WO2020116003A1

WO2020116003A1 - 揮発性有機化合物の処理方法および処理システム

Info

Publication number: WO2020116003A1
Application number: PCT/JP2019/038327
Authority: WO
Inventors: 陽司荒川; 智彦岩▲崎▼; 隆裕竹田; 篤吉越; 良介港; 広之遠藤
Original assignee: Panasonic Corp; Taiyo Yuden Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date: 2018-12-03
Filing date: 2019-09-27
Publication date: 2020-06-11
Anticipated expiration: 2021-06-03

Abstract

引火性の高い引火性溶剤を含む有機溶剤を濃縮して燃焼させる場合に、濃縮する際に発火する危険性があった。　揮発性有機化合物を含む原ガスを触媒に吸着させると共に、前記原ガスの一部を前記触媒で改質し放出する工程と、前記触媒に蒸気を通過させ、前記触媒の吸着成分を前記触媒から脱離させる工程と、前記吸着成分と前記蒸気の混合ガスを燃焼させる工程を有することを特徴とする揮発性有機化合物の処理方法は、触媒の吸着成分を蒸気と共に触媒から脱離させるので、発火の危険がすくなくなる。

Description

揮発性有機化合物の処理方法および処理システム

　本発明は積層セラミックコンデンサの製造工程において、粉体と有機溶剤をスラリー状態にし、バインダーとして用いる有機溶剤が引火性の揮発性有機化合物であり、その処理方法およびその方法を実施するシステムに係るものである。特にミネラルスピリットとテルピネオールとの混合溶媒が製造工程で気化し、刺激臭を有する。その排ガスの脱臭を含めて処理する場合に好適に利用できる。

　有機化合物のうち、揮発性有機化合物（以下「有機溶剤」と呼ぶ。）はさまざまな分野で利用され（例えば特許文献１）、有用な効果を奏している。しかし、有機溶剤は最終的には揮発させる。そして、排出される有機溶剤は自然環境に対して大きな環境負荷となる。

　一方、人の健康を保護し生活環境を保全する上で維持されることが望ましい基準として、「環境基準」が環境基本法において設定されており、この環境基準を達成することを目標に、大気汚染防止法に基づいて規制を実施している。大気汚染防止法では、揮発性有機化合物についての排出基準等が定められている。

　ミネラルスピリットは有機溶剤であり、刺激臭を有するものの、さまざまな溶質を溶解する際に用いられる。例えば、本発明で説明する場合のように、積層セラミックコンデンサの製造工程のスクリーン印刷に用いることができる。また、オフセット印刷の工程を有する場合は、高沸点溶剤と併用することで利用される。

　このミネラルスピリットは、ベンゼンなど一部の組成を除いて、細かな成分内容は明確ではない。しかし、有機溶剤（ＶＯＣ）として燃焼等によって最終処理を行い、自然界に排出基準値以下で放出する必要がある。

　このような刺激臭を有する有機溶剤を処理するには、吸着させて濃縮し、燃焼させる方法がとられている。吸着には、活性炭等の多孔質体、キレート材、湿式スクラバー、又はハニカムローター式濃縮装置（特許文献２）といった濃縮装置が用いられる。これは吸着剤（例えば、ゼオライト）を入れたローターに有機溶剤を含む原ガスを通過させ、吸着剤に有機溶剤を吸着させ、乾燥熱風を用いてそれを脱離させ回収するというものである。

　このような濃縮装置を用いると、有機溶剤の含有量の少ない原ガスであっても、濃縮器で濃縮してから脱離させるので、含有濃度の高い被処理ガスを得ることができ、効率的な燃焼処分を行うことができる。

特開２０１５－１６０９５２号公報特開２０１６－１５９２３３号公報

　しかし、引火性の高い物質（以下「引火性溶剤」と呼ぶ。）を含む有機溶剤を処理する場合、濃縮装置で濃縮を行うと、何等かのきっかけで発火するという問題があった。例えば、ミネラルスピリットは、ＪＩＳ工業ガソリン４号に相当する石油系炭化水素の混合溶剤（ターペン・ミネラルスピリット）であり、有機溶剤中毒予防規則（労働安全衛生法）の第３種有機溶剤に該当し、特徴として刺激臭があり、引火点も低く（４３℃）、爆発限界下限値は０．６Ｖｏｌ％、爆発限界上限値は８．０Ｖｏｌ％である引火性溶剤である。ミネラルスピリットは、複数の成分の混合物であり、全成分は明らかにされていない。しかし、トリメチルベンゼンと、ノナンが主原料となっている。したがって、臭気が強いという問題もあった。

　本発明は上記の課題に鑑みて想到されたものであり、引火性溶剤を含む原ガスでも、発火の心配がなく濃縮し処理することができる揮発性有機化合物の処理方法である。

　具体的に本発明に係る揮発性有機化合物の処理方法は、
　揮発性有機化合物を含む原ガスを触媒に吸着させると共に、前記原ガスの一部を前記触媒で改質し放出する工程と、
　前記触媒に蒸気を通過させ、前記触媒の吸着成分を前記触媒から脱離させる工程と、
　前記吸着成分と前記蒸気の混合ガスを燃焼させる工程を有することを特徴とする。

　本発明に係る揮発性有機化合物の処理方法では、原ガス中の揮発性有機化合物を触媒に吸着させることで前記揮発性有機化合物を濃縮する。そして、触媒に吸着した吸着成分を脱離させる際には、高温蒸気を用いて脱離させる。したがって、触媒から脱離した吸着成分は蒸気との混合ガスとなっている。この混合ガスは、熱量を周囲の蒸気中の水分が気化熱として吸収するため、引火しにくいガスとなる。この混合ガスはそのまま燃焼装置に送り燃焼させるので、発火の心配なく原ガス中の揮発性有機化合物を濃縮することができ、揮発性有機化合物を燃焼処理することができる。

　また、触媒で吸着しきれなかった原ガスは、その一部若しくは全部が触媒で無害な有機物に改質され放出される。したがって、放出ガス中の原ガスの揮発性有機化合物の残量は、改質された分だけ少なくなり、大気放出中の原ガス中の揮発性有機化合物の残量を十分に少なくすることができる。

　特に原ガス中で刺激臭の原因であるトリメチルベンゼンおよびノナンが改質によって他の物質になり、放出ガスの刺激臭は、知覚できない程度に低減される。

本発明に係る揮発性有機化合物の処理方法を実現する揮発性有機化合物処理システムの構成を示す図である。改質装置の内部構成を示す図である。改質装置を出た放出ガスＢの臭気センサの測定結果を示すグラフである。改質装置を出た放出ガスＢのガスクロマトグラフ質量分析法（ＴＤ－ＧＣ／ＭＳ法）で調べた結果を示す図である。

　以下に本発明に係る揮発性有機化合物の処理方法について説明する。以下の説明は本発明の一実施形態を説明するものであり、本発明は以下の説明に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、以下の実施形態は改変することができる。

　本発明で処理対象とする引火性溶剤（揮発性有機化合物）は、引火点が４０℃乃至５０℃のものである。そして引火性溶剤を、１０質量％乃至４０質量％含む原ガスが好適な処理対象となる。引火性溶剤の濃度が高い場合は、原ガスを濃縮する必要はなく、そのまま燃焼すればよい。また、引火性溶剤の含有比率が少なければ、そもそも発火の恐れがなく、従来技術のように、濃縮ガスを得ればよい。

　次に、本発明に起因する積層セラミックコンデンサの製造工程を簡単に説明する。Ｂａ及びＴｉを主成分とするセラミック材料粉末を含む複数のセラミックグリーンシートを用意し、このセラミックグリーンシート上に、Ｎｉを導電成分の主成分とする導電性ペーストをスクリーン印刷により塗布する。

　このスクリーン印刷工程で有機溶剤であるミネラルスピリットを用い、内部電極となる導電性ペースト膜を形成する。このときに引火性溶剤であるミネラルスピリットは導電性ペーストとしての役割を有するが、揮発して工場内（以後「現場」とも呼ぶ。）の排気ダクトで集められる。

　また、積層セラミックコンデンサの製造工程では、導電性ペースト膜が形成されていないセラミックグリーンシートを、所定の外層厚みになるように積層する。次いで、導電性ペースト膜が形成されたセラミックグリーンシートを所定枚数積層する。さらに、導電性ペーストが形成されていないセラミックグリーンシートを所定の外層厚みになるように積層することによって、複数の部品本体を取り出すことが可能な生の状態のマザーブロックを得る。

　このマザーブロックを切断し、複数のチップ状部品を取出し、この部品をバッチ炉において還元性雰囲気下で焼成し、焼結したチップ状部品を得る。この焼成の際にも導電性ペースト中の溶剤であるミネラルスピリットは蒸発し、排気ダクトで集められる。

　他方では、平均粒径約１．０μｍの銅粉末と、ガラスフリットに対して、テルピネオールを主成分とする有機溶剤と、この有機溶剤に、アクリル系バインダーを溶解させたワニスを含む混合物を混ぜ、これを分散・混合処理することによって、外部電極用導電性ペーストを作製しておく。

　この外部電極用導電性ペーストは所定の厚みで膜状に形成しておく。この導電性ペースト膜中に、ホルダによって保持された上述のチップ状部品の端部を浸漬後、導電性ペースト膜から取り出すことによって、部品本体の両端面に外部電極となる導電性ペーストを塗布する。この工程でテルピネオールは揮発する成分が発生し、排気ダクトで集められる。

　次に外部電極となる導電性ペーストを焼付けるため、部品本体を炉で熱処理、約９００℃の温度を１０分間保持する。その後、降温して積層セラミックコンデンサを得るものである。この熱処理時に外部電極用導電性ペースト中のテルピネオールは蒸発し、排気ダクトで集められる。

　このように、ミネラルスピリット（引火点：４３℃）、テルピネオール（引火点：８２℃）含有の排ガスは排気ダクト内で混合する。これを「原ガスＡ」と呼ぶ。この混合した状態であってもミネラルスピリットの気化ガスは引火性を有している。そこで、本発明に係る揮発性有機化合物の処理方法により、引火性の高い原ガスＡを安全に処理していく。このように、原ガスＡ中の揮発性有機化合物は、ミネラルスピリットおよびテルピネオールを含む。

　本発明の揮発性有機化合物の処理方法では、原ガスＡ中の揮発性有機化合物を触媒に吸着させ引火性溶剤を触媒に吸着させ除去する。この際に、揮発性有機化合物は触媒上に濃縮される。そして、一部の揮発性有機化合物は改質される。

　触媒上に吸着された吸着成分Ｃは蒸気で触媒から脱離させる。この蒸気は触媒を再生させるという意味で再生用蒸気Ｒと呼ぶ。吸着成分Ｃは揮発性有機化合物と、後述するように触媒で改質された無害物質を含む。なお、ここで無害物質とは、引火性が低く、臭気も強くないもので、引火性および臭気を確認できなくても、発火などの問題なく燃焼できれば足りる。

　吸着成分Ｃは再生用蒸気Ｒによって触媒から脱離させられるので、脱離した際には周囲にミスト状の水分が多量に存在する。したがって、急激な熱量の増加があれば、容易に蒸発し熱量を奪う。つまり、吸着成分Ｃと再生用蒸気Ｒの廃棄混合ガスＤは、引火しにくいガスである。このように、一度触媒に吸着させ、蒸気で脱離させることで、引火性溶剤であっても、安全に処理することができる。廃棄混合ガスＤはそのまま燃焼装置で燃焼させる。

　一方、原ガスＡの揮発性有機化合物は触媒で吸着しきれないものもある。吸着しきれなかった揮発性有機化合物があったとしても、規定された濃度以下の場合は、安全なガスとして大気中に放出することができる。そこで本発明の揮発性有機化合物の処理方法では、吸着に触媒を使用し、吸着できなかった揮発性有機化合物を改質し無臭で無害な物質に変えて放出する。

　より具体的な例で説明すると、触媒で吸収しきれなかった揮発性有機化合物の量（これを「未吸収量」と呼ぶ。）がＭあったとする。もちろんこのＭは原ガスＡ中の揮発性有機化合物の総量からみれば、わずかな量であり、ほとんどの揮発性有機化合物は触媒に吸着される。したがって、未吸収量の全てが揮発性有機化合物であっても、規定の量を下回る。

　具体的に説明すると、未吸収量の５０％が触媒で改質された無害ガスになったとすると、原ガスＡ中の揮発性有機化合物の総量に対して未吸収量の揮発性有機化合物は、Ｍ／２にすることができる。このようにして、原ガスＡ中の揮発性有機化合物の吸着体として触媒を用いることで、触媒を通過したガス中の揮発性有機化合物の残量を低減させることができる。なお、触媒を通過したガスを「放出ガスＢ」と呼ぶ。放出ガスＢはこのまま大気中に放出するこができる。

　吸着および改質用の触媒は、特に限定されるものではない。白金、ルテニウム、パラジウム、ロジウム、アルミナ、マンガンといった代表的な触媒となる物質の単独、混合若しくは合金を利用することができる。触媒は、引火性溶剤の少なくとも一部を改質し、引火点をより高い物質にできればよい。濃縮の工程での発火を抑制できればよいからである。

　特に、ミネラルスピリットとテルピネオールを揮発性有機化合物として含む原ガスＡでは、アルミナのハニカム形状を触媒として好適に用いることができる。

　その理由は、触媒表面の温度を高温にすることなく触媒機能を有する金属として、アルミナのハニカム形状やマンガンのハニカム形状が有効だからである。白金、パラジウムは触媒表面温度を高くしないと触媒機能が活性しない。一方、アルミナ、マンガンは、排気ガス中の空気との化学反応（酸化作用）も利用して、触媒表面の温度を１８０℃以上、３００℃以下で改質できる。

　また、アルミナ（γ－Ａｌ_２Ｏ_３）はアルコールの脱水反応に対して高い活性を持つことは古くから知られている。アルミナは、アルコール類の脱水反応の他にも極性分子の脱離反応、炭化水素の異性化、水素交換反応に使われている。そして、アルミナは、今回の混合溶剤の炭化水素の異性化（低分子化）にも好適に利用できる。

　図１に、本発明に係る揮発性有機化合物の処理方法を実施する揮発性有機化合物の処理システム１の構成を示す。現場１０において、媒質を溶解している混合溶剤は、蒸発させられ原ガスＡとなる。原ガスＡは、具体的にはミネラルスピリットとテルピネオールを含む混合ガスである。現場１０からはダクト等を経由して改質装置２０および改質装置２２に連通している。途中に風圧を供給するためのブロア３１が設けられていてもよい。

　また、原ガスＡには外気Ｗｃを混ぜる冷気混合器３４が設けられていてもよい。原ガスＡが改質装置２０及び改質装置２２に流入する際に温度が上昇するのを抑制することと、原ガスＡの容積当たりの濃度を低くするためである。原ガスＡが送風されるダクトに冷却器を設けてもよい。また冷却器は、改質装置２０及び改質装置２２に個々に設けてもよい。これらは、原ガスＡを冷却する冷却手段と呼ぶ。原ガスＡを冷却しておくことで、触媒に原ガスＡが吸収され濃縮された際に、引火しにくくすることができる。

　改質装置２０及び改質装置２２の現場１０側には、切換装置４１が配置されている。なお切換装置４１はモーターダンパーや、バルブでよい。改質装置２０および改質装置２２の出口側には、切換装置４２が設けられている。切換装置４２はモーターダンパーや、バルブでよい。切換装置４１と切換装置４２の動きは連動している。つまり、原ガスＡを改質装置２０若しくは改質装置２２の何れかに通過させ、放出ガスＢとして放出するように動作する。なお、改質装置は３台以上備わっていてもよい。その場合は、切換装置４１および切換装置４２の部分がさらに分岐し、いずれかの改質装置に原ガスＡを送り、放出ガスＢとして放出させる。

　改質装置２０および改質装置２２は、触媒が充填された容器であり、触媒の再生用蒸気Ｒを供給する蒸気供給源１８が連結されている。また、蒸気供給源１８と改質装置２０および改質装置２２の間にはバルブ４３が配置されており、再生用蒸気Ｒを改質装置２０若しくは改質装置２２の何れかに供給できる。

　図２には、改質装置２０（改質装置２２も全く同じ構造でよい）の内部構造を示す。図２（ａ）は、原ガスＡを改質している状態を表し、図２（ｂ）は、触媒２６を再生している状態を示す。改質装置２０内には、触媒２６が充填されている。改質装置２０の下方には、原ガスＡの取り入れ口２３ｉが形成され、改質装置２０の上方には、放出ガスＢの放出口２３ｏが設けられている。

　また、改質装置２０の内面上部には、再生用蒸気Ｒの噴出口２４ｉが形成されている。また、改質装置２０の下部には、排出口２４ｏが設けられている。

　再び図１を参照して、改質装置２０および改質装置２２の放出口２３ｏからは放出ガスＢが、大気に放出される。また、改質装置２０および改質装置２２の排出口２４ｏは燃焼装置１６に連通する。燃焼装置１６の排気はそのまま大気に排出される。

　以上の構成を有する揮発性有機化合物の処理システム１の動作について図１および図２を参照しながら説明する。現場１０で発生した原ガスＡは、ブロア３１で後段の改質装置２０（若しくは改質装置２２）に送られる。この際に原ガスＡに冷気Ｗｃを加える、若しくはダクトを冷やす等して、原ガスＡを冷却してもよい。

　改質装置２０の取り入れ口２３ｉから内部に導入された原ガスＡ中の揮発性有機化合物は、触媒２６の間を通過することで、触媒２６に吸着される。また、一部は改質され物質構造が変化し、引火点が高くなり無臭で無害なガスとなる。触媒２６を通過した原ガスＡは、放出ガスＢとなる。放出ガスＢは、空気と揮発性有機化合物および改質された揮発性有機化合物で構成される。揮発性有機化合物および改質された揮発性有機化合物は放出ガスＢに対して十分微量（排出基準値以下の量）となる。放出ガスＢは、そのまま放出される。

　触媒２６を通過した原ガスＡ中の揮発性有機化合物は全て吸着されることはなく、触媒２６の状態により一部は触媒２６を通過する。しかし、その一部が改質されることで、実質的な揮発性有機化合物の排出量を低減させることができる。

　次に改質装置２２について説明する。改質装置２０および改質装置２２中の触媒２６は、多孔質体であるため、触媒作用とともに、吸着作用も行う。従って、原ガスＡ中の揮発性有機化合物は、この吸着作用によって、触媒２６に吸着される。結果、触媒２６の表面を覆い、触媒作用を阻害するようになる。

　そこで、一定時間毎に、改質装置２０と改質装置２２を入れ替え、触媒２６の表面が覆われてしまった方の改質装置は再生用蒸気Ｒで触媒２６の表面から吸着成分Ｃを脱離させる。この改質装置２０と改質装置２２との切り替えは、連動して動作する切換装置４１および切換装置４２で行う。また、切換装置の切り換えは一定時間毎に切り換えてもよいし、放出口２３ｏに有機物センサを設けて放出ガスＢ中の引火性溶剤の濃度によって切り換えてもよい。

　図２（ｂ）を参照して、蒸気供給源１８から供給された再生用蒸気Ｒは、噴出口２４ｉから触媒２６に吹き付けられ、触媒２６表面の吸着成分を脱離させる。脱離された吸着成分Ｃは、蒸気と吸着成分Ｃが混ざった廃棄混合ガスＤとなって排出口２４ｏから排出される。廃棄混合ガスＤ中の蒸気には、ミストが存在するので、熱量を吸収しやすく、引火しにくい状態となっている。したがって、濃縮された揮発性有機化合物が吸着成分Ｃ中に残留していても、引火の心配なく脱離排出することができる。

　触媒２６表面の吸着成分Ｃが除去された改質装置は、他方の改質装置の触媒２６表面が使用によって溶剤成分で覆われた後に、入れ替えられる。すなわち、揮発性有機化合物の処理は連続して継続することができる。なお、廃棄混合ガスＤは、燃焼装置１６に送られ燃焼処理される。

　以上のように、本発明に係る揮発性有機化合物の処理システム１は、改質装置を複数用意し、触媒機能が低下してくると、新しい改質装置と入れ替えて処理能力を維持する。入れ替えられた改質装置の触媒は別途再生され、また入れ替えて使用される。

　以下に実施例を示して本発明に係る揮発性有機物の処理方法および処理システムの効果について説明する。

　図１および２の構成を有する処理システム（排気ダクトを５０ｃｍ×５０ｃｍで、処理装置の面風速を３．０ｍ／ｓｅｃとした場合）を用いた放出ガスＢがおよそ４５ｍ^３／ｍｉｎ程度の処理量である。面風速を一般に用いる１．０ｍ／ｓｅｃにするより、３．０ｍ／ｓｅｃと、風速を３倍とすることで、排ガスが改質装置に送られる時間が短縮することができる。

　図３は、臭気センサの測定結果であり、原ガスＡと、改質装置２０を出た放出ガスＢの結果を示す。なお、放出ガスＢは場所が異なる２箇所の位置で測定したので、符号Ｂ１およびＢ２と表示した。横軸は経過時間（日）を表し、縦軸は臭気センサのカウント値である。

　カウント５００以下であれば、そのまま大気放出しても、システムから５０ｍ以上離れると臭気を感じることはなくなる。原ガスＡの状態であれば、システムから２００ｍ以上はなれても、刺激臭を感じる。

　図３に示すように、本発明に係る処理システムを用いると、放出ガスＢからは刺激臭を除去することができる。原ガスＡは、ミネラルスピリットとテルピネオールの混合ガスである。このなかで刺激臭の主な原因となっているのは、トリメチルベンゼンとノナンと考えられる。つまり、図３の結果より、処理システムは放出ガスＢ中のトリメチルベンゼンとノナンを著しく減少させていると考えられる。

　また、テルピネオールは触媒の再生時の蒸気再生ガスに多く含まれていることから、触媒に吸着しやすく、蒸気再生時に混合希釈され、刺激臭も軽減される。

　図４には、放出ガスＢのガスクロマトグラフ質量分析法（ＴＤ－ＧＣ／ＭＳ法）で調べた結果を示す。図４（ａ）は、放出ガスＢの結果であり、図４（ｂ）は再生用蒸気Ｒを吹き付け吸着成分Ｃを伴った廃棄混合ガスＤの検査結果である。図中、トリメチルベンゼンは三角印（▲）、ノナンは四角印（■）、テルピネオールは丸印（●）で表した。

　図４（ａ）を参照して、放出ガスＢ中には、トリメチルベンゼン、ノナン、テルピネオールが検出されている。これらは改質装置２０を通り抜けてきた原ガスＡの成分である。臭気の原因となるトリメチルベンゼン、ノナンは残っているものの、図３の結果より、この程度の漏れであれば、そのまま大気に放出してもよく、所謂規定値以下の濃度である。

　一方図４（ｂ）を参照すると、廃棄混合ガスＤ中には、テルピネオールは検出されるものの、トリメチルベンゼン、ノナンは存在しなかった。原ガスＡは強い刺激臭が確認されるので、多量のトリメチルベンゼンおよびノナンが存在していると考えられる。また、放出ガスＢ中には、臭気が感知できない程度にしか、トリメチルベンゼンおよびノナンは残留していなかった。すると、残りのトリメチルベンゼンおよびノナンは、改質装置２０中に捕捉されていると思われるが、廃棄混合ガスＤ中には、存在しなかったのである。

　すなわち、改質装置２０で捕捉されたトリメチルベンゼンおよびノナンは、改質され、他の物質になったと考えられる。図４（ｂ）では点線で囲った物質Ｘになったと考えられる。これらは、そもそも原ガスＡ中にはなかった物質（ピーク）である。物質Ｘは特定されていないが、テルピネオールと共に、問題なく燃焼されるので、無害物質であるといえる。

　本発明に係る揮発性有機化合物の処理方法は、引火点の低い溶剤を濃縮する場合に好適
に利用することができる。

　１　　揮発性有機化合物の処理システム
　１０　　現場
　１６　　燃焼装置
　１８　　蒸気供給源
　２０　　改質装置
　２２　　改質装置
　２３ｉ　　取り入れ口
　２３ｏ　　放出口
　２４ｉ　　噴出口
　２４ｏ　　排出口
　２６　　触媒
　３１　　ブロア
　４１　　切換装置
　４２　　切換装置
　４３　　バルブ
　Ａ　　原ガス
　Ｂ　　放出ガス
　Ｄ　　廃棄混合ガス
　Ｒ　　再生用蒸気

Claims

　揮発性有機化合物を含む原ガスを触媒に吸着させると共に、前記原ガスの一部を前記触媒で改質し放出する工程と、
　前記触媒に蒸気を通過させ、前記触媒の吸着成分を前記触媒から脱離させる工程と、
　前記吸着成分と前記蒸気の混合ガスを燃焼させる工程を有することを特徴とする揮発性有機化合物の処理方法。
　前記揮発性有機化合物がミネラルスピリットとテルピネオールの混合溶剤であることを特徴とする請求項１に記載された揮発性有機化合物の処理方法。
　前記触媒は、アルミナとチタンで形成されていることを特徴とする請求項２に記載された揮発性有機化合物の処理方法。
　前記原ガスを前記触媒に接触させる前に前記原ガスを冷却する工程を有することを特徴とする請求項１乃至３の何れか一の請求項に記載された揮発性有機化合物の処理方法。
　前記触媒は、トリメチルベンゼンおよびノナンを無害物質に改質することを特徴とする請求項１乃至４の何れか一の請求項に記載された揮発性有機化合物の処理方法。
　揮発性有機化合物を含む原ガスを触媒に吸着させると共に、前記原ガスの一部を前記触媒で改質し放出する改質装置と、
　前記改質装置内の前記触媒に蒸気を供給し、前記触媒の吸着成分を前記触媒から脱離させる再生蒸気供給器と、
　前記吸着成分と前記蒸気の廃棄混合ガスを燃焼させる燃焼装置を有する揮発性有機化合物の処理システム。
　前記改質装置を複数台備え、前記改質装置を切り換える切換装置を有することを特徴とする請求項６に記載された揮発性有機化合物の処理システム。
　前記原ガスを前記触媒に吸着させる前に冷却する冷却手段を有することを特徴とする請求項６また７の何れかに記載された揮発性有機化合物の処理システム。
　前記揮発性有機化合物がミネラルスピリットとテルピネオールの混合溶剤であることを特徴とする請求項６乃至８の何れか一の請求項に記載された揮発性有機化合物の処理システム。
　前記改質装置は、前記原ガスを通過させるアルミナ触媒を有することを特徴とする請求項６乃至９の何れか一の請求項に記載された揮発性有機化合物の処理システム。
　前記改質装置は、トリメチルベンゼンおよびノナンを無害物質に改質することを特徴とする請求項６乃至１０の何れか一の請求項に記載された揮発性有機化合物の処理システム。