WO2017174549A1 - Verfahren zur bestrahlung von behandlungsgut in industriellen prozessen - Google Patents

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WO2017174549A1
WO2017174549A1 PCT/EP2017/057933 EP2017057933W WO2017174549A1 WO 2017174549 A1 WO2017174549 A1 WO 2017174549A1 EP 2017057933 W EP2017057933 W EP 2017057933W WO 2017174549 A1 WO2017174549 A1 WO 2017174549A1
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radiation
optical
optical waveguide
acting
shaped body
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Jürgen Weber
Oliver Weiss
Thomas Piela
Jörg Diettrich
Lotta Gaab
Christoph STERNKIKER
Nico WEWER
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Heraeus Noblelight Gmbh
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    • H05K1/092Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks
    • H05K1/097Inks comprising nanoparticles and specially adapted for being sintered at low temperature

Definitions

  • a coupling unit for coupling the radiation of the radiation source into a front end region of an optical waveguide for transmitting the radiation to one provided at a rear end region of the optical waveguide
  • a relatively high power density is usually used, for example for the irradiation of surfaces during material processing, the radiation being conducted from a radiation source via an optical waveguide to a decoupling unit.
  • One or more optical fibers transport the radiation emitted by the radiation source to an irradiation or diagnostic location and distribute there the radiation in the desired manner by optical scattering.
  • Optical fibers typically have a core wrapped by a cladding. To protect against mechanical impact, you can also, depending on
  • Use case be enveloped by an outer sheath of plastic or glass.
  • the decoupling unit has as its core a focusing unit with lenses, which focuses the light or the beam path on a focal spot as small as possible. This will increase the energy density at the
  • sources of radiation are UV radiation sources that emit ultraviolet radiation in the wavelength range between 200 nm and 400 nm, as well as IR radiation sources with infrared radiation of a wavelength in the range between 740 nm and 2500 nm are used.
  • Typical fields of application of this type for industrial items to be treated are methods for cutting, drilling or welding metals by means of laser.
  • the removal of material from a surface locally by means of pulsed laser light, which is locally limited to a small area takes place. This method is also called “laser ablation.”
  • the laser light has a high power density and causes rapid heating and the formation of a plasma at the focal spot.
  • the high temperatures and energy densities of such methods require a thermally stable material for the optical fiber, such as
  • the laser radiation is coupled into a flexible optical waveguide, which is formed as a one-millimeter quartz glass fiber, and guided to a decoupling unit.
  • Decoupling unit focuses the exiting from the end of the optical waveguide and thereby slightly scattering laser radiation by means of appropriate lenses on a small focal spot whose diameter is smaller than the diameter of the optical waveguide. This focusing results in a power density at the focal spot in the range of 10 6 to 10 7 watts / cm 2 , which is needed for drilling and cutting a steel plate (Inconel 718) with a thickness of 0.75 mm.
  • the flexible optical waveguide ensures a high degree of freedom with regard to the introduction and handling of the irradiation process.
  • decoupling unit with its lens system sets limits, for example, when it comes to the accessibility of small cavities.
  • Scanning the surface can be made, which requires an increased amount of time and the use of motor - with the necessary space - to move the decoupler.
  • the fundamental requirement is that the radiation the processing, treatment or observation with the highest possible intensity, homogeneity and
  • the object of the present invention is to provide an irradiation method with a decoupling unit which overcomes the above-mentioned disadvantages of the prior art and which also has the optimized means for homogeneous radiation guidance in the area.
  • the decoupling unit comprises a molded body acting as an optical diffuser, which Has scattering centers, and that the IR and / or UV radiation exits through the optical diffuser and acts on the material to be treated.
  • Process according to the invention essentially formed by a molding acting as an optical diffuser molding having scattering centers. On a lens system for focusing the light, as otherwise in Auskoppeliseren of
  • Irradiation systems is common is waived.
  • the IR and / or UV radiation passes through the optical diffuser and acts on the treated, which is usually located at a small distance from the optical diffuser.
  • the molded body acting as an optical diffuser can be designed as a component or as a layer and serves for the optimized guidance of the radiation in the sense of a high efficiency of the coupled scattered radiation on the material to be treated. This not only with regard to a narrowly limited area of a focal spot as in the prior art, but also in particular with respect to a line or area irradiation, without necessarily for this purpose
  • the acting as an optical diffuser molding can be easily replaced. This also applies to the radiation source.
  • the irradiation system used in the method according to the invention is flexibly adaptable to changing conditions of use.
  • the method according to the invention is particularly suitable for processes for heating, for polymerization or for curing, or / and for disinfecting industrial items to be treated.
  • these processes is the targeted infrared heating of metals or semiconductors, for example, when these materials are applied to electronic components.
  • the heating takes place only directly on and in the immediate vicinity of the item to be treated, the wavelength range of the light or radiation, the absorption wavelength range of
  • optical waveguides used here heat up only slightly (up to a maximum of 80 ° C), so that the process also in
  • broadband IR emitters at about 150 kW / m 2 .
  • the method according to the invention is suitable for potentially explosive areas.
  • the optical fiber and the decoupling remain practically cold in the absence of a heat conductor.
  • essentially "cold IR radiation" is effective
  • use in potentially explosive areas is not possible or only with great technical effort (cooling elements required). because the heating conductor and - by
  • the irradiation method according to the invention is also suitable for the irradiation of industrial material to be treated with ultraviolet (UV) light.
  • UV ultraviolet
  • the wavelength range of the UV light is, as stated above for the IR application, also tuned here to the absorption behavior of the material to be treated.
  • the invention proper method is suitable for curing paints, inks or
  • the irradiation of industrial material often requires a high power density, so that short process times can be met with high quality requirements. With the method according to the invention, these criteria are met particularly well.
  • An illustrative example of this is the irradiation of paper surfaces and their coating in a printing machine, wherein a plurality of light sources with different wavelength ranges can be used. Furthermore, it has regard to acting as an optical diffuser
  • Shaped body in the method according to the invention proved to be advantageous if this has an elongated shape with a longitudinal axis.
  • rod-shaped moldings have proven successful, wherein such a rod-shaped molded body can also be formed as an integral part of the optical waveguide.
  • This design of the shaped body influences the decoupling of the radiation.
  • the scattering effect of the molding increases with the number of
  • the light or the radiation is coupled out of the shaped body over a relatively long distance, whereby the scattering intensity can be homogenized.
  • An integral bond with the optical waveguide contributes to a high mechanical stability of the molded body and improves the reproducibility of the scattering properties.
  • a preferred embodiment of the method is characterized in that a shaped body acting as an optical diffuser having a longitudinal axis (L) is used, along which the distribution density of the scattering centers increases in a radiation main propagation direction. That means the radiation is increasing
  • Fiber optic near range and a higher distribution density in the rear end portion of the optical fiber remote area By means of such a gradient scattering centers inhomogeneous, preferably at the
  • Shaped body is used, the one to the contour of a to be irradiated
  • Surface of the treated material has adapted surface profile.
  • items to be treated in the form of a tube with a rectangular cross-section can be irradiated uniformly from the inside, since the shaped body acting as an optical diffuser has a corresponding rectangular profile.
  • the scattering centers are designed in the form of surface structures. This design of the scattering centers is easy to apply to the molding and does not affect the mechanical stability of the molding. In principle, scattering centers in the volume of the shaped body are also possible, which supplement the scattering effect of the scattering centers in the form of surface structures.
  • the roughening can be done, for example, by means of sandblasting or other suitable mechanical methods or applied by the action of a laser on the surface of the molding. Alternatively or in
  • a roughening pattern can also be achieved by chemical etching of the surface of the
  • Shaped bodies are produced. This results in structures with elevations or with a roughness in the range of 0.05 ⁇ to 50 ⁇ .
  • Magnitude of the roughening or scattering centers does not affect the mechanical stability of the molding.
  • the areas with roughening locally increase the effectiveness of the scattering power.
  • the surface structures are advantageously designed as a diffusely scattering coating.
  • a molded body made of quartz glass has in this
  • a porous quartz glass layer particularly well-proven which is formed by applying and sintering a pasty SiO 2 slurry on the molding surface.
  • This coating may be formed on the entire surface or only in some areas. It is essential that these
  • Coating scattering centers for example by micropores or nanoparticles contains, which optimizes the scattering effect of the shaped body optionally in cooperation with other forms of scattering centers in the irradiation process according to the invention.
  • Shaped body in sub-areas of its surface on a reflector layer.
  • This layer preferably comprises a metal, preferably gold. With such a reflector layer portions of the shaped body are covered, which should not emit radiation. In this way, the scattering effect can be matched locally to the respective geometry of the site.
  • a shaped body which acts as an optical diffuser with, for example, point or line emission regions without great effort.
  • Irradiation system which comprises at least one UV radiation source for generating radiation of a wavelength in the range between 200 nm and 400 nm and at least one IR radiation source for generating radiation of a wavelength in the range between 740 nm and 2500 nm, wherein the radiation of UV radiation source and the IR radiation source are coupled together in the optical waveguide.
  • UV radiation source for generating radiation of a wavelength in the range between 200 nm and 400 nm
  • IR radiation source for generating radiation of a wavelength in the range between 740 nm and 2500 nm
  • the optical waveguide and the shaped body to at least 95 wt .-% of S1O2.
  • the optical waveguide comprises as a compulsory component at least one core and as an optional component at least one cladding of the core.
  • the core and, if appropriate, the cladding are preferably made of doped or undoped high-siliceous glass, which is referred to here and below as quartz glass.
  • the S1O2 content of the quartz glass is at least 95% by weight.
  • the molded body acting as an optical diffuser also consists of at least 95% by weight of S1O2 and has at least one common contact surface with one or both components of the optical waveguide, preferably with the core.
  • the optical fiber and the shaped body thus have a similar, ideally the same chemical
  • composition they each consist of doped or undoped
  • Quartz glass wherein the compositions of the material of the shaped body and the fiber core of the optical fiber in their SiO 2 content preferably by 1
  • Percentage point or less preferably less than 0.5 percentage points.
  • the adjacent to the common contact surface (optical fiber component / molded body) materials are in their chemical
  • Thermal shock resistance and optionally a good connection between the molding and light wave conductor shows are therefore characterized by high mechanical and optical stability in use.
  • the optical waveguide and the molded body are made of a material from the group of zinc selenide, magnesium fluoride, calcium fluoride, zirconium fluoride, indium fluoride, zinc sulfide, sodium chloride, silver chloride, potassium bromide , Silver bromide, or from a chalcogenide
  • Glass composed of the elements sulfur, selenium and / or tellurium with arsenic, germanium and / or antimony.
  • Other alternative materials for the shaped body and the optical waveguide are optical glasses with high
  • Infrared wavelength spectra based on magnesium fluoride (MgF 2 ), calcium fluoride (CaF 2 ), zirconium fluoride (ZrF), indium fluoride (lnF 3 ), zinc sulfide (ZnS), sodium chloride (NaCI), silver chloride (AgCl), potassium bromide (KBr) or silver bromide (AgBr), or based on chalcogenide glasses formed from the elements sulfur, selenium and / or tellurium with arsenic, germanium and / or antimony.
  • MgF 2 magnesium fluoride
  • CaF 2 calcium fluoride
  • ZrF zirconium fluoride
  • ZnS indium fluoride
  • ZnS zinc sulfide
  • NaCI sodium chloride
  • silver chloride AgCl
  • chalcogenide glasses formed from the elements sulfur, selenium and / or
  • Figure 1 is a schematic representation of the irradiation system in
  • inventive method with a cylindrical, acting as an optical diffuser molding as a coupling-out unit;
  • Figure 2 is an enlarged detail view A of the embodiment of
  • Figure 3a shows a teardrop-shaped embodiment of the molding
  • Figure 3b shows an embodiment of the molding with a rectangular profile
  • FIG. 4 is a schematic representation of the invention
  • FIG. 1 schematically shows the irradiation system in the irradiation method according to the invention, to which the reference numeral 100 is assigned overall.
  • System 100 comprises an IR or a UV radiation source 1, or else a combination of these radiation sources, which emits radiation which is guided into one (or more) optical waveguide 2 via a coupling-in unit, not shown here.
  • the optical waveguide 2 is formed as an optical fiber and has, depending on the purpose, a length of up to 10 meters or more. The The length of the optical waveguide is dimensioned such that the radiation source is clearly separated from the place of application of the molded body acting as an optical diffuser and any heat radiating from the radiation source does not impinge on the optical waveguide
  • the optical fiber 2 has a fiber core, not shown here, and a cladding surrounding the fiber core.
  • the fiber core consists of pure, undoped quartz glass.
  • the optical cladding is made of quartz glass which is doped with about 4% by weight of fluorine.
  • Optical waveguide 2 has a diameter of 200 ⁇ .
  • Non-flexible, rod-shaped optical waveguides have larger diameters, which can also be advantageous in individual cases.
  • the decoupling unit connects, which is formed as an optical diffuser acting moldings 3.
  • the molded body 3 is a cylindrical, a longitudinal axis L exhibiting and circular in cross-section rod, which is connected to the optical waveguide 2, for example by welding.
  • the molded body 3 is - as well as the
  • Optical waveguide 2 - made of quartz glass and has a diameter of 3 mm and a length of 300 mm. The connection between optical waveguide 2 and
  • Shaped body 3 can - as far as the different geometries of
  • Optical waveguide and moldings allow this - to be cohesive. Or the
  • Coupling of the radiation from the optical waveguide to the molded body is effected by a corresponding lens system. In any case, ensure that the
  • the radiation is bent undesirably.
  • the radiation is scattered at the scattering centers and exits outward from the molding and is on the
  • Roughening pattern 4.1 which is closer to the end region 2 of the optical waveguide 2, has a smaller number of scattering centers than the roughening pattern 4.2.
  • the shaped body 3 has a partial area of its surface
  • Reflector layer 5 made of gold. At this reflector layer 5 ends
  • the roughening pattern 4.1 has a smaller number of scattering centers than the roughening pattern 4.2, so that less radiation is emitted to the outside in the region of the roughening pattern 4.1 than in the section with the roughening pattern 4.2.
  • Both areas of the molded body 3 have a homogeneous, diffuse radiation with a scattering outward cylindrical pattern, in Figure 2 by several
  • scattering centers can also be applied to the molding by applying a diffusely scattering coating in the form of a porous quartz glass layer.
  • the porous quartz glass layer closer to the end region of the optical waveguide has a higher layer thickness than that at the opposite end of the molded article.
  • FIGS. 3a and 3b show two further embodiments of the shaped body.
  • the teardrop-shaped shape of the shaped body 103 according to FIG. 3a shows a thickening at the end of the optical waveguide 102; both parts consist of
  • Shaped body 103 is distinguished in the inventive method by omnidirectional radiation in the smallest areas of the material to be treated, such as fine tube openings.
  • the drop-shaped shaped body 103 has on its surface a coating provided with scattering centers, which is shown in Figure 3a as a gray area.
  • the areas to be irradiated of the material to be treated are uniformly irradiated, so that mechanical stresses on
  • the teardrop-shaped embodiment of the shaped body according to FIG. 3a can be used for deburring
  • a shaped body 203 in the form of a small quartz glass plate 204 is welded to an optical waveguide 202 as a quartz glass nozzle.
  • Quartz glass plate 204 has scatterers (gray area) on its side surfaces 204a, which allow a homogeneous, diffuse radiation of the radiation in a rectangular groove or a pipe with a rectangular cross-section.
  • FIG. 4 schematically shows the irradiation method according to the invention, to which the reference numeral 300 as a whole is assigned.
  • the method 300 comprises an irradiation system with an IR module 301 that can be used both for drying and for sintering metal-containing ink on a plastic film.
  • FIG. 4 explains in more detail the IR module 301 for sintering silver printed conductors.
  • a UV module 302 is provided with which, for example, coatings can be cured under UV irradiation.
  • the UV module 302 is connected via an optical waveguide 2 with a UV radiation source 1 .2.
  • Between the IR module 301 and the UV module 302 further modules or other devices may be provided, for example, a device for applying a further departmentsgutbezel be provided.
  • the IR module 301 has a decoupling unit with a rod-shaped molding 303, which is arranged transversely to the transport direction 305 and is suitable for treating the material to be treated 304 with IR radiation.
  • the molded body 303 is fed by the IR radiation source 1 .1 via an optical waveguide 2.
  • the IR radiation source can be arranged outside the irradiation system, for example this is a laser or LED radiation source.
  • the item to be treated 304 is a plastic film of polyethylene naphthalate (PEN) with a
  • Film thickness of 0.1 mm which is moved by a transport device (not shown) in the transport direction 305 relative to the emitter modules 301, 302 and printed on the silver printed circuit boards 306 in rotary screen printing technique.
  • the treated material 304 is also referred to as Pr / 'nted-E / ecfron /' cs-component, which are produced in the roll-to-roll processing.
  • the movement of the material to be treated 304 takes place at a constant feed rate of about 3 m / min.
  • the rod-shaped molding 303 is made of quartz glass and has a length of 320 mm and a diameter of 5 mm. It has scattering centers on its lateral surface facing the treatment good 304 by roughening or by a thin, porous quartz glass coating, which causes the supplied IR radiation to be directed diffusely to the material to be treated 304.
  • the outer surface of the molded body 303 facing away from the material to be treated 304 is covered with a gold layer, so that no radiation is emitted upwardly and laterally. The beam angle is thus about 60 °.
  • the free end face of the rod-shaped molding 303 is also provided with a gold layer.
  • the radiator module 301 irradiates an irradiation field on the surface of the material to be treated 304 with an area of about 100 cm 2 .
  • the distance between the material to be treated 304 facing lateral surface (underside) of the molding 303 and the treated 304 is 10 mm.
  • An adjustment unit (not shown) allows easy adjustment of the distance in a range of 5 mm to 50 mm.
  • the radiation emitted by the molded body 303 onto the material to be treated 304 is a quasi-monochromatic (narrow-band) infrared radiation.
  • the wavelength range of this narrow-band IR radiation is about 980 nm + 10 nm and is thus tuned to the absorption maximum of silver.
  • the sintering of the silver interconnects 306 on the PEN film therefore takes place by very efficient heating within a very short time. The silver is not melted through, but rather creates a porous silver layer, but a good electrical
  • Irradiation with conventional IR emitters which have a heating coil and which are used directly on the material to be treated, become very hot during operation, so that appropriate cooling must be provided.
  • cooling elements in the region of the decoupling unit can be dispensed with in the irradiation method according to the invention.
  • the simple Design of acting as an optical diffuser molding with scattering centers in the form of surface structures and with sub-areas that cover the surface with a reflector layer of a metal the usual reflector systems dispensable in such radiator modules.
  • An irradiation system for irradiation of material to be treated in industrial processes comprising a light source, a coupling unit for coupling the light of the light source in a front end portion of an optical waveguide for transmitting the light to a provided at a rear end portion of the optical waveguide
  • the decoupling unit comprises a shaped body acting as a light diffuser having scattering centers.
  • An essential element in the irradiation system of the method according to the invention is the optical waveguide with decoupling unit, which comprises a shaped body acting as a light diffuser and having scattering centers.
  • the irradiation system used in the method according to the invention furthermore comprises the following preferred embodiments:
  • the shaped body acting as a light diffuser has an elongate shape with a longitudinal axis (L).
  • the acting as a light diffuser moldings forms an integral part of the
  • the molded body has along its longitudinal axis (L) a gradient in the distribution density of the scattering centers with a lower distribution density in a region near the rear end region of the optical waveguide and a higher distribution density in a region distant from the rear end region of the optical waveguide.
  • the scattering centers are in the form of
  • the shaped body is designed as a diffusely scattering coating comprising a porous quartz glass layer.
  • the shaped body has a reflector layer in partial areas of its surface.
  • the light source is a UV light source, or an IR light source, wherein also a combination of light sources is included, of which at least one UV light source is a light source
  • the optical waveguide and the shaped body consist of at least 95 wt .-% of S1O 2 .
  • the irradiation system is used in industrial processes for heating, polymerization, curing, and / or disinfection.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestrahlung von Behandlungsgut in industriellen Prozessen zur Erwärmung, Polymerisation, Aushärtung oder/und Desinfektion mit IR- und/oder UV-Strahlung, wobei ein Bestrahlungssystem eingesetzt wird, das eine Strahlungsquelle, eine Einkoppeleinheit zum Einkoppeln der Strahlung der Strahlungsquelle in einen vorderen Endbereich eines Lichtwellenleiters zur Übertragung der Strahlung zu einer an einem hinteren Endbereich des Lichtwellenleiters vorgesehenen Auskoppeleinheit aufweist. Zur Optimierung einer homogenen Strahlungsführung auch in der Fläche und an schwer zugänglichen Bereichen wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass die Auskoppeleinheit einen als optischen Diffusor wirkenden Formkörper umfasst, der Streuzentren aufweist, und dass die IR- und/oder UV-Strahlung durch den optischen Diffusor hindurch austritt und auf das Behandlungsgut einwirkt.

Description

Verfahren zur Bestrahlung von Behandlungsgut in industriellen Prozessen
Beschreibung
Technischer Hintergrund Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestrahlung von
Behandlungsgut in industriellen Prozessen zur Erwärmung, Polymerisation, Aushärtung oder/und Desinfektion mit IR- und/oder UV-Strahlung, wobei ein Bestrahlungssystem eingesetzt wird, das eine Strahlungsquelle, eine
Einkoppeleinheit zum Einkoppeln der Strahlung der Strahlungsquelle in einen vorderen Endbereich eines Lichtwellenleiters zur Übertragung der Strahlung zu einer an einem hinteren Endbereich des Lichtwellenleiters vorgesehenen
Auskoppeleinheit aufweist.
Stand der Technik Industrielle Prozesse zeichnen sich dadurch aus, dass die Verarbeitungsschritte innerhalb kurzer Zeit bei effizienter Energieausnutzung stattfinden. Dementsprechend erfordern Bestrahlungsverfahren für diese Prozesse eine durchdachte Anlagenkonzeption, wobei Leistung und Geometrie sowie Anfahr-, Abschalt- und Regelungsmechanismen an das jeweilige industrielle Behandlungsgut flexibel anpassbar sein müssen. Als Behandlungsgut in industriellen Prozessen im Sinne der Erfindung werden auch Halbzeuge oder Fertigprodukte aus der Lebensmittelindustrie angesehen, nicht aber Behandlungsgut im medizinisch-therapeutischen Bereich.
In bekannten Verfahren zur Bestrahlung von industriellem Behandlungsgut wird üblicherweise mit einer relativ hohen Leistungsdichte gearbeitet, so beispielsweise bei der Bestrahlung von Oberflächen bei der Materialbearbeitung, wobei die Strahlung ausgehend von einer Strahlungsquelle über einen Lichtwellenleiter zu einer Auskoppeleinheit geleitet wird.
Ein oder mehrere Lichtwellenleiter, z.B. Lichtleitfasern, transportieren die von der Strahlungsquelle emittierte Strahlung zu einem Bestrahlungs- oder Diagnoseort und verteilen dort die Strahlung in gewünschter Weise durch optische Streuung. Lichtleitfasern haben typischerweise einen Kern, der von einem Mantel umhüllt ist. Zum Schutz vor mechanischer Einwirkung können sie zusätzlich, je nach
Anwendungsfall, von einem äußeren Mantel aus Kunststoff oder aus Glas umhüllt sein.
Die Auskoppeleinheit nach dem Stand der Technik weist als Kernstück eine Fokussiereinheit mit Linsen auf, die das Licht bzw. den Strahlengang auf einen möglichst kleinen Brennfleck fokussiert. Dadurch wird die Energiedichte am
Brennfleck maximiert und eine Materialbearbeitung durch lokales Erhitzen ermöglicht.
Als Strahlungsquellen kommen UV-Strahlungsquellen, die ultraviolette Strahlung im Wellenlängenbereich zwischen 200 nm und 400 nm emittieren, wie auch IR- Strahlungsquellen mit infraroter Strahlung einer Wellenlänge im Bereich zwischen 740 nm und 2.500 nm zum Einsatz. Typische Anwendungsgebiete dieser Art für industrielles Behandlungsgut sind Verfahren zum Schneiden, Bohren oder Schweißen von Metallen mittels Laser. In gleicher Weise erfolgt das lokal auf eine kleine Fläche begrenzte Abtragen von Material von einer Oberfläche mittels gepulstem Laserlichts. Diese Methode wird auch„Laserablation" genannt. Das Laserlicht hat dabei eine hohe Leistungsdichte und bewirkt ein rasches Erhitzen und die Bildung eines Plasmas am Brennfleck. Die hohen Temperaturen und Energiedichten bei derartigen Verfahren erfordern ein thermisch stabiles Material für den Lichtwellenleiter, wie beispielsweise
Quarzglas.
Die Druckschrift US 4 676 586 offenbart ein Verfahren zur Materialbearbeitung mit einem gepulsten Laser. Der Laser emittiert Strahlung einer Wellenlänge im nahen
Infrarot und im sichtbaren Wellenlängenbereich. Die Laser-Strahlung wird in einen flexiblen Lichtwellenleiter, der als eine ein Millimeter starke Quarzglasfaser ausgebildet ist, eingekoppelt und zu einer Auskoppeleinheit geführt. Die
Auskoppeleinheit fokussiert die aus dem Ende des Lichtwellenleiters austretende und dabei geringfügig streuende Laser-Strahlung mittels entsprechender Linsen auf einen kleinen Brennfleck, dessen Durchmesser kleiner ist als der Durchmesser des Lichtwellenleiters. Durch diese Fokussierung ergibt sich eine Leistungsdichte am Brennfleck im Bereich von 106 bis 107 Watt/cm2, die für das Bohren und Schneiden einer Stahlplatte (Inconel 718) mit einer Dicke von 0,75 mm benötigt wird.
Der flexible Lichtwellenleiter gewährleistet einen hohen Freiheitsgrad in Bezug auf die Heranführung und Handhabbarkeit des Bestrahlungsverfahrens. Die
Auskoppeleinheit mit ihrem Linsensystem setzt hierbei jedoch Grenzen, wenn es beispielsweise um die Zugänglichkeit von kleinen Hohlräumen geht. Die
Behandlung von Rohren mit geringem Durchmesser oder von Werkstücken mit Hinterschneidungen ist mit der Bestrahlungsvorrichtung bzw. mit dem
Bestrahlungsverfahren gemäß US 4 676 586 nicht oder nur eingeschränkt möglich. Darüber hinaus kann mit einem derartigen Bestrahlungsverfahren eine flächenhafte Einwirkung der Laser-Strahlung nur durch entsprechendes
Abscannen der Fläche vorgenommen werden, was einen erhöhten Zeitaufwand und den Einsatz von Motorik - mit entsprechenden Platzbedarf - zur Bewegung der Auskoppeleinheit erfordert.
Technische Aufgabenstellung
Bei Bestrahlungsverfahren für den Einsatz in industriellen Prozessen stellt sich die grundsätzliche Anforderung, dass die Strahlung den Bearbeitungs-, Behandlungs- oder Beobachtungsort mit möglichst hoher Intensität, Homogenität und
Zielgenauigkeit erreichen soll.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Bestrahlungsverfahren mit einer Auskoppeleinheit bereitzustellen, die die oben aufgeführten Nachteile des Standes der Technik überwindet und die optimierte Mittel zur homogenen Strahlungsführung auch in der Fläche aufweist.
Allgemeine Beschreibung der Erfindung
Ausgehend von einem Bestrahlungsverfahren der eingangs genannten Gattung wird die obige Aufgabe erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Auskoppel- einheit einen als optischen Diffusor wirkenden Formkörper umfasst, der Streuzentren aufweist, und dass die IR- und/oder UV-Strahlung durch den optischen Diffusor hindurch austritt und auf das Behandlungsgut einwirkt.
Im Unterschied zum Stand der Technik wird die Auskoppeleinheit bei dem
Verfahren gemäß der Erfindung im Wesentlichen von einem als optischer Diffusor wirkenden Formkörper gebildet, der Streuzentren aufweist. Auf ein Linsensystem zum Fokussieren des Lichts, wie es sonst in Auskoppeleinheiten von
Bestrahlungssystemen üblich ist, wird verzichtet. Die IR- und/oder UV-Strahlung tritt durch den optischen Diffusor hindurch aus und wirkt auf das Behandlungsgut ein, das in der Regel in geringer Entfernung vom optischen Diffusor angeordnet ist.
Der als optischer Diffusor wirkende Formkörper kann als Bauteil oder als Schicht ausgebildet sein und dient der optimierten Führung der Strahlung im Sinne einer hohen Effizienz der ausgekoppelten Streustrahlung auf das Behandlungsgut. Dies nicht nur im Hinblick auf eine eng begrenzte Fläche eines Brennflecks wie im Stand der Technik, sondern auch insbesondere hinsichtlich einer linienförmigen oder flächigen Bestrahlung, ohne dass es hierfür notwendigerweise einer
Bewegung der Auskoppeleinheit bedarf. Im Gegensatz zu Auskoppeleinheiten mit Fokussierlinsen, die für diesen Anwendungsfall kompliziert aufgebaut sein müssten, ist es durch entsprechende Anordnung der Streuzentren am Formkörper auf einfache Weise auch möglich gleichzeitig an mehreren Orten eine flächige Bestrahlung des Behandlungsgutes vorzunehmen.
Weiterhin von Vorteil ist beim erfindungsgemäßen Verfahren, dass der als optischer Diffusor wirkende Formkörper leicht ausgetauscht werden kann. Dies gilt auch für die Strahlungsquelle. Damit ist das im erfindungsgemäßen Verfahren eingesetzte Bestrahlungssystem an veränderte Einsatzbedingungen flexibel anpassbar.
Das erfindungsgemäße Verfahren eignet sich besonders bei Prozessen zur Erwärmung, zur Polymerisation oder zur Aushärtung, oder/und zur Desinfektion von industriellem Behandlungsgut. Zu diesen Prozessen zählt die gezielte Infrarot- Erwärmung von Metallen oder Halbleitern, beispielsweise wenn diese Materialien auf Elektronikbauteilen appliziert sind. Die Erwärmung erfolgt nur direkt am und in unmittelbarer Umgebung vom Behandlungsgut, wobei der Wellenlängenbereich des Lichtes bzw. der Strahlung dem Absorptions-Wellenlängenbereich des
Behandlungsgutes entspricht. Die dabei eingesetzten Lichtwellenleiter erwärmen sich nur geringfügig (bis maximal 80 °C), so dass das Verfahren auch in
Temperatur sensitiver Umgebung möglich ist. Bei einer annähernd
monochromatischen Strahlung im Wellenlängenbereich von etwa 840 nm bis 1024 nm, wie sie von Lasern - auch VCSEL (Vertical Cavity Surface Emitting Laser) - oder von LED- Strahlungsquellen emittiert werden, absorbieren viele Materialien, so etwa Silizium, Silber, Kupfer, Aluminium, Gold oder auch Kunststoffe wie etwa Polypropylen (PP), Polycarbonat (PC) oder Polyethylen (PE), so dass eine sehr effiziente Erwärmung dieses Behandlungsgutes binnen kürzester Zeit möglich ist. Dieser Prozess ist besonders wirksam, wenn mit Laser-Lichtquellen in
entsprechender, sogenannter Array-Anordnung gearbeitet wird und dabei auf kleinen Flächen Leistungen von bis zu 500 MW/m2 erreicht werden können. Im Vergleich hierzu liegt die Leistungsdichte von Heizfeldern mit üblichen,
breitbandigen IR-Strahlern bei etwa 150 kW/m2.
Darüber hinaus ist das erfindungsgemäße Verfahren für explosionsgefährdete Bereiche geeignet. Der Lichtwellenleiter und die Auskoppeleinheit bleiben in Ermangelung eines Heizleiters praktisch kalt. Im Bereich des Behandlungsgutes ist im Wesentlichen„kalte IR-Strahlung" wirksam. Bei Verfahren mit breitbandigen IR-Strahlern, die auf Basis von Heizleitern arbeiten, ist dagegen der Einsatz in explosionsgefährdeten Bereichen nicht oder nur mit großem technischen Aufwand (Kühlelemente erforderlich) möglich, da sich der Heizleiter und - durch
entsprechendes Absorptionsverhalten - auch das Quarzglas-Lampenrohr so stark aufheizen, dass diese Strahler eine Zündgefahr für die Stoffe in der Umgebung darstellen. Die einschlägigen maximal zulässigen Oberflächentemperaturen gemäß der sogenannten ATEX-Richtlinie (abgeleitet von ATmospheres
Explosibles) werden daher von üblichen IR-Strahlern nicht eingehalten.
Das erfindungsgemäße Bestrahlungsverfahren eignet sich auch zur Bestrahlung von industriellem Behandlungsgut mit ultraviolettem (UV) Licht. Der Wellenlängen- bereich des UV-Lichtes ist, wie oben für die IR-Anwendung angegeben, auch hier auf das Absorptionsverhalten des Behandlungsgutes abgestimmt. Das erfindungs- gemäße Verfahren eignet sich zum Aushärten von Lacken, Farben oder
Polymeren, oder auch für die UV-Desinfektion.
Die Bestrahlung von industriellem Behandlungsgut erfordert oftmals eine hohe Leistungsdichte, so dass kurze Prozesszeiten bei hohen Qualitätsanforderungen eingehalten werden können. Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren werden diese Kriterien besonders gut erfüllt. Ein anschauliches Beispiel dafür ist die Bestrahlung von Papieroberflächen und deren Beschichtung in einer Druckmaschine, wobei mehrere Lichtquellen mit unterschiedlichen Wellenlängenbereichen zum Einsatz kommen können. Weiterhin hat es sich hinsichtlich des als optischen Diffusor wirkenden
Formkörpers in dem erfindungsgemäßen Verfahren als vorteilhaft erwiesen, wenn dieser eine langgestreckte Form mit einer Längsachse aufweist. In diesem Sinne haben sich stabförmige Formkörper bewährt, wobei ein solcher stabförmiger Formkörper auch als integraler Bestandteil des Lichtwellenleiters ausgebildet sein kann. Diese Gestaltung des Formkörpers beeinflusst die Auskopplung der Strahlung. Die Streuwirkung des Formkörpers steigt mit der Anzahl der
Streuzentren. Das Licht bzw. die Strahlung wird über eine längere Strecke aus dem Formkörper ausgekoppelt, wodurch die Streuintensität homogenisiert werden kann. Ein integraler Verbund mit dem Lichtwellenleiter trägt zu einer hohen mechanischen Stabilität des Formkörpers bei und verbessert die Reproduzierbarkeit der Streueigenschaften.
Eine bevorzugte Ausführung des Verfahrens ist dadurch gekennzeichnet, dass ein als optischer Diffusor wirkender Formkörper mit einer Längsachse (L) eingesetzt wird, entlang der die Verteilungsdichte der Streuzentren in einer Strahlungs- Hauptausbreitungsrichtung zunimmt. Das heißt die Abstrahlung nimmt in
Hauptausbreitungsrichtung der Strahlung zu, wobei entlang der Längsachse des Formkörpers ein Gradient in der Verteilungsdichte der Streuzentren vorliegt, mit einer geringeren Verteilungsdichte in einem dem hinteren Endbereich des
Lichtwellenleiters nahen Bereich und einer höheren Verteilungsdichte in einem dem hinteren Endbereich des Lichtwellenleiters fernen Bereich. Mittels eines derartigen Gradienten können Streuzentren inhomogen, bevorzugt an der
Oberfläche des Formkörpers verteilt sein und dadurch die Streuwirkung an die Eindringtiefe der einfallenden Strahlung angepasst werden. So vermindert eine in axialer Richtung zunehmende Verteilungsdichte an Streuzentren den
Strahlungstransport in dieser Richtung und begünstigt stattdessen eine seitliche Abstrahlung. Es hat sich weiterhin für das erfindungsgemäße Verfahren als besonders vorteilhaft erwiesen, wenn die Streuzentren des als optischer Diffusor wirkenden Formkörpers so angeordnet sind, dass die Strahlung auf das Behandlungsgut linien- oder flächenhaft einwirkt. Dies ermöglicht eine optimale Anpassung an die Gestalt des Behandlungsgutes und somit eine effiziente Verfahrensführung. Gleichermaßen bewährt im Sinne einer optimalen Anpassung an die Gestalt des Behandlungsgutes hat es sich, wenn ein als optischer Diffusor wirkender
Formkörper eingesetzt wird, der ein an die Kontur einer zu bestrahlenden
Oberfläche des Behandlungsgutes angepasstes Oberflächenprofil aufweist. So kann beispielsweise Behandlungsgut in Form eines Rohres mit Rechteckquer- schnitt von innen gleichmäßig bestrahlt werden, indem der als optischer Diffusor wirkende Formkörper ein entsprechendes Rechteckprofil aufweist.
Vorteilhafterweise sind die Streuzentren in Form von Oberflächen-Strukturen ausgebildet. Diese Ausbildung der Streuzentren ist einfach auf den Formkörper aufzubringen und beeinträchtigt die mechanische Stabilität des Formkörpers nicht. Grundsätzlich sind auch Streuzentren im Volumen des Formkörpers möglich, die die Streuwirkung der Streuzentren in Form von Oberflächen-Strukturen noch ergänzen.
Insbesondere hat es sich bewährt die Streuzentren als Aufrauhungen auszubilden. Die Aufrauhung kann beispielsweise mittels Sandstrahlen oder anderer geeigneter mechanischer Verfahren erfolgen oder auch durch Einwirkung eines Lasers auf die Oberfläche des Formkörpers aufgebracht werden. Alternativ oder in
Kombination mit mechanischer Behandlung oder Laserbearbeitung kann ein Aufrauhungsmuster auch durch chemisches Ätzen der Oberfläche des
Formkörpers hergestellt werden. Es entstehen damit Strukturen mit Erhebungen bzw. mit einer Rauhtiefe im Bereich von 0,05 μιτι bis 50 μιτι. Diese
Größenordnung der Aufrauhungen bzw. Streuzentren beeinträchtigt nicht die mechanische Stabilität des Formkörpers. Die Bereiche mit Aufrauhungen steigern lokal die Effektivität der Streuleistung.
Alternativ oder zusätzlich zu den Aufrauhungen sind die Oberflächen-Strukturen vorteilhafterweise als diffus streuende Beschichtung ausgebildet. Für einen Lichtwellenleiter und einen Formkörper aus Quarzglas hat sich in diesem
Zusammenhang eine poröse Quarzglasschicht besonders bewährt, die durch Auftragen und Sintern eines pastösen SiO2-Schlickers auf die Formkörperoberfläche gebildet wird. Diese Beschichtung kann auf der gesamten Oberfläche ausgebildet sein oder nur in Teilbereichen. Wesentlich ist, dass diese
Beschichtung Streuzentren beispielsweise durch Mikroporen oder Nanopartikel enthält, die die Streuwirkung des Formkörpers gegebenenfalls im Zusammenwirken mit weiteren Formen von Streuzentren in dem erfindungsgemäßen Bestrahlungsverfahren optimiert.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weist der
Formkörper in Teilbereichen seiner Oberfläche eine Reflektorschicht auf. Diese Schicht umfasst bevorzugt ein Metall, vorzugsweise Gold. Mit einer derartigen Reflektorschicht sind Teilbereiche des Formkörpers bedeckt, die keine Strahlung emittieren sollen. Auf diese Weise kann die Streuwirkung lokal auf die jeweilige Geometrie des Einsatzortes abgestimmt werden. So kann ohne großen Aufwand ein als optischer Diffusor wirkender Formkörper mit beispielsweise punkt- oder linienförmigen Emissionsbereichen bereitgestellt werden.
Im Hinblick auf flexible Verfahrensweise hat es sich bewährt, wenn ein
Bestrahlungssystem eingesetzt wird, das mindestens eine UV- Strahlungsquelle zur Erzeugung von Strahlung einer Wellenlänge im Bereich zwischen 200 nm und 400 nm und mindestens eine IR-Strahlungsquelle zur Erzeugung von Strahlung einer Wellenlänge im Bereich zwischen 740 nm und 2.500 nm umfasst, wobei die Strahlung der UV-Strahlungsquelle und der IR-Strahlungsquelle gemeinsam in den Lichtwellenleiter eingekoppelt werden. Auf diese Weise wird ein großer Wellenlängenbereich abgedeckt, so dass das Verfahren für verschiedene
Prozessschritte mit unterschiedlichen Wellenlängen-bereichen durchgeführt werden kann. Vorteilhafterweise besteht der Lichtwellenleiter und der Formkörper zu mindestens 95 Gew.-% aus S1O2. Der Lichtwellenleiter umfasst als obligatorische Komponente mindestens einen Kern und als fakultative Komponente mindestens einen den Kern umhüllenden Mantel. Der Kern und gegebenenfalls der Mantel bestehen vorzugsweise aus dotiertem oder aus einem undotierten hochkieselsäurehaltigen Glas, das hier und im Folgenden auch als Quarzglas bezeichnet wird. Der S1O2- Anteil des Quarzglases beträgt mindestens 95 Gew.-%. Der als optischer Diffusor wirkende Formkörper besteht ebenfalls zu mindestens 95 Gew.-% aus S1O2 und hat mindestens eine gemeinsame Kontaktfläche mit einer oder beiden Kompo- nenten des Lichtwellenleiters, bevorzugt mit dem Kern. Die Lichtleitfaser und der Formkörper haben somit eine ähnliche, im Idealfall die gleiche chemische
Zusammensetzung; sie bestehen jeweils aus dotiertem oder undotiertem
Quarzglas, wobei sich die Zusammensetzungen vom Material des Formkörpers und Faserkern der Lichtleitfaser in ihrem SiO2-Gehalt bevorzugt um 1
Prozentpunkt oder weniger, vorzugsweise um weniger als 0,5 Prozentpunkte, unterscheiden. Die an die gemeinsame Kontaktfläche (Lichtleitfaser-Komponente / Formkörper) angrenzenden Werkstoffe sind in ihrer chemischen
Zusammensetzung somit ähnlich, was auch als„arteigen" bezeichnet wird. Dies vermindert das Auftreten mechanischer Spannungen und temperatur-bedingter Verformungen beim bestimmungs-gemäßen Einsatz des Formkörpers in dem erfindungsgemäßen Verfahren, was sich auch in einer hohen
Temperaturwechselbeständigkeit und gegebenenfalls einer guten Verbindung zwischen Formkörper und Lichtwellen-Ieiter zeigt. Das Bestrahlungssystem im erfindungsgemäßen Verfahren zeichnet sich daher durch hohe mechanische und optische Stabilität im Einsatz aus.
Alternativ zu einem Lichtwellenleiter und Formkörper aus Quarzglas ist es für Anwendungen im Infrarot-Wellenlängenbereich von Vorteil, wenn der Lichtwellenleiter und der Formkörper aus einem Material aus der Gruppe Zinkselenid, Magnesiumfluorid, Kalziumfluorid, Zirkonfluorid, Indiumfluorid, Zinksulfid, Natrium- Chlorid, Silberchlorid, Kaliumbromid, Silberbromid, oder aus einem Chalkogenid-
Glas bestehen, das aus den Elementen Schwefel, Selen und/oder Tellur mit Arsen, Germanium und/oder Antimon gebildet ist. Ein Formkörper aus Zinkselenid (ZnSe) mit Streuzentren an seiner Oberfläche in Form von Aufrauhungen wirkt dann als optischer Diffusor im Sinne der Erfindung wie auch der Formkörper aus Quarzglas mit entsprechenden Streuzentren. Weitere alternative Materialien für den Formkörper und den Lichtwellenleiter sind optische Gläser mit hoher
Transparenz im Infrarot-Wellenlängenbereich auf Basis von Magnesiumfluorid (MgF2), Kalziumfluorid (CaF2), Zirkonfluorid (ZrF ), Indiumfluorid (lnF3), Zinksulfid (ZnS), Natriumchlorid (NaCI), Silberchlorid (AgCI), Kaliumbromid (KBr) oder Silberbromid (AgBr), oder auf Basis von Chalkogenid-Gläsern gebildet aus den Elementen Schwefel, Selen und/oder Tellur mit Arsen, Germanium und/oder Antimon.
Ausführungsbeispiel
Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels und einer Patentzeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigt im Einzelnen:
Figur 1 eine schematische Darstellung des Bestrahlungssystems im
erfindungsgemäßen Verfahren mit einem zylinderförmigen, als optischer Diffusor wirkenden Formkörper als Auskoppeleinheit;
Figur 2 eine vergrößerte Detailansicht A der Ausführungsform des
Formkörpers von Figur 1 ;
Figur 3a eine tropfenförmige Ausführungsform des Formkörpers; Figur 3b eine Ausführungsform des Formkörpers mit einem Rechteckprofil;
Figur 4 eine schematische Darstellung des erfindungsgemäßen
Bestrahlungsverfahrens beim Sintern einer metallhaltigen Tinte (in einer perspektivischen Darstellung).
Figur 1 zeigt schematisch das Bestrahlungssystem im erfindungsgemäßen Bestrahlungsverfahren, dem insgesamt die Bezugsziffer 100 zugeordnet ist. Das
System 100 umfasst eine IR- oder eine UV-Strahlungsquelle 1 , oder auch eine Kombination dieser Strahlungsquellen, die Strahlung abstrahlt, die über eine hier nicht dargestellte Einkoppeleinheit in einen (oder mehrere) Lichtwellenleiter 2 geführt wird. Der Lichtwellenleiter 2 ist als eine optische Lichtleitfaser ausgebildet und hat, je nach Einsatzzweck eine Länge von bis zu 10 Metern oder mehr. Die Länge des Lichtwellenleiters ist dabei so bemessen, dass die Strahlungsquelle vom Einsatzort des als optischen Diffusors wirkenden Formkörpers klar getrennt ist und etwaige von der Strahlungsquelle abstrahlende Hitze nicht auf das
Bestrahlungsgut einwirkt. Die räumliche Trennung erleichtert zudem Wartung und/oder Austausch der Strahlungsquelle. Die Lichtleitfaser 2 hat einen hier nicht dargestellten Faserkern und einen den Faserkern umhüllenden Mantel. Der Faserkern besteht aus reinem, undotiertem Quarzglas. Der optische Mantel besteht aus Quarzglas, das mit etwa 4 Gew.-% Fluor dotiert ist. Der
Lichtwellenleiter 2 hat einen Durchmesser von 200 μιτι. Nicht-flexible, stabförmige Lichtwellenleiter haben größere Durchmesser, was im Einzelfall auch von Vorteil sein kann.
Am hinteren Endbereich 20 des Lichtwellenleiters 2 schließt sich die Auskoppeleinheit an, die als optischer Diffusor wirkender Formkörper 3 ausgebildet ist. Der Formkörper 3 ist ein zylinderförmiger, eine Längsachse L aufweisender und im Querschnitt kreisrunder Stab, der mit dem Lichtwellenleiter 2 beispielsweise durch Schweißen verbunden ist. Der Formkörper 3 besteht - ebenso wie der
Lichtwellenleiter 2 - aus Quarzglas und hat einen Durchmesser von 3 mm und eine Länge von 300 mm. Die Verbindung zwischen Lichtwellenleiter 2 und
Formkörper 3 kann - soweit dies die unterschiedlichen Geometrien von
Lichtwellenleiter und Formkörper dies zulassen - stoffschlüssig sein. Oder die
Einkopplung der Strahlung vom Lichtwellenleiter zum Formkörper erfolgt durch ein entsprechendes Linsensystem. In jedem Fall ist zu gewährleisten, dass am
Übergang vom Lichtwelleiter zum Formkörper die Strahlung nicht in
unerwünschter Weise gebeugt wird. Die Strahlung wird an den Streuzentren gestreut und tritt nach außen aus dem Formkörper aus und ist auf das
Behandlungsgut gerichtet.
Aus Figur 2 ist die Oberfläche des Formkörpers 3 mit Streuzentren in Form von Oberflächenstrukturen in verschiedener Ausführung gemäß der Detailansicht A aus Figur 1 erkennbar. Die Oberflächen-Strukturen werden gebildet durch
Aufrauhungsmuster 4.1 und 4.2, die durch Sandstrahlen aufgebracht wurden. Das
Aufrauhungsmuster 4.1 , das näher am Endbereich 2 des Lichtwellenleiters 2 liegt, weist eine geringere Anzahl an Streuzentren auf als das Aufrauhungsmuster 4.2. Überdies weist der Formkorper 3 in Teilbereichen seiner Oberfläche eine
Reflektorschicht 5 aus Gold auf. An dieser Reflektorschicht 5 endet die
Lichtführung durch Totalreflexion. Das Aufrauhungsmuster 4.1 weist eine geringere Anzahl an Streuzentren auf als das Aufrauhungsmuster 4.2, so dass im Bereich des Aufrauhungsmusters 4.1 weniger Strahlung nach außen abgegeben wird als im Abschnitt mit dem Aufrauhungsmuster 4.2. Beide Bereiche des Formkörpers 3 haben eine homogene, diffus wirkende Abstrahlung mit einem nach außen streuenden zylindrischen Muster, in Figur 2 durch mehrere
Richtungspfeile angedeutet. Bei Einkopplung einer Arbeitsstrahlung mit einer Wellenlänge von beispielsweise 980 nm in den Lichtwellenleiter 2 wird diese zum Formkörper 3 geführt. Die diffuse Auskopplung erfolgt über das Muster der Streuzentren auf das Behandlungsgut.
Alternativ zu Aufrauhung durch Sandstrahlen können auch Streuzentren durch Auftragen einer diffus streuenden Beschichtung in Form einer porösen Quarz- glasschicht auf dem Formkörper aufgetragen sein. In so einem Fall hat die dem Endbereich des Lichtwellenleiters näher gelegene, poröse Quarzglasschicht eine höhere Schichtdicke als die am entgegengesetzten Ende des Formkörpers.
In den Figuren 3a und 3b sind zwei weitere Ausführungsformen des Formkörpers dargestellt.
Die tropfenförmige Gestalt des Formkörpers 103 gemäß Figur 3a zeigt eine Verdickung am Ende des Lichtwellenleiters 102; beide Teile bestehen aus
Quarzglas, so dass der Lichtwellenleiter 102 und der Formkörper 103 als ein integrales Bauteil aufgefasst werden können. Die Ausführungsform des
Formkörpers 103 zeichnet sich in dem erfindungsgemäßen Verfahren durch omnidirektionale Abstrahlung in kleinste Bereiche des Behandlungsgutes aus, wie etwa feine Rohröffnungen. Dazu hat der tropfenförmige Formkörper 103 an seiner Oberfläche eine mit Streuzentren versehene Beschichtung, die in Figur 3a als grauer Bereich dargestellt ist. Die zu bestrahlenden Bereiche des Behandlungsguts werden gleichmäßig bestrahlt, so dass mechanische Spannungen am
Behandlungsgut reduziert oder vermieden werden. Die tropfenförmige Ausführungsform des Formkörpers gemäß Figur 3a kann beim Entgraten von
Kunststoffteilen eingesetzt. Überdies ist diese Ausführungsform des Formkörpers durch die geringe Baugröße besonders geeignet in Vakuumdurchführungen geführt und somit auch in Bestrahlungsverfahren unter Vakuum eingesetzt zu werden.
In Figur 3b ist ein Formkörper 203 in Gestalt einer kleinen Quarzglasplatte 204 an einen Lichtwellenleiter 202 als Quarzglasstutzen angeschweißt. Die
Quarzglasplatte 204 hat Streuzenten (grauer Bereich) an ihren Seitenflächen 204a, die eine homogene, diffus wirkende Abstrahlung der Strahlung in einer Rechtecknut oder einem Rohr mit einem rechteckigen Querschnitt ermöglichen.
Figur 4 zeigt schematisch das erfindungsgemäße Bestrahlungsverfahren, dem insgesamt die Bezugsziffer 300 zugeordnet ist. Das Verfahren 300 umfasst ein Bestrahlungssystem mit einem IR-Modul 301 , das sowohl zum Trocknen als auch zum Sintern von metallhaltiger Tinte auf einer Kunststofffolie eingesetzt werden kann. Mit Figur 4 wird das IR-Modul 301 zur Sinterung von Silber-Leiterbahnen näher erläutert. Daneben ist auch ein UV-Modul 302 vorgesehen, mit dem beispielsweise Beschichtungen unter UV-Einstrahlung gehärtet werden können. Das UV-Modul 302 ist über einen Lichtwellenleiter 2 mit einer UV-Strahlungsquelle 1 .2 verbunden. Zwischen dem IR-Modul 301 und dem UV-Modul 302 können weitere Module oder andere Vorrichtungen vorgesehen sein, beispielsweise eine Vorrichtung zum Aufbringen einer weiteren Behandlungsgutbeschichtung vorgesehen sein.
Das IR-Modul 301 hat eine Auskoppeleinheit mit einem stabförmigen Formkörper 303, der quer zur Transportrichtung 305 angeordnet und geeignet ist das Behandlungsgut 304 mit IR-Strahlung zu beaufschlagen. Der Formkörper 303 wird von der IR-Strahlungsquelle 1 .1 über einen Lichtwellenleiter 2 gespeist. Die IR- Strahlungsquelle kann außerhalb des Bestrahlungssystems angeordnet sein, - beispielsweise ist dies eine Laser-, oder LED-Strahlungsquelle. Das Behandlungsgut 304 ist eine Kunststofffolie aus Polyethylennaphthalat (PEN) mit einer
Folienstärke von 0,1 mm, die von einer Transportvorrichtung (nicht dargestellt) in Transportrichtung 305 relativ zu den Strahler-Modulen 301 , 302 bewegt wird und auf die Silber-Leiterbahnen 306 in rotativer Siebdruck -Technik aufgedruckt sind.
Das Behandlungsgut 304 wird auch als Pr/'nted-E/ecfron/'cs-Komponente bezeichnet, die im Rolle-zu-Rolle-Verfahren hergestellt werden. Die Bewegung des Behandlungsgutes 304 erfolgt mit einer konstanten Vorschubgeschwindigkeit von etwa 3m/min.
Der stabförmige Formkörper 303 besteht aus Quarzglas und hat eine Länge von 320 mm und einen Durchmesser von 5 mm. Er weist an seiner dem Behandlungs- gut 304 zugewandten Mantelfläche Streuzentren durch Aufrauhungen oder durch eine dünne, poröse Quarzglasbeschichtung auf, die bewirkt, dass die zugeführte IR-Strahlung diffus auf das Behandlungsgut 304 richtet wird. Die dem Behandlungsgut 304 abgewandte Mantelfläche des Formkörpers 303 ist mit einer Goldschicht abgedeckt, so dass nach oben und seitlich keine Strahlung emittiert wird. Der Abstrahlwinkel beträgt somit etwa 60°. Die freie Stirnseite des stabförmigen Formkörpers 303 ist ebenfalls mit einer Goldschicht versehen.
Das Strahler-Modul 301 bestrahlt ein Bestrahlungsfeld auf der Oberfläche des Behandlungsgutes 304 mit einem Flächeninhalt von etwa 100 cm2.
Der Abstand zwischen der dem Behandlungsgut 304 zugewandten Mantelfläche (Unterseite) des Formkörpers 303 und dem Behandlungsgut 304 beträgt 10 mm. Eine Verstelleinheit (nicht dargestellt) ermöglicht eine einfache Einstellung des Abstands in einem Bereich von 5 mm bis 50 mm.
Die vom Formkörper 303 auf das Behandlungsgut 304 emittierte Strahlung ist eine quasi monochromatische (schmalbandige) Infrarotstrahlung. Der Wellenlängen- bereich dieser schmalbandigen IR-Strahlung liegt bei etwa 980 nm + 10 nm und ist damit abgestimmt auf das Absorptionsmaximum von Silber. Das Sintern der Silber-Leiterbahnen 306 auf der PEN-Folie erfolgt daher durch sehr effiziente Erwärmung binnen kürzester Zeit. Das Silber wird dabei nicht durchgeschmolzen, vielmehr entsteht eine poröse Silber-Schicht, die aber eine gute elektrische
Leitfähigkeit von 1 ,7 x 107 S/m aufweist. Die Kunststofffolie selbst tritt innerhalb der Bestrahlungszeit und bei dieser Wellenlänge kaum in Wechselwirkung mit der Strahlung, und wird nur leicht erwärmt (bis etwa 100°C).
Bestrahlungsverfahren mit herkömmlichen IR-Strahlern, die eine Heizwendel aufweisen und die direkt am Behandlungsgut eingesetzt sind, werden im Betrieb sehr heiß, so dass für entsprechende Kühlung gesorgt werden muss. Im Vergleich hierzu kann beim erfindungsgemäßen Bestrahlungsverfahren auf Kühlelemente im Bereich der Auskoppeleinheit verzichtet werden. Ebenso sind durch die einfache Ausgestaltung des als optischer Diffusor wirkenden Formkörpers mit Streuzentren in Form von Oberflächen-Strukturen und mit Teilbereichen, die die Oberfläche mit einer Reflektorschicht aus einem Metall bedecken, die sonst üblichen Reflektorsysteme in solchen Strahler-Modulen verzichtbar.
Zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist besonders geeignet: Ein Bestrahlungssystem zur Bestrahlung von Behandlungsgut in industriellen Prozessen, mit einer Lichtquelle, einer Einkoppeleinheit zum Einkoppeln des Lichts der Lichtquelle in einen vorderen Endbereich eines Lichtwellenleiters zur Übertragung des Lichts zu einer an einem hinteren Endbereich des Lichtwellenleiters vorgesehenen Auskoppeleinheit, wobei die Auskoppeleinheit einen als Licht-Diffusor wirkenden Formkörper umfasst, der Streuzentren aufweist.
Wesentliches Element in dem Bestrahlungssystem des erfindungsgemäßen Verfahrens ist der Lichtwellenleiter mit Auskoppeleinheit, die einen als Licht- Diffusor wirkenden Formkörper umfasst, der Streuzentren aufweist.
Das im erfindungsgemäßen Verfahren eingesetzte Bestrahlungssystem umfasst weiterhin folgende bevorzugte Ausführungsformen: Der als Licht-Diffusor wirkende Formkörper weist eine langgestreckte Form mit einer Längsachse (L) auf. Der als Licht-Diffusor wirkende Formkörper bildet ein integrales Bauteil mit dem
Lichtwellenleiter. Der Formkörper weist entlang seiner Längsachse (L) einen Gradienten in der Verteilungsdichte der Streuzentren auf mit einer geringeren Verteilungsdichte in einem dem hinteren Endbereich des Lichtwellenleiters nahen Bereich und einer höheren Verteilungsdichte in einem dem hinteren Endbereich des Lichtwellenleiters fernen Bereich. Die Streuzentren sind in Form von
Oberflächen-Strukturen ausgebildet. Diese Oberflächen-Strukturen können als
Aufrauhungen ausgebildet sein. Der Formkörper ist als diffus streuende Beschich- tung ausgebildet, die eine poröse Quarzglasschicht umfasst. Der Formkörper weist in Teilbereichen seiner Oberfläche eine Reflektorschicht auf. Die Lichtquelle ist eine UV-Lichtquelle, oder eine IR-Lichtquelle, wobei auch eine Kombination von Lichtquellen umfasst ist, wovon mindestens eine UV- Lichtquelle Licht einer
Wellenlänge im Bereich zwischen 200 nm und 500 nm und mindestens eine IR- Lichtquelle Licht einer Wellenlänge im Bereich zwischen 700 nm und 2.500 nm erzeugt, wobei das Licht der UV-Lichtquelle und der IR-Lichtquelle jeweils separat oder gemeinsam in den Lichtwellenleiter einkoppelbar ist. Der Lichtwellenleiter und der Formkörper bestehen zu mindestens 95 Gew.-% aus S1O2. Alternativ bestehen der Lichtwellenleiter und der Formkörper aus einem Material aus der Gruppe Zinkselenid, Magnesiumfluorid, Kalziumfluorid, Zirkonfluorid, Indiumfluorid, Zinksulfid, Natriumchlorid, Silberchlorid, Kaliumbromid, Silberbromid, oder aus einem Chalkogenid-Glas, das aus den Elementen Schwefel, Selen und/oder Tellur mit Arsen, Germanium und/oder Antimon gebildet ist. Das Bestrahlungssystem findet Verwendung in industriellen Prozessen zur Erwärmung, Polymerisation, Aushärtung, oder/und Desinfektion.

Claims

Patentansprüche
Verfahren zur Bestrahlung von Behandlungsgut in industriellen Prozessen zur Erwärmung, Polymerisation, Aushärtung oder/und Desinfektion mit IR- und/oder UV-Strahlung, wobei ein Bestrahlungssystem eingesetzt wird, das eine Strahlungsquelle (1 ; 1 .1 ; 1 .2), eine Einkoppeleinheit zum Einkoppeln der Strahlung der Strahlungsquelle in einen vorderen Endbereich eines
Lichtwellenleiters (2; 102; 202) zur Übertragung der Strahlung zu einer an einem hinteren Endbereich (20) des Lichtwellenleiters (2; 102; 202) vorgesehenen Auskoppeleinheit aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Auskoppeleinheit einen als optischen Diffusor wirkenden Formkörper (3; 103; 203; 301 ; 302) umfasst, der Streuzentren aufweist, und dass die IR- und/oder UV-Strahlung durch den optischen Diffusor hindurch austritt und auf das Behandlungsgut (304) einwirkt.
Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Streuzentren des als optischer Diffusor wirkenden Formkörpers (3; 103; 203; 301 ; 302) so angeordnet sind, dass die Strahlung auf das Behandlungsgut (304) linien- oder flächenhaft einwirkt.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein als optischer Diffusor wirkender Formkörper (3; 103; 203; 301 ; 302) eingesetzt wird, der ein an die Kontur einer zu bestrahlenden Oberfläche des
Behandlungsgutes (304) angepasstes Oberflächenprofil aufweist.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, dass ein als optischer Diffusor wirkender Formkörper (3;103, 203; 301 ; 302) mit einer Längsachse (L) eingesetzt wird, entlang der die Verteilungsdichte der Streuzentren in einer Strahlungs-Hauptausbreitungs- richtung zunimmt.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein als optischer Diffusor wirkender Formkörper (3; 103; 203; 301 ; 302) eingesetzt wird, der integraler Bestandteil des
Lichtwellenleiters (2; 102; 202) ist.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, dass die Streuzentren in Form von Oberflächenstrukturen ausgebildet sind.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Streuzentren als Aufrauhungen (4.1 ; 4.2) ausgebildet sind.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, dass ein als optischer Diffusor wirkender Formkörper (3; 103; 203; 301 ; 302) eingesetzt wird, der eine diffus streuende Beschichtung aufweist.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die diffus
streuende Beschichtung eine poröse Quarzglasschicht umfasst.
10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, dass ein als optischer Diffusor wirkender Formkörper (3; 103; 203; 301 ; 302) eingesetzt wird, der in Teilbereichen seiner Oberfläche eine
Reflektorschicht (5) aus einem Metall, vorzugsweise aus Gold, aufweist.
1 1 . Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, dass der Lichtwellenleiter (2; 102; 202) und der als optischer Diffusor wirkende Formkörper (3; 103; 203; 301 ; 302) zu mindestens 95 Gew.-
% aus S1O2 bestehen.
12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Bestrahlungssystem eingesetzt wird, das
mindestens eine UV- Strahlungsquelle (1 .2) zur Erzeugung von Strahlung einer Wellenlänge im Bereich zwischen 200 nm und 400 nm und mindestens eine IR-Strahlungsquelle (1 .1 ) zur Erzeugung von Strahlung einer Wellenlänge im Bereich zwischen 740 nm und 2.500 nm umfasst, wobei die Strahlung der UV-Strahlungsquelle (1 .2) und der IR-Strahlungsquelle (1 .1 ) gemeinsam in den Lichtwellenleiter (2; 102; 202) eingekoppelt werden.
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