WO2019134808A1 - Laserbearbeitungskopf und -maschine mit einem röntgensensor sowie verfahren zum röntgensicheren betrieb der laserbearbeitungsmaschine - Google Patents

Laserbearbeitungskopf und -maschine mit einem röntgensensor sowie verfahren zum röntgensicheren betrieb der laserbearbeitungsmaschine Download PDF

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WO2019134808A1
WO2019134808A1 PCT/EP2018/085012 EP2018085012W WO2019134808A1 WO 2019134808 A1 WO2019134808 A1 WO 2019134808A1 EP 2018085012 W EP2018085012 W EP 2018085012W WO 2019134808 A1 WO2019134808 A1 WO 2019134808A1
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WO
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ray
laser
laser processing
sensor
processing head
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Application number
PCT/EP2018/085012
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Guenther DITTMAR
David Heisenberg
Tim Hesse
Simone RUSS
Marc Sailer
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Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh
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Publication date
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    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/062—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam
    • B23K26/0622—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam by shaping pulses
    • B23K26/0624—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam by shaping pulses using ultrashort pulses, i.e. pulses of 1ns or less
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/03—Observing, e.g. monitoring, the workpiece
    • B23K26/032—Observing, e.g. monitoring, the workpiece using optical means

Definitions

  • the invention relates to a laser processing head from which in operation a laser beam, in particular in the form of ultrashort pulse (UKP) laser pulses, exits in the direction of a workpiece, and a laser processing machine and a method for operating the laser processing machine.
  • a laser processing head from which in operation a laser beam, in particular in the form of ultrashort pulse (UKP) laser pulses, exits in the direction of a workpiece, and a laser processing machine and a method for operating the laser processing machine.
  • UFP ultrashort pulse
  • the present invention therefore has the task of reliably detecting X-ray radiation, which is generated during laser material processing, in particular by means of UKP laser pulses, as well as specifying a method for x-ray-safe operation of a laser processing machine.
  • At least one X-ray sensor is arranged on the laser processing head, in particular on its laser exit side, in order to detect X-ray radiation generated by interaction of the laser beam with the workpiece
  • one or more X-ray sensors are installed on the laser processing head, in particular on the laser exit side of the laser processing head, ie in the immediate vicinity of the point of impact of the laser beam on the workpiece, which react only to X-radiation.
  • the laser processing head represents the last component in the beam path of the laser beam, so that the or the X-ray sensors are not shaded by other components of the laser processing head in front of the X-ray radiation originating from the workpiece.
  • the sensor signal of the X-ray sensor can be used, for example, to control process parameters. Examples of applications are:
  • the X-ray threshold may be reached only a single X-ray sensor, which surrounds the outlet opening, for example (part) annular.
  • preferred embodiments are those in which a plurality of x-ray sensors are arranged in a ring around the outlet opening.
  • the x-ray sensors can also be positioned at any other point in the machine if they have a clear view of the processing location of the laser pulses.
  • the attachment to the laser processing head is particularly advantageous because of the proximity to the processing location and the unrecognizable view.
  • the plurality of x-ray sensors preferably detect x-ray radiation with at least two different physical principles.
  • the x-ray sensors are advantageously connected in parallel so that the sensor signal can be evaluated by each of the x-ray sensors and thus the x-ray radiation can be spatially resolved and redundantly detected.
  • a plurality of X-ray sensors are arranged on a sensor ring, which in particular is fastened to the laser processing head in a height-adjustable manner, for example attached. Different permissible signal limit values can be set up for different X-ray sensors.
  • the at least one X-ray sensor is gebil det by a photodiode whose receiving surface is covered with a permeable for X-ray radiation, but for radiation with energies less than 30 keV, especially less than 10 keV or as 5 keV impermeable cover.
  • a photon energy of 30 keV can, for example, represent a legal energy limit for the approval of plants.
  • a shut-off device that is automatic from this limit would allow a license-free operation.
  • the cover may be provided, for example, by plastics filled with absorbent materials, such as metal powders or fibers, by opaque glasses, or by films of metals, e.g. Aluminum or magnesium be formed.
  • the at least one X-ray sensor is set up for the detection and evaluation of ultrashort X-ray pulses.
  • the invention also relates to a laser processing machine having a laser, in particular a UKP laser, for generating a laser beam and having at least one X-ray sensor, by interaction to detect the X-ray generated by the laser beam with the workpiece.
  • the at least one X-ray sensor can basically be positi oned at any point, provided that he has a clear view of the processing location of the laser beam.
  • the at least one X-ray sensor is particularly preferably fastened to the laser processing head, which represents the last component in the beam path of the laser beam.
  • a machine control is programmed to set process parameters of the laser processing machine on the basis of the sensor signal of the at least one x-ray sensor, in particular to switch off the laser beam.
  • the machine control can furthermore be programmed to determine the respectively associated X-ray sensor or the dose of X-ray radiation in a spatially resolved manner on the basis of a sensor signal.
  • different permissible signal limiting values or different permissible signal limiting values can be set up for different X-ray sensors around the outlet opening.
  • the at least one X-ray sensor and the machine controller are preferably set up for the detection and evaluation of ultrashort X-ray pulses.
  • the invention also relates to a method for X-ray-safe operation of a laser processing machine, in which for processing a workpiece, a laser beam, in particular in the form of UKP laser pulses, exits in the direction of the workpiece, wherein during processing, a sensor signal at least one X-ray sensor for detecting X-radiation is evaluated by a machine control and wherein the machine control adjusts process parameters of the laser processing machine as a function of the evaluated sensor signal.
  • the adjustment of the process parameters of the laser processing machine preferably includes a shutdown of the laser beam.
  • FIG. 1 schematically shows a laser processing machine with a sensor ring arranged on the laser processing head according to the invention; and FIG. 2 shows the bottom view of the sensor ring shown in FIG. 1 with several
  • the laser processing machine 1 shown in Fig. 1 comprises a UKP laser 2 for generating a laser beam 3 in the form of UKP laser pulses, and a laser processing head 4 with an outlet opening 5, from which the laser beam 3 in the direction of a workpiece to be machined ("Target ") 6 focused exit.
  • the outlet opening 5 may e.g. be formed by a nozzle, a protective glass or another optical element.
  • a sensor ring 9 with a plurality of X-ray sensors 10 (only 8 by way of example in FIG. 2) is arranged around the outlet opening 5 on the laser exit side of the laser processing head 4.
  • the sensor ring 9 may preferably be adjustable in height, for example, displaceable on the laser processing head 4, in order to align the sensor ring 9 as close as possible to the point of impact 7.
  • the X-ray sensors 10 thus surround the outlet opening 5 and the exiting laser beam 3 annularly.
  • the ring-shaped arrangement ensures that X-ray radiation 8 emitted unilaterally by structures on the workpiece 6 can be effectively detected.
  • this x-ray sensor 10 already generates a signal current which is sufficiently large for an evaluation.
  • the X-ray sensors 10 are advantageously connected in parallel, so that the sensor signal can be evaluated by each of the X-ray sensors 10.
  • Particularly preferred is a circuit with which the X-radiation 8 can be detected in a spatially resolved manner. For reasons of detection reliability, the distance between two adjacent X-ray sensors 10 is as low as possible, in order to achieve a redundant arrangement of the X-ray sensors 10.
  • the X-ray sensors 10 exclusively detect X-radiation 8 with energies greater than e.g. 5 keV and may be formed, for example, by a photodiode (e.g., a cadmium telluride photodiode or a reverse-biased PIN diode made of silicon) whose receiving surface is transparent to radiation 8 but less intense than radiation to radiation. 5 keV impermeable cover 11 is covered.
  • a photodiode e.g., a cadmium telluride photodiode or a reverse-biased PIN diode made of silicon
  • 5 keV impermeable cover 11 is covered.
  • Suitable cover 11 are, for example, films made of low atomic number materials, for example plastics filled with metal fibers, opaque glasses, aluminum or magnesium foils, etc. This ensures that the X-ray sensors 10 are not mistaken for reflected laser radiation from the laser 2 can react.
  • a covered photodiode reacts in the ms range to the reception of X-rays 8 and is thus faster than conventional shutdown mechanisms for the exit of the laser beam 3 from a provided on a laser processing machine protective housing 13th
  • the laser processing machine 1 further comprises a machine controller 12, which can adjust process parameters of the laser processing machine 1 based on the sensor signal of one of the x-ray sensors 10, in particular shut off the laser beam 3.
  • the machine controller 12 can detect, with the aid of a sensor signal, the respectively associated X-ray sensor 10 and thus the X-radiation 8 in a spatially resolved manner.
  • the machine controller 12 can be set up so that, in the case of a signal equal to 0, the irradiation of the laser beam 3 onto the point of impingement 7 is interrupted by one of the x-ray sensors 10, for example by the laser 2 being switched off.
  • the machine control 12 can also be set up such that the irradiation of the laser beam 3 on the point of impact 7 is interrupted or the intensity of the laser beam 3 at the point of impact 7 is reduced only when the x-ray dose or photon energy measured by the x-ray sensor 10 is exceeded becomes.
  • the laser processing machine 1 further comprises a processing area 13, in which the processing station 7 is positioned, and a protective enclosure 14, which at least partially shields the surroundings from the processing area 13 at least against laser radiation 3.
  • a protective enclosure 14 which at least partially shields the surroundings from the processing area 13 at least against laser radiation 3.
  • the entire environment is shielded by the protective housing 14 against laser radiation and all secondary radiation from the processing area 13.
  • the environment is particularly preferably shielded by the protective housing 14 against x-radiation 8 at least up to a certain dose rate.
  • the protective housing 14 may also be designed so that certain parts of the protective housing 14 are made more shielding than others.
  • the limit value of the permissible X-ray dose in different directions of radiation can be of a different magnitude.
  • the limit value may be lower in a direction in which a machine operator is usually located, that is, for example, in the direction of a control desk or an access opening than in the opposite direction.
  • more sensitive devices, such as certain sensors can be provided in the laser processing machine 1, in the direction of which a lower limit value can be provided.
  • a protective housing 14 can be made more shielding and a higher limit value can be permissible in this direction.
  • the X-radiation 8 also typically occurs as ultrashort X-ray pulses. It is therefore important to ensure that the X-ray sensors 10 are suitable for detecting the ultra-short X-ray pulses, ie, the response must be sufficiently fast, and the X-ray sensor 10 must be sufficient, since the ultrashort X-ray pulses have a high intensity be robust.
  • the machine controller 12 must also have a sufficiently fast response.

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Abstract

Ein Laserbearbeitungskopf (4), aus dem im Betrieb ein Laserstrahl (3), insbesondere in Form von UKP-Laserpulsen, in Richtung auf ein Werkstück (6) austritt, weist erfindungsgemäß mindestens einen Röntgensensor (10) auf, um eine durch Wechselwirkung des Laserstrahls (3) mit dem Werkstück (6) erzeugte Röntgenstrahlung (8) zu detektieren.

Description

Laserbearbeitunqskopf und -maschine mit einem Röntqensensor sowie Verfahren zum röntqensicheren Betrieb der Laserbearbeitunqsmaschine
Die Erfindung betrifft einen Laserbearbeitungskopf, aus dem im Betrieb ein Laser- strahl, insbesondere in Form von Ultrakurzpuls(UKP)-Laserpulsen, in Richtung auf ein Werkstück austritt, sowie eine Laserbearbeitungsmaschine und ein Verfahren zum Betrieb der Laserbearbeitungsmaschine. Derartige Laserbearbeitungsköpfe von Laserbearbeitungsanlagen sind hinlänglich bekannt, z.B. aus der US 2008/0003708 A1 oder der US 2009/0045179 A1.
Es ist bekannt, dass UKP-Laserpulse mit Pulsdauern im Bereich von Pikosekun- den und Femtosekunden, wenn sie auf ein Target treffen, ab einer Bestrahlungs- stärke von ca. 1x1013 W/cm2 als Nebenprodukt Röntgenstrahlung erzeugen kön- nen, deren Energie größer als 5 keV ist. Allerdings waren UKP-Laser bisher noch zu schwach, so dass keine oder nur geringe, unentdeckte Röntgenstrahlung er- zeugt wurde. Mit steigender Leistung der UKP-Laser wächst nun die Gefahr, dass höhere Dosen schädlicher Röntgenstrahlung erzeugt werden.
Die vorliegende Erfindung stellt sich daher die Aufgabe, Röntgenstrahlung, die bei der Lasermaterialbearbeitung, insbesondere mittels UKP-Laserpulsen, erzeugt wird, zuverlässig zu detektieren sowie ein Verfahren zum röntgensicheren Betrieb einer Laserbearbeitungsmaschine anzugeben.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass am Laserbearbei- tungskopf, insbesondere auf seiner laseraustrittsseitigen Seite, mindestens ein Röntgensensor angeordnet ist, um eine durch Wechselwirkung des Laserstrahls mit dem Werkstück erzeugte Röntgenstrahlung zu detektieren
Erfindungsgemäß sind am Laserbearbeitungskopf, insbesondere an der dem Werkstück („Target“) zugewandten, laseraustrittsseitigen Seite des Laserbearbei- tungskopfes, also in unmittelbarer Nähe der Auftreffstelle des Laserstrahles auf das Werkstück, ein oder mehrere Röntgensensoren installiert, die nur auf Rönt- genstrahlung reagieren. Der Laserbearbeitungskopf stellt das letzte Bauteil im Strahlengang des Laserstrahls dar, so dass der bzw. die Röntgensensoren nicht durch andere Bauteile des Laserbearbeitungskopfes vor der vom Werkstück aus- gehenden Röntgenstrahlung abgeschattet werden. Das Sensorsignal des Rönt- gensensors kann beispielsweise zur Steuerung von Prozessparametern benutzt werden. Als Anwendungsbeispiele sind zu nennen:
- Automatisches Verringern der Bestrahlungsstärke auf dem Werkstück, wenn die Röntgenschwelle erreicht ist; und
- Abschalten des Laserstrahles, wenn die Röntgenschwelle erreicht ist. Es kann beispielsweise nur ein einziger Röntgensensor vorgesehen sein, der die Austrittsöffnung beispielsweise (teil)ringförmig umgibt. Bevorzugt sind aber Aus- führungsformen, bei denen mehrere Röntgensensoren ringförmig um die Austritts- Öffnung herum angeordnet sind. Die Röntgensensoren können grundsätzlich aber auch an anderer beliebiger Stelle in der Maschine positioniert sein, wenn sie freie Sicht auf den Bearbeitungsort der Laserpulse haben. Die Anbringung am Laserbe- arbeitungskopf ist aufgrund der Nähe zum Bearbeitungsort und der unverdeckba- ren Sicht aber besonders vorteilhaft. Vorzugsweise detektieren die mehreren Röntgensensoren mit mindestens zwei unterschiedlichen physikalischen Prinzi- pien die Röntgenstrahlung. Die Röntgensensoren sind vorteilhaft parallel geschal- tet, damit von jedem der Röntgensensoren das Sensorsignal ausgewertet und so- mit die Röntgenstrahlung ortsaufgelöst und redundant detektiert werden kann. Be- sonders vorteilhaft sind mehrere Röntgensensoren an einem Sensorring angeord- net, der am Laserbearbeitungskopf insbesondere höhenverstellbar befestigt, z.B. aufgesteckt ist. Für unterschiedliche Röntgensensoren können unterschiedliche zulässige Signalgrenzwerte eingerichtet sein.
Vorzugsweise ist der mindestens eine Röntgensensor durch eine Fotodiode gebil det, deren Empfangsfläche mit einer für Röntgenstrahlung durchlässigen, aber für Strahlung mit Energien kleiner als 30 keV, insbesondere kleiner als 10 keV oder als 5 keV, undurchlässigen Abdeckung abgedeckt ist. Eine Photonenenergie von 30 keV kann bspw. eine gesetzliche Grenzenergie für die Genehmigungspflicht von Anlagen darstellen. Durch eine ab diesem Grenzwert automatische Abschalt- einrichtung wäre ein genehmigungsfreier Betrieb möglich. Die Abdeckung kann beispielsweise durch, mit absorbierenden Stoffen wie Metallpulvern oder -fasern, gefüllte Kunststoffe, durch lichtundurchlässige Gläser oder durch Folien aus Metal- len, wie z.B. Aluminium oder Magnesium gebildet sein. Mit anderen Worten ist der mindestens eine Röntgensensor zur Detektion und Auswertung von ultrakurzen Röntgenpulsen eingerichtet.
Die Erfindung betrifft in einem weiteren Aspekt auch eine Laserbearbeitungsma- schine mit einem Laser, insbesondere UKP-Laser, zum Erzeugen eines Laser- strahls und mit mindestens einem Röntgensensor, um eine durch Wechselwirkung des Laserstrahls mit dem Werkstück erzeugte Röntgenstrahlung zu detektieren. Der mindestens eine Röntgensensor kann grundsätzlich an beliebiger Stelle positi oniert sein, sofern er freie Sicht auf den Bearbeitungsort des Laserstrahls hat. Be- sonders bevorzugt ist der mindestens eine Röntgensensor aber am Laserbearbei- tungskopf befestigt, der das letzte Bauteil im Strahlengang des Laserstrahls dar- stellt.
Vorzugsweise ist eine Maschinensteuerung programmiert, anhand des Sensorsig- nals des mindestens einen Röntgensensors Prozessparameter der Laserbearbei- tungsmaschine einzustellen, insbesondere den Laserstrahl abzuschalten. Bei mehreren um den Laserstrahl, insbesondere um eine Austrittsöffnung des Laser- bearbeitungskopfes, herum angeordneten Röntgensensoren kann die Maschinen- steuerung weiterhin programmiert sein, anhand eines Sensorsignals den jeweils zugehörigen Röntgensensor oder die Dosis der Röntgenstrahlung ortsaufgelöst zu bestimmen. Vorteilhaft können für unterschiedliche Röntgensensoren unterschied- liche zulässige Signalgrenzwerte oder für unterschiedliche Ortswinkel um die Aus- trittsöffnung unterschiedliche zulässige Signalgrenzwerte eingerichtet sein. Weiter- hin bevorzugt sind der mindestens eine Röntgensensor und die Maschinensteue- rung zur Detektion und Auswertung von ultrakurzen Röntgenpulsen eingerichtet.
Die Erfindung betrifft schließlich auch ein Verfahren zum röntgensicheren Betrieb einer Laserbearbeitungsmaschine, bei welcher zur Bearbeitung eines Werkstücks ein Laserstrahl, insbesondere in Form von UKP-Laserpulsen, in Richtung auf das Werkstück austritt, wobei während der Bearbeitung ein Sensorsignal mindestens eines Röntgensensors zur Detektion von Röntgenstrahlung von einer Maschinen- steuerung ausgewertet wird und wobei die Maschinensteuerung in Abhängigkeit des ausgewerteten Sensorsignals Prozessparameter der Laserbearbeitungsma- schine einstellt. Bevorzugt umfasst die Einstellung der Prozessparameter der La- serbearbeitungsmaschine eine Abschaltung des Laserstrahls.
Weitere Vorteile und vorteilhafte Ausgestaltungen des Gegenstands der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung, den Ansprüchen und der Zeichnung. Ebenso können die vorstehend genannten und die noch weiter aufgeführten Merkmale je für sich oder zu mehreren in beliebigen Kombinationen Verwendung finden. Die gezeigten und beschriebenen Ausführungsformen sind nicht als abschließende Aufzählung zu verstehen, sondern haben vielmehr beispielhaften Charakter für die Schilderung der Erfindung. Es zeigen:
Fig. 1 schematisch eine Laserbearbeitungsmaschine mit einem am erfin- dungsgemäßen Laserbearbeitungskopf angeordneten Sensorring; und Fig. 2 die Unteransicht des in Fig. 1 gezeigten Sensorrings mit mehreren
Röntgensensoren.
Die in Fig. 1 gezeigte Laserbearbeitungsmaschine 1 umfasst einen UKP-Laser 2 zum Erzeugen eines Laserstrahls 3 in Form von UKP-Laserpulsen, sowie einen Laserbearbeitungskopf 4 mit einer Austrittsöffnung 5, aus welcher der Laserstrahl 3 in Richtung auf ein zu bearbeitendes Werkstück („Target“) 6 fokussiert austritt. Die Austrittsöffnung 5 kann z.B. durch eine Düse, ein Schutzglas oder ein anderes Optikelement gebildet sein. Beim Bearbeiten von Material mit UKP-Laserpulsen wird bei Überschreiten bestimmter Laser-Parameter an der Auftreffstelle 7 Rönt- genstrahlung 8 erzeugt, die sich von dort kugelförmig ausbreitet. Liegt diese Auf- treffstelle 7 in einem Graben oder einer Bohrung des Werkstücks 6, wird die Aus- breitung der Röntgenstrahlung 8 durch Absorption und Reflexion verändert bzw. abgeschwächt.
Um die Röntgenstrahlung 8 zu detektieren, ist auf der laseraustrittsseitigen Seite des Laserbearbeitungskopfes 4 ein Sensorring 9 mit mehreren (in Fig. 2 lediglich beispielhaft acht) Röntgensensoren 10 um die Austrittsöffnung 5 herum angeord- net. Der Sensorring 9 kann bevorzugt höhenverstellbar, bspw. am Laserbearbei- tungskopf 4 verschiebbar, ausgeführt sein, um den Sensorring 9 möglichst nahe an die Auftreffstelle 7 ausrichten. Die Röntgensensoren 10 umgeben somit die Austrittsöffnung 5 bzw. den austretenden Laserstrahl 3 ringförmig. Durch die ring- förmige Anordnung ist gewährleistet, dass auch durch Strukturen am Werkstück 6 einseitig abgestrahlte Röntgenstrahlung 8 effektiv detektiert werden kann. Sobald nur einer der Röntgensensoren 10 von der Röntgenstrahlung 8 getroffen wird, er- zeugt dieser Röntgensensor 10 bereits einen für eine Auswertung ausreichend großen Signalstrom. Die Röntgensensoren 10 sind vorteilhaft parallel geschaltet, damit von jedem der Röntgensensoren 10 das Sensorsignal ausgewertet werden kann. Besonders bevorzugt ist eine Schaltung, mit der die Röntgenstrahlung 8 ortsaufgelöst detektiert werden kann. Aus Gründen der Detektionssicherheit wird der Abstand zwischen zwei benachbarten Röntgensensoren 10 so gering wie möglichst gewählt, um eine redundante Anordnung der Röntgensensoren 10 zu erreichen.
Die Röntgensensoren 10 detektieren ausschließlich Röntgenstrahlung 8 mit Ener- gien größer als z.B. 5 keV und können beispielsweise durch eine Fotodiode (z.B. eine Cadmiumtellurid-Fotodiode oder eine in Sperrrichtung betriebene PIN-Diode aus Silizium) gebildet sein, deren Empfangsfläche mit einer für die Röntgenstrah- lung 8 durchlässigen, aber für Strahlung mit Energien kleiner als z.B. 5 keV un- durchlässigen Abdeckung 11 abgedeckt ist. Aus Sicherheitsgründen ist es vorteil- haft, redundante Röntgensensoren 10 zu positionieren, die mit unterschiedlichen physikalischen Prinzipien die Röntgenstrahlung 8 detektieren. Dadurch kann eine automatische Abschaltung gemäß den Regeln der funktionalen Sicherheit mit ei- nem besseren Performance Level bewertet werden. Als Abdeckung 11 eignen sich beispielsweise Folien aus Werkstoffen mit geringer Ordnungszahl, zum Bei- spiel mit Metallfasern gefüllte Kunststoffe, lichtundurchlässige Gläser, Folien aus Aluminium oder Magnesium, usw. So wird gewährleistet, dass die Röntgensenso- ren 10 nicht fälschlicherweise auf reflektierte Laserstrahlung des Lasers 2 reagie- ren können. Eine abgedeckte Fotodiode reagiert im ms-Bereich auf den Empfang von Röntgenstrahlung 8 und ist damit schneller als übliche Abschaltmechanismen für den Austritt des Laserstrahls 3 aus einer an einer Laserbearbeitungsmaschine vorgesehenen Schutzumhausung 13.
Die Laserbearbeitungsmaschine 1 umfasst weiterhin eine Maschinensteuerung 12, die anhand des Sensorsignals eines der Röntgensensoren 10 Prozesspara- meter der Laserbearbeitungsmaschine 1 einstellen, insbesondere den Laserstrahl 3 abschalten kann. Insbesondere kann die Maschinensteuerung 12 anhand eines Sensorsignals den jeweils zugehörigen Röntgensensor 10 und damit die Röntgen- strahlung 8 ortsaufgelöst detektieren. Die Maschinensteuerung 12 kann so eingerichtet sein, dass bei einem Signal un- gleich 0 von einem der Röntgensensoren 10 die Einstrahlung des Laserstrahls 3 auf die Auftreffstelle 7 unterbrochen wird, z.B. indem der Laser 2 ausgeschaltet wird. Es ist auch möglich, dass lediglich die Intensität des Laserstrahls 3 an der Auftreffstelle 7 verringert wird, indem z.B. der Fokusdurchmesser des Laserstrahls 3 an der Auftreffstelle 7 vergrößert oder die Laserleistung gesenkt wird. Die Ma- schinensteuerung 12 kann auch so eingerichtet sein, dass erst ab Überschreiten eines bestimmten Grenzwerts der durch den Röntgensensor 10 gemessenen Röntgendosis oder Photonenenergie die Einstrahlung des Laserstrahls 3 auf die Auftreffstelle 7 unterbrochen oder die Intensität des Laserstrahls 3 an der Auftreff- stelle 7 verringert wird.
Die Laserbearbeitungsmaschine 1 umfasst weiterhin einen Bearbeitungsbereich 13, in welchem die Bearbeitungsstelle 7 positioniert ist, und eine Schutzumhau- sung 14, welche die Umgebung zumindest teilweise zumindest gegen Laserstrah- lung 3 aus dem Bearbeitungsbereich 13 abschirmt. Bevorzugt wird die gesamte Umgebung durch die Schutzumhausung 14 gegen Laserstrahlung und alle Sekun- därstrahlung aus dem Bearbeitungsbereich 13 abgeschirmt. Besonders bevorzugt wird außerdem die Umgebung durch die Schutzumhausung 14 zumindest bis zu einer bestimmten Dosisleistung gegen Röntgenstrahlung 8 abgeschirmt. Die Schutzumhausung 14 kann auch so ausgeführt sein, dass bestimmte Teile der Schutzumhausung 14 stärker abschirmend ausgeführt sind als andere.
Insbesondere bei einer Laserbearbeitungsmaschine 1 , bei welcher der Röntgen- sensor 10 die Röntgenstrahlung 8 ortsaufgelöst detektiert, kann der Grenzwert der zulässigen Röntgendosis in unterschiedliche Abstrahlungsrichtungen unterschied- lich hoch sein. So kann der Grenzwert z.B. in einer Richtung, in welcher sich übli cherweise ein Maschinenbediener aufhält, also bspw. in Richtung eines Bedien- pults oder einer Zugrifföffnung, niedriger sein als in der Gegenrichtung. Weiter können in der Laserbearbeitungsmaschine 1 empfindlichere Einrichtungen, wie bestimmte Sensoren, vorgesehen sein, in deren Richtung ein niedrigerer Grenz- wert vorgesehen sein kann. Auch kann in bestimmten Richtungen eine Schutzum- hausung 14 stärker abschirmend ausgeführt sein und in dieser Richtung ein höhe- rer Grenzwert zulässig sein. Durch die Verwendung von Laserstrahlung 3 in Form von ultrakurzen Laserpulsen tritt auch die Röntgenstrahlung 8 typischerweise als ultrakurze Röntgenpulse auf. Es ist daher darauf zu achten, dass die Röntgensensoren 10 zur Detektion der ult- rakurzen Röntgenpulse geeignet sind, d.h., das Ansprechverhalten muss ausrei- chend schnell sein, und der Röntgensensor 10 muss, da die ultrakurzen Röntgen- pulse eine hohe Intensität aufweisen, ausreichend robust sein. Auch die Maschi- nensteuerung 12 muss ein ausreichend schnelles Ansprechverhalten aufweisen.

Claims

Patentansprüche
1. Laserbearbeitungskopf (4), aus dem im Betrieb ein Laserstrahl (3), insbe- sondere in Form von UKP-Laserpulsen, in Richtung auf ein Werkstück (6) austritt,
dadurch gekennzeichnet,
dass am Laserbearbeitungskopf (4), insbesondere auf seiner laseraus- trittsseitigen Seite, mindestens ein Röntgensensor (10) angeordnet ist, um eine durch Wechselwirkung des Laserstrahls (3) mit dem Werkstück (6) erzeugte Röntgenstrahlung (8) zu detektieren.
2. Laserbearbeitungskopf nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Röntgensensor (10) die Austrittsöffnung (5) ringför- mig umgibt.
3. Laserbearbeitungskopf nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Röntgensensoren (10) um die Austrittsöffnung (5) herum, insbe- sondere ringförmig, angeordnet sind.
4. Laserbearbeitungskopf nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die mehreren Röntgensensoren (10) mit mindestens zwei unterschiedli- chen physikalischen Prinzipien die Röntgenstrahlung (8) detektieren.
5. Laserbearbeitungskopf nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die mehreren Röntgensensoren (10) parallel zueinander geschaltet sind.
6. Laserbearbeitungskopf nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch ge- kennzeichnet, dass die mehreren Röntgensensoren (10) an einem Sensorring (9) angeordnet sind, der am Laserbearbeitungskopf (4), insbe- sondere höhenverstellbar, befestigt ist.
7. Laserbearbeitungsmaschine nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass für unterschiedliche Röntgensensoren (10) unter- schiedliche zulässige Signalgrenzwerte eingerichtet sind.
8. Laserbearbeitungskopf nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da- durch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Röntgensensor (10) durch eine Fotodiode gebildet ist, deren Empfangsfläche mit einer für Röntgenstrahlung (8) durchlässigen, aber für Strahlung mit Energien klei- ner als 30 keV, insbesondere kleiner als 10 keV oder 5 keV, undurchlässi- gen Abdeckung (11 ) abgedeckt ist.
9. Laserbearbeitungskopf nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Abdeckung (11 ) durch gefüllte Kunststoffe, lichtundurchlässige Gläser oder Folien aus Aluminium oder Magnesium gebildet ist.
10. Laserbearbeitungsmaschine (1 ) mit einem Laser (2), insbesondere UKP- Laser, zum Erzeugen eines Laserstrahls (3) und mit mindestens einem Röntgensensor (10), um eine durch Wechselwirkung des Laserstrahls (3) mit dem Werkstück (6) erzeugte Röntgenstrahlung (8) zu detektieren.
11. Laserbearbeitungsmaschine nach Anspruch 10, gekennzeichnet durch eine Maschinensteuerung (12), die programmiert ist, anhand des Sensor- signals des mindestens einen Röntgensensors (10) Prozessparameter der Laserbearbeitungsmaschine (1 ) einzustellen, insbesondere den Laser- strahl (3) abzuschalten.
12. Laserbearbeitungsmaschine nach Anspruch 10 oder 11 , dadurch gekenn- zeichnet, dass mehrere Röntgensensoren (10) um den Laserstrahl (3), insbesondere um eine Austrittsöffnung (5) eines Laserbearbeitungskopfes (4), angeordnet sind und die Maschinensteuerung (12) insbesondere pro- grammiert ist, anhand eines Sensorsignals den jeweils zugehörigen Röntgensensor (10) oder die Dosis der Röntgenstrahlung (8) ortsaufgelöst zu bestimmen.
13. Laserbearbeitungsmaschine nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass für unterschiedliche Röntgensensoren (10) unterschiedliche zuläs- sige Signalgrenzwerte eingerichtet sind oder dass für unterschiedliche Ortswinkel um die Austrittsöffnung (5) unterschiedliche zulässige Signal- grenzwerte eingerichtet sind.
14. Laserbearbeitungsmaschine nach einem der Ansprüche 10 bis 13, da- durch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Röntgensensor (10) und die Maschinensteuerung (12) zur Detektion und Auswertung von ultrakur- zen Röntgenpulsen eingerichtet sind.
15. Verfahren zum röntgensicheren Betrieb einer Laserbearbeitungsmaschine (1 ), bei welcher zur Bearbeitung eines Werkstücks (6) ein Laserstrahl (3), insbesondere in Form von UKP-Laserpulsen, in Richtung auf das Werk- stück (6) austritt, wobei während der Bearbeitung ein Sensorsignal min- destens eines Röntgensensors (10) zur Detektion von Röntgenstrahlung (8) von einer Maschinensteuerung (12) ausgewertet wird und wobei die Maschinensteuerung (12) in Abhängigkeit des ausgewerteten Sensorsig- nals Prozessparameter der Laserbearbeitungsmaschine (1 ) einstellt.
16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Einstel lung der Prozessparameter der Laserbearbeitungsmaschine (1 ) eine Ab- schaltung des Laserstrahls (3) umfasst.
17. Verfahren nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass der Röntgensensor (10) und die Maschinensteuerung (12) zur Detektion und Auswertung von ultrakurzen Röntgenpulsen eingerichtet sind.
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