WO2020032647A1 - 스캐너, 스캐너 모듈 및 이를 구비한 전자기기 - Google Patents

스캐너, 스캐너 모듈 및 이를 구비한 전자기기 Download PDF

Info

Publication number
WO2020032647A1
WO2020032647A1 PCT/KR2019/010009 KR2019010009W WO2020032647A1 WO 2020032647 A1 WO2020032647 A1 WO 2020032647A1 KR 2019010009 W KR2019010009 W KR 2019010009W WO 2020032647 A1 WO2020032647 A1 WO 2020032647A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
mirror
axis
gimbal
scanner
springs
Prior art date
Application number
PCT/KR2019/010009
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
이병구
박주도
안재용
김상천
Original Assignee
엘지전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지전자 주식회사 filed Critical 엘지전자 주식회사
Priority claimed from KR1020190096443A external-priority patent/KR20200018309A/ko
Publication of WO2020032647A1 publication Critical patent/WO2020032647A1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems

Definitions

  • the present invention relates to a scanner, a scanner module, and an electronic device having the same, and more particularly, to a scanner, a scanner module, and an electronic device having the same, capable of scanning at a wide angle.
  • Optical-based MEMS scanners are being developed for projector-based displays. Recently, MEMS scanners have been adopted for lidar applications such as robots, drones, driving aids such as vehicles, or users in home appliances. .
  • An object of the present invention is to provide a scanner capable of scanning a wide angle, a scanner module and an electronic device having the same.
  • Another object of the present invention is to provide a scanner, a scanner module, and an electronic device having the same, which can reduce the device size while securing a driving torque.
  • Still another object of the present invention is to provide a scanner, a scanner module, and an electronic device having the same, which have improved horizontal resolution, vertical resolution, and beam reflection performance.
  • Still another object of the present invention is to provide a scanner, a scanner module, and an electronic device having the same, which are reinforced with rigidity.
  • a vehicle scanner, a scanner module, and an electronic device including the same, a mirror rotating about a first axis in an indirect manner, a first side and a first side of the mirror First and second mirror springs respectively connected to the two sides, a gimbal connected to the first and second mirror springs and spaced apart from the mirror and disposed around the mirror, and the first side and the second of the gimbals Between a center of the mirror and the gimbal of a second axis reference that intersects the first axis, the first and second gimbal springs connected to the side and at least one coil connected to the first or second gimbal springs. The distance is 1.73 times to 3 times the radius of the mirror.
  • the magnitude of the rotation angle relative to the second axis is at least 30 degrees or more.
  • first and second mirror springs and the first and second gimbal springs may be disposed on the first shaft.
  • the light incident in the third axis direction orthogonal to the first axis and the second axis may be reflected and output from the mirror rotating about the first axis.
  • the distance between the center of the mirror and the gimbal on the basis of the second axis crossing the first axis may be 1.73 times to 2.5 times the radius of the mirror.
  • the semiconductor device may further include a rectangular silicon substrate spaced apart from the outside of the gimbal, and a width of a portion of the silicon substrate between the first axis and the second axis may be constant.
  • the width of the silicon substrate may increase in the first axis direction or the second axis direction.
  • the rear surface of the mirror may further include a first pattern and a second pattern attached to the first side and the second side of the mirror.
  • first pattern and the second pattern may be arc-shaped spaced apart from the circumference of the mirror.
  • a scanner, a scanner module, and an electronic device including the same include: a mirror rotating about a first axis in an indirect manner; a first side and a first side of the mirror; First and second mirror springs respectively connected to the two sides, a gimbal connected to the first and second mirror springs and spaced apart from the mirror and disposed around the mirror, and the first side and the second of the gimbals The distance between the mirror and the gimbal of the first and second gimbal springs connected to the side and at least one coil connected to the first or second gimbal springs, and on a second axis basis intersecting the first axis, 0.73 to 2 times the radius of the mirror.
  • a scanner, a scanner module, and an electronic device having the same include a mirror that rotates about a first axis in an indirect manner, and first and second portions that are connected to first and second sides of the mirror, respectively.
  • a second mirror spring, a gimbal connected to the first and second mirror springs, spaced from the mirror, disposed around the mirror, and first and second gimbals connected to the first and second sides of the gimbal A distance between the center of the mirror and the gimbal, relative to the second axis intersecting the first axis, comprising a spring and at least one coil connected to the first or second gimbal spring, from 1.73 times to 3 times the radius of the mirror. It is a ship. Thus, wide-angle scanning is possible. In addition, it is possible to reduce the device size while securing the driving torque.
  • the size of the rotation angle relative to the second axis is preferably at least 30 degrees or more.
  • the optical angle of the mirror is 120 degrees or more, thus enabling wide-angle scanning.
  • first and second mirror springs and the first and second gimbal springs may be disposed on the first shaft. In this way, the mirror rotates about the first axis in an indirect manner.
  • the light incident in the third axis direction orthogonal to the first axis and the second axis may be reflected and output from the mirror rotating about the first axis.
  • wide-angle scanning in one direction is possible.
  • the distance between the center of the mirror and the gimbal on the basis of the second axis crossing the first axis may be 1.73 times to 2.5 times the radius of the mirror. Accordingly, wide-angle scanning is enabled, and the second axis length of the shape of the scanner is smaller than or equal to the first axis length. As a result, a rhombus scanner can be provided, thus making it possible to reduce costs during scanner manufacture.
  • the semiconductor device may further include a rectangular silicon substrate spaced apart from the outside of the gimbal, and a width of a portion of the silicon substrate between the first axis and the second axis may be constant. As a result, the rigidity is reinforced, and damage to the scanner can be reduced.
  • the width of the silicon substrate may increase in the first axis direction or the second axis direction.
  • the rigidity is reinforced, and damage to the scanner can be reduced.
  • the rear surface of the mirror may further include a first pattern and a second pattern attached to the first side and the second side of the mirror. Accordingly, through the scanner, the horizontal resolution and the vertical resolution and beam reflection performance can be improved.
  • the first pattern and the second pattern may be arc-shaped spaced apart from the circumference of the mirror. Accordingly, through the scanner, the horizontal resolution and the vertical resolution and beam reflection performance can be improved.
  • a scanner, a scanner module, and an electronic device including the same include: a mirror rotating about a first axis in an indirect manner; a first side and a first side of the mirror; First and second mirror springs respectively connected to the two sides, a gimbal connected to the first and second mirror springs and spaced apart from the mirror and disposed around the mirror, and the first side and the second of the gimbals
  • FIG. 1 is a diagram illustrating an electronic device including a scanner according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2A illustrates an internal block diagram of a light output with a scanner in accordance with one embodiment of the present invention.
  • FIG. 2B is a diagram illustrating a scanning method during light projection of the scanner module of FIG. 2A.
  • FIG 3 is a side view of a scanner module according to an embodiment of the present invention.
  • 4A is a diagram illustrating a front surface of a scanner according to an embodiment of the present invention.
  • 4B is a view showing the back of the scanner according to the embodiment of the present invention.
  • FIGS. 4A to 4B are views referred to in the description of FIGS. 4A to 4B.
  • module and “unit” for components used in the following description are merely given in consideration of ease of preparation of the present specification, and do not impart any particular meaning or role by themselves. Therefore, the “module” and “unit” may be used interchangeably.
  • Electronic devices described herein include robots, drones, vehicles, and the like, which can be employed by a lidar for driving, and also include a refrigerator, a washing machine, an air conditioner, an electronic door, and a thermostat for detecting a user or the like. Home appliances, and the like.
  • the scanner described in this specification is a scanner employ
  • FIG. 1 is a diagram illustrating an electronic device including a scanner according to an embodiment of the present invention.
  • the electronic device 200 may include a light output unit 205 for forward light output.
  • the light output unit 205 may be implemented as a scanner.
  • the light output unit 205 may be provided with a scanner according to an embodiment of the present invention, respectively.
  • the scanner in the light output unit 205 can output the scanned light OLa to the front, approximately from several meters to several hundred meters in front.
  • the light output from the light output unit 205 is infrared light, the wavelength may be approximately 900 ⁇ 1550nm.
  • FIG. 2A illustrates an internal block diagram of an optical output having a scanner in accordance with one embodiment of the present invention.
  • the light output unit 205 may output light scanned to the outside of the electronic device.
  • the light output unit 205 preferably uses a laser diode having good linearity as a light source for outputting the scanned light OLa from approximately several meters to several hundred meters forward.
  • the light output unit 205 includes a light source unit 210 for outputting infrared light, and a driver 286 for driving the light source unit 210.
  • the light source unit 210 may output infrared light having a wavelength of approximately 900 to 1550 nm.
  • the light source unit 210 may be driven by an electrical signal from the driver 286, and the electrical signal of the driver 286 may be generated by the control of the processor 170.
  • the infrared light output from the light source unit 210 is collimated through each collimator lens in the light collecting unit 212.
  • the light reflection unit 220 reflects infrared light output from the light source unit 210 or the light collecting unit 212, and outputs the changed infrared light in one direction.
  • the light reflection unit 220 may be provided with a 1D MEMS mirror.
  • the light reflecting unit 220 reflects the infrared light output from the light source unit 210 or the light collecting unit 212 to output the changed infrared light toward the scanner module 240.
  • the line beam forming unit 222 may form light from the light reflecting unit 220 as a line beam. To this end, when the light reflection unit 220 is provided as a 1D MEMS, the line beam forming unit 222 may be excluded.
  • the line beam forming unit 222 may form and output a line beam having a linear shape in consideration of the scanner module 240 capable of only one direction scanning.
  • the light reflection unit 256 may reflect the line beam from the line beam forming unit 222 toward the scanner module 240. To this end, the light reflection unit 256 may be provided as a total mirror (TM).
  • TM total mirror
  • the scanner module 240 may scan the line beam reflected by the light reflection unit 256 in a first direction.
  • the scanner module 240 may sequentially and repeatedly perform the first direction scanning on the input line beam. As a result, the scanned light OL corresponding to the infrared light may be output to the outside.
  • FIG. 2B is a diagram illustrating a scanning method during light projection of the scanner module of FIG. 2A.
  • the light from the light source unit 210 is input to the scanner module 240 through the light reflecting unit 220, the line beam forming unit 222, the light reflecting unit 256, and the like, and is a scanner module.
  • the 240 may sequentially and repeatedly perform the first direction scanning on the input light or the line beam. .
  • the scanner module 240 may perform scanning from left to right with respect to the scannable area in the diagonal direction or the horizontal direction, which is the first direction, with respect to the external area 40. Such a scanning operation may be repeatedly performed on the entire external area 40.
  • infrared light scanned outside can be output.
  • the external region 40 may be divided into a first region 42 and a second region 44.
  • the first area 42 may be an area including the external object 43, that is, an active area 42, and the second area 44 does not include the external object 43. Area, that is, blank area 44.
  • the entire scanning section also includes a first scanning section corresponding to an active area 42 which is an area in which an external object exists, and a blank area 44 that is an area in which no external object exists. It may be divided into a second scanning interval corresponding to.
  • FIG 3 is a side view of a scanner module according to an embodiment of the present invention.
  • the scanner module 240 including a mirror (MR) for reflecting light, magnets (420) disposed on the back of the scanner 410 , 430, a lower case 450 forming a storage space for storing the magnets 420, 430, a yoke 460 corresponding to the magnets 420, 430, and an opening 442 through which the light reflected from the scanner passes.
  • MR mirror
  • It may include an upper case 440 having a).
  • the scanner module 240 may further include a transparent cover part 470 formed of a transparent member to cover the opening 442.
  • the transparent cover part 470 may be disposed on the front surface of the scanner 410 and may be formed of a transparent member to allow light to pass while sealing the opening 442.
  • the upper case 440 may include an inclined portion 441 that contacts a portion of the scanner 410 and extends in a direction from the contact surface with the scanner 410 toward the mirror surface MR.
  • the upper case 540 is reflected from the inclined portion 441 and the mirror surface MR extending in the direction toward the center of the scanner, that is, the mirror surface MR. It may include an opening 442 of a predetermined size to output light to the outside.
  • the size of the opening 442 can be designed to a minimum size such that it does not interfere with the output of light to the outside.
  • the front surface of the inclined portion 441 may be designed to have an inclined surface of a predetermined angle so as not to prevent output of light to the outside.
  • the yoke 460 may be disposed on the rear surface of the lower case 450 that forms a storage space for storing the magnets 420 and 430.
  • the shape of the yoke 460 may correspond to the shape of the magnets 420 and 430, and may be formed of a soft magnetic material.
  • the yoke 460 may be a path of magnetic flux that is formed when a current is applied.
  • the transparent cover 470 may seal the scanner module 240 so that external dust and the like do not flow through the opening 442.
  • the exposure frequency of the scanner 410 and the mirror surface MR with external foreign matter can be minimized.
  • the transparent cover 470 may be inclined to have a predetermined inclination angle with respect to the scanner 410 and may be coupled to the upper case 440.
  • the scanner 410 may be implemented in a rectangular shape.
  • it can be implemented in a rhombus shape.
  • the scanner can be miniaturized, which is advantageous for large scale manufacturing.
  • Figure 4a is a view showing the front of the scanner according to an embodiment of the present invention
  • Figure 4b is a view showing the back of the scanner according to an embodiment of the present invention.
  • the scanner 410 includes a mirror MR that rotates about the first axis Axis in an indirect manner with respect to the first axis and the mirror ( First and second mirror springs MSa and MSb connected to the first and second sides of the MR, respectively, and connected to the first and second mirror springs MSa and MSb, and spaced apart from the mirror MR. Gimbals GB arranged around the mirror MR, first and second gimbal springs GSa and GSb connected to the first and second sides of the gimbals GB, and the first or second ones. At least one coil CLa connected to the gimbal springs GSa and GSb may be included.
  • coils CLa are connected to the first gimbal spring GSa and are connected to the second gimbal spring GSb through the gimbal GB, but one or more coils CLa are
  • the number and path of the coil CLa may be variously modified.
  • the coil may be formed in the gimbal GB through the first gimbal spring GSa and may be connected to the first gimbal spring GSa, and the number of coil turns formed in the gimbal GB may be a plurality of turns. Can be formed.
  • a multilayer coil path may be formed through via holes using a dielectric layer.
  • the number and paths of the coils CLa formed on the gimbal GB may be symmetrically or asymmetrically based on the first axis.
  • the gimbal GB is spaced apart from the mirror MR and disposed around the mirror MR, and may have a donut shape of a circular or elliptical shape as shown in the figure.
  • Openings OPoa and OPob may be formed between the gimbal GB and the mirror MR.
  • the scanner 410 may further include a rectangular silicon substrate (SLC) formed to be spaced apart from the outside of the gimbal (GB).
  • SLC rectangular silicon substrate
  • the drawing illustrates that the silicon substrate SLC has a rhombus shape.
  • the scanner structure is integrated on a diamond-shaped silicon substrate SLC, thereby enabling miniaturization. Therefore, manufacturing cost can be reduced.
  • openings OPa and OPb having a width smaller than the width of the gimbal GB may be formed between the silicon substrate SLC and the gimbal GB.
  • First and second gimbal springs GSa and GSb may be disposed on extension lines of the first and second mirror springs MSa and MSb, and at least one of the first and second gimbal springs GSa and GSb.
  • the coil CLa may be connected.
  • the coil CLa of four lines is connected to the first gimbal spring GSa and is connected to the second gimbal spring GSb through the gimbal GB, but various modifications are possible.
  • the electrical signal When an electrical signal is applied to the at least one coil CLa, the electrical signal may be transmitted to the gimbal GB through the first or second gimbal springs GSa and GSb.
  • a magnetic field and a current may be formed by the magnets 42 and 430 and the at least one coil CLa. Accordingly, the driving force input through the at least one coil CLa may be generated by the gimbals GB and The first and second mirror springs MSa and MSb may be transferred to the mirror MR.
  • the mirror MR is indirectly positioned around the first axis Axis in which the first and second mirror springs MSa and MSb or the first and second gimbal springs GSa and GSb are disposed. , You can rotate.
  • FIG. 4A shows the front surface MRF of the mirror MR
  • FIG. 4B shows the rear surface MRB of the mirror MR.
  • the rear surface MRB of the mirror MR may further include a first pattern PTa and a second pattern PTb attached to the first side and the second side of the mirror MR. Accordingly, through the scanner 410, horizontal resolution, vertical resolution and beam reflection performance may be improved.
  • the first pattern PTa and the second pattern PTb may have arc shapes spaced apart from the circumference of the mirror MR. Accordingly, through the scanner 410, horizontal resolution, vertical resolution and beam reflection performance may be improved.
  • FIGS. 4A to 4B are views referred to in the description of FIGS. 4A to 4B.
  • FIGS. 5A and 5B illustrate a case in which the mirror MR rotates when the distance or distance between the center MRC of the mirror MR and the end GBED of the gimbal GB is Dxa. .
  • 5A and 5B illustrate the case where the mirror MR rotates when the distance or distance between the end MRED of the mirror MR and the end GBED of the gimbal GB is Dxa1. .
  • FIG. 5A illustrates that the mirror MR rotates by the ⁇ angle in the downward direction with respect to the second axis Axisx.
  • FIG. 5B illustrates that the mirror MR is rotated by ⁇ x smaller than the ⁇ angle in the downward direction with respect to the second axis Axisx.
  • the distance or distance between the center MRC of the mirror MR and the end GBED of the gimbal GB is Dxa, or the end MRED of the mirror MR and the end of the gimbal GB GBED Although the distance or the distance between the?) Is Dxa1, the incident light OLi incident on the mirror MR is reflected by the mirror MR and output to the outside without loss.
  • the scanning angle of the mirror MR becomes small as ⁇ x.
  • the present invention proposes a scanner capable of scanning at a wide angle.
  • electronic devices employing a lidar employ a wide angle camera to obtain more image information.
  • a wide angle camera having a viewing angle of about 120 degrees or more is used. Therefore, in order to verify redundancy with the camera in the electronic device employing the lidar, the scanner 410 for electronic devices to be employed in the lidar of the present invention is rotated on the first axis (Axisy) of the mirror MR.
  • the scanner is driven such that the rotation angle with respect to the second axis Axis is at least 30 degrees, that is, the optical angle of the mirror MR is 120 degrees or more. This will be described with reference to FIG. 5C.
  • 5C illustrates a case in which the mirror MR rotates when the distance or distance between the gimbal GB and the mirror MR is Da, which is farther than Dxa.
  • FIG. 5C illustrates that the mirror MR rotates by the ⁇ angle in the downward direction with respect to the second axis Axisx.
  • the incident light OLi incident on the mirror MR is a mirror ( Reflected by the MR, it is output to the outside without loss by the gimbal GB.
  • Da which is an interval or distance between the center MRC of the mirror MR and the end GBED of the gimbal GB, may be calculated by Equation 1 below.
  • R is the radius of the mirror MR
  • ⁇ corresponds to the rotation angle of the mirror MR with respect to the second axis Axisx.
  • the incident light OLi incident on the mirror MR is a mirror ( Reflected by the MR, it is output to the outside without loss by the gimbal GB.
  • Da1 which is an interval or distance between the end portion MRED of the mirror MR and the end portion GBED of the gimbal GB, may be calculated by the following equation (2).
  • Da1 Rcos ( ⁇ ) + Rsin ( ⁇ ) tan (2 ⁇ ) -R
  • the distance or distance between the gimbal GB and the mirror MR may be better for the wide angle scanning.
  • the distance between the gimbal GB and the mirror MR is preferably within a predetermined range for securing the driving torque and scanning the wide angle.
  • An interval between the gimbal GB and the mirror MR will be described with reference to FIGS. 6 to 7D.
  • a scanner 410 includes a mirror MR that rotates about a first axis in an indirect manner and a first side of the mirror MR. And first and second mirror springs MSa and MSb connected to the second side, respectively, and connected to the first and second mirror springs MSa and MSb, and spaced apart from the mirror MR, and the mirror MR. Gimbal (GB) disposed around, and first and second gimbal springs (GSa, GSb) connected to the first side and the second side of the gimbal (GB).
  • the first and second mirror springs MSa and MSb and the first and second gimbal springs GSa and GSb are disposed on the same first axis Axis, and the mirror MR is the first axis Axisy. Can be rotated based on
  • the mirror MR may be circular or elliptical, and hereinafter, the mirror MR will be described.
  • the radius of the mirror MR is R and the length Ls of the first and second mirror springs MSa and MSb is Ls, the center MRC of the mirror MR on the first axis basis.
  • the gimbal GB are R + Ls.
  • Da which is the distance between the center MRC of the mirror MR and the gimbal GB, on the basis of the second axis Axis, the center MRC of the mirror MR on the first axis of reference. It may be less than or equal to the distance between the gimbal (GB) and (R + Ls).
  • Da which is the distance between the center MRC of the mirror MR and the gimbal GB, on the basis of the second axis Axis, is the center of the mirror MR, on the basis of the first axis.
  • R + Ls the distance between the MRC
  • GB the gimbal
  • Da which is a distance between the center MRC of the mirror MR and the gimbal GB, may correspond to 2.5 times the radius R of the mirror MR.
  • FIG. 7A illustrates an ellipse CRLb smaller than an ellipse of the gimbal GB of the scanner 410 of FIG. 6, and FIG. 7B illustrates an ellipse CHLb of FIG. 7A.
  • the distance between the center MRC of the mirror MR and the gimbal GB is exemplified by the scanner 410b.
  • the optical angle of the mirror MR is 120 degrees or more, the second axis Axisx at the time of the reference rotation of the first axis Axis of the mirror MR of the scanner 410b of FIG. 7B. It is preferable that the magnitude of the rotation angle is greater than or equal to 30 degrees.
  • the size of the rotation angle with respect to the second axis Axisx is greater than +30 degrees or less than -30 degrees.
  • the distance between the center MRC of the mirror MR and the gimbal GB is Db corresponds to 1.73 times the radius R of the mirror MR.
  • the distance between the center of the mirror MRC and the gimbal GB on the basis of the second axis Axis crossing the first axis Axis is the radius of the mirror MR. It is preferable that it is 1.73 times or more of R).
  • the scanner 410b of FIG. 7B and the scanner 410 of FIG. 6 since the length of the first axis direction is longer than the length of the second axis axis direction, the scanner of FIG. 7B ( 410b and the scanner 410 of FIG. 6 may be implemented in a rhombus shape.
  • the distance between the center MRC of the mirror MR and the gimbal GB on the basis of the second axis Axisx crossing the first axis Axis is the mirror MR. It is preferable that they are 1.73 times-2.5 times the radius R of.
  • the distance between the mirror MR and the gimbal GB on the basis of the second axis Axis crossing the first axis Axis is the radius R of the mirror MR. Is preferably 0.73 to 1.5 times.
  • the shape of the scanner 410 may be a shape other than a rhombus shape. This will be described with reference to FIGS. 7C to 7D.
  • FIG. 7C illustrates an ellipse CRLc larger than an ellipse of the gimbal GB of the scanner 410 of FIG. 6, and FIG. 7D illustrates an ellipse CRLc of FIG. 7C.
  • the distance between the center MRC of the mirror MR and the gimbal GB on the basis of the second axis Axisx exemplifies the scanner 410c, which is increased to Dc.
  • the optical angle of the mirror MR is 120 degrees or more, the second axis Axisx at the time of the reference rotation of the first axis Axis of the mirror MR of the scanner 410c of FIG. 7D. It is preferable that the magnitude of the rotation angle is greater than 30 degrees.
  • the scanner 410c in FIG. 7D since the length in the second axis direction is greater than or equal to the length in the first axis direction, the scanner 410c in FIG. 7D is not a rhombus but a square. In shape, it is preferably implemented. In particular, it may be implemented in a square shape.
  • the distance Dc between the center of the mirror MRC and the gimbal GB on the basis of the second axis Axisx crossing the first axis Axis is the radius R of the mirror MR. It can correspond to 3 times.
  • the distance between the center MRC of the mirror MR and the gimbal GB on the basis of the second axis Axisx crossing the first axis Axis is the mirror MR. It is preferable that it is 1.73 times-3 times of the radius R of.
  • the distance between the mirror MR and the gimbal GB on the basis of the second axis Axis crossing the first axis Axis is the radius R of the mirror MR. It is preferable that they are 0.73 times-2 times.
  • Figure 8A illustrates a scanner 410x for comparison with the present invention.
  • the scanner 410x of FIG. 8A includes a mirror MRx, first and second mirror springs MSax and MSbx, gimbals GBx, and a first inside a rhombus-shaped silicon substrate SLCx.
  • the second gimbal springs GSax and GSbx are formed.
  • the silicon substrate between the first axis Axis based on the first and second mirror springs MSax and MSbx and the second axis Axiss perpendicular to the first and second mirror springs MSax and MSbx ( The corner area Arsx of the SLCx may be enlarged as shown in FIG. 8A.
  • the width of the rhombus-shaped silicon substrate SLCx between the first and second axes is toward the first axis or toward the second axis. Increasingly, the width becomes smallest at approximately 45 degrees between the first axis and the second axis, Axisx. Therefore, the possibility of breakage of the silicon substrate SLCx increases.
  • the width of a portion of the silicon substrate SLC between the first axis and the second axis Axisx is designed to be constant. As a result, rigidity is reinforced, and damage to the scanner 410 can be reduced.
  • FIG. 8B illustrates a scanner 410 for in accordance with an embodiment of the present invention.
  • the scanner 410 of FIG. 8B includes a mirror MR, first and second mirror springs MSa and MSb, gimbals GB, and first and second rhombus-shaped silicon substrates SLC.
  • second gimbal springs GSa and GSb are formed.
  • the silicon substrate between the first axis Axis of the first and second mirror springs MSa and MSb and the second axis Axiss orthogonal to the first and second mirror springs MSa and MSb ( The corner area Ars of the SLC may be enlarged as shown in FIG. 8B.
  • the width of the partial region Ars of the silicon substrate SLC between the first axis Axis and the second axis Axisx is constant as Dfm, and the area around the partial region Ars ( DFn) may become larger toward the first axis or toward the second axis Axisx.
  • the width of the partial region Ars in the vicinity of approximately 45 degrees between the first axis Axis and the second axis Axisx becomes constant at Dfm, so that a stable width can be secured as compared with FIG. 8A. do.
  • the distance between the gimbal GB and the mirror corresponding to the partial region Ars in the scanner 410 according to the embodiment of the present invention is the first and second mirrors. It may be smaller than Ls, which is the length of the springs MSa and MSb.
  • gimbals GB may be formed inside the CRL corresponding to the dotted line of FIG. 6. As a result, rigidity is reinforced, and damage to the scanner 410 can be reduced.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)

Abstract

본 발명은 스캐너, 스캐너 모듈 및 이를 구비한 전자기기에 관한 것이다. 본 발명의 차량용 스캐너는, 인다이렉트(indirect) 방식으로 제1 축을 기준으로 회전하는 미러와, 미러의 제1 측 및 제2 측에 각각 연결되는 제1 및 제2 미러 스프링과, 제1 및 제2 미러 스프링에 연결되며, 미러와 이격되어, 미러 주위에 배치되는 짐벌(gimbal)과, 짐벌의 제1 측 및 제2 측에 연결되는 제1 및 제2 짐벌 스프링과, 제1 또는 제2 짐벌 스프링에 연결되는 적어도 하나의 코일을 포함하고, 제1 축에 교차하는 제2 축 기준의, 미러의 중심과 짐벌 사이의 거리는, 미러의 반경의 1.73배 내지 3배이다.이에 따라, 광각의 스캐닝이 가능하게 된다. 또한, 구동 토크를 확보하면서, 소자 크기를 저감할 수 있게 된다.

Description

스캐너, 스캐너 모듈 및 이를 구비한 전자기기
본 발명은 스캐너, 스캐너 모듈 및 이를 구비한 전자기기에 관한 것이며, 더욱 상세하게는 광각의 스캐닝이 가능한 스캐너, 스캐너 모듈 및 이를 구비한 전자기기에 관한 것이다.
광학 기반의 멤스 스캐너(mems scaner)는, 프로젝터 기반의 디스플레이용으로 개발되고 있으며, 최근에는 로봇, 드론, 차량 등의 주행 보조 또는 홈 어플라이언스 등에서의 사용자 등의 감지를 위해, 라이다 등에 채용되고 있다.
멤스 스캐너가, 주행 보조 또는 사용자 감지 등을 위해 사용되는 경우, 신뢰성 확보를 위해, 최저 주파수, 구동각, 미러 크기 등을 고려한 연구가 진행되고 있다.
본 발명의 목적은, 광각의 스캐닝이 가능한 스캐너, 스캐너 모듈 및 이를 구비한 전자기기를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 구동 토크를 확보하면서, 소자 크기를 저감할 수 있는 스캐너, 스캐너 모듈 및 이를 구비한 전자기기를 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 수평 분해능 및 수직 분해능과 빔 반사 성능이 향상된 스캐너, 스캐너 모듈 및 이를 구비한 전자기기를 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 강성이 보강된 스캐너, 스캐너 모듈 및 이를 구비한 전자기기를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 차량용 스캐너, 스캐너 모듈 및 이를 구비한 전자기기는, 인다이렉트(indirect) 방식으로 제1 축을 기준으로 회전하는 미러와, 미러의 제1 측 및 제2 측에 각각 연결되는 제1 및 제2 미러 스프링과, 제1 및 제2 미러 스프링에 연결되며, 미러와 이격되어, 미러 주위에 배치되는 짐벌(gimbal)과, 짐벌의 제1 측 및 제2 측에 연결되는 제1 및 제2 짐벌 스프링과, 제1 또는 제2 짐벌 스프링에 연결되는 적어도 하나의 코일을 포함하고, 제1 축에 교차하는 제2 축 기준의, 미러의 중심과 짐벌 사이의 거리는, 미러의 반경의 1.73배 내지 3배이다.
한편, 미러의 제1 축 기준 회전시, 제2 축 대비 회전 각도의 크기는 최소 30도 이상이다.
한편, 제1 및 제2 미러 스프링과 제1 및 제2 짐벌 스프링은, 제1 축 상에 배치될 수 있다.
한편, 제1 축 및 제2 축에 직교하는 제3 축 방향으로 입사된 광이, 제1 축 기준으로 회전하는 미러에서 반사되어 출력될 수 있다.
한편, 제1 축에 교차하는 제2 축 기준의, 미러의 중심과 짐벌 사이의 거리는, 미러의 반경의 1.73배 내지 2.5배일 수 있다.
한편, 짐벌의 외측에 이격되어 형성되는 사각 형상의 실리콘 기판을 더 포함하고, 제1 축과 제2 축 사이의 실리콘 기판의 일부 영역의 폭이 일정할 수 있다.
한편, 실리콘 기판의 폭은, 일부 영역에서, 제1 축 또는 제2 축 방향으로 갈수록 커질 수 있다.
한편, 미러의 배면에, 미러의 제1 측 및 제2 측에 부착되는 제1 패턴 및 제2 패턴을 더 포함할 수 있다.
한편, 제1 패턴 및 제2 패턴은, 미러의 원주에 이격되는 호 형상일 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 스캐너, 스캐너 모듈 및 이를 구비한 전자기기는, 인다이렉트(indirect) 방식으로 제1 축을 기준으로 회전하는 미러와, 미러의 제1 측 및 제2 측에 각각 연결되는 제1 및 제2 미러 스프링과, 제1 및 제2 미러 스프링에 연결되며, 미러와 이격되어, 미러 주위에 배치되는 짐벌(gimbal)과, 짐벌의 제1 측 및 제2 측에 연결되는 제1 및 제2 짐벌 스프링과, 제1 또는 제2 짐벌 스프링에 연결되는 적어도 하나의 코일을 포함하고, 제1 축에 교차하는 제2 축 기준의, 미러와 짐벌 사이의 거리는, 미러의 반경의 0.73배 내지 2배이다.
본 발명의 실시예에 따른 스캐너, 스캐너 모듈 및 이를 구비한 전자기기는, 인다이렉트 방식으로 제1 축을 기준으로 회전하는 미러와, 미러의 제1 측 및 제2 측에 각각 연결되는 제1 및 제2 미러 스프링과, 제1 및 제2 미러 스프링에 연결되며, 미러와 이격되어, 미러 주위에 배치되는 짐벌(gimbal)과, 짐벌의 제1 측 및 제2 측에 연결되는 제1 및 제2 짐벌 스프링과, 제1 또는 제2 짐벌 스프링에 연결되는 적어도 하나의 코일을 포함하고, 제1 축에 교차하는 제2 축 기준의, 미러의 중심과 짐벌 사이의 거리는, 미러의 반경의 1.73배 내지 3배이다. 이에 따라, 광각의 스캐닝이 가능하게 된다. 또한, 구동 토크를 확보하면서, 소자 크기를 저감할 수 있게 된다.
한편, 미러의 제1 축 기준 회전시, 제2 축 대비 회전 각도의 크기는 최소 30도 이상인 것이 바람직하다. 이에 따라, 미러의 광학각이 120도 이상이며, 따라서, 광각의 스캐닝이 가능하게 된다.
한편, 제1 및 제2 미러 스프링과 제1 및 제2 짐벌 스프링은, 제1 축 상에 배치될 수 있다. 이에 따라, 인다이렉트 방식으로, 미러가, 제1 축을 기준으로 회전하게 된다.
한편, 제1 축 및 제2 축에 직교하는 제3 축 방향으로 입사된 광이, 제1 축 기준으로 회전하는 미러에서 반사되어 출력될 수 있다. 이에 따라, 일방향의 광각의 스캐닝이 가능하게 된다.
한편, 제1 축에 교차하는 제2 축 기준의, 미러의 중심과 짐벌 사이의 거리는, 미러의 반경의 1.73배 내지 2.5배일 수 있다. 이에 따라, 광각의 스캐닝이 가능하게 되며, 또한, 스캐너의 형상의 제2 축 길이가, 제1 축 길이 보다 작거나 같게 된다. 이에, 마름모 형상의 스캐너를 제공할 수 있으며, 따라서, 스캐너 제조시 비용 저감이 가능하게 된다.
한편, 짐벌의 외측에 이격되어 형성되는 사각 형상의 실리콘 기판을 더 포함하고, 제1 축과 제2 축 사이의 실리콘 기판의 일부 영역의 폭이 일정할 수 있다. 이에 따라, 강성이 보강되어, 스캐너의 파손을 저감할 수 있게 된다.
한편, 실리콘 기판의 폭은, 일부 영역에서, 제1 축 또는 제2 축 방향으로 갈수록 커질 수 있다. 이에 따라, 강성이 보강되어, 스캐너의 파손을 저감할 수 있게 된다.
한편, 미러의 배면에, 미러의 제1 측 및 제2 측에 부착되는 제1 패턴 및 제2 패턴을 더 포함할 수 있다. 이에 따라, 스캐너를 통해, 수평 분해능 및 수직 분해능과 빔 반사 성능이 향상될 수 있게 된다.
한편, 제1 패턴 및 제2 패턴은, 미러의 원주에 이격되는 호 형상일 수 있다. 이에 따라, 스캐너를 통해, 수평 분해능 및 수직 분해능과 빔 반사 성능이 향상될 수 있게 된다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 스캐너, 스캐너 모듈 및 이를 구비한 전자기기는, 인다이렉트(indirect) 방식으로 제1 축을 기준으로 회전하는 미러와, 미러의 제1 측 및 제2 측에 각각 연결되는 제1 및 제2 미러 스프링과, 제1 및 제2 미러 스프링에 연결되며, 미러와 이격되어, 미러 주위에 배치되는 짐벌(gimbal)과, 짐벌의 제1 측 및 제2 측에 연결되는 제1 및 제2 짐벌 스프링과, 제1 또는 제2 짐벌 스프링에 연결되는 적어도 하나의 코일을 포함하고, 제1 축에 교차하는 제2 축 기준의, 미러와 짐벌 사이의 거리는, 미러의 반경의 0.73배 내지 2배이다. 이에 따라, 광각의 스캐닝이 가능하게 된다. 또한, 구동 토크를 확보하면서, 소자 크기를 저감할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스캐너를 구비하는 전자기기를 도시한 도면이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 스캐너를 구비하는 광 출력부의 내부 블록도를 예시한다.
도 2b는 도 2a의 스캐너 모듈의 광 투사시의 스캐닝 방법을 예시하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 스캐너 모듈의 측면도이다.
도 4a는 본 발명의 실시예에 따른 스캐너의 전면을 도시한 도면이다.
도 4b는 본 발명의 실시예에 따른 스캐너의 배면을 도시한 도면이다.
도 5a 내지 도 8b는 도 4a 내지 도 4b의 설명에 참조되는 도면이다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.
이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 단순히 본 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되는 것으로서, 그 자체로 특별히 중요한 의미 또는 역할을 부여하는 것은 아니다. 따라서, 상기 "모듈" 및 "부"는 서로 혼용되어 사용될 수도 있다.
본 명세서에서 기술되는 전자기기는, 주행을 위해 라이다 등이 채용 가능한 로봇, 드론, 차량 등을 포함하며, 아울러, 사용자 등의 감지를 위한, 냉장고, 세탁기, 에어컨, 전자 도어, 자동 온도 조절 장치 등의 홈 어플라이언스 등을 포함할 수 있다.
한편, 본 명세서에서 기술되는 스캐너는, 라이다(Lidar) 등에 채용되는 스캐너로서, 전방에 광을 출력한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스캐너를 구비하는 전자기기를 도시한 도면이다.
도면을 참조하면, 전자기기(200)는, 전방으로의 광출력을 위해, 광 출력부(205)를 구비할 수 있다. 한편, 광 출력부(205)는, 스캐너로 구현될 수 있다.
한편, 광 출력부(205)는, 본 발명의 일 실시예에 따른 스캐너를 각각 구비할 수 있다.
예를 들어, 광 출력부(205) 내의 스캐너는, 대략, 수 미터에서 수백 미터 전방까지, 스캐닝된 광(OLa)을, 전방에 출력할 수 있다.
한편, 광 출력부(205)에서 출력되는 광은 적외선 광으로서, 그 파장이, 대략 900~1550nm일 수 있다.
도 2a는 본 발명의 일실시예에 따른 스캐너를 구비하는 광 출력부의 내부 블록도를 예시한다.
도면을 참조하면, 광 출력부(205)는, 전자기기의 외부에 스캐닝된 광을 출력할 수 있다.
광 출력부(205)는, 대략, 수 미터에서 수백 미터 전방까지, 스캐닝된 광(OLa)을, 출력하기 위해, 광원으로서, 직진성이 좋은 레이저 다이오드를 사용하는 것이 바람직하다.
한편, 광 출력부(205)는, 적외선 광을 출력하는 광원부(210)와, 광원부(210)를 구동하는 구동부(286)를 구비한다.
예를 들어, 광원부(210)는, 대략 900~1550nm의 파장을 가지는 적외선 광을 출력할 수 있다.
한편, 광원부(210)는, 구동부(286)로부터의 전기 신호에 의해, 구동될 수 있으며, 이러한 구동부(286)의 전기 신호는, 프로세서(170)의 제어에 의해, 생성될 수 있다.
광원부(210)에서 출력되는 적외선 광은, 집광부(212) 내의 각 집광 렌즈(collimator lens)를 통해, 시준된다(collimate).
광반사부(220)는, 광원부(210) 또는 집광부(212)에서 출력되는 적외선 광을 반사하여, 경로 변경된 적외선 광을 일 방향으로 출력한다. 이를 위해, 광반사부(220)는, 1D MEMS 미러를 구비할 수 있다.
예를 들어, 광반사부(220)는, 광원부(210) 또는 집광부(212)에서 출력되는 적외선 광을 반사하여, 경로 변경된 적외선 광을, 스캐너 모듈(240) 방향으로 출력하도록 한다.
한편, 라인빔 형성부(222)는, 광반사부(220)로부터의 광을 라인빔으로 형성할 수 있다. 이를 위해, 광반사부(220)를 1D MEMS로 구비하는 경우, 라인빔 형성부(222)는 제외될 수 있다.
특히, 라인빔 형성부(222)는, 일방향 스캐닝만 가능한, 스캐너 모듈(240)을 고려하여, 일자 형태의 라인빔을 형성하여 출력할 수 있다.
다음, 광반사부(256)는, 라인빔 형성부(222)로부터의 라인빔을 스캐너 모듈(240) 방향으로 반사시킬 수 있다. 이를 위해, 광반사부(256)는, Total Mirror(TM)로 구비할 수 있다.
한편, 스캐너 모듈(240)은, 광반사부(256)에서 반사된 라인빔을, 제1 방향 스캐닝되도록 할 수 있다.
즉, 스캐너 모듈(240)은, 입력되는 라인빔을 제1 방향 스캐닝을 순차적으로 반복적으로 수행할 수 있다. 이에 의해, 외부로 적외선 광에 대응하는 스캐닝된 광(OL)이 출력될 수 있다.
도 2b는 도 2a의 스캐너 모듈의 광 투사시의 스캐닝 방법을 예시하는 도면이다.
도면을 참조하면, 광원부(210)로부터의 광은, 광반사부(220), 라인빔 형성부(222), 광반사부(256) 등을 거쳐, 스캐너 모듈(240)로 입력되며, 스캐너 모듈(240)은, 입력되는 광 또는 라인빔에 대해, 제1 방향 스캐닝을 순차적으로, 그리고 반복적으로 수행할 수 있다. .
도면과 같이, 스캐너 모듈(240)은, 스캐닝 가능한 영역을 중심으로, 외부 영역(40)에 대해, 제1 방향인 사선 방향 또는 수평 방향으로, 좌에서 우로 스캐닝을 수행할 수 있다. 그리고, 이와 같은 스캐닝 동작을, 외부 영역(40)의 전체에 대해, 반복하여 수행할 수 있다.
이러한 스캐닝 동작에 의해, 외부에 스캐닝된 적외선 광을 출력할 수 있게 된다.
한편, 외부 영역(40)은, 도 2b와 같이, 제1 영역(42)과 제2 영역(44)으로 구분될 수 있다. 여기서, 제1 영역(42)은, 외부 대상물(43)을 포함하는 영역, 즉 유효 영역(active area)(42)일 수 있으며, 제2 영역(44)은, 외부 대상물(43)을 포함하지 않는 영역, 즉 블랭크 영역(blank area)(44)일 수 있다.
이에 따라, 전체 스캐닝 구간도, 외부 대상물이 존재하는 영역인 유효 영역(active area)(42)에 대응하는 제1 스캐닝 구간과, 외부 대상물이 존재하지 않는 영역인 블랭크 영역(blank area)(44)에 대응하는 제2 스캐닝 구간으로 구분될 수도 있다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 스캐너 모듈의 측면도이다.
도면들을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 스캐너 모듈(240)은, 광을 반사하는 미러(MR)을 포함하는 스캐너(410), 스캐너(410)의 후면에 배치되는 자석(magnet, 420, 430), 자석(420, 430)을 수납하는 수납 공간을 형성하는 하부 케이스(450), 자석(420, 430)에 대응하는 요크(460), 및 스캐너에서 반사되는 광이 통과하는 개구부(442)를 구비하는 상부 케이스(440)를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 스캐너 모듈(240)는, 투명 부재로 형성되어 개구부(442)를 커버하는 투명 커버부(470)를 더 포함할 수 있다.
즉, 투명 커버부(470)는, 스캐너(410)의 전면에 배치되고, 개구부(442)를 밀폐시키면서도 광이 통과할 수 있도록 투명 부재로 형성될 수 있다.
한편, 상부 케이스(440)는, 스캐너(410)의 일부와 접촉하고, 스캐너(410)와의 접촉면에서 미러면(MR)를 향하는 방향으로 연장되는 경사부(441)를 구비할 수 있다.
도면들을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 상부 케이스(540)는, 스캐너의 중앙부, 즉 미러면(MR)를 향하는 방향으로 연장되는 경사부(441)와 미러면(MR)에서 반사되는 광을 외부로 출력시키기 위하여 소정 크기의 개구부(442)를 포함할 수 있다.
이 경우에, 개구부(442)의 크기는 광을 외부로 출력시키는 것을 방해하지 않는 정도의 최소 크기로 설계될 수 있다.
또한, 경사부(441)의 전면은 광을 외부로 출력시키는 것을 방해하지 않기 위해 소정 각도의 경사면을 가지도록 설계될 수 있다.
요크(yoke, 460)는, 자석(420, 430)을 수납하는 수납 공간을 형성하는 하부 케이스(450)의 후면에 배치될 수 있다.
요크(460)의 형상은 자석(420, 430)의 형상에 대응할 수 있고, 연자성 재료로 형성될 수 있다. 한편, 요크(460)는, 전류가 인가되는 경우 형성되는 자속(magnetic flux)의 통로가 될 수 있다.
투명 커버부(470)는 개구부(442)를 통하여 외부의 먼지 등이 유입되지 않도록 스캐너 모듈(240)를 밀폐시킬 수 있다.
이에 따라, 스캐너(410) 및 미러면(MR)의 외부 이물질과의 노출빈도를 최소화할 수 있다.
한편, 투명 커버부(470)는, 스캐너(410)에 대해 소정 경사각을 가지도록 기울어져 상부 케이스(440)에 결합될 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 스캐너(410)는, 도면과 같이, 사각형의 형상으로 구현될 수 있다. 특히 마름모 형상으로 구현될 수 있다. 이에 의하면, 스캐너를 소형화 하여 대규모 제조에 유리하게 된다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 스캐너(410)에 대한 설명은, 도 4a 이하를 참조하여 보다 상세히 기술한다.
도 4a는 본 발명의 실시예에 따른 스캐너의 전면을 도시한 도면이고, 도 4b는 본 발명의 실시예에 따른 스캐너의 배면을 도시한 도면이다.
도면을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 스캐너(410)는, 인다이렉트 방식으로 제1 축을 기준으로 인다이렉트 방식으로 제1 축(Axisy)을 기준으로 회전하는 미러(MR)와, 미러(MR)의 제1 측 및 제2 측에 각각 연결되는 제1 및 제2 미러 스프링(MSa,MSb)과, 제1 및 제2 미러 스프링(MSa,MSb)에 연결되며, 미러(MR)와 이격되어, 미러(MR) 주위에 배치되는 짐벌(GB)과, 짐벌(GB)의 제1 측 및 제2 측에 연결되는 제1 및 제2 짐벌 스프링(GSa,GSb)과, 제1 또는 제2 짐벌 스프링(GSa,GSb)에 연결되는 적어도 하나의 코일(CLa)을 포함할 수 있다.
도면에서는, 네개의 코일(CLa)이, 제1 짐벌 스프링(GSa)에 연결되고, 짐벌(GB) 을 통해 제2 짐벌 스프링(GSb)에 연결되는 것을 예시하나 하나 혹은 하나 이상의 코일(CLa)이 형성될 수 있으며, 코일(CLa)의 갯수와 경로는 다양한 변형이 가능하다. 예를 들어, 코일은 제1 짐벌 스프링(GSa)을 통해 짐벌(GB)에 형성되고 다시 제 1 짐벌 스프링(GSa)으로 연결될 수 있으며, 짐벌(GB)에 형성되는 코일 Turn 수는 다수의 Turn 을 형성할 수 있다. 다수의 코일 Turn 을 형성하는 경우에는, 유전체 층을 이용한 Via Hole로 다층 코일 경로를 형성 할 수 있다. 또한 짐벌(GB)에 형성되는 코일(CLa)의 개수와 경로는, 제 1축(Axisy) 기준 대칭 또는 비대칭으로 형성할 수 있다.
짐벌(GB)은, 미러(MR)와 이격되어, 미러(MR) 주위에 배치되며, 도면과 같이, 원형 또는 타원형의 도넛 형상을 가질 수 있다.
짐벌(GB)과 미러(MR) 사이에는 개구(OPoa, OPob)가 형성될 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 스캐너(410)는, 짐벌(GB)의 외측에 이격되어 형성되는 사각 형상의 실리콘 기판(SLC)을 더 포함할 수 있다.
특히, 도면에서는, 실리콘 기판(SLC)이 마름모 형상인 것을 예시한다. 이에 따라, 마름모 형상의 실리콘 기판(SLC)에 스캐너 구조를 집적화 시켜 소형화를 가능하게 된다. 따라서, 제조 비용을 저감할 수 있게 된다..
한편, 실리콘 기판(SLC)과 짐벌(GB) 사이에는, 짐벌(GB)의 폭 보다 작은 폭을 가지는 개구(OPa,OPb)가 형성될 수 있다.
제1 및 제2 미러 스프링(MSa,MSb)의 연장선에, 제1 및 제2 짐벌 스프링(GSa,GSb)이 배치될 수 있으며, 제1 또는 제2 짐벌 스프링(GSa,GSb)에 적어도 하나의 코일(CLa)이 연결될 수 있다.
도면에서는, 네개의 라인의 코일 (CLa)이, 제1 짐벌 스프링(GSa)에 연결되고, 짐벌(GB)을 통해 제2 짐벌 스프링(GSb)에 연결되는 것을 예시하나, 다양한 변형이 가능하다.
적어도 하나의 코일(CLa)에 전기 신호가 인가되는 경우, 전기 신호는, 제1 또는 제2 짐벌 스프링(GSa,GSb)을 통해, 짐벌(GB)에 전달될 수 있다.
한편, 자석(42,430)과, 적어도 하나의 코일(CLa)에 의해 자기장과 전류가 형성될 수 있으며, 이에 따라, 적어도 하나의 코일(CLa))을 통해 입력되는 구동력이, 짐벌(GB), 제1 및 제2 미러 스프링(MSa,MSb)을 거쳐, 미러(MR)에 전달될 수 있다.
따라서, 미러(MR)는, 인다이렉트 방식으로, 제1 및 제2 미러 스프링(MSa,MSb) 또는 제1 및 제2 짐벌 스프링(GSa,GSb)이 배치되는 제1 축(Axisy)을 중심으로, 회전할 수 있게 된다.
도 4a는, 미러(MR)의 전면(MRF)이 도시되며, 도 4b는, 미러(MR)의 배면(MRB)이 도시된다.
한편, 미러(MR)의 배면(MRB)에, 미러(MR)의 제1 측 및 제2 측에 부착되는 제1 패턴(PTa) 및 제2 패턴(PTb)을 더 포함할 수 있다. 이에 따라, 스캐너(410)를 통해, 수평 분해능 및 수직 분해능과 빔 반사 성능이 향상될 수 있게 된다.
한편, 제1 패턴(PTa) 및 제2 패턴(PTb)은, 미러(MR)의 원주에 이격되는 호 형상일 수 있다. 이에 따라, 스캐너(410)를 통해, 수평 분해능 및 수직 분해능과 빔 반사 성능이 향상될 수 있게 된다.
도 5a 내지 도 8b는 도 4a 내지 도 4b의 설명에 참조되는 도면이다.
먼저, 도 5a와 도 5b는, 미러(MR)의 중심(MRC)과 짐벌(GB)의 단부(GBED) 사이의 간격 또는 거리가, Dxa인 경우, 미러(MR)가 회전하는 경우를 예시한다.
또한, 도 5a와 도 5b는, 미러(MR)의 단부(MRED)와 짐벌(GB)의 단부(GBED) 사이의 간격 또는 거리가, Dxa1인 경우, 미러(MR)가 회전하는 경우를 예시한다.
특히, 도 5a는, 미러(MR)가, 제2 축(Axisx) 대비, 아래 방향으로, θ 각도 만큼 회전하는 것을 예시한다.
이때, 미러(MR)의 중심(MRC)과 짐벌(GB)의 단부(GBED) 사이의 간격 또는 거리가, Dxa인 경우, 또는, 미러(MR)의 단부(MRED)와 짐벌(GB)의 단부(GBED) 사이의 간격 또는 거리가, Dxa1인 경우, 미러(MR)에 입사되는 입사광(OLi)가, 미러(MR)에서 반사되나, 가까이 위치하는 짐벌(GB)로 인하여, 일부의 광경로가 막혀, 광손실이 발생하게 된다.
다음, 도 5b는, 미러(MR)가, 제2 축(Axisx) 대비, 아래 방향으로, θ 각도 보다 작은 θx 만큼 회전하는 것을 예시한다.
미러(MR)의 중심(MRC)과 짐벌(GB)의 단부(GBED) 사이의 간격 또는 거리가, Dxa인 경우, 또는, 미러(MR)의 단부(MRED)와 짐벌(GB)의 단부(GBED) 사이의 간격 또는 거리가, Dxa1인 경우임에도 불구하고, 미러(MR)에 입사되는 입사광(OLi)이, 미러(MR)에서 반사되어, 손실없이, 외부로 출력되게 된다. 그러나, 이러한 경우, 미러(MR)의 스캐닝 각도가, θx 로서, 작아지는 단점이 있다.
이에 본 발명에서는, 광각의 스캐닝이 가능한 스캐너를 제안한다. 한편, 라이다를 채용한 전자기기들은 더 많은 영상 정보를 얻기 위해, 광각 카메라를 채용하고 있으며, 예를 들어, 시야각이 대략 120도 이상의 광각 카메라를 사용한다. 따라서, 라이다를 채용한 전자 기기 내의 카메라와의 중복 검증을 위해, 본 발명의 라이다에 채용되기 위한 전자기기용 스캐너(410)는, 미러(MR)의 제1 축(Axisy) 기준 회전시, 제2 축(Axisx) 대비 회전 각도의 크기는 최소 30도 이상이 되도록, 즉, 미러(MR)의 광학각이 120도 이상 되도록 구동되는 스캐너를 제안한다. 이에 대해서는 도 5c를 참조하여 기술한다.
도 5c는, 짐벌(GB)과 미러(MR) 사이의 간격 또는 거리가, Dxa 보다 먼, Da인 경우, 미러(MR)가 회전하는 경우를 예시한다.
특히, 도 5c는, 미러(MR)가, 제2 축(Axisx) 대비, 아래 방향으로, θ 각도 만큼 회전하는 것을 예시한다.
이때, 미러(MR)의 중심(MRC)과 짐벌(GB)의 단부(GBED) 사이의 간격 또는 거리가, Dx 보다 먼, Da이므로, 미러(MR)에 입사되는 입사광(OLi)이, 미러(MR)에서 반사되어, 짐벌(GB)에 의한 손실없이, 외부로 출력되게 된다.
한편, 미러(MR)의 중심(MRC)과 짐벌(GB)의 단부(GBED) 사이의 간격 또는 거리인 Da는 다음의 수학식 1에 의해 연산될 수 있다.
[수학식 1]
Da=Rcos(θ)+Rsin(θ)tan(2θ)
여기서, R은 미러(MR)의 반경이며, θ는, 제2 축(Axisx) 대비 미러(MR)의 회전각에 대응한다.
한편, 미러(MR)의 단부(MRED)와 짐벌(GB)의 단부(GBED) 사이의 간격 또는 거리가, Dxa1 보다 먼, Da1이므로, 미러(MR)에 입사되는 입사광(OLi)이, 미러(MR)에서 반사되어, 짐벌(GB)에 의한 손실없이, 외부로 출력되게 된다.
한편, 미러(MR)의 단부(MRED)와 짐벌(GB)의 단부(GBED) 사이의 간격 또는 거리인, Da1은 다음의 수학식 2에 의해 연산될 수 있다.
[수학식 2]
Da1=Rcos(θ)+Rsin(θ)tan(2θ)-R
한편, 도 5c에 의하면, 도 5b에 비해, 미러(MR)의 스캐닝 각도가, θ로서 더 커지므로, 광각의 스캐닝이 가능하다는 장점이 있다.
이러한 원리에 의하면, 광각의 스캐닝을 위해, 짐벌(GB)과 미러(MR) 사이의 간격 또는 거리가, 멀어질수록 좋을 수 있다.
그러나, 짐벌(GB)과 미러(MR) 사이의 간격 또는 거리가, 너무 멀어지게 되면, 짐벌(GB)의 구동 토크가 증가하나, 사이즈가 커지는 단점이 있다.
한편, 짐벌(GB)과 미러(MR) 사이의 간격 또는 거리가, 너무 작아지게 되면, 사이즈는 작아지나, 짐벌(GB)의 구동 토크가 작아지는 단점이 있다.
결국, 구동 토크 확보와, 광각의 스캐닝을 위해, 짐벌(GB)과 미러(MR) 사이의 간격은, 소정 범위 이내인 것이 바람직하다. 짐벌(GB)과 미러(MR) 사이의 간격에 대해서는, 도 6 내지 도 7d를 참조하여 기술한다.
먼저, 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 스캐너(410)는, 인다이렉트 방식으로 제1 축(Axisy)을 기준으로 회전하는 미러(MR)와, 미러(MR)의 제1 측 및 제2 측에 각각 연결되는 제1 및 제2 미러 스프링(MSa,MSb)과, 제1 및 제2 미러 스프링(MSa,MSb)에 연결되며, 미러(MR)와 이격되어, 미러(MR) 주위에 배치되는 짐벌(GB)과, 짐벌(GB)의 제1 측 및 제2 측에 연결되는 제1 및 제2 짐벌 스프링(GSa,GSb)을 포함한다.
제1 및 제2 미러 스프링(MSa,MSb)과, 제1 및 제2 짐벌 스프링(GSa,GSb)은, 동일한 제1 축(Axisy) 상에 배치되며, 미러(MR)는 제1 축(Axisy)을 기준으로 회전할 수 있다.
한편, 미러(MR)는 원형 또는 타원형이 가능하며, 이하에서는, 원형을 기준으로 설명한다.
미러(MR)의 반경이 R 이고, 제1 및 제2 미러 스프링(MSa,MSb)의 길이(Ls)가, Ls인 경우, 제1 축(Axisy) 기준으로, 미러(MR)의 중심(MRC)과 짐벌(GB) 사이의 거리는, R+Ls가 된다.
한편, 제2 축(Axisx) 기준으로, 미러(MR)의 중심(MRC)과 짐벌(GB) 사이의 거리인 Da는, 제1 축(Axisy) 기준으로, 미러(MR)의 중심(MRC)과 짐벌(GB) 사이의 거리(R+Ls) 보다 작거나 같을 수 있다.
도 6에서는, 제2 축(Axisx) 기준으로, 미러(MR)의 중심(MRC)과 짐벌(GB) 사이의 거리인 Da가, 제1 축(Axisy) 기준으로, 미러(MR)의 중심(MRC)과 짐벌(GB) 사이의 거리(R+Ls)와 동일한 것을 예시한다.
이때, 미러(MR)의 중심(MRC)과 짐벌(GB) 사이의 거리인 Da는, 미러(MR)의 반경(R)의 2.5배에 대응할 수 있다.
한편, 도 7a는, 도 6의 스캐너(410)의 짐벌(GB)의 타원 보다 작은 타원(CRLb)을 도시한 도면이며, 도 7b는 도 7a의 타원(CHLb)에 따라, 도 6의 Da에 비해, 제2 축(Axisx) 기준으로, 미러(MR)의 중심(MRC)과 짐벌(GB) 사이의 거리가, Db로 작아진, 스캐너(410b)를 예시한다.
이러한 경우, 짐벌(GB)의 회전 반경(Db)이 작아지므로, 짐벌(GB)의 구동 토크가 감소하지만, 사이즈가 작아지는 장점이 있다.
한편, 본 발명의 실시예에서는, 미러(MR)의 광학각이 120도 이상 이므로, 도 7b의 스캐너(410b)의 미러(MR)의 제1 축(Axisy) 기준 회전시, 제2 축(Axisx) 대비 회전 각도의 크기는 30도 이상인 것이 바람직하다.
즉, 도 7b의 스캐너(410b)의 미러(MR)의 제1 축(Axisy) 기준 회전시, 제2 축(Axisx) 대비하여 회전 각도의 크기는 +30도 이상이거나, -30도 이하인 것이 바람직하다.
한편, 제2 축(Axisx) 대비 회전 각도의 크기가 30도인 경우, 즉, 미러(MR)의 광학각이 120도인 경우, 미러(MR)의 중심(MRC)과 짐벌(GB) 사이의 거리인 Db는, 미러(MR)의 반경(R)의 1.73배에 대응한다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따르면, 제1 축(Axisy)에 교차하는 제2 축(Axisx) 기준의, 미러의 중심(MRC)과 짐벌(GB) 사이의 거리는, 미러(MR)의 반경(R)의 1.73배 이상인 것이 바람직하다.
한편, 도 7b의 스캐너(410b)와 도 6의 스캐너(410)의 경우, 모두, 제1 축(Axisy) 방향 길이가, 제2 축(Axisx) 방향의 길이 보다 길기 때문에, 도 7b의 스캐너(410b)와 도 6의 스캐너(410)는, 마름모 형상으로, 구현되는 것이 바람직하다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따르면, 제1 축(Axisy)에 교차하는 제2 축(Axisx) 기준의, 미러(MR)의 중심(MRC)과 짐벌(GB) 사이의 거리는, 미러(MR)의 반경(R)의 1.73배 내지 2.5배인 것이 바람직하다.
또는, 본 발명의 실시예에 따르면, 제1 축(Axisy)에 교차하는 제2 축(Axisx) 기준의, 미러(MR)와 짐벌(GB) 사이의 거리는, 미러(MR)의 반경(R)의 0.73배 내지 1.5배인 것이 바람직하다.
한편, 스캐너(410)의 형상은, 마름모 형상이 아닌 다른 형상도 가능하다. 이에 대해서는, 도 7c 내지 도 7d를 참조하여 기술한다.
한편, 도 7c는, 도 6의 스캐너(410)의 짐벌(GB)의 타원 보다 큰 타원(CRLc)을 도시한 도면이며, 도 7d는 도 7c의 타원(CRLc)에 따라, 도 6의 Da에 비해, 제2 축(Axisx) 기준으로, 미러(MR)의 중심(MRC)과 짐벌(GB) 사이의 거리가, Dc로 커진, 스캐너(410c)를 예시한다.
이러한 경우, 짐벌(GB)의 회전 반경(Dc)이 커지므로, 짐벌(GB)의 구동 토크가 증가하는 장점이 있다.
한편, 본 발명의 실시예에서는, 미러(MR)의 광학각이 120도 이상 이므로, 도 7d의 스캐너(410c)의 미러(MR)의 제1 축(Axisy) 기준 회전시, 제2 축(Axisx) 대비 회전 각도의 크기는 30도 이상인 것이 바람직하다.
한편, 도 7d의 스캐너(410c)의 경우, 제2 축(Axisx) 방향의 길이가, 제1 축(Axisy) 방향의 길이 이상이므로, 도 7d의 스캐너(410c)는, 마름모 형상이 아닌, 사각 형상으로, 구현되는 것이 바람직하다. 특히, 정사각 형상으로 구현될 수 있다.
이러한 경우, 제1 축(Axisy)에 교차하는 제2 축(Axisx) 기준의, 미러의 중심(MRC)과 짐벌(GB) 사이의 거리(Dc)는, 미러(MR)의 반경(R)의 3배에 대응할 수 있다.
한편, 미러의 중심(MRC)과 짐벌(GB) 사이의 거리(Dc)가 3배를 초과하는 경우, 짐벌(GB)의 파손 가능성이 높아지며, 스캐너 크기가 커져, 웨이퍼당 스캐너 수량이 줄어드는 단점이 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따르면, 제1 축(Axisy)에 교차하는 제2 축(Axisx) 기준의, 미러(MR)의 중심(MRC)과 짐벌(GB) 사이의 거리는, 미러(MR)의 반경(R)의 1.73배 내지 3배인 것이 바람직하다.
또는, 본 발명의 실시예에 따르면, 제1 축(Axisy)에 교차하는 제2 축(Axisx) 기준의, 미러(MR)와 짐벌(GB) 사이의 거리는, 미러(MR)의 반경(R)의 0.73배 내지 2배인 것이 바람직하다.
다음, 도 8a는, 본 발명과 비교를 위한 스캐너(410x)를 예시한다.
도면을 참조하면, 도 8a의 스캐너(410x)는, 마름모 형상의 실리콘 기판(SLCx) 내에, 미러(MRx), 제1 및 제2 미러 스프링(MSax,MSbx), 짐벌(GBx), 제1 및 제2 짐벌 스프링(GSax,GSbx)이 형성된 것을 예시한다.
한편, 제1 및 제2 미러 스프링(MSax,MSbx) 기준의 제1 축(Axisy)과, 제1 및 제2 미러 스프링(MSax,MSbx)에 직교하는 제2 축(Axisx) 사이의 실리콘 기판(SLCx)의 모서리 영역(Arsx)은, 도 8a와 같이 확대 표시될 수 있다.
도 8a에 따르면, 제1 축(Axisy)과 제2 축(Axisx) 사이의, 마름모 형상의 실리콘 기판(SLCx)의 폭은, 제1 축(Axisy)으로 갈수록, 또는 제2 축(Axisx)으로 갈수록 커지나, 제1 축(Axisy)과 제2 축(Axisx) 사이의, 대략 45도 부근에서는, 그 폭이 가장 작게 된다. 따라서, 실리콘 기판(SLCx)의 파손 가능성이 높아진다.
본 발명에서는, 이러한 점을 해결하기 위해, 제1 축(Axisy)과 제2 축(Axisx) 사이의 실리콘 기판(SLC)의 일부 영역의 폭이 일정하도록 설계한다. 이에 따라, 강성이 보강되어, 스캐너(410)의 파손을 저감할 수 있게 된다.
도 8b는 본 발명의 실시예에 따른 위한 스캐너(410)를 예시한다.
도면을 참조하면, 도 8b의 스캐너(410)는, 마름모 형상의 실리콘 기판(SLC) 내에, 미러(MR), 제1 및 제2 미러 스프링(MSa,MSb), 짐벌(GB), 제1 및 제2 짐벌 스프링(GSa,GSb)이 형성된 것을 예시한다.
한편, 제1 및 제2 미러 스프링(MSa,MSb) 기준의 제1 축(Axisy)과, 제1 및 제2 미러 스프링(MSa,MSb)에 직교하는 제2 축(Axisx) 사이의 실리콘 기판(SLC)의 모서리 영역(Ars)은, 도 8b와 같이 확대 표시될 수 있다.
도 8b에 따르면, 제1 축(Axisy)과 제2 축(Axisx) 사이의, 실리콘 기판(SLC)의 일부 영역(Ars)의 폭이, Dfm으로 일정하며, 일부 영역(Ars) 주변의 영역(DFn)은, 제1 축(Axisy)으로 갈수록, 또는 제2 축(Axisx)으로 갈수록 커질 수 있다.
이와 같이, 제1 축(Axisy)과 제2 축(Axisx) 사이의, 대략 45도 부근의 일부 영역(Ars)의 폭이, Dfm으로 일정하게 되므로, 도 8a에 비해, 안정적인 폭 확보가 가능하게 된다.
한편, 이러한 일부 영역(Ars)의 설계로 인하여, 본 발명의 실시예에 따른 위한 스캐너(410) 내의 일부 영역(Ars)에 대응하는 짐벌(GB)과 미러 사이의 거리는, 제1 및 제2 미러 스프링(MSa,MSb)의 길이인 Ls 보다 작을 수 있다.
즉, 도 6의 점선에 대응하는 CRL 보다, 안쪽에 짐벌(GB)이 형성될 수 있다. 이에 따라, 강성이 보강되어, 스캐너(410)의 파손을 저감할 수 있게 된다.
또한, 이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안될 것이다.

Claims (14)

  1. 인다이렉트 방식으로 제1 축을 기준으로 회전하는 미러;
    상기 미러의 제1 측 및 제2 측에 각각 연결되는 제1 및 제2 미러 스프링;
    상기 제1 및 제2 미러 스프링에 연결되며, 상기 미러와 이격되어, 상기 미러 주위에 배치되는 짐벌(gimbal);
    상기 짐벌의 제1 측 및 제2 측에 연결되는 제1 및 제2 짐벌 스프링;
    상기 제1 또는 제2 짐벌 스프링에 연결되는 적어도 하나의 코일;을 포함하고,
    상기 제1 축에 교차하는 제2 축 기준의, 상기 미러의 중심과 상기 짐벌 사이의 거리는, 상기 미러의 반경의 1.73배 내지 3배인 것을 특징으로 하는 스캐너.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 미러의 상기 제1 축 기준 회전시, 상기 제2 축 대비 회전 각도의 크기는 최소 30도 이상인 것을 특징으로 하는 스캐너.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 미러 스프링과 상기 제1 및 제2 짐벌 스프링은, 상기 제1 축 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 스캐너.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 축 및 제2 축에 직교하는 제3 축 방향으로 입사된 광이, 상기 제1 축 기준으로 회전하는 상기 미러에서 반사되어 출력되는 것을 특징으로 하는 스캐너.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 축에 교차하는 제2 축 기준의, 상기 미러의 중심과 상기 짐벌 사이의 거리는, 상기 미러의 반경의 1.73배 내지 2.5배인 것을 특징으로 하는 스캐너.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 짐벌의 외측에 이격되어 형성되는 사각 형상의 실리콘 기판;을 더 포함하고,
    상기 제1 축과 상기 제2 축 사이의 상기 실리콘 기판의 일부 영역의 폭이 일정한 것을 특징으로 하는 스캐너.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 실리콘 기판의 폭은, 상기 일부 영역에서, 상기 제1 축 또는 상기 제2 축 방향으로 갈수록 커지는 것을 특징으로 하는 스캐너.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 미러의 배면에, 상기 미러의 제1 측 및 제2 측에 부착되는 제1 패턴 및 제2 패턴;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스캐너.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1 패턴 및 제2 패턴은, 상기 미러의 원주에 이격되는 호 형상인 것을 특징으로 하는 스캐너.
  10. 인다이렉트 방식으로 제1 축을 기준으로 회전하는 미러;
    상기 미러의 제1 측 및 제2 측에 각각 연결되는 제1 및 제2 미러 스프링;
    상기 제1 및 제2 미러 스프링에 연결되며, 상기 미러와 이격되어, 상기 미러 주위에 배치되는 짐벌(gimbal);
    상기 짐벌의 제1 측 및 제2 측에 연결되는 제1 및 제2 짐벌 스프링;
    상기 제1 또는 제2 짐벌 스프링에 연결되는 적어도 하나의 코일;을 포함하고,
    상기 제1 축에 교차하는 제2 축 기준의, 상기 미러와 상기 짐벌 사이의 거리는, 상기 미러의 반경의 0.73배 내지 2배인 것을 특징으로 하는 스캐너.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 미러의 상기 제1 축 기준 회전시, 상기 제2 축 대비 회전 각도의 크기는 최소 30도 이상인 것을 특징으로 하는 스캐너.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 미러 스프링과 상기 제1 및 제2 짐벌 스프링은, 상기 제1 축 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 스캐너.
  13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항의 스캐너;
    상기 스캐너의 후면에 배치되는 자석;
    상기 자석을 수납하는 수납 공간을 형성하는 하부 케이스;
    상기 스캐너에서 반사되는 광이 통과하는 개구부를 구비하는 상부 케이스;를 포함하는 것을 특징으로 하는 스캐너 모듈.
  14. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항의 스캐너;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자기기.
PCT/KR2019/010009 2018-08-09 2019-08-08 스캐너, 스캐너 모듈 및 이를 구비한 전자기기 WO2020032647A1 (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2018-0092876 2018-08-09
KR20180092876 2018-08-09
KR1020190096443A KR20200018309A (ko) 2018-08-09 2019-08-08 스캐너, 스캐너 모듈 및 이를 구비한 전자기기
KR10-2019-0096443 2019-08-08

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2020032647A1 true WO2020032647A1 (ko) 2020-02-13

Family

ID=69415071

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2019/010009 WO2020032647A1 (ko) 2018-08-09 2019-08-08 스캐너, 스캐너 모듈 및 이를 구비한 전자기기

Country Status (1)

Country Link
WO (1) WO2020032647A1 (ko)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20090041766A (ko) * 2007-10-24 2009-04-29 삼성전기주식회사 미러로부터 분리된 액츄에이터를 구비한 멤스 스캐너
KR20100083582A (ko) * 2009-01-14 2010-07-22 삼성전자주식회사 공진주파수의 조절이 가능한 멤스 미러 스캐너 및 이의 공진주파수 조절방법
KR20140104447A (ko) * 2011-12-22 2014-08-28 로베르트 보쉬 게엠베하 마이크로 미러
KR101430123B1 (ko) * 2013-10-11 2014-09-25 고려오트론(주) 멤스 스캐너
KR20170019251A (ko) * 2015-08-11 2017-02-21 엘지전자 주식회사 멤스 스캐너 패키지

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20090041766A (ko) * 2007-10-24 2009-04-29 삼성전기주식회사 미러로부터 분리된 액츄에이터를 구비한 멤스 스캐너
KR20100083582A (ko) * 2009-01-14 2010-07-22 삼성전자주식회사 공진주파수의 조절이 가능한 멤스 미러 스캐너 및 이의 공진주파수 조절방법
KR20140104447A (ko) * 2011-12-22 2014-08-28 로베르트 보쉬 게엠베하 마이크로 미러
KR101430123B1 (ko) * 2013-10-11 2014-09-25 고려오트론(주) 멤스 스캐너
KR20170019251A (ko) * 2015-08-11 2017-02-21 엘지전자 주식회사 멤스 스캐너 패키지

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2019164296A1 (ko) 카메라 모듈
WO2012169778A2 (en) Imaging lens and camera module
WO2014069892A1 (en) Magnetic resonance imaging apparatus
WO2021246708A1 (ko) 광 굴절식 카메라 모듈용 액추에이터 및 이를 포함하는 카메라 모듈
WO2014003492A1 (en) Camera module
WO2020027588A1 (ko) 렌즈 구동장치 및 이를 포함하는 카메라 모듈
WO2011037327A2 (ko) 스캐닝 마이크로미러
WO2019151700A1 (ko) 카메라 모듈
WO2019031817A1 (ko) 렌즈 구동 장치, 카메라 모듈 및 광학 기기
WO2013002521A1 (en) Camera module
WO2020036450A1 (ko) 렌즈 구동장치 및 이를 포함하는 카메라 모듈
WO2010027132A1 (en) Projection display device
WO2020122594A1 (ko) 렌즈 어셈블리 및 이를 포함하는 카메라 모듈
WO2019143116A1 (ko) 렌즈 어셈블리 및 그를 포함하는 카메라 모듈
WO2021006694A1 (ko) 광학기기
WO2020204458A1 (ko) 광각 고해상도 거리 측정 장치
WO2010002189A2 (ko) 레이저 스캐닝 디스플레이 및 그의 빔 얼라이먼트 방법
WO2019164312A1 (ko) 카메라 모듈 및 그의 초해상도 영상 처리 방법
EP3114532A1 (en) Lens driving assembly and electronic apparatus having the same
WO2019225984A1 (ko) 액체 렌즈, 이를 포함하는 카메라 모듈 및 광학 기기
WO2020032647A1 (ko) 스캐너, 스캐너 모듈 및 이를 구비한 전자기기
WO2020251203A1 (ko) 렌즈 어셈블리 구동 장치 및 이를 포함하는 카메라 모듈
WO2022071663A1 (ko) 카메라 액추에이터 및 이를 포함하는 광 굴절식 카메라 모듈
WO2020122278A1 (ko) 멤스 스캐너
WO2020071707A1 (ko) 광학기기

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 19846798

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 19846798

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1