WO2016198174A1 - Service device for a plant module - Google Patents

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WO2016198174A1
WO2016198174A1 PCT/EP2016/054978 EP2016054978W WO2016198174A1 WO 2016198174 A1 WO2016198174 A1 WO 2016198174A1 EP 2016054978 W EP2016054978 W EP 2016054978W WO 2016198174 A1 WO2016198174 A1 WO 2016198174A1
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WO
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service device
support
system module
frame
plant
Prior art date
Application number
PCT/EP2016/054978
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German (de)
French (fr)
Inventor
Andreas Birkner
Guido VAN LOON
Arndt Evers
Original Assignee
Integrated Dynamics Engineering Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Integrated Dynamics Engineering Gmbh filed Critical Integrated Dynamics Engineering Gmbh
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/6719—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the processing chambers, e.g. modular processing chambers

Definitions

  • the invention relates to a service facility for
  • the invention relates to a service module for plant modules of a plant used in the field of semiconductor industry, in particular modules of a process plant, or modules of a process control system (for example, a measuring sensor), or modules of a lithographic system (the above systems are referred to as facilities for processing ).
  • the plant module is by means of
  • Equipment for processing substrates are often modular and comprise a plurality of plant modules, which
  • Form processing stations for the substrates may include, for example, lithography equipment, measuring stations, etc.
  • the substrate is thereby from a
  • a similar structure of plant components can also be found in plants of the food and pharmaceutical industry.
  • the disadvantage is that individual system modules are often difficult to access, if they need to be maintained or if components must be repaired. For this purpose, often the system module must be manually or by means of a crane pushed out of the system or lifted out, which is expensive. Furthermore, it is often necessary for the individual system modules to be positioned precisely in order to avoid, in particular, position deviations during the transfer of components from one system module to another.
  • the invention is based on the object to provide a service facility by means of individual plant modules, especially plant modules of a plant for processing substrates, are more easily accessible and can be easily maintained or repaired.
  • the object of the invention is already by a
  • Service device for a system module and solved by a system module with a service device according to one of the independent claims.
  • the invention relates to a service facility for a system module.
  • the service device is designed in particular for a system module for processing wafers or masks. It is also conceivable, however, the use of
  • Invention for plants as they are used in the field of pharmaceutical and food industry and which also consist of individual plant modules in which different process steps are performed with a product to be processed.
  • the service facility includes a circulation for the
  • the system module is placed on this edition. It is specifically intended that the
  • the support may have any configuration for receiving the system module, in particular, the support is designed as a frame, in particular as a metal frame.
  • the support can be moved together with the system module in at least one direction, wherein the support is movable relative to an attachable to the floor frame.
  • the service device thus consists of a component, the frame, which is firmly connected to the ground, and a further component, the support, which is movable relative to the frame.
  • the support may be supported on the ground in particular in a retracted state at the front, in particular by means of rollers. So can heavy
  • the service facility comprises removable rollers and that the rollers fixed to the
  • rollers are part of the edition.
  • the edition is in a retracted
  • the service facility is designed for loads of more than 50 kg, preferably more than 500 kg and more preferably more than 4000 kg.
  • the support is opposite the frame
  • the service facility is preferably designed such that in the locked state support and frame are locked in all three spatial directions to each other. This can be realized, for example, by the fact that the support is movable only in one degree of freedom relative to the frame, namely when moving out. In this case, a lock in one spatial direction is sufficient. On the other hand, if the support is also movable in height, a stop is provided for this purpose in the retracted state or the locking mechanism can also rest in the vertical direction relative to the support
  • the frame may in particular comprise rails for guiding the support.
  • the service device preferably comprises a drive, via which the support is movable.
  • the drive can be operated both mechanically and mechanically.
  • the drive can be done in particular on racks, spindles, in particular threaded spindles, or timing belt.
  • drive means are provided between the frame and support on both sides, which can be moved synchronously.
  • a motorized drive and two drives can be used, not mechanically are coupled together but are synchronized by other means, such as stepper motors.
  • a synchronous drive, manual or motorized has the advantage that thereby the system module can be moved very parallel to the direction of movement, whereby the distance between the modules (for example, 6a, 6b, 6c) can be kept very small.
  • the drive comprises in each case arranged on the sides of the service device drives, in particular racks, over which the support is movable by a synchronous movement on both sides. This has the advantage of a very precise guidance and the support is also positionally secure in the extended or partially extended state within certain limits, that is, this can only move to the game, which has the rack drive.
  • Such a drive can be operated manually or by motor.
  • a receptacle for a hand crank via which the rack drive is actuated via the transmission.
  • Drive and / or locking are in particular designed such that they can be operated by a person.
  • the passage means may in particular comprise a dowel pin and a sliding surface.
  • the passport means arranged on the frame or on the support, height-adjustable
  • the height adjustment can be done for example via mechanically or motor-operated elements, in particular via a threaded spindle. It is also conceivable to set an exact position via corresponding spacer plates.
  • the invention further relates to a plant module which has a service facility as above
  • Service device a greater depth than the system module. In this embodiment, therefore, the plant module is moved by a further distance than the depth of the
  • the service module can also comprise a telescopic extension on the support and / or on the frame.
  • the support can be moved further than the depth of the plant module, without the service facility itself a greater depth than that
  • Plant module has.
  • this includes
  • Plant module or the service facility which is part of the plant module, at least one sensor, via which the position to an adjacent further plant module in at least one spatial direction can be determined.
  • sensors for example, capacitive or
  • inductive proximity switches or optical sensors such as photoelectric sensors or cameras.
  • the invention further relates to a system with a plurality of system modules.
  • a plant module forms the head of a plant and can
  • Fig. 1 and Fig. 2 show a three-dimensional view of a service device in the retracted and extended state.
  • FIG. 6 shows a plant for processing wafers with a plurality of plant modules, which comprises sensors via which an exact positioning of the plant modules
  • FIGS. 7 to 11 details of another embodiment of a
  • Fig. 1 shows a perspective view of a
  • the service device 1 comprises a frame 3, which can be fastened on the floor.
  • the frame 3 is U-shaped in this embodiment.
  • the service device 1 comprises a support 2, which is also configured in this embodiment as a U-shaped frame.
  • a service module (not shown) can be attached.
  • the support 2 relative to the frame 3 is movable.
  • the support 3 In order to be supported at the front even in the extended state, the support 3 comprises rollers 4 on a front side. In this retracted state, the support 2 rests not on the rail system, but on overlapping sliding mating surfaces (not shown) to an exact
  • Fig. 2 shows the service device 1 in the extended state.
  • Sliding surfaces 5 or support surfaces which together with a mounted on the support 2 pin or attached sliding surface (not shown) form a passport.
  • 3 shows a plant for processing wafers.
  • the system is modular and includes in this example the system modules 6a to 6c, which as
  • the plant is from a front over the
  • System module accessible, that is, for example, via the system module 6a, the system can be charged.
  • the system modules 6a and 6b each rest on one
  • Plant modules 6a to 6c are arranged directly adjacent to each other, so that a wafer from system module to system module
  • FIG. 4 now shows how the system module 6a was pulled forward via the service device 1a.
  • the space between the service modules 6a and 6b is now accessible and it can repair the work
  • Service module 6a or 6b are made.
  • Fig. 6 shows a further embodiment of the invention, in which an exact positioning of the system modules and 6b is checked by the sensors 7a to 7c.
  • optical sensors that have a corresponding counterpart, such as
  • a reflector or a mark on the service module 6a (not shown) check whether in the retracted state, the service modules 6a and 6b are exactly aligned with each other.
  • Fig. 7 shows a perspective view of another embodiment of a service device 1 for a
  • the service facility 1 comprises in this
  • Embodiment a support 2, which is designed as a rectangular frame.
  • the support 2 is movable on a frame 3 attachable to the floor and also includes rollers 4 on the front.
  • the frame 3 is in this embodiment in two parts, namely as two rails, formed, which can be fixed to the ground.
  • the edition 2 is here in the retracted state
  • the service device 1 comprises a rack drive.
  • the rack drive includes at the front of the rack drive
  • Pad 2 a drive 9, in which, for example, a crank can be inserted.
  • the drive 9 is connected to a transmission 8, by means of which the rotational movement of the drive 9 is transmitted to gears on
  • the service device 1 comprises a
  • Locking device via which the Service device can be locked in the retracted state.
  • the locking device also comprises a drive 10 which is accessible from the front, but which is connected to the frame 3.
  • the user can unlock the service device via the drive 10, which is also connected via a gear 11 with a locking device on the frame 3, and then via the drive 9, the system module
  • Fig. 8 shows a detail view of the frame.
  • the frame has a rack 12 for the drive and an additional rail 13, which serves as a guide for the support.
  • an additional rail 13 which serves as a guide for the support.
  • Fig. 9 shows a perspective view of the
  • spacer plates can be positioned under the pads.
  • sliding element 18 slides at least the rear part of the support rails on the frame.
  • the sliding elements 18 engage around the rails.
  • a passport in the form of a
  • Pass pin 19 This slides in the retracted state on an actuator of the frame (20 in Fig. 11).
  • Fig. 11 shows a further detail view of the frame seen from the rear side.
  • the support plate 22 is chamfered to achieve that when retracting the support plate of the support on the
  • Platen 22 slides. This can be adjusted for example by means of a threaded spindle and forms in cooperation with another passport means, such as a dowel pin (19 in Fig. 10), a fit in the retracted state.
  • a threaded spindle forms in cooperation with another passport means, such as a dowel pin (19 in Fig. 10), a fit in the retracted state.
  • the locking mechanism 14 which has an engagement element 21, which for locking the support on the frame in a

Abstract

The invention relates to a service module, by which a conditioning module, which serves in particular for the processing of wafers, can be withdrawn from a plant.

Description

SERVICEEINRICHTUNG FÜR EIN ANLAGENMODUL  SERVICE DEVICE FOR A PLANT MODULE
Beschreibung description
Gebiet der Erfindung Field of the invention
Die Erfindung betrifft eine Serviceeinrichtung zur The invention relates to a service facility for
Verwendung in Anlagen in Reinräumen. Insbesondere betrifft die Erfindung ein Servicemodul für Anlagenmodule einer auf dem Gebiet der Halbleiterindustrie verwendeten Anlage, insbesondere Module einer Prozessanlage, oder Module einer Prozesskontroll-Anlage (beispielsweise ein Messsensor) , oder Module einer Lithographieanlage (die vorbezeichneten Anlagen werden im folgenden als Anlagen zur Prozessierung bezeichnet) . Das Anlagenmodul ist mittels der Use in plants in clean rooms. In particular, the invention relates to a service module for plant modules of a plant used in the field of semiconductor industry, in particular modules of a process plant, or modules of a process control system (for example, a measuring sensor), or modules of a lithographic system (the above systems are referred to as facilities for processing ). The plant module is by means of
Serviceeinrichtung verfahrbar. Service facility movable.
Hintergrund der Erfindung Background of the invention
Anlagen zur Prozessierung von Substraten, wie zum Beispiel Wafern oder Masken, sind häufig modular ausgebildet und umfassen eine Mehrzahl von Anlagenmodulen, welche Equipment for processing substrates, such as wafers or masks, are often modular and comprise a plurality of plant modules, which
Bearbeitungsstationen für die Substrate bilden. Diese können beispielsweise Lithographiegeräte, Messstationen etc. umfassen. Das Substrat wird dabei von einem Form processing stations for the substrates. These may include, for example, lithography equipment, measuring stations, etc. The substrate is thereby from a
Anlagenmodul zum anderen Anlagenmodul befördert. System module transported to the other system module.
Ein ähnlicher Aufbau von Anlagenkomponenten findet sich auch in Anlagen der Lebensmittel- und Pharmaindustrie. Nachteilig ist, dass einzelne Anlagenmodule oft schwer zugänglich sind, falls diese gewartet werden müssen oder falls Komponenten repariert werden müssen. Hierzu muss häufig das Anlagenmodul manuell oder mittels eines Krans aus der Anlage herausgeschoben oder herausgehoben werden, was aufwendig ist. Weiter ist es vielfach erforderlich, dass die einzelnen Anlagenmodule exakt positioniert sind, um insbesondere Positionsabweichungen bei der Übergabe von Bauteilen von einem zum anderen Anlagenmodul zu vermeiden. A similar structure of plant components can also be found in plants of the food and pharmaceutical industry. The disadvantage is that individual system modules are often difficult to access, if they need to be maintained or if components must be repaired. For this purpose, often the system module must be manually or by means of a crane pushed out of the system or lifted out, which is expensive. Furthermore, it is often necessary for the individual system modules to be positioned precisely in order to avoid, in particular, position deviations during the transfer of components from one system module to another.
Aufgabe der Erfindung Object of the invention
Der Erfindung liegt demgegenüber die Aufgabe zugrunde, eine Serviceeinrichtung bereitzustellen, mittels der einzelne Anlagenmodule, insbesondere Anlagenmodule einer Anlage zur Prozessierung von Substraten, leichter zugänglich sind und so leichter gewartet oder repariert werden können. The invention is based on the object to provide a service facility by means of individual plant modules, especially plant modules of a plant for processing substrates, are more easily accessible and can be easily maintained or repaired.
Zusammenfassung der Erfindung Summary of the invention
Die Aufgabe der Erfindung wird bereits durch eine The object of the invention is already by a
Serviceeinrichtung für ein Anlagenmodul sowie durch ein Anlagenmodul mit einer Serviceeinrichtung nach einem der unabhängigen Ansprüche gelöst. Service device for a system module and solved by a system module with a service device according to one of the independent claims.
Bevorzugte Ausführungsformen und Weiterbildungen der Preferred embodiments and further developments of
Erfindung sind dem Gegenstand der abhängigen Ansprüche zu entnehmen . Die Erfindung betrifft eine Serviceeinrichtung für ein Anlagenmodul. Die Serviceeinrichtung ist insbesondere für ein Anlagenmodul zur Prozessierung von Wafern oder Masken ausgebildet. Denkbar ist aber auch die Verwendung der Invention can be found in the subject of the dependent claims. The invention relates to a service facility for a system module. The service device is designed in particular for a system module for processing wafers or masks. It is also conceivable, however, the use of
Erfindung für Anlagen, wie sie im Bereich der Pharma- und Lebensmittelindustrie verwendet werden und welche ebenfalls aus einzelnen Anlagenmodulen bestehen, in denen mit einem zu verarbeitenden Produkt unterschiedliche Prozessschritte durchgeführt werden. Invention for plants, as they are used in the field of pharmaceutical and food industry and which also consist of individual plant modules in which different process steps are performed with a product to be processed.
Die Serviceeinrichtung umfasst eine Auflage für das The service facility includes a circulation for the
Anlagenmodul. Auf dieser Auflage wird das Anlagenmodul platziert. Es ist insbesondere vorgesehen, dass das System module. The system module is placed on this edition. It is specifically intended that the
Anlagenmodul fest mit der Auflage verbunden wird, System module is firmly connected to the support,
beispielsweise durch Verschrauben . for example by screwing.
Die Auflage kann eine beliebige Ausgestaltung zur Aufnahme des Anlagenmoduls haben, insbesondere ist die Auflage als Rahmen, insbesondere als Metallrahmen, ausgebildet. The support may have any configuration for receiving the system module, in particular, the support is designed as a frame, in particular as a metal frame.
Die Auflage ist zusammen mit dem Anlagenmodul in zumindest einer Richtung verfahrbar, wobei die Auflage gegenüber einem auf dem Boden befestigbaren Rahmen verfahrbar ist. The support can be moved together with the system module in at least one direction, wherein the support is movable relative to an attachable to the floor frame.
Die Serviceeinrichtung besteht also aus einer Komponente, dem Rahmen, welcher mit dem Boden fest verbindbar ist, sowie einer weiteren Komponente, der Auflage, welche gegenüber dem Rahmen verfahrbar ist. The service device thus consists of a component, the frame, which is firmly connected to the ground, and a further component, the support, which is movable relative to the frame.
Die Auflage kann insbesondere in einem herausgefahrenen Zustand an der Vorderseite auf dem Boden abgestützt sein, insbesondere mittels Rollen. So können auch schwere The support may be supported on the ground in particular in a retracted state at the front, in particular by means of rollers. So can heavy
Komponenten aufgenommen werden. Components are included.
Denkbar ist sowohl, dass die Serviceeinrichtung abnehmbare Rollen umfasst als auch, dass die Rollen fest an der It is conceivable both that the service facility comprises removable rollers and that the rollers fixed to the
Serviceeinrichtung installiert sind. Es ist insbesondere vorgesehen, dass die Rollen Bestandteil der Auflage sind. Vorzugsweise liegt die Auflage in einem eingefahrenen  Service device are installed. It is particularly provided that the rollers are part of the edition. Preferably, the edition is in a retracted
Zustand, aber nicht auf den Rollen auf, sondern es sind hierfür Passmittel vorgesehen. Condition, but not on the roles, but there are provided for this passport.
Die Serviceeinrichtung ist für Lasten von mehr als 50 kg, vorzugsweise von mehr als 500 kg und besonders bevorzugt von mehr als 4000 kg, ausgelegt. The service facility is designed for loads of more than 50 kg, preferably more than 500 kg and more preferably more than 4000 kg.
Vorzugsweise ist die Auflage gegenüber dem Rahmen, Preferably, the support is opposite the frame,
zumindest in einem nicht ausgefahrenen Zustand, at least in a non-extended state,
verriegelbar. Hierdurch wird nicht nur eine Sicherung gegen unbeabsichtigtes Verfahren erreicht, sondern es wird sichergestellt, dass auch im Falle eines Erdbebens die einzelnen Anlagenmodule sicher zueinander ausgerichtet sind . lockable. As a result, not only is a safeguard against unintentional method achieved, but it is ensured that even in the case of an earthquake, the individual system modules are securely aligned with each other.
Es ist insbesondere ein Verriegelungsmechanismus It is in particular a locking mechanism
vorgesehen, welcher von der Vorderseite her zugänglich ist, beispielsweise welcher ein Getriebe umfasst, über das ein Verriegelungsmechanismus betätigt wird, welcher ein provided, which is accessible from the front, for example, which comprises a transmission, via which a locking mechanism is actuated, which
Schienensystem, über das die Auflage gegenüber dem Rahmen verfahrbar ist, verriegelt. Denkbar ist aber auch, die Verriegelung elektrisch auszugestalten, beispielsweise mittels motorisch oder magnetisch oder pneumatisch Rail system over which the support is movable relative to the frame locked. It is also conceivable to design the latch electrically, for example by means of motor or magnetic or pneumatic
betätigbarer Verriegelungselemente. Die Serviceeinrichtung ist vorzugsweise derart ausgebildet, dass im verriegelten Zustand Auflage und Rahmen in allen drei Raumrichtungen zueinander verriegelt sind. Dies kann beispielsweise dadurch realisiert werden, dass die Auflage nur in einem Freiheitsgrad gegenüber dem Rahmen bewegbar ist, nämlich beim Herausfahren. In diesem Falle reicht eine Verriegelung in einer Raumrichtung. Ist die Auflage dagegen auch in der Höhe bewegbar, so ist hierzu im eingefahrenen Zustand ein Anschlag vorgesehen oder die Verriegelungseinrichtung kann die Auflage auch in vertikaler Richtung gegenüber dem actuatable locking elements. The service facility is preferably designed such that in the locked state support and frame are locked in all three spatial directions to each other. This can be realized, for example, by the fact that the support is movable only in one degree of freedom relative to the frame, namely when moving out. In this case, a lock in one spatial direction is sufficient. On the other hand, if the support is also movable in height, a stop is provided for this purpose in the retracted state or the locking mechanism can also rest in the vertical direction relative to the support
Rahmen festlegen. Set frame.
Der Rahmen kann insbesondere Schienen zur Führung der Auflage umfassen. The frame may in particular comprise rails for guiding the support.
Weiter umfasst die Serviceeinrichtung vorzugsweise einen Antrieb, über welchen die Auflage bewegbar ist. Der Antrieb kann sowohl motorisch als auch mechanisch betätigt werden. Furthermore, the service device preferably comprises a drive, via which the support is movable. The drive can be operated both mechanically and mechanically.
Der Antrieb kann insbesondere über Zahnstangen, Spindeln, insbesondere Gewindespindeln, oder Zahnriemen erfolgen. The drive can be done in particular on racks, spindles, in particular threaded spindles, or timing belt.
Bei einer Weiterbildung der Erfindung sind zwischen Rahmen und Auflage auf beiden Seiten Antriebsmittel vorgesehen, welche synchron bewegt werden können. In one embodiment of the invention, drive means are provided between the frame and support on both sides, which can be moved synchronously.
Dies kann beispielsweise insbesondere bei einem manuellen Antrieb durch eine mechanische Kopplung der Antriebe, etwa über ein Gewinde, erfolgen. This can be done, for example, in particular with a manual drive by a mechanical coupling of the drives, for example via a thread.
Insbesondere bei einem motorisierten Antrieb können auch zwei Antriebe verwendet werden, die mechanisch nicht miteinander gekoppelt sind, aber über sonstige Mittel, wie beispielsweise Schrittmotoren, synchronisiert sind. In particular, in a motorized drive and two drives can be used, not mechanically are coupled together but are synchronized by other means, such as stepper motors.
Ein synchroner Antrieb, manuell oder motorisch, hat den Vorteil, dass dadurch das Anlagenmodul sehr parallel zur Bewegungsrichtung bewegt werden kann, wodurch der Abstand zwischen den Modulen (beispielweise 6a, 6b, 6c) sehr klein gehalten werden kann. Bei einer Ausführungsform der Erfindung umfasst der Antrieb jeweils auf den Seiten der Serviceeinrichtung angeordnete Antriebe, insbesondere Zahnstangen, über welche die Auflage durch eine synchrone Bewegung an beiden Seiten bewegbar ist. Dies hat den Vorteil einer sehr exakten Führung und die Auflage ist auch im herausgefahrenen oder teilweise herausgefahrenen Zustand in gewissen Grenzen lagegesichert, das heißt diese kann sich nur um das Spiel bewegen, welches der Zahnstangenantrieb hat. Ein derartiger Antrieb kann manuell oder motorisch betätigt werden . A synchronous drive, manual or motorized, has the advantage that thereby the system module can be moved very parallel to the direction of movement, whereby the distance between the modules (for example, 6a, 6b, 6c) can be kept very small. In one embodiment of the invention, the drive comprises in each case arranged on the sides of the service device drives, in particular racks, over which the support is movable by a synchronous movement on both sides. This has the advantage of a very precise guidance and the support is also positionally secure in the extended or partially extended state within certain limits, that is, this can only move to the game, which has the rack drive. Such a drive can be operated manually or by motor.
Im Falle einer manuellen Betätigung ist insbesondere vorgesehen, dass der Zahnstangenantrieb über ein Getriebe angetrieben wird, wobei entsprechende Betätigungsmittel von der Vorderseite her zugänglich sind. Dies kann In the case of a manual operation is provided in particular that the rack drive is driven by a gear, with corresponding actuating means are accessible from the front. This can
beispielsweise eine Aufnahme für eine Handkurbel sein, über welche über das Getriebe der Zahnstangenantrieb betätigt wird . Antrieb und/oder Verriegelung sind insbesondere derart ausgebildet, dass diese von einer Person bedient werden können . Bei einer Weiterbildung der Erfindung sind in einem For example, be a receptacle for a hand crank, via which the rack drive is actuated via the transmission. Drive and / or locking are in particular designed such that they can be operated by a person. In a further development of the invention are in one
eingefahrenen Zustand zwischen Auflage und Rahmen retracted condition between support and frame
Passmittel vorhanden. Insbesondere sind Passmittel Passport available. In particular, passport devices
vorgesehen, welche beim Einfahren übereinander gleiten, insbesondere an den Rändern der Serviceeinrichtung. provided, which slide over each other when retracting, especially at the edges of the service facility.
Im eingefahrenen Zustand ruht die Auflage mithin nicht auf den Schienen, sondern die Passmittel gleiten übereinander und stellen so eine exakte Positionierung des Anlagenmoduls sicher . When retracted, therefore, the support does not rest on the rails, but the fitting means slide over one another and thus ensure an exact positioning of the system module.
Die Passmittel können insbesondere ein Passstift und eine Gleitfläche umfassen. The passage means may in particular comprise a dowel pin and a sliding surface.
Insbesondere ist vorgesehen, dass die Passmittel am Rahmen oder an der Auflage angeordnete, höhenverstellbare In particular, it is provided that the passport means arranged on the frame or on the support, height-adjustable
Positionierungsplatten umfassen. Include positioning plates.
So kann das Anlagenmodul beim Aufstellen über die Thus, the system module when setting up via the
Serviceeinrichtung exakt ausgerichtet werden. Diese Service device to be aligned exactly. These
Ausrichtung bleibt im Servicefall erhalten, da im Alignment is maintained in case of service, as in the
eingefahrenen Zustand über die Passmittel eine exakte retracted state via the passport means an exact
Positionierung sichergestellt ist. Positioning is ensured.
Die Höhenverstellung kann beispielsweise über mechanisch oder motorisch betätigbare Elemente erfolgen, insbesondere über eine Gewindespindel. Weiter ist denkbar, über entsprechende Distanzplättchen eine exakte Position einzustellen. The height adjustment can be done for example via mechanically or motor-operated elements, in particular via a threaded spindle. It is also conceivable to set an exact position via corresponding spacer plates.
Die Erfindung betrifft des Weiteren ein Anlagenmodul, welches eine Serviceeinrichtung, wie vorstehend The invention further relates to a plant module which has a service facility as above
beschrieben, umfasst. described includes.
Es versteht sich, dass auch denkbar ist, mehrere It is understood that it is also possible to have several
Anlagenmodule auf einer Serviceeinrichtung zu positionieren und diese zusammen zu verfahren. To position plant modules on a service facility and to move them together.
Bei einer Weiterbildung der Erfindung hat die In a further development of the invention, the
Serviceeinrichtung eine größere Tiefe als das Anlagenmodul. Bei dieser Ausführungsform ist mithin das Anlagenmodul um eine weitere Strecke verfahrbar als die Tiefe des Service device a greater depth than the system module. In this embodiment, therefore, the plant module is moved by a further distance than the depth of the
Anlagenmoduls selbst. Plant module itself.
Alternativ oder in Kombination kann das Servicemodul auch eine teleskopartige Verlängerung an der Auflage und/oder am Rahmen umfassen. So kann die Auflage weiter als die Tiefe des Anlagenmoduls herausgefahren werden , ohne dass die Serviceeinrichtung selbst eine größere Tiefe als das Alternatively or in combination, the service module can also comprise a telescopic extension on the support and / or on the frame. Thus, the support can be moved further than the depth of the plant module, without the service facility itself a greater depth than that
Anlagenmodul hat. Plant module has.
Bei einer Weiterbildung der Erfindung umfasst das In a further development of the invention, this includes
Anlagenmodul bzw. die Serviceeinrichtung, welche Teil des Anlagenmoduls ist, zumindest einen Sensor, über welchen die Position zu einem angrenzenden weiteren Anlagenmodul in zumindest einer Raumrichtung bestimmbar ist. Plant module or the service facility, which is part of the plant module, at least one sensor, via which the position to an adjacent further plant module in at least one spatial direction can be determined.
So kann überprüft werden, ob die Anlagenmodule nach dem Verfahren eines Anlagenmoduls wieder in der gewünschten Position sind. Gegebenenfalls kann anhand der Sensorsignale auch eine Korrektur vorgenommen werden. It is thus possible to check whether the system modules return to the desired position after a system module has been moved Position are. Optionally, a correction can be made based on the sensor signals.
Als Sensoren können beispielsweise kapazitive oder As sensors, for example, capacitive or
induktive Näherungsschalter oder optische Sensoren, wie Lichtschranken oder Kameras, verwendet werden. inductive proximity switches or optical sensors, such as photoelectric sensors or cameras.
Die Erfindung betrifft des Weiteren eine Anlage mit einer Mehrzahl von Anlagenmodulen. Es ist aber insbesondere vorgesehen, dass zwei angrenzende Anlagenmodule quer zueinander verfahrbar sind. So bildet beispielsweise ein Anlagenmodul das Kopfstück einer Anlage und kann The invention further relates to a system with a plurality of system modules. However, it is provided in particular that two adjacent system modules are movable transversely to each other. For example, a plant module forms the head of a plant and can
dementsprechend nach vorne herausgefahren werden, wobei die dahinter angeordneten Module quer zur Seite herausfahrbar sind . Accordingly, be moved out to the front, with the modules arranged behind it can be moved out transversely to the side.
Kurzbeschreibung der Zeichnungen Brief description of the drawings
Die Erfindung soll im Folgenden bezugnehmend auf The invention will be described below with reference to
beispielhafte Ausführungsformen anhand der Zeichnungen Fig. 1 bis Fig. 11 näher erläutert werden. exemplary embodiments with reference to the drawings Fig. 1 to Fig. 11 will be explained in more detail.
Fig. 1 und Fig. 2 zeigen eine dreidimensionale Ansicht einer Serviceeinrichtung im eingefahrenen und ausgefahrenen Zustand . Fig. 1 and Fig. 2 show a three-dimensional view of a service device in the retracted and extended state.
Bezugnehmend auf Fig. 3 bis Fig. 6 soll die Verwendung der Serviceeinrichtung für verschiedene Anlagenmodule einer Anlage zur Prozessierung von Wafern näher erläutert werden. Fig. 6 zeigt eine Anlage zur Prozessierung von Wafern mit mehreren Anlagenmodulen, welche Sensoren umfasst, über welche eine exakte Positionierung der Anlagenmodule Referring to FIGS. 3 to 6, the use of the service device for various system modules of a wafer processing system will be explained in greater detail. FIG. 6 shows a plant for processing wafers with a plurality of plant modules, which comprises sensors via which an exact positioning of the plant modules
überprüft werden kann. can be checked.
Bezugnehmend auf die Zeichnungen Fig. 7 bis Fig. 11 sollen Details einer weiteren Ausführungsform einer Referring to the drawings, FIGS. 7 to 11, details of another embodiment of a
Serviceeinrichtung näher erläutert werden. Service device will be explained in more detail.
Detaillierte Beschreibung der Zeichnungen Detailed description of the drawings
Fig. 1 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Fig. 1 shows a perspective view of a
Ausführungsbeispiels einer Serviceeinrichtung 1 im Embodiment of a service device 1 in
eingefahrenen Zustand. retracted state.
Die Serviceeinrichtung 1 umfasst einen Rahmen 3, welcher auf dem Boden befestigt werden kann. Der Rahmen 3 ist in diesem Ausführungsbeispiel U-förmig ausgebildet. The service device 1 comprises a frame 3, which can be fastened on the floor. The frame 3 is U-shaped in this embodiment.
Weiter umfasst die Serviceeinrichtung 1 eine Auflage 2, welche in diesem Ausführungsbeispiel ebenfalls als U- förmiger Rahmen ausgestaltet ist. Further, the service device 1 comprises a support 2, which is also configured in this embodiment as a U-shaped frame.
Auf der Auflage 2 kann ein Servicemodul (nicht dargestellt) befestigt werden. On the support 2, a service module (not shown) can be attached.
Über ein Schienensystem ist die Auflage 2 gegenüber dem Rahmen 3 verfahrbar. About a rail system, the support 2 relative to the frame 3 is movable.
Um auch im ausgefahrenen Zustand vorn abgestützt zu sein, umfasst die Auflage 3 an einer Vorderseite Rollen 4. In diesem eingefahrenen Zustand ruht die Auflage 2 nicht auf dem Schienensystem, sondern auf übereinander gleitenden Passflächen (nicht dargestellt) , um eine exakte In order to be supported at the front even in the extended state, the support 3 comprises rollers 4 on a front side. In this retracted state, the support 2 rests not on the rail system, but on overlapping sliding mating surfaces (not shown) to an exact
Positionierung zu gewährleisten. To ensure positioning.
Fig. 2 zeigt die Serviceeinrichtung 1 im ausgefahrenen Zustand . Fig. 2 shows the service device 1 in the extended state.
Zu sehen ist, dass die Auflage 2 gegenüber dem Rahmen 3 herausgefahren wurde und nunmehr vorderseitig auf den It can be seen that the support 2 has been moved out relative to the frame 3 and now on the front side of the
Rollen 4 ruht. Rolls 4 rests.
Auf der gegenüberliegenden Seite zu erkennen sind die On the opposite side you can see the
Gleitflächen 5 bzw. Auflagenflächen, welche zusammen mit einem an der Auflage 2 angebrachten Stift oder einer angebrachten Gleitfläche (nicht dargestellt) ein Passmittel bilden . Sliding surfaces 5 or support surfaces, which together with a mounted on the support 2 pin or attached sliding surface (not shown) form a passport.
Fig. 3 zeigt eine Anlage zur Prozessierung von Wafern. 3 shows a plant for processing wafers.
Die Anlage ist modular aufgebaut und umfasst in diesem Beispiel die Anlagenmodule 6a bis 6c, welche als The system is modular and includes in this example the system modules 6a to 6c, which as
unterschiedliche Bearbeitungsstationen ausgebildet sind, in denen die Wafer prozessiert werden. different processing stations are formed, in which the wafers are processed.
Die Anlage ist von einer Vorderseite her über das The plant is from a front over the
Anlagenmodul zugänglich, das heißt beispielsweise über das Anlagenmodul 6a kann die Anlage beschickt werden. Die Anlagenmodule 6a und 6b ruhen jeweils auf einer System module accessible, that is, for example, via the system module 6a, the system can be charged. The system modules 6a and 6b each rest on one
erfindungsgemäßen Serviceeinrichtung la, lb. Dargestellt ist hier der eingefahrene Zustand, also der Zustand im Betrieb der Anlage, bei welchem die Service facility 1a, 1b according to the invention. Shown here is the retracted state, ie the state during operation of the system in which the
Anlagenmodule 6a bis 6c direkt aneinander angeordnet sind, so dass ein Wafer von Anlagenmodul zu Anlagenmodul Plant modules 6a to 6c are arranged directly adjacent to each other, so that a wafer from system module to system module
übergeben werden kann. can be handed over.
Fig. 4 zeigt nunmehr, wie das Anlagenmodul 6a über die Serviceeinrichtung la nach vorne herausgezogen wurde. Der Zwischenraum zwischen den Servicemodulen 6a und 6b ist nunmehr zugänglich und es können Reparaturarbeiten am FIG. 4 now shows how the system module 6a was pulled forward via the service device 1a. The space between the service modules 6a and 6b is now accessible and it can repair the work
Servicemodul 6a oder 6b vorgenommen werden. Service module 6a or 6b are made.
Fig. 5 zeigt nunmehr, dass das Servicemodul 6b zur Seite hin über die Serviceeinrichtung lb herausfahrbar ist. 5 now shows that the service module 6b can be moved out to the side via the service device 1b.
Es ist nunmehr durch Herausfahren des Servicemoduls 6b der Zwischenraum zwischen den Servicemodulen 6a und 6c zu Wartungs- oder Reparaturzwecken freigegeben. It is now released by moving out of the service module 6b, the gap between the service modules 6a and 6c for maintenance or repair purposes.
Fig. 6 zeigt eine weitere Ausführungsform der Erfindung, bei welcher eine exakte Positionierung der Anlagenmodule und 6b durch die Sensoren 7a bis 7c überprüft wird. Fig. 6 shows a further embodiment of the invention, in which an exact positioning of the system modules and 6b is checked by the sensors 7a to 7c.
Es kann sich beispielsweise um optische Sensoren handeln, die über ein korrespondierendes Gegenstück, wie It may, for example, be optical sensors that have a corresponding counterpart, such as
beispielsweise einen Reflektor oder eine Markierung, an dem Servicemodul 6a (nicht dargestellt) überprüfen, ob im wieder eingefahrenen Zustand die Servicemodule 6a und 6b exakt gegeneinander ausgerichtet sind. Fig. 7 zeigt eine perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Serviceeinrichtung 1 für ein For example, a reflector or a mark on the service module 6a (not shown) check whether in the retracted state, the service modules 6a and 6b are exactly aligned with each other. Fig. 7 shows a perspective view of another embodiment of a service device 1 for a
Anlagenmodul . Die Serviceeinrichtung 1 umfasst in diesem Plant module. The service facility 1 comprises in this
Ausführungsbeispiel eine Auflage 2, welche als rechteckiger Rahmen ausgebildet ist.  Embodiment a support 2, which is designed as a rectangular frame.
Die Auflage 2 ist auf einem am Boden befestigbaren Rahmen 3 verfahrbar und umfasst ebenfalls an der Vorderseite Rollen 4. The support 2 is movable on a frame 3 attachable to the floor and also includes rollers 4 on the front.
Der Rahmen 3 ist in diesem Ausführungsbeispiel zweiteilig, nämlich als zwei Schienen, ausgebildet, welche am Boden befestigt werden können. The frame 3 is in this embodiment in two parts, namely as two rails, formed, which can be fixed to the ground.
Die Auflage 2 ist hier im herausgefahrenen Zustand The edition 2 is here in the retracted state
dargestellt . Um die Auflage 2 gegenüber dem Rahmen 3 zu bewegen, umfasst die Serviceeinrichtung 1 einen Zahnstangenantrieb. shown. To move the support 2 relative to the frame 3, the service device 1 comprises a rack drive.
Der Zahnstangenantrieb umfasst an der Vorderseite der The rack drive includes at the front of the
Auflage 2 einen Antrieb 9, in welchen beispielsweise eine Kurbel eingesteckt werden kann. Der Antrieb 9 ist mit einem Getriebe 8 verbunden, mittels dessen die Drehbewegung des Antriebs 9 an Zahnräder weitergegeben wird, die auf Pad 2 a drive 9, in which, for example, a crank can be inserted. The drive 9 is connected to a transmission 8, by means of which the rotational movement of the drive 9 is transmitted to gears on
Zahnstangen laufen, welche auf dem Rahmen 3 angeordnet sind . Racks run, which are arranged on the frame 3.
Weiter umfasst die Serviceeinrichtung 1 eine Furthermore, the service device 1 comprises a
Verriegelungseinrichtung, über welche die Serviceeinrichtung im eingefahrenen Zustand verriegelt werden kann. Locking device, via which the Service device can be locked in the retracted state.
Auch die Verriegelungseinrichtung umfasst einen von der Vorderseite her zugänglichen Antrieb 10, welcher jedoch mit dem Rahmen 3 verbunden ist. The locking device also comprises a drive 10 which is accessible from the front, but which is connected to the frame 3.
Der Benutzer kann über den Antrieb 10, welcher ebenfalls über ein Getriebe 11 mit einer Verriegelungseinrichtung am Rahmen 3 verbunden ist, die Serviceeinrichtung entriegeln und sodann über den Antrieb 9 das Anlagenmodul The user can unlock the service device via the drive 10, which is also connected via a gear 11 with a locking device on the frame 3, and then via the drive 9, the system module
herausfahren . drive out .
Fig. 8 zeigt eine Detailansicht des Rahmens. Fig. 8 shows a detail view of the frame.
Zu erkennen ist, dass der Rahmen eine Zahnstange 12 für den Antrieb sowie eine zusätzliche Schiene 13 aufweist, die als Führung für die Auflage dient. Weiter zu erkennen ist der Verriegelungsmechanismus 14, sowie eine Platte 15, welche im eingefahrenen Zustand über die Auflage greift und so die Auflage in vertikaler It can be seen that the frame has a rack 12 for the drive and an additional rail 13, which serves as a guide for the support. Next to recognize the locking mechanism 14, and a plate 15 which engages in the retracted state on the support and so the support in vertical
Richtung sichert. Fig. 9 zeigt eine perspektivische Ansicht auf die Direction secures. Fig. 9 shows a perspective view of the
Unterseite der Auflage 2. Bottom of the pad 2.
Zu erkennen sind die Zahnräder 16, welche über das Getriebe 8 angetrieben werden. To recognize the gears 16, which are driven by the transmission 8.
Weiter zu erkennen sind Auflageplatten 17, welche im eingefahrenen Zustand auf korrespondierende Auflageplatten am Rahmen (22 in Fig. 11) gleiten und so eine Passung bilden . Further to recognize are support plates 17, which in the retracted state on corresponding support plates slide on the frame (22 in Fig. 11) to form a fit.
Denkbar ist, die Auflageplatten 17 an der Aufnahme und/oder die Auflageplatten am Rahmen höhenverstellbar It is conceivable, the support plates 17 on the receptacle and / or the support plates on the frame height adjustable
auszugestalten, beispielsweise indem Distanzplättchen unter die Auflagen positioniert werden können. To design, for example, by spacer plates can be positioned under the pads.
Fig. 10 zeigt eine Detailansicht des Antriebs an der 10 shows a detailed view of the drive on the
Auflage. Zu erkennen ist das Zahnrad 16, über welches im Zusammenwirken mit der Zahnstange am Rahmen ein Edition. To recognize the gear 16, via which in cooperation with the rack on the frame
Zahnradantrieb bereitgestellt wird. Gear drive is provided.
Weiter zu erkennen ist ein Gleitelement 18. Über derartige Gleitelemente 18 gleitet zumindest der hintere Teil der Auflage über Schienen am Rahmen. Further to recognize is a sliding element 18. About such sliding elements 18 slides at least the rear part of the support rails on the frame.
Die Gleitelemente 18 umgreifen dabei die Schienen. Weiter zu erkennen ist ein Passmittel in Form eines The sliding elements 18 engage around the rails. Next to recognize is a passport in the form of a
Passstiftes 19. Dieser gleitet im eingefahrenen Zustand auf ein Stellelement des Rahmens (20 in Fig. 11) .  Pass pin 19. This slides in the retracted state on an actuator of the frame (20 in Fig. 11).
Fig. 11 zeigt eine weitere Detailansicht des Rahmens von der Rückseite her gesehen. Fig. 11 shows a further detail view of the frame seen from the rear side.
Zu erkennen ist die Auflageplatte 22 an der Vorderseite, welche im Zusammenwirken mit einer korrespondierenden Evident is the support plate 22 at the front, which in cooperation with a corresponding
Auflageplatte an der Auflage ein Passmittel bildet. Die Auflageplatte 22 ist abgeschrägt, um zu erreichen, dass beim Einfahren die Auflageplatte der Auflage auf die Platen on the support forms a passport. The support plate 22 is chamfered to achieve that when retracting the support plate of the support on the
Auflageplatte 22 gleitet. Weiter zu erkennen ist ein höhenverstellbares Stellelement 20. Dieses kann beispielsweise mittels einer Gewindespindel verstellt werden und bildet im Zusammenwirken mit einem weiteren Passmittel, wie beispielsweise einem Passstift (19 in Fig. 10) eine Passung im eingefahrenen Zustand. Platen 22 slides. This can be adjusted for example by means of a threaded spindle and forms in cooperation with another passport means, such as a dowel pin (19 in Fig. 10), a fit in the retracted state.
Weiter zu erkennen ist der Verriegelungsmechanismus 14, welcher über ein Eingriffelement 21 verfügt, welches zum Verriegeln der Auflage auf dem Rahmen in eine It can also be seen the locking mechanism 14, which has an engagement element 21, which for locking the support on the frame in a
korrespondierende Aussparung an der Auflage bewegt werden kann. corresponding recess can be moved on the support.
Durch die Erfindung können auch Anlagenmodule mit hohem Gewicht mit hoher Genauigkeit bewegt werden, so dass diese im Servicefall zugänglich sind. By means of the invention, it is also possible to move plant modules of high weight with high accuracy, so that they are accessible in the case of service.
Bezugszeichenliste LIST OF REFERENCE NUMBERS
Serviceeinrichtung service facility
Auflage  edition
Rahmen  frame
Rolle  role
Gleitfläche  sliding surface
Anlagenmodul  system module
Sensor  sensor
Getriebe  transmission
Antrieb  drive
Antrieb  drive
Getriebe  transmission
Zahnstange  rack
Schiene  rail
Verriegelungsmechanismus locking mechanism
Platte plate
Zahnrad  gear
Auflageplatte platen
Gleitelement Slide
Passstift  dowel
Stellelement  actuator
Eingriffelement engaging member
Auflageplatte platen

Claims

Ansprüche : Claims :
Serviceeinrichtung (1) für mindestens ein Anlagenmodul (6a, 6b), insbesondere für ein Anlagenmodul zur Service device (1) for at least one system module (6a, 6b), in particular for a system module for
Prozessierung von Wafern, welches eine Auflage (2) für das Anlagenmodul (6a, 6b) umfasst, wobei die Auflage (2) mit dem Anlagenmodul (6a, 6b) in zumindest einer Richtung verfahrbar ist und wobei die Auflage (2) gegenüber einem auf dem Boden befestigbaren Rahmen (3) verfahrbar ist.  Processing of wafers, which comprises a support (2) for the system module (6a, 6b), wherein the support (2) with the system module (6a, 6b) is movable in at least one direction and wherein the support (2) relative to a the floor mountable frame (3) is movable.
Serviceeinrichtung (1) für ein Anlagenmodul nach dem vorstehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Auflage (2) in einem herausgefahrenen Zustand und/oder während des Herausfahrens oder des Service device (1) for a system module according to the preceding claim, characterized in that the support (2) in a retracted state and / or during the retraction or the
Hereinfahrens an einer Vorderseite auf dem Boden abgestützt ist, insbesondere mittels Rollen (4).  Hereinfahren is supported on a front side on the ground, in particular by means of rollers (4).
Serviceeinrichtung (1) für ein Anlagenmodul nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Auflage (2) gegenüber dem Rahmen (4) Service device (1) for a system module according to one of the preceding claims, characterized in that the support (2) relative to the frame (4)
zumindest in einem nicht ausgefahrenen Zustand  at least in a non-extended state
verriegelbar ist.  is lockable.
Serviceeinrichtung (1) für ein Anlagenmodul nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Rahmen (4) Schienen zur Führung der Auflage umfasst . Service device (1) for a system module according to one of the preceding claims, characterized in that the frame (4) comprises rails for guiding the support.
Serviceeinrichtung (1) nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in einem eingefahrenen Zustand zwischen Auflage (2) und Rahmen (4) Passmittel vorhanden sind, insbesondere - Passmittel, welche beim Einfahren die Passmittel an den Rändern der Serviceeinrichtung übereinander gleiten . Service device (1) according to one of the preceding claims, characterized in that in one Retracted state between support (2) and frame (4) Passport are present, in particular - passport means which slide when passing the passport means on the edges of the service facility on top of each other.
6. Serviceeinrichtung (1) nach dem vorstehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Passmittel einen Passstift und eine Gleitfläche (5) umfassen. 6. Service device (1) according to the preceding claim, characterized in that the fitting means comprise a dowel pin and a sliding surface (5).
7. Serviceeinrichtung (1) nach einem der beiden 7. Service facility (1) after one of the two
vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Passmittel am Rahmen angeordnete höhenverstellbare Positionierungsplatten umfassen.  preceding claims, characterized in that the pass means comprise arranged on the frame height-adjustable positioning plates.
8. Serviceeinrichtung (1) für ein Anlagenmodul nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Rahmen oder die Auflage zumindest eine 8. Service device (1) for a system module according to one of the preceding claims, characterized in that the frame or the support at least one
Zahnstange umfasst, über welche mittels eines  Rack includes, via which by means of a
Zahnradantriebs die Auflage verfahrbar ist.  Gear drive the pad is movable.
9. Serviceeinrichtung (1) für ein Anlagenmodul nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Serviceeinrichtung einen Antrieb umfasst, welcher von einer Vorderseite der Serviceeinrichtung über ein Getriebe betätigbar ist, insbesondere dass der Antrieb derart ausgebildet ist, dass Antriebe an den Seiten des Rahmens synchron bewegt werden, 9. Service device (1) for a system module according to one of the preceding claims, characterized in that the service device comprises a drive which can be actuated by a front side of the service device via a transmission, in particular that the drive is designed such that drives on the sides moving the frame synchronously,
insbesondere über jeweils eine Zahnstange.  in particular via one rack each.
Serviceeinrichtung (1) für ein Anlagenmodul nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet dass die Serviceeinrichtung einen Service device (1) for a system module according to one of the preceding claims, characterized that the service facility a
Verriegelungsmechanismus umfasst, welcher über ein Getriebe von der Vorderseite her betätigbar ist.  Locking mechanism comprises, which is actuated via a transmission from the front.
Serviceeinrichtung (1) für ein Anlagenmodul nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Serviceeinrichtung einen Antrieb umfasst, welcher von der Vorderseite der Auflage her betätigbar ist . Service device (1) for a system module according to one of the preceding claims, characterized in that the service device comprises a drive which can be actuated from the front side of the support.
Anlagenmodul (6a, 6b), insbesondere Anlagenmodul zu Prozessierung von Wafern, umfassend eine Plant module (6a, 6b), in particular plant module for processing wafers, comprising a
Serviceeinrichtung (1) nach einem der vorstehenden Ansprüche . Service device (1) according to one of the preceding claims.
Anlagenmodul (6a, 6b) nach dem vorstehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Serviceeinrichtung (1) eine größere Tiefe als das Anlagenmodul aufweist und/oder dadurch gekennzeichnet, dass die Auflage und/oder der Rahmen teleskopartige Verlängerungen aufweist . Plant module (6a, 6b) according to the preceding claim, characterized in that the service device (1) has a greater depth than the plant module and / or characterized in that the support and / or the frame has telescopic extensions.
Anlagenmodul (6a, 6b) nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Plant module (6a, 6b) according to one of the preceding claims, characterized in that the
Anlagenmodul (6b) und/oder die Serviceeinrichtung zumindest einen Sensor aufweist, über welchen die Position zu einem angrenzenden weiteren Anlagenmodul (6a) in zumindest einer Raumrichtung bestimmbar ist. Plant module (6b) and / or the service device has at least one sensor, via which the position to an adjacent further system module (6a) can be determined in at least one spatial direction.
Anlage, umfassend eine Mehrzahl von Anlagenmodulen (6a, 6b, 6c) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei zwei angrenzende Anlagenmodule (6a, 6b) jeweils auf einer Servicerichtung (la, lb) angeordnet sind, wobei das eine Anlagenmodul (6b) quer zu dem anderen Anlagenmodul (6a) verfahrbar ist. Plant comprising a plurality of plant modules (6a, 6b, 6c) according to one of the preceding claims, wherein two adjacent plant modules (6a, 6b) each on a service direction (la, lb) are arranged, wherein the one system module (6b) transversely to the other system module (6a) is movable.
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WO1999039386A1 (en) * 1998-01-30 1999-08-05 Hitachi, Ltd. Load port and carriage for transferring the same
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