WO2020117123A3 - Dispositif d'ouverture et agencement d'analyseur - Google Patents

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Abstract

L'invention concerne un dispositif d'ouverture (31) pouvant être fixé à un système de lentille (13) comprenant une première extrémité (36), et une seconde extrémité (37) à une certaine distance de la première extrémité (36). Le dispositif d'ouverture comprend une paroi de surface d'extrémité (40) ayant une surface d'extrémité (S) et un moyen d'ouverture (39) comprenant au moins une ouverture (38), le dispositif d'ouverture (31) étant destiné à être agencé de sorte que la surface d'extrémité (S) soit située face à une surface d'échantillon (Ss) qui émet des particules à partir d'une région qui s'étend le long d'une première direction (a). Le système de lentilles (13) est agencé pour former un faisceau de particules chargées, émis à partir de la surface d'échantillon (Ss). Le moyen d'ouverture (39) dans la surface d'extrémité (S) s'étend le long d'une seconde direction (b), le dispositif d'ouverture (31) étant destiné à être agencé de sorte que la seconde direction (b) soit sensiblement alignée le long de la première direction (a) afin de maximiser le nombre de particules qui entrent dans le moyen d'ouverture (39).
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