WO2018197546A1 - Verfahren und signalgenerator zum ansteuern eines akustooptischen elements - Google Patents

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    • G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
    • G02F1/33—Acousto-optical deflection devices

Definitions

  • the present invention relates to a method and a signal generator for driving an acousto-optic element, an arrangement of such a signal generator and an acousto-optic element and a microscope with such an arrangement.
  • excitation light with one or more predetermined wavelengths.
  • one or more excitation light beams which as a rule have to have given spectral properties, may be necessary.
  • wavelength-selective elements can be used, which are based on the acousto-optic effect.
  • acousto-optical elements usually have a so-called acousto-optic crystal, which by means of an acoustic signal generator, as a converter or
  • Transducer is vibrated.
  • a transducer has a piezoelectric material and two or more electrodes contacting this material.
  • HF high frequencies
  • RF radio frequencies
  • Crystals are characterized by the fact that the resulting sound wave changes the optical properties of the crystal.
  • acoustooptic elements examples include acoustooptic tunable filters (AOTF), acoustooptic modulators (AOM), acoustooptic deflectors
  • AOD acousto-optic beam splitters
  • AOBM acousto-optical beam combiner
  • a special challenge in the use of acousto-optical elements is their control.
  • the high-frequency electrical signals for the converter are usually in a frequency generator
  • VCO voltage-controlled oscillator
  • PLL phase-locked loop
  • DDS Direct Digital Synthesis
  • individual frequency generators e.g. DDS synthesizer, which are each e.g. generate a sinusoidal signal, combined, e.g. by analogous mixing of the output signals.
  • DDS synthesizer e.g. generate a sinusoidal signal
  • a digital superposition is possible, e.g. in the WO
  • Difference frequencies which can then lead to unwanted modulations of the derived from the diffracted light measurement or useful signal.
  • One consequence is, for example, stripe patterns in the image.
  • An additional problem in the control of an acousto-optic element follows from the temperature-dependent speed of sound in the acousto-optic crystal. If the crystal temperature is not kept at a constant value or the frequencies of the drive signal are not adjusted accordingly, the diffraction pattern shifts.
  • a frequency tracking is treated for example in DE 10 2007 053 199 AI. However, one is shaping up Frequency tracking with mixed signals extremely expensive, since the difference and sum frequencies change.
  • the invention is based on the measure that a drive signal for the acousto-optic element by means of a DDS method with a signal value sequence, which is composed of at least two frequency components, is generated.
  • the signal value sequence thus already contains the desired
  • this signal value sequence is stored in a memory device, for example in the form of a table.
  • the signal generation is based on only one signal value sequence, which also determines the difference frequencies between the frequency components. For example, to perform temperature tracking, only the DDS phase increment needs to be adjusted. The frequencies are automatically adjusted evenly, which also causes the
  • the signal value sequence is preferably composed of integer periods of each frequency component.
  • the signal value sequence could be the superposition of three frequency components, superimposed on 10 periods of a component having a first frequency, 11 periods of a component having a second frequency, and 12 periods of a component having a third frequency.
  • this example is not meant to be limiting. Any other combination of frequency components is possible. It is only important that integer periods of the different frequency components are superimposed. Will now in this example the
  • the signal value sequence is composed of at least three frequency components, of which at least one pair of two frequency components has the same frequency spacing from one another as another pair of two frequency components.
  • the signal value sequence is made up of an odd number of
  • the phase of at least one, preferably each of the frequency components at a certain time is predetermined in order to change a maximum in the signal value sequence.
  • the time is characterized by the first signal value, so that the phase can also be referred to as start phase. Every change of a start phase [0 ° to 360 °] of one of the frequency components leads to a superposition other signal value sequence with other maxima and minima.
  • at least one starting phase is now predefined such that the maximum value of the
  • a phase increment for passing through the signal value sequence is predefined as a function of a temperature of a crystal of the acousto-optical element. As explained, a change in the phase increment leads to a change in the frequencies in the drive signal. Such a temperature tracking of the frequency can be in the
  • Phase increment must be adjusted to adapt all frequency components to the new temperature conditions.
  • the frequency components are predetermined so that the waveform repeats after a time less than or equal to a threshold. This is advantageous because beating effects have no adverse effect such as a fringe pattern in the image when the threshold is small enough.
  • the threshold is 250 ns. This is advantageous because with a light beam diameter of e.g. 1 mm and a speed of sound of 4,000 m / s, the entire waveform repeated after no more than 250 ns. The light beam always "sees" the complete, repetitive one
  • control signal is already based on a signal value sequence with a plurality of frequency components, it may nevertheless be expedient to overlap a plurality of such control signals generated according to the invention, in particular by means of a digital superposition.
  • a digital superposition it is possible with the concept of the digital superposition of several DDS output signals to generate multiple frequencies with exactly known difference and sum frequencies. All signal generators should be driven by the same clock. If, in particular, several frequencies are to be realized with the exact same frequency spacing, the
  • Phase increments of the individual output frequencies have the same distance from each other.
  • the entire waveform repeats itself after the time given by the largest common divisor (gcd) of the individual phase increments.
  • the invention can be used particularly preferably for setting, in particular enlarging, a bandwidth of the acoustooptic element and / or for generating a plurality of illumination points from an illumination light illuminating the acoustooptic element, as will be explained in more detail below.
  • the position of the illumination points can be changed in particular by the phase increment.
  • a bandwidth of an acousto-optic element (with one or more given and applied to the transducer of the crystal high frequencies) with respect to the wavelength spectrum of the irradiated (broadband) light according to the invention is to be understood as the spectral width of the wavelength portion of the incident light in which the acousto-optic Element this incident light differs to a certain fixed intensity component in the 1st diffraction order.
  • Such a definition of the width may, for example, be based on the half width (FWHM) of the resulting intensity curve of the light diffracted into the first diffraction order. In essence, the intensity curve corresponds to that of a bandpass filter.
  • FIG. 1 shows a schematic representation of a DDS synthesizer with a signal waveform having a plurality of frequency components according to a preferred embodiment of the invention.
  • FIG. 2a shows a signal waveform with a plurality of frequency components according to a preferred embodiment of the invention.
  • FIG. 2b shows a signal waveform having a plurality of frequency components according to a preferred embodiment of the invention with an adapted phase relationship.
  • FIG. 3 shows a signal form with a plurality of frequency components according to a preferred embodiment of the invention with and without an adapted phase relationship.
  • FIG. 4 shows an overview of the typical elements of a confocal
  • FIG. 1 schematically shows a signal generator designed as a DDS synthesizer 100 according to a preferred embodiment of the invention.
  • the DDS synthesizer 100 is used to drive an acousto-optic crystal 202 of an acoustooptic element 200.
  • the acoustooptic element 200 also has a piezoelectric transducer 201 for displacing the crystal 202 into mechanical vibrations.
  • the DDS synthesizer 100 is followed in particular by an amplifier 150, in particular an adjustable amplifier, which serves to amplify an analog output signal 120 output by the DDS synthesizer 100.
  • the DDS synthesizer 100 has a memory device 101, in which a signal value sequence, for example in the form of a list or table with signal values, is stored.
  • the signal value sequence has a number of signal values (i.e.
  • Numerical values e.g. in the form of intensity values, which describes the signal waveform of the output signal 120 to be output.
  • intensity values which describes the signal waveform of the output signal 120 to be output.
  • Signal sequence 2048 comprise signal values that together form a period of the signal waveform to be output. According to the illustrated preferred embodiment
  • the signal value sequence consists of two
  • the DDS synthesizer 100 has a clock generator 102, which provides a clock signal with a fixed frequency, in the example 500 MHz. With this clock signal, an interpolator 103 and a digital / analogue
  • the clock signal is expediently to a maximum clock of the DAC 104 tuned or at least does not exceed.
  • the interpolator 103 is provided with a phase increment 103a and a phase space 103b.
  • the phase space 103b comprises a number of phase values (here, for example, 2 36 ) which define an address space of the values to be output.
  • the number of phase values should expediently be a multiple of the number of
  • the phase increment is used by the interpolator 103 to generate a
  • the DAC 104 outputs the respective signal value in accordance with the clock and thus generates the analog output signal 120.
  • the frequency / output signal 120 results as a product of
  • the signal value sequence could contain a superposition of three frequencies, so that 10 periods of a first frequency, 11 periods of a second frequency and 12 periods of a third frequency are superimposed. If the signal value sequence is now run through the phase increment 103a, three frequencies are output simultaneously. Is now due to temperature fluctuations, an adjustment of the
  • Frequency component and 12 periods of the third frequency component were traversed.
  • a value T is obtained, which results from the frequency ratios of the signal value sequence.
  • the magnitude of the signal value sequence and also the phase space must be increased in comparison to a sine signal value sequence in order to obtain a desired temporal resolution.
  • the phase increment should be adjusted in this case, since several periods are now output in a complete pass of the DDS table.
  • the solution according to the invention requires only a new value of the phase increment for this purpose.
  • the phase position of the individual frequency components is preferably predetermined or optimized such that the maximum occurring occurs
  • a signal is shown, which is composed of eight frequencies from 40 MHz to 75 MHz with identical frequency spacing 5 MHz, each with the same amplitude with value 1. At time zero, everyone starts
  • Phase shift of 0 °, 45 MHz with 270 °, 50 MHz with 90 ° (ie as cosine Signal), 55 MHz at 180 °, 60 MHz at 180 °, 65 MHz at 90 °, 70 MHz at 270 ° and 75 MHz at 0 °.
  • Application 1 Generation of multiple illumination points (multispots). For generating a plurality of illumination points and / or focal regions in an illumination beam path of a microscope, a drive signal 120 having a plurality of frequency components may be applied to an AOD as the acoustooptic element 200 at which the illumination light is refracted.
  • the drive signal can be composed of eight frequency components from 40 MHz to 75 MHz with an identical frequency spacing of 5 MHz.
  • the diffraction intensities of the light remain constant over time for all eight spots.
  • a change in the phase increment leads to a uniform spread of all eight beams, so that either temperature effects can be compensated or the image field or the zoom factor can be set.
  • Application 2 Bandwidth increase in white light laser.
  • the bandwidth for sinusoidal activation is determined by the crystal geometry and the size of the given piezoelectric transducer 201.
  • the spectral shape of the diffraction efficiency is essentially described by a sinc function. Now, if a 2nd frequency is applied which is within or near the bandwidth, one would expect the bandwidth to increase corresponding to a second spectrally slightly shifted sinc function. When illuminated with white light, a larger portion of the spectrum is then diffracted. Such a method is described in the application DE 10 2014 009 142 AI. There is however not received that a second created
  • Frequency within the bandwidth leads to particularly disturbing beat effects. If the two frequencies differ by less than 1 MHz, for example, the beating time is greater than 1 ⁇ 5. But that's a typical one
  • Another solution is to generate almost any bandwidth of the AOTF by means of suitable, more complex excitation signals.
  • Linear combination of sinusoidal signals of suitable frequency and phase position can be displayed.
  • Particularly desirable is the AOTF a rectangular
  • FIG. 2 Another example of a superposition of three frequencies, as might be relevant to Application 2, is shown in FIG. Here are three
  • FIG. 4 schematically shows an exemplary confocal microscope with typical components.
  • 500 denotes the entire system.
  • the confocal scanning and detection unit is designated 505.
  • Lighting device is designated 506.
  • the illumination device an arrangement according to FIG. 1 is provided. It is also possible that the illumination device 506 is not connected directly to the raster and detection unit 505, but via an optical fiber (not shown).
  • At 508 is a laser light source connected to the illumination device 506 via an optical fiber 507.
  • the illumination device 506 is connected to the illumination device 506 via an optical fiber 507.
  • Laser light source 508 may also be connected directly to the illumination device 506. If desired, the laser light is influenced in the illumination device 506 by means of an acousto-optical element.
  • 504 denotes an optical adapter for the confocal raster
  • Detection unit 505 on the microscope stand 501. Within the tripod 501 is located the stage 502 with a sample to be examined 503. A
  • Control unit 509 is connected via respective connecting lines with the individual components 508, 506, 505 and 501 in connection.
  • a computer with control and presentation programs is labeled 510; he is also in communication with the control unit 509.
  • a classical confocal beam path is arranged, which is constructed in a known manner with a single pinhole and a beam scanner, for example a mirror scanner.
  • the sample to be examined 503 is illuminated by a microscope optics, as well as the same microscope optics imaged in particular on a sensor array 511, depending on the embodiment of the confocal grid and
  • Detection unit 505 from a photomultiplier or an array of

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ansteuern eines akustooptischen Elements (200) mit einem Ansteuersignal (120), das mittels eines DDS-Verfahrens mit einer Signalwertfolge, die sich aus mindestens zwei Frequenzkomponenten zusammensetzt, erzeugt wird. Weiterhin betrifft die Erfindung einen Signalgenerator (100) zum Ansteuern eines akustooptischen Elements (200) sowie ein Mikroskop.

Description

Verfahren und Signalgenerator zum Ansteuern eines akustooptischen
Elements
Beschreibung
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und einen Signalgenerator zum Ansteuern eines akustooptischen Elements, eine Anordnung aus einem solchen Signalgenerator und einem akustooptischen Element sowie ein Mikroskop mit einer solchen Anordnung.
Stand der Technik
Eine wesentliche Herausforderung in Bereichen der Mikroskopie ist, unabhängig vom eingesetzten Verfahren, die Bereitstellung von Anregungslicht mit einer oder mehreren vorgegebenen Wellenlängen. Je nach Art des Mikroskopieverfahrens und/oder nach Art der Probe können ein oder mehrere Anregungslichtstrahlen, welche in der Regel vorgegebene spektrale Eigenschaften aufweisen müssen, notwendig sein. Beispielsweise ist es auf dem Gebiet der Fluoreszenzmikroskopie wichtig, Licht mit derjenigen Wellenlänge zu verwenden, die die Fluoreszenz anregt. Verschiedene Wellenlängen werden insbesondere dann gebraucht, wenn die Probe
Fluoreszenzstoffe mit unterschiedlichen Anregungswellenlängen enthält. Auf dem Gebiet der konfokalen Rastermikroskopie ist es von besonderem
Interesse, die Intensitäten für bestimmte Wellenlängen anzupassen oder bestimmte Wellenlängen ein- oder auszuschalten. Zu diesem Zweck können wellenlängenselektive Elemente zum Einsatz kommen, welche auf dem akustooptischen Effekt basieren. Derartige akustooptische Elemente weisen in der Regel einen sogenannten akustooptischen Kristall auf, welcher mittels eines akustischen Signalgebers, auch als Wandler oder
"Transducer" bezeichnet, in Schwingung versetzt wird. In der Regel weist ein derartiger Wandler ein piezoelektrisches Material sowie zwei oder mehrere dieses Material kontaktierende Elektroden auf. Durch elektrisches Beschälten der Elektroden mit Hochfrequenzen (HF, auch: Radiofrequenzen, RF, radio
frequencies), die typischerweise im Bereich zwischen 10 MHz und 10 GHz liegen, wird das piezoelektrische Material zum Schwingen angeregt, so dass eine akustische Welle entstehen kann, die den Kristall durchläuft. Akustooptische
Kristalle zeichnen sich dadurch aus, dass die entstehende Schallwelle die optischen Eigenschaften des Kristalls verändert.
Beispiele für solche akustooptischen Elemente sind akustooptische abstimmbare Filter (AOTF), akustooptische Modulatoren (AOM), akustooptische Ablenker
(AOD), akustooptische Strahlteiler (AOBS) und akustooptische Strahlvereiniger (AOBM).
Eine besondere Herausforderung bei der Verwendung von akustooptischen Elementen stellt deren Ansteuerung dar. Die hochfrequenten elektrischen Signale für den Wandler werden üblicherweise in einem Frequenzgenerator
(beispielsweise ein spannungsgesteuerter Oszillator (englisch voltage-controlled oscillator, VCO), in einer Phasenregelschleife (englisch phase-locked loop, PLL), oder in einem Synthesizer nach dem DDS-Verfahren (direkte digitale Synthese (englisch direct digital synthesis)) erzeugt und mittels Hochfrequenzverstärkers so verstärkt, dass die Amplitude genügend groß ist, um den Kristall in Schwingung zu versetzen. Bei mehreren gleichzeitig angelegten, unterschiedlichen Ansteuerfrequenzen können Lichtstrahlen mehrerer Wellenlängen gleichzeitig (beispielsweise bei einem AOTF, AOBS, AOBM, AOM) beziehungsweise eine Wellenlänge eines einfallenden Lichtstrahls in mehrere Lichtstrahlen
verschiedener Richtungen gleichzeitig (beispielsweise bei einem AOD) abgelenkt werden.
Zur Erzeugung eines Ansteuersignais mit mehreren Frequenzen können einzelne Frequenzgeneratoren, z.B. DDS-Synthesizer, welche je z.B. ein sinusförmiges Signal generieren, kombiniert werden, z.B. durch analoges Mischen der Ausgangssignale. Alternativ ist auch eine digitale Superposition möglich, wie z.B. in der WO
2011/154501 AI gezeigt. Ein beispielhafter DDS-Synthesizer ist in Figur 1 dargestellt. Bei mehreren gleichzeitig verwendeten Ansteuerfrequenzen ergeben sich aufgrund von Nichtlinearitäten in Verstärker, Transducer, Kristall oder
anderweitigem Energieaustausch zwischen den Ansteuerfrequenzen immer auch Schwebungen beziehungsweise Intensitätsschwankungen, welche mit sämtlichen Differenz- und Summenfrequenzen auftreten können. Besonders störend sind dabei Modulationen des gebeugten Lichts aufgrund von (kleinen)
Differenzfrequenzen, welche dann auch zu unerwünschten Modulationen des aus dem gebeugten Licht abgeleiteten Mess- bzw. Nutz-Signals führen können. Eine Folge sind beispielsweise Streifenmuster im Bild. Ein zusätzliches Problem bei der Ansteuerung eines akustooptischen Elements folgt aus der temperaturabhängigen Schallgeschwindigkeit im akustooptischen Kristall. Wird die Kristalltemperatur nicht auf einem konstanten Wert gehalten oder werden die Frequenzen des Ansteuersignais nicht entsprechend nachgeführt, verschiebt sich das Beugungsmuster. Eine Frequenznachführung wird z.B. in der DE 10 2007 053 199 AI behandelt. Jedoch gestaltet sich eine Frequenznachführung bei gemischten Signalen äußerst aufwendig, da sich die Differenz- und Summenfrequenzen verändern.
Es ist wünschenswert, akustooptische Elemente mit einer Überlagerung von mehreren Ansteuerfrequenzen zu betreiben. Dabei sollen unerwünschte
Schwebungen der Intensität des gebeugten Lichts minimiert werden.
Offenbarung der Erfindung Erfindungsgemäß werden ein Verfahren und einen Signalgenerator zum Ansteuern eines akustooptischen Elements, eine Anordnung aus einem solchen
Signalgenerator und einem akustooptischen Element sowie ein Mikroskop mit einer solchen Anordnung mit den Merkmalen der unabhängigen Patentansprüche vorgeschlagen. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der Unteransprüche sowie der nachfolgenden Beschreibung.
Die Erfindung basiert auf der Maßnahme, dass ein Ansteuersignal für das akustooptische Element mittels eines DDS-Verfahrens mit einer Signalwertfolge, die sich aus mindestens zwei Frequenzkomponenten zusammensetzt, erzeugt wird. Die Signalwertfolge beinhaltet somit bereits die erwünschte
Frequenzkombination aus zwei oder mehr Frequenzen für das Ansteuersignal. Bei der apparativen Implementierung in einem Signalgenerator bzw. DDS-Synthesizer ist dann diese Signalwertfolge in einer Speichereinrichtung, beispielsweise in Form einer Tabelle, hinterlegt.
Vorteilhaft ist dabei, dass der Signalerzeugung nur eine Signalwertfolge zugrunde liegt, die auch die Differenzfrequenzen zwischen den Frequenzkomponenten festgelegt. Um beispielsweise eine Temperaturnachführung durchzuführen, braucht nur das DDS-Phaseninkrement angepasst zu werden. Die Frequenzen werden automatisch gleichmäßig nachgeführt, wodurch auch die
Differenzfrequenzen entsprechend nachgeführt werden. Die Signalwertfolge setzt sich vorzugsweise aus ganzzahligen Perioden jeder Frequenzkomponente zusammen. Beispielsweise könnte die Signalwertfolge die Überlagerung von drei Frequenzkomponenten sein, wobei 10 Perioden einer Komponente mit einer ersten Frequenz, 11 Perioden einer Komponente mit einer zweiten Frequenz und 12 Perioden einer Komponente mit einer dritten Frequenz überlagert sind. Dieses Beispiel ist selbstverständlich nicht beschränkend zu verstehen. Auch jede beliebige andere Kombination von Frequenzkomponenten ist möglich. Wichtig ist lediglich, dass ganzzahlige Perioden der verschiedenen Frequenzkomponenten überlagert sind. Wird nun in diesem Beispiel die
Signalwertfolge mittels eines Phaseninkrements durchlaufen, so bleiben die Frequenzverhältnisse untereinander unabhängig von der tatsächlichen Größe des Phaseninkrements erhalten. In einer vorteilhaften Ausführungsform setzt sich die Signalwertfolge aus wenigstens drei Frequenzkomponenten zusammen, von denen wenigstens ein Paar aus zwei Frequenzkomponenten den gleichen Frequenzabstand voneinander hat wie ein anderes Paar aus zwei Frequenzkomponenten. Dies erlaubt,
Schwebungen auszulöschen, wie weiter unten noch erläutert wird. Setzt sich weiter vorzugsweise die Signalwertfolge aus einer ungeraden Anzahl von
Frequenzen zusammen, ist eine Schwebungsauslöschung besonders einfach, da sich immer jeweils zwei Frequenzdifferenzen gegenseitig auslöschen können. Für diesen Fall hat idealerweise je eine gerade Anzahl, insbesondere zwei, von Paaren aus zwei Frequenzkomponenten den gleichen Frequenzabstand voneinander.
In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform wird die Phase wenigstens einer, vorzugsweise jeder der Frequenzkomponenten zu einem bestimmten Zeitpunkt vorgegeben, um ein Maximum in der Signalwertfolge zu verändern. Insbesondere ist der Zeitpunkt durch den ersten Signalwert charakterisiert, so dass die Phase auch als Startphase bezeichnet werden kann. Jede Veränderung einer Startphase [0° bis 360°] einer der Frequenzkomponenten führt in der Überlagerung zu einer anderen Signalwertfolge mit anderen Maxima und Minima. Vorteilhaft wird nun wenigstens eine Startphase so vorgegeben, dass der Maximalwert der
Signalwertfolge möglichst klein bzw. minimal wird. Dies ist vorteilhaft, da umso weniger Nichtlinearitäten und Schwebungen beobachtet werden, je kleiner die Maximalwerte sind.
In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform wird ein Phaseninkrement zum Durchlaufen der Signalwertfolge abhängig von einer Temperatur eines Kristalls des akustooptischen Elements vorgegeben. Wie erläutert, führt eine Veränderung des Phaseninkrements zu einer Veränderung der Frequenzen im Ansteuersignal. Eine solche Temperaturnachführung der Frequenz lässt sich bei dem
erfindungsgemäßen Verfahren besonders gut durchführen, da nur das
Phaseninkrement angepasst werden muss, um sämtliche Frequenzkomponenten an die neuen Temperaturgegebenheiten anzupassen.
Bevorzugt werden die Frequenzkomponenten so vorgegeben, dass sich die Signalform nach einer Zeit kleiner gleich einem Schwellwert wiederholt. Dies ist vorteilhaft, da Schwebungseffekte keinen nachteiligen Effekt wie zum Beispiel ein Streifenmuster im Bild haben, wenn der Schwellwert klein genug ist.
Zweckmäßigerweise beträgt der Schwellwert 250 ns. Dies ist vorteilhaft, da bei einem Lichtstrahldurchmesser von z.B. 1 mm und einer Schallgeschwindigkeit von 4.000 m/s sich die gesamte Signalform nach spätestens 250 ns wiederholt. Der Lichtstrahl "sieht" also immer den kompletten, sich wiederholenden
Gitterabschnitt.
Obwohl erfindungsgemäß einem Ansteuersignal bereits eine Signalwertfolge mit mehreren Frequenzkomponenten zugrunde liegt, kann dennoch zweckmäßig sein, mehrere solcher erfindungsgemäß erzeugter Ansteuersignal zu überlagen, insbesondere im Wege einer digitalen Superposition. Prinzipiell ist es mit dem Konzept der digitalen Superposition mehrerer DDS- Ausgangssignale möglich, mehrere Frequenzen mit exakt bekannten Differenz- und Summenfrequenzen zu erzeugen. Alle Signalgeneratoren sollten dazu von demselben Taktgeber getrieben werden. Sollen insbesondere mehrere Frequenzen mit dem exakt gleichen Frequenzabstand realisiert werden, sollten die
Phaseninkremente der einzelnen Ausgabefrequenzen denselben Abstand zueinander haben. Die gesamte Signalform wiederholt sich dabei nach der Zeit, die durch den größten gemeinsamen Teiler (ggT) der einzelnen Phaseninkremente gegeben ist.
Die Erfindung lässt sich besonders bevorzugt zur Einstellung, insbesondere Vergrößerung, einer Bandbreite des akustooptischen Elements und/oder zur Erzeugung mehrerer Beleuchtungspunkte aus einem das akustooptische Element beleuchtenden Beleuchtungslicht, wie weiter unten noch genauer erläutert wird, einsetzen. Die Position der Beleuchtungspunkte lässt sich dabei insbesondere durch das Phaseninkrement verändern.
Unter einer Bandbreite eines akustooptischen Elements (bei ein oder mehr vorgegebenen und an den Transducer des Kristalls angelegten Hochfrequenzen) hinsichtlich des Wellenlängenspektrums des eingestrahlten (breitbandigen) Lichts im Sinne der Erfindung ist die spektrale Breite des Wellenlängenteilbereiches des eingestrahlten Lichts zu verstehen, in dem das akustooptische Element dieses eingestrahlte Licht zu einem bestimmten festgesetzten Intensitätsanteil in die 1. Beugungsordnung beugt. Eine solche Definition der Breite kann beispielsweise basierend auf der Halbwertsbreite (FWHM) des sich ergebenen Intensitätsverlaufs des in die 1. Beugungsordnung gebeugten Lichts erfolgen. Im Wesentlichen entspricht der Intensitätsverlauf dem eines Bandpasses.
Die so gewonnene Bandbreite eines akustooptischen Elements variiert mit der oder den an den Transducer des Kristalls angelegten Hochfrequenzen. Weitere Vorteile und Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus der
Beschreibung und der beiliegenden Zeichnung.
Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
Die Erfindung ist anhand eines Ausführungsbeispiels in der Zeichnung schematisch dargestellt und wird im Folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnung beschrieben.
Figurenbeschreibung Figur 1 zeigt eine schematische Darstellung eines DDS- Synthesizers mit einer Signalform mit mehreren Frequenzkomponenten gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung.
Figur 2a zeigt eine Signalform mit mehreren Frequenzkomponenten gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung.
Figur 2b zeigt eine Signalform mit mehreren Frequenzkomponenten gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung mit angepasster Phasenbeziehung.
Figur 3 zeigt je eine Signalform mit mehreren Frequenzkomponenten gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung mit und ohne angepasste Phasenbeziehung. Figur 4 zeigt eine Übersicht über die typischen Elemente eines konfokalen
Mikroskops in schematischer Ansicht. Detaillierte Beschreibung der Zeichnung
Figur 1 zeigt schematisch einen als DDS-Synthesizer 100 gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ausgebildeten Signalgenerator.
Der DDS-Synthesizer 100 dient zur Ansteuerung eines akustooptischen Kristalls 202 eines akustooptischen Elements 200. Das akustooptische Element 200 weist außerdem einen piezoelektrischen Wandler 201 zur Versetzung des Kristalls 202 in mechanische Schwingungen auf.
Dem DDS-Synthesizer 100 ist insbesondere ein, insbesondere verstellbarer, Verstärker 150 nachgeschaltet, der dazu dient, ein von dem DDS-Synthesizer 100 ausgegebenes analoges Ausgangssignal 120 zu verstärken.
Der DDS-Synthesizer 100 weist eine Speichereinrichtung 101 auf, in der eine Signalwertfolge, beispielsweise in Form einer Liste oder Tabelle mit Signalwerten, abgelegt ist. Die Signalwertfolge weist eine Anzahl von Signalwerten (d.h.
Zahlenwerte), z.B. in Form von Intensitätswerten, auf, welche die auszugebende Signalform des Ausgangssignals 120 beschreibt. Beispielsweise kann die
Signalwertfolge 2048 Signalwerte umfassen, die zusammen eine Periode der auszugebenden Signalform bilden. Gemäß der dargestellten bevorzugten
Ausführungsform der Erfindung setzt sich die Signalwertfolge aus zwei
Frequenzkomponenten zusammen. Im vorliegenden Beispiel handelt es sich um die Überlagerung von zwei Sinusschwingungen mit beispielsweise einem
Frequenzverhältnis von 5:6.
Weiterhin weist der DDS-Synthesizer 100 einen Taktgeber 102 auf, der ein Taktsignal mit einer festen Frequenz, im Beispiel 500 MHz, zur Verfügung stellt. Mit diesem Taktsignal werden ein Interpolator 103 und ein Digital/Analog-
Wandler (DAC) 104 getrieben. Das Taktsignal ist zweckmäßigerweise auf einen maximalen Takt des DAC 104 abgestimmt bzw. überschreitet diese zumindest nicht.
Dem Interpolator 103 werden ein Phaseninkrement 103a und ein Phasenraum 103b bereitgestellt.
Der Phasenraum 103b umfasst eine Anzahl von Phasenwerten (hier beispielsweise 236), welche einen Adressraum der auszugebenden Werte definieren. Die Anzahl der Phasenwerte sollte zweckmäßigerweise ein Vielfaches der Anzahl der
Signalwerte betragen, wobei dieses Vielfache die maximale Frequenzauflösung des Ausgangssignals definiert.
Das Phaseninkrement wird vom Interpolator 103 verwendet, um einen
Phasenzählwert nach Maßgabe des Taktes jeweils zu erhöhen. Beträgt das
Phaseninkrement wie im vorliegenden Beispiel 232, wird der Phasenraum mit 236 Phasenwerten in 24 = 16 Schritten durchlaufen.
Der Interpolator 103 ermittelt zu jedem Schritt einen Signalwert, im vorliegenden Beispiel jeden 2048/16=128ten, und übergibt diesen an den DAC 104. Wenn notwendig, kann der Interpolator 103 den zu übergebenden Signalwert auch durch Interpolation aus den gespeicherten Signalwerten bestimmen.
Der DAC 104 gibt den jeweiligen Signalwert nach Maßgabe des Taktes aus und erzeugt auf diese Weise das analoge Ausgangssignal 120.
Die Frequenz/des Ausgangssignal 120 ergibt sich als Produkt der
Ausgabefrequenz/z c des DAC 104 mit dem Quotienten aus Phaseninkrement [103a] und Phasenraumgröße [103b],
fDÄC - [l03a]
[103b]
d.h. im vorliegenden Beispiel zu 500 MHz * (232/236) = 500 MHz/16. Nach Maßgabe der vorliegenden Erfindung setzt sich, wie erläutert, die
gespeicherte Signalwertfolge aus mehreren Frequenzkomponenten zusammen. Beispielsweise könnte die Signalwertfolge eine Überlagerung von drei Frequenzen enthalten, so dass 10 Perioden einer ersten Frequenz, 11 Perioden einer zweiten Frequenz und 12 Perioden einer dritten Frequenz überlagert sind. Wird nun die Signalwertfolge mittels des Phaseninkrements 103a durchlaufen, so werden drei Frequenzen gleichzeitig ausgegeben. Wird nun aufgrund von Temperaturschwankungen eine Anpassung der
Frequenzen bzw. des Phaseninkrements erforderlich, so bleiben die„idealen" Frequenzverhältnisse weiter bestehen und die gesamte Kurvenform wiederholt sich wieder nach einem Durchlauf der Signalwertfolge, wobei dann genau die 10 Perioden der ersten Frequenzkomponente, 11 Perioden der zweiten
Frequenzkomponente und 12 Perioden der dritten Frequenzkomponente durchlaufen wurden.
Eine maximale Schwebungs-Periodendauer T ergibt sich dann zu
T _ ["»fr]
Somit erhält man für alle Werte des Phaseninkrements einen Wert T, der sich aus den Frequenzverhältnissen der Signalwertfolge ergibt. Gegebenenfalls muss die Größe der Signalwertfolge und auch des Phasenraums im Vergleich zu einer Sinus- Signalwertfolge vergrößert werden, um eine erwünschte zeitliche Auflösung zu erhalten. Das Phaseninkrement ist in diesem Fall anzupassen, da bei einem kompletten Durchlauf der DDS-Tabelle jetzt ja mehrere Perioden ausgegeben werden.
Sollen beispielsweise drei Frequenzen im Verhältnis 10 / 11 / 12 ausgegeben werden (der Einfachheit halber 10 MHz, 11 MHz und 12 MHz), würde man bei einem herkömmlichen Aufbau mit drei separaten DDS- Synthesizern folgende Parameter wählen:
Phaseninkrementl = 1374389530
Frequenzl = 9,9999999656574800610542297363281e+6
Phaseninkrement2 = 1511828483
Frequenz2 = l,0999999962223228067159652709961e+7 Phaseninkrement3 = 1649267436
Frequenz3 = l,1999999958788976073265075683594e+7)
Sollen jetzt, z.B. aufgrund einer Temperaturänderung, alle Frequenzen gleichmäßig erhöht werden, so ist die nächste mögliche Kombination:
Phaseninkrementl = 1374389540
Frequenzl = l,0000000038417056202888488769531e+7
Phaseninkrement2 = 1511828494
Frequenz2 = l,1000000042258761823177337646484e+7
Phaseninkrement3 = 1649267448
Frequenz3 = l,2000000046100467443466186523438e+7 Möchte man außerdem die Phasenbeziehung während der kontinuierlichen DAC- Ausgabe beibehalten, so muss die Änderung aller Phaseninkremente gleichzeitig, d.h. in einem Zeitraum 1//DAC erfolgen.
Im Vergleich dazu muss bei einer gewünschten Frequenzänderung im Rahmen der Erfindung lediglich ein Phaseninkrement geändert werden. Während sich dieses einfache Beispiel - wenn auch mit Schwierigkeiten - mit einer Anordnung mit separaten DDS- Synthesizern noch darstellen lässt, so ist dies bei komplexeren Kurvenformen, wie in den Figuren 2 und 3 gezeigt, nahezu
unmöglich zu realisieren. Um eine beliebige Kurvenform beizubehalten und während der DAC -Ausgabe die Frequenz zu ändern, müssten bei separaten DDS- Synthesizern sämtliche vorkommenden Frequenzkomponenten analysiert (z.B. mittels FFT) und dann sämtliche Phaseninkremente entsprechend der erlaubten Schrittweiten in 1//DAC neu gesetzt werden. Die Anzahl der notwendigen DDS- Synthesizer entspricht in einem solchen nicht erfindungsgemäßen Fall der Anzahl der Frequenzkomponenten.
Die erfindungsgemäße Lösung hingegen benötigt auch hierfür nur einen neuen Wert des Phaseninkrements. In einer Weiterbildung der Erfindung, die nun anhand der Figuren 2a, 2b und 3 erläutert wird, wird die Phasenlage der einzelnen Frequenzkomponenten bevorzugt so vorgegeben bzw. optimiert, dass die maximal auftretenden
Signalwerte möglichst klein sind. Je kleiner die Maximalwerte, desto weniger Nichtlinearitäten und Schwebungen werden beobachtet.
In Fig. 2a ist ein Signal gezeigt, welches sich aus acht Frequenzen von 40 MHz bis 75 MHz mit identischem Frequenzabstand 5 MHz, jeweils mit gleicher Amplitude mit Wert 1 zusammensetzt. Zum Zeitpunkt Null beginnen alle
Frequenzkomponenten mit einem Sinus ohne Phasenverschiebung. Daraus ergibt sich eine maximale Amplitude, welche unwesentlich kleiner als die Summe der Einzelamplituden ist (in diesem Beispiel knapp unter 8).
Im Gegensatz dazu wurden gemäß Figur 2b geeignete Phasenverschiebungen zwischen den Frequenzen zum Zeitpunkt 0 vorgegeben, sog. Startphasen. Die Frequenzkomponente mit 40 MHz startet zum Zeitpunkt 0 mit einer
Phasenverschiebung von 0°, 45 MHz mit 270°, 50 MHz mit 90° (d.h. als Kosinus- Signal), 55 MHz mit 180° Grad, 60 MHz mit 180°, 65 MHz mit 90°, 70 MHz mit 270° und 75 MHz mit 0°.
Obwohl das Signal aus den gleichen Frequenzkomponenten und mit den gleichen Amplituden wie in Figur 2a zusammengesetzt ist, wird hier die maximale
Auslenkung kaum größer als 4. Wenn man davon ausgeht, dass Nichtlinearitäten die Schwebungen verursachen, so trägt die Optimierung der Startphasen deutlich zur Reduzierung der Schwebungen bei. Nur beispielhaft seien im Folgenden zwei Anwendungsmöglichkeiten für die vorliegende Erfindung genannt.
Anwendung 1: Erzeugung von mehreren Beleuchtungspunkten (Multispots). Zur Erzeugung von mehreren Beleuchtungspunkten und/oder Fokalregionen in einem Beleuchtungsstrahlengang eines Mikroskops kann ein Ansteuersignal 120 mit mehreren Frequenzkomponenten an einen AOD als akustooptisches Element 200, an dem das Beleuchtungslicht gebrochen wird, angelegt werden.
Beispielsweise kann sich das Ansteuersignal aus acht Frequenzkomponenten von 40 MHz bis 75 MHz mit identischem Frequenzabstand 5 MHz zusammensetzen.
Durch die Definition einer Signalwertfolge mit allen entsprechenden Frequenzen bleiben die Beugungsintensitäten des Lichts für alle acht Spots zeitlich konstant. Eine Veränderung des Phaseninkrements führt zu einer gleichmäßigen Spreizung aller acht Strahlen, so dass entweder Temperatureffekte kompensiert werden können oder auch das Bildfeld oder der Zoomfaktor eingestellt werden können.
Anwendung 2: Bandbreitenvergrößerung beim Weißlichtlaser. Bei einem AOTF als akustooptisches Element 200 ist die Bandbreite bei sinusförmiger Ansteuerung durch die Kristallgeometrie und die Größe des piezoelektrischen Wandlers 201 gegeben. Der spektrale Verlauf der Beugungseffizienz wird im Wesentlichen durch eine Sinc-Funktion beschrieben. Wird nun eine 2te Frequenz angelegt, welche innerhalb oder nahe der Bandbreite liegt, sollte man erwarten, dass sich die Bandbreite entsprechend einer zweiten, spektral etwas verschobenen Sinc-Funktion dadurch vergrößert. Bei Beleuchtung mit weißem Licht wird dann ein größerer Anteil des Spektrums gebeugt. Ein derartiges Verfahren ist in der Anmeldung DE 10 2014 009 142 AI beschrieben. Dort wird allerdings nicht darauf eingegangen, dass eine zweite angelegte
Frequenz innerhalb der Bandbreite zu besonders störenden Schwebungseffekten führt. Unterscheiden sich die beiden Frequenzen um beispielsweise weniger als 1 MHz, so liegt die Schwebungsdauer über 1 μ5. Das ist aber eine typische
Aufnahmedauer eines Bildpunktes. D.h. bei der einfachen Überlagerung zweier dicht benachbarter Frequenzen ist die Schwebung auf jeden Fall deutlich sichtbar. Ein Lösungsansatz besteht jetzt darin, eine ungerade Anzahl von Frequenzen, z.B. drei, so zu überlagern, dass je eine gerade Anzahl (vorzugsweise zwei) von Paaren aus zwei Frequenzen den gleichen Frequenzabstand voneinander haben. Durch geeignete Wahl der Startphasen kann dann erreicht werden, dass die aus der Differenz von Frequenz_l und Frequenz_2 entstehende Schwebung gegenphasig zu der aus der Differenz von Frequenz_2 und Frequenz_3 entstehenden Schwebung läuft und sich die beiden Schwebungen kompensieren. Auch hier ist die
Kombination aller Frequenzen in einer einzigen Signalwertfolge essentiell, um auch bei Frequenzverschiebungen die Frequenz- und Phasenverhältnisse beizubehalten.
Ein weiterer Lösungsansatz besteht darin, sich nahezu beliebige Bandbreiten des AOTFs durch geeignete, komplexere Anregungssignale zu generieren.
Grundsätzlich sind sämtliche möglichen Signalformen durch eine
Linearkombination von Sinussignalen geeigneter Frequenz und Phasenlage darstellbar. Besonders erstrebenswert ist beim AOTF ein rechteckförmiges
Transmissionsverhalten. Ein Ansatz, um dies zu erreichen, ist beispielsweise das Produkt einer Sinus-Schwingung mit einer Sinc-Funktion. Es ist aber darauf zu achten, dass periodische Randbedingungen für die Signalwertfolge erfüllt sind, d.h. die Signalform sollte sich ohne Sprung oder Knick fortsetzen lassen. Ist die zum Erreichen eines gewünschten Bandbreitenprofils notwendige
Signalform gefunden, kann diese durch einfaches Ändern eines Phaseninkrements auf verschiedene Wellenlängenbereiche verschoben werden.
Ein weiteres Beispiel einer Überlagerung von drei Frequenzen, wie sie für die Anwendung 2 relevant sein könnte, ist in Figur 3 gezeigt. Hier sind drei
Frequenzen im Verhältnis 100 / 100,5 / 101 überlagert. Im oberen Bild liegt die Startphase der mittleren Frequenz bei 0° und im unteren Bild liegt sie bei 90°. Auch hier sieht man deutlich den Effekt der Startphase auf die maximale
Amplitude. Bei dem unteren Bild ist die maximale Amplitude deutlich geringer.
Figur 4 zeigt schematisch ein beispielhaftes Konfokalmikroskop mit typischen Komponenten. 500 bezeichnet das Gesamtsystem. Die konfokale Raster- und Detektionseinheit ist mit 505 bezeichnet. Die dazugehörige
Beleuchtungseinrichtung ist mit 506 bezeichnet. In der Beleuchtungseinrichtung ist eine Anordnung gemäß Figur 1 vorgesehen. Es ist ebenso möglich, dass die Beleuchtungseinrichtung 506 nicht direkt mit der Raster- und Detektionseinheit 505 verbunden ist, sondern über eine Lichtleitfaser (nicht gezeigt).
Bei 508 handelt es sich um eine Laserlichtquelle, die über eine Lichtleitfaser 507 mit der Beleuchtungseinrichtung 506 verbunden ist. Alternativ kann die
Laserlichtquelle 508 auch direkt mit der Beleuchtungseinrichtung 506 verbunden sein. Das Laserlicht wird in der Beleuchtungseinrichtung 506 gewünschtenfalls mittels eines akustooptischen Elements beeinflusst.
504 bezeichnet einen optischen Adapter für die konfokale Raster- und
Detektionseinheit 505 am Mikroskopstativ 501. Innerhalb des Stativs 501 befindet sich der Objekttisch 502 mit einer zu untersuchenden Probe 503. Eine
Steuereinheit 509 steht über entsprechende Verbindungsleitungen mit den einzelnen Komponenten 508, 506, 505 und 501 in Verbindung. Ein Rechner mit Steuer- und Darstellungsprogrammen ist mit 510 bezeichnet; auch er steht mit der Steuereinheit 509 in Verbindung.
Innerhalb der konfokalen Raster- und Detektionseinheit 505 ist in einer ersten Variante ein klassischer konfokaler Strahlengang angeordnet, der in bekannter Weise mit einem einzelnen Pinhole und einem Strahlscanner, beispielsweise einem Spiegelscanner, aufgebaut ist.
In einer zweiten Variante befindet sich innerhalb der konfokalen Raster- und Detektionseinheit 505 ein Strahlengang, bei dem die Probe gleichzeitig mit einem oder mehreren oder in einer Richtung ausgedehnten Beleuchtungspunkten beleuchtet wird. Entsprechend werden die zu detektierenden Photonen
beispielsweise mit einer geometrischen Anordnung von Lochblenden (Pinholes) selektiert.
Die zu untersuchende Probe 503 wird über eine Mikroskopoptik beleuchtet, sowie über dieselbe Mikroskopoptik insbesondere auf eine Sensoranordnung 511 abgebildet, die je nach Ausführungsform der konfokalen Raster- und
Detektionseinheit 505 aus einem Photomultiplier oder einem Array von
Photomultipliern besteht. Die Funktionsweise eines in Figur 4 dargestellten Systems 500 ist an sich hinlänglich bekannt und soll daher vorliegend nicht erläutert werden. Bezugszeichenliste
100 Signalgenerator
101 Speichereinrichtung
102 Taktgeber
103 Interpolator
103a Phaseninkrement
103b Phasenraum
104 Digital/Analog-Wandler (DAC)
120 Ausgangssignal
150 Verstärker
200 akustooptisches Element
201 piezoelektrischer Wandler (Transducer)
202 akustooptischer Kristall
500 Mikroskopsystem
501 Mikroskopstativ mit Mikroskopoptik
502 Objekttisch
503 Probe
504 optischer Adapter
505 konfokale Raster- und Detektionseinheit
506 Beleuchtungseinrichtung
507 Beleuchtungsfaser
508 Laserlichtquelle
509 Steuereinheit
510 Rechner mit Steuer- und Darstellungsprogrammen
511 Sensoranordnung

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zum Ansteuern eines akustooptischen Elements (200) mit einem Ansteuersignal (120), das mittels eines DDS-Verfahrens mit einer Signalwertfolge, die sich aus mindestens zwei Frequenzkomponenten zusammensetzt, erzeugt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei sich die Signalwertfolge aus
ganzzahligen Perioden jeder Frequenzkomponente zusammensetzt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei sich die Signalwertfolge aus wenigstens drei Frequenzkomponenten zusammensetzt, von denen wenigstens ein Paar aus zwei Frequenzkomponenten den gleichen Frequenzabstand voneinander hat wie ein anderes Paar aus zwei Frequenzkomponenten.
4. Verfahren nach Anspruch 3, wobei je eine gerade Anzahl von Paaren aus zwei Frequenzkomponenten den gleichen Frequenzabstand voneinander hat.
5. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei sich die
Signalwertfolge aus einer ungeraden Anzahl von Frequenzkomponenten zusammensetzt.
6. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei eine Phase wenigstens einer der Frequenzkomponenten zu einem bestimmten Zeitpunkt vorgegeben wird, um ein Maximum in der Signalwertfolge zu verändern.
7. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei ein
Phaseninkrement (103a) zum Durchlaufen der Signalwertfolge abhängig von einer Temperatur eines Kristalls (202) des akustooptischen Elements (200) vorgegeben wird.
8. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die
Frequenzkomponenten so vorgegeben werden, dass sich die Signalform nach einer Zeit kleiner gleich einem Schwellwert wiederholt.
9. Verfahren nach Anspruch 8, wobei der Schwellwert 250 ns beträgt.
10. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei eine Bandbreite des akustooptischen Elements (200) eingestellt wird.
11. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei aus einem das akustooptische Element (200) beleuchtenden Beleuchtungslicht mehrere
Beleuchtungspunkte erzeugt werden.
12. Verfahren nach Anspruch 11, wobei ein Phaseninkrement (103a) zum Durchlaufen der Signalwertfolge zum Vorgeben der Positionen der
Beleuchtungspunkte vorgegeben wird.
13. Signalgenerator (100) zum Ansteuern eines akustooptischen Elements (200), der dazu eingerichtet ist, ein Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche durchzuführen.
14. Anordnung aus wenigstens einem Signalgenerator (100) nach einem der vorstehenden Ansprüche und einem akustooptischen Element (200).
15. Anordnung nach Anspruch 10, wobei das akustooptische Element (200) ausgewählt ist aus einem akustooptisch abstimmbaren Filter, einem akustooptischen Modulator, einem akustooptischen Ablenker, einem akustooptischen Strahlteiler und einem akustooptischen Strahlvereiniger.
16. Mikroskop (500) mit einer Anordnung nach Anspruch 14 oder 15.
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