WO2019168147A1 - Anisotropic conductive sheet - Google Patents
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Abstract
[Problem] To provide an anisotropic conductive sheet with which it is possible to arrange conductive wires at narrow pitches and to perform accurate examination repeatedly with respect to an object to be examined, such as a semiconductor device.
[Solution] An anisotropic conductive sheet 10 comprising: an elastic insulating layer 1; and a plurality of conductive wires 2 which penetrate through the insulating layer 1 in a thickness direction Y thereof and include a tip portion 4 protruding from the insulating layer 1. The conductive wires 2 are configured from a carbon wire 2a having a length which is the same or substantially the same as the thickness T of the insulating layer 1, and a plated layer 4a on both ends of the carbon wire 2a. Preferably, the conductive wires 2 comprise a metal plated layer 2b disposed on the outer periphery of the carbon wire 2a, and an insulating coating 2c disposed on the metal plated layer 2b.
Description
本発明は、半導体デバイス等の被検査物に対する正確な検査を繰り返し行うことができる異方性導電シートに関する。
The present invention relates to an anisotropic conductive sheet capable of repeatedly performing an accurate inspection on an inspection object such as a semiconductor device.
異方性導電シートは、電気回路基板の電気的性能を検査する検査治具の電気接触子として、又は、電気回路基板と電子部品等との電気的接続を行う電気コネクタとして提案されている。異方性導電シートとしては種々のものが提案されている。例えば、導電性を有する複数の金属線を、その長さ方向を絶縁シートの厚さ方向に向けて高密度に配置した構成の異方性導電シートが提案されている。
An anisotropic conductive sheet has been proposed as an electrical contact for an inspection jig for inspecting the electrical performance of an electrical circuit board, or as an electrical connector for electrical connection between an electrical circuit board and an electronic component. Various anisotropic conductive sheets have been proposed. For example, there has been proposed an anisotropic conductive sheet having a configuration in which a plurality of conductive metal wires are arranged at high density with the length direction thereof being directed to the thickness direction of an insulating sheet.
こうした形態の異方性導電シートが検査治具の電気接触子として用いられる場合には、異方性導電シートの金属線の端部（「金属線端部」という。）と電気回路基板等の電極部とが確実に接触するように、異方性導電シートは、電気回路基板等と検査治具側のピン端子との間の位置で押圧された状態で使用される。また、異方性導電シートが電気コネクタとして用いられる場合にも、異方性導電シートの金属線端部と電極部とが確実に接触するように、異方性導電シートは、電気回路基板等に対して押圧された状態で使用される。これらの場合において、金属線が硬い絶縁シートで強固に配置されていると、異方性導電シートから突出した金属線端部が電極部に強く押圧され、その押圧により折れ曲りが発生したり、折れ曲り部分で塑性変形したり、電極部が傷ついたりするおそれがある。
When such an anisotropic conductive sheet is used as an electrical contact of an inspection jig, an end of a metal wire (referred to as “metal wire end”) of the anisotropic conductive sheet and an electric circuit board, etc. The anisotropic conductive sheet is used in a pressed state at a position between the electric circuit board or the like and the pin terminal on the inspection jig side so that the electrode part is in reliable contact. Also, when the anisotropic conductive sheet is used as an electrical connector, the anisotropic conductive sheet is an electric circuit board or the like so that the end of the metal wire of the anisotropic conductive sheet and the electrode portion are in reliable contact with each other. It is used in the state pressed against. In these cases, when the metal wire is firmly arranged with a hard insulating sheet, the end of the metal wire protruding from the anisotropic conductive sheet is strongly pressed against the electrode part, and bending occurs due to the pressing, There is a risk of plastic deformation at the bent portion or damage to the electrode portion.
上記問題に対し、例えば特許文献１では、弾性を有する絶縁シートが用いられ、具体的には、弾性を有する絶縁シートと、絶縁シート内に含まれ、かつ、絶縁シートの厚み方向に長さ方向が平行に配置される複数の導電性を有する金属線とを有し、金属線は、ニッケルチタン合金製の芯材と、該芯材を０℃における比抵抗が、６．５×１０－８Ω・ｍ以下の金属材料からなる層を含む１層以上の層からなる導電被覆層とを有する異方性導電シートが提案されている。
For example, in Patent Document 1, an insulating sheet having elasticity is used for the above problem. Specifically, the insulating sheet has elasticity, and the insulating sheet is included in the insulating sheet, and the lengthwise direction is in the thickness direction of the insulating sheet. Are arranged in parallel with each other, and the metal wire has a nickel-titanium alloy core material, and the core material has a specific resistance at 0 ° C. of 6.5 × 10 −8. An anisotropic conductive sheet having a conductive coating layer composed of one or more layers including a layer composed of a metal material of Ω · m or less has been proposed.
半導体デバイス等は日進月歩で集積化が進んでおり、それに伴ってその端子も狭ピッチ化している。被検査物の電気的性能を検査する検査治具においても、異方性導電シートを構成する金属線のピッチを狭くして、狭ピッチ化した端子に正確に接触させる必要がある。
The integration of semiconductor devices, etc. is progressing steadily, and the terminals are also becoming narrower. Even in an inspection jig for inspecting the electrical performance of an object to be inspected, it is necessary to narrow the pitch of the metal wires constituting the anisotropic conductive sheet and accurately contact the narrow pitched terminals.
しかし、金属線間がより狭ピッチ化した場合において、測定時に大きな荷重が異方性導電シートにかかると、たとえ弾性を有する絶縁シートを用いた場合であっても、その絶縁シート内に含まれる金属線が折れ曲がりやすくなって塑性変形を起こしやすい。そのため、金属線間を狭ピッチ化しすぎると、その折れ曲りや塑性変形によって金属線同士がショートしてしまうリスクが高まり、被検査物に対する正確な検査を繰り返し行えないおそれがある。
However, when the pitch between metal wires is narrower and a large load is applied to the anisotropic conductive sheet at the time of measurement, even if an insulating sheet having elasticity is used, it is included in the insulating sheet. Metal wires are easy to bend and easily cause plastic deformation. For this reason, if the pitch between the metal wires is too narrow, there is a risk that the metal wires may be short-circuited due to bending or plastic deformation, and accurate inspection of the inspection object may not be repeated.
塑性変形を起こしにくい強固なピアノ線、真鍮線、ニッケルチタン線等の剛性のある金属線を使用することにより、折れ曲りや塑性変形の防止、金属線の細径化とその細径化に基づいた狭ピッチ化を可能としやすい。しかし、大きな荷重が異方性導電シートにかかると、剛性のある金属線が被検査物に傷を付けてしまったり、破損させてしまったりすることがあり、被検査物の正確な検査を繰り返し行えないおそれがある。
Based on rigid metal wires such as piano wire, brass wire, nickel titanium wire, etc., which are hard to cause plastic deformation, to prevent bending and plastic deformation, and to make metal wires thinner and thinner. It is easy to reduce the pitch. However, if a large load is applied to the anisotropic conductive sheet, the rigid metal wire may scratch or damage the object to be inspected, and accurate inspection of the object to be inspected is repeated. May not be possible.
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、導電線を狭ピッチで配置することができ、半導体デバイス等の被検査物に対する正確な検査を繰り返し行うことができる異方性導電シートを提供することにある。
The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and the object thereof is to be able to arrange conductive wires at a narrow pitch and to repeatedly perform an accurate inspection on an inspection object such as a semiconductor device. The object is to provide an anisotropic conductive sheet.
（１）本発明に係る異方性導電シートは、弾性を有する絶縁層と、前記絶縁層の厚さ方向に貫通すると共に先端部が前記絶縁層から突出する複数の導電線とを有する異方性導電シートであって、前記導電線は、前記絶縁層の厚さと同じ又は略同じ長さからなるカーボン線と、該カーボン線の両端のめっき層とで構成されていることを特徴とする。
(1) An anisotropic conductive sheet according to the present invention has an anisotropic insulating layer having an elastic layer and a plurality of conductive wires penetrating in the thickness direction of the insulating layer and having tip portions protruding from the insulating layer. The conductive wire is characterized in that the conductive wire is composed of a carbon wire having the same or substantially the same length as the thickness of the insulating layer and plating layers at both ends of the carbon wire.
この発明によれば、絶縁層が弾性を有しかつ導電線が柔軟なカーボン線を有するので、測定時に大きな荷重が異方性導電シートに加わった場合でも、その弾性や柔軟性によって被検査物に傷を付けたり破損したりすることを防ぐことができる。また、柔軟で細径化も容易なカーボン線を用いるので、測定時に大きな荷重が異方性導電シートに加わった場合でも、カーボン線が折れ曲がったり塑性変形を起こしたりすることがなく、導電線間を狭ピッチ化しても導電線同士がショートしてしまうリスクが小さく、正確に検査を行うことができる。また、カーボン線の両端に突出する先端部をめっき層で構成したので、被検査物への導電性も確保できる。その結果、導電線の細径化、導電線間の狭ピッチ化、導電線の整列性向上、折れ曲りや塑性変形の防止等を実現でき、被検査物の電極部又は端子が狭ピッチ化した場合であっても、繰り返し正確に測定することができる。こうした異方性導電シートの使用は、被検査物の端子と異方性導電シートの導電線との位置合わせを正確にしなくても、被検査物の検査を繰り返し正確に行うことができる。
According to the present invention, since the insulating layer has elasticity and the conductive wire has a flexible carbon wire, even when a large load is applied to the anisotropic conductive sheet at the time of measurement, the object to be inspected depends on the elasticity and flexibility. Can be prevented from being damaged or damaged. In addition, since carbon wires that are flexible and can be easily reduced in diameter are used, even when a large load is applied to the anisotropic conductive sheet during measurement, the carbon wires do not bend or cause plastic deformation. Even if the pitch is narrowed, the risk that the conductive wires are short-circuited is small, and the inspection can be performed accurately. Moreover, since the tip part which protrudes at the both ends of a carbon wire was comprised with the plating layer, the electroconductivity to a to-be-inspected object is securable. As a result, it is possible to reduce the diameter of the conductive wires, narrow the pitch between the conductive wires, improve the alignment of the conductive wires, prevent bending and plastic deformation, etc., and narrow the pitch of the electrodes or terminals of the object to be inspected. Even in this case, accurate measurement can be repeated repeatedly. The use of such an anisotropic conductive sheet can repeat and accurately inspect the inspection object without accurately aligning the terminals of the inspection object and the conductive wires of the anisotropic conductive sheet.
（２）本発明に係る異方性導電シートにおいて、前記導電線は、前記カーボン線の外周に設けられた金属めっき層と、前記金属めっき層上に設けられた絶縁皮膜とを有することが好ましい。この発明によれば、カーボン線の外周に金属めっき層（好ましくは銅めっき層等の良導電めっき層）が設けられているので、導電性を高めることができるとともに、先端部のめっき層の形成を容易に行うことができる。さらにその外周には絶縁皮膜が設けられているので、導電線同士の距離が狭い場合や導電線を不規則に配列する場合でも、導電線間を確実に絶縁することができる。こうした導電線は、従来使用されている金属線に比べて、柔軟性があって折れ曲がったり塑性変形を起こしたりすることがなく、細径化が可能で、狭ピッチ化が可能な導電線として使用することができる。
(2) In the anisotropic conductive sheet according to the present invention, the conductive wire preferably includes a metal plating layer provided on an outer periphery of the carbon wire, and an insulating film provided on the metal plating layer. . According to this invention, since the metal plating layer (preferably a good conductive plating layer such as a copper plating layer) is provided on the outer periphery of the carbon wire, the conductivity can be increased and the formation of the plating layer at the tip portion can be achieved. Can be easily performed. Further, since an insulating film is provided on the outer periphery, the conductive wires can be reliably insulated even when the distance between the conductive wires is narrow or when the conductive wires are irregularly arranged. These conductive wires are flexible and do not bend or cause plastic deformation compared to metal wires that have been used in the past, can be reduced in diameter, and can be used as conductive wires capable of narrowing the pitch. can do.
（３）本発明に係る異方性導電シートにおいて、前記先端部のめっき層の厚さが１～３μｍの範囲内であることが好ましい。
(3) In the anisotropic conductive sheet according to the present invention, it is preferable that the thickness of the plating layer at the tip is in the range of 1 to 3 μm.
（４）本発明に係る異方性導電シートにおいて、前記カーボン線は、直径が０．００１～０．０５ｍｍの範囲内であることが好ましい。
(4) In the anisotropic conductive sheet according to the present invention, the carbon wire preferably has a diameter in the range of 0.001 to 0.05 mm.
（５）本発明に係る異方性導電シートにおいて、前記絶縁層は、厚さ０．１～２ｍｍの範囲内のシート状物であることが好ましい。
(5) In the anisotropic conductive sheet according to the present invention, the insulating layer is preferably a sheet-like material having a thickness in the range of 0.1 to 2 mm.
本発明によれば、導電線を狭ピッチで配置することができ、半導体デバイス等の被検査物に対する正確な検査を繰り返し行うことができる異方性導電シートを提供することができる。
According to the present invention, it is possible to provide an anisotropic conductive sheet in which conductive wires can be arranged at a narrow pitch, and an accurate inspection of an inspection object such as a semiconductor device can be repeatedly performed.
以下、本発明に係る異方性導電シートについて、図面を参照しつつ説明する。本発明は下記の実施形態に限定されるものではない。なお、本願において「被検査物」とは、ＩＣ等の半導体デバイス等を総称する意味で使用している。
Hereinafter, the anisotropic conductive sheet according to the present invention will be described with reference to the drawings. The present invention is not limited to the following embodiment. In the present application, the “inspected object” is used to collectively refer to semiconductor devices such as ICs.
［異方性導電シート］
本発明に係る異方性導電シート１０は、図１及び図２に示すように、弾性を有する絶縁層１と、絶縁層１の厚さ方向Ｙに貫通すると共に先端部４が絶縁層１から突出する複数の導電線２とを有するものであり、その導電線２は、絶縁層１の厚さＴと同じ又は略同じ長さからなるカーボン線２ａと、そのカーボン線２ａの両端のめっき層４ａとで構成されていることに特徴がある。 [Anisotropic conductive sheet]
As shown in FIGS. 1 and 2, the anisotropicconductive sheet 10 according to the present invention penetrates in the thickness direction Y of the insulating layer 1 having elasticity and the insulating layer 1, and the tip portion 4 extends from the insulating layer 1. A plurality of conductive wires 2 projecting, the conductive wires 2 having a carbon wire 2a having the same or substantially the same length as the thickness T of the insulating layer 1, and plating layers at both ends of the carbon wire 2a. 4a is characteristic.
本発明に係る異方性導電シート１０は、図１及び図２に示すように、弾性を有する絶縁層１と、絶縁層１の厚さ方向Ｙに貫通すると共に先端部４が絶縁層１から突出する複数の導電線２とを有するものであり、その導電線２は、絶縁層１の厚さＴと同じ又は略同じ長さからなるカーボン線２ａと、そのカーボン線２ａの両端のめっき層４ａとで構成されていることに特徴がある。 [Anisotropic conductive sheet]
As shown in FIGS. 1 and 2, the anisotropic
この異方性導電シート１０では、絶縁層１が弾性を有しかつ導電線２が柔軟なカーボン線２ａを有するので、測定時に大きな荷重が異方性導電シート１０に加わった場合でもその弾性や柔軟性によって被検査物２０又は電極２１（図５を参照）に傷を付けたり破損したりすることを防ぐことができる。また、柔軟で細径化も容易なカーボン線２ａを用いるので、測定時に大きな荷重が異方性導電シート１０に加わった場合でも、カーボン線２ａが折れ曲がったり塑性変形を起こしたりすることがなく、導電線間２，２を狭ピッチ化しても導電線同士がショートしてしまうリスクが小さく、正確に検査を行うことができる。また、カーボン線２ａの両端に突出する先端部４をめっき層４ａで構成したので、被検査物２０への導電性も確保できる。その結果、導電線２の細径化、導電線間２，２の狭ピッチ化、導電線２の整列性向上、折れ曲りや塑性変形の防止等を実現でき、被検査物２０の電極部又は端子等が狭ピッチ化した場合であっても、繰り返し正確に測定することができる。こうした異方性導電シート１０の使用は、被検査物の端子と異方性導電シートの導電線との位置合わせを正確にしなくても、被検査物２０の検査を繰り返し正確に行うことができる
In this anisotropic conductive sheet 10, since the insulating layer 1 has elasticity and the conductive wire 2 has a flexible carbon wire 2a, even when a large load is applied to the anisotropic conductive sheet 10 during measurement, the elasticity or It is possible to prevent the inspected object 20 or the electrode 21 (see FIG. 5) from being damaged or broken due to flexibility. In addition, since the carbon wire 2a that is flexible and easily reduced in diameter is used, even when a large load is applied to the anisotropic conductive sheet 10 during measurement, the carbon wire 2a does not bend or cause plastic deformation, Even if the pitch between the conductive lines 2 and 2 is reduced, the risk that the conductive lines are short-circuited is small, and the inspection can be performed accurately. Moreover, since the tip part 4 protruding from both ends of the carbon wire 2a is formed of the plating layer 4a, the conductivity to the inspection object 20 can be ensured. As a result, it is possible to reduce the diameter of the conductive wire 2, narrow the pitch between the conductive wires 2, 2, improve the alignment of the conductive wire 2, prevent bending and plastic deformation, and the like. Even when the terminals and the like have a narrow pitch, it is possible to repeatedly measure accurately. The use of the anisotropic conductive sheet 10 can repeatedly and accurately inspect the inspection object 20 without accurately aligning the terminals of the inspection object and the conductive wires of the anisotropic conductive sheet.
各構成について詳しく説明する。
Each component will be described in detail.
（絶縁層）
絶縁層１は、図１及び図２に示すように、異方性導電シート１０を構成する弾性のあるシート状物である。この絶縁層１には、導電線２が厚さ方向Ｙに貫通して所定のピッチＰで多数設けられている。絶縁層１の材質は、絶縁性を有し且つゴムのように弾性のある材料であれば特に限定されない。ゴムのように弾性のある材料とは、繰り返し使用しても特性が変わらず、押したら押した分だけ元に戻る特性を持つ材料のことであり、圧縮弾性率が５Ｎ／ｍｍ２以下、好ましくは２Ｎ／ｍｍ２以下であれば、そうした特性を示すことができる。圧縮弾性率の下限はシート状物として機能する範囲であり、強いて言えば０．５Ｎ／ｍｍ２とすることができる。具体的な材料としては、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、ウレタン樹脂等を挙げることができる。 (Insulating layer)
As shown in FIGS. 1 and 2, the insulatinglayer 1 is an elastic sheet-like material that constitutes the anisotropic conductive sheet 10. In this insulating layer 1, a large number of conductive wires 2 are provided at a predetermined pitch P so as to penetrate in the thickness direction Y. The material of the insulating layer 1 is not particularly limited as long as it is an insulating material and has elasticity such as rubber. An elastic material such as rubber is a material that has characteristics that do not change even when it is repeatedly used, and returns to the original amount when pressed, and preferably has a compression modulus of 5 N / mm 2 or less, preferably If 2N / mm 2 or less, such characteristics can be exhibited. The lower limit of the compression elastic modulus is a range that functions as a sheet-like material, and can be set to 0.5 N / mm 2 . Specific examples of the material include silicone resin, fluorine resin, and urethane resin.
絶縁層１は、図１及び図２に示すように、異方性導電シート１０を構成する弾性のあるシート状物である。この絶縁層１には、導電線２が厚さ方向Ｙに貫通して所定のピッチＰで多数設けられている。絶縁層１の材質は、絶縁性を有し且つゴムのように弾性のある材料であれば特に限定されない。ゴムのように弾性のある材料とは、繰り返し使用しても特性が変わらず、押したら押した分だけ元に戻る特性を持つ材料のことであり、圧縮弾性率が５Ｎ／ｍｍ２以下、好ましくは２Ｎ／ｍｍ２以下であれば、そうした特性を示すことができる。圧縮弾性率の下限はシート状物として機能する範囲であり、強いて言えば０．５Ｎ／ｍｍ２とすることができる。具体的な材料としては、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、ウレタン樹脂等を挙げることができる。 (Insulating layer)
As shown in FIGS. 1 and 2, the insulating
絶縁層１は、絶縁性を有しているが、上記材料で構成された場合には、体積抵抗率が１０１２Ω・ｃｍ（導電率１０-１２Ｓ／ｃｍ）以上、好ましくは１０１３Ω・ｃｍ（導電率１０-１３Ｓ／ｃｍ）以上であり、十分な絶縁性を有している。絶縁層１の厚さは特に限定されないが、近年の狭ピッチ対応の異方性導電シート１０を考慮した場合、０．１～２ｍｍの範囲内であることが好ましく、０．１～１ｍｍの範囲内であることがより好ましい。
The insulating layer 1 has an insulating property. However, when the insulating layer 1 is made of the above material, the volume resistivity is 10 12 Ω · cm (conductivity 10 −12 S / cm) or more, preferably 10 13 Ω. It is cm (conductivity 10 −13 S / cm) or more and has sufficient insulating properties. The thickness of the insulating layer 1 is not particularly limited. However, in consideration of the recent anisotropic conductive sheet 10 corresponding to a narrow pitch, it is preferably in the range of 0.1 to 2 mm, and in the range of 0.1 to 1 mm. More preferably, it is within.
（導電線）
導電線２は、図２に示すように、芯材となるカーボン線２ａと、導電線２は、カーボン線２ａの外周に設けられた金属めっき層２ｂと、金属めっき層２ｂ上に設けられた絶縁皮膜２ｃとで少なくとも構成されている。なお、図２において、Ｄ１はカーボン線２ａの直径であり、Ｄ２は絶縁皮膜２ｃを含めない導電線２の直径であり、Ｄ３は絶縁皮膜２ｃを含めた導電線２の直径である。こうした導電線２は、絶縁層１の厚さ方向Ｙに貫通すると共に先端部４が絶縁層１の面（先端部４以外の表面のこと。）から突出している。 (Conductive wire)
As shown in FIG. 2, theconductive wire 2 is a carbon wire 2a serving as a core, the conductive wire 2 is provided on the metal plating layer 2b provided on the outer periphery of the carbon wire 2a, and the metal plating layer 2b. It is comprised at least by the insulating film 2c. In FIG. 2, D1 is the diameter of the carbon wire 2a, D2 is the diameter of the conductive wire 2 not including the insulating coating 2c, and D3 is the diameter of the conductive wire 2 including the insulating coating 2c. The conductive wire 2 penetrates in the thickness direction Y of the insulating layer 1 and the tip portion 4 protrudes from the surface of the insulating layer 1 (a surface other than the tip portion 4).
導電線２は、図２に示すように、芯材となるカーボン線２ａと、導電線２は、カーボン線２ａの外周に設けられた金属めっき層２ｂと、金属めっき層２ｂ上に設けられた絶縁皮膜２ｃとで少なくとも構成されている。なお、図２において、Ｄ１はカーボン線２ａの直径であり、Ｄ２は絶縁皮膜２ｃを含めない導電線２の直径であり、Ｄ３は絶縁皮膜２ｃを含めた導電線２の直径である。こうした導電線２は、絶縁層１の厚さ方向Ｙに貫通すると共に先端部４が絶縁層１の面（先端部４以外の表面のこと。）から突出している。 (Conductive wire)
As shown in FIG. 2, the
導電線２は、図１～図３に示すように、その複数が一定のピッチＰで規則的に設けられていることが好ましいが、不規則に設けられていてもよい。図３（Ａ）（Ｂ）に示すように規則的に設けられている場合における導電線２のピッチＰは、例えば、０．０５０ｍｍ以下であり、好ましくは０．０１８ｍｍ以下の狭ピッチであることが好ましい。
As shown in FIGS. 1 to 3, it is preferable that the plurality of conductive wires 2 are regularly provided at a constant pitch P, but they may be provided irregularly. As shown in FIGS. 3A and 3B, the pitch P of the conductive wires 2 when they are regularly provided is, for example, 0.050 mm or less, preferably 0.018 mm or less. Is preferred.
導電線２の直径Ｄ３は、こうした狭ピッチで配列することができるように、０．００３～０．０５０ｍｍ程度の範囲内とすることが好ましい。ピッチＰは、導電線２の直径Ｄ３（絶縁皮膜２ｃを含めた直径）によって規制されるので、導電線２のピッチＰを０．０５０ｍｍ以下であることにより例えばＩＣチップの電極パターンが０．０５５ｍｍピッチのもの等に対しても好ましく接触することができる。また、直径が０．０１８ｍｍ以下の導電線２を用いれば、導電線２を０．０１８ｍｍ以下の狭ピッチで設けることができ、例えばＩＣチップの電極パターンが０．０５５ｍｍピッチのもの等に対してもマルチコンタクトすることができるのでより好ましい。なお、マルチコンタクトとは、図５に示すように、導通を安定させ、確実にコンタクトさせるために、複数の導電線２の先端部４を一つの電極部等２１に接触させる方法であり、導電線２を狭ピッチ（例えば０．０１８ｍｍ以下）とし、且つ規則配置又は非規則配置しても、規則的な電極部２１に対する接触を安定的に行うことができ、正確な測定が可能になる。
The diameter D3 of the conductive wire 2 is preferably in the range of about 0.003 to 0.050 mm so that it can be arranged at such a narrow pitch. Since the pitch P is regulated by the diameter D3 (the diameter including the insulating film 2c) of the conductive wire 2, the pitch P of the conductive wire 2 is 0.050 mm or less, for example, the electrode pattern of the IC chip is 0.055 mm. It can contact preferably also with the thing of a pitch. Moreover, if the conductive wire 2 having a diameter of 0.018 mm or less is used, the conductive wire 2 can be provided with a narrow pitch of 0.018 mm or less. For example, the electrode pattern of the IC chip is 0.055 mm pitch or the like Is more preferable because it can make multi-contact. In addition, as shown in FIG. 5, the multi-contact is a method of bringing the tip portions 4 of the plurality of conductive wires 2 into contact with one electrode portion 21 or the like in order to stabilize conduction and ensure contact. Even if the line 2 is set to a narrow pitch (for example, 0.018 mm or less) and regularly or irregularly arranged, the regular contact with the electrode portion 21 can be stably performed, and accurate measurement is possible.
カーボン線２ａは、従来の金属線に比べて柔軟性があるので、例えば測定時に大きな荷重が異方性導電シート１０に加わった場合でも、被検査物２０の電極部２１に傷を付けたり破損したりすることを防ぐことができる。さらに、測定時に大きな荷重が異方性導電シート１０に加わった場合でも、その柔軟性により、カーボン線２ａが折れ曲がったり塑性変形を起こしたりすることがなく、導電線間Ｗ２を狭ピッチ化しても導電線同士がショートしてしまうリスクが小さく、正確に検査を行うことができる。なお、カーボン線２ａの例としては、ポリアクリロニトリル等を挙げることができる。このカーボン線２ａは、炭素繊維、ＣＮＴ（カーボンナノチューブ）等として容易に入手することができる。
Since the carbon wire 2a is more flexible than a conventional metal wire, for example, even when a large load is applied to the anisotropic conductive sheet 10 during measurement, the electrode portion 21 of the inspection object 20 is scratched or damaged. Can be prevented. Further, even when a large load is applied to the anisotropic conductive sheet 10 during measurement, the flexibility does not cause the carbon wire 2a to be bent or cause plastic deformation, and even if the pitch between the conductive wires W2 is reduced. The risk that the conductive wires are short-circuited is small, and the inspection can be performed accurately. Examples of the carbon wire 2a include polyacrylonitrile. The carbon wire 2a can be easily obtained as carbon fiber, CNT (carbon nanotube) or the like.
カーボン線２ａの直径Ｄ１は、近年の狭ピッチ化の要請により、例えば０．００１～０．０５ｍｍを好ましく挙げることができる。カーボン線２ａの長さは、図２に示すように、絶縁層１の厚さＴとの関係で決まり、例えば絶縁層１の厚さＴと同じで０．１～２ｍｍの範囲内であることが好ましく、０．１～１ｍｍの範囲内であることがより好ましい。特に、カーボン線２ａの長さは、絶縁層１の厚さと一致していることが好ましい。
The diameter D1 of the carbon wire 2a is preferably 0.001 to 0.05 mm, for example, according to the recent demand for narrow pitch. As shown in FIG. 2, the length of the carbon wire 2a is determined by the relationship with the thickness T of the insulating layer 1, and is within the range of 0.1 to 2 mm, for example, the same as the thickness T of the insulating layer 1. Is more preferable, and is more preferably within a range of 0.1 to 1 mm. In particular, the length of the carbon wire 2a preferably matches the thickness of the insulating layer 1.
金属めっき層２ｂは、図４に示すように、カーボン線２ａの外周に設けられている。金属めっき層２ｂとしては、導電性の良い銅めっき層、ニッケルめっき層、金めっき層等を挙げることができる。これらの金属めっき層２ｂを０．５～５μｍ程度の厚さ（図２中、［Ｄ２ーＤ１］／２で表される。）で設けることにより、クラックが入らない程度の厚さで、導電線２の体積抵抗率を、被検査物の検査が可能な１Ω・ｃｍ以下、好ましくは１０－4Ω・ｃｍ以下、より好ましくは１０－５Ω・ｃｍ以下の導電率とすることができる。なお、導電率で表せば、１Ｓ／ｃｍ～１０６Ｓ／ｃｍの範囲内ということができる。なお、上記したカーボン線２ａの導電率は、１０２Ｓ／ｃｍ～１０４Ｓ／ｃｍの範囲内であるので、好ましくはカーボン線２ａの外周には上記した導電性の良い金属めっき層２ｂが設けられていることが好ましい。
As shown in FIG. 4, the metal plating layer 2b is provided on the outer periphery of the carbon wire 2a. Examples of the metal plating layer 2b include a copper plating layer, a nickel plating layer, and a gold plating layer having good conductivity. By providing these metal plating layers 2b with a thickness of about 0.5 to 5 μm (indicated by [D2−D1] / 2 in FIG. 2), the conductive plating layer 2b has a thickness that does not cause cracks. The volume resistivity of the wire 2 can be set to a conductivity of 1 Ω · cm or less, preferably 10 −4 Ω · cm or less, more preferably 10 −5 Ω · cm or less, which enables inspection of the object to be inspected. In terms of conductivity, it can be said to be in the range of 1 S / cm to 10 6 S / cm. Since the conductivity of the carbon wire 2a is in the range of 10 2 S / cm to 10 4 S / cm, the metal plating layer 2b having good conductivity is preferably provided on the outer periphery of the carbon wire 2a. It is preferable to be provided.
金属めっき層２ｂの厚さは、導電線２の導電率とともに、導電線２のコシ（荷重）にも影響するので、それらを考慮して、上記範囲内で任意に設定することが好ましい。なお、銅めっき層はカーボン線２ａ上に設けることが好ましく、金めっき層は導電線２の最表面位置に設けることが好ましい。これら銅、ニッケル、金等の金属めっき層２ｂは、伸びやすい性質を備えるので、導電線２が座屈してもクラック等が入らないという利点がある。
The thickness of the metal plating layer 2b affects not only the conductivity of the conductive wire 2 but also the stiffness (load) of the conductive wire 2, so that it is preferable to set the thickness within the above range in consideration of them. The copper plating layer is preferably provided on the carbon wire 2 a, and the gold plating layer is preferably provided on the outermost surface position of the conductive wire 2. Since these metal plating layers 2b made of copper, nickel, gold or the like have the property of being easily stretched, there is an advantage that cracks and the like do not occur even if the conductive wire 2 buckles.
絶縁皮膜２ｃは、図４に示すように、金属めっき層２ｂ上に設けられ、導電線２の周囲に最外層として設けられている。この絶縁皮膜２ｃは、隣接する導電線間の電気的な接触を妨げる絶縁性を有するものであれば特に限定されず、金属めっき層２ｂ上に直接設けられていてもよいし、金属めっき層２ｂ上に他の層（例えば他の樹脂層等）を介して設けられていてもよい。絶縁皮膜２ｃとしては特に限定されないが、例えばポリウレタン樹脂、ナイロン樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステルイミド樹脂、ポリアミド樹脂及びポリアミドイミド樹脂から選ばれるいずれか１種又は２種以上であることが好ましい。
As shown in FIG. 4, the insulating film 2 c is provided on the metal plating layer 2 b and is provided as the outermost layer around the conductive wire 2. The insulating film 2c is not particularly limited as long as it has an insulating property that prevents electrical contact between adjacent conductive wires, and may be provided directly on the metal plating layer 2b, or may be provided on the metal plating layer 2b. It may be provided via another layer (for example, another resin layer). Although it does not specifically limit as the insulating film 2c, For example, it is preferable that they are any 1 type, or 2 or more types chosen from a polyurethane resin, a nylon resin, a polyester resin, an epoxy resin, a polyesterimide resin, a polyamide resin, and a polyamideimide resin.
絶縁皮膜２ｃは、各種の方法で設けることができ、例えば焼き付け等の方法で設けることが好ましい。絶縁皮膜２ｃの厚さ（図２中、［Ｄ３－Ｄ２］／２で表される。）も特に限定されないが、例えば０．５～３μｍの範囲内の厚さで設けることが好ましい。なお、絶縁皮膜２ｃの耐電圧（直流）は、少なくとも０．１ｋＶ以上となるように設けられていることが好ましい。こうした絶縁皮膜２ｃは、導電線同士の距離が狭い場合や導電線を不規則に配列する場合でも、導電線間を確実に絶縁することができる。
The insulating film 2c can be provided by various methods, and is preferably provided by a method such as baking. The thickness of the insulating film 2c (represented by [D3-D2] / 2 in FIG. 2) is also not particularly limited, but it is preferably provided with a thickness in the range of 0.5 to 3 μm, for example. In addition, it is preferable that the withstand voltage (direct current) of the insulating film 2c is provided to be at least 0.1 kV or more. Such an insulating film 2c can reliably insulate between the conductive lines even when the distance between the conductive lines is narrow or when the conductive lines are irregularly arranged.
こうして構成された導電線２は、抵抗値が１つの検査パターンあたり３Ω以下であれば導電シートとして機能できる。なお、１つの検査パターンに複数本（例えば４本以上）の導電線２が接触する場合には、１０Ω以下であれば測定可能である。
The conductive wire 2 configured in this manner can function as a conductive sheet if the resistance value is 3Ω or less per one inspection pattern. In addition, when a plurality of (for example, four or more) conductive wires 2 are in contact with one inspection pattern, measurement can be performed if it is 10Ω or less.
（突出した先端部）
突出した先端部４は、図２に示すように、異方性導電シート１０を構成する絶縁層１の面（先端部４以外の表面のこと。）から突出している部分である。この突出した先端部４は、絶縁層１の面から少しだけ突出しており、その先端部４が被検査物２０の電極部２１等に接触して検査が行われる。両面から突出した先端部４は、上記した導電線２の両端部にめっき層４ａを設けて形成される。突出した高さＨ１，Ｈ２は、好ましくは１～３μｍの範囲内とすることができる。 (Protruding tip)
As shown in FIG. 2, the protrudingtip 4 is a portion protruding from the surface of the insulating layer 1 constituting the anisotropic conductive sheet 10 (a surface other than the tip 4). The protruding tip 4 protrudes slightly from the surface of the insulating layer 1, and the tip 4 comes into contact with the electrode part 21 of the object 20 to be inspected. The front end portion 4 protruding from both surfaces is formed by providing a plating layer 4a at both end portions of the conductive wire 2 described above. The protruding heights H1 and H2 can be preferably in the range of 1 to 3 μm.
突出した先端部４は、図２に示すように、異方性導電シート１０を構成する絶縁層１の面（先端部４以外の表面のこと。）から突出している部分である。この突出した先端部４は、絶縁層１の面から少しだけ突出しており、その先端部４が被検査物２０の電極部２１等に接触して検査が行われる。両面から突出した先端部４は、上記した導電線２の両端部にめっき層４ａを設けて形成される。突出した高さＨ１，Ｈ２は、好ましくは１～３μｍの範囲内とすることができる。 (Protruding tip)
As shown in FIG. 2, the protruding
めっき層４ａとしては、ニッケルめっき層及び金めっき層の一方又は両方を好ましく挙げることができる。ニッケルめっき層及び金めっき層の両方とは、ニッケルめっき層上に金めっき層を設ける。めっき層４ａの厚さＨ１，Ｈ２は、１～３μｍの範囲内であることが好ましい。このめっき層４ａの厚さＨ１，Ｈ２は、導電線２の芯材であるカーボン線２ａの直径よりも小さいことが、突出した先端部４が折れ曲がったりせずに、力を正しく伝えるという観点から好ましい。
As the plating layer 4a, one or both of a nickel plating layer and a gold plating layer can be preferably exemplified. Both the nickel plating layer and the gold plating layer are provided with a gold plating layer on the nickel plating layer. The thicknesses H1 and H2 of the plating layer 4a are preferably in the range of 1 to 3 μm. The thickness H1 and H2 of the plating layer 4a is smaller than the diameter of the carbon wire 2a which is the core material of the conductive wire 2 from the viewpoint of correctly transmitting the force without the protruding tip 4 being bent. preferable.
めっき層４ａは、電気めっき又は無電解めっきで形成される。めっき層４ａの形成は、導電線２（カーボン線２ａ、金属めっき層２ｂ、絶縁皮膜２ｃ）が絶縁層１内に配列された状態で、絶縁層１の表面に露出した導電部（カーボン線２ａ及び金属めっき層２ｂ）に通電して電気めっきを行うか、その導電部を活性化処理して無電解めっきを行う。こうして、絶縁層１から突出する先端部４を形成することができる。
The plating layer 4a is formed by electroplating or electroless plating. The plating layer 4a is formed in such a manner that the conductive wire 2 (carbon wire 2a, metal plating layer 2b, insulating film 2c) is arranged in the insulating layer 1 and the conductive portion exposed on the surface of the insulating layer 1 (carbon wire 2a). In addition, the electroplating is performed by energizing the metal plating layer 2b) or by activating the conductive portion. Thus, the tip portion 4 protruding from the insulating layer 1 can be formed.
（異方性導電シート）
こうして形成された異方性導電シート１０は、通常は、図１に示すような縦寸法Ａ、横寸法Ｂ、絶縁層厚さＴで表される矩形形状のシートであるが、その形状は円形、楕円形、多角形等であってもよい。異方性導電シート１０の厚さは、シート状物である絶縁層１の厚さＴと、突出する先端部４の厚さＨ１，Ｈ２とを加えた厚さであり、０．１～２ｍｍの範囲内であり、好ましくは０．１～１ｍｍの範囲内である。異方性導電シート１０の厚さが０．１ｍｍ未満では、図５に示すような態様で行われる測定時に、０．０２ｍｍのストローク量を確保することができないことがあり、その厚さが２ｍｍを超えると、導電線２を構成するカーボン線２ａが長くなりすぎ、良導電性の金属めっき層２ｂを設けた場合であっても、抵抗値を抑えることができないことがある。上記したストロークとは、被検査物２０の高さばらつき（半田バンプのばらつき等）を吸収するための長さであり、そのストローク量を確保したシート厚さ（例えば０．１ｍｍ）とすることにより、安定した接触抵抗を確保して正確な測定を行うことができる。 (Anisotropic conductive sheet)
The anisotropicconductive sheet 10 thus formed is usually a rectangular sheet represented by a longitudinal dimension A, a lateral dimension B, and an insulating layer thickness T as shown in FIG. It may be oval, polygonal or the like. The thickness of the anisotropic conductive sheet 10 is a thickness obtained by adding the thickness T of the insulating layer 1 which is a sheet-like material and the thicknesses H1 and H2 of the projecting tip 4 and is 0.1 to 2 mm. And preferably in the range of 0.1 to 1 mm. If the anisotropic conductive sheet 10 has a thickness of less than 0.1 mm, a stroke amount of 0.02 mm may not be ensured during measurement performed in the manner shown in FIG. When the value exceeds 1, the carbon wire 2a constituting the conductive wire 2 becomes too long, and the resistance value may not be suppressed even when the highly conductive metal plating layer 2b is provided. The stroke described above is a length for absorbing the height variation (solder bump variation, etc.) of the inspection object 20, and by setting the sheet thickness (for example, 0.1 mm) to ensure the stroke amount. It is possible to ensure a stable contact resistance and perform an accurate measurement.
こうして形成された異方性導電シート１０は、通常は、図１に示すような縦寸法Ａ、横寸法Ｂ、絶縁層厚さＴで表される矩形形状のシートであるが、その形状は円形、楕円形、多角形等であってもよい。異方性導電シート１０の厚さは、シート状物である絶縁層１の厚さＴと、突出する先端部４の厚さＨ１，Ｈ２とを加えた厚さであり、０．１～２ｍｍの範囲内であり、好ましくは０．１～１ｍｍの範囲内である。異方性導電シート１０の厚さが０．１ｍｍ未満では、図５に示すような態様で行われる測定時に、０．０２ｍｍのストローク量を確保することができないことがあり、その厚さが２ｍｍを超えると、導電線２を構成するカーボン線２ａが長くなりすぎ、良導電性の金属めっき層２ｂを設けた場合であっても、抵抗値を抑えることができないことがある。上記したストロークとは、被検査物２０の高さばらつき（半田バンプのばらつき等）を吸収するための長さであり、そのストローク量を確保したシート厚さ（例えば０．１ｍｍ）とすることにより、安定した接触抵抗を確保して正確な測定を行うことができる。 (Anisotropic conductive sheet)
The anisotropic
なお、図２において、Ｗ１は導電線間のギャップ（隙間）であり、Ｗ２は絶縁皮膜２ｃを含めた導電線間のギャップ（隙間）である。
In FIG. 2, W1 is a gap (gap) between the conductive lines, and W2 is a gap (gap) between the conductive lines including the insulating film 2c.
異方性導電シート１０に加わる荷重は、測定に要する荷重であり、被検査物２０へのダメージを考慮した場合には、１検査パターンあたり１０ｇｆ以下であることが好ましい。なお、１本あたりの導電線２の荷重に換算すると、５ｇｆ以下が好ましく、２ｇｆ以下がより好ましい。これは、マルチコンタクトした場合の例であり、複数本接触しても１検査パターンあたり１０ｇｆ以下にすることができる。
The load applied to the anisotropic conductive sheet 10 is a load required for measurement, and is preferably 10 gf or less per inspection pattern in consideration of damage to the inspection object 20. In addition, when converted into the load of the conductive wire 2 per wire, 5 gf or less is preferable and 2 gf or less is more preferable. This is an example in the case of multi-contact, and even if a plurality of contacts are made, it can be reduced to 10 gf or less per inspection pattern.
こうした異方性導電シート１０は、導電線２を狭ピッチで配置することができ、さらに図５に示すように、異方性導電シート１０の先端部４のピッチＰを、電極間のギャップ（隙間）Ｇよりも小さくすることにより、複数の導電線２の先端部４を一つの電極部等２１に接触させることが可能となり、被検査物２０の電極部（端子等）２１と異方性導電シート１０の導電線２との位置合わせを正確にしなくても、半導体デバイス等の被検査物の検査を繰り返し使用可能とすることができる。
In such an anisotropic conductive sheet 10, the conductive wires 2 can be arranged at a narrow pitch. Further, as shown in FIG. 5, the pitch P of the tip portion 4 of the anisotropic conductive sheet 10 is set to a gap between electrodes ( By making the gap smaller than G, it becomes possible to bring the tip portions 4 of the plurality of conductive wires 2 into contact with one electrode portion 21 and the like, and anisotropy with the electrode portion (terminal etc.) 21 of the inspection object 20. Even if the alignment of the conductive sheet 10 with the conductive wire 2 is not accurate, the inspection of an inspection object such as a semiconductor device can be repeatedly used.
実施例と比較例により本発明をさらに詳しく説明する。
The present invention will be described in more detail with reference to examples and comparative examples.
［実施例１］
東レ株式会社製のトレカ糸（Ｔ７００ＳＣ－１２０００－５０Ｃ、線径０．００７ｍｍ）をカーボン線２ａとして用い、このカーボン線２ａに電気めっきで厚さ１．５μｍの銅めっき層２ｂを設けて、導体径を０．０１ｍｍとした。さらにその銅めっき層２ｂ上に、ウレタン樹脂からなる厚さ２．５μｍの絶縁皮膜２ｃを焼き付け塗布し、直径０．０１５ｍｍの導電線２を作製した。 [Example 1]
A trading card yarn (T700SC-12000-50C, wire diameter: 0.007 mm) manufactured by Toray Industries, Inc. was used as thecarbon wire 2a, and the carbon wire 2a was provided with a copper plating layer 2b having a thickness of 1.5 μm by electroplating. The diameter was 0.01 mm. Further, an insulating film 2c made of urethane resin and having a thickness of 2.5 μm was baked and applied on the copper plating layer 2b to produce a conductive wire 2 having a diameter of 0.015 mm.
東レ株式会社製のトレカ糸（Ｔ７００ＳＣ－１２０００－５０Ｃ、線径０．００７ｍｍ）をカーボン線２ａとして用い、このカーボン線２ａに電気めっきで厚さ１．５μｍの銅めっき層２ｂを設けて、導体径を０．０１ｍｍとした。さらにその銅めっき層２ｂ上に、ウレタン樹脂からなる厚さ２．５μｍの絶縁皮膜２ｃを焼き付け塗布し、直径０．０１５ｍｍの導電線２を作製した。 [Example 1]
A trading card yarn (T700SC-12000-50C, wire diameter: 0.007 mm) manufactured by Toray Industries, Inc. was used as the
導電線２を１２０００本束ね、信越化学工業株式会社製のＫＥ－１８４２を絶縁層用材料として用いて固めて厚さ１ｍｍの絶縁層１とした。その絶縁層１の厚さ方向Ｙには導電線２が貫通している。その後、ダイヤモンドカッターで１ｍｍの厚さＴに切断した。絶縁層１の両面に露出した導電線２の端面に、厚さ１．０μｍの金めっき層４ａを電気めっきで設けて、突出した先端部４とした。こうして実施例１の異方性導電シート１０を製造した。
12,000 conductive wires 2 were bundled, and KE-1842 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. was used as an insulating layer material to form an insulating layer 1 having a thickness of 1 mm. The conductive wire 2 penetrates in the thickness direction Y of the insulating layer 1. Then, it cut | disconnected to thickness T of 1 mm with the diamond cutter. A gold plating layer 4 a having a thickness of 1.0 μm was provided by electroplating on the end face of the conductive wire 2 exposed on both surfaces of the insulating layer 1 to form a protruding tip portion 4. Thus, the anisotropic conductive sheet 10 of Example 1 was manufactured.
［実施例２］
東レ株式会社製のトレカ糸（Ｔ７００ＳＣ－１２０００－５０Ｃ、線径０．００７ｍｍ）をカーボン線２ａとして用い、このカーボン線２ａに電気めっきでニッケルめっき層と金めっき層とをその順で形成した厚さ３．１μｍの金属めっき層２ｂを設けて、導体径を０．０１３２ｍｍとした。さらにその金属めっき層２ｂ上に、ウレタン樹脂からなる厚さ１．０μｍの絶縁皮膜２ｃを焼き付け塗布し、直径０．０１５ｍｍの導電線２を作製した。 [Example 2]
Toray Industries, Inc. trading card yarn (T700SC-12000-50C, wire diameter 0.007 mm) was used as thecarbon wire 2a, and a thickness of the carbon wire 2a formed by electroplating a nickel plating layer and a gold plating layer in that order. A metal plating layer 2b having a thickness of 3.1 μm was provided, and the conductor diameter was 0.0132 mm. Furthermore, an insulating film 2c made of urethane resin having a thickness of 1.0 μm was baked and applied on the metal plating layer 2b to produce a conductive wire 2 having a diameter of 0.015 mm.
東レ株式会社製のトレカ糸（Ｔ７００ＳＣ－１２０００－５０Ｃ、線径０．００７ｍｍ）をカーボン線２ａとして用い、このカーボン線２ａに電気めっきでニッケルめっき層と金めっき層とをその順で形成した厚さ３．１μｍの金属めっき層２ｂを設けて、導体径を０．０１３２ｍｍとした。さらにその金属めっき層２ｂ上に、ウレタン樹脂からなる厚さ１．０μｍの絶縁皮膜２ｃを焼き付け塗布し、直径０．０１５ｍｍの導電線２を作製した。 [Example 2]
Toray Industries, Inc. trading card yarn (T700SC-12000-50C, wire diameter 0.007 mm) was used as the
導電線２を１２０００本束ね、信越化学工業株式会社製のＫＥ－１８４２を絶縁層用材料として用いて固めて厚さ０．３ｍｍの絶縁層１とした。その絶縁層１の厚さ方向Ｙには導電線２が貫通している。その後、ダイヤモンドカッターで０．３ｍｍの厚さＴに切断した。絶縁層１の両面に露出した導電線２の端面に、厚さ１．０μｍの金めっき層４ａを電気めっきで設けて、突出した先端部４とした。こうして実施例２の異方性導電シート１０を製造した。
12,000 conductive wires 2 were bundled, and KE-1842 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. was used as an insulating layer material to form an insulating layer 1 having a thickness of 0.3 mm. The conductive wire 2 penetrates in the thickness direction Y of the insulating layer 1. Then, it cut | disconnected to thickness T of 0.3 mm with the diamond cutter. A gold plating layer 4 a having a thickness of 1.0 μm was provided by electroplating on the end face of the conductive wire 2 exposed on both surfaces of the insulating layer 1 to form a protruding tip portion 4. Thus, the anisotropic conductive sheet 10 of Example 2 was manufactured.
［実施例３］
東レ株式会社製のトレカ糸（Ｔ７００ＳＣ－１２０００－５０Ｃ、線径０．００７ｍｍ）をカーボン線２ａとして用い、このカーボン線２ａに電気めっきでニッケルめっき層と金めっき層とをその順で形成した厚さ０．５μｍの金属めっき層２ｂを設けて、導体径を０．００８ｍｍとした。さらにその金属めっき層２ｂ上に、ウレタン樹脂からなる厚さ２．５μｍの絶縁皮膜２ｃを焼き付け塗布し、直径０．０１３ｍｍの導電線２を作製した。 [Example 3]
Toray Industries, Inc. trading card yarn (T700SC-12000-50C, wire diameter 0.007 mm) was used as thecarbon wire 2a, and a thickness of the carbon wire 2a formed by electroplating a nickel plating layer and a gold plating layer in that order. A metal plating layer 2b having a thickness of 0.5 μm was provided, and the conductor diameter was set to 0.008 mm. Further, an insulating film 2c made of urethane resin having a thickness of 2.5 μm was baked and applied on the metal plating layer 2b to produce a conductive wire 2 having a diameter of 0.013 mm.
東レ株式会社製のトレカ糸（Ｔ７００ＳＣ－１２０００－５０Ｃ、線径０．００７ｍｍ）をカーボン線２ａとして用い、このカーボン線２ａに電気めっきでニッケルめっき層と金めっき層とをその順で形成した厚さ０．５μｍの金属めっき層２ｂを設けて、導体径を０．００８ｍｍとした。さらにその金属めっき層２ｂ上に、ウレタン樹脂からなる厚さ２．５μｍの絶縁皮膜２ｃを焼き付け塗布し、直径０．０１３ｍｍの導電線２を作製した。 [Example 3]
Toray Industries, Inc. trading card yarn (T700SC-12000-50C, wire diameter 0.007 mm) was used as the
導電線２を１２０００本束ね、信越化学工業株式会社製のＫＥ－１８４２を絶縁層用材料として用いて固めて厚さ０．３ｍｍの絶縁層１とした。その絶縁層１の厚さ方向Ｙには導電線２が貫通している。その後、ダイヤモンドカッターで０．３ｍｍの厚さＴに切断した。絶縁層１の両面に露出した導電線２の端面に、厚さ１．０μｍの金めっき層４ａを電気めっきで設けて、突出した先端部４とした。こうして実施例３の異方性導電シート１０を製造した。
12,000 conductive wires 2 were bundled, and KE-1842 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. was used as an insulating layer material to form an insulating layer 1 having a thickness of 0.3 mm. The conductive wire 2 penetrates in the thickness direction Y of the insulating layer 1. Then, it cut | disconnected to thickness T of 0.3 mm with the diamond cutter. A gold plating layer 4 a having a thickness of 1.0 μm was provided by electroplating on the end face of the conductive wire 2 exposed on both surfaces of the insulating layer 1 to form a protruding tip portion 4. Thus, the anisotropic conductive sheet 10 of Example 3 was manufactured.
［実施例４］
実施例３において、ＣＮＴ（線径０．００７ｍｍ）をカーボン線２ａとして用いた。それ以外は実施例３と同じにして、実施例４の異方性導電シート１０を製造した。 [Example 4]
In Example 3, CNT (wire diameter: 0.007 mm) was used as thecarbon wire 2a. Other than that was carried out similarly to Example 3, and manufactured the anisotropic conductive sheet 10 of Example 4. FIG.
実施例３において、ＣＮＴ（線径０．００７ｍｍ）をカーボン線２ａとして用いた。それ以外は実施例３と同じにして、実施例４の異方性導電シート１０を製造した。 [Example 4]
In Example 3, CNT (wire diameter: 0.007 mm) was used as the
［比較例１］
実施例２において、金属めっき層２ｂを設けなかった。それ以外は実施例２と同じにして、比較例１の導電シートを製造した。なお、導電線２の直径は０．０１２ｍｍである。 [Comparative Example 1]
In Example 2, themetal plating layer 2b was not provided. Other than that was carried out similarly to Example 2, and manufactured the conductive sheet of the comparative example 1. The diameter of the conductive wire 2 is 0.012 mm.
実施例２において、金属めっき層２ｂを設けなかった。それ以外は実施例２と同じにして、比較例１の導電シートを製造した。なお、導電線２の直径は０．０１２ｍｍである。 [Comparative Example 1]
In Example 2, the
［比較例２］
実施例２において、絶縁皮膜２ｃを設けなかった。それ以外は実施例２と同じにして、比較例２の導電シートを製造した。なお、導電線２の直径は０．０１３ｍｍである。 [Comparative Example 2]
In Example 2, the insulatingfilm 2c was not provided. Otherwise in the same manner as in Example 2, a conductive sheet of Comparative Example 2 was produced. The diameter of the conductive wire 2 is 0.013 mm.
実施例２において、絶縁皮膜２ｃを設けなかった。それ以外は実施例２と同じにして、比較例２の導電シートを製造した。なお、導電線２の直径は０．０１３ｍｍである。 [Comparative Example 2]
In Example 2, the insulating
［比較例３］
実施例２において、金属めっき層２ｂ及び絶縁皮膜２ｃを設けなかった。それ以外は実施例２と同じにして、比較例３の導電シートを製造した。なお、導電線２の直径は０．００７ｍｍである。 [Comparative Example 3]
In Example 2, themetal plating layer 2b and the insulating film 2c were not provided. Otherwise in the same manner as in Example 2, a conductive sheet of Comparative Example 3 was produced. The diameter of the conductive wire 2 is 0.007 mm.
実施例２において、金属めっき層２ｂ及び絶縁皮膜２ｃを設けなかった。それ以外は実施例２と同じにして、比較例３の導電シートを製造した。なお、導電線２の直径は０．００７ｍｍである。 [Comparative Example 3]
In Example 2, the
［測定と結果］
表１は、実施例１～４及び比較例１～３で得られたシートの結果である。抵抗値は、各シートの両面方向に測定電極を接触させ、日置電機株式会社製の３５４１抵抗計で測定し、導電線２の数で割って得た値である。体積抵抗率及び導電率は、導電線１本あたりの抵抗値を、上記抵抗計で測定し、導電線の寸法から換算した。 [Measurements and results]
Table 1 shows the results of the sheets obtained in Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 3. The resistance value is a value obtained by bringing a measurement electrode into contact with both sides of each sheet, measuring with a 3541 resistance meter manufactured by Hioki Electric Co., Ltd., and dividing by the number ofconductive wires 2. For the volume resistivity and conductivity, the resistance value per one conductive wire was measured with the above resistance meter and converted from the size of the conductive wire.
表１は、実施例１～４及び比較例１～３で得られたシートの結果である。抵抗値は、各シートの両面方向に測定電極を接触させ、日置電機株式会社製の３５４１抵抗計で測定し、導電線２の数で割って得た値である。体積抵抗率及び導電率は、導電線１本あたりの抵抗値を、上記抵抗計で測定し、導電線の寸法から換算した。 [Measurements and results]
Table 1 shows the results of the sheets obtained in Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 3. The resistance value is a value obtained by bringing a measurement electrode into contact with both sides of each sheet, measuring with a 3541 resistance meter manufactured by Hioki Electric Co., Ltd., and dividing by the number of
検査パターンとして、マイクロバンプが４００個あるテスト用パターンを用いた。検査パターンに加える荷重を種々変化させて測定した。表１に示す荷重は、検査パターンの数で荷重を除した１検査パターンあたりの荷重を示している。なお、１検査パターンとは、テスト用パターンに点在するマイクロバンプ１つ分のことであり、荷重はテスト用パターンを所定のストローク量で押し込み、その際の荷重をロードセルを用いて測定した。
The test pattern with 400 micro bumps was used as the inspection pattern. The load applied to the inspection pattern was varied and measured. The load shown in Table 1 indicates the load per inspection pattern obtained by dividing the load by the number of inspection patterns. One inspection pattern is one microbump interspersed in the test pattern, and the load was measured by pushing the test pattern with a predetermined stroke amount and using the load cell.
短絡は、上記計測器で、１検査パターンと他の検査パターンが短絡となるか否かで評価した。検査の可否は、マイクロバンプ４００個が全て短絡無しとなるか否かで評価した。
The short circuit was evaluated by the above measuring instrument based on whether one test pattern and another test pattern were short-circuited. Whether or not inspection was possible was evaluated based on whether or not all 400 microbumps were short-circuited.
以上より、実施例１～４の導電シートは、異方性導電シートとして、電極部及び端子が狭ピッチ化した検査パターンに対し、正確に測定することができた。一方、比較例１～３の導電シートは、十分に測定することができなかった。
From the above, the conductive sheets of Examples 1 to 4 could be measured accurately as an anisotropic conductive sheet with respect to the inspection pattern in which the electrode portions and the terminals were narrowed. On the other hand, the conductive sheets of Comparative Examples 1 to 3 could not be measured sufficiently.
１ 絶縁層
２ 導電線
２ａ カーボン線
２ｂ 金属めっき層
２ｃ 絶縁皮膜
３ 絶縁層を構成する弾性樹脂
４ 突出した先端部
４ａ めっき層
１０ 異方性導電シート
２０ 被検査物
２１ 電極部又は端子
Ａ 縦寸法
Ｂ 横寸法
Ｔ 絶縁層の厚さ
Ｐ 導電線間のピッチ
Ｄ１ カーボン線の直径
Ｄ２ 絶縁皮膜を含めない導電線の直径
Ｄ３ 絶縁皮膜を含めた導電線の直径
Ｈ１，Ｈ２ 両端部のめっき層の厚さ
Ｗ１ 導電線間のギャップ（隙間）
Ｗ２ 絶縁皮膜を含めた導電線間のギャップ（隙間）
Ｙ 絶縁層の厚さ方向
Ｇ 電極間のギャップ（隙間）
DESCRIPTION OFSYMBOLS 1 Insulating layer 2 Conductive wire 2a Carbon wire 2b Metal plating layer 2c Insulating film 3 Elastic resin which comprises an insulating layer 4 Protruding tip part 4a Plating layer 10 Anisotropic conductive sheet 20 Inspected object 21 Electrode part or terminal A Vertical dimension B lateral dimension T thickness of insulating layer P pitch between conductive wires D1 diameter of carbon wire D2 diameter of conductive wire not including insulating film D3 diameter of conductive wire including insulating film H1, H2 thickness of plating layer at both ends W1 Gap between conductive wires
W2 Gap between conductive wires including insulation film
Y Insulating layer thickness direction G Gap gap
２ 導電線
２ａ カーボン線
２ｂ 金属めっき層
２ｃ 絶縁皮膜
３ 絶縁層を構成する弾性樹脂
４ 突出した先端部
４ａ めっき層
１０ 異方性導電シート
２０ 被検査物
２１ 電極部又は端子
Ａ 縦寸法
Ｂ 横寸法
Ｔ 絶縁層の厚さ
Ｐ 導電線間のピッチ
Ｄ１ カーボン線の直径
Ｄ２ 絶縁皮膜を含めない導電線の直径
Ｄ３ 絶縁皮膜を含めた導電線の直径
Ｈ１，Ｈ２ 両端部のめっき層の厚さ
Ｗ１ 導電線間のギャップ（隙間）
Ｗ２ 絶縁皮膜を含めた導電線間のギャップ（隙間）
Ｙ 絶縁層の厚さ方向
Ｇ 電極間のギャップ（隙間）
DESCRIPTION OF
W2 Gap between conductive wires including insulation film
Y Insulating layer thickness direction G Gap gap
Claims (4)
- 弾性を有する絶縁層と、前記絶縁層の厚さ方向に貫通すると共に先端部が前記絶縁層から突出する複数の導電線とを有する異方性導電シートであって、
前記導電線は、前記絶縁層の厚さと同じ又は略同じ長さからなるカーボン線と、該カーボン線の両端のめっき層とで構成されているとともに、
前記導電線は、前記カーボン線の外周に設けられた金属めっき層と、前記金属めっき層上に設けられた絶縁皮膜とを有する、ことを特徴とする異方性導電シート。 An anisotropic conductive sheet having an insulating layer having elasticity and a plurality of conductive wires penetrating in the thickness direction of the insulating layer and having tip portions protruding from the insulating layer,
The conductive wire is composed of a carbon wire having the same or substantially the same length as the insulating layer, and plating layers at both ends of the carbon wire,
The anisotropic conductive sheet, wherein the conductive wire includes a metal plating layer provided on an outer periphery of the carbon wire, and an insulating film provided on the metal plating layer. - 前記先端部のめっき層の厚さが、１～３μｍの範囲内である、請求項１に記載の異方性導電シート。 2. The anisotropic conductive sheet according to claim 1, wherein the thickness of the plating layer at the tip is in the range of 1 to 3 μm.
- 前記カーボン線は、直径が０．００１～０．０５ｍｍの範囲内である、請求項１又は２に記載の異方性導電シート。 The anisotropic conductive sheet according to claim 1 or 2, wherein the carbon wire has a diameter in the range of 0.001 to 0.05 mm.
- 前記絶縁層は、厚さ０．１～２ｍｍの範囲内のシート状物である、請求項１～３のいずれか１項に記載の異方性導電シート。
The anisotropic conductive sheet according to any one of claims 1 to 3, wherein the insulating layer is a sheet-like material having a thickness of 0.1 to 2 mm.
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| JP2018-038049 | 2018-03-02 | ||
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Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11233222A (en) * | 1998-02-17 | 1999-08-27 | Porimatec Kk | Low-resistance elastic connector and its manufacture |
| JP2001006770A (en) * | 1999-06-21 | 2001-01-12 | Nitto Denko Corp | Anisotropic conductive film |
| JP2002031646A (en) * | 2000-07-18 | 2002-01-31 | Toppan Printing Co Ltd | Conductive sheet for electric inspection and its manufacturing method |
| JP2002343462A (en) * | 2001-05-10 | 2002-11-29 | Fujitsu Ltd | Anisotropic conductive sheet, manufacturing method therefor, contact structure, electronic device and inspection device for performance test |
| JP2005093298A (en) * | 2003-09-18 | 2005-04-07 | Nitto Denko Corp | Anisotropic conductive film for inspecting electronic part and inspection method for electronic part using it |
-
2018
- 2018-07-31 JP JP2018144585A patent/JP6454811B1/en active Active
-
2019
- 2019-03-01 WO PCT/JP2019/008037 patent/WO2019168147A1/en active Application Filing
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11233222A (en) * | 1998-02-17 | 1999-08-27 | Porimatec Kk | Low-resistance elastic connector and its manufacture |
| JP2001006770A (en) * | 1999-06-21 | 2001-01-12 | Nitto Denko Corp | Anisotropic conductive film |
| JP2002031646A (en) * | 2000-07-18 | 2002-01-31 | Toppan Printing Co Ltd | Conductive sheet for electric inspection and its manufacturing method |
| JP2002343462A (en) * | 2001-05-10 | 2002-11-29 | Fujitsu Ltd | Anisotropic conductive sheet, manufacturing method therefor, contact structure, electronic device and inspection device for performance test |
| JP2005093298A (en) * | 2003-09-18 | 2005-04-07 | Nitto Denko Corp | Anisotropic conductive film for inspecting electronic part and inspection method for electronic part using it |
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