WO2017001456A1 - Device for manipulating a tool and/or a workpiece - Google Patents

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WO2017001456A1
WO2017001456A1 PCT/EP2016/065104 EP2016065104W WO2017001456A1 WO 2017001456 A1 WO2017001456 A1 WO 2017001456A1 EP 2016065104 W EP2016065104 W EP 2016065104W WO 2017001456 A1 WO2017001456 A1 WO 2017001456A1
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WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
support arm
tool
workpiece
fluid
receptacle
Prior art date
Application number
PCT/EP2016/065104
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Oliver SCHMIDT-SCHWAN
Original Assignee
Dürr Ecoclean GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dürr Ecoclean GmbH filed Critical Dürr Ecoclean GmbH
Publication of WO2017001456A1 publication Critical patent/WO2017001456A1/en

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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0025—Means for supplying energy to the end effector
    • B25J19/0029—Means for supplying energy to the end effector arranged within the different robot elements

Definitions

  • the invention relates to a device for manipulating a tool and / or workpiece with a holding arm which is received on a base and which has a holding arm body, and with a support arm which is connected to the holding arm with a bracket swivel joint and which has a support arm body.
  • Such a device for manipulating a tool and / or workpiece is known.
  • the apparatus described therein for manipulating a tool and / or workpiece is designed as an articulated robot having a plurality of articulated arms connected together by a hinge.
  • For the hinges in the articulated robot there are electric drives with which the articulated arms can be adjusted by motor to move a tool or workpiece received with the articulated robot.
  • handling robots are subject to corrosion and must withstand hot vapors, they are preferably placed outside a process chamber for manipulating a workpiece.
  • the handling robot is provided with a fluid-tight passage device for its arms, with which a workpiece is moved in the process chamber.
  • the object of the invention is to provide a device for manipulating a tool and / or workpiece in a process chamber which can be acted upon by a fluid medium and which can be reliably operated in a moist and / or corrosive environment.
  • This object is achieved by a device having the features specified in claim 1.
  • Advantageous developments of the invention are specified in the dependent claims.
  • a device according to the invention comprises a fluid channel penetrating the holding arm pivot joint, through which fluid medium can be guided from the base into the carrier arm.
  • the support arm can be pivoted in the holding arm pivot about a Tragarmgelenkachse passing through a hollow shaft through which the fluid channel is guided from the support arm into the support arm.
  • the holding arm in a device according to the invention may have a halftimber body receiving the fluid channel at least partially in a holding arm cavity.
  • the holding arm cavity is fluid-tight, the penetration of process media in the form of gaseous and / or vaporous media in the Gararmhohlraum can be prevented so that there arranged electrical and / or electronic assemblies and line connections are protected from such media.
  • the retainer hinge has a first hinge portion defined in the retainer arm and a second hinge portion fixedly connected to the bracket and pivotable to the retainer arm.
  • the second hinge portion is disposed in the support arm in a hinge portion receiving the first annular seal member penetrated from the hinge axis of the support arm pivot and a further annular seal member penetrated from the hinge axis of the support arm pivot to the body of the support arm and a portion fixed to the second hinge portion the support arm is sealed.
  • the Gelenkabismeability communicates through one between the first annular sealing element and the other annular Seal element opening channel with the holding arm cavity. In this way, a double seal for the armrest is provided.
  • the device contains a device for applying the barrier arm cavity with sealing air. In this way, sealing air can be provided, by means of which the penetration of fluid into the joint section receptacle for the second joint section in the retaining arm can be prevented.
  • a device may also comprise a sensor for detecting the rotational position of the holding arm pivot joint fixed to the holding arm, which is arranged in a receptacle which communicates with the holding arm cavity, the sensor having a sensor body and the receptacle by means of the sensor body and by means of a is sealed against the penetration of a liquid and / or gaseous and / or vaporous process medium through the receptacle into the Haltearmhohlraum on the sensor body adjacent sealing element.
  • the rotational positions of the support arm can also be detected when the device for manipulating a tool and / or workpiece e.g. is operated in a process chamber in a process media atmosphere.
  • a tool and / or workpiece holder for the tool and / or workpiece is connected to the support arm with a Tragarmsearchgelenk having a Tragarmwindgelenk passing through the fluid channel, guided by the fluid medium from the support arm in the tool holder unit can be.
  • a fluid medium one of the following at ambient pressure liquid or gaseous media may be provided in particular: compressed air, nitrogen, water vapor, liquid water, alcohol, aqueous alkali, aqueous acid, carbon dioxide, trichlorethylene, detergents (eg surfactants) in aqueous solution and the like.
  • the tool and / or workpiece holder in the Tragarmsearchgelenk in a device according to the invention can preferably pivot about a tool receiving joint axis, which passes through a hollow shaft through which the fluid channel is guided from the support arm into the support arm.
  • the support arm may have a support arm body accommodating the fluid duct at least partially in a support arm cavity.
  • the carrier arm cavity being fluid-tight, the penetration of process media in the form of gaseous and / or vaporous media into the support arm cavity can also be prevented here so that electrical and / or electronic assemblies and line connections arranged there are protected from such media.
  • the support arm pivot joint it is advantageous for the support arm pivot joint to have a first joint section fixed in the support arm and a second joint section fixedly connected to the tool receiving unit and pivotable relative to the support arm.
  • the second joint section is arranged in the support arm in a joint section receiving the first annular sealing element penetrating from the joint axis of the support arm pivot joint to a section of the tool receiving unit fixed to the second joint section and to a further annular sealing element penetrated by the joint axis of the support arm pivot joint the body of the support arm is sealed.
  • a device for applying the Tragarmlohlraums with sealing air is provided.
  • the senor has a sensor body and the receptacle is sealed by means of the sensor body and by means of a voltage applied to the sensor body sealing member against the ingress of a liquid and / or gaseous and / or vaporous process medium by the inclusion in the Tragarmhohlraum.
  • the tool receiving rotary joint in the tool receiving unit is preferably associated with a drive as an electric motor, which moves a drive shaft to which a transmission is connected, which transmits a rotational movement of the drive shaft to a connection portion of Malawiiffurge- steering for the tool, wherein the transmission is arranged in a gearbox receiving which is sealed by means of a first annular sealing element penetrating from the axis of rotation of the tool receiving rotary joint and by means of a further sealing element penetrated by this rotary axis to the main body of the tool receiving unit and the gearbox.
  • the transmission receptacle communicates between the first annular sealing element and the further annular sealing element through a channel connected to the supporting arm cavity through the hollow shaft.
  • a device can also also have a sensor arranged in a support which communicates with the support arm cavity in the support arm for detecting the rotational position of the support arm pivot joint and a surrounding, in particular annular sealing element for sealing the receptacle to the body of the support arm.
  • the sensor advantageously has a sensor body, which seals the receptacle by means of a sealing element abutting the sensor body against the penetration of a liquid and / or gaseous and / or vaporous process medium through the receptacle into the support arm cavity.
  • a device may in particular have a cleaning tool connected to the tool receiving unit with a device for receiving a workpiece formed as a shaft on a first end section with a recess formed therein and on a second end section opposite the first end section with a recess formed therein first retaining member having a retaining pin and a linearly displaceable to the first retainer organ further holding member with another retaining mandrel for receiving the workpiece under engagement of the first retaining pin formed in the first end portion recess and the second retaining pin has formed in the formed on the second end portion recess ,
  • first retaining pin and / or the second retaining pin is formed as a nozzle body, which is connected to a communicating with the arm of the arm passing through the fluid channel communicating fluid line to those at the first and / or the second end portion of Workpiece formed recess to clean with a supplied through the fluid channel cleaning medium.
  • the nozzle body can have a conically tapered section for engagement in the indentation formed in the first or second end section of a workpiece, in which groove-shaped recesses or perforations are formed for the removal of the cleaning medium acting on the workpiece.
  • FIG. 1 shows a device for manipulating a workpiece received on a combined gripper and cleaning tool in a process chamber
  • Fig. 2 is a partial section of the device of Figure 1 with a support arm and a support arm.
  • Fig. 3 is a retaining arm pivot in the device
  • FIG. 4 is an enlarged view of the portion IV of the retaining arm pivot joint shown in FIG. 3;
  • Fig. 5 is a Tragarmpitgesch in the device
  • Fig. 6 is an enlarged view of the portion V of the Tragarmfitgeschs shown in Figure 5;
  • Fig. 8 is a sectional view of the recorded on the gripper tool
  • FIG. 10 shows a flow of fluid through the first retaining mandrel in the gripping tool
  • Fig. 1 1 designed as a nozzle body second retaining pin in the gripper tool.
  • the apparatus 10 shown in Fig. 1 has a pillar body 12 arranged on a base 11, on which a holding arm 14 can be moved in the direction of the double arrow 16 in the vertical direction.
  • the column body 1 1 can be pivoted on the base 12 about a vertical axis of rotation 13.
  • On the holding arm 14, a support arm 18 is received in a Tragarmfange- steering 58.
  • the support arm 18 may be moved on the support arm 14 about a first vertical support arm pivot axis 20.
  • a tool receiving unit 22 is pivotally mounted in a Tragarmsearch 58.
  • the tool receiving unit 22 can be pivoted in the support arm pivot joint 58 about a second, vertical hinge axis 24.
  • the support arm 18 accommodated on the column body 12, the support arm 18 articulated on the support arm 14 and the tool receiving unit 22 articulated to the support arm 18 form what is known as a scar kinematics.
  • the tool holder unit 22 carries a tool 26 designed as a combined gripper and cleaning tool.
  • the tool 26 of the apparatus 10 shown in FIG. 1 accommodates two workpieces 28 to be cleaned in the form of a crankshaft.
  • the tool 26 can be pivoted on the tool receiving unit 22 in a tool receiving medial swivel joint 25 about a horizontal axis of rotation 30.
  • FIG. 2 shows the device 10 from FIG. 1 as a partial section.
  • the column body 12 is designed as a fluid-tight hollow body in which there is a fluid-tight cavity 32.
  • the support arm 14 is guided in the cavity 32 of the base 12 on a guide linkage (not shown) linearly movable and can be moved there with a motor-driven spindle nut 34 in the direction of the double arrow 16 on a lifting spindle 36.
  • the column body 12 is closed in a fluid-tight manner with a lamellae curtain 38.
  • the holding arm 14 also has a fluid-tight holding arm body 70 with a fluid-tight holding arm cavity 42.
  • the support arm 18 is also designed as a fluid-tight hollow body having a support arm cavity 46 formed in the support arm body 92.
  • the holding arm cavity 42 and the Tragarmhohlraum 46 is at least partially flexible high-pressure fluid line with a fluid channel 48 and an at least partially flexible line with a fluid duct 50 with connected nozzles 52 to the tool holder unit 22 out.
  • the support arm cavity 42 communicates with the support arm cavity 46 and the cavity 32 of the pillar body 12.
  • the fluid line to the fluid channel 48 and the line to the fluid channel 50 are connected to a drag chain mechanism 54.
  • the fluid lines 48, 50 signal lines 51 are also laid in the device 10.
  • the holding arm pivot joint 56 and the support arm pivot joint 58 each contain a hollow shaft 60 penetrated by the support arm pivot axis 20 and the tool receiving joint axis 24.
  • An electric motor 15, which acts on the hollow shaft 60 of the holding arm pivot joint 56 by means of a gear 17, is assigned to the holding arm pivot joint 56 in the support arm 14 as a motor drive.
  • an electric motor 19 is received in the support arm 18.
  • the electric motor 19 acts on the hollow shaft 60 of the Tragarmsearchgelenks 58 by means of a transmission 21st
  • the conduit with the fluid channel 50 is a means for impinging the cavity 32 of the base 12 and the support arm cavity 46 and the retaining arm cavity 42 with sealing air provided from the nozzles 52.
  • a gas pressure is effected there which is 0.2 bar to 0.5 bar above the atmospheric pressure. This above atmospheric pressure gas pressure prevents the ingress of liquid, liquid vapors and their gaseous components in these cavities and arranged there gear and pivot bearing when the device 10 is operated in a process chamber for cleaning and / or deburring of workpieces.
  • the high pressure fluid line with the fluid channel 48 serves to pressurize the combined cleaning and gripping tool 26 with cleaning fluid, which is optionally at a high pressure, which may be up to 3000 bar or more.
  • the cleaning fluid supplied to the cleaning and gripping tool 26 through the fluid channel 48 can comprise, for example, a fluid from the group of aqueous surfactant solutions, alkalis, acids, demineralized water, nonaqueous solvents, especially alcohols, halogenated hydrocarbons, vegetable oil esters and / or dibasic esters but also compressed air, water vapor or supercritical carbon dioxide.
  • the fluid channel 48 and the fluid channel 50 respectively pass through the hollow shaft 60 of the retainer pivot joint 56 and the support arm pivot joint 58.
  • FIG. 4 is an enlarged view of a portion of the retainer pivot 56.
  • the retainer pivot 56 has a first hinge portion 62 defined in the retainer 14 and a pivotally connected to the bracket 18 and pivotable to the retainer arm 14 second hinge portion 64.
  • the second hinge portion 64 is disposed in the support arm 14 in a hinge portion receptacle 66.
  • the Gelenkabitesness 66 is provided with a first of the Tragarmgelenkachse 20 of the support arm pivot 56 enforced as a Simmering annular sealing member 68 which abuts the first hinge portion 62, and with a penetrated by the Tragarmgelenkachse 20 of the retaining arm pivot 56 further annular sealing member 72 at one with the second hinge portion 64 tightly connected portion 65 of the support arm 18 sealed to the body 70 of the support arm 14.
  • a sensor 78 designed as a magnetic sensor is arranged on the holding arm 14 in a receptacle 76 communicating with the holding arm hollow space 42.
  • the sensor 78 detects a magnetic field that generates a magnetic body 80 received on the support arm 18.
  • the receptacle 76 for the sensor 78 is is sealed to the body 70 of the support arm 14 with an annular seal member 82 surrounding the sensor body 79 of the sensor 78.
  • FIG. 6 shows an enlarged view of a portion of the support arm hinge 58 and the tool receiving pivot joint 25.
  • the support arm pivot 58 has a first hinge portion 84 defined in the support arm 18 and one with the Support arm 18 firmly connected and pivotable to the support arm 18 second hinge portion 86.
  • the second hinge portion 86 is disposed in the support arm 18 in a hinge portion receptacle 88.
  • This hinge section receiver 88 is provided with an annular sealing member 90 formed as a simmering ring extending from the tool receiving hinge axis 24 to the body 92 of the support arm 18 and having a further annular sealing member 94 penetrated from the tool receiving pivot axis 24 of the support arm pivot 58 to one at the second hinge portion 86 fixed portion 67 of the tool holder unit 22 to the body 92 of the support arm 18.
  • the joint section receptacle 88 is connected to the support arm cavity 46 by a channel 75 opening into the joint section receptacle 88 between the first annular seal element 90 and the further annular seal element 94. Through this channel 75 can flow into the Gelenkabismeability 88 between the first annular sealing member 94 and the further annular sealing member 72 sealing air here.
  • the tool receiving unit 22 has a main body 41.
  • the tool receiving rotary joint 25 in the tool receiving unit 22 is associated with an electric motor 23 as a drive.
  • the electric motor 23 moves a drive shaft 29, to which a transmission 31 is connected.
  • the main body 41 of the tool receiving unit 22 comprises a holding member 69 for the transmission 31.
  • On the holding member 69, the gear 31 is supported.
  • the gear 31 transmits a rotational movement of the drive shaft 29 to a connection section 33 for the gripper tool 26. It is thereby moved about the rotation axis 30.
  • the transmission 31 is arranged in a transmission receptacle 35.
  • the transmission mount 35 is thereby sealed with a first annular sealing element 37 penetrating from the axis of rotation 30 of the tool receiving rotary joint 25 and with a further sealing element 39 penetrated by this axis of rotation 30 to the main body 41 of the section 67 of the tool receiving unit 22 and to the retaining element 69.
  • a further sealing element 39 penetrated by this axis of rotation 30 to the main body 41 of the section 67 of the tool receiving unit 22 and to the retaining element 69.
  • the annular sealing elements 37, 39 have a double function.
  • the sealing elements 37, 39 protect against dirt and cleaning fluid being able to get into the gear 31 during the cleaning of workpieces by means of the device 10.
  • the device 10 preferably has an external central lubrication for all neuralgic lubrication points.
  • the supply of lubricant to the lubrication points takes place in a favorable manner also means in the cavities 42, 46 of the support arm 14 and the support arm 18 laid lines.
  • FIG. 7 shows the tool 26 formed by a combined gripper and cleaning tool with two workpieces 28 received thereon.
  • FIG. 8 shows a workpiece 28 received by the tool 26 as a section.
  • the tool 26 makes it possible to pick up a workpiece 28 designed as a crankshaft on a first end section 98 with a recess 100 formed therein and on a second end section 102 opposite the first end section 98 with a recess 104 formed therein.
  • the tool 26 has first holding members 106 with a retaining pin 108 and to the first holding members 106 each linearly movable further holding members 1 10 with another retaining mandrel 1 12 for receiving the workpiece to be cleaned 28 under engagement of the first retaining mandrel 108 formed in the formed on the first end portion 98 as a center hole Recess 100 and the second retaining mandrel 1 12 in the formed on the second end portion 102 as a center hole recess 104th
  • the first retaining mandrel 108 and the second retaining mandrel 112 are designed as a nozzle body, which is connected to a fluid line 1 14 or 16 communicating with the high-pressure fluid line passing through the retaining arm pivot 56 and the support arm pivot joint 58 to clean at the first and second end portions 98, 102 of the workpiece 28 formed recess 100 or 104 with ided by the Hochtik Kunststoff- with the fluid channel 48 cleaning medium.
  • FIG. 10 shows the first retaining mandrel 108 of the cleaning and gripping tool 26.
  • the retaining mandrel 108 has a nozzle body with a nozzle channel 109 having a tapered portion 120 with a hemispherical shaped portion for engaging the first end portion 98 of the workpiece 28.
  • the nozzle body in the conically tapered section 120 has groove-shaped depressions 122.
  • the hemispherical region at the tip of the holding mandrel 108 ensures that by means of the work piece designed as a cleaning and gripping tool. 26 crankshafts can be recorded, which have different centering holes.
  • the retaining mandrel 112 also has a nozzle body with a nozzle channel 109 which has a conically tapered section 120 for engagement in the first end section 98 of the workpiece 28 has.
  • the nozzle body has a plurality of openings 126 in the conically tapered section 120.
  • the shape of the retaining pin 1 12 allows recording as a crankshaft formed workpieces 28 with different centering holes.
  • the invention relates to a device 10 for manipulating a tool 26 and / or a workpiece 28 with a holding arm 14 received on a base 12, which has a holding arm body 70.
  • the device 10 has a support arm 18 connected to the holding arm 14 with a holding arm pivot 56 with a support arm body 92.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

The invention relates to a device (10) for manipulating a tool (26) and/or a workpiece (28), comprising a retaining arm (14) which is accommodated on a base (12) and includes a retaining arm member (70). The device (10) further comprises a support arm (18) which is connected to the retaining arm (14) by a retaining arm swivel joint (56) and which has a support arm member (92). The device (10) also comprises a fluid duct (48, 50) which extends through the retaining arm swivel joint (56) and through which fluid medium can be conducted from the base (12) into the support arm (18).

Description

Vorrichtung für das Manipulieren eines Werkzeugs und/oder Werkstücks  Device for manipulating a tool and / or workpiece
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung für das Manipulieren eines Werkzeugs und/oder Werkstücks mit einem an einer Basis aufgenommenen Haltearm, der einen Haltearmkörper hat, und mit einem an den Haltearm mit einem Hal- tearmdrehgelenk angeschlossenen Tragarm, der einen Tragarmkörper hat. The invention relates to a device for manipulating a tool and / or workpiece with a holding arm which is received on a base and which has a holding arm body, and with a support arm which is connected to the holding arm with a bracket swivel joint and which has a support arm body.
Aus der DE 10 2004 002 416 A1 ist eine derartige Vorrichtung für das Mani- pulieren eines Werkzeugs und/oder Werkstücks bekannt. Die dort beschriebene Vorrichtung für das Manipulieren eines Werkzeugs und/oder Werkstücks ist als ein Knickarmroboter ausgebildet, der mehrere miteinander durch ein Drehgelenk verbundene Gelenkarme hat. Für die Drehgelenke in dem Knickarmroboter gibt es elektrische Antriebe, mit denen die Gelenkarme motorisch verstellt werden können, um ein mit dem Knickarmroboter aufgenommenes Werkzeug oder Werkstück zu bewegen. From DE 10 2004 002 416 A1, such a device for manipulating a tool and / or workpiece is known. The apparatus described therein for manipulating a tool and / or workpiece is designed as an articulated robot having a plurality of articulated arms connected together by a hinge. For the hinges in the articulated robot there are electric drives with which the articulated arms can be adjusted by motor to move a tool or workpiece received with the articulated robot.
Schmutzpartikel, z. B. Bearbeitungsspäne, Staub, Gusssand oder auch Grate und Flüssigkeitströpfchen können die Funktion von industriell hergestellten Produkten wie z. B. Brennkraftmaschinen beeinträchtigen. Die Sauberkeit von Werkstücken in industriellen Produktionsprozessen ist hier von großer Bedeutung. Dirt particles, z. As machining chips, dust, cast sand or burrs and liquid droplets, the function of industrially manufactured products such. B. affect internal combustion engines. The cleanliness of workpieces in industrial production processes is of great importance here.
In der industriellen Fertigung werden deshalb Anlagen für das Behandeln von Werkstücken eingesetzt, in denen die Werkstücke gereinigt und entgratet werden. In solchen Reinigungsanlagen werden die Werkstücke mit Fluid beaufschlagt, insbesondere mit Flüssigkeit wie z. B. Wasser, das mit einem hohen Druck in der Größenordnung von bis zu 3000 bar beaufschlagt ist und das mit Reinigungszusätzen versehen oder mit Flüssigkeiten vermischt sein kann, die Kohlenwasserstoffe enthalten. Für das Reinigen von Werkstücken werden auch gasförmige Fluide eingesetzt, z. B. Druckluft. Aus Sicherheits- und Umweltschutzgründen werden die Werkstücke dabei in fluiddichten Prozesskammern behandelt, in denen Prozesstemperaturen von bis zu 60°C und mehr herrschen. Um eine möglichst gleichbleibende Behandlungsqualität zu gewährleisten und um eine Behandlung von schweren Werkstücken wie z. B. Motorblöcken zu ermöglichen, werden die Werkstücke in diesen Anlagen häufig unter Einsatz von Handhabungsrobotern bewegt. Weil diese Handhabungsroboter Korrosion ausgesetzt sind und heißen Dämpfen standhalten müssen, werden sie für das Manipulieren eines Werkstücks bevorzugt außerhalb einer Prozesskammer angeordnet. Für das Handhaben von Werkstücken in der Prozesskammer wird der Handhabungsroboter mit einer fluiddichten Durchführungseinrichtung für seine Arme versehen, mit denen ein Werkstück in der Prozesskammer bewegt wird. In industrial manufacturing, therefore, systems are used for the treatment of workpieces in which the workpieces are cleaned and deburred. In such cleaning systems, the workpieces are subjected to fluid, in particular with liquid such. As water, which is subjected to a high pressure of the order of up to 3000 bar and which may be provided with cleaning additives or mixed with liquids containing hydrocarbons. For the cleaning of workpieces and gaseous fluids are used, for. B. compressed air. For reasons of safety and environmental protection, the workpieces are treated in fluid-tight process chambers in which process temperatures of up to 60 ° C and more prevail. To ensure the highest possible quality of treatment and to treat heavy workpieces such. B. engine blocks, the workpieces are often moved in these systems using handling robots. Because these handling robots are subject to corrosion and must withstand hot vapors, they are preferably placed outside a process chamber for manipulating a workpiece. For handling workpieces in the process chamber, the handling robot is provided with a fluid-tight passage device for its arms, with which a workpiece is moved in the process chamber.
Weiterhin ist es bekannt, Vorrichtungen für das Manipulieren eines Werkzeugs und/oder Werkstücks im Inneren der Prozesskammer anzuordnen. Um diese Vorrichtungen in der feuchten und/oder aggressiven Atmosphäre in einer Prozesskammer zuverlässig betreiben zu können, werden für diese Schutzjacken eingesetzt, die das Eintreten von Dämpfen und Flüssigkeit in Funktionsbaugruppen der Vorrichtung verhindern. Furthermore, it is known to arrange devices for manipulating a tool and / or workpiece inside the process chamber. In order to be able to operate these devices reliably in the moist and / or aggressive atmosphere in a process chamber, protective jackets are used for these, which prevent the entry of vapors and liquid into functional assemblies of the device.
Die Bewegungsfreiheit von solchen Vorrichtungen für das Manipulieren eines Werkzeugs und/oder Werkstücks wird mit solchen Schutzjacken jedoch eingeschränkt. Auch unterliegen solche Schutzjacken hohem Verschleiß und müssen deshalb häufig gewechselt werden. Dies erfordert dann regelmäßig das Unterbrechen des Betriebs einer Anlage und hat unerwünschte War- tungs- und Standzeiten zur Folge. However, the freedom of movement of such devices for manipulating a tool and / or workpiece is limited with such protective jackets. Also, such protective jackets are subject to high wear and therefore must be changed frequently. This then regularly requires the interruption of the operation of a plant and has undesirable maintenance and service life.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung für das Manipulieren eines Werkzeugs und/oder Werkstücks in einer mit einem fluiden Medium beauf- schlagbaren Prozesskammer zu schaffen, die sich in einer feuchten und/oder korrosiven Umgebung zuverlässig betreiben lässt. Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung mit den in Anspruch 1 angegebenen Merkmalen gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben. Eine erfindungsgemäße Vorrichtung weist einen das Haltearmdrehgelenk durchsetzenden Fluidkanal auf, durch den fluides Medium von der Basis in den Tragarm geführt werden kann. The object of the invention is to provide a device for manipulating a tool and / or workpiece in a process chamber which can be acted upon by a fluid medium and which can be reliably operated in a moist and / or corrosive environment. This object is achieved by a device having the features specified in claim 1. Advantageous developments of the invention are specified in the dependent claims. A device according to the invention comprises a fluid channel penetrating the holding arm pivot joint, through which fluid medium can be guided from the base into the carrier arm.
In einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass der Tragarm in dem Haltearmdrehgelenk um eine Tragarmgelenkachse geschwenkt werden kann, die eine Hohlwelle durchsetzt, durch die der Fluidkanal aus dem Haltearm in den Tragarm geführt ist. In an advantageous embodiment of the invention it is provided that the support arm can be pivoted in the holding arm pivot about a Tragarmgelenkachse passing through a hollow shaft through which the fluid channel is guided from the support arm into the support arm.
Der Haltearm in einer erfindungsgemäßen Vorrichtung kann einen den Fluid- kanal wenigstens teilweise in einem Haltearmhohlraum aufnehmenden Hal- tearmkörper aufweisen. Indem der Haltearmhohlraum fluiddicht ist, lässt sich das Eindringen von Prozessmedien in Form von gasförmigen und/oder dampfförmigen Medien in den Haltearmhohlraum unterbinden, so dass dort angeordnete elektrische und/oder elektronische Baugruppen und Leitungs- Verbindungen vor solchen Medien geschützt sind. The holding arm in a device according to the invention may have a halftimber body receiving the fluid channel at least partially in a holding arm cavity. By the holding arm cavity is fluid-tight, the penetration of process media in the form of gaseous and / or vaporous media in the Haltearmhohlraum can be prevented so that there arranged electrical and / or electronic assemblies and line connections are protected from such media.
Bevorzugt hat das Haltearmdrehgelenk einen in dem Haltearm festgelegten ersten Gelenkabschnitt und einen mit dem Tragarm fest verbundenen und zu dem Haltearm schwenkbeweglichen zweiten Gelenkabschnitt. Der zweite Gelenkabschnitt ist in dem Haltearm in einer Gelenkabschnittaufnahme angeordnet, die mittels eines von der Gelenkachse des Haltearmdrehgelenks durchsetzen ersten ringförmigen Dichtungselements und mittels eines von der Gelenkachse des Haltearmdrehgelenks durchsetzten weiteren ringförmigen Dichtungselements zu dem Körper des Haltearms und zu einem an dem zweiten Gelenkabschnitt festgelegten Abschnitt des Tragarms abgedichtet ist. Die Gelenkabschnittaufnahme kommuniziert dabei durch einen zwischen dem ersten ringförmigen Dichtungselement und dem weiteren ringförmigen Dichtungselement mündenden Kanal mit dem Haltearmhohlraum. Auf diese Weise wird eine doppelte Abdichtung für das Haltearmdrehgelenk geschaffen. Von Vorteil ist es, wenn die Vorrichtung eine Einrichtung für das Beaufschlagen des Haltearmhohlraums mit Sperrluft enthält. Auf diese Weise kann Sperrluft bereitgestellt werden, mittels der sich das Eindringen von Fluid in die Gelenkabschnittaufnahme für den zweite Gelenkabschnitt in dem Haltearm unterbinden lässt. Preferably, the retainer hinge has a first hinge portion defined in the retainer arm and a second hinge portion fixedly connected to the bracket and pivotable to the retainer arm. The second hinge portion is disposed in the support arm in a hinge portion receiving the first annular seal member penetrated from the hinge axis of the support arm pivot and a further annular seal member penetrated from the hinge axis of the support arm pivot to the body of the support arm and a portion fixed to the second hinge portion the support arm is sealed. The Gelenkabschnittaufnahme communicates through one between the first annular sealing element and the other annular Seal element opening channel with the holding arm cavity. In this way, a double seal for the armrest is provided. It is advantageous if the device contains a device for applying the barrier arm cavity with sealing air. In this way, sealing air can be provided, by means of which the penetration of fluid into the joint section receptacle for the second joint section in the retaining arm can be prevented.
Eine erfindungsgemäße Vorrichtung kann auch einen an dem Haltearm fest- gelegten Sensor für das Erfassen der Drehstellung des Haltearmdrehgelenks aufweisen, der in einer Aufnahme angeordnet ist, die mit dem Haltearmhohlraum kommuniziert, wobei der Sensor einen Sensorkörper hat und die Aufnahme mittels des Sensorkörpers und mittels eines an dem Sensorkörper anliegenden Abdichtelements gegen das Eindringen eines flüssigen und/oder gasförmigen und/oder dampfförmigen Prozessmediums durch die Aufnahme hindurch in den Haltearmhohlraum abgedichtet ist. Auf diese Weise können die Drehstellungen des Haltearms auch erfasst werden, wenn die Vorrichtung für das Manipulieren eines Werkzeugs und/oder Werkstückes z.B. in einer Prozesskammer in einer Prozessmedien-Atmosphäre betrieben wird. A device according to the invention may also comprise a sensor for detecting the rotational position of the holding arm pivot joint fixed to the holding arm, which is arranged in a receptacle which communicates with the holding arm cavity, the sensor having a sensor body and the receptacle by means of the sensor body and by means of a is sealed against the penetration of a liquid and / or gaseous and / or vaporous process medium through the receptacle into the Haltearmhohlraum on the sensor body adjacent sealing element. In this way, the rotational positions of the support arm can also be detected when the device for manipulating a tool and / or workpiece e.g. is operated in a process chamber in a process media atmosphere.
Insbesondere ist es von Vorteil, wenn an den Tragarm eine Werkzeug- und/oder Werkstückaufnahme für das Werkzeug und/oder Werkstück mit einem Tragarmdrehgelenk angeschlossen ist, die einen das Tragarmdrehgelenk durchsetzenden Fluidkanal aufweist, durch den fluides Medium von aus dem Tragarm in die Werkzeugaufnahmeeinheit geführt werden kann. Als fluides Medium kann insbesondere eines der folgenden bei Umgebungsdruck flüssigen oder gasförmigen Medien vorgesehen sein: Druckluft, Stickstoff, Wasserdampf, flüssiges Wasser, Alkohol, wässrige Lauge, wässrige Säure, Kohlendioxid, Trichlorethylen, Reinigungsmittel (z.B. Tenside) in wässriger Lösung und dergleichen. Die Werkzeug- und/oder Werkstückaufnahme in dem Tragarmdrehgelenk in einer erfindungsgemäßen Vorrichtung lässt sich bevorzugt um eine Werkzeugaufnahmegelenkachse schwenken, die eine Hohlwelle durchsetzt, durch die der Fluidkanal aus dem Haltearm in den Tragarm geführt ist. In particular, it is advantageous if a tool and / or workpiece holder for the tool and / or workpiece is connected to the support arm with a Tragarmdrehgelenk having a Tragarmdrehgelenk passing through the fluid channel, guided by the fluid medium from the support arm in the tool holder unit can be. As a fluid medium, one of the following at ambient pressure liquid or gaseous media may be provided in particular: compressed air, nitrogen, water vapor, liquid water, alcohol, aqueous alkali, aqueous acid, carbon dioxide, trichlorethylene, detergents (eg surfactants) in aqueous solution and the like. The tool and / or workpiece holder in the Tragarmdrehgelenk in a device according to the invention can preferably pivot about a tool receiving joint axis, which passes through a hollow shaft through which the fluid channel is guided from the support arm into the support arm.
In einer erfindungsgemäßen Vorrichtung kann der Tragarm einen den Fluidkanal wenigstens teilweise in einem Tragarmhohlraum aufnehmenden Tragarmkörper aufweisen. Indem der Tragarmhohlraum fluiddicht ist, lässt sich auch hier das Eindringen von Prozessmedien in Form von gasförmigen und/oder dampfförmigen Medien in den Tragarmhohlraum unterbinden, so dass dort angeordnete elektrische und/oder elektronische Baugruppen und Leitungsverbindungen vor solchen Medien geschützt sind. In a device according to the invention, the support arm may have a support arm body accommodating the fluid duct at least partially in a support arm cavity. By virtue of the carrier arm cavity being fluid-tight, the penetration of process media in the form of gaseous and / or vaporous media into the support arm cavity can also be prevented here so that electrical and / or electronic assemblies and line connections arranged there are protected from such media.
Insbesondere ist es von Vorteil, wenn das Tragarmdrehgelenk einen in dem Tragarm festgelegten ersten Gelenkabschnitt und einen mit der Werkzeugaufnahmeeinheit fest verbundenen und zu dem Tragarm schwenkbeweglichen zweiten Gelenkabschnitt hat. Der zweite Gelenkabschnitt ist dabei in dem Tragarm in einer Gelenkabschnittaufnahme angeordnet, die mit einem von der Gelenkachse des Tragarmdrehgelenks durchsetzen ersten ringför- migen Dichtungselement zu einem an dem zweiten Gelenkabschnitt festgelegten Abschnitt der Werkzeugaufnahmeeinheit und mit einem von der Gelenkachse des Tragarmdrehgelenks durchsetzten weiteren ringförmigen Dichtungselement zu dem Körper des Tragarms abgedichtet ist. Auf diese Weise wird eine doppelte Abdichtung für das Tragarmdrehgelenk geschaffen. Von Vorteil ist es, wenn eine Einrichtung für das Beaufschlagen des Tragarmhohlraums mit Sperrluft vorgesehen ist. Indem die Gelenkabschnittaufnahme für den zweiten Gelenkabschnitt in dem Tragarm durch einen zwischen dem ersten ringförmigen Dichtungselement und dem weiteren ringförmigen Dichtungselement in die Gelenkabschnittaufnahme mündenden Kanal mit dem Tragarmhohlraum kommuniziert, kann dann mittels Sperrluft das Eindringen von Fluid in die Gelenkabschnittaufnahme für den zweite Gelenkabschnitt in dem Tragarm unterbunden werden. Von Vorteil ist es auch, wenn auch an dem Tragarm ein Sensor für das Erfassen der Drehstellung des Tragarmdrehgelenks festgelegt ist, der in einer Aufnahme angeordnet ist, die mit dem Tragarmhohlraum kommuniziert. Da- bei hat der Sensor einen Sensorkörper und die Aufnahme ist mittels des Sensorkörpers und mittels eines an dem Sensorkörper anliegenden Abdichtelements gegen das Eindringen eines flüssigen und/oder gasförmigen und/oder dampfförmigen Prozessmediums durch die Aufnahme in den Tragarmhohlraum abgedichtet. In particular, it is advantageous for the support arm pivot joint to have a first joint section fixed in the support arm and a second joint section fixedly connected to the tool receiving unit and pivotable relative to the support arm. In this case, the second joint section is arranged in the support arm in a joint section receiving the first annular sealing element penetrating from the joint axis of the support arm pivot joint to a section of the tool receiving unit fixed to the second joint section and to a further annular sealing element penetrated by the joint axis of the support arm pivot joint the body of the support arm is sealed. In this way, a double seal for the Tragarmdrehgelenk is created. It is advantageous if a device for applying the Tragarmlohlraums with sealing air is provided. By communicating the Gelenkabschnittaufnahme for the second hinge portion in the support arm through an opening between the first annular sealing element and the further annular sealing element in the Gelenkabschnittaufnahme channel with the Tragarmhohlraum, then by means of sealing air, the penetration of fluid in the Gelenkabschnittaufnahme for the second hinge portion in the support arm be prevented. It is also advantageous if a sensor for detecting the rotational position of the Tragarmdrehgelenks is fixed to the support arm, which is arranged in a receptacle which communicates with the Tragarmhohlraum. In this case, the sensor has a sensor body and the receptacle is sealed by means of the sensor body and by means of a voltage applied to the sensor body sealing member against the ingress of a liquid and / or gaseous and / or vaporous process medium by the inclusion in the Tragarmhohlraum.
Dem Werkzeugaufnahmedrehgelenk in der Werkzeugaufnahmeeinheit ist als Antrieb bevorzugt ein Elektromotor zugeordnet, der eine Antriebswelle bewegt, an die ein Getriebe angeschlossen ist, das eine Drehbewegung der Antriebswelle auf einen Anschlussabschnitt des Werkzeugaufnahmedrehge- lenks für das Werkzeug überträgt, wobei das Getriebe in einer Getriebeaufnahme angeordnet ist, die mittels eines von der Drehachse des Werkzeugaufnahmedrehgelenks durchsetzen ersten ringförmigen Dichtungselements und mittels eines von dieser Drehachse durchsetzten weiteren Dichtungselements zu dem Grundkörper der Werkzeugaufnahmeeinheit und dem Ge- triebe abgedichtet ist. Die Getriebeaufnahme kommuniziert dabei zwischen dem ersten ringförmigen Dichtungselement und dem weiteren ringförmigen Dichtungselement durch einen mit dem Tragarmhohlraum durch die Hohlwelle verbundenen Kanal. Auf diese Weise wird eine doppelte Abdichtung für das Werkzeugaufnahmedrehgelenk in der Werkzeugaufnahmeeinheit ge- schaffen. Indem Sperrluft bereitgestellt wird, kann dann das Eindringen von Fluid in die Getriebeaufnahme unterbunden und gleichzeitig das Austreten Schmierstoffen aus dem Getriebe in die Getriebeaufnahme verhindert werden. Eine Erfindungsgemäße Vorrichtung kann außerdem auch einen in einer mit dem Tragarmhohlraum kommunizierenden Aufnahme in dem Tragarm angeordneten Sensor für das Erfassen der Drehstellung des Tragarmdrehgelenks und ein den Sensor umgebendes insbesondere ringförmiges Dichtungselement für das Abdichten der Aufnahme zu dem Körper des Tragarms enthalten. Der Sensor hat dabei günstiger Weise einen Sensorkörper, der die Aufnahme mittels eines an dem Sensorkörper anliegenden Abdichtelements ge- gen das Eindringen eines flüssigen und/oder gasförmigen und/oder dampfförmigen Prozessmediums durch die Aufnahme hindurch in den Tragarmhohlraum abdichtet. The tool receiving rotary joint in the tool receiving unit is preferably associated with a drive as an electric motor, which moves a drive shaft to which a transmission is connected, which transmits a rotational movement of the drive shaft to a connection portion of Werkzeugaufnahmedrehge- steering for the tool, wherein the transmission is arranged in a gearbox receiving which is sealed by means of a first annular sealing element penetrating from the axis of rotation of the tool receiving rotary joint and by means of a further sealing element penetrated by this rotary axis to the main body of the tool receiving unit and the gearbox. The transmission receptacle communicates between the first annular sealing element and the further annular sealing element through a channel connected to the supporting arm cavity through the hollow shaft. In this way, a double seal is created for the tool receiving hinge in the tool receiving unit. By providing barrier air, it is then possible to prevent the penetration of fluid into the transmission receptacle and, at the same time, to prevent the escape of lubricants from the transmission into the transmission receptacle. A device according to the invention can also also have a sensor arranged in a support which communicates with the support arm cavity in the support arm for detecting the rotational position of the support arm pivot joint and a surrounding, in particular annular sealing element for sealing the receptacle to the body of the support arm. The sensor advantageously has a sensor body, which seals the receptacle by means of a sealing element abutting the sensor body against the penetration of a liquid and / or gaseous and / or vaporous process medium through the receptacle into the support arm cavity.
Eine erfindungsgemäße Vorrichtung kann insbesondere ein an die Werkzeugaufnahmeeinheit angeschlossenes Reinigungswerkzeug mit einer Einrichtung für das Aufnehmen eines als eine Welle ausgebildeten Werkstücks an einem ersten Stirnabschnitt mit einer darin ausgebildeten Vertiefung und an einem dem ersten Stirnabschnitt gegenüberliegenden zweiten Stirnabschnitt mit einer darin ausgebildeten Vertiefung aufweisen, das ein erstes Halteorgan mit einem Haltedorn und ein zu dem ersten Halteorgan linearbeweglich verlagerbares weiteres Halteorgan mit einem weiteren Haltedorn für das Aufnehmen des Werkstücks unter Eingriff des ersten Haltedorns in die an dem ersten Stirnabschnitt ausgebildete Vertiefung und des zweiten Haltedorns in die an dem zweiten Stirnabschnitt ausgebildete Vertiefung hat. A device according to the invention may in particular have a cleaning tool connected to the tool receiving unit with a device for receiving a workpiece formed as a shaft on a first end section with a recess formed therein and on a second end section opposite the first end section with a recess formed therein first retaining member having a retaining pin and a linearly displaceable to the first retainer organ further holding member with another retaining mandrel for receiving the workpiece under engagement of the first retaining pin formed in the first end portion recess and the second retaining pin has formed in the formed on the second end portion recess ,
Hier ist es von Vorteil, wenn der erste Haltedorn und/oder der zweite Haltedorn als ein Düsenkörper ausgebildet ist, der an eine mit dem das Haltearm- drehgelenk durchsetzenden Fluidkanal kommunizierenden Fluidleitung angeschlossen ist, um die an dem ersten und/oder dem zweiten Stirnabschnitt des Werkstücks ausgebildete Vertiefung mit einem durch den Fluidkanal zugeführten Reinigungsmedium zu reinigen. Here, it is advantageous if the first retaining pin and / or the second retaining pin is formed as a nozzle body, which is connected to a communicating with the arm of the arm passing through the fluid channel communicating fluid line to those at the first and / or the second end portion of Workpiece formed recess to clean with a supplied through the fluid channel cleaning medium.
Der Düsenkörper kann dabei einen kegelförmig verjüngten Abschnitt für den Eingriff in die in dem ersten oder zweiten Stirnabschnitt eines Werkstücks ausgebildete Vertiefung aufweisen, in dem für das Abführen des das Werkstück beaufschlagenden Reinigungsmediums nutenförmige Vertiefungen o- der Durchbrechungen ausgebildet sind. Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben. Im Folgenden wird die Erfindung anhand der in der Zeichnung in schemati- scher Weise dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert. In this case, the nozzle body can have a conically tapered section for engagement in the indentation formed in the first or second end section of a workpiece, in which groove-shaped recesses or perforations are formed for the removal of the cleaning medium acting on the workpiece. Advantageous embodiments of the invention are indicated in the dependent claims. In the following the invention will be explained in more detail with reference to the embodiments schematically illustrated in the drawing.
Es zeigen: Fig. 1 eine Vorrichtung für das Manipulieren eines an einem kombinierten Greifer- und Reinigungswerkzeug aufgenommenen Werkstücks in einer Prozesskammer; 1 shows a device for manipulating a workpiece received on a combined gripper and cleaning tool in a process chamber;
Fig. 2 einen Teilschnitt der Vorrichtung aus Fig. 1 mit einem Haltearm und einem Tragarm; Fig. 2 is a partial section of the device of Figure 1 with a support arm and a support arm.
Fig. 3 ein Haltearmdrehgelenk in der Vorrichtung; Fig. 3 is a retaining arm pivot in the device;
Fig. 4 eine vergrößerte Ansicht des in der Fig. 3 gezeigten Abschnitts IV des Haltearmdrehgelenks; FIG. 4 is an enlarged view of the portion IV of the retaining arm pivot joint shown in FIG. 3; FIG.
Fig. 5 ein Tragarmdrehgelenk in der Vorrichtung; Fig. 5 is a Tragarmdrehgelenk in the device;
Fig. 6 eine vergrößerte Ansicht des in der Fig. 5 gezeigten Abschnitts V des Tragarmdrehgelenks; Fig. 6 is an enlarged view of the portion V of the Tragarmdrehgelenks shown in Figure 5;
Fig. 7 eine Ansicht des Greiferwerkzeugs mit einem daran aufgenommenen Werkstück; Fig. 8 eine Schnittansicht des an dem Greiferwerkzeug aufgenommenen 7 shows a view of the gripper tool with a workpiece received thereon; Fig. 8 is a sectional view of the recorded on the gripper tool
Werkstücks; einen als ein Düsenkörper ausgebildeten ersten Haltedorn in dem Greiferwerkzeug; Workpiece; a first holding mandrel formed in the gripper tool as a nozzle body;
Fig. 10 eine Fluidströmung durch den ersten Haltedorn in dem Greiferwerkzeug; und FIG. 10 shows a flow of fluid through the first retaining mandrel in the gripping tool; FIG. and
Fig. 1 1 einen als ein Düsenkörper ausgebildeten zweiten Haltedorn in dem Greiferwerkzeug. Die in der Fig. 1 gezeigte Vorrichtung 10 hat einen auf einer Basis 1 1 angeordneten Säulenkörper 12, an der ein Haltearm 14 in der Richtung des Doppelpfeils 16 in der vertikalen Richtung bewegt werden kann. Der Säulenkörper 1 1 kann an der Basis 12 um eine vertikale Drehachse 13 geschwenkt werden. An dem Haltearm 14 ist ein Tragarm 18 in einem Tragarmdrehge- lenk 58 aufgenommen. Der Tragarm 18 kann an dem Haltearm 14 um eine erste vertikale Tragarmgelenkachse 20 bewegt werden. An dem Tragarm 18 ist in einem Tragarmdrehgelenk 58 eine Werkzeugaufnahmeeinheit 22 schwenkbeweglich befestigt. Die Werkzeugaufnahmeeinheit 22 kann in dem Tragarmdrehgelenk 58 um eine zweite, vertikale Gelenkachse 24 ge- schwenkt werden. Fig. 1 1 designed as a nozzle body second retaining pin in the gripper tool. The apparatus 10 shown in Fig. 1 has a pillar body 12 arranged on a base 11, on which a holding arm 14 can be moved in the direction of the double arrow 16 in the vertical direction. The column body 1 1 can be pivoted on the base 12 about a vertical axis of rotation 13. On the holding arm 14, a support arm 18 is received in a Tragarmdrehge- steering 58. The support arm 18 may be moved on the support arm 14 about a first vertical support arm pivot axis 20. On the support arm 18, a tool receiving unit 22 is pivotally mounted in a Tragarmdrehgelenk 58. The tool receiving unit 22 can be pivoted in the support arm pivot joint 58 about a second, vertical hinge axis 24.
Der an dem Säulenkörper 12 aufgenommene Haltearm 14, der an den Haltearm 14 angelenkte Tragarm 18 und die mit dem Tragarm 18 gelenkig verbundene Werkzeugaufnahmeeinheit 22 bilden eine sogenannte Scara- Kinematik. Die Werkzeugaufnahmeeinheit 22 trägt ein als kombiniertes Greifer- und Reinigungswerkzeug ausgebildetes Werkzeug 26. Mit dem Werkzeug 26 der in der Fig. 1 gezeigten Vorrichtung 10 sind zwei zu reinigende Werkstücke 28 in Form einer Kurbelwelle aufgenommen. Das Werkzeug 26 kann an der Werkzeugaufnahmeeinheit 22 in einem Werkzeugaufnah- medrehgelenk 25 um eine horizontale Drehachse 30 geschwenkt werden. Die Fig. 2 zeigt die Vorrichtung 10 aus Fig. 1 als Teilschnitt. Der Säulenkörper 12 ist als ein fluiddichter Hohlkörper gestaltet, in dem es einen fluiddich- ten Hohlraum 32 gibt. Der Haltearm 14 ist in dem Hohlraum 32 der Basis 12 an einem Führungsgestänge (nicht gezeigt) linearbeweglich geführt und kann dort mit einer motorisch angetriebenen Spindelmutter 34 in der Richtung des Doppelpfeils 16 auf einer Hubspindel 36 bewegt werden. Auf der dem Haltearm 14 zugewandten Seite ist der Säulenkörper 12 mit einem Lamellenvorhang 38 fluiddicht abgeschlossen. Auch der Haltearm 14 weist einen fluid- dichten Haltearmkörper 70 mit einem fluiddichten Haltearmhohlraum 42 auf. Der Tragarm 18 ist ebenfalls als ein fluiddichter Hohlkörper gestaltet, der einen in dem Tragarmkörper 92 ausgebildeten Tragarmhohlraum 46 hat. Durch den Hohlraum 32 des Säulenkörpers 12, den Haltearmhohlraum 42 und den Tragarmhohlraum 46 ist eine zumindest abschnittsweise flexible Hochdruck- fluidleitung mit einem Fluidkanal 48 und eine zumindest abschnittsweise fle- xible Leitung mit einem Fluidkanal 50 mit daran angeschlossenen Düsen 52 zu der Werkzeugaufnahmeeinheit 22 geführt. Der Haltearmhohlraum 42 kommuniziert mit dem Tragarmhohlraum 46 und dem Hohlraum 32 des Säulenkörpers 12. In dem Hohlraum 32 des Säulenkörpers 12 sind die Fluidlei- tung mit dem Fluidkanal 48 und die Leitung mit dem Fluidkanal 50 an einem Schleppkettenmechanismus 54 angeschlossen. Entlang der Fluidkanäle 48, 50 sind in der Vorrichtung 10 außerdem Signalleitungen 51 verlegt. The support arm 18 accommodated on the column body 12, the support arm 18 articulated on the support arm 14 and the tool receiving unit 22 articulated to the support arm 18 form what is known as a scar kinematics. The tool holder unit 22 carries a tool 26 designed as a combined gripper and cleaning tool. The tool 26 of the apparatus 10 shown in FIG. 1 accommodates two workpieces 28 to be cleaned in the form of a crankshaft. The tool 26 can be pivoted on the tool receiving unit 22 in a tool receiving medial swivel joint 25 about a horizontal axis of rotation 30. FIG. 2 shows the device 10 from FIG. 1 as a partial section. The column body 12 is designed as a fluid-tight hollow body in which there is a fluid-tight cavity 32. The support arm 14 is guided in the cavity 32 of the base 12 on a guide linkage (not shown) linearly movable and can be moved there with a motor-driven spindle nut 34 in the direction of the double arrow 16 on a lifting spindle 36. On the side facing the holding arm 14, the column body 12 is closed in a fluid-tight manner with a lamellae curtain 38. The holding arm 14 also has a fluid-tight holding arm body 70 with a fluid-tight holding arm cavity 42. The support arm 18 is also designed as a fluid-tight hollow body having a support arm cavity 46 formed in the support arm body 92. Through the cavity 32 of the column body 12, the holding arm cavity 42 and the Tragarmhohlraum 46 is at least partially flexible high-pressure fluid line with a fluid channel 48 and an at least partially flexible line with a fluid duct 50 with connected nozzles 52 to the tool holder unit 22 out. The support arm cavity 42 communicates with the support arm cavity 46 and the cavity 32 of the pillar body 12. In the cavity 32 of the pillar body 12, the fluid line to the fluid channel 48 and the line to the fluid channel 50 are connected to a drag chain mechanism 54. Along the fluid channels 48, 50 signal lines 51 are also laid in the device 10.
Das Haltearmdrehgelenk 56 und das Tragarmdrehgelenk 58 enthalten jeweils eine von der Tragarmgelenkachse 20 bzw. der Werkzeugaufnahmege- lenkachse 24 durchsetzte Hohlwelle 60. In der Vorrichtung 10 sind die Hoch- druckfluidleitung mit dem Fluidkanal 48 und die Leitung mit dem Fluidkanal 50 durch die Hohlwelle 60 des Haltearmdrehgelenks 56 und des Tragarmdrehgelenks 58 mit den Signalleitungen 51 geführt. Dem Haltearmdrehgelenk 56 in dem Tragarm 14 ist ein Elektromotor 15 als ein motorischer Antrieb zu- geordnet, der mittels eines Getriebes 17 auf die Hohlwelle 60 des Haltearmdrehgelenks 56 wirkt. Für das Bewegen des Tragarmdrehgelenks 58 ist in dem Tragarm 18 ein Elektromotor 19 aufgenommen. Der Elektromotor 19 wirkt auf die Hohlwelle 60 des Tragarmdrehgelenks 58 mittels eines Getriebes 21 . The holding arm pivot joint 56 and the support arm pivot joint 58 each contain a hollow shaft 60 penetrated by the support arm pivot axis 20 and the tool receiving joint axis 24. In the apparatus 10, the high-pressure fluid line with the fluid channel 48 and the line with the fluid channel 50 through the hollow shaft 60 of FIG Holding arm pivot joint 56 and the Tragarmdrehgelenks 58 with the signal lines 51 out. An electric motor 15, which acts on the hollow shaft 60 of the holding arm pivot joint 56 by means of a gear 17, is assigned to the holding arm pivot joint 56 in the support arm 14 as a motor drive. For moving the Tragarmdrehgelenks 58, an electric motor 19 is received in the support arm 18. The electric motor 19 acts on the hollow shaft 60 of the Tragarmdrehgelenks 58 by means of a transmission 21st
Die Leitung mit dem Fluidkanal 50 ist eine Einrichtung für das Beaufschlagen des Hohlraums 32 der Basis 12 und des Tragarmhohlraums 46 sowie des Haltearmhohlraums 42 mit Sperrluft, die aus den Düsen 52 bereitgestellt wird. Mit der in den Hohlraum 32 des Säulenkörpers 12, in den Tragarmhohlraum 46 und in den Haltearmhohlraum 42 einströmenden Sperrluft wird dort ein Gasdruck bewirkt, der 0,2 bar bis 0,5 bar über dem Atmosphärendruck liegt. Dieser über dem Atmosphärendruck liegende Gasdruck unterbindet das Eindringen von Flüssigkeit, Flüssigkeitsdämpfen und deren gasförmige Bestandteile in diese Hohlräume und die dort angeordneten Getriebe und Drehlager, wenn die Vorrichtung 10 in einer Prozesskammer für das Reinigen und/oder Entgraten von Werkstücken betreiben wird. The conduit with the fluid channel 50 is a means for impinging the cavity 32 of the base 12 and the support arm cavity 46 and the retaining arm cavity 42 with sealing air provided from the nozzles 52. With the sealing air flowing into the cavity 32 of the column body 12, into the support arm cavity 46 and into the holding arm cavity 42, a gas pressure is effected there which is 0.2 bar to 0.5 bar above the atmospheric pressure. This above atmospheric pressure gas pressure prevents the ingress of liquid, liquid vapors and their gaseous components in these cavities and arranged there gear and pivot bearing when the device 10 is operated in a process chamber for cleaning and / or deburring of workpieces.
Die Hochdruckfluidleitung mit dem Fluidkanal 48 dient dazu, das kombinierte Reinigungs- und Greiferwerkzeug 26 mit Reinigungsfluid zu beaufschlagen, das optional unter einem hohen Druck steht, der bis zu 3000 bar oder auch mehr betragen kann. Das dem Reinigungs- und Greiferwerkzeug 26 durch den Fluidkanal 48 zugeführte Reinigungsfluid kann z.B. ein Fluid aus der Gruppe wässrige Tensidlösungen, Laugen, Säuren, VE-Wasser, nichtwässri- ge Lösungsmittel, insbes. Alkohole, halogenierte Kohlenwasserstoffe, Pflanzenölester und/oder dibasische Ester umfassen, aber auch Druckluft, Wasserdampf oder überkritisches Kohlendioxid. Der Fluidkanal 48 und der Fluid- kanal 50 durchsetzen jeweils die Hohlwelle 60 des Haltearmdrehgelenks 56 und des Tragarmdrehgelenks 58. Vor und nach der Hohlwelle 60 des Haltearmdrehgelenks 56 und des Tragarmdrehgelenks 58 sind die Hochdruckfluidleitung mit dem Fluidkanal 48 und die Leitung mit dem Fluidkanal 50 jeweils an Festpunkten 53 fixiert. Um das Verdrillen der Hochdruckfluidleitung mit dem Fluidkanal 48 und der Leitung mit dem Fluidkanal 50 zu unterbinden, ist die Bewegung des Haltearmdrehgelenks 56 und des Tragarmdrehgelenks 58 auf 360° beschränkt. Die Fig. 3 zeigt das Haltearmdrehgelenk 56. Die Fig. 4 ist eine vergrößerte Ansicht eines Abschnitts des Haltearmdrehgelenks 56. Das Haltearmdrehgelenk 56 weist einen in dem Haltearm 14 festgelegten ersten Gelenkabschnitt 62 und einen mit dem Tragarm 18 fest verbundenen und zu dem Haltearm 14 schwenkbeweglichen zweiten Gelenkabschnitt 64 auf. Der zweite Gelenkabschnitt 64 ist in dem Haltearm 14 in einer Gelenkabschnittaufnahme 66 angeordnet. Die Gelenkabschnittaufnahme 66 ist mit einem von der Tragarmgelenkachse 20 des Haltearmdrehgelenks 56 durchsetzen ersten als ein Simmering ausgebildeten ringförmigen Dichtungselement 68, das an dem ersten Gelenkabschnitt 62 anliegt, und mit einem von der Tragarmgelenkachse 20 des Haltearmdrehgelenks 56 durchsetzten weiteren ringförmigen Dichtungselement 72 an einem mit dem zweiten Gelenkabschnitt 64 fest verbundenen Abschnitt 65 des Tragarms 18 zu dem Körper 70 des Haltearms 14 abgedichtet. The high pressure fluid line with the fluid channel 48 serves to pressurize the combined cleaning and gripping tool 26 with cleaning fluid, which is optionally at a high pressure, which may be up to 3000 bar or more. The cleaning fluid supplied to the cleaning and gripping tool 26 through the fluid channel 48 can comprise, for example, a fluid from the group of aqueous surfactant solutions, alkalis, acids, demineralized water, nonaqueous solvents, especially alcohols, halogenated hydrocarbons, vegetable oil esters and / or dibasic esters but also compressed air, water vapor or supercritical carbon dioxide. The fluid channel 48 and the fluid channel 50 respectively pass through the hollow shaft 60 of the retainer pivot joint 56 and the support arm pivot joint 58. Before and after the hollow shaft 60 of the retainer pivot joint 56 and the support arm pivot joint 58 are the high pressure fluid line with the fluid channel 48 and the conduit with the fluid channel 50, respectively Fixed at fixed points 53. In order to prevent twisting of the high-pressure fluid line with the fluid channel 48 and the line with the fluid channel 50, the movement of the retaining arm pivot joint 56 and the support arm pivot joint 58 is restricted to 360 °. FIG. 4 is an enlarged view of a portion of the retainer pivot 56. The retainer pivot 56 has a first hinge portion 62 defined in the retainer 14 and a pivotally connected to the bracket 18 and pivotable to the retainer arm 14 second hinge portion 64. The second hinge portion 64 is disposed in the support arm 14 in a hinge portion receptacle 66. The Gelenkabschnittaufnahme 66 is provided with a first of the Tragarmgelenkachse 20 of the support arm pivot 56 enforced as a Simmering annular sealing member 68 which abuts the first hinge portion 62, and with a penetrated by the Tragarmgelenkachse 20 of the retaining arm pivot 56 further annular sealing member 72 at one with the second hinge portion 64 tightly connected portion 65 of the support arm 18 sealed to the body 70 of the support arm 14.
Dabei mündet in die Gelenkabschnittaufnahme 66 des Haltearmdrehgelenks 56 zwischen dem ersten ringförmigen Dichtungselement 68 und dem weite- ren ringförmigen Dichtungselement 72 ein mit dem Haltearmhohlraum 42 kommunizierender Fluidkanal 74, der den Körper 70 des Haltearms 14 durchsetzt und durch den aus dem Haltearmhohlraum 42 in die Gelenkabschnittaufnahme 66 zwischen dem ersten ringförmigen Dichtungselement 68 und dem weiteren ringförmigen Dichtungselement 72 Sperrluft einströmen kann. In this case, opens into the Gelenkabschnittaufnahme 66 of the retaining arm pivot joint 56 between the first annular sealing member 68 and the further annular sealing member 72 communicating with the Haltearmhohlraum 42 fluid channel 74 which passes through the body 70 of the support arm 14 and through from the Haltearmhohlraum 42 in the Gelenkabschnittaufnahme 66 can flow between the first annular sealing member 68 and the further annular sealing member 72 sealing air.
Für das Erfassen der Drehstellung des Haltearmdrehgelenks 56 ist an dem Haltearm 14 in einer mit dem Haltearmhohlraum 42 kommunizierenden Aufnahme 76 ein als Magnetsensor ausgebildeter Sensor 78 angeordnet. Der Sensor 78 erfasst ein Magnetfeld, das ein an dem Tragarm 18 aufgenommener magnetischer Körper 80 erzeugt. Die Aufnahme 76 für den Sensor 78 ist mit einem den Sensorkörper 79 des Sensors 78 umgebenden ringförmigen Dichtungselement 82 zu dem Körper 70 des Haltearms 14 abgedichtet. For detecting the rotational position of the holding arm pivot joint 56, a sensor 78 designed as a magnetic sensor is arranged on the holding arm 14 in a receptacle 76 communicating with the holding arm hollow space 42. The sensor 78 detects a magnetic field that generates a magnetic body 80 received on the support arm 18. The receptacle 76 for the sensor 78 is is sealed to the body 70 of the support arm 14 with an annular seal member 82 surrounding the sensor body 79 of the sensor 78.
Die Fig. 5 zeigt das Tragarmdrehgelenk 58 und das Werkzeugaufnah- medrehgelenk 25. Die Fig. 6 ist eine vergrößerte Ansicht eines Abschnitts des Tragarmdrehgelenks 58 und des Werkzeugaufnahmedrehgelenks 25. Das Tragarmdrehgelenk 58 weist einen in dem Tragarm 18 festgelegten ersten Gelenkabschnitt 84 und einen mit dem Tragarm 18 fest verbundenen und zu dem Tragarm 18 schwenkbeweglichen zweiten Gelenkabschnitt 86 auf. Der zweite Gelenkabschnitt 86 ist in dem Tragarm 18 in einer Gelenkabschnittaufnahme 88 angeordnet. Diese Gelenkabschnittaufnahme 88 ist mit einem von der Werkzeugaufnahmegelenkachse 24 des Tragarmdrehgelenks 58 durchsetzen ersten als ein Simmering ausgebildeten ringförmigen Dichtungselement 90 zu dem Körper 92 des Tragarms 18 und mit einem von der Werkzeugaufnahmegelenkachse 24 des Tragarmdrehgelenks 58 durchsetzten weiteren ringförmigen Dichtungselement 94 zu einem an dem zweiten Gelenkabschnitt 86 festgelegten Abschnitt 67 der Werkzeugaufnahmeeinheit 22 zu dem Körper 92 des Tragarms 18 abgedichtet. Die Gelenkabschnittaufnahme 88 ist dabei durch einen zwischen dem ersten ringförmigen Dich- tungselement 90 und dem weiteren ringförmigen Dichtungselement 94 in die Gelenkabschnittaufnahme 88 mündenden Kanal 75 mit dem Tragarmhohlraum 46 verbunden. Durch diesen Kanal 75 kann hier in die Gelenkabschnittaufnahme 88 zwischen dem ersten ringförmigen Dichtungselement 94 und dem weiteren ringförmigen Dichtungselement 72 Sperrluft einströmen. FIG. 6 shows an enlarged view of a portion of the support arm hinge 58 and the tool receiving pivot joint 25. The support arm pivot 58 has a first hinge portion 84 defined in the support arm 18 and one with the Support arm 18 firmly connected and pivotable to the support arm 18 second hinge portion 86. The second hinge portion 86 is disposed in the support arm 18 in a hinge portion receptacle 88. This hinge section receiver 88 is provided with an annular sealing member 90 formed as a simmering ring extending from the tool receiving hinge axis 24 to the body 92 of the support arm 18 and having a further annular sealing member 94 penetrated from the tool receiving pivot axis 24 of the support arm pivot 58 to one at the second hinge portion 86 fixed portion 67 of the tool holder unit 22 to the body 92 of the support arm 18. The joint section receptacle 88 is connected to the support arm cavity 46 by a channel 75 opening into the joint section receptacle 88 between the first annular seal element 90 and the further annular seal element 94. Through this channel 75 can flow into the Gelenkabschnittaufnahme 88 between the first annular sealing member 94 and the further annular sealing member 72 sealing air here.
Die Werkzeugaufnahmeeinheit 22 hat einen Grundkörper 41 . Dem Werkzeugaufnahmedrehgelenk 25 in der Werkzeugaufnahmeeinheit 22 ist als Antrieb ein Elektromotor 23 zugeordnet. Der Elektromotor 23 bewegt eine Antriebswelle 29, an die ein Getriebe 31 angeschlossen ist. Der Grundkörper 41 der Werkzeugaufnahmeeinheit 22 umfasst ein Halteorgan 69 für das Getriebe 31 . An dem Halteorgan 69 ist das Getriebe 31 abgestützt. Das Getriebe 31 überträgt eine Drehbewegung der Antriebswelle 29 auf einen Anschlussabschnitt 33 für das Greiferwerkzeug 26. Es wird dabei um die Drehachse 30 bewegt. In der Werkzeugaufnahmeeinheit 22 ist das Getriebe 31 in einer Getriebeaufnahme 35 angeordnet. Die Getriebeaufnahme 35 ist dabei mit einem von der Drehachse 30 des Werkzeugaufnahmedrehgelenks 25 durchsetzen ersten ringförmigen Dichtungselement 37 und mit einem von dieser Drehachse 30 durchsetzten weiteren Dichtungselement 39 zu dem Grundkörper 41 des Abschnitts 67 der Werkzeugaufnahmeeinheit 22 und zu dem Halteorgan 69 abgedichtet. Dabei mündet in die Getriebeaufnahme 35 zwischen dem ersten ringförmigen Dichtungselement 37 und dem weiteren ringförmigen Dichtungselement 39 ein mit dem Tragarmhohlraum 46 durch die Hohlwelle 60 kommunizierender Kanal 74 für Sperrluft. The tool receiving unit 22 has a main body 41. The tool receiving rotary joint 25 in the tool receiving unit 22 is associated with an electric motor 23 as a drive. The electric motor 23 moves a drive shaft 29, to which a transmission 31 is connected. The main body 41 of the tool receiving unit 22 comprises a holding member 69 for the transmission 31. On the holding member 69, the gear 31 is supported. The gear 31 transmits a rotational movement of the drive shaft 29 to a connection section 33 for the gripper tool 26. It is thereby moved about the rotation axis 30. In the tool receiving unit 22, the transmission 31 is arranged in a transmission receptacle 35. The transmission mount 35 is thereby sealed with a first annular sealing element 37 penetrating from the axis of rotation 30 of the tool receiving rotary joint 25 and with a further sealing element 39 penetrated by this axis of rotation 30 to the main body 41 of the section 67 of the tool receiving unit 22 and to the retaining element 69. In this case opens into the transmission receptacle 35 between the first annular sealing member 37 and the further annular sealing member 39 communicates with the Tragarmhohlraum 46 through the hollow shaft 60 channel 74 for sealing air.
Die ringförmigen Dichtungselemente 37, 39 haben eine Doppelfunktion. Mit- tels der Dichtungselemente 37, 39 wird zum einen das Austreten von Schmiermittel für das Getriebe 31 aus der Getriebeaufnahme 35 in den mit Sperrluft beaufschlagten Bereich der Vorrichtung 10 unterbunden. Zum anderen schützen die Dichtungselemente 37, 39 davor, dass beim Reinigen von Werkstücken mittels der Vorrichtung 10 in das Getriebe 31 Schmutz und Reinigungsfluid gelangen kann. The annular sealing elements 37, 39 have a double function. By means of the sealing elements 37, 39, on the one hand, the escape of lubricant for the transmission 31 from the transmission receptacle 35 into the region of the device 10 that is exposed to blocking air is prevented. On the other hand, the sealing elements 37, 39 protect against dirt and cleaning fluid being able to get into the gear 31 during the cleaning of workpieces by means of the device 10.
Die Vorrichtung 10 verfügt bevorzugt über eine externe Zentralschmierung für alle neuralgischen Schmierstellen. Das Zuführen von Schmiermittel an die Schmierstellen erfolgt dabei günstiger Weise ebenfalls mittels in den Hohl- räumen 42, 46 des Haltearms 14 und des Tragarms 18 verlegten Leitungen. The device 10 preferably has an external central lubrication for all neuralgic lubrication points. The supply of lubricant to the lubrication points takes place in a favorable manner also means in the cavities 42, 46 of the support arm 14 and the support arm 18 laid lines.
Die Fig. 7 zeigt das ein kombiniertes Greifer- und Reinigungswerkzeug ausgebildete Werkzeug 26 mit zwei daran aufgenommenen Werkstücken 28. Die Fig. 8 zeigt ein mit dem Werkzeug 26 aufgenommene Werkstück 28 als Schnitt. Das Werkzeug 26 ermöglicht das Aufnehmen eines als eine Kurbelwelle ausgebildeten Werkstücks 28 an einem ersten Stirnabschnitt 98 mit einer darin ausgebildeten Vertiefung 100 und an einem dem ersten Stirnabschnitt 98 gegenüberliegenden zweiten Stirnabschnitt 102 mit einer darin ausgebil- deten Vertiefung 104. Das Werkzeug 26 weist erste Halteorgane 106 mit einem Haltedorn 108 und zu den ersten Halteorganen 106 jeweils linearbeweglich verlagerbare weitere Halteorgane 1 10 mit einem weiteren Haltedorn 1 12 für das Aufnehmen des zu reinigenden Werkstücks 28 unter Eingriff des ersten Haltedorns 108 in die an dem ersten Stirnabschnitt 98 ausgebildete als eine Zentrierbohrung gestaltete Vertiefung 100 und des zweiten Haltedorns 1 12 in die an dem zweiten Stirnabschnitt 102 als eine Zentrierbohrung gestaltete Vertiefung 104. FIG. 7 shows the tool 26 formed by a combined gripper and cleaning tool with two workpieces 28 received thereon. FIG. 8 shows a workpiece 28 received by the tool 26 as a section. The tool 26 makes it possible to pick up a workpiece 28 designed as a crankshaft on a first end section 98 with a recess 100 formed therein and on a second end section 102 opposite the first end section 98 with a recess 104 formed therein. The tool 26 has first holding members 106 with a retaining pin 108 and to the first holding members 106 each linearly movable further holding members 1 10 with another retaining mandrel 1 12 for receiving the workpiece to be cleaned 28 under engagement of the first retaining mandrel 108 formed in the formed on the first end portion 98 as a center hole Recess 100 and the second retaining mandrel 1 12 in the formed on the second end portion 102 as a center hole recess 104th
Der erste Haltedorn 108 und der zweite Haltedorn 1 12 ist dabei als ein Dü- senkörper gestaltet, der an eine mit dem das Haltearmdrehgelenk 56 und das Tragarmdrehgelenk 58 durchsetzende Hochdruckfluidleitung mit dem Fluidkanal 48 kommunizierenden Fluidleitung 1 14 bzw. 1 16 angeschlossen ist, um die an dem ersten und dem zweiten Stirnabschnitt 98, 102 des Werkstücks 28 ausgebildete Vertiefung 100 bzw. 104 mit durch die Hochdruckflu- idleitung mit dem Fluidkanal 48 zugeführtem Reinigungsmedium zu reinigen. The first retaining mandrel 108 and the second retaining mandrel 112 are designed as a nozzle body, which is connected to a fluid line 1 14 or 16 communicating with the high-pressure fluid line passing through the retaining arm pivot 56 and the support arm pivot joint 58 to clean at the first and second end portions 98, 102 of the workpiece 28 formed recess 100 or 104 with ided by the Hochdrucksteuer- with the fluid channel 48 cleaning medium.
Die Fig. 9 zeigt den ersten Haltedorn 108 des Reinigungs- und Greiferwerkzeugs 26. In der Fig. 10 ist der Verlauf einer Fluidströmung 1 18 des Reini- gungsfluids durch den ersten Haltedorn 108 in dem Stirnabschnitt 98 des Werkstücks 28 zu sehen. Der Haltedorn 108 weist einen Düsenkörper mit einem Düsenkanal 109 auf, der einen kegelförmig verjüngten Abschnitt 120 mit einem als Halbkugel geformten Bereich für den Eingriff in den ersten Stirnabschnitt 98 des Werkstücks 28 hat. Für das Abführen des das Werkstück 28 beaufschlagenden Reinigungsmediums hat der Düsenkörper in dem kegelförmig verjüngten Abschnitt 120 nutenförmige Vertiefungen 122. Der als Halbkugel geformte Bereich an der Spitze des Haltedorns 108 gewährleistet, dass mittels des als Reinigungs- und Greiferwerkzeug ausgebildeten Werk- zeugs 26 auch Kurbelwellen aufgenommen werden können, die unterschiedliche Zentrierbohrungen haben. 9 shows the first retaining mandrel 108 of the cleaning and gripping tool 26. In FIG. 10, the course of a fluid flow 11 of the cleaning fluid through the first retaining mandrel 108 in the end section 98 of the workpiece 28 can be seen. The retaining mandrel 108 has a nozzle body with a nozzle channel 109 having a tapered portion 120 with a hemispherical shaped portion for engaging the first end portion 98 of the workpiece 28. For the discharge of the cleaning medium acting upon the workpiece 28, the nozzle body in the conically tapered section 120 has groove-shaped depressions 122. The hemispherical region at the tip of the holding mandrel 108 ensures that by means of the work piece designed as a cleaning and gripping tool. 26 crankshafts can be recorded, which have different centering holes.
Die Fig. 1 1 zeigt den zweiten Haltedorn 1 12 des Reinigungs- und Greifer- Werkzeugs 26. Auch der Haltedorn 1 12 weist einen Düsenkörper mit einem Düsenkanal 109 auf, der einen kegelförmig verjüngten Abschnitt 120 für den Eingriff in den ersten Stirnabschnitt 98 des Werkstücks 28 hat. Für das Abführen des das Werkstück 28 beaufschlagenden Reinigungsmediums weist der Düsenkörper in dem kegelförmig verjüngten Abschnitt 120 mehrere Durchbrechungen 126 auf. Auch die Form des Haltedorns 1 12 ermöglicht das Aufnehmen als Kurbelwellen ausgebildeten Werkstücken 28 mit unterschiedlichen Zentrierbohrungen. 1 1 shows the second retaining mandrel 12 of the cleaning and gripper tool 26. The retaining mandrel 112 also has a nozzle body with a nozzle channel 109 which has a conically tapered section 120 for engagement in the first end section 98 of the workpiece 28 has. For discharging the cleaning medium acting upon the workpiece 28, the nozzle body has a plurality of openings 126 in the conically tapered section 120. The shape of the retaining pin 1 12 allows recording as a crankshaft formed workpieces 28 with different centering holes.
Zusammenfassend sind insbesondere folgende bevorzugte Merkmale der Erfindung festzuhalten: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung 10 für das Manipulieren eines Werkzeugs 26 und/oder eines Werkstücks 28 mit einem an einer Basis 12 aufgenommenen Haltearm 14, der einen Haltearmkörper 70 hat. Die Vorrichtung 10 weist einen an den Haltearm 14 mit einem Haltearm- drehgelenk 56 angeschlossenen Tragarm 18 mit einem Tragarmkörper 92 auf. In der Vorrichtung 10 gibt es einen das Haltearmdrehgelenk 56 durchsetzenden Fluidkanal 48, 50, durch den fluides Medium aus der Basis 12 in den Tragarm 18 geführt werden kann. In summary, the following preferred features of the invention are to be noted in particular: The invention relates to a device 10 for manipulating a tool 26 and / or a workpiece 28 with a holding arm 14 received on a base 12, which has a holding arm body 70. The device 10 has a support arm 18 connected to the holding arm 14 with a holding arm pivot 56 with a support arm body 92. In the apparatus 10, there is a fluid channel 48, 50 penetrating the retainer arm pivot 56 through which fluid medium may be guided from the base 12 into the support arm 18.
Bezugszeichenliste: LIST OF REFERENCE NUMBERS
10 Vorrichtung 10 device
1 1 Basis  1 1 base
12 Säulenkörper  12 column body
13 Drehachse  13 axis of rotation
14 Haltearm  14 holding arm
15, 19, 23 Elektromotor  15, 19, 23 electric motor
17, 21 , 27 Getriebe  17, 21, 27 gearbox
16 Doppelpfeil  16 double-headed arrow
18 Tragarm  18 support arm
20 Tragarmgelenkachse  20 Tragarmgelenkachse
22 Werkzeugaufnahmeeinheit 22 tool receiving unit
24 Werkzeugaufnahmegelenkachse24 tool receiving joint axis
25 Werkzeugaufnahmedrehgelenk25 tool holder swivel
26 (Reinigungs-)Werkzeug 26 (cleaning) tool
28 Werkstück  28 workpiece
29 Antriebswelle  29 drive shaft
30 Drehachse  30 axis of rotation
31 Getriebe  31 gears
32 Hohlraum  32 cavity
33 Anschlussabschnitt  33 connection section
34 Spindelmutter  34 spindle nut
35 Getriebeaufnahme  35 Transmission mount
36 Hubspindel  36 lifting spindle
37, 39 Dichtungselement  37, 39 sealing element
38 Lamellenvorhang  38 slat curtain
41 Grundkörper  41 basic body
42 Haltearmhohlraum  42 holding arm cavity
46 Tragarmhohlraum  46 support arm cavity
48, 50 Fluid kanal  48, 50 fluid channel
51 Signalleitung 52 Düsen 51 signal line 52 nozzles
53 Festpunkt  53 fixed point
54 Schleppkettenmechanisnnus  54 Drag Chain Mechanism
56 Haltearmdrehgelenk  56 retaining arm pivot
58 Tragarmdrehgelenk  58 support arm pivot
60 Hohlwelle  60 hollow shaft
62 erster Gelenkabschnitt  62 first joint section
64 zweiter Gelenkabschnitt  64 second joint section
65 Tragarmabschnitt  65 Tragarmabschnitt
66 Gelen kabschnittauf nähme  66 Angle section to take
67 Abschnitt der Werkzeugaufnahmeeinheit 67 Section of the tool holder unit
68 Dichtungselement 68 sealing element
69 Getriebe  69 gearbox
70 Haltearmkörper  70 holding arm body
72 Dichtungselement  72 sealing element
74, 75 Kanal  74, 75 channel
76 Aufnahme  76 recording
78 Sensor  78 sensor
79 Sensorkörper  79 sensor body
80 magnetischer Körper  80 magnetic body
82 Dichtungselement  82 sealing element
84 erster Gelenkabschnitt  84 first joint section
86 zweiter Gelenkabschnitt  86 second joint section
88 Gelenkabschnittaufnahme  88 joint section receptacle
90 Dichtungselement  90 sealing element
92 Tragarm körper  92 support arm body
94 Dichtungselement  94 sealing element
96 Hohlraum  96 cavity
98 Stirnabschnitt  98 forehead section
100 Vertiefung  100 wells
102 Stirnabschnitt  102 forehead section
104 Vertiefung 106 erstes Halteorgan 104 deepening 106 first holding member
108 Haltedorn  108 thorn
109 Düsenkanal  109 nozzle channel
110 Halteorgan  110 retaining member
112 Haltedorn 112 Haltedorn
114, 116 Fluidleitung  114, 116 fluid line
118 Fluidströmung  118 fluid flow
120 kegelförmig verjüngter Abschnitt 120 conically tapered section
122 nutenförmige Vertiefung 122 groove-shaped recess
126 Durchbrechung 126 opening

Claims

Patentansprüche claims
1 . Vorrichtung für das Manipulieren eines Werkzeugs (26) und/oder eines Werkstücks (28), mit einem an einer Basis (12) aufgenommenen Haltearm (14), der einen Haltearmkörper (70) hat; und mit einem an den Haltearm (14) mittels eines Haltearmdrehgelenks angeschlossenen Tragarm (18), der einen Tragarmkörper (92) hat, gekennzeichnet durch einen das Haltearmdrehgelenk (56) durchsetzenden Fluidkanal, durch den fluides Medium aus der Basis (12) in den Tragarm (18) geführt werden kann. 1 . Apparatus for manipulating a tool (26) and / or a workpiece (28) having a support arm (14) received on a base (12) and having a support arm body (70); and a support arm (18) connected to the support arm (14) by means of a support arm pivot, having a support arm body (92) characterized by a fluid passage passing through the support arm pivot (56) through the fluid medium from the base (12) into the support arm (18) can be performed.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der Tragarm (18) in dem Haltearmdrehgelenk (56) um eine Tragarmgelenk- achse (20) geschwenkt werden kann, wobei die Tragarmgelenkachse2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the support arm (18) can be pivoted about a Tragarmgelenk- axis (20) in the Haltearmdrehgelenk (56), wherein the Tragarmgelenkachse
(20) eine Hohlwelle (60) durchsetzt, durch die der Fluidkanal aus dem Haltearm (14) in den Tragarm (18) geführt ist, wobei eine an den Tragarm (18) mittels eines Tragarmdrehgelenks (58) angeschlossene Werkzeugaufnahmeeinheit (22) für das Aufnehmen eines Werkzeugs (26) vorgesehen ist und ein das Tragarmdrehgelenk (58) durchsetzender Fluidkanal (48, 50) vorgesehen ist, durch den fluides Medium aus dem Tragarm (18) in die Werkzeugaufnahmeeinheit (22) geführt werden kann. 3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Werkzeugaufnahmeeinheit (22) ein Werkzeugaufnahmedrehgelenk (25) aufweist, dem ein Antrieb (23) zugeordnet ist, der eine Antriebswelle (29) bewegt, an die ein Getriebe (31 ) angeschlossen ist, das eine Drehbewegung der Antriebswelle (29) auf einen Anschlussabschnitt (33) des Werkzeugaufnahmedrehgelenks (25) für das Werkzeug (26) überträgt, wobei das Getriebe (31 ) in einer Getriebeaufnahnne (35) angeordnet ist, die mittels eines von der Drehachse (30) des Werkzeugaufnahmedrehgelenks (25) durchsetzen ersten ringförmigen Dichtungselements (37) und mittels eines von dieser Drehachse (30) durchsetzten weiteren Dichtungselements (39) zu dem Grundkörper (41 ) der Werkzeugaufnahmeeinheit (22) und dem Getriebe (31 ) abgedichtet ist, wobei die Getriebeaufnahme (35) durch einen zu der Hohlwelle (60) geöffneten, zwischen dem ersten ringförmigen Dichtungselement (37) und dem weiteren ringförmigen Dichtungselement (39) in die Getriebeaufnahme (35) mündenden Kanal (74) mit dem Tragarmhohlraum (46) in dem Tragarmkörper (92) kommuniziert. (20) passes through a hollow shaft (60) through which the fluid channel from the support arm (14) in the support arm (18) is guided, wherein a to the support arm (18) by means of a Tragarmdrehgelenks (58) connected to the tool receiving unit (22) for Receiving a tool (26) is provided and a Tragarmdrehgelenk (58) passing through the fluid channel (48, 50) is provided, can be guided by the fluid medium from the support arm (18) in the tool receiving unit (22). 3. Apparatus according to claim 2, characterized in that the tool receiving unit (22) has a tool receiving rotary joint (25), which is associated with a drive (23) having a drive shaft (29) to which a gear (31) is connected, which transmits a rotational movement of the drive shaft (29) on a connection portion (33) of the tool receiving pivot joint (25) for the tool (26), wherein the transmission (31) in a Gear receiving (35) is arranged, which by means of one of the axis of rotation (30) of the tool receiving rotary joint (25) passing through the first annular seal member (37) and by means of this rotation axis (30) interspersed further sealing element (39) to the base body (41) Tool receiving unit (22) and the transmission (31) is sealed, wherein the transmission receptacle (35) by a to the hollow shaft (60) open, between the first annular sealing member (37) and the further annular sealing element (39) in the gear receptacle (35 ) communicating channel (74) communicates with the Tragarmhohlraum (46) in the Tragarmkörper (92).
Vorrichtung nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch eine Einrichtung für das Beaufschlagen des Tragarmhohlraums (46) mit Sperrluft. Device according to Claim 3, characterized by a device for applying sealing air to the support arm cavity (46).
Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, gekennzeichnet durch ein an dieApparatus according to claim 3 or 4, characterized by a to the
Werkzeugaufnahmeeinheit (22) angeschlossenes Reinigungswerkzeug (26) mit einer Einrichtung für das Aufnehmen eines insbesondere als eine Welle ausgebildeten Werkstücks (28) mit einem ersten Stirnabschnitt (98) mit einer darin ausgebildeten Vertiefung (100) und mit einem dem ersten Stirnabschnitt (98) gegenüberliegenden zweiten Stirnabschnitt (102) mit einer darin ausgebildeten Vertiefung (104), wobei das Werkstück (28) damit an dem ersten Stirnabschnitt (98) mit der darin ausgebildeten Vertiefung (100) und an dem dem ersten Stirnabschnitt (98) gegenüberliegenden zweiten Stirnabschnitt (102) mit der darin ausgebildeten Vertiefung (104) aufnehmbar ist, wobei die Einrichtung ein erstes Halteorgan (106) mit einem Haltedorn (108) und ein zu dem ersten Halteorgan (106) linearbeweglich verlagerbares weiteres Halteorgan (1 10) mit einem weiteren Haltedorn (1 12) für das Aufneh- men des Werkstücks (28) unter Eingriff des ersten Haltedorns (108) in die an dem ersten Stirnabschnitt (98) ausgebildete Vertiefung (100) und unter Eingriff des zweiten Haltedorns (1 12) in die an dem zweiten Stirnabschnitt (102) ausgebildete Vertiefung (104) aufweist. Tool receiving unit (22) connected cleaning tool (26) with a device for receiving a particular designed as a shaft workpiece (28) having a first end portion (98) formed therein with a recess (100) and with a first end portion (98) opposite second end section (102) having a recess (104) formed therein, the workpiece (28) thus engaging the first end section (98) with the recess (100) formed therein and the second end section (102) opposite the first end section (98) ) with the recess (104) formed therein, wherein the device comprises a first holding member (106) with a holding mandrel (108) and a further holding member (110) displaceable in a linearly movable manner relative to the first holding member (106) with a further holding mandrel (1 12) for the reception of the workpiece (28) under engagement of the first retaining pin (108) in the at the first end portion (98) formed recess (100) and engagement of the second retaining pin (1 12) in the formed on the second end portion (102) recess ( 104).
Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Haltedorn (108) und/oder der zweite Haltedorn (1 12) als ein Düsenkörper ausgebildet ist, der an eine mit dem das Haltearmdrehgelenk (56) durchsetzenden Fluidkanal (48) kommunizierende Fluidleitung (1 16) angeschlossen ist, um die an dem ersten (98) und/oder dem zweiten Stirnabschnitt (102) des Werkstücks (28) ausgebildete Vertiefung (104) mit einem durch den Fluidkanal (48) zugeführten Medium zu versorgen. Apparatus according to claim 5, characterized in that the first retaining pin (108) and / or the second retaining pin (1 12) is designed as a nozzle body which communicates with a fluid conduit (1) communicating with the fluid channel (48) passing through the retaining arm pivot (56) 16) is connected in order to supply the recess (104) formed on the first (98) and / or the second end section (102) of the workpiece (28) with a medium supplied through the fluid channel (48).
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Düsenkörper einen kegelförmig verjüngten Abschnitt für den Eingriff in die in dem ersten (98) oder zweiten Stirnabschnitt (102) eines Werkstücks ausgebildete Vertiefung (100, 104) hat, in dem für das Abführen des die Welle beaufschlagenden Reinigungsmediums nutenförmige Vertiefun- gen (122) ausgebildet sind oder Durchbrechungen (126) ausgebildet sind. 7. The device according to claim 6, characterized in that the nozzle body has a conically tapered portion for engaging in the in the first (98) or second end portion (102) of a workpiece formed recess (100, 104), in which for the discharge groove-shaped depressions (122) are formed in the cleaning medium acting on the shaft or perforations (126) are formed.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Tragarmdrehgelenk (58) einen in dem Tragarm (18) festgelegten ersten Gelenkabschnitt (84) und einen mit der Werkzeugaufnahmeeinheit (22) fest verbundenen und zu dem Tragarm (18) schwenkbeweglichen zweiten Gelenkabschnitt (86) hat, wobei der zweite Gelenkabschnitt (86) in dem Tragarm (18) in einer Gelenkabschnittaufnahme (88) angeordnet ist, die mit einem von der Gelenkachse (24) des Tragarmdrehgelenks (58) durchsetzen ersten ringförmigen Dichtungselement (90) zu einem an dem zweiten Gelenkabschnitt (86) festgelegten Abschnitt (67) der Werkzeugaufnahmeeinheit (22) und mit einem von der Gelenkachse (24) des Tragarmdrehgelenks (58) durch- setzten weiteren ringförmigen Dichtungselement (94) zu dem Tragarmkörper (92) des Tragarms (18) abgedichtet ist. 8. Device according to one of claims 3 to 7, characterized in that the Tragarmdrehgelenk (58) fixed in the support arm (18) first joint portion (84) and one with the tool holder unit (22) fixedly connected and to the support arm (18) pivotable second hinge portion (86), wherein the second hinge portion (86) in the support arm (18) in a Gelenkabschnittaufnahme (88) is arranged with a of the hinge axis (24) of the Tragarmdrehgelenken (58) enforce first annular sealing element (90 ) to a portion (67) of the tool receiving unit (22) fixed to the second hinge portion (86) and to a portion (67) of the support arm pivot (58) passing through the hinge axis (24). set further annular sealing member (94) to the support arm body (92) of the support arm (18) is sealed.
Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Gelenkabschnittaufnahme (88) durch einen zwischen dem ersten ringförmigen Dichtungselement (90) und dem weiteren ringförmigen Dichtungselement (94) in die Gelenkabschnittaufnahme (88) mündenden Kanal (75) mit dem in dem Tragarmkörper (92) des Tragarms (18) ausgebildeten Tragarmhohlraum (46) kommuniziert. Apparatus according to claim 8, characterized in that the Gelenkabschnittaufnahme (88) by a between the first annular sealing element (90) and the further annular sealing element (94) into the Gelenkabschnittaufnahme (88) emanating channel (75) with the in the Tragarmkörper (92 ) of the support arm (18) formed Tragarmhohlraum (46) communicates.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 9, gekennzeichnet durch einen an dem Tragarm (18) festgelegten Sensor (78) für das Erfassen der Drehstellung des Tragarmdrehgelenks (58), der in einer Aufnahme angeordnet ist, die mit dem Tragarmhohlraum (46) kommuniziert, wobei der Sensor (78) einen Sensorkörper (79) hat und die Aufnahme (76) mittels des Sensorkörpers (79) und mittels eines an dem Sensorkörper (79) anliegenden Abdichtelements (82) gegen das Eindringen eines flüssigen und/oder gasförmigen und/oder dampfförmigen Prozessmediums durch die Aufnahme (76) in den Tragarmhohlraum (46) abgedichtet ist. Apparatus according to any one of claims 3 to 9, characterized by a sensor (78) fixed to the support arm (18) for detecting the rotational position of the support arm pivot (58) disposed in a receptacle communicating with the support arm cavity (46). wherein the sensor (78) has a sensor body (79) and the receptacle (76) by means of the sensor body (79) and by means of a sealing element (82) against the sensor body (79) against the ingress of a liquid and / or gaseous and / or vaporous process medium through the receptacle (76) in the Tragarmhohlraum (46) is sealed.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Werkzeugaufnahmeeinheit (22) in dem Tragarmdrehgelenk (58) um eine Werkzeugaufnahmegelenkachse (24) gedreht werden kann, wobei die Werkzeugaufnahmegelenkachse (24) eine Hohlwelle (60) durchsetzt, durch die der Fluidkanal (48, 50) aus dem Haltearm (14) in den Tragarm (18) geführt ist. Device according to one of claims 3 to 10, characterized in that the tool receiving unit (22) in the Tragarmdrehgelenk (58) about a Werkzeugaufnahmgelenkachse (24) can be rotated, wherein the Werkzeugaufnahmgelenkachse (24) passes through a hollow shaft (60) through which the Fluid channel (48, 50) from the support arm (14) in the support arm (18) is guided.
12. Vorrichtung nach Anspruch 1 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der Fluidkanal (48, 50) in dem Tragarmhohlraum (46) des Tragarm körpers (92) verläuft. 12. The apparatus of claim 1 1, characterized in that the fluid channel (48, 50) in the Tragarmhohlraum (46) of the support arm body (92).
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Tragarmhohlraunn (46) gegen das Eindringen eines flüssigen und/oder gasförmigen und/oder dampfförmigen Prozessmediums abgedichtet ist. 13. The apparatus according to claim 12, characterized in that the Tragarmhohlraunn (46) is sealed against the ingress of a liquid and / or gaseous and / or vaporous process medium.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Fluidkanal (48, 50) in dem Haltearmhohlraum (42) des Haltearm körpers (70) verläuft. 14. Device according to one of claims 1 to 13, characterized in that the fluid channel (48, 50) in the Haltearmhohlraum (42) of the support arm body (70) extends.
15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass der Haltearmhohlraum (42) gegen das Eindringen eines flüssigen und/oder gasförmigen und/oder dampfförmigen Prozessmediums abgedichtet ist. 15. The apparatus according to claim 14, characterized in that the Haltearmhohlraum (42) is sealed against the ingress of a liquid and / or gaseous and / or vaporous process medium.
16. Vorrichtung nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Haltearmdrehgelenk (56) einen in dem Haltearm (14) festge- legten ersten Gelenkabschnitt (62) und einen mit dem Tragarm (18) fest verbundenen und zu dem Haltearm (14) schwenkbeweglichen zweiten Gelenkabschnitt (64) hat, wobei der zweite Gelenkabschnitt (64) in dem Haltearm (14) in einer Gelenkabschnittaufnahme (66) angeordnet ist, die mittels eines von der Gelenkachse (20) des Haltearmdrehgelenks (56) durchsetzten ersten ringförmigen Dichtungselements (68) und mittels eines von der Gelenkachse (20) des Haltearmdrehgelenks (56) durchsetzten weiteren ringförmigen Dichtungselements (72) zu dem Körper des Haltearms (14) und zu einem an dem zweiten Gelenkabschnitt (64) festgelegten Abschnitt (65) des Tragarms (18) abgedichtet ist, wobei die Gelenkabschnittaufnahme (66) durch einen zwischen dem ersten ringförmigen Dichtungselement (68) und dem weiteren ringförmigen Dichtungselement (72) in die Gelenkabschnittaufnahme (66) mündenden Kanal (74) mit dem Haltearmhohlraum (42) kommuniziert. 16. Device according to claim 14 or 15, characterized in that the holding arm swivel joint (56) has a first joint section (62) fixed in the holding arm (14) and one fixedly connected to the support arm (18) and to the holding arm (14). pivotable second hinge portion (64), wherein the second hinge portion (64) in the support arm (14) in a Gelenkabschnittaufnahme (66) is arranged by means of a from the hinge axis (20) of the Haltearmdrehgelenks (56) penetrated first annular sealing member (68 ) and to the body of the support arm (14) and to a portion (65) of the support arm (18) fixed to the second hinge portion (64) by a further annular seal member (72) penetrated by the hinge axis (20) of the support arm pivot (56). is sealed, wherein the Gelenkabschnittaufnahme (66) by a between the first annular sealing member (68) and the further annular sealing member (72) in the hinge portionaufn (66) opening channel (74) with the Haltearmhohlraum (42) communicates.
17. Vorrichtung nach Anspruch 16, gekennzeichnet durch eine Einrichtung für das Beaufschlagen des Haltearmhohlraums (42) mit Sperrluft. 17. The apparatus according to claim 16, characterized by means for applying the Haltearmhohlraums (42) with sealing air.
18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 17, gekennzeichnet durch einen an dem Haltearm (14) festgelegten Sensor (78) für das Er- fassen der Drehstellung des Haltearmdrehgelenks (56), der in einer Aufnahme (76) angeordnet ist, die mit dem Haltearmhohlraum (42) kommuniziert, wobei der Sensor (78) einen Sensorkörper (79) hat und die Aufnahme (76) mittels des Sensorkörpers (79) und mittels eines an dem Sensorkörper (79) anliegenden Abdichtelements (82) gegen das18. Device according to one of claims 14 to 17, characterized by a on the holding arm (14) fixed sensor (78) for the Er- detecting the rotational position of the support arm pivot (56) disposed in a receptacle (76) communicating with the support arm cavity (42), the sensor (78) having a sensor body (79) and the receptacle (76) by means of the sensor body (76); 79) and by means of a voltage applied to the sensor body (79) sealing member (82) against the
Eindringen eines flüssigen und/oder gasförmigen und/oder dampfförmigen Prozessmediums durch die Aufnahme (76) hindurch in den Haltearmhohlraum (42) abgedichtet ist. Penetration of a liquid and / or gaseous and / or vaporous process medium through the receptacle (76) is sealed into the Haltearmhohlraum (42).
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