WO2019025151A1 - Method for producing a device for determining a density of a medium - Google Patents

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WO2019025151A1
WO2019025151A1 PCT/EP2018/068879 EP2018068879W WO2019025151A1 WO 2019025151 A1 WO2019025151 A1 WO 2019025151A1 EP 2018068879 W EP2018068879 W EP 2018068879W WO 2019025151 A1 WO2019025151 A1 WO 2019025151A1
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WO
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housing
quartz
frequency
density
quartz oscillator
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Application number
PCT/EP2018/068879
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Inventor
Patrick REITH
Fabio SCHRANER
Ragnar VON MÖLLENDORFF
Original Assignee
Truedyne Sensors AG
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N9/00Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity
    • G01N9/002Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity using variation of the resonant frequency of an element vibrating in contact with the material submitted to analysis
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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    • G01N9/002Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity using variation of the resonant frequency of an element vibrating in contact with the material submitted to analysis
    • G01N2009/006Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity using variation of the resonant frequency of an element vibrating in contact with the material submitted to analysis vibrating tube, tuning fork

Definitions

  • the present invention relates to a method for producing a device for determining a density of a medium, a device for determining a density of a medium, and the use of a quartz oscillator for determining a density of a medium.
  • tuning fork quartz crystals are commonly used as a sensor element without a package, i. the tuning fork quartz crystal is open to the medium and exposed to the medium.
  • tuning fork quartz crystals are exposed to environmental influences during assembly, which can lead to the deposition and / or change the vibration behavior. Furthermore, it is also disadvantageous that due to the open use of the tuning fork quartz crystals this against
  • the object is achieved by a method for producing a device for determining a density of a medium, a device for determining a density of a medium, and the use of a quartz oscillator for determining a density of a medium.
  • the object is achieved by methods for producing a device for determining a density of a medium, in particular a gas, the method having at least the following steps:
  • a quartz oscillator preferably in the form of a quartz watch, comprising a quartz oscillator, for generating an electrical oscillation with a certain frequency, preferably with a frequency of about 32.768 kHz, a housing in which the quartz crystal, preferably hermetically introduced in vacuum, and a quartz crystal electronics, which is adapted to the quartz crystal to generate the electrical oscillation to drive accordingly and to provide a frequency dependent output signal;
  • the quartz oscillator on a printed circuit board, which has at least one evaluation unit, and is formed such that the quartz oscillator after applying electrically with the
  • Evaluation unit is connected, so that the evaluation unit is supplied with the output signal
  • a quartz oscillator is to be understood as a component to be used as a frequency standard in various electrical or electronic circuits.
  • Such a quartz oscillator comprises an electronic circuit incorporated in a housing for generating vibrations, which are known as
  • the frequency-determining component includes a in a protective environment, in particular a vacuum having protective environment, located quartz crystal.
  • the quartz oscillator is a completely constructed oscillator circuit, which is available together with the frequency-determining oscillating quartz as a standard component.
  • the term quartz oscillator is also intended to include so-called clock crystals, which produce a quartz frequency of 32.768 kHz or an integer multiple or an integral fraction of this frequency.
  • the sine waves generated by the quartz crystal of the quartz crystal are converted by an oscillator circuit into square waves of the same frequency.
  • such a standard component is used to determine the density of the medium and that the standard component is punctured after assembly or after application to the printed circuit board, so that the medium to be measured comes into contact or interact with the quartz crystal can.
  • the solution according to the invention has the advantage that by simple modification of a standard component, which due to the high Quantities in which it is manufactured can be obtained inexpensively, the density of the medium can be determined.
  • An advantageous embodiment of the method provides that the housing is punctured in such a way that further openings are introduced into the housing.
  • the embodiment can provide that the housing is punctured such that at least the other openings are formed so that particles with a geometric equivalent diameter smaller than 35 ⁇ , preferably less than 30 ⁇ , more preferably less than 25 ⁇ not in the housing through the other openings can penetrate, so that at least the other openings serve as a particulate filter.
  • a filter is formed, which protects the underlying quartz crystal against mechanical effects, such as. Particles.
  • the equivalent diameter is meant a measure of the size of an irregularly shaped particle such as a grain of sand. It is calculated by comparing a property of the irregular particle with a
  • Equivalent diameter is obtained by determining the diameter of a sphere or circle with the same geometric property (surface area, volume or projection area) as the irregularly shaped particle.
  • a further advantageous embodiment of the method provides that the housing is punctured such that at least one opening by means of a mechanical tool, in particular a punching iron, is introduced into the housing.
  • the embodiment can provide that the housing is punctured such that the further openings, preferably by means of a laser, are introduced into the housing after the at least one opening has been introduced by means of the mechanical tool and / or that by means of the mechanical
  • Tool introduced at least one opening after the introduction of the other openings by means of the laser is closed again.
  • a further advantageous embodiment of the method provides that the housing is punctured in such a way that the at least one opening and / or the further openings are introduced into the housing by means of a pulsed laser, in particular a picosecond or higher pulsed laser.
  • a device for determining a density of a medium, in particular of a gas which has at least the following: a quartz oscillator, comprising a quartz crystal, preferably in the form of a quartz watch, for generating an electrical oscillation with a certain frequency, preferably with a frequency of about 32.768 kHz, a housing in which the quartz crystal is introduced and a
  • a printed circuit board comprising at least one evaluation unit, wherein the quartz oscillator is mounted on the circuit board and electrically connected to the
  • Evaluation unit is connected, so that the evaluation unit is supplied with the output signal of the quartz crystal electronics
  • Occur quartz crystal and can change the frequency of the quartz crystal as a function of density, and the evaluation unit is adapted to use the
  • An advantageous embodiment of the device provides that in the housing further openings are introduced.
  • the embodiment can provide that at least the further openings are formed so that no particles with a geometric equivalent diameter smaller than 35 ⁇ , preferably less than 30 ⁇ , more preferably less than 25 ⁇ can penetrate into the housing through the other openings, so that at least the serve further openings as a particle filter.
  • a further advantageous embodiment of the device provides that the at least one opening and / or the further openings is or are designed essentially as circular openings.
  • circuit board has a first region and a second region, wherein the
  • Quartz oscillator in the first region and the evaluation unit are arranged in the second region, wherein the device further comprises a glass feedthrough, which is provided between the first and second region and the quartz oscillator is electrically connected via the glass feedthrough to the evaluation unit.
  • a last advantageous embodiment of the device provides that the quartz oscillator as intended serves as a frequency normal and by the at least one opening in the housing for measuring the density of the medium, which can penetrate through the at least one opening, is misused.
  • the task is accomplished through the use of a
  • Quartz oscillator for determining a density of a medium, wherein the quartz oscillator comprising a quartz crystal, preferably in the form of a quartz watch, for generating an electrical oscillation with a specific frequency, preferably at a frequency of about 32.768 kHz, a housing in which the quartz crystal is introduced and a quartz crystal electronics adapted to
  • the housing is punctured such that at least one opening is introduced into the housing and the quartz oscillator is exposed to the medium so that the density changes the frequency and accordingly the output signal.
  • FIG. 2 shows a plan view of a quartz oscillator whose housing is punctured in such a way that the openings form a particle filter
  • FIG 3 shows a device according to the invention for determining a density of a medium.
  • FIG. 1 shows a schematic sequence of the production method according to the invention, which consists essentially of three method steps.
  • the quartz oscillator 3 in this case comprises a quartz oscillator 4, a quartz crystal electronics 6 and a housing 5.
  • the quartz oscillator 4 and the quartz crystal electronics 6 are introduced into the housing 5 and hermetically sealed to the environment. Furthermore, when the quartz oscillator 3 is manufactured, the housing 5 has been vacuumized at least in individual regions, so that at least the quartz oscillator 4 is mounted in the housing 5 in a vacuum.
  • the quartz crystal 4 is driven such that it oscillates electrically at a predetermined frequency or resonance frequency, preferably in the form of a sinusoidal oscillation. Further, the quartz crystal electronics 6 is adapted to convert the generated oscillation into rectangular signals of the same frequency and as a
  • Quartz oscillator 3 is provided a conventional quartz watch, as this due the high volumes in which it is produced, can be acquired inexpensively.
  • Watch quartz has a crystal oscillating with a frequency of 32.768 kHz or an integer multiple or an integral fraction thereof.
  • a second method step S200 the quartz oscillator 3 is applied to a printed circuit board 8.
  • the application can be carried out, for example, by a soldering step in which the quartz oscillator 3 is soldered onto the printed circuit board 8.
  • the circuit board 8 has at least one evaluation unit 7 and is formed such that the soldered
  • Crystal oscillator 3 is electrically connected via conductor tracks to the evaluation unit 7, so that the generated by the quartz oscillator electronics 6 output signal of
  • a third method step S300 the housing 5 of the quartz oscillator 3 is punctured in such a way that the housing 5 has at least one inlet opening 9 for the medium 2.
  • the generation of the inlet opening 9 can be done in principle by any suitable mechanical tool or a laser.
  • a mechanical tool the use of a punching punch has proven to be particularly advantageous.
  • a pulsed laser for example a picosecond or also a femtosecond laser, since during its use the housing material is abruptly evaporated and thus no material parts are drawn into the vacuum-sealed housing prior to puncturing as is the case when using a non-pulsed laser.
  • a disadvantage of using a pulsed laser is that the machining of the housing is relatively expensive. Because of this, as an alternative to using the pulsed laser, the use of a combination of
  • the inlet opening 9 is introduced as an initial opening in the housing 9 by a mechanical tool, for example.
  • a punching iron and then further openings 10 are introduced into the housing 9 by a non-pulsed laser, insofar as further openings in the housing are desired.
  • the housing 5 of the quartz oscillator 3 is punctured in such a way that further openings 10 are introduced into the housing 5.
  • the other openings 1 0 and ggfl. the inlet opening serve as a particle filter 1 1, in order not to let particles with a certain diameter into the housing 5 and thus to protect the quartz crystal 4.
  • at least the other openings 1 0 are designed such that no particles with a geometric equivalent diameter smaller than 35 ⁇ , preferably less than 30 ⁇ , more preferably less than 25 ⁇ can penetrate into the housing 5, when the housing 5 is exposed to the medium 2.
  • the further openings 10 are introduced as essentially circular openings into the housing, which have a diameter of less than 35 ⁇ m, preferably less than 30 ⁇ m, particularly preferably less than 25 ⁇ m.
  • Conceivable are other geometric designs than the circular openings.
  • the openings may also be designed in the form of a slot, wherein the slot or ggfl. The slots are then designed so that no particles with a geometric
  • Equivalent diameter smaller than 35 ⁇ , preferably less than 30 ⁇ , particularly preferably less than 25 ⁇ can penetrate into the housing.
  • the inlet opening which was introduced as an initial opening by the mechanical tool in the housing, after the introduction of the other openings the non-pulsed laser, is closed again, since the inlet opening is significantly larger than the other openings.
  • the closing of the inlet opening 9 can be done, for example, by means of an adhesive or a soldering point.
  • a device manufactured according to the method described above can be used to determine the density of a medium, in particular a gas.
  • the dotted quartz oscillator 3 must be exposed to the medium 2, so that the medium 2 can penetrate into the housing 5 and attenuate the electrical oscillation as a function of its density.
  • an evaluation unit 7 can be used for this purpose, which is set up to determine a density corresponding to the present medium 2 on the basis of the output signal S out of the quartz oscillator 3.
  • a linear relationship between the frequency of the electrical oscillation of the quartz crystal 4 and the density of the medium 2 is stored in the evaluation unit 7.
  • Fig. 2 shows a quartz oscillator 3, the housing 5 is punctured in such a way that the openings form a particle filter 1 1.
  • the housing 5 a quartz oscillator 3
  • Inlet opening 9 has been introduced as an initial opening by a punching iron and closed again after the introduction of the other openings 10 by a non-pulsed laser.
  • the particle filter 1 1 is formed in Fig. 2 in the form of a 5 x 1 0 matrix and limited to a portion of one side of the surface of the housing.
  • the invention is not limited to a specific mxn matrix. Rather, it has been found that it can be beneficial if one Matrix is used, which is greater than 5 x 1 0. Furthermore, it has been found that it can also be advantageous if the formation of the matrix is distributed over at least one side of the housing 5 substantially completely flat.
  • FIG. 3 shows a device 1 according to the invention for determining a density of a medium, for example in the form of a gas.
  • the apparatus comprises a quartz oscillator 3 which is prepared or punctured as described above, a printed circuit board 8 on which is the quartz oscillator 3 and on the other hand an evaluation unit 7, for example in the form of an ASIC or a microprocessor, and a device housing 17 , in which the circuit board 8 is introduced.
  • the quartz oscillator 3 is in a located at a first end of the circuit board 8 first region 12, and the
  • Evaluation unit 7 arranged in a second region 13 located at a second end of the circuit board, which is opposite to the first end.
  • the electrical connection is in this case realized via conductor tracks of the printed circuit board 8.
  • the first and second regions 1 2 and 13 merge seamlessly into one another in a middle section 14 between the two regions.
  • a glass bushing 1 5 is arranged, via which the electrical connection or the output signal S out of the quartz oscillator 3 between the two regions 12 and 13 is realized or managed.
  • this is indicated by a dashed line.
  • the printed circuit board 8, the glass bushing 1 5 and the device housing 1 7 are in such a way to each other and matched to each other that after inserting the circuit board 8 with the glass duct 15 in the
  • the first region 12 is hermetically separated from the second region 13. In this way, the device can be exposed to the medium with the first end of the printed circuit board 8, without the medium being able to get into the second region.
  • the medium 2 whose density is to be determined indicated by dots.
  • the printed circuit board 8 may have a notch in the region of the middle section 14.
  • the notch allows the front part or first area 12 to be separated more easily. In this way, the circuit board for both the variant with glass feedthrough 15 and the variant without glass feedthrough 1 5 can be produced in the same way.
  • the notch is also in the variant with

Abstract

The invention relates to a method for producing a device for determining a density of a medium, the method comprising at least the following steps: Providing a quartz oscillator (S100) for generating an electric oscillation at a specific frequency; a housing, into which the oscillating quartz is introduced; and an oscillating quartz electronics, which is designed to control the oscillating quartz in order to generate the electric oscillation, and to provide a frequency-dependent output signal; applying the quartz oscillator to a circuit board (S200), which has at least one evaluation unit, and which is designed such that after the quartz oscillator is applied, it is electrically connected to the evaluation unit so that the output signal is delivered to the evaluation unit; puncturing the housing of the quartz oscillator (S300) such that the medium, the density of which is to be determined, can get into contact with the oscillating quartz, and changes the frequency of the oscillating quartz depending on the density, wherein the housing is punctured in such a way that at least one opening is introduced into the housing.

Description

Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung zum Bestimmen einer Dichte eines  Method for producing a device for determining a density of a
Mediums  medium
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung zum Bestimmen einer Dichte eines Mediums, eine Vorrichtung zur Bestimmung einer Dichte eines Mediums, sowie die Verwendung eines Quarzoszillators zur Bestimmung einer Dichte eines Mediums. The present invention relates to a method for producing a device for determining a density of a medium, a device for determining a density of a medium, and the use of a quartz oscillator for determining a density of a medium.
Es ist bereits bekannt, dass zum Bestimmen einer Dichte eines Mediums eine It is already known that for determining a density of a medium
Vorrichtung mit einem Stimmgabel-Schwingquarz verwendet wird. Diese Stimmgabel- Schwingquarze werden für gewöhnlich als Sensorelement ohne Gehäuse verwendet, d.h. der Stimmgabel-Schwingquarz ist zum Medium hin offen und dem Medium ausgesetzt. Device with a tuning fork quartz crystal is used. These tuning fork quartz crystals are commonly used as a sensor element without a package, i. the tuning fork quartz crystal is open to the medium and exposed to the medium.
Nachteilig an der Verwendung derartiger Stimmgabel-Schwingquarze ist es, dass diese bei der Montage Umwelteinflüssen ausgesetzt sind, was zur Ablagerung und/oder Veränderung des Schwingverhaltens führen kann. Ferner ist auch nachteilig, dass aufgrund des offenen Einsatzes der Stimmgabel-Schwingquarze diese gegen A disadvantage of the use of such tuning fork quartz crystals is that they are exposed to environmental influences during assembly, which can lead to the deposition and / or change the vibration behavior. Furthermore, it is also disadvantageous that due to the open use of the tuning fork quartz crystals this against
mechanische Einwirkungen während des eigentlichen Messbetriebes nicht geschützt sind. mechanical effects are not protected during the actual measuring operation.
Es ist somit eine Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung zum Bestimmen einer Dichte eines Mediums vorzuschlagen, die sowohl während der Herstellung bzw. Montage als auch im Messbetrieb vor Umwelteinflüssen und vor mechanischen Einwirkungen geschützt ist. It is therefore an object of the invention to provide a device for determining a density of a medium, which is protected both during manufacture and assembly as well as in measuring operation from environmental influences and against mechanical effects.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung zum Bestimmen einer Dichte eines Mediums, einer Vorrichtung zur Bestimmung einer Dichte eines Mediums, sowie der Verwendung eines Quarzoszillators zur Bestimmung einer Dichte eines Mediums gelöst. The object is achieved by a method for producing a device for determining a density of a medium, a device for determining a density of a medium, and the use of a quartz oscillator for determining a density of a medium.
Hinsichtlich des Verfahrens wird die Aufgabe durch Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung zum Bestimmen einer Dichte eines Mediums, insbesondere eines Gases, gelöst, wobei das Verfahren zumindest die folgenden Schritte aufweist: With regard to the method, the object is achieved by methods for producing a device for determining a density of a medium, in particular a gas, the method having at least the following steps:
Bereitstellen eines Quarzoszillators, vorzugsweise in Form eines Uhrenquarzes, umfassend einen Schwingquarz, zur Erzeugung einer elektrischen Schwingung mit einer bestimmten Frequenz, vorzugsweise mit einer Frequenz von ca. 32,768 kHz, ein Gehäuse, in welches der Schwingquarz, vorzugsweise im Vakuum hermetisch, eingebracht ist und eine Schwingquarzelektronik, die dazu eingerichtet ist, den Schwingquarz zur Erzeugung der elektrischen Schwingung entsprechend anzusteuern und ein von der Frequenz abhängiges Ausgangssignal bereitzustellen; Providing a quartz oscillator, preferably in the form of a quartz watch, comprising a quartz oscillator, for generating an electrical oscillation with a certain frequency, preferably with a frequency of about 32.768 kHz, a housing in which the quartz crystal, preferably hermetically introduced in vacuum, and a quartz crystal electronics, which is adapted to the quartz crystal to generate the electrical oscillation to drive accordingly and to provide a frequency dependent output signal;
Aufbringen, vorzugsweise in Form eines Lötschrittes, des Quarzoszillators auf eine Leiterplatte, welche zumindest eine Auswerteeinheit aufweist, und derartig ausgebildet ist, dass der Quarzoszillator nach dem Aufbringen elektrisch mit der Applying, preferably in the form of a soldering step, the quartz oscillator on a printed circuit board, which has at least one evaluation unit, and is formed such that the quartz oscillator after applying electrically with the
Auswerteeinheit verbunden ist, so dass der Auswerteeinheit das Ausgangssignal zugeführt ist; Evaluation unit is connected, so that the evaluation unit is supplied with the output signal;
Punktieren des Gehäuses des Quarzoszillators, so dass das Medium, dessen Dichte bestimmt werden soll, in Kontakt mit dem Schwingquarz treten kann und die Frequenz des Schwingquarzes in Abhängigkeit der Dichte verändert, wobei das Gehäuse derartig punktiert wird, dass zumindest eine Öffnung in das  Puncturing the housing of the quartz oscillator so that the medium whose density is to be determined can come into contact with the quartz crystal and alters the frequency of the quartz crystal as a function of density, wherein the housing is punctured such that at least one opening in the
Gehäuse eingebracht wird.  Housing is introduced.
Vorliegend soll unter einem Quarzoszillator ein als ein Frequenznormal in diversen elektrischen bzw. elektronischen Schaltungen zu verwendendes Bauelement verstanden werden. Ein derartiger Quarzoszillator umfasst eine in ein Gehäuse eingebrachte elektronische Schaltung zum Erzeugen von Schwingungen, die als In the present case, a quartz oscillator is to be understood as a component to be used as a frequency standard in various electrical or electronic circuits. Such a quartz oscillator comprises an electronic circuit incorporated in a housing for generating vibrations, which are known as
frequenzbestimmendes Bauelement einen in einer Schutzumgebung, insbesondere eine ein Vakuum aufweisende Schutzumgebung, befindlichen Schwingquarz enthält. Es handelt sich somit bei dem Quarzoszillator um eine fertig aufgebaute Oszillatorschaltung, die zusammen mit dem frequenzbestimmenden Schwingquarz als Standardbauteil erhältlich ist. Unter den Begriff des Quarzoszillators sollen vorliegenden insbesondere auch sogenannte Uhrenquarze fallen, welche eine Quarzfrequenz von 32,768 kHz oder ein ganzzahliges Vielfaches bzw. einen ganzzahligen Bruchteil dieser Frequenz erzeugen. Die durch den Schwingquarz des Uhrenquarzs erzeugten Sinusschwingungen werden durch eine Oszillatorschaltung in Rechtecksignale der gleichen Frequenz umgesetzt. frequency-determining component includes a in a protective environment, in particular a vacuum having protective environment, located quartz crystal. Thus, the quartz oscillator is a completely constructed oscillator circuit, which is available together with the frequency-determining oscillating quartz as a standard component. The term quartz oscillator is also intended to include so-called clock crystals, which produce a quartz frequency of 32.768 kHz or an integer multiple or an integral fraction of this frequency. The sine waves generated by the quartz crystal of the quartz crystal are converted by an oscillator circuit into square waves of the same frequency.
Erfindungsgemäß wird vorgeschlagen, dass ein solches Standardbauteil zur Bestimmung der Dichte des Mediums verwendet wird und dass das Standardbauteil dazu nach der Montage bzw. nach dem Aufbringen auf die Leiterplatte punktiert wird, so dass das zu messende Medium mit dem Schwingquarz in Berührung kommt bzw. interagieren kann. According to the invention, it is proposed that such a standard component is used to determine the density of the medium and that the standard component is punctured after assembly or after application to the printed circuit board, so that the medium to be measured comes into contact or interact with the quartz crystal can.
Die erfindungsgemäße Lösung bietet den Vorteil, dass während der Montage des Quarzoszillators auf die Leiterplatte der Schwingquarz noch durch das zu diesem The solution according to the invention has the advantage that during the assembly of the quartz oscillator on the circuit board of the quartz oscillator nor by that to this
Zeitpunkt noch nicht punktierte Gehäuse geschützt ist. Nach der Montage wird das Gehäuse punktiert und dient während des eigentlichen Messbetriebes dem Schutz des Schwingquarzes vor mechanischen Einflüssen, welche den Schwingquarz beschädigen bzw. beeinflussen könnten. Ferner bietet die erfindungsgemäße Lösung den Vorteil, dass durch einfache Modifikation eines Standardbauteils, welches aufgrund der hohen Stückzahlen in denen es gefertigt wird kostengünstig erwerbbar ist, die Dichte des Mediums bestimmt werden kann. Time not yet dotted housing is protected. After assembly, the housing is punctured and serves during the actual measurement operation the protection of the quartz crystal from mechanical influences, which could damage or influence the quartz crystal. Furthermore, the solution according to the invention has the advantage that by simple modification of a standard component, which due to the high Quantities in which it is manufactured can be obtained inexpensively, the density of the medium can be determined.
Eine vorteilhafte Ausführungsform des Verfahrens sieht vor, dass das Gehäuse derartig punktiert wird, dass weitere Öffnungen in das Gehäuse eingebracht werden. An advantageous embodiment of the method provides that the housing is punctured in such a way that further openings are introduced into the housing.
Insbesondere kann die Ausführungsform vorsehen, dass das Gehäuse derartig punktiert wird, dass zumindest die weiteren Öffnungen so ausgebildet sind, dass Partikel mit einem geometrischen Äquivalentdurchmesser kleiner 35 μιτι, bevorzugt kleiner 30 μιτι, besonders bevorzugt kleiner 25 μιτι nicht in das Gehäuse durch die weiteren Öffnungen eindringen können, so dass zumindest die weiteren Öffnungen als ein Partikelfilter dienen. Durch die weiteren Öffnungen die durch das weitere Punktieren erzeugt werden, entsteht ein Filter, welcher den darunterliegenden Schwingquarz vor mechanischen Einwirkungen, wie bspw. Partikeln, schützt. Unter dem Äquivalentdurchmesser ist hierbei ein Maß für die Größe eines unregelmäßig geformten Partikels wie beispielsweise eines Sandkorns zu verstehen. Er berechnet sich aus dem Vergleich einer Eigenschaft des unregelmäßigen Teilchens mit einer  In particular, the embodiment can provide that the housing is punctured such that at least the other openings are formed so that particles with a geometric equivalent diameter smaller than 35 μιτι, preferably less than 30 μιτι, more preferably less than 25 μιτι not in the housing through the other openings can penetrate, so that at least the other openings serve as a particulate filter. Through the further openings which are produced by the further puncturing, a filter is formed, which protects the underlying quartz crystal against mechanical effects, such as. Particles. By the equivalent diameter is meant a measure of the size of an irregularly shaped particle such as a grain of sand. It is calculated by comparing a property of the irregular particle with a
Eigenschaft eines regelmäßig geformten Teilchens. Den geometrischen Property of a regularly shaped particle. The geometric
Äquivalentdurchmesser erhält man durch Bestimmung des Durchmessers einer Kugel oder eines Kreises mit gleicher geometrischer Eigenschaft (Oberfläche, Volumen oder Projektionsfläche) wie das unregelmäßig geformte Partikel. Equivalent diameter is obtained by determining the diameter of a sphere or circle with the same geometric property (surface area, volume or projection area) as the irregularly shaped particle.
Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform des Verfahrens sieht vor, dass das Gehäuse derartig punktiert wird, dass zumindest die eine Öffnung mittels eines mechanischen Werkzeuges, insbesondere eines Stanzeisens, in das Gehäuse eingebracht wird. A further advantageous embodiment of the method provides that the housing is punctured such that at least one opening by means of a mechanical tool, in particular a punching iron, is introduced into the housing.
Insbesondere kann die Ausführungsform vorsehen, dass das Gehäuse derartig punktiert wird, dass die weiteren Öffnungen, vorzugsweise mittels eines Lasers, in das Gehäuse eingebracht werden, nachdem die zumindest eine Öffnung mittels des mechanischen Werkzeuges eingebracht wurde und/oder dass die mittels des mechanischen  In particular, the embodiment can provide that the housing is punctured such that the further openings, preferably by means of a laser, are introduced into the housing after the at least one opening has been introduced by means of the mechanical tool and / or that by means of the mechanical
Werkzeuges eingebrachte zumindest eine Öffnung nach dem Einbringen der weiteren Öffnungen mittels des Lasers wieder verschlossen wird. Tool introduced at least one opening after the introduction of the other openings by means of the laser is closed again.
Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform des Verfahrens sieht vor, dass das Gehäuse derartig punktiert wird, dass die zumindest eine Öffnung und/oder die weiteren Öffnungen mittels eines gepulsten Lasers, insbesondere eines Pikosekunden- oder höher gepulsten Lasers, in das Gehäuse eingebracht wird bzw. werden. A further advantageous embodiment of the method provides that the housing is punctured in such a way that the at least one opening and / or the further openings are introduced into the housing by means of a pulsed laser, in particular a picosecond or higher pulsed laser.
Hinsichtlich der Vorrichtung wird die Aufgabe durch eine Vorrichtung zur Bestimmung einer Dichte eines Mediums, insbesondere eines Gases, gelöst, welche zumindest folgendes aufweist: einen Quarzoszillator, umfassend einen Schwingquarz, vorzugsweise in Form eines Uhrenquarzes, zur Erzeugung einer elektrischen Schwingung mit einer bestimmten Frequenz, vorzugsweise mit einer Frequenz von ca. 32,768 kHz, ein Gehäuse, in welches der Schwingquarz eingebracht ist und eine With regard to the device, the object is achieved by a device for determining a density of a medium, in particular of a gas, which has at least the following: a quartz oscillator, comprising a quartz crystal, preferably in the form of a quartz watch, for generating an electrical oscillation with a certain frequency, preferably with a frequency of about 32.768 kHz, a housing in which the quartz crystal is introduced and a
Schwingquarzelektronik, die dazu eingerichtet ist, den Schwingquarz zur Oscillating quartz electronic, which is adapted to the quartz crystal for
Erzeugung der elektrischen Schwingung entsprechend anzusteuern und ein von der Frequenz abhängiges Ausgangssignal (Sout) bereitzustellen; Correspondingly trigger generation of the electrical oscillation and to provide a frequency-dependent output signal (Sout);
einen Leiterplatte, umfassend zumindest eine Auswerteeinheit, wobei der Quarzoszillator auf der Leiterplatte aufgebracht ist und elektrisch mit der  a printed circuit board, comprising at least one evaluation unit, wherein the quartz oscillator is mounted on the circuit board and electrically connected to the
Auswerteeinheit verbunden ist, so dass der Auswerteeinheit das Ausgangssignal der Schwingquarzelektronik zugeführt ist;  Evaluation unit is connected, so that the evaluation unit is supplied with the output signal of the quartz crystal electronics;
wobei in das Gehäuse des Quarzoszillators zumindest eine Öffnung eingebracht ist, damit das Medium, dessen Dichte bestimmt werden soll, in Kontakt mit dem  wherein in the housing of the quartz oscillator at least one opening is introduced so that the medium whose density is to be determined, in contact with the
Schwingquarz treten und die Frequenz des Schwingquarzes in Abhängigkeit der Dichte verändern kann, und die Auswerteeinheit dazu eingerichtet ist, anhand des Occur quartz crystal and can change the frequency of the quartz crystal as a function of density, and the evaluation unit is adapted to use the
Ausgangssignals, welches die veränderte Frequenz repräsentiert, die Dichte zu bestimmen. Output signal representing the changed frequency to determine the density.
Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Vorrichtung sieht vor, dass in das Gehäuse weitere Öffnungen eingebracht sind. Insbesondere kann die Ausgestaltung vorsehen, dass zumindest die weiteren Öffnungen so ausgebildet sind, dass keine Partikel mit einem geometrischen Äquivalentdurchmesser kleiner 35 μιτι, bevorzugt kleiner 30 μιτι, besonders bevorzugt kleiner 25 μιτι in das Gehäuse durch die weiteren Öffnungen eindringen können, so dass zumindest die weiteren Öffnungen als ein Partikelfilter dienen. An advantageous embodiment of the device provides that in the housing further openings are introduced. In particular, the embodiment can provide that at least the further openings are formed so that no particles with a geometric equivalent diameter smaller than 35 μιτι, preferably less than 30 μιτι, more preferably less than 25 μιτι can penetrate into the housing through the other openings, so that at least the serve further openings as a particle filter.
Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Vorrichtung sieht vor, dass die zumindest eine Öffnung und/oder die weiteren Öffnungen im Wesentlichen als kreisrunde Öffnungen ausgebildet ist bzw. sind. A further advantageous embodiment of the device provides that the at least one opening and / or the further openings is or are designed essentially as circular openings.
Wiederum eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Vorrichtung sieht vor, dass die Leiterplatte einen ersten Bereich und einen zweiten Bereich aufweist, wobei der Yet another advantageous embodiment of the device provides that the circuit board has a first region and a second region, wherein the
Quarzoszillator in dem ersten Bereich und die Auswerteeinheit in dem zweiten Bereich angeordnet sind, wobei die Vorrichtung ferner einer Glasdurchführung umfasst, die zwischen dem ersten und zweiten Bereich vorgesehen ist und der Quarzoszillator über die Glasdurchführung elektrisch mit der Auswerteeinheit verbunden ist. Quartz oscillator in the first region and the evaluation unit are arranged in the second region, wherein the device further comprises a glass feedthrough, which is provided between the first and second region and the quartz oscillator is electrically connected via the glass feedthrough to the evaluation unit.
Eine letzte vorteilhafte Ausgestaltung der Vorrichtung sieht vor, dass der Quarzoszillator bestimmungsgemäß als ein Frequenznormal dient und durch die zumindest eine Öffnung in dem Gehäuse zur Messung der Dichte des Mediums, welches durch die zumindest eine Öffnung eindringen kann, zweckentfremdet wird. Hinsichtlich der Verwendung wird die Aufgabe durch die Verwendung eines A last advantageous embodiment of the device provides that the quartz oscillator as intended serves as a frequency normal and by the at least one opening in the housing for measuring the density of the medium, which can penetrate through the at least one opening, is misused. In terms of use, the task is accomplished through the use of a
Quarzoszillator zur Bestimmung einer Dichte eines Mediums, wobei der Quarzoszillator umfassend einen Schwingquarz, vorzugsweise in Form eines Uhrenquarzes, zur Erzeugung einer elektrischen Schwingung mit einer bestimmten Frequenz, vorzugsweise mit einer Frequenz von ca. 32,768 kHz, ein Gehäuse, in welches der Schwingquarz eingebracht ist und eine Schwingquarzelektronik, die dazu eingerichtet ist, den Quartz oscillator for determining a density of a medium, wherein the quartz oscillator comprising a quartz crystal, preferably in the form of a quartz watch, for generating an electrical oscillation with a specific frequency, preferably at a frequency of about 32.768 kHz, a housing in which the quartz crystal is introduced and a quartz crystal electronics adapted to
Schwingquarz zur Erzeugung der elektrischen Schwingung entsprechend anzusteuern und ein von der Frequenz abhängiges Ausgangssignal bereitzustellen, wobei zur Verwendung des Quarzoszillator zur Bestimmung der Dichte des Mediums das Gehäuse derartig punktiert wird, dass zumindest eine Öffnung in das Gehäuse eingebracht ist und der Quarzoszillator dem Medium ausgesetzt wird, so dass die Dichte die Frequenz und entsprechend das Ausgangssignal verändert. To control vibration quartz for generating the electrical vibration and provide a frequency-dependent output signal, wherein for use of the quartz oscillator for determining the density of the medium, the housing is punctured such that at least one opening is introduced into the housing and the quartz oscillator is exposed to the medium so that the density changes the frequency and accordingly the output signal.
Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt: The invention will be explained in more detail with reference to the following drawings. It shows:
Fig. 1 : einen schematischen Ablauf eines erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens, 1 shows a schematic sequence of a manufacturing method according to the invention,
Fig. 2: ein Draufsicht auf einen Quarzoszillator, dessen Gehäuse derartig punktiert ist, dass die Öffnungen einen Partikelfilter ausbilden, und 2 shows a plan view of a quartz oscillator whose housing is punctured in such a way that the openings form a particle filter, and
Fig. 3: eine erfindungsgemäße Vorrichtung zur Bestimmung einer Dichte eines Mediums. 3 shows a device according to the invention for determining a density of a medium.
Fig. 1 zeigt einen schematischen Ablauf des erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens, welches im Wesentlichen aus drei Verfahrensschritten besteht. FIG. 1 shows a schematic sequence of the production method according to the invention, which consists essentially of three method steps.
In einem ersten Verfahrensschritt S100 wird ein Quarzoszillator 3 in Form eines In a first method step S100, a quartz oscillator 3 in the form of a
Standradbauteils bereitgestellt. Der Quarzoszillator 3 umfasst hierbei einen Schwingquarz 4, eine Schwingquarzelektronik 6 und ein Gehäuse 5. Der Schwingquarz 4 und die Schwingquarzelektronik 6 sind in das Gehäuse 5 eingebracht und hermetisch zur Umwelt hin gekapselt. Ferner ist das Gehäuse 5 bei Herstellung des Quarzoszillators 3 zumindest in einzelnen Bereichen vakuumisiert worden, so dass zumindest der Schwingquarz 4 in dem Gehäuse 5 im Vakuum gelagert ist. Über die Schwingquarzelektronik 6 wird der Schwingquarz 4 derartig angesteuert, dass dieser elektrisch mit einer vorbestimmten Frequenz bzw. Resonanzfrequenz, vorzugsweise in Form einer Sinusschwingung, schwingt. Ferner ist die Schwingquarzelektronik 6 dazu eingerichtet, die erzeugte Schwingung in Rechtecksignale der gleichen Frequenz zu wandeln und als ein Standradbauteils provided. The quartz oscillator 3 in this case comprises a quartz oscillator 4, a quartz crystal electronics 6 and a housing 5. The quartz oscillator 4 and the quartz crystal electronics 6 are introduced into the housing 5 and hermetically sealed to the environment. Furthermore, when the quartz oscillator 3 is manufactured, the housing 5 has been vacuumized at least in individual regions, so that at least the quartz oscillator 4 is mounted in the housing 5 in a vacuum. About the quartz oscillator electronics 6, the quartz crystal 4 is driven such that it oscillates electrically at a predetermined frequency or resonance frequency, preferably in the form of a sinusoidal oscillation. Further, the quartz crystal electronics 6 is adapted to convert the generated oscillation into rectangular signals of the same frequency and as a
Ausgangssignal Sout an einem Ausgangspin 16 des Quarzoszillators 3 bereitzustellen. Derartige Quarzoszillatoren 3 sind, wie zuvor bereits erwähnt, als separat ausgebildete Bauteile käuflich in vielfältigen Varianten erwerbbar. Vorteilhaft ist es, wenn als Output signal Sout to provide an output pin 16 of the quartz oscillator 3. Such quartz oscillators 3 are, as already mentioned above, purchasable as separately formed components in a variety of variants. It is advantageous if as
Quarzoszillator 3 ein herkömmlicher Uhrenquarz bereitgestellt wird, da dieser aufgrund der hohen Stückzahlen, in denen er hergestellt wird, kostengünstig erwerbbar ist. Quartz oscillator 3 is provided a conventional quartz watch, as this due the high volumes in which it is produced, can be acquired inexpensively.
Uhrenquarz weisen einen Schwingquarz auf, welcher mit einer Frequenz von 32,768 kHz oder einem ganzzahligen Vielfachen bzw. einem ganzzahligen Bruchteil davon schwingen. Watch quartz has a crystal oscillating with a frequency of 32.768 kHz or an integer multiple or an integral fraction thereof.
In einem zweiten Verfahrensschritt S200 wird der Quarzoszillator 3 auf eine Leiterplatte 8 aufgebracht. Das Aufbringen kann bspw. durch einen Lötschritt erfolgen, in dem der Quarzoszillator 3 auf die Leiterplatte 8 aufgelötet wird. Die Leiterplatte 8 weist zumindest eine Auswerteeinheit 7 auf und ist derartig ausgebildet, dass der aufgelötete In a second method step S200, the quartz oscillator 3 is applied to a printed circuit board 8. The application can be carried out, for example, by a soldering step in which the quartz oscillator 3 is soldered onto the printed circuit board 8. The circuit board 8 has at least one evaluation unit 7 and is formed such that the soldered
Quarzoszillator 3 über Leiterbahnen elektrisch mit der Auswerteeinheit 7 verbunden ist, so dass das von der Schwingquarzelektronik 6 erzeugte Ausgangssignal des Crystal oscillator 3 is electrically connected via conductor tracks to the evaluation unit 7, so that the generated by the quartz oscillator electronics 6 output signal of
Quarzoszillators Sout der Auswerteeinheit 7 zugeführt ist. Crystal oscillator Sout the evaluation unit 7 is supplied.
In einem dritten Verfahrensschritt S300 wird das Gehäuse 5 des Quarzoszillators 3 derartig punktiert, dass das Gehäuse 5 zumindest eine Einlassöffnung 9 für das Medium 2 aufweist. Die Erzeugung der Einlassöffnung 9 kann prinzipiell durch ein beliebig geeignetes mechanisches Werkzeug oder einen Laser erfolgen. Als mechanisches Werkzeug hat sich als besonders vorteilhaft die Verwendung eines Lochstanzeisens herausgestellt. Bei der Verwendung eines Lasers hat es sich als vorteilhaft erwiesen, einen gepulsten Laser, bspw. einen Pikosekunden- oder auch einen Femtosekundenlaser zu verwenden, da bei dessen Verwendung das Gehäusematerial schlagartig verdampft wird und somit keine Materialteile in das vor dem Punktieren vakuumierte Gehäuse hineingezogen werden, wie dies bei der Verwendung eines nicht gepulsten Lasers der Fall ist. Nachteilig an der Verwendung eines gepulsten Lasers ist allerdings, dass die Bearbeitung des Gehäuses relativ teuer ist. Aufgrund dessen hat sich als alternative zur Verwendung des gepulsten Lasers die Verwendung einer Kombination aus In a third method step S300, the housing 5 of the quartz oscillator 3 is punctured in such a way that the housing 5 has at least one inlet opening 9 for the medium 2. The generation of the inlet opening 9 can be done in principle by any suitable mechanical tool or a laser. As a mechanical tool, the use of a punching punch has proven to be particularly advantageous. When using a laser, it has proved to be advantageous to use a pulsed laser, for example a picosecond or also a femtosecond laser, since during its use the housing material is abruptly evaporated and thus no material parts are drawn into the vacuum-sealed housing prior to puncturing as is the case when using a non-pulsed laser. However, a disadvantage of using a pulsed laser is that the machining of the housing is relatively expensive. Because of this, as an alternative to using the pulsed laser, the use of a combination of
mechanischem Werkzeug und einem nicht gepulsten Laser zur Punktierung des mechanical tool and a non-pulsed laser for puncturing the
Gehäuses 5 herausgestellt. Hierbei wird zuerst die Einlassöffnung 9 als eine Initialöffnung in das Gehäuse 9 durch ein mechanisches Werkzeug, bspw. ein Lochstanzeisen, eingebracht und anschließend werden weitere Öffnungen 10 in das Gehäuse 9 durch einen nicht gepulsten Laser eingebracht, insofern weitere Öffnungen in dem Gehäuse erwünscht sind. Housing 5 exposed. Here, first, the inlet opening 9 is introduced as an initial opening in the housing 9 by a mechanical tool, for example. A punching iron, and then further openings 10 are introduced into the housing 9 by a non-pulsed laser, insofar as further openings in the housing are desired.
In dem dritten Verfahrensschritt kann weiterhin vorgesehen sein, dass das Gehäuse 5 des Quarzoszillators 3 derartig punktiert wird, dass weitere Öffnungen 1 0 in das Gehäuse 5 eingebracht werden. Die weiteren Öffnungen 1 0 und ggfl. die Einlassöffnung dienen als Partikelfilter 1 1 , um Partikel mit einem bestimmten Durchmesser nicht in das Gehäuse 5 gelangen zu lassen und somit den Schwingquarz 4 zu schützen. Dementsprechend sind zumindest die weiteren Öffnungen 1 0 dabei derartig ausgeführt, dass keine Partikel mit einem geometrischen Äquivalentdurchmesser kleiner 35 μιτι, bevorzugt kleiner 30 μιτι, besonders bevorzugt kleiner 25 μιτι in das Gehäuse 5 eindringen können, wenn das Gehäuse 5 dem Medium 2 ausgesetzt ist. Im einfachsten Fall, werden die weiteren Öffnungen 10 als im Wesentlichen kreisrunde Öffnungen in das Gehäuse eingebracht, die einen Durchmesser kleiner 35 μιτι, bevorzugt kleiner 30 μιτι, besonders bevorzugt kleiner 25 μιτι aufweisen. Denkbar sind aber auch andere geometrische Ausführungen als die kreisrunden Öffnungen. Bspw. können die Öffnungen auch in Form eines Schlitzes ausgeführt sein, wobei der Schlitz oder ggfl. die Schlitze dann so ausgeführt sind, dass keine Partikel mit einem geometrischen In the third method step, it can furthermore be provided that the housing 5 of the quartz oscillator 3 is punctured in such a way that further openings 10 are introduced into the housing 5. The other openings 1 0 and ggfl. the inlet opening serve as a particle filter 1 1, in order not to let particles with a certain diameter into the housing 5 and thus to protect the quartz crystal 4. Accordingly, at least the other openings 1 0 are designed such that no particles with a geometric equivalent diameter smaller than 35 μιτι, preferably less than 30 μιτι, more preferably less than 25 μιτι can penetrate into the housing 5, when the housing 5 is exposed to the medium 2. In the simplest case, the further openings 10 are introduced as essentially circular openings into the housing, which have a diameter of less than 35 μm, preferably less than 30 μm, particularly preferably less than 25 μm. Conceivable, however, are other geometric designs than the circular openings. For example. the openings may also be designed in the form of a slot, wherein the slot or ggfl. The slots are then designed so that no particles with a geometric
Äquivalentdurchmesser kleiner 35 μιτι, bevorzugt kleiner 30 μιτι, besonders bevorzugt kleiner 25 μιτι in das Gehäuse eindringen können. In dem Fall, dass die Kombination aus mechanischem Werkzeug und dem nicht gepulsten Laser zur Punktierung des Gehäuses eingesetzt wird, ist es notwendig, dass die Einlassöffnung, welche als Initialöffnung durch das mechanische Werkzeug in das Gehäuse eingebracht wurde, nach dem Einbringen der weiteren Öffnungen durch den nicht gepulsten Laser, wieder verschlossen wird, da die Einlassöffnung deutlich größer ist als die weiteren Öffnungen ist. Das Verschließen der Einlassöffnung 9 kann bspw. mittels eines Klebstoffes oder auch eines Lötpunktes erfolgen.  Equivalent diameter smaller than 35 μιτι, preferably less than 30 μιτι, particularly preferably less than 25 μιτι can penetrate into the housing. In the event that the combination of mechanical tool and the non-pulsed laser is used for puncturing the housing, it is necessary that the inlet opening, which was introduced as an initial opening by the mechanical tool in the housing, after the introduction of the other openings the non-pulsed laser, is closed again, since the inlet opening is significantly larger than the other openings. The closing of the inlet opening 9 can be done, for example, by means of an adhesive or a soldering point.
Eine entsprechend dem zuvor beschriebenen Verfahren hergestellte Vorrichtung kann zur Bestimmung der Dichte eines Mediums, insbesondere eines Gases, eingesetzt werden. Hierzu muss der punktierte Quarzoszillator 3 dem Medium 2 ausgesetzt sein, so dass das Medium 2 in das Gehäuse 5 eindringen und in Abhängigkeit seiner Dichte die elektrische Schwingung dämpfen kann. Anhand der gedämpften elektrischen Schwingung kann somit auf die Dichte des Mediums 2 rückgeschlossen werden. Beispielsweise kann hierfür eine Auswerteeinheit 7 dienen, welche dazu eingerichtet ist, anhand des Ausgangssignals Sout des Quarzoszillators 3 eine für das vorliegende Medium 2 entsprechende Dichte zu bestimmen. In erster Näherung, ist in der Auswerteeinheit 7 ein linearer Zusammenhang zwischen der Frequenz der elektrischen Schwingung des Schwingquarzes 4 und der Dichte des Mediums 2 hinterlegt. A device manufactured according to the method described above can be used to determine the density of a medium, in particular a gas. For this purpose, the dotted quartz oscillator 3 must be exposed to the medium 2, so that the medium 2 can penetrate into the housing 5 and attenuate the electrical oscillation as a function of its density. On the basis of the damped electrical oscillation can thus be deduced the density of the medium 2. For example, an evaluation unit 7 can be used for this purpose, which is set up to determine a density corresponding to the present medium 2 on the basis of the output signal S out of the quartz oscillator 3. In the first approximation, a linear relationship between the frequency of the electrical oscillation of the quartz crystal 4 and the density of the medium 2 is stored in the evaluation unit 7.
Fig. 2 zeigt einen Quarzoszillator 3, dessen Gehäuse 5 derartig punktiert ist, dass die Öffnungen einen Partikelfilter 1 1 ausbilden. Hierzu ist in das Gehäuse 5 eine Fig. 2 shows a quartz oscillator 3, the housing 5 is punctured in such a way that the openings form a particle filter 1 1. For this purpose, in the housing 5 a
Einlassöffnung 9 als Initialöffnung durch ein Lochstanzeisen eingebracht worden und nach dem Einbringen der weiteren Öffnungen 10 durch einen nicht gepulsten Laser wieder verschlossen worden. Der Partikelfilter 1 1 ist in Fig. 2 in Form einer 5 x 1 0 Matrix ausgebildet und auf einen Teilbereich einer Seite der Oberfläche des Gehäuses beschränkt. Prinzipiell ist die Erfindung jedoch nicht auf eine spezifische m x n Matrix beschränkt. Vielmehr hat sich herausgestellt, dass es von Vorteil sein kann, wenn eine Matrix verwendet wird, die größer als 5 x 1 0 ist. Ferner hat sich herausgestellt, dass es ebenfalls von Vorteil sein kann, wenn die Ausbildung der Matrix über zumindest eine Seite des Gehäuses 5 im Wesentlichen vollständig flächig verteilt ist. Inlet opening 9 has been introduced as an initial opening by a punching iron and closed again after the introduction of the other openings 10 by a non-pulsed laser. The particle filter 1 1 is formed in Fig. 2 in the form of a 5 x 1 0 matrix and limited to a portion of one side of the surface of the housing. In principle, however, the invention is not limited to a specific mxn matrix. Rather, it has been found that it can be beneficial if one Matrix is used, which is greater than 5 x 1 0. Furthermore, it has been found that it can also be advantageous if the formation of the matrix is distributed over at least one side of the housing 5 substantially completely flat.
Fig. 3 zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung 1 zur Bestimmung einer Dichte eines Mediums, bspw. in Form eines Gases. Die Vorrichtung umfasst hierbei ein Quarzoszillator 3, der wie zuvor beschrieben präpariert bzw. punktiert ist, eine Leiterplatte 8 auf der zum einen der Quarzoszillator 3 und zum anderen eine Auswerteeinheit 7, bspw. in Form eines ASICs oder auch eines Mikroprozessors sitzt und einen Vorrichtungsgehäuse 17, in welches die Leiterplatte 8 eingebracht ist. Der Quarzoszillator 3 ist dabei in einem an einem ersten Ende der Leiterplatte 8 befindlichen ersten Bereich 12, und die FIG. 3 shows a device 1 according to the invention for determining a density of a medium, for example in the form of a gas. In this case, the apparatus comprises a quartz oscillator 3 which is prepared or punctured as described above, a printed circuit board 8 on which is the quartz oscillator 3 and on the other hand an evaluation unit 7, for example in the form of an ASIC or a microprocessor, and a device housing 17 , in which the circuit board 8 is introduced. The quartz oscillator 3 is in a located at a first end of the circuit board 8 first region 12, and the
Auswerteeinheit 7 in einem an einem zweiten Ender der Leiterplatte, die dem ersten Ende gegenüberliegt, befindlichen zweiten Bereich 13 angeordnet. Die elektrische Verbindung ist hierbei über Leiterbahnen der Leiterplatte 8 realisiert. Bei der in Fig. 3 links Evaluation unit 7 arranged in a second region 13 located at a second end of the circuit board, which is opposite to the first end. The electrical connection is in this case realized via conductor tracks of the printed circuit board 8. In the left in Fig. 3
dargestellten Vorrichtung, gehen der erste und der zweite Bereich 1 2 und 13 in einem Mittenabschnitt 14 zwischen den zwei Bereichen nahtlos ineinander über. 1, the first and second regions 1 2 and 13 merge seamlessly into one another in a middle section 14 between the two regions.
Als vorteilhaft hat es sich erwiesen, wenn in dem Mittenabschnitt 14, der zwischen dem ersten und zweiten Bereich 12 und 13 liegt, eine Glasdurchführung 1 5 angeordnet ist, über die die elektrische Verbindung bzw. das Ausgangssignal Sout des Quarzoszillators 3 zwischen den beiden Bereichen 12 und 13 realisiert bzw. geführt ist. In Fig. 3 ist dies durch eine gestrichelte Linie angedeutet. Die Leiterplatte 8, die Glasdurchführung 1 5 und das Vorrichtungsgehäuse 1 7 sind dabei derartig zueinander und aufeinander abgestimmt, dass nach dem Einführen der Leiterplatte 8 mit der Glasdurchführung 15 in das It has proven to be advantageous if in the middle section 14, which lies between the first and second region 12 and 13, a glass bushing 1 5 is arranged, via which the electrical connection or the output signal S out of the quartz oscillator 3 between the two regions 12 and 13 is realized or managed. In Fig. 3, this is indicated by a dashed line. The printed circuit board 8, the glass bushing 1 5 and the device housing 1 7 are in such a way to each other and matched to each other that after inserting the circuit board 8 with the glass duct 15 in the
Vorrichtungsgehäuse 17 der erste Bereich 12 von dem zweiten Bereich 13 hermetisch getrennt ist. Auf diese Weise kann die Vorrichtung mit dem ersten Ende der Leiterplatte 8 dem Medium ausgesetzt werden, ohne dass das Medium in den zweiten Bereich gelangen kann. In Fig. 3 ist das Medium 2 dessen Dichte bestimmt werden soll durch Punkte angedeutet. Device housing 17, the first region 12 is hermetically separated from the second region 13. In this way, the device can be exposed to the medium with the first end of the printed circuit board 8, without the medium being able to get into the second region. In Fig. 3, the medium 2 whose density is to be determined indicated by dots.
Ferner kann die Leiterplatte 8 eine Einkerbung im Bereich des Mittenabschnittes 14 aufweisen. Durch die Einkerbung kann der vordere Teil bzw. erste Bereich 12 leichter abgetrennt werde. Auf diese Weise kann die Leiterplatte sowohl für die Variante mit Glasdurchführung 15 als auch die Variante ohne Glasdurchführung 1 5 auf dieselbe Weise hergestellt werden. Durch die Einkerbung wird ferner bei der Variante mit Furthermore, the printed circuit board 8 may have a notch in the region of the middle section 14. The notch allows the front part or first area 12 to be separated more easily. In this way, the circuit board for both the variant with glass feedthrough 15 and the variant without glass feedthrough 1 5 can be produced in the same way. The notch is also in the variant with
Glasdurchführung 15 die Breite der Vorrichtung im Wesentlichen nicht verändert. Bezugszeichenliste Glass passage 15, the width of the device is not changed substantially. LIST OF REFERENCE NUMBERS
S100 Bereitstellen eines Quarzoszillators in Form eines Standard BauteilesS100 Providing a quartz oscillator in the form of a standard component
S200 Auflöten des Quarzoszillators auf eine Leiterplatte bzw. PCB S200 Soldering the quartz oscillator to a printed circuit board or PCB
5300 Punktierung eines Gehäuses des Quarzoszillators  5300 puncturing a housing of the quartz oscillator
S300a Punktierung einer Initialöffnung in das Gehäuse mittels eines  S300a Dotting an initial opening in the housing by means of a
mechanischen Werkzeuges  mechanical tool
S300b Punktierung einer Initialöffnung in das Gehäuse mittels eines gepulsten  S300b Dotting an initial opening in the housing by means of a pulsed
Lasers  laser
5301 Punktierung weiterer Öffnungen in das Gehäuse mittels eines Lasers S400 Verschließen der Initialöffnung  5301 Dotting further openings in the housing by means of a laser S400 Closing the initial opening
1 Vorrichtung zur Bestimmung einer Dichte eines Mediums  1 Device for determining a density of a medium
2 Medium  2 medium
3 Quarzoszillator  3 quartz oscillator
4 Schwingquarz  4 quartz crystal
5 Gehäuse des Quarzoszillators  5 housing of the quartz oscillator
6 Schwingquarzelektronik  6 quartz crystal electronics
7 Auswerteeinheit  7 evaluation unit
8 Leiterplatte  8 circuit board
9 Öffnung bzw. Initialöffnung  9 opening or initial opening
10 weitere Öffnungen  10 more openings
1 1 Partikelfilter  1 1 particle filter
12 erster Bereich der Leiterplatte  12 first area of the circuit board
13 zweiter Bereich der Leiterplatte  13 second area of the circuit board
14 Mittenabschnitt  14 middle section
15 Glasdurchführung  15 glass passage
16 Ausgangspin  16 output pin
17 Vorrichtungsgehäuse  17 device housing
Sout Ausgangssignal des Quarzoszillators  Sout Output signal of the quartz oscillator

Claims

Patentansprüche claims
1 . Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung zum Bestimmen einer Dichte eines Mediums, insbesondere eines Gases, aufweisend zumindest die folgenden Schritte: 1 . Method for producing a device for determining a density of a medium, in particular a gas, comprising at least the following steps:
- Bereitstellen eines Quarzoszillators (S100), vorzugsweise in Form eines  - Providing a quartz oscillator (S100), preferably in the form of a
Uhrenquarzes, umfassend einen Schwingquarz, zur Erzeugung einer elektrischen Schwingung mit einer bestimmten Frequenz, vorzugsweise mit einer Frequenz von ca. 32,768 kHz, ein Gehäuse, in welches der Schwingquarz, vorzugsweise im Vakuum hermetisch, eingebracht ist und eine Schwingquarzelektronik, die dazu eingerichtet ist, den Schwingquarz zur Erzeugung der elektrischen Schwingung entsprechend anzusteuern und ein von der Frequenz abhängiges Ausgangssignal bereitzustellen;  Clock quartz, comprising a quartz crystal, for generating an electrical oscillation with a specific frequency, preferably with a frequency of about 32.768 kHz, a housing in which the quartz crystal, preferably hermetically introduced in vacuum, and a quartz crystal electronics, which is adapted to correspondingly triggering the quartz oscillator for generating the electrical oscillation and to provide a frequency-dependent output signal;
Aufbringen, vorzugsweise in Form eines Lötschrittes, des Quarzoszillators auf eine Leiterplatte (S200), welche zumindest eine Auswerteeinheit aufweist, und derartig ausgebildet ist, dass der Quarzoszillator nach dem Aufbringen elektrisch mit der Auswerteeinheit verbunden ist, so dass der Auswerteeinheit das  Applying, preferably in the form of a soldering step, the quartz oscillator to a printed circuit board (S200), which has at least one evaluation unit, and is designed such that the quartz oscillator is electrically connected to the evaluation unit after application, so that the evaluation unit
Ausgangssignal zugeführt ist;  Output signal is supplied;
Punktieren des Gehäuses des Quarzoszillators (S300), so dass das Medium, dessen Dichte bestimmt werden soll, in Kontakt mit dem Schwingquarz treten kann und die Frequenz des Schwingquarzes in Abhängigkeit der Dichte verändert, wobei das Gehäuse derartig punktiert wird, dass zumindest eine Öffnung in das Gehäuse eingebracht wird.  Puncturing the housing of the quartz oscillator (S300) so that the medium whose density is to be determined can come into contact with the quartz crystal and alters the frequency of the quartz crystal as a function of the density, wherein the housing is punctured such that at least one opening in the housing is inserted.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , wobei das Gehäuse derartig punktiert wird, dass weitere Öffnungen in das Gehäuse eingebracht werden (S301 ). 2. The method of claim 1, wherein the housing is punctured such that further openings are introduced into the housing (S301).
3. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei das Gehäuse derartig punktiert wird, dass zumindest die weiteren Öffnungen so ausgebildet sind, dass Partikel mit einem geometrischen Äquivalentdurchmesser kleiner 35 μιτι, bevorzugt kleiner 30 μιτι, besonders bevorzugt kleiner 25 μιτι nicht in das Gehäuse durch die weiteren Öffnungen eindringen können, so dass zumindest die weiteren Öffnungen als ein Partikelfilter dienen. 3. The method according to the preceding claim, wherein the housing is punctured such that at least the further openings are formed so that particles with a geometric equivalent diameter less than 35 μιτι, preferably less than 30 μιτι, more preferably less than 25 μιτι not in the housing by the can penetrate further openings, so that at least the other openings serve as a particle filter.
4. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das 4. The method according to at least one of the preceding claims, wherein the
Gehäuse derartig punktiert wird, dass zumindest die eine Öffnung mittels eines mechanischen Werkzeuges, insbesondere eines Stanzeisens, in das Gehäuse eingebracht wird (S300a). Housing is dotted in such a way that at least one opening by means of a mechanical tool, in particular a punching iron, is introduced into the housing (S300a).
5. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei das Gehäuse derartig punktiert wird, dass die weiteren Öffnungen, vorzugsweise mittels eines Lasers, in das Gehäuse eingebracht werden, nachdem die zumindest eine Öffnung mittels des mechanischen Werkzeuges eingebracht wurde (S301 ). 5. The method according to the preceding claim, wherein the housing is punctured such that the further openings, preferably by means of a laser in the Housing are introduced after the at least one opening has been introduced by means of the mechanical tool (S301).
6. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei die mittels des mechanischen Werkzeuges eingebrachte zumindest eine Öffnung nach dem Einbringen der weiteren6. The method according to the preceding claim, wherein the introduced by means of the mechanical tool at least one opening after the introduction of the other
Öffnungen mittels des Lasers wieder verschlossen wird (S300). Openings is closed again by means of the laser (S300).
7. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das Gehäuse derartig punktiert wird, dass die zumindest eine Öffnung und/oder die weiteren Öffnungen mittels eines gepulsten Lasers, insbesondere eines Pikosekunden- oder höher gepulsten Lasers, in das Gehäuse eingebracht wird bzw. werden (S300b). 7. The method according to at least one of claims 1 to 3, wherein the housing is punctured in such a way that the at least one opening and / or the further openings by means of a pulsed laser, in particular a picosecond or higher pulsed laser, is introduced into the housing or . (S300b).
8. Vorrichtung (1 ) zur Bestimmung einer Dichte (p) eines Mediums (2), insbesondere eines Gases, zumindest aufweisend: 8. Device (1) for determining a density (p) of a medium (2), in particular of a gas, comprising at least:
- einen Quarzoszillator (3), umfassend einen Schwingquarz (4), vorzugsweise in a quartz oscillator (3) comprising a quartz oscillator (4), preferably in
Form eines Uhrenquarzes, zur Erzeugung einer elektrischen Schwingung mit einer bestimmten Frequenz, vorzugsweise mit einer Frequenz von ca. 32,768 kHz, ein Gehäuse (5), in welches der Schwingquarz eingebracht ist und eine Schwingquarzelektronik (6), die dazu eingerichtet ist, den Schwingquarz zur Erzeugung der elektrischen Schwingung entsprechend anzusteuern und ein von der Frequenz abhängiges Ausgangssignal (Sout) bereitzustellen; Form of a quartz watch, for generating an electrical oscillation with a certain frequency, preferably with a frequency of about 32.768 kHz, a housing (5), in which the quartz crystal is introduced and a quartz crystal electronics (6), which is adapted to the quartz crystal correspondingly for generating the electrical oscillation and to provide a frequency-dependent output signal (Sout);
einen Leiterplatte (8), umfassend zumindest eine Auswerteeinheit (7), wobei der Quarzoszillator auf der Leiterplatte aufgebracht ist und elektrisch mit der  a printed circuit board (8) comprising at least one evaluation unit (7), wherein the quartz oscillator is mounted on the printed circuit board and electrically connected to the
Auswerteeinheit verbunden ist, so dass der Auswerteeinheit das Ausgangssignal der Schwingquarzelektronik zugeführt ist;  Evaluation unit is connected, so that the evaluation unit is supplied with the output signal of the quartz crystal electronics;
wobei in das Gehäuse des Quarzoszillators zumindest eine Öffnung (9) eingebracht ist, damit das Medium, dessen Dichte bestimmt werden soll, in Kontakt mit dem Schwingquarz treten und die Frequenz des Schwingquarzes in Abhängigkeit der Dichte verändern kann, und die Auswerteeinheit dazu eingerichtet ist, anhand des Ausgangssignals, welches die veränderte Frequenz repräsentiert, die Dichte zu bestimmen.  wherein in the housing of the quartz oscillator at least one opening (9) is introduced, so that the medium whose density is to be determined, come into contact with the quartz crystal and can change the frequency of the quartz crystal as a function of density, and the evaluation unit is adapted to determine the density based on the output signal representing the changed frequency.
9. Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei in das Gehäuse weitere Öffnungen (10) eingebracht sind. 9. Device according to the preceding claim, wherein in the housing further openings (10) are introduced.
10. Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei zumindest die weiteren Öffnungen so ausgebildet sind, dass keine Partikel mit einem geometrischen 10. Device according to the preceding claim, wherein at least the further openings are formed so that no particles with a geometric
Äquivalentdurchmesser kleiner 35 μιτι, bevorzugt kleiner 30 μιτι, besonders bevorzugt kleiner 25 μιτι in das Gehäuse durch die weiteren Öffnungen eindringen können, so dass zumindest die weiteren Öffnungen als ein Partikelfilter (1 1 ) dienen. Equivalent diameter smaller than 35 μιτι, preferably less than 30 μιτι, more preferably less than 25 μιτι can penetrate into the housing through the other openings, so that at least the other openings serve as a particulate filter (1 1).
1 1 . Vorrichtung nach zumindest einem der Ansprüche 8 bis 10, wobei die zumindest eine Öffnung und/oder die weiteren Öffnungen im Wesentlichen als kreisrunde Öffnungen ausgebildet ist bzw. sind. 1 1. Device according to at least one of claims 8 to 10, wherein the at least one opening and / or the further openings are or are formed substantially as circular openings.
12. Vorrichtung nach zumindest einem der Ansprüche 8 bis 1 1 , wobei die Leiterplatte einen ersten Bereich (12) und einen zweiten Bereich (13) aufweist, wobei der 12. The device according to at least one of claims 8 to 1 1, wherein the circuit board has a first region (12) and a second region (13), wherein the
Quarzoszillator in dem ersten Bereich und die Auswerteeinheit in dem zweiten Bereich angeordnet sind, wobei die Vorrichtung ferner einer Glasdurchführung (14) umfasst, die zwischen dem ersten und zweiten Bereich vorgesehen ist und der Quarzoszillator über die Glasdurchführung elektrisch mit der Auswerteeinheit verbunden ist. Quartz oscillator in the first region and the evaluation are arranged in the second region, wherein the device further comprises a glass feedthrough (14) which is provided between the first and second region and the quartz oscillator is electrically connected via the glass feedthrough to the evaluation unit.
13. Vorrichtung nach zumindest einem der Ansprüche 8 bis 12, wobei der Quarzoszillator bestimmungsgemäß als ein Frequenznormal dient und durch die zumindest eine Öffnung (9) in dem Gehäuse zur Messung der Dichte des Mediums, welches durch die zumindest eine Öffnung (9) eindringen kann, zweckentfremdet wird. 13. The device according to at least one of claims 8 to 12, wherein the quartz oscillator as intended serves as a frequency normal and through the at least one opening (9) in the housing for measuring the density of the medium, which can penetrate through the at least one opening (9) , is misappropriated.
14. Verwendung eines Quarzoszillator (3) zur Bestimmung einer Dichte eines Mediums (2), wobei der Quarzoszillator umfassend einen Schwingquarz (4), vorzugsweise in Form eines Uhrenquarzes, zur Erzeugung einer elektrischen Schwingung mit einer bestimmten Frequenz, vorzugsweise mit einer Frequenz von ca. 32,768 kHz, ein Gehäuse (5), in welches der Schwingquarz eingebracht ist und eine Schwingquarzelektronik (6), die dazu eingerichtet ist, den Schwingquarz zur Erzeugung der elektrischen Schwingung entsprechend anzusteuern und ein von der Frequenz abhängiges Ausgangssignal (Sout) bereitzustellen, wobei zur Verwendung des Quarzoszillator zur Bestimmung der Dichte des Mediums das Gehäuse derartig punktiert wird, dass zumindest eine Öffnung (9) in das Gehäuse eingebracht ist und der Quarzoszillator dem Medium ausgesetzt wird, so dass die Dichte die Frequenz und entsprechend das Ausgangssignal verändert. 14. Use of a quartz oscillator (3) for determining a density of a medium (2), the quartz oscillator comprising a quartz oscillator (4), preferably in the form of a quartz crystal, for generating an electrical oscillation with a specific frequency, preferably with a frequency of approx 32,768 kHz, a housing (5), in which the quartz crystal is incorporated and a Schwingquarzelektronik (6), which is adapted to control the oscillating quartz for generating the electrical oscillation and to provide a frequency-dependent output signal (Sout) for use of the quartz oscillator for determining the density of the medium, the housing is punctured such that at least one opening (9) is introduced into the housing and the quartz oscillator is exposed to the medium so that the density changes the frequency and correspondingly the output signal.
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