WO2019149311A1 - Mirror assembly comprising a plane mirror and a supporting structure - Google Patents

Mirror assembly comprising a plane mirror and a supporting structure Download PDF

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WO2019149311A1
WO2019149311A1 PCT/DE2019/100074 DE2019100074W WO2019149311A1 WO 2019149311 A1 WO2019149311 A1 WO 2019149311A1 DE 2019100074 W DE2019100074 W DE 2019100074W WO 2019149311 A1 WO2019149311 A1 WO 2019149311A1
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WO
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mirror
leaf springs
mirror assembly
carrier
plane mirror
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PCT/DE2019/100074
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Inventor
Torsten Erbe
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Jenoptik Optical Systems Gmbh
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    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/08—Mirrors
    • G02B5/0891—Ultraviolet [UV] mirrors
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0825—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a flexible sheet or membrane, e.g. for varying the focus

Definitions

  • a medium-sized optical mirror is understood as meaning mirrors with a diameter of approximately 50 mm to approximately 480 mm. They are z. B. for deflection tasks in imaging or beam-forming systems u. a. used in semiconductor technology at wavelengths ⁇ 400 nm.
  • the mirror should have a low weight, in which the ratio of mirror diameter to mirror thickness should be> 10.
  • Such a mirror is a thin mirror in the sense of this description.
  • the mirror itself forms an upper plate, a carrier a lower plate and a hard foam or a support structure a sandwiched core sandwiched between them.
  • Important requirements for the sandwich core are low weight, low thermal expansion and high uniformity.
  • a mirror assembly with a rear sandwich top layer, a front sandwich cover layer, a honeycomb core glued in between as a support structure and at least one actuator layer with a plurality of individually controllable actuator elements is disclosed.
  • Such an actuator layer may be adhered to one or both of the sandwich cover layers.
  • the elongation in the transverse direction of the actuator layer is used, which arises when an electrical voltage is applied to the actuator elements. Due to the distance between the one or both actuator layers of the neutral bending plane of the mirror assembly bending effects are introduced into the mirror by the transverse strain.
  • the honeycomb core is said in the aforementioned DE 199 17 519 A1 that its individual cells form equilateral triangles or hexagons.
  • a local pointwise and magnitude differentiable force input for deformation of the mirror is not possible here, since the actuator layer, even if it is structurally flat, always acts on a region of the honeycomb core and not only on individual cell walls of the honeycomb core and thus the force input area and not punctually takes place and because the actuator layer to another is not differentiated controlled to cause a differentiated amount of force entry.
  • a deformable mirror is known from US Pat. No. 7,188,964 B2, which is constructed from a thin plate with the mirror layer and a support structure at its rear side.
  • the support structure are parallel ribs that run at 60 "angles to each other and intersect at nodal points.
  • the ribs have centrally between two nodes each have a recess in which actuators are used parallel to the mirror. With the actuators bending forces can be introduced into the support structure between the nodes, with which the curvature of the mirror can be changed.
  • a locally selective application of force for deformation of the mirror is not possible here, since the actuators always act on a region of the support structure between at least two nodes, whereby the force input is distributed over a surface and not punctiform.
  • DE 602 01 429 T2 discloses a mirror which is mounted on a movable mirror holder.
  • the mirror holder allows by means of piezo actuators a precise tilting and focusing movement, which is performed exactly around the optical center of the mirror.
  • the shape of the mirror surface can not be influenced by the device.
  • JP 2017 1 16514 A discloses a tilting table.
  • a tabletop is centered on a flexible column which is connected to a base plate. Between the base plate and the table top piezo actuators are arranged so that the table top can be tilted about two axes. The shape of the mirror surface can not be influenced by the device.
  • the invention has for its object to find a mirror assembly in which a mirror is punctually locally highly deformable with a differentiable force input deformable.
  • the mirror assembly should be inexpensive to manufacture and fexibel to the mirror and the requirement for its deformability adaptable.
  • the object is achieved by a mirror assembly according to claim 1.
  • a medium-sized mirror is held and selectively deformed by a locally and magnitude differentiable force input, acting in the direction of a surface normal of the mirror.
  • the deformation may serve the purpose of compensating for manufacturing inaccuracies of the mirror itself or errors arising in an optical system in which the mirror is arranged to compensate for system-conforming shape changes.
  • the required deformations are predetermined by the optical system and can be taken into account by the arrangement of the support structure and the distribution of the actuators in this. Thus, an irregular arrangement of the actuators is possible.
  • the task of the support structure is the stable Flalterung and possibility of deformation of the mirror itself.
  • the support structure itself can in turn be incorporated into known and prior art corresponding mounting systems and elements, which optionally the displacement and positioning of the mirror with support structure within the optical system take over.
  • Mirror assembly is that the introduced via the actuator in the leaf spring Way or the initiated force negligibly, an existing existing adhesive gap, is introduced directly into the leaf spring.
  • FIG. 1 a is a side view of a first embodiment of a mirror assembly according to the invention
  • FIG. 1 b is a plan view of the mirror assembly of FIG. 1 a
  • FIG. 1 c is a perspective view of the mirror assembly of FIG. 1 a
  • FIG. 2a shows a first embodiment of a support element of a mirror assembly according to
  • FIG. 2b shows a second embodiment of a support element of a mirror assembly according to Fig. 1 a and 1 b,
  • Fig. 2c shows a third embodiment of a support element of a mirror assembly according to
  • FIG. 3a shows a side view of a second embodiment of a mirror assembly according to the invention
  • FIG. 3b is a plan view of the mirror assembly according to Fig. 3a,
  • 3c is a sectional view of the mirror assembly of FIG. 3a
  • 5a shows a first embodiment of a cross connection
  • Fig. 6 is a mirror assembly with a plane arranged to align the support structure arranged plane mirror and Fig. 7 is a mirror assembly held in a Justier plasma.
  • a mirror assembly according to the invention comprises a plane mirror 1, a carrier 2 and a support structure arranged between the plane mirror 1 and the carrier 2 and firmly connected thereto.
  • the support structure has a plurality of support elements 3 each having a longitudinal axis I and a transverse axis q, which are arranged aligned in the direction of their longitudinal axes I perpendicular to the plane mirror 1 and the carrier 2 and which are monolithically connected to each other in the direction of their transverse axis q.
  • the support structure (see, for example, FIG. 1c) comprises a plurality of longitudinal strips 5 and cross connections 6 which together form a two-dimensional grid arrangement. At least the longitudinal strips 5 are each formed by some of the support elements 3.
  • the support elements 3 are each formed by two identical at a plane facing the plane mirror 1 end 3.2 and the carrier 2 end facing 3.3 firmly interconnected leaf springs 3.1. All or at least some of the support elements 3 are active support elements, in which between the two leaf springs 3.1 an actuator element 4 (see, for example, Fig. 3c) is arranged over the actuation of the leaf springs 3.1 are bent symmetrically to each other. In the other of the support elements 3, which have no actuator elements 4, it is passive support elements 3.
  • the leaf springs 3.1 of all supporting elements 3 of the support structure are preferably the same dimensioned and are biased during assembly either without bias or to the same extent between the carrier. 2 and the plane mirror 1 is arranged.
  • the leaf springs 3.1 mounted biased, ie they are pre-bent the plane mirror 1 can be deformed by a change in the bend in two opposite directions of action.
  • the passive support elements 3 are adapted to be bent to the support elements 3 adjacent to them and act with an adapted restoring force to the adjacent support elements 3 on the plane mirror. 1 If the support elements 3 are not mounted biased, then the plane mirror 1 can only be deformed by an increasingly larger bend in one direction of action. How many of the support elements 3 are each equipped with an actuator element 4 in order to be used selectively as an active support element 3 for deformation of the plane mirror 1, depends on the requirements, which are predetermined by the optical system in which the plane mirror 1 is used.
  • the leaf springs 3.1 may have any shape, but they are advantageously symmetrical to its longitudinal axis I executed and cut from a strip of material, where they remain monolithically connected by the carrier 2 on remaining material webs. Essentially, the leaf springs 3.1 only act over a free length L as leaf springs and the monolithically connected areas as a fixed restraint.
  • the leaf springs 3.1 are not structured and have z. B. a trapezoidal or, as shown in Fig. 4, rectangular peripheral shape.
  • the leaf springs 3.1 are then, upon actuation of the respective actuator element 4, deflected by the actuating path of the actuator element 4 at the point of application of the actuator element 4.
  • the actuator element 4 engages in each case on the axis of symmetry of belonging to a support member 3 leaf springs 3.1, preferably in the middle of the free length L.
  • the deformation of the plane mirror 1 takes place with un structured leaf springs 3.1 by a comparatively small reduction of this travel in a shortening of the distance between the carrier 2 and the plane mirror 1, the change in the force on the plane mirror 1 and a change in the deformation of the plane mirror. 1 at the force application point leads.
  • the leaf springs 3.1 each in a leaf spring frame 3.1.1 and in a leaf spring tongue 3.1.2, with a free end 3.1.2.1 and one in the leaf spring frame 3.1.1 merging fixed end 3.1.2.2, to structure.
  • the actuator element 4 engages here in each case at one of the free ends 3.1.2.1 of the leaf spring tongues 3.1.2.
  • FIGS. 1 a to 1 c a first advantageous embodiment of a mirror assembly with such support elements 3 shown.
  • the free length L of the individual leaf springs 3.1 is shorter here compared to that of a second advantageous embodiment described later, since the monolithic connection between the support elements 3 has a minimum width in order to connect cross connections 6 in the form of transverse strips by nesting with the longitudinal strips 5.
  • the longitudinal strips 5 and the transverse strips each have a coordinated arrangement of slots 8.
  • the cross connections 6 only have the function of holding the longitudinal strips 5 in their relative position to each other and to stabilize this relative position.
  • the transverse strips, as a concrete embodiment of the cross connections 6, can be rigidly connected only to the longitudinal strips 5 or to the carrier 2.
  • the support elements 3 can z. B be materially connected to the back of the plane mirror 1 and the carrier 2, for which, however, only a comparatively small contact surface is present, for. B. if this is provided by the leaf springs 3.1 itself.
  • a support element 3 designed in this way is shown in FIG. 2a.
  • the support elements 3 are connected to the plane mirror 1 facing the end 3.2 indirectly via an adapter piece 7 with each other and with the plane mirror 1 cohesively, as shown in Fig. 2b, and / or they are at the carrier 2 end facing 3.3 indirectly via an adapter piece 7 with each other and with the carrier 2 materially connected, as shown in Fig. 2c.
  • FIGS. 3a to 3c A second advantageous embodiment of a mirror assembly according to the invention is shown in FIGS. 3a to 3c.
  • the support elements 3 and leaf springs 3.1 can be designed differently.
  • the cross-connections 6 are not realized by additional components in this second embodiment, but are formed by the compounds of the leaf springs 3.1 with each other in the direction perpendicular to the transverse axis q.
  • one of the leaf springs 3.1 and of the inner support elements 3 are both of the outer support elements 3
  • Leaf springs 3.1 at its end facing the carrier 2 3.3 each with one of the leaf springs 3.1 of the support elements 3 of the adjacent longitudinal bar 5 in combination.
  • the width of the monolithic connection of the support elements 3 can be kept very short, whereby the crucial for the spring action free length L is longer.
  • the support elements 3 do not have to be connected to one another in the direction of the transverse axis q.
  • leaf springs 3.1 and 3 support elements can advantageously be formed on the plane mirror 1 facing the end of the leaf springs 3.1 3.1 each have a sticky nose 9.
  • the carrier 2 adapted to the lattice shape of the support structure or annular, as shown in Fig. 7.
  • the actuator elements 4 are advantageously piezo elements and in the leaf springs 3.1 holes are provided for the passage of electrical cables.
  • the support structure is connected to any peripheral shape of the plane mirror 1 z. B. round (see Fig. 1a and Fig. 2a), oval, rectangular (see Fig. 3a) customizable.
  • the plane mirror 1 also does not have to be perpendicular (see FIG. 1 c) for aligning the support structure, but can also be arranged inclined thereto (see FIG. 6).
  • the mirror assembly may be fixedly arranged in an optical system or else in an adjustment frame, by means of which the mirror assembly within an optical system can be adjusted in its spatial position.
  • an arbitrary adjustment socket has been illustrated which can be replaced by any other adjustment socket in which an inner frame can be displaced and / or tilted axially and / or radially relative to an outer frame.

Abstract

The invention relates to a mirror assembly comprising a plane mirror (1), a carrier (2) and a supporting structure arranged between the two. Said supporting structure consists of longitudinal strips (5) and transverse connections (6), wherein at least the longitudinal strips (5) are formed by supporting elements (3). Each of the supporting elements (3) is formed by two interconnected leaf springs (3.1) of the same design, wherein at least some of said supporting elements (3) comprise an actuator element (4) disposed between the leaf springs (3.1) thereof, and actuation of such an element results in said leaf springs (3.1) being bent symmetrically to one another such that the plane mirror (1) is deformed by the supporting element (3) in question.

Description

Spiegelbaugruppe mit einem Planspiegel und einer Stützstruktur  Mirror assembly with a plane mirror and a support structure
Unter einem mittelgroßen optischen Spiegel werden im Sinne der vorliegenden Beschreibung Spiegel mit einem Durchmesser von ca. 50 mm bis ca. 480 mm verstanden. Sie werden z. B. für Umlenkaufgaben in bildgebenden oder strahlformenden Systemen u. a. in der Halbleitertechnik bei Wellenlängen von < 400 nm verwendet. For the purposes of the present description, a medium-sized optical mirror is understood as meaning mirrors with a diameter of approximately 50 mm to approximately 480 mm. They are z. B. for deflection tasks in imaging or beam-forming systems u. a. used in semiconductor technology at wavelengths <400 nm.
Für diese Anwendungen ergeben sich für einen Spiegel grundsätzliche Anforderungen, die zum einen in der Herstellung einer sehr hohen Formgenauigkeit und zum anderen in der dauerhaften Aufrechterhaltung einer hohen Formbeständigkeit des Spiegels unter allen auftretenden äußeren Bedingungen bestehen. Darüber hinaus soll der Spiegel ein nur geringes Gewicht aufweisen, bei dem das Verhältnis von Spiegeldurchmesser zu Spiegeldicke > 10 sein sollte. Ein solcher Spiegel stellt im Sinne dieser Beschreibung einen dünnen Spiegel dar. For these applications, there are fundamental requirements for a mirror which consist, on the one hand, in the production of a very high dimensional accuracy and, on the other, in the permanent maintenance of a high dimensional stability of the mirror under all external conditions that occur. In addition, the mirror should have a low weight, in which the ratio of mirror diameter to mirror thickness should be> 10. Such a mirror is a thin mirror in the sense of this description.
Um eine hohe Formbeständigkeit für einen dünnen Spiegel zu sichern, ist es z. B. aus der DE 199 17 519 A1 bekannt, diesen in einer Sandwichbauweise auszuführen. Dabei bildet der Spiegel selbst eine obere Platte, ein Träger eine untere Platte und ein Hartschaum oder eine Stützstruktur einen dazwischen angeordneten Sandwichkern. Wichtige Anforderungen für den Sandwichkern ist ein geringes Gewicht, eine geringe Wärmedehnung und eine große Gleichmäßigkeit. To ensure a high dimensional stability for a thin mirror, it is z. B. from DE 199 17 519 A1 known to perform this in a sandwich construction. In this case, the mirror itself forms an upper plate, a carrier a lower plate and a hard foam or a support structure a sandwiched core sandwiched between them. Important requirements for the sandwich core are low weight, low thermal expansion and high uniformity.
Insbesondere große Spiegel z. B. für astronomische Spiegelteleskope können nur mit einer endlichen Genauigkeit hergestellt werden, woraus sich der Bedarf ergibt, diese aktiv in Ihrer Form zu korrigieren. Wie in der vorgenannten DE 199 17 519 A1 angegeben, ist es aus dem Stand der Technik bekannt, die Stützstruktur aus vertikal zur Spiegelrückfläche angreifenden hydraulischen oder pneumatischen Aktoren bzw. bei mittelgroßen und kleinen Spiegeln auch aus elektromagnetischen Aktoren und Festkörperaktoren, z. B. auf Basis piezokeramischer, elektrostriktiver oder magnetostriktiver Aktoren, zu bilden. Der Nachteil solcher Aktorenkonfigurationen sei allerdings, dass sie zu einer schweren Stützstruktur führen, womit die Gewichtseinsparung durch die Verwendung eines dünnen Spiegels aufgebraucht wird. In der vorgenannten DE 199 17 519 A1 wird eine Spiegelbaugruppe (dort optischer Spiegel) mit einer rückwärtigen Sandwichdeckschicht, einer vorderen Sandwichdeckschicht, einem dazwischen geklebten Wabenkern als Stützstruktur und wenigstens einer Aktorschicht mit mehreren individuell ansteuerbaren Aktorelementen offenbart. Eine solche Aktorschicht kann auf einer oder beiden der Sandwichdeckschichten aufgeklebt sein. Zur Verformung des seitens der vorderen Sandwichdeckschicht angeordneten Spiegels (dort Spiegelträgerschicht mit Reflexionsschicht) wird die Dehnung in Querrichtung der Aktorschicht genutzt, die beim Anlegen einer elektrischen Spannung an die Aktorelemente entsteht. Durch den Abstand der einen oder der beiden Aktorschichten von der neutralen Biegeebene der Spiegelbaugruppe werden durch die Querdehnung Biegeeffekte in den Spiegel eingebracht. Zum Wabenkern wird in der vorgenannten DE 199 17 519 A1 gesagt, dass dessen einzelne Zellen gleichseitige Dreiecke oder Sechsecke bilden. Ein örtlich punktuell und betragsmäßig differenzierbarer Krafteintrag zur Deformation des Spiegels ist hier nicht möglich, da die Aktorschicht, auch wenn sie zum einen flächig struktiert ist, immer auf einen Bereich des Wabenkerns und nicht nur auf einzelne Zellwände des Wabenkerns wirkt und damit der Krafteintrag flächig und nicht punktuell erfolgt und da die Aktorschicht zum anderen nicht differenziert ansteuerbar ist, um einen betragsmäß differenzierten Krafteintrag zu bewirken. In particular, large mirror z. B. for astronomical reflector telescopes can be made only with a finite accuracy, which results in the need to actively correct them in their form. As stated in the aforementioned DE 199 17 519 A1, it is known from the prior art, the support structure from vertical to the mirror rear surface attacking hydraulic or pneumatic actuators or medium and small mirrors and electromagnetic actuators and solid state actuators, eg. B. on the basis piezoceramic, electrostrictive or magnetostrictive actuators to form. The disadvantage of such actuator configurations, however, is that they lead to a heavy support structure, which uses up the weight savings through the use of a thin mirror. In the aforementioned DE 199 17 519 A1 a mirror assembly (there optical mirror) with a rear sandwich top layer, a front sandwich cover layer, a honeycomb core glued in between as a support structure and at least one actuator layer with a plurality of individually controllable actuator elements is disclosed. Such an actuator layer may be adhered to one or both of the sandwich cover layers. In order to deform the mirror which is arranged on the side of the front sandwich cover layer (mirror layer with reflection layer there), the elongation in the transverse direction of the actuator layer is used, which arises when an electrical voltage is applied to the actuator elements. Due to the distance between the one or both actuator layers of the neutral bending plane of the mirror assembly bending effects are introduced into the mirror by the transverse strain. The honeycomb core is said in the aforementioned DE 199 17 519 A1 that its individual cells form equilateral triangles or hexagons. A local pointwise and magnitude differentiable force input for deformation of the mirror is not possible here, since the actuator layer, even if it is structurally flat, always acts on a region of the honeycomb core and not only on individual cell walls of the honeycomb core and thus the force input area and not punctually takes place and because the actuator layer to another is not differentiated controlled to cause a differentiated amount of force entry.
Aus der US 7 188 964 B2 ist ein verformbarer Spiegel bekannt, der aus einer dünnen Platte mit der Spiegelschicht und einer Stützstruktur an deren Rückseite aufgebaut ist. Die Stützstruktur sind parallel verlaufende Rippen, die im 60“-Winkel zueinander verlaufen und sich an Knotenpunkten kreuzen. Die Rippen weisen mittig zwischen zwei Knotenpunkten jeweils eine Aussparung auf, in denen parallel zum Spiegel Aktoren eingesetzt sind. Mit den Aktoren können zwischen den Knotenpunkten Biegekräfte in die Stützstruktur eingebracht werden, mit denen die Krümmung des Spiegels verändert werden kann. Ein örtlich punktueller Krafteintrag zur Deformation des Spiegels ist hier nicht möglich, da die Aktoren immer auf einen Bereich der Stützstruktur zwischen mindestens zwei Knotenpunkten wirken, wodurch der Krafteintrag flächig verteilt und nicht punktuell erfolgt. A deformable mirror is known from US Pat. No. 7,188,964 B2, which is constructed from a thin plate with the mirror layer and a support structure at its rear side. The support structure are parallel ribs that run at 60 "angles to each other and intersect at nodal points. The ribs have centrally between two nodes each have a recess in which actuators are used parallel to the mirror. With the actuators bending forces can be introduced into the support structure between the nodes, with which the curvature of the mirror can be changed. A locally selective application of force for deformation of the mirror is not possible here, since the actuators always act on a region of the support structure between at least two nodes, whereby the force input is distributed over a surface and not punctiform.
Die DE 602 01 429 T2 offenbart einen Spiegel, der auf einem beweglichen Spiegelhalter montiert ist. Der Spiegelhalter gestattet mittels Piezo-Aktuatoren eine präzise Kipp- und Fokussierbewegung, die genau um den optischen Mittelpunkt des Spiegels ausgeführt wird. Die Form der Spiegelfläche kann mit der Vorrichtung nicht beeinflusst werden. DE 602 01 429 T2 discloses a mirror which is mounted on a movable mirror holder. The mirror holder allows by means of piezo actuators a precise tilting and focusing movement, which is performed exactly around the optical center of the mirror. The shape of the mirror surface can not be influenced by the device.
In der JP 2017 1 16514 A ist ein Kipptisch offenbart. Eine Tischplatte ist zentrisch an einer biegsamen Säule aufgenommen, die mit einer Basisplatte verbunden ist. Zwischen der Basisplatte und der Tischplatte sind Piezo-Aktuatoren so angeordnet, dass die Tischplatte um zwei Achsen verkippt werden kann. Die Form der Spiegelfläche kann mit der Vorrichtung nicht beeinflusst werden. JP 2017 1 16514 A discloses a tilting table. A tabletop is centered on a flexible column which is connected to a base plate. Between the base plate and the table top piezo actuators are arranged so that the table top can be tilted about two axes. The shape of the mirror surface can not be influenced by the device.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Spiegelbaugruppezu finden, in der ein Spiegel punktuell örtlich mit einem betragsmäßig differenzierbaren Krafteintrag hochgenau deformierbar ist. Die Spiegelbaugruppe soll kostengünstig herstellbar und fexibel an den Spiegel und die Anforderung an dessen Deformierbarkeit anpassbar sein. The invention has for its object to find a mirror assembly in which a mirror is punctually locally highly deformable with a differentiable force input deformable. The mirror assembly should be inexpensive to manufacture and fexibel to the mirror and the requirement for its deformability adaptable.
Die Aufgabe wird durch eine Spiegelbaugruppe gemäß Anspruch 1 gelöst. The object is achieved by a mirror assembly according to claim 1.
Vorteilhafte Ausführungen sind in den rückbezogenen Ansprüchen 2 bis 9 angegeben. Advantageous embodiments are given in the dependent claims 2 to 9.
Mit der erfindungsgemäßen Stützstruktur wird ein mittelgroßer Spiegel gehalten und über einen örtlich und betragsmäßig differenzierbaren Krafteintrag, in Richtung einer Flächennormalen des Spiegels wirkend, gezielt verformt. Die Verformung kann dabei dem Zweck dienen, Fertigungsungenauigkeiten des Spiegels selbst oder Fehler, die in einem optischen System, in dem der Spiegel angeordnet wird, entstehen, durch System konforme Formveränderungen auszugleichen. Die erforderlichen Verformungen sind dabei vom optischen System vorgegeben und können durch die Anordnung der Stützstruktur und die Verteilung der Aktoren in dieser berücksichtigt werden. So ist auch eine unregelmäßige Anordnung der Aktoren möglich. Die Aufgabe der Stützstruktur ist die stabile Flalterung und Möglichkeit der Verformung des Spiegels selbst. Die Stützstruktur selbst kann wiederum in bekannte und dem Stand der Technik entsprechende Fassungssysteme und -elemente aufgenommen werden, welche gegebenenfalls die Verlagerung und Positionierung des Spiegels mit Stützstruktur innerhalb des optischen Systems übernehmen. Ein besonderer Vorteil derWith the support structure according to the invention, a medium-sized mirror is held and selectively deformed by a locally and magnitude differentiable force input, acting in the direction of a surface normal of the mirror. The deformation may serve the purpose of compensating for manufacturing inaccuracies of the mirror itself or errors arising in an optical system in which the mirror is arranged to compensate for system-conforming shape changes. The required deformations are predetermined by the optical system and can be taken into account by the arrangement of the support structure and the distribution of the actuators in this. Thus, an irregular arrangement of the actuators is possible. The task of the support structure is the stable Flalterung and possibility of deformation of the mirror itself. The support structure itself can in turn be incorporated into known and prior art corresponding mounting systems and elements, which optionally the displacement and positioning of the mirror with support structure within the optical system take over. A special advantage of
Spiegelbaugruppe besteht darin, dass der über den Aktor in die Blattfeder eingeleitete Weg bzw. die eingeleitete Kraft, einen gegebenfalls vorhandenen Klebespalt vernachlässigend, unmittelbar in die Blattfeder eingeleitet wird. Mirror assembly is that the introduced via the actuator in the leaf spring Way or the initiated force negligibly, an existing existing adhesive gap, is introduced directly into the leaf spring.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen und Zeichnungen näher erläutert. Hierzu zeigen: The invention will be explained in more detail with reference to embodiments and drawings. Show:
Fig. 1 a eine Seitenansicht auf ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Spiegelbaugruppe, 1 a is a side view of a first embodiment of a mirror assembly according to the invention,
Fig. 1 b eine Draufsicht auf die Spiegelbaugruppe nach Fig. 1 a, 1 b is a plan view of the mirror assembly of FIG. 1 a,
Fig. 1 c eine perspektivische Darstellung der Spiegelbaugruppe nach Fig. 1 a, 1 c is a perspective view of the mirror assembly of FIG. 1 a,
Fig. 2a eine erste Ausführung eines Stützelementes einer Spiegelbaugruppe nach 2a shows a first embodiment of a support element of a mirror assembly according to
Fig. 1 a und 1 b,  1 a and 1 b,
Fig. 2b eine zweite Ausführung eines Stützelementes einer Spiegelbaugruppe nach Fig. 1 a und 1 b, 2b shows a second embodiment of a support element of a mirror assembly according to Fig. 1 a and 1 b,
Fig. 2c eine dritte Ausführung eines Stützelementes einer Spiegelbaugruppe nach Fig. 2c shows a third embodiment of a support element of a mirror assembly according to
Fig. 1 a und 1 b,  1 a and 1 b,
Fig. 3a eine Seitenansicht auf ein zweites Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Spiegelbaugruppe, 3a shows a side view of a second embodiment of a mirror assembly according to the invention,
Fig. 3b eine Draufsicht auf die Spiegelbaugruppe nach Fig. 3a, 3b is a plan view of the mirror assembly according to Fig. 3a,
Fig. 3c ein Schnittbild der Spiegelbaugruppe nach Fig. 3a, 3c is a sectional view of the mirror assembly of FIG. 3a,
Fig. 4 eine einfache Ausführung einer Längsleiste, 4 shows a simple embodiment of a longitudinal strip,
Fig. 5a eine erste Ausführung einer Querverbindung, 5a shows a first embodiment of a cross connection,
Fig. 5b eine zweite Ausführung einer Querverbindung, 5b shows a second embodiment of a cross-connection,
Fig. 6 eine Spiegelbaugruppe mit einem zur Ausrichtung der Stützstruktur geneigt angeordneten Planspiegel und Fig. 7 eine Spiegelbaugruppe gehalten in einer Justierfassung. Fig. 6 is a mirror assembly with a plane arranged to align the support structure arranged plane mirror and Fig. 7 is a mirror assembly held in a Justierfassung.
Eine erfindungsgemäße Spiegelbaugruppe enthält einen Planspiegel 1 , einen Träger 2 und eine zwischen dem Planspiegel 1 und dem Träger 2 angeordnete und mit diesen fest verbundene Stützstruktur. Die Stützstruktur weist eine Mehrzahl von Stützelementen 3 jeweils mit einer Längsachse I und einer Querachse q auf, die in Richtung ihrer Längsachsen I senkrecht zum Planspiegel 1 und zum Träger 2 ausgerichtet angeordnet sind und die in Richtung ihrer Querachse q untereinander monolithisch verbunden sind. A mirror assembly according to the invention comprises a plane mirror 1, a carrier 2 and a support structure arranged between the plane mirror 1 and the carrier 2 and firmly connected thereto. The support structure has a plurality of support elements 3 each having a longitudinal axis I and a transverse axis q, which are arranged aligned in the direction of their longitudinal axes I perpendicular to the plane mirror 1 and the carrier 2 and which are monolithically connected to each other in the direction of their transverse axis q.
Es ist erfindungswesentlich, dass die Stützstruktur (siehe z. B. Fig.1c) eine Mehrzahl von Längsleisten 5 und Querverbindungen 6 umfasst, die miteinander eine zweidimensionale Gitteranordnung bilden. Wenigstens die Längsleisten 5 sind jeweils durch einige der Stützelemente 3 gebildet. Die Stützelemente 3 sind jeweils durch zwei gleiche an einem dem Planspiegel 1 zugewandten Ende 3.2 und einem dem Träger 2 zugewandten Ende 3.3 fest miteinander verbundene Blattfedern 3.1 gebildet. Alle oder wenigstens einige der Stützelemente 3 sind aktive Stützelemente, bei denen zwischen den zwei Blattfedern 3.1 ein Aktorelement 4 (siehe z.B. Fig. 3c) angeordnet ist, über dessen Betätigung die Blattfedern 3.1 zueinander symmetrisch gebogen werden. Bei den anderen der Stützelemente 3, die keine Aktorelemente 4 aufweisen, handelt es sich um passive Stützelemente 3. Die Blattfedern 3.1 aller Stützelemente 3 der Stützstruktur sind bevorzugt gleich dimensioniert und sind bei der Montage entweder ohne Vorspannung oder im gleichen Maße vorgespannt zwischen dem Träger 2 und dem Planspiegel 1 angeordnet. Damit führt die Verbiegung der Stützelemente 3 aus dem nicht vorgespannten Zustand bzw. dem vorgespannten Zustand bei einer gleichen bzw. ungleichen Ansteuerung der Aktorelemente 4 jeweils zu einer gleichen bzw. ungleichen Änderung des Krafteintrages am Ort der jeweiligen Stützelemente 3 in den Planspiegel 1 , was als punktuell verstanden wird. Sind die Blattfedern 3.1 vorgespannt montiert, d. h. sind sie vorgebogen, kann der Planspiegel 1 durch eine Änderung der Biegung in zwei entgegengesetzte Wirkungsrichtungen deformiert werden. Die passiven Stützelemente 3 werden angepasst an die zu ihnen benachbarten Stützelemente 3 gebogen und wirken mit einer angepassten Rückstellkraft zu den benachbarten Stützelementen 3 auf den Planspiegel 1. Sind die Stützelemente 3 nicht vorgespannt montiert, dann kann der Planspiegel 1 nur durch eine zunehmend größere Biegung in einer Wirkungsrichtung deformiert werden. Wieviele der Stützelemente 3 jeweils mit einem Aktorelement 4 ausgestattet sind, um als aktives Stützelement 3 zur Deformation des Planspiegels 1 gezielt genutzt werden zu können, hängt von den Anforderungen ab, die durch das optische System vorgegeben sind, in dem der Planspiegel 1 verwendet wird. It is essential to the invention that the support structure (see, for example, FIG. 1c) comprises a plurality of longitudinal strips 5 and cross connections 6 which together form a two-dimensional grid arrangement. At least the longitudinal strips 5 are each formed by some of the support elements 3. The support elements 3 are each formed by two identical at a plane facing the plane mirror 1 end 3.2 and the carrier 2 end facing 3.3 firmly interconnected leaf springs 3.1. All or at least some of the support elements 3 are active support elements, in which between the two leaf springs 3.1 an actuator element 4 (see, for example, Fig. 3c) is arranged over the actuation of the leaf springs 3.1 are bent symmetrically to each other. In the other of the support elements 3, which have no actuator elements 4, it is passive support elements 3. The leaf springs 3.1 of all supporting elements 3 of the support structure are preferably the same dimensioned and are biased during assembly either without bias or to the same extent between the carrier. 2 and the plane mirror 1 is arranged. Thus, the bending of the support elements 3 from the non-prestressed state or the prestressed state in an equal or unequal control of the actuator elements 4 respectively to an equal or unequal change of the force entry at the location of the respective support elements 3 in the plane mirror 1, which as is understood punctually. If the leaf springs 3.1 mounted biased, ie they are pre-bent, the plane mirror 1 can be deformed by a change in the bend in two opposite directions of action. The passive support elements 3 are adapted to be bent to the support elements 3 adjacent to them and act with an adapted restoring force to the adjacent support elements 3 on the plane mirror. 1 If the support elements 3 are not mounted biased, then the plane mirror 1 can only be deformed by an increasingly larger bend in one direction of action. How many of the support elements 3 are each equipped with an actuator element 4 in order to be used selectively as an active support element 3 for deformation of the plane mirror 1, depends on the requirements, which are predetermined by the optical system in which the plane mirror 1 is used.
Grundsätzlich können die Blattfedern 3.1 eine beliebige Form aufweisen, sie sind jedoch vorteilhaft symmetrisch zu ihrer Längsachse I ausgeführt und aus einem Materialstreifen geschnitten, wobei sie seitens des Trägers 2 über verbleibende Materialstege monolithisch verbunden bleiben. Im Wesentlichen wirken die Blattfedern 3.1 nur über eine freie Länge L klassisch als Blattfedern und die monolithisch verbundenen Bereiche als eine Festeinspannung. Basically, the leaf springs 3.1 may have any shape, but they are advantageously symmetrical to its longitudinal axis I executed and cut from a strip of material, where they remain monolithically connected by the carrier 2 on remaining material webs. Essentially, the leaf springs 3.1 only act over a free length L as leaf springs and the monolithically connected areas as a fixed restraint.
In einer einfachsten Ausführung sind die Blattfedern 3.1 nicht strukturiert und weisen z. B. eine trapezförmige oder, wie in Fig. 4 gezeigt, rechteckige Umfangsform auf. Die Blattfedern 3.1 werden dann, bei Betätigung des jeweiligen Aktorelementes 4, um den Stellweg des Aktorelementes 4 am Angriffspunkt des Aktorelementes 4 ausgelenkt. Das Aktorelement 4 greift jeweils auf der Symmetrieachse der zu einem Stützelement 3 gehörenden Blattfedern 3.1 , bevorzugt in der Mitte der freien Länge L an. Die Deformation des Planspiegels 1 erfolgt mit un strukturierten Blattfedern 3.1 durch eine vergleichsweise geringe Untersetzung dieses Stellweges in eine Verkürzung des Abstandes zwischen dem Träger 2 und dem Planspiegel 1 , der zu einer Änderung der Krafteinwirkung auf den Planspiegel 1 und einer Änderung der Deformation des Planspiegels 1 am Kraftangriffspunkt führt. In a simplest embodiment, the leaf springs 3.1 are not structured and have z. B. a trapezoidal or, as shown in Fig. 4, rectangular peripheral shape. The leaf springs 3.1 are then, upon actuation of the respective actuator element 4, deflected by the actuating path of the actuator element 4 at the point of application of the actuator element 4. The actuator element 4 engages in each case on the axis of symmetry of belonging to a support member 3 leaf springs 3.1, preferably in the middle of the free length L. The deformation of the plane mirror 1 takes place with un structured leaf springs 3.1 by a comparatively small reduction of this travel in a shortening of the distance between the carrier 2 and the plane mirror 1, the change in the force on the plane mirror 1 and a change in the deformation of the plane mirror. 1 at the force application point leads.
Um den Stellweg der Aktorelemente 4 feinfühliger zu untersetzen und damit die Deformation des Planspiegels 1 feinfühliger beeinflussen zu können, wird vorgeschlagen, die Blattfedern 3.1 jeweils in einen Blattfederrahmen 3.1.1 und in eine Blattfederzunge 3.1.2, mit einem freien Ende 3.1.2.1 und einem in den Blattfederrahmen 3.1.1 übergehenden festen Ende 3.1.2.2, zu strukturieren. Das Aktorelement 4 greift hier jeweils an einem der freien Enden 3.1.2.1 der Blattfederzungen 3.1.2 an. In der Fig. 1a bis 1c ist ein erstes vorteilhaftes Ausführungsbeispiel für eine Spiegelbaugruppe mit derartigen Stützelementen 3 dargestellt. Die freie Länge L der einzelnen Blattfedern 3.1 ist hier vergleichsweise zu der eines zweiten später beschriebenen vorteilhaften Ausführungsbeispiels kürzer, da die monolithische Verbindung zwischen den Stützelementen 3 eine Mindestbreite aufweist, um hier Querverbindungen 6 in Form von Querleisten durch Ineinanderstecken mit den Längsleisten 5 zu verbinden. Dazu weisen die Längsleisten 5 und die Querleisten jeweils eine aufeinander abgestimmte Anordnung von Schlitzen 8 auf. Die Querverbindungen 6 haben lediglich die Funktion, die Längsleisten 5 in ihrer relativen Lage zueinander zu halten und diese Relativlage zu stabilisieren. Die Querleisten, als konkrete Ausführung der Querverbindungen 6, können nur mit den Längsleisten 5 oder auch mit dem Träger 2 starr verbunden sein. In order to reduce the travel of the actuator elements 4 sensitive and thus affect the deformation of the plane mirror 1 more sensitive, it is proposed that the leaf springs 3.1 each in a leaf spring frame 3.1.1 and in a leaf spring tongue 3.1.2, with a free end 3.1.2.1 and one in the leaf spring frame 3.1.1 merging fixed end 3.1.2.2, to structure. The actuator element 4 engages here in each case at one of the free ends 3.1.2.1 of the leaf spring tongues 3.1.2. In FIGS. 1 a to 1 c, a first advantageous embodiment of a mirror assembly with such support elements 3 shown. The free length L of the individual leaf springs 3.1 is shorter here compared to that of a second advantageous embodiment described later, since the monolithic connection between the support elements 3 has a minimum width in order to connect cross connections 6 in the form of transverse strips by nesting with the longitudinal strips 5. For this purpose, the longitudinal strips 5 and the transverse strips each have a coordinated arrangement of slots 8. The cross connections 6 only have the function of holding the longitudinal strips 5 in their relative position to each other and to stabilize this relative position. The transverse strips, as a concrete embodiment of the cross connections 6, can be rigidly connected only to the longitudinal strips 5 or to the carrier 2.
Die Stützelemente 3 können z. B stoffschlüssig mit der Rückseite des Planspiegels 1 und dem Träger 2 verbunden sein, wofür allerdings nur eine vergleichsweise geringe Kontaktfläche vorhanden ist, z. B. wenn diese durch die Blattfedern 3.1 selbst gestellt wird. Ein so ausgeführtes Stützelement 3 ist in Fig. 2a gezeigt. The support elements 3 can z. B be materially connected to the back of the plane mirror 1 and the carrier 2, for which, however, only a comparatively small contact surface is present, for. B. if this is provided by the leaf springs 3.1 itself. A support element 3 designed in this way is shown in FIG. 2a.
Um das Stützelement 3 über eine vergleichsweise große Kontaktfläche mit dem Planspiegel 1 und / oder dem Träger 2 verbinden zu können, wird vorgeschlagen, die Verbindung der Blattfedern 3.1 untereinander über ein Adapterstück 7 herzustellen. In order to connect the support member 3 via a comparatively large contact surface with the plane mirror 1 and / or the carrier 2, it is proposed to produce the connection of the leaf springs 3.1 with each other via an adapter piece 7.
Das heißt die Stützelemente 3 sind an dem dem Planspiegel 1 zugewandten Ende 3.2 mittelbar über ein Adapterstück 7 untereinander und mit dem Planspiegel 1 stoffschlüssig verbunden, wie in Fig. 2b gezeigt, und / oder sie sind an dem dem Träger 2 zugewandten Ende 3.3 mittelbar über ein Adapterstück 7 untereinander und mit dem Träger 2 stoffschlüssig verbunden, wie in Fig. 2c dargestellt. That is, the support elements 3 are connected to the plane mirror 1 facing the end 3.2 indirectly via an adapter piece 7 with each other and with the plane mirror 1 cohesively, as shown in Fig. 2b, and / or they are at the carrier 2 end facing 3.3 indirectly via an adapter piece 7 with each other and with the carrier 2 materially connected, as shown in Fig. 2c.
Ein zweites vorteilhaftes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Spiegelbaugruppe ist in den Fig. 3a bis Fig. 3c gezeigt. Gleich den vorherigen Darstellungen können die Stützelemente 3 und Blattfedern 3.1 unterschiedlich ausgeführt sein. Als wesentlicher Unterschied sind bei diesem zweiten Ausführungsbeispiel die Querverbindungen 6 nicht durch zusätzliche Bauelemente realisiert, sondern werden durch die Verbindungen der Blattfedern 3.1 untereinander in senkrechter Richtung zur Querachse q gebildet. Dabei stehen jeweils von den äußeren Stützelementen 3 eine der Blattfedern 3.1 und von den inneren Stützelementen 3 beide Blattfedern 3.1 an ihrem dem Träger 2 zugewandten Ende 3.3 mit jeweils einer der Blattfedern 3.1 eines der Stützelemente 3 der benachbarten Längsleiste 5 in Verbindung. Vorteilhaft kann hier die Breite der monolithischen Verbindung der Stützelemente 3 sehr kurz gehalten werden, womit die für die Federwirkung entscheidende freie Länge L länger wird. A second advantageous embodiment of a mirror assembly according to the invention is shown in FIGS. 3a to 3c. Like the previous illustrations, the support elements 3 and leaf springs 3.1 can be designed differently. As a major difference, the cross-connections 6 are not realized by additional components in this second embodiment, but are formed by the compounds of the leaf springs 3.1 with each other in the direction perpendicular to the transverse axis q. In each case, one of the leaf springs 3.1 and of the inner support elements 3 are both of the outer support elements 3 Leaf springs 3.1 at its end facing the carrier 2 3.3 each with one of the leaf springs 3.1 of the support elements 3 of the adjacent longitudinal bar 5 in combination. Advantageously, the width of the monolithic connection of the support elements 3 can be kept very short, whereby the crucial for the spring action free length L is longer.
In Ausführungen, in denen die Querverbindungen 6 so gebildet werden, müssen die Stützelemente 3 in Richtung der Querachse q auch nicht miteinander verbunden sein. In embodiments in which the cross connections 6 are formed in this way, the support elements 3 do not have to be connected to one another in the direction of the transverse axis q.
Für alle Ausführungen der Blattfedern 3.1 und Stützelemente 3 kann vorteilhaft an dem dem Planspiegel 1 zugewandten Ende 3.2 der Blattfedern 3.1 jeweils eine Klebenase 9 ausgebildet sein. For all embodiments of the leaf springs 3.1 and 3 support elements can advantageously be formed on the plane mirror 1 facing the end of the leaf springs 3.1 3.1 each have a sticky nose 9.
Es ist des Weiteren von Vorteil, wenn die festen Verbindungen zwischen der Stützstruktur und dem Planspiegel 1 und zwischen der Stützstruktur und dem Träger 2 stoffschlüssige Verbindungen sind. It is further advantageous if the fixed connections between the support structure and the plane mirror 1 and between the support structure and the carrier 2 are cohesive connections.
Um das Gewicht der Spiegelbaugruppe möglichst gering zu halten, ist der Träger 2, an die Gitterform der Stützstruktur angepasst oder ringförmig, wie in Fig. 7 dargestellt. In order to keep the weight of the mirror assembly as low as possible, the carrier 2, adapted to the lattice shape of the support structure or annular, as shown in Fig. 7.
Die Aktorelemente 4 sind vorteilhaft Piezoelemente und in den Blattfedern 3.1 sind Löcher zur Durchführung von Elektroleitungen vorgesehen. The actuator elements 4 are advantageously piezo elements and in the leaf springs 3.1 holes are provided for the passage of electrical cables.
Die Stützstruktur ist an eine beliebige Umfangsform des Planspiegels 1 z. B. rund (siehe Fig. 1a und Fig.2a), oval, rechteckig (siehe Fig. 3a) anpassbar. Der Planspiegel 1 muss auch nicht senkrecht (siehe Fig. 1c) zur Ausrichtung der Stützstruktur, sondern kann hierzu auch geneigt (siehe Fig. 6) angeordnet sein. The support structure is connected to any peripheral shape of the plane mirror 1 z. B. round (see Fig. 1a and Fig. 2a), oval, rectangular (see Fig. 3a) customizable. The plane mirror 1 also does not have to be perpendicular (see FIG. 1 c) for aligning the support structure, but can also be arranged inclined thereto (see FIG. 6).
Die Spiegelbaugruppe kann fest in einem optischen System oder auch in einer Justierfassung angeordnet sein, über die die Spiegelbaugruppe innerhalb eines optischen Systems in ihrer Raumlage justierbar ist. In dem hierfür in Fig. 7 gezeigten Beispiel wurde eine beliebige Justierfassung dargestellt, die durch jede andere Justierfassung, bei der ein Innenrahmen gegenüber einem Außenrahmen axial und / oder radial verschieb- und / oder verkippbar ist, ausgetauscht werden kann. Bezugszeichenliste The mirror assembly may be fixedly arranged in an optical system or else in an adjustment frame, by means of which the mirror assembly within an optical system can be adjusted in its spatial position. In the example shown for this purpose in FIG. 7, an arbitrary adjustment socket has been illustrated which can be replaced by any other adjustment socket in which an inner frame can be displaced and / or tilted axially and / or radially relative to an outer frame. LIST OF REFERENCE NUMBERS
1 Planspiegel 1 plane mirror
2 Träger  2 carriers
3 Stützelement  3 support element
3.1 Blattfeder  3.1 leaf spring
3.1.1 Blattfederrahmen  3.1.1 Leaf spring frame
3.1.2 Blattfederzunge  3.1.2 Leaf spring tongue
3.1.2.1 freies Ende der Blattfederzunge 3.1.2  3.1.2.1 free end of the leaf spring tongue 3.1.2
3.1.2.2 festes Ende der Blattfederzunge 3.1.2  3.1.2.2 Fixed end of the leaf spring tongue 3.1.2
3.2 dem Planspiegel 1 zugewandtes Ende des Stützelementes 3 3.2 the plane mirror 1 facing the end of the support element. 3
3.3 dem Träger 2 zugewandtes Ende des Stützelementes 33.3 the carrier 2 facing the end of the support element. 3
4 Aktorelement 4 actuator element
5 Längsleiste  5 longitudinal bar
6 Querverbindung  6 cross connection
7 Adapterstück  7 adapter piece
8 Schlitz  8 slot
9 Klebenase  9 sticking nose
I Längsachse I longitudinal axis
q Querachse q transverse axis
L freie Länge  L free length

Claims

Patentansprüche claims
1. Spiegelbaugruppe mit einem Planspiegel (1 ), einem Träger (2), einer zwischen dem Planspiegel (1 ) und dem Träger (2) angeordneten und mit diesen fest verbundenen Stützstruktur, die eine Mehrzahl von Stützelementen (3) mit einer Längsachse (I) und einer Querachse (q) aufweist, die in Richtung ihrer Längsachse (I) senkrecht zum Planspiegel (1 ) und zum Träger (2) ausgerichtet angeordnet sind und die in Richtung der Querachse (q) untereinander monolithisch verbunden sind, sowie einer Mehrzahl von Aktorelementen (4), dadurch gekennzeichnet, 1. Mirror assembly with a plane mirror (1), a support (2), one between the plane mirror (1) and the carrier (2) arranged and fixedly connected to this support structure having a plurality of support elements (3) with a longitudinal axis (I ) and a transverse axis (q), which are arranged aligned in the direction of its longitudinal axis (I) perpendicular to the plane mirror (1) and the carrier (2) and which are monolithically connected to each other in the direction of the transverse axis (q), and a plurality of Actuator elements (4), characterized
dass die Stützstruktur eine Mehrzahl von Längsleisten (5) und Querverbindungen (6) umfasst, die miteinander eine zweidimensionale Gitteranordnung bilden, wobei wenigstens die Längsleisten (5) durch die Stützelemente (3) gebildet sind und die Stützelemente (3) jeweils durch zwei gleiche an einem dem Planspiegel (1 ) zugewandten Ende (3.2) und einem dem Träger (2) zugewandten Ende (3.3) miteinander verbundene Blattfedern (3.1 ) gebildet sind und zwischen zwei der miteinander verbundenen Blattfedern (3.1 ) wenigstens eines der Stützelemente (3) eines der Aktorelemente (4) angeordnet ist, über deren Betätigung die Blattfedern in that the support structure comprises a plurality of longitudinal strips (5) and cross connections (6) forming a two-dimensional grid arrangement with each other, wherein at least the longitudinal strips (5) are formed by the support elements (3) and the support elements (3) in each case by two equal a leaf spring (3.1) connected to the plane mirror (1) facing the end (3.2) and the carrier (2) end (3.3) and between two of the interconnected leaf springs (3.1) at least one of the support elements (3) one of Actuator elements (4) is arranged on the actuation of the leaf springs
(3.1 ) zueinander symmetrisch gebogen werden. (3.1) are bent symmetrically to each other.
2. Spiegelbaugruppe nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Blattfedern2. mirror assembly according to claim 1, characterized in that the leaf springs
(3.1 ) eine rechteckige Umfangsform aufweisen. (3.1) have a rectangular peripheral shape.
3. Spiegelbaugruppe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Blattfedern3. mirror assembly according to claim 2, characterized in that the leaf springs
(3.1 ) jeweils in einen Blattfederrahmen (3.1.1 ) und in eine Blattfederzunge (3.1.2), mit einem freien Ende (3.1.2.1 ) und einem in den Blattfederrahmen (3.1.1 ) übergehenden festen Ende (3.1.2.2), unterteilt sind und das Aktorelement (4) an den freien Enden (3.1.2.1 ) anliegt. (3.1) each in a leaf spring frame (3.1.1) and in a leaf spring tongue (3.1.2), with a free end (3.1.2.1) and a in the leaf spring frame (3.1.1) merging fixed end (3.1.2.2), are divided and the actuator element (4) at the free ends (3.1.2.1) is applied.
4. Spiegelbaugruppe nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Stützelemente (3) an dem dem Planspiegel (1 ) zugewandten Ende (3.2) mittelbar über ein Adapterstück (7) untereinander und mit dem Planspiegel (1 ) verbunden sind. 4. mirror assembly according to claim 1, characterized in that the support elements (3) on the plane mirror (1) facing the end (3.2) indirectly via an adapter piece (7) with each other and with the plane mirror (1) are connected.
5. Spiegelbaugruppe nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die5. mirror assembly according to claim 1, characterized in that the
Stützelemente (3) an dem dem Träger (2) zugewandten Ende (3.3) mittelbar über ein Adapterstück (7) untereinander und mit dem Träger (2) verbunden sind. Supporting elements (3) on which the carrier (2) facing the end (3.3) indirectly via an adapter piece (7) with each other and with the carrier (2) are connected.
6. Spiegelbaugruppe nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die6. mirror assembly according to claim 1, characterized in that the
Querverbindungen (6) Querleisten darstellen und die Längsleisten (5) und die Querleisten jeweils eine aufeinander abgestimmte Anordnung von Schlitzen (8) aufweisen und über diese Schlitze (8) ineinander gesteckt verbunden sind. Cross connections (6) represent transverse strips and the longitudinal strips (5) and the transverse strips each have a coordinated arrangement of slots (8) and are connected via these slots (8) inserted into one another.
7. Spiegelbaugruppe nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine der Blattfedern (3.1 ) wenigstens eines der Stützelemente (3) an ihrem dem Träger (2) zugewandten Ende (3.3) mit jeweils einer der Blattfedern (3.1 ) eines der Stützelemente (3) der benachbarten Längsleiste (5) in Verbindung steht und diese Verbindungen die Querverbindungen (6) bilden. 7. mirror assembly according to claim 1, characterized in that at least one of the leaf springs (3.1) at least one of the support elements (3) at its the carrier (2) facing the end (3.3) with one of the leaf springs (3.1) of the support elements (3 ) of the adjacent longitudinal strip (5) is in communication and these compounds form the cross-connections (6).
8. Spiegelbaugruppe nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass an dem dem Planspiegel zugewandten Ende (3.2) der Blattfedern (3.1 ) jeweils eine Klebenase (9) ausgebildet ist. 8. mirror assembly according to claim 1, characterized in that at the plane facing the plane mirror end (3.2) of the leaf springs (3.1) each have a sticky nose (9) is formed.
9. Spiegelbaugruppe nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die festen Verbindungen zwischen der Stützstruktur und dem Planspiegel (1 ) und zwischen der Stützstruktur und dem Träger (2) stoffschlüssige Verbindungen sind. 9. mirror assembly according to claim 1, characterized in that the fixed connections between the support structure and the plane mirror (1) and between the support structure and the carrier (2) are integral connections.
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