WO2019077851A1 - Fiber laser system and method - Google Patents

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WO2019077851A1
WO2019077851A1 PCT/JP2018/029580 JP2018029580W WO2019077851A1 WO 2019077851 A1 WO2019077851 A1 WO 2019077851A1 JP 2018029580 W JP2018029580 W JP 2018029580W WO 2019077851 A1 WO2019077851 A1 WO 2019077851A1
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fiber
laser
bragg grating
output
light
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Inventor
内山　圭祐
正浩 柏木
Original Assignee
株式会社フジクラ
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/06—Construction or shape of active medium
    • H01S3/063—Waveguide lasers, i.e. whereby the dimensions of the waveguide are of the order of the light wavelength
    • H01S3/067—Fibre lasers

Definitions

  • the present invention relates to fiber laser systems.
  • the present invention also relates to a method for avoiding or suppressing Stokes oscillation in a fiber laser system.
  • a laser device having an output of kW class is required.
  • a defect may occur in the fiber laser system due to the light reflected by the surface to be processed being re-incident on the fiber laser system.
  • a defect may occur in the fiber laser system due to the light reflected by the surface to be processed being re-incident on the fiber laser system.
  • laser oscillation in the fiber laser unit becomes unstable or the fiber laser unit breaks down (see Patent Document 1).
  • Stokes oscillation refers to a phenomenon in which Stokes light generated by stimulated Raman scattering is recursively amplified in a resonator constituted by a fiber laser system and a processing object.
  • Patent Document 2 discloses a technique for suppressing stimulated Raman scattering in a fiber amplifier by forming a fiber Bragg grating that reflects Stokes light in an amplification fiber.
  • Japanese Patent Publication Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-95641
  • Japanese Patent Publication Japanese Patent Publication "Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-123477”
  • the present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to realize a fiber laser system capable of avoiding or suppressing Stokes oscillation.
  • a fiber laser system includes a plurality of fiber laser units, and an output combiner that combines laser beams generated by the respective fiber laser units, It is a fiber laser system which irradiates an object with the laser beam combined by the above-mentioned output combiner, and is a laser delivery fiber which guides the laser beam generated by each fiber laser unit, or the above-mentioned output combiner
  • An output delivery fiber for guiding the combined laser light includes a fiber bragg grating for reflecting Stokes light.
  • a method includes a plurality of fiber laser units, and an output combiner that combines laser beams generated by the respective fiber laser units, and the output
  • the method is a method for avoiding or suppressing Stokes oscillation, and a laser delivery fiber for guiding laser light generated by each fiber laser unit
  • an output delivery fiber for guiding the laser light multiplexed by the output combiner may include a step of reflecting Stokes light reflected by the object.
  • a fiber laser system capable of avoiding or suppressing Stokes oscillation can be realized.
  • the upper part is a block diagram showing the optical path of the return light in the fiber laser system (comparative example) in which the fiber Bragg grating is not included, and the lower part is a graph showing the power of Stokes light in the optical path.
  • the upper part is a block diagram showing the optical path of the return light in the fiber laser system (Example) in which the fiber Bragg grating is included, and the lower part is a graph showing the power of Stokes light in the optical path.
  • FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of a fiber laser system FLS.
  • the fiber laser system FLS is a laser device for processing the workpiece W (an example of the “object” in the claims), and as shown in FIG. 1, n fiber laser units FLU1 to FLUn, n
  • the fiber laser units FLU1 to FLUn and the laser delivery fibers LDF1 to LDFn correspond to each other in a one-to-one relationship.
  • n is an arbitrary natural number of 2 or more, and represents the number of fiber laser units FLU1 to FLUn and the number of laser delivery fibers LDF1 to LDFn.
  • the fiber laser unit FLUi (i is a natural number of 1 or more and n or less) generates laser light.
  • forward-pumped fiber lasers are used as the fiber laser units FLU1 to FLUn.
  • the fiber laser unit FLUi is connected to the input end of the corresponding laser delivery fiber LDFi.
  • the laser light generated by the fiber laser unit FLUi is input to the laser delivery fiber LDFi.
  • the laser delivery fiber LDFi guides the laser light generated by the corresponding fiber laser unit FLUi.
  • the output end of the laser delivery fiber LDFi is connected to the input port of the output combiner OC.
  • the laser light generated by the fiber laser unit FLUi and guided through the laser delivery fiber LDFi is input to the output combiner OC via the input port.
  • the output combiner OC is generated by each of the fiber laser units FLU1 to FLUn, and multiplexes the laser light guided through each of the laser delivery fibers LDF1 to LDFn.
  • the output port of the output combiner OC is connected to the input end of the output delivery fiber ODF.
  • the laser beams combined by the output combiner OC are input to the output delivery fiber ODF.
  • the output delivery fiber ODF guides the laser light combined in the output combiner OC.
  • the output end of the output delivery fiber ODF is connected to the output head OH.
  • the laser beam synthesized by the output combiner OC is irradiated to the work (processing object) through the output head OH.
  • the configuration of the fiber laser unit FLU1 included in the fiber laser system FLS will be described with continued reference to FIG.
  • the fiber laser units FLU2 to FLUn are also configured similarly to the fiber laser unit FLU1.
  • the fiber laser unit FLU1 is a forward pumping type fiber laser, and as shown in FIG. 1, m pumping light sources PS1 to PSm, m pumping delivery fibers PDF1 to PDFm, pumping combiner PC, high reflection fiber Bragg A grating FBG-HR, an amplification fiber AF, and a low reflection fiber Bragg grating FBG-LR are provided.
  • the excitation light sources PS1 to PSm and the excitation delivery fibers PDF1 to PDFm correspond one to one with each other.
  • m is an arbitrary natural number of 2 or more, and represents the number of excitation light sources PS1 to PSm and the number of excitation delivery fibers PDF1 to PDFm.
  • the excitation light source PSj (j is a natural number of 1 or more and m or less) generates excitation light.
  • laser diodes are used as excitation light sources PS1 to PSm.
  • the excitation light source PSj is connected to the input end of the corresponding excitation delivery fiber PDFj.
  • the excitation light generated by the excitation light source PSj is input to the excitation delivery fiber PDFi.
  • the excitation delivery fiber PDFj guides the excitation light generated by the corresponding excitation light source PSj.
  • the output end of the pump delivery fiber PDFj is connected to the input port of the pump combiner PC.
  • the pump light generated by the pump light source PSj and guided through the pump delivery fiber PDFj is input to the pump combiner PC via the input port.
  • the excitation combiner PC combines the excitation light generated by each of the excitation light sources PS1 to PSm and guided through each of the excitation delivery fibers PDF1 to PDFm.
  • the output port of the pump combiner PC is connected to the input end of the amplification fiber AF via the high reflection fiber Bragg grating FBG-HR.
  • the pump light transmitted through the high reflection fiber Bragg grating FBG-HR is input to the amplification fiber AF.
  • the amplification fiber AF generates laser light using the excitation light transmitted through the high reflection fiber Bragg grating FBG-HR.
  • the excitation light transmitted through the high reflection fiber Bragg grating FBG-HR is used to maintain this rare earth element in a population inversion state.
  • the output end of the amplification fiber AF is connected to the input end of the laser delivery fiber LDF1 via a low reflection fiber Bragg grating FBG-LR.
  • the high reflection fiber Bragg grating FBG-HR functions as a mirror (reflectance is, for example, 99%) at a certain wavelength ⁇ (for example, 1060 nm), and the low reflection fiber Bragg grating FBG-LR is a half mirror at that wavelength ⁇ It works (the reflectance is 10%, for example). Therefore, the amplification fiber AF, together with the high reflection fiber Bragg grating FBG-HR and the low reflection fiber Bragg grating FBG-LR, constitutes a resonator that oscillates a laser beam of wavelength ⁇ . Among the laser beams generated by the amplification fiber AF, the laser beam transmitted through the low reflection fiber Bragg grating FBG-LR is input to the laser delivery fiber LDF1.
  • forward-pumped fiber lasers are used as the fiber laser units FLU1 to FLUn, but the present invention is not limited to this. That is, in the present invention, backward pumped fiber lasers can be used as the fiber laser units FLU1 to FLUn, and bidirectional pumped fiber lasers can be used as the fiber laser units FLU1 to FLUn.
  • a characteristic feature of the fiber laser system FLS is that in order to enhance the reflection resistance of the fiber laser system FLS, more specifically, to suppress the Stokes oscillation caused by the return light, a fiber is added to each laser delivery fiber LDFi It is a point that the Bragg grating FBGi (an example of “reflector” in the claims) is included.
  • the return light refers to light that is reflected by the work W and is re-incident on the fiber laser system FLS among the light output from the fiber laser system FLS.
  • the amplification fiber AF of each fiber laser unit FLUi in addition to the laser light generated by stimulated emission in the amplification fiber AF of each fiber laser unit FLUi, the amplification fiber AF of each fiber laser unit FLUi, each laser delivery fiber LDFi, and the output delivery fiber ODF And Stokes light produced by stimulated Raman scattering.
  • the fiber Bragg grating FBGi inserted into each of the laser delivery fibers LDFi is a configuration for reflecting this Stokes light.
  • the fiber bragg grating FBGi for example, a fiber bragg grating designed to have a reflectance of 99% or more at the wavelength (for example, 1115 nm) of Stokes light is used. This can reduce the possibility that Stokes light generated in the optical path from the fiber Bragg grating FBGi to the output head OH may enter the fiber laser unit FLUi.
  • FIG. 2 is a block diagram showing the optical path of the return light in the fiber laser system FLS in which the fiber Bragg grating FBGi is inserted into the amplification fiber AF, and the lower part of FIG. 2 represents the power of Stokes light in the same optical path. It is a graph.
  • the process in which Stokes light makes one round trip between the fiber Bragg grating FBGi and the work W can be decomposed into the following elementary processes.
  • Elemental process (4) Stokes light reflected by the fiber Bragg grating FBGi is guided in the forward direction along the optical path of the optical path length Li, which is composed of the amplification fiber AF, each laser delivery fiber LDFi, and the output delivery fiber ODF. After being waved, it exits the fiber laser system FLS via the output head OH. As shown in the lower part of FIG. 2, the power of Stokes light is amplified by stimulated Raman scattering in the main process (the process of being guided in the forward direction of the optical path). The amount of amplification of Stokes light in the main process matches the Raman gain G (Li) of the optical path.
  • the power of the Stokes light is constituted by the amplification fiber AF, the laser delivery fiber LDFi, and the output delivery fiber ODF in the process of making one round trip between the fiber Bragg grating FBGi and the work W.
  • the light is amplified by twice the Raman gain G (Li) of the optical path of the optical path length Li, and is attenuated by the sum of the return loss Ri of the fiber Bragg grating FBGi and the return loss RW of the work W.
  • the optical path length Li can not be shorter than the sum of the optical path length of the laser delivery fiber LDFi and the optical path length of the output delivery fiber ODF.
  • the Raman gain at unit length in the amplification fiber AF, the output delivery fiber ODF, and the laser delivery fiber LDFi is 1 dB / m
  • the return loss Ri of the fiber Bragg grating FBGi is 0 dB
  • the reflection of the work W is Consider the case where the attenuation amount RW is -30 dB.
  • the Raman gain G (L0) is 30 dB.
  • FIG. 3 is a block diagram showing the optical path of the return light in the fiber laser system FLS (Example) in which the fiber Bragg grating FBGi is inserted into the laser delivery fiber LDFi, and the lower part of FIG. 3 is the Stokes light in the same optical path. Is a graph representing the power of
  • the process in which Stokes light makes one round trip between the fiber Bragg grating FBGi and the work W can be decomposed into the following elementary processes.
  • the Stokes light incident on the fiber laser system FLS is made up of a part of the laser delivery fiber LDFi and the output delivery fiber ODF, after being guided in the reverse direction of the optical path of the optical path length Li It enters into the Bragg grating FBGi.
  • the power of the Stokes light is amplified by stimulated Raman scattering in the main process (the process in which the optical path is guided in the reverse direction).
  • the amount of amplification of Stokes light in the main process matches the Raman gain G (Li) of the optical path.
  • the power of the Stokes light is an optical path constituted by a part of the laser delivery fiber LDFi and the output delivery fiber ODF in the process of reciprocating one time between the fiber Bragg grating FBGi and the work W While being amplified by twice the Raman gain G (Li) of the optical path of the long Li, it is attenuated by the sum of the return loss Ri of the fiber Bragg grating FBGi and the return loss RW of the work W.
  • the optical path length Li can be shorter than the sum of the optical path length of the laser delivery fiber LDFi and the optical path length of the output delivery fiber ODF.
  • the Raman gain per unit length in the output delivery fiber ODF and the laser delivery fiber LDFi is 1 dB / m
  • the return loss Ri of the fiber Bragg grating FBGi is 0 dB
  • the return loss RW of the work W is -30 dB
  • the Raman gain G (L0) of the optical path formed by the amplification fiber AF, the laser delivery fiber LDFi, and the output delivery fiber ODF is the Raman gain of the amplification fiber AF, the Raman gain of the laser delivery fiber LDFi, and the Raman gain of the output delivery fiber ODF It can be calculated as the sum of Further, the Raman gain G (L1) of the optical path formed by the laser delivery fiber LDFi and the output delivery fiber ODF is the sum of the Raman gain of the laser delivery fiber LDFi on the output side of the fiber Bragg grating FBGi and the Raman gain of the output delivery fiber ODF. It can be calculated as
  • the configuration is shown in which the fiber Bragg gratings FBGi are included in each of the laser delivery fibers LDFi, but the present invention is not limited to this. That is, instead of including the fiber Bragg gratings FBGi in each of the laser delivery fibers LDFi, a configuration may be employed in which a fiber Bragg grating is included in the output delivery fiber ODF. Even in this case, Stokes oscillation can be avoided or suppressed by setting the position of the fiber Bragg grating FBGi such that 2 ⁇ G (Li) ⁇
  • the fiber laser system (FLS) includes a plurality of fiber laser units (FLU1 to FLUn) and an output combiner (OC) that combines laser beams generated by the respective fiber laser units (FLUi).
  • Laser delivery fiber (LDFi) or an output delivery fiber (ODF) for guiding the laser light coupled by the output combiner (OC) includes a fiber Bragg grating (FBGi) for reflecting Stokes light Are characterized.
  • the position of the fiber Bragg grating (FBGi) is twice the Raman gain of the optical path from the fiber Bragg grating (FBGi) to the output end of the output delivery fiber (ODF). Is preferably set to be equal to or less than the sum of the return loss of the fiber Bragg grating (FBGi) and the return loss of the object.
  • the reflectance of the fiber Bragg grating (FGBi) to Stokes light is preferably 99% or more.
  • the fiber Bragg grating is preferably a low reflection fiber Bragg grating that functions as a half mirror in the fiber laser unit (FLUi).
  • the method according to the present embodiment includes a plurality of fiber laser units (FLU1 to FLUn) and an output combiner (OC) for multiplexing laser beams generated by the respective fiber laser units (FLUi), and the output
  • FLS fiber laser system
  • a target object is irradiated with laser light multiplexed by a combiner (OC)
  • OC combiner
  • each fiber laser unit (FLUi) Stokes reflected by the object in a laser delivery fiber (LDFi) for guiding a laser beam or an output delivery fiber (ODF) for guiding a laser beam combined in the output combiner (OC) And reflecting the light.
  • FLS fiber laser system
  • LDFi laser delivery fiber
  • ODF output delivery fiber
  • the position of the reflector (FBGi) that reflects the Stokes light re-incident on the fiber laser system (FLS) in the above step is from the position to the output end of the output delivery fiber (ODF) It is preferable that twice the Raman gain of the optical path in the optical path is set to be smaller than the sum of the return loss of the reflector (FBGi) and the return loss of the object.
  • FLS fiber laser system FLU1 to FLUn fiber laser unit LDF1 to LDFn laser delivery fiber OC power combiner ODF power delivery fiber OH power head
  • FBG1 to FBGn fiber Bragg grating PS1 to PSm pump light source PDF1 to PDFm pump delivery fiber PC pump combiner AF fiber for amplification
  • FBG-HR High Reflection Fiber Bragg Grating FBG-LR Low Reflection Fiber Bragg Grating

Abstract

Provided is a fiber laser system that makes it possible to avoid or minimize Stokes oscillation. Fiber Bragg grating FBG1-FBGn that reflects Stokes light is included in laser delivery fiber LDFi for guiding laser light generated by each of fiber laser units FLUi, or in an output delivery fiber ODF for guiding laser light multiplexed by an output combiner OC.

Description

ファイバレーザシステム及び方法Fiber laser system and method
　本発明は、ファイバレーザシステムに関する。また、ファイバレーザシステムにおいてストークス発振を回避又は抑制する方法に関する。 The present invention relates to fiber laser systems. The present invention also relates to a method for avoiding or suppressing Stokes oscillation in a fiber laser system.
　材料加工の分野では、近年、ｋＷ級の出力を有するレーザ装置が求められている。しかしながら、このようなレーザ装置を単一のファイバレーザユニットにより実現することは困難である。そこで、複数のファイバレーザユニットと、各ファイバレーザユニットにて生成されたレーザ光を合波する出力コンバイナとを備えたファイバレーザシステムが、材料加工の分野で用いられ始めている。 In the field of material processing, in recent years, a laser device having an output of kW class is required. However, it is difficult to realize such a laser device with a single fiber laser unit. Therefore, a fiber laser system including a plurality of fiber laser units and an output combiner that combines laser beams generated by the respective fiber laser units is beginning to be used in the field of material processing.
　このようなファイバレーザシステムにおいては、加工対象面にて反射された光がファイバレーザシステムに再入射することによって、ファイバレーザシステムに不具合が生じることがある。例えば、ストークス発振が生じると、ファイバレーザユニットにおけるレーザ発振が不安定になったり、ファイバレーザユニットが故障したりすることが知られている（特許文献１参照）。ここで、ストークス発振とは、ファイバレーザシステムと加工対象物とにより構成される共振器において、誘導ラマン散乱によって生じたストークス光が再帰的に増幅される現象のことを指す。 In such a fiber laser system, a defect may occur in the fiber laser system due to the light reflected by the surface to be processed being re-incident on the fiber laser system. For example, it is known that when Stokes oscillation occurs, laser oscillation in the fiber laser unit becomes unstable or the fiber laser unit breaks down (see Patent Document 1). Here, Stokes oscillation refers to a phenomenon in which Stokes light generated by stimulated Raman scattering is recursively amplified in a resonator constituted by a fiber laser system and a processing object.
　特許文献２には、ストークス光を反射するファイバブラッググレーティングを増幅用ファイバ内に形成することによって、ファイバアンプにおける誘導ラマン散乱を抑制する技術が開示されている。 Patent Document 2 discloses a technique for suppressing stimulated Raman scattering in a fiber amplifier by forming a fiber Bragg grating that reflects Stokes light in an amplification fiber.
日本国公開特許公報「特開２０１５－９５６４１号公報」Japanese Patent Publication "Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-95641" 日本国公開特許公報「特開２００７－１２３４７７号公報」Japanese Patent Publication "Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-123477"
　耐反射性の高いファイバレーザシステム、例えば、ハイパワーのレーザ光を加工対象面に垂直入射させても不具合が生じないファイバレーザシステムを実現するためには、上述したストークス発振を回避又は抑制することが重要である。しかしながら、誘導ラマン散乱を抑制するための既存技術（特許文献２に記載の技術を含む）では、高出力化が進むファイバレーザシステムにおいて、ストークス発振を回避又は抑制することが困難であった。 In order to realize a fiber laser system having high reflection resistance, for example, a fiber laser system in which no problem occurs even when high power laser light is vertically incident on a processing target surface, avoid or suppress the above-mentioned Stokes oscillation. is important. However, in the existing technology for suppressing stimulated Raman scattering (including the technology described in Patent Document 2), it is difficult to avoid or suppress Stokes oscillation in a fiber laser system in which the increase in output proceeds.
　本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ストークス発振を回避又は抑制することができるファイバレーザシステムを実現することにある。 The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to realize a fiber laser system capable of avoiding or suppressing Stokes oscillation.
　上記の目的を達成するために、本発明の一態様に係るファイバレーザシステムは、複数のファイバレーザユニットと、各ファイバレーザユニットにて生成されたレーザ光を合波する出力コンバイナと、を備え、上記出力コンバイナにて合波されたレーザ光を対象物に照射するファイバレーザシステムであって、各ファイバレーザユニットにて生成されたレーザ光を導波するレーザデリバリファイバ、又は、上記出力コンバイナにて合波されたレーザ光を導波する出力デリバリファイバに、ストークス光を反射するファイバブラッググレーティングが含まれている、ことを特徴とする。 In order to achieve the above object, a fiber laser system according to an aspect of the present invention includes a plurality of fiber laser units, and an output combiner that combines laser beams generated by the respective fiber laser units, It is a fiber laser system which irradiates an object with the laser beam combined by the above-mentioned output combiner, and is a laser delivery fiber which guides the laser beam generated by each fiber laser unit, or the above-mentioned output combiner An output delivery fiber for guiding the combined laser light includes a fiber bragg grating for reflecting Stokes light.
　上記の目的を達成するために、本発明の一態様に係る方法は、複数のファイバレーザユニットと、各ファイバレーザユニットにて生成されたレーザ光を合波する出力コンバイナと、を備え、上記出力コンバイナにて合波されたレーザ光を対象物に照射するファイバレーザシステムにおいて、ストークス発振を回避又は抑制する方法であって、各ファイバレーザユニットにて生成されたレーザ光を導波するレーザデリバリファイバ、又は、上記出力コンバイナにて合波されたレーザ光を導波する出力デリバリファイバにおいて、上記対象物にて反射されたストークス光を反射する工程を含んでいる、ことを特徴とする。 In order to achieve the above object, a method according to an aspect of the present invention includes a plurality of fiber laser units, and an output combiner that combines laser beams generated by the respective fiber laser units, and the output In a fiber laser system for irradiating a target object with laser light multiplexed by a combiner, the method is a method for avoiding or suppressing Stokes oscillation, and a laser delivery fiber for guiding laser light generated by each fiber laser unit Alternatively, an output delivery fiber for guiding the laser light multiplexed by the output combiner may include a step of reflecting Stokes light reflected by the object.
　本発明の一態様によれば、ストークス発振を回避又は抑制することができるファイバレーザシステムを実現することができる。 According to one aspect of the present invention, a fiber laser system capable of avoiding or suppressing Stokes oscillation can be realized.
本発明の実施形態に係るファイバレーザシステムの構成を示すブロック図である。It is a block diagram showing composition of a fiber laser system concerning an embodiment of the present invention. 上段は、ファイバブラッググレーティングが含まれていないファイバレーザシステム（比較例）における戻光の光路を示すブロック図であり、下段は、同光路におけるストークス光のパワーを表すグラフである。The upper part is a block diagram showing the optical path of the return light in the fiber laser system (comparative example) in which the fiber Bragg grating is not included, and the lower part is a graph showing the power of Stokes light in the optical path. 上段は、ファイバブラッググレーティングが含まれているファイバレーザシステム（実施例）における戻光の光路を示すブロック図であり、下段は、同光路におけるストークス光のパワーを表すグラフである。The upper part is a block diagram showing the optical path of the return light in the fiber laser system (Example) in which the fiber Bragg grating is included, and the lower part is a graph showing the power of Stokes light in the optical path.
　（ファイバレーザシステムの構成）
　本発明の一実施形態に係るファイバレーザシステムＦＬＳの構成について、図１を参照して説明する。図１は、ファイバレーザシステムＦＬＳの構成を示すブロック図である。 (Configuration of fiber laser system)
The configuration of a fiber laser system FLS according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of a fiber laser system FLS.
　ファイバレーザシステムＦＬＳは、ワークＷ（特許請求の範囲における「対象物」の一例）を加工するためのレーザ装置であり、図１に示すように、ｎ個のファイバレーザユニットＦＬＵ１～ＦＬＵｎ、ｎ個のレーザデリバリファイバＬＤＦ１～ＬＤＦｎ、出力コンバイナＯＣ、出力デリバリファイバＯＤＦ、及び出力ヘッドＯＨを備えている。ファイバレーザユニットＦＬＵ１～ＦＬＵｎとレーザデリバリファイバＬＤＦ１～ＬＤＦｎとは、互いに一対一に対応する。ここで、ｎは、２以上の任意の自然数であり、ファイバレーザユニットＦＬＵ１～ＦＬＵｎ及びレーザデリバリファイバＬＤＦ１～ＬＤＦｎの個数を表す。なお、図１においては、ｎ＝３の場合のファイバレーザシステムＦＬＳの構成例を示している。 The fiber laser system FLS is a laser device for processing the workpiece W (an example of the “object” in the claims), and as shown in FIG. 1, n fiber laser units FLU1 to FLUn, n The laser delivery fibers LDF1 to LDFn, the output combiner OC, the output delivery fiber ODF, and the output head OH. The fiber laser units FLU1 to FLUn and the laser delivery fibers LDF1 to LDFn correspond to each other in a one-to-one relationship. Here, n is an arbitrary natural number of 2 or more, and represents the number of fiber laser units FLU1 to FLUn and the number of laser delivery fibers LDF1 to LDFn. Note that FIG. 1 shows a configuration example of the fiber laser system FLS in the case of n = 3.
　ファイバレーザユニットＦＬＵｉ（ｉは１以上ｎ以下の自然数）は、レーザ光を生成する。本実施形態においては、前方励起型のファイバレーザをファイバレーザユニットＦＬＵ１～ＦＬＵｎとして用いている。ファイバレーザユニットＦＬＵｉは、対応するレーザデリバリファイバＬＤＦｉの入力端に接続されている。ファイバレーザユニットＦＬＵｉにて生成されたレーザ光は、このレーザデリバリファイバＬＤＦｉに入力される。 The fiber laser unit FLUi (i is a natural number of 1 or more and n or less) generates laser light. In the present embodiment, forward-pumped fiber lasers are used as the fiber laser units FLU1 to FLUn. The fiber laser unit FLUi is connected to the input end of the corresponding laser delivery fiber LDFi. The laser light generated by the fiber laser unit FLUi is input to the laser delivery fiber LDFi.
　レーザデリバリファイバＬＤＦｉは、対応するファイバレーザユニットＦＬＵｉにて生成されたレーザ光を導波する。本実施形態においては、シングルモードファイバないしモード数が１０以下のフューモードファイバ（ラマンゲイン係数=１×１０－１３［１／Ｗ］）をレーザデリバリファイバＬＤＦ１～ＬＤＦｎとして用いている。レーザデリバリファイバＬＤＦｉの出力端は、出力コンバイナＯＣの入力ポートに接続されている。ファイバレーザユニットＦＬＵｉにて生成され、レーザデリバリファイバＬＤＦｉを導波されたレーザ光は、この入力ポートを介して出力コンバイナＯＣに入力される。 The laser delivery fiber LDFi guides the laser light generated by the corresponding fiber laser unit FLUi. In the present embodiment, a single mode fiber or a fuse mode fiber with 10 or less modes (Raman gain coefficient = 1 × 10 −13 [1 / W]) is used as the laser delivery fibers LDF 1 to LDF n. The output end of the laser delivery fiber LDFi is connected to the input port of the output combiner OC. The laser light generated by the fiber laser unit FLUi and guided through the laser delivery fiber LDFi is input to the output combiner OC via the input port.
　出力コンバイナＯＣは、ファイバレーザユニットＦＬＵ１～ＦＬＵｎの各々にて生成され、レーザデリバリファイバＬＤＦ１～ＬＤＦｎの各々を導波されたレーザ光を合波する。出力コンバイナＯＣの出力ポートは、出力デリバリファイバＯＤＦの入力端に接続されている。出力コンバイナＯＣにて合波されたレーザ光は、この出力デリバリファイバＯＤＦに入力される。 The output combiner OC is generated by each of the fiber laser units FLU1 to FLUn, and multiplexes the laser light guided through each of the laser delivery fibers LDF1 to LDFn. The output port of the output combiner OC is connected to the input end of the output delivery fiber ODF. The laser beams combined by the output combiner OC are input to the output delivery fiber ODF.
　出力デリバリファイバＯＤＦは、出力コンバイナＯＣにて合波されたレーザ光を導波する。本実施形態においては、マルチモードファイバ（ラマンゲイン係数＝１×１０－１３［１／Ｗ］）を出力デリバリファイバＯＤＦとして用いている。出力デリバリファイバＯＤＦの出力端は、出力ヘッドＯＨに接続されている。出力コンバイナＯＣにて合成されたレーザ光は、この出力ヘッドＯＨを介してワーク（加工対象物）に照射される。 The output delivery fiber ODF guides the laser light combined in the output combiner OC. In the present embodiment, a multimode fiber (Raman gain coefficient = 1 × 10 −13 [1 / W]) is used as the output delivery fiber ODF. The output end of the output delivery fiber ODF is connected to the output head OH. The laser beam synthesized by the output combiner OC is irradiated to the work (processing object) through the output head OH.
　（ファイバレーザユニットの構成）
　ファイバレーザシステムＦＬＳが備えるファイバレーザユニットＦＬＵ１の構成について、引き続き図１を参照して説明する。なお、ファイバレーザユニットＦＬＵ２～ＦＬＵｎも、ファイバレーザユニットＦＬＵ１と同様に構成されている。 (Configuration of fiber laser unit)
The configuration of the fiber laser unit FLU1 included in the fiber laser system FLS will be described with continued reference to FIG. The fiber laser units FLU2 to FLUn are also configured similarly to the fiber laser unit FLU1.
　ファイバレーザユニットＦＬＵ１は、前方向励起型のファイバレーザであり、図１に示すように、ｍ個の励起光源ＰＳ１～ＰＳｍ、ｍ個の励起デリバリファイバＰＤＦ１～ＰＤＦｍ、励起コンバイナＰＣ、高反射ファイバブラッググレーティングＦＢＧ－ＨＲ、増幅用ファイバＡＦ、及び低反射ファイバブラッググレーティングＦＢＧ－ＬＲを備えている。励起光源ＰＳ１～ＰＳｍと励起デリバリファイバＰＤＦ１～ＰＤＦｍとは、互いに一対一に対応する。ここで、ｍは、２以上の任意の自然数であり、励起光源ＰＳ１～ＰＳｍ及び励起デリバリファイバＰＤＦ１～ＰＤＦｍの個数を表す。なお、図１においては、ｍ＝６の場合のファイバレーザユニットＦＬＵ１の構成例を示している。 The fiber laser unit FLU1 is a forward pumping type fiber laser, and as shown in FIG. 1, m pumping light sources PS1 to PSm, m pumping delivery fibers PDF1 to PDFm, pumping combiner PC, high reflection fiber Bragg A grating FBG-HR, an amplification fiber AF, and a low reflection fiber Bragg grating FBG-LR are provided. The excitation light sources PS1 to PSm and the excitation delivery fibers PDF1 to PDFm correspond one to one with each other. Here, m is an arbitrary natural number of 2 or more, and represents the number of excitation light sources PS1 to PSm and the number of excitation delivery fibers PDF1 to PDFm. Note that FIG. 1 shows a configuration example of the fiber laser unit FLU1 in the case of m = 6.
　励起光源ＰＳｊ（ｊは１以上ｍ以下の自然数）は、励起光を生成する。本実施形態においては、レーザダイオードを励起光源ＰＳ１～ＰＳｍとして用いている。励起光源ＰＳｊは、対応する励起デリバリファイバＰＤＦｊの入力端に接続されている。励起光源ＰＳｊにて生成された励起光は、この励起デリバリファイバＰＤＦｉに入力される。 The excitation light source PSj (j is a natural number of 1 or more and m or less) generates excitation light. In the present embodiment, laser diodes are used as excitation light sources PS1 to PSm. The excitation light source PSj is connected to the input end of the corresponding excitation delivery fiber PDFj. The excitation light generated by the excitation light source PSj is input to the excitation delivery fiber PDFi.
　励起デリバリファイバＰＤＦｊは、対応する励起光源ＰＳｊにて生成された励起光を導波する。励起デリバリファイバＰＤＦｊの出力端は、励起コンバイナＰＣの入力ポートに接続されている。励起光源ＰＳｊにて生成され、励起デリバリファイバＰＤＦｊを導波された励起光は、この入力ポートを介して励起コンバイナＰＣに入力される。 The excitation delivery fiber PDFj guides the excitation light generated by the corresponding excitation light source PSj. The output end of the pump delivery fiber PDFj is connected to the input port of the pump combiner PC. The pump light generated by the pump light source PSj and guided through the pump delivery fiber PDFj is input to the pump combiner PC via the input port.
　励起コンバイナＰＣは、励起光源ＰＳ１～ＰＳｍの各々にて生成され、励起デリバリファイバＰＤＦ１～ＰＤＦｍの各々を導波された励起光を合波する。励起コンバイナＰＣの出力ポートは、高反射ファイバブラッググレーティングＦＢＧ－ＨＲを介して増幅用ファイバＡＦの入力端に接続されている。励起コンバイナＰＣにて合波された励起光のうち、高反射ファイバブラッググレーティングＦＢＧ－ＨＲを透過した励起光は、増幅用ファイバＡＦに入力される。 The excitation combiner PC combines the excitation light generated by each of the excitation light sources PS1 to PSm and guided through each of the excitation delivery fibers PDF1 to PDFm. The output port of the pump combiner PC is connected to the input end of the amplification fiber AF via the high reflection fiber Bragg grating FBG-HR. Among the pump light coupled by the pump combiner PC, the pump light transmitted through the high reflection fiber Bragg grating FBG-HR is input to the amplification fiber AF.
　増幅用ファイバＡＦは、高反射ファイバブラッググレーティングＦＢＧ－ＨＲを透過した励起光を用いて、レーザ光を生成する。本実施形態においては、コアに希土類元素（例えばＹｂ）が添加されたダブルクラッドファイバ（ラマンゲイン係数=１×１０－１３［１／Ｗ］）を増幅用ファイバＡＦとして用いている。高反射ファイバブラッググレーティングＦＢＧ－ＨＲを透過した励起光は、この希土類元素を反転分布状態に維持するために用いられる。増幅用ファイバＡＦの出力端は、低反射ファイバブラッググレーティングＦＢＧ－ＬＲを介してレーザデリバリファイバＬＤＦ１の入力端に接続されている。高反射ファイバブラッググレーティングＦＢＧ－ＨＲは、ある波長λ（例えば、１０６０ｎｍ）においてミラーとして機能し（反射率が例えば９９％となり）、低反射ファイバブラッググレーティングＦＢＧ－ＬＲは、その波長λにおいてハーフミラーとして機能する（反射率が例えば１０％となる）。このため、増幅用ファイバＡＦは、高反射ファイバブラッググレーティングＦＢＧ－ＨＲ及び低反射ファイバブラッググレーティングＦＢＧ－ＬＲと共に、波長λのレーザ光を発振する共振器を構成する。増幅用ファイバＡＦにて生成されたレーザ光のうち、この低反射ファイバブラッググレーティングＦＢＧ－ＬＲを透過したレーザ光は、レーザデリバリファイバＬＤＦ１に入力される。 The amplification fiber AF generates laser light using the excitation light transmitted through the high reflection fiber Bragg grating FBG-HR. In the present embodiment, a double clad fiber (Raman gain coefficient = 1 × 10 −13 [1 / W]) in which a rare earth element (for example, Yb) is added to the core is used as the amplification fiber AF. The excitation light transmitted through the high reflection fiber Bragg grating FBG-HR is used to maintain this rare earth element in a population inversion state. The output end of the amplification fiber AF is connected to the input end of the laser delivery fiber LDF1 via a low reflection fiber Bragg grating FBG-LR. The high reflection fiber Bragg grating FBG-HR functions as a mirror (reflectance is, for example, 99%) at a certain wavelength λ (for example, 1060 nm), and the low reflection fiber Bragg grating FBG-LR is a half mirror at that wavelength λ It works (the reflectance is 10%, for example). Therefore, the amplification fiber AF, together with the high reflection fiber Bragg grating FBG-HR and the low reflection fiber Bragg grating FBG-LR, constitutes a resonator that oscillates a laser beam of wavelength λ. Among the laser beams generated by the amplification fiber AF, the laser beam transmitted through the low reflection fiber Bragg grating FBG-LR is input to the laser delivery fiber LDF1.
　なお、本実施形態においては、前方励起型のファイバレーザをファイバレーザユニットＦＬＵ１～ＦＬＵｎとして用いているが、本発明は、これに限定されない。すなわち、本発明においては、後方励起型のファイバレーザをファイバレーザユニットＦＬＵ１～ＦＬＵｎとして用いることもできるし、双方向励起型のファイバレーザをファイバレーザユニットＦＬＵ１～ＦＬＵｎとして用いることもできる。 In the present embodiment, forward-pumped fiber lasers are used as the fiber laser units FLU1 to FLUn, but the present invention is not limited to this. That is, in the present invention, backward pumped fiber lasers can be used as the fiber laser units FLU1 to FLUn, and bidirectional pumped fiber lasers can be used as the fiber laser units FLU1 to FLUn.
　（ファイバレーザシステムの特徴）
　ファイバレーザシステムＦＬＳにおいて特徴的な点は、ファイバレーザシステムＦＬＳの耐反射性を高めるために、より具体的には、戻光によって引き起こされるストークス発振を抑制するために、各レーザデリバリファイバＬＤＦｉにファイバブラッググレーティングＦＢＧｉ（請求の範囲における「反射体」の一例）が含まれている点である。ここで、戻光とは、ファイバレーザシステムＦＬＳから出力された光のうち、ワークＷにて反射されてファイバレーザシステムＦＬＳに再入射した光のことを指す。 (Features of fiber laser system)
A characteristic feature of the fiber laser system FLS is that in order to enhance the reflection resistance of the fiber laser system FLS, more specifically, to suppress the Stokes oscillation caused by the return light, a fiber is added to each laser delivery fiber LDFi It is a point that the Bragg grating FBGi (an example of “reflector” in the claims) is included. Here, the return light refers to light that is reflected by the work W and is re-incident on the fiber laser system FLS among the light output from the fiber laser system FLS.
　この戻光には、各ファイバレーザユニットＦＬＵｉの増幅用ファイバＡＦにおいて誘導放出により生じたレーザ光の他に、各ファイバレーザユニットＦＬＵｉの増幅用ファイバＡＦ、各レーザデリバリファイバＬＤＦｉ、及び出力デリバリファイバＯＤＦにおいて誘導ラマン散乱により生じたストークス光が含まれる。各レーザデリバリファイバＬＤＦｉに挿入されたファイバブラッググレーティングＦＢＧｉは、このストークス光を反射するための構成である。ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉとしては、例えば、ストークス光の波長（例えば１１１５ｎｍ）における反射率が９９％以上になるように設計されたファイバブラッググレーティングを用いる。これにより、ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉから出力ヘッドＯＨまでの光路において生じたストークス光がファイバレーザユニットＦＬＵｉに入射する可能性を低下させることができる。 In this return light, in addition to the laser light generated by stimulated emission in the amplification fiber AF of each fiber laser unit FLUi, the amplification fiber AF of each fiber laser unit FLUi, each laser delivery fiber LDFi, and the output delivery fiber ODF And Stokes light produced by stimulated Raman scattering. The fiber Bragg grating FBGi inserted into each of the laser delivery fibers LDFi is a configuration for reflecting this Stokes light. As the fiber bragg grating FBGi, for example, a fiber bragg grating designed to have a reflectance of 99% or more at the wavelength (for example, 1115 nm) of Stokes light is used. This can reduce the possibility that Stokes light generated in the optical path from the fiber Bragg grating FBGi to the output head OH may enter the fiber laser unit FLUi.
　以下、ファイバレーザシステムＦＬＳにおけるファイバブラッググレーティングＦＢＧｉの作用について、図２及び図３を参照して説明する。 Hereinafter, the operation of the fiber Bragg grating FBGi in the fiber laser system FLS will be described with reference to FIGS. 2 and 3.
　まず、ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉが増幅用ファイバＡＦに挿入されたファイバレーザシステムＦＬＳ（比較例）においてストークス発振が生じ易い理由について、図２を参照して説明する。図２の上段は、ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉが増幅用ファイバＡＦに挿入されたファイバレーザシステムＦＬＳにおける戻光の光路を示すブロック図であり、図２の下段は、同光路におけるストークス光のパワーを表すグラフである。 First, the reason why Stokes oscillation easily occurs in the fiber laser system FLS (comparative example) in which the fiber Bragg grating FBGi is inserted into the amplification fiber AF will be described with reference to FIG. The upper part of FIG. 2 is a block diagram showing the optical path of the return light in the fiber laser system FLS in which the fiber Bragg grating FBGi is inserted into the amplification fiber AF, and the lower part of FIG. 2 represents the power of Stokes light in the same optical path. It is a graph.
　ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉが増幅用ファイバＡＦに挿入されている場合、ストークス光がファイバブラッググレーティングＦＢＧｉとワークＷとの間を１往復する過程は、以下の素過程に分解することができる。 When the fiber Bragg grating FBGi is inserted into the amplification fiber AF, the process in which Stokes light makes one round trip between the fiber Bragg grating FBGi and the work W can be decomposed into the following elementary processes.
　素過程（１）：ワークＷにて反射されたストークス光は、空気中を伝播した後、出力ヘッドＯＨを介してファイバレーザシステムＦＬＳに入射する。図２の下段に示すように、ストークス光のパワーは、本素過程（空気中を伝播する過程）において、一定に保たれる。 Elementary process (1): Stokes light reflected by the workpiece W propagates in the air, and then enters the fiber laser system FLS through the output head OH. As shown in the lower part of FIG. 2, the power of the Stokes light is kept constant in the main process (the process of propagating in the air).
　素過程（２）：ファイバレーザシステムＦＬＳに入射したストークス光は、増幅用ファイバＡＦ、各レーザデリバリファイバＬＤＦｉ、及び出力デリバリファイバＯＤＦにより構成された、光路長Ｌｉの光路を逆方向に導波された後、ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉに入射する。図２の下段に示すように、ストークス光のパワーは、本素過程（当該光路を逆方向に導波される過程）において、誘導ラマン散乱により増幅される。本素過程におけるストークス光の増幅量は、当該光路のラマンゲインＧ（Ｌｉ）に一致する。 Elementary process (2): Stokes light incident on the fiber laser system FLS is guided in the reverse direction along the optical path of the optical path length Li, which is composed of the amplification fiber AF, each laser delivery fiber LDFi, and the output delivery fiber ODF. Then, it enters the fiber Bragg grating FBGi. As shown in the lower part of FIG. 2, the power of the Stokes light is amplified by stimulated Raman scattering in the main process (the process in which the optical path is guided in the reverse direction). The amount of amplification of Stokes light in the main process matches the Raman gain G (Li) of the optical path.
　素過程（３）：ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉに入射したストークス光は、ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉにて反射される。図２の下段に示すように、ストークス光のパワーは、本素過程（ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉにて反射される過程）において、減衰される。本素過程におけるストークス光の減衰量は、ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉの反射減衰量Ｒｉに一致する。 Elementary process (3): Stokes light incident on the fiber Bragg grating FBGi is reflected by the fiber Bragg grating FBGi. As shown in the lower part of FIG. 2, the power of the Stokes light is attenuated in the main process (the process of being reflected by the fiber Bragg grating FBGi). The amount of attenuation of Stokes light in the present process matches the amount of return attenuation Ri of the fiber Bragg grating FBGi.
　素過程（４）：ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉにて反射されたストークス光は、増幅用ファイバＡＦ、各レーザデリバリファイバＬＤＦｉ、及び出力デリバリファイバＯＤＦにより構成された、光路長Ｌｉの光路を順方向に導波された後、出力ヘッドＯＨを介してファイバレーザシステムＦＬＳから出射する。図２の下段に示すように、ストークス光のパワーは、本素過程（当該光路を順方向に導波される過程）において、誘導ラマン散乱により増幅される。本素過程におけるストークス光の増幅量は、当該光路のラマンゲインＧ（Ｌｉ）に一致する。 Elemental process (4): Stokes light reflected by the fiber Bragg grating FBGi is guided in the forward direction along the optical path of the optical path length Li, which is composed of the amplification fiber AF, each laser delivery fiber LDFi, and the output delivery fiber ODF. After being waved, it exits the fiber laser system FLS via the output head OH. As shown in the lower part of FIG. 2, the power of Stokes light is amplified by stimulated Raman scattering in the main process (the process of being guided in the forward direction of the optical path). The amount of amplification of Stokes light in the main process matches the Raman gain G (Li) of the optical path.
　素過程（５）：ファイバレーザシステムＦＬＳを出射したレーザ光は、空気中を伝播した後、ワークＷに入射する。図２の下段に示すように、ストークス光のパワーは、本素過程（空気中を伝播する過程）において、一定に保たれる。 Elementary process (5): The laser light emitted from the fiber laser system FLS propagates through the air and then enters the work W. As shown in the lower part of FIG. 2, the power of the Stokes light is kept constant in the main process (the process of propagating in the air).
　素過程（６）：ワークＷに入射したストークス光は、ワークＷにて反射される。図２の下段に示すように、ストークス光のパワーは、本素過程（ワークＷにて反射される過程）で減衰される。本素過程におけるストークス光の減衰量は、ワークＷの反射減衰量ＲＷに一致する。 Elementary process (6): Stokes light incident on the work W is reflected by the work W. As shown in the lower part of FIG. 2, the power of the Stokes light is attenuated in the main process (the process of being reflected by the work W). The attenuation amount of Stokes light in the present process corresponds to the reflection attenuation amount RW of the work W.
　以上の説明から明らかなように、ストークス光のパワーは、ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉとワークＷとの間を１往復する過程において、増幅用ファイバＡＦ、レーザデリバリファイバＬＤＦｉ、及び出力デリバリファイバＯＤＦにより構成された、光路長Ｌｉの光路のラマンゲインＧ（Ｌｉ）の２倍だけ増幅されると共に、ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉの反射減衰量ＲｉとワークＷの反射減衰量ＲＷとの和だけ減衰される。ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉが増幅用ファイバＡＦに挿入されている場合、光路長ＬｉをレーザデリバリファイバＬＤＦｉの光路長と出力デリバリファイバＯＤＦの光路長との和よりも短くすることができない。このため、２×Ｇ（Ｌｉ）≦｜Ｒｉ＋ＲＷ｜が成り立つように、ラマンゲインＧ（Ｌｉ）を小さく抑えることが困難である。２×Ｇ（Ｌｉ）≦｜Ｒｉ＋ＲＷ｜が成り立たない場合、ファイバレーザシステムＦＬＳに再入射するストークス光のパワーがＰ０＜Ｐ１＜・・・と次第に大きくなる。すなわち、ストークス発振が起こる。 As apparent from the above description, the power of the Stokes light is constituted by the amplification fiber AF, the laser delivery fiber LDFi, and the output delivery fiber ODF in the process of making one round trip between the fiber Bragg grating FBGi and the work W. The light is amplified by twice the Raman gain G (Li) of the optical path of the optical path length Li, and is attenuated by the sum of the return loss Ri of the fiber Bragg grating FBGi and the return loss RW of the work W. When the fiber Bragg grating FBGi is inserted into the amplification fiber AF, the optical path length Li can not be shorter than the sum of the optical path length of the laser delivery fiber LDFi and the optical path length of the output delivery fiber ODF. For this reason, it is difficult to keep the Raman gain G (Li) small so that 2 × G (Li) ≦ | Ri + RW | holds. If 2 × G (Li) ≦ | Ri + RW | does not hold, the power of the Stokes light reincident on the fiber laser system FLS gradually increases as P 0 <P 1 <. That is, Stokes oscillation occurs.
　一例として、増幅用ファイバＡＦ、出力デリバリファイバＯＤＦ、及びレーザデリバリファイバＬＤＦｉにおける単位長さ辺りのラマンゲインが１ｄＢ／ｍであり、ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉの反射減衰量Ｒｉが０ｄＢであり、ワークＷの反射減衰量ＲＷが－３０ｄＢである場合を考える。この場合、光路長Ｌｉが３０ｍであると、ラマンゲインＧ（Ｌ０）は、３０ｄＢとなる。このため、２×Ｇ（Ｌｉ）＞｜Ｒｉ＋ＲＷ｜が成り立つので、ストークス発振が起こる。 As an example, the Raman gain at unit length in the amplification fiber AF, the output delivery fiber ODF, and the laser delivery fiber LDFi is 1 dB / m, the return loss Ri of the fiber Bragg grating FBGi is 0 dB, and the reflection of the work W is Consider the case where the attenuation amount RW is -30 dB. In this case, when the optical path length Li is 30 m, the Raman gain G (L0) is 30 dB. For this reason, Stokes oscillation occurs because 2 × G (Li)> Ri + RW | holds.
　次に、ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉがレーザデリバリファイバＬＤＦｉに挿入されたファイバレーザシステムＦＬＳにおいてストークス発振が生じ難い理由について、図３を参照して説明する。図３の上段は、ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉがレーザデリバリファイバＬＤＦｉに挿入されたファイバレーザシステムＦＬＳ（実施例）における戻光の光路を示すブロック図であり、図３の下段は、同光路におけるストークス光のパワーを表すグラフである。 Next, the reason why Stokes oscillation hardly occurs in the fiber laser system FLS in which the fiber Bragg grating FBGi is inserted into the laser delivery fiber LDFi will be described with reference to FIG. The upper part of FIG. 3 is a block diagram showing the optical path of the return light in the fiber laser system FLS (Example) in which the fiber Bragg grating FBGi is inserted into the laser delivery fiber LDFi, and the lower part of FIG. 3 is the Stokes light in the same optical path. Is a graph representing the power of
　ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉがレーザデリバリファイバＬＤＦｉに挿入されている場合、ストークス光がファイバブラッググレーティングＦＢＧｉとワークＷとの間を１往復する過程は、以下の素過程に分解することができる。 When the fiber Bragg grating FBGi is inserted into the laser delivery fiber LDFi, the process in which Stokes light makes one round trip between the fiber Bragg grating FBGi and the work W can be decomposed into the following elementary processes.
　素過程（１）：ワークＷにて反射されたストークス光は、空気中を伝播した後、出力ヘッドＯＨを介してファイバレーザシステムＦＬＳに入射する。図３の下段に示すように、ストークス光のパワーは、本素過程（空気中を伝播する過程）において、一定に保たれる。 Elementary process (1): Stokes light reflected by the workpiece W propagates in the air, and then enters the fiber laser system FLS through the output head OH. As shown in the lower part of FIG. 3, the power of the Stokes light is kept constant in the main process (the process of propagating in the air).
　素過程（２）：ファイバレーザシステムＦＬＳに入射したストークス光は、レーザデリバリファイバＬＤＦｉの一部及び出力デリバリファイバＯＤＦにより構成された、光路長Ｌｉの光路を逆方向に導波された後、ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉに入射する。図３の下段に示すように、ストークス光のパワーは、本素過程（当該光路を逆方向に導波される過程）において、誘導ラマン散乱により増幅される。本素過程におけるストークス光の増幅量は、当該光路のラマンゲインＧ（Ｌｉ）に一致する。 Elementary process (2): The Stokes light incident on the fiber laser system FLS is made up of a part of the laser delivery fiber LDFi and the output delivery fiber ODF, after being guided in the reverse direction of the optical path of the optical path length Li It enters into the Bragg grating FBGi. As shown in the lower part of FIG. 3, the power of the Stokes light is amplified by stimulated Raman scattering in the main process (the process in which the optical path is guided in the reverse direction). The amount of amplification of Stokes light in the main process matches the Raman gain G (Li) of the optical path.
　素過程（３）：ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉに入射したストークス光は、ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉにて反射される。図３の下段に示すように、ストークス光のパワーは、本素過程（ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉにて反射される過程）において、減衰される。本素過程におけるストークス光の減衰量は、ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉの反射減衰量Ｒｉに一致する。 Elementary process (3): Stokes light incident on the fiber Bragg grating FBGi is reflected by the fiber Bragg grating FBGi. As shown in the lower part of FIG. 3, the power of the Stokes light is attenuated in the main process (the process of being reflected by the fiber Bragg grating FBGi). The amount of attenuation of Stokes light in the present process matches the amount of return attenuation Ri of the fiber Bragg grating FBGi.
　素過程（４）：ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉにて反射されたストークス光は、レーザデリバリファイバＬＤＦｉの一部及び出力デリバリファイバＯＤＦにより構成された、光路長Ｌｉの光路を順方向に導波された後、出力ヘッドＯＨを介してファイバレーザシステムＦＬＳから出射する。図３の下段に示すように、ストークス光のパワーは、本素過程（当該光路を順方向に導波される過程）において、誘導ラマン散乱により増幅される。本素過程におけるストークス光の増幅量は、当該光路のラマンゲインＧ（Ｌｉ）に一致する。 Elementary process (4): Stokes light reflected by the fiber Bragg grating FBGi is formed by a part of the laser delivery fiber LDFi and the output delivery fiber ODF, after being guided in the forward direction of the optical path of the optical path length Li , Emanate from the fiber laser system FLS via the output head OH. As shown in the lower part of FIG. 3, the power of Stokes light is amplified by stimulated Raman scattering in the main process (the process of being guided in the forward direction of the optical path). The amount of amplification of Stokes light in the main process matches the Raman gain G (Li) of the optical path.
　素過程（５）：ファイバレーザシステムＦＬＳを出射したレーザ光は、空気中を伝播した後、ワークＷに入射する。図３の下段に示すように、ストークス光のパワーは、本素過程（空気中を伝播する過程）において、一定に保たれる。 Elementary process (5): The laser light emitted from the fiber laser system FLS propagates through the air and then enters the work W. As shown in the lower part of FIG. 3, the power of the Stokes light is kept constant in the main process (the process of propagating in the air).
　素過程（６）：ワークＷに入射したストークス光は、ワークＷにて反射される。図３の下段に示すように、ストークス光のパワーは、本素過程（ワークＷにて反射される過程）で減衰される。本素過程におけるストークス光の減衰量は、ワークＷの反射減衰量ＲＷに一致する。 Elementary process (6): Stokes light incident on the work W is reflected by the work W. As shown in the lower part of FIG. 3, the power of the Stokes light is attenuated in the main process (the process of being reflected by the work W). The attenuation amount of Stokes light in the present process corresponds to the reflection attenuation amount RW of the work W.
　以上の説明から明らかなように、ストークス光のパワーは、ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉとワークＷとの間を１往復する過程において、レーザデリバリファイバＬＤＦｉの一部及び出力デリバリファイバＯＤＦにより構成された、光路長Ｌｉの光路のラマンゲインＧ（Ｌｉ）の２倍だけ増幅されると共に、ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉの反射減衰量ＲｉとワークＷの反射減衰量ＲＷとの和だけ減衰される。ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉがレーザデリバリファイバＬＤＦｉに挿入されている場合、光路長ＬｉをレーザデリバリファイバＬＤＦｉの光路長と出力デリバリファイバＯＤＦの光路長との和よりも短くすることができる。このため、２×Ｇ（Ｌｉ）≦｜Ｒｉ＋ＲＷ｜が成り立つように、ラマンゲインＧ（Ｌｉ）を小さく抑えることが容易である。２×Ｇ（Ｌｉ）≦｜Ｒｉ＋ＲＷ｜が成り立つ場合、ファイバレーザシステムＦＬＳに再入射するストークス光のパワーをＰ０＝Ｐ１＝・・・と一定に保つか、又は、Ｐ０＞Ｐ１＞・・・と次第に小さくすることができる。すなわち、ストークス発振を回避又は抑制することができる。 As apparent from the above description, the power of the Stokes light is an optical path constituted by a part of the laser delivery fiber LDFi and the output delivery fiber ODF in the process of reciprocating one time between the fiber Bragg grating FBGi and the work W While being amplified by twice the Raman gain G (Li) of the optical path of the long Li, it is attenuated by the sum of the return loss Ri of the fiber Bragg grating FBGi and the return loss RW of the work W. When the fiber Bragg grating FBGi is inserted into the laser delivery fiber LDFi, the optical path length Li can be shorter than the sum of the optical path length of the laser delivery fiber LDFi and the optical path length of the output delivery fiber ODF. Therefore, it is easy to keep the Raman gain G (Li) small so that 2 × G (Li) ≦ | Ri + RW | holds. If 2 × G (Li) ≦ | Ri + RW | holds, the power of the Stokes light reincident on the fiber laser system FLS is kept constant as P0 = P1 =... Or P0> P1>. It can be made smaller and smaller. That is, Stokes oscillation can be avoided or suppressed.
　一例として、出力デリバリファイバＯＤＦ及びレーザデリバリファイバＬＤＦｉにおける単位長さ辺りのラマンゲインが１ｄＢ／ｍであり、ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉの反射減衰量Ｒｉが０ｄＢであり、ワークＷの反射減衰量ＲＷが－３０ｄＢである場合を考える。この場合、光路長Ｌｉを１０ｍとすると、ラマンゲインＧ（Ｌｉ）は、１０ｄＢとなる。このため、２×Ｇ（Ｌｉ）＜｜Ｒｉ＋ＲＷ｜が成り立つので、ストークス発振を回避又は抑制することができる。 As an example, the Raman gain per unit length in the output delivery fiber ODF and the laser delivery fiber LDFi is 1 dB / m, the return loss Ri of the fiber Bragg grating FBGi is 0 dB, and the return loss RW of the work W is -30 dB Consider the case. In this case, when the optical path length Li is 10 m, the Raman gain G (Li) is 10 dB. For this reason, since 2 × G (Li) <| Ri + RW | holds, Stokes oscillation can be avoided or suppressed.
　なお、長さＬの光ファイバのラマンゲインＧ（Ｌ）は、その光ファイバにおけるレーザ光の損失が無視できる程度に小さい場合、その光ファイバのラマンゲイン係数をｇＲ、その光ファイバを導波されるレーザ光のパワーをＰとして、Ｇ（Ｌ）＝１０×Ｌｏｇ１０（ｅｘｐ（ｇＲ×Ｐ×Ｌ））により与えられる。増幅用ファイバＡＦ、レーザデリバリファイバＬＤＦｉ、及び出力デリバリファイバＯＤＦにより構成される光路のラマンゲインＧ（Ｌ０）は、増幅用ファイバＡＦのラマンゲインと、レーザデリバリファイバＬＤＦｉのラマンゲインと、出力デリバリファイバＯＤＦのラマンゲインとの和として算出することができる。また、レーザデリバリファイバＬＤＦｉ及び出力デリバリファイバＯＤＦにより構成される光路のラマンゲインＧ（Ｌ１）は、ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉよりも出力側のレーザデリバリファイバＬＤＦｉのラマンゲインと、出力デリバリファイバＯＤＦのラマンゲインとの和として算出することができる。 The Raman gain G (L) of the optical fiber of length L is such that the Raman gain coefficient of the optical fiber is gR, and the laser is guided through the optical fiber if the loss of the laser light in the optical fiber is small enough to be ignored. Assuming that the light power is P, G (L) = 10 × Log 10 (exp (gR × P × L)). The Raman gain G (L0) of the optical path formed by the amplification fiber AF, the laser delivery fiber LDFi, and the output delivery fiber ODF is the Raman gain of the amplification fiber AF, the Raman gain of the laser delivery fiber LDFi, and the Raman gain of the output delivery fiber ODF It can be calculated as the sum of Further, the Raman gain G (L1) of the optical path formed by the laser delivery fiber LDFi and the output delivery fiber ODF is the sum of the Raman gain of the laser delivery fiber LDFi on the output side of the fiber Bragg grating FBGi and the Raman gain of the output delivery fiber ODF. It can be calculated as
　また、ファイバブラッググレーティングＦＢＧｉの反射減衰量Ｒｉは、そのファイバブラッググレーティングＦＢＧｉのストークス光に対する反射率をｒｉとして、Ｒｉ＝１０×Ｌｏｇ１０（ｅｘｐ（ｒｉ））により与えられる。また、ワークＷの反射減衰量ＲＷは、そのワークＷのストークス光に対する反射率をｒＷとして、ＲＷ＝１０×Ｌｏｇ１０（ｅｘｐ（ｒＷ））により与えられる。 Further, the return loss Ri of the fiber Bragg grating FBGi is given by Ri = 10 × Log 10 (exp (ri)), where ri is the reflectance of the fiber Bragg grating FBGi to the Stokes light. Further, the reflection attenuation amount RW of the work W is given by RW = 10 × Log 10 (exp (rW)), where rW is the reflectance of the work W to the Stokes light.
　なお、本実施形態においては、各レーザデリバリファイバＬＤＦｉにファイバブラッググレーティングＦＢＧｉを含める構成を示したが、本発明はこれに限定されない。すなわち、各レーザデリバリファイバＬＤＦｉにファイバブラッググレーティングＦＢＧｉを含める構成に代えて、出力デリバリファイバＯＤＦにファイバブラッググレーティングを含める構成を採用してもよい。この場合であっても、２×Ｇ（Ｌｉ）＜｜Ｒ０＋ＲＷ｜が成り立つようにファイバブラッググレーティングＦＢＧｉの位置を設定すれば、ストークス発振を回避又は抑制することができる。 In the present embodiment, the configuration is shown in which the fiber Bragg gratings FBGi are included in each of the laser delivery fibers LDFi, but the present invention is not limited to this. That is, instead of including the fiber Bragg gratings FBGi in each of the laser delivery fibers LDFi, a configuration may be employed in which a fiber Bragg grating is included in the output delivery fiber ODF. Even in this case, Stokes oscillation can be avoided or suppressed by setting the position of the fiber Bragg grating FBGi such that 2 × G (Li) <| R0 + RW | holds.
　〔まとめ〕
　本実施形態に係るファイバレーザシステム（ＦＬＳ）は、複数のファイバレーザユニット（ＦＬＵ１～ＦＬＵｎ）と、各ファイバレーザユニット（ＦＬＵｉ）にて生成されたレーザ光を合波する出力コンバイナ（ＯＣ）と、を備え、上記出力コンバイナ（ＯＣ）にて合波されたレーザ光を対象物に照射するファイバレーザシステム（ＦＬＳ）であって、各ファイバレーザユニット（ＦＬＵｉ）にて生成されたレーザ光を導波するレーザデリバリファイバ（ＬＤＦｉ）、又は、上記出力コンバイナ（ＯＣ）にて合波されたレーザ光を導波する出力デリバリファイバ（ＯＤＦ）に、ストークス光を反射するファイバブラッググレーティング（ＦＢＧｉ）が含まれている、ことを特徴とする。 [Summary]
The fiber laser system (FLS) according to the present embodiment includes a plurality of fiber laser units (FLU1 to FLUn) and an output combiner (OC) that combines laser beams generated by the respective fiber laser units (FLUi). A fiber laser system (FLS) for irradiating the object with the laser light multiplexed by the output combiner (OC), and guiding the laser light generated by each of the fiber laser units (FLUi) Laser delivery fiber (LDFi) or an output delivery fiber (ODF) for guiding the laser light coupled by the output combiner (OC) includes a fiber Bragg grating (FBGi) for reflecting Stokes light Are characterized.
　上記の構成によれば、ストークス発振を抑制することができる。 According to the above configuration, Stokes oscillation can be suppressed.
　本実施形態に係るファイバレーザシステム（ＦＬＳ）において、上記ファイバブラッググレーティング（ＦＢＧｉ）の位置は、該ファイバブラッググレーティング（ＦＢＧｉ）から上記出力デリバリファイバ（ＯＤＦ）の出力端までの光路のラマンゲインの２倍が上記ファイバブラッググレーティング（ＦＢＧｉ）の反射減衰量と上記対象物の反射減衰量との和の大きさ以下となるように設定されている、ことが好ましい。 In the fiber laser system (FLS) according to the present embodiment, the position of the fiber Bragg grating (FBGi) is twice the Raman gain of the optical path from the fiber Bragg grating (FBGi) to the output end of the output delivery fiber (ODF). Is preferably set to be equal to or less than the sum of the return loss of the fiber Bragg grating (FBGi) and the return loss of the object.
　上記の構成によれば、ストークス発振を回避又は更に抑制することができる。 According to the above configuration, Stokes oscillation can be avoided or further suppressed.
　本実施形態に係るファイバレーザシステム（ＦＬＳ）において、上記ファイバブラッググレーティング（ＦＢＧｉ）のストークス光に対する反射率は、９９％以上である、ことが好ましい。 In the fiber laser system (FLS) according to the present embodiment, the reflectance of the fiber Bragg grating (FGBi) to Stokes light is preferably 99% or more.
　上記の構成によれば、上記ファイバブラッググレーティングから上記出力デリバリファイバの出力端までの光路において生じたストークス光が上記ファイバレーザユニットに入射する可能性を低下させることができる。 According to the above configuration, it is possible to reduce the possibility that Stokes light generated in the optical path from the fiber Bragg grating to the output end of the output delivery fiber may enter the fiber laser unit.
　本実施形態に係るファイバレーザシステム（ＦＬＳ）において、上記ファイバブラッググレーティング（ＦＢＧｉ）は、上記ファイバレーザユニット（ＦＬＵｉ）においてハーフミラーとして機能する低反射ファイバブラッググレーティングである、ことが好ましい。 In the fiber laser system (FLS) according to the present embodiment, the fiber Bragg grating (FGBi) is preferably a low reflection fiber Bragg grating that functions as a half mirror in the fiber laser unit (FLUi).
　上記の構成によれば、新たなファイバブラッググレーティングを新たに追加することなく、ストークス発振を抑制することができる。 According to the above configuration, Stokes oscillation can be suppressed without newly adding a new fiber Bragg grating.
　本実施形態に係る方法は、複数のファイバレーザユニット（ＦＬＵ１～ＦＬＵｎ）と、各ファイバレーザユニット（ＦＬＵｉ）にて生成されたレーザ光を合波する出力コンバイナ（ＯＣ）と、を備え、上記出力コンバイナ（ＯＣ）にて合波されたレーザ光を対象物に照射するファイバレーザシステム（ＦＬＳ）において、ストークス発振を回避又は抑制する方法であって、各ファイバレーザユニット（ＦＬＵｉ）にて生成されたレーザ光を導波するレーザデリバリファイバ（ＬＤＦｉ）、又は、上記出力コンバイナ（ＯＣ）にて合波されたレーザ光を導波する出力デリバリファイバ（ＯＤＦ）において、上記対象物にて反射されたストークス光を反射する工程を含んでいる、ことを特徴とする。 The method according to the present embodiment includes a plurality of fiber laser units (FLU1 to FLUn) and an output combiner (OC) for multiplexing laser beams generated by the respective fiber laser units (FLUi), and the output This is a method for avoiding or suppressing Stokes oscillation in a fiber laser system (FLS) in which a target object is irradiated with laser light multiplexed by a combiner (OC), and is generated by each fiber laser unit (FLUi) Stokes reflected by the object in a laser delivery fiber (LDFi) for guiding a laser beam or an output delivery fiber (ODF) for guiding a laser beam combined in the output combiner (OC) And reflecting the light.
　上記の構成によれば、ストークス発振を抑制することができる。 According to the above configuration, Stokes oscillation can be suppressed.
　本実施形態に係る方法において、上記工程において上記ファイバレーザシステム（ＦＬＳ）に再入射したストークス光を反射する反射体（ＦＢＧｉ）の位置は、当該位置から上記出力デリバリファイバ（ＯＤＦ）の出力端までの光路のラマンゲインの２倍が上記反射体（ＦＢＧｉ）の反射減衰量と上記対象物の反射減衰量との和の大きさを下回るように設定されている、ことが好ましい。 In the method according to the present embodiment, the position of the reflector (FBGi) that reflects the Stokes light re-incident on the fiber laser system (FLS) in the above step is from the position to the output end of the output delivery fiber (ODF) It is preferable that twice the Raman gain of the optical path in the optical path is set to be smaller than the sum of the return loss of the reflector (FBGi) and the return loss of the object.
　上記の構成によれば、ストークス発振を回避又は更に抑制することができる。 According to the above configuration, Stokes oscillation can be avoided or further suppressed.
　〔付記事項〕
　本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。すなわち、請求項に示した範囲で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。 [Items to be added]
The present invention is not limited to the embodiments described above, and various modifications are possible within the scope of the claims. That is, an embodiment obtained by combining technical means appropriately modified within the scope of the claims is also included in the technical scope of the present invention.
　ＦＬＳ　　　　　　　　ファイバレーザシステム
　ＦＬＵ１～ＦＬＵｎ　　ファイバレーザユニット
　ＬＤＦ１～ＬＤＦｎ　　レーザデリバリファイバ
　ＯＣ　　　　　　　　　出力コンバイナ
　ＯＤＦ　　　　　　　　出力デリバリファイバ
　ＯＨ　　　　　　　　　出力ヘッド
　ＦＢＧ１～ＦＢＧｎ　　ファイバブラッググレーティング
　ＰＳ１～ＰＳｍ　　　　励起光源
　ＰＤＦ１～ＰＤＦｍ　　励起デリバリファイバ
　ＰＣ　　　　　　　　　励起コンバイナ
　ＡＦ　　　　　　　　　増幅用ファイバ
　ＦＢＧ－ＨＲ　　　　　高反射ファイバブラッググレーティング
　ＦＢＧ－ＬＲ　　　　　低反射ファイバブラッググレーティング FLS fiber laser system FLU1 to FLUn fiber laser unit LDF1 to LDFn laser delivery fiber OC power combiner ODF power delivery fiber OH power head FBG1 to FBGn fiber Bragg grating PS1 to PSm pump light source PDF1 to PDFm pump delivery fiber PC pump combiner AF fiber for amplification FBG-HR High Reflection Fiber Bragg Grating FBG-LR Low Reflection Fiber Bragg Grating

Claims (6)

  1. 　複数のファイバレーザユニットと、各ファイバレーザユニットにて生成されたレーザ光を合波する出力コンバイナと、を備え、上記出力コンバイナにて合波されたレーザ光を対象物に照射するファイバレーザシステムであって、
    　各ファイバレーザユニットにて生成されたレーザ光を導波するレーザデリバリファイバ、又は、上記出力コンバイナにて合波されたレーザ光を導波する出力デリバリファイバに、ストークス光を反射するファイバブラッググレーティングが含まれている、
    ことを特徴とするファイバレーザシステム。     A fiber laser system comprising: a plurality of fiber laser units, and an output combiner for multiplexing laser beams generated by the respective fiber laser units, and irradiating the target with the laser beams multiplexed by the output combiner. There,
    A laser delivery fiber for guiding laser light generated by each fiber laser unit or a fiber Bragg grating for reflecting Stokes light to an output delivery fiber for guiding laser light multiplexed by the output combiner include,
    A fiber laser system characterized by
  2. 　上記ファイバブラッググレーティングの位置は、該ファイバブラッググレーティングから上記出力デリバリファイバの出力端までの光路のラマンゲインの２倍が上記ファイバブラッググレーティングの反射減衰量と上記対象物の反射減衰量との和の大きさ以下となるように設定されている、
    ことを特徴とする請求項１に記載のファイバレーザシステム。     Regarding the position of the fiber Bragg grating, twice the Raman gain of the optical path from the fiber Bragg grating to the output end of the output delivery fiber is the sum of the return loss of the fiber Bragg grating and the return loss of the object. Is set to be less than
    A fiber laser system according to claim 1, characterized in that.
  3. 　上記ファイバブラッググレーティングのストークス光に対する反射率は、９９％以上である、
    ことを特徴とする請求項１又は２に記載のファイバレーザシステム。     The reflectance of the fiber Bragg grating to Stokes light is 99% or more.
    The fiber laser system according to claim 1 or 2, characterized in that:
  4. 　上記ファイバブラッググレーティングは、上記ファイバレーザユニットにおいてハーフミラーとして機能する低反射ファイバブラッググレーティングである、
    ことを特徴とする請求項１～３の何れか１項に記載のファイバレーザシステム。     The fiber Bragg grating is a low reflection fiber Bragg grating that functions as a half mirror in the fiber laser unit.
    The fiber laser system according to any one of claims 1 to 3, characterized in that:
  5. 　複数のファイバレーザユニットと、各ファイバレーザユニットにて生成されたレーザ光を合波する出力コンバイナと、を備え、上記出力コンバイナにて合波されたレーザ光を対象物に照射するファイバレーザシステムにおいて、ストークス発振を回避又は抑制する方法であって、
    　各ファイバレーザユニットにて生成されたレーザ光を導波するレーザデリバリファイバ、又は、上記出力コンバイナにて合波されたレーザ光を導波する出力デリバリファイバにおいて、上記ファイバレーザシステムに再入射したストークス光を反射する工程を含んでいる、
    ことを特徴とする方法。     A fiber laser system comprising: a plurality of fiber laser units and an output combiner for multiplexing laser beams generated by the respective fiber laser units, and irradiating the object with the laser beams multiplexed by the output combiner. , A method of avoiding or suppressing the Stokes oscillation,
    The Stokes re-incident on the fiber laser system in a laser delivery fiber that guides the laser light generated by each fiber laser unit or an output delivery fiber that guides the laser light combined in the output combiner Including the step of reflecting light,
    A method characterized by
  6. 　上記工程において上記ファイバレーザシステムに再入射したストークス光を反射する反射体の位置は、当該位置から上記出力デリバリファイバの出力端までの光路のラマンゲインの２倍が上記反射体の反射減衰量と上記対象物の反射減衰量との和の大きさを下回るように設定されている、
    ことを特徴とする請求項５に記載の方法。     The position of the reflector that reflects the Stokes light re-incident on the fiber laser system in the above process is twice the Raman gain of the optical path from the position to the output end of the output delivery fiber as the reflection attenuation amount of the reflector It is set to be less than the sum of the return loss of the object,
    A method according to claim 5, characterized in that.
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