WO2018050616A1 - Method for producing a hydrophobic and/or lyophobic coating, and assembly having a substrate with a hydrophobic and/or lyophobic coating - Google Patents

Method for producing a hydrophobic and/or lyophobic coating, and assembly having a substrate with a hydrophobic and/or lyophobic coating Download PDF

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WO2018050616A1
WO2018050616A1 PCT/EP2017/072822 EP2017072822W WO2018050616A1 WO 2018050616 A1 WO2018050616 A1 WO 2018050616A1 EP 2017072822 W EP2017072822 W EP 2017072822W WO 2018050616 A1 WO2018050616 A1 WO 2018050616A1
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hydrophobic
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adhesion
lyophobic
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Meik Panitz
Daniel Grimm
Martin TILKE
Lutz RAUPACH
Peter BRAKHAGE
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Jenoptik Optical Systems Gmbh
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40—Oxides
    • C23C16/401—Oxides containing silicon
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    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
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    • B05D5/08—Processes for applying liquids or other fluent materials to surfaces to obtain special surface effects, finishes or structures to obtain an anti-friction or anti-adhesive surface
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    • B05D1/62—Plasma-deposition of organic layers

Definitions

  • the present invention relates to a process for producing a hydrophobic and / or lyophobic coating according to the features of patent claim 1 and to an arrangement having a substrate with a hydrophobic and / or lyophobic coating according to the features of patent claim 9.
  • Hydrophobic and / or lyophobic surface layers have different fields of application. With hydrophobic and / or lyophobic layers coated glass and metal surfaces have non-stick properties and can, for. B. be used as self-cleaning surfaces for use in automotive, aerospace or facade technology. Self-cleaning glasses can also be used in spectacles. Well-adherent hydrophobic layers can be applied to both outer surfaces and on inner surfaces such as hollow needles or the like and z. B. be used in medical technology. Hydrophobic layers are also used in immersion lithography.
  • Such a hydrophobic or lyophobic layer may be, for example, a silicon polymer layer having the structural formula (SiO x C y ) n .
  • Such layers of SiO x -based may also consist of organosilicon compounds such as tetramethylsilane (TMS), tetraethoxysilane (TEOS) or polymer-like hydrocarbon layers of coals ⁇ hydrocarbons such as methane, acetylene or propargyl alcohol and fluorinated carbon ⁇ layers of fluorinated hydrocarbons, such as for example, be tetrafluoroethylene.
  • TMS tetramethylsilane
  • TEOS tetraethoxysilane
  • polymer-like hydrocarbon layers of coals ⁇ hydrocarbons such as methane, acetylene or propargyl alcohol and fluorinated carbon ⁇ layers of fluorinated hydrocarbons, such as for example, be tetrafluoroethylene.
  • the polymer layer may also be a layer having the structural formula (ZrO x C y ) n or (TiO x C y ) n .
  • the applications are also suitable for temperature-sensitive and intricately shaped 3D parts.
  • titanium (Ti), titanium nitride (TiN), indium tin oxide, nickel (Ni), gold (Au), silver (Ag), chromium (Cr), or magnesium fluoride as a functional coating for z.
  • Ti titanium
  • TiN titanium nitride
  • Ni nickel
  • Au gold
  • Ag silver
  • Cr chromium
  • magnesium fluoride magnesium fluoride
  • all of these layers can also admixtures of, for example, boron, carbon, phosphorus, oxygen or nitrogen.
  • a hydrophobic organic layer for example, Si polymer
  • PE-CVD plasma-induced chemical vapor deposition
  • the hydrophobic layer 4 is exposed to different stress depending on the application. Often, a very high adhesion to the underlying layer, so the functional layer 3, required, even during exposure to any environmental influences such as UV light, running water and / or mechanical stress. Lack of adhesion reduces the scope and the service life.
  • a process for producing a hydrophobic and / or lyophobic coating is presented, the process having the following features:
  • the approach described here is based on the finding that an improvement in the adhesion properties and robustness to abrasion of a hydrophobic and / or lyophobic surface can be achieved by bringing an additional adhesion-promoting layer between the substrate or the functional layer and the hydrophobic and / or lyophobic surface layer becomes.
  • the adhesion-promoting layer is inventively deposited such that an average roughness of the surface of the adhesion-promoting layer is greater than an average roughness of the surface of the functional layer.
  • average roughness indicates the mean distance of a measuring point - on the surface - to a center line, the center line intersecting the real profile within a reference section such that the sum of the profile deviations (relative to the center line) becomes minimal.
  • the interface between the adhesion-promoting layer and the functional layer can be better controlled, whereby disadvantages of the direct hydrophobic and / or lyophobic coating can be avoided, in particular the surface pretreatment, contamination in and through the coating chamber and intrinsic problems at the beginning of the deposition.
  • the hydrophobic and / or lyophobic layer grows / adheres better to the adhesion promoting layer than to the functional layer, e.g. Titanium nitride.
  • the step of depositing an adhesion-promoting layer with a first deposition method and the step of depositing the hydrophobic and / or lyophobic layer can be carried out with a different second deposition method.
  • the adhesive layer is not realized, as with other adhesive layers, by a chemically significantly different material, but by a significantly different deposition method, the z. B. caused by a higher energy of the deposited particles better adhesion.
  • the first deposition process can be selected from atomic layer deposition or physical vapor deposition methods such as Sputtering or steaming can be selected. Such deposition methods are easy to control and can thus be used particularly effectively.
  • the second deposition process may be atomic layer deposition or a physical vapor deposition process such as sputtering or vapor deposition, chemical vapor deposition, or, preferably, plasma enhanced chemical vapor deposition.
  • the step of depositing the hydrophobic and / or lyophobic layer may comprise depositing a silicon polymer layer having the structural formula (SiO x C y ) n .
  • the refractive index of the adhesion promoting layer may be approximately equal to that of the hydrophobic and / or lyophobic layer, e.g. B. silicon polymer layer.
  • the refractive index of the adhesion promoting layer may be approximately equal to that of the hydrophobic and / or lyophobic layer, e.g. B. silicon polymer layer.
  • the step of depositing the adhesion-promoting layer may include depositing a SiO 2 , SiO x (where 2 >x> 0), Al 2 O 3 , TiO 2 , Y 2 O 3, La 2 O 3 , HfO 2 , HfSiON, HfSiO , BaSrTiO *, ZrO, Ta 2 0 5 , Ga 2 0 3 or a Gd 2 0 3 layer.
  • a Si0 2 layer an additional hard layer is provided which has a high resistance to abrasion.
  • the Vickers hardness of Si0 2 is -300-1000 MPa.
  • the thickness of the adhesion-promoting layer in particular of the SiO 2 layer, can be between 2 nm and 2 ⁇ m, depending on the application and the requirements.
  • Alternative layers to the Si0 2 layer can all be oxides.
  • Al 2 O 3 is also suitable as a transparent layer (Vickers hardness up to 2000 MPa).
  • the step of depositing a functional layer may include depositing a titanium, or a titanium nitride, or an indium tin oxide, or a nickel, or a gold, or a silver, or a chromium or a magnesium fluoride Layer include.
  • the step of depositing a functional layer may comprise admixing boron, or carbon, or phosphorus, or oxygen or nitrogen.
  • the approach presented here also provides an arrangement with a substrate and a hydrophobic and / or lyophobic coating produced by a method according to the invention with the following features: a substrate; a functional layer on the substrate, the surface of the functional layer having a first average roughness; an adhesion promoting layer on the functional layer, wherein a surface of the adhesion promoting layer has a second average roughness greater than the first average roughness; and a hydrophobic and / or lyophobic layer on the adhesion-promoting layer.
  • Figure 1 is a schematic representation of a substrate with a hydrophobic and / or lyophobic coating according to the prior art.
  • FIG. 2 is a schematic representation of a substrate having a hydrophobic and / or lyophobic coating according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a diagram with respect to the surface roughness of the adhesion-promoting layer in FIG.
  • FIG. 4 shows a flow diagram of a method according to the invention for producing a hydrophobic and / or lyophobic coating.
  • FIG. 2 shows a schematic illustration of a possible realization of an arrangement comprising a substrate 1 and a hydrophobic and / or lyophobic layer 4 according to an exemplary embodiment of the present invention.
  • Such an arrangement can be used, for example, in immersion lithography.
  • an adhesion-promoting layer 3 is arranged between the hydrophobic and / or lyophobic layer 4 and a functional layer 2.
  • a surface 3a of the adhesion-promoting layer 3 has a (second) mean roughness which is greater than a (first) mean roughness of the surface 2a of the functional layer 2. This provides improved adhesion of the hydrophobic and / or lyophobic layer 4.
  • Fig. 3 shows a diagram bzg l. the average (surface) roughness of the adhesion-promoting layer 3 as a function of the layer thickness. As can be clearly seen from the diagram, an average roughness of the surface increases with increasing layer thickness of the adhesion-promoting layer 3.
  • FIG. 4 shows a flowchart of a method for producing a hydrophobic and / or lyophobic coating.
  • the hydrophobic and / or lyophobic coating can be the coating described with reference to FIG.
  • a substrate is first provided.
  • the provisioning step may include, for example, incorporation of the substrate into a coating line.
  • a functional layer 2 is deposited on the substrate, wherein a surface 2a of the functional layer has a first average roughness.
  • an adhesion-promoting layer 3 is deposited on the functional layer, wherein a surface 3a of the adhesion-promoting layer 3 has a second average roughness which is greater than the first average roughness.
  • a hydrophobic and / or lyophobic layer 4 is deposited on the adhesion-promoting layer 3.
  • an exemplary embodiment comprises a "and / or" link between a first feature and a second feature
  • this can be read so that the embodiment according to one embodiment, both the first feature and the second feature and according to another embodiment, either only the first Feature or only the second feature.

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Abstract

The invention relates to a method for producing a hydrophobic and/or lyophobic coating on a substrate (1), having the following features: providing a substrate (1); depositing a functional layer (2) on the substrate, a surface of the functional layer having a first average roughness; depositing an adhesion-promoting layer (3) on the functional layer, a surface of the adhesion-promoting layer (3) having a second average roughness which is greater than the first average roughness; and depositing a hydrophobic and/or lyophobic layer (4) onto the adhesion-promoting layer (3).

Description

Verfahren zur Herstellung einer hydrophoben und/ oder lyophoben Beschichtung und Anordnung mit einem Substrat mit einer hydrophoben und/ oder lyophoben  Process for the preparation of a hydrophobic and / or lyophobic coating and arrangement with a substrate with a hydrophobic and / or lyophobic
Beschichtung coating
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung einer hydrophoben und/ oder lyophoben Beschichtung gemäß den Merkmalen von Patentanspruch 1 und auf eine Anordnung mit einem Substrat mit einer hydrophoben und/ oder lyophoben Beschichtung gemäß den Merkmalen von Patentanspruch 9. The present invention relates to a process for producing a hydrophobic and / or lyophobic coating according to the features of patent claim 1 and to an arrangement having a substrate with a hydrophobic and / or lyophobic coating according to the features of patent claim 9.
Hydrophobe und/oder lyophobe Oberflächenschichten haben verschiedene Einsatzfelder. Mit hydrophoben und/oder lyophoben Schichten beschichtete Glas- und Metalloberflächen besitzen Antihafteigenschaften und können z. B. als selbstreinigende Oberflächen zur Anwendung im Automobilbau, Luftfahrt oder Fassadentechnik eingesetzt werden. Selbstreinigende Gläser können auch in Brillen eingesetzt werden. Gut haftende hydrophobe Schichten können sowohl auf Außenoberflächen als auch auf Innenoberflächen wie Hohlnadeln oder ähnliches appliziert und z. B. in der Medizintechnik eingesetzt werden. Hydrophobe Schichten kommen ebenfalls bei der Immersionslithographie zum Einsatz. Hydrophobic and / or lyophobic surface layers have different fields of application. With hydrophobic and / or lyophobic layers coated glass and metal surfaces have non-stick properties and can, for. B. be used as self-cleaning surfaces for use in automotive, aerospace or facade technology. Self-cleaning glasses can also be used in spectacles. Well-adherent hydrophobic layers can be applied to both outer surfaces and on inner surfaces such as hollow needles or the like and z. B. be used in medical technology. Hydrophobic layers are also used in immersion lithography.
Eine solche hydrophobe bzw. lyophobe Schicht kann zum Beispiel eine Silizium- Polymerschicht mit der Strukturformel (SiOxCy)n sein. Derartige Schichten auf SiOx-Basis können auch aus siliziumorganischen Verbindungen wie Tetramethylsilan (TMS), Tetraethoxysilan (TEOS) oder polymerähnliche Kohlenwasserstoffschichten aus Kohlen¬ wasserstoffen wie Methan, Acetylen oder Propargylalkohol sowie fluorierte Kohlenstoff¬ schichten aus fluorierten Kohlenwasserstoffen wie beispielsweise Tetrafluorethen sein. Bei der Polymerschicht kann es sich je nach Anwendung auch um eine Schicht mit der Strukturformel (ZrOxCy)n oder (TiOxCy)n handeln. Die Anwendungen eignen sich auch für temperaturempfindliche und kompliziert geformte 3D-Teile. Such a hydrophobic or lyophobic layer may be, for example, a silicon polymer layer having the structural formula (SiO x C y ) n . Such layers of SiO x -based may also consist of organosilicon compounds such as tetramethylsilane (TMS), tetraethoxysilane (TEOS) or polymer-like hydrocarbon layers of coals ¬ hydrocarbons such as methane, acetylene or propargyl alcohol and fluorinated carbon ¬ layers of fluorinated hydrocarbons, such as for example, be tetrafluoroethylene. Depending on the application, the polymer layer may also be a layer having the structural formula (ZrO x C y ) n or (TiO x C y ) n . The applications are also suitable for temperature-sensitive and intricately shaped 3D parts.
Hierfür werden beispielsweise auf einer Substratoberfläche Titan (Ti), Titannitrid (TiN), Indiumzinnoxid, Nickel (Ni), Gold (Au), Silber (Ag), Chrom (Cr), oder Magnesiumfluorid als funktionale Beschichtung für z. B. eine Verdunklung, eine Entspiegelung, oder eine Polarisation abgeschieden, wobei all diese Schichten auch Beimengungen an zum Beispiel Bor, Kohlenstoff, Phosphor, Sauerstoff oder Stickstoff haben können. Auf diese Oberfläche wird eine hydrophobe organische Schicht (zum Beispiel Si-Polymer) zum Beispiel mittels plasmainduzierter chemischer Gasphasenabscheidung (PE-CVD) aufgebracht. Diese Schicht wird in vielen unterschiedlichen Anwendungsfeldern, wie das bereits zuvor beschrieben worden ist, eingesetzt. In Fig. 1 ist ein Beispiel des Standes der Technik aufgezeichnet. Fig. 1 zeigt im Detail einen Schichtaufbau mit einem Substrat 1 , einer Funktionsschicht 2 und einer darauf abgeschiedenen hydrophoben und/ oder lyophoben Beschichtung 4. For this purpose, for example, on a substrate surface, titanium (Ti), titanium nitride (TiN), indium tin oxide, nickel (Ni), gold (Au), silver (Ag), chromium (Cr), or magnesium fluoride as a functional coating for z. As a blackout, an anti-reflection, or a polarization deposited, all of these layers can also admixtures of, for example, boron, carbon, phosphorus, oxygen or nitrogen. Onto this surface, a hydrophobic organic layer (for example, Si polymer) is applied, for example, by means of plasma-induced chemical vapor deposition (PE-CVD). This layer is used in many different fields of application, such as previously described. In Fig. 1, an example of the prior art is recorded. 1 shows in detail a layer structure with a substrate 1, a functional layer 2 and a hydrophobic and / or lyophobic coating 4 deposited thereon.
Die hydrophobe Schicht 4 ist je nach Anwendung verschiedenem Stress ausgesetzt. Häufig wird eine sehr hohe Haftung auf der darunterliegenden Schicht, also der Funktionsschicht 3, gefordert, auch während der Belastung durch etwaige Umwelteinflüsse wie UV-Licht, laufendes Wasser und/oder mechanischer Belastung. Mangelnde Haftung reduziert die Anwendungsbreite und die Nutzungsdauer. The hydrophobic layer 4 is exposed to different stress depending on the application. Often, a very high adhesion to the underlying layer, so the functional layer 3, required, even during exposure to any environmental influences such as UV light, running water and / or mechanical stress. Lack of adhesion reduces the scope and the service life.
Es ist daher die Aufgabe der Erfindung, eine dauerhaft gute Haftung der organischen hydrophoben und/oder lyophoben Schicht auf der darunterliegenden Schicht zu gewährleisten. Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungen ergeben sich aus den Unteransprüchen in Kombination mit der nachfolgenden Beschreibung und den Figuren. It is therefore the object of the invention to ensure a permanently good adhesion of the organic hydrophobic and / or lyophobic layer on the underlying layer. This object is achieved with the features of claim 1. Advantageous embodiments will become apparent from the dependent claims in combination with the following description and the figures.
Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer hydrophoben und/ oder lyophoben Beschichtung vorgestellt, wobei das Verfahren die folgenden Merkmale aufweist: A process for producing a hydrophobic and / or lyophobic coating is presented, the process having the following features:
Bereitstellen eines Substrats; Providing a substrate;
Abscheiden einer Funktionsschicht auf dem Substrat, wobei eine Oberfläche der Funktionsschicht eine erste mittlere Rauheit aufweist; Depositing a functional layer on the substrate, wherein a surface of the functional layer has a first average roughness;
Abscheiden einer haftvermittelnden Schicht auf der Funktionsschicht, wobei eine Oberfläche der haftvermittelnden Schicht eine zweite mittlere Rauheit aufweist, die größer als die erste mittlere Rauheit ist; und Depositing an adhesion promoting layer on the functional layer, wherein a surface of the adhesion promoting layer has a second average roughness greater than the first average roughness; and
Abscheiden einer hydrophoben und/oder lyophoben Schicht auf die haftvermittelnde Schicht. Depositing a hydrophobic and / or lyophobic layer on the adhesion-promoting layer.
Der hier beschriebene Ansatz beruht auf der Erkenntnis, dass eine Verbesserung der Haftungseigenschaften und Robustheit gegenüber Abrieb einer hydrophoben und/oder lyophoben Oberfläche dadurch erzielt werden kann, dass zwischen das Substrat beziehungsweise die Funktionsschicht und der hydrophoben und/oder lyophoben Oberflächenschicht eine zusätzliche haftvermittelnde Schicht gebracht wird. Die haftvermittelnde Schicht wird erfindungsgemäß derart abgeschieden, dass eine mittlere Rauheit der Oberfläche der haftvermittelnden Schicht größer ist als eine mittlere Rauheit der Oberfläche der Funktionsschicht. The approach described here is based on the finding that an improvement in the adhesion properties and robustness to abrasion of a hydrophobic and / or lyophobic surface can be achieved by bringing an additional adhesion-promoting layer between the substrate or the functional layer and the hydrophobic and / or lyophobic surface layer becomes. The adhesion-promoting layer is inventively deposited such that an average roughness of the surface of the adhesion-promoting layer is greater than an average roughness of the surface of the functional layer.
Das technische Merkmal „mittlere Rauheit" gibt den mittleren Abstand eines Messpunktes - auf der Oberfläche - zu einer Mittellinie an. Die Mittellinie schneidet innerhalb einer Bezugsstrecke das wirkliche Profil so, dass die Summe der Profilabweichungen (bezogen auf die Mittellinie) minimal wird. The technical term "average roughness" indicates the mean distance of a measuring point - on the surface - to a center line, the center line intersecting the real profile within a reference section such that the sum of the profile deviations (relative to the center line) becomes minimal.
Durch das Abscheiden der haftvermittelnden Schicht, können nachfolgende weitere Vorteile erzielt werden: By depositing the adhesion-promoting layer, the following further advantages can be achieved:
1 . ) Die Grenzfläche zwischen der haftvermittelnden Schicht und der Funktionsschicht kann besser kontrolliert werden, womit Nachteile der direkten hydrophoben und/ oder lyophoben Beschichtung vermieden werden können, hier insbesondere die Oberflächenvorbehandlung, Verschmutzung in und durch die Beschichtungskammer sowie intrinsische Probleme beim Beginn der Abscheidung. 1 . ) The interface between the adhesion-promoting layer and the functional layer can be better controlled, whereby disadvantages of the direct hydrophobic and / or lyophobic coating can be avoided, in particular the surface pretreatment, contamination in and through the coating chamber and intrinsic problems at the beginning of the deposition.
2. ) die hydrophobe und/ oder lyophobe Schicht wächst / haftet besser auf der haftvermittelnden Schicht als auf der Funktionsschicht, z.B. Titannitrid. 2.) the hydrophobic and / or lyophobic layer grows / adheres better to the adhesion promoting layer than to the functional layer, e.g. Titanium nitride.
3. ) Durch geeignete Abscheideparameter kann die Topographie der haftvermittelnden3.) By suitable deposition parameters, the topography of the adhesion-promoting
Schicht angepasst werden, so dass zusätzlich durch eine Oberflächenvergrößerung eine physikalische Haftverbesserung der hydrophoben und/ oder lyophoben Schicht erwirkt wird. Be adapted layer, so that in addition by a surface enlargement physical adhesion improvement of the hydrophobic and / or lyophobic layer is obtained.
In einer weiteren Ausführungsform können der Schritt des Abscheidens einer haftvermittelnden Schicht mit einem ersten Abscheideverfahren und der Schritt des Abscheidens der hydrophoben und/oder lyophoben Schicht mit einem davon verschiedenen zweiten Abscheideverfahren erfolgen. Die Haftschicht wird nicht, wie bei anderen Haftschichten, durch ein chemisch signifikant anderes Material realisiert, sondern durch ein signifikant anderes Abscheideverfahren, das z. B. durch eine höhere Energie der abgeschiedenen Teilchen eine bessere Haftung bewirkt. In a further embodiment, the step of depositing an adhesion-promoting layer with a first deposition method and the step of depositing the hydrophobic and / or lyophobic layer can be carried out with a different second deposition method. The adhesive layer is not realized, as with other adhesive layers, by a chemically significantly different material, but by a significantly different deposition method, the z. B. caused by a higher energy of the deposited particles better adhesion.
In einer weiteren Ausführungsform kann das erste Abscheideverfahren aus der Gruppe Atomlagenabscheidung oder physikalische Gasphasenabscheideverfahren wie etwa Sputtern oder Bedampfen gewählt werden. Derartige Abscheideverfahren sind gut beherrschbar und können somit besonders wirkungsvoll eingesetzt werden. In a further embodiment, the first deposition process can be selected from atomic layer deposition or physical vapor deposition methods such as Sputtering or steaming can be selected. Such deposition methods are easy to control and can thus be used particularly effectively.
In einer weiteren Ausführungsform kann das zweite Abscheideverfahren eine Atomlagenabscheidung oder ein physikalisches Gasphasenabscheideverfahren wie etwa Sputtern oder Bedampfen, eine chemische Gasphasenabscheidung, oder vorzugsweise eine plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung sein. In another embodiment, the second deposition process may be atomic layer deposition or a physical vapor deposition process such as sputtering or vapor deposition, chemical vapor deposition, or, preferably, plasma enhanced chemical vapor deposition.
In einer weiteren Ausführungsform kann der Schritt des Abscheidens der hydrophoben und/ oder lyophoben Schicht ein Abscheiden einer Silizium-Polymerschicht mit der Strukturformel (SiOxCy)n umfassen. In a further embodiment, the step of depositing the hydrophobic and / or lyophobic layer may comprise depositing a silicon polymer layer having the structural formula (SiO x C y ) n .
Bevorzugt kann der Brechungsindex der haftvermittelnden Schicht ungefähr gleich dem der hydrophoben und/ oder lyophoben Schicht, z. B. Silizium-Polymerschicht, sein. Somit kommt es zu keinen nennenswerten Änderungen der optischen Eigenschaften. Preferably, the refractive index of the adhesion promoting layer may be approximately equal to that of the hydrophobic and / or lyophobic layer, e.g. B. silicon polymer layer. Thus, there are no significant changes in the optical properties.
In einer weiteren Ausführungsform kann der Schritt des Abscheidens der haftvermittelnden Schicht ein Abscheiden einer Si02, SiOx (mit 2>x>0), Al203, Ti02, Y2O3, La203, Hf02, HfSiON, HfSiO, BaSrTiO*, ZrO, Ta205, Ga203 oder einer Gd203 Schicht umfassen. Insbesondere durch das Abscheiden einer Si02 Schicht wird eine zusätzliche harte Schicht bereitgestellt, die eine hohe Widerstandsfähigkeit gegenüber Abrieb aufweist. Die Vickers Härte von Si02 liegt bei -300-1000 MPa. In a further embodiment, the step of depositing the adhesion-promoting layer may include depositing a SiO 2 , SiO x (where 2 >x> 0), Al 2 O 3 , TiO 2 , Y 2 O 3, La 2 O 3 , HfO 2 , HfSiON, HfSiO , BaSrTiO *, ZrO, Ta 2 0 5 , Ga 2 0 3 or a Gd 2 0 3 layer. In particular, by depositing a Si0 2 layer, an additional hard layer is provided which has a high resistance to abrasion. The Vickers hardness of Si0 2 is -300-1000 MPa.
Die Dicke der haftvermittelnden Schicht, insbesondere der Si02-Schicht, kann abhängig von der Anwendung und den Anforderungen zwischen 2 nm und 2 μιη liegen. Alternative Schichten zur Si02-Schicht können alle Oxide sein. Zum Beispiel kommt auch Al203 als transparente Schicht in Frage (Vickers-Härte bis 2000MPa). The thickness of the adhesion-promoting layer, in particular of the SiO 2 layer, can be between 2 nm and 2 μm, depending on the application and the requirements. Alternative layers to the Si0 2 layer can all be oxides. For example, Al 2 O 3 is also suitable as a transparent layer (Vickers hardness up to 2000 MPa).
In einer weiteren Ausführungsform kann der Schritt des Abscheidens einer Funktionsschicht das Abscheiden einer Titan-, oder einer Titannitrid-, oder einer Indiumzinnoxid-, oder einer Nickel-, oder einer Gold-, oder einer Silber-, oder einer Chrom- oder einer Magnesiumfluorid-Schicht umfassen. In another embodiment, the step of depositing a functional layer may include depositing a titanium, or a titanium nitride, or an indium tin oxide, or a nickel, or a gold, or a silver, or a chromium or a magnesium fluoride Layer include.
In einer weiteren Ausführungsform kann der Schritt des Abscheidens einer Funktionsschicht das Beimengen von Bor, oder von Kohlenstoff, oder von Phosphor, oder von Sauerstoff oder von Stickstoff umfassen. Der hier vorgestellte Ansatz schafft zudem Anordnung mit einem Substrat und einer hydrophoben und/ oder lyophoben Beschichtung hergestellt nach einem erfindungsgemäßen Verfahren mit den folgenden Merkmalen: einem Substrat; einer Funktionsschicht auf dem Substrat, wobei die Oberfläche der Funktionsschicht eine erste mittlere Rauheit aufweist; einer haftvermittelnden Schicht auf der Funktionsschicht, wobei eine Oberfläche der haftvermittelnden Schicht eine zweite mittlere Rauheit aufweist, die größer als die erste mittlere Rauheit ist; und einer hydrophoben und/oder lyophoben Schicht auf der haftvermittelnden Schicht. In a further embodiment, the step of depositing a functional layer may comprise admixing boron, or carbon, or phosphorus, or oxygen or nitrogen. The approach presented here also provides an arrangement with a substrate and a hydrophobic and / or lyophobic coating produced by a method according to the invention with the following features: a substrate; a functional layer on the substrate, the surface of the functional layer having a first average roughness; an adhesion promoting layer on the functional layer, wherein a surface of the adhesion promoting layer has a second average roughness greater than the first average roughness; and a hydrophobic and / or lyophobic layer on the adhesion-promoting layer.
Die Erfindung wird anhand der beigefügten Zeichnungen beispielhaft näher erläutert. Es zeigen: The invention will be described by way of example with reference to the accompanying drawings. Show it:
Fig. 1 eine schematische Darstellung eines Substrats mit einer hydrophoben und/ oder lyophoben Beschichtung gemäß dem Stand der Technik ; und Figure 1 is a schematic representation of a substrate with a hydrophobic and / or lyophobic coating according to the prior art. and
Fig. 2 eine schematische Darstellung eines Substrats mit einer hydrophoben und/ oder lyophoben Beschichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung; und  2 is a schematic representation of a substrate having a hydrophobic and / or lyophobic coating according to an embodiment of the present invention; and
Fig. 3 ein Diagramm bzgl. der Oberflächenrauheit der haftvermittelnden Schicht in 3 is a diagram with respect to the surface roughness of the adhesion-promoting layer in FIG
Abhängigkeit der Schichtdicke; und Dependence of the layer thickness; and
Fig. 4 ein Ablaufdiagramm eines erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer hydrophoben und/ oder lyophoben Beschichtung. 4 shows a flow diagram of a method according to the invention for producing a hydrophobic and / or lyophobic coating.
In der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden für die in den verschiedenen Figuren dargestellten und ähnlich wirkenden Elemente gleiche oder ähnliche Bezugszeichen verwendet, wobei auf eine wiederholte Beschreibung dieser Elemente verzichtet wird. In the following description of preferred embodiments of the present invention, the same or similar reference numerals are used for the elements shown in the various figures and similarly acting, wherein a repeated description of these elements is omitted.
Die Fig. 2 zeigt eine schematische Darstellung einer möglichen Realisierung einer Anordnung mit einem Substrat 1 und einer hydrophoben und/ oder lyophoben Schicht 4 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Eine derartige Anordnung kann beispielsweise in der Immersionslithographie eingesetzt werden. Erfindungswesentlich hierbei ist, dass zwischen der hydrophoben und/ oder lyophoben Schicht 4 und einer Funktionsschicht 2 eine haftvermittelnden Schicht 3 angeordnet ist. Eine Oberfläche 3a der haftvermittelnden Schicht 3 weist eine (zweite) mittlere Rauheit auf, die größer ist, als eine (erste) mittlere Rauheit der Oberfläche 2a der Funktionsschicht 2. Dadurch wird eine verbesserte Haftung der hydrophoben und/ oder lyophoben Schicht 4 bereitgestellt. FIG. 2 shows a schematic illustration of a possible realization of an arrangement comprising a substrate 1 and a hydrophobic and / or lyophobic layer 4 according to an exemplary embodiment of the present invention. Such an arrangement can be used, for example, in immersion lithography. It is essential to the invention that an adhesion-promoting layer 3 is arranged between the hydrophobic and / or lyophobic layer 4 and a functional layer 2. A surface 3a of the adhesion-promoting layer 3 has a (second) mean roughness which is greater than a (first) mean roughness of the surface 2a of the functional layer 2. This provides improved adhesion of the hydrophobic and / or lyophobic layer 4.
Fig. 3 zeigt ein Diagramm bzg l. der mittleren (Oberflächen)-rauheit der haftvermittelnden Schicht 3 in Abhängigkeit der Schichtdicke. Wie man aus dem Diagramm gut erkennen kann, wächst eine mittlere Rauheit der Oberfläche mit steigender Schichtdicke der haftvermittelnden Schicht 3. Fig. 3 shows a diagram bzg l. the average (surface) roughness of the adhesion-promoting layer 3 as a function of the layer thickness. As can be clearly seen from the diagram, an average roughness of the surface increases with increasing layer thickness of the adhesion-promoting layer 3.
Fig. 4 zeigt ein Ablaufdiagramm eines Verfahrens zur Herstellung einer hydrophoben und/ oder lyophoben Beschichtung. Bei der hydrophoben und/ oder lyophoben Beschichtung kann es sich um die anhand von Fig. 2 beschriebenen Beschichtung handeln. 4 shows a flowchart of a method for producing a hydrophobic and / or lyophobic coating. The hydrophobic and / or lyophobic coating can be the coating described with reference to FIG.
In einem Schritt 1 10 wird zunächst ein Substrat bereitgestellt. Der Schritt des Bereitstellens kann beispielsweise den Einbau des Substrats in eine Beschichtungsanlage umfassen. In einem Schritt 120 wird eine Funktionsschicht 2 auf dem Substrat abgeschieden, wobei eine Oberfläche 2a der Funktionsschicht eine erste mittlere Rauheit aufweist. In einem Schritt 130 wird eine haftvermittelnde Schicht 3 auf der Funktionsschicht abgeschieden, wobei eine Oberfläche 3a der haftvermittelnden Schicht 3 eine zweite mittlere Rauheit aufweist, die größer als die erste mittlere Rauheit ist. In einem Schritt 140 wird eine hydrophobe und/oder lyophobe Schicht 4 auf die haftvermittelnde Schicht 3 abgeschieden. In a step 110, a substrate is first provided. The provisioning step may include, for example, incorporation of the substrate into a coating line. In a step 120, a functional layer 2 is deposited on the substrate, wherein a surface 2a of the functional layer has a first average roughness. In a step 130, an adhesion-promoting layer 3 is deposited on the functional layer, wherein a surface 3a of the adhesion-promoting layer 3 has a second average roughness which is greater than the first average roughness. In a step 140, a hydrophobic and / or lyophobic layer 4 is deposited on the adhesion-promoting layer 3.
Umfasst ein Ausführungsbeispiel eine „und/oder" Verknüpfung zwischen einem ersten Merkmal und einem zweiten Merkmal, so kann dies so gelesen werden, dass das Ausführungsbeispiel gemäß einer Ausführungsform sowohl das erste Merkmal als auch das zweite Merkmal und gemäß einer weiteren Ausführungsform entweder nur das erste Merkmal oder nur das zweite Merkmal aufweist. If an exemplary embodiment comprises a "and / or" link between a first feature and a second feature, this can be read so that the embodiment according to one embodiment, both the first feature and the second feature and according to another embodiment, either only the first Feature or only the second feature.

Claims

Patentansprüche claims
1 . Verfahren (100) zur Herstellung einer hydrophoben und/ oder lyophoben 1 . Method (100) for producing a hydrophobic and / or lyophobic
Beschichtung mit den folgenden Merkmalen:  Coating with the following features:
Bereitstellen (1 10) eines Substrats (1 ); Providing (1 10) a substrate (1);
Abscheiden (120) einer Funktionsschicht (2) auf dem Substrat, wobei eine Oberfläche (2a) der Funktionsschicht eine erste mittlere Rauheit aufweist; Depositing (120) a functional layer (2) on the substrate, wherein a surface (2a) of the functional layer has a first average roughness;
Abscheiden (130) einer haftvermittelnden Schicht (3) auf der Funktionsschicht, wobei eine Oberfläche (3a) der haftvermittelnden Schicht (3) eine zweite mittlere Rauheit aufweist, die größer als die erste mittlere Rauheit ist; und Depositing (130) an adhesion-promoting layer (3) on the functional layer, wherein a surface (3a) of the adhesion-promoting layer (3) has a second mean roughness which is greater than the first mean roughness; and
Abscheiden (140) einer hydrophoben und/oder lyophoben Schicht (4) auf die haftvermittelnde Schicht (3). Depositing (140) a hydrophobic and / or lyophobic layer (4) onto the adhesion-promoting layer (3).
2. Verfahren (100) nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Abscheidens (130) einer haftvermittelnden Schicht (3) mit einem ersten 2. Method (100) according to claim 1, characterized in that the step of depositing (130) an adhesion-promoting layer (3) with a first
Abscheideverfahren und der Schritt des Abscheidens (140) der hydrophoben und/oder lyophoben Schicht (4) mit einem davon verschiedenen zweiten Abscheideverfahren erfolgen.  Separation method and the step of depositing (140) of the hydrophobic and / or lyophobic layer (4) take place with a different second deposition method.
3. Verfahren (100) nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das erste 3. Method (100) according to claim 2, characterized in that the first
Abscheideverfahren aus der Gruppe Atomlagenabscheidung (ALD) oder physikalische Gasphasenabscheideverfahren wie etwa Sputtern oder Bedampfen gewählt wird.  Separation method from the group of atomic layer deposition (ALD) or physical vapor deposition methods such as sputtering or vapor deposition is selected.
4. Verfahren (100) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch 4. The method (100) according to any one of the preceding claims, characterized
gekennzeichnet, dass das zweite Abscheideverfahren eine  characterized in that the second deposition method a
Atomlagenabscheidung (ALD) oder ein physikalisches  Atomic layer deposition (ALD) or a physical
Gasphasenabscheideverfahren wie etwa Sputtern oder Bedampfen, eine chemische Gasphasenabscheidung, oder vorzugsweise eine plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PE-CVD) ist.  Vapor deposition method such as sputtering or vapor deposition, chemical vapor deposition, or preferably plasma assisted chemical vapor deposition (PE-CVD).
5. Verfahren (100) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch 5. The method (100) according to any one of the preceding claims, characterized
gekennzeichnet, dass der Schritt des Abscheidens (140) der hydrophoben und/ oder lyophoben Schicht (4) ein Abscheiden einer Silizium-Polymerschicht mit der Strukturformel (SiOxCy)n umfasst. characterized in that the step of depositing (140) the hydrophobic and / or or lyophobic layer (4) comprises depositing a silicon polymer layer having the structural formula (SiO x C y ) n .
6. Verfahren (100) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch 6. The method (100) according to any one of the preceding claims, characterized
gekennzeichnet, dass der Schritt des Abscheidens (130) der haftvermittelnden Schicht (3) ein Abscheiden einer Si02, SiOx (mit 2>x>0), Al203, Ti02, Y203, La203, Hf02, HfSiON, HfSiO, BaSrTiOx, ZrO, Ta205, Ga203 oder einer Gd203 Schicht umfasst. characterized in that the step of depositing (130) the adhesion-promoting layer (3) comprises depositing a SiO 2, SiO x (where 2>x> 0), Al 2 O 3 , TiO 2 , Y 2 O 3 , La 2 O 3 , Hf0 2 , HfSiON, HfSiO, BaSrTiOx, ZrO, Ta 2 0 5 , Ga 2 0 3 or a Gd 2 0 3 layer.
7. Verfahren (100) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch 7. The method (100) according to any one of the preceding claims, characterized
gekennzeichnet, dass der Schritt des Abscheidens (120) einer Funktionsschicht (2) das Abscheiden einer Titan-, oder einer Titannitrid-, oder einer Indiumzinnoxid-, oder einer Nickel-, oder einer Gold-, oder einer Silber-, oder einer Chrom- oder einer Magnesiumfluorid-Schicht umfasst.  characterized in that the step of depositing (120) a functional layer (2) comprises depositing a titanium, or a titanium nitride, or an indium tin oxide, or a nickel, or a gold, or a silver, or a chromium or a magnesium fluoride layer.
8. Verfahren (100) nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Abscheidens (120) einer Funktionsschicht (2) das Beimengen von Bor, oder von Kohlenstoff, oder von Phosphor, oder von Sauerstoff oder von Stickstoff umfasst. A method (100) according to claim 7, characterized in that the step of depositing (120) a functional layer (2) comprises admixing boron, or carbon, or phosphorus, or oxygen or nitrogen.
9. Anordnung mit einem Substrat (1 ) und einer hydrophoben und/ oder lyophoben Beschichtung hergestellt nach einem Verfahren der vorhergehenden Ansprüche mit den folgenden Merkmalen: einem Substrat (1 ); einer Funktionsschicht (2) auf dem Substrat (1 ), wobei die Oberfläche (2a) der Funktionsschicht (2) eine erste mittlere Rauheit aufweist; einer haftvermittelnden Schicht (3) auf der Funktionsschicht (2), wobei eine Oberfläche (3a) der haftvermittelnden Schicht (3) eine zweite mittlere Rauheit aufweist, die größer als die erste mittlere Rauheit ist; und einer hydrophoben und/oder lyophoben Schicht (4) auf der haftvermittelnden Schicht (3). 9. An assembly comprising a substrate (1) and a hydrophobic and / or lyophobic coating prepared by a method of the preceding claims, comprising: a substrate (1); a functional layer (2) on the substrate (1), the surface (2a) of the functional layer (2) having a first average roughness; an adhesion-promoting layer (3) on the functional layer (2), wherein a surface (3a) of the adhesion-promoting layer (3) has a second mean roughness which is greater than the first mean roughness; and a hydrophobic and / or lyophobic layer (4) on the adhesion-promoting layer (3).
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100261017A1 (en) * 2009-04-13 2010-10-14 Fujifilm Corporation Method of producing gas barrier laminate and gas barrier laminate obtained
US20100279232A1 (en) * 2009-04-10 2010-11-04 Asml Netherlands B.V. Immersion lithographic apparatus and a device manufacturing method
US20140043585A1 (en) * 2012-08-07 2014-02-13 Brian C. Wilson Method for promoting adhesion of hard coat to optical substrate

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100279232A1 (en) * 2009-04-10 2010-11-04 Asml Netherlands B.V. Immersion lithographic apparatus and a device manufacturing method
US20100261017A1 (en) * 2009-04-13 2010-10-14 Fujifilm Corporation Method of producing gas barrier laminate and gas barrier laminate obtained
US20140043585A1 (en) * 2012-08-07 2014-02-13 Brian C. Wilson Method for promoting adhesion of hard coat to optical substrate

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