WO2018194398A1 - Mount assembly for adjusting position of optical device - Google Patents

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WO2018194398A1
WO2018194398A1 PCT/KR2018/004565 KR2018004565W WO2018194398A1 WO 2018194398 A1 WO2018194398 A1 WO 2018194398A1 KR 2018004565 W KR2018004565 W KR 2018004565W WO 2018194398 A1 WO2018194398 A1 WO 2018194398A1
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WO
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guide module
guide
module
optical element
axis
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Application number
PCT/KR2018/004565
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French (fr)
Korean (ko)
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이희철
윤현웅
이은정
맹성현
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주식회사 루트로닉
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/025—Constructional details of solid state lasers, e.g. housings or mountings
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details

Definitions

  • the present invention relates to an optical element positioning mount assembly, and more particularly to an optical element positioning mount assembly for adjusting the path of light.
  • a laser device is a device for oscillating a laser beam having three characteristics that are different from normal natural light or light emitted from a lamp: monochromaitc, coherence, and collimation.
  • the laser beam oscillated from such a laser device is widely used in various industrial fields because of its excellent properties according to monochromaticity, coherence and straightness.
  • the laser device can oscillate a laser beam capable of selectively absorbing, reflecting, and transmitting a target material, its usability is increasing in the medical industry.
  • the laser device includes a light source and a resonator.
  • the resonator includes a cavity, a laser medium, a high resolution mirror, and an output coupler mirror.
  • Laser beam oscillation is achieved by amplifying the light provided from the light source to the resonator by causing a stimulated emission between the HR mirror and the OC mirror disposed with the laser medium therebetween.
  • a conventional optical element position adjusting mount 1 includes a holder part 3, an alignment part 4, a guide part 5, and an elastic member for supporting the optical element 2. (6) and guide pins (7).
  • the optical element position adjusting mount 1 moves the optical element 2 to the X and Y axes.
  • the detailed operation process is performed when the alignment portion 4 presses the holder portion 3 in the Y-axis direction, and the guide pin 7 and the holder portion (between the alignment portion 4 and the holder portion 3).
  • the holder part 3 is linearly moved by the guide pin 7 between 3) and the guide part 5.
  • the elastic member 6 provides an elastic force to the guide portion 5 to maintain the position of the holder portion (3) moved.
  • the conventional optical device position adjustment mount shown in Figs. 1 to 3 has the following problems.
  • the Y-axis moves together when adjusting the holder's X-axis (or Y-axis) and has a structure that is vulnerable to external impact.
  • the elastic force of the elastic member may weaken with time, and when the elastic force is lowered, the initial position of the holder may be changed.
  • a first guide module linearly moved along an axis, and a second guide module configured to receive the first guide module and linearly move the first guide module along the other axis of the X and Y axes. It is made by an optical element position adjustment mounting assembly.
  • first guide module and the second guide module may further include an alignment unit disposed on the linear movement axis to provide a driving force to linearly move the first guide module and the second guide module, respectively, independently. have.
  • It may further include an eccentric blocking unit for providing a magnetic force to at least one of the first guide module and the second guide module to prevent the eccentric movement of the first guide module and the second guide module.
  • an eccentric blocking unit for providing a magnetic force to at least one of the first guide module and the second guide module to prevent the eccentric movement of the first guide module and the second guide module.
  • the first guide module includes a first guide body for supporting the optical element, and a first guide rail disposed on both sides of the first guide body to guide linear movement of the first guide body;
  • the second guide module may include a second guide body accommodating the first guide body and a second guide rail disposed at both sides of the second guide body to guide linear movement of the second guide body.
  • the first guide module may be linearly moved independently of the second guide module and may be linked to the linear movement of the second guide module during linear movement of the second guide module.
  • the eccentric blocking part has a through hole formed to have a size greater than or equal to the area of the optical element, and is in contact with the first guide module and the second guide module, and the first guide module or the first guide module and the second guide part. It may include a magnetic portion disposed in the guide module to form a magnetic field with the contact portion.
  • the alignment unit may be in contact with the first guide module and the second guide module, respectively, and move forward and backward by screw movement for linear movement of the first guide module and the second guide module.
  • the linear movement distance of the first guide module and the second guide module may correspond to the pitch of the thread of the alignment portion.
  • the optical element positioning mount assembly may further include an elastic member disposed in the linear movement direction of the first guide module and the second guide module to provide elastic force to the first guide module and the second guide module, respectively. Can be.
  • the elastic member is the first guide module and the second guide in a direction opposite to the movement direction of the alignment unit when the alignment portion is moved in the direction of providing a pressing force to the first guide module and the second guide module, respectively
  • Each of the guide modules may provide elastic force.
  • the means for solving the problem the optical element disposed on the path of the light according to the present invention, any of the X axis and the Y axis on the XY plane when the axis of the optical path supporting the optical element and the Z axis
  • a first guide rail for guiding the linear movement of the optical element in one axis, the first guide module and the first guide module, the first guide module being the other axis of the X-axis and the Y-axis
  • a second guide module having a second guide rail for guiding linear movement of the first guide module, an alignment unit for providing a driving force to independently linearly move the first guide module and the second guide module, and the first guide module Eccentricity is provided in at least one of the second guide module to provide a magnetic force to limit the eccentric movement of the first guide module and the second guide module It may include a stop.
  • the first guide module and the second guide module respectively support the optical element and accommodate the first guide body and the first guide body which are linearly moved along the first guide rail, and are linear along the second guide rail. It may further include a second guide body to be moved.
  • the eccentric blocking part has a through hole formed to have a size greater than or equal to the area of the optical element, and is in contact with the first guide module and the second guide module, and the first guide module or the first guide module and the second guide part. It may include a magnetic portion disposed in the guide module to form a magnetic field with the contact portion.
  • the optical element positioning mount assembly may further include an elastic member disposed in the linear movement direction of the first guide module and the second guide module to provide elastic force to the first guide module and the second guide module, respectively. Can be.
  • the path position of the light can be changed on the horizontal plane of the optical axis with respect to the path of the light, the quality of the output light can be improved.
  • the path position of the light incident from the light source to the resonant module can be changed between the light source and the resonant module, the efficiency of pumped light in the resonant module can be improved, and thus the optical characteristics such as the intensity and the wavelength of the light output. Can improve the quality.
  • FIG. 1 is a front view of a mount for adjusting a conventional optical element
  • FIG. 2 is a partially exploded front view shown in FIG.
  • FIG. 3 is a right side view of the optical element position adjustment mount shown in FIG.
  • FIG. 4 is a schematic configuration diagram of a laser device
  • FIG. 5 is an exploded perspective view of an optical device for adjusting the position of the mounting assembly according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a perspective view of the mounting assembly of the optical device for adjusting the position shown in FIG.
  • FIG. 7 is a plan view of the mount assembly for adjusting the optical element shown in FIG. 6;
  • FIG. 8 is a first operation view of the optical device for adjusting the position of the mounting assembly shown in FIG.
  • FIG. 9 is an enlarged view of the region A shown in FIG. 8,
  • FIG. 10 is a second operation view of the optical device for adjusting the position of the mounting assembly shown in FIG.
  • the optical device for adjusting the position of the mounting assembly described the vertical plane of the optical axis as the XY plane, the optical axis of the optical axis to the Z axis, but is not limited to this in a three-dimensional rectangular coordinate system Can be converted and used.
  • the vertical plane may be set to the YZ plane
  • the vertical plane may be set to the XZ plane.
  • FIG. 4 is a schematic configuration diagram of a laser device
  • FIG. 5 is an exploded perspective view of an optical device for adjusting the position of the optical device according to an embodiment of the present invention
  • the laser device 10 includes a light source 20, a resonance module 30, and an optical assembly position mounting assembly 100.
  • the light source 20 supplies light to be pumped in the resonance module 30 into the resonance module 30.
  • the light source 20 may be used a flash lamp or a laser diode.
  • the resonance module 30 pumps the light incident from the light source 20 to oscillate the amplified light.
  • the resonant module 30 includes an optical medium 32, a high resolution (HR) mirror 34, and an output coupler (OC) mirror 36.
  • the optical medium 32 is disposed between the HR mirror 34 and the OC mirror 36.
  • Light generated by the light incident on the optical medium 32 is amplified between the HR mirror 34 and the OC mirror 36 and oscillated to the outside.
  • the HR mirror 34 uses a total reflection mirror
  • the OC mirror 36 uses a partial reflection mirror. Light amplified between the HR mirror 34 and the OC mirror 36 is oscillated to the OC mirror 36 when the constant energy level is reached.
  • Mounting assembly 100 for adjusting the optical element is arranged to match the path of the light incident from the light source 20 to the resonant module 30. Mounting assembly 100 for optical element positioning is described in detail below.
  • FIG. 8 is a first operation view of the optical device positioning device assembly shown in FIG. 7
  • FIG. 9 is an enlarged view of region A shown in FIG. 8
  • FIG. 10 is a view of the mounting device for optical device positioning adjustment shown in FIG. 7. Second operation diagram.
  • Mounting assembly 100 for optical element adjustment includes an optical element 110, a first guide module 120, and a second guide module 140, as shown in FIGS. 8 to 10.
  • the optical device position adjustment mount assembly 100 according to the embodiment of the present invention includes an alignment portion 150, the eccentric stop portion 170 and the elastic member 190.
  • the optical device positioning mount assembly 100 is described below as being disposed between the light source 20 and the resonance module 30 as an example, but the optical device positioning mount assembly 100 resonates with the light source 20. In addition to between the modules 30 may be disposed on the light oscillation side of the resonance module (30).
  • the optical element 110 is disposed on the path of light. That is, the optical device 110 is disposed on the optical path between the light source 20 and the resonance module 30.
  • the optical device 110 has a property of focusing light provided from the light source 20 to the resonance module 30.
  • the first guide module 120 supports the optical element 110, and when the axis of the light path is referred to as the Z axis, the first guide module 120 is linearly moved in any one of the X axis and the Y axis on the XY plane. As illustrated in FIG. 8, the first guide module 120 may linearly move on the X axis, but may linearly move on the Y axis according to a design change.
  • the first guide module 120 includes a first guide body 122 and a first guide rail 124.
  • the first guide body 122 supports the optical element 110.
  • the first guide rail 124 is disposed on both sides of the first guide body 122 to guide linear movement of the first guide body 122.
  • the first guide rail 124 is provided in a rod shape to limit the eccentricity with the linear movement guide of the first guide body 122.
  • the second guide module 140 accommodates the first guide module 120 and is moved along the other axis of the X and Y axes. As illustrated in FIG. 10, the second guide module 140 may linearly move on the Y axis, but may linearly move on the X axis according to a design change. The second guide module 140 linearly moves the first guide module 120 together on the other axis of the X and Y axes. That is, the first guide module 120 is linearly moved independently of the second guide module 140, and the first guide module 120 is linearly moved when the second guide module 140 is moved. It is linked to the linear movement of).
  • the second guide module 140 includes a second guide body 142 and a second guide rail 144.
  • the second guide body 142 accommodates the first guide body 122.
  • the second guide body 142 is linearly moved while receiving the first guide body 122.
  • the second guide rail 144 is disposed on both sides of the first guide body 122 to guide the movement of the second guide body 142.
  • the second guide rail 144 is provided in a rod shape to limit the eccentricity with the linear movement guide of the second guide body 142.
  • the alignment unit 150 is disposed on the linear movement axes of the first guide module 120 and the second guide module 140, respectively, so that the first guide module 120 and the second guide module 140 independently move linearly. Provide driving force if possible.
  • the alignment unit 150 includes a first alignment unit 152 for providing a driving force to the first guide module 120 and a second alignment unit 154 for providing a driving force to the second guide module 140.
  • the first alignment unit 152 and the second alignment unit 154 are arranged to form a two-dimensional rectangular coordinate system on the XY plane.
  • the first aligning portion 152 and the second aligning portion 154 are in contact with the first guide module 120 and the second guide module 140, respectively.
  • the first aligning part 152 and the second aligning part 154 are moved forward and backward by screw motion for the linear movement of the first guide module 120 and the second guide module 140, respectively.
  • the first aligning part 152 and the second aligning part 154 may be screwed by a user, but the present invention is not limited thereto and may be connected to a motor and screwed.
  • the linear moving distances of the first guide module 120 and the second guide module 140 correspond to the pitch P of the threads of the first aligning part 152 and the second aligning part 154, respectively.
  • the pitch P of the threads of the first alignment portion 152 and the second alignment portion 154 is 2 mm
  • the first alignment portion 152 and the second alignment portion 154 rotate once.
  • the first guide module 120 and the second guide module 140 are linearly moved 2 mm along the axes of the X and Y axes, respectively.
  • the pitch P of the threads of the first aligning portion 152 and the second aligning portion 154 may be the same or may be different from each other.
  • the eccentric blocking unit 170 provides a magnetic force to at least one of the first guide module 120 and the second guide module 140 to the plate surface, so that the first guide module 120 and the second guide module 140 To prevent eccentric movement of Substantially, assembly tolerances occur between the first guide body 122 and the first guide rail 124 and between the second guide body 142 and the second guide rail 144. Eccentricity may occur due to assembly tolerances between the first guide body 122 and the first guide rail 124 when the first guide body 122 moves, and the second guide when the second guide body 142 moves. Eccentricity may occur due to assembly tolerances between the body 142 and the second guide rail 144.
  • the eccentric stopper 170 prevents the eccentric linear movement according to the tolerance between the first guide body 122 and the first guide rail and / or the tolerance between the second guide body 142 and the second guide rail 144. Used to
  • the eccentric stop 170 includes a contact 172 and a magnetic portion 174.
  • the contact portion 172 is formed to penetrate the contact body 172a to a size larger than the area of the contact body 172a and the optical element 110 which are in surface contact with the first guide body 122 and the second guide body 142.
  • the through hole 172b is included.
  • the contact body 172a is provided of a metal material in which a magnetic field may be formed between the magnetic parts 174 to be described later.
  • the through hole 172b is formed through the contact body 172a and does not interfere with the path of light. That is, the through hole 172b may be provided to have a size greater than or equal to the area of the optical device 110 to prevent the interference of the light path according to the linear movement of the first guide module 120 and the second guide module 140.
  • the magnetic portion 174 is disposed in the first guide module 120 or the first guide module 120 and the second guide module 140 to form a magnetic field between the contact portion 172.
  • the magnetic part 174 is disposed on the first guide body 122 of the first guide module 120, but is also disposed on the second guide body 142 of the second guide module 140. Can be.
  • the magnetic part 174 is not disposed only in the second guide body 142 of the second guide module 140. In detail, when the magnetic part 174 is disposed only in the second guide body 142, no magnetic field is formed between the first guide module 120 and the contact part 172, so that the eccentricity of the first guide module 120 is prevented. You cannot stop movement.
  • the elastic member 190 is disposed with respect to the linear movement direction of the first guide module 120 and the second guide module 140, respectively.
  • the elastic member 190 provides elastic force to the first guide module 120 and the second guide module 140.
  • Elastic member 190 is an embodiment of the present invention, the second elastic member for providing an elastic force to the first elastic member 192 and the second guide module 140 to provide an elastic force to the first guide module 120. (194).
  • the first elastic member 192 and the second elastic member 194 are arranged to form a two-dimensional rectangular coordinate system on the XY plane, like the first alignment unit 152 and the second alignment unit 154.
  • the first aligning portion 152 and the second aligning portion 154 are applied to the first guide module 120 and the second guide module 140, respectively.
  • the first guide module 120 and the second guide module 140, respectively, in the opposite direction of the pressing force providing direction provides an elastic force.
  • the first elastic member 192 and the second elastic member 194 are the first alignment unit 152 and the second alignment unit 154 for the first guide module 120 and the second guide module 140, respectively.
  • the path position of the light can be changed on the horizontal plane of the optical axis with respect to the path of the light, the quality of the output light can be improved.
  • the path position of the light incident from the light source to the resonant module can be changed between the light source and the resonant module, the efficiency of the pumped light in the resonant module can be improved, and thus the optical characteristics such as the intensity and wavelength of the light output. Can improve the quality.

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Abstract

A mount assembly for adjusting the position of an optical device according to the present invention comprises: an optical device disposed on the path of a light; a first guide module supporting the optical device and linearly moved along any one axial line among X-axis and Y-axis on the XY plane when the axial line with respect to the path of the light is Z-axis; and a second guide module accommodating the first guide module and linearly moving the first guide module along the other axial line among X-axis and Y-axis. Therefore, the position of the path of the light can be changed on a horizontal directional plane on a light axial line with respect to the path of the light and thus the quality of the light being output can be improved.

Description

광학소자 위치 조정용 마운트 조립체Mount Assembly for Positioning Optics
본 발명은 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 광의 경로를 조정하는 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체에 관한 것이다The present invention relates to an optical element positioning mount assembly, and more particularly to an optical element positioning mount assembly for adjusting the path of light.
레이저 장치는 일반 자연광이나 램프로부터 방사되는 빛과는 상이한 3가지 특성인 단색성(monochromaitc), 간섭성(coherence) 및 직진성(collimation)을 갖는 레이저 빔을 발진하는 장치이다.A laser device is a device for oscillating a laser beam having three characteristics that are different from normal natural light or light emitted from a lamp: monochromaitc, coherence, and collimation.
이러한 레이저 장치로부터 발진되는 레이저 빔은 단색성, 간섭성 및 직진성에 따른 특성의 우수함 때문에 다양한 산업 분야에서 널리 사용되고 있다. 특히, 레이저 장치는 대상물질에 선택적으로 흡수, 반사 및 투과를 시킬 수 있는 레이저 빔을 발진할 수 있으므로, 의료 산업 분야에서 그 사용성이 증대되고 있다.The laser beam oscillated from such a laser device is widely used in various industrial fields because of its excellent properties according to monochromaticity, coherence and straightness. In particular, since the laser device can oscillate a laser beam capable of selectively absorbing, reflecting, and transmitting a target material, its usability is increasing in the medical industry.
여기서, 레이저 장치는 광원 및 공진기를 포함한다. 공진기는 캐비티(cavity), 레이저 매질, HR(High Resolution) 미러 및 OC(Output Coupler) 미러를 포함한다. 레이저 빔 발진은 광원으로부터 공진기로 제공된 광이 레이저 매질을 사이에 두고 배치된 HR 미러와 OC 미러 사이에서 유도방출(stimulated emission)을 일으켜 증폭됨으로써 이루어진다.Here, the laser device includes a light source and a resonator. The resonator includes a cavity, a laser medium, a high resolution mirror, and an output coupler mirror. Laser beam oscillation is achieved by amplifying the light provided from the light source to the resonator by causing a stimulated emission between the HR mirror and the OC mirror disposed with the laser medium therebetween.
한편, 레이저 장치로부터 발진되는 레이저 빔의 품질(세기, 파장 등)은 광의 경로 상의 광 축선에 대해 광원과 공진기 사이에서 상호 구조물을 지속적으로 일치시켜야 할 필요성이 있다. 이러한 광 축선을 일치시키는 구성으로 광학소자 위치 조정용 마운트가 사용된다. 종래의 광학소자 위치 조정용 마운트(1)는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 광학소자(2)를 지지하는 홀더부(3), 얼라인부(4), 가이드부(5), 탄성부재(6) 및 가이드 핀(7)을 포함한다.On the other hand, the quality (intensity, wavelength, etc.) of the laser beam oscillated from the laser device needs to constantly match the mutual structure between the light source and the resonator with respect to the optical axis on the path of light. An optical element position adjustment mount is used in such a configuration that the optical axis is aligned. As shown in FIGS. 1 to 3, a conventional optical element position adjusting mount 1 includes a holder part 3, an alignment part 4, a guide part 5, and an elastic member for supporting the optical element 2. (6) and guide pins (7).
상세하게 설명하면, Z축을 광 축선이라고 할 때 광학소자 위치 조정용 마운트(1)는 광학소자(2)를 X축 및 Y축으로 이동 시킨다. 예를 들어, 상세한 작동 과정은 얼라인부(4)가 Y축 방향으로 홀더부(3)를 가압할 때, 얼라인부(4)와 홀더부(3) 사이의 가이드 핀(7) 및 홀더부(3)와 가이드부(5) 사이의 가이드 핀(7)을 통해 홀더부(3)가 리니어 운동된다. 이때, 탄성부재(6)는 이동된 홀더부(3)의 위치를 유지시키도록 가이드부(5)에 탄성력을 제공한다.In detail, when the Z axis is referred to as the optical axis, the optical element position adjusting mount 1 moves the optical element 2 to the X and Y axes. For example, the detailed operation process is performed when the alignment portion 4 presses the holder portion 3 in the Y-axis direction, and the guide pin 7 and the holder portion (between the alignment portion 4 and the holder portion 3). The holder part 3 is linearly moved by the guide pin 7 between 3) and the guide part 5. At this time, the elastic member 6 provides an elastic force to the guide portion 5 to maintain the position of the holder portion (3) moved.
그런데, 도 1 내지 도 3에 도시된 종래의 광학소자 위치 조정용 마운트는 다음과 같은 문제점이 있다.However, the conventional optical device position adjustment mount shown in Figs. 1 to 3 has the following problems.
첫째, 가이드 핀의 삽입 영역의 낮은 가공 정밀도로 인해 홀더부의 X축과 Y축 이동 시 조정성이 떨어진다.First, due to the low machining precision of the insertion region of the guide pin, the adjustment of the holder portion in X and Y axes is poor.
둘째, X축과 Y축이 같은 평면 상에 존재하여 홀더부의 X축(또는 Y축) 조정 시 Y축(또는 X축)이 함께 움직이는 현상이 발생할 뿐만 아니라 외부 충격에 취약한 구조를 가지고 있다.Second, since the X-axis and the Y-axis exist on the same plane, the Y-axis (or X-axis) moves together when adjusting the holder's X-axis (or Y-axis) and has a structure that is vulnerable to external impact.
셋째, 탄성부재의 탄성력은 시간이 경과함에 따라 약해질 수 있으며, 탄성력이 저하될 경우 홀더부의 이동된 처음 위치가 변경될 수 있다.Third, the elastic force of the elastic member may weaken with time, and when the elastic force is lowered, the initial position of the holder may be changed.
본 발명의 목적은 광의 경로 상의 광 축선에 대해 배치된 구성들에 따라 광의 경로를 일치시킬 수 있도록 구조가 개선된 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide an optical element positioning mount assembly having an improved structure so that the path of light can be matched in accordance with configurations disposed with respect to the optical axis on the path of light.
상기 과제의 해결 수단은, 본 발명에 따라 광의 경로 상에 배치되는 광학소자와, 상기 광학소자를 지지하며 광의 경로에 대한 축선을 Z축이라고 할 때 XY 평면 상에서 X축과 Y축 중 어느 하나의 축선으로 리니어 이동되는 제 1가이드 모듈과, 상기 제 1가이드 모듈을 수용하며 상기 X축과 상기 Y축 중 다른 하나의 축선으로 상기 제 1가이드 모듈을 리니어 이동시키는 제 2가이드 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체에 의해 이루어진다.Means for Solving the Problems An optical device disposed on a path of light according to the present invention and any one of an X-axis and a Y-axis on an XY plane when the axis for the path of the light supporting the optical element is called a Z-axis. A first guide module linearly moved along an axis, and a second guide module configured to receive the first guide module and linearly move the first guide module along the other axis of the X and Y axes. It is made by an optical element position adjustment mounting assembly.
여기서, 상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈의 리니어 이동 축선에 각각 배치되어 상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈이 각각 독립적으로 리니어 이동되도록 구동력을 제공하는 얼라인부를 더 포함할 수 있다.Here, the first guide module and the second guide module may further include an alignment unit disposed on the linear movement axis to provide a driving force to linearly move the first guide module and the second guide module, respectively, independently. have.
상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈 중 적어도 어느 하나의 판면에 대해 자기력을 제공하여 상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈의 편심 이동을 저지하는 것을 특징으로 하는 편심저지부를 더 포함할 수 있다.It may further include an eccentric blocking unit for providing a magnetic force to at least one of the first guide module and the second guide module to prevent the eccentric movement of the first guide module and the second guide module. Can be.
상기 제 1가이드 모듈은 상기 광학소자를 지지하는 제 1가이드 몸체와, 상기 제 1가이드 몸체의 양측에 배치되어 상기 제 1가이드 몸체의 리니어 이동을 안내하는 제 1가이드 레일을 포함하고; 상기 제 2가이드 모듈은 상기 제 1가이드 몸체를 수용하는 제 2가이드 몸체와, 상기 제 2가이드 몸체의 양측에 배치되어 상기 제 2가이드 몸체의 리니어 이동을 안내하는 제 2가이드 레일을 포함할 수 있다.The first guide module includes a first guide body for supporting the optical element, and a first guide rail disposed on both sides of the first guide body to guide linear movement of the first guide body; The second guide module may include a second guide body accommodating the first guide body and a second guide rail disposed at both sides of the second guide body to guide linear movement of the second guide body. .
상기 제 1가이드 모듈은 상기 제 2가이드 모듈에 대해 독립적으로 리니어 이동되고 상기 제 2가이드 모듈의 리니어 이동 시 상기 제 2가이드 모듈의 리니어 이동에 연동될 수 있다.The first guide module may be linearly moved independently of the second guide module and may be linked to the linear movement of the second guide module during linear movement of the second guide module.
상기 편심저지부는 상기 광학소자의 면적 이상의 크기로 형성된 관통홀을 가지며 상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈에 면 접촉되는 접촉부와, 상기 제 1가이드 모듈 또는 상기 제 1가이드 모듈 및 상기 제 2가이드 모듈에 배치되어 상기 접촉부와의 사이에 자기장을 형성시키는 마그네틱부를 포함할 수 있다.The eccentric blocking part has a through hole formed to have a size greater than or equal to the area of the optical element, and is in contact with the first guide module and the second guide module, and the first guide module or the first guide module and the second guide part. It may include a magnetic portion disposed in the guide module to form a magnetic field with the contact portion.
상기 얼라인부는 상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈에 각각 접촉되어 상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈의 리니어 이동을 위해 나사 운동으로 진퇴 운동될 수 있다.The alignment unit may be in contact with the first guide module and the second guide module, respectively, and move forward and backward by screw movement for linear movement of the first guide module and the second guide module.
상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈의 리니어 이동거리는 상기 얼라인부의 나사산의 피치에 대응될 수 있다.The linear movement distance of the first guide module and the second guide module may correspond to the pitch of the thread of the alignment portion.
상기 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체는 상기 제 1가이드 모듈 및 상기 제 2가이드 모듈의 리니어 이동 방향에 대해 각각 배치되어 상기 제 1가이드 모듈 및 상기 제 2가이드 모듈에 탄성력을 제공하는 탄성부재를 더 포함할 수 있다.The optical element positioning mount assembly may further include an elastic member disposed in the linear movement direction of the first guide module and the second guide module to provide elastic force to the first guide module and the second guide module, respectively. Can be.
상기 탄성부재는 상기 얼라인부가 각각 상기 제 1가이드 모듈 및 상기 제 2가이드 모듈에 가압력을 제공하는 방향으로 이동될 때, 상기 얼라인부의 이동 방향의 역 방향으로 상기 제 1가이드 모듈 및 상기 제 2가이드 모듈에 각각 탄성력을 제공할 수 있다.The elastic member is the first guide module and the second guide in a direction opposite to the movement direction of the alignment unit when the alignment portion is moved in the direction of providing a pressing force to the first guide module and the second guide module, respectively Each of the guide modules may provide elastic force.
한편, 상기 과제의 해결 수단은, 본 발명에 따라 광의 경로 상에 배치되는 광학소자와, 상기 광학소자를 지지하며 광의 경로에 대한 축선을 Z축이라고 할 때 XY 평면 상에서 X축과 Y축 중 어느 하나의 축선으로 상기 광학소자의 리니어 이동을 안내하는 제 1가이드 레일을 제 1가이드 모듈과, 상기 제 1가이드 모듈을 수용하며 상기 X축과 상기 Y축 중 다른 하나의 축선으로 상기 제 1가이드 모듈의 리니어 이동을 안내하는 제 2가이드 레일을 갖는 제 2가이드 모듈과, 상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈이 각각 독립적으로 리니어 이동되도록 구동력을 제공하는 얼라인부와, 상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈 중 적어도 어느 하나에 배치되어 상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈의 편심 이동이 제한되도록 자기력을 제공하는 편심저지부를 포함할 수 있다.On the other hand, the means for solving the problem, the optical element disposed on the path of the light according to the present invention, any of the X axis and the Y axis on the XY plane when the axis of the optical path supporting the optical element and the Z axis A first guide rail for guiding the linear movement of the optical element in one axis, the first guide module and the first guide module, the first guide module being the other axis of the X-axis and the Y-axis; A second guide module having a second guide rail for guiding linear movement of the first guide module, an alignment unit for providing a driving force to independently linearly move the first guide module and the second guide module, and the first guide module Eccentricity is provided in at least one of the second guide module to provide a magnetic force to limit the eccentric movement of the first guide module and the second guide module It may include a stop.
상기 제 1가이드 모듈 및 상기 제 2가이드 모듈은 각각 상기 광학소자를 지지하며 상기 제 1가이드 레일을 따라 리니어 이동되는 제 1가이드 몸체 및 상기 제 1가이드 몸체를 수용하며 상기 제 2가이드 레일을 따라 리니어 이동되는 제 2가이드 몸체를 더 포함할 수 있다.The first guide module and the second guide module respectively support the optical element and accommodate the first guide body and the first guide body which are linearly moved along the first guide rail, and are linear along the second guide rail. It may further include a second guide body to be moved.
상기 편심저지부는 상기 광학소자의 면적 이상의 크기로 형성된 관통홀을 가지며 상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈에 면 접촉되는 접촉부와, 상기 제 1가이드 모듈 또는 상기 제 1가이드 모듈 및 상기 제 2가이드 모듈에 배치되어, 상기 접촉부와의 사이에 자기장을 형성시키는 마그네틱부를 포함할 수 있다.The eccentric blocking part has a through hole formed to have a size greater than or equal to the area of the optical element, and is in contact with the first guide module and the second guide module, and the first guide module or the first guide module and the second guide part. It may include a magnetic portion disposed in the guide module to form a magnetic field with the contact portion.
상기 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체는 상기 제 1가이드 모듈 및 상기 제 2가이드 모듈의 리니어 이동 방향에 대해 각각 배치되어 상기 제 1가이드 모듈 및 상기 제 2가이드 모듈에 탄성력을 제공하는 탄성부재를 더 포함할 수 있다.The optical element positioning mount assembly may further include an elastic member disposed in the linear movement direction of the first guide module and the second guide module to provide elastic force to the first guide module and the second guide module, respectively. Can be.
기타 실시 예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.
본 발명에 따른 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체의 효과는 다음과 같다.Effects of the optical device position adjustment mount assembly according to the present invention are as follows.
첫째, 광의 경로에 대한 광 축선의 가로 방향 평면 상에서 광의 경로 위치를 변경할 수 있으므로, 출력되는 광의 품질을 향상시킬 수 있다.First, since the path position of the light can be changed on the horizontal plane of the optical axis with respect to the path of the light, the quality of the output light can be improved.
둘째, 광원과 공진모듈 사이에 배치되어 광원으로부터 공진모듈로 입사되는 광의 경로 위치를 변경할 수 있으므로 공진모듈 내에서의 펌핑 광의 효율을 향상시킬 수 있고, 이에 따라 출력되는 광의 세기 및 파장 등의 광학 특성의 품질을 향상시킬 수 있다.Second, since the path position of the light incident from the light source to the resonant module can be changed between the light source and the resonant module, the efficiency of pumped light in the resonant module can be improved, and thus the optical characteristics such as the intensity and the wavelength of the light output. Can improve the quality.
도 1은 종래의 광학소자 위치 조정용 마운트의 정면도,1 is a front view of a mount for adjusting a conventional optical element,
도 2는 도 1에 도시된 부분 분해 정면도,2 is a partially exploded front view shown in FIG.
도 3은 도 3에 도시된 광학소자 위치 조정용 마운트의 우측도,3 is a right side view of the optical element position adjustment mount shown in FIG.
도 4는 레이저 장치의 개략 구성도,4 is a schematic configuration diagram of a laser device;
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체의 분해 사시도,5 is an exploded perspective view of an optical device for adjusting the position of the mounting assembly according to the embodiment of the present invention;
도 6은 도 5에 도시된 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체의 결합 사시도,6 is a perspective view of the mounting assembly of the optical device for adjusting the position shown in FIG.
도 7은 도 6에 도시된 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체의 평면도,FIG. 7 is a plan view of the mount assembly for adjusting the optical element shown in FIG. 6;
도 8은 도 7에 도시된 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체의 제 1작동도,FIG. 8 is a first operation view of the optical device for adjusting the position of the mounting assembly shown in FIG.
도 9는 도 8에 도시된 A 영역의 확대도,9 is an enlarged view of the region A shown in FIG. 8,
도 10은 도 7에 도시된 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체의 제 2작동도이다.FIG. 10 is a second operation view of the optical device for adjusting the position of the mounting assembly shown in FIG.
이하, 본 발명의 실시 예에 따른 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings for the optical device position adjustment mounting assembly according to an embodiment of the present invention will be described in detail.
설명하기에 앞서, 본 발명의 실시 예에 따른 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체는 광의 경로에 대한 광 축선을 Z축으로 광 축선의 수직 평면을 XY 평면으로 기재하였으나, 이에 한정되지 않고 3차원 직교좌표계에서 변환되어 사용될 수 있다. 예를 들어, 광 축선이 X축이라 할 때 수직 평면을 YZ 평면 및 광 축선이 Y축이라 할 때 수직 평면을 XZ 평면으로 방향성을 설정할 수 있다.Prior to the description, the optical device for adjusting the position of the mounting assembly according to the embodiment of the present invention described the vertical plane of the optical axis as the XY plane, the optical axis of the optical axis to the Z axis, but is not limited to this in a three-dimensional rectangular coordinate system Can be converted and used. For example, when the optical axis is the X axis, the vertical plane may be set to the YZ plane, and when the optical axis is the Y axis, the vertical plane may be set to the XZ plane.
도 4는 레이저 장치의 개략 구성도, 도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체의 분해 사시도, 도 6은 도 5에 도시된 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체의 결합 사시도, 그리고 도 7은 도 6에 도시된 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체의 평면도이다.4 is a schematic configuration diagram of a laser device, FIG. 5 is an exploded perspective view of an optical device for adjusting the position of the optical device according to an embodiment of the present invention, FIG. 6 is a combined perspective view of the optical device for adjusting the position of the optical device shown in FIG. 7 is a plan view of the mount assembly for optical element position adjustment shown in FIG.
도 4 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 레이저 장치(10)는 광원(20), 공진모듈(30) 및 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체(100)를 포함한다.As shown in FIGS. 4 to 7, the laser device 10 includes a light source 20, a resonance module 30, and an optical assembly position mounting assembly 100.
광원(20)은 공진모듈(30) 내부에서 펌핑될 광을 공진모듈(30) 내부로 공급한다. 여기서, 광원(20)은 플래시 램프 또는 레이저 다이오드 등이 사용될 수 있다.The light source 20 supplies light to be pumped in the resonance module 30 into the resonance module 30. Here, the light source 20 may be used a flash lamp or a laser diode.
공진모듈(30)은 광원(20)으로부터 입사된 광을 펌핑하여 증폭된 광을 발진시킨다. 공진모듈(30)은 광 매질(32), HR(High Resolution) 미러(34) 및 OC(Output Coupler) 미러(36)를 포함한다. 광 매질(32)은 HR 미러(34)와 OC 미러(36) 사이에 배치된다. 광 매질(32)로 입사된 광에 의해 발생된 광은 HR 미러(34)와 OC 미러(36) 사이에서 증폭되어 외부로 발진된다. HR 미러(34)는 전반사 미러가 사용되고, OC 미러(36)는 부분반사 미러가 사용된다. HR 미러(34)와 OC 미러(36) 사이에서 증폭된 광은 일정 에너지 준위에 도달되면 OC 미러(36)로 발진된다.The resonance module 30 pumps the light incident from the light source 20 to oscillate the amplified light. The resonant module 30 includes an optical medium 32, a high resolution (HR) mirror 34, and an output coupler (OC) mirror 36. The optical medium 32 is disposed between the HR mirror 34 and the OC mirror 36. Light generated by the light incident on the optical medium 32 is amplified between the HR mirror 34 and the OC mirror 36 and oscillated to the outside. The HR mirror 34 uses a total reflection mirror, and the OC mirror 36 uses a partial reflection mirror. Light amplified between the HR mirror 34 and the OC mirror 36 is oscillated to the OC mirror 36 when the constant energy level is reached.
광학소자 위치 조정용 마운트 조립체(100)는 광원(20)으로부터 공진모듈(30)로 입사되는 광의 경로를 일치시키기 위해 배치된다. 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체(100)는 이하에서 상세히 설명한다.Mounting assembly 100 for adjusting the optical element is arranged to match the path of the light incident from the light source 20 to the resonant module 30. Mounting assembly 100 for optical element positioning is described in detail below.
도 8은 도 7에 도시된 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체의 제 1작동도, 도 9는 도 8에 도시된 A 영역의 확대도, 그리고 도 10은 도 7에 도시된 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체의 제 2작동도이다.FIG. 8 is a first operation view of the optical device positioning device assembly shown in FIG. 7, FIG. 9 is an enlarged view of region A shown in FIG. 8, and FIG. 10 is a view of the mounting device for optical device positioning adjustment shown in FIG. 7. Second operation diagram.
광학소자 위치 조정용 마운트 조립체(100)는 도 8 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 광학소자(110), 제 1가이드 모듈(120) 및 제 2가이드 모듈(140)을 포함한다. 또한, 본 발명의 실시 예에 따른 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체(100)는 얼라인부(150), 편심저지부(170) 및 탄성부재(190)를 포함한다. 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체(100)는 일 실시 예로서 광원(20)과 공진모듈(30) 사이에 배치되는 것으로 이하에서 설명되나, 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체(100)는 광원(20)과 공진모듈(30) 사이 이외에도 공진모듈(30)의 광 발진 측에도 배치될 수 있다.Mounting assembly 100 for optical element adjustment includes an optical element 110, a first guide module 120, and a second guide module 140, as shown in FIGS. 8 to 10. In addition, the optical device position adjustment mount assembly 100 according to the embodiment of the present invention includes an alignment portion 150, the eccentric stop portion 170 and the elastic member 190. The optical device positioning mount assembly 100 is described below as being disposed between the light source 20 and the resonance module 30 as an example, but the optical device positioning mount assembly 100 resonates with the light source 20. In addition to between the modules 30 may be disposed on the light oscillation side of the resonance module (30).
광학소자(110)는 광의 경로 상에 배치된다. 즉, 광학소자(110)는 광원(20)과 공진모듈(30) 사이의 광 경로 상에 배치된다. 광학소자(110)는 광원(20)으로부터 공진모듈(30)로 제공되는 광의 집속 등을 할 수 있는 특성을 갖는다.The optical element 110 is disposed on the path of light. That is, the optical device 110 is disposed on the optical path between the light source 20 and the resonance module 30. The optical device 110 has a property of focusing light provided from the light source 20 to the resonance module 30.
제 1가이드 모듈(120)은 광학소자(110)를 지지하며 광의 경로에 대한 축선을 Z축이라고 할 때 XY 평면 상에서 X축과 Y축 중 어느 하나의 축선으로 리니어 이동된다. 도 8에 도시된 바와 같이 제 1가이드 모듈(120)은 X축으로 리니어 이동되나, 설계 변경에 따라 Y축으로 리니어 이동될 수 있다.The first guide module 120 supports the optical element 110, and when the axis of the light path is referred to as the Z axis, the first guide module 120 is linearly moved in any one of the X axis and the Y axis on the XY plane. As illustrated in FIG. 8, the first guide module 120 may linearly move on the X axis, but may linearly move on the Y axis according to a design change.
제 1가이드 모듈(120)은 제 1가이드 몸체(122) 및 제 1가이드 레일(124)을 포함한다. 제 1가이드 몸체(122)는 광학소자(110)를 지지한다. 제 1가이드 레일(124)은 제 1가이드 몸체(122)의 양측에 배치되어 제 1가이드 몸체(122)의 리니어 이동을 안내한다. 제 1가이드 레일(124)은 봉 형상으로 마련되어 제 1가이드 몸체(122)의 리니어 이동 안내와 함께 편심을 제한한다.The first guide module 120 includes a first guide body 122 and a first guide rail 124. The first guide body 122 supports the optical element 110. The first guide rail 124 is disposed on both sides of the first guide body 122 to guide linear movement of the first guide body 122. The first guide rail 124 is provided in a rod shape to limit the eccentricity with the linear movement guide of the first guide body 122.
제 2가이드 모듈(140)은 제 1가이드 모듈(120)을 수용하며 X축과 Y축 중 다른 하나의 축선으로 이동된다. 도 10에 도시된 바와 같이 제 2가이드 모듈(140)은 Y축으로 리니어 이동되나, 설계 변경에 따라 X축으로 리니어 이동될 수 있다. 제 2가이드 모듈(140)은 제 1가이드 모듈(120)을 X축과 Y축 중 다른 하나의 축선으로 함께 리니어 이동시킨다. 즉, 제 1가이드 모듈(120)은 제 2가이드 모듈(140)에 대해 독립적으로 리니어 이동되고, 제 1가이드 모듈(120)은 제 2가이드 모듈(140)의 리니어 이동 시 제 2가이드 모듈(140)의 리니어 이동에 연동된다.The second guide module 140 accommodates the first guide module 120 and is moved along the other axis of the X and Y axes. As illustrated in FIG. 10, the second guide module 140 may linearly move on the Y axis, but may linearly move on the X axis according to a design change. The second guide module 140 linearly moves the first guide module 120 together on the other axis of the X and Y axes. That is, the first guide module 120 is linearly moved independently of the second guide module 140, and the first guide module 120 is linearly moved when the second guide module 140 is moved. It is linked to the linear movement of).
제 2가이드 모듈(140)은 제 2가이드 몸체(142) 및 제 2가이드 레일(144)을 포함한다. 제 2가이드 몸체(142)는 제 1가이드 몸체(122)를 수용한다. 제 2가이드 몸체(142)는 제 1가이드 몸체(122)를 수용한 상태에서 리니어 이동된다. 제 2가이드 레일(144)은 제 1가이드 몸체(122)의 양측에 배치되어 제 2가이드 몸체(142)의 이동을 안내한다. 제 2가이드 레일(144)은 봉 형상으로 마련되어 제 2가이드 몸체(142)의 리니어 이동 안내와 함께 편심을 제한한다.The second guide module 140 includes a second guide body 142 and a second guide rail 144. The second guide body 142 accommodates the first guide body 122. The second guide body 142 is linearly moved while receiving the first guide body 122. The second guide rail 144 is disposed on both sides of the first guide body 122 to guide the movement of the second guide body 142. The second guide rail 144 is provided in a rod shape to limit the eccentricity with the linear movement guide of the second guide body 142.
얼라인부(150)는 제 1가이드 모듈(120)과 제 2가이드 모듈(140)의 리니어 이동 축선에 각각 배치되어 제 1가이드 모듈(120)과 제 2가이드 모듈(140)이 각각 독립적으로 리니어 이동되도록 구동력을 제공한다. 얼라인부(150)는 제 1가이드 모듈(120)에 구동력을 제공하는 제 1얼라인부(152)와 제 2가이드 모듈(140)에 구동력을 제공하는 제 2얼라인부(154)를 포함한다. 제 1얼라인부(152)와 제 2얼라인부(154)는 XY 평면 상에서 2차원 직교 좌표계를 형성하도록 배치된다.The alignment unit 150 is disposed on the linear movement axes of the first guide module 120 and the second guide module 140, respectively, so that the first guide module 120 and the second guide module 140 independently move linearly. Provide driving force if possible. The alignment unit 150 includes a first alignment unit 152 for providing a driving force to the first guide module 120 and a second alignment unit 154 for providing a driving force to the second guide module 140. The first alignment unit 152 and the second alignment unit 154 are arranged to form a two-dimensional rectangular coordinate system on the XY plane.
제 1얼라인부(152)와 제 2얼라인부(154)는 제 1가이드 모듈(120)과 제 2가이드 모듈(140)에 각각 접촉된다. 제 1얼라인부(152)와 제 2얼라인부(154)는 각각 제 1가이드 모듈(120)과 제 2가이드 모듈(140)의 리니어 이동을 위해 나사 운동으로 진퇴 운동된다. 여기서, 제 1얼라인부(152)와 제 2얼라인부(154)는 사용자에 의해 나사 운동되나, 이에 한정되지 않고 모터에 연결되어 나사 운동될 수도 있다.The first aligning portion 152 and the second aligning portion 154 are in contact with the first guide module 120 and the second guide module 140, respectively. The first aligning part 152 and the second aligning part 154 are moved forward and backward by screw motion for the linear movement of the first guide module 120 and the second guide module 140, respectively. Here, the first aligning part 152 and the second aligning part 154 may be screwed by a user, but the present invention is not limited thereto and may be connected to a motor and screwed.
제 1가이드 모듈(120)과 제 2가이드 모듈(140)의 리니어 이동거리는 각각 제 1얼라인부(152)와 제 2얼라인부(154)의 나사산의 피치(P)에 대응된다. 예를 들어, 제 1얼라인부(152)와 제 2얼라인부(154)의 나사산의 피치(P)가 2mm 일 때, 제 1얼라인부(152)와 제 2얼라인부(154)가 1회 회전운동 시 제 1가이드 모듈(120)과 제 2가이드 모듈(140)은 각각 X축과 Y축의 축선을 따라 2mm 리니어 이동된다. 여기서, 제 1얼라인부(152)와 제 2얼라인부(154)의 나사산의 피치(P)는 동일할 수도 있고 각각 상이할 수도 있다.The linear moving distances of the first guide module 120 and the second guide module 140 correspond to the pitch P of the threads of the first aligning part 152 and the second aligning part 154, respectively. For example, when the pitch P of the threads of the first alignment portion 152 and the second alignment portion 154 is 2 mm, the first alignment portion 152 and the second alignment portion 154 rotate once. During the exercise, the first guide module 120 and the second guide module 140 are linearly moved 2 mm along the axes of the X and Y axes, respectively. Here, the pitch P of the threads of the first aligning portion 152 and the second aligning portion 154 may be the same or may be different from each other.
다음으로 편심저지부(170)는 제 1가이드 모듈(120)과 제 2가이드 모듈(140) 중 적어도 어느 하나의 판면에 대해 자기력을 제공하여 제 1가이드 모듈(120)과 제 2가이드 모듈(140)의 편심 이동을 저지한다. 실질적으로 제 1가이드 몸체(122)와 제 1가이드 레일(124) 사이 및 제 2가이드 몸체(142)와 제 2가이드 레일(144) 사이에는 조립 공차가 발생된다. 제 1가이드 몸체(122)의 이동 시 제 1가이드 몸체(122)와 제 1가이드 레일(124) 사이의 조립 공차에 의해 편심이 발생할 수 있고, 제 2가이드 몸체(142)의 이동 시 제 2가이드 몸체(142)와 제 2가이드 레일(144) 사이의 조립 공차에 의해 편심이 발생할 수 있다. 편심저지부(170)는 제 1가이드 몸체(122)와 제 1가이드 레일 사이의 공차 및/또는 제 2가이드 몸체(142)와 제 2가이드 레일(144) 사이의 공차에 따른 편심 리니어 이동을 저지하기 위해 사용된다.Next, the eccentric blocking unit 170 provides a magnetic force to at least one of the first guide module 120 and the second guide module 140 to the plate surface, so that the first guide module 120 and the second guide module 140 To prevent eccentric movement of Substantially, assembly tolerances occur between the first guide body 122 and the first guide rail 124 and between the second guide body 142 and the second guide rail 144. Eccentricity may occur due to assembly tolerances between the first guide body 122 and the first guide rail 124 when the first guide body 122 moves, and the second guide when the second guide body 142 moves. Eccentricity may occur due to assembly tolerances between the body 142 and the second guide rail 144. The eccentric stopper 170 prevents the eccentric linear movement according to the tolerance between the first guide body 122 and the first guide rail and / or the tolerance between the second guide body 142 and the second guide rail 144. Used to
편심저지부(170)는 접촉부(172) 및 마그네틱부(174)를 포함한다. 접촉부(172)는 제 1가이드 몸체(122) 및 제 2가이드 몸체(142)에 대해 면 접촉되는 접촉몸체(172a) 및 광학소자(110)의 면적 이상의 크기로 접촉몸체(172a)에 대해 관통 형성된 관통홀(172b)을 포함한다. 접촉몸체(172a)는 후술할 마그네틱부(174) 사이에서 자기장이 형성될 수 있는 금속 재질로 마련된다. 관통홀(172b)은 접촉몸체(172a)에 관통 형성되어 광의 경로를 간섭하지 않는다. 즉, 관통홀(172b)은 광학소자(110)의 면적 이상의 크기로 마련되어 제 1가이드 모듈(120)과 제 2가이드 모듈(140)의 리니어 이동에 따라 광의 경로에 대한 간섭을 방지할 수 있다.The eccentric stop 170 includes a contact 172 and a magnetic portion 174. The contact portion 172 is formed to penetrate the contact body 172a to a size larger than the area of the contact body 172a and the optical element 110 which are in surface contact with the first guide body 122 and the second guide body 142. The through hole 172b is included. The contact body 172a is provided of a metal material in which a magnetic field may be formed between the magnetic parts 174 to be described later. The through hole 172b is formed through the contact body 172a and does not interfere with the path of light. That is, the through hole 172b may be provided to have a size greater than or equal to the area of the optical device 110 to prevent the interference of the light path according to the linear movement of the first guide module 120 and the second guide module 140.
마그네틱부(174)는 제 1가이드 모듈(120) 또는 제 1가이드 모듈(120) 및 제 2가이드 모듈(140)에 배치되어 접촉부(172)와의 사이에서 자기장을 형성한다. 본 발명의 일 실시 예로서 마그네틱부(174)는 제 1가이드 모듈(120)의 제 1가이드 몸체(122)에 배치되나, 제 2가이드 모듈(140)의 제 2가이드 몸체(142)에도 함께 배치될 수 있다. 그러나, 마그네틱부(174)는 제 2가이드 모듈(140)의 제 2가이드 몸체(142)에만 배치되지 않는다. 상세하게 설명하면, 마그네틱부(174)가 제 2가이드 몸체(142)에만 배치될 때 제 1가이드 모듈(120)과 접촉부(172) 사이에는 자기장이 형성되지 않아 제 1가이드 모듈(120)의 편심 이동을 저지할 수 없다.The magnetic portion 174 is disposed in the first guide module 120 or the first guide module 120 and the second guide module 140 to form a magnetic field between the contact portion 172. In an embodiment of the present invention, the magnetic part 174 is disposed on the first guide body 122 of the first guide module 120, but is also disposed on the second guide body 142 of the second guide module 140. Can be. However, the magnetic part 174 is not disposed only in the second guide body 142 of the second guide module 140. In detail, when the magnetic part 174 is disposed only in the second guide body 142, no magnetic field is formed between the first guide module 120 and the contact part 172, so that the eccentricity of the first guide module 120 is prevented. You cannot stop movement.
탄성부재(190)는 제 1가이드 모듈(120) 및 제 2가이드 모듈(140)의 리니어 이동 방향에 대해 각각 배치된다. 탄성부재(190)는 제 1가이드 모듈(120) 및 제 2가이드 모듈(140)에 탄성력을 제공한다.The elastic member 190 is disposed with respect to the linear movement direction of the first guide module 120 and the second guide module 140, respectively. The elastic member 190 provides elastic force to the first guide module 120 and the second guide module 140.
탄성부재(190)는 본 발명의 일 실 시예로서, 제 1가이드 모듈(120)에 탄성력을 제공하는 제 1탄성부재(192)와 제 2가이드 모듈(140)에 탄성력을 제공하는 제 2탄성부재(194)를 포함한다. 제 1탄성부재(192)와 제 2탄성부재(194)는 제 1얼라인부(152) 및 제 2얼라인부(154)와 같이, XY 평면 상에서 2차원 직교 좌표계를 형성하여 배치된다. Elastic member 190 is an embodiment of the present invention, the second elastic member for providing an elastic force to the first elastic member 192 and the second guide module 140 to provide an elastic force to the first guide module 120. (194). The first elastic member 192 and the second elastic member 194 are arranged to form a two-dimensional rectangular coordinate system on the XY plane, like the first alignment unit 152 and the second alignment unit 154.
제 1탄성부재(192)와 제 2탄성부재(194)는 제 1얼라인부(152)와 제 2얼라인부(154)가 각각 제 1가이드 모듈(120) 및 제 2가이드 모듈(140)에 가압력을 제공하는 방향으로 이동될 때, 가압력 제공 방향의 역 방향으로 제 1가이드 모듈(120) 및 제 2가이드 모듈(140)에 각각 탄성력을 제공한다. 이렇게 제 1탄성부재(192)와 제 2탄성부재(194)가 각각 제 1가이드 모듈(120)과 제 2가이드 모듈(140)에 대한 제 1얼라인부(152)와 제 2얼라인부(154)의 가압 방향의 역 방향으로 탄성력을 제공함으로써, 가압력과 탄성력의 균형에 이해 제 1가이드 모듈(120)과 제 2가이드 모듈(140)의 리니어 이동 위치를 유지시킬 수 있는 이점이 있다.In the first elastic member 192 and the second elastic member 194, the first aligning portion 152 and the second aligning portion 154 are applied to the first guide module 120 and the second guide module 140, respectively. When moved in the direction of providing, the first guide module 120 and the second guide module 140, respectively, in the opposite direction of the pressing force providing direction provides an elastic force. In this way, the first elastic member 192 and the second elastic member 194 are the first alignment unit 152 and the second alignment unit 154 for the first guide module 120 and the second guide module 140, respectively. By providing the elastic force in the reverse direction of the pressing direction of the, there is an advantage in maintaining the linear movement position of the first guide module 120 and the second guide module 140 in the balance between the pressing force and the elastic force.
이에, 광의 경로에 대한 광 축선의 가로 방향 평면 상에서 광의 경로 위치를 변경할 수 있으므로, 출력되는 광의 품질을 향상시킬 수 있다.Accordingly, since the path position of the light can be changed on the horizontal plane of the optical axis with respect to the path of the light, the quality of the output light can be improved.
특히, 광원과 공진모듈 사이에 배치되어 광원으로부터 공진모듈로 입사되는 광의 경로 위치를 변경할 수 있으므로 공진모듈 내에서의 펌핑 광의 효율을 향상시킬 수 있고, 이에 따라 출력되는 광의 세기 및 파장 등의 광학 특성의 품질을 향상시킬 수 있다.In particular, since the path position of the light incident from the light source to the resonant module can be changed between the light source and the resonant module, the efficiency of the pumped light in the resonant module can be improved, and thus the optical characteristics such as the intensity and wavelength of the light output. Can improve the quality.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징들이 변경되지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것으로 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Although the embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains may be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. It will be understood that. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is shown by the following claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included in the scope of the present invention. do.

Claims (14)

  1. 광의 경로 상에 배치되는 광학소자와;An optical element disposed on a path of light;
    상기 광학소자를 지지하며, 광의 경로에 대한 축선을 Z축이라고 할 때 XY 평면 상에서 X축과 Y축 중 어느 하나의 축선으로 리니어 이동되는 제 1가이드 모듈과;A first guide module which supports the optical element and is linearly moved in any one of an X axis and a Y axis on an XY plane when an axis of a light path is called a Z axis;
    상기 제 1가이드 모듈을 수용하며, 상기 X축과 상기 Y축 중 다른 하나의 축선으로 상기 제 1가이드 모듈을 리니어 이동시키는 제 2가이드 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체.And a second guide module accommodating the first guide module and linearly moving the first guide module along an axis of the other one of the X axis and the Y axis.
  2. 제 1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈의 리니어 이동 축선에 각각 배치되어, 상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈이 각각 독립적으로 리니어 이동되도록 구동력을 제공하는 얼라인부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체.And an alignment part disposed on the linear movement axis of the first guide module and the second guide module, respectively, to provide a driving force to independently linearly move the first guide module and the second guide module. Mounting assembly for optical element positioning.
  3. 제 1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈 중 적어도 어느 하나의 판면에 대해 자기력을 제공하여, 상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈의 편심 이동을 저지하는 것을 특징으로 하는 편심저지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체.And providing an magnetic force to at least one plate surface of the first guide module and the second guide module, thereby preventing an eccentric movement of the first guide module and the second guide module. Mounting assembly for adjusting the optical element, characterized in that.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3,
    상기 제 1가이드 모듈은 상기 광학소자를 지지하는 제 1가이드 몸체와, 상기 제 1가이드 몸체의 양측에 배치되어 상기 제 1가이드 몸체의 리니어 이동을 안내하는 제 1가이드 레일을 포함하고;The first guide module includes a first guide body for supporting the optical element, and a first guide rail disposed on both sides of the first guide body to guide linear movement of the first guide body;
    상기 제 2가이드 모듈은 상기 제 1가이드 몸체를 수용하는 제 2가이드 몸체와, 상기 제 2가이드 몸체의 양측에 배치되어 상기 제 2가이드 몸체의 리니어 이동을 안내하는 제 2가이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체.The second guide module includes a second guide body for receiving the first guide body and a second guide rail disposed on both sides of the second guide body to guide linear movement of the second guide body. Mounting assembly for optical element positioning.
  5. 제 1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 제 1가이드 모듈은 상기 제 2가이드 모듈에 대해 독립적으로 리니어 이동되고, 상기 제 2가이드 모듈의 리니어 이동 시 상기 제 2가이드 모듈의 리니어 이동에 연동되는 것을 특징으로 하는 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체.And the first guide module is independently linearly moved relative to the second guide module and is linked to the linear movement of the second guide module when the second guide module is linearly moved.
  6. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein
    상기 편심저지부는,The eccentric blocking portion,
    상기 광학소자의 면적 이상의 크기로 형성된 관통홀을 가지며, 상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈에 면 접촉되는 접촉부와;A contact portion having a through hole formed in a size equal to or greater than an area of the optical element, the contact portion being in surface contact with the first guide module and the second guide module;
    상기 제 1가이드 모듈 또는 상기 제 1가이드 모듈 및 상기 제 2가이드 모듈에 배치되어, 상기 접촉부와의 사이에 자기장을 형성시키는 마그네틱부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체.And a magnetic part disposed in the first guide module or the first guide module and the second guide module to form a magnetic field between the contact part and the contact part.
  7. 제 2항에 있어서,The method of claim 2,
    상기 얼라인부는 상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈에 각각 접촉되어, 상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈의 리니어 이동을 위해 나사 운동으로 진퇴 운동되는 것을 특징으로 하는 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체.The alignment portion is in contact with the first guide module and the second guide module, respectively, for adjusting the position of the optical element, characterized in that the movement forward and backward for the linear movement of the first guide module and the second guide module Mount assembly.
  8. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein
    상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈의 리니어 이동거리는 상기 얼라인부의 나사산의 피치에 대응되는 것을 특징으로 하는 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체.And a linear movement distance of the first guide module and the second guide module corresponds to the pitch of the thread of the alignment part.
  9. 제 2항 또는 제 7항에 있어서,The method according to claim 2 or 7,
    상기 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체는,The optical device position adjustment mount assembly,
    상기 제 1가이드 모듈 및 상기 제 2가이드 모듈의 리니어 이동 방향에 대해 각각 배치되어, 상기 제 1가이드 모듈 및 상기 제 2가이드 모듈에 탄성력을 제공하는 탄성부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체.Positioning the optical element, the first guide module and the second guide module respectively disposed in the linear movement direction, characterized in that it further comprises an elastic member for providing an elastic force to the first guide module and the second guide module Adjustment mount assembly.
  10. 제 9항에 있어서,The method of claim 9,
    상기 탄성부재는 상기 얼라인부가 각각 상기 제 1가이드 모듈 및 상기 제 2가이드 모듈에 가압력을 제공하는 방향으로 이동될 때, 상기 얼라인부의 이동 방향의 역 방향으로 상기 제 1가이드 모듈 및 상기 제 2가이드 모듈에 각각 탄성력을 제공하는 것을 특징으로 하는 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체.The elastic member is the first guide module and the second guide in a direction opposite to the movement direction of the alignment unit when the alignment portion is moved in the direction of providing a pressing force to the first guide module and the second guide module, respectively Mounting assembly for optical element positioning, characterized in that each providing a resilient force to the guide module.
  11. 광의 경로 상에 배치되는 광학소자와;An optical element disposed on a path of light;
    상기 광학소자를 지지하며, 광의 경로에 대한 축선을 Z축이라고 할 때 XY 평면 상에서 X축과 Y축 중 어느 하나의 축선으로 상기 광학소자의 리니어 이동을 안내하는 제 1가이드 레일을 제 1가이드 모듈과;The first guide module supports the optical element, and guides the linear movement of the optical element to any one of the X and Y axes on the XY plane when the axis of the light path is referred to as the Z axis. and;
    상기 제 1가이드 모듈을 수용하며, 상기 X축과 상기 Y축 중 다른 하나의 축선으로 상기 제 1가이드 모듈의 리니어 이동을 안내하는 제 2가이드 레일을 갖는 제 2가이드 모듈과;A second guide module accommodating the first guide module and having a second guide rail for guiding linear movement of the first guide module along the other axis of the X and Y axes;
    상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈이 각각 독립적으로 리니어 이동되도록 구동력을 제공하는 얼라인부와;An alignment unit for providing a driving force to linearly move the first guide module and the second guide module independently of each other;
    상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈 중 적어도 어느 하나에 배치되어, 상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈의 편심 이동이 제한되도록 자기력을 제공하는 편심저지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체.An eccentric restraining unit disposed in at least one of the first guide module and the second guide module to provide a magnetic force to limit the eccentric movement of the first guide module and the second guide module; Mount assembly for device positioning.
  12. 제 11항에 있어서,The method of claim 11,
    상기 제 1가이드 모듈 및 상기 제 2가이드 모듈은 각각,The first guide module and the second guide module, respectively,
    상기 광학소자를 지지하며 상기 제 1가이드 레일을 따라 리니어 이동되는 제 1가이드 몸체 및 상기 제 1가이드 몸체를 수용하며 상기 제 2가이드 레일을 따라 리니어 이동되는 제 2가이드 몸체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체.And a first guide body supporting the optical element and linearly moved along the first guide rail, and a second guide body receiving the first guide body and linearly moving along the second guide rail. Mounting assembly for adjusting the optical element position.
  13. 제 12항에 있어서,The method of claim 12,
    상기 편심저지부는,The eccentric blocking portion,
    상기 광학소자의 면적 이상의 크기로 형성된 관통홀을 가지며, 상기 제 1가이드 모듈과 상기 제 2가이드 모듈에 면 접촉되는 접촉부와;A contact portion having a through hole formed in a size equal to or greater than an area of the optical element, the contact portion being in surface contact with the first guide module and the second guide module;
    상기 제 1가이드 모듈 또는 상기 제 1가이드 모듈 및 상기 제 2가이드 모듈에 배치되어, 상기 접촉부와의 사이에 자기장을 형성시키는 마그네틱부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체.And a magnetic part disposed in the first guide module or the first guide module and the second guide module to form a magnetic field between the contact part and the contact part.
  14. 제 11항 또는 제 13항에 있어서,The method according to claim 11 or 13,
    상기 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체는,The optical device position adjustment mount assembly,
    상기 제 1가이드 모듈 및 상기 제 2가이드 모듈의 리니어 이동 방향에 대해 각각 배치되어, 상기 제 1가이드 모듈 및 상기 제 2가이드 모듈에 탄성력을 제공하는 탄성부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학소자 위치 조정용 마운트 조립체.Positioning the optical element, the first guide module and the second guide module respectively disposed in the linear movement direction, characterized in that it further comprises an elastic member for providing an elastic force to the first guide module and the second guide module Adjustment mount assembly.
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