WO2019073725A1 - Inkjet coating device - Google Patents
Inkjet coating device Download PDFInfo
- Publication number
- WO2019073725A1 WO2019073725A1 PCT/JP2018/033182 JP2018033182W WO2019073725A1 WO 2019073725 A1 WO2019073725 A1 WO 2019073725A1 JP 2018033182 W JP2018033182 W JP 2018033182W WO 2019073725 A1 WO2019073725 A1 WO 2019073725A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- coating
- gantry
- position pulse
- ink
- camera
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B12/00—Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area
- B05B12/08—Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area responsive to condition of liquid or other fluent material to be discharged, of ambient medium or of target ; responsive to condition of spray devices or of supply means, e.g. pipes, pumps or their drive means
- B05B12/12—Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area responsive to condition of liquid or other fluent material to be discharged, of ambient medium or of target ; responsive to condition of spray devices or of supply means, e.g. pipes, pumps or their drive means responsive to conditions of ambient medium or target, e.g. humidity, temperature position or movement of the target relative to the spray apparatus
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Spray Control Apparatus (AREA)
Abstract
The purpose of the present invention is to provide an inkjet coating device that can maintain coating position precision even if the environmental temperature does not satisfy prescribed temperature conditions. Specifically, provided is an inkjet coating device that coats a substrate with ink and is provided with a stage whereon a substrate is mounted and a coating unit having a plurality of heads having nozzles for coating the substrate on the stage with ink, wherein the inkjet coating device comprises a linear scale for a coating gantry and a control device for controlling positioning of the coating unit on the basis of a coating gantry position pulse sequence from the linear scale for the coating gantry and controlling the heads on the basis of ink coating position information, and is configured such that the heads are controlled by acquiring a position pulse correction table for those conditions and generating a corrected position pulse sequence on the basis of the coating gantry position pulse sequence and the position pulse correction table.
Description
本発明は複数のノズルからインクを着弾させて基板上にインクを塗布するインクジェット塗布装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to an inkjet coating apparatus that applies ink onto a substrate by causing ink to land from a plurality of nozzles.
従来、カラー液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイのカラーフィルタを製造するインクジェット塗布装置は、カラーフィルタ等の基板を載置するステージと、インクを塗布する複数ノズルを備える塗布ユニットとを有しており、この塗布ユニットから基板にインクを吐出させて、基板を塗布するように構成されている。塗布ユニットは、ノズルを有する複数のヘッドがヘッドケース部を介して塗布用ガントリに支持されている。インクジェット塗布装置は、塗布用ガントリおよびヘッドケース部が移動することでステージに対して任意の位置に移動可能に構成されている。インクジェット塗布装置は、予め取得したノズルの塗布位置情報に基づいて塗布ユニットを移動させ、基板に形成された画素内を通過するノズルのみからインクを吐出させることにより、所定の画素内にインクを精度よく塗布できるようになっている。
Conventionally, an ink jet coating apparatus for producing a color filter of a flat panel display such as a color liquid crystal display has a stage for mounting a substrate such as a color filter and a coating unit having a plurality of nozzles for coating ink. The application unit ejects the ink onto the substrate to apply the substrate. In the coating unit, a plurality of heads having nozzles are supported by a coating gantry via a head case. The ink jet coating apparatus is configured to be movable to an arbitrary position with respect to the stage by moving the coating gantry and the head case portion. The ink jet coating apparatus moves the coating unit based on previously obtained coating position information of the nozzles, and discharges the ink only from the nozzles passing through the pixels formed on the substrate, thereby precisioning the ink in the predetermined pixels It can be applied well.
ヘッドケース部に設けられているヘッドは、電磁アクチュエーター等に比べて発熱量の少ないピエゾ素子を駆動させてインクを塗布するように構成されている。しかし、ヘッドケース部には、多数のヘッドが取り付けられているため、ピエゾ素子の発熱によりヘッドケース部が熱膨張し、予め取得したノズルの塗布位置情報による塗布位置と、実際の塗布位置との間に熱膨張分の誤差が生じる。そこで、ヘッドケース部の現在位置を計測する位置計測部をインクジェット塗布装置の本体に設け、熱膨張後の塗布位置情報を得ることができるインクジェット塗布装置が知られている。例えば、特許文献１のごとくである。
The head provided in the head case portion is configured to drive the piezoelectric element with a smaller amount of heat generation than the electromagnetic actuator or the like to apply the ink. However, since a large number of heads are attached to the head case portion, the head case portion thermally expands due to heat generation of the piezoelectric element, and the application position based on the application position information of the nozzle acquired in advance and the actual application position In the meantime, an error of thermal expansion occurs. Therefore, there is known an inkjet coating apparatus that can provide a position measurement unit that measures the current position of the head case unit on the main body of the inkjet coating apparatus and obtain application position information after thermal expansion. For example, it is like patent document 1.
特許文献１に記載のインクジェット塗布装置は、位置計測部によって塗布直前のヘッドケース部の現在位置を取得する。さらに、インクジェット塗布装置は、予め取得した塗布位置情報とヘッドケース部の現在位置との差分を算出し、各ノズルの塗布位置情報に差分を加味することにより塗布位置を補正するように構成されている。したがって、インクジェット塗布装置は、ヘッドケースの熱膨張の状態に関わらず塗布直前の塗布位置を容易に補正できるため、ヘッドの熱の影響によるインクの塗布精度の低下を抑えることできる。
The inkjet coating device described in Patent Document 1 acquires the current position of the head case portion immediately before application by the position measurement unit. Furthermore, the ink jet coating apparatus is configured to calculate the difference between the application position information acquired in advance and the current position of the head case portion, and correct the application position by adding the difference to the application position information of each nozzle. There is. Therefore, the ink jet coating apparatus can easily correct the coating position immediately before coating regardless of the state of thermal expansion of the head case, so that it is possible to suppress the decrease in the coating accuracy of the ink due to the influence of the heat of the head.
しかし、特許文献１に記載のインクジェット塗布装置は、位置計測部を含めたインクジェット塗布装置全体が環境温度に応じて熱膨張する。つまり、稼働される環境温度が所定の温度条件でない場合、インクジェット塗布装置は、フレームや位置計測部自体が熱膨張するため、位置計測部によって計測したヘッドケース部の現在位置が熱膨張の影響をうける。このため、インクジェット塗布装置は、所定の温度条件と異なる環境温度で稼働されている場合、熱膨張による誤差が累積されて全ての可動範囲で要求される塗布位置精度を維持できない可能性があった。
However, in the inkjet coating device described in Patent Document 1, the entire inkjet coating device including the position measurement unit thermally expands in accordance with the environmental temperature. That is, when the environmental temperature to be operated is not a predetermined temperature condition, the frame and the position measurement unit itself thermally expand in the ink jet coating apparatus, so the current position of the head case measured by the position measurement unit is affected by the thermal expansion. box office. For this reason, when the ink jet coating apparatus is operated at an environmental temperature different from the predetermined temperature condition, errors due to thermal expansion may be accumulated and it may not be possible to maintain the required coating position accuracy in all movable ranges .
本発明の目的は、環境温度が所定の温度条件と異なっていても塗布位置精度を維持することができるインクジェット塗布装置の提供を目的とする。
An object of the present invention is to provide an inkjet coating apparatus capable of maintaining coating position accuracy even when the environmental temperature is different from a predetermined temperature condition.
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこれらの課題を解決するための手段を説明する。
The problems to be solved by the present invention are as described above, and next, means for solving these problems will be described.
即ち、基板を載置するステージと、前記ステージ上の基板に対してインクを塗布するノズルを有するヘッドを複数有する塗布ユニットを備え、塗布ユニットと基板とを相対的に移動させつつ前記ノズルから基板の所定位置にインクを着弾させることにより、基板上にインクを塗布するインクジェット塗布装置であって、前記塗布ユニットの位置を計測する位置計測装置と、前記位置計測装置からの位置パルス列に基づいて前記塗布ユニットの位置決め制御を行うととともにインクの塗布位置情報に基づいて前記ヘッドの制御を行う制御装置を備え、前記制御装置は、前記塗布ユニットの位置決め制御を行う際、その環境温度における位置パルス補正デーブルを取得し、前記位置計測装置からの位置パルス列と前記位置パルス補正テーブルとに基づいて補正位置パルス列を生成し、補正位置パルスと前記塗布位置情報とに基づいて前記ヘッドの制御を行うものである。
That is, a stage on which the substrate is placed, and a coating unit having a plurality of heads having nozzles for applying the ink to the substrate on the stage are provided, and the coating unit and the substrate are moved relative to each other An ink jet application apparatus for applying ink on a substrate by causing ink to land on a predetermined position of the position measurement apparatus for measuring the position of the application unit, and the position pulse train from the position measurement apparatus; The controller is provided with a control device for controlling the position of the application unit and controlling the head based on the application position information of the ink, and the control device performs position control of the application unit when performing position control of the application unit. Acquires a table, and generates a position pulse train from the position measuring device and the position pulse correction table; Based generate corrected position pulse train, and performs control of the head on the basis of said coating position information and the correction position pulse.
インクジェット塗布装置は、前記位置パルス補正デーブルが、前記塗布ユニットの実移動量と前記位置計測装置による計測値との差異に基づいて生成され、前記制御装置は、前記位置パルス補正デーブルに基づいた補正用パルスを前記位置計測装置からの位置パルス列に加算または減算して補正位置パルス列を生成するものである。
In the inkjet coating apparatus, the position pulse correction table is generated based on the difference between the actual movement amount of the coating unit and the measurement value by the position measuring device, and the control unit corrects the position pulse correction table based on the position pulse correction table. Pulse is added to or subtracted from the position pulse train from the position measuring device to generate a corrected position pulse train.
インクジェット塗布装置は、前記位置パルス補正デーブルが、前記塗布ユニットの位置決め制御を行う際の環境温度毎に予め生成され、前記制御装置は、前記塗布ユニットの位置決め制御を行う際の環境温度に対応する前記位置パルス補正デーブルを選択的に取得するものである。
In the inkjet coating apparatus, the position pulse correction table is generated in advance for each environmental temperature when performing positioning control of the coating unit, and the control device corresponds to the environmental temperature when performing positioning control of the coating unit. The position pulse correction table is selectively acquired.
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
The effects of the present invention are as follows.
本発明においては、環境温度に応じた位置パルス補正テーブルによって位置パルス列が補正されるので、熱膨張による累積誤差を考慮した位置でインクが塗布される。これにより、環境温度が所定の温度条件と異なっていても塗布位置精度を維持することができる。
In the present invention, since the position pulse train is corrected by the position pulse correction table according to the environmental temperature, the ink is applied at a position in consideration of the accumulated error due to the thermal expansion. Thereby, even if environmental temperature differs from predetermined temperature conditions, application position accuracy can be maintained.
本発明においては、位置パルス補正デーブルによって塗布ユニットの計測値と実移動量とのズレを考慮してインクが塗布される。これにより、環境温度が所定の温度条件と異なっていても塗布位置精度を維持することができる。
In the present invention, the ink is applied in consideration of the difference between the measurement value of the application unit and the actual movement amount by the position pulse correction table. Thereby, even if environmental temperature differs from predetermined temperature conditions, application position accuracy can be maintained.
本発明においては、環境温度に対応した位置パルス補正テーブルが選択されるので、環境温度が変動しても随時適した補正位置パルス列が生成される。これにより、環境温度が所定の温度条件と異なっていても塗布位置精度を維持することができる。
In the present invention, since the position pulse correction table corresponding to the environmental temperature is selected, a correction position pulse train suitable for any time is generated even if the environmental temperature fluctuates. Thereby, even if environmental temperature differs from predetermined temperature conditions, application position accuracy can be maintained.
図１から図３を用いて、本発明に係るインクジェット塗布装置における一実施形態であるインクジェット塗布装置１について説明する。
The inkjet coating apparatus 1 which is one Embodiment in the inkjet coating apparatus which concerns on this invention is demonstrated using FIGS. 1-3.
本実施形態において、インクが塗布されるカラーフィルタである基板Ｗには、微細なＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）の３色からなる画素が所定パターン（ＲＧＢパターン）で多数並べられることによって形成されているものとする。また、本実施形態における環境温度Ｔ１とは、インクジェット塗布装置１を作動させる際の周囲の温度であって、インクジェット塗布装置１の温度がその環境温度Ｔ１になっている状態における温度をいう。
In the present embodiment, on the substrate W, which is a color filter to which the ink is applied, a large number of pixels of three colors of fine R (red), G (green) and B (blue) in a predetermined pattern (RGB pattern) It shall be formed by being put in order. Further, the environmental temperature T1 in the present embodiment is the ambient temperature when the inkjet coating device 1 is operated, and means the temperature in the state where the temperature of the inkjet coating device 1 is the environmental temperature T1.
図１に示すように、インクジェット塗布装置１は、基板Ｗの画素にインクを塗布するものである。インクジェット塗布装置１は、基台２、ステージ３、塗布ユニット４、位置計測装置であるヘッド用リニアスケール１２および塗布ガントリ用リニアスケール１３、カメラユニット１４および制御装置２１を具備している。
As shown in FIG. 1, the inkjet coating device 1 applies ink to the pixels of the substrate W. The inkjet coating apparatus 1 includes a base 2, a stage 3, a coating unit 4, a linear scale 12 for a head which is a position measuring device, a linear scale 13 for a coating gantry, a camera unit 14 and a controller 21.
ステージ３は、基板Ｗを水平な状態で吸着保持するものである。ステージ３の基板載置面は、平坦に形成されており、その表面に吸引孔が複数形成されている。ステージ３には、真空ポンプ３ａ（図３参照）が接続されている。これにより、ステージ３は、基板Ｗを載置した状態で真空ポンプ３ａを作動させることにより、基板Ｗを水平な姿勢で吸着保持できるように構成されている。また、ステージ３には、図示しない基板位置決め装置が設けられている。ステージ３は、この基板位置決め装置により、搬入された基板Ｗを所定の位置に位置決め可能に構成されている。なお、本実施形態においてステージ３は、吸着により基板Ｗを保持しているがこれに限定されるものではない。
The stage 3 suctions and holds the substrate W in a horizontal state. The substrate mounting surface of the stage 3 is formed flat, and a plurality of suction holes are formed on the surface thereof. A vacuum pump 3a (see FIG. 3) is connected to the stage 3. Thus, the stage 3 is configured to be able to suction and hold the substrate W in a horizontal posture by operating the vacuum pump 3a in a state where the substrate W is mounted. Further, the stage 3 is provided with a substrate positioning device (not shown). The stage 3 is configured to be able to position the loaded substrate W at a predetermined position by this substrate positioning device. In the present embodiment, the stage 3 holds the substrate W by suction, but is not limited to this.
塗布ユニット４は、基板Ｗ上にインクを吐出させて塗布するものである。塗布ユニット４は、塗布ガントリ５、ヘッドケース部８およびヘッド用リニアスケール１２を具備している。本実施形態において、塗布ガントリ５が移動する方向をＸ軸方向とし、ヘッドケース部８が移動する方向をＹ軸方向と定める。
The coating unit 4 discharges and applies ink onto the substrate W. The coating unit 4 comprises a coating gantry 5, a head case 8 and a linear scale 12 for the head. In the present embodiment, the direction in which the coating gantry 5 moves is defined as the X-axis direction, and the direction in which the head case portion 8 moves is defined as the Y-axis direction.
塗布ガントリ５は、二つの脚部５ａとビーム部材５ｂとから構成されている。二つの脚部５ａは、ステージ３の両外側に配置されている。二つの脚部５ａは、ステージ３を跨ぐようにして石材製のビーム部材５ｂによって連結されて略門型形状に形成されている。つまり、二つの脚部５ａは、ステージ３の上方に配置されているビーム部材５ｂを支持している。両方の脚部５ａは、リニアガイド６を介して基台２に設けられている。リニアガイド６は、ステージ３に沿うようにしてビーム部材５ｂに対して垂直な方向に配置されている。つまり、塗布ガントリ５は、ビーム部材５ｂがステージ３の上方を一方向（Ｘ軸方向）に往復移動自在に構成されている。さらに、脚部５ａには、塗布用サーボモータ７が取り付けられている（図３参照）。塗布ガントリ５は、塗布用サーボモータ７によってＸ軸方向の任意の位置に移動可能に構成されている。
The coating gantry 5 is composed of two legs 5a and a beam member 5b. The two legs 5 a are disposed on both sides of the stage 3. The two leg portions 5a are connected by a stone beam member 5b so as to straddle the stage 3 and formed in a substantially gate-like shape. That is, the two legs 5 a support the beam member 5 b disposed above the stage 3. Both legs 5 a are provided on the base 2 via a linear guide 6. The linear guide 6 is disposed in a direction perpendicular to the beam member 5 b so as to be along the stage 3. That is, in the coating gantry 5, the beam member 5 b is configured to be reciprocally movable above the stage 3 in one direction (X-axis direction). Furthermore, a coating servomotor 7 is attached to the leg 5a (see FIG. 3). The coating gantry 5 is configured to be movable to any position in the X-axis direction by the coating servomotor 7.
ヘッドケース部８は、複数のヘッド体９を一体的に保持するものである。ヘッドケース部８は、ビーム部材５ｂに設けられている。ヘッドケース部８は、アルミニウム製のケース部材から構成されている。
The head case portion 8 integrally holds the plurality of head bodies 9. The head case 8 is provided on the beam member 5b. The head case 8 is formed of an aluminum case member.
図２に示すように、ヘッドケース部８は、複数のヘッド体９を整列させた状態で一体的に固定できるように形成されている。ヘッド体９は、インクを吐出する複数のノズルを有するヘッド１０が複数整列して一体的に構成されたものである。ヘッド体９は、ヘッド１０のノズルがステージ３の表面に向く姿勢で取付けられている。ヘッド１０は、ピエゾ素子１０ａ（図３参照）を駆動させてインクを吐出するように構成されている。
As shown in FIG. 2, the head case portion 8 is formed so as to be able to integrally fix the plurality of head bodies 9 in an aligned state. The head body 9 is integrally formed by aligning a plurality of heads 10 having a plurality of nozzles for ejecting ink. The head body 9 is attached such that the nozzles of the head 10 face the surface of the stage 3. The head 10 is configured to drive the piezo element 10a (see FIG. 3) to eject ink.
本実施形態では、５つのヘッド１０からヘッド体９が構成されている。ヘッドケース部８には、このヘッド体９が複数取付けられている（図２参照）。ヘッド体９は、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうち、いずれか一色のインクが塗布されるヘッド１０を複数し、ヘッド体９ごとにＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうち、一色のインクが塗布されるように構成されている。ヘッド体９は、ヘッドケース部８に所定パターンで配置されて固定されている。
In the present embodiment, the head body 9 is configured of five heads 10. A plurality of head bodies 9 are attached to the head case portion 8 (see FIG. 2). The head body 9 includes a plurality of heads 10 to which any one of R (red), G (green) and B (blue) is applied, and R (red) and G (green) for each head 9 And B (blue), one color ink is applied. The head body 9 is disposed and fixed to the head case portion 8 in a predetermined pattern.
また、ヘッドケース部８は、ヘッド用サーボモータ１１（図３参照）によりビーム部材５ｂに沿って移動できるように取付けられている。つまり、ヘッドケース部８は、ステージ３の上方を一方向（Ｙ軸方向）に往復移動自在に構成されている。これにより、ヘッドケース部８は、Ｙ軸方向の任意の位置にヘッド１０のノズルを移動させてインクを塗布可能に構成されている。また、ヘッドケース部８は、図示しない昇降機構により昇降自在に取付けられている。これにより、インクの塗布時には、基板Ｗとノズルとを適切な距離に調節して塗布動作が行われ、塗布を行わない待避状態等の場合には、ノズルの損傷を防止するため、ノズル位置を安全な高い位置に移動させることができる。
The head case 8 is mounted so as to be movable along the beam member 5b by a head servomotor 11 (see FIG. 3). That is, the head case portion 8 is configured to be reciprocally movable in one direction (Y-axis direction) above the stage 3. Thus, the head case portion 8 is configured to be able to apply the ink by moving the nozzles of the head 10 to any position in the Y-axis direction. In addition, the head case portion 8 is mounted so as to be able to move up and down by a lifting mechanism (not shown). Thus, at the time of application of ink, the application operation is performed by adjusting the substrate W and the nozzle to an appropriate distance, and in the case of a withdrawal state where application is not performed, the nozzle position is It can be moved to a safe high position.
位置計測装置であるヘッド用リニアスケール１２は、ヘッドケース部８の位置を計測するものである。ヘッド用リニアスケール１２のスケール１２ａは、ビーム部材５ｂの一方端部に設けられている。ヘッド用リニアスケール１２の読取ヘッド１２ｂは、スケール１２ａと対向するヘッドケース部８に設けられている。ヘッド用リニアスケール１２は、ヘッドケース部８ともに移動する読取ヘッド１２ｂのスケール１２ａに対する位置を検出するように構成されている。つまり、ヘッド用リニアスケール１２は、ビーム部材５ｂに対するヘッドケース部８のＹ軸方向の位置を検出するように構成されている。ヘッド用リニアスケール１２は、位置情報を位置パルス列であるヘッド位置パルス列Ｐｈとして出力する（図３参照）。
The head linear scale 12, which is a position measurement device, measures the position of the head case 8. The scale 12a of the head linear scale 12 is provided at one end of the beam member 5b. The read head 12 b of the linear scale 12 for the head is provided in the head case 8 facing the scale 12 a. The head linear scale 12 is configured to detect the position of the reading head 12 b which moves together with the head case 8 with respect to the scale 12 a. That is, the head linear scale 12 is configured to detect the position of the head case portion 8 in the Y-axis direction with respect to the beam member 5b. The head linear scale 12 outputs position information as a head position pulse train Ph which is a position pulse train (see FIG. 3).
位置計測装置である塗布ガントリ用リニアスケール１３は、塗布ガントリ５の位置を計測するものである。塗布ガントリ用リニアスケール１３のスケール１３ａは、基台２であって一方のリニアガイド６に沿うように設けられている。塗布ガントリ用リニアスケール１３の読取ヘッド１３ｂは、スケール１３ａと対向する一方の脚部５ａに設けられている。塗布ガントリ用リニアスケール１３は、脚部５ａともに移動する読取ヘッド１３ｂのスケール１３ａに対する位置を検出するように構成されている。つまり、塗布ガントリ用リニアスケール１３は、基台２のステージ３に対する塗布ガントリ５のＸ軸方向の位置を検出するように構成されている。塗布ガントリ用リニアスケール１３は、位置情報を位置パルス列である塗布ガントリ位置パルス列Ｐａとして出力する（図３参照）。
The coating gantry linear scale 13, which is a position measurement device, measures the position of the coating gantry 5. A scale 13 a of the coating gantry linear scale 13 is provided on the base 2 along one of the linear guides 6. The read head 13b of the coating gantry linear scale 13 is provided on one leg 5a facing the scale 13a. The coating gantry linear scale 13 is configured to detect the position of the reading head 13b that moves together with the leg 5a with respect to the scale 13a. That is, the coating gantry linear scale 13 is configured to detect the position of the coating gantry 5 with respect to the stage 3 of the base 2 in the X-axis direction. The application gantry linear scale 13 outputs position information as an application gantry position pulse train Pa, which is a position pulse train (see FIG. 3).
カメラユニット１４は、基板Ｗ上に塗布されたインクを撮像するものである。カメラユニット１４は、カメラガントリ１５およびカメラ１７を具備している。
The camera unit 14 picks up an image of the ink applied on the substrate W. The camera unit 14 comprises a camera gantry 15 and a camera 17.
カメラガントリ１５は、塗布ガントリ５と同様に、二つの脚部１５ａとビーム部材１５ｂとから構成されている。二つの脚部１５ａは、ステージ３の両外側に配置されている。二つの脚部１５ａは、ステージ３を跨ぐようにしてビーム部材１５ｂによって連結されて略門型形状に形成されている。つまり、二つの脚部１５ａは、ステージ３の上方に配置されているビーム部材１５ｂを支持している。両方の脚部１５ａは、リニアガイド６を介して基台２に設けられている。つまり、カメラガントリ１５は、ビーム部材１５ｂがステージ３の上方を一方向（Ｘ軸方向）に往復移動自在に構成されている。さらに、脚部１５ａには、カメラ用サーボモータ１６が取り付けられている（図３参照）。カメラガントリ１５は、カメラガントリ用サーボモータ１６によってＹ軸方向の任意の位置に移動可能に構成されている。
Like the coating gantry 5, the camera gantry 15 is composed of two legs 15a and a beam member 15b. The two legs 15 a are disposed on both sides of the stage 3. The two leg portions 15a are connected by the beam member 15b so as to straddle the stage 3 and are formed in a substantially portal shape. That is, the two legs 15 a support the beam member 15 b disposed above the stage 3. Both legs 15 a are provided on the base 2 via the linear guide 6. That is, in the camera gantry 15, the beam member 15 b is configured to be reciprocally movable in one direction (X-axis direction) above the stage 3. Furthermore, a camera servomotor 16 is attached to the leg 15a (see FIG. 3). The camera gantry 15 is configured to be movable to any position in the Y-axis direction by a camera gantry servomotor 16.
カメラ１７は、ＣＣＤカメラから構成されている。カメラ１７は、カメラガントリ１５のビーム部材１５ｂにステージ３を撮影可能な状態で取付けられている。カメラ１７は、カメラ用サーボモータ１８（図３参照）によりビーム部材１５ｂに沿って移動できるように取付けられている。これにより、カメラ１７は、ステージ３の任意の位置における画素の状態を撮影可能に構成されている。
The camera 17 is composed of a CCD camera. The camera 17 is attached to the beam member 15 b of the camera gantry 15 in a state capable of photographing the stage 3. The camera 17 is mounted so as to be movable along the beam member 15b by a camera servomotor 18 (see FIG. 3). Thus, the camera 17 is configured to be able to capture the state of pixels at an arbitrary position on the stage 3.
位置計測装置であるカメラガントリ用リニアスケール１９は、カメラガントリ１５の位置を計測するものである。カメラガントリ用リニアスケール１９のスケール１９ａは、一方のリニアガイド６に沿うように基台２に設けられている。カメラガントリ用リニアスケール１９の読取ヘッド１９ｂは、スケール１９ａと対向する一方の脚部１５ａに設けられている。カメラガントリ用リニアスケール１９は、脚部１５ａともに移動する読取ヘッド１９ｂのスケール１９ａに対する位置を検出するように構成されている。つまり、カメラガントリ用リニアスケール１９は、基台２のステージ３に対するカメラガントリ１５のＸ軸方向の位置を検出するように構成されている。カメラガントリ用リニアスケール１９は、位置情報を位置パルス列であるカメラガントリ位置パルス列Ｐｃとして出力する（図３参照）。
The linear scale 19 for camera gantry which is a position measurement device measures the position of the camera gantry 15. The scale 19 a of the linear scale 19 for the camera gantry is provided on the base 2 along the one linear guide 6. The read head 19b of the camera gantry linear scale 19 is provided on one leg 15a facing the scale 19a. The camera gantry linear scale 19 is configured to detect the position of the reading head 19b moving together with the leg 15a with respect to the scale 19a. That is, the camera gantry linear scale 19 is configured to detect the position of the camera gantry 15 with respect to the stage 3 of the base 2 in the X-axis direction. The camera gantry linear scale 19 outputs position information as a camera gantry position pulse train Pc, which is a position pulse train (see FIG. 3).
位置計測装置であるカメラ用リニアスケール２０は、カメラ１７の位置を計測するものである。カメラ用リニアスケール２０のスケール２０ａは、カメラガントリ１５のビーム部材１５ｂの一方端部（図２においてＹ軸方向一側）に設けられている。カメラ用リニアスケール２０の読取ヘッド２０ｂは、スケール２０ａと対向するカメラ１７に設けられている。カメラ用リニアスケール２０は、カメラ１７とともに移動する読取ヘッド２０ｂのスケール２０ａに対する位置を検出するように構成されている。つまり、カメラ用リニアスケール２０は、ビーム部材１５ｂに対するカメラ１７のＹ軸方向の位置を検出するように構成されている。カメラ用リニアスケール２０は、位置情報を位置パルス列であるカメラ位置パルス列Ｐｃａとして出力する（図３参照）。
The camera linear scale 20, which is a position measurement device, measures the position of the camera 17. The scale 20a of the camera linear scale 20 is provided at one end (one side in the Y-axis direction in FIG. 2) of the beam member 15b of the camera gantry 15. The read head 20b of the camera linear scale 20 is provided in the camera 17 facing the scale 20a. The camera linear scale 20 is configured to detect the position of the reading head 20 b moving with the camera 17 with respect to the scale 20 a. That is, the camera linear scale 20 is configured to detect the position of the camera 17 in the Y-axis direction with respect to the beam member 15 b. The camera linear scale 20 outputs position information as a camera position pulse train Pca, which is a position pulse train (see FIG. 3).
図３に示すように、制御装置２１は、ヘッド用リニアスケール１２、塗布ガントリ用リニアスケール１３、カメラガントリ用リニアスケール１９、カメラ用リニアスケール２０から位置情報を取得し、真空ポンプ３ａ、塗布用サーボモータ７、ヘッド１０、ヘッド用サーボモータ１１、カメラガントリ用サーボモータ１６、カメラ１７およびカメラ用サーボモータ１８を制御し、位置パルス補正デーブルＴｂ１・Ｔｂ２・Ｔｂ３・・に基づいて塗布タイミングを補正するものである。制御装置２１は、実体的には、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ等がバスで接続される構成であってもよく、あるいはワンチップのＬＳＩ等からなる構成であってもよい。制御装置２１は、真空ポンプ３ａ、塗布用サーボモータ７、ヘッド１０、ヘッド用サーボモータ１１、カメラガントリ用サーボモータ１６、カメラ１７およびカメラ用サーボモータ１８等を制御するために種々のプログラムやデータが格納されている。また、制御装置２１には、インクの塗布位置、インクの種類等から構成される塗布位置情報が記憶されている。
As shown in FIG. 3, the control device 21 acquires position information from the linear scale 12 for the head, the linear scale 13 for the coating gantry, the linear scale 19 for the camera gantry, and the linear scale 20 for the camera. Control the servomotor 7, head 10, head servomotor 11, camera gantry servomotor 16, camera 17 and camera servomotor 18 and correct the application timing based on position pulse correction tables Tb1, Tb2, Tb3, etc. It is The control device 21 may be substantially connected by a bus such as a CPU, a ROM, a RAM, an HDD or the like, or may be a one-chip LSI or the like. The control device 21 controls the vacuum pump 3a, the coating servomotor 7, the head 10, the head servomotor 11, the camera gantry servomotor 16, the camera 17, the camera servomotor 18 and the like, and various programs and data. Is stored. The control device 21 also stores application position information including the application position of the ink, the type of the ink, and the like.
制御装置２１は、真空ポンプ３ａに接続され、真空ポンプ３ａの入り切りを制御することができる。
The control device 21 is connected to the vacuum pump 3a, and can control turning on and off of the vacuum pump 3a.
制御装置２１は、塗布用サーボモータ７に接続され、塗布用サーボモータ７の作動、停止、回転速度、回転方向等を制御することができる。
The control device 21 is connected to the coating servomotor 7 and can control operation, stop, rotation speed, rotation direction and the like of the coating servomotor 7.
制御装置２１は、ヘッド１０に接続され、塗布ガントリ位置パルス列Ｐａまたは補正位置パルス列Ｐｒに基づいてヘッド１０のピエゾ素子１０ａの駆動を制御することができる。
The control device 21 is connected to the head 10, and can control the driving of the piezoelectric element 10a of the head 10 based on the coating gantry position pulse train Pa or the correction position pulse train Pr.
制御装置２１は、ヘッド用サーボモータ１１に接続され、ヘッド用サーボモータ１１の作動、停止、回転速度、回転方向等を制御することができる。
The control device 21 is connected to the head servomotor 11, and can control operation, stop, rotational speed, rotation direction, and the like of the head servomotor 11.
制御装置２１は、ヘッド用リニアスケール１２に接続され、ヘッド用リニアスケール１２からヘッドケース部８のＹ軸方向の位置情報であるヘッド位置パルス列Ｐｈを取得することができる。
The control device 21 is connected to the linear scale 12 for the head, and can acquire from the linear scale 12 for the head a head position pulse train Ph which is positional information of the head case 8 in the Y-axis direction.
制御装置２１は塗布ガントリ用リニアスケール１３に接続され、塗布ガントリ用リニアスケール１３から塗布ガントリ５のＸ軸方向の位置情報である塗布ガントリ位置パルス列Ｐａを取得することができる。
The control device 21 is connected to the coating gantry linear scale 13 and can obtain the coating gantry position pulse train Pa, which is position information of the coating gantry 5 in the X-axis direction, from the coating gantry linear scale 13.
制御装置２１は、カメラガントリ用サーボモータ１６に接続され、カメラガントリ用サーボモータ１６の作動、停止、回転速度、回転方向等を制御することができる。
The control device 21 is connected to the camera gantry servomotor 16, and can control the operation, stop, rotational speed, rotational direction, and the like of the camera gantry servomotor 16.
制御装置２１は、カメラ１７に接続され、カメラ１７の撮影動作を制御し、その撮影した画像を取得することができる。
The control device 21 is connected to the camera 17, can control the photographing operation of the camera 17, and can acquire the photographed image.
制御装置２１は、カメラ用サーボモータ１８に接続され、カメラ用サーボモータ１８の作動、停止、回転速度、回転方向等を制御することができる。
The control device 21 is connected to the camera servomotor 18 and can control operation, stop, rotational speed, rotation direction, etc. of the camera servomotor 18.
制御装置２１はカメラガントリ用リニアスケール１９に接続され、カメラガントリ用リニアスケール１９からカメラガントリ１５のＸ軸方向の位置情報であるカメラガントリ位置パルス列Ｐｃを取得することができる。
The control device 21 is connected to the linear scale 19 for the camera gantry, and can acquire the camera gantry position pulse train Pc, which is positional information of the camera gantry 15 in the X-axis direction, from the linear scale 19 for the camera gantry.
制御装置２１はカメラ用リニアスケール２０に接続され、カメラ用リニアスケール２０からカメラ１７のＹ軸方向の位置情報であるカメラ位置パルス列Ｐｃａを取得することができる。
The control device 21 is connected to the camera linear scale 20, and can acquire the camera position pulse train Pca, which is position information of the camera 17 in the Y-axis direction, from the camera linear scale 20.
制御装置２１は、ＰＣ等の外部機器２２に接続され、ＰＣ等の外部機器２２から位置パルス補正デーブルＴｂ１・Ｔｂ２・Ｔｂ３・・を取得し、位置パルス補正デーブルＴｂ１・Ｔｂ２・Ｔｂ３・・に基づいて補正用パルスＰｓを塗布ガントリ用リニアスケール１３からの塗布ガントリ位置パルス列Ｐａに追加（加算）または削除（減算）して補正位置パルス列Ｐｒを生成する。
The control device 21 is connected to an external device 22 such as a PC, acquires position pulse correction tables Tb1, Tb2, Tb3, ... from the external device 22 such as PC, and based on the position pulse correction tables Tb1, Tb2, Tb3. Then, the correction pulse Ps is added (added) or deleted (subtracted) from the coating gantry position pulse train Pa from the coating gantry linear scale 13 to generate a correction position pulse train Pr.
制御装置２１は温度センサ２３に接続され、温度センサ２３から環境温度を取得することができる。
The control device 21 is connected to the temperature sensor 23 and can acquire the environmental temperature from the temperature sensor 23.
これにより、インクジェット塗布装置１は、塗布用サーボモータ７によって塗布ガントリ５とともにヘッドケース部８をＸ方向に移動させ、ヘッド用サーボモータ１１によってヘッドケース部８をＹ方向に移動させることにより、ヘッド１０のノズル位置を任意の位置に移動可能に構成されている。したがって、インクジェット塗布装置１は、ステージ３に載置された基板Ｗ上の所定の画素にノズルを移動させ、塗布位置情報に基づいてインクを塗布させることにより、基板Ｗ上に任意のＲＧＢパターンでインクを塗布することができる。
Thus, the inkjet coater 1 moves the head case 8 together with the coating gantry 5 in the X direction by the servomotor 7 for coating, and moves the head case 8 in the Y direction by the servomotor 11 for head. The ten nozzle positions are configured to be movable to any position. Therefore, the inkjet coating apparatus 1 moves the nozzle to a predetermined pixel on the substrate W placed on the stage 3 and applies the ink based on the coating position information, whereby an arbitrary RGB pattern is formed on the substrate W. The ink can be applied.
以下に、図４を用いて、位置パルス補正テーブルの一つである位置パルス補正テーブルＴｂ１について説明する。本実施形態において、位置パルス補正テーブルＴｂ１は、制御装置２１に接続されているＰＣ等の外部機器２２から取得する構成であるが、制御装置２１に予め記憶されていてもよい。
The position pulse correction table Tb1, which is one of the position pulse correction tables, will be described below with reference to FIG. In the present embodiment, the position pulse correction table Tb1 is obtained from the external device 22 such as a PC connected to the control device 21. However, the position pulse correction table Tb1 may be stored in the control device 21 in advance.
図４に示すように、位置パルス補正テーブルＴｂ１は、環境温度Ｔ１によって位置計測装置である塗布ガントリ用リニアスケール１３およびカメラガントリ用リニアスケール１９に生じた誤差を補正するものである。位置パルス補正テーブルＴｂ１は、インクジェット塗布装置１の機体毎、かつ所定の環境温度Ｔ１毎に計測し、それぞれ設定されている。位置パルス補正テーブルＴｂ１は、機体温度が所定の環境温度Ｔ１になっているインクジェット塗布装置１において、カメラガントリ用リニアスケール１９の計測値に対する図示しないマスターガラスの計測値であるカメラガントリの実移動量との差異から算出される。
As shown in FIG. 4, the position pulse correction table Tb1 corrects an error generated in the coating gantry linear scale 13 and the camera gantry linear scale 19 as the position measurement device according to the environmental temperature T1. The position pulse correction table Tb1 is measured for each machine of the inkjet coating device 1 and for each predetermined environmental temperature T1, and is set. The position pulse correction table Tb1 is an actual moving amount of the camera gantry which is a measured value of a master glass (not shown) with respect to a measured value of the linear scale 19 for camera gantry in the inkjet coating apparatus 1 in which the machine temperature is a predetermined environmental temperature T1. Calculated from the difference between
インクジェット塗布装置１には、基準（Ｘ軸座標値、Ｙ軸座標値）となる寸法が刻まれているマスターガラスをステージ３に載置する。インクジェット塗布装置１は、カメラガントリ用リニアスケール１９の計測値に基づいて定ピッチ（例えば、１００ｍｍピッチ）でカメラガントリ１５を移動させる。合わせて、インクジェット塗布装置１は、カメラガントリ１５を定ピッチ移動させた際のマスターガラス上の寸法をカメラ１７によって計測する。
In the inkjet coating device 1, a master glass having dimensions inscribed as reference (X-axis coordinate values, Y-axis coordinate values) is placed on the stage 3. The inkjet coating apparatus 1 moves the camera gantry 15 at a constant pitch (for example, 100 mm pitch) based on the measurement value of the linear scale 19 for the camera gantry. At the same time, the inkjet coating apparatus 1 measures the dimensions on the master glass when moving the camera gantry 15 at a constant pitch with the camera 17.
位置パルス補正テーブルＴｂ１は、カメラガントリ用リニアスケール１９による定ピッチの移動量に対するマスターガラスの測定値のピッチ誤差を定ピッチの移動量毎（例えば、１００ｍｍ、２００ｍｍ、３００ｍｍ・・・）に記録したものから構成される。同様にして、機体温度が他の所定の環境温度Ｔ２・Ｔ３・・・になっているインクジェット塗布装置１において、定ピッチの移動量毎のピッチ誤差を計測し、その環境温度Ｔ２・Ｔ３・・・における位置パルス補正テーブルＴｂ２・Ｔｂ３・・を生成する。なお、カメラガントリ用リニアスケール１９の誤差と塗布ガントリ用リニアスケール１３の誤差とは、取付位置等から同一とする。つまり、カメラガントリ用リニアスケール１９の計測値に対するカメラガントリ１５の実移動量と塗布ガントリ用リニアスケール１３の計測値に対する塗布ガントリ５の実移動量は同一である。
The position pulse correction table Tb1 records the pitch error of the measured value of the master glass with respect to the movement amount of the fixed pitch by the linear scale 19 for the camera gantry for each movement amount of the fixed pitch (for example, 100 mm, 200 mm, 300 mm ...) Composed of Similarly, in the ink jet coating apparatus 1 in which the airframe temperature is at another predetermined environmental temperature T2, T3, ..., the pitch error for each movement amount of the constant pitch is measured, and the environmental temperature T2, T3, ... The position pulse correction table Tb2 · Tb3 ··· is generated. The error of the camera gantry linear scale 19 and the error of the coating gantry linear scale 13 are the same from the mounting position or the like. That is, the actual moving amount of the camera gantry 15 with respect to the measurement value of the linear scale 19 for the camera gantry and the actual moving amount of the coating gantry 5 with respect to the measurement value of the linear scale 13 for the coating gantry are the same.
以下に、補正位置パルス列Ｐｒについて説明する。本実施形態において、補正位置パルス列Ｐｒは、カメラガントリ用リニアスケール１９の計測値とマスターガラスの計測値である実移動量との差異から算出された位置パルス補正テーブルＴｂ１に基づいて塗布ガントリ位置パルス列Ｐａを補正した補正位置パルス列Ｐｒを生成している。また、ヘッド用リニアスケール１２による定ピッチの移動量に対するマスターガラスの測定値のピッチ誤差からヘッド位置パルス列Ｐｈについての位置パルス補正テーブルを生成し、ヘッド１０用の補正位置パルス列Ｐｒを生成してもよい。
The corrected position pulse train Pr will be described below. In the present embodiment, the correction position pulse train Pr is a coating gantry position pulse train based on the position pulse correction table Tb1 calculated from the difference between the measurement value of the camera gantry linear scale 19 and the actual movement amount which is the measurement value of the master glass. A correction position pulse train Pr in which Pa is corrected is generated. Also, even if the position pulse correction table for the head position pulse train Ph is generated from the pitch error of the measured value of the master glass with respect to the movement amount of the fixed pitch by the linear scale 12 for head, the correction position pulse train Pr for the head 10 is generated. Good.
図４に示すように、インクジェット塗布装置１は、環境温度Ｔ１の位置パルス補正テーブルＴｂ１において、塗布ガントリ５をマスターガラス基準でＸ軸座標値０ｍｍの位置から１００ｍｍの位置までの実移動量１００ｍｍに対して塗布ガントリ用リニアスケール１３の計測値が１００.００４ｍｍであり、＋４μｍの誤差が生じている。また、インクジェット塗布装置１は、塗布ガントリ５をマスターガラス基準でＸ軸座標値５００ｍｍの位置から６００ｍｍの位置までの実移動量１００ｍｍに対して塗布ガントリ用リニアスケール１３の計測値が９９．９９ｍｍであり、－１０μｍの誤差が生じている。つまり、インクジェット塗布装置１では、環境温度Ｔ１においてＸ軸座標値０ｍｍから１００ｍｍの１００ｍｍピッチ区間あたり塗布ガントリ用リニアスケール１３が４μｍ短くなっており、Ｘ軸座標値５００ｍｍから６００ｍｍの１００ｍｍピッチ区間あたり塗布ガントリ用リニアスケール１３が１０μｍ長くなっていることを示している。
As shown in FIG. 4, in the position pulse correction table Tb1 of the environmental temperature T1, the inkjet coating device 1 makes the coating gantry 5 an actual movement amount of 100 mm from the position of 0 mm of the X axis coordinate value to the position of 100 mm based on the master glass. On the other hand, the measurement value of the coating gantry linear scale 13 is 100.004 mm, and an error of +4 μm occurs. Further, the inkjet coating apparatus 1 measures 99.99 mm as the measurement value of the coating gantry linear scale 13 with respect to the actual moving distance 100 mm from the position of the X axis coordinate value of 500 mm to the position of 600 mm based on the master glass as the coating gantry 5. There is an error of -10 μm. That is, in the inkjet coating apparatus 1, the linear scale 13 for coating gantry is shortened by 4 μm per 100 mm pitch section of X axis coordinate value 0 mm to 100 mm at environmental temperature T1, and coating is performed per 100 mm pitch section from 500 mm to 600 mm X axis coordinate value. It shows that the linear scale 13 for gantry is 10 μm longer.
塗布ガントリ用リニアスケール１３が１μｍ（０．００１ｍｍ）につき１パルス出力する場合、インクジェット塗布装置１は、Ｘ軸座標値０ｍｍの位置から１００ｍｍの位置までの実移動量１００ｍｍに対して塗布ガントリ用リニアスケール１３から１００００４パルス出力され、Ｘ軸座標値５００ｍｍの位置から６００ｍｍの位置までの実移動量１００ｍｍに対して塗布ガントリ用リニアスケール１３から９９９９０パルス出力されている。例えば、インクジェット塗布装置１は、移動量１００ｍｍピッチでインクを塗布する場合、塗布ガントリ用リニアスケール１３から１０００００パルス取得する度にインクを塗布するように設定されている。従って、インクジェット塗布装置１は、環境温度Ｔ１においてＸ軸座標値０ｍｍの位置から実移動量１００ｍｍ（１００００４パルス）の位置よりも４パルス分少ない実移動量９９．９９６ｍｍだけ移動した位置にインクを塗布する。また、インクジェット塗布装置１は、Ｘ軸座標値５００ｍｍの位置から実移動量１００ｍｍ（９９９９０パルス）の位置よりも１０パルス分多い実移動量１００．０１ｍｍだけ移動した位置にインクを塗布する。
When the linear scale 13 for coating gantry outputs one pulse per 1 μm (0.001 mm), the inkjet coating apparatus 1 applies linear for the coating gantry with respect to the actual moving distance 100 mm from the position of 0 mm of the X axis coordinate value to the position of 100 mm. The scale 13 outputs 100004 pulses, and the coating gantry linear scale 13 outputs 99990 pulses for an actual movement amount of 100 mm from the position of the X axis coordinate value of 500 mm to the position of 600 mm. For example, in the case of applying the ink with a movement amount of 100 mm pitch, the inkjet coating apparatus 1 is set to apply the ink every time 100000 pulses are obtained from the coating gantry linear scale 13. Therefore, the ink jet coating apparatus 1 applies the ink at a position moved by an actual movement amount of 99.996 mm, which is four pulses less than the position of the actual movement amount of 100 mm (100004 pulses) from the position of X axis coordinate value 0 mm at environmental temperature T1. Do. In addition, the ink jet coating apparatus 1 applies the ink to a position moved from the position of the X axis coordinate value of 500 mm by an actual movement amount of 100.01 mm, which is 10 pulses more than the position of the actual movement amount of 100 mm (99990 pulses).
インクジェット塗布装置１の制御装置２１は、環境温度Ｔ１に応じた位置パルス補正テーブルＴｂ１をＰＣ等の外部機器２２から取得する。制御装置２１は、取得した位置パルス補正テーブルＴｂ１に基づいて、塗布ガントリ位置パルス列Ｐａを基準として補正用パルスＰｓを追加または削除（除算）した補正位置パルス列Ｐｒを生成する。本実施形態において、制御装置２１は、Ｘ軸座標値０ｍｍの位置から１００ｍｍの位置までの１００ｍｍピッチ区間の塗布ガントリ位置パルス列Ｐａを基準として、補正用パルスＰｓを４パルス削除（減算）した補正位置パルス列Ｐｒを生成する。同様に、制御装置２１は、Ｘ軸座標値５００ｍｍの位置から６００ｍｍの位置までの１００ｍｍピッチ区間の塗布ガントリ位置パルス列Ｐａを基準として、補正用パルスＰｓとして１０パルス追加（加算）した補正位置パルス列Ｐｒを生成する。これにより、インクジェット塗布装置１は、環境温度Ｔ１によって膨張または収縮した塗布ガントリ用リニアスケール１３からの塗布ガントリ位置パルス列Ｐａを実移動量に一致するように補正する。
The control device 21 of the inkjet coating device 1 acquires a position pulse correction table Tb1 corresponding to the environmental temperature T1 from the external device 22 such as a PC. The control device 21 generates a correction position pulse train Pr in which the correction pulse Ps is added or deleted (division) with reference to the coating gantry position pulse train Pa based on the acquired position pulse correction table Tb1. In the present embodiment, the control device 21 is a correction position in which four pulses for correction pulse Ps are deleted (subtracted) based on the coating gantry position pulse train Pa of a 100 mm pitch section from the position of X axis coordinate value 0 mm to the position 100 mm. A pulse train Pr is generated. Similarly, the control device 21 adds (adds) 10 pulses as the correction pulse Ps on the basis of the coating gantry position pulse train Pa of a 100 mm pitch section from the position of the X axis coordinate value 500 mm to the position 600 mm. Generate As a result, the ink jet coating apparatus 1 corrects the coating gantry position pulse train Pa from the coating gantry linear scale 13 expanded or contracted due to the environmental temperature T1 to match the actual movement amount.
制御装置２１は、上述のようにして環境温度Ｔ１に応じた位置パルス補正テーブルＴｂ１に基づいて補正位置パルス列Ｐｒを生成する。さらに、制御装置２１は、生成した補正位置パルス列Ｐｒに基づいて所定のタイミングでインクを塗布するようにピエゾ素子１０ａを制御してノズルを開閉する。これにより、インクジェット塗布装置１は、環境温度Ｔ１に応じてインクの吐出位置毎にインクを吐出するパルス列のタイミング（パルス数）を設定する必要がない。つまり、インクジェット塗布装置１は、環境温度Ｔ１毎にマスターガラスを用いた計測を行うだけで位置パルス補正テーブルＴｂ１を生成することができる。
The control device 21 generates the correction position pulse train Pr based on the position pulse correction table Tb1 corresponding to the environmental temperature T1 as described above. Further, the control device 21 controls the piezo element 10a to open and close the nozzle so as to apply the ink at a predetermined timing based on the generated correction position pulse train Pr. As a result, the inkjet coating apparatus 1 does not have to set the timing (number of pulses) of the pulse train for ejecting the ink for each ejection position of the ink according to the environmental temperature T1. That is, the inkjet coating apparatus 1 can generate the position pulse correction table Tb1 only by performing measurement using the master glass for each environmental temperature T1.
このように構成することで、インクジェット塗布装置１は、環境温度Ｔ１・Ｔ２・Ｔ３・・毎の位置パルス補正テーブルＴｂ１・Ｔｂ２・Ｔｂ３・・によって塗布ガントリ位置パルス列Ｐａが補正されるので、塗布ガントリ用リニアスケール１３の熱膨張、熱収縮による塗布ユニット４の計測位置と実移動量とのズレの累積誤差を考慮した位置でインクが基板Ｗに塗布される。これにより、環境温度が所定の温度条件と異なっていても塗布位置精度を維持することができる。
By configuring in this way, the inkjet coating apparatus 1 corrects the coating gantry position pulse train Pa using the position pulse correction table Tb1, Tb2, Tb3, ... at each environmental temperature T1, T2, T3, ... The ink is applied to the substrate W at a position taking into consideration the accumulated error of the displacement between the measurement position of the application unit 4 and the actual movement amount due to the thermal expansion and thermal contraction of the linear scale 13. Thereby, even if environmental temperature differs from predetermined temperature conditions, application position accuracy can be maintained.
なお、インクジェット塗布装置１は、温度センサ２３（図３参照）等の環境温度取得手段を更に備え、取得した環境温度に応じた位置パルス補正テーブルＴｂ１を選択的に取得する構成でもよい。インクジェット塗布装置１は、制御装置２１によってＰＣ等の外部機器２２または制御装置２１内に予め記憶されている環境温度Ｔ１・Ｔ２・Ｔ３・・毎の位置パルス補正テーブルＴｂ１・Ｔｂ２・Ｔｂ３・・の中からその環境温度に最も近い条件の位置パルス補正テーブルを取得する。制御装置２１は、取得した位置パルス補正テーブルに基づいて補正位置パルス列Ｐｒを生成する。このように構成することで、インクジェット塗布装置１は、環境温度に近い温度に応じた位置パルス補正テーブルを選択するので、環境温度が変動しても随時適した補正位置パルス列Ｐｒが生成される。これにより、環境温度が所定の温度条件と異なっていても塗布位置精度を維持することができる。
The inkjet coating apparatus 1 may further include environmental temperature acquisition means such as the temperature sensor 23 (see FIG. 3), and may selectively acquire the position pulse correction table Tb1 according to the acquired environmental temperature. The inkjet coating apparatus 1 is provided with an ambient temperature T1, T2, T3... Every position pulse correction table Tb1, Tb2, Tb3... Stored in advance in the external device 22 such as a PC or the control device 21 by the controller 21. The position pulse correction table of the condition closest to the environmental temperature is acquired from the inside. The controller 21 generates a correction position pulse train Pr based on the acquired position pulse correction table. With this configuration, the inkjet coating apparatus 1 selects the position pulse correction table according to the temperature close to the environmental temperature, so that the correction position pulse train Pr suitable for any time is generated even if the environmental temperature fluctuates. Thereby, even if environmental temperature differs from predetermined temperature conditions, application position accuracy can be maintained.
また、インクジェット塗布装置１は、予め記憶されている環境温度Ｔ１・Ｔ２・Ｔ３・・毎の位置パルス補正テーブルＴｂ１・Ｔｂ２・Ｔｂ３・・から、位置パルス補正テーブルが生成されていない環境温度における位置パルス補正テーブルを推定してもよい。例えば、Ｘ軸座標０ｍｍの位置から１００ｍｍの位置まで移動させる命令に対して、環境温度Ｔ１が２０度における位置パルス補正テーブルＴｂ１において実移動量が４μｍ多く、環境温度Ｔ２が２４度において実移動量が８μｍ多い場合、制御装置２１は、環境温度が２２度において比例計算等により実移動量が６μｍ多いと推定して位置パルス補正テーブルを生成してもよい。
In addition, the inkjet coating apparatus 1 determines the position at the environmental temperature at which the position pulse correction table is not generated from the position pulse correction table Tb1, Tb2, Tb3, ... for each of the environmental temperatures T1, T2, T3 ... stored in advance. The pulse correction table may be estimated. For example, in response to a command to move from a position of 0 mm on the X axis coordinate to a position of 100 mm, the actual movement amount is 4 μm more in the position pulse correction table Tb1 at an environment temperature T1 of 20 degrees, and the movement amount at an environment temperature T2 of 24 degrees Is 8 .mu.m, the control device 21 may generate the position pulse correction table by estimating that the actual movement amount is 6 .mu.m more by proportional calculation or the like when the environmental temperature is 22 degrees.
また、本実施形態において、インクジェット塗布装置１は、ステージ３に対して塗布ユニット４が移動する構成であるがこれに限定するものではなく、塗布ユニット４に対してステージ３が移動する構成でもよい。この場合、インクジェット塗布装置１には、ステージ３の位置計測装置としてステージ用リニアスケールが設けられ、ステージ位置パルス列が位置パルス補正テーブルによって補正される。
Further, in the present embodiment, the inkjet coating apparatus 1 is configured to move the coating unit 4 with respect to the stage 3, but the configuration is not limited to this. The stage 3 may be configured to move with respect to the coating unit 4 . In this case, the inkjet coating apparatus 1 is provided with a stage linear scale as a position measurement apparatus of the stage 3, and the stage position pulse train is corrected by the position pulse correction table.
上述の実施形態は、代表的な形態を示したに過ぎず、一実施形態の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。さらに種々なる形態で実施し得ることは勿論のことであり、本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲に記載の均等の意味、および範囲内のすべての変更を含む。
The above-mentioned embodiment showed only a typical form, and can be variously deformed and carried out in the range which does not deviate from the main point of one embodiment. It is needless to say that the present invention can be carried out in various forms, and the scope of the present invention is shown by the description of the claims, and the equivalent meaning described in the claims, and all the scope within the scope. Including changes.
１ インクジェット塗布装置
３ ステージ
４ 塗布ユニット
１０ ヘッド
１３ 塗布ガントリ用リニアスケール
２１ 制御装置
Ｗ 基板
Ｔｂ 位置パルス補正テーブル
Ｐａ 塗布ガントリ位置パルス列Reference Signs List 1 inkjet coating apparatus 3 stage 4 coating unit 10 head 13 linear scale for coating gantry 21 controller W substrate Tb position pulse correction table Pa coating gantry position pulse train
３ ステージ
４ 塗布ユニット
１０ ヘッド
１３ 塗布ガントリ用リニアスケール
２１ 制御装置
Ｗ 基板
Ｔｂ 位置パルス補正テーブル
Ｐａ 塗布ガントリ位置パルス列
Claims (3)
- 基板を載置するステージと、前記ステージ上の基板に対してインクを塗布するノズルを有するヘッドを複数有する塗布ユニットを備え、塗布ユニットと基板とを相対的に移動させつつ前記ノズルから基板の所定位置にインクを着弾させることにより、基板上にインクを塗布するインクジェット塗布装置であって、
前記塗布ユニットの位置を計測する位置計測装置と、
前記位置計測装置からの位置パルス列に基づいて前記塗布ユニットの位置決め制御を行うととともにインクの塗布位置情報に基づいて前記ヘッドの制御を行う制御装置を備え、
前記制御装置は、前記塗布ユニットの位置決め制御を行う際、その環境温度における位置パルス補正デーブルを取得し、
前記位置計測装置からの位置パルス列と前記位置パルス補正テーブルとに基づいて補正位置パルス列を生成し、補正位置パルスと前記塗布位置情報とに基づいて前記ヘッドの制御を行うインクジェット塗布装置。 A stage for mounting a substrate, and a coating unit having a plurality of heads having a nozzle for applying ink to the substrate on the stage are provided, and the coating unit and the substrate are relatively moved while the substrate is moved from the nozzle An ink jet coating apparatus that applies ink on a substrate by landing the ink at a position,
A position measurement device that measures the position of the application unit;
A control device is provided that performs positioning control of the application unit based on a position pulse train from the position measurement device and performs control of the head based on application position information of ink.
The control device acquires a position pulse correction table at the environmental temperature when performing positioning control of the coating unit,
An inkjet coating device that generates a correction position pulse train based on the position pulse train from the position measurement device and the position pulse correction table, and controls the head based on the correction position pulse and the application position information. - 前記位置パルス補正デーブルが、前記塗布ユニットの実移動量と前記位置計測装置による計測値との差異に基づいて生成され、
前記制御装置は、前記位置パルス補正デーブルに基づいた補正用パルスを前記位置計測装置からの位置パルス列に加算または減算して補正位置パルス列を生成する請求項１に記載のインクジェット塗布装置。 The position pulse correction table is generated based on a difference between an actual movement amount of the coating unit and a measurement value by the position measurement device.
The inkjet coating device according to claim 1, wherein the control device adds or subtracts a correction pulse based on the position pulse correction table to or from the position pulse train from the position measurement device to generate a correction position pulse train. - 前記位置パルス補正デーブルが、前記塗布ユニットの位置決め制御を行う際の環境温度毎に予め生成され、
前記制御装置は、前記塗布ユニットの位置決め制御を行う際の環境温度に対応する前記位置パルス補正デーブルを選択的に取得する請求項１または請求項２に記載のインクジェット塗布装置。 The position pulse correction table is generated in advance for each environmental temperature when performing positioning control of the coating unit,
The inkjet coating device according to claim 1 or 2, wherein the control device selectively acquires the position pulse correction table corresponding to an environmental temperature when performing positioning control of the coating unit.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017-199813 | 2017-10-13 | ||
| JP2017199813A JP2019072661A (en) | 2017-10-13 | 2017-10-13 | Inkjet coating device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO2019073725A1 true WO2019073725A1 (en) | 2019-04-18 |
Family
ID=66100517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2018/033182 WO2019073725A1 (en) | 2017-10-13 | 2018-09-07 | Inkjet coating device |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2019072661A (en) |
| TW (1) | TW201923387A (en) |
| WO (1) | WO2019073725A1 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023134070A (en) * | 2022-03-14 | 2023-09-27 | 東レエンジニアリング株式会社 | Substrate processing device and scale correction method |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000251665A (en) * | 1998-02-13 | 2000-09-14 | Canon Inc | Forming method of film, manufacture of electron emission element using the same, and manufacture of image forming device using the film |
| JP2004114395A (en) * | 2002-09-25 | 2004-04-15 | Konica Minolta Holdings Inc | Image formation apparatus |
| JP2006281594A (en) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Toshiba Corp | Liquid jetting device, and liquid jetting method |
| JP2008044211A (en) * | 2006-08-14 | 2008-02-28 | Fuji Xerox Co Ltd | Image forming device |
| JP2008272973A (en) * | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Fuji Xerox Co Ltd | Liquid droplet jet device and image forming apparatus having the same |
| JP2011224521A (en) * | 2010-04-23 | 2011-11-10 | Seiko Epson Corp | Droplet discharge apparatus |
| JP2012158140A (en) * | 2011-02-02 | 2012-08-23 | Seiko Epson Corp | Liquid ejecting apparatus and method for manufacturing the same |
| JP2018147292A (en) * | 2017-03-07 | 2018-09-20 | 東京エレクトロン株式会社 | Work processing apparatus, work processing method, program, and computer storage medium |
-
2017
- 2017-10-13 JP JP2017199813A patent/JP2019072661A/en active Pending
-
2018
- 2018-09-07 WO PCT/JP2018/033182 patent/WO2019073725A1/en active Application Filing
- 2018-10-03 TW TW107134910A patent/TW201923387A/en unknown
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000251665A (en) * | 1998-02-13 | 2000-09-14 | Canon Inc | Forming method of film, manufacture of electron emission element using the same, and manufacture of image forming device using the film |
| JP2004114395A (en) * | 2002-09-25 | 2004-04-15 | Konica Minolta Holdings Inc | Image formation apparatus |
| JP2006281594A (en) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Toshiba Corp | Liquid jetting device, and liquid jetting method |
| JP2008044211A (en) * | 2006-08-14 | 2008-02-28 | Fuji Xerox Co Ltd | Image forming device |
| JP2008272973A (en) * | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Fuji Xerox Co Ltd | Liquid droplet jet device and image forming apparatus having the same |
| JP2011224521A (en) * | 2010-04-23 | 2011-11-10 | Seiko Epson Corp | Droplet discharge apparatus |
| JP2012158140A (en) * | 2011-02-02 | 2012-08-23 | Seiko Epson Corp | Liquid ejecting apparatus and method for manufacturing the same |
| JP2018147292A (en) * | 2017-03-07 | 2018-09-20 | 東京エレクトロン株式会社 | Work processing apparatus, work processing method, program, and computer storage medium |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2019072661A (en) | 2019-05-16 |
| TW201923387A (en) | 2019-06-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6876470B2 (en) | Work processing equipment, work processing methods, programs and computer storage media | |
| JP2024045259A (en) | Transport route correlation technology and related systems, methods, and devices | |
| TW202339977A (en) | Inkjet printer | |
| JP6805028B2 (en) | Droplet ejection device, droplet ejection method, program and computer storage medium | |
| TWI797090B (en) | Working device and working method | |
| JP6078298B2 (en) | Work device having position correction function and work method | |
| JP2018143976A (en) | Droplet discharge device, droplet discharge method, program, and computer storage medium | |
| JP5586299B2 (en) | Inkjet coating device | |
| US8348368B2 (en) | Method for arraying head assemblies of inkjet printer and apparatus for performing the same | |
| WO2019073725A1 (en) | Inkjet coating device | |
| JP5293410B2 (en) | Assembly method of line head unit | |
| JP5445462B2 (en) | Line head unit and drawing apparatus | |
| JP5495528B2 (en) | Inkjet recording apparatus and inkjet recording method | |
| US11633961B2 (en) | Printing methods and systems | |
| CN116552143B (en) | Cross gantry type printing adjusting device and detection adjusting method thereof | |
| JP4999749B2 (en) | Discharge characteristic measuring method, discharge characteristic measuring apparatus, and image forming apparatus provided with discharge characteristic measuring apparatus | |
| JP2011020073A (en) | Paste application device | |
| JP2010188539A (en) | Screen printing machine | |
| JP2022064544A (en) | Discharge device, movement locus correction method of discharge device, and movement locus correction program of discharge device | |
| JP2010066213A (en) | Positioning apparatus and method | |
| JP2013158745A (en) | Droplet ejection apparatus and droplet ejection method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 18865971 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
| NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
| 122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 18865971 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |