WO2017190876A1 - Apparatus for emitting a laser beam and corresponding production method - Google Patents

Apparatus for emitting a laser beam and corresponding production method Download PDF

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WO2017190876A1
WO2017190876A1 PCT/EP2017/055465 EP2017055465W WO2017190876A1 WO 2017190876 A1 WO2017190876 A1 WO 2017190876A1 EP 2017055465 W EP2017055465 W EP 2017055465W WO 2017190876 A1 WO2017190876 A1 WO 2017190876A1
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laser beam
optical device
optical
deflector
micromirror
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PCT/EP2017/055465
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Maximilian Busch
Benno Roesener
Robert Kakonyi
Balazs Jatekos
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Robert Bosch Gmbh
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    • G02B19/0047—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use for use with a light source
    • G02B19/0052—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use for use with a light source the light source comprising a laser diode

Definitions

  • the optical device is designed such that the laser beam provided is refracted, in particular bundled, by the optical device on the path between the laser source and the deflection device.
  • a refractive, in particular a focusing lens, between the laser source and the deflection omitted.
  • the axis of rotation 130 of the micromirror 132 is oriented perpendicular to the plane of incidence of the laser beam 51 provided from the laser source 12 to the micromirror 132.
  • the laser source 12 is oriented such that the laser beam 51 provided would not impact the deflector 114 if the optical device 216 were removed, while in the device 110, upon removal of the optical device 116, the laser beam 51 provided would be remote from the deflector 114 Laser source 12 would hit directly on the micromirror 132.
  • the region of the optical device 416 which has the outer surface 471 may be integrally formed with the region of the optical device 416 which has the second outer surface 172 and the third outer surface 173.
  • the two areas mentioned can also be glued together or joined together in some other way,
  • provided laser beam 51 is designed or set up as a reflected laser beam 52.

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Abstract

The invention provides an apparatus (10) and a method for emitting a laser beam (51). The apparatus (10) is embodied with: a laser source (12) for providing a laser beam (51); a deflection device (14) which is designed to deflect as a deflected laser beam (52) the provided laser beam (51) impinging on the deflection device (14); and an optical device (16) which is arranged and embodied in such a way that, between the laser source (12) and the deflection device (14), the provided laser beam (51) interacts with at least one first region (71) of the optical device (16) and said optical device is moreover arranged and embodied in such a way that the deflected laser beam (52) interacts with at least one second region (72) of the optical device (16).

Description

Beschreibung  description
Titel title
Vorrichtung zum Aussenden eines Laserstrahls und entsprechendes  Device for emitting a laser beam and corresponding
Herstellungsverfahren production method
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Aussenden eines Lichtoder Laserstrahls, insbesondere eine mikromechanische Vorrichtung zum Aussenden eines Licht- oder Laserstrahls und ein entsprechendes The present invention relates to a device for emitting a light or laser beam, in particular a micromechanical device for emitting a light or laser beam and a corresponding
Herstellungsverfahren für eine solche Vorrichtung. Manufacturing method for such a device.
Stand der Technik State of the art
Mikromechanische Systeme, durch welche Laserstrahlen erzeugt und abgelenkt werden, werden in einer Vielzahl von Anwendungen verwendet. Bei den sogenannten Laserscannern wird beispielsweise ein erzeugter Laserstrahl in eine oder zwei Dimensionen mittels eines Mikrospiegels abgelenkt, um durch den Laserstrahl ein Objekt oder einen Normbereich abzurastern bzw. Micromechanical systems, by which laser beams are generated and deflected, are used in a variety of applications. In the so-called laser scanners, for example, a generated laser beam is deflected in one or two dimensions by means of a micromirror in order to scan an object or a standard range through the laser beam or
abzuscannen. In der US 2010/079 836 AI ist beispielhaft ein zweidimensionaler Laserscanner beschrieben. to scan. In US 2010/079 836 AI a two-dimensional laser scanner is described by way of example.
Offenbarung der Erfindung Disclosure of the invention
Die vorliegende Erfindung offenbart eine Vorrichtung zum Aussenden eines Laserstrahls mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 und ein The present invention discloses an apparatus for emitting a laser beam having the features of claim 1 and a
Herstellungsverfahren mit den Merkmalen des Patentanspruchs 11. Manufacturing method with the features of claim 11.
Demgemäß ist eine Vorrichtung zum Aussenden eines Laserstrahls vorgesehen, mit: einer Laserquelle zum Bereitstellen eines Laserstrahls; eine Accordingly, there is provided an apparatus for emitting a laser beam, comprising: a laser source for providing a laser beam; a
Ablenkeinrichtung, welche zum Ablenken des auf die Ablenkeinrichtung auftreffenden bereitgestellten Laserstrahls als abgelenkter Laserstrahl ausgelegt ist; und einer optischen Einrichtung, welche derart angeordnet und ausgebildet ist, dass der bereitgestellte Laserstrahl zwischen der Laserquelle und der Ablenkeinrichtung mit mindestens einem ersten Bereich der optischen Deflecting means adapted to deflect the laser beam provided incident on the deflector as a deflected laser beam; and an optical device arranged and configured in such a manner in that the laser beam provided is between the laser source and the deflector with at least a first portion of the optical
Einrichtung interagiert, und welche außerdem derart angeordnet und ausgebildet ist, dass der abgelenkte Laserstrahl mit mindestens einem zweiten Bereich der optischen Einrichtung interagiert. Device interacts, and which is also arranged and configured such that the deflected laser beam interacts with at least a second portion of the optical device.
Unter einem Interagieren ist insbesondere zu verstehen, dass der Laserstrahl durch die optische Einrichtung gebrochen, gebündelt, reflektiert und/oder in einer sonstigen Weise beeinflusst wird. Der mindestens eine erste Bereich und der mindestens eine zweite Bereich sind voneinander verschieden und können insbesondere an verschiedenen Außenflächen der optischen Einrichtung angeordnet oder durch solche Außenflächen, insbesondere deren Innen- und/oder Außenseiten, gebildet sein. Die optische Einrichtung ist auch als ein Freiform-Bauelement bezeichenbar. Interaction is to be understood in particular as meaning that the laser beam is refracted, bundled, reflected and / or influenced by the optical device in some other way. The at least one first region and the at least one second region are different from one another and can be arranged in particular on different outer surfaces of the optical device or formed by such outer surfaces, in particular their inner and / or outer sides. The optical device can also be designated as a free-form component.
Die optische Einrichtung kann auch derart angeordnet und ausgebildet sein, dass der bereitgestellte Laserstrahl mehrmals, insbesondere auf verschiedene Arten, mit der optischen Einrichtung interagiert, bevor er auf die Ablenkeinrichtung auftrifft. Eine erste Interaktion kann beispielsweise in einem Brechen des Laserstrahls liegen und eine zweite Interaktion kann in einem Reflektieren des Laserstrahls liegen. The optical device can also be arranged and configured such that the laser beam provided interacts with the optical device several times, in particular in different ways, before it impinges on the deflection device. For example, a first interaction may be a break in the laser beam and a second interaction may be a reflection of the laser beam.
Weiterhin ist ein Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung zum Aussenden eines Laserstrahls vorgesehen, mit den Schritten: Bereitstellen einer Laserquelle zum Bereitstellen eines Laserstrahls; Bereitstellen einer Ablenkeinrichtung, welche zum Ablenken des auf die Ablenkeinrichtung auftreffenden Furthermore, a method for producing a device for emitting a laser beam is provided, comprising the steps of: providing a laser source for providing a laser beam; Providing a deflection device, which is used to deflect the deflecting device onto the deflecting device
bereitgestellten Laserstrahls als abgelenkter Laserstrahl ausgelegt oder eingerichtet ist; und Bereitstellen und Anordnen einer optischen Einrichtung derart, dass der bereitgestellte Laserstrahl zwischen der Laserquelle und der Ablenkeinrichtung mit mindestens einem ersten Bereich der optischen provided laser beam is designed or set up as a deflected laser beam; and providing and arranging an optical device in such a way that the laser beam provided between the laser source and the deflection device is connected to at least a first region of the optical path
Einrichtung interagiert und außerdem derart, dass der abgelenkte Laserstrahl mit mindestens einem zweiten Bereich der optischen Einrichtung interagiert. Device also interacts and also such that the deflected laser beam interacts with at least a second region of the optical device.
Vorteile der Erfindung Das Anordnen einer einzelnen optischen Einrichtung sowohl zwischen der Laserquelle und der Ablenkeinrichtung als auch zwischen der Ablenkeinrichtung und dem gewünschten Ziel des abgelenkten Laserstrahls ermöglicht es, dass lediglich dieses eine optische Element in die Vorrichtung eingepasst werden muss statt einer Vielzahl von einzelnen optischen Elementen, wie dies üblicherweise der Fall ist. Dadurch kann die Robustheit und Sensitivität der Vorrichtung verbessert werden. Die Erfindung ermöglicht weiterhin eine verbesserte Integrierbarkeit der Vorrichtung mit Leiterplatten und kann so ausgebildet werden, dass die Anzahl der benötigten Leiterplatten sich verringert. Insbesondere kann eine einzige Leiterplatte in der Vorrichtung vorgesehen sein. Die Erfindung ermöglicht es zudem, eine Vorrichtung zum Aussenden eines Laserstrahls mit verringerter Größe bereitzustellen. Außerdem ermöglicht es die Erfindung, ein Verfahren zum Herstellen der Vorrichtung stark zu vereinfachen. Advantages of the invention Placing a single optical device both between the laser source and the deflector and between the deflector and the desired target of the deflected laser beam allows only that one optical element to be fitted into the device rather than a plurality of individual optical elements as it is usually the case. As a result, the robustness and sensitivity of the device can be improved. The invention further enables an improved integration of the device with printed circuit boards and can be designed so that the number of required printed circuit boards is reduced. In particular, a single circuit board may be provided in the device. The invention also makes it possible to provide a device for emitting a laser beam of reduced size. In addition, the invention makes it possible to greatly simplify a method of manufacturing the device.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann vorteilhaft sowohl in einem, oder als ein, optischer Entfernungsmesser ausgebildet sein, als auch in einem, oder als ein, Partikeldetektor. Es ist auch eine Vorrichtung denkbar, welche sowohl als optischer Entfernungsmesser als auch als Partikeldetektor fungiert. The device according to the invention can advantageously be formed both in one or as an optical rangefinder, as well as in one or as one particle detector. A device is also conceivable which functions both as an optical rangefinder and as a particle detector.
Vorteilhafte Ausführungsformen und Weiterbildungen ergeben sich aus den Unteransprüchen sowie aus der Beschreibung unter Bezugnahme auf die Figuren. Advantageous embodiments and further developments emerge from the dependent claims and from the description with reference to the figures.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung ist die optische Einrichtung derart ausgebildet, dass der bereitgestellte Laserstrahl durch die optische Einrichtung auf dem Weg zwischen der Laserquelle und der Ablenkeinrichtung gebrochen, insbesondere gebündelt wird. Somit kann eine brechende, insbesondere eine bündelnde Linse, zwischen der Laserquelle und der Ablenkeinrichtung entfallen. According to a preferred embodiment, the optical device is designed such that the laser beam provided is refracted, in particular bundled, by the optical device on the path between the laser source and the deflection device. Thus, a refractive, in particular a focusing lens, between the laser source and the deflection omitted.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist die optische Einrichtung derart ausgebildet, dass der bereitgestellte Laserstrahl zwischen der Laserquelle und der Ablenkeinrichtung an einer ersten Außenfläche der optischen Einrichtung reflektiert wird. Die erste Außenfläche der optischen Einrichtung kann somit beispielsweise einen fokussierenden Parabolspiegel oder Rundspiegel ersetzen. Der Laserstrahl kann insbesondere durch die erste Außenfläche der optischen Einrichtung fokussiert oder parallelisiert werden. According to a further preferred development, the optical device is designed such that the provided laser beam is reflected between the laser source and the deflection device on a first outer surface of the optical device. The first outer surface of the optical device can thus replace, for example, a focusing parabolic mirror or round mirror. In particular, the laser beam can be focused or parallelized by the first outer surface of the optical device.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung wird der bereitgestellte Laserstrahl an einer Innenseite der ersten Außenfläche der optischen Einrichtung reflektiert. Mit anderen Worten muss bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung der bereitgestellte Laserstrahl zunächst in die optische Einrichtung eintreten und diese zumindest teilweise oder ganz durchqueren, um auf die reflektierende Innenseite der ersten Außenfläche aufzutreffen. Die optische Einrichtung kann derart ausgebildet sein, dass bei dem Durchqueren der optischen Einrichtung der Laserstrahl bereits beeinflusst, beispielsweise gebündelt, gefiltert oder dergleichen, wird, bevor er auf die erste Oberfläche auftrifft. According to a further preferred development, the laser beam provided is reflected on an inner side of the first outer surface of the optical device. In other words, in the device according to the invention, the laser beam provided must first enter the optical device and traverse it at least partially or completely in order to impinge on the reflective inner side of the first outer surface. The optical device can be designed such that when passing through the optical device the laser beam is already influenced, for example bundled, filtered or the like, before it impinges on the first surface.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung wird der bereitgestellte Laserstrahl an einer Außenseite der ersten Außenfläche der optischen According to a further preferred development, the laser beam provided is on an outer side of the first outer surface of the optical
Einrichtung reflektiert. Dadurch kann sichergestellt werden, dass der Laserstrahl nicht durch die interne Struktur und die optischen Eigenschaften der optischen Eigenrichtung beeinflusst wird, bevor er auf die reflektierende Außenseite der ersten Außenfläche auftrifft. Facility reflected. This can ensure that the laser beam is not affected by the internal structure and the optical properties of the optical device before it impinges on the reflective outer side of the first outer surface.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist die optische Einrichtung derart ausgebildet, dass der reflektierte Laserstrahl nach Verlassen der According to a further preferred development, the optical device is designed such that the reflected laser beam after leaving the
Ablenkeinrichtung durch die optische Einrichtung reflektiert und/oder gebündelt wird. Somit kann durch die optische Einrichtung mindestens ein weiteres optisches Element, beispielsweise ein bündelnder Spiegel, ersetzt werden. Deflection device is reflected by the optical device and / or bundled. Thus, at least one further optical element, for example a focusing mirror, can be replaced by the optical device.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist eine Rotationsachse eines Mikrospiegels der Ablenkeinrichtung senkrecht zu einer Einfallsebene des bereitgestellten Laserstrahls von der Laserquelle bis zu der Ablenkeinrichtung angeordnet. Somit ergibt sich eine erhöhte Designfreiheit für die Vorrichtung. Diese Rotationsachse des Mikrospiegels ist insbesondere die einzige According to a further preferred development, a rotation axis of a micromirror of the deflection device is arranged perpendicular to an incident plane of the provided laser beam from the laser source to the deflection device. This results in an increased design freedom for the device. This axis of rotation of the micromirror is in particular the only one
Rotationsachse des Mikrospiegels, das heißt die einzige Achse, um die der Mikrospiegel zum Ablenken des bereitgestellten Laserstrahls drehbar gelagert ist. Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist eine Rotationsachse eines Mikrospiegels der Ablenkeinrichtung in einer Einfallsebene des bereitgestellten Laserstrahls von der Laserquelle bis zu der Ablenkeinrichtung angeordnet. Somit ergibt sich eine erhöhte Designfreiheit für die Vorrichtung. Diese Rotationsachse des Mikrospiegels ist insbesondere die einzige Rotationsachse des Rotation axis of the micromirror, that is, the only axis about which the micromirror is rotatably mounted for deflecting the laser beam provided. According to a further preferred development, a rotation axis of a micromirror of the deflection device is arranged in an incident plane of the provided laser beam from the laser source to the deflection device. This results in an increased design freedom for the device. This axis of rotation of the micromirror is in particular the only axis of rotation of the
Mikrospiegels, das heißt die einzige Achse, um die der Mikrospiegel zum Micromirror, that is the only axis around which the micromirror to
Ablenken des bereitgestellten Laserstrahls drehbar gelagert ist. Deflection of the provided laser beam is rotatably mounted.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist die optische Einrichtung einstückig ausgebildet, beispielsweise aus Glas oder einem Kunststoff, insbesondere aus einem Kunststoff mit optischer Qualität, wobei das jeweilige Material beschichtet, dotiert oder auf andere Weise behandelt, insbesondere oberflächenbehandelt sein kann. Die Ausbildung der optischen Einrichtung als einstückiges Bauteil heißt insbesondere, dass die optische Einrichtung in sich selbst nicht gefugt, geklebt, geschraubt oder in anderer Weise According to a further preferred embodiment, the optical device is integrally formed, for example made of glass or a plastic, in particular of a plastic with optical quality, wherein the respective material can be coated, doped or treated in any other way, in particular surface-treated. The formation of the optical device as a one-piece component means in particular that the optical device is not grooved, glued, screwed or otherwise in itself
zusammengestückelt ist. Die Ausbildung als einstückiges Bauteil ermöglicht eine besonders einfache und präzise Anordnung der optischen Einrichtung in der Vorrichtung. Alternativ kann die optische Einrichtung jedoch auch aus zwei Bauteilen zusammengesetzt sein, beispielsweise um einen einfacheren Einbau oder eine technisch einfachere Herstellung zu ermöglichen. is pieced together. The design as a one-piece component enables a particularly simple and precise arrangement of the optical device in the device. Alternatively, however, the optical device may also be composed of two components, for example, to allow easier installation or a technically simpler production.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen Brief description of the drawings
Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend anhand der in den schematischen Figuren der Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigen: The present invention will be explained in more detail with reference to the embodiments illustrated in the schematic figures of the drawings. Show it:
Fig. 1 ein schematisches Blockdiagramm einer Vorrichtung zum Aussenden eines Laserstrahls gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 1 is a schematic block diagram of an apparatus for emitting a laser beam according to an embodiment of the present invention;
Fig. 2 eine schematische Querschnittsansicht einer Vorrichtung zum Senden eines Laserstrahls gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; Fig. 3 eine schematische Querschnittsansicht einer Vorrichtung zum Senden eines Laserstrahls gemäß noch einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of an apparatus for transmitting a laser beam according to another embodiment of the present invention; FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of an apparatus for transmitting a laser beam according to still another embodiment of the present invention;
Fig. 4 eine schematische Querschnittsansicht einer Vorrichtung zum Senden eines Laserstrahls gemäß noch einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 4 is a schematic cross-sectional view of an apparatus for transmitting a laser beam according to still another embodiment of the present invention;
Fig. 5 eine schematische Querschnittsansicht einer Vorrichtung zum Senden eines Laserstrahls gemäß noch einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 5 is a schematic cross-sectional view of an apparatus for transmitting a laser beam according to still another embodiment of the present invention;
Fig. 6A eine schematische Querschnittsansicht einer Vorrichtung zum Senden eines Laserstrahls gemäß noch einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 6A is a schematic cross-sectional view of an apparatus for transmitting a laser beam according to still another embodiment of the present invention;
Fig. 6B eine schematische Draufsichtsansicht auf die Vorrichtung aus Fig. 6A; Fig. 6B is a schematic plan view of the apparatus of Fig. 6A;
Fig. 7 eine schematische Querschnittsansicht einer Vorrichtung zum Senden eines Laserstrahls gemäß noch einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 7 is a schematic cross-sectional view of an apparatus for transmitting a laser beam according to still another embodiment of the present invention;
Fig. 8A eine schematische Querschnittsansicht einer Vorrichtung zum Senden eines Laserstrahls gemäß noch einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 8A is a schematic cross-sectional view of an apparatus for transmitting a laser beam according to still another embodiment of the present invention;
Fig. 8B eine schematische Draufsichtsansicht auf die Vorrichtung aus Fig. 8A; und Fig. 8B is a schematic plan view of the apparatus of Fig. 8A; and
Fig. 9 ein schematisches Flussdiagramm zum Erläutern eines Verfahrens zum Herstellen einer Vorrichtung zum Aussenden eines Laserstrahls gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 9 is a schematic flowchart for explaining a method of manufacturing a laser beam emitting apparatus according to another embodiment of the present invention.
In allen Figuren sind gleiche bzw. funktionsgleiche Elemente und Vorrichtungen - sofern nichts anderes angegeben ist - mit denselben Bezugszeichen versehen. Die Nummerierung von Verfahrensschritten dient der Übersichtlichkeit und soll insbesondere nicht, sofern nichts anderes angegeben ist, eine bestimmte zeitliche Reihenfolge implizieren. Insbesondere können auch mehrere In all figures, the same or functionally identical elements and devices - unless otherwise stated - provided with the same reference numerals. The numbering of method steps is for the sake of clarity and, in particular, should not, unless otherwise indicated, imply a particular chronological order. In particular, several can
Verfahrensschritte gleichzeitig durchgeführt werden. Procedural steps are carried out simultaneously.
Fig. 1 zeigt ein schematisches Blockdiagramm einer Vorrichtung 10 zum Fig. 1 shows a schematic block diagram of an apparatus 10 for
Aussenden eines Laserstrahls 51 gemäß einer Ausführungsform der Emitting a laser beam 51 according to an embodiment of the
vorliegenden Erfindung. Die Vorrichtung 10 umfasst eine Laserquelle 12 zum Bereitstellen eines present invention. The device 10 comprises a laser source 12 for providing a
Laserstrahls 51. Die Laserquelle 12 kann insbesondere zum Bereitstellen eines Infrarotlasers ausgebildet sein, das heißt insbesondere eines Lasers mit einer Wellenlänge von über 780 nm. Eine optische Einrichtung 16 der Vorrichtung 10 ist derart angeordnet und ausgebildet, dass der bereitgestellte Laserstrahl 51 nach Verlassen der Laserquelle 12 auf einen ersten Bereich 71 der optischen Laser beam 51. The laser source 12 may be designed in particular for providing an infrared laser, that is to say in particular a laser having a wavelength of more than 780 nm. An optical device 16 of the device 10 is arranged and configured such that the laser beam 51 provided after leaving the laser source 12 on a first portion 71 of the optical
Einrichtung 16 trifft und mit diesem interagiert, beispielsweise von dem ersten Bereich 71 der optischen Einrichtung 16 gebündelt, reflektiert, gebrochen, gebeugt oder in sonstiger Weise in seinen optischen Eigenschaften beeinflusst wird. Means 16 and interacts with this, for example, from the first region 71 of the optical device 16 bundled, reflected, broken, diffracted or otherwise influenced in its optical properties.
Die Vorrichtung 10 umfasst außerdem eine Ablenkeinrichtung 14, welche zum Ablenken von auf die Ablenkeinrichtung 14 auftreffenden Laserstrahlen 51 ausgelegt oder eingerichtet ist. Der bereitgestellte Laserstrahl 51 wird auch als abgelenkter oder reflektierter Laserstrahl 52 bezeichnet, nachdem er von der Ablenkeinrichtung 14 abgelenkt wurde, obwohl es sich immer noch um, unterThe device 10 further comprises a deflecting device 14, which is designed or set up to deflect laser beams 51 impinging on the deflecting device 14. The provided laser beam 51 is also referred to as a deflected or reflected laser beam 52 after being deflected by the deflector 14, although it is still at, below
Berücksichtigung der Beeinflussung durch die optische Einrichtung 16, denselben bereitgestellten Laserstrahl 51 handelt. Considering the influence of the optical device 16, the same provided laser beam 51 is.
Die Laserquelle 12, die Ablenkeinrichtung 14 und die optische Einrichtung 16 sind derart angeordnet, dass der bereitgestellte Laserstrahl 51 nach der erstenThe laser source 12, the deflector 14 and the optical device 16 are arranged such that the laser beam 51 provided after the first
Interaktion mit dem ersten Bereich 71 der optischen Einrichtung 16 auf die Ablenkeinrichtung 14 trifft, von wo aus der abgelenkte Laserstrahl 52 erneut auf die optische Einrichtung 16, und zwar auf einen zweiten Bereich 72 der optischen Einrichtung 16 trifft und mit diesem zweiten Bereich 72 interagiert. Es kann vorgesehen sein, dass der bereitgestellte Laserstrahl 51 nach der Interaktion mit dem ersten Bereich 71 der optischen Einrichtung 16 noch ein oder mehrere Male mit weiteren Bereichen der optischen Einrichtung 16 interagiert, ehe er auf die Ablenkeinrichtung 14 auftritt. Interaction with the first region 71 of the optical device 16 strikes the deflector 14, from where the deflected laser beam 52 again strikes the optical device 16, namely on a second region 72 of the optical device 16 and interacts with this second region 72. It may be provided that the laser beam 51 provided interacts with further regions of the optical device 16 after interacting with the first region 71 of the optical device 16 one or more times before it encounters the deflection device 14.
Nach der Interaktion mit dem zweiten Bereich 72 der optischen Einrichtung 16 kann vorgesehen sein, dass der abgelenkte Laserstrahl 52 noch ein oder mehrere Male mit weiteren Bereichen der optischen Einrichtung 16 interagiert. Alternativ kann auch vorgesehen sein, das heißt die Vorrichtung kann After the interaction with the second region 72 of the optical device 16, it can be provided that the deflected laser beam 52 still interacts with further regions of the optical device 16 one or more times. Alternatively, it can also be provided, that is, the device can
entsprechend ausgebildet sein, dass der abgelenkte Laserstrahl 52 nach der Interaktion mit dem zweiten Bereich 72 aus der Vorrichtung 10 ausgekoppelt wird, beispielsweise mittels einer optionalen Auskoppeleinrichtung 18 der Vorrichtung 10. Die Auskoppeleinrichtung kann beispielsweise optische be formed accordingly that the deflected laser beam 52 is coupled out after the interaction with the second region 72 of the device 10, for example by means of an optional coupling device 18 of the device 10. The coupling device may, for example, optical
Elemente wie Linsen, Blenden und/oder Öffnungen und dergleichen umfassen. Alternativ kann der abgelenkte Laserstrahl 52 nach der Interaktion mit dem zweiten Bereich 72 bereits aus der Vorrichtung 10 ausgekoppelt sein. In diesem Fall wird durch die optische Einrichtung 16 somit auch das Ausbilden einer zusätzlichen Auskoppeleinrichtung vermieden. Elements such as lenses, apertures and / or apertures and the like include. Alternatively, the deflected laser beam 52 may already be coupled out of the device 10 after interaction with the second region 72. In this case, the optical device 16 thus also prevents the formation of an additional output coupling device.
Fig. 2 zeigt eine schematische Querschnittsansicht einer Vorrichtung 110 zum Aussenden eines Laserstrahls 51, 53, 54 gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Vorrichtung 110 ist eine Variante der Vorrichtung 10 und ist gemäß allen im Hinblick auf die Vorrichtung 10 beschriebenen FIG. 2 shows a schematic cross-sectional view of a device 110 for emitting a laser beam 51, 53, 54 according to a further embodiment of the present invention. The device 110 is a variant of the device 10 and is described in all respects with respect to the device 10
Modifikationen und Weiterbildungen anpassbar und umgekehrt. Modifications and developments customizable and vice versa.
Die Vorrichtung 110 weist eine Ablenkeinrichtung 114 anstelle der The device 110 has a deflector 114 instead of the
Ablenkeinrichtung 14 der Vorrichtung 10 auf. Die Ablenkeinrichtung 114 weist ihrerseits einen um eine Rotationsachse bzw. Drehachse 130 schwenkbaren Mikrospiegel 132 und eine Aktoreinrichtung 134 auf. Die Aktoreinrichtung 134 ist zum Schwenken des Mikrospiegels 132 um die Drehachse 130 ausgelegt oder eingerichtet. In Fig. 2 ragt die Drehachse 130 des Mikrospiegels 132 in die Papierebene hinein. Der Mikrospiegel 132 ist gestrichelt in einer ersten, nach links verschwenkten Position dargestellt sowie mit ungebrochenen Linien in einer zweiten, nach rechts verschwenkten Position dargestellt. Räumlich zwischen der Laserquelle 12 und der Ablenkeinrichtung 114 ist eine optische Einrichtung 116 anstelle der optischen Einrichtung 16 der Vorrichtung 10 angeordnet. Die optische Einrichtung 116 weist eine der Laserquelle 12 zugewandte erste, gekrümmt ausgebildete Außenfläche 171 auf, welche den ersten Bereich der optischen Einrichtung 116 darstellt, mit welchem der durch die Laserquelle 12 bereitgestellte Laserstrahl 51 interagiert, und zwar an deren Außenseite. Wie in Fig. 2 schematisch dargestellt, fungiert die erste Außenfläche 171, zusammen mit dem die Oberfläche 171 ausbildenden Abschnitt des Körpers der optischen Einrichtung 116, als eine fokussierende Linse, durch welche der durch die Laserquelle 12 aufgefächert erzeugte Laserstrahl 51 gebündelt, insbesondere parallelisiert wird. Die erste Außenfläche 171 kann, wie in Fig. 2 dargestellt, von der Ablenkeinrichtung 114 abgewandt angeordnet sein. Die erste Außenfläche 171 kann insbesondere konvex, das heißt zu der Laserquelle 12 hin ausgewölbt sein, wie in Fig. 2 angedeutet. Deflection device 14 of the device 10 on. The deflection device 114 in turn has a micromirror 132 which can pivot about a rotation axis or axis of rotation 130 and an actuator device 134. The actuator device 134 is designed or set up for pivoting the micromirror 132 about the axis of rotation 130. In Fig. 2, the axis of rotation 130 of the micromirror 132 protrudes into the plane of the paper. The micromirror 132 is shown in dashed lines in a first, pivoted to the left position and shown with unbroken lines in a second, pivoted to the right position. Spatially disposed between the laser source 12 and the deflector 114 is an optical device 116 instead of the optical device 16 of the device 10. The optical device 116 has a first, curved outer surface 171 facing the laser source 12, which represents the first region of the optical device 116, with which the laser beam 51 provided by the laser source 12 interacts, on the outer side thereof. As schematically illustrated in FIG. 2, the first outer surface 171, together with the portion of the body of the optical device 116 forming the surface 171, functions as a focusing lens through which the laser beam 51 fanned out by the laser source 12 is focused, in particular parallelized , The first outer surface 171 can, as shown in FIG. 2, be arranged away from the deflection device 114. The first outer surface 171 may in particular be convex, ie bulged towards the laser source 12, as indicated in FIG. 2.
Nach dem Eintritt in die optische Einrichtung 116 durch die erste Außenfläche 171 durchquert der bereitgestellte Laserstrahl 51 die optische Einrichtung 116, tritt an einer dem Mikrospiegel 132 zugewandten dritten Außenfläche 173 der optischen Einrichtung 116 aus, wird durch den Mikrospiegel 132 je nach der aktuellen Stellung des Mikrospiegels 132 reflektiert, tritt durch die dritte After entering the optical device 116 through the first outer surface 171, the laser beam 51 provided passes through the optical device 116, exits at a third outer surface 173 of the optical device 116 facing the micromirror 132, is deflected by the micromirror 132, depending on the current position of the optical system Micromirror 132 reflects, passes through the third
Außenfläche 173 wieder in die optische Einrichtung 116 ein und tritt an einer zweiten Außenfläche 172 der optischen Einrichtung 116 wieder aus der optischen Einrichtung 116 aus. Outside surface 173 again in the optical device 116 and exits at a second outer surface 172 of the optical device 116 again from the optical device 116 from.
Die zweite Oberfläche 172 als ein Bereich der optischen Einrichtung 116 ist vorzugsweise von dem Mikrospiegel 132 abgewandt. Wie in Fig. 2 gezeigt, kann die zweite Außenfläche 172 vorteilhaft so ausgebildet sein, dass der abgelenkte Laserstrahl 52, welcher als Bündel paralleler Laserstrahlen auf eine Innenseite der zweiten Außenfläche 172 auftrifft, durch diese zu sich zuspitzenden The second surface 172 as a region of the optical device 116 is preferably remote from the micromirror 132. As shown in FIG. 2, the second outer surface 172 may advantageously be formed such that the deflected laser beam 52, which impinges on an inner side of the second outer surface 172 as a bundle of parallel laser beams, escalates through it
Lichtkegeln 53, 54 gebündelt oder fokussiert wird. Wie in Fig. 2 gezeigt, wird der abgelenkte Laserstrahl 52 in der ersten Stellung des Mikrospiegels 132 durch die zweite Außenfläche 172 zu einem ersten Lichtkegel 53 fokussiert und in der zweiten Stellung des Mikrospiegels 132 durch die zweite Außenfläche 172 zu einem zweiten Lichtkegel 54 fokussiert. Der erste und der zweite Lichtkegel 53, 54 sind in verschiedene Richtungen bzw. Raumwinkel gerichtet. Die zweite Außenfläche 172 ist vorteilhaft derart ausgebildet, dass die Lichtkegel 53, 54 in einer gewünschten Entfernung von der Vorrichtung 110 fokussiert sind. Light cones 53, 54 bundled or focused. As shown in FIG. 2, in the first position of the micromirror 132, the deflected laser beam 52 is focused by the second outer surface 172 into a first light cone 53 and, in the second position of the micromirror 132, focused through the second outer surface 172 to form a second light cone 54. The first and the second light cone 53, 54 are directed in different directions or solid angle. The second Outer surface 172 is advantageously formed such that the light cones 53, 54 are focused at a desired distance from the device 110.
Wird die Vorrichtung 110 etwa als Partikelsensor, z.B. für Staub oder Rauch, eingesetzt, können die Lichtkegel 53, 54 insbesondere in einer Entfernung von der zweiten Außenfläche 172 von fünf bis fünzehn, insbesondere von acht bis zwölf, bevorzugt von neun bis elf, besonders bevorzugt von zehn Millimetern fokussiert sein oder werden. Wird die Vorrichtung 110 als optischer When device 110 is used as a particle sensor, e.g. used for dust or smoke, the light cone 53, 54, in particular at a distance from the second outer surface 172 from five to fifteen, in particular from eight to twelve, preferably from nine to eleven, particularly preferably ten millimeters focused or be. If the device 110 as optical
Entfernungsmesser eingesetzt, können die Lichtkegel 53, 54 insbesondere in einer Entfernung von der zweiten Außenfläche 172 von dreihundert Millimetern oder mehr fokussiert sein oder werden. Used rangefinder, the light cone 53, 54, in particular at a distance from the second outer surface 172 of three hundred millimeters or more focused or be.
Zusätzlich können die zweite Außenfläche 172 und/oder die dritte Außenfläche 173 so ausgebildet sein, dass sie Aberrationen kompensiert und/oder unerwünschte Reflexionen in der Vorrichtung 110 eliminiert oder minimiert. Die dritte Außenfläche 173 kann derart ausgebildet sein, dass sowohl der auf sie auftreffende bereitgestellte Laserstrahl 51 als auch der auf sie auftreffende abgelenkte Laserstrahl 52 ungebrochen, oder im Wesentlichen ungebrochen, durch die Außenfläche 173 hindurchtreten. In addition, the second outer surface 172 and / or the third outer surface 173 may be configured to compensate for aberrations and / or eliminate or minimize unwanted reflections in the device 110. The third outer surface 173 may be formed such that both the laser beam 51 impinging thereon and the deflected laser beam 52 impinging upon it pass through the outer surface 173 unbroken, or substantially unbroken.
Bei der Vorrichtung 110 ist die Drehachse 130 des Mikrospiegels 132 senkrecht zur Einfallsebene des bereitgestellten Laserstrahls 51 auf den Mikrospiegel 132 angeordnet. In the device 110, the axis of rotation 130 of the micromirror 132 is arranged perpendicular to the plane of incidence of the laser beam 51 provided on the micromirror 132.
Fig. 3 zeigt eine schematische Querschnittsansicht einer Vorrichtung 210 zum Aussenden eines Laserstrahls 51 gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 3 shows a schematic cross-sectional view of a device 210 for emitting a laser beam 51 according to another embodiment of the present invention.
Die Vorrichtung 210 ist eine Variante der Vorrichtung 110 und ist gemäß allen in Bezug auf die Vorrichtungen 10 und 110 beschriebenen Modifikationen und Varianten anpassbar und umgekehrt, sofern nicht explizit etwas anderes beschrieben ist. The device 210 is a variant of the device 110 and is adaptable according to all modifications and variants described with respect to the devices 10 and 110, and vice versa, unless otherwise explicitly described.
Die Vorrichtung 210 unterscheidet sich von der Vorrichtung 110 in der The device 210 differs from the device 110 in FIG
Ausbildung der dritten Außenfläche 273, sowie in den Eigenschaften der optischen Einrichtung 216 der Vorrichtung 210, welche die optische Einrichtung 116 der Vorrichtung 110 ersetzt, insbesondere was den Weg der bereitgestellten Laserstrahlen 51 zwischen der Laserquelle 12 und der Ablenkeinrichtung 114 angeht. Formation of the third outer surface 273, as well as in the properties of optical device 216 of the device 210, which replaces the optical device 116 of the device 110, in particular with respect to the path of the laser beams 51 provided between the laser source 12 and the deflector 114.
Auch bei der Vorrichtung 210 ist die Drehachse 130 des Mikrospiegels 132 senkrecht zur Einfallsebene des bereitgestellten Laserstrahls 51 von der Laserquelle 12 zu dem Mikrospiegel 132 hin ausgerichtet. Bei der Vorrichtung 210 ist die Laserquelle 12 jedoch derart ausgerichtet, dass der bereitgestellte Laserstrahl 51 nicht auf die Ablenkeinrichtung 114 treffen würde, wenn die optische Einrichtung 216 entfernt würde, während bei der Vorrichtung 110 bei Entfernen der optischen Einrichtung 116 der bereitgestellte Laserstrahl 51 von der Laserquelle 12 direkt auf den Mikrospiegel 132 treffen würde. Bei der Vorrichtung 210 ist eine erste Außenfläche 271 der optischen EinrichtungAlso in the device 210, the axis of rotation 130 of the micromirror 132 is oriented perpendicular to the plane of incidence of the laser beam 51 provided from the laser source 12 to the micromirror 132. However, in the apparatus 210, the laser source 12 is oriented such that the laser beam 51 provided would not impact the deflector 114 if the optical device 216 were removed, while in the device 110, upon removal of the optical device 116, the laser beam 51 provided would be remote from the deflector 114 Laser source 12 would hit directly on the micromirror 132. In the device 210, a first outer surface 271 of the optical device
216, welche ebenso konvex und bündelnd, insbesondere parallelisierend, ausgebildet sein kann wie die erste Außenfläche 171 der Vorrichtung 110, an einer der Ablenkeinrichtung 114 zugewandten dritten Außenfläche 273 der optischen Einrichtung 216 ausgebildet. Der durch die erste Außenfläche 271 gebündelt in die optische Einrichtung 216 eintretende Laserstrahl 51 trifft nach216, which may also be convex and bundling, in particular parallelizing, formed as the first outer surface 171 of the device 110, on a third outer surface 273 of the optical device 216 facing the deflector 114. The bundled laser beam 51 entering the optical device 216 through the first outer surface 271 strikes
Durchqueren der optischen Einrichtung 216 auf eine reflektierende, insbesondere total reflektierende, Innenseite einer vierten Außenfläche 274 der optischen Einrichtung 216. Die vierte Außenfläche 274 ist an einer von der Traversing the optical device 216 on a reflective, in particular totally reflective, inside of a fourth outer surface 274 of the optical device 216. The fourth outer surface 274 is at one of the
Ablenkeinrichtung 114 abgewandten Außenseite der optischen Einrichtung 216 ausgebildet, welche nahtlos in die zweite Außenfläche 172 übergeht, wie sie inDeflector 114 remote from the outside of the optical device 216 formed, which merges seamlessly into the second outer surface 172, as shown in FIG
Bezug auf die Vorrichtung 110 bereits beschrieben wurde. Referring to the device 110 has already been described.
An der Innenseite der vierten Außenfläche 274 wird der bereitgestellte On the inside of the fourth outer surface 274 of the provided
Laserstrahl 51 derart reflektiert, dass er in Richtung der Ablenkeinrichtung 114 geleitet wird, wobei er zunächst auf eine Innenseite 275 der dritten AußenflächeLaser beam 51 is reflected so that it is directed in the direction of the deflector 114, wherein it first on an inner side 275 of the third outer surface
273 der optischen Einrichtung 216 trifft. An der Innenseite 275 der dritten Außenfläche 273 wird der Laserstrahl 51 zu dem Mikrospiegel 132 hin gebrochen und trifft dann auf den Mikrospiegel 132 auf. An dem Mikrospiegel 132 wird der Laserstrahl 51 wieder auf die dritte Außenfläche 273 reflektiert, wo er wiederum gebrochen wird und, nach Durchqueren der optischen Einrichtung 216, auf die zweite Oberfläche 172 von innen auftrifft, wie in Bezug auf Fig. 2 bereits beschrieben, so dass sich die ausgehenden Lichtkegel 53, 54 bilden. 273 of the optical device 216 hits. On the inner side 275 of the third outer surface 273, the laser beam 51 is refracted toward the micromirror 132 and then impinges on the micromirror 132. At the micromirror 132, the laser beam 51 is reflected back to the third outer surface 273, where it is again refracted and, after passing through the optical device 216, onto the second surface 172 from the inside, as already described with reference to FIG. 2, so that the outgoing light cone 53, 54 form.
Die vierte Außenfläche 274 kann dadurch reflektierend ausgebildet sein, dass von außen eine selektive Metallisierung auf einer Außenseite der viertenThe fourth outer surface 274 can be designed to be reflective in that from the outside a selective metallization on an outer side of the fourth
Außenfläche 274 aufgebracht wird. Alternativ zur Metallisierung kann auch eine Materialabscheidung zum Ausbilden eines dielektrischen Spiegels an der Außenseite der vierten Außenfläche 274 durchgeführt werden. Alternativ kann die Innenseite der vierten Außenfläche 274 auch dadurch zum Spiegel werden, dass sie durch die Laserquelle in einem Winkel angestrahlt ist bzw. wird, der kleiner als der Totalreflexionswinkel der Innenseite der vierten Außenfläche 274 ist. Outer surface 274 is applied. Alternatively to the metallization, a material deposition for forming a dielectric mirror may also be performed on the outside of the fourth outer surface 274. Alternatively, the inside of the fourth outer surface 274 may also become a mirror by being illuminated by the laser source at an angle smaller than the total reflection angle of the inside of the fourth outer surface 274.
Fig. 4 zeigt eine schematische Querschnittsansicht durch eine Vorrichtung 310 zum Aussenden eines Laserstrahls 51 gemäß noch einer weiteren 4 shows a schematic cross-sectional view through a device 310 for emitting a laser beam 51 according to yet another
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Vorrichtung 310 ist eine Variante der Vorrichtung 210 und ist gemäß allen in Bezug auf die Vorrichtung 110 oder die Vorrichtung 210 beschriebenen Modifikationen und Weiterbildungen anpassbar und umgekehrt, sofern nicht explizit etwas anderes beschrieben ist. Die Vorrichtung 310 unterscheidet sich von der Vorrichtung 210 durch eine optische Einrichtung 316 der Vorrichtung 310, welche an die Stelle der optischen Einrichtung 216 der Vorrichtung 210 tritt.  Embodiment of the present invention. Device 310 is a variant of device 210 and is adaptable according to any modifications and developments described with respect to device 110 or device 210, and vice versa, unless explicitly described otherwise. The device 310 differs from the device 210 by an optical device 316 of the device 310, which replaces the optical device 216 of the device 210.
Die optische Einrichtung 316 weist, wie die optische Einrichtung 116 der Vorrichtung 110, eine der Ablenkeinrichtung 114 zugewandte dritte AußenflächeThe optical device 316 has, like the optical device 116 of the device 110, a third outer surface facing the deflector 114
173 auf, welche als glatte Fläche ausgebildet ist. Im Vergleich zu der optischen Einrichtung 216 der Vorrichtung 210 ist an der optischen Einrichtung 316 somit an der Außenfläche 173 keine gekrümmte Struktur, wie etwa die erste 173, which is formed as a smooth surface. Thus, as compared to the optical device 216 of the device 210, the optical device 316 does not have a curved structure on the outer surface 173, such as the first one
Oberfläche 271 der Vorrichtung 210, ausgebildet. Der bereitgestellte Laserstrahl 51 der Laserquelle 12 trifft auf die dritte Außenfläche 173 der optischen Surface 271 of the device 210, formed. The provided laser beam 51 of the laser source 12 strikes the third outer surface 173 of the optical
Einrichtung 316, durchquert die optische Einrichtung 316 und trifft auf eine Innenseite einer vierten Außenfläche 374 der optischen Einrichtung 316 anstelle der Innenseite der vierten Außenfläche 274 der optischen Einrichtung 216 der Vorrichtung 210. Die vierte Außenfläche 374 ist als spiegelnde und gleichzeitig bündelnde Oberfläche, ähnlich einem Parabolspiegel ausgebildet. Die vierte Außenfläche 374 kann in derselben Art reflektierend ausgebildet sein, wie im Voranstehenden in Bezug auf die vierte Außenfläche 274 der optischen Means 316 passes through optical device 316 and strikes an inner side of a fourth outer surface 374 of optical device 316 instead of the inner side of fourth outer surface 274 of optical device 216 of device 210. Fourth outer surface 374 is a specular and concurrent surface, similar to one Parabolic mirror formed. The fourth Outer surface 374 may be reflective in the same manner as described above with respect to the fourth outer surface 274 of the optical
Einrichtung 216 der Vorrichtung 210 beschrieben. Nach dem Reflektieren des bereitgestellten Laserstrahls 51 durch die Innenseite der vierten Außenfläche 374 verläuft der Weg des Laserstrahls 51 wie in Bezug auf die Vorrichtung 210 in Fig. 3 beschrieben. Device 216 of the device 210 described. After reflecting the provided laser beam 51 through the inside of the fourth outer surface 374, the path of the laser beam 51 is as described with respect to the device 210 in FIG.
Fig. 5 zeigt eine schematische Querschnittsansicht durch eine Vorrichtung 410 zum Aussenden eines Laserstrahls 51 gemäß noch einer weiteren 5 shows a schematic cross-sectional view through a device 410 for emitting a laser beam 51 according to yet another
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Embodiment of the present invention.
Die Vorrichtung 410 ist als eine Variante der Vorrichtung 310 bezeichenbar und ist gemäß allen in Bezug auf die Vorrichtung 310 beschriebenen Modifikationen und Weiterbildungen anpassbar und umgekehrt, sofern nicht explizit etwas anderes beschrieben ist. The device 410 is identifiable as a variant of the device 310 and is adaptable according to all modifications and developments described with respect to the device 310 and vice versa, unless otherwise explicitly described.
Die Vorrichtung 410 funktioniert nach einem ähnlichen Prinzip wie die The device 410 operates on a similar principle as the
Vorrichtung 310, insofern ein spiegelndes Element der optischen Einrichtung gleichzeitig zum Bündeln des aufgefächert bereitgestellten Laserstrahls 51 und zum Lenken dieses gebündelten Laserstrahls auf den Mikrospiegel 132 verwendet wird. Im Gegensatz zu der konvexen vierten Außenfläche 374 der optischen Einrichtung 316 der Vorrichtung 310, auf deren Innenseite der Device 310, in that a reflective element of the optical device is used simultaneously for bundling the fanned-out laser beam 51 and for directing this focused laser beam onto the micromirror 132. In contrast to the convex fourth outer surface 374 of the optical device 316 of the device 310, on the inside of which
Laserstrahl 51 auftrifft, wird bei der Vorrichtung 410 eine konkave Oberfläche 471 der optischen Einrichtung 416 der Vorrichtung 410 verwendet, auf deren Laser beam 51 is incident, in the device 410, a concave surface 471 of the optical device 416 of the device 410 is used, on whose
Außenseite der bereitgestellte Laserstrahl 51 auftrifft. Outside the laser beam 51 provided incident.
Die Außenseite der Außenfläche 471 kann durch die auch in Bezug auf die Außenseite 274 der optischen Einrichtung 216 der Vorrichtung 210 genannten Mittel spiegelnd ausgebildet werden, das heißt insbesondere durch The outer side of the outer surface 471 can be formed by the means also referred to with respect to the outer side 274 of the optical device 216 of the device 210 mirroring, that is, in particular by
Metallisierung oder dielektrische Spiegelausbildung. Der von der Außenseite der Außenfläche 471 reflektierte Laserstrahl 51 wird, insbesondere ohne ein weiteres Mal die optische Einrichtung 416 zu durchqueren oder zu berühren, direkt auf den Mikrospiegel 132 gelenkt, von welchem er wiederum auf die Außenseite der dritten Außenfläche 173 gelenkt wird, welche der Ablenkeinrichtung 114 mit dem Mikrospiegel 132 zugewandt ist. An der dritten Außenfläche 173 wird der abgelenkte Laserstrahl 52 gebrochen, wobei insbesondere Aberrationen kompensiert werden können. Außerdem kann durch das Brechen eine Form des abgelenkten Laserstrahls 52 modifiziert werden, um störende Reflexionen zu vermindern oder zu eliminieren. Die gleiche Funktion kann auch die dritte Metallization or dielectric mirror formation. The laser beam 51 reflected from the outside of the outer surface 471, in particular without once again passing or touching the optical device 416, is directed directly onto the micromirror 132, from which it is in turn directed to the outer side of the third outer surface 173, which Deflection 114 faces with the micromirror 132. On the third outer surface 173 of the deflected laser beam 52 broken, in particular aberrations can be compensated. Additionally, breaking may modify a shape of the deflected laser beam 52 to reduce or eliminate spurious reflections. The same function can also be the third
Außenfläche 173 in den Vorrichtungen 110, 210 oder 310 erfüllen. Outside surface 173 in the devices 110, 210 or 310 meet.
Der Bereich der optischen Einrichtung 416, welcher die Außenfläche 471 aufweist, kann mit dem Bereich der optischen Einrichtung 416, welcher die zweite Außenfläche 172 und die dritte Außenfläche 173 aufweist, einstückig ausgebildet sein. Alternativ können die beiden genannten Bereiche auch miteinander verklebt oder in sonstiger Weise aneinander gefügt sein, The region of the optical device 416 which has the outer surface 471 may be integrally formed with the region of the optical device 416 which has the second outer surface 172 and the third outer surface 173. Alternatively, the two areas mentioned can also be glued together or joined together in some other way,
insbesondere wenn, wie in Fig. 5 dargestellt, der Strahlengang des Laserstrahls 51, 52 die Klebe- bzw. Fügestelle nicht durchquert. In particular, when, as shown in Fig. 5, the beam path of the laser beam 51, 52 does not traverse the adhesive or joint.
Fig. 6A zeigt eine schematische Querschnittsansicht durch eine Vorrichtung 510 zum Aussenden des Laserstrahls 51 gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Vorrichtung 510 ist als eine Variante der Vorrichtung 210 bezeichenbar und ist gemäß allen in Bezug auf die Vorrichtung 210 beschriebenen Modifikationen und Weiterbildungen anpassbar und umgekehrt, sofern nicht explizit etwas anderes beschrieben ist. 6A shows a schematic cross-sectional view through a device 510 for emitting the laser beam 51 according to a further embodiment of the present invention. The device 510 is identifiable as a variant of the device 210 and is adaptable according to all modifications and developments described with respect to the device 210 and vice versa, unless otherwise explicitly described.
Die Vorrichtung 510 unterscheidet sich von der Vorrichtung 210 vornehmlich darin, dass bei der Vorrichtung 510 die Drehachse 130 des Mikrospiegels 132 der Ablenkeinrichtung 114 gegenüber der Drehachse 130 des Mikrospiegels 132 der Ablenkeinrichtung 114 in der Vorrichtung 210 um 90° gedreht angeordnet ist. Dadurch ergibt sich, dass die verschiedenen Lichtkegel 53, 54, welche durch die zweite Außenfläche 172 geformt und aus der optischen Einrichtung 216 ausgeleitet werden, bei verschiedenen Stellungen des Mikrospiegels 132 nicht in einer Richtung innerhalb der Einfallsebene des Laserstrahls 51 zwischen der Laserquelle 12 und der Ablenkeinrichtung 114 verschoben werden, sondern in einer Richtung senkrecht zu dieser. Die Drehachse 130 des Mikrospiegels 132 ist in der Vorrichtung 510 entsprechend innerhalb dieser Einfallsebene angeordnet. The device 510 differs from the device 210 primarily in that in the device 510 the axis of rotation 130 of the micromirror 132 of the deflector 114 is arranged rotated relative to the axis of rotation 130 of the micromirror 132 of the deflector 114 in the device 210 by 90 °. As a result, the various light cones 53, 54 formed by the second outer surface 172 and discharged from the optical device 216 do not move in a direction within the plane of incidence of the laser beam 51 between the laser source 12 and the laser beam 51 at different positions of the micromirror 132 Deflector 114 are moved, but in a direction perpendicular to this. The axis of rotation 130 of the micromirror 132 is arranged in the device 510 correspondingly within this plane of incidence.
Eine Anordnung der Drehachse des Mikrospiegels in der Einfallsebene des Laserstrahls 51 zwischen der Laserquelle 12 und der Ablenkeinrichtung, sodass die verschiedenen Lichtkegel bei verschiedenen Stellungen des Mikrospiegels nicht in einer Richtung innerhalb der Einfallsebene des Laserstrahls verschoben werden, sondern in einer Richtung senkrecht zu der Einfallsebene, ist bei allen voranstehend beschriebenen Vorrichtungen 110, 210, 310 und 410 und auch bei den nachfolgend beschriebenen Vorrichtungen möglich. An arrangement of the axis of rotation of the micromirror in the plane of incidence of the laser beam 51 between the laser source 12 and the deflector, so that The various light cones are not displaced in a direction within the plane of incidence of the laser beam at different positions of the micromirror, but in a direction perpendicular to the plane of incidence, is possible in all devices 110, 210, 310 and 410 described above and also in the devices described below ,
Fig. 6B zeigt eine schematische Draufsichtsansicht auf die Vorrichtung 510, und zwar aus der Richtung von rechts in Fig. 6A. Die Aktoreinrichtung 134 ist dabei nur schematisch und nur teilweise dargestellt, um die Position der Drehachse 130 zu verdeutlichen. Dementsprechend ist die zweite Außenfläche 172 vorteilhaft nicht nur in der Einfallsebene des Laserstrahls 51 von der Laserquelle 12 zur Ablenkeinrichtung 114 konvex geformt, sondern auch, wie in Fig. 6B gezeigt, in einer Ebene senkrecht zu dieser Einfallsebene. Fig. 6B is a schematic plan view of the device 510 taken from the right direction in Fig. 6A. The actuator device 134 is shown only schematically and only partially to illustrate the position of the rotation axis 130. Accordingly, the second outer surface 172 is advantageously convex not only in the plane of incidence of the laser beam 51 from the laser source 12 to the deflector 114, but also, as shown in Fig. 6B, in a plane perpendicular to this incident plane.
Fig. 7 zeigt eine schematische Querschnittsansicht einer Vorrichtung 610 zum Aussenden eines Laserstrahls 51 gemäß noch einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 7 shows a schematic cross-sectional view of a device 610 for emitting a laser beam 51 according to yet another embodiment of the present invention.
Bei der Vorrichtung 610 trifft der von der Laserquelle 12 bereitgestellte In the device 610, the one provided by the laser source 12 hits
Laserstrahl 51 zunächst auf eine Außenseite einer Außenfläche 671 einer optischen Einrichtung 616 der Vorrichtung 610. Die Außenseite der AußenflächeLaser beam 51 first on an outer side of an outer surface 671 of an optical device 616 of the device 610. The outside of the outer surface
671 ist, ähnlich wie die Außenseite der Außenfläche 471 der optischen 671 is similar to the outside of the outer surface 471 of the optical
Einrichtung 416 der Vorrichtung 410, als reflektierender und bündelnder Spiegel ausgebildet, beispielsweise wie in Bezug auf die besagte Außenfläche 471 beschrieben. Device 416 of device 410, designed as a reflecting and focusing mirror, for example as described with respect to said outer surface 471.
Durch die Außenfläche 671 wird der Laserstrahl 51, insbesondere ohne ein weiteres Mal die optische Einrichtung 616 zu durchqueren oder zu berühren, auf den Mikrospiegel 132 der Ablenkeinrichtung 114 gelenkt, von wo er als abgelenkter Laserstrahl 52, je nach der entsprechenden Stellung des Through the outer surface 671, the laser beam 51, in particular without once again traversing or touching the optical device 616, is directed onto the micromirror 132 of the deflector 114, from where it deflects as a deflected laser beam 52, depending on the corresponding position of the laser beam
Mikrospiegels 132, auf eine Außenseite einer weiteren konkaven AußenflächeMicromirror 132, on an outer side of another concave outer surface
672 der optischen Einrichtung 616 geleitet wird. Die Außenseite der konkaven Oberfläche 672 ist zum Reflektieren und zum Bündeln des abgelenkten 672 of the optical device 616 is passed. The outside of the concave surface 672 is for reflecting and bundling the deflected one
Laserstrahls 52 zu den Lichtkegeln 53, 54 ausgebildet, wobei die Lichtkegel 53, 54 in einer gewünschten Entfernung fokussiert sind. Auch die reflektierende Außenfläche 672 kann durch die in Bezug auf die Außenfläche 471 der optischen Einrichtung 416 der Vorrichtung 410 beschriebenen technischen Mittel ausgebildet sein. Laser beam 52 formed to the light cones 53, 54, wherein the light cone 53, 54 are focused at a desired distance. Also, the outer reflective surface 672 may be replaced by the outer surface 471 of the optical Device 416 of the device 410 described technical means to be formed.
Die optische Einrichtung 616 kann vorteilhaft einstückig ausgebildet sein, das heißt insbesondere aus einem fugenlosen einteiligen Körper aus Glas oder Kunststoff, wobei die Außenflächen 671, 672 in der vorgenannten Weise behandelt sein können. Ein erster Bereich der optischen Einrichtung 616, welcher die Außenfläche 671 aufweist, kann alternativ aber auch mit einem zweiten Bereich der optischen Einrichtung 616, welcher die Außenfläche 672 aufweist, zusammengefügt, beispielsweise geklebt sein. Hierdurch kann eine Herstellung der optischen Einrichtung 616 unter Umständen erleichtert sein. The optical device 616 may advantageously be formed in one piece, that is, in particular, from a jointless one-piece body made of glass or plastic, wherein the outer surfaces 671, 672 may be treated in the aforementioned manner. A first region of the optical device 616, which has the outer surface 671, but may alternatively be joined, for example glued, to a second region of the optical device 616, which has the outer surface 672. As a result, manufacture of the optical device 616 may be facilitated under certain circumstances.
Fig. 8A zeigt eine schematische Querschnittsansicht auf eine Vorrichtung 710 zum Aussenden eines Laserstrahls 51 gemäß noch einer weiteren 8A shows a schematic cross-sectional view of a device 710 for emitting a laser beam 51 according to yet another
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Vorrichtung 710 ist als eine Variante der Vorrichtung 610 bezeichenbar und ist gemäß allen in Bezug auf die Vorrichtung 610 beschriebenen Modifikationen und Weiterbildungen anpassbar und umgekehrt. Embodiment of the present invention. The device 710 is identifiable as a variant of the device 610 and is adaptable according to all modifications and developments described with respect to the device 610 and vice versa.
Die Vorrichtung 710 unterscheidet sich von der Vorrichtung 610 in einer optischen Einrichtung 716 der Vorrichtung 710 anstelle der optischen Einrichtung 616 der Vorrichtung 610. Die optische Einrichtung 710 weist eine Außenfläche 671 auf, die ausgebildet ist wie in Bezug auf die optische Einrichtung 616 der Vorrichtung 610 beschrieben. Der durch die Laserquelle 12 bereitgestellte Laserstrahl 51 wird somit durch die Außenseite der Außenfläche 671 reflektiert und gebündelt ohne weiteren Kontakt mit der optischen Einrichtung 716 auf den Mikrospiegel 132 der Ablenkeinrichtung 114 geleitet. Der abgelenkte Laserstrahl 52 trifft auf eine Außenseite einer Außenfläche 772 der Vorrichtung 710, welche ebenfalls als bündelnde, reflektierende Außenfläche ausgebildet ist, wie in Bezug auf die Außenfläche 671 der optischen Einrichtung 616 der Vorrichtung 610 beschrieben. The device 710 differs from the device 610 in an optical device 716 of the device 710 instead of the optical device 616 of the device 610. The optical device 710 has an outer surface 671 that is formed as with respect to the optical device 616 of the device 610 described. The laser beam 51 provided by the laser source 12 is thus reflected by the outside of the outer surface 671 and bundled without further contact with the optical device 716 to the micromirror 132 of the deflector 114. The deflected laser beam 52 strikes an outer surface of an outer surface 772 of the device 710, which is also formed as a focusing, reflecting outer surface, as described with respect to the outer surface 671 of the optical device 616 of the device 610.
Die durch die reflektierende und bündelnde Außenfläche 772 erzeugten The generated by the reflective and bundling outer surface 772
Lichtkegel 53, 54 sind insbesondere parallel sowohl zueinander als auch zu der Drehachse 130 des Mikrospiegels 132 angeordnet. Dies ist beispielsweise in Fig. 8B ersichtlich. Beams 53, 54 are in particular parallel both to each other and to the Rotary axis 130 of the micromirror 132 is arranged. This can be seen, for example, in FIG. 8B.
Fig. 8B zeigt eine schematische Draufsichtsansicht der Vorrichtung 710 aus Fig. 8A aus einer Richtung in Fig. 8A links. Die Aktoreinrichtung 134 ist dabei nur schematisch und nur teilweise dargestellt, und die Laserquelle 12 ist gar nicht dargestellt, um die Position der Drehachse 130 zu verdeutlichen. FIG. 8B shows a schematic plan view of the device 710 of FIG. 8A from a direction in FIG. 8A on the left. The actuator device 134 is shown only schematically and only partially, and the laser source 12 is not shown to illustrate the position of the rotation axis 130.
In Zusammenschau der Fig. 8A und 8B ist ersichtlich, dass die Außenfläche 772 sowohl in einer Ebene senkrecht zur Drehachse 130 des Mikrospiegels 132 als auch in einer Ebene parallel zu der Drehachse 130 des Mikrospiegels 132 gekrümmt ist. 8A and 8B, it can be seen that the outer surface 772 is curved both in a plane perpendicular to the axis of rotation 130 of the micromirror 132 and in a plane parallel to the axis of rotation 130 of the micromirror 132.
Wenn durch den Mikrospiegel 132, genauer gesagt durch dessen reflektierende Oberfläche, in der Ruhelage des Mikrospiegels 132 eine virtuelle Ebene gezogen wird, ist die Außenfläche 772 der optischen Einrichtung 716 so ausgebildet, dass bei verschiedenen Stellungen des Mikrospiegels 132 der abgelenkte Laserstrahl 52, gemessen durch ein Lot auf die genannte virtuelle Ebene, in verschiedenen Entfernungen von der virtuellen Ebene auf die Außenfläche 772 auftrifft und somit die erzeugten Lichtkegel 53, 54 voneinander in einer Richtung senkrecht zu der virtuellen Ebene beabstandet sind, wie in Fig. 8B gezeigt. When a virtual plane is drawn by the micromirror 132, more precisely by its reflective surface, in the rest position of the micromirror 132, the outer surface 772 of the optical device 716 is formed such that at different positions of the micromirror 132 the deflected laser beam 52 is measured a solder is incident on said virtual plane at different distances from the virtual plane to the outer surface 772 and thus the generated light cones 53, 54 are spaced from each other in a direction perpendicular to the virtual plane, as shown in Fig. 8B.
Die optische Einrichtung 716 kann vorteilhaft einstückig ausgebildet sein, das heißt insbesondere aus einem fugenlosen einteiligen Körper aus Glas oder Kunststoff, wobei die Außenflächen 671, 772 in der vorbeschriebenen Weise behandelt sein können. Ein erster Bereich der optischen Einrichtung 716, welcher die Außenfläche 671 aufweist, kann alternativ aber auch mit einem zweiten Bereich der optischen Einrichtung 716, welcher die Außenfläche 772 aufweist, zusammengefügt, beispielsweise geklebt sein. Hierdurch kann eine Herstellung der optischen Einrichtung 716 unter Umständen erleichtert sein. The optical device 716 may advantageously be formed in one piece, that is to say in particular from a jointless one-piece body made of glass or plastic, wherein the outer surfaces 671, 772 may be treated in the manner described above. A first region of the optical device 716, which has the outer surface 671, but may alternatively be joined, for example glued, to a second region of the optical device 716, which has the outer surface 772. As a result, a production of the optical device 716 may be facilitated under certain circumstances.
Fig. 9 zeigt ein schematisches Flussdiagramm zum Erläutern eines Verfahrens zum Herstellen einer Vorrichtung 10; 110; 210; 310; 410; 510; 610; 710 zum Aussenden eines Laserstrahls 51 gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Das Verfahren gemäß Fig. 9 ist zum Herstellen jeder der erfindungsgemäßen Vorrichtungen 10; 110; 210; 310; 410; 510; 610; 710 verwendbar und ist gemäß allen in Bezug auf diese erfindungsgemäßen Vorrichtungen beschriebenen Modifikationen und Weiterbildungen anpassbar und umgekehrt. FIG. 9 is a schematic flowchart for explaining a method of manufacturing a device 10; FIG. 110; 210; 310; 410; 510; 610; 710 for emitting a laser beam 51 according to another embodiment of the present invention. The method of FIG. 9 is for manufacturing each of devices 10 according to the invention; 110; 210; 310; 410; 510; 610; 710 usable and is adaptable according to all modifications and developments described in relation to these devices according to the invention and vice versa.
In einem Schritt S01 wird eine Laserquelle 12 zum Bereitstellen eines In a step S01, a laser source 12 for providing a
Laserstrahls 51 bereitgestellt. Laser beam 51 provided.
In einem Schritt S02 wird eine Ablenkeinrichtung 14; 114 bereitgestellt, welche zum Ablenken des auf die Ablenkeinrichtung 14; 114 auftreffenden In a step S02, a deflector 14; 114 provided for deflecting the on the deflector 14; 114 striking
bereitgestellten Laserstrahls 51 als einem reflektierten Laserstrahl 52 ausgelegt oder eingerichtet ist. provided laser beam 51 is designed or set up as a reflected laser beam 52.
In einem Schritt S03 wird eine optische Einrichtung 16; 116; 216; 316; 416; 616; 716 derart bereitgestellt, dass der bereitgestellte Laserstrahl 51 zwischen der Laserquelle 12 und der Ablenkeinrichtung 14; 114 mit mindestens einem ersten Bereich 71; 171; 271, 274; 374; 471; 671 interagiert und außerdem derart, dass der abgelenkte Laserstrahl 52 mit mindestens einem zweiten Bereich 72; 172; 273, 172; 672; 772 interagiert. Unter einem Interagieren kann insbesondere ein Reflektieren, Brechen, Bündeln und/oder Transmittieren des Laserstrahls 51 verstanden werden. In a step S03, an optical device 16; 116; 216; 316; 416; 616; 716 provided such that the provided laser beam 51 between the laser source 12 and the deflector 14; 114 with at least a first region 71; 171; 271, 274; 374; 471; 671 also interacts such that the deflected laser beam 52 has at least one second region 72; 172; 273, 172; 672; 772 interacts. Interaction may, in particular, be understood as reflecting, breaking, bundling and / or transmitting the laser beam 51.
Das Bereitstellen der optischen Einrichtung 16; 116; 216; 316; 416; 616; 716 kann insbesondere ein Fügen der optischen Einrichtung 16; 116; 216; 316; 416; 616; 716 aus zwei oder mehr Teilen umfassen, wobei die einzelnen Teile jeweils aus Glas und/oder Kunststoff, insbesondere Kunststoff mit optischer Qualität, ausgebildet sein können oder solche Materialien umfassen können. Providing the optical device 16; 116; 216; 316; 416; 616; In particular, a joining of the optical device 16; 116; 216; 316; 416; 616; 716 comprise two or more parts, wherein the individual parts may each be made of glass and / or plastic, in particular plastic with optical quality, or may comprise such materials.

Claims

Ansprüche claims
1. Vorrichtung (10; 110; 210; 310; 410; 510; 610; 710) zum Aussenden eines Laserstrahls (51), mit: A device (10; 110; 210; 310; 410; 510; 610; 710) for emitting a laser beam (51), comprising:
einer Laserquelle (12) zum Bereitstellen eines Laserstrahls (51);  a laser source (12) for providing a laser beam (51);
einer Ablenkeinrichtung (14), welche zum Ablenken des auf die  a deflection device (14), which is used to deflect the on the
Ablenkeinrichtung (14) auftreffenden bereitgestellten Laserstrahls (51) als abgelenkter Laserstrahl (51, 52) ausgelegt ist; und Deflector (14) incident laser beam provided (51) is designed as a deflected laser beam (51, 52); and
einer optischen Einrichtung (16; 116; 216; 316; 416; 616; 716), welche derart angeordnet und ausgebildet ist, dass der bereitgestellte Laserstrahl (51) zwischen der Laserquelle (12) und der Ablenkeinrichtung (14) mit mindestens einem ersten Bereich (71; 171; 271, 274; 271, 374; 471; 671) der optischen Einrichtung (16; 116; 216; 316; 416; 616; 716) interagiert, und welche außerdem derart angeordnet und ausgebildet ist, dass der abgelenkte Laserstrahl (51, 52) mit mindestens einem zweiten Bereich (72; 172; 273, 172; 173, 172; 672; 772) der optischen Einrichtung (16; 116; 216; 316; 416; 616; 716) interagiert.  optical means (16; 116; 216; 316; 416; 616; 716) arranged and configured such that the provided laser beam (51) is between the laser source (12) and the deflector (14) with at least a first region (71; 171; 271, 274; 271, 374; 471; 671) of the optical device (16; 116; 216; 316; 416; 616; 716) interacts, and which is also arranged and configured such that the deflected laser beam (51, 52) interacts with at least a second portion (72; 172; 273, 172; 173, 172; 672; 772) of the optical device (16; 116; 216; 316; 416; 616; 716).
2. Vorrichtung (10; 110; 210; 310; 410; 510; 610) nach Anspruch 1, 2. Device (10; 110; 210; 310; 410; 510; 610) according to claim 1,
wobei die optische Einrichtung (16; 116; 216; 316; 416; 616) derart ausgebildet ist, dass der bereitgestellte Laserstrahl (51) durch die optische Einrichtung (16; 116; 216; 316; 416; 616) auf dem Weg zwischen der Laserquelle (12) und der Ablenkeinrichtung (14) gebrochen wird.  wherein the optical device (16; 116; 216; 316; 416; 616) is designed such that the laser beam (51) provided by the optical device (16; 116; 216; 316; 416; 616) on the way between the Laser source (12) and the deflector (14) is broken.
3. Vorrichtung (210; 310; 410; 510; 610; 710) nach einem der Ansprüche 1 oder 2, 3. Device (210; 310; 410; 510; 610; 710) according to one of claims 1 or 2, characterized
wobei die optische Einrichtung (216; 316; 416; 616; 716) derart ausgebildet ist, dass der bereitgestellte Laserstrahl (51) zwischen der Laserquelle (12) und der Ablenkeinrichtung (114) an einer ersten Außenfläche (274; 374; 471; 671) der optischen Einrichtung (216; 316; 416; 616; 716) reflektiert wird. wherein the optical device (216; 316; 416; 616; 716) is configured such that the laser beam (51) provided between the laser source (12) and the deflector (114) is formed on a first outer surface (274; 374; 471; 671 ) of the optical device (216; 316; 416; 616; 716) is reflected.
4. Vorrichtung (210; 310; 510) nach Anspruch 3, 4. Device (210; 310; 510) according to claim 3,
wobei der bereitgestellte Laserstrahl (51) an einer Innenseite der ersten Außenfläche (274; 374) der optischen Einrichtung (216; 316) reflektiert wird.  wherein the provided laser beam (51) is reflected on an inner side of the first outer surface (274; 374) of the optical device (216; 316).
5. Vorrichtung (410; 610; 710) nach Anspruch 3 5. Device (410; 610; 710) according to claim 3
der bereitgestellte Laserstrahl (51) an einer Außenseite der ersten  the provided laser beam (51) on an outer side of the first
Außenfläche (471; 671) reflektiert wird. Outside surface (471; 671) is reflected.
6. Vorrichtung (610; 710) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, 6. Device (610; 710) according to one of claims 1 to 5,
wobei die optische Einrichtung (616; 716) derart ausgebildet ist, dass der abgelenkte Laserstrahl (52) nach Verlassen der Ablenkeinrichtung (114) durch die optische Einrichtung (616; 716) reflektiert und gebündelt wird.  wherein said optical means (616; 716) is adapted to reflect and focus said deflected laser beam (52) upon exiting said deflector (114) through said optical means (616; 716).
7. Vorrichtung (110; 210; 310; 410; 510) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei der abgelenkte Laserstrahl (52) nach Verlassen der 7. Apparatus (110; 210; 310; 410; 510) according to any one of claims 1 to 6, wherein the deflected laser beam (52) after leaving the
Ablenkeinrichtung (114) durch die optische Einrichtung (116; 216; 316; 416) gebrochen und gebündelt wird. Deflector (114) is refracted and collimated by the optical device (116; 216; 316; 416).
8. Vorrichtung (110; 210; 310; 410; 610; 710) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei eine Rotationsachse (130) eines Mikrospiegels (132) der The apparatus (110; 210; 310; 410; 610; 710) according to any one of claims 1 to 7, wherein an axis of rotation (130) of a micromirror (132) of the
Ablenkeinrichtung (114) senkrecht zu einer Einfallsebene des bereitgestellten Laserstrahls (51) von der Laserquelle (12) bis zu der Ablenkeinrichtung (114) angeordnet ist. Deflection device (114) perpendicular to an incident plane of the provided laser beam (51) from the laser source (12) to the deflector (114) is arranged.
9. Vorrichtung (510) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, 9. Device (510) according to one of claims 1 to 8,
wobei eine Rotationsachse (130) eines Mikrospiegels (132) der  wherein an axis of rotation (130) of a micromirror (132) of the
Ablenkeinrichtung (114) in einer Einfallsebene des bereitgestellten Laserstrahls (51) von der Laserquelle (12) bis zu der Ablenkeinrichtung (114) angeordnet ist. Deflection device (114) in an incident plane of the provided laser beam (51) from the laser source (12) to the deflector (114) is arranged.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, 10. Device according to one of claims 1 to 9,
wobei die optische Einrichtung (16; 116; 216; 316; 416; 616; 716) einstückig ausgebildet ist.  wherein the optical device (16; 116; 216; 316; 416; 616; 716) is integrally formed.
11. Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung (10; 110; 210; 310; 410; 510; 610) zum Aussenden eines Laserstrahls (51), mit den Schritten: Bereitstellen (SOI) einer Laserquelle (12) zum Bereitstellen eines Laserstrahls (51); 11. A method for producing a device (10; 110; 210; 310; 410; 510; 610) for emitting a laser beam (51), comprising the steps of: Providing (SOI) a laser source (12) for providing a laser beam (51);
Bereitstellen (S02) einer Ablenkeinrichtung (14; 114), welche zum Ablenken des auf die Ablenkeinrichtung (14; 114) auftreffenden bereitgestellten Laserstrahls (51) als abgelenkter Laserstrahl (52) ausgelegt ist; und  Providing (S02) a deflector (14; 114) adapted to deflect the laser beam (51) incident on the deflector (14; 114) as a deflected laser beam (52); and
Bereitstellen und Anordnen (S03) einer optischen Einrichtung (16; 116; 216; 316; 416; 616; 716) derart, dass der bereitgestellte Laserstrahl (51) zwischen der Laserquelle (12) und der Ablenkeinrichtung (14; 114) mit mindestens einem ersten Bereich (71; 171; 271, 274; 271, 374; 471; 671) der optischen Einrichtung (16; 116; 216; 316; 416; 616) interagiert, und außerdem derart, dass der abgelenkte Laserstrahl (52) mit mindestens einem zweiten Bereich (72; 172; 273, 172; 173, 172; 672; 772) der optischen Einrichtung (16; 116; 216; 316; 416; 616; 716) interagiert.  Providing and arranging (S03) an optical device (16; 116; 216; 316; 416; 616; 716) such that the provided laser beam (51) between at least one of the laser source (12) and the deflector (14; 114) first region (71; 171; 271, 274; 271, 374; 471; 671) of the optical device (16; 116; 216; 316; 416; 616) interacts, and also such that the deflected laser beam (52) at least a second region (72; 172; 273, 172; 173, 172; 672; 772) of the optical device (16; 116; 216; 316; 416; 616; 716).
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