ｍが圧送されることを考慮すれば、造形材料Ｍの供給態様は、パージガスの供給態様に依存する。このため、制御装置７は、ガス供給情報に加えて又は代えて、加工空間４１１ＩＮへの造形材料Ｍの供給に関する材料供給情報に基づいて、供給管４５１を介した希釈ガスの供給量、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへのパージガスの供給量及び混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへのパージガスの供給量の少なくとも一つを調整してもよい。材料供給情報は、材料供給装置１による造形材料Ｍの供給量（例えば、単位時間当たりの供給量）に関する情報を含んでいてもよい。

　（１－４－３）加工動作が完了した後のパージガスの流れ
　続いて、図７を参照しながら、加工システムＳＹＳａが加工動作を完了した後のパージガスの流れについて説明する。図７は、加工システムＳＹＳａが加工動作を完了した後のパージガスの流れを示す断面図である。

　加工システムＳＹＳａが加工動作を完了した後には、通常、加工空間４１１ＩＮからワークＷ（具体的には、加工動作によって３次元構造物ＳＴが形成されたワークＷ）が取り出される。このため、加工空間４１１ＩＮをパージしているパージガスが加工空間４１１ＩＮから排出される。この場合、まずは、加工空間４１１ＩＮへのこれ以上のパージガスの供給を停止するために、制御装置７の制御下で、バルブ４３４の状態が閉状態に設定される。その結果、加工空間４１１ＩＮには、ガス供給装置６からパージガスが新たに供給されることはない。

　更に、加工空間４１１ＩＮのパージガスを加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮを介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに放出するために、バルブ４５４の状態が開状態に設定され、且つ、送風機４４２及び４４３のそれぞれが動作する。その結果、加工空間４１１ＩＮのパージガスが加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに供給される。更に、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴの空気（つまり、希釈ガス）が外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに供給される。混合空間４１２ＩＮでは、パージガスと希釈ガスとが混合される。加工システムＳＹＳａが加工動作を完了した後においても、加工システムＳＹＳａが加工動作を開始する前と同様に、混合空間４１２ＩＮでのパージガスと希釈ガスとの混合は、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴにおける酸素欠乏を防止する目的で行われてもよい。その結果、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して、送風機４４３を介して混合ガスが排出される。

　上述したように、パージガスが造形材料Ｍの圧送に用いられる場合には、材料供給装置１は、造形材料Ｍと搬送用のパージガスとを混合して材料供給パイプ１１を介して材料ノズル２１２に造形材料Ｍを供給する。このため、材料供給パイプ１１の内部の空間にもまた、パージガスが存在する可能性がある。つまり、材料供給装置１から材料ノズル２１２へと造形材料Ｍを供給するための空間にもまた、パージガスが存在する可能性がある。このため、加工システムＳＹＳａは、材料供給装置１から材料ノズル２１２へと造形材料Ｍを供給するための空間のパージガスを当該空間から外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに排出してもよい。

　例えば、加工システムＳＹＳａは、加工空間４１１ＩＮのパージガスを加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮを介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに排出する場合と同様に、材料供給装置１から材料ノズル２１２へと造形材料Ｍを供給するための空間のパージガスを当該空間から加工空間４１１ＩＮ及び混合空間４１２ＩＮを介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに排出してもよい。例えば、加工システムＳＹＳａは、加工空間４１１ＩＮのパージガスを加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮを介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに排出する経路を用いて、材料供給装置１から材料ノズル２１２へと造形材料Ｍを供給するための空間のパージガスを排出してもよい。例えば、加工システムＳＹＳａは、材料供給装置１から材料ノズル２１２へと造形材料Ｍを供給するための空間のパージガスを、加工空間４１１ＩＮ及び混合空間４１２ＩＮを介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに排出してもよい。この場合、例えば、材料供給装置１から材料ノズル２１２へと造形材料Ｍを供給するための空間のパージガスは、材料供給パイプ１１の一方の端部である又は一方の端部に連結された供給アウトレット２１４を介して、材料供給パイプ１１の内部から加工空間４１１ＩＮへと排出される。

　或いは、加工システムＳＹＳａは、材料供給装置１から材料ノズル２１２へと造形材料Ｍを供給するための空間のパージガスを、加工空間４１１ＩＮを介することなく当該空間から排出してもよい。この場合、例えば、材料供給装置１から材料ノズル２１２へと造形材料Ｍを供給するための空間のパージガスは、材料供給パイプ１１の他方の端部（つまり、供給アウトレット２１４とは反対側の端部）を介して、材料供給パイプ１１の内部から排出されてもよい。

　加工システムＳＹＳａは、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出と、材料供給装置１から材料ノズル２１２へと造形材料Ｍを供給するための空間（例えば、材料供給パイプ１１の内部）のパージガスの排出とを個別に行ってもよい。例えば、加工システムＳＹＳａは、加工空間４１１ＩＮ及び材料供給装置１から材料ノズル２１２へと造形材料Ｍを供給するための空間のいずれか一方からのパージガスの排出を停止した状態で、加工空間４１１ＩＮ及び材料供給装置１から材料ノズル２１２へと造形材料Ｍを供給するための空間のいずれか他方からパージガスを排出してもよい。

　上述したように、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴが大気圧空間である場合には、加工空間４１１ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対してパージガスが排出される状態は、加工空間４１１ＩＮが大気開放された状態と等価である。このため、材料供給装置１から材料ノズル２１２へと造形材料Ｍを供給するための空間から外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対してパージガスが排出される状態は、材料供給装置１から材料ノズル２１２へと造形材料Ｍを供給するための空間が大気開放された状態と等価である。この場合、加工システムＳＹＳａは、加工空間４１１ＩＮの大気開放と、材料供給装置１から材料ノズル２１２へと造形材料Ｍを供給するための空間の大気開放とを個別に行ってもよい。例えば、加工システムＳＹＳａは、加工空間４１１ＩＮ及び材料供給装置１から材料ノズル２１２へと造形材料Ｍを供給するための空間のいずれか一方を大気開放しない状態で、加工空間４１１ＩＮ及び材料供給装置１から材料ノズル２１２へと造形材料Ｍを供給するための空間のいずれか他方を大気開放してもよい。この場合、加工システムＳＹＳａは、加工空間４１１ＩＮと材料供給装置１から材料ノズル２１２へと造形材料Ｍを供給するための空間とを遮断可能な遮断装置１１１（図１参照）を備えていてもよい。遮断装置１１１は、例えば、材料供給パイプ１１を閉塞可能なバルブを含んでいてもよい。この場合、遮断装置１１１が加工空間４１１ＩＮと材料供給装置１から材料ノズル２１２へと造形材料Ｍを供給するための空間とを遮断することで、加工空間４１１ＩＮ及び材料供給装置１から材料ノズル２１２へと造形材料Ｍを供給するための空間のいずれか一方を大気開放しない状態で、加工空間４１１ＩＮ及び材料供給装置１から材料ノズル２１２へと造形材料Ｍを供給するための空間のいずれか他方が大気開放されてもよい。

　尚、加工動作が完了した場合のみならず、加工システムＳＹＳａの電源がＯＮになったタイミング（つまり、加工システムＳＹＳａが起動したタイミング）で、加工空間４１１ＩＮからパージガスを排出するための動作が行われてもよい。加工システムＳＹＳａが再起動されたタイミングで、加工空間４１１ＩＮからパージガスを排出するための動作が行われてもよい。

　（１－５）加工システムＳＹＳａの技術的効果
　以上説明したように、第１実施形態の加工システムＳＹＳａによれば、ワークＷに対して適切に付加加工を行うことができる。

　更に、加工システムＳＹＳａは、筐体４の内部においてパージガスと希釈ガスとを混合した後に、パージガスと希釈ガスとが混合された混合ガスを筐体４の外部に対して排出する。つまり、加工システムＳＹＳａは、筐体４の内部においてパージガスを希釈ガスで希釈した後に、希釈されたパージガスを筐体４の外部に対して排出する。ここで、上述したように、混合空間４１２ＩＮでのパージガスと希釈ガスとの混合は、例えば、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴにおける酸素欠乏を防止する目的で行われる。このため、このような混合ガスが外部空間ＳＰ＿ＯＵＴ（特に、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴのうちユーザが立ち入る空間）に放出されたとしても、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴにいるユーザが酸素欠乏に陥ることはない。つまり、加工システムＳＹＳａは、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴにいるユーザに対して無害な混合ガスを外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して放出することができる。加工システムＳＹＳａは、筐体４の内部でパージガスを無害化した後に、無害化したパージガス（つまり、希釈されたパージガス）を外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して放出することができる。

　更には、加工システムＳＹＳａが無害な混合ガスを外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して放出することができるがゆえに、加工システムＳＹＳａが放出したパージガスを、ユーザが存在する空間を迂回してユーザが存在しない空間へ放出するための配管（例えば、ダクト）を配置しなくてもよくなる。このため、加工システムＳＹＳａの取り回しが容易になる。更には、加工システムＳＹＳａの小型化が可能となる。更には、加工システムＳＹＳａの外観がすっきりとしたものとなる。

　（２）第２実施形態の加工システムＳＹＳｂ
　続いて、第２実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第２実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳｂ”と称する）について説明する。第２実施形態の加工システムＳＹＳｂは、上述した第１実施形態の加工システムＳＹＳａと比較して、筐体４に代えて筐体４ｂを備えているという点で異なる。加工システムＳＹＳｂのその他の特徴は、加工システムＳＹＳａのその他の特徴と同一であってもよい。従って、以下では、図８を参照しながら、第２実施形態の筐体４ｂについて説明する。図８は、第２実施形態の筐体４ｂの構造を示す断面図である。尚、以降の説明では、既に説明済みの構成要件については、同一の参照符号を付してその詳細な説明については省略する。

　図８に示すように、第２実施形態の筐体４ｂは、上述した第１実施形態の筐体４と比較して、混合空間４１２ＩＮと加工空間４１１ＩＮとの間の境界（或いは、当該境界の近傍）にバルブ４４５１ｂが配置されているという点において異なる。更に、筐体４ｂは、筐体４と比較して、混合空間４１２ＩＮと外部空間ＳＰ＿ＯＵＴとの間の境界（或いは、当該境界の近傍）又は排気口４４４の近傍にバルブ４４５２ｂが配置されているという点において異なる。筐体４ｂのその他の特徴は、筐体４のその他の特徴と同一であってもよい。

　混合空間４１２ＩＮと加工空間４１１ＩＮとの間の境界（或いは、当該境界の近傍）にバルブ４４５１ｂが配置されている場合には、加工空間４１１ＩＮのパージガスは、バルブ４４５１ｂを介して加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに供給される。このため、バルブ４４５１ｂは、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮにパージガスを供給するための供給装置として機能可能である。

　バルブ４４５１ｂの状態は、制御装置７の制御下で、加工空間４１１ＩＮと混合空間４１２ＩＮとの間の流路を閉塞する閉状態と、加工空間４１１ＩＮと混合空間４１２ＩＮとの間の流路を開放する開状態との間で切り替えられる。バルブ４４５１ｂが閉状態にある場合には、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに対してパージガス（或いは、残留ガス）が流入する（つまり、供給される）ことはない。更に、バルブ４４５１ｂが閉状態にある場合には、混合空間４１２ＩＮから加工空間４１１ＩＮに対して気体（例えば、混合ガス及び希釈ガスの少なくとも一方）が流入する（つまり、供給される）ことはない。一方で、バルブ４４５１ｂが開状態にある場合には、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに対してパージガス（或いは、残留ガス）が供給可能となる。更に、バルブ４４５１ｂが開状態にある場合には、バルブ４４５１ｂは、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２に供給されるパージガス（或いは、残留ガス）の供給量を調整可能であってもよい。つまり、バルブ４４５１ｂは、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２に供給されるパージガス（或いは、残留ガス）の供給量を調整する装置として機能可能であってもよい。例えば、制御装置７は、パージガスの供給量を第７の所望供給量に設定してもよい。この場合、バルブ４４５１ｂを介して、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに対して、第７の所望供給量でパージガスが供給される。例えば、制御装置７は、パージガスの供給量を第７の所望供給量から第８の所望供給量に変更してもよい。この場合、バルブ４４５１ｂを介して、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに対して、第８の所望供給量でパージガスが供給される。

　混合空間４１２ＩＮと外部空間ＳＰ＿ＯＵＴとの間の境界（或いは、当該境界の近傍）にバルブ４４５２ｂが配置されている場合には、混合空間４１２ＩＮの混合ガスは、バルブ４４５２ｂを介して混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに供給される。このため、バルブ４４５１ｂは、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへと混合ガスを排出する排出装置として機能可能である。

　バルブ４４５２ｂの状態は、制御装置７の制御下で、混合空間４１２ＩＮと外部空間ＳＰ＿ＯＵＴとの間の流路を閉塞する閉状態と、混合空間４１２ＩＮと外部空間ＳＰ＿ＯＵＴとの間の流路を開放する開状態との間で切り替えられる。バルブ４４５２ｂが閉状態にある場合には、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して混合ガスが排出されることはない。一方で、バルブ４４５２ｂが開状態にある場合には、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して混合ガスが排出可能となる。更に、バルブ４４５２ｂが開状態にある場合には、バルブ４４５２ｂは、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して排出される混合ガスの排出量を調整可能であってもよい。つまり、バルブ４４５２ｂは、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して排出される混合ガスの排出量を調整する装置として機能可能であってもよい。例えば、制御装置７は、混合ガスの排出量を第３の所望排出量に設定してもよい。この場合、バルブ４４５２ｂを介して、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して、第３の所望排出量で混合ガスが排出される。例えば、制御装置７は、混合ガスの排出量を第３の所望排出量から第４の所望排出量に変更してもよい。この場合、バルブ４４５２ｂを介して、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して、第４の所望排出量で混合ガスが排出される。

　このような第２実施形態の加工システムＳＹＳｂでは、加工システムＳＹＳａが加工動作を行っている間は（図６参照）、バルブ４４５１ｂ及び４４５２ｂのそれぞれの状態が閉状態に設定されてもよい。その結果、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに対してパージガスが供給されなくなり、且つ、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対してパージガスが排出されることはない。つまり、筐体４ｂでは、バルブ４４５１ｂ及び４４５２ｂを備えていなくてもよい筐体４と比較して、筐体４ｂから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して意図せずパージガスが排出される状況が生じにくくなる。従って、第２実施形態の加工システムＳＹＳｂは、第１実施形態の加工システムＳＹＳａが享受可能な効果と同様の効果を享受しながら、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対する意図しないパージガスの排出をより適切に抑制することができる。つまり、第２実施形態の加工システムＳＹＳｂは、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴにいるユーザの酸素欠乏をより適切に抑制することができる。

　（３）第３実施形態の加工システムＳＹＳｃ
　続いて、第３実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第３実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳｃ”と称する）について説明する。第３実施形態の加工システムＳＹＳｃは、上述した第１実施形態の加工システムＳＹＳａと比較して、筐体４に代えて筐体４ｃを備えているという点で異なる。加工システムＳＹＳｃのその他の特徴は、加工システムＳＹＳａのその他の特徴と同一であってもよい。従って、以下では、図９を参照しながら、第３実施形態の筐体４ｃについて説明する。図９は、第３実施形態の筐体４ｃの構造を示す断面図である。

　図９に示すように、第３実施形態の筐体４ｃは、上述した第１実施形態の筐体４と比較して、ガスタンク４５５ｃが筐体４ｃの内部に配置されているという点において異なる。更に、筐体４ｃは、供給管４５１が混合空間４１２ＩＮとガスタンク４５５ｃとをつないでいるという点において、供給管４５１が混合空間４１２ＩＮと外部空間ＳＰ＿ＯＵＴとをつないでいる筐体４とは異なる。更に、筐体４ｃは、筐体４と比較して、吸気口４５２が形成されていなくてもよいという点において異なる。筐体４ｃのその他の特徴は、筐体４のその他の特徴と同一であってもよい。

　ガスタンク４５５ｃは、希釈ガスを貯蔵可能な貯蔵装置である。このため、第２実施形態では、希釈ガスは、ガスタンク４５５ｃから、供給管４５１及び供給口４５３を介して混合空間４１２ＩＮに供給される。このような第３実施形態の加工システムＳＹＳｃは、第１実施形態の加工システムＳＹＳａが享受可能な効果と同様の効果を享受することができる。尚、希釈ガスが酸素である場合には、ガスタンク４５５ｃに代えて、大気を原料として酸素ガスを発生する酸素ガス発生装置を供給管４５１につなげてもよい。

　尚、第３実施形態においても、希釈ガスは、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに供給されてもよい。つまり、筐体４ｃは、ガスタンク４５５ｃから混合空間４１２ＩＮに対して希釈ガスを供給する第１の供給系統（例えば、図９に示す、ガスタンク４５５ｃ、供給管４５１、供給口４５３及びバルブ４５４を含む供給系統）と、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに対して希釈ガスを供給する第２の供給系統（例えば、図２に示す、吸気口４５２、供給管４５１、供給口４５３及びバルブ４５４を含む供給系統）とを備えていてもよい。この場合、第１及び第２の供給系統がそれぞれ別個独立した供給系統であってもよい。或いは、第１の供給系統の少なくとも一部が、第２の供給系統の少なくとも一部として用いられてもよい。一例として、供給口４５３が第１及び第２の供給系統によって共用されてもよい。一例として、供給管４５１の少なくとも一部が第１及び第２の供給系統によって共用されてもよい。

　筐体４ｃは、ガスタンク４５５ｃから混合空間４１２ＩＮに対して希釈ガスを供給する供給系統を複数備えていてもよい。例えば、筐体４ｃは、第１のガスタンク４５５ｃから混合空間４１２ＩＮに対して希釈ガスを供給する供給系統と、第２のガスタンク４５５ｃから混合空間４１２ＩＮに対して希釈ガスを供給する供給系統とを備えていてもよい。例えば、筐体４ｃは、ガスタンク４５５ｃから第１の供給管４５１を介して混合空間４１２ＩＮに対して希釈ガスを供給する供給系統と、同じガスタンク４５５ｃから第２の供給管を介して混合空間４１２ＩＮに対して希釈ガスを供給する供給系統とを備えていてもよい。

　第３実施形態においても、第２実施形態に特有の構成要件（例えば、上述したバルブ４４５１ｂ及び４４５２ｂの少なくとも一方に関する構成要件）が採用されてもよい。

　（４）第４実施形態の加工システムＳＹＳｄ
　続いて、第４実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第４実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳｄ”と称する）について説明する。第４実施形態の加工システムＳＹＳｄは、上述した第１実施形態の加工システムＳＹＳａと比較して、筐体４に代えて筐体４ｄを備えているという点で異なる。加工システムＳＹＳｄのその他の特徴は、加工システムＳＹＳａのその他の特徴と同一であってもよい。従って、以下では、図１０を参照しながら、第４実施形態の筐体４ｄについて説明する。図１０は、第４実施形態の筐体４ｄの構造を示す断面図である。

　図１０に示すように、第４実施形態の筐体４ｄは、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに対して希釈ガスを供給する供給系統を複数備えているという点において、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに対して希釈ガスを供給する供給系統を複数備えていなくてもよい筐体４とは異なる。筐体４ｄのその他の特徴は、筐体４のその他の特徴と同一であってもよい。

　図１０は、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに対して希釈ガスを供給する供給系統を２つ備える筐体４ｄの例を示している。図１０に示す例では、筐体４ｄは、第１の吸気口４５２（４５２－１）、第１の供給管４５１（４５１－１）及び第１の供給口４５３（４５３－１）を介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに対して希釈ガスを供給する供給系統と、第２の吸気口４５２（４５２－２）、第２の供給管４５１（４５１－２）及び第２の供給口４５３（４５３－２）を介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに対して希釈ガスを供給する供給系統とを備えている。更に、第１の供給管４５１－１及び第２の供給管４５１－２には、それぞれ、第１のバルブ４５４（４５４－１）及び第２のバルブ４５４（４５２－２）が配置されている。

　このような第４実施形態の加工システムＳＹＳｄによれば、第１実施形態の加工システムＳＹＳａが享受可能な効果と同様の効果を享受することができる。更には、加工システムＳＹＳｄによれば、加工システムＳＹＳａと比較して、希釈ガスを供給する供給系統を複数備えている分だけ希釈ガスの供給効率が向上する。その結果、パージガスの希釈に要する時間が短縮可能となる。

　尚、第４実施形態においても、第２実施形態に特有の構成要件及び第３実施形態に特有の構成要件（例えば、上述したガスタンク４５５ｃを用いた希釈ガスの供給系統に関する構成要件）の少なくとも一方が採用されてもよい。

　（５）第５実施形態の加工システムＳＹＳｅ
　続いて、第５実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第５実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳｅ”と称する）について説明する。第５実施形態の加工システムＳＹＳｅは、上述した第４実施形態の加工システムＳＹＳｄと比較して、筐体４ｄに代えて筐体４ｅを備えているという点で異なる。加工システムＳＹＳｅのその他の特徴は、加工システムＳＹＳｄのその他の特徴と同一であってもよい。従って、以下では、図１１及び図１２を参照しながら、第５実施形態の筐体４ｅについて説明する。図１１は、第５実施形態の筐体４ｅの構造を示す断面図である。図１２は、第５実施形態の筐体４ｅの混合空間４１２ＩＮ内におけるパージガスの流れを示す断面図である。

　図１１及び図１２に示すように、第４実施形態の筐体４ｅは、上述した第４実施形態の筐体４ｄと比較して、流路形成部材４２４ｅ及び流入阻止部材４２５ｅを備えているという点において異なる。筐体４ｅのその他の特徴は、筐体４ｄのその他の特徴と同一であってもよい。

　流路形成部材４２４ｅは、混合空間４１２ＩＮに形成されている。流路形成部材４２４ｅは、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに供給されるパージガス及び外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに供給される希釈ガスの少なくとも一方が、混合空間４１２ＩＮ内において所望の流路を介して流れるように、パージガス及び希釈ガスの少なくとも一方の流路を形成するための部材である。第５実施形態では特に、図１２に示すように、流路形成部材４２４ｅは、混合空間内においてパージガスの流路と希釈ガスの流路とが合流する（つまり、交差する）ように、パージガス及び希釈ガスの少なくとも一方の流路を形成する。流路形成部材４２４ｅは、混合空間内において、パージガス及び希釈ガスのそれぞれが排気口４４４に到達する前にパージガスの流路と希釈ガスの流路とが合流するように、パージガス及び希釈ガスの少なくとも一方の流路を形成する。

　流路形成部材４２４ｅの特性（例えば、配置位置、形状、サイズ及び数の少なくとも一つ）は、上述したようにパージガスの流路と希釈ガスの流路とを合流させることが可能な所望の特性に設定されている。図１１及び図１２に示す例では、流路形成部材４２４ｅの特性は、（ｉ）加工空間４１１ＩＮからのパージガスの流路を、流路形成部材４２４ｅを挟む２つの流路に分岐させ、（ｉｉ）パージガスの一方の流路と第１の供給口４５３－１からの希釈ガスの流路とを合流させ、且つ、（ｉｉｉ）パージガスの他方の流路と第２の供給口４５３－２からの希釈ガスの流路とを合流させることが可能な所望の特性に設定されている。もちろん、図１１及び図１２に示す流路形成部材４２４ｅの特性は一例に過ぎず、流路形成部材４２４ｅの特性が図１１及び図１２に示す特性とは異なる特性に設定されていてもよい。

　流入阻止部材４２５ｅは、混合空間４１２ＩＮに形成されている。流入阻止部材４２５ｅは、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに供給されたパージガスが、第１の供給管４５１－１及び第２の供給管４５１－２の少なくとも一方に流入する（つまり、逆流する）ことを阻止する（つまり、防止する又は抑制する）ための部材である。第１の供給管４５１－１及び第２の供給管４５１－２の少なくとも一方にパージガスが流入すると、第１の吸気口４５２－１及び第２の吸気口４５２－２の少なくとも一方を介してパージガスが外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに放出される可能性がある。このため、流入阻止部材４２５ｅは、パージガスが第１の供給管４５１－１及び第２の供給管４５１－２の少なくとも一方を介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに放出されることを阻止するための部材であるとも言える。

　流入阻止部材４２５ｅは、パージガスが第１の供給管４５１－１及び第２の供給管４５１－２の少なくとも一方に流入しなくなる（或いは、しにくくなるように）パージガスの流路を形成してもよい。例えば、流入阻止部材４２５ｅは、第１の供給管４５１－１及び第２の供給管４５１－２の少なくとも一方に向かって流れるパージガスが、第１の供給管４５１－１及び第２の供給管４５１－２が配置されている方向とは異なる方向に向かって流れるように、パージガスの流路を形成してもよい。例えば、流入阻止部材４２５ｅは、第１の供給口４５３－１及び第２の供給口４５３－２の少なくとも一方に向かって流れるパージガスが、第１の供給口４５３－１及び第２の供給口４５３－２が配置されている方向とは異なる方向に向かって流れるように、パージガスの流路を形成してもよい。

　流入阻止部材４２５ｅの特性（例えば、配置位置、形状、サイズ及び数の少なくとも一つ）は、上述したようにパージガスの第１の供給管４５１－１及び第２の供給管４５１－２の少なくとも一方への流入を阻止することが可能な所望の特性に設定されている。図１１及び図１２に示す例では、流入阻止部材４２５ｅは、送風機４４２と第１の供給口４５３－１及び第２の供給口４５３－２のそれぞれとの間に配置され、送風機４４２から第１の供給口４５３－１に向かってきたパージガスが第１の供給口４５３－１よりも上方に流れるように上方に延びる壁部材と、送風機４４２から第２の供給口４５３－２に向かってきたパージガスが第２の供給口４５３－２よりも上方に流れるように上方に延びる壁部材とを備えるという特性を有している。もちろん、図１１及び図１２に示す流入阻止部材４２５ｅの特性は一例に過ぎず、流入阻止部材４２５ｅの特性が図１１及び図１２に示す特性とは異なる特性に設定されていてもよい。

　尚、図１１及び図１２に示す例では、第１の供給管４５１－１及び第２の供給管４５１－２から混合空間４１２ＩＮ供給された希釈ガスが、第１の吸気口４５２－１及び第２の吸気口４５２－２のそれぞれから流入阻止部材４２５ｅの側面に沿って上方に向かうように、流入阻止部材４２５ｅによって希釈ガスの流路が形成されているとも言える。その結果、第１の吸気口４５２－１及び第２の吸気口４５２－２のそれぞれから上方に向かった希釈ガスは、パージガスと合流する。このため、図１１及び図１２に示す例では、流入阻止部材４２５ｅは、混合空間内においてパージガスの流路と希釈ガスの流路とが合流するようにパージガス及び希釈ガスの少なくとも一方の流路を形成する部材としても機能している。つまり、流入阻止部材４２５ｅは、流路形成部材４２４ｅとしても利用可能である。言い換えれば、筐体４ｅは、流路形成部材４２４ｅ及び流入阻止部材４２５ｅのそれぞれとして機能可能な部材を備えている。但し、筐体４ｅは、流路形成部材４２４ｅ及び流入阻止部材４２５ｅのそれぞれとして機能可能な部材を備えていなくてもよい。

　このような第５実施形態の加工システムＳＹＳｅによれば、第４実施形態の加工システムＳＹＳｄが享受可能な効果と同様の効果を享受することができる。

　流路形成部材４２４ｅを備えている加工システムＳＹＳｅでは、流路形成部材４２４ｅを備えていない加工システムＳＹＳｄと比較して、混合空間４１２ＩＮ内においてパージガスと希釈ガスとが混合しやすくなる。つまり、混合空間４１２ＩＮ内において希釈ガスによってパージガスが希釈されやすくなる。このため、パージガスの希釈に要する時間が短縮可能となる。更には、筐体４ｅから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して、十分に希釈されていないパージガスが意図せずに排出される状況が生じにくくなる。

　流入阻止部材４２５ｅを備えている加工システムＳＹＳｅでは、流入阻止部材４２５ｅを備えていない加工システムＳＹＳｄと比較して、混合空間４１２ＩＮに供給されたパージガスが第１の供給管４５１－１及び第２の供給管４５１－２の少なくとも一方に流入しにくくなる。このため、混合空間４１２ＩＮに供給されたパージガスが供給管４５１－１及び４５１－２の少なくとも一方を逆流して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに意図せず放出される可能性が小さくなる。つまり、筐体４ｅから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して、十分に希釈されていないパージガスが意図せずに排出される状況が生じにくくなる。

　但し、送風機４４３が動作している限りは、混合空間４１２ＩＮ内の気体（つまり、混合ガス）が外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに送り出されるがゆえに、混合空間４１２ＩＮの圧力が外部空間ＳＰ＿ＯＵＴの圧力よりも高くなる可能性は相対的に小さい。従って、第１の供給管４５１－１及び第２の供給管４５１－２のそれぞれには、圧力が相対的に高い外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから圧力が相対的に低い混合空間４１２ＩＮに向かって希釈ガスが流れる可能性が相対的に高い。このため、流入阻止部材４２５ｅが仮に形成されていなかったとしても、混合空間４１２ＩＮに供給されたパージガスが第１の供給管４５１－１及び第２の供給管４５１－２の少なくとも一方を逆流して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに意図せず放出される可能性は小さい。

　尚、上述した説明では、流路形成部材４２４ｅは、隔壁部材４２から分離した部材である。しかしながら、流路形成部材４２４ｅは、隔壁部材４２と一体化された部材を含んでいてもよい。流路形成部材４２４ｅは、隔壁部材４２と一体化された部材であってもよい。更に、筐体４ｅは、単一の流路形成部材４２４ｅを備えていてもよいし、複数の流路形成部材４２４ｅを備えていてもよい。

　上述した説明では、流入阻止部材４２５ｅは、隔壁部材４２と一体化された部材である。しかしながら、流入阻止部材４２５ｅは、隔壁部材４２から分離した部材を含んでいてもよい。流入阻止部材４２５ｅは、隔壁部材４２から分離した部材であってもよい。更に、筐体４ｅは、単一の流入阻止部材４２５ｅを備えていてもよいし、複数の流入阻止部材４２５ｅを備えていてもよい。

　上述した説明では、筐体４ｅは、流路形成部材４２４ｅ及び流入阻止部材４２５ｅの双方を備えている。しかしながら、筐体４ｅは、流路形成部材４２４ｅを備える一方で、流入阻止部材４２５ｅを備えていなくてもよい。筐体４ｅは、流入阻止部材４２５ｅを備える一方で、流路形成部材４２４ｅを備えていなくてもよい。

　第５実施形態においても、第２及び第３実施形態の少なくとも一方に特有の構成要件が採用されてもよい。更には、混合空間４１２ＩＮに対して希釈ガスを供給する供給系統を複数備えていなくてもよい第１実施形態から第３実施形態においても、第５実施形態に特有の構成要件（例えば、上述した流路形成部材４２４ｅ及び流入阻止部材４２５ｅの少なくとも一方に関する構成要件）が採用されてもよい。

　（６）第６実施形態の加工システムＳＹＳｆ
　続いて、図１３を参照しながら、第６実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第６実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳｆ”と称する）について説明する。図１３は、第６実施形態の加工システムＳＹＳｆの構造を示す断面図である。

　図１３に示すように、第６実施形態の加工システムＳＹＳｆは、上述した第１実施形態の加工システムＳＹＳａと比較して、攪拌機４２６ｆが混合空間４１２ＩＮに配置されていると言う点で異なる。加工システムＳＹＳｆのその他の特徴は、加工システムＳＹＳａのその他の特徴と同一であってもよい。

　攪拌機４２６ｆは、混合空間４１２ＩＮ内において混合ガスを攪拌するための装置である。攪拌機４２６ｆは、混合空間４１２ＩＮ内においてパージガスと希釈ガスとを攪拌して両者を適切に混合するための装置である。

　攪拌機４２６ｆは、混合ガスを攪拌可能である限りはどのような形状を有していてもよい。一例として、攪拌機４２６ｆは、棒状の攪拌子を備える攪拌機であってもよいし、板状の攪拌子を備える攪拌機であってもよいし、プロペラ状の攪拌子を備える攪拌機であってもよい。

　攪拌機４２６ｆは、制御装置７の制御下で、混合ガスを攪拌するように能動的に動作してもよい。例えば、攪拌機４２６ｆは、制御装置７の制御下で、混合ガスを攪拌するように攪拌子を能動的に動かすように動作してもよい。或いは、攪拌機４２６ｆは、制御装置７の制御とは無関係に、混合空間４１２ＩＮ内での混合ガスの気流によって受動的に動く装置であってもよい。攪拌機４２６ｆは、制御装置７の制御とは無関係に、混合空間４１２ＩＮ内での混合ガスの気流によって受動的に動く攪拌子を備えていてもよい。

　このような第６実施形態の加工システムＳＹＳｆによれば、第１実施形態の加工システムＳＹＳａが享受可能な効果と同様の効果を享受することができる。更には、加工システムＳＹＳｆによれば、加工システムＳＹＳａと比較して、混合ガスを攪拌する攪拌機４２６ｆを備えているがゆえに、混合空間４１２ＩＮ内においてパージガスと希釈ガスとが混合しやすくなる。つまり、混合空間４１２ＩＮ内において希釈ガスによってパージガスが希釈されやすくなる。このため、パージガスの希釈に要する時間が短縮可能となる。更には、筐体４ｆから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して、十分に希釈されていないパージガスが意図せずに排出される状況が生じにくくなる。

　尚、第６実施形態においても、第２実施形態から第５実施形態の少なくとも一つに特有の構成要件が採用されてもよい。

　（７）第７実施形態の加工システムＳＹＳｇ
　続いて、図１４を参照しながら、第７実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第７実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳｇ”と称する）について説明する。図１４は、第７実施形態の加工システムＳＹＳｇの構造を示す断面図である。

　図１４に示すように、第７実施形態の加工システムＳＹＳｇは、上述した第１実施形態の加工システムＳＹＳａと比較して、加工空間４１１ＳＰから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに向かって隔壁部材４２を貫通する貫通孔４６１ｇが形成されていると言う点で異なる。加工システムＳＹＳｇのその他の特徴は、加工システムＳＹＳａのその他の特徴と同一であってもよい。

　貫通孔４６１ｇは、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから希釈ガス（例えば、空気）を加工空間４１１ＩＮに供給するための供給管として用いられる。このため、以下では、“貫通孔４６１ｇ”を、必要に応じて“供給管４６１ｇ”と称する。具体的には、貫通孔４６１ｇは、隔壁部材４２の外面４２２に、開口である吸気口４６２ｇを形成する。更に、貫通孔４６１ｇは、隔壁部材４２の内面４２１に、開口である供給口４６３ｇを形成する。このため、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴの希釈ガスは、吸気口４６２ｇ、供給管４６１ｇ及び供給口４６３ｇを介して、加工空間４１１ＩＮに供給される。

　供給管４６１ｇには、バルブ４６４ｇが配置されている。希釈ガスは、バルブ４６４ｇを介して加工空間４１１ＩＮに供給される。このため、バルブ４６４ｇは、加工空間４１１ＩＮに希釈ガスを供給するための供給装置として機能可能である。

　バルブ４６４ｇの状態は、制御装置７の制御下で、供給管４６１ｇを閉塞する閉状態と、供給管４６１ｇを開放する開状態との間で切り替えられてもよい。バルブ４６４ｇが閉状態にある場合には、供給管４６１ｇを介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから加工空間４１１ＩＮに対して希釈ガスが供給されることはない。更には、バルブ４６４ｇが閉状態にある場合には、供給管４６１ｇを介して加工空間４１１ＩＮ内のパージガスが外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに排出される（つまり、放出される）ことはない。一方で、バルブ４６４ｇが開状態にある場合には、供給管４６１ｇを介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから加工空間４１１ＩＮに対して希釈ガスが供給可能となる。更に、バルブ４６４ｇが開状態にある場合には、バルブ４６４ｇは、供給管４６１ｇを介して加工空間４１１ＩＮに供給される希釈ガスの供給量を調整可能であってもよい。つまり、バルブ４６４ｇは、供給管４６１ｇを介して加工空間４１１ＩＮに供給される希釈ガスの供給量を調整する装置として機能可能であってもよい。例えば、制御装置７は、希釈ガスの供給量を第９の所望供給量に設定してもよい。この場合、バルブ４６４ｇを介して、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから加工空間４１１ＩＮに対して、第９の所望供給量で希釈ガスが供給される。例えば、制御装置７は、希釈ガスの供給量を第９の所望供給量から第１０の所望供給量に変更してもよい。この場合、バルブ４６４ｇを介して、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから加工空間４１１ＩＮに対して、第１０の所望供給量で希釈ガスが供給される。

　第７実施形態では、制御装置７の制御下で、加工システムＳＹＳｇが加工動作を開始する前及び加工システムＳＹＳｇが加工動作を行っている間は、バルブ４６４ｇの状態が閉状態に設定される。一方で、制御装置７の制御下で、加工システムＳＹＳｇが加工動作を完了した後に、バルブ４６４ｇの状態が開状態に設定される。つまり、加工システムＳＹＳｇは、主として、加工システムＳＹＳｂが加工動作を完了した後に供給管４６１ｇを介して希釈ガスを加工空間４１１ＩＮに供給する。具体的には、上述したように、加工システムＳＹＳｇは、主として、加工システムＳＹＳｂが加工動作を完了した後には、加工空間４１１ＩＮをパージしているパージガスが加工空間４１１ＩＮから排出される（図７参照）。この場合、加工空間４１１ＩＮからパージガスの排出と相前後して又は並行して、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから加工空間４１１ＩＮに希釈ガスが供給される。

　例えば、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへとパージガスが排出されると、加工空間４１１ＩＮからパージガスが排出される前と比較して、加工空間４１１ＩＮ内の圧力が低下する可能性がある。その結果、圧力が低下した加工空間４１１ＩＮに対して、供給管４６１ｇを介して、加工空間４１１ＩＮよりも圧力が高い外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから希釈ガスが供給される。つまり、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出に起因して、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから加工空間４１１ＩＮに希釈ガスが供給される。

　或いは、例えば、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから希釈ガスを取り込んで供給管４６１ｇに送り込む気体送出装置４６５ｇ（図１４参照）が供給管４６１ｇに配置されている及び／又は供給管４６１ｇに接続されている場合には、気体送出装置４６５ｇは、供給管４６１ｇを介して加工空間４１１ＩＮに希釈ガスが供給される。その結果、加工空間４１１ＩＮに供給された希釈ガスによって、加工空間４１１ＩＮ内のパージガスが混合空間４１２ＩＮに押し出される。つまり、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから加工空間４１１ＩＮへの希釈ガスの供給に起因して、加工空間４１１ＩＮからパージガスが排出される。尚、気体送出装置４６５ｇの一例として、上述した送風機があげられる。

　但し、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへと混合ガスを排出するための送風機４４３が動作していない場合には、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへと混合ガスが適切に排出されない可能性がある。つまり、送風機４４３が動作していない場合には、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへとパージガスが供給されたとしても、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへと希釈されたパージガスが適切に排出されない可能性がある。従って、制御装置７は、送風機４４３の状態に基づいて、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへのパージガスの供給に寄与する加工空間４１１ＩＮへの希釈ガスの供給態様（例えば、供給量）を制御してもよい。制御装置７は、送風機４４３の状態に基づいて、加工空間４１１ＩＮへの希釈ガスの供給のために用いられる気体送出装置４６５ｇ及びバルブ４６４ｇの少なくとも一方を制御してもよい。例えば、制御装置７は、送風機４４３が動作していない場合には、気体送出装置４６５ｇを制御して、供給管４６１ｇを介して加工空間４１１ＩＮに希釈ガスを供給しなくてもよい。例えば、制御装置７は、送風機４４３が動作していない場合には、バルブ４６４ｇの状態を閉状態に設定してもよい。つまり、送風機４４３が動作していない場合には、供給管４６１ｇを介して加工空間４１１ＩＮに希釈ガスが供給されなくてもよい。尚、送風機４４３が動作していない状態の一例として、送風機４４３に異常が発生したことに起因して送風機４４３が動作していない（或いは、動作しているものの、正常には動作していない）状態、及び、制御装置７の制御下で送風機４４３が動作していない状態の少なくとも一方があげられる。

　同様の理由から、制御装置７は、送風機４４３の状態に基づいて、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへのパージガスの供給のために用いられる送風機４４２を制御してもよい。例えば、制御装置７は、送風機４４３が動作していない場合には、送風機４４２を制御して、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮへのパージガスの供給を停止してもよい。尚、送風機４４３の状態に基づいて送風機４４２を制御動作は、第７実施形態の加工システムＳＹＳｇに限らず、送風機４４２及び４４３の双方を備える加工システムＳＹＳａ等によって行われてもよい。

　このような第７実施形態の加工システムＳＹＳｇによれば、第１実施形態の加工システムＳＹＳａが享受可能な効果と同様の効果を享受することができる。更には、加工システムＳＹＳｇによれば、供給管４６１ｇを介して希釈ガスが加工空間４１１ＩＮに供給されるため、加工空間４１１ＩＮからパージガスを排出しやすくなる。

　尚、第７実施形態においても、第２実施形態から第６実施形態の少なくとも一つに特有の構成要件が採用されてもよい。尚、第６実施形態に特有の構成要件は、例えば、攪拌機４２６ｆに関する構成要件である。

　（８）第８実施形態の加工システムＳＹＳｈ
　続いて、図１５を参照しながら、第８実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第８実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳｈ”と称する）について説明する。図１５は、第８実施形態の加工システムＳＹＳｈの構造を示す断面図である。

　図１５に示すように、第８実施形態の加工システムＳＹＳｈは、上述した第１実施形態の加工システムＳＹＳａと比較して、供給管（貫通孔）４３１に代えて供給管（貫通孔）４３１ｈが隔壁部材に形成されていると言う点で異なる。加工システムＳＹＳｈのその他の特徴は、加工システムＳＹＳａのその他の特徴と同一であってもよい。

　供給管４３１ｈは、ガス供給装置６からパージガスを加工空間４１１ＩＮに供給するための供給管及び外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから希釈ガス（例えば、空気）を加工空間４１１ＩＮに供給するための供給管として用いられるという点で、上述した供給管４３１とは異なる。供給管４３１ｈのその他の特徴は、供給管４３１のその他の特徴と同一であってもよい。

　ガス供給装置６からパージガスを加工空間４１１ＩＮに供給し且つ外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから希釈ガスを加工空間４１１ＩＮに供給するために、供給管４３１ｈは、供給管４３１１ｈと、供給管４３１２ｈと、供給管４３１３ｈとを含む。供給管４３１１ｈは、隔壁部材４２の内面４２１に、開口である供給口４３３を形成する。供給管４３１２ｈは、隔壁部材４２の外面４２２に、開口である供給口４３２ｈを形成する。ガス供給装置６と供給口４３２ｈ－１とは、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴ内で延びる供給管４３５を介して接続されている。供給管４３１３ｈは、隔壁部材４２の外面４２２に、開口である吸気口４６２ｈ－２を形成する。供給管４３１２ｈ及び４３１３ｈのそれぞれは、供給管４３１１ｈにつながっている。このため、ガス供給装置６は、供給管４３５、供給口４３２ｈ－１、供給管４３１２ｈ、供給管４３１１ｈ及び供給口４３３を介して、パージガスを加工空間４１１ＩＮに供給する。外部空間ＳＰ＿ＯＵＴの希釈ガスは、吸気口４６２ｈ、供給管４３１３ｈ、供給管４３１１ｈ及び供給口４３３を介して、加工空間４１１ＩＮに供給される。

　供給管４３１２ｈには、バルブ４３４ｈが配置されている。バルブ４３４ｈは、上述したバルブ４３４と同様に動作可能であるため、その詳細な説明を省略する。供給管４３１３ｈには、バルブ４６４ｈが配置されている。バルブ４６４ｈは、上述したバルブ４６４ｇと同様に動作可能であるため、その詳細な説明を省略する。

　第８実施形態では、制御装置７の制御下で、加工システムＳＹＳｈが加工動作を開始する前は、バルブ４３４ｈの状態が開状態に設定され且つバルブ４６４ｈの状態が閉状態に設定される。その結果、加工システムＳＹＳｈが加工動作を開始する前には、ガス供給装置６は、パージガスを加工空間４１１ＩＮに供給することができる。更に、制御装置７の制御下で、加工システムＳＹＳｈが加工動作を行っている間は、バルブ４３４ｈの状態が閉状態（或いは、開状態）に設定され且つバルブ４６４ｈの状態が閉状態に設定される。その結果、加工システムＳＹＳｈは、パージガスでパージされた加工空間４１１ＩＮにおいてワークＷを適切に加工することができる。更に、制御装置７の制御下で、加工システムＳＹＳｈが加工動作を完了した後に、バルブ４３４ｈの状態が閉状態に設定され且つバルブ４６４ｈの状態が開状態に設定される。その結果、加工システムＳＹＳｈが加工動作を完了したには、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出と相前後して又は並行して、希釈ガスが加工空間４１１ＩＮに供給される。

　このような第８実施形態の加工システムＳＹＳｈによれば、第１実施形態の加工システムＳＹＳａが享受可能な効果と同様の効果を享受することができる。更には、加工システムＳＹＳｈは、上述した第７実施形態の加工システムＳＹＳｇが享受可能な効果と同様の効果を享受することができる。なぜならば、加工システムＳＹＳｈでは、供給管４３１ｈを介して希釈ガスが加工空間４１１ＩＮに供給されるためである。

　尚、第８実施形態においても、第２実施形態から第７実施形態の少なくとも一つに特有の構成要件が採用されてもよい。尚、第７実施形態に特有の構成要件は、例えば、希釈ガスの加工空間４１１ＩＮへの供給に関する構成要件である。

　（９）第９実施形態の加工システムＳＹＳｉ
　続いて、図１６を参照しながら、第９実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第９実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳｉ”と称する）について説明する。図１６は、第９実施形態の加工システムＳＹＳｉの構造を示す断面図である。

　図１６に示すように、第９実施形態の加工システムＳＹＳｉは、上述した第１実施形態の加工システムＳＹＳａと比較して、内循環系８ｉを備えているという点で異なる。加工システムＳＹＳｉのその他の特徴は、加工システムＳＹＳａのその他の特徴と同一であってもよい。

　内循環系８ｉは、加工空間４１１ＩＮの気体を回収する。内循環系８ｉは、回収した気体を加工空間４１１ＩＮへと戻す（つまり、還流する）。従って、加工空間４１１ＩＮの気体は、内循環系８ｉを介して加工空間４１１ＩＮ内を循環する。

　内循環系８ｉは、加工システムＳＹＳｉが加工動作を行っている期間の少なくとも一部において、加工空間４１１ＩＮの気体を回収する。内循環系８ｉは、加工システムＳＹＳｆが加工動作を行っている期間の少なくとも一部において、回収した気体を加工空間４１１ＩＮへと戻す。加工システムＳＹＳｉが加工動作を行っている期間中は、加工空間４１１ＩＮは、パージガスでパージされた空間となっている。このため、内循環系８ｉは、加工システムＳＹＳｉが加工動作を行っている期間の少なくとも一部において、加工空間４１１ＩＮのパージガスを回収し、且つ、回収したパージガスを加工空間４１１ＩＮに戻す。

　内循環系８ｉは、フィルタ８１ｉを備えている。内循環系８ｉは、回収した気体を（例えば、パージガス）を、フィルタ８１ｉを介して加工空間４１１ＩＮに戻す。フィルタ８１ｉは、内循環系８ｉが回収した気体に含まれる不要物質（例えば、造形材料Ｍ及びヒュームの少なくとも一方）を吸着する。このようなフィルタ８１ｉの一例として、ＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ　Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ　Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ　Ａｉｒ）フィルタがあげられる。

　このような第９実施形態の加工システムＳＹＳｉによれば、第１実施形態の加工システムＳＹＳａが享受可能な効果と同様の効果を享受することができる。更に、加工システムＳＹＳｉでは、加工空間４１１ＩＮ内のヒューム等の不要物質は、加工空間４１１ＩＮと混合空間４１２ＩＮとの間に配置されるフィルタ４４１に加えて、内循環系８ｉが備えるフィルタ８１ｉによっても吸着される。このため、フィルタ４４１の負荷が小さくなる。その結果、フィルタ４４１の交換頻度（或いは、洗浄頻度）が少なくなる。

　尚、第９実施形態においても、第２実施形態から第８実施形態の少なくとも一つに特有の構成要件が採用されてもよい。尚、第８実施形態に特有の構成要件は、例えば、供給管４３１ｈに関する構成要件である。

　（１０）第１０実施形態の加工システムＳＹＳｊ
　続いて、第１０実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第１０実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳｊ”と称する）について説明する。第１０実施形態の加工システムＳＹＳｊは、上述した第１実施形態の加工システムＳＹＳａと比較して、筐体４に代えて筐体４ｊを備えているという点で異なる。加工システムＳＹＳｊのその他の特徴は、加工システムＳＹＳａのその他の特徴と同一であってもよい。従って、以下では、図１７を参照しながら、第１０実施形態の筐体４ｊについて説明する。図１７は、第１０実施形態の筐体４ｊの構造を示す断面図である。

　図１７に示すように、第１０実施形態の筐体４ｊは、上述した第１実施形態の筐体４と比較して、混合空間４１２ＩＮと外部空間ＳＰ＿ＯＵＴとの間の境界又はその近傍にバルブ４４５２ｊが配置されているという点において異なる。尚、バルブ４４５２ｊの特徴（例えば、機能及び配置位置等）は、第２実施形態で説明したバルブ４４５２ｂと同一であってもよいため、その詳細な説明を省略する。更に、筐体４ｊは、筐体４と比較して、フィルタ４４１及び送風機４４２を介することなく加工空間４１１ＩＮと混合空間４１２ＩＮとをつなぐ還流管４６１ｊが形成されているという点において異なる。筐体４ｊのその他の特徴は、筐体４のその他の特徴と同一であってもよい。

　第１０実施形態においても、第１実施形態と同様に、加工システムＳＹＳｊが加工動作を開始する前には、バルブ４３４の状態が開状態に設定される。更に、１０実施形態においても、第１実施形態と同様に、バルブ４５４の状態が開状態に設定されてもよく、送風機４４２及び４４３が動作してもよい。更に、バルブ４４５２ｊの状態が開状態に設定されてもよい。その結果、加工システムＳＹＳｊが加工動作を開始する前には、パージガス（更には、希釈ガス及び残留ガス）は、第１実施形態と同様に流れる（図５参照）。この場合には、加工空間４１１ＩＮのパージガスが、フィルタ４４１及び送風機４４２を介することなく、還流管４６１ｊを介して混合空間４１２ＩＮに供給される可能性がある。この場合であっても、混合空間４１２ＩＮにおいてパージガスと希釈ガスとが混合されることに変わりはないため、希釈されたパージガス（つまり、混合ガス）が混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに排出されることに変わりはない。但し、還流管４６１ｊにバルブが配置されている場合には、加工システムＳＹＳｊが加工動作を開始する前には、当該バルブの状態が閉状態に設定されてもよい。その結果、還流管４６１ｊに配置されたバルブが還流管４６１ｊを閉塞するがゆえに、加工空間４１１ＩＮのパージガスが、還流管４６１ｊを介して混合空間４１２ＩＮに供給されることはない。

　第１０実施形態においても、第１実施形態と同様に、加工システムＳＹＳｊが加工動作を完了した後には、バルブ４３４の状態が閉状態に設定され、バルブ４５４の状態が開状態に設定され、送風機４４２及び４４３が動作する。更に、バルブ４４５２ｊの状態が開状態に設定される。その結果、加工システムＳＹＳｊが加工動作を完了した後には、パージガス（更には、希釈ガス及び混合ガス）は、第１実施形態と同様に流れる（図７参照）。この場合においても、加工空間４１１ＩＮのパージガスが、フィルタ４４１及び送風機４４２を介することなく、還流管４６１ｊを介して混合空間４１２ＩＮに供給される可能性がある。この場合であっても、上述したように、希釈されたパージガス（つまり、混合ガス）が混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに排出されることに変わりはない。但し、還流管４６１ｊにバルブが配置されている場合には、加工システムＳＹＳｊが加工動作を完了した後には、当該バルブの状態が閉状態に設定されてもよい。その結果、加工空間４１１ＩＮのパージガスが、還流管４６１ｊを介して混合空間４１２ＩＮに供給されることはない。

　一方で、第１０実施形態では、加工システムＳＹＳｊが加工動作を行っている間のパージガスの流れが、第１実施形態とは異なる。以下、図１８を参照しながら、第１０実施形態において加工システムＳＹＳｊが加工動作を行っている間のパージガスの流れについて説明する。図１８は、第１０実施形態において加工システムＳＹＳｊが加工動作を行っている間のパージガスの流れを示す断面図である。

　加工システムＳＹＳｊが加工動作を行っている間は、バルブ４３４の状態が閉状態に設定される。このため、ガス供給装置６から加工空間４１１ＩＮに対して、パージガスは供給されることはない。更に、バルブ４５４の状態が閉状態に設定される。このため、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに対して、希釈ガスは供給されることはない。更に、バルブ４４５２ｊの状態が閉状態に設定される。このため、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して、パージガスを含む気体が排出されることはない。

　加工システムＳＹＳｊが加工動作を行っている間は、更に、送風機４４２が動作する。その結果、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに対して、フィルタ４４１を介してパージガスが供給される。混合空間４１２ＩＮに供給されたパージガスは、還流管４６１ｊを介して加工空間４１１ＩＮに戻る。なぜならば、バルブ４５４及び４４５２ｊの状態が閉状態に設定されているがゆえに、混合空間４１２ＩＮに供給されたパージガスは、排気口４４４及び吸気口４５２を介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに排出されることが無いからである。このため、第１０実施形態では、フィルタ４４１、送風機４４２、混合空間４１２ＩＮ及び還流路４６１ｊは、実質的には、上述した内循環系８ｉと同様に、加工空間４１１ＩＮの気体を回収し且つ回収した気体を加工空間４１１ＩＮへと戻す装置として機能する。つまり、第１０実施形態では、フィルタ４４１、送風機４４２及び混合空間４１２ＩＮは、パージガスを希釈して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに排出する装置のみならず、加工空間４１１ＩＮの気体を回収し且つ回収した気体を加工空間４１１ＩＮへと戻す装置としても機能する。

　このような第１０実施形態の加工システムＳＹＳｊによれば、第１実施形態の加工システムＳＹＳａが享受可能な効果と同様の効果を享受することができる。

　尚、第１０実施形態においても、第２実施形態から第９実施形態の少なくとも一つに特有の構成要件が採用されてもよい。尚、第９実施形態に特有の構成要件は、内循環系８ｉに関する構成要件である。

　（１１）第１１実施形態の加工システムＳＹＳｋ
　続いて、第１１実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第１１実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳｋ”と称する）について説明する。第１１実施形態の加工システムＳＹＳｋは、上述した第１実施形態の加工システムＳＹＳａと比較して、筐体４に代えて筐体４ｋを備えているという点で異なる。加工システムＳＹＳｋのその他の特徴は、加工システムＳＹＳａのその他の特徴と同一であってもよい。従って、以下では、図１９を参照しながら、第１１実施形態の筐体４ｋについて説明する。図１９は、第１１実施形態の筐体４ｋの構造を示す断面図である。

　図１９に示すように、第８実施形態の筐体４ｋは、上述した第１実施形態の筐体４と比較して、加工空間４１１ＩＮと混合空間４１２ＩＮとの間の境界又はその近傍にバルブ４４５１ｋが配置されているという点において異なる。尚、バルブ４４５１ｋの特徴（例えば、機能及び配置位置等）は、第２実施形態で説明したバルブ４４５１ｂと同一であってもよいため、その詳細な説明を省略する。更に、筐体４ｋは、筐体４と比較して、混合空間４１２ＩＮと外部空間ＳＰ＿ＯＵＴとの間の境界又はその近傍にバルブ４４５２ｋが配置されているという点において異なる。尚、バルブ４４５２ｋの特徴（例えば、機能及び配置位置等）は、第２実施形態で説明したバルブ４４５２ｂと同一であってもよいため、その詳細な説明を省略する。更に、筐体４ｋは、筐体４と比較して、送風機４４２及び４４３が配置されていなくてもよいという点において異なる。更に、筐体４ｋは、筐体４と比較して、供給管４５１、吸気口４５２、供給口４５３及びバルブ４５４が形成されていなくてもよいという点において異なる。更に、筐体４ｋは、筐体４と比較して、分離部材４７１ｋを備えているという点において異なる。筐体４ｋのその他の特徴は、筐体４のその他の特徴と同一であってもよい。

　分離部材４７１ｋは、混合空間４１２ＩＮに配置される。分離部材４７１ｋは、混合空間４１２ＩＮを、第１空間４１２ＩＮ＃１と第２空間４１２ＩＮ＃２とに分離する部材である。第１空間４１２＃１は、混合空間４１２ＩＮの一部であって、フィルタ４４１及びバルブ４４５１ｋを介して加工空間４１１ＩＮにつながり且つバルブ４４５２ｋを介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴにつながる空間である。第１空間４１２ＩＮ＃１は、フィルタ４４１及びバルブ４４５１ｋの少なくとも一方とバルブ４４５２ｋとを含む空間であってもよい。第１空間４１２ＩＮ＃１は、フィルタ４４１及びバルブ４４５１ｋの少なくとも一方が含まれる空間及びバルブ４４５２ｋが含まれる空間の双方につながる空間であってもよい。一方で、第２空間４１２ＩＮ＃２は、混合空間４１２ＩＮの他の一部であって、加工空間４１１ＩＮ及び外部空間ＳＰ＿ＯＵＴにつながらない空間である。第２空間４１２ＩＮ＃２は、フィルタ４４１及びバルブ４４５１ｋの少なくとも一方とバルブ４４５２ｋとを含まない空間であってもよい。第２空間４１２ＩＮ＃２は、フィルタ４４１及びバルブ４４５１ｋの少なくとも一方が含まれる空間及びバルブ４４５２ｋが含まれる空間の双方につながらない空間であってもよい。

　第１空間４１２ＩＮ＃１は、分離部材４７１ｋによって第２空間４１２ＩＮ＃２から隔離されている。第２空間４１２ＩＮ＃２は、分離部材４７１ｋによって第１空間４１２ＩＮ＃１から隔離されている。例えば、分離部材４７１ｋは、第１空間４１２ＩＮ＃１と第２空間４１２ＩＮ＃２とにつながる空隙がなくなるように混合空間４１２ＩＮを規定する隔壁部材４２の内面４２３に接触する（例えば、密着する）ことで、第１空間４１２ＩＮ＃１と第２空間４１２ＩＮ＃２とを互いに隔離してもよい。このため、加工空間４１１ＩＮからフィルタ４４１及びバルブ４４５１ｋを介して混合空間４１２ＩＮに供給されたパージガスは、第１空間４１２＃１から第２空間４１２＃２へと流入することはない。従って、第１空間４１２ＩＮ＃１は、実質的には、パージガスが存在可能な空間（言い換えれば、流入可能な空間）であるとも言える。第２空間４１２ＩＮ＃２は、実質的には、パージガスが流入しない空間であるとも言える。但し、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに供給されたパージガスの一部は、第１空間４１２ＩＮ＃１から第２空間４１２ＩＮ＃２へと流入してもよい。例えば、分離部材４７１ｋと隔壁部材４２の内面４２３との間に隙間が存在する場合には、パージガスの一部は、第１空間４１２ＩＮ＃１から第２空間４１２ＩＮ＃２へと流入する可能性がある。

　分離部材４７１ｋは、混合空間４１２ＩＮを第１空間４１２ＩＮ＃１と第２空間４１２ＩＮ＃２とに分離したまま、混合空間４１２ＩＮ内を移動可能である。例えば、分離部材４７１ｋは、隔壁部材４２の内面４２３に接触したまま移動してもよい。一例として、分離部材４７１ｋは、隔壁部材４２の内面４２３によって規定される中空空間（例えば、シリンダ状の空間）内において、内面に接触しながら移動するピストン部材として機能してもよい。分離部材４７１ｋが移動可能である場合には、加工システムＳＹＳｋは、分離部材４７１ｋを移動させるための駆動系（例えば、モータ等）を備えていてもよい。分離部材４７１ｋが移動すると、第１空間４１２ＩＮ＃１及び第２空間４１２ＩＮ＃２のそれぞれの容積が変わる。このため、分離部材４７１ｋは、第１空間４１２ＩＮ＃１及び第２空間４１２ＩＮ＃２のそれぞれの容積を調整するための調整装置としても機能する。

　分離部材４７１ｋは、主として、加工システムＳＹＳｋが加工動作を完了した後に加工空間４１１ＩＮのパージガスが混合空間４１２ＩＮを介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに排出される際に移動する。以下、図２０から図２２を参照しながら、加工システムＳＹＳｋが加工動作を完了した後に加工空間４１１ＩＮのパージガスを外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに排出する動作について説明する。図２０から図２２のそれぞれは、第１１実施形態における加工システムＳＹＳｋが加工動作を完了した後に加工空間４１１ＩＮのパージガスが外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに排出される一工程を示す断面図である。

　加工システムＳＹＳｋが加工動作を完了した後には、まず、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに対して希釈ガスを供給する動作が行われる。このため、まずは、バルブ４４５１ｋの状態が閉状態に設定される。尚、バルブ４３４の状態は、第１１実施形態においても第１実施形態と同様に、閉状態に設定される。その後、バルブ４４５２ｋの状態が開状態に設定される。バルブ４４５２ｋの状態を開状態に設定する動作に相前後して又は並行して、図２０に示すように、分離部材４７１ｋは、第１空間４１２ＩＮ＃１の容積が大きくなるように移動する。その結果、分離部材４７１ｋの移動に合わせて、混合空間４１２ＩＮ（特に、第１空間４１２ＩＮ＃１）には、開状態に設定されているバルブ４４５２ｋ及び排気口４４４を介して、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから希釈ガスが供給される。つまり、第１１実施形態では、混合ガスを外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに排出するための排気口４４４が、希釈ガスを外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから取り込むための吸気口としても用いられる。第１１実施形態では、分離部材４７１ｋ及びバルブ４４５２ｋは、希釈ガスを外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに供給するための供給装置として機能する。この際、バルブ４４５１ｋが閉状態に設定されているため、分離部材４７１ｋが移動したとしても、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに対してパージガスが供給されることはない。

　外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに供給される希釈ガスの供給量は、第１空間４１２ＩＮ＃１の容積の変化量（言い換えれば、調整量）に依存する。第１空間４１２ＩＮ＃１の容積の変化量は、分離部材４７１ｋの移動量に依存する。従って、分離部材４７１ｋは、制御装置７の制御下で、所望量の希釈ガスが混合空間４１２ＩＮに供給されるように、所望移動量だけ移動してもよい。

　その後、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに対してパージガスを供給する動作が行われる。このため、まずは、バルブ４４５１ｋの状態が閉状態に設定される。その後、バルブ４４５１ｋの状態が開状態に設定される。バルブ４４５１ｈの状態を開状態に設定する動作に相前後して又は並行して、図２１に示すように、分離部材４７１ｋは、第１空間４１２ＩＮ＃１の容積が大きくなるように移動する。その結果、分離部材４７１ｋの移動に合わせて、混合空間４１２ＩＮ（特に、第１空間４１２ＩＮ＃１）には、開状態に設定されているバルブ４４５１ｋを介して、加工空間４１１ＩＮからパージガスが供給される。このため、第１１実施形態では、分離部材４７１ｋ及びバルブ４４５１ｋは、パージガスを加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに供給するための供給装置として機能する。その結果、混合空間４１２ＩＮ（特に、第１空間４１２ＩＮ＃１）において、パージガスと希釈ガスとが混合される。この際、バルブ４４５２ｋが閉状態に設定されているため、分離部材４７１ｋが移動したとしても、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対してパージガス（特に、希釈ガスによって十分に希釈されていないパージガス）が排出されることはない。

　加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮに供給されるパージガスの供給量は、第１空間４１２ＩＮ＃１の容積の変化量に依存する。従って、分離部材４７１ｋは、制御装置７の制御下で、所望量のパージガスが混合空間４１２ＩＮに供給されるように、所望移動量だけ移動してもよい。

　その後、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して混合ガスを排出する動作が行われる。このため、まずは、バルブ４４５１ｋの状態が閉状態に設定される。その後、バルブ４４５２ｋの状態が開状態に設定される。バルブ４４５２ｋの状態を開状態に設定する動作に相前後して又は並行して、図２２に示すように、分離部材４７１ｋは、第１空間４１２ＩＮ＃１の容積が小さくなるように移動する。その結果、分離部材４７１ｋの移動に合わせて、開状態に設定されているバルブ４４５２ｋ及び排気口４４４を介して、混合空間４１２ＩＮ（特に、第１空間４１２ＩＮ＃１）から外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して混合ガスが排出される。つまり、第１１実施形態では、希釈ガスを外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから取り込むための排気口４４４が、混合ガスを外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに排出するための排気口としても用いられる。第１１実施形態では、分離部材４７１ｋ及びバルブ４４５２ｋは、混合ガスを混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに排出するための排出装置として機能する。

　このような第１１実施形態の加工システムＳＹＳｋによれば、第１実施形態の加工システムＳＹＳａが享受可能な効果と同様の効果を享受することができる。

　尚、第１１実施形態においても、第２実施形態から第１０実施形態の少なくとも一つに特有の構成要件が採用されてもよい。第１０実施形態に特有の構成要件は、フィルタ４４１及び送風機４４２を介して加工空間４１１ＩＮから気体（例えば、パージガス）を回収し且つ回収した気体を還流管４６１ｊを介して加工空間４１１ＩＮに戻すための構成要件である。

　（１２）第１２実施形態の加工システムＳＹＳｌ
　続いて、第１２実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第１２実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳｌ”と称する）について説明する。第１２実施形態の加工システムＳＹＳｌは、上述した第７実施形態の加工システムＳＹＳｇと比較して、筐体４ｇに代えて筐体４ｌを備えているという点で異なる。加工システムＳＹＳｌのその他の特徴は、加工システムＳＹＳｇのその他の特徴と同一であってもよい。従って、以下では、図２３を参照しながら、第１２実施形態の筐体４ｌについて説明する。図２３は、第１２実施形態の筐体４ｌの構造を示す断面図である。

　図２３に示すように、第１２実施形態の筐体４ｌは、上述した第７実施形態の筐体４ｇと比較して、混合空間４１２ＩＮを備えていなくてもよいという点において異なる。このため、第１２実施形態では、加工空間４１１ＩＮは、加工空間４１１ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに向かって隔壁部材４２を貫通する貫通孔である配管４４６ｌ及び配管４４６ｌが隔壁部材４２の外面４２２に形成する開口４４４ｌを介して、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴにつながっている。更に、筐体４ｌは、筐体４ｇと比較して、配管４４６ｌにフィルタ４４１及びバルブ４４７ｌが配置されているという点において異なる。更に、筐体４ｌは、筐体４ｇと比較して、送風機４４２及び４４３が配置されていなくてもよいという点において異なる。更に、筐体４ｌは、筐体４ｇと比較して、供給管４５１、吸気口４５２、供給口４５３及びバルブ４５４が形成されていなくてもよいという点において異なる。更に、筐体４ｌは、筐体４ｇと比較して、容積可変装置４８ｌを備えているという点において異なる。筐体４ｌのその他の特徴は、筐体４のその他の特徴と同一であってもよい。

　バルブ４４７ｌの状態は、制御装置７の制御下で、配管４４６ｌを閉塞する閉状態と、配管４４６ｌを開放する開状態との間で切り替えられてもよい。バルブ４４７ｌが閉状態にある場合には、配管４４６ｌを介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから加工空間４１１ＩＮに対して及び加工空間４１１ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して気体が供給されることはない。一方で、バルブ４４７ｌが開状態にある場合には、配管４４６ｌを介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから加工空間４１１ＩＮに対して及び加工空間４１１ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して気体が供給可能となる。更に、バルブ４４７ｌが開状態にある場合には、バルブ４４７ｌは、配管４４６ｌを介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから加工空間４１１ＩＮに又は加工空間４１１ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに供給される気体の供給量を調整可能であってもよい。つまり、バルブ４４７ｌは、配管４４６ｌを介して外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから加工空間４１１ＩＮに又は加工空間４１１ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに供給される気体の供給量を調整する装置として機能可能であってもよい。例えば、制御装置７は、気体の供給量を第１１の所望供給量に設定してもよい。この場合、配管４４６ｌ及びバルブ４４７ｌを介して、第１１の所望供給量で気体が供給される。例えば、制御装置７は、気体の供給量を第１１の所望供給量から第１２の所望供給量に変更してもよい。この場合、配管４４６ｌ及びバルブ４４７ｌを介して、第１２の所望供給量で気体が供給される。

　容積可変装置４８ｌは、加工空間４１１ＩＮ内に配置される。容積可変装置４８ｌは、制御装置７の制御下で、容積可変装置４８ｌが加工空間４１１ＩＮ内で占有する容積（以下、“占有容積”と称する）を変更可能な部材である。容積可変装置４８ｌの占有容積が変わると、加工空間４１１ＩＮのうちパージガス等の気体が存在可能な（つまり、流入可能な）空間の容積が変わる。加工空間４１１ＩＮのうちパージガス等の気体が存在可能な空間の容積は、加工空間４１１ＩＮのうち容積可変装置４８ｌによって占有されていない空間の容積と等価である。このため、以下では、説明の便宜上、加工空間４１１ＩＮのうちパージガス等の気体が存在可能な空間の容積を、“非占有容積”と称する。例えば、容積可変装置４８ｌの占有容積が大きくなると、加工空間４１１ＩＮの非占有容積は小さくなる。逆に、例えば、容積可変装置４８ｌの占有容積が小さくなると、加工空間４１１ＩＮの非占有容積は大きくなる。このため、容積可変装置４８ｌは、加工空間４１１ＩＮの非占有容積を変更する（つまり、調整する）ための装置として機能する。

　容積可変装置４８ｌの一例として、内部に貯蔵する気体の流量に合わせて膨らむことが可能なゴム状の袋（例えば、風船）があげられる。この場合、袋が膨らめば膨らむほど、容積可変装置４８ｌの占有容積が大きくなる。袋が縮めば縮むほど、容積可変装置４８ｉの占有容積が小さくなる。容積可変装置４８ｌが内部に貯蔵する気体の流量に合わせて膨らむことが可能なゴム状の袋である場合には、加工システムＳＹＳｌは、袋を膨らませるために袋の内部に気体を供給すると共に、袋を縮めるために袋の内部から気体を回収する気体供給装置を備えていてもよい。

　容積可変装置４８ｌは、主として、加工システムＳＹＳｌが加工動作を開始する前に加工空間４１１ＩＮにパージガスが供給される際及び加工システムＳＹＳｌが加工動作を完了した後に加工空間４１１ＩＮのパージガスが外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに排出される際に、占有容積を変更する。以下、図２４から図２６を参照しながら、第１２実施形態の加工システムＳＹＳｌにおけるパージガスの流れについて説明する。図２４は、第１２実施形態における加工システムＳＹＳｌが加工動作を開始する前に加工空間４１１ＩＮにパージガスが供給される一工程を示す断面図である。図２５から図２６のそれぞれは、第１２実施形態における加工システムＳＹＳｌが加工動作を完了した後に加工空間４１１ＩＮのパージガスが外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに排出される一工程を示す断面図である。尚、図２４から図２６では、図面の簡略化のために、加工空間４１１ＩＮに配置されている加工装置２、ステージ装置３及びワークＷの表記を省略する。

　加工システムＳＹＳｌが加工動作を開始する前には、まず、図２４に示すように、容積可変装置４８ｌの占有容積が第１の容積に変更される。つまり、容積可変装置４８ｌは、制御装置７の制御下で、占有容積が小さくなるように占有容積を変更する。その後、バルブ４４７ｌ及び４６４ｇの状態が閉状態に設定され、バルブ４３４の状態が開状態に設定される。その結果、加工空間４１１ＩＮには、ガス供給装置６から、供給管４３５、供給口４３２、供給管４３１及び供給口４３３を介して、パージガスが供給される。この際、加工空間４１１ＩＮへのパージガスの供給を促進するために、ガス供給装置６からの加工空間４１１ＩＮへのパージガスの供給と合わせて、容積可変装置４８ｌの占有容積が徐々に小さくなっていってもよい。

　加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの供給が完了した後、加工システムＳＹＳｌは、加工動作を開始する。尚、加工システムＳＹＳｌが加工動作を行っている間は、バルブ４３４、４６４ｇ及び４４７ｌのそれぞれの状態が閉状態に設定される。更に、容積可変装置４８ｌの占有容積は変更されなくてもよい。

　加工システムＳＹＳｌが加工動作を完了した後には、まず、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに対して希釈ガスを供給する動作が行われる。このため、まずは、バルブ４３４、４６４ｇ及びバルブ４４７ｌのそれぞれの状態が閉状態に設定されたまま、容積可変装置４８ｌの占有容積が変更される。具体的には、図２５に示すように、容積可変装置４８ｌの占有容積が、加工システムＳＹＳｌが加工動作を完了する前の占有容積（例えば、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの供給が完了した時点での占有容積）よりも小さい第２の容積に変更される。加工システムＳＹＳｌが加工動作を完了した後には、パージガスと希釈ガスとが混合される一方で、加工システムＳＹＳｌが加工動作を完了する前には、パージガスと希釈ガスとが混合されない。このため、パージガスと希釈ガスとが混合される期間の少なくとも一部における容積可変装置４８ｌの占有容積が、パージガスと希釈ガスとが混合されない期間における容積可変装置４８ｌの占有容積よりも小さくなるように、容積可変装置４８ｌの占有容積が変更されるとも言える。

　その結果、加工空間４１１ＩＮの非占有容積は大きくなる。具体的には、加工空間４１１ＩＮの非占有容積は、加工システムＳＹＳｌが加工動作を完了する前の非占有容積（例えば、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの供給が完了した時点での非占有容積）よりも大きくなる。パージガスと希釈ガスとが混合される期間の少なくとも一部における加工空間４１１ＩＮの非占有容積が、パージガスと希釈ガスとが混合されない期間における加工空間４１１ＩＮの非占有容積よりも大きくなる。その結果、加工空間４１１ＩＮに対して気体を供給するための空間が、加工空間４１１ＩＮ内に新たに確保される。但し、この時点ではバルブ４３４、４６４ｇ及びバルブ４４７ｉのそれぞれの状態が閉状態に設定されたままであるため、加工空間４１１ＩＮに対して新たに気体が流入してくることはない。従って、加工空間４１１ＩＮの非占有容積の増加に伴い、加工空間４１１ＩＮの圧力が相対的に小さくなる。

　その後、バルブ４６４ｇの状態が開状態に設定される。この時点で加工空間４１１ＩＮの圧力が相対的に小さくなっているため、図２５に示すように、開状態に設定されているバルブ４６４ｇ、吸気口４６２ｇ、配管４６１ｇ及び供給口４６３ｇを介して、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから加工空間４１１ＩＮに対して希釈ガスが供給される。つまり、第１２実施形態では、容積可変装置４８ｌは、希釈ガスを外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから加工空間４１１ＩＮに供給するための供給装置として機能する。

　外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから混合空間４１２ＩＮに供給される希釈ガスの供給量は、加工空間４１１ＩＮの非占有容積の変化量（言い換えれば、調整量）に依存する。加工空間４１１ＩＮの非占有容積の変化量は、容積可変装置４８ｌの占有容積の変化量に依存する。従って、容積可変装置４８ｌは、制御装置７の制御下で、所望量の希釈ガスが混合空間４１２ＩＮに供給されるように、占有容積を所望量だけ変更してもよい。

　希釈ガスが加工空間４１１ＩＮに供給されると、加工空間４１１ＩＮにおいて、パージガスと希釈ガスとが混合される。加工空間４１１ＩＮにおいて、パージガスが希釈ガスによって希釈される。つまり、第１２実施形態では、加工動作が行われる加工空間４１１ＩＮが、パージガスと希釈ガスとを混合するための（つまり、パージガスを希釈するための）空間としても用いられる。つまり、加工空間４１１ＩＮの少なくとも一部が、上述した混合空間４１２ＩＮとしても用いられる。この場合、加工空間４１１ＩＮが、上述した混合空間４１２ＩＮを含んでいるとも言える。加工空間４１１ＩＮと混合空間４１２ＩＮとが少なくとも部分的に重複しているとも言える。

　パージガスと希釈ガスとが十分に混合された後（つまり、パージガスが十分に希釈された後）、加工空間４１１ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して混合ガスを排出する動作が行われる。このため、バルブ４３４及び４６４ｇの状態が閉状態に設定され且つバルブ４４７ｌの状態が開状態に設定される。更には、容積可変装置４８ｌの占有容積が変更される。具体的には、容積可変装置４８ｌの占有容積が、加工空間４１１ＩＮに対して希釈ガスを供給している期間中の占有容積（つまり、第２の容積）よりも大きい第３の容積に変更される。その結果、加工空間４１１ＩＮの非占有容積は小さくなる。このため、パージガスと希釈ガスとが混合された混合ガスが加工空間４１１ＩＮから押し出されることになる。従って、混合ガスは、開状態に設定されているバルブ４４７ｌ、フィルタ４４１、配管４４６ｌ及び開口４４４ｌを介して、加工空間４１１ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに対して排出される。つまり、第１２実施形態では、容積可変装置４８ｌ及びバルブ４４７ｌは、混合ガスを外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに排出するための排出装置として機能する。

　このような第１２実施形態の加工システムＳＹＳｌによれば、第７実施形態の加工システムＳＹＳｇが享受可能な効果と同様の効果を享受することができる。

　尚、第１２実施形態においても、第２実施形態から第１１実施形態の少なくとも一つに特有の構成要件が採用されてもよい。第１１実施形態に特有の構成要件は、分離部材４７１ｋに関する構成要件である。

　（１３）第１３実施形態の加工システムＳＹＳｍ
　続いて、図２７を参照しながら、第１３実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第１３実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳｍ”と称する）について説明する。図２７は、第１３実施形態の加工システムＳＹＳｍの構造を示す断面図である。

　図２７に示すように、第１３実施形態の加工システムＳＹＳｍは、上述した第１実施形態の加工システムＳＹＳａと比較して、計測装置８ｍを更に備えているという点で異なる。加工システムＳＹＳｍのその他の特徴は、加工システムＳＹＳａのその他の特徴と同一であってもよい
　計測装置８ｍは、パージガスと希釈ガスとが混合される空間に収容されているが、その他の位置（例えば、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴ）に配置されていてもよい。尚、上述した説明では、混合空間４１２ＩＮ及び加工空間４１１ＩＮのそれぞれが、パージガスと希釈ガスとが混合される空間に相当するが、以下では、説明の簡略化のために、混合空間４１２ＩＮがパージガスと希釈ガスとが混合される空間に相当する例を用いて説明を進める。

　計測装置８ｍは、制御装置７の制御下で、混合空間４１２ＩＮ内における気体の濃度を計測可能（つまり、測定可能）である。計測装置８ｍは、混合空間４１２ＩＮ内に存在する混合ガスおける所望の気体成分の濃度を計測可能（つまり、測定可能）である。計測装置８ｍは、例えば、加工空間４１１ＩＮ内における酸素ガスの濃度（つまり、混合ガスにおける酸素ガスの濃度）を計測可能であってもよい。計測装置８ｍは、例えば、加工空間４１１ＩＮ内におけるパージガスの濃度（つまり、混合ガスにおけるパージガスの濃度）を計測可能であってもよい。計測装置８ｍは、例えば、加工空間４１１ＩＮ内における希釈ガスの濃度（つまり、混合ガスにおける希釈ガスの濃度）を計測可能であってもよい。

　制御装置７は、計測装置８ｍの計測結果に基づいて、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへの混合ガスの排出対象（例えば、排出流量）を制御してもよい。

　例えば、制御装置７は、混合ガスにおける酸素ガスの濃度が上述した許容下限値（例えば、１８％）より低い場合には、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへの混合気体の排出が停止されるように、送風機４４３等を制御してもよい。なぜならば、混合ガスにおける酸素ガスの濃度が上述した許容下限値より低い場合には、パージガスの希釈が十分でない可能性があるからである。一方で、例えば、制御装置７は、混合ガスにおける酸素ガスの濃度が上述した許容下限値より高い場合には、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへと混合気体が排出されるように（つまり、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへの混合気体の排出が停止されないように）、送風機４４３等を制御してもよい。

　例えば、制御装置７は、混合ガスにおけるパージガスの濃度が上述した許容上限値より高い場合には、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへの混合気体の排出が停止されるように、送風機４４３等を制御してもよい。なぜならば、混合ガスにおけるパージガスの濃度が上述した許容上限値より高い場合には、パージガスの希釈が十分でない可能性があるからである。一方で、例えば、制御装置７は、混合ガスにおけるパージガスの濃度が上述した許容上限値より高い場合には、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへと混合気体が排出されるように（つまり、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへの混合気体の排出が停止されないように）、送風機４４３等を制御してもよい。

　例えば、制御装置７は、混合ガスにおける希釈ガスの濃度が所定下限値（例えば、酸素ガスの濃度の許容下限値に応じて定まる下限値）より低い場合には、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへの混合気体の排出が停止されるように、送風機４４３等を制御してもよい。なぜならば、混合ガスにおける希釈ガスの濃度が上述した許容下限値より低い場合には、パージガスの希釈が十分でない可能性があるからである。一方で、例えば、制御装置７は、混合ガスにおける希釈ガスの濃度が所定下限値より高い場合には、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへと混合気体が排出されるように（つまり、混合空間４１２ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへの混合気体の排出が停止されないように）、送風機４４３等を制御してもよい。

　このような第１３実施形態の加工システムＳＹＳｍによれば、第１実施形態の加工システムＳＹＳａが享受可能な効果と同様の効果を享受することができる。更に、加工システムＳＹＳｍによれば、希釈ガスによって十分に希釈されたパージガスを排出することができる。つまり、加工システムＳＹＳｍによれば、希釈ガスによって十分に希釈されていないパージガスの排出を防止することができる。

　尚、第１３実施形態においても、第２実施形態から第１２実施形態の少なくとも一つに特有の構成要件が採用されてもよい。第１２実施形態に特有の構成要件は、容積可変装置４８ｌに関する構成要件である。

　（１４）第１４実施形態の加工システムＳＹＳｎ
　続いて、図２８を参照しながら、第１４実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第１４実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳｎ”と称する）について説明する。図２８は、第１４実施形態の加工システムＳＹＳｎの構造を示す断面図である。

　図２８に示すように、第１４実施形態の加工システムＳＹＳｎは、上述した第１実施形態の加工システムＳＹＳａと比較して、計測装置９ｎを更に備えているという点で異なる。加工システムＳＹＳｎのその他の特徴は、加工システムＳＹＳａのその他の特徴と同一であってもよい。

　計測装置９ｎは、加工空間４１１ＩＮに収容されているが、その他の位置（例えば、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴ）に配置されていてもよい。計測装置９ｎは、制御装置７の制御下で、計測対象物を計測可能である。計測対象物は、例えばワークＷ（更には、生成中の３次元構造物ＳＴ、以下同じ）を含む。例えば、計測装置９ｎは、ワークＷの状態を計測可能な装置であってもよい。ワークＷの状態は、ワークＷの位置を含んでいてもよい。ワークＷの位置は、ワークＷの表面の位置を含んでいてもよい。ワークＷの表面の位置は、ワークＷの表面を細分化した各面部分のＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の少なくとも一つにおける位置を含んでいてもよい。ワークＷの状態は、ワークＷの形状（例えば、３次元形状）を含んでいてもよい。ワークＷの形状は、ワークＷの表面の形状を含んでいてもよい。ワークＷの表面の形状は、上述したワークＷの表面の位置に加えて又は代えて、ワークＷの表面を細分化した各面部分の向き（例えば、各面部分の法線の向きであり、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の少なくとも一つに対する各面部分の傾斜量と実質的に等価）を含んでいてもよい。ワークＷの状態は、ワークＷのサイズ（例えば、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の少なくとも一つにおけるサイズ）を含んでいてもよい。

　第１４実施形態では、ステージ３１は、加工装置２による付加加工が行われる位置である加工位置と、計測装置９ｎによる計測が行われる位置である計測位置との間を移動可能であってもよい。ステージ３１は、ワークＷを保持したまま、加工位置と計測位置との間を移動してもよい。ステージ３１が加工位置に位置する場合には、加工装置２は、ステージ３１が保持するワークＷに対して付加加工を行う。ステージ３１が計測位置に位置する場合には、計測装置９ｎは、ステージ３１が保持するワークＷを計測する。但し、計測装置９ｎは、ステージ３１が加工位置に位置している状態でワークＷを計測可能であってもよい。この場合、加工位置と計測位置とが少なくとも部分的に重複しているとも言える。

　計測装置９ｎの計測結果は、制御装置７に出力される。制御装置７は、計測装置９ｎの計測結果に基づいて、加工システムＳＹＳｎの動作を制御してもよい。

　以上説明した第１４実施形態の加工システムＳＹＳｎによれば、第１実施形態の加工システムＳＹＳａが享受可能な効果と同様の効果を享受することができる。更に、加工システムＳＹＳｎは、計測装置９ｎの計測結果に基づいて、適切な付加加工を行うことができる。

　尚、第１４実施形態においても、第２実施形態から第１３実施形態の少なくとも一つに特有の構成要件が採用されてもよい。第１３実施形態に特有の構成要件は、計測装置８ｍに関する構成要件である。

　（１５）第１５実施形態の加工システムＳＹＳｏ
　続いて、第１５実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第１５実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳｏ”と称する）について説明する。第１５実施形態の加工システムＳＹＳｏは、上述した第１実施形態の加工システムＳＹＳａと比較して、筐体４に代えて筐体４ｏを備えているという点で異なる。加工システムＳＹＳｏは更に、上述した加工システムＳＹＳａと比較して、筐体４ｏ’を更に備えるという点で異なる。加工システムＳＹＳｏのその他の特徴は、加工システムＳＹＳａのその他の特徴と同一であってもよい。従って、以下では、図２９を参照しながら、第１５実施形態の筐体４ｏ及び４ｏ’について説明する。図２９は、第１５実施形態の筐体４ｏ及び４ｏ’の構造を示す断面図である。

　図２９に示すように、筐体４ｏは、上述した筐体４と比較して、混合空間４１２ＩＮが内部に形成されていなくてもよいと言う点で異なる。混合空間４１２ＩＮが形成されていないため、筐体４ｏ内においてパージガスと希釈ガスとが混合されなくてもよい。このため、筐体４ｏは、上述した筐体４と比較して、パージガスと希釈ガスとの混合に関する構成要件を備えていなくてもよいという点で異なる。具体的には、筐体４ｏには、混合空間４１２ＩＮに希釈ガスを供給するために用いられる供給管４５１、吸気口４５２、供給口４５３及びバルブ４５４が形成されていなくてもよい。筐体４ｏのその他の特徴は、筐体４のその他の特徴と同一であってもよい。

　筐体４ｏ’は、内部に混合空間４１２ＩＮ’が形成された隔壁部材４２ｏ’を含む。隔壁部材４２ｏ’は、混合空間４１２ＩＮ’を規定する内面４２１ｏ’を含む。この場合、内面４２１ｏ’によって取り囲まれた空間が、混合空間４１２ＩＮ’となる。混合空間４１２ＩＮ’は、上述した混合空間４１２ＩＮと同様に、パージガスと希釈ガスとを混合するための空間である。つまり、第１５実施形態では、混合空間４１２ＩＮ’は、加工空間４１１ＩＮが内部に形成されている部材（つまり、筐体４ｏ）とは異なる部材（つまり、筐体４ｏ’）の内部に形成されている。尚、混合空間４１２ＩＮ’は、混合空間４１２ＩＮと同様の特徴を有していてもよいため、その詳細な説明を省略する。

　混合空間４１２ＩＮ’においてパージガスと希釈ガスとを混合するために、混合空間４１２ＩＮ’は、加工空間４１１ＩＮと供給管４９ｏを介してつながっている。供給管４９ｏは、加工空間４１１ＩＮにつながっている筐体４ｏの排気口４４４と、混合空間４１２ＩＮ’につながっている筐体４ｏ’の供給口４３３ｏ’とをつなぐ配管である。供給口４３３ｏ’は、隔壁部材４２ｏ’の内面４２１ｏ’から隔壁部材４２ｏ’の外面４２２ｏ’に向かって隔壁部材４２ｏ’を貫通する貫通孔である。その結果、排気口４４４、供給管４９ｏ及び供給口４３３ｏ’を介して、加工空間４１１ＩＮから混合空間４１２ＩＮ’にパージガスが供給される。

　混合空間４１２ＩＮ’には、パージガスに加えて、希釈ガスが供給される。混合空間４１２ＩＮ’に希釈ガスを供給するために、隔壁部材４２ｏ’には、供給管４５１ｏ’、吸気口４５２ｏ’、供給口４５３ｏ’及びバルブ４５４ｏ’が形成されている。希釈ガスは、吸気口４５２ｏ’、供給管４５１ｏ’及び供給口４５３ｏ’を介して、混合空間４１２ＩＮ’に供給される。尚、筐体４ｏ’に形成される供給管４５１ｏ’、吸気口４５２ｏ’、供給口４５３ｏ’及びバルブ４５４ｏ’の特徴は、それぞれ、上述した筐体４に形成される供給管４５１、吸気口４５２、供給口４５３及びバルブ４５４の特徴と同一であってもよい。このため、供給管４５１ｏ’、吸気口４５２ｏ’、供給口４５３ｏ’及びバルブ４５４ｏ’についての詳細な説明は省略する。

　混合空間４１２ＩＮ’内の気体（つまり、混合ガス）は、混合空間４１２ＩＮ’から外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに向けて排出される（つまり、放出される）。具体的には、混合ガスは、混合空間４１２ＩＮ’から、混合空間４１２ＩＮ’が隔壁部材４２ｏ’の外面４２２ｏ’に形成する開口である排気口４４４ｏ’を介して、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴに向けて排出される。排気口４４４ｏ’には、送風機４４３ｏ’が配置されていてもよい。尚、排気口４４４ｏ’及び送風機４４３ｏ’の特徴は、それぞれ、上述した筐体４に形成される排気口４４４及び送風機４４３の特徴と同一であってもよい。このため、排気口４４４ｏ’及び送風機４４３ｏ’についての詳細な説明は省略する。

　以上説明した第１５実施形態の加工システムＳＹＳｏによれば、第１実施形態の加工システムＳＹＳａが享受可能な効果と同様の効果を享受することができる。

　尚、第１５実施形態においても、第２実施形態から第１４実施形態の少なくとも一つに特有の構成要件が採用されてもよい。第１４実施形態に特有の構成要件は、計測装置９ｎに関する構成要件である。

　（１６）第１６実施形態の加工システムＳＹＳｐ
　続いて、図３０を参照しながら、第１６実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第１６実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳｐ”と称する）について説明する。図３０は、第１６実施形態の加工システムＳＹＳｐの構造を示す断面図である。

　図３０に示すように、第１６実施形態の加工システムＳＹＳｐは、上述した第１実施形態の加工システムＳＹＳａと比較して、ディスプレイ８ｐを備えているという点で異なる。加工システムＳＹＳｐのその他の特徴は、加工システムＳＹＳａのその他の特徴と同一であってもよい。

　制御装置７は、加工システムＳＹＳｐに関する情報を表示するように、ディスプレイ８ｐを制御する。この場合、制御装置７は、加工システムＳＹＳｐに関する情報を、ＧＵＩ（Ｇｒａｐｈｉｃ　Ｕｓｅｒ　Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）として表示するように、ディスプレイ８ｐを制御してもよい。

　例えば、制御装置７は、加工システムＳＹＳｐの状態に関するシステム状態情報を表示するように、ディスプレイ８ｐを制御してもよい。このようなシステム状態情報は、加工システムＳＹＳｐの電源がＯＮされた場合（つまり、加工システムＳＹＳｐが起動された場合）に表示されてもよい。システム状態情報の表示例が、図３１に示されている。図３１に示すように、システム状態情報は、加工空間４１１ＩＮにおけるパージガスの充填状態に関する情報を含んでいてもよい。加工空間４１１ＩＮにおけるパージガスの充填状態に関する情報は、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填が完了しているか否かを示す情報、加工空間４１１ＩＮをパージガスで充填する作業が行われている最中か否かを示す情報、加工空間４１１ＩＮからパージガスを排出する作業が行われている最中か否かを示す情報、及び／又は、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出が完了しているか否かを示す情報を含んでいてもよい。図３１は、システム状態情報が、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出が完了していることを示す「パージガス排出完了」というメッセージを含む例を示している。システム状態情報は、加工空間４１１ＩＮにおける酸素の濃度に関する情報を含んでいてもよい。尚、制御装置７は、加工空間４１１ＩＮにおける酸素の濃度に関する情報を常に（具体的には、加工システムＳＹＳｐが起動している間は常に）表示するように、ディスプレイ８ｐを制御してもよい。システム状態情報は、材料供給装置１が貯蔵している造形材料Ｍの残量に関する情報を含んでいてもよい。システム状態情報は、パージガスの供給元（例えば、ガス供給装置６）におけるパージガスの圧力に関する情報を含んでいてもよい。システム状態情報は、パージガスの供給元（つまり、ガス供給装置６）におけるパージガスの圧力に関する情報を含んでいてもよい。システム状態情報は、パージガスの供給先（例えば、加工空間４１１ＩＮ及び材料供給装置１の少なくとも一方）におけるパージガスの圧力に関する情報を含んでいてもよい。

　例えば、制御装置７は、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填を開始することをユーザが希望する場合にユーザによって選択される充填開始アイコンを表示するように、ディスプレイ８ｐを制御してもよい。制御装置７は、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出を開始することをユーザが希望する場合にユーザによって選択される排出開始アイコンを表示するように、ディスプレイ８ｐを制御してもよい。図３１は、「充填？」というメッセージが付された充填開始アイコン（具体的には、ボタン）がディスプレイ８ｐに表示されている例を示している。

　例えば、制御装置７は、加工空間４１１ＩＮと外部空間ＳＰ＿ＯＵＴとを隔てるように筐体４に配置された扉（例えば、オペレーションドア）を開くことをユーザが希望する場合にユーザによって選択される扉開アイコンを表示するように、ディスプレイ８ｐを制御してもよい。図３１は、「扉開？」というメッセージが付された扉開アイコン（具体的には、ボタン）がディスプレイ８ｐに表示されている例を示している。尚、筐体４の扉は、加工空間４１１ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへとワークＷを取り出す際に開けられてもよい。筐体４の扉は、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから加工空間４１１ＩＮへとワークＷを搬入する際に開けられてもよい。筐体４の扉は、加工空間４１１ＩＮに収容されている装置（例えば、加工ヘッド２１）をメンテナンスする際に開けられてもよい。

　充填開始アイコンがユーザによって選択された場合には、制御装置７は、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填に関する充填情報を表示するようにディスプレイ８ｐを制御してもよい。充填情報の表示例が、図３２から図３９に示されている。

　図３２は、充填開始アイコンがユーザによって選択された場合に表示される充填情報の例を示している。図３２に示すように、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填を本当に開始するか否かをユーザに再確認する（つまり、充填開始アイコンの選択がユーザのミスではないことをユーザに再確認する）ためのＧＵＩが表示されてもよい。

　図３３は、図３２においてパージガスの充填を本当に開始することをユーザが再確認した（例えば、図３２における「ＹＥＳ」ボタンが選択された）場合に表示される充填情報の例を示している。図３３に示すように、パージガスの充填を開始するために、加工システムＳＹＳｐが備えるインターロックボタンを押下するようにユーザに要求するＧＵＩが表示されてもよい。インターロックボタンがユーザによって押下されると、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填が実際に開始される。つまり、上述した図５に示すように、パージガスが加工空間４１１ＩＮに供給される。

　図３４は、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填が開始された後に表示される充填情報の例を示している。図３４に示すように、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填が行われている最中であることを示すメッセージが表示されてもよい。加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填率を示すＧＵＩ（図３４では、バー表示）が表示されてもよい。加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填の中止をユーザが希望する場合にユーザによって選択される充填中止アイコンが表示されてもよい。充填中止アイコンがユーザによって選択されると、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填が中止される。但し、充填中止アイコンがユーザによって選択された場合には、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填が実際に中止される前に、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填を本当に中止するか否かをユーザに再確認する（つまり、充填中止アイコンの選択がユーザのミスではないことをユーザに再確認する）ためのＧＵＩが表示されてもよい。

　尚、加工空間４１１ＩＮ内において加工ヘッド２１等が移動すると、加工ヘッド２１等を移動させるためのヘッド駆動系２２等が備えるモータにおいて電気火花が生ずる可能性がある。加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填が完了していれば、このような電気火花が生じたとしても、当該電気火花に起因した爆発（特に、粉粒体である造形材料Ｍによる粉塵爆発）が加工空間４１１ＩＮにおいて発生することはない。一方で、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填が完了するまでは、上述した電気火花に起因した爆発を防止するために、加工空間４１１ＩＮ内に位置する装置（例えば、加工装置２）への電源の供給は停止されていてもよい。この場合、電源の供給が停止されていることを示すメッセージが表示されてもよい。図３４は、「装置内部の電源の供給が可能になるまでお待ちください」というメッセージが表示される例を示している。また、ユーザが手動で加工システムＳＹＳｐを操作するマニュアル操作を行うことで加工空間４１１ＩＮ内において加工ヘッド２１等が移動することを防止するために、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填が完了するまでは、マニュアル操作は禁止されていてもよい。この場合、マニュアル操作が禁止されていることを示すメッセージが表示されてもよい。図３４は、「安全のため、マニュアル操作が禁止されています」というメッセージが表示される例を示している。

　図３５は、図３４に示す充填中止アイコンがユーザによって選択された場合に表示される充填情報の例を示している。加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填が完了する前にパージガスの充填が中止された場合には、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填が不十分である可能性が高い。このため、図３５に示すように、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填が不十分であることを示すメッセージが表示されてもよい。また、中止したパージガスの充填を再開することをユーザが希望する場合にユーザによって選択される充填開始アイコンが表示されてもよい。また、加工空間４１１ＩＮに供給されたパージガスの排出を開始することをユーザが希望する場合にユーザによって選択される排出開始アイコンが表示されてもよい。また、パージガスの充填が中止された場合には、パージガスの充填が完了していないがゆえに、マニュアル操作は禁止されていてもよい。この場合、マニュアル操作が禁止されていることを示すメッセージが表示されてもよい。図３５は、「安全のため、マニュアル操作が禁止されています。マニュアル操作を行う場合はパージガスを充填して下さい」というメッセージが表示される例を示している。

　一方で、パージガスの充填が進むにつれて、加工空間４１１ＩＮにおける酸素の濃度は徐々に低下していく。その結果、加工空間４１１ＩＮにおける酸素の濃度が、ヘッド駆動系２２等が備えるモータの電気火花に起因した爆発を引き起こさない程度に低くなった（例えば、５％未満になった）場合には、加工空間４１１ＩＮ内に位置する装置（例えば、加工装置２）への電源の供給の停止が解除されていてもよい。この場合、図３６に示すように、加工空間４１１ＩＮ内に位置する装置（例えば、加工装置２）への電源の供給の停止を解除するために、加工システムＳＹＳｐが備えるインターロックボタンを押下するようにユーザに要求するＧＵＩが表示されてもよい。インターロックボタンがユーザによって押下されると、加工空間４１１ＩＮ内に位置する装置（例えば、加工装置２）への電源の供給の停止が解除される。

　図３７は、加工空間４１１ＩＮ内に位置する装置（例えば、加工装置２）への電源の供給の停止が解除された場合に表示される充填情報の例を示している。加工空間４１１ＩＮ内に位置する装置（例えば、加工装置２）への電源の供給の停止が解除された場合には、加工ヘッド２１のリセット（具体的には、加工ヘッド２１の位置を原点に合わせる動作）が行われてもよい。この場合、図３７に示すように、加工ヘッド２１のリセットが行われていることを示すメッセージが表示されてもよい。また、加工ヘッド２１のリセットが行われている最中も、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填は継続している。このため、図３７に示すように、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填が行われている最中であることを示すメッセージ、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填率を示すＧＵＩ及び／又は充填中止アイコンが表示されてもよい。

　図３８は、加工ヘッド２１のリセットが完了した場合に表示される充填情報の例を示している。この場合には、加工ヘッド２１を移動させるためにユーザが操作するヘッド操作ＧＵＩが表示されてもよい。図３８に示すように、ヘッド操作ＧＵＩは、加工ヘッド２１を＋Ｘ側、－Ｘ側、＋Ｙ側、－Ｙ側、＋Ｚ側及び－Ｚ側にそれぞれ移動させるためにユーザが選択する６つの移動ボタンを含んでいてもよい。ヘッド操作ＧＵＩは、加工ヘッド２１を停止させるためにユーザが選択するボタンを含んでいてもよい。ヘッド操作ＧＵＩは、移動ボタンの１回の選択で加工ヘッド２１が移動する移動量を指定するためにユーザが選択するラジオボタンを含んでいてもよい。図３８は、「０．０１ｍｍ」、「０．１ｍｍ」、「１ｍｍ」、「１０ｍｍ」及び「１００ｍｍ」という５種類の移動量から一つの移動量をユーザに選択させる、「Ｆｅｅｄ」というラベルが付与されたラジオボタンが表示される例を示している。ヘッド操作ＧＵＩは、加工ヘッド２１の移動速度を指定するためにユーザが選択するラジオボタンを含んでいてもよい。図３８は、「１０ｍｍ／ｓ」及び「５０ｍｍ／ｓ」という２種類の移動速度から一つの移動速度をユーザに選択させる、「Ｓｐｅｅｄ」というラベルが付与されたラジオボタンが表示される例を示している。また、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填が完了するまで、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填が行われている最中であることを示すメッセージ、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填率を示すＧＵＩ及び／又は充填中止アイコンが表示されてもよい。

　図３９は、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填が完了した場合に表示される充填情報の例を示している。図３９に示すように、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填が完了したことを示すメッセージが表示されてもよい。また、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出を開始することをユーザが希望する場合にユーザによって選択される排出開始アイコンが表示されてもよい。また、加工ヘッド２１を移動させるためにユーザが操作するヘッド操作ＧＵＩが表示されてもよい。

　排出開始アイコンがユーザによって選択された場合には、制御装置７は、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出に関する排出情報を表示するようにディスプレイ８ｐを制御してもよい。排出情報の表示例が、図４０から図４３に示されている。

　図４０は、排出開始アイコンがユーザによって選択された場合に表示される排出情報の例を示している。図４０に示すように、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出を本当に開始するか否かをユーザに再確認する（つまり、排出開始アイコンの選択がユーザのミスではないことをユーザに再確認する）ためのＧＵＩが表示されてもよい。

　図４１は、図４０においてパージガスの排出を本当に開始することをユーザが再確認した（例えば、図４０における「ＹＥＳ」ボタンが選択された）場合に表示される排出情報の例を示している。パージガスの排出を開始するためには、パージガスの排出を実際に開始する前に、加工空間４１１ＩＮ内において、加工ヘッド２１が所定の待避位置に移動する（つまり、待避する）。このため、図４１に示すように、加工ヘッド２１が所定の待避位置に移動している（つまり、待避している）ことを示すメッセージが表示されてもよい。加工ヘッド２１の待避は、例えば、加工空間４１１ＩＮに進入したユーザの手等と加工ヘッド２１との接触等に起因した加工ヘッド２１の故障（例えば、破損等）を防止するために行われてもよい。なぜならば、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出が完了した場合には、筐体４の扉が開けられた後に、加工空間４１１ＩＮから外部空間ＳＰ＿ＯＵＴへとワークＷを取り出すために、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴから加工空間４１１ＩＮへとワークＷを搬入するために、及び／又は、加工空間４１１ＩＮに収容されている装置（例えば、加工ヘッド２１）をメンテナンスするために、ユーザの手等が加工空間４１１ＩＮに進入する可能性があるからである。このため、加工ヘッド２１の待避は、加工ヘッド２１と加工空間４１１ＩＮに進入したユーザの手等とが接触する可能性が低い又はない位置への加工ヘッド２１の移動を意味していてもよい。加工ヘッド２１の待避（つまり、所定の待避位置への移動）が完了した後に、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出が実際に開始される。つまり、上述した図７に示すように、パージガスが加工空間４１１ＩＮから排出される。但し、加工ヘッド２１の待避が必要ない場合又は加工ヘッド２１の待避ができない場合には、図４０においてパージガスの排出を本当に開始することをユーザが再確認した後に、図４１に示す排出情報が表示されることなく、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出が実際に開始されてもよい。尚、加工ヘッド２１の待避は、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出を実際に開始した後に行われてもよい。加工ヘッド２１の待避は、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出が完了した後に行われてもよい。加工ヘッド２１の待避は、筐体４の扉が開けられる前に行われてもよい。

　図４２は、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出が開始された後に表示される排出情報の例を示している。図４２に示すように、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出が行われている最中であることを示すメッセージが表示されてもよい。加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填率（或いは、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出率）を示すＧＵＩ（図４２では、バー表示）が表示されてもよい。加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出の中止をユーザが希望する場合にユーザによって選択される排出中止アイコンが表示されてもよい。排出中止アイコンがユーザによって選択されると、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出が中止される。但し、排出中止アイコンがユーザによって選択された場合には、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出が実際に中止される前に、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出を本当に中止するか否かをユーザに再確認する（つまり、排出中止アイコンの選択がユーザのミスではないことをユーザに再確認する）ためのＧＵＩが表示されてもよい。

　加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出が行われている間は、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填が不十分である可能性が高いがゆえに、マニュアル操作は禁止されていてもよい。この場合、マニュアル操作が禁止されていることを示すメッセージが表示されてもよい。図４２は、「安全のため、マニュアル操作が禁止されています。マニュアル操作を行う場合はパージガスを充填して下さい」というメッセージが表示される例を示している。加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出が中止された場合にも、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填が不十分である可能性が高いがゆえに、マニュアル操作は禁止されていてもよい。この場合、マニュアル操作が禁止されていることを示すメッセージが表示されてもよい。

　図４３は、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出が完了した場合に表示される排出情報の例を示している。図４３に示すように、加工空間４１１ＩＮからのパージガスの排出が完了したことを示すメッセージが表示されてもよい。また、加工空間４１１ＩＮに対するパージガスの充填を開始することをユーザが希望する場合にユーザが選択する充填開始アイコンが表示されてもよい。また、加工ヘッド２１を移動させるためにユーザが操作するヘッド操作ＧＵＩが表示されてもよい。また、加工空間４１１ＩＮと外部空間ＳＰ＿ＯＵＴとを隔てるように筐体４に配置された扉（例えば、オペレーションドア）を開くことをユーザが希望する場合にユーザによって選択される扉開アイコンが表示されてもよい。

　扉開アイコンがユーザによって選択されるまでは、筐体４の扉はロック（例えば、電磁的にロック）されていてもよい。その結果、加工空間４１１ＩＮの気密性が確保される。一方で、扉開アイコンがユーザによって選択された場合には、筐体４の扉のロックが解除されてもよい。その結果、ユーザが扉を開くことが可能になる。但し、扉開アイコンがユーザによって選択された場合であっても、パージガスの排出に先立って行われる加工ヘッド２１の待避が完了していない場合には、筐体４の扉はロックされたままであってもよい（つまり、筐体４の扉のロックが解除されなくてもよい）。また、筐体４の扉が開いている場合には、外部空間ＳＰ＿ＯＵＴとつながっている加工空間４１１ＩＮに対してパージガスが誤って供給されることを防止するために、充填開始アイコンが非表示になっていてもよい。

　以上説明した第１６実施形態の加工システムＳＹＳｐによれば、第１実施形態の加工システムＳＹＳａが享受可能な効果と同様の効果を享受することができる。更に、第１６実施形態では、ユーザは、ディスプレイ８ｐに表示された情報を確認することで、加工システムＳＹＳｐの状態等を適切に把握することができる。

　尚、第１６実施形態においても、第２実施形態から第１５実施形態の少なくとも一つに特有の構成要件が採用されてもよい。第１５実施形態に特有の構成要件は、筐体４ｏ’に関する構成要件である。

　（１７）その他の変形例
　上述した説明では、加工装置２は、造形材料Ｍに加工光ＥＬを照射することで、造形材料Ｍを溶融させている。しかしながら、加工装置２は、任意のエネルギビームを造形材料Ｍに照射して溶融池ＭＰを形成し、その溶融池ＭＰで造形材料Ｍを溶融させてもよい。この場合、加工装置２は、照射光学系２１１に加えて又は代えて、任意のエネルギビームを照射可能なビーム照射装置を備えていてもよい。任意のエネルギビームは、限定されないが、電子ビーム、イオンビーム等の荷電粒子ビーム又は電磁波を含む。

　上述した説明では、加工システムＳＹＳは、レーザ肉盛溶接法により３次元構造物ＳＴを形成可能である。しかしながら、加工システムＳＹＳは、造形材料Ｍに加工光ＥＬ（或いは、任意のエネルギビーム）を照射することで３次元構造物ＳＴを形成可能なその他の方式により造形材料Ｍから３次元構造物ＳＴを形成してもよい。その他の方式として、例えば、粉末焼結積層造形法（ＳＬＳ：Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ　Ｌａｓｅｒ　Ｓｉｎｔｅｒｉｎｇ）等の粉末床溶融結合法（Ｐｏｗｄｅｒ　Ｂｅｄ　Ｆｕｓｉｏｎ）、結合材噴射法（Ｂｉｎｄｅｒ　Ｊｅｔｔｉｎｇ）又は、レーザメタルフュージョン法（ＬＭＦ：Ｌａｓｅｒ　Ｍｅｔａｌ　Ｆｕｓｉｏｎ）があげられる。或いは、加工システムＳＹＳは、造形材料Ｍに加工光ＥＬ（或いは、任意のエネルギビーム）を照射することで３次元構造物ＳＴを形成可能な方式とは異なる、付加加工のための任意の方式により３次元構造物ＳＴを形成してもよい。

　或いは、加工システムＳＹＳは、付加加工に加えて又は代えて、ワークＷ等の物体に加工光ＥＬ（或いは、任意のエネルギビーム）を照射して物体の少なくとも一部を除去可能な除去加工を行ってもよい。或いは、加工システムＳＹＳは、付加加工及び除去加工の少なくとも一方に加えて又は代えて、ワークＷ等の物体に加工光ＥＬ（或いは、任意のエネルギビーム）を照射して物体の少なくとも一部にマーク（例えば、文字、数字又は図形）を形成可能なマーキング加工を行ってもよい。この場合であっても、上述した効果が享受可能である。

　上述した説明では、加工システムＳＹＳは、加工空間４１１ＩＮにパージガスを供給した上で、加工空間４１１ＩＮがパージガスによって満たされた状態（つまり、パージされた状態）で加工動作を行っている。しかしながら、例えば、加工システムＳＹＳは、加工空間４１１ＩＮがパージガスによって満たされていない状態で加工動作を行ってもよい。例えば、加工システムＳＹＳが行おうとしている加工動作が、パージガスによる加工空間４１１ＩＮのパージを必要としない動作である場合には、加工システムＳＹＳは、加工空間４１１ＩＮがパージガスによって満たされていない状態で加工動作を行ってもよい。パージガスによる加工空間４１１ＩＮのパージを必要としない加工動作の一例として、粉粒体ではない造形材料Ｍを用いた加工動作があげられる。また、ワークＷ等の物体に加工光ＥＬ（或いは、任意のエネルギビーム）を照射して物体の少なくとも一部を除去可能な除去加工も、パージガスによる加工空間４１１ＩＮのパージをせずに行ってもよい。

　上述した説明では、加工システムＳＹＳは、照射光学系２１１が加工光ＥＬを照射する照射領域ＥＡに向けて材料ノズル２１２から造形材料Ｍを供給することで、３次元構造物ＳＴを形成している。しかしながら、加工システムＳＹＳは、照射光学系２１１から加工光ＥＬを照射することなく、材料ノズル２１２から造形材料Ｍを供給することで３次元構造物ＳＴを形成してもよい。例えば、加工システムＳＹＳは、材料ノズル２１２から、造形面ＭＳに対して造形材料Ｍを吹き付けることで、造形面ＭＳにおいて造形材料Ｍを溶融させると共に、溶融した造形材料Ｍを固化させることで、３次元構造物ＳＴを形成してもよい。例えば、加工システムＳＹＳは、材料ノズル２１２から造形面ＭＳに対して造形材料Ｍを含む気体を超高速で吹き付けることで、造形面ＭＳにおいて造形材料Ｍを溶融させると共に、溶融した造形材料Ｍを固化させることで、３次元構造物ＳＴを形成してもよい。例えば、加工システムＳＹＳは、材料ノズル２１２から造形面ＭＳに対して加熱した造形材料Ｍを吹き付けることで、造形面ＭＳにおいて造形材料Ｍを溶融させると共に、溶融した造形材料Ｍを固化させることで、３次元構造物ＳＴを形成してもよい。このように照射光学系２１１から加工光ＥＬを照射することなく３次元構造物ＳＴを形成する場合には、加工システムＳＹＳ（特に、加工ヘッド２１）は、照射光学系２１１を備えていなくてもよい。

　上述の各実施形態の構成要件の少なくとも一部は、上述の各実施形態の構成要件の少なくとも他の一部と適宜組み合わせることができる。上述の各実施形態の構成要件のうちの一部が用いられなくてもよい。また、法令で許容される限りにおいて、上述の各実施形態で引用した全ての公開公報及び米国特許の開示を援用して本文の記載の一部とする。

　本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う加工システム及び加工方法もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。

　１　材料供給装置
　２　加工装置
　２１　加工ヘッド
　２１１　照射光学系
　２１２　材料ノズル
　４　筐体
　４１１ＩＮ　加工空間
　４１２ＩＮ　混合空間
　４２　隔壁部材
　４４１　フィルタ
　４４２、４４３　送風機
　４４４　排気口
　４５１　供給管
　４５２　吸気口
　４５４　バルブ
　７　制御装置
　ＳＹＳ　加工システム
　ＳＰ＿ＯＵＴ　外部空間
　Ｗ　ワーク
　Ｍ　造形材料
　ＳＬ　構造層
　ＣＳ　造形面
　ＥＡ　照射領域
　ＭＡ　供給領域
　ＭＰ　溶融池

Claims

　物体が収容される収容空間が内部に形成された収容部材と、
　第１気体によってパージされた前記収容空間内で前記物体に対する加工処理を行う加工装置と、
　前記収容空間に供給された前記第１気体を少なくとも含む気体が排出される排気口と
　を備え、
　前記収容空間に供給された前記第１気体が前記排気口から排出される前に、前記第１気体と前記第１気体とは異なる第２気体とを混合する加工システム。
　前記排気口は、前記収容部材に形成されている
　請求項１に記載の加工システム。
　前記収容空間から前記第１気体が供給され且つ前記第１気体と前記第２気体とを混合するための混合空間が内部に形成された混合部材を更に備え、
　前記排気口は、前記混合部材に形成される
　請求項１又は２に記載の加工システム。
　前記排気口から人が立ち入る可能性がある空間に、前記第１及び第２気体が混合された混合気体を排出する
　請求項１から３のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記収容空間から前記排気口までの経路の少なくとも一部において、前記第１気体と前記第２気体とを混合する
　請求項１から４のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第１及び第２気体が混合された混合気体を前記排気口から排出する
　請求項１から５のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記収容空間に前記第１気体を供給する第１経路を介して前記第２気体を前記収容空間に供給可能である
　請求項１から６のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記収容空間の少なくとも一部で、前記第１気体と前記第２気体とを混合する
　請求項１から７のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第１気体と前記第２気体とを混合するための混合空間は、前記収容空間と少なくとも部分的に重複する
　請求項１から８のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記収容空間に供給された前記第１気体と、前記第２気体とを、前記収容空間の少なくとも一部において混合し、前記排気口から前記第１及び第２気体が混合された混合気体を排出する
　請求項８又は９に記載の加工システム。
　前記収容部材には、前記排気口が形成されており、
　前記排気口を介して前記第１及び第２気体が混合された混合気体を前記収容部材の外部へ排出する
　請求項１から１０のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記排気口を介して、前記第１気体と前記第２気体とを混合するための混合空間に前記第２気体を供給する
　請求項１１に記載の加工システム。
　前記排気口とは別に前記収容部材に形成される吸気口を介して、前記第１気体と前記第２気体とを混合するための混合空間に前記第２気体を供給する
　請求項１１又は１２に記載の加工システム。
　前記収容空間と接続する第２経路を備え、
　前記第２経路を介して前記収容空間に前記第２気体を供給可能である
　請求項１から１３のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記収容部材の内部には、前記第１気体と前記第２気体とを混合するための混合空間が形成されている
　請求項１から１４のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記収容空間に供給された前記第１気体と前記第２気体とを前記混合空間において混合し、前記排気口を介して前記混合空間から前記収容部材の外部へ前記第１及び第２気体が混合された混合気体を排出する
　請求項１５に記載の加工システム。
　前記収容空間から前記第１気体が供給され且つ前記第１気体と前記第２気体とを混合するための混合空間が内部に形成された混合部材を更に備える
　請求項１から１６のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記収容空間に供給された前記第１気体と前記第２気体とを前記混合空間において混合し、前記排気口を介して前記混合空間から前記混合部材の外部へ前記第１及び第２気体が混合された混合気体を排出する
　請求項１７に記載の加工システム。
　前記混合空間は、前記収容空間とは別の空間を含む
　請求項１５から１８のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記混合空間は、前記収容空間を含まない
　請求項１９に記載の加工システム。
　前記収容空間に供給された前記第１気体を前記混合空間に供給し、前記混合空間に供給された前記第１気体と前記第２気体とを前記混合空間において混合する
　請求項１９又は２０に記載の加工システム。
　流路形成部材を更に備え、
　前記流路形成部材は、前記混合空間内において前記第１気体の流路と前記第２気体の流路とを合流させる
　請求項１９から２１のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記収容空間に供給された前記第１気体を前記収容空間から前記混合空間へと供給する第１供給装置を備える
　請求項１５から２２のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第１供給装置の状態は、前記第１気体を前記収容空間から前記混合空間へと供給する状態と、前記第１気体を前記収容空間から前記混合空間へと供給しない状態との間で切り替え可能である
　請求項２３に記載の加工システム。
　前記第１供給装置は、前記収容空間から前記混合空間に供給される前記第１気体の供給量を調整する
　請求項２３又は２４に記載の加工システム。
　前記第１供給装置は、前記収容空間と前記混合空間との間の境界又は前記境界の近傍に配置される
　請求項２３から２５のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第１供給装置は、送風機を含む
　請求項２３から２６のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第１供給装置は、バルブを含む
　請求項２３から２７のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第１供給装置は、前記混合空間に配置される
　請求項２３から２８のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第１供給装置は、前記混合空間のうち前記第１及び第２気体の少なくとも一方が存在可能な空間部分の容積を調整することで、前記第１気体の前記収容空間から前記混合空間への供給量を調整する
　請求項２９に記載の加工システム。
　前記第１供給装置は、前記混合空間を規定する隔壁に密着しながら移動可能なピストン部材を含む
　請求項２９又は３０に記載の加工システム。
　前記排気口から排出される気体の排出流量を調整する排出量調整装置を備え、
　前記第１供給装置は、前記排出量調整装置の状態に基づき、前記供給量を調整する
　請求項２３から３１のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記排出量調整装置が動作しないときに、前記第１供給装置による前記第１気体の前記混合空間への供給を止める
　請求項３２に記載の加工システム。
　前記混合空間と接続する第３経路を更に備え、
　前記第２気体は前記第３経路を介して前記混合空間に供給される
　請求項１５から３３のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記収容部材の内部には、前記第１気体と前記第２気体とを混合するための混合空間が形成されており、
　前記第２気体は、前記第３経路を介して前記収容部材の外部から前記混合空間に供給される
　請求項３４に記載の加工システム。
　前記収容部材には、前記第３経路と接続する吸気口が形成されており、
　前記第２気体は、前記吸気口を介して前記収容部材の外部から前記収容部材の内部に取り込まれ、
　前記収容部材の内部に取り込まれた前記第２気体は、前記第３経路を介して前記混合空間に供給される
　請求項３５に記載の加工システム。
　前記吸気口を介して、前記第１及び第２気体が混合された混合気体を前記収容部材の外部へ排出する
　請求項３６に記載の加工システム。
　前記収容空間から前記第１気体が供給され且つ前記第１気体と前記第２気体とを混合するための混合空間が内部に形成された混合部材を更に備え、
　前記第２気体は、前記第３経路を介して前記混合部材の外部から前記混合空間に供給される
　請求項３７に記載の加工システム。
　前記混合部材には、前記第３経路と接続する吸気口が形成されており、
　前記第２気体は、前記吸気口を介して前記混合部材の外部から前記混合部材の内部に取り込まれ、
　前記混合部材の内部に取り込まれた前記第２気体は、前記第３経路を介して前記混合空間に供給される
　請求項３８に記載の加工システム。
　前記吸気口を介して、前記第１及び第２気体が混合された混合気体を前記混合部材の外部へ排出する
　請求項３９に記載の加工システム。
　前記吸気口は、前記排気口を含む
　請求項３７又は４０に記載の加工システム。
　前記吸気口とは別に前記混合部材に形成される前記排気口を介して、前記第１及び第２気体が混合された混合気体を前記混合部材の外部へ排出する
　請求項３９から４１のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記吸気口とは別に前記収容部材に形成される前記排気口を介して、前記第１及び第２気体が混合された混合気体を前記収容部材の外部へ排出する
　請求項３６から４２のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第２気体は、前記第３経路を介して、前記収容部材の内部から前記混合空間に供給される
　請求項３４から４３のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第２気体の供給源を前記収容部材の内部に備え、
　前記第２気体は、前記第３経路を介して、前記供給源から前記混合空間に供給される
　請求項４４に記載の加工システム。
　前記収容空間から前記第１気体が供給され且つ前記第１気体と前記第２気体とを混合するための混合空間が内部に形成された混合部材を更に備え、
　前記第２気体は、前記第３経路を介して、前記混合部材の内部から前記混合空間に供給される
　請求項３４から４５のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第２気体の供給源を前記混合部材の内部に備え、
　前記第２気体は、前記第３経路を介して、前記供給源から前記混合空間に供給される
　請求項４６に記載の加工システム。
　前記第３経路を介して前記混合空間に供給される前記第２気体の供給量を調整する供給量調整装置を更に備える
　請求項３４から４７に記載の加工システム。
　前記供給量調整装置の状態は、前記第３経路を介して前記混合空間に前記第２気体を供給する状態と、前記第３経路を介して前記混合空間に前記第２気体を供給しない状態との間で切り替え可能である
　請求項４８に記載の加工システム。
　前記供給量調整装置の状態は、前記第３経路を介して前記混合空間に第１流量の前記第２気体を供給する状態と、前記第３経路を介して前記混合空間に第２流量の前記第２気体を供給する状態との間で切り替え可能である
　請求項４８又は４９に記載の加工システム。
　前記供給量調整装置の状態は、前記混合空間に前記第１気体を供給するときに、前記第３経路を介して前記混合空間に第１流量の前記第２気体を供給する状態とされ、
　前記供給量調整装置は、前記混合空間に前記第１気体を供給しないときに、前記第３経路を介して前記混合空間に第２流量の前記第２気体を供給する状態とされ、
　前記第１流量は前記第２流量より少ない
　請求項５０に記載の加工システム。
　前記供給量調整装置は、前記第３経路に配置される
　請求項４８から５１のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記供給量調整装置は、バルブを含む
　請求項４８から５２のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記供給量調整装置は、前記混合空間に配置される
　請求項４８から５３のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記供給量調整装置は、前記混合空間のうち前記第１及び第２気体の少なくとも一方が存在可能な空間部分の容積を調整することで、前記第２気体の前記混合空間への供給量を調整する
　請求項４８から５４のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記供給量調整装置は、前記混合空間を規定する隔壁に密着しながら移動可能なピストン部材を含む
　請求項５５に記載の加工システム。
　前記第２気体を前記収容空間に供給する第２供給装置を備える
　請求項１から５６のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記収容空間と接続する第２経路を備え、
　前記第２経路を介して前記収容空間に第２気体を供給可能であって、
　前記第２供給装置は、前記第２経路に接続可能である
　請求項５７に記載の加工システム。
　前記第２供給装置により、前記収容空間に前記第２気体を供給することで、前記収容空間に供給された前記第１気体を、前記第１気体と前記第２気体とを混合するための混合空間に押し出す
　請求項５７又は５８に記載の加工システム。
　前記排気口から排出される気体の排出流量を調整する排出量調整装置を備え、
　前記第２供給装置は、前記排出量調整装置の状態に基づき、前記収容空間への前記第２気体の供給量を調整する
　請求項５７から５９のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記排出量調整装置が動作しないときに、前記第２供給装置による前記第２気体の供給を止める
　請求項６０に記載の加工システム。
　前記第２供給装置は、前記収容空間に前記第１気体を供給する第１経路に配置される
　請求項５７から６１のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第２供給装置は、前記第２気体を前記収容空間へと供給する状態と、前記第２気体を前記収容空間へと供給しない状態との間で切り替え可能である
　請求項５７から６２のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第２供給装置は、送風機を含む
　請求項５７から６３のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第２供給装置は、バルブを含む
　請求項５７から６４のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第２供給装置は、前記収容空間に供給される前記第２気体の供給量を調整する
　請求項５７から６５のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第２供給装置は、前記収容空間のうち前記第１及び第２気体の少なくとも一方が存在可能な空間部分の容積を調整する容積調整装置を備える
　請求項５７から６６のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第２供給装置は、前記容積調整装置を用いて前記容積を調整することで、前記収容空間への前記第２気体の供給量を調整する
　請求項６７に記載の加工システム。
　前記容積調整装置は、前記第１気体と前記第２気体とを混合する混合期間中における前記容積を、前記第１気体と前記第２気体とを混合しない非混合期間中における前記容積よりも大きくする
　請求項６７又は６８に記載の加工システム。
　前記容積調整装置は、前記混合期間中における前記容積を前記非混合期間中における前記容積よりも大きくすることで、前記混合期間中に、前記第２気体を供給可能な空間を前記収容空間内に新たに確保する
　請求項６９に記載の加工システム。
　前記収容部材には、前記排気口が形成されており、
　前記排気口を介して、前記第１及び第２気体が混合された混合気体を前記収容部材の外部へ排出する
　請求項１から７０のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記排気口を介して、前記収容部材の内部に前記第２気体を供給する
　請求項７１に記載の加工システム。
　前記排気口とは別に前記収容部材に形成される吸気口を介して、前記収容部材の内部に前記第２気体を供給する
　請求項７１又は７２に記載の加工システム。
　前記収容空間から前記第１気体が供給され且つ前記第１気体と前記第２気体とを混合するための混合空間が内部に形成された混合部材を更に備え、
　前記排気口は、前記混合部材に形成され、
　前記排気口を介して、前記第１及び第２気体が混合された混合気体を前記混合部材の外部へ排出する
　請求項１から７３のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記排気口を介して、前記混合部材の内部に前記第２気体を供給する
　請求項７４に記載の加工システム。
　前記排気口とは別に前記混合部材に形成される吸気口を介して、前記混合部材の内部に前記第２気体を供給する
　請求項７４又は７５に記載の加工システム。
　前記排気口から排出される気体の排出流量を調整する排出量調整装置を備える
　請求項１から７６のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記排出量調整装置は、前記収容部材に形成された排気口に配置される
　請求項７７に記載の加工システム。
　前記排出量調整装置の状態は、前記排気口から気体を排出する状態と、前記排気口から気体を排出しない状態との間で切り替え可能である
　請求項７７又は７８に記載の加工システム。
　前記排出量調整装置の状態は、前記排気口から気体を第１流量で排出する状態と、前記排気口から気体を第２流量で排出する状態との間で切り替え可能である
　請求項７７から７９のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記収容空間の少なくとも一部で、前記第１気体と前記収容空間に供給された前記第２気体とが混合され、
　前記排出量調整装置の状態は、前記収容空間に前記第１気体を供給するときに、前記第１流量で排出する状態とされ、
　前記排出量調整装置の状態は、前記収容空間に前記第１気体を供給しないときに、前記第２流量で排出する状態とされ、
　前記第１流量は前記第２流量より多い
　請求項８０に記載の加工システム。
　前記排出量調整装置は、送風機を含む
　請求項７７から８１のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記排出量調整装置は、バルブを含む
　請求項７７から８２のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第１及び第２気体が混合された混合気体を撹拌する攪拌機を備える
　請求項１から８３のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記攪拌機は前記混合気体の気流により動かされて前記混合気体を撹拌する
　請求項８４に記載の加工システム。
　前記攪拌機は、前記第１気体と前記第２気体とを混合する混合空間に配置される
　請求項８４又は５５に記載の加工システム。
　前記第１気体は、前記収容空間をパージするパージガスを含む
　請求項１から８６のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第１気体は、不活性ガスを含む
　請求項１から８７のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第２気体は、空気を含む
　請求項１から８８のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第２気体は、酸素ガスを含む
　請求項１から８９のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第１及び第２気体が混合された混合気体における酸素ガスの濃度を測定する測定器を備える
　請求項１から９０のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記測定器が測定する前記混合気体における酸素ガスの濃度に基づき、前記混合気体の前記排気口からの排出流量を調整する
　請求項９１に記載の加工システム。
　前記測定器が測定する前記混合気体における酸素ガスの濃度が所定の第１値より低いとき、前記混合気体の前記排気口からの排出を止める
　請求項９１又は９２に記載の加工システム。
　前記測定器が測定する前記混合気体における酸素ガスの濃度が所定の第１値より高いとき、前記混合気体の前記排気口からの排出を止めない
　請求項９１から９３のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第１及び第２気体が混合された混合気体における前記第２気体の濃度を測定する測定器を備える
　請求項１から９４のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記測定器が測定する前記混合気体における前記第２気体の濃度に基づき、前記混合気体の前記排気口からの排出流量を調整する
　請求項９５に記載の加工システム。
　前記測定器が測定する前記混合気体における前記第２気体の濃度が所定の第２値より低いとき、前記混合気体の前記排気口からの排出を止める
　請求項９５又は９６に記載の加工システム。
　前記測定器が測定する前記混合気体における前記第２気体の濃度が所定の第２値より高いとき、前記混合気体の前記排気口からの排出を止めない
　請求項９５から９７のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記第１及び第２気体が混合された混合気体における前記第１気体の濃度を測定する測定器を備える
　請求項１から９８のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記測定器が測定する前記混合気体における前記第１気体の濃度に基づき、前記混合気体の前記排気口からの排出流量を調整する
　請求項９９に記載の加工システム。
　前記測定器が測定する前記混合気体における前記第１気体の濃度が所定の第３値より高いとき、前記混合気体の前記排気口からの排出を止める
　請求項９９又は１００に記載の加工システム。
　前記測定器が測定する前記混合気体における前記第１気体の濃度が所定の第３値より低いとき、前記混合気体の前記排気口からの排出を止めない
　請求項９９から１０１のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記収容空間は、前記物体が加工される加工空間を含む
　請求項１から１０２のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記収容空間に供給された前記第１気体が前記排気口から排出される前に、前記収容空間に供給された前記第１気体を、前記第２気体と混合して希釈する
　請求項１から１０３のいずれか一項に記載の加工システム。
　物体が収容される収容空間が内部に形成された収容部材と、
　第１気体によってパージされた前記収容空間内で前記物体に対する加工処理を行う加工装置と、
　前記収容空間に供給された前記第１気体を少なくとも含む気体が排出される排気口と
　を備え、
　前記収容空間に供給された前記第１気体が前記排気口から排出される前に、前記第１気体を希釈する加工システム。
　物体が収容される収容空間が内部に形成された収容部材と、
　第１気体によってパージされた前記収容空間内で前記物体に対する加工処理を行う加工装置と、
　前記収容空間に供給された前記第１気体を少なくとも含む気体が排出される排気口と
　を備え、
　前記収容空間に供給された前記第１気体が前記排気口から排出される前に、前記第１気体が存在する空間に、前記第１気体と異なる第２気体を供給し、前記第２気体が供給された空間の気体を前記排気口から排出する加工システム。
　前記収容空間には、前記加工装置の少なくとも一部が収容される
　請求項１から１０６のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記収容空間には、前記物体を加工するために用いられる材料を供給する供給装置の少なくとも一部が収容される
　請求項１から１０７のいずれか一項に記載の加工システム。
　前記材料は粉粒体である
　請求項１０８に記載の加工システム。
　前記加工装置は、前記物体にエネルギビームを照射しつつ、前記エネルギビームの照射領域に前記材料を供給することにより造形物を形成する
　請求項１０８又は１０９に記載の加工システム。
　収容空間と、
　前記収容空間に気体を供給する供給装置と
　を備え、
　前記供給装置からの前記気体の供給に関する情報に基づいて前記収容空間からの排出量を調整する
　加工システム。
　前記供給装置は、前記供給される気体を用いて、粉粒体を前記収容空間に圧送し、
　前記供給装置が前記粉粒体を圧送する圧力に基づいて、前記収容空間からの前記排出量を調整する
　請求項１１１に記載の加工システム。
　前記供給される前記粉粒体を用いて前記収容空間内で加工処理を行う加工装置を更に備える
　請求項１１２に記載の加工システム。
　収容空間と、
　粉粒体の供給装置と、
　前記供給装置から供給される前記粉粒体を用いて前記収容空間内で加工処理を行う加工装置と
　を備え、
　前記収容空間の内部の気体を排出する排出装置を介して前記供給装置の少なくとも一部の空間から気体を排出可能である
　加工システム。
　収容空間と、
　粉粒体の供給装置と、
　前記供給装置から供給される前記粉粒体を用いて前記収容空間内で加工処理を行う加工装置と
　を備え、
　前記収容空間を介さずに、前記供給装置の少なくとも一部の空間から気体を排出可能である
　加工システム。
　前記収容空間から気体を排出する経路を備え、
　前記供給装置の少なくとも一部の空間からの気体の排出は、前記経路の少なくとも一部を使って行われる
　請求項１１５に記載の加工システム。
　前記収容空間の気体は、前記紛粒体の供給装置から供給される
　請求項１１５又は１１６に記載の加工システム。
　前記供給装置の少なくとも一部の空間からの気体の排出は、前記供給装置から前記収容空間への気体供給を停止した状態で行われる
　請求項１１５から１１７のいずれか一項に記載の加工システム。
　収容空間と、
　粉粒体の供給装置と、
　前記供給装置から供給される前記粉粒体を用いて前記収容空間内で加工処理を行う加工装置と
　を備え、
　前記収容空間の内部の気体と、前記粉粒体の供給装置の少なくとも一部の内部の気体とを個別に排出可能である
　加工システム。
　前記収容空間と前記供給装置の少なくとも一部との一方から気体を排出するとき、前記収容空間と前記供給装置の少なくとも一部との他方から気体を排出しない
　請求項１１９に記載の加工システム。
　収容空間と、
　粉粒体の供給装置と、
　前記収容空間内で前記供給装置から供給される前記粉粒体を用いて加工処理を行う加工装置と
　を備え、
　前記収容空間に気体を給気する給気装置を介して前記供給装置の少なくとも一部を給気可能である
　加工システム。
　収容空間と、
　粉粒体の供給装置と、
　前記供給装置から供給される前記粉粒体を用いて前記収容空間内で加工処理を行う加工装置と
　を備え、
　前記収容空間と、前記粉体の供給装置の少なくとも一部とに個別に気体を給気可能である
　加工システム。
　前記収容空間と前記供給装置の少なくとも一部との一方に気体を給気するとき、前記収容空間と前記供給装置の少なくとも一部との他方に気体を給気しない
　請求項１２２に記載の加工システム。
　収容空間と、
　粉粒体の供給装置と、
　前記供給装置から供給される前記粉粒体を用いて前記収容空間内で加工処理を行う加工装置と
　を備え、
　前記収容空間と前記供給装置の少なくとも一部との一方を大気開放するとき、前記収容空間と前記供給装置の少なくとも一部との他方を大気開放しない
　加工システム。
　前記加工装置と前記供給装置とを遮断可能な遮断装置を備え、
　前記遮断装置により前記加工装置と前記供給装置とを遮断することにより、前記収容空間と前記供給装置の少なくとも一部との一方を大気開放するとき、前記収容空間と前記供給装置の少なくとも一部との他方を大気開放しない
　請求項１２４に記載の加工システム。
　収容空間と、
　粉粒体の供給装置と、
　前記供給装置から供給される前記粉粒体を用いて前記収容空間内で加工処理を行う加工装置と
　を備え、
　前記供給装置からの前記粉粒体の供給に関する情報に基づいて前記収容空間からの気体の排出量を調整する
　加工システム。
　前記供給装置は前記粉粒体を前記収容空間に圧送し、
　前記供給装置が前記粉粒体を圧送する圧力に基づいて前記収容空間からの前記排出量を調整する
　請求項１２６に記載の加工システム。
　前記供給装置の少なくとも一部の空間は、前記供給装置のうち、前記粉粒体の存在する空間である
　請求項１１４から１２７のいずれか一項に記載の加工システム。
　収容部材の内部に形成され且つ物体が収容される収容空間に第１気体を供給することと、
　前記第１気体によってパージされた前記収容空間内で前記物体に対する加工処理を行うことと、
　前記収容空間に供給された前記第１気体を少なくとも含む気体を排気口から排出することと、
　前記収容空間に供給された前記第１気体が前記排気口から排出される前に、前記第１気体を、前記第１気体とは異なる第２気体と混合することと
　を含む加工方法。
　収容部材の内部に形成され且つ物体が収容される収容空間に第１気体を供給することと、
　前記第１気体によってパージされた前記収容空間内で前記物体に対する加工処理を行うことと、
　前記収容空間に供給された前記第１気体を少なくとも含む気体を排気口から排出することと、
　前記収容空間に供給された前記第１気体が前記排気口から排出される前に、前記収容空間に供給された前記気体を希釈することと
　を含む加工方法。