WO2017051675A1

WO2017051675A1 - ローラ

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Publication number: WO2017051675A1
Application number: PCT/JP2016/075449
Authority: WO
Inventors: 大石　保徳; 逸男渡辺; 利昌和田
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 2015-09-24
Filing date: 2016-08-31
Publication date: 2017-03-30
Anticipated expiration: 2018-03-24

Abstract

フィルム搬送経路で使用する総ローラ数を減らすことが可能なローラを提供する。ローラ１１は、ステータ２１及び該ステータ２１の径方向外側に対向配置されて相対回転するロータ２２を含むモータ部２と、ロータ２２と共に回転する円筒状のローラハウジング４１と、ステータ２１が固定される筒状のトーションバー４２と、トーションバー４２の内壁との間に間隙を介して貫通され、トーションバー４２の軸方向の一方端を固定させる貫通シャフト４３と、軸方向にモータ部を間に挟む位置に配置され、ローラハウジング４１を回転自在に支持する第１軸受６及び第２軸受７と、を有する。

Description

ローラ

　本発明は、例えばフィルム搬送装置で用いられるローラに関する。

　特許文献１及び特許文献２には、固定軸に対して回転自在に支持されたローラを回転駆動するモータが内蔵されたモータ内蔵ローラが記載されている。これら特許文献１及び特許文献２に記載されたモータ内蔵ローラは、ベルトコンベアやローラコンベア等に利用されることを前提としている。

特開２００３－１０２１４３号公報特開２００５－１７６５８８号公報

　例えば、フレキシブル基板や曲面ディスプレイに用いられる液晶フィルムあるいは有機ＥＬフィルム等の高機能フィルムの製造に用いられるフィルム搬送装置では、フィルムにスリップによる擦り傷や皺、変形等の欠陥を生じることなく、高速かつ適正張力でフィルムを搬送する必要がある。従来、このようなフィルム搬送装置においては、フィルムにかかる張力を検出するためのローラを別途設け、張力検出用のローラにかかる荷重を検出して張力を算出し、その値をフィードバックして張力制御を行っている。

　本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、フィルム搬送経路で使用する総ローラ数を減らすことが可能なローラを提供することを目的とする。

　上述した課題を解決し、目的を達成するために、ローラは、ステータ及び該ステータの径方向外側に対向配置されて相対回転するロータを含むモータ部と、前記ロータと共に回転する円筒状のローラハウジングと、前記ステータが固定される筒状のトーションバーと、前記トーションバーの内壁との間に間隙を介して貫通され、前記トーションバーの軸方向の一方端を固定させる貫通シャフトと、軸方向に前記モータ部を間に挟む位置に配置され、前記ローラハウジングを回転自在に支持する軸受と、を有する。

　上記構成により、ローラが回転することによって貫通シャフトとトーションバーとの間に生じた捩れに基づきモータ部を制御することができるので、フィルム搬送経路で使用する総ローラ数を減らすことが可能となる。

　また、望ましい態様として、前記ローラハウジングの回転を検出する第１の回転検出器と、前記貫通シャフトに対する前記トーションバーの軸方向の他方端の相対的な回転を検出する第２の回転検出器と、を有するのが好ましい。

　上記構成により、第１の回転検出器により検出されるモータ部の位置情報と、第２の回転検出器により検出されるトーションバーの軸方向の他方端の角度変位とを用いて、目標とする張力が得られるようなトルクとなるようにモータ部を出力制御することで、帯状搬送物を適正張力で搬送するための張力制御が可能となる。

　また、前記第１の回転検出器は、前記モータ部よりも軸方向の一方端側に設けられていても良い。

　また、前記第１の回転検出器は、前記モータ部と前記第２の回転検出器との間に設けられていても良い。

　また、前記第１の回転検出器は、前記第２の回転検出器よりも軸方向の他方端側に設けられていても良い。

　また、望ましい態様として、前記トーションバーは、軸方向の一方端側に、軸方向の他方端側よりも捩れ方向に対する剛性が低い捩れ剛性低下部を有するのが好ましい。

　上記構成により、第２の回転検出器により検出されるトーションバーの開放端の角度変位（微小角度θ）の検出精度を向上させることができる。

　また、望ましい態様として、前記ローラハウジングの回転を検出する第１の回転検出器と、前記トーションバーの軸方向の他方端に対する前記ローラハウジングの相対的な回転を検出する第２の回転検出器と、を有するのが好ましい。

　上記構成により、第１の回転検出器により検出される位置情報と、第１の回転検出器により検出されるモータ部の位置情報と第２の回転検出器により検出されるモータ部の位置情報との差分とを用いて、目標とする張力が得られるようなトルクとなるようにモータ部を出力制御することで、帯状搬送物を適正張力で搬送するための張力制御が可能となる。

　上記構成により、第１の回転検出器により検出される位置情報と、第２の回転検出器により検出される位置情報との差分、つまり、トーションバーの回転方向の捩れによる角度変位（微小角度θ）の検出精度を向上させることができる。

　また、望ましい態様として、前記軸受は、軸方向に前記モータ部を間に挟む位置に配置される第１軸受及び第２軸受を含み、前記第１軸受及び前記第２軸受の少なくとも一方に予圧を加える予圧機構と、を有するのが好ましい。

　上記構成により、軸方向及び径方向のガタツキを抑制することができるので、軸受の長寿命化を実現すると共に、フィルム搬送装置における適正な張力制御が可能となる。

　また、望ましい態様として、少なくとも前記貫通シャフトの内部に冷媒を通流させるための冷却流路が設けられているのが好ましい。

　上記構成により、モータ部の発熱による温度上昇を抑制することができるので、フィルム搬送装置におけるフィルムの品質低下が抑制されると共に、適正な張力制御が可能となる。

　また、望ましい態様として、前記ロータは、前記ステータの径方向外側に第１間隙を介して対向配置され、前記貫通シャフトは、前記トーションバーの内壁との間に第２間隙を介して貫通され、前記トーションバーと前記ローラハウジングとの間の空気を前記モータ部の軸方向の一方端側の空間から他方端側の空間に通流させ、前記モータ部で発生した熱を吸熱する吸熱経路が設けられ、前記吸熱経路に、前記トーションバーよりも外径が大きい円盤部が設けられ、前記円盤部の外周面と前記ローラハウジングの内周面との間に所定の間隙が設けられているのが好ましい。

　上記構成により、モータ部を駆動した際にモータ部で発生した熱を、周方向の全周に亘り均一化して吸熱することができ、モータ部の発熱による温度上昇を抑制することができる。これにより、フィルム搬送装置におけるフィルムの品質低下が抑制されると共に、適正な張力制御が可能となる。

　また、望ましい態様として、前記ローラハウジングの外周面に沿って着脱可能に設けられ、前記ロータと共に回転する円筒状の外筒ローラを有するのが好ましい。

　上記構成により、外筒ローラを交換することで多様な帯状搬送物に対応可能となる。また、帯状搬送物との接触面の摩耗や構造物の破損等が生じたとき、外筒ローラを交換することで対応可能となり、メンテナンス性の高いローラを得ることができる。

　また、望ましい態様として、前記第１の回転検出器及び前記第２の回転検出器の少なくとも一方はレゾルバであるのが好ましい。

　上記構成により、振動に強く、また、高温環境下での用途に適したローラを得ることができる。

　本発明によれば、フィルム搬送経路で使用する総ローラ数を減らすことが可能なローラを提供することができる。

図１は、実施形態１に係るローラの一例を示す断面図である。図２は、実施形態１に係るローラにおいて帯状搬送物にかかる張力とトルクとの関係を説明する図である。図３は、実施形態１に係るローラの動作例を示す図である。図４は、実施形態１の変形例１に係るローラの一例を示す断面図である。図５は、実施形態１の変形例２に係るローラの一例を示す断面図である。図６は、実施形態１の変形例３に係るローラの一例を示す断面図である。図７は、実施形態２に係るローラの一例を示す断面図である。図８は、実施形態２の変形例１に係るローラの一例を示す断面図である。図９は、実施形態２の変形例２に係るローラの一例を示す断面図である。図１０は、実施形態２の変形例３に係るローラの一例を示す断面図である。図１１は、実施形態３に係るローラの一例を示す断面図である。図１２は、実施形態３の変形例に係るローラの一例を示す断面図である。図１３は、実施形態４に係るローラの一例を示す断面図である。図１４は、実施形態４の変形例に係るローラの一例を示す断面図である。図１５は、実施形態５に係るローラの一例を示す断面図である。図１６Ａは、実施形態５における外輪押え部材を図１５のＡ矢視方向に見た平面図である。図１６Ｂは、実施形態５における外輪押え部材を図１６ＡのＢ矢視方向に見た平面図である。図１７Ａは、実施形態５における内輪押え部材を図１５のＣ矢視方向に見た平面図の一例を示す図である。図１７Ｂは、実施形態５における内輪押え部材を図１７ＡのＤ矢視方向に見た平面図である。図１８は、実施形態６に係るローラの一例を示す断面図である。図１９Ａは、捩れ剛性低下部の図１８に示すＡ－Ａ断面図の一例を示す図である。図１９Ｂは、捩れ剛性低下部の図１８に示すＡ－Ａ断面図の図１９Ａとは異なる一例を示す図である。図２０Ａは、捩れ剛性低下部を構成する穴部の一例を示す図である。図２０Ｂは、捩れ剛性低下部を構成する穴部の図２０Ａとは異なる一例を示す図である。図２０Ｃは、捩れ剛性低下部を構成する穴部の図２０Ａ，２０Ｂとは異なる一例を示す図である。図２０Ｄは、捩れ剛性低下部を構成する穴部の図２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃとは異なる一例を示す図である。図２１は、実施形態６に係るローラの他の一例を示す断面図である。図２２は、捩れ剛性低下部の図２１に示すＢ－Ｂ断面図を示す図である。図２３Ａは、捩れ剛性低下部を構成するスリットの一例を示す図である。図２３Ｂは、捩れ剛性低下部を構成するスリットの図２３Ａとは異なる一例を示す図である。図２３Ｃは、捩れ剛性低下部を構成するスリットの図２３Ａ，２３Ｂとは異なる一例を示す図である。図２４は、実施形態６に係るローラの他の一例を示す断面図である。図２５は、捩れ剛性低下部の図２４に示すＣ－Ｃ矢示断面図を示す図である。図２６Ａは、捩れ剛性低下部を構成する薄肉部の一例を示す図である。図２６Ｂは、捩れ剛性低下部を構成する薄肉部の図２６Ａとは異なる一例を示す図である。図２７は、実施形態６の変形例１に係るローラの一例を示す断面図である。図２８は、実施形態６の変形例２に係るローラの一例を示す断面図である。図２９は、実施形態６の変形例３に係るローラの一例を示す断面図である。図３０は、実施形態７に係るローラの一例を示す断面図である。図３１は、実施形態７の変形例１に係るローラの一例を示す断面図である。図３２は、実施形態７の変形例２に係るローラの一例を示す断面図である。図３３は、実施形態７の変形例３に係るローラの一例を示す断面図である。図３４は、実施形態８に係るローラの一例を示す断面図である。図３５は、実施形態９に係るローラの一例を示す断面図である。図３６は、実施形態９に係るローラにおける貫通シャフトを図３５のＡ矢視方向に見た平面図である。図３７は、実施形態９に係るローラにおけるトーションバーを図３５のＡ矢視方向に見た平面図である。図３８は、実施形態１０に係るローラの一例を示す断面図である。図３９は、実施形態１０に係るローラにおける貫通シャフトを図３８に示すＡ矢視方向に見た平面図である。図４０は、実施形態１０に係るローラにおけるトーションバーを図３８に示すＡ矢視方向に見た平面図である。図４１は、実施形態１０に係るローラの図３８に示すＢ－Ｂ矢示断面図である。図４２は、実施形態１０に係るローラの図３８に示すＣ－Ｃ矢示断面図である。図４３は、実施形態１０の変形例に係るローラの一例を示す断面図である。図４４は、実施形態１１に係るローラの一例を示す断面図である。図４５は、実施形態１１に係るローラの図４４に示すＣ’－Ｃ’矢示断面図である。図４６は、実施形態１２に係るローラの一例を示す断面図である。図４７Ａは、実施形態１２に係るローラのロータハウジングと外筒ローラとのはめ合わせ部の構成例を示す図である。図４７Ｂは、実施形態１２に係るローラのロータハウジングと外筒ローラとのはめ合わせ部の図４７Ａとは異なる構成例を示す図である。図４７Ｃは、実施形態１２に係るローラのロータハウジングと外筒ローラとのはめ合わせ部の図４７Ａ，４７Ｂとは異なる構成例を示す図である。図４７Ｄは、実施形態１２に係るローラのロータハウジングと外筒ローラとのはめ合わせ部の図４７Ａ，４７Ｂ，４７Ｃとは異なる構成例を示す図である。図４７Ｅは、実施形態１２に係るローラのロータハウジングと外筒ローラとのはめ合わせ部の図４７Ａ，４７Ｂ，４７Ｃ，４７Ｄとは異なる構成例を示す図である。図４８は、実施形態１２の変形例１に係るローラの一例を示す断面図である。図４９は、実施形態１２の変形例２に係るローラの一例を示す断面図である。図５０は、実施形態１２の変形例３に係るローラの一例を示す断面図である。図５１は、実施形態１２の変形例４に係るローラの一例を示す断面図である。図５２は、実施形態１２の変形例５に係るローラの一例を示す断面図である。図５３は、実施形態１２の変形例６に係るローラの一例を示す断面図である。図５４は、実施形態１２の変形例７に係るローラの一例を示す断面図である。

　本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。

（実施形態１）
　図１は、実施形態１に係るローラの一例を示す断面図である。図１に示す例において、ローラ１１は、減速機構を介さずに、発生した動力を対象物にダイレクトに伝達するダイレクトドライブモータである。図１に示すように、ローラ１１は、フレキシブル基板や曲面ディスプレイに用いられる液晶フィルムあるいは有機ＥＬフィルム等の高機能フィルムを一例とする帯状搬送物を搬送するための動力を発生するモータ部２と、モータ部２の回転を検出する回転検出器３と、モータ部２及び回転検出器３を保持するハウジング４と、ローラ１１で発生するトルクを検出するためのトルク検出器５とを備えている。モータ部２、回転検出器３、及びトルク検出器５は、それぞれ図示せぬ制御装置に電気的に接続されており、ローラ１１は、この制御装置によって制御される。

　モータ部２は、ステータ２１と、ステータ２１に対して回転可能なロータ２２とを有する。ロータ２２は、回転軸ＡＸを中心に回転する。以下、回転軸ＡＸと平行な方向を「軸方向」ともいう。

　本実施形態において、モータ部２は、アウターロータ型のモータである。ロータ２２は、ステータ２１の周囲に配置される。回転軸ＡＸに対して、ロータ２２は、ステータ２１の外側に配置される。

　ステータ２１は、ステータコア２１Ａと、ステータコア２１Ａに支持されるコイル２１Ｂとを有する。ステータコア２１Ａは、回転軸ＡＸの周囲において、等間隔で複数配置されるティースを有する。コイル２１Ｂは、複数設けられる。コイル２１Ｂは、ステータコア２１Ａの複数のティースのそれぞれに支持される。

　ロータ２２は、回転軸ＡＸの周囲において、等間隔で複数配置された永久磁石を含む。ステータ２１のステータコア２１Ａとロータ２２とは、第１間隙ｇ１を介して対向する。

　本実施形態において、回転検出器３は、レゾルバステータ３１とレゾルバロータ３２とを含むレゾルバであり、モータ部２におけるロータ２２の回転速度、回転方向、及び回転角度の少なくとも一つを含む位置情報を検出する。

　本実施形態において、トルク検出器５は、レゾルバステータ５１とレゾルバロータ５２とを含むレゾルバである。このトルク検出器５については後述する。

　ハウジング４は、ロータ２２と共に回転する円筒状のローラハウジング４１と、トーションバー４２と、貫通シャフト４３と、円盤部材４５とを含む。

　貫通シャフト４３は、トーションバー４２を貫通して設けられている。貫通シャフト４３の軸方向の一方端は、トーションバー４２の軸方向の一方端が固定されると共に、設備１００に対してインロウによる位置決めを行うための嵌合部４３Ａが設けられている。貫通シャフト４３は、トーションバー４２との固定部から軸方向の他方端に向けて、トーションバー４２と第２間隙ｇ２を介して対向している。貫通シャフト４３の軸方向の他方端は、円盤部材４５を貫通しており、ナット４３Ｂで円盤部材４５に固定されている。

　トーションバー４２は、貫通シャフト４３に固定された軸方向の一方端に設けられた円盤部４２Ａと、貫通シャフト４３との間に第２間隙ｇ２を介しつつ、円盤部４２Ａから軸方向の他方端に延びる円筒部４２Ｂとを含む。トーションバー４２の円盤部４２Ａには、ネジ１０１で設備１００に固定するためのネジ穴４２Ｃと、設備１００への取付け面とが設けられている。トーションバー４２の円筒部４２Ｂの外周面には、ステータ２１のステータコア２１Ａ及び回転検出器３のレゾルバステータ３１が設けられている。円筒部４２Ｂの軸方向の他方端には、支持部材４４が設けられている。以下、トーションバー４２が貫通シャフト４３に固定された軸方向の一方端を、「トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端」ともいう。また、円筒部４２Ｂの軸方向の他方端を、「トーションバー４２の開放端」ともいう。

　支持部材４４は、トーションバー４２の開放端に固定される円盤部４４Ａと、円盤部４４Ａの外周部から軸方向の他方端側に延びる円筒部４４Ｂとを含む。支持部材４４の円筒部４４Ｂの内周面には、トルク検出器５のレゾルバロータ５２が設けられており、貫通シャフト４３には、レゾルバロータ５２と対向する位置にトルク検出器５のレゾルバステータ５１が設けられている。

　ローラハウジング４１は、軸方向の一方端が第１軸受６を介してトーションバー４２の円盤部４２Ａの外周部で支持され、軸方向の他方端が第２軸受７を介して円盤部材４５の外周部で支持されている。第１軸受６は、内輪がトーションバー４２の円盤部４２Ａに支持され、外輪がローラハウジング４１の内周面に支持されている。第２軸受７は、内輪が円盤部材４５に支持され、外輪がローラハウジング４１の内周面に支持されている。ローラハウジング４１の内周面には、モータ部２のステータ２１に対向する位置にモータ部２のロータ２２が設けられ、回転検出器３のレゾルバステータ３１に対向する位置に回転検出器３のレゾルバロータ３２が設けられている。

　なお、図１に示す例では、回転検出器３をモータ部２よりもトーションバー４２の固定端側に配置した例を示している。

　次に、図１から図３を用いて、実施形態１に係るローラ１１の動作について説明する。図２は、実施形態１に係るローラにおいて帯状搬送物にかかる張力とトルクとの関係を説明する図である。図３は、実施形態１に係るローラの動作例を示す図である。

　図２に示すように、ローラ１１におけるローラハウジング４１の半径をｒとし、帯状搬送物２００にかかる張力をＦとすると、回転軸ＡＸ周りに働くトルクＴは、Ｔ＝Ｆ×ｒで表される。これを張力Ｆについて変形すると、以下の（１）式のように表される。つまり、トルクＴを検出することにより、張力Ｆを求めることができる。

　Ｆ＝Ｔ／ｒ　…（１）

　ここで、本実施形態において、貫通シャフト４３の回転方向に対する剛性は、モータ部２の駆動力により生じるトルクに対して十分に大きく、トーションバー４２の回転方向に対する剛性は、貫通シャフト４３の回転方向に対する剛性よりも小さいものとする。

　図３に示すように、モータ部２を駆動してローラハウジング４１をＡ矢示方向に回転させると、ステータ２１のステータコア２１Ａが固定されたトーションバー４２の円筒部４２ＢにＢ矢示方向の反力が作用し、貫通シャフト４３に対して相対的な捩れが生じる。

　本実施形態では、回転検出器３を第１の回転検出器とし、トルク検出器５として、例えば、１度以下の角度変位を検出可能な第２の回転検出器を用いて、モータ部２を駆動したときのトーションバー４２の開放端の角度変位（微小角度θ）を検出する。このトーションバー４２の開放端の角度変位をトルクＴに換算することで、（１）式に示す張力Ｆを求めることができる。すなわち、回転検出器３（第１の回転検出器）により検出されるモータ部２の位置情報と、トルク検出器５（第２の回転検出器）により検出されるトーションバー４２の開放端の角度変位（微小角度θ）とを用いて、目標とする張力が得られるようなトルクとなるようにモータ部２を出力制御することで、帯状搬送物２００を適正張力で搬送するための張力制御が可能となる。

　なお、第２間隙ｇ２は、モータ部２の駆動時におけるトーションバー４２の捩れを阻害しない程度に狭いのが好ましく、より具体的には、例えば、０．０５ｍｍ乃至０．２ｍｍ程度であることが望ましい。また、トーションバー４２の円筒部４２Ｂと貫通シャフト４３との間に第２間隙ｇ２を設けることで、ステータ２１のステータコア２１Ａとロータ２２との間に介在する第１間隙ｇ１の誤差範囲が大きくなる。ここで、第１間隙ｇ１と第２間隙ｇ２との関係がｇ１≦ｇ２である場合、モータ部２の駆動時においてステータ２１のステータコア２１Ａとロータ２２とが接触する可能性がある。このため、第１間隙ｇ１と第２間隙ｇ２との関係は、ｇ１＞ｇ２であるのが望ましい。

　また、図１に示す例では、回転検出器３とモータ部２との相互間の磁気干渉を防ぐ遮蔽板８を設けているが、回転検出器３とモータ部２とが相互間の磁気干渉による影響を受けない程度に離れて配置される場合には、遮蔽板８を設けなくても良い。また、磁気遮蔽効果を有する強磁性体の部材で支持部材４４を構成することで、トルク検出器５とモータ部２との相互間の磁気干渉を防ぐことが可能であり、図１に示す例では、トルク検出器５とモータ部２との間には遮蔽板を設けていないが、支持部材４４を樹脂やアルミニウム等の部材で構成する場合には、トルク検出器５とモータ部２との間に遮蔽板を設けて相互間の磁気干渉を防ぐようにしても良い。

　（変形例１）
　図４は、実施形態１の変形例１に係るローラの一例を示す断面図である。図４に示すローラ１１ａでは、回転検出器３をモータ部２とトルク検出部５との間に配置している。

　（変形例２）
　図５は、実施形態１の変形例２に係るローラの一例を示す断面図である。図５に示すローラ１１ｂでは、回転検出器３をトルク検出器５よりも軸方向の他方端側に設けている。

　モータ部２を駆動したときに回転検出器３により検出されるモータ部２の位置情報の変化範囲は、貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れに対して十分に大きい。このため、回転検出器３を設ける軸方向の位置によって回転検出器３の検出精度に与える影響は小さい。

　図４に示す変形例１では、モータ部２を駆動したときの貫通シャフト４３に対する回転検出器３のレゾルバステータ３１の回転方向位置における捩れが図１に示す例よりも大きくなるが、上述したように、モータ部２を駆動したときに回転検出器３により検出されるモータ部２の位置情報の変化範囲は、貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れに対して十分に大きいため、回転検出器３のトーションバー４２上における位置によって回転検出器３の検出精度に与える影響を無視することができる。

　また、図５に示す変形例２では、回転検出器３のレゾルバステータ３１は、トーションバー４２よりも回転方向の剛性が大きい貫通シャフト４３に設けられる。このため、モータ部２を駆動したときの回転検出器３の検出精度が貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れによる影響を受けることがない。

　以上のように、回転検出器３により検出される位置情報は、回転検出器３のレゾルバステータ３１をトーションバー４２の円筒部４２Ｂに配置したとしても、回転検出器３のレゾルバステータ３１を貫通シャフト４３に配置した場合と等価と見做すことができる。すなわち、回転検出器３は、貫通シャフト４３に対するローラハウジング４１の位置情報を検出しているものと見做すことができる。

　（変形例３）
　図６は、実施形態１の変形例３に係るローラの一例を示す断面図である。図６に示すローラ１１ｃでは、設備１００ａに対してインロウによる位置決めを行うための嵌合部４５Ａが円盤部材４５ａ側に設けられている。

　円盤部材４５ａには、ネジ１０１で設備１００ａに固定するためのネジ穴４５Ｂと、設備１００ａへの取付け面とが設けられている。

　図６に示す構成では、設備１００ａに調整孔１０２を開口することで、設備１００ａ側からナット４３Ｂにアクセス可能であり、メンテナンス作業が容易となる。また、モータ部２、回転検出器３、及びトルク検出器５が軸方向の設備１００ａ側に寄せて配置されることで、ローラ１１ｃの軸方向の重心位置が設備１００ａ側に近い位置となり、設備１００ａとの接続部にかかる負荷を小さくすることができる。

　なお、本実施形態では、上述したように、回転検出器３を第１の回転検出器とし、トルク検出器５として、例えば、１度以下の角度変位を検出可能な第２の回転検出器を用いて、モータ部２を駆動したときの貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の開放端の角度変位（微小角度θ）を検出する構成である。すなわち、トルク検出器５（第２の回転検出器）としては、モータ部２の位置情報を検出する回転検出器３（第１の回転検出器）よりも高分解能な回転検出器を用いることが好ましく、より具体的には、モータ部２の最大トルク発生時におけるトーションバー４２の捩れ量を１としたとき、１／１００よりも小さい分解能を有しているのが望ましい。

　また、本実施形態において、トルク検出器５は、例えばトーションバー４２に設けた歪ゲージであっても良い。この場合、モータ部２を駆動したときの歪ゲージの抵抗値変動量を検出し、この歪ゲージの抵抗値変動量をトルクＴに換算することで、（１）式に示す張力Ｆを求めることができ、上述したように、帯状搬送物２００を適正張力で搬送するための張力制御が可能となる。

　以上説明したように、実施形態１に係るローラ１１，１１ａ，１１ｂ，１１ｃは、ステータ２１及び該ステータ２１の径方向外側に対向配置されて相対回転するロータ２２を含むモータ部２と、ロータ２２と共に回転する円筒状のローラハウジング４１と、ステータ２１が固定される筒状のトーションバー４２と、トーションバー４２の内壁との間に間隙を介して貫通され、トーションバー４２の軸方向の一方端を固定させる貫通シャフト４３と、軸方向にモータ部を間に挟む位置に配置され、ローラハウジング４１を回転自在に支持する第１軸受６及び第２軸受７と、ローラハウジング４１の回転を検出する回転検出器３（第１の回転検出器）と、貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の軸方向の他方端の相対的な回転を検出するトルク検出器５（第２の回転検出器）と、を有している。

　この構成において、回転検出器３（第１の回転検出器）により検出されるモータ部２の位置情報と、トルク検出器５（第２の回転検出器）により検出されるトーションバー４２の軸方向の他方端の角度変位（微小角度θ）とを用いて、目標とする張力が得られるようなトルクとなるようにモータ部２を出力制御することで、帯状搬送物２００を適正張力で搬送するための張力制御が可能となる。これにより、張力検出用のローラが不要となり、フィルム搬送経路で使用する総ローラ数を減らすことが可能となる。

（実施形態２）
　図７は、実施形態２に係るローラの一例を示す断面図である。なお、上述した実施形態１と同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

　本実施形態におけるローラ１１ｄでは、実施形態１の構成とは異なり、第２の回転検出器５によってトーションバー４２の開放端に対するローラハウジング４１の相対的な位置情報を検出する構成としている。

　図７に示す例では、第２の回転検出器５がトーションバー４２の開放端に設けられ、第１の回転検出器３は、第２の回転検出器５に対し、モータ部２を挟んでトーションバー４２の固定端側に設けられている。より具体的には、第２の回転検出器５のレゾルバステータ５１がトーションバー４２の開放端に設けられ、第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１がモータ２よりもトーションバー４２の固定端寄りに設けられている。第１の回転検出器３のレゾルバロータ３２は、ロータ２２の内周面において第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１に対向する位置に設けられ、第２の回転検出器５のレゾルバロータ５２は、ロータ２２の内周面において第２の回転検出器５のレゾルバステータ５１に対向する位置に設けられている。

　モータ部２を駆動したときにトーションバー４２が受ける反力によって生じる貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の回転方向の捩れ量は、トーションバー４２の固定端では０となり、軸方向にトーションバー４２の開放端に向かうに従い大きくなる。すなわち、第１の回転検出器３が配置されるトーションバー４２の軸方向位置における回転方向の捩れ量は、第２の回転検出器５が配置されるトーションバー４２の開放端における回転方向の捩れ量よりも小さい。換言すると、第１の回転検出器３により検出される位置情報は、第２の回転検出器５により検出される位置情報よりもトーションバー４２の回転方向の捩れによる影響をより受け難い。

　本実施形態では、第１の回転検出器３により検出される位置情報と、第２の回転検出器５により検出される位置情報との差分をとり、この差分をトーションバー４２の回転方向の捩れによる角度変位としてトルクＴに換算する。これにより、実施形態１の（１）式に示す張力Ｆを求めることができる。すなわち、第１の回転検出器３により検出される位置情報と、第１の回転検出器３により検出されるモータ部２の位置情報と第２の回転検出器５により検出されるモータ部２の位置情報との差分とを用いて、目標とする張力が得られるようなトルクとなるようにモータ部２を出力制御することで、帯状搬送物２００を適正張力で搬送するための張力制御が可能となる。

　なお、実施形態１において、モータ部２を駆動したときに回転検出器３により検出されるモータ部２の位置情報の変化範囲は、貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れに対して十分に大きく、第１の回転検出器３を設ける軸方向の位置によって第１の回転検出器３の検出精度に与える影響は小さいものとして説明したが、本実施形態では、上述したように、第１の回転検出器３により検出される位置情報と、第２の回転検出器５により検出される位置情報との差分をとり、この差分をトーションバー４２の回転方向の捩れによる角度変位としてトルクＴに換算することを意図した構成である。このため、実施形態２における第１の回転検出器３及び第２の回転検出器５としては、実施形態１におけるトルク検出器５（第２の回転検出器）と同等の高分解能な回転検出器を用いることが好ましく、より具体的には、モータ部２の最大トルク発生時におけるトーションバー４２の捩れ量を１としたとき、１／１００よりも小さい分解能を有しているのが望ましい。

　（変形例１）
　図８は、実施形態２の変形例１に係るローラの一例を示す断面図である。図８に示すローラ１１ｅでは、第１の回転検出器３を図７に示す例よりもトーションバー４２の固定端に近い位置に配置している。

　（変形例２）
　図９は、実施形態２の変形例２に係るローラの一例を示す断面図である。図９に示すローラ１１ｆでは、第１の回転検出器３を第２の回転検出器５よりも軸方向の他方端側に設けている。

　実施形態１において説明したように、モータ部２を駆動したときに第１の回転検出器３により検出されるモータ部２の位置情報の変化範囲は、貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れに対して十分に大きい。従って、第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１を貫通シャフト４３に配置した場合と等価と見做すことができる。すなわち、第１の回転検出器３は、貫通シャフト４３に対するローラハウジング４１の位置情報を検出しているものと見做すことができる。

　一方、本実施形態では、第１の回転検出器３により検出される位置情報と第２の回転検出器５により検出される位置情報との差分が大きいほど、後段の制御精度を向上させることができる。

　図８に示す変形例１では、モータ部２を駆動したときの貫通シャフト４３に対する第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１の回転方向位置における捩れが図１に示す例よりも小さくなる。すなわち、モータ部２を駆動したときの貫通シャフト４３に対する第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１の回転方向位置における捩れによって第１の回転検出器３の検出精度に与える影響を小さくすることができ、第１の回転検出器３により検出される位置情報と第２の回転検出器５により検出される位置情報との差分を図７に示す例よりも大きくすることができる。

　図９に示す変形例２では、第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１は、トーションバー４２よりも回転方向の剛性が大きい貫通シャフト４３に設けられる。このため、モータ部２を駆動したときの第１の回転検出器３の検出精度が貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れによる影響を受けることがなく、第１の回転検出器３により検出される位置情報と第２の回転検出器５により検出される位置情報との差分を図８に示す例よりもさらに大きくすることができる。

　（変形例３）
　図１０は、実施形態２の変形例３に係るローラの一例を示す断面図である。図１０に示すローラ１１ｇでは、設備１００ａに対してインロウによる位置決めを行うための嵌合部４５Ａが円盤部材４５ａ側に設けられている。

　図１０に示す構成では、設備１００ａに調整孔１０２を開口することで、設備１００ａ側からナット４３Ｂにアクセス可能であり、メンテナンス作業が容易となる。また、モータ部２、回転検出器３、及びトルク検出器５が軸方向の設備１００ａ側に寄せて配置されることで、ローラ１１ｇの軸方向の重心位置が設備１００ａ側に近い位置となり、設備１００ａとの接続部にかかる負荷を小さくすることができる。

　以上説明したように、実施形態２に係るローラ１１ｄ，１１ｅ，１１ｆ，１１ｇは、ステータ２１及び該ステータ２１の径方向外側に対向配置されて相対回転するロータ２２を含むモータ部２と、ロータ２２と共に回転する円筒状のローラハウジング４１と、ステータ２１が固定される筒状のトーションバー４２と、トーションバー４２の内壁との間に間隙を介して貫通され、トーションバー４２の軸方向の一方端を固定させる貫通シャフト４３と、軸方向にモータ部を間に挟む位置に配置され、ローラハウジング４１を回転自在に支持する第１軸受６及び第２軸受７と、ローラハウジング４１の回転を検出する第１の回転検出器３と、トーションバー４２の軸方向の他方端に対するローラハウジング４１の相対的な回転を検出する第２の回転検出器５と、を有している。

　この構成において、第１の回転検出器３により検出される位置情報と、第１の回転検出器３により検出されるモータ部２の位置情報と第２の回転検出器５により検出されるモータ部２の位置情報との差分とを用いて、目標とする張力が得られるようなトルクとなるようにモータ部２を出力制御することで、帯状搬送物２００を適正張力で搬送するための張力制御が可能となる。これにより、張力検出用のローラが不要となり、フィルム搬送経路で使用する総ローラ数を減らすことが可能となる。

（実施形態３）
　図１１は、実施形態３に係るローラの一例を示す断面図である。なお、上述した実施形態１，２と同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

　本実施形態に係るローラ１２の貫通シャフト４３は、実施形態１，２と同様に、トーションバー４２を貫通して設けられている。貫通シャフト４３の軸方向の一方端は、トーションバー４２の軸方向の一方端が固定されると共に、設備１００に対してインロウによる位置決めを行うための嵌合部４３Ａが設けられている。貫通シャフト４３は、トーションバー４２との固定部から軸方向の他方端に向けて、トーションバー４２と第２間隙ｇ２を介して対向している。本実施形態において、貫通シャフト４３の軸方向の他方端は、円盤部材４５を貫通しており、ナット（調整部材）４３Ｂで弾性部材である皿ばね４３Ｃを介して円盤部材４５に機械的に接続されている。

　貫通シャフト４３と、トーションバー４２の円盤部４２Ａと、円盤部材４５と、皿ばね４３Ｃとは、第１軸受６及び第２軸受７に予圧を加える予圧機構を構成している。

　第１軸受６は、外輪の角部がローラハウジング４１の段差４１Ａに当接し、内輪の角部がトーションバー４２の円盤部４２Ａの段差４２Ｄに当接した状態で軸方向に挟持される。第２軸受７は、外輪の角部がローラハウジング４１の段差４１Ｂに当接し、内輪の角部が円盤部材４５の段差４５Ｃに当接した状態で軸方向に挟持される。この状態で、皿ばね４３Ｃを介してナット４３Ｂを締め込み、皿ばね４３Ｃが自然長よりも短いＬに圧縮されることで、第１軸受６及び第２軸受７の双方に予圧を加えることができる。これにより、軸方向及び径方向のズレが抑制され、モータ部２を駆動した際の軸方向及び径方向のガタツキの発生を抑制することができる。

　なお、図１１に示す例では、実施形態１に係るローラ１１（図１）と同様に、回転検出器３をモータ部２よりもトーションバー４２の固定端側に配置した例を示しているが、モータ部２を駆動したときに回転検出器３により検出されるモータ部２の位置情報の変化範囲は、貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れに対して十分に大きく、回転検出器３を設ける軸方向の位置によって回転検出器３の検出精度に与える影響は小さい。このため、例えば、実施形態１の変形例１に係るローラ１１ａ（図４）と同様に、回転検出器３をモータ部２とトルク検出部５との間に配置しても良い。この場合、モータ部２を駆動したときの貫通シャフト４３に対する回転検出器３のレゾルバステータ３１の回転方向位置における捩れが図１１に示す例よりも大きくなるが、上述したように、モータ部２を駆動したときに回転検出器３により検出されるモータ部２の位置情報の変化範囲は、貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れに対して十分に大きいため、回転検出器３のトーションバー４２上における位置によって回転検出器３の検出精度に与える影響を無視することができる。あるいは、実施形態１の変形例２に係るローラ１１ｂ（図５）と同様に、回転検出器３をトルク検出器５よりも軸方向の他方端側に配置しても良い。この場合、回転検出器３のレゾルバステータ３１は、トーションバー４２よりも回転方向の剛性が大きい貫通シャフト４３に設けられる。このため、モータ部２を駆動したときの回転検出器３の検出精度が貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れによる影響を受けることがない。

　（変形例）
　図１２は、実施形態３の変形例に係るローラの一例を示す断面図である。図１２に示すローラ１２ａでは、実施形態１の変形例３に係るローラ１１ｃ（図６）と同様に、設備１００ａに対してインロウによる位置決めを行うための嵌合部４５Ａが円盤部材４５ａ側に設けられている。

　図１２に示す構成では、実施形態１の変形例３に係るローラ１１ｃ（図６）と同様に、設備１００ａに調整孔１０２を開口することで、設備１００ａ側からナット４３Ｂにアクセス可能であり、予圧調整等のメンテナンス作業が容易となる。また、モータ部２、回転検出器３、及びトルク検出器５が軸方向の設備１００ａ側に寄せて配置されることで、ローラ１２ａの軸方向の重心位置が設備１００ａ側に近い位置となり、設備１００ａとの接続部にかかる負荷を小さくすることができる。

　以上説明したように、実施形態３に係るローラ１２，１２ａは、ステータ２１及び該ステータ２１の径方向外側に対向配置されて相対回転するロータ２２を含むモータ部２と、ロータ２２と共に回転する円筒状のローラハウジング４１と、ステータ２１が固定される筒状のトーションバー４２と、トーションバー４２の内壁との間に間隙を介して貫通され、トーションバー４２の軸方向の一方端を固定させる貫通シャフト４３と、軸方向にモータ部を間に挟む位置に配置され、ローラハウジング４１を回転自在に支持する第１軸受６及び第２軸受７と、第１軸受６及び第２軸受７の少なくとも一方に予圧を加える予圧機構と、を有している。予圧機構は、貫通シャフト４３と、トーションバー４２の貫通シャフト４３との固定端に設けられ、外周に第１軸受６の内輪が固定された円盤部４２Ａと、貫通シャフト４３の軸方向の他方端に設けられ、外周に第２軸受７の内輪が固定された円盤部材４５と、円盤部材４５に対し、貫通シャフト４３の一方端に向かう軸方向に平行な方向に付勢力を与える弾性部材である皿ばね４３Ｃと、を含んでいる。

　この構成により、軸方向及び径方向のガタツキを抑制することができるので、軸受の長寿命化を実現すると共に、フィルム搬送装置における適正な張力制御が可能となる。

　また、実施形態３に係るローラ１２，１２ａは、実施形態１，２と同様に、ローラハウジング４１の回転を検出する回転検出器３（第１の回転検出器）と、貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の軸方向の他方端の相対的な回転を検出するトルク検出器５（第２の回転検出器）と、を有している。

　この構成において、回転検出器３（第１の回転検出器）により検出されるモータ部２の位置情報と、トルク検出器５（第２の回転検出器）により検出されるトーションバー４２の軸方向の他方端の角度変位（微小角度θ）とを用いて、目標とする張力が得られるようなトルクとなるようにモータ部２を出力制御することで、帯状搬送物２００を適正張力で搬送するための張力制御が可能となる。

（実施形態４）
　図１３は、実施形態４に係るローラの一例を示す断面図である。なお、上述した実施形態１，２，３と同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

　本実施形態におけるローラ１２ｂでは、実施形態３の構成とは異なり、弾性部材として圧縮コイルばね４３Ｄを用いている。

　実施形態３と同様に、第１軸受６は、外輪の角部がローラハウジング４１の段差４１Ａに当接し、内輪の角部がトーションバー４２の円盤部４２Ａの段差４２Ｄに当接した状態で軸方向に挟持される。第２軸受７は、外輪の角部がローラハウジング４１の段差４１Ｂに当接し、内輪の角部が円盤部材４５の段差４５Ｃに当接した状態で軸方向に挟持される。この状態で、圧縮コイルばね４３Ｄを介してナット（調整部材）４３Ｂを締め込み、圧縮コイルばね４３Ｄが自然長よりも短いＬ’に圧縮されることで、第１軸受６及び第２軸受７の双方に予圧を加えることができる。弾性部材として圧縮コイルばね４３Ｄを用いることにより、弾性部材として皿ばねを用いた実施形態３に対し、高温環境下やローラ１２ｂの内部温度と外部温度との差が大きい場合でも、定圧予圧状態を維持することが可能となる。

　また、図１３に示す例では、実施形態２の変形例１に係るローラ１１ｅ（図８）と同様に、第２の回転検出器５によってトーションバー４２の開放端に対するローラハウジング４１の相対的な位置情報を検出する構成としている。

　図１３に示す例では、実施形態２の変形例１に係るローラ１１ｅ（図８）と同様に、第２の回転検出器５がトーションバー４２の開放端に設けられ、第１の回転検出器３は、第２の回転検出器５に対し、モータ部２を挟んでトーションバー４２の固定端側に設けられている。より具体的には、第２の回転検出器５のレゾルバステータ５１がトーションバー４２の開放端に設けられ、第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１がモータ部２よりもトーションバー４２の固定端寄りに設けられている。第１の回転検出器３のレゾルバロータ３２は、ロータ２２の内周面において第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１に対向する位置に設けられ、第２の回転検出器５のレゾルバロータ５２は、ロータ２２の内周面において第２の回転検出器５のレゾルバステータ５１に対向する位置に設けられている。

　なお、実施形態１において、モータ部２を駆動したときに回転検出器３により検出されるモータ部２の位置情報の変化範囲は、貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れに対して十分に大きく、第１の回転検出器３を設ける軸方向の位置によって第１の回転検出器３の検出精度に与える影響は小さいものとして説明したが、本実施形態では、上述したように、第１の回転検出器３により検出される位置情報と、第２の回転検出器５により検出される位置情報との差分をとり、この差分をトーションバー４２の回転方向の捩れによる角度変位としてトルクＴに換算することを意図した構成である。このため、実施形態４における第１の回転検出器３及び第２の回転検出器５としては、実施形態１，３におけるトルク検出器５（第２の回転検出器）と同等の高分解能な回転検出器を用いることが好ましく、より具体的には、モータ部２の最大トルク発生時におけるトーションバー４２の捩れ量を１としたとき、１／１００よりも小さい分解能を有しているのが望ましい。

　また、実施形態１において説明したように、モータ部２を駆動したときに第１の回転検出器３により検出されるモータ部２の位置情報の変化範囲は、貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れに対して十分に大きい。従って、第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１を貫通シャフト４３に配置した場合と等価と見做すことができる。すなわち、第１の回転検出器３は、貫通シャフト４３に対するローラハウジング４１の位置情報を検出しているものと見做すことができる。

　一方、本実施形態では、第１の回転検出器３により検出される位置情報と第２の回転検出器５により検出される位置情報との差分が大きいほど、後段の制御精度を向上させることができる。このため、第１の回転検出器３を第２の回転検出器５よりも軸方向の他方端側に設けるのが好ましい。この場合、第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１は、トーションバー４２よりも回転方向の剛性が大きい貫通シャフト４３に設けられる。このため、モータ部２を駆動したときの第１の回転検出器３の検出精度が貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れによる影響を受けない。このため、第１の回転検出器３により検出される位置情報と第２の回転検出器５により検出される位置情報との差分を大きくすることができる。

　（変形例）
　図１４は、実施形態４の変形例に係るローラの一例を示す断面図である。図１４に示すローラ１２ｃでは、実施形態２の変形例３に係るローラ１１ｇ（図１０）と同様に、設備１００ａに対してインロウによる位置決めを行うための嵌合部４５Ａが円盤部材４５ａ側に設けられている。

　図１４に示す構成では、実施形態２の変形例３に係るローラ１１ｇ（図１０）と同様に、設備１００ａに調整孔１０２を開口することで、設備１００ａ側からナット４３Ｂにアクセス可能であり、予圧調整等のメンテナンス作業が容易となる。また、モータ部２、回転検出器３、及びトルク検出器５が軸方向の設備１００ａ側に寄せて配置されることで、ローラ１２ｃの軸方向の重心位置が設備１００ａ側に近い位置となり、設備１００ａとの接続部にかかる負荷を小さくすることができる。

　以上説明したように、実施形態４に係るローラ１２ｂ，１２ｃは、実施形態３における皿ばねに代えて、弾性部材として圧縮コイルばね４３Ｄを用いている。これにより、弾性部材として皿ばねを用いた実施形態３に対し、高温環境下やローラ１２ｂ，１２ｃの内部温度と外部温度との差が大きい場合でも、定圧予圧状態を維持することが可能となる。

　また、実施形態４に係るローラ１２ｂ，１２ｃは、実施形態１，２，３と同様に、ローラハウジング４１の回転を検出する第１の回転検出器３と、トーションバー４２の軸方向の他方端に対するローラハウジング４１の相対的な回転を検出する第２の回転検出器５と、を有している。

　この構成において、第１の回転検出器３により検出される位置情報と、第１の回転検出器３により検出されるモータ部２の位置情報と第２の回転検出器５により検出されるモータ部２の位置情報との差分とを用いて、目標とする張力が得られるようなトルクとなるようにモータ部２を出力制御することで、帯状搬送物２００を適正張力で搬送するための張力制御が可能となる。

（実施形態５）
　図１５は、実施形態５に係るローラの一例を示す断面図である。なお、上述した実施形態１，２，３，４と同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

　本実施形態におけるローラ１２ｄでは、実施形態３，４の構成とは異なり、弾性部材である皿ばね、あるいは圧縮コイルばねを有しておらず、第１軸受６Ａとして背面組み合わせ軸受を用いている。本実施形態では、第１軸受（背面組み合わせ軸受）６Ａが予圧機構を構成している。

　第１軸受（背面組み合わせ軸受）６Ａの外輪は、一方の角部がローラハウジング４１の段差４１Ａに当接し、他方の角部が外輪押え部材４１Ｃに当接することで、軸方向に挟持される。また、第１軸受（背面組み合わせ軸受）６Ａの内輪は、一方の角部がトーションバー４２の円盤部４２Ａの段差４２Ｄに当接し、他方の角部が内輪押え部材４２Ｅに当接することで、軸方向に挟持される。

　ここで、背面組み合わせ軸受や正面組み合わせ軸受等の組み合わせ軸受は、２つの軸受が組み合わされた状態で予圧設定がされており、実施形態３，４において説明した弾性部材による予圧が不要である。また、このような組み合わせ軸受を用いることで、回転精度が高いローラ１２ｄを得ることができる。

　図１６Ａは、実施形態５における外輪押え部材を図１５のＡ矢視方向に見た平面図である。図１６Ｂは、実施形態５における外輪押え部材を図１６ＡのＢ矢視方向に見た平面図である。なお、図１６Ａ，１６Ｂに示す例では、外輪押え部材４１Ｃを治具（図示せず）で保持するための治具穴４１Ｅを周方向に４等配した例を示しているが、治具穴４１Ｅの位置や数は、これに限るものではない。

　図１６Ａ，１６Ｂに示すように、外輪押え部材４１Ｃは、外周面に外ネジが設けられ、第１軸受（背面組み合わせ軸受）６Ａの外輪に当接する凸部４１Ｄが設けられた円環状の部材であり、治具（図示せず）に設けられた突起を治具穴４１Ｅに嵌め込み、外ネジをローラハウジング４１に設けられた内ネジに回し込むことで、凸部４１Ｄが第１軸受（背面組み合わせ軸受）６Ａの外輪に当接し、第１軸受（背面組み合わせ軸受）６Ａの外輪が軸方向に挟持される。

　図１７Ａは、実施形態５における内輪押え部材を図１５のＣ矢視方向に見た平面図の一例を示す図である。図１７Ｂは、実施形態５における内輪押え部材を図１７ＡのＤ矢視方向に見た平面図である。なお、図１７Ａ，１７Ｂに示す例では、内輪押え部材４２Ｅをネジ４２Ｆでトーションバー４２の円盤部４２Ａに固定するためのネジ穴４２Ｈを周方向に６等配した例を示しているが、ネジ穴４２Ｈの位置や数は、これに限るものではない。

　図１７Ａ，１７Ｂに示すように、内輪押え部材４２Ｅは、第１軸受（背面組み合わせ軸受）６Ａの内輪に当接する段差４２Ｇ及びネジ穴４２Ｈが設けられた円環状の部材であり、内輪押え部材４２Ｅとトーションバー４２とを複数本（ここでは、ネジ穴４２Ｈの数：６本）のネジ４２Ｆで固定することで、段差４２Ｇが第１軸受（背面組み合わせ軸受）６Ａの内輪に当接し、第１軸受（背面組み合わせ軸受）６Ａの内輪が軸方向に挟持される。

　このように、第１軸受６Ａとして、予圧設定された背面組み合わせ軸受等の組み合わせ軸受を用いることで、第２軸受７としては、例えば深溝玉軸受等のバックアップ用の軸受を用いればよい。

　また、第１軸受６Ａを背面組み合わせ軸受とすることで、軸方向及び径方向のガタツキが抑制されるので、第２軸受７の軸方向の位置に対する許容範囲は大きくなる。このため、必ずしもローラハウジング４１の段差４１Ｂと円盤部材４５の段差４５Ｃとで軸方向に挟持する必要はない。

　なお、図１５に示す例では、第１軸受を背面組み合わせ軸受とした例を示したが、第２軸受を背面組み合わせ軸受とした構成であっても良く、第１軸受及び第２軸受の双方を背面組み合わせ軸受とした構成であっても良いことは言うまでもない。また、予圧機構として用いる組み合わせ軸受としては、背面組み合わせ軸受に限るものではなく、例えば正面組み合わせ軸受であっても良い。背面組み合わせ軸受を用いた場合には、軸方向に働く曲げモーメントに対する剛性を高くすることが可能である。すなわち、ローラハウジングの軸方向中央部に対し回転軸ＡＸに直交する方向に加わるモーメント荷重に対して高い剛性を得ることができる。一方、曲げモーメントが大きい（例えば、ローラが軸方向に長い）と、軸受にかかる負荷が大きくなるため、軸方向に働く曲げモーメントに対する剛性が高い背面組み合わせ軸受では、寿命が短くなる可能性がある。従って、想定されるモーメント荷重によっては、背面組み合わせ軸受よりも軸方向に働く曲げモーメントに対する剛性が低い正面組み合わせ軸受を用いた方が、長寿命化に対して有利となる場合がある。

　以上説明したように、実施形態５に係るローラ１２ｄは、予圧機構として、第１軸受及び第２軸受の少なくとも一方を構成する組み合わせ軸受を用いている。この構成により、実施形態３，４のような弾性部材を用いた予圧機構を設ける必要がなく、メンテナンス性に優れた構成とすることができる。また、組み合わせ軸受を用いることで、回転精度が高いローラ１２ｄを得ることができる。

（実施形態６）
　図１８は、実施形態６に係るローラの一例を示す断面図である。なお、上述した実施形態１，２，３，４，５と同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

　本実施形態に係るローラ１３では、図１８に示すように、トーションバー４２の軸方向の一方端側の一部、より具体的には、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端と回転検出器３との間に、トーションバー４２の軸方向の他方端側、つまりトーションバー４２の開放端側の部分よりも、捩れ方向（回転軸ＡＸを中心軸とする回転方向）に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０が設けられている。

　トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端、及び、トーションバー４２の円筒部４２Ｂのモータ部２が設けられる部分については、捩れによる変形が見込めない。特に、ローラ１３の軸方向の長さ（全長）が短くなるほど、トーションバー４２の軸方向の長さも短くなるため、トーションバー４２の貫通シャフト４３に対する相対的な捩れ量、すなわち、トーションバー４２の開放端の角度変位（微小角度θ）が小さくなり、十分な精度を得られない場合がある。

　このため、本実施形態において、トーションバー４２は、軸方向の一方端側（トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端側）に、軸方向の他方端側（トーションバー４２の開放端側）よりも捩れ方向（回転軸ＡＸを中心軸とする回転方向）に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０を有する構成としている。

　図１９Ａは、捩れ剛性低下部の図１８に示すＡ－Ａ断面図の一例を示す図である。図１９Ｂは、捩れ剛性低下部の図１８に示すＡ－Ａ断面図の図１９Ａとは異なる一例を示す図である。図２０Ａは、捩れ剛性低下部を構成する穴部の一例を示す図である。図２０Ｂは、捩れ剛性低下部を構成する穴部の図２０Ａとは異なる一例を示す図である。図２０Ｃは、捩れ剛性低下部を構成する穴部の図２０Ａ，２０Ｂとは異なる一例を示す図である。図２０Ｄは、捩れ剛性低下部を構成する穴部の図２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃとは異なる一例を示す図である。図１９Ａ，１９Ｂ，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄでは、トーションバー４２の円筒部４２Ｂの外壁面から内壁面に達する穴部６１を複数設けて捩れ剛性低下部６０を構成する例を示している。

　図１９Ａに示す例では、図２０Ａに示す穴部６１が回転軸ＡＸを挟み対向配置された例を示している。また、図２０Ａに示す例では、穴部６１の形状を、軸方向の長さＬ１及び周方向の幅Ｗ１の軸方向に長い角丸長方形とした例を示したが、この穴部６１の軸方向両端部の半円部は、捩れ剛性低下部６０に回転方向の捩れが作用した際に、穴部６１の両端部に掛かる応力を分散する作用を有している。例えば、図２０Ｂに示すような矩形の穴部６１を設けても良いが、捩れ剛性低下部６０に回転方向の捩れが作用した際に、穴部６１の両端部に掛かる応力を分散させるために、図２０Ａに示すように、穴部６１の形状を軸方向に長い角丸長方形とした方がより好ましい。このようなトーションバー４２の円筒部４２Ｂの外壁面から内壁面に達する穴部６１を、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端と回転検出器３との間に設けることで、トーションバー４２の開放端側の部分よりも、捩れ方向（回転軸ＡＸを中心軸とする回転方向）に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０が構成される。

　また、図２０Ａ及び図２０Ｂでは、穴部６１の長軸方向（長手方向）が回転軸ＡＸ（軸方向）と一致した例を示したが、図２０Ｃに示すように、穴部６１の長軸方向（長手方向）が回転軸ＡＸ（軸方向）に対して所定角度α傾いた構成であっても良い。

　なお、穴部６１の態様は、図２０Ａ及び図２０Ｃに示すような軸方向に長い角丸長方形や、図２０Ｂに示す矩形以外の態様であってもよく、例えば、図２０Ｄに示すように、複数の円形状の穴６２で構成されていても良い。この穴部６１の態様により本発明が限定されるものではない。

　また、図１９Ａに示す例では、軸方向の長さＬ１及び周方向の幅Ｗ１が等しい同一形状の穴部６１が回転軸ＡＸを挟み対向配置された構成を示したが、図１９Ｂに示すように、軸方向の長さＬ１及び周方向の幅Ｗ１が等しい同一形状の穴部６１が周方向に３個均等配置された構成であっても良い。なお、図１９Ｂに示す例では、軸方向の長さＬ１及び周方向の幅Ｗ１が等しい同一形状の穴部６１が周方向に３個均等配置された構成を示したが、穴部６１の数はこれに限らず、軸方向の長さＬ１及び周方向の幅Ｗ１が等しい同一形状の穴部６１が周方向に４個以上の複数個均等配置された構成であっても良い。

　図２１は、実施形態６に係るローラの他の一例を示す断面図である。図２１に示すローラ１３ａでは、図１８に示す例における捩れ剛性低下部６０に代えて、捩れ剛性低下部６０ａを有する構成を示している。

　図２２は、捩れ剛性低下部の図２１に示すＢ－Ｂ断面図を示す図である。図２３Ａは、捩れ剛性低下部を構成するスリットの一例を示す図である。図２３Ｂは、捩れ剛性低下部を構成するスリットの図２３Ａとは異なる一例を示す図である。図２３Ｃは、捩れ剛性低下部を構成するスリットの図２３Ａ，２３Ｂとは異なる一例を示す図である。図２２，２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃに示す例では、トーションバー４２の円筒部４２Ｂの外壁面から内壁面に達するスリット６１ａを複数設けて捩れ剛性低下部６０ａを構成する例を示している。

　図２２に示す例では、図２３Ａに示すスリット６１ａが周方向に均等配置された例を示している。スリット６１ａは、実質的な周方向の幅Ｗ２が０以上（Ｗ２≧０）であれば良い。また、図２３Ａに示す例では、軸方向の長さＬ２及び周方向の幅Ｗ２のスリット６１ａの両端部に円形状の穴６２ａを設けた例を示したが、この穴６２ａは、捩れ剛性低下部６０ａに回転方向の捩れが作用した際に、スリット６１ａの両端部に掛かる応力を分散する作用を有している。例えば、図２３Ｂに示すように、スリット６１ａの両端部に円形状の穴６２ａを設けない構成であっても良いが、捩れ剛性低下部６０ａに回転方向の捩れが作用した際に、スリット６１ａの両端部に掛かる応力を分散させるために、図２３Ａに示すように、スリット６１ａの両端部に円形状の穴６２ａを設けた方がより好ましい。このようなトーションバー４２の円筒部４２Ｂの外壁面から内壁面に達するスリット６１ａを、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端と回転検出器３との間に設けることで、トーションバー４２の開放端側の部分よりも、捩れ方向（回転軸ＡＸを中心軸とする回転方向）に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０ａが構成される。

　また、図２３Ａ，２３Ｂに示す例では、スリット６１ａが回転軸ＡＸ（軸方向）と一致した例を示したが、図２３Ｃに示すように、スリット６１ａが回転軸ＡＸ（軸方向）に対して所定角度β傾いた構成であっても良い。

　なお、スリット６１ａの態様は、図２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃ以外の態様であってもよく、このスリット６１ａの態様により本発明が限定されるものではない。

　なお、図２２に示す例では、軸方向の長さＬ２及び周方向の幅Ｗ２が等しい同一形状のスリット６１ａが周方向に８個均等配置された構成を示したが、スリット６１ａの数はこれに限るものではなく、例えば、軸方向の長さＬ２及び周方向の幅Ｗ２が等しい同一形状のスリット６１ａが回転軸ＡＸを挟み対向配置された構成であっても良いし、軸方向の長さＬ２及び周方向の幅Ｗ２が等しい同一形状のスリット６１ａが周方向に３個以上均等配置された構成であっても良い。

　図２４は、実施形態６に係るローラの他の一例を示す断面図である。図２４に示すローラ１３ｂでは、図１８に示す例における捩れ剛性低下部６０に代えて、捩れ剛性低下部６０ｂを有する構成を示している。

　図２５は、捩れ剛性低下部の図２４に示すＣ－Ｃ矢示断面図を示す図である。図２６Ａは、捩れ剛性低下部を構成する薄肉部の一例を示す図である。図２６Ｂは、捩れ剛性低下部を構成する薄肉部の図２６Ａとは異なる一例を示す図である。図２５，２６Ａ，２６Ｂでは、トーションバー４２の径方向の厚さが軸方向の両端部よりも中央部が薄い薄肉部６１ｂで捩れ剛性低下部６０ｂを構成する例を示している。

　図２５に示す例では、図２６Ａに示す軸方向の長さＬ３の薄肉部６１ｂが周方向に均等に設けられた例を示している。また、図２６Ａに示す例では、薄肉部６１ｂの軸方向の中央部における円筒部４４Ｂの径方向の厚さＤ３が薄肉部６１ｂの軸方向の両端部よりも外側における円筒部４４Ｂの径方向の厚さＤ４よりも薄くなっている例を示している（Ｄ３＜Ｄ４）。また、図２６Ａに示す例では、薄肉部６１ｂの軸方向の両端部から中央部に向かい凹曲線状に傾斜した例を示したが、図２６Ａに示す薄肉部６１ｂの形状は、捩れ剛性低下部６０ｂに回転方向の捩れが作用した際に、薄肉部６１ｂの両端部に掛かる応力を分散する作用を有している。例えば、図２６Ｂに示すように、軸方向の長さＬ３の範囲内で径方向の厚さＤ３を均一としても良いが、捩れ剛性低下部６０ｂに回転方向の捩れが作用した際に、薄肉部６１ｂの両端部に掛かる応力を分散させるために、図２６Ａに示すように、薄肉部６１ｂの軸方向の両端部から中央部に向かい凹曲線状に傾斜した形状とした方がより好ましい。このような薄肉部６１ｂを、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端と回転検出器３との間に設けることで、トーションバー４２の開放端側の部分よりも、捩れ方向（回転軸ＡＸを中心軸とする回転方向）に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０ｂが構成される。

　なお、薄肉部６１ｂの態様は、図２６Ａ，２６Ｂ以外の態様であってもよく、薄肉部６１ｂの態様により本発明が限定されるものではない。

　上述したように、本実施形態において、ローラ１３，１３ａ，１３ｂは、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端と回転検出器３との間に、トーションバー４２の軸方向の他方端側、つまりトーションバー４２の開放端側の部分よりも、捩れ方向（回転軸ＡＸを中心軸とする回転方向）に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０，６０ａ，６０ｂが設けられている。これにより、例えば、軸方向の長さが比較的短い場合でも、トルク検出器５（第２の回転検出器）により検出されるトーションバー４２の開放端の角度変位（微小角度θ）の検出精度を向上させることができる。

　なお、捩れ剛性低下部６０，６０ａ，６０ｂの軸方向の長さ、すなわち、捩れ剛性低下部６０における穴部６１の軸方向の長さＬ１、捩れ剛性低下部６０ａにおけるスリット６１ａの軸方向の長さＬ２、あるいは、捩れ剛性低下部６０ｂにおける薄肉部６１ｂの軸方向の長さＬ３については、ローラ１３，１３ａ，１３ｂの軸方向の長さ（全長）や回転数、その他の使用条件に応じて適宜決定すれば良い。捩れ剛性低下部６０における穴部６１の周方向の幅Ｗ１や穴部６１の数、捩れ剛性低下部６０ａにおけるスリットの数、捩れ剛性低下部６０ｂにおける円筒部４４Ｂの厚さＤ３についても同様である。更に、捩れ剛性低下部６０における穴部６１と捩れ剛性低下部６０ｂにおける薄肉部６１ｂとを併用しても良いし、捩れ剛性低下部６０ａにおけるスリット６１ａと捩れ剛性低下部６０ｂにおける薄肉部６１ｂとを併用しても良い。

　（変形例１）
　図２７は、実施形態６の変形例１に係るローラの一例を示す断面図である。図２７に示すローラ１３ｃでは、回転検出器３をモータ部２とトルク検出部５との間に配置し、捩れ剛性低下部６０をトーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端とモータ部２との間に設けている。

　（変形例２）
　図２８は、実施形態６の変形例２に係るローラの一例を示す断面図である。図１３に示すローラ１３ｄでは、回転検出器３をトルク検出器５よりも軸方向の他方端側に設け、捩れ剛性低下部６０をトーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端とモータ部２との間に設けている。

　図２７に示す実施形態６の変形例１では、モータ部２を駆動したときの貫通シャフト４３に対する回転検出器３のレゾルバステータ３１の回転方向位置における捩れが図１８に示す例よりも大きくなるが、上述したように、モータ部２を駆動したときに回転検出器３により検出されるモータ部２の位置情報の変化範囲は、貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れに対して十分に大きいため、回転検出器３のトーションバー４２上における位置によって回転検出器３の検出精度に与える影響を無視することができる。

　また、図２８に示す実施形態６の変形例２では、回転検出器３のレゾルバステータ３１は、トーションバー４２よりも回転方向の剛性が大きい貫通シャフト４３に設けられる。このため、モータ部２を駆動したときの回転検出器３の検出精度が貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れによる影響を受けることがない。

　また、図２７及び図２８に示すローラ１３ｃ，１３ｄは、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端とモータ部２との間に、トーションバー４２の軸方向の他方端側、つまりトーションバー４２の開放端側の部分よりも、捩れ方向（回転軸ＡＸを中心軸とする回転方向）に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０が設けられている。これにより、例えば、軸方向の長さが比較的短い場合でも、トルク検出器５（第２の回転検出器）により検出されるトーションバー４２の開放端の角度変位（微小角度θ）の検出精度を向上させることができる。

　（変形例３）
　図２９は、実施形態６の変形例３に係るローラの一例を示す断面図である。図２９に示すローラ１３ｅでは、設備１００ａに対してインロウによる位置決めを行うための嵌合部４５Ａが円盤部材４５ａ側に設けられている。

　図２９に示す構成では、設備１００ａに調整孔１０２を開口することで、設備１００ａ側からナット４３Ｂにアクセス可能であり、予圧調整等のメンテナンス作業が容易となる。また、モータ部２、回転検出器３、及びトルク検出器５が軸方向の設備１００ａ側に寄せて配置されることで、ローラ１３ｅの軸方向の重心位置が設備１００ａ側に近い位置となり、設備１００ａとの接続部にかかる負荷を小さくすることができる。

　また、図２９に示すローラ１３ｅは、図２７に示すローラ１３ｃと同様に、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端とモータ部２との間に、トーションバー４２の軸方向の他方端側、つまりトーションバー４２の開放端側の部分よりも、捩れ方向（回転軸ＡＸを中心軸とする回転方向）に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０が設けられている。これにより、例えば、軸方向の長さが比較的短い場合でも、トルク検出器５（第２の回転検出器）により検出されるトーションバー４２の開放端の角度変位（微小角度θ）の検出精度を向上させることができる。

　なお、図２７，２８，２９に示す例では、捩れ剛性低下部６０を設ける例を示したが、捩れ剛性低下部６０に代えて、図２１に示すように、捩れ剛性低下部６０ａを設けても良いし、図２４に示すように、捩れ剛性低下部６０ｂを設けても良いことは言うまでもない。

　以上説明したように、実施形態６に係るローラ１３，１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１３ｅは、ステータ２１及び該ステータ２１の径方向外側に対向配置されて相対回転するロータ２２を含むモータ部２と、ロータ２２と共に回転する円筒状のローラハウジング４１と、ステータ２１が固定される筒状のトーションバー４２と、トーションバー４２の内壁との間に間隙を介して貫通され、トーションバー４２の軸方向の一方端を固定させる貫通シャフト４３と、軸方向にモータ部２を間に挟む位置に配置され、ローラハウジング４１を回転自在に支持する第１軸受６及び第２軸受７と、ローラハウジング４１の回転を検出する回転検出器３（第１の回転検出器）と、貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の軸方向の他方端の相対的な回転を検出するトルク検出器５（第２の回転検出器）と、を備えている。トーションバー４２は、軸方向の一方端側に、軸方向の他方端側よりも捩れ方向に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０，６０ａ，６０ｂを有している。

　この構成において、回転検出器３（第１の回転検出器）により検出されるモータ部２の位置情報と、トルク検出器５（第２の回転検出器）により検出されるトーションバー４２の軸方向の他方端の角度変位（微小角度θ）とを用いて、目標とする張力が得られるようなトルクとなるようにモータ部２を出力制御することで、帯状搬送物２００を適正張力で搬送するための張力制御が可能となる。これにより、張力検出用のローラが不要となり、フィルム搬送経路で使用する総ローラ数を減らすことが可能となる。また、トーションバー４２の軸方向の一方端側に、トーションバー４２の軸方向の他方端側の部分よりも、捩れ方向（回転軸ＡＸを中心軸とする回転方向）に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０，６０ａ，６０ｂを設けることで、トルク検出器５（第２の回転検出器）により検出されるトーションバー４２の開放端の角度変位（微小角度θ）の検出精度を向上させることができる。

　また、回転検出器３（第１の回転検出器）をモータ部２よりも軸方向の一方端側に設けた構成において、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端と回転検出器３との間に、トーションバー４２の軸方向の他方端側、つまりトーションバー４２の開放端側の部分よりも、捩れ方向（回転軸ＡＸを中心軸とする回転方向）に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０，６０ａ，６０ｂを設けることで、トルク検出器５（第２の回転検出器）により検出されるトーションバー４２の開放端の角度変位（微小角度θ）の検出精度を向上させることができる。

　また、回転検出器３（第１の回転検出器）をモータ部２とトルク検出器５（第２の回転検出器）との間に設けた構成において、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端とモータ部２との間に、トーションバー４２の軸方向の他方端側、つまりトーションバー４２の開放端側の部分よりも、捩れ方向（回転軸ＡＸを中心軸とする回転方向）に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０，６０ａ，６０ｂを設けることで、トルク検出器５（第２の回転検出器）により検出されるトーションバー４２の開放端の角度変位（微小角度θ）の検出精度を向上させることができる。

　また、回転検出器３（第１の回転検出器）をトルク検出器５（第２の回転検出器）よりも軸方向の他方端側に設けた構成において、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端とモータ部２との間に、トーションバー４２の軸方向の他方端側、つまりトーションバー４２の開放端側の部分よりも、捩れ方向（回転軸ＡＸを中心軸とする回転方向）に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０，６０ａ，６０ｂを設けることで、トルク検出器５（第２の回転検出器）により検出されるトーションバー４２の開放端の角度変位（微小角度θ）の検出精度を向上させることができる。

（実施形態７）
　図３０は、実施形態７に係るローラの一例を示す断面図である。なお、上述した実施形態１，２，３，４，５，６と同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

　本実施形態におけるローラ１３ｆでは、実施形態６の構成とは異なり、第２の回転検出器５によってトーションバー４２の開放端に対するローラハウジング４１の相対的な位置情報を検出する構成としている。

　図３０に示す例では、第２の回転検出器５がトーションバー４２の開放端に設けられ、第１の回転検出器３は、第２の回転検出器５に対し、モータ部２を挟んでトーションバー４２の固定端側に設けられている。より具体的には、第２の回転検出器５のレゾルバステータ５１がトーションバー４２の開放端に設けられ、第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１がモータ２よりもトーションバー４２の固定端寄りに設けられている。第１の回転検出器３のレゾルバロータ３２は、ロータ２２の内周面において第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１に対向する位置に設けられ、第２の回転検出器５のレゾルバロータ５２は、ロータ２２の内周面において第２の回転検出器５のレゾルバステータ５１に対向する位置に設けられている。

　また、図１５に示す例では、トーションバー４２の軸方向の一方端側の一部、より具体的には、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端と回転検出器３との間に、トーションバー４２の軸方向の他方端側、つまりトーションバー４２の開放端側の部分よりも、捩れ方向（回転軸ＡＸを中心軸とする回転方向）に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０が設けられている。

　本実施形態では、第１の回転検出器３により検出される位置情報と、第２の回転検出器５により検出される位置情報との差分をとり、この差分をトーションバー４２の回転方向の捩れによる角度変位（微小角度θ）としてトルクＴに換算する。これにより、実施形態１の（１）式に示す張力Ｆを求めることができる。すなわち、第１の回転検出器３により検出される位置情報と、第１の回転検出器３により検出されるモータ部２の位置情報と第２の回転検出器５により検出されるモータ部２の位置情報との差分とを用いて、目標とする張力が得られるようなトルクとなるようにモータ部２を出力制御することで、帯状搬送物２００を適正張力で搬送するための張力制御が可能となる。

　なお、実施形態６において、モータ部２を駆動したときに回転検出器３により検出されるモータ部２の位置情報の変化範囲は、貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れに対して十分に大きく、第１の回転検出器３を設ける軸方向の位置によって第１の回転検出器３の検出精度に与える影響は小さいものとして説明したが、本実施形態では、上述したように、第１の回転検出器３により検出される位置情報と、第２の回転検出器５により検出される位置情報との差分をとり、この差分をトーションバー４２の回転方向の捩れによる角度変位としてトルクＴに換算することを意図した構成である。このため、実施形態７における第１の回転検出器３及び第２の回転検出器５としては、実施形態６におけるトルク検出器５（第２の回転検出器）と同等の高分解能な回転検出器を用いることが好ましく、より具体的には、モータ部２の最大トルク発生時におけるトーションバー４２の捩れ量を１としたとき、１／１００よりも小さい分解能を有しているのが望ましい。

　また、図３０に示すローラ１３ｆは、上述したように、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端と回転検出器３との間に、トーションバー４２の軸方向の他方端側、つまりトーションバー４２の開放端側の部分よりも、捩れ方向（回転軸ＡＸを中心軸とする回転方向）に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０が設けられている。これにより、例えば、軸方向の長さが比較的短い場合でも、第１の回転検出器３により検出される位置情報と、第２の回転検出器５により検出される位置情報との差分、つまり、トーションバー４２の回転方向の捩れによる角度変位（微小角度θ）の検出精度を向上させることができる。

　（変形例１）
　図３１は、実施形態７の変形例１に係るローラの一例を示す断面図である。図３１に示すローラ１３ｇでは、第１の回転検出器３を図３０に示す例よりもトーションバー４２の固定端に近い位置に配置し、捩れ剛性低下部６０をモータ部２と第１の回転検出器３との間に設けている。

　（変形例２）
　図３２は、実施形態７の変形例２に係るローラの一例を示す断面図である。図３２に示すローラ１３ｈでは、第１の回転検出器３を第２の回転検出器５よりも軸方向の他方端側に設け、捩れ剛性低下部６０をトーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端とモータ部２との間に設けている。

　実施形態６において説明したように、モータ部２を駆動したときに第１の回転検出器３により検出されるモータ部２の位置情報の変化範囲は、貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れに対して十分に大きい。従って、第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１を貫通シャフト４３に配置した場合と等価と見做すことができる。すなわち、第１の回転検出器３は、貫通シャフト４３に対するローラハウジング４１の位置情報を検出しているものと見做すことができる。

　図３１に示す実施形態７の変形例１では、モータ部２を駆動したときの貫通シャフト４３に対する第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１の回転方向位置における捩れが図１に示す例よりも小さくなる。すなわち、モータ部２を駆動したときの貫通シャフト４３に対する第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１の回転方向位置における捩れによって第１の回転検出器３の検出精度に与える影響を小さくすることができ、第１の回転検出器３により検出される位置情報と第２の回転検出器５により検出される位置情報との差分を図３０に示す例よりも大きくすることができる。

　また、図３１に示すローラ１３ｇは、モータ部２と第１の回転検出器３との間に、トーションバー４２の軸方向の他方端側、つまりトーションバー４２の開放端側の部分よりも、捩れ方向（回転軸ＡＸを中心軸とする回転方向）に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０が設けられている。これにより、例えば、軸方向の長さが比較的短い場合でも、第１の回転検出器３により検出される位置情報と、第２の回転検出器５により検出される位置情報との差分、つまり、トーションバー４２の回転方向の捩れによる角度変位（微小角度θ）の検出精度を向上させることができる。

　図３２に示す実施形態７の変形例２では、第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１は、トーションバー４２よりも回転方向の剛性が大きい貫通シャフト４３に設けられる。このため、モータ部２を駆動したときの第１の回転検出器３の検出精度が貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れによる影響を受けることがなく、第１の回転検出器３により検出される位置情報と第２の回転検出器５により検出される位置情報との差分を図３１に示す例よりもさらに大きくすることができる。

　また、図３２に示すローラ１３ｈは、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端とモータ部２との間に、トーションバー４２の軸方向の他方端側、つまりトーションバー４２の開放端側の部分よりも、捩れ方向（回転軸ＡＸを中心軸とする回転方向）に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０が設けられている。これにより、例えば、軸方向の長さが比較的短い場合でも、第１の回転検出器３により検出される位置情報と、第２の回転検出器５により検出される位置情報との差分、つまり、トーションバー４２の回転方向の捩れによる角度変位（微小角度θ）の検出精度を向上させることができる。

　（変形例３）
　図３３は、実施形態７の変形例３に係るローラの一例を示す断面図である。図３３に示すローラ１３ｉでは、設備１００ａに対してインロウによる位置決めを行うための嵌合部４５Ａが円盤部材４５ａ側に設けられている。

　図３３に示す構成では、設備１００ａに調整孔１０２を開口することで、設備１００ａ側からナット４３Ｂにアクセス可能であり、メンテナンス作業が容易となる。また、モータ部２、回転検出器３、及びトルク検出器５が軸方向の設備１００ａ側に寄せて配置されることで、ローラ１３ｉの軸方向の重心位置が設備１００ａ側に近い位置となり、設備１００ａとの接続部にかかる負荷を小さくすることができる。

　また、図３３に示すローラ１３ｉは、図３０に示すローラ１３ｆと同様に、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端と回転検出器３との間に、トーションバー４２の軸方向の他方端側、つまりトーションバー４２の開放端側の部分よりも、捩れ方向（回転軸ＡＸを中心軸とする回転方向）に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０が設けられている。これにより、例えば、軸方向の長さが比較的短い場合でも、第１の回転検出器３により検出される位置情報と、第２の回転検出器５により検出される位置情報との差分、つまり、トーションバー４２の回転方向の捩れによる角度変位（微小角度θ）の検出精度を向上させることができる。

　なお、図３０，３１，３２，３３に示す例では、捩れ剛性低下部６０を設ける例を示したが、捩れ剛性低下部６０に代えて、実施形態６の図２１に示すように、捩れ剛性低下部６０ａを設けても良いし、実施形態６の図２４に示すように、捩れ剛性低下部６０ｂを設けても良いことは言うまでもない。

　以上説明したように、実施形態７に係るローラ１３ｆ，１３ｇ，１３ｈ，１３ｉは、ステータ２１及び該ステータ２１の径方向外側に対向配置されて相対回転するロータ２２を含むモータ部２と、ロータ２２と共に回転する円筒状のローラハウジング４１と、ステータ２１が固定される筒状のトーションバー４２と、トーションバー４２の内壁との間に間隙を介して貫通され、トーションバー４２の軸方向の一方端を固定させる貫通シャフト４３と、軸方向にモータ部２を間に挟む位置に配置され、ローラハウジング４１を回転自在に支持する第１軸受６及び第２軸受７と、ローラハウジング４１の回転を検出する第１の回転検出器３と、トーションバー４２の軸方向の他方端に対するローラハウジング４１の相対的な回転を検出する第２の回転検出器５と、を備えている。トーションバー４２は、軸方向の一方端側に、軸方向の他方端側よりも捩れ方向に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０，６０ａ，６０ｂを有している。

　この構成において、第１の回転検出器３により検出される位置情報と、第１の回転検出器３により検出されるモータ部２の位置情報と第２の回転検出器５により検出されるモータ部２の位置情報との差分とを用いて、目標とする張力が得られるようなトルクとなるようにモータ部２を出力制御することで、帯状搬送物２００を適正張力で搬送するための張力制御が可能となる。これにより、張力検出用のローラが不要となり、フィルム搬送経路で使用する総ローラ数を減らすことが可能となる。また、トーションバー４２の軸方向の一方端側に、トーションバー４２の軸方向の他方端側の部分よりも、捩れ方向（回転軸ＡＸを中心軸とする回転方向）に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０，６０ａ，６０ｂを設けることで、回転検出器３（第１の回転検出器）により検出される位置情報と、トルク検出器５（第２の回転検出器）により検出される位置情報との差分、つまり、トーションバー４２の回転方向の捩れによる角度変位（微小角度θ）の検出精度を向上させることができる。

　また、回転検出器３（第１の回転検出器）をモータ部２よりも軸方向の一方端側に設けた構成において、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端と回転検出器３（第１の回転検出器）との間に、トーションバー４２の軸方向の他方端側、つまりトーションバー４２の開放端側の部分よりも、捩れ方向（回転軸ＡＸを中心軸とする回転方向）に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０，６０ａ，６０ｂを設けることで、回転検出器３（第１の回転検出器）により検出される位置情報と、トルク検出器５（第２の回転検出器）により検出される位置情報との差分、つまり、トーションバー４２の回転方向の捩れによる角度変位（微小角度θ）の検出精度を向上させることができる。

　また、回転検出器３（第１の回転検出器）をモータ部２よりも軸方向の一方端側に設けた構成において、モータ部２と回転検出器３（第１の回転検出器）との間に、トーションバー４２の軸方向の他方端側、つまりトーションバー４２の開放端側の部分よりも、捩れ方向（回転軸ＡＸを中心軸とする回転方向）に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０，６０ａ，６０ｂを設けることで、回転検出器３（第１の回転検出器）により検出される位置情報と、トルク検出器５（第２の回転検出器）により検出される位置情報との差分、つまり、トーションバー４２の回転方向の捩れによる角度変位（微小角度θ）の検出精度を向上させることができる。

　また、回転検出器３（第１の回転検出器）をトルク検出器５（第２の回転検出器）よりも軸方向の他方端側に設けた構成において、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端とモータ部２との間に、トーションバー４２の軸方向の他方端側、つまりトーションバー４２の開放端側の部分よりも、捩れ方向（回転軸ＡＸを中心軸とする回転方向）に対する剛性が低い捩れ剛性低下部６０，６０ａ，６０ｂを設けることで、回転検出器３（第１の回転検出器）により検出される位置情報と、トルク検出器５（第２の回転検出器）により検出される位置情報との差分、つまり、トーションバー４２の回転方向の捩れによる角度変位（微小角度θ）の検出精度を向上させることができる。

　なお、上述した実施形態６，７では、第１軸受６及び第２軸受７に予圧を加える弾性部材として皿ばね４３Ｃを用いる例を示したが、皿ばね４３Ｃに代えて、圧縮コイルばねを用いても良いことは言うまでもない。弾性部材として圧縮コイルばねを用いることにより、弾性部材として皿ばね４３Ｃを用いた実施形態６，７に対し、高温環境下やローラ１３ｉの内部温度と外部温度との差が大きい場合でも、定圧予圧状態を維持することが可能となる。

（実施形態８）
　図３４は、実施形態８に係るローラの一例を示す断面図である。なお、上述した実施形態１，２，３，４，５，６，７と同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

　本実施形態に係るローラ１４では、モータ部２を駆動したときに発生する熱を吸収するために、貫通シャフト４３の内部に冷媒を通流するための冷却流路を構成する管路４３Ｃａが設けられている。

　この冷却流路が設けられる範囲は、少なくともトーションバー４２の円筒部４２Ｂにモータ部２が設けられた軸方向範囲を含んでいる。より具体的には、管路４３Ｃａは、貫通シャフト４３の端部に設けられた冷媒の注入口４３Ｄａ及び排出口４３Ｅに連通して設けられており、トーションバー４２の開放端付近で折り返している。すなわち、冷却流路を構成する管路４３Ｃａは、トーションバー４２の円筒部４２Ｂにモータ部２のステータ２１が設けられている軸方向の位置を含み、軸方向に延びている。注入口４３Ｄａには、冷媒の注入管（図示せず）が接続される。排出口４３Ｅには、冷媒の排出管（図示せず）が接続される。なお、冷媒の注入管と注入口４３Ｄａとの接続手法としては、例えば、注入口４３Ｄａの内周に設けられた内ネジに注入管をねじ込んで接続するようにすれば良い。また、冷媒の排出管と排出口４３Ｅとの接続手法としては、例えば、排出口４３Ｅの内周に設けられた内ネジに排出管をねじ込んで接続するようにすれば良い。これら注入管と注入口４３Ｄａとの接続手法、及び、排出管と排出口４３Ｅとの接続手法により、本発明が限定されるものではない。

　この構成において、注入口４３Ｄａから冷媒を注入することで、モータ部２で発生した熱を管路４３Ｃａで冷媒に吸収させ、吸熱した冷媒が排出口４３Ｅから排出される。これにより、モータ部２を駆動した際のモータ部２の発熱による温度上昇を抑制することができる。

　以上説明したように、実施形態８に係るローラ１４は、ステータ２１及び該ステータ２１の径方向外側に対向配置されて相対回転するロータ２２を含むモータ部２と、ロータ２２と共に回転する円筒状のローラハウジング４１と、ステータ２１が固定される筒状のトーションバー４２と、トーションバー４２の内壁との間に間隙を介して貫通され、トーションバー４２の軸方向の一方端を固定させる貫通シャフト４３と、軸方向にモータ部を間に挟む位置に配置され、ローラハウジング４１を回転自在に支持する第１軸受６及び第２軸受７と、を有し、少なくとも貫通シャフト４３の内部に冷媒を通流させるための冷却流路が設けられている。冷却経路が設けられるは、少なくともモータ部２が設けられた軸方向範囲を含む。冷却流路は、貫通シャフト４３に設けられた管路４３Ｃａを含んでいる。

　この構成において、管路４３Ｃａに冷媒を通流することで、モータ部２で発生した熱を管路４３Ｃａで冷媒に吸収させる。これにより、モータ部２の発熱による温度上昇を抑制することができるので、帯状搬送物２００（フィルム搬送装置におけるフィルム）の品質低下が抑制されると共に、適正な張力制御が可能となる。

（実施形態９）
　図３５は、実施形態９に係るローラの一例を示す断面図である。なお、上述した実施形態１，２，３，４，５，６，７，８と同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

　本実施形態におけるローラ１４ａでは、貫通シャフト４３に設けられた管路４３Ｃａに加え、トーションバー４２と貫通シャフト４３との間の第２間隙ｇ２を冷却流路とする構成としている。

　図３６は、実施形態９に係るローラにおける貫通シャフトを図３５のＡ矢視方向に見た平面図である。図３６に示すように、貫通シャフト４３の端部には、複数の冷媒の注入口４３Ｄａ、及び冷媒の排出口４３Ｅが設けられている。図３６に示す例では、回転軸ＡＸを中心として排出口４３Ｅを設け、その排出口４３Ｅの周囲に注入口４３Ｄａを６等配した例を示している。なお、注入口４３Ｄａ及び排出口４３Ｅの位置や数は、これに限るものではない。また、冷媒の注入管（図示せず）と注入口４３Ｄａとの接続手法、及び、冷媒の排出管（図示せず）と排出口４３Ｅとの接続手法としては、実施形態８と同様に、例えば、注入口４３Ｄａの内周に設けられた内ネジに注入管をねじ込んで接続し、排出口４３Ｅの内周に設けられた内ネジに排出管をねじ込んで接続するようにすれば良い。これら注入管と注入口４３Ｄａとの接続手法、及び、排出管と排出口４３Ｅとの接続手法により、本発明が限定されるものではない。

　図３７は、実施形態９に係るローラにおけるトーションバーを図３５のＡ矢視方向に見た平面図である。図３７に示すように、トーションバー４２の円盤部４２Ａには、貫通シャフト４３の端部に設けられた注入口４３Ｄａの軸方向位置に対応して、後述する貯留部４２Ｃａに連通する連通路４２Ｄａが設けられている。連通路４２Ｄａの周囲には、溝部４２Ｅａが設けられており、図３５に示すように、溝部４２Ｅａにシール部材であるＯリング４２Ｆａが取り付けられている。

　本実施形態において、管路４３Ｃａは、トーションバー４２の固定端から開放端に向けて軸方向に延びて設けられている。すなわち、冷却流路を構成する管路４３Ｃａは、トーションバー４２の円筒部４２Ｂにモータ部２のステータ２１が設けられている軸方向の位置を含み、軸方向に延びている。

　管路４３Ｃａは、トーションバー４２の固定端側で貫通シャフト４３の端部に設けられた排出口４３Ｅに連通している。また、管路４３Ｃａは、トーションバー４２の開放端側で第２間隙ｇ２に連通して設けられている。

　貫通シャフト４３は、トーションバー４２の開放端付近に周方向に溝部４３Ｆが設けられており、この溝部４３Ｆにシール部材であるＯリング４３Ｇが取り付けられている。

　また、貫通シャフト４３の直径は、Ｏリング４３Ｇの取り付け位置からトーションバー４２の固定端に至るまでの範囲でトーションバー４２の開放端よりも小さくなっている。これによって第２間隙ｇ２が大きくなり、冷媒流路が構成される。すなわち、冷却流路を構成する第２間隙ｇ２は、トーションバー４２の円筒部４２Ｂにモータ部２のステータ２１が設けられている軸方向の位置を含み、軸方向に延びている。

　トーションバー４２の円盤部４２Ａには、第２間隙ｇ２と連通する冷媒の貯留部４２Ｃａが設けられている。この貯留部４２Ｃａと、貫通シャフト４３の端部に設けられた注入口４３Ｄａとが、トーションバー４２の円盤部４２Ａに設けられた連通路４２Ｄａで連通している。

　この構成において、注入口４３Ｄａから冷媒を注入することで、モータ部２で発生した熱を第２間隙ｇ２及び管路４３Ｃａで冷媒に吸収させ、吸熱した冷媒が排出口４３Ｅから排出される。これにより、モータ部２を駆動した際のモータ部２の発熱による温度上昇を抑制することができる。

　本実施形態では、上述したように、第２間隙ｇ２を冷却流路としている。このため、モータ部２を構成するステータ２１のステータコア２１Ａが接するトーションバー４２の円筒部４２Ｂから効率良く吸熱することができる。これにより、実施形態１よりもモータ部２の冷却効果を高めることができ、モータ部２を駆動した際のモータ部２の発熱による温度上昇の抑制効果を高めることができる。

　以上説明したように、実施形態９に係るローラ１４ａは、貫通シャフト４３に設けられた管路４３Ｃａに加え、トーションバー４２と貫通シャフト４３との間の第２間隙ｇ２を冷却流路とする構成としている。これにより、貫通シャフト４３に設けられた管路４３Ｃａのみを冷却流路とした実施形態１よりも、モータ部２の冷却効果を高めることができ、モータ部２を駆動した際のモータ部２の発熱による温度上昇の抑制効果を高めることができる。

（実施形態１０）
　図３８は、実施形態１０に係るローラの一例を示す断面図である。なお、上述した実施形態１，２，３，４，５，６，７，８，９と同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

　本実施形態に係るローラ１５は、トーションバー４２とローラハウジング４１との間の空気をモータ部２の軸方向の一方端側の空間から他方端側の空間に通流させ、モータ部２で発生した熱を吸熱する吸熱経路と、吸熱経路においてモータ部２で発生した熱を吸熱した空気を排熱する排熱経路とが設けられている。また、本実施形態に係るローラ１５は、吸熱経路に第１円盤部（円盤部）４２Ｉが設けられている。

　第１円盤部４２Ｉは、トーションバー４２の固定端側に設けられている。第１円盤部４２Ｉの外径ｒ２は、トーションバー４２の円筒部４２Ｂの外径ｒ１よりも大きい（ｒ１＜ｒ２）。また、第１円盤部４２Ｉの外周面とローラハウジング４１の内周面との間に、第３間隙ｇ３が設けられている。

　本実施形態に係るローラ１５において、モータ部２は、第１円盤部４２Ｉと、トーションバー４２の開放端側に設けられた通流口４２Ｈａとの間に設けられている。

　なお、第１円盤部４２Ｉは、トーションバー４２と一体成型されていても良いし、トーションバー４２とは別の部材であっても良い。

　図３９は、実施形態１０に係るローラにおける貫通シャフトを図３８に示すＡ矢視方向に見た平面図である。図３９に示すように、貫通シャフト４３の端部には、複数の吸気口４３Ｄｂ、及び排気口４３Ｅａが設けられている。図３９に示す例では、回転軸ＡＸを中心として排気口４３Ｅａを設け、その排気口４３Ｅａの周囲に吸気口４３Ｄｂを６等配した例を示している。本実施形態では、吸引ポンプ（図示せず）を排気口４３Ｅａに接続し、吸引ポンプを作動させることによって内部の空気を排気する。なお、吸気口４３Ｄｂ及び排気口４３Ｅａの位置や数は、これに限るものではない。また、吸引ポンプと排気口４３Ｅａとの接続手法としては、例えば、排気口４３Ｅａの内周に設けられた内ネジに吸引ポンプの吸引管をねじ込んで接続するようにすれば良い。吸引ポンプと排気口４３Ｅａとの接続手法により、本発明が限定されるものではない。

　図４０は、実施形態１０に係るローラにおけるトーションバーを図３８に示すＡ矢視方向に見た平面図である。図４０に示すように、トーションバー４２には、貫通シャフト４３が挿通される貫通穴４２Ｋが設けられている。また、トーションバー４２の円盤部４２Ａには、貫通シャフト４３の端部に設けられた吸気口４３Ｄｂの軸方向位置に対応して、後述する吸気路４２Ｃｂが設けられている。なお、図３９及び図４０に示す例では、吸気路４２Ｃｂ及び吸気口４３Ｄｂが周方向に６個均等配置された構成を示したが、吸気路４２Ｃｂ及び吸気口４３Ｄｂの数はこれに限るものではなく、４個の吸気路４２Ｃｂ及び吸気口４３Ｄｂが均等配置された構成であっても良いし、２個、３個、５個あるいはそれ以上の吸気路４２Ｃｂ及び吸気口４３Ｄｂが均等配置された構成であっても良い。

　本実施形態において、排気路４３Ｃｂは、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端から開放端に向けて軸方向に延びて設けられている。すなわち、排熱経路を構成する排気路４３Ｃｂは、トーションバー４２の円筒部４２Ｂにモータ部２のステータ２１が設けられている軸方向の位置を含み、軸方向に延びている。

　排気路４３Ｃｂは、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端側で貫通シャフト４３の端部に設けられた排気口４３Ｅａに連通している。

　トーションバー４２の円盤部４２Ａには、吸気路４２Ｃｂが設けられている。この吸気路４２Ｃｂと、貫通シャフト４３の端部に設けられた吸気口４３Ｄｂとが連通している。

　図４１は、実施形態１０に係るローラの図３８に示すＢ－Ｂ矢示断面図である。上述したように、第１円盤部４２Ｉの外周面とローラハウジング４１の内周面との間には、第３間隙ｇ３が設けられている。

　図４２は、実施形態１０に係るローラの図３８に示すＣ－Ｃ矢示断面図である。図３８及び図４２に示すように、トーションバー４２は、トーションバー４２の開放端側に、貫通シャフト４３に設けられた排気路４３Ｃｂに連通する複数個の通流口４２Ｈａが設けられている。なお、図４２に示す例では、通流口４２Ｈａが周方向に６個均等配置された構成を示したが、通流口４２Ｈａの数はこれに限るものではなく、４個の通流口４２Ｈａが均等配置された構成であっても良いし、２個、３個、５個あるいはそれ以上の通流口４２Ｈａが均等配置された構成であっても良い。

　実施形態１０に係るローラ１５の構成において、吸熱経路は、吸気口４３Ｄｂ、吸気路４２Ｃｂ、第３間隙ｇ３を含み構成される。また、排熱経路は、通流口４２Ｈａ、排気路４３Ｃｂ、排気口４３Ｅａを含み構成される。

　上述した実施形態１０に係るローラ１５の構成において、排気口４３Ｅａに接続された吸引ポンプ（図示せず）を作動させると、吸気口４３Ｄｂから流入した空気は、吸気路４２Ｃｂ及び第３間隙ｇ３を介して、モータ部２に供給される。すなわち、本実施形態では、ローラハウジング４１の内周面と第１円盤部４２Ｉとの間に設けられた第３間隙ｇ３から、周方向の全周に亘り均一に空気がモータ部２に供給される。

　また、モータ部２に供給された空気は、トーションバー４２に設けられた通流口４２Ｈａ及び貫通シャフト４３に設けられた排気路４３Ｃｂを介して、排気口４３Ｅａから吸引排気される。本実施形態では、複数個の通流口４２Ｈａを周方向に均等配置することで、ローラハウジング４１内部の空気の圧力の偏りを抑制することができる。

　これにより、モータ部２を駆動した際にモータ部２で発生した熱を、周方向の全周に亘り均一化して吸熱することができ、モータ部２の発熱によるローラ１５の温度上昇を抑制することができる。

　なお、図３８に示す例では、回転検出器３とモータ部２との相互間の磁気干渉を防ぐ遮蔽板８を設けているが、回転検出器３とモータ部２とが相互間の磁気干渉による影響を受けない程度に離れて配置される場合には、遮蔽板８を設けなくても良い。また、磁気遮蔽効果を有する強磁性体の部材で支持部材４４を構成することで、トルク検出器５とモータ部２との相互間の磁気干渉を防ぐことが可能であり、図３８に示す例では、トルク検出器５とモータ部２との間には遮蔽板を設けていないが、支持部材４４を樹脂やアルミニウム等の部材で構成する場合には、トルク検出器５とモータ部２との間に遮蔽板を設けて相互間の磁気干渉を防ぐようにしても良い。

　また、図３８に示す例では、回転検出器３をモータ部２よりもトーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端側に配置した例を示しているが、モータ部２を駆動したときに回転検出器３により検出されるモータ部２の位置情報の変化範囲は、貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れに対して十分に大きく、回転検出器３を設ける軸方向の位置によって回転検出器３の検出精度に与える影響は小さい。このため、例えば、回転検出器３をモータ部２とトルク検出部５との間に配置しても良い。この場合、モータ部２を駆動したときの貫通シャフト４３に対する回転検出器３のレゾルバステータ３１の回転方向位置における捩れが図３８に示す例よりも大きくなるが、上述したように、モータ部２を駆動したときに回転検出器３により検出されるモータ部２の位置情報の変化範囲は、貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れに対して十分に大きいため、回転検出器３のトーションバー４２上における位置によって回転検出器３の検出精度に与える影響を無視することができる。あるいは、回転検出器３をトルク検出器５よりも軸方向の他方端側に配置しても良い。この場合、回転検出器３のレゾルバステータ３１は、トーションバー４２よりも回転方向の剛性が大きい貫通シャフト４３に設けられる。このため、モータ部２を駆動したときの回転検出器３の検出精度が貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れによる影響を受けることがない。

　（変形例）
　図４３は、実施形態１０の変形例に係るローラの一例を示す断面図である。なお、上述した図３８の構成と同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

　実施形態１０の変形例に係るローラ１５ａにおいて、吸熱経路及び排熱経路の構成については、図３８に示す例と同様である。

　図４３に示す例では、第２の回転検出器５によってトーションバー４２の開放端に対するローラハウジング４１の相対的な位置情報を検出する構成としている。

　図４３に示す例では、第２の回転検出器５がトーションバー４２の開放端に設けられ、第１の回転検出器３は、第２の回転検出器５に対し、モータ部２を挟んでトーションバー４２の固定端側に設けられている。より具体的には、第２の回転検出器５のレゾルバステータ５１がトーションバー４２の開放端に設けられ、第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１がモータ２よりもトーションバー４２の固定端寄りに設けられている。第１の回転検出器３のレゾルバロータ３２は、ロータ２２の内周面において第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１に対向する位置に設けられ、第２の回転検出器５のレゾルバロータ５２は、ロータ２２の内周面において第２の回転検出器５のレゾルバステータ５１に対向する位置に設けられている。

　実施形態１０の変形例では、第１の回転検出器３により検出される位置情報と、第２の回転検出器５により検出される位置情報との差分をとり、この差分をトーションバー４２の回転方向の捩れによる角度変位としてトルクＴに換算する。これにより、実施形態１の（１）式に示す張力Ｆを求めることができる。すなわち、第１の回転検出器３により検出される位置情報と、第１の回転検出器３により検出されるモータ部２の位置情報と第２の回転検出器５により検出されるモータ部２の位置情報との差分とを用いて、目標とする張力が得られるようなトルクとなるようにモータ部２を出力制御することで、帯状搬送物２００を適正張力で搬送するための張力制御が可能となる。

　なお、図３８に示す実施形態１０において、モータ部２を駆動したときに回転検出器３により検出されるモータ部２の位置情報の変化範囲は、貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れに対して十分に大きく、第１の回転検出器３を設ける軸方向の位置によって第１の回転検出器３の検出精度に与える影響は小さいものとして説明したが、図４３に示す変形例では、上述したように、第１の回転検出器３により検出される位置情報と、第２の回転検出器５により検出される位置情報との差分をとり、この差分をトーションバー４２の回転方向の捩れによる角度変位としてトルクＴに換算することを意図した構成である。このため、実施形態１０における第１の回転検出器３及び第２の回転検出器５としては、実施形態１におけるトルク検出器５（第２の回転検出器）と同等の高分解能な回転検出器を用いることが好ましく、より具体的には、モータ部２の最大トルク発生時におけるトーションバー４２の捩れ量を１としたとき、１／１００よりも小さい分解能を有しているのが望ましい。

　また、上述したように、モータ部２を駆動したときに第１の回転検出器３により検出されるモータ部２の位置情報の変化範囲は、貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れに対して十分に大きい。従って、第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１を貫通シャフト４３に配置した場合と等価と見做すことができる。すなわち、第１の回転検出器３は、貫通シャフト４３に対するローラハウジング４１の位置情報を検出しているものと見做すことができる。

　一方、図４３に示す実施形態１０の変形例では、第１の回転検出器３により検出される位置情報と第２の回転検出器５により検出される位置情報との差分が大きいほど、後段の制御精度を向上させることができる。このため、第１の回転検出器３を第２の回転検出器５よりも軸方向の他方端側に設けるのが好ましい。この場合、第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１は、トーションバー４２よりも回転方向の剛性が大きい貫通シャフト４３に設けられる。このため、モータ部２を駆動したときの第１の回転検出器３の検出精度が貫通シャフト４３に対するトーションバー４２の円筒部４２Ｂの相対的な捩れによる影響を受けることがない。このため、第１の回転検出器３により検出される位置情報と第２の回転検出器５により検出される位置情報との差分を大きくすることができる。

　以上説明したように、実施形態１０に係るローラ１５，１５ａは、ステータ２１及び該ステータ２１の径方向外側に第１間隙ｇ１を介し対向配置されて相対回転するロータ２２を含むモータ部２と、ロータ２２と共に回転する円筒状のローラハウジング４１と、ステータ２１が固定される筒状のトーションバー４２と、トーションバー４２の内壁との間に第２間隙ｇ２を介して貫通され、トーションバー４２の軸方向の一方端を固定させる貫通シャフト４３と、軸方向にモータ部２を間に挟む位置に配置され、ローラハウジング４１を回転自在に支持する第１軸受６及び第２軸受７と、を有している。また、トーションバー４２とローラハウジング４１との間の空気をモータ部２の軸方向の一方端側の空間から他方端側の空間に通流させ、モータ部２で発生した熱を吸熱する吸熱経路が設けられ、吸熱経路に、トーションバー４２よりも外径が大きい第１円盤部４２Ｉが設けられ、第１円盤部４２Ｉの外周面とローラハウジング４１の内周面との間に第３間隙ｇ３が設けられている。

　上記構成により、モータ部２を駆動した際にモータ部２で発生した熱を、吸熱経路内において周方向の全周に亘り均一化して吸熱することができ、モータ部２の発熱による温度上昇を抑制することができる。これにより、フィルム搬送装置におけるフィルムの品質低下が抑制されると共に、適正な張力制御が可能となる。

　また、実施形態１０に係るローラ１５，１５ａにおいて、第１円盤部４２Ｉは、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端側に設けられている。これにより、吸熱経路内のモータ部２に対し、周方向に均一に空気を供給することができ、モータ部２の発熱による温度上昇を抑制することができる。

　また、実施形態１０に係るローラ１５，１５ａにおいて、吸熱経路は、トーションバー４２に設けられた吸気路４２Ｃｂを含んでいる。吸気路４２Ｃｂは、周方向に複数個均等配置されて設けられている。貫通シャフト４３は、吸気路４２Ｃｂに連通する吸気口４３Ｄｂが設けられている。

　上記構成により、ローラハウジング４１内部の空気の圧力の偏りを抑制することができる。

　また、実施形態１０に係るローラ１５，１５ａは、吸熱経路においてモータ部２で発生した熱を吸熱した空気を排熱する排熱経路が設けられている。排熱経路は、貫通シャフト４３に設けられた排気路４３Ｃｂを含んでいる。貫通シャフト４３は、排気路４３Ｃｂに連通する排気口４３Ｅａが設けられている。

　この構成において、排気口４３Ｅａに吸引ポンプ（図示せず）を接続し、吸引ポンプ（図示せず）を作動させると、吸気路４２Ｃｂから流入した空気は、第３間隙ｇ３を介して、モータ部２が設けられたローラハウジング４１内部の空間に流入する。すなわち、本実施形態では、ローラハウジング４１の内周面と第１円盤部４２Ｉとの間に周方向の全周に亘り均一に設けられた第３間隙ｇ３から、周方向の全周に亘り均一に空気が流入し、貫通シャフト４３に設けられた排気路４３Ｃｂから吸引排気される。

　これにより、モータ部２を駆動した際にモータ部２で発生した熱を、ローラハウジング４１の周方向の全周に亘り均一に排熱することができ、モータ部２を駆動した際のモータ部２の発熱による温度上昇を抑制することができるので、帯状搬送物２００（フィルム搬送装置におけるフィルム）の品質低下が抑制されると共に、適正な張力制御が可能となる。

　また、複数個の通流口４２Ｈａを周方向に均等配置することで、ローラハウジング４１内部の空気の圧力の偏りを抑制することができる。

（実施形態１１）
　図４４は、実施形態１１に係るローラの一例を示す断面図である。なお、上述した実施形態１０と同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

　本実施形態に係るローラ１５ｂは、第１円盤部（円盤部）４２Ｉに加え、吸熱経路に第２円盤部（円盤部）４２Ｊが設けられている。

　第２円盤部４２Ｊは、トーションバー４２の開放端側に設けられている。第２円盤部４２Ｊの外径ｒ２’は、トーションバー４２の円筒部４２Ｂの外径ｒ１よりも大きく（ｒ１＜ｒ２’）、第２円盤部４２Ｊの外周面とローラハウジング４１の内周面との間に第４間隙ｇ４が設けられている。なお、第４間隙ｇ４の径方向の大きさΔｒ’は、第１円盤部（円盤部）４２Ｉの外周面とローラハウジング４１の内周面との間に設けられる第３間隙ｇ３の径方向の大きさΔｒと同一であっても良いし（Δｒ＝Δｒ’）、異なる大きさであっても良い（Δｒ≠Δｒ’）。

　本実施形態に係るローラ１５ｂにおいて、モータ部２は、第１円盤部４２Ｉと第２円盤部４２Ｊとの間に設けられている。

　なお、第２円盤部４２Ｊは、第１円盤部４２Ｉと同様に、トーションバー４２と一体成型されていても良いし、トーションバー４２とは別の部材であっても良い。

　本実施形態に係るローラ１５ｂにおいて、モータ部２は、トーションバー４２の固定端側に設けられた第１円盤部４２Ｉと、トーションバー４２の開放端側に設けられた第２円盤部４２Ｊとの間の空間に設けられている。

　図４５は、実施形態１１に係るローラの図４４に示すＣ’－Ｃ’矢示断面図である。上述したように、第２円盤部４２Ｊの外周面とローラハウジング４１の内周面との間には、第４間隙ｇ４が設けられている。

　実施形態１１に係るローラ１５ｂの構成において、吸熱経路は、吸気口４３Ｄｂ、吸気路４２Ｃｂ、第３間隙ｇ３、第４間隙ｇ４を含み構成される。また、排熱経路は、通流口４２Ｈａ、排気路４３Ｃｂ、排気口４３Ｅａを含み構成される。

　上述した実施形態１１に係るローラ１５ｂの構成において、排気口４３Ｅａに接続された吸引ポンプ（図示せず）を作動させると、吸気口４３Ｄｂから流入した空気は、吸気路４２Ｃｂ及び第３間隙ｇ３を介して、モータ部２が設けられたローラハウジング４１内部の空間に流入する。

　また、第１円盤部４２Ｉと第２円盤部４２Ｊとの間の空間の空気は、第４間隙ｇ４、トーションバー４２に設けられた通流口４２Ｈａ、及び貫通シャフト４３に設けられた排気路４３Ｃｂを介して、排気口４３Ｅａから吸引排気される。すなわち、本実施形態では、ローラハウジング４１の内周面と第２円盤部４２Ｊとの間に周方向の全周に亘り均一に設けられた第４間隙ｇ４から、周方向の全周に亘り均一に空気が吸引排気される。

　これにより、第１円盤部４２Ｉと第２円盤部４２Ｊとの間の空間に設けられたモータ部２で発生した熱を、周方向の全周に亘り均一に吸排熱することができ、より効率的にモータ部２を駆動した際のモータ部２の発熱によるローラ１５ｂの温度上昇を抑制することができる。

　以上説明したように、実施形態１１に係るローラ１５ｂは、第１円盤部（円盤部）４２Ｉに加え、トーションバー４２の開放端側に、トーションバー４２よりも外径が大きい第２円盤部４２Ｊが設けられ、第１円盤部４２Ｉの外周面とローラハウジング４１の内周面との間に第４間隙ｇ４が設けられている。

　これにより、第１円盤部４２Ｉと第２円盤部４２Ｊとの間の空間に設けられたモータ部２で発生した熱を、周方向の全周に亘り均一に吸排熱することができ、実施形態１よりも効率的にモータ部２を駆動した際のモータ部２の発熱によるローラ１５ｂの温度上昇を抑制することができるので、帯状搬送物２００（フィルム搬送装置におけるフィルム）の品質低下がより抑制されると共に、より適正な張力制御が可能となる。

（実施形態１２）
　図４６は、実施形態１２に係るローラの一例を示す断面図である。なお、上述した実施形態１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１と同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

　本実施形態に係るローラ１６では、ローラハウジング４１の外周面に沿って、円筒状の外筒ローラ９が設けられている。図４６に示す例では、実施形態１の図１に示す構成に対して、外筒ローラ９を設けた例を示している。なお、図４６に示す例において、設備との取り付け面は、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端側の面となる。

　図４６に示すように、外筒ローラ９は、ローラハウジング４１の外周面に沿って設けられる円筒部９１と、ローラハウジング４１のトーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端側に当接して設けられる円盤部９２とを含み、ネジ穴４３Ｄｃにネジ１０１が軸方向にねじ込まれることで、回り止め且つ抜け止めされてローラハウジング４１と外筒ローラ９の円盤部９２とが固定される。ローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面の構成については後述する。

　ローラハウジング４１の内周面には、モータ部２のステータ２１に対向する位置にモータ部２のロータ２２が設けられ、回転検出器３のレゾルバステータ３１に対向する位置に回転検出器３のレゾルバロータ３２が設けられている。

　なお、図４６に示す例では、回転検出器３をモータ部２よりもトーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端側に配置した例を示している。

　図４７Ａは、実施形態１２に係るローラのロータハウジングと外筒ローラとのはめ合わせ部の構成例を示す図である。図４７Ｂは、実施形態１２に係るローラのロータハウジングと外筒ローラとのはめ合わせ部の図４７Ａとは異なる構成例を示す図である。図４７Ｃは、実施形態１２に係るローラのロータハウジングと外筒ローラとのはめ合わせ部の図４７Ａ，４７Ｂとは異なる構成例を示す図である。図４７Ｄは、実施形態１２に係るローラのロータハウジングと外筒ローラとのはめ合わせ部の図４７Ａ，４７Ｂ，４７Ｃとは異なる構成例を示す図である。図４７Ｅは、実施形態１２に係るローラのロータハウジングと外筒ローラとのはめ合わせ部の図４７Ａ，４７Ｂ，４７Ｃ，４７Ｄとは異なる構成例を示す図である。

　上述したように、本実施形態では、ローラハウジング４１の外周面に沿って、円筒状の外筒ローラ９が設けられている。この外筒ローラ９は、ローラハウジング４１に対して着脱可能に設けられ、ロータ２２と共に回転する。本実施形態に係るローラ１６は、ローラハウジング４１に対して着脱可能な外筒ローラ９を設けることで、帯状搬送物の種類に応じた外筒ローラ９に交換可能となる。また、帯状搬送物との接触面の摩耗や構造物の破損等が生じたとき、外筒ローラ９を交換することで対応可能であり、メンテナンス性の高いローラ１６を得ることができる。この外筒ロータ９をローラハウジング４１にはめ合わせさせる際、ローラハウジング４１と外筒ロータ９との間の軸方向のガタツキを抑制する必要がある。

　ローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面は、例えば、図４７Ａに示すように、軸方向の全区間がトーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端に向かい小径となるテーパー形状を呈する構成であっても良い。

　また、ローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面は、例えば、図４７Ｂに示すように、軸方向の少なくとも一部区間（図４７Ｂに示す例では、区間Ｂ）がトーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端に向かい小径となるテーパー形状を呈する構成であっても良い。

　図４７Ｂに示す例では、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端側の区間Ａにおけるローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面の直径ｒ１は、トーションバー４２の開放端側の区間Ｃにおけるローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面の直径ｒ２よりも小さく、区間Ａと区間Ｃとの間の区間Ｂにおいて、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端に向かい小径となるテーパー形状を呈している例を示しているが、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端に向かい小径となるテーパー形状を呈する区間は、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端側の区間Ａであっても良いし、トーションバー４２の開放端側の区間Ｃであっても良い。

　また、ローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面は、例えば、図４７Ｃに示すように、ローラハウジング４１の外周面の軸方向の所定位置に設けられた段差部４１ａと外筒ローラ９の円筒部９１の内周面の軸方向の所定位置に設けられた段差部９１ａとが軸方向にはめ合う構成であっても良い。

　図４７Ｃに示す例では、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端側の区間Ｄにおけるローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面の直径ｒ３は、トーションバー４２の開放端側の区間Ｅにおけるローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面の直径ｒ４よりも小さくなっている例を示している。すなわち、図４７Ｃに示すように、ローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面の軸方向の一部区間（図４７Ｃに示す例では、区間Ｄ）の直径ｒ３は、他区間（図４７Ｃに示す例では、区間Ｅ）の直径ｒ４とは異なる構成であっても良い。

　また、ローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面は、例えば、図４７Ｄに示すように、ローラハウジング４１の外周面の軸方向の所定位置に設けられた段差部４１ａ１と外筒ローラ９の円筒部９１の内周面の軸方向の所定位置に設けられた段差部９１ａ１とが軸方向にはめ合うと共に、ローラハウジング４１の外周面の軸方向の所定位置に設けられた段差部４１ａ２と外筒ローラ９の円筒部９１の内周面の軸方向の所定位置に設けられた段差部９１ａ２とが軸方向にはめ合う構成であっても良い。

　図４７Ｄに示す例では、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端側の区間Ｆにおけるローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面の直径ｒ３と、トーションバー４２の開放端側の区間Ｈにおけるローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面の直径ｒ３とが等しく、区間Ｆと区間Ｈとの間の区間Ｇにおいて、ローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面の直径ｒ４が区間Ｆ及び区間Ｈにおけるローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面の直径ｒ３よりも大きくなっている例を示している。すなわち、図４７Ｄに示す例では、ローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面の軸方向の一部区間（図４７Ｄに示す例では、区間Ｇ）の直径ｒ４は、他区間（図４７Ｄに示す例では、区間Ｆ及び区間Ｈ）の直径ｒ３よりも大きい。

　また、図４７Ｅに示す例では、ローラハウジング４１の外周面の軸方向の所定位置に設けられた段差部４１ａ３と外筒ローラ９の円筒部９１の内周面の軸方向の所定位置に設けられた段差部９１ａ３とが軸方向にはめ合うと共に、ローラハウジング４１の外周面の軸方向の所定位置に設けられた段差部４１ａ４と外筒ローラ９の円筒部９１の内周面の軸方向の所定位置に設けられた段差部９１ａ４とが軸方向にはめ合う構成であり、トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端側の区間Ｆにおけるローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面の直径ｒ３と、トーションバー４２の開放端側の区間Ｈにおけるローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面の直径ｒ３とが等しく、区間Ｆと区間Ｈとの間の区間Ｇにおいて、ローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面の直径ｒ５が区間Ｆ及び区間Ｈにおけるローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面の直径ｒ３よりも小さくなっている例を示している。すなわち、図４７Ｅに示す例では、ローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面の軸方向の一部区間（図４７Ｅに示す例では、区間Ｇ）の直径ｒ５は、他区間（図４７Ｅに示す例では、区間Ｆ及び区間Ｈ）の直径ｒ３よりも小さい。

　つまり、図４７Ｄ及び図４７Ｅに示すように、ローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面の軸方向の一部区間（図４７Ｄ，４７Ｅに示す例では、区間Ｇ）の直径ｒ４，ｒ５は、他区間（図４７Ｄ，４７Ｅに示す例では、区間Ｆ及び区間Ｈ）の直径ｒ３とは異なる構成であっても良い。

　上述したように、ローラハウジング４１と外筒ローラ９の円筒部９１とのはめ合わせ面を、図４７Ａ，４７Ｂ，４７Ｃ，４７Ｄ，４７Ｅに示す各構成例とすることで、ローラハウジング４１と外筒ロータ９との間の軸方向のガタツキを抑制することができる。

　（変形例１）
　図４８は、実施形態１２の変形例１に係るローラの一例を示す断面図である。図４８に示す例では、実施形態１の図４に示す構成に対して、外筒ローラ９を設けた例を示している。すなわち、図４８に示すローラ１６ａでは、回転検出器３をモータ部２とトルク検出部５との間に配置している。

　（変形例２）
　図４９は、実施形態１２の変形例２に係るローラの一例を示す断面図である。図４９に示す例では、実施形態１の図５に示す構成に対して、外筒ローラ９を設けた例を示している。すなわち、図４９に示すローラ１６ｂでは、回転検出器３をトルク検出器５よりも軸方向の他方端側に設けている。

　（変形例３）
　図５０は、実施形態１２の変形例３に係るローラの一例を示す断面図である。図５０に示す例では、実施形態１の図６に示す構成に対して、外筒ローラ９を設けた例を示している。図５０に示すローラ１６ｃでは、設備との取り付け面は、トーションバー４２の開放端側の面となる。

　円盤部材４５ａには、ネジで設備に固定するためのネジ穴４５Ｂが設けられている。

　図５０に示す構成では、設備に調整孔を開口することで、設備側からナット４３Ｂにアクセス可能であり、メンテナンス作業が容易となる。また、モータ部２、回転検出器３、及びトルク検出器５が軸方向の設備側に寄せて配置されることで、ローラ１６ｃの軸方向の重心位置が設備側に近い位置となり、設備との接続部にかかる負荷を小さくすることができる。

　また、図５０に示す構成では、設備との取り付け面（トーションバー４２の開放端側の面）とは反対側の面（トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端側の面）で、ローラハウジング４１と外筒ローラ９の円盤部９２とが固定される。このため、設備からローラ１６ｃを取り外すことなく、外筒ローラ９の交換作業が可能となる。この構成によって、よりメンテナンス性の高いローラ１６ｃを得ることができる。

　（変形例４）
　図５１は、実施形態１２の変形例４に係るローラの一例を示す断面図である。図５１に示す例では、実施形態２の図７に示す構成に対して、外筒ローラ９を設けた例を示している。すなわち、図５１に示すローラ１６ｄでは、第２の回転検出器５がトーションバー４２の開放端に設けられ、第１の回転検出器３は、第２の回転検出器５に対し、モータ部２を挟んでトーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端側に設けられている。より具体的には、第２の回転検出器５のレゾルバステータ５１がトーションバー４２の開放端に設けられ、第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１がモータ２よりもトーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端寄りに設けられている。第１の回転検出器３のレゾルバロータ３２は、ロータ２２の内周面において第１の回転検出器３のレゾルバステータ３１に対向する位置に設けられ、第２の回転検出器５のレゾルバロータ５２は、ロータ２２の内周面において第２の回転検出器５のレゾルバステータ５１に対向する位置に設けられている。

　（変形例５）
　図５２は、実施形態１２の変形例５に係るローラの一例を示す断面図である。図５２に示す例では、実施形態２の図８に示す構成に対して、外筒ローラ９を設けた例を示している。すなわち、図５２に示すローラ１６ｅでは、第１の回転検出器３を図５１に示す例よりもトーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端に近い位置に配置している。

　（変形例６）
　図５３は、実施形態１２の変形例６に係るローラの一例を示す断面図である。図５３に示す例では、実施形態２の図９に示す構成に対して、外筒ローラ９を設けた例を示している。すなわち、図５３に示すローラ１６ｆでは、第１の回転検出器３を第２の回転検出器５よりも軸方向の他方端側に設けている。

　（変形例７）
　図５４は、実施形態１２の変形例７に係るローラの一例を示す断面図である。図５４に示す例では、実施形態２の図１０に示す構成に対して、外筒ローラ９を設けた例を示している。なお、図５４に示す例において、設備との取り付け面は、トーションバー４２の開放端側の面となる。

　図５４に示すローラ１６ｇにおいて、円盤部材４５ａには、ネジで設備に固定するためのネジ穴４５Ｂが設けられている。

　図５４に示す構成では、設備に調整孔を開口することで、設備側からナット４３Ｂにアクセス可能であり、メンテナンス作業が容易となる。また、モータ部２、回転検出器３、及びトルク検出器５が軸方向の設備側に寄せて配置されることで、ローラ１６ｇの軸方向の重心位置が設備側に近い位置となり、設備との接続部にかかる負荷を小さくすることができる。

　また、図５４に示す構成では、設備との取り付け面（トーションバー４２の開放端側の面）とは反対側の面（トーションバー４２と貫通シャフト４３との固定端側の面）で、ローラハウジング４１と外筒ローラ９の円盤部９２とが固定される。このため、設備からローラ１６ｇを取り外すことなく、外筒ローラ９の交換作業が可能となる。この構成によって、よりメンテナンス性の高いローラ１６ｇを得ることができる。

　以上説明したように、実施形態１２に係るローラ１６，１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅ，１６ｆ，１６ｇは、ステータ２１及び該ステータ２１の径方向外側に対向配置されて相対回転するロータ２２を含むモータ部２と、ロータ２２と共に回転する円筒状のローラハウジング４１と、ステータ２１が固定される筒状のトーションバー４２と、トーションバー４２の内壁との間に第１間隙ｇ１を介して貫通され、トーションバー４２の軸方向の一方端を固定させる貫通シャフト４３と、軸方向にモータ部２を間に挟む位置に配置され、ローラハウジング４１を回転自在に支持する第１軸受６及び第２軸受７と、ローラハウジング４１の外周面に沿って着脱可能に設けられ、ロータ２２と共に回転する円筒状の外筒ローラ９と、を有している。

　上記構成により、外筒ローラ９を交換することで多様な帯状搬送物２００に対応可能となる。また、帯状搬送物２００との接触面の摩耗や構造物の破損等が生じたとき、外筒ローラ９を交換することで対応可能となり、メンテナンス性の高いローラ１６，１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅ，１６ｆ，１６ｇを得ることができる。

　また、外筒ローラ９は、ローラハウジング４１と回り止め且つ抜け止めされて軸方向にはめ合わされていると共に、軸方向の一方端がローラハウジング４１に固定されている。

　上記構成により、ローラハウジング４１と外筒ロータ９との間の軸方向のガタツキを抑制することができる。

　なお、上述した各実施形態では、回転検出器としてレゾルバを用いる例について説明した。レゾルバのような磁気式センサは、振動に強く、また、高温環境下での用途に適しているが、より高精度な制御を行う必要がある場合には、回転検出器として光学式のエンコーダを用いても良いことはいうまでもない。

　また、上述した各実施形態では、モータ部に永久磁石を用いたＰＭ（Ｐｅｒｍａｎｅｎｔ　Ｍａｇｎｅｔ）型のモータを用いる例について説明したが、ＶＲ（Ｖａｒｉａｂｌｅ　Ｒｅｌｕｃｔａｎｃｅ）型モータを用いた構成であっても良い。ＰＭ型モータは、より滑らかな回転が可能であるが、高温環境下での用途としては、ＶＲ型モータが適しており、モータ部としてＶＲ型のモータを用いても良いことはいうまでもない。

　また、回転検出器としてレゾルバを用いる場合には、レゾルバの歯数をモータ部の歯数と合わせることで、起動時における磁極位置推定動作を省略することができる。

　上述したように、実施形態に係るローラを用いることで、張力検出用のローラを用いることなく帯状搬送物２００の張力制御が可能となるので、この実施形態に係るモータは、例えば、フレキシブル基板や曲面ディスプレイに用いられる液晶フィルムあるいは有機ＥＬフィルム等の高機能フィルムの製造に用いられるフィルム搬送装置に用いるのに適している。

　１１，１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ，１１ｅ，１１ｆ，１１ｇ　ローラ
　１２，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ　ローラ
　１３，１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１３ｅ，１３ｆ，１３ｇ　ローラ
　１４，１４ａ　ローラ
　１５，１５ａ，１５ｂ　ローラ
　１６，１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅ，１６ｆ，１６ｇ　ローラ
　２　モータ部
　３　回転検出器（第１の回転検出器）
　４　ハウジング
　５　トルク検出器（第２の回転検出器）
　６　第１軸受（軸受）
　７　第２軸受（軸受）
　８　遮蔽板
　２１　ステータ
　２１Ａ　ステータコア
　２１Ｂ　コイル
　２２　ロータ
　３１　レゾルバステータ
　３２　レゾルバロータ
　４１　ローラハウジング
　４１Ａ　段差
　４１ａ，４１ａ１，４１ａ２，４１ａ３，４１ａ４　段差部（ローラハウジング）
　４１Ｂ　段差
　４１Ｃ　外輪押え部材
　４１Ｄ　凸部
　４１Ｅ　治具穴
　４２　トーションバー
　４２Ａ　円盤部
　４２Ｂ　円筒部
　４２Ｃ　ネジ穴
　４２Ｃａ　貯留部
　４２Ｃｂ　吸気路
　４２Ｄ　段差
　４２Ｄａ　連通路
　４２Ｅ　内輪押え部材
　４２Ｅａ　溝部
　４２Ｆ　ネジ
　４２Ｆａ　Ｏリング（シール部材）
　４２Ｇ　段差
　４２Ｈ　ネジ穴
　４２Ｈａ　通流口
　４２Ｉ　第１円盤部（円盤部）
　４２Ｊ　第２円盤部（円盤部）
　４２Ｋ　貫通穴
　４３　貫通シャフト
　４３Ａ　嵌合部
　４３Ｂ　ナット（調整部材）
　４３Ｃ　皿ばね（弾性部材）
　４３Ｃａ　管路
　４３Ｃｂ　排気路
　４３Ｄ　圧縮コイルばね（弾性部材）
　４３Ｄａ　注入口
　４３Ｄｂ　吸気口
　４３Ｄｃ　ネジ穴
　４３Ｅ　排出口
　４３Ｅａ　排気口
　４３Ｆ　溝部
　４３Ｇ　Ｏリング（シール部材）
　４４　支持部材
　４４Ａ　円盤部
　４４Ｂ　円筒部
　４５，４５ａ　円盤部材
　４５Ａ　嵌合部
　４５Ｂ　ネジ穴
　４５Ｃ　段差
　５１　レゾルバステータ
　５２　レゾルバロータ
　６０，６０ａ，６０ｂ　捩れ剛性低下部
　６１　穴部
　６１ａ　スリット
　６１ｂ　薄肉部
　６２，６２ａ　穴
　９１　円筒部（外筒ローラ）
　９１ａ，９１ａ１，９１ａ２，９１ａ３，９１ａ４　段差部（外筒ローラ）
　９２　円盤部（外筒ローラ）
　１００，１００ａ　設備
　１０１　ネジ
　１０２　調整孔
　２００　帯状搬送物
　ＡＸ　回転軸
　ｇ１　第１間隙
　ｇ２　第２間隙
　ｇ３　第３間隙
　ｇ４　第４間隙

Claims

　ステータ及び該ステータの径方向外側に対向配置されて相対回転するロータを含むモータ部と、
　前記ロータと共に回転する円筒状のローラハウジングと、
　前記ステータが固定される筒状のトーションバーと、
　前記トーションバーの内壁との間に間隙を介して貫通され、前記トーションバーの軸方向の一方端を固定させる貫通シャフトと、
　軸方向に前記モータ部を間に挟む位置に配置され、前記ローラハウジングを回転自在に支持する軸受と、
　を有する、
　ローラ。
　前記ローラハウジングの回転を検出する第１の回転検出器と、
　前記貫通シャフトに対する前記トーションバーの軸方向の他方端の相対的な回転を検出する第２の回転検出器と、
　を有する、
　請求項１に記載のローラ。
　前記第１の回転検出器は、前記モータ部よりも軸方向の一方端側に設けられた、
　請求項２に記載のローラ。
　前記第１の回転検出器は、前記モータ部と前記第２の回転検出器との間に設けられた、
　請求項２に記載のローラ。
　前記第１の回転検出器は、前記第２の回転検出器よりも軸方向の他方端側に設けられた、
　請求項２に記載のローラ。
　前記トーションバーは、軸方向の一方端側に、軸方向の他方端側よりも捩れ方向に対する剛性が低い捩れ剛性低下部を有する、
　請求項２に記載のローラ。
　前記ローラハウジングの回転を検出する第１の回転検出器と、
　前記トーションバーの軸方向の他方端に対する前記ローラハウジングの相対的な回転を検出する第２の回転検出器と、
　を有する、
　請求項１に記載のローラ。
　前記第１の回転検出器は、前記モータ部よりも軸方向の一方端側に設けられた、
　請求項７に記載のローラ。
　前記第１の回転検出器は、前記第２の回転検出器よりも軸方向の他方端側に設けられた、
　請求項７に記載のローラ。
　前記トーションバーは、軸方向の一方端側に、軸方向の他方端側よりも捩れ方向に対する剛性が低い捩れ剛性低下部を有する、
　請求項７に記載のローラ。
　前記軸受は、軸方向に前記モータ部を間に挟む位置に配置される第１軸受及び第２軸受を含み、
　前記第１軸受及び前記第２軸受の少なくとも一方に予圧を加える予圧機構を有する、
　請求項１から請求項１０の何れか一項に記載のローラ。
　少なくとも前記貫通シャフトの内部に冷媒を通流させるための冷却流路が設けられている、
　請求項１から請求項１１の何れか一項に記載のローラ。
　前記ロータは、前記ステータの径方向外側に第１間隙を介して対向配置され、
　前記貫通シャフトは、前記トーションバーの内壁との間に第２間隙を介して貫通され、
　前記トーションバーと前記ローラハウジングとの間の空気を前記モータ部の軸方向の一方端側の空間から他方端側の空間に通流させ、前記モータ部で発生した熱を吸熱する吸熱経路が設けられ、
　前記吸熱経路に、前記トーションバーよりも外径が大きい円盤部が設けられ、
　前記円盤部の外周面と前記ローラハウジングの内周面との間に所定の間隙が設けられている、
　請求項１から請求項１１の何れか一項に記載のローラ。
　前記ローラハウジングの外周面に沿って着脱可能に設けられ、前記ロータと共に回転する円筒状の外筒ローラを有する、
　請求項１から請求項１３の何れか一項に記載のローラ。
　前記第１の回転検出器及び前記第２の回転検出器の少なくとも一方はレゾルバである、　請求項１から請求項１４の何れか一項に記載のローラ。