WO2016068023A1 - Coating device for resin containers and resin container manufacturing system - Google Patents

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清典 島田
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Abstract

In a device according to the present invention, a plurality of container holding members (5a, 5b, 5c, 5d) are arranged on a rotating table (3) so as to be positioned at a container supply position (P1), a coating process position (P2), a cleaning process position (P3), and a container extraction position (P4). Each of the container holding members (5a, 5b, 5c, 5d) is configured to sequentially move through the container supply position (P1), the coating process position (P2), the cleaning process position (P3), and the container extraction position (P4), as the rotation table (3) rotates. When positioned at the coating process position (P2), a container holding member (5a, 5b, 5c, 5d) is moved away by a movement mechanism (90), and then connected to a chamber cover (11).

Description

樹脂容器用コーティング装置および樹脂容器製造システムResin container coating apparatus and resin container manufacturing system
 本発明は、樹脂容器の内面に薄膜を形成する樹脂容器用コーティング装置およびこの樹脂容器用コーティング装置を備える樹脂容器製造システムに関する。 The present invention relates to a resin container coating apparatus for forming a thin film on the inner surface of a resin container and a resin container manufacturing system including the resin container coating apparatus.
 家庭用品などに幅広く使用されるポリエチレンなどの樹脂は、一般的に酸素や二酸化炭素のような低分子ガスを透過する性質を有し、更に低分子有機化合物がその内部に収着してしまう性質も有している。このため、樹脂を容器として使用する際、ガラスなどの他の容器と比べ、その使用対象や使用形態などで種々の制約を受けることが知られている。例えば、樹脂容器に炭酸飲料水を充填して使用する場合には、その炭酸が容器を通じて外部に透過してしまい、炭酸飲料水としての品質を長期間維持するのが難しい場合がある。 Resins such as polyethylene, which are widely used for household goods, generally have the property of permeating low-molecular gases such as oxygen and carbon dioxide, and the property that low-molecular organic compounds sorb inside them. Also have. For this reason, when using resin as a container, compared with other containers, such as glass, it is known that it will receive various restrictions by the use object, usage form, etc. For example, in the case of using a carbonated drinking water filled in a resin container, the carbonic acid permeates outside through the container, and it may be difficult to maintain the quality as carbonated drinking water for a long period of time.
 そこで、樹脂容器を製造する際、樹脂容器における低分子ガスの透過、および低分子有機化合物の収着による不都合を解消するため、その樹脂容器の内部表面などに対し、プラズマCVD成膜技術を用いてDLC(Diamond Like Carbon)コーティングなどの成膜を行うものが知られている。また、コーティング処理済みの樹脂容器を大量に製造する量産効率を向上させる観点から、容器保持部の一部に保持された樹脂容器の内面に薄膜を形成している間に、容器保持部の他の部分において、コーティング処理済みの樹脂容器を未成膜の樹脂容器と交換することが可能なコーティング装置が開示されている(例えば、特許文献1参照)。 Therefore, when manufacturing a resin container, plasma CVD film formation technology is used for the inner surface of the resin container in order to eliminate the inconvenience due to the permeation of the low molecular gas in the resin container and the sorption of the low molecular organic compound. For example, a film that performs film formation such as DLC (Diamond Like Carbon) coating is known. In addition, from the viewpoint of improving mass production efficiency for mass production of coated resin containers, while the thin film is formed on the inner surface of the resin container held on a part of the container holding part, In this part, a coating apparatus capable of exchanging a coated resin container with an unformed resin container is disclosed (for example, see Patent Document 1).
 しかし、特許文献1に記載のコーティング装置は、未成膜の樹脂容器を供給する位置とコーティング処理済の樹脂容器を取り出す位置とが共通である。このため、樹脂容器の供給工程と取出工程とを並行して行うことができず、コーティング処理済みの樹脂容器の量産効率を向上させることが難しかった。 However, the coating apparatus described in Patent Document 1 has a common position for supplying an undeposited resin container and a position for extracting a coated resin container. For this reason, the supply process and the removal process of the resin container cannot be performed in parallel, and it is difficult to improve the mass production efficiency of the resin container that has been coated.
 そこで、特許文献2には、コーティング処理済みの樹脂容器を量産する効率を向上させることが可能な樹脂容器用コーティング装置が提案されている。 Therefore, Patent Document 2 proposes a coating apparatus for a resin container that can improve the efficiency of mass production of a coated resin container.
日本国特許第4804654号公報Japanese Patent No. 4804654 国際公開第2014/112533号International Publication No. 2014/112533
 特許文献2の装置では、回転台は機台に形成された凹部内に収容されている。この構成では、回転台がスムーズに回転できるように、回転台の底面と機台の凹部内の底面との間に所定のクリアランスを確保する必要がある。 In the apparatus of Patent Document 2, the turntable is accommodated in a recess formed in the machine base. In this configuration, it is necessary to ensure a predetermined clearance between the bottom surface of the turntable and the bottom surface in the recess of the machine base so that the turntable can rotate smoothly.
 しかし、このクリアランスが確保された構成では、コーティング処理の際に容器保持部材と電極部材とが組み合わされる際の衝撃力が、床面に設置された機台まで伝わらず、容器保持部材が設置された回転台を含む回転機構がこの衝撃力のほとんどを受け止めることとなってしまう。この衝撃力は、コーティング処理の度に回転機構に伝達するため、回転機構の故障の原因となり易く、回転機構について定期的なメンテナンスが必要となる。 However, in this configuration in which the clearance is ensured, the impact force when the container holding member and the electrode member are combined in the coating process is not transmitted to the machine base installed on the floor surface, and the container holding member is installed. The rotating mechanism including the rotating table receives most of the impact force. Since this impact force is transmitted to the rotating mechanism at every coating process, it is likely to cause a failure of the rotating mechanism, and periodic maintenance is required for the rotating mechanism.
 本発明は、コーティング処理された樹脂容器を量産する効率の向上を図りつつ、コーティング処理に起因するメンテナンスの頻度を低減することが可能な樹脂容器用コーティング装置および樹脂容器製造システムを提供することを目的とする。 The present invention provides a coating apparatus for a resin container and a resin container manufacturing system capable of reducing the frequency of maintenance caused by the coating process while improving the efficiency of mass production of the coated resin container. Objective.
 本発明にかかる樹脂容器用コーティング装置は、
 回転台と、
 前記回転台を回転させるための回転機構と、
 前記回転台上に設置され、複数の樹脂容器を保持することが可能な容器保持部材と、
 前記容器保持部材と組み合わされた状態において、前記容器保持部材に保持された前記樹脂容器の内面に薄膜を形成するコーティング処理を行うことが可能な電極部材と、
 前記回転台上に設置された前記容器保持部材を前記回転台から離間する離間位置へ移動させる移動機構と、
 を備え、
 前記容器保持部材は、前記樹脂容器が供給される容器供給位置と、前記電極部材と組み合わされた状態で前記コーティング処理が行われるコーティング処理位置と、前記コーティング処理によって薄膜が形成された前記樹脂容器を取り出すことが可能な容器取出位置とに配置されるように前記回転台上に複数設置され、
 前記回転台上に複数設置された前記容器保持部材の各々は、前記回転台の回転に伴い、前記容器供給位置と、前記コーティング処理位置と、前記容器取出位置とを順次移動するように構成され、
 前記コーティング処理位置に配置された前記容器保持部材を前記移動機構が前記離間位置へ移動させた後に、前記容器保持部材と前記電極部材とが組み合わされる。
The coating apparatus for a resin container according to the present invention is:
A turntable,
A rotating mechanism for rotating the turntable;
A container holding member installed on the turntable and capable of holding a plurality of resin containers;
In the state combined with the container holding member, an electrode member capable of performing a coating process for forming a thin film on the inner surface of the resin container held by the container holding member;
A moving mechanism for moving the container holding member installed on the turntable to a separated position separated from the turntable;
With
The container holding member includes a container supply position to which the resin container is supplied, a coating process position in which the coating process is performed in combination with the electrode member, and the resin container in which a thin film is formed by the coating process. Are placed on the turntable so as to be placed at a container take-out position from which it can be taken out,
Each of the plurality of container holding members installed on the turntable is configured to sequentially move between the container supply position, the coating processing position, and the container take-out position as the turntable rotates. ,
After the moving mechanism moves the container holding member arranged at the coating processing position to the separated position, the container holding member and the electrode member are combined.
 上記構成によれば、容器保持部材と電極部材とが組み合わされる前に容器保持部材が回転台上から離間した離間位置に移動するため、容器保持部材と電極部材とが組み合わされる際の衝撃力が回転台まで直接的には伝達しない。このため、コーティング処理の度に発生する上述の衝撃力に起因して回転機構が故障する可能性を低下させることができ、メンテナンスの頻度を低減させることができる。
 また、上記構成によれば、未成膜の樹脂容器を供給する工程と、コーティング処理を行う工程と、成膜された樹脂容器を取り出す工程とを並行して行うことができるため、コーティング処理を要する樹脂容器を製造する量産効率を向上させることができる。
 このように、上記構成によれば、コーティング処理された樹脂容器の量産効率の向上を図りつつ、コーティング処理に起因するメンテナンスの頻度を低減することができる。
According to the above configuration, since the container holding member moves to the separated position separated from the top of the turntable before the container holding member and the electrode member are combined, the impact force when the container holding member and the electrode member are combined is reduced. It is not transmitted directly to the turntable. For this reason, it is possible to reduce the possibility that the rotating mechanism breaks down due to the above-described impact force generated each time the coating process is performed, and it is possible to reduce the frequency of maintenance.
Moreover, according to the said structure, since the process of supplying the non-film-formed resin container, the process of performing a coating process, and the process of taking out the resin container formed into a film can be performed in parallel, a coating process is required. The mass production efficiency for manufacturing the resin container can be improved.
Thus, according to the said structure, the frequency of the maintenance resulting from a coating process can be reduced, aiming at the improvement of the mass production efficiency of the resin container by which the coating process was carried out.
 本発明の樹脂容器用コーティング装置において、前記回転台上には、前記容器保持部材が前記離間位置へ移動することをガイドするガイド部材が設けられていても良い。 In the coating apparatus for a resin container of the present invention, a guide member for guiding the container holding member to move to the separation position may be provided on the turntable.
 上記構成によれば、容器保持部材を精度よく離間位置へ移動させることができる。また、容器保持部材が離間位置と異なる位置へ移動することを防ぐことができる。 According to the above configuration, the container holding member can be accurately moved to the separation position. In addition, the container holding member can be prevented from moving to a position different from the separated position.
 本発明の樹脂容器用コーティング装置において、前記移動機構は、前記コーティング処理位置に配置された前記容器保持部材と接続して、前記容器保持部材と前記電極部材とで形成される内部空間の空気を外部へ排気するための排気経路を構成する排気部材でも良い。 In the coating apparatus for a resin container according to the present invention, the moving mechanism is connected to the container holding member arranged at the coating processing position, and air in an internal space formed by the container holding member and the electrode member. An exhaust member constituting an exhaust path for exhausting to the outside may be used.
 上記構成によれば、コーティング処理に必要な排気部材を利用することで、部品点数の増加を抑えつつ、容器保持部材を離間位置へ移動させる機構を実現することができる。 According to the above configuration, by using the exhaust member necessary for the coating process, it is possible to realize a mechanism for moving the container holding member to the separation position while suppressing an increase in the number of parts.
 本発明の樹脂容器用コーティング装置において、前記容器保持部材は、第1シールド部材を有し、前記電極部材は、第2シールド部材を有し、前記容器保持部材と前記電極部材とが組み合わされた状態において、前記第1シールド部材と第2シールド部材とは互いに電気的に接続して遮蔽空間を形成し、前記容器保持部材と前記電極保持部材は、前記遮蔽空間の内部に配置されても良い。 In the coating apparatus for a resin container of the present invention, the container holding member has a first shield member, the electrode member has a second shield member, and the container holding member and the electrode member are combined. In the state, the first shield member and the second shield member may be electrically connected to each other to form a shielding space, and the container holding member and the electrode holding member may be disposed inside the shielding space. .
 上記構成によれば、コーティング処理の際に発生する高周波が装置の外部へ伝搬することを防ぐことができる。 According to the above configuration, it is possible to prevent the high frequency generated during the coating process from propagating to the outside of the apparatus.
 本発明の樹脂容器用コーティング装置において、前記第1シールド部材と前記第2シールド部材の少なくとも一方には、導電性の弾性部材が設けられ、前記容器保持部材と前記電極部材とが組み合わされた状態において、前記第1シールド部材と第2シールド部材とは、互いに前記弾性部材を介して電気的に接続しても良い。 In the resin container coating apparatus of the present invention, a conductive elastic member is provided on at least one of the first shield member and the second shield member, and the container holding member and the electrode member are combined. The first shield member and the second shield member may be electrically connected to each other via the elastic member.
 上記構成によれば、導電性の弾性部材を介して各シールド部材を接続することにより、遮蔽空間の密閉性が確保しやすくなる。また、容器保持部材と電極部材とが組み合わされる際に第1シールド部材と第2シールド部材との間に発生する衝撃力を低減することができ、各シールド部材を薄肉化してコストを低下させることができる。 According to the above configuration, it is easy to ensure the sealing property of the shielded space by connecting the shield members via the conductive elastic member. Moreover, when the container holding member and the electrode member are combined, the impact force generated between the first shield member and the second shield member can be reduced, and the thickness of each shield member is reduced to reduce the cost. Can do.
 また、本発明にかかる樹脂容器製造システムは、
 前記樹脂容器を製造する樹脂容器製造装置と、
 上記のいずれか一つに記載の樹脂容器用コーティング装置と、
 前記樹脂容器製造装置によって製造され保持された状態の複数の前記樹脂容器の各々を、前記樹脂容器製造装置から一括して取り出して前記樹脂容器用コーティング装置の前記容器供給位置まで搬送し、前記容器保持部材に複数の前記樹脂容器の各々を保持させる樹脂容器搬送装置と、
 を備えることを特徴とする。
The resin container manufacturing system according to the present invention is
A resin container manufacturing apparatus for manufacturing the resin container;
The resin container coating apparatus according to any one of the above,
Each of the plurality of resin containers manufactured and held by the resin container manufacturing apparatus is collectively taken out from the resin container manufacturing apparatus and conveyed to the container supply position of the resin container coating apparatus. A resin container transport device that holds each of the plurality of resin containers on a holding member;
It is characterized by providing.
 上記構成によれば、製造装置によって製造された樹脂容器をベルトコンベヤーで搬送して樹脂容器用コーティング装置まで搬送する構成と比較して、樹脂容器用コーティング装置に設置するための整列作業が不要となり量産効率がより向上する。 According to the above configuration, alignment work for installing in the resin container coating apparatus is not required, as compared with the structure in which the resin container manufactured by the manufacturing apparatus is conveyed by the belt conveyor to the resin container coating apparatus. Mass production efficiency is further improved.
 また、本発明の樹脂容器用コーティング装置は、
 搬送部材を有する搬送機構と、
 前記搬送部材上に設置され、複数の樹脂容器を保持することが可能な容器保持部材と、
 前記容器保持部材と組み合わされた状態において、前記容器保持部材に保持された前記樹脂容器の内面に薄膜を形成するコーティング処理を行うことが可能な電極部材と、
 前記搬送部材上に設置された前記容器保持部材を前記搬送部材から離間する離間位置へ移動させる移動機構と、
 を備え、
 前記容器保持部材は、前記樹脂容器が供給される容器供給位置と、前記電極部材と組み合わされた状態で前記コーティング処理が行われるコーティング処理位置と、前記コーティング処理によって薄膜が形成された前記樹脂容器を取り出すことが可能な容器取出位置とに配置されるように前記搬送部材上に複数設置され、
 前記搬送部材上に複数設置された前記容器保持部材の各々は、前記搬送部材の移動に伴い、前記容器供給位置と、前記コーティング処理位置と、前記容器取出位置とを順次移動するように構成され、
 前記コーティング処理位置に配置された前記容器保持部材を前記移動機構が前記離間位置へ移動させた後に、前記容器保持部材と前記電極部材とが組み合わされる。
Moreover, the coating apparatus for a resin container of the present invention comprises:
A transport mechanism having a transport member;
A container holding member installed on the transport member and capable of holding a plurality of resin containers;
In the state combined with the container holding member, an electrode member capable of performing a coating process for forming a thin film on the inner surface of the resin container held by the container holding member;
A moving mechanism for moving the container holding member installed on the conveying member to a separation position separated from the conveying member;
With
The container holding member includes a container supply position to which the resin container is supplied, a coating process position in which the coating process is performed in combination with the electrode member, and the resin container in which a thin film is formed by the coating process. Are installed on the transport member so as to be placed at a container take-out position from which it can be taken out,
Each of the plurality of container holding members installed on the transport member is configured to sequentially move between the container supply position, the coating processing position, and the container take-out position as the transport member moves. ,
After the moving mechanism moves the container holding member arranged at the coating processing position to the separated position, the container holding member and the electrode member are combined.
 上記構成によれば、コーティング処理された樹脂容器の量産効率の向上を図りつつ、コーティング処理に起因するメンテナンスの頻度を低減することができる。 According to the above configuration, it is possible to reduce the frequency of maintenance caused by the coating process while improving the mass production efficiency of the coated resin container.
 本発明によれば、コーティング処理された樹脂容器を量産する効率の向上を図りつつ、コーティング処理に起因するメンテナンスの頻度を低減することが可能な樹脂容器用コーティング装置および樹脂容器製造システムを提供することができる。 According to the present invention, there are provided a resin container coating apparatus and a resin container manufacturing system capable of reducing the frequency of maintenance caused by a coating process while improving the efficiency of mass production of a coated resin container. be able to.
本発明に係る樹脂容器用コーティング装置の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the coating apparatus for resin containers which concerns on this invention. 図1のA-A線における断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 図1のB-B線における断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. コーティング処理位置に設けられたコーティング部の断面図である。It is sectional drawing of the coating part provided in the coating process position. コーティング部の動きを説明する図であって、(a)および(b)は、それぞれ樹脂容器用コーティング装置のコーティング処理位置における断面図である。It is a figure explaining a motion of a coating part, Comprising: (a) And (b) is sectional drawing in the coating process position of the coating apparatus for resin containers, respectively. コーティング処理時における動きを説明する図であって、(a)から(c)は、それぞれコーティング部の断面図である。It is a figure explaining the movement at the time of a coating process, Comprising: (a)-(c) is sectional drawing of a coating part, respectively. 図1のC-C線における断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 本発明に係る樹脂容器製造システムの一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the resin container manufacturing system which concerns on this invention.
 以下、本発明に係る樹脂容器用コーティング装置および樹脂容器製造システムの実施形態の一例を添付図面に基づいて説明する。 Hereinafter, an example of an embodiment of a resin container coating apparatus and a resin container manufacturing system according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
 図1は、樹脂容器用コーティング装置1を上方から見た平面図である。図2は、図1のA-A線における断面図である。図1および図2に示すように、樹脂容器用コーティング装置1は、機台2と、機台2の上面に配置された回転台3と、樹脂容器が保持される容器保持部材5a,5b,5c,5dと、回転台3を回転駆動する駆動機構(回転機構の一例)6とを備えている。 FIG. 1 is a plan view of the resin container coating apparatus 1 as viewed from above. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the resin container coating apparatus 1 includes a machine base 2, a turntable 3 disposed on the upper surface of the machine base 2, and container holding members 5 a and 5 b that hold the resin containers. 5c and 5d, and a drive mechanism (an example of a rotation mechanism) 6 that rotationally drives the turntable 3.
 機台2は、矩形状を有する厚板によって形成されている。機台2の上面中央部には回転台3を取り付けるための円形状の凹部300が形成されている。機台2は、その下方に、駆動機構6が収納される機台ベース200を備えている。 The machine base 2 is formed by a thick plate having a rectangular shape. A circular recess 300 for attaching the turntable 3 is formed at the center of the upper surface of the machine base 2. The machine base 2 includes a machine base 200 in which the drive mechanism 6 is housed below.
 回転台3は、円形状を有する平板によって形成されている。回転台3の径は、機台2の凹部300の径よりも僅かに小さく形成されている。また、回転台3の厚さは、機台2の凹部300の深さよりも僅かに小さく形成されている。回転台3は、機台2の凹部300に緩挿されており、回転台3の上面と機台2の上面とは略同じ高さとなるように配置されている。これにより、機台2の凹部300の内周面と回転台3の外周面との間および機台2の凹部300の底面と回転台3の底面との間には、僅かな隙間が設けられている。回転台3は、機台2に対して支軸7を中心に図に示す矢印Qの方向(反時計回りの方向)へ回転可能に設けられている。 The turntable 3 is formed by a flat plate having a circular shape. The diameter of the turntable 3 is slightly smaller than the diameter of the recess 300 of the machine base 2. Further, the thickness of the turntable 3 is slightly smaller than the depth of the recess 300 of the machine base 2. The turntable 3 is loosely inserted into the recess 300 of the machine base 2 and is arranged so that the upper surface of the turntable 3 and the upper surface of the machine base 2 are substantially at the same height. Thereby, a slight gap is provided between the inner peripheral surface of the recess 300 of the machine base 2 and the outer peripheral surface of the turntable 3 and between the bottom surface of the recess 300 of the machine base 2 and the bottom surface of the turntable 3. ing. The turntable 3 is provided so as to be rotatable with respect to the machine base 2 in the direction of the arrow Q (counterclockwise direction) shown in the drawing around the support shaft 7.
 回転台3の上面には、複数(この形態では4つ)の容器保持部材5a,5b,5c,5dが配置されている。回転台3の矢印Q方向への回転に伴って容器保持部材5a,5b,5c,5dは、回転台3とともに矢印Q方向へ回転する。 A plurality (four in this embodiment) of container holding members 5a, 5b, 5c and 5d are arranged on the upper surface of the turntable 3. As the turntable 3 rotates in the arrow Q direction, the container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d rotate in the arrow Q direction together with the turntable 3.
 駆動機構6は、回転台3を回転させるための回転機構である。駆動機構6は、例えば、ステッピングモータ、サーボモータ等によって構成することができる。駆動機構6は、回転台3に固定された支軸7を介して回転台3を回転させる。駆動機構6は、機台ベース200内に配置されている。 The drive mechanism 6 is a rotation mechanism for rotating the turntable 3. The drive mechanism 6 can be configured by, for example, a stepping motor, a servo motor, or the like. The drive mechanism 6 rotates the turntable 3 via a support shaft 7 fixed to the turntable 3. The drive mechanism 6 is disposed in the machine base 200.
 容器保持部材5a,5b,5c,5dは、それぞれ複数の樹脂容器8を保持することが可能な部材である。容器保持部材5a,5b,5c,5dは、回転台3上に支軸7を中心として90度間隔で設置されている。 The container holding members 5a, 5b, 5c and 5d are members capable of holding a plurality of resin containers 8, respectively. The container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d are installed on the turntable 3 at intervals of 90 degrees around the support shaft 7.
 容器保持部材5a,5b,5c,5dは、載置された樹脂容器8を保持する容器保持用孔部9a,9b,9c,9dを有している。容器保持用孔部9a,9b,9c,9dは、容器保持部材5a,5b,5c,5dに複数個(この形態では8個)形成されており、容器保持部材5a,5b,5c,5dを上下方向に貫通している。例えば図2の容器保持部材5bに示されるように、樹脂容器8は、当該樹脂容器8の口部を容器保持用孔部9bに嵌入した状態で保持される。 The container holding members 5a, 5b, 5c and 5d have container holding holes 9a, 9b, 9c and 9d for holding the resin container 8 placed thereon. A plurality of container holding holes 9a, 9b, 9c, 9d are formed in the container holding members 5a, 5b, 5c, 5d (eight in this embodiment), and the container holding members 5a, 5b, 5c, 5d It penetrates in the vertical direction. For example, as shown in the container holding member 5b of FIG. 2, the resin container 8 is held in a state where the mouth of the resin container 8 is fitted into the container holding hole 9b.
 容器保持部材5a,5b,5c,5dは、回転台3とともに矢印Q方向に回転する過程において、それぞれの容器保持部材5a,5b,5c,5dが容器供給位置P1、コーティング処理位置P2、クリーニング処理位置P3、および容器取出位置P4の何れかの位置に配置されるように構成されている。それぞれの容器保持部材5a,5b,5c,5dが配置される位置は、最初が容器供給位置P1、続いてコーティング処理位置P2、次にクリーニング処理位置P3、そして最後が容器取出位置P4の順序に設定されている。 In the process in which the container holding members 5a, 5b, 5c and 5d rotate in the direction of the arrow Q together with the turntable 3, the respective container holding members 5a, 5b, 5c and 5d are the container supply position P1, the coating processing position P2, and the cleaning process. It is configured to be disposed at any one of the position P3 and the container removal position P4. The positions where the respective container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d are arranged are in the order of the container supply position P1, then the coating processing position P2, then the cleaning processing position P3, and finally the container unloading position P4. Is set.
 例えば、図1では、容器保持部材5aが容器供給位置P1に配置され、容器保持部材5bがコーティング処理位置P2に配置され、容器保持部材5cがクリーニング処理位置P3に配置され、そして容器保持部材5dが容器取出位置P4に配置されている。 For example, in FIG. 1, the container holding member 5a is arranged at the container supply position P1, the container holding member 5b is arranged at the coating processing position P2, the container holding member 5c is arranged at the cleaning processing position P3, and the container holding member 5d. Is disposed at the container removal position P4.
 この状態から回転台3が矢印Q方向に回転されるとその回転に伴って各容器保持部材5a,5b,5c,5dも回転し、容器保持部材5a,5b,5c,5dはそれぞれ次の位置へ配置される。すなわち、容器保持部材5aは容器供給位置P1から移動してコーティング処理位置P2に配置され、容器保持部材5bはコーティング処理位置P2から移動してクリーニング処理位置P3に配置され、容器保持部材5cはクリーニング処理位置P3から移動して容器取出位置P4に配置され、容器保持部材5dは容器取出位置P4から移動して容器供給位置P1に配置される。 When the turntable 3 is rotated in the direction of the arrow Q from this state, the container holding members 5a, 5b, 5c, 5d are also rotated along with the rotation, and the container holding members 5a, 5b, 5c, 5d are respectively moved to the next positions. Arranged. That is, the container holding member 5a is moved from the container supply position P1 and disposed at the coating processing position P2, the container holding member 5b is moved from the coating processing position P2 and disposed at the cleaning processing position P3, and the container holding member 5c is cleaned. The container holding member 5d is moved from the container take-out position P4 and moved to the container supply position P1.
 容器供給位置P1は、コーティング処理されていない樹脂容器(未成膜容器)8が供給されるステージ(未成膜容器供給工程を行う位置)として設定されている位置である。例えば、ブロー成形機等によって成形された未成膜容器が複数個、等間隔で容器保持用孔部9a,9b,9c,9dに嵌入される。図1では、容器供給位置P1に配置されている容器保持部材5aの容器保持用孔部9aに未成膜容器が8個嵌入される。 The container supply position P1 is a position set as a stage (position for performing an undeposited container supply step) to which a resin container (undeposited container) 8 that is not coated is supplied. For example, a plurality of undeposited containers formed by a blow molding machine or the like are inserted into the container holding holes 9a, 9b, 9c, 9d at equal intervals. In FIG. 1, eight undeposited containers are inserted into the container holding holes 9a of the container holding member 5a disposed at the container supply position P1.
 コーティング処理位置P2は、後述のチャンバ30内(図4等参照)に樹脂容器8が収容され、それらの樹脂容器8の内面に一括成膜が行われるステージ(コーティング処理工程を行う位置)として設定されている位置である。コーティング処理位置P2に配置された容器保持部材5a,5b,5c,5dは、容器保持用孔部9a,9b,9c,9dに樹脂容器8を保持する部材として機能するとともに、チャンバ30の一部としても機能する。図1に示す状態においては、容器保持部材5bがコーティング処理位置P2に配置されており、容器保持部材5bに載置された樹脂容器(容器供給位置P1で供給された8個の未成膜容器)8がチャンバ30内に密封されて一括成膜が行われる。このように、例えばコーティング処理位置P2に配置された容器保持部材5bは、容器保持用孔部9bに樹脂容器8を保持する部材として機能するとともに、チャンバ30の一部としても機能する。 The coating processing position P2 is set as a stage (position where the coating processing step is performed) in which the resin container 8 is accommodated in a chamber 30 (see FIG. 4 and the like) described later and the inner surface of the resin container 8 is collectively formed. It is a position that has been. The container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d arranged at the coating processing position P2 function as members that hold the resin container 8 in the container holding holes 9a, 9b, 9c, and 9d, and a part of the chamber 30. Also works. In the state shown in FIG. 1, the container holding member 5b is disposed at the coating processing position P2, and the resin containers placed on the container holding member 5b (eight undeposited containers supplied at the container supply position P1). 8 is sealed in the chamber 30 and batch film formation is performed. Thus, for example, the container holding member 5b disposed at the coating processing position P2 functions as a member for holding the resin container 8 in the container holding hole 9b and also functions as a part of the chamber 30.
 クリーニング処理位置P3は、樹脂容器8の内部に付着した塵、ホコリ、ダスト、異物等のパーティクルが除去されるステージ(クリーニング処理工程を行う位置)として設定されている位置である。図1に示す状態においては、容器保持部材5cがクリーニング処理位置P3に配置されており、容器保持部材5cに載置された樹脂容器(コーティング処理位置P2で成膜された8個の樹脂容器)8がクリーニング処理される。 The cleaning processing position P3 is a position set as a stage (a position where the cleaning processing step is performed) from which particles such as dust, dust, dust, and foreign matter adhering to the inside of the resin container 8 are removed. In the state shown in FIG. 1, the container holding member 5c is arranged at the cleaning processing position P3, and the resin containers placed on the container holding member 5c (eight resin containers formed at the coating processing position P2). 8 is cleaned.
 容器取出位置P4は、コーティング処理、およびクリーニング処理された樹脂容器8が取り出されるステージ(成膜完了容器取出工程を行う位置)として設定されている位置である。図1に示す状態においては、容器保持部材5dが容器取出位置P4に配置されており、容器保持部材5dの容器保持用孔部9dに載置された樹脂容器(クリーニング処理位置P3でクリーニングされた8個の樹脂容器)8がコーティング完了容器として取り出される。 The container extraction position P4 is a position set as a stage (position for performing the film formation completion container extraction process) from which the resin container 8 subjected to the coating process and the cleaning process is extracted. In the state shown in FIG. 1, the container holding member 5d is arranged at the container take-out position P4, and the resin container placed in the container holding hole 9d of the container holding member 5d (cleaned at the cleaning processing position P3). (8 resin containers) 8 is taken out as a coating completion container.
 図3は、図1のB-B線における断面図であり、コーティング処理位置P2に設けられたコーティング部10を示している。コーティング部10は、チャンバ30内に複数の樹脂容器8を格納し、プラズマCVD技術を用いて樹脂容器8の内部表面にケイ素化合物のガス等から構成される膜を一括成形する。 FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 1, and shows the coating portion 10 provided at the coating processing position P2. The coating unit 10 stores a plurality of resin containers 8 in the chamber 30 and collectively forms a film composed of a silicon compound gas or the like on the inner surface of the resin container 8 using a plasma CVD technique.
 コーティング部10は、容器保持部材5a,5b,5c,5d(図1および図3に示す状態では容器保持部材5b)と、チャンバ蓋部(電極部材の一例)11と、チャンバ蓋支持部12と、内部電極13と、ガス供給部14と、高周波電源15を備える。 The coating unit 10 includes container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d (the container holding member 5b in the state shown in FIGS. 1 and 3), a chamber lid (an example of an electrode member) 11, a chamber lid support 12 The internal electrode 13, the gas supply unit 14, and the high-frequency power source 15 are provided.
 コーティング処理位置P2において、容器保持部材5bは、チャンバ蓋部11と組み合わされ、チャンバ蓋部11とともにチャンバ30の一部を構成する。チャンバ30は、コーティング処理時における外部電極として機能する。 At the coating processing position P 2, the container holding member 5 b is combined with the chamber lid 11 and constitutes a part of the chamber 30 together with the chamber lid 11. The chamber 30 functions as an external electrode during the coating process.
 チャンバ蓋部11は、チャンバ蓋支持部12によって容器保持部材5bの上部に上下方向(図3に示すRの向き)に移動可能に支持されている。 The chamber lid 11 is supported on the upper part of the container holding member 5b by the chamber lid support 12 so as to be movable in the vertical direction (direction R shown in FIG. 3).
 内部電極13は、チャンバ30に収容された樹脂容器8の内部にそれぞれ挿入配置されるパイプ状の電極である。内部電極13は、ガス供給部14に連結されており、内部電極として機能するとともに、ガスを放出するガスノズルとしても機能する。 The internal electrode 13 is a pipe-like electrode that is inserted and arranged inside the resin container 8 accommodated in the chamber 30. The internal electrode 13 is connected to the gas supply unit 14 and functions as an internal electrode and also functions as a gas nozzle that discharges gas.
 ガス供給部14は、内部電極13を介して各樹脂容器8内に原料ガスを供給する。原料ガスとしては、ケイ素化合物、あるいは酸素等のガスと混合したガスを使用することができる。 The gas supply unit 14 supplies the raw material gas into each resin container 8 through the internal electrode 13. As the source gas, a gas mixed with a gas such as a silicon compound or oxygen can be used.
 高周波電源15は、プラズマCVDの外部電極に電力を供給するための電源である。高周波電源15は、機台ベース200内に配置されている。 The high frequency power supply 15 is a power supply for supplying power to the plasma CVD external electrode. The high frequency power supply 15 is disposed in the machine base 200.
 次に、コーティング部10の具体的な構造および動きを説明する。
 図4は、コーティング処理位置P2に設けられたコーティング部10の断面図である。図5は、コーティング部10の動きを説明する図であって、(a)および(b)は、それぞれ樹脂容器用コーティング装置1のコーティング処理位置P2における断面図である。図6は、コーティング処理時における動きを説明する図であって、(a)から(c)は、それぞれコーティング部10の断面図である。
Next, a specific structure and movement of the coating part 10 will be described.
FIG. 4 is a cross-sectional view of the coating portion 10 provided at the coating processing position P2. FIG. 5 is a diagram for explaining the movement of the coating unit 10, and (a) and (b) are cross-sectional views at the coating processing position P <b> 2 of the resin container coating apparatus 1. FIG. 6 is a diagram for explaining the movement during the coating process, and (a) to (c) are cross-sectional views of the coating part 10.
 図4および図5(a)(b)に示すように、コーティング部10は、容器保持部材5a,5b,5c,5dとチャンバ蓋部11とを備えている。コーティング部10は、複数(本実施形態では8つ)の略円筒状の樹脂容器8をそれぞれ個別に独立した状態で格納する8つのチャンバ30を備えている。チャンバ30には、樹脂容器8を格納する格納室Sが形成される。 As shown in FIG. 4 and FIGS. 5A and 5B, the coating unit 10 includes container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d and a chamber lid unit 11. The coating unit 10 includes eight chambers 30 for storing a plurality (eight in this embodiment) of substantially cylindrical resin containers 8 in an independent state. In the chamber 30, a storage room S for storing the resin container 8 is formed.
 容器保持部材5a,5b,5c,5dは、基台となるベース部40と、このベース部40上に配置される平板状の絶縁板50と、この絶縁板50上に設置された下側チャンバ60と、ベース部40上に配置される下側シールド部材(第1シールド部材の一例)70とを有している。また、容器保持部材5a,5b,5c,5dの下方には、格納室Sにそれぞれ設置された複数の樹脂容器8の内部にそれぞれ挿入配置されるパイプ状(筒状)の前述した内部電極13と、チャンバ30の格納室Sにそれぞれ連通して排気を行う排気管路(排気経路の一例)80と、チャンバ30の格納室Sに設置された樹脂容器8の内部に原料ガスをそれぞれ供給する前述したガス供給部14と、を備えている。 The container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d include a base portion 40 serving as a base, a flat plate-like insulating plate 50 disposed on the base portion 40, and a lower chamber installed on the insulating plate 50. 60 and a lower shield member (an example of a first shield member) 70 disposed on the base portion 40. Further, below the container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d, the pipe-shaped (cylindrical) internal electrode 13 described above is inserted and arranged inside the plurality of resin containers 8 respectively installed in the storage chamber S. The raw material gas is respectively supplied to an exhaust pipe line (an example of an exhaust path) 80 that communicates with the storage chamber S of the chamber 30 and exhausts, and inside the resin container 8 installed in the storage chamber S of the chamber 30. And the gas supply unit 14 described above.
 ベース部40は、ステンレスなどの金属プレートであり、回転台3の上面に載置されている。ベース部40には、その各角部近傍に、厚み方向へ貫通するガイド孔41が形成されており、これらのガイド孔41には、回転台3に固定されて回転台3上に立設されたガイドピン(ガイド部材の一例)42が挿通されている。ベース部40は、回転台3に対してガイド孔41に挿通されたガイドピン42によってガイドされた状態で、上下に移動可能に支持されている。ガイドピン42は、その上端部に外周へ張り出す頭部43を有している。これにより、ベース部40は、頭部43によって上方への移動が規制されている。ベース部40には、孔部44が形成されている。この孔部44は、機台2および回転台3に形成された孔部2a,3aと連通される。これらの互いに連通される孔部44,2a,3aには、排気管路80の端部が配置される。 The base unit 40 is a metal plate such as stainless steel and is placed on the upper surface of the turntable 3. In the base portion 40, guide holes 41 penetrating in the thickness direction are formed in the vicinity of the respective corners. The guide holes 41 are fixed to the turntable 3 and are erected on the turntable 3. A guide pin (an example of a guide member) 42 is inserted. The base portion 40 is supported so as to be movable up and down while being guided by a guide pin 42 inserted into the guide hole 41 with respect to the turntable 3. The guide pin 42 has a head 43 that protrudes to the outer periphery at the upper end. As a result, the base portion 40 is restricted from moving upward by the head portion 43. A hole 44 is formed in the base portion 40. The hole 44 communicates with holes 2 a and 3 a formed in the machine base 2 and the turntable 3. The end portions of the exhaust pipe 80 are disposed in the holes 44, 2a, and 3a that communicate with each other.
 絶縁板50は、絶縁性を有する樹脂材料を板状に形成したもので、ベース部40の上面側に固定されている。絶縁板50には、各格納室Sに対応する孔部51が形成されており、この孔部51は、チャンバ30の格納室S内と連通されている。絶縁板50には、その上面に、孔部51を囲うようにシール溝52が形成されており、このシール溝52には、Oリング53が装着されている。 The insulating plate 50 is a plate made of an insulating resin material and is fixed to the upper surface side of the base portion 40. A hole 51 corresponding to each storage chamber S is formed in the insulating plate 50, and the hole 51 communicates with the inside of the storage chamber S of the chamber 30. A sealing groove 52 is formed on the upper surface of the insulating plate 50 so as to surround the hole 51, and an O-ring 53 is attached to the sealing groove 52.
 下側チャンバ60は、チャンバ30の下側を構成するもので、金属材料から形成されている。下側チャンバ60は、上下に貫通する容器保持用孔部9a,9b,9c,9dが形成されている。この容器保持用孔部9a,9b,9c,9dに樹脂容器8が挿し込まれて保持される。容器保持用孔部9a,9b,9c,9dは、格納室Sの下側を形成する。下側チャンバ60は、絶縁板50上に固定されている。この下側チャンバ60を絶縁板50に固定することで、下側チャンバ60の下面にOリング53が密着されて絶縁板50と下側チャンバ60との間がシールされている。 The lower chamber 60 constitutes the lower side of the chamber 30 and is made of a metal material. The lower chamber 60 is formed with container holding holes 9a, 9b, 9c, 9d penetrating vertically. The resin container 8 is inserted and held in the container holding holes 9a, 9b, 9c, 9d. The container holding holes 9a, 9b, 9c, 9d form the lower side of the storage chamber S. The lower chamber 60 is fixed on the insulating plate 50. By fixing the lower chamber 60 to the insulating plate 50, the O-ring 53 is brought into close contact with the lower surface of the lower chamber 60 to seal between the insulating plate 50 and the lower chamber 60.
 下側シールド部材70は、金属板を角筒状に形成したもので、下端部に絶縁板50を嵌め込むようにしてベース部40上に固定されている。これにより、下側シールド部材70によって下側チャンバ60の周囲が囲われている。下側シールド部材70は、その上端に、外方へ張り出すフランジ部71を有している。フランジ部71には、全周にわたって導電性シール部材(弾性部材の一例)72が取り付けられている。この導電性シール部材72は、導電性を有する弾性材料から形成されている。 The lower shield member 70 is a metal plate formed in a rectangular tube shape, and is fixed on the base portion 40 so that the insulating plate 50 is fitted into the lower end portion. Thus, the lower chamber 60 is surrounded by the lower shield member 70. The lower shield member 70 has a flange portion 71 protruding outward at the upper end thereof. A conductive seal member (an example of an elastic member) 72 is attached to the flange portion 71 over the entire circumference. The conductive seal member 72 is made of an elastic material having conductivity.
 図5(a)(b)に示すように、排気管路80は、固定管路部81と、移動管路部(排気部材の一例)82とを有している。固定管路部81は、L字状に屈曲されている。この固定管路部81は、一端が機台2に固定され、他端が真空ポンプ(図示略)に接続されている。移動管路部82は、コ字状(U字状)に屈曲されている。この移動管路部82は、一端が互いに連通される孔部44,2a,3aに導かれ、他端が固定管路部81の一端に接続される。移動管路部82の一端には、Oリング83が取り付けられている。また、移動管路部82の一端側には、内部電極13が挿通されている。 As shown in FIGS. 5A and 5B, the exhaust pipe 80 has a fixed pipe part 81 and a moving pipe part (an example of an exhaust member) 82. The fixed duct portion 81 is bent in an L shape. One end of the fixed pipe section 81 is fixed to the machine base 2 and the other end is connected to a vacuum pump (not shown). The moving pipe part 82 is bent in a U-shape (U-shape). One end of the moving pipe portion 82 is guided to the holes 44, 2 a, 3 a that communicate with each other, and the other end is connected to one end of the fixed pipe portion 81. An O-ring 83 is attached to one end of the moving pipe part 82. Further, the internal electrode 13 is inserted into one end side of the moving duct portion 82.
 移動管路部82は、上下方向へ移動可能とされている。移動管路部82の下方側には、機台ベース200に固定されたエアシリンダ85が設けられている。エアシリンダ85は、シリンダ本体86と、このシリンダ本体86に対して上下方向へ進退されるロッド87とを有している。ロッド87の端部は、移動管路部82の底部に固定されている。 The moving pipeline section 82 is movable in the vertical direction. An air cylinder 85 fixed to the machine base 200 is provided below the moving conduit portion 82. The air cylinder 85 includes a cylinder body 86 and a rod 87 that is advanced and retracted in the vertical direction with respect to the cylinder body 86. The end portion of the rod 87 is fixed to the bottom portion of the moving conduit portion 82.
 エアシリンダ85および移動管路部82は、回転台3上に設置された容器保持部材5a,5b,5c,5dを、回転台3上に載置された待機位置から上昇させて回転台3から離間する離間位置へ移動させる移動機構90を構成する。 The air cylinder 85 and the moving pipe line part 82 raise the container holding members 5 a, 5 b, 5 c, 5 d installed on the turntable 3 from the standby position placed on the turntable 3, so that the turntable 3 A moving mechanism 90 is configured to move to a separated position.
 移動機構90は、エアシリンダ85のシリンダ本体86からロッド87を突出させることで移動管路部82を上昇させ、その一端を孔部44,2a,3a内へ挿し込み、他端を固定管路部81の一端に接続させる。上昇する移動管路部82は、孔部44,2a,3a内へ挿し込まれた一端が絶縁板50に当接する。これにより、容器保持部材5a,5b,5c,5dが上方へ持ち上げられて回転台3から離間した離間位置へ移動される。また、このとき、移動管路部82の一端に設けられたOリング83が絶縁板50に密着して移動管路部82と絶縁板50との間がシールされる。 The moving mechanism 90 raises the moving pipe section 82 by causing the rod 87 to protrude from the cylinder body 86 of the air cylinder 85, and inserts one end thereof into the holes 44, 2a, 3a and the other end of the fixed pipe line. It is connected to one end of the part 81. One end of the moving pipeline portion 82 that is inserted into the holes 44, 2 a, 3 a comes into contact with the insulating plate 50. As a result, the container holding members 5 a, 5 b, 5 c, 5 d are lifted upward and moved to a separated position separated from the turntable 3. At this time, an O-ring 83 provided at one end of the moving pipe portion 82 is in close contact with the insulating plate 50 to seal between the moving pipe portion 82 and the insulating plate 50.
 移動機構90は、エアシリンダ85のシリンダ本体86にロッド87を引き込ませることで、移動管路部82を下降させ、その一端を孔部44,2a,3a内から抜き出させ、他端を固定管路部81の一端から離す。移動管路部82が下降すると、離間位置に配置されていた容器保持部材5a,5b,5c,5dが下方の待機位置へ配置される。 The moving mechanism 90 pulls the rod 87 into the cylinder main body 86 of the air cylinder 85, thereby lowering the moving pipe section 82, extracting one end from the holes 44, 2a, 3a and fixing the other end. Separated from one end of the pipe section 81. When the moving pipe portion 82 is lowered, the container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d arranged at the separated positions are arranged at the lower standby position.
 チャンバ30の上方側を構成するチャンバ蓋部11は、支持板110と、絶縁板120と、上側チャンバ130と、上側シールド部材(第2シールド部材の一例)140とを有している。 The chamber lid 11 constituting the upper side of the chamber 30 includes a support plate 110, an insulating plate 120, an upper chamber 130, and an upper shield member (an example of a second shield member) 140.
 支持板110は、平板状に形成されており、チャンバ蓋支持部12から延びる支持アーム12aに支持されている。支持板110には、孔部111が形成されており、この孔部111には、支持アーム12aから引き出された給電線112が挿通されている。 The support plate 110 is formed in a flat plate shape and is supported by a support arm 12 a extending from the chamber lid support portion 12. A hole 111 is formed in the support plate 110, and a power supply line 112 drawn from the support arm 12 a is inserted into the hole 111.
 絶縁板120は、絶縁性を有する樹脂材料を板状に形成したもので、支持板110の下面側に固定されている。絶縁板120には、貫通孔121が形成されており、この貫通孔121に給電線112が通されている。 The insulating plate 120 is a plate made of an insulating resin material, and is fixed to the lower surface side of the support plate 110. A through hole 121 is formed in the insulating plate 120, and a power supply line 112 is passed through the through hole 121.
 上側チャンバ130は、チャンバ30の上側を構成するもので、金属材料から形成されている。上側チャンバ130は、保持孔131を有しており、保持孔131は、格納室Sの上側を構成する。上側チャンバ130には、給電線112が接続されている。保持孔131には、下側チャンバ60に保持された樹脂容器8が収容される。上側チャンバ130は、絶縁板50の下面側に固定されている。上側チャンバ130には、その下面に、保持孔131を囲うようにOリング132が取り付けられている。 The upper chamber 130 constitutes the upper side of the chamber 30 and is made of a metal material. The upper chamber 130 has a holding hole 131, and the holding hole 131 constitutes the upper side of the storage chamber S. A power supply line 112 is connected to the upper chamber 130. The holding hole 131 accommodates the resin container 8 held in the lower chamber 60. The upper chamber 130 is fixed to the lower surface side of the insulating plate 50. An O-ring 132 is attached to the lower surface of the upper chamber 130 so as to surround the holding hole 131.
 上側シールド部材140は、金属板を角筒状に形成したもので、上端部に絶縁板120を嵌め込むようにして支持板110に固定されている。これにより、上側シールド部材140によって上側チャンバ130の周囲が囲われている。上側シールド部材140は、その下端に、外方へ張り出すフランジ部141を有している。 The upper shield member 140 is a metal plate formed in a square tube shape, and is fixed to the support plate 110 so that the insulating plate 120 is fitted into the upper end portion. As a result, the upper shield member 140 surrounds the upper chamber 130. The upper shield member 140 has a flange portion 141 projecting outward at the lower end thereof.
 このような構成を有するコーティング部10において、コーティング処理が行われる場合、チャンバ蓋支持部12によってチャンバ蓋部11が下降されるとともに、移動機構90が駆動され、移動管路部82がエアシリンダ85によって上昇される。これにより、図6(a)に示すように、待機位置に配置されていた容器保持部材5a,5b,5c,5dが、図6(b)に示すように、上方へ持ち上げられる。このとき、下降するチャンバ蓋部11の上側チャンバ130の保持孔131に樹脂容器8の一部が入り込む。そして、図6(c)に示すように、容器保持部材5a,5b,5c,5dが離間位置へ移動された後、チャンバ蓋部11と容器保持部材5a,5b,5c,5dとが組み合わされる。 In the coating unit 10 having such a configuration, when the coating process is performed, the chamber lid support unit 12 lowers the chamber lid unit 11, drives the moving mechanism 90, and moves the moving line unit 82 to the air cylinder 85. Is raised by. As a result, as shown in FIG. 6A, the container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d arranged at the standby position are lifted upward as shown in FIG. 6B. At this time, a part of the resin container 8 enters the holding hole 131 of the upper chamber 130 of the descending chamber lid portion 11. Then, as shown in FIG. 6C, after the container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d are moved to the separated positions, the chamber lid portion 11 and the container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d are combined. .
 このように、チャンバ蓋部11と容器保持部材5a,5b,5c,5dとが組み合わされると、下側チャンバ60と上側チャンバ130とが互いに当接されてチャンバ30内に格納室Sが形成され、格納室S内に樹脂容器8が収容された状態となる。この状態で、下側チャンバ60と上側チャンバ130とは、当接箇所で互いに接触して電気的に接続される。また、これらの下側チャンバ60と上側チャンバ130との当接箇所は、上側チャンバ130に設けられたOリング132によってシールされる。 As described above, when the chamber lid 11 and the container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d are combined, the lower chamber 60 and the upper chamber 130 are brought into contact with each other to form the storage chamber S in the chamber 30. The resin container 8 is accommodated in the storage chamber S. In this state, the lower chamber 60 and the upper chamber 130 are in electrical contact with each other at the contact points. Further, the contact portion between the lower chamber 60 and the upper chamber 130 is sealed by an O-ring 132 provided in the upper chamber 130.
 また、チャンバ蓋部11が容器保持部材5a,5b,5c,5dに突き合わされると、下側シールド部材70と上側シールド部材140とが、導電性シール部材72を介して互いに当接されて電気的に接続される。そして、下側シールド部材70と上側シールド部材140とによって遮蔽空間が形成され、下側チャンバ60と上側チャンバ130とからなるチャンバ30が遮蔽空間内に配置された状態となる。また、下側シールド部材70と上側シールド部材140とは、下側シールド部材70に設けられた導電性シール部材72によってシールされる。 In addition, when the chamber lid portion 11 is abutted against the container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d, the lower shield member 70 and the upper shield member 140 are brought into contact with each other via the conductive seal member 72 and are electrically connected. Connected. The lower shield member 70 and the upper shield member 140 form a shielding space, and the chamber 30 including the lower chamber 60 and the upper chamber 130 is placed in the shielding space. Further, the lower shield member 70 and the upper shield member 140 are sealed by a conductive seal member 72 provided on the lower shield member 70.
 また、チャンバ蓋部11と容器保持部材5a,5b,5c,5dとが組み合わされる際に、下方位置に配置されていた内部電極13が上昇し、その先端がチャンバ30の格納室S内に収容されている樹脂容器8内に挿入される。 Further, when the chamber lid 11 and the container holding members 5 a, 5 b, 5 c, 5 d are combined, the internal electrode 13 disposed at the lower position is raised, and the tip thereof is accommodated in the storage chamber S of the chamber 30. The resin container 8 is inserted.
 上記のように、チャンバ蓋部11と容器保持部材5a,5b,5c,5dとが組み合わされ、内部電極13が樹脂容器8の口部から樹脂容器8の内部に挿入配置されると、格納室S内の空気が排気管路80を介して真空ポンプによって排気され、格納室S内が真空状態にされる。この状態で、ガス供給部14から原料ガスが供給され、供給された原料ガスはパイプ状を有する内部電極13の先端から樹脂容器8の内部に放出される。原料ガスの放出後に、チャンバ30に外部の高周波電源15から電力が投入される。これにより、外部電極であるチャンバ30と内部電極13との間に生じる電位差によってプラズマが発生し、8つの樹脂容器8の内部表面に膜が一括形成される。 As described above, when the chamber lid portion 11 and the container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d are combined and the internal electrode 13 is inserted into the resin container 8 from the mouth of the resin container 8, the storage chamber The air in S is exhausted by the vacuum pump through the exhaust line 80, and the storage chamber S is evacuated. In this state, the source gas is supplied from the gas supply unit 14, and the supplied source gas is discharged from the tip of the pipe-shaped internal electrode 13 into the resin container 8. After the release of the source gas, electric power is supplied to the chamber 30 from the external high frequency power supply 15. Thereby, plasma is generated by a potential difference generated between the chamber 30 which is an external electrode and the internal electrode 13, and a film is collectively formed on the internal surfaces of the eight resin containers 8.
 また、容器保持部材5a,5b,5c,5dとチャンバ蓋部11とが組み合わされた状態において、下側シールド部材70と上側シールド部材140とが互いに当接されて電気的に接続されるとともに遮蔽空間を形成する。そして、この遮蔽空間内に容器保持部材5a,5b,5c,5dの下側チャンバ60とチャンバ蓋部11の上側チャンバ130からなるチャンバ30が配置された状態となる。したがって、コーティング処理の際に発生する高周波の外部への伝搬が防がれる。 Further, in a state where the container holding members 5a, 5b, 5c, 5d and the chamber lid portion 11 are combined, the lower shield member 70 and the upper shield member 140 are brought into contact with each other to be electrically connected and shielded. Create a space. Then, the chamber 30 including the lower chamber 60 of the container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d and the upper chamber 130 of the chamber lid portion 11 is disposed in the shielding space. Therefore, propagation of high frequency generated during the coating process to the outside is prevented.
 なお、コーティング部10におけるコーティングの処理は、図示を省略する制御部から出力される各制御信号に基づいて実施される。 The coating process in the coating unit 10 is performed based on each control signal output from a control unit (not shown).
 ところで、チャンバ蓋部11が下降して容器保持部材5a,5b,5c,5dが組み合わされる際に、容器保持部材5a,5b,5c,5dには、チャンバ蓋部11から下方へ向かう衝撃力が作用する。一方、回転台3の底面と機台2の凹部300内の底面との間に所定のクリアランスがある。また、容器保持部材5a,5b,5c,5dは、回転台3上において、回転台3の支軸7から所定距離だけ径方向外方へ離れた位置に設置されている。 By the way, when the chamber cover part 11 is lowered and the container holding members 5a, 5b, 5c, 5d are combined, the container holding members 5a, 5b, 5c, 5d have an impact force downward from the chamber cover part 11. Works. On the other hand, there is a predetermined clearance between the bottom surface of the turntable 3 and the bottom surface in the recess 300 of the machine base 2. Further, the container holding members 5 a, 5 b, 5 c, and 5 d are installed on the turntable 3 at positions separated from the support shaft 7 of the turntable 3 by a predetermined distance radially outward.
 このため、例えば、特許文献2に記載された装置のように、容器保持部材5a,5b,5c,5dが回転台3に固定された構造では、コーティング処理において容器保持部材5a,5b,5c,5dとチャンバ蓋部11とが組み合わされる際の衝撃力が、床面に設置された機台2まで伝わりにくく、この衝撃力を主に回転台3で受け止めることとなってしまう。そして、この衝撃力が、回転台3のうち支軸7から所定距離だけ離れた部位にコーティング処理の度に加わることにより、駆動機構6が故障してしまう可能性がある。例えば、回転台3の形状が変形したり、回転台3と支軸7との接合部分が変形したりする可能性がある。このため、特許文献2の装置では、駆動機構6について定期的なメンテナンスが必要である。 For this reason, for example, in the structure in which the container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d are fixed to the turntable 3 as in the apparatus described in Patent Document 2, the container holding members 5a, 5b, 5c, The impact force when 5d and the chamber lid 11 are combined is not easily transmitted to the machine base 2 installed on the floor, and this impact force is mainly received by the turntable 3. Then, when this impact force is applied to a part of the turntable 3 that is a predetermined distance away from the support shaft 7 every time the coating process is performed, the drive mechanism 6 may break down. For example, there is a possibility that the shape of the turntable 3 is deformed, or the joint portion between the turntable 3 and the support shaft 7 is deformed. For this reason, the apparatus of Patent Document 2 requires periodic maintenance on the drive mechanism 6.
 そこで、例えば、回転台3の底面と機台2の凹部300内の底面との間のクリアランスに、摺動部材を設けることが考えられる。この構成では、回転台3のスムーズな回転を確保しつつ、容器保持部材5a,5b,5c,5dとチャンバ蓋部11とが組み合わされる際の衝撃力を、摺動部材を介して機台2で受け止めることが可能となる。 Therefore, for example, it is conceivable to provide a sliding member in the clearance between the bottom surface of the turntable 3 and the bottom surface in the recess 300 of the machine base 2. In this configuration, while the smooth rotation of the turntable 3 is ensured, the impact force when the container holding members 5a, 5b, 5c, 5d and the chamber lid portion 11 are combined with each other through the sliding member is used for the machine base 2. Can be received.
 しかしながら、このような摺動部材は高価であり装置コストが高くなってしまう。また、摺動部材は摩耗するため、摺動部材の定期的なメンテナンスが必要となってしまう。 However, such a sliding member is expensive and increases the cost of the apparatus. Further, since the sliding member wears, periodic maintenance of the sliding member is required.
 これに対して、本実施形態に係る樹脂容器用コーティング装置1では、容器保持部材5a,5b,5c,5dとチャンバ蓋部11とが組み合わされる前に容器保持部材5a,5b,5c,5dが回転台3上から離間した離間位置に移動するため、容器保持部材5a,5b,5c,5dとチャンバ蓋部11とが組み合わされる際の衝撃力が回転台3まで直接的には伝達しない。このため、コーティング処理の度に発生する上述の衝撃力に起因して駆動機構6が故障する可能性を低下させることができ、メンテナンスの頻度を低減させることができる。 In contrast, in the resin container coating apparatus 1 according to the present embodiment, the container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d are moved before the container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d are combined with the chamber lid portion 11. Since the container holding members 5 a, 5 b, 5 c, 5 d and the chamber lid 11 are combined with each other, the impact force is not directly transmitted to the turntable 3 because it moves to a separated position away from the turntable 3. For this reason, it is possible to reduce the possibility that the drive mechanism 6 breaks down due to the above-described impact force generated every time the coating process is performed, and it is possible to reduce the frequency of maintenance.
 また、排気管路80を構成する移動管路部82は、エアシリンダ85によって上下移動される。このため、衝撃力が発生した瞬間、容器保持部材5a,5b,5c,5dは少しだけ離間位置から回転台3の方へ移動可能である。これにより、容器保持部材5a,5b,5c,5dとチャンバ蓋部11とが組み合わされる際の衝撃力を、容器保持部材5a,5b,5c,5dが下方へ少し移動することで緩衝させることができる。これにより、容器保持部材5a,5b,5c,5dも壊れにくい。 Further, the moving pipeline portion 82 constituting the exhaust pipeline 80 is moved up and down by the air cylinder 85. For this reason, at the moment when the impact force is generated, the container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d can move slightly from the separated position toward the turntable 3. Thereby, the impact force when the container holding members 5a, 5b, 5c, 5d and the chamber lid 11 are combined can be buffered by moving the container holding members 5a, 5b, 5c, 5d slightly downward. it can. Thereby, the container holding members 5a, 5b, 5c and 5d are also difficult to break.
 図7は、図1のC-C線における断面図であり、クリーニング処理位置P3に設けられたクリーニング部20を示している。クリーニング部20は、容器保持部材5cと、容器押さえ部21と、容器押さえ支持部22と、ノズル23と、圧縮空気供給部24を備える。 FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 1, and shows the cleaning unit 20 provided at the cleaning processing position P3. The cleaning unit 20 includes a container holding member 5 c, a container pressing part 21, a container pressing support part 22, a nozzle 23, and a compressed air supply part 24.
 容器押さえ部21は、容器保持用孔部9cに嵌入された樹脂容器8を上方から押さえ込む樹脂容器8の外れ防止部材である。容器押さえ部21は、押さえ板21aと、一端部に押さえ板21aを支持する押さえアーム21bとを備えている。押さえアーム21bの他端は、容器押さえ支持部22に取り付けられている。容器押さえ部21は、上下方向(図7に示す矢印S方向)へ移動自在に支持されている。 The container pressing part 21 is a member for preventing the resin container 8 from coming off, pressing the resin container 8 fitted in the container holding hole 9c from above. The container pressing portion 21 includes a pressing plate 21a and a pressing arm 21b that supports the pressing plate 21a at one end. The other end of the pressing arm 21 b is attached to the container pressing support portion 22. The container holding | suppressing part 21 is supported so that a movement to an up-down direction (arrow S direction shown in FIG. 7) is possible.
 ノズル23は、容器保持部材5cの容器保持用孔部9cに保持されている樹脂容器8の内部にそれぞれ挿入されるパイプ部材である。ノズル23は、圧縮空気供給部24に連結されている。圧縮空気供給部24から供給された空気はノズル23を介して樹脂容器8内に放出される。 The nozzles 23 are pipe members respectively inserted into the resin containers 8 held in the container holding holes 9c of the container holding member 5c. The nozzle 23 is connected to the compressed air supply unit 24. The air supplied from the compressed air supply unit 24 is discharged into the resin container 8 through the nozzle 23.
 ところで、前述したコーティング部10における成膜時において、樹脂容器8の内部に挿入される内部電極13等に膜が付着する場合がある。この場合、コーティング処理を複数回繰り返すことによりその膜が徐々に大きな堆積物となり、その堆積物が樹脂容器8の内部に剥がれ落ちる場合がある。また、排気管路80内に付着した堆積物が大気開放時の空気の流れで巻き上げられ樹脂容器8内に入り込む場合もある。 By the way, at the time of film formation in the coating unit 10 described above, a film may adhere to the internal electrode 13 or the like inserted into the resin container 8. In this case, when the coating process is repeated a plurality of times, the film gradually becomes a large deposit, and the deposit may be peeled off inside the resin container 8. In addition, deposits adhering in the exhaust pipe 80 may be wound up by the air flow when the atmosphere is released and enter the resin container 8.
 クリーニング部20では、各樹脂容器8内にノズル23を挿入して、ノズル23から圧縮空気を樹脂容器8内に吹き込む。このとき圧縮空気の吹き込みにより容器保持部材5cにセットした樹脂容器8が吹き飛ばされないように、樹脂容器8の上側に容器押さえ部21を配置させて押さえ込む。これにより、成膜時に容器の内面に付着した塵、ホコリ、ダスト、異物等のパーティクルを樹脂容器8の外部に除去することができる。 In the cleaning unit 20, a nozzle 23 is inserted into each resin container 8, and compressed air is blown into the resin container 8 from the nozzle 23. At this time, the container pressing portion 21 is disposed and pressed above the resin container 8 so that the resin container 8 set on the container holding member 5c is not blown away by blowing compressed air. Thereby, particles such as dust, dust, dust, and foreign matters adhering to the inner surface of the container during film formation can be removed to the outside of the resin container 8.
 次に、上記構成の樹脂容器用コーティング装置1の動作について説明する。
 コーティング処理が行なわれる初期状態では、4つの容器保持部材5a,5b,5c,5dは全て空の状態、すなわち、樹脂容器8は載置されていない状態になっている。この状態をこの初期状態として、図1を参照して以下説明していく。
Next, operation | movement of the coating apparatus 1 for resin containers of the said structure is demonstrated.
In the initial state in which the coating process is performed, the four container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d are all empty, that is, the resin container 8 is not placed. This state will be described below with reference to FIG. 1 as this initial state.
 初期状態において先ず、容器供給位置P1に配置された容器保持部材5aの容器保持用孔部9aに、コーティングされていない未成膜の樹脂容器8が嵌入されることにより供給される。 In the initial state, first, the uncoated resin container 8 that is not coated is inserted into the container holding hole 9a of the container holding member 5a disposed at the container supply position P1.
 容器保持部材5aへの樹脂容器8の供給が完了すると、続いて、回転台3が支軸7を中心として矢印Q方向へ90度回転する。この回転により、容器保持部材5aがコーティング処理位置P2まで移動する。 When the supply of the resin container 8 to the container holding member 5a is completed, the turntable 3 subsequently rotates 90 degrees about the support shaft 7 in the arrow Q direction. By this rotation, the container holding member 5a moves to the coating processing position P2.
 このとき他の容器保持部材5b,5c,5dも矢印Q方向へ同じ角度だけ回転して、容器保持部材5bがクリーニング処理位置P3まで移動し、容器保持部材5cが容器取出位置P4まで移動し、容器保持部材5dが容器供給位置P1まで移動する。 At this time, the other container holding members 5b, 5c and 5d are also rotated by the same angle in the direction of arrow Q, the container holding member 5b is moved to the cleaning processing position P3, the container holding member 5c is moved to the container removal position P4, The container holding member 5d moves to the container supply position P1.
 容器保持部材5aがコーティング処理位置P2まで移動すると、当該コーティング処理位置P2において、容器保持部材5aに供給された樹脂容器8に対しコーティング処理が開始される。コーティング処理の内容は、上述した通りである。 When the container holding member 5a moves to the coating processing position P2, the coating process is started on the resin container 8 supplied to the container holding member 5a at the coating processing position P2. The contents of the coating process are as described above.
 このコーティング処理位置P2における容器保持部材5aの樹脂容器8にコーティング処理が実施されている間、この処理と並行して、容器供給位置P1に配置された容器保持部材5dの容器保持用孔部9dには未成膜の樹脂容器8を嵌入する処理が実施される。 While the coating process is being performed on the resin container 8 of the container holding member 5a at the coating processing position P2, in parallel with this process, the container holding hole 9d of the container holding member 5d disposed at the container supply position P1. A process of inserting a non-film-formed resin container 8 is performed.
 容器保持部材5aに供給された樹脂容器8へのコーティング処理と、容器供給位置P1に配置された容器保持部材5dへの容器供給処理とが完了すると、さらに、回転台3が90度回転して、容器保持部材5aがクリーニング処理位置P3まで移動する。 When the coating process to the resin container 8 supplied to the container holding member 5a and the container supply process to the container holding member 5d arranged at the container supply position P1 are completed, the turntable 3 further rotates 90 degrees. The container holding member 5a moves to the cleaning processing position P3.
 このとき他の容器保持部材5b,5c,5dもそれぞれ同じ角度回転して、容器保持部材5bが容器取出位置P4まで移動し、容器保持部材5cが容器供給位置P1まで移動し、容器保持部材5dがコーティング処理位置P2まで移動する。 At this time, the other container holding members 5b, 5c, and 5d are also rotated by the same angle, the container holding member 5b is moved to the container take-out position P4, the container holding member 5c is moved to the container supply position P1, and the container holding member 5d is moved. Moves to the coating processing position P2.
 容器保持部材5aがクリーニング処理位置P3まで移動すると、当該クリーニング処理位置P3において、容器保持部材5aに保持されている樹脂容器8に対しクリーニング処理が開始される。クリーニング処理の内容は、上述した通りである。 When the container holding member 5a moves to the cleaning processing position P3, the cleaning process is started on the resin container 8 held by the container holding member 5a at the cleaning processing position P3. The contents of the cleaning process are as described above.
 このクリーニング処理位置P3における容器保持部材5aの樹脂容器8にクリーニング処理が実施されている間、この処理と並行して、コーティング処理位置P2に配置された容器保持部材5dの樹脂容器8に対しコーティング処理が実施される。また、容器供給位置P1に配置された容器保持部材5cの容器保持用孔部9cには未成膜の樹脂容器8を嵌入する処理が実施される。 While the cleaning process is being performed on the resin container 8 of the container holding member 5a at the cleaning process position P3, the resin container 8 of the container holding member 5d disposed at the coating process position P2 is coated in parallel with this process. Processing is performed. Moreover, the process which inserts the non-film-formation resin container 8 in the container holding hole 9c of the container holding member 5c arrange | positioned in the container supply position P1 is implemented.
 容器保持部材5aに保持されている樹脂容器8へのクリーニング処理と、容器保持部材5dに保持されている樹脂容器8へのコーティング処理と、容器供給位置P1に配置された容器保持部材5cへの容器供給処理とが完了すると、さらに、回転台3が90度回転して、容器保持部材5aが容器取出位置P4まで移動する。 The cleaning process for the resin container 8 held by the container holding member 5a, the coating process for the resin container 8 held by the container holding member 5d, and the container holding member 5c disposed at the container supply position P1 When the container supply process is completed, the turntable 3 further rotates 90 degrees, and the container holding member 5a moves to the container removal position P4.
 このとき他の容器保持部材5b,5c,5dもそれぞれ同じ角度回転して、容器保持部材5bが容器供給位置P1まで移動し、容器保持部材5cがコーティング処理位置P2まで移動し、容器保持部材5dがクリーニング処理位置P3まで移動する。 At this time, the other container holding members 5b, 5c, and 5d also rotate by the same angle, the container holding member 5b moves to the container supply position P1, the container holding member 5c moves to the coating processing position P2, and the container holding member 5d. Moves to the cleaning processing position P3.
 容器保持部材5aが容器取出位置P4まで移動すると、当該容器取出位置P4において、容器保持部材5aに載置されている成膜済み樹脂容器8を取出す処理が開始される。樹脂容器用コーティング装置1から取り出された樹脂容器8は、その内部に液体などの内容物を充填する充填装置へと搬送される。 When the container holding member 5a moves to the container removal position P4, the process of taking out the film-formed resin container 8 placed on the container holding member 5a is started at the container removal position P4. The resin container 8 taken out from the resin container coating apparatus 1 is conveyed to a filling apparatus that fills the interior thereof with a content such as a liquid.
 この容器取出位置P4における容器保持部材5aに保持された成膜済み樹脂容器8の取り出し処理が実施されている間、この処理と並行して、クリーニング処理位置P3に配置された容器保持部材5dの樹脂容器8に対しクリーニング処理が実施される。また、コーティング処理位置P2に配置された容器保持部材5cの樹脂容器8に対しコーティング処理が実施される。また、容器供給位置P1に配置された容器保持部材5bの容器保持用孔部9bには未成膜の樹脂容器8を嵌入する容器供給処理が実施される。 While the process of taking out the film-formed resin container 8 held by the container holding member 5a at the container take-out position P4 is being performed, in parallel with this process, the container holding member 5d disposed at the cleaning process position P3 A cleaning process is performed on the resin container 8. Further, the coating process is performed on the resin container 8 of the container holding member 5c disposed at the coating process position P2. In addition, a container supply process is performed in which a non-film-formed resin container 8 is inserted into the container holding hole 9b of the container holding member 5b disposed at the container supply position P1.
 コーティング処理、クリーニング処理、取り出し処理、容器供給処理の各処理が完了すると、さらに、回転台3が90度回転して、容器保持部材5aが再度、容器供給位置P1まで移動する。このとき容器保持部材5aは、樹脂容器8が供給されていない空の状態である。 When the coating process, the cleaning process, the removal process, and the container supply process are completed, the turntable 3 further rotates 90 degrees, and the container holding member 5a moves again to the container supply position P1. At this time, the container holding member 5a is in an empty state in which the resin container 8 is not supplied.
 そして、容器供給位置P1まで戻った容器保持部材5aに対しては上述したように未成膜の樹脂容器8の供給処理が実施される。また、さらに回転が繰り返されると、順次、各位置P1からP4においてそれぞれ上述した動作が繰り返される。 Then, as described above, the supply process of the undeposited resin container 8 is performed on the container holding member 5a that has returned to the container supply position P1. Further, when the rotation is further repeated, the above-described operations are sequentially repeated at the respective positions P1 to P4.
 なお、上述した容器供給処理、コーティング処理、クリーニング処理、取り出し処理、容器供給処理の各処理は所定時間内に終了するように設定されている。本例では、上述の4つの各処理が例えば10秒以内で処理が終了するように設定されており、回転台3は例えば10秒毎に支軸7を中心として矢印Q方向へ90度回転し、各位置P1からP4においてそれぞれ上述した動作が繰り返される。 The container supply process, the coating process, the cleaning process, the removal process, and the container supply process described above are set to finish within a predetermined time. In this example, the above four processes are set so that the processes are completed within 10 seconds, for example, and the turntable 3 rotates 90 degrees in the direction of the arrow Q about the support shaft 7 every 10 seconds, for example. The operations described above are repeated at each of the positions P1 to P4.
 以上説明したように、本実施形態に係る樹脂容器用コーティング装置1によれば、容器保持部材5a,5b,5c,5dとチャンバ蓋部11とが組み合わされる前に容器保持部材5a,5b,5c,5dが回転台3上から離間した離間位置に移動するため、容器保持部材5a,5b,5c,5dとチャンバ蓋部11とが組み合わされる際の衝撃力が回転台3まで直接的には伝達しない。このため、コーティング処理の度に発生する上述の衝撃力に起因して駆動機構6が故障する可能性を低下させることができ、メンテナンスの頻度を低減させることができる。 As described above, according to the resin container coating apparatus 1 according to the present embodiment, the container holding members 5a, 5b, 5c are combined before the container holding members 5a, 5b, 5c, 5d and the chamber lid portion 11 are combined. , 5d move to a position separated from the top of the turntable 3, so that the impact force when the container holding members 5a, 5b, 5c, 5d and the chamber lid 11 are combined is directly transmitted to the turntable 3. do not do. For this reason, it is possible to reduce the possibility that the drive mechanism 6 breaks down due to the above-described impact force generated every time the coating process is performed, and it is possible to reduce the frequency of maintenance.
 また、本実施形態に係る樹脂容器用コーティング装置1によれば、未成膜の樹脂容器8を供給する工程と、コーティング処理を行う工程と、クリーニング処理を行う工程と、成膜された樹脂容器8を取り出す工程とを並行して行うことができるため、コーティング処理を要する樹脂容器8を製造する量産効率を向上させることができる。 Moreover, according to the coating apparatus 1 for a resin container according to the present embodiment, a process for supplying an undeposited resin container 8, a process for performing a coating process, a process for performing a cleaning process, and a resin container 8 having a film formed thereon. Therefore, it is possible to improve the mass production efficiency of manufacturing the resin container 8 that requires a coating process.
 このように、本実施形態によれば、コーティング処理された樹脂容器8の量産効率の向上を図りつつ、コーティング処理に起因するメンテナンスの頻度を低減することができる。 Thus, according to the present embodiment, it is possible to reduce the frequency of maintenance caused by the coating process while improving the mass production efficiency of the coated resin container 8.
 しかも、回転台3の小型化や低コスト化も可能であり、装置全体の低コスト化に寄与することも可能である。 In addition, the turntable 3 can be reduced in size and cost, which can contribute to the cost reduction of the entire apparatus.
 また、容器保持部材5a,5b,5c,5dが離間位置へ移動することをガイドするガイドピン42を回転台3上に設けているので、容器保持部材5a,5b,5c,5dを精度よく離間位置へ移動させることができる。また、容器保持部材5a,5b,5c,5dが離間位置と異なる位置へ移動することを防ぐことができる。 Further, since the guide pins 42 for guiding the movement of the container holding members 5a, 5b, 5c, 5d to the separated position are provided on the turntable 3, the container holding members 5a, 5b, 5c, 5d are separated accurately. It can be moved to a position. Further, the container holding members 5a, 5b, 5c and 5d can be prevented from moving to a position different from the separated position.
 しかも、ガイドピン42によって、容器保持部材5a,5b,5c,5dが回転台3上の水平方向へ移動することを防ぐことができる。これにより、容器保持部材5a,5b,5c,5dとチャンバ蓋部11とが組み合わされる際の衝撃力によって、容器保持部材5a,5b,5c,5dの位置ずれが発生することを抑制できる。 Moreover, the guide pins 42 can prevent the container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d from moving in the horizontal direction on the turntable 3. Thereby, it is possible to suppress the occurrence of displacement of the container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d due to the impact force when the container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d are combined with the chamber lid portion 11.
 また、移動機構90には、コーティング処理位置P2に配置された容器保持部材5a,5b,5c,5dと接続して、容器保持部材5a,5b,5c,5dの下側チャンバ60とチャンバ蓋部11の上側チャンバ130とで形成される格納室Sの空気を外部へ排気するための排気管路80を構成する排気部材が用いられる。つまり、コーティング処理に必要な排気部材を移動機構90として利用することで、部品点数の増加を抑えつつ、容器保持部材5a,5b,5c,5dを離間位置へ移動させる機構を実現することができる。 Further, the moving mechanism 90 is connected to the container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d disposed at the coating processing position P2, and the lower chamber 60 and the chamber lid portion of the container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d. The exhaust member which comprises the exhaust pipe 80 for exhausting the air of the storage chamber S formed with the 11 upper chambers 130 outside is used. That is, by using the exhaust member necessary for the coating process as the moving mechanism 90, it is possible to realize a mechanism for moving the container holding members 5a, 5b, 5c, and 5d to the separated position while suppressing an increase in the number of parts. .
 また、容器保持部材5a,5b,5c,5dとチャンバ蓋部11とが組み合わされた状態において、下側シールド部材70と上側シールド部材140とで形成される遮蔽空間内に容器保持部材5a,5b,5c,5dの下側チャンバ60とチャンバ蓋部11の上側チャンバ130からなるチャンバ30が配置された状態となる。これにより、コーティング処理の際に発生する高周波が装置の外部へ伝搬することを防ぐことができる。 Further, in a state where the container holding members 5a, 5b, 5c, 5d and the chamber lid portion 11 are combined, the container holding members 5a, 5b are within the shielding space formed by the lower shield member 70 and the upper shield member 140. , 5c, 5d, the chamber 30 composed of the lower chamber 60 and the upper chamber 130 of the chamber lid 11 is arranged. Thereby, it is possible to prevent the high frequency generated during the coating process from propagating to the outside of the apparatus.
 また、下側シールド部材70と上側シールド部材140とが、下側シールド部材70に設けた導電性を有する弾性材料からなる導電性シール部材72を介して接続されることにより、遮蔽空間の密閉性が確保しやすくなる。 In addition, the lower shield member 70 and the upper shield member 140 are connected to each other via the conductive seal member 72 made of an elastic material having conductivity provided in the lower shield member 70, so that the sealed space is sealed. Is easier to secure.
 ここで、下側チャンバ60および上側チャンバ130は、真空に耐えられるように肉厚に設計されるが、下側シールド部材70および上側シールド部材140は電気的に遮蔽できれば問題ない。そのため、下側シールド部材70および上側シールド部材140は、下側チャンバ60および上側チャンバ130と比較して薄肉に設計できるが、衝撃力による変形の可能性も考慮しなくてはならない。 Here, the lower chamber 60 and the upper chamber 130 are designed to be thick enough to withstand vacuum, but there is no problem as long as the lower shield member 70 and the upper shield member 140 can be electrically shielded. Therefore, the lower shield member 70 and the upper shield member 140 can be designed to be thinner than the lower chamber 60 and the upper chamber 130, but the possibility of deformation due to impact force must also be taken into consideration.
 本実施形態では、下側シールド部材70に設けた導電性を有する弾性材料からなる導電性シール部材72によって容器保持部材5a,5b,5c,5dとチャンバ蓋部11とが組み合わされる際に下側シールド部材70と上側シールド部材140との間に発生する衝撃力を低減することができる。これにより、下側シールド部材70および上側シールド部材140を薄肉化してコストを低下させることができる。 In the present embodiment, when the container holding members 5a, 5b, 5c, 5d and the chamber lid 11 are combined by the conductive sealing member 72 made of an elastic material having conductivity provided in the lower shield member 70, the lower side The impact force generated between the shield member 70 and the upper shield member 140 can be reduced. Thereby, the lower shield member 70 and the upper shield member 140 can be thinned and the cost can be reduced.
 次に、上記の樹脂容器用コーティング装置1を備えた樹脂容器製造システム230について説明する。
 図8は、樹脂容器製造システム230の一実施形態を上方から見た平面図である。樹脂容器製造システム230は、樹脂容器8を製造する成形機(樹脂容器製造装置の一例)240と、樹脂容器8にコーティング処理を行なう樹脂容器用コーティング装置1と、成形機240で製造された樹脂容器8を樹脂容器用コーティング装置1に搬送するロボットアーム(樹脂容器搬送装置の一例)250を備える。なお、樹脂容器用コーティング装置1は、上記実施形態において説明した樹脂容器用コーティング装置と同じ装置である。
Next, the resin container manufacturing system 230 provided with the said resin container coating apparatus 1 is demonstrated.
FIG. 8 is a plan view of an embodiment of the resin container manufacturing system 230 as viewed from above. The resin container manufacturing system 230 includes a molding machine (an example of a resin container manufacturing apparatus) 240 that manufactures the resin container 8, a resin container coating apparatus 1 that performs a coating process on the resin container 8, and a resin manufactured by the molding machine 240. A robot arm (an example of a resin container transport device) 250 that transports the container 8 to the resin container coating apparatus 1 is provided. The resin container coating apparatus 1 is the same apparatus as the resin container coating apparatus described in the above embodiment.
 成形機240は、樹脂容器8の原料が供給される原料供給ステージ241と、プリフォームを成形するプリフォーム成形ステージ242と、プリフォームの温度分布を均一にするための温度調整ステージ243と、空気を吹き込むブロー成形ステージ244と、成形した樹脂容器8を取り出す取出ステージ245を備えている。取出ステージ245に並列配置される樹脂容器8の数および樹脂容器8のピッチ(金型のピッチ)は、樹脂容器用コーティング装置1の容器供給位置P1に配置される容器保持部材5a,5b,5c,5dの容器保持用孔部9a,9b,9c,9dの数およびそのピッチに対応するように設定されている。 The molding machine 240 includes a raw material supply stage 241 to which the raw material of the resin container 8 is supplied, a preform molding stage 242 for molding a preform, a temperature adjustment stage 243 for making the temperature distribution of the preform uniform, air And a take-out stage 245 for taking out the molded resin container 8. The number of resin containers 8 arranged in parallel to the take-out stage 245 and the pitch of the resin containers 8 (die pitch) are the container holding members 5a, 5b, 5c arranged at the container supply position P1 of the resin container coating apparatus 1. , 5d, the number of container holding holes 9a, 9b, 9c, 9d and the pitch thereof are set.
 ロボットアーム250は、成形機240と樹脂容器用コーティング装置1との間に配置されている。ロボットアーム250は、成形機420の取出ステージ245に配置されている樹脂容器8を取り出して、取り出した樹脂容器8を樹脂容器用コーティング装置1の容器供給位置P1に配置されている容器保持部材5aに搬送する。また、ロボットアーム250は、搬送した樹脂容器8を容器保持部材5aの容器保持用孔部9aに嵌入することにより保持させる。 The robot arm 250 is disposed between the molding machine 240 and the resin container coating apparatus 1. The robot arm 250 takes out the resin container 8 placed on the take-out stage 245 of the molding machine 420, and takes the taken-out resin container 8 at the container supply position P1 of the resin container coating apparatus 1. Transport to. The robot arm 250 holds the conveyed resin container 8 by fitting it into the container holding hole 9a of the container holding member 5a.
 以上説明したように、本実施形態の樹脂容器製造システム230によれば、成形機240に保持された樹脂容器8が、ロボットアーム250によって直接的に樹脂容器用コーティング装置1に供給される。このため、成形機240によって製造された樹脂容器8をベルトコンベヤーで搬送してコーティング装置まで搬送する構成と比較して、コーティング装置に設置するための整列作業が不要となり量産効率がより向上する。 As described above, according to the resin container manufacturing system 230 of the present embodiment, the resin container 8 held by the molding machine 240 is directly supplied to the resin container coating apparatus 1 by the robot arm 250. For this reason, compared with the structure which conveys the resin container 8 manufactured with the molding machine 240 to a coating apparatus by a belt conveyor, the alignment operation | work for installing in a coating apparatus becomes unnecessary, and mass-production efficiency improves more.
 また、取出ステージ245の樹脂容器8の数およびそのピッチ(金型のピッチ)と、容器供給位置P1の容器保持用孔部9a,9b,9c,9dの数およびそのピッチを対応させたことにより、ロボットアーム250によって確実に樹脂容器8を受け渡すことができ、更に量産効率を向上させることができる。 Further, by making the number and pitch (mold pitch) of the resin containers 8 of the take-out stage 245 correspond to the number and pitch of the container holding holes 9a, 9b, 9c and 9d at the container supply position P1. The resin container 8 can be reliably delivered by the robot arm 250, and the mass production efficiency can be further improved.
 ここで、樹脂容器8の製造装置とコーティング装置は連結されて使用されることがある(例えば、日本国特開2005-036260号および日本国特開2005-2469号参照)。このように、樹脂容器8の製造装置とコーティング装置とを連結して使用する装置では、製造装置で最終形状に形成された樹脂容器8を、一個ずつコーティング装置の個別の搬送部材(チャンバの下部分など)に整列させた状態で供給する必要がある。この種の装置は、主に大量生産される汎用の形状を有する樹脂容器8を製造するのに用いられている。 Here, the manufacturing apparatus of the resin container 8 and the coating apparatus may be connected and used (see, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2005-036260 and Japanese Patent Laid-Open No. 2005-2469). In this way, in the apparatus that uses the manufacturing apparatus for the resin container 8 and the coating apparatus connected to each other, the resin containers 8 formed in the final shape by the manufacturing apparatus are individually transferred to the individual conveying members (under the chamber) of the coating apparatus. It is necessary to supply it in a state where it is aligned with the part). This type of apparatus is mainly used to manufacture a resin container 8 having a general-purpose shape that is mass-produced.
 ところで、コーティングの対象となる樹脂容器8は、大量生産されて汎用の形状となっているものだけでなく、小型や扁平等の形状であって少量生産されるものも含まれる。主に少量生産される、例えば小型で扁平の形状を有する樹脂容器8については、整列させた状態で搬送して一個ずつ連続的に個別の搬送部材に供給することが難しく、コーティング処理の効率を低下させる原因の一つでもある。 By the way, the resin container 8 to be coated includes not only a mass-produced and general-purpose shape but also a small-sized or flat shape and a small-volume product. For resin containers 8 that are mainly produced in small quantities, such as small and flat shapes, it is difficult to transport them in an aligned state and supply them individually to individual transport members one by one, which increases the efficiency of the coating process. It is one of the causes of the decrease.
 これに対して、本実施形態の樹脂容器製造システム230によれば、成形機240で製造されて正立した状態の樹脂容器8をそのまま樹脂容器用コーティング装置1の容器保持部材5a,5b,5c,5dに保持させることができるため、小型や扁平等の形状であって多品種少量生産される樹脂容器8に対してもコーティング処理の効率が低下しにくい。 On the other hand, according to the resin container manufacturing system 230 of the present embodiment, the container holding members 5a, 5b, and 5c of the resin container coating apparatus 1 are used as they are as they are manufactured by the molding machine 240 and in an upright state. , 5d, the efficiency of the coating process is unlikely to decrease even for resin containers 8 that are small, flat, or the like and are produced in small quantities.
 また、樹脂容器8の製造装置とコーティング装置とを連結して使用する装置は、樹脂容器8を一個ずつ個別の搬送部材(チャンバの下部分など)に連続的に供給し、一個ずつ円状の経路に沿って流していく。このようなロータリータイプの装置において、例えば20~50個の樹脂容器8を一度に円状に配置できるスペック(1時間あたり10000~30000個の容器を処理可能なスペック)を有する装置の場合、20~50回だけ樹脂容器8を供給口に連続して供給して次の位置に移動させることとなり、供給する樹脂容器8の数だけ装置の回転機構を動作させることとなるため、装置のメンテナンスや故障のリスクが樹脂容器8の数に影響を受けやすい。また、1つの樹脂容器に対して1個の搬送部材が設けられており、装置として大型でコストが高いものとなる。 In addition, an apparatus that connects and uses a manufacturing apparatus for the resin container 8 and a coating apparatus continuously supplies the resin containers 8 one by one to individual conveying members (such as the lower part of the chamber), Flow along the path. In such a rotary type apparatus, for example, in the case of an apparatus having specifications that can arrange 20 to 50 resin containers 8 in a circle at once (specs that can process 10,000 to 30,000 containers per hour), 20 Since the resin container 8 is continuously supplied to the supply port only up to 50 times and moved to the next position, the rotation mechanism of the apparatus is operated as many as the number of resin containers 8 to be supplied. The risk of failure is susceptible to the number of resin containers 8. In addition, one transport member is provided for one resin container, which makes the apparatus large and expensive.
 これに対し、本実施形態に係る樹脂容器製造システム230では、一度に複数の樹脂容器8を1つの容器保持部材5a(5b,5c,5d)に保持させる。このため、ロータリータイプと比較して、回転機構が故障するリスクを大幅に下げられるとともに、装置のコストも低下させることができる。 In contrast, in the resin container manufacturing system 230 according to the present embodiment, a plurality of resin containers 8 are held by one container holding member 5a (5b, 5c, 5d) at a time. For this reason, as compared with the rotary type, it is possible to greatly reduce the risk of failure of the rotating mechanism and to reduce the cost of the apparatus.
 上記の樹脂容器製造システム230において、取出ステージ245の樹脂容器8の数およびそのピッチ(金型のピッチ)と、容器供給位置P1の容器保持用孔部9a,9b,9c,9dの数およびそのピッチが異なる構成の場合は、ロボットアーム250によって、ピッチや数の相違を調整する構成としても良い。 In the resin container manufacturing system 230 described above, the number and pitch (mold pitch) of the resin containers 8 of the take-out stage 245, the number of container holding holes 9a, 9b, 9c, and 9d at the container supply position P1 and the number thereof. When the pitch is different, the robot arm 250 may be configured to adjust the difference in pitch and number.
 なお、上記実施形態において、回転台3上に配置される容器保持部材の数、すなわちコーティング処理工程と並行して行う他の工程の数は、上記の例に限らず、クリーニング処理を省略した3工程、または、他の処理を加えて5以上の工程であっても良い。これによりさらに量産効率を向上させることが可能になる。 In the above embodiment, the number of container holding members arranged on the turntable 3, that is, the number of other processes performed in parallel with the coating process, is not limited to the above example, and the cleaning process is omitted. Five or more processes may be added by adding a process or other process. As a result, the mass production efficiency can be further improved.
 また、コーティング処理の回数は1回に限定されず、2回のコーティング処理を行なうようにしても良い。すなわちコーティング処理工程を2工程備えるようにしても良い。その場合、同じコーティング処理を2回行うようにしても良いし、あるいは2回目のコーティング処理においては1回目と異なる膜を成膜するようにしても良い。 In addition, the number of coating treatments is not limited to one, and the coating treatment may be performed twice. That is, two coating processing steps may be provided. In that case, the same coating process may be performed twice, or a film different from the first may be formed in the second coating process.
 以上、本発明を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。 While the present invention has been described in detail and with reference to specific embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made without departing from the spirit and scope of the invention.
 例えば、上述した例では、回転台3を回転駆動する駆動機構を備える構成を説明したがこれに限らない。例えば、回転台を含む回転機構の代わりに、搬送台を含む搬送機構(ベルトコンベヤー等)を備える構成に対しても本発明を適用することができる。 For example, in the above-described example, the configuration including the drive mechanism that rotationally drives the turntable 3 has been described, but the configuration is not limited thereto. For example, the present invention can be applied to a configuration including a transport mechanism (such as a belt conveyor) including a transport table instead of a rotation mechanism including a rotary table.
 本発明を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。
 本出願は、2014年10月27日出願の日本特許出願・出願番号2014-218561に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
Although the present invention has been described in detail and with reference to specific embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made without departing from the spirit and scope of the invention.
This application is based on Japanese Patent Application No. 2014-218561 filed on Oct. 27, 2014, the contents of which are incorporated herein by reference.
1:樹脂容器用コーティング装置、3:回転台、5a,5b,5c,5d:容器保持部材、6:駆動機構(回転機構の一例)、8:樹脂容器、11:チャンバ蓋部(電極部材の一例)、42:ガイドピン(ガイド部材の一例)、70:下側シールド部材(第1シールド部材の一例)、72:導電性シール部材(弾性部材の一例)、80:排気管路(排気経路の一例)、82:移動管路部(排気部材の一例)、90:移動機構、140:上側シールド部材(第2シールド部材の一例)、230:樹脂容器製造システム、240:成形機(樹脂容器製造装置の一例)、250:ロボットアーム(樹脂容器搬送装置の一例)、P1:容器供給位置、P2:コーティング処理位置、P4:容器取出位置
 
1: coating device for resin container, 3: rotating table, 5a, 5b, 5c, 5d: container holding member, 6: drive mechanism (an example of a rotating mechanism), 8: resin container, 11: chamber lid (electrode member) Example), 42: Guide pin (Example of guide member), 70: Lower shield member (Example of first shield member), 72: Conductive seal member (Example of elastic member), 80: Exhaust pipe (Exhaust path) ), 82: moving pipeline (an example of exhaust member), 90: moving mechanism, 140: upper shield member (an example of second shield member), 230: resin container manufacturing system, 240: molding machine (resin container) An example of a manufacturing apparatus), 250: Robot arm (an example of a resin container transfer apparatus), P1: Container supply position, P2: Coating processing position, P4: Container extraction position

Claims (7)

  1.  回転台と、
     前記回転台を回転させるための回転機構と、
     前記回転台上に設置され、複数の樹脂容器を保持することが可能な容器保持部材と、
     前記容器保持部材と組み合わされた状態において、前記容器保持部材に保持された前記樹脂容器の内面に薄膜を形成するコーティング処理を行うことが可能な電極部材と、
     前記回転台上に設置された前記容器保持部材を前記回転台から離間する離間位置へ移動させる移動機構と、
     を備え、
     前記容器保持部材は、前記樹脂容器が供給される容器供給位置と、前記電極部材と組み合わされた状態で前記コーティング処理が行われるコーティング処理位置と、前記コーティング処理によって薄膜が形成された前記樹脂容器を取り出すことが可能な容器取出位置とに配置されるように前記回転台上に複数設置され、
     前記回転台上に複数設置された前記容器保持部材の各々は、前記回転台の回転に伴い、前記容器供給位置と、前記コーティング処理位置と、前記容器取出位置とを順次移動するように構成され、
     前記コーティング処理位置に配置された前記容器保持部材を前記移動機構が前記離間位置へ移動させた後に、前記容器保持部材と前記電極部材とが組み合わされる、樹脂容器用コーティング装置。
    A turntable,
    A rotating mechanism for rotating the turntable;
    A container holding member installed on the turntable and capable of holding a plurality of resin containers;
    In the state combined with the container holding member, an electrode member capable of performing a coating process for forming a thin film on the inner surface of the resin container held by the container holding member;
    A moving mechanism for moving the container holding member installed on the turntable to a separated position separated from the turntable;
    With
    The container holding member includes a container supply position to which the resin container is supplied, a coating process position in which the coating process is performed in combination with the electrode member, and the resin container in which a thin film is formed by the coating process. Are placed on the turntable so as to be placed at a container take-out position from which it can be taken out,
    Each of the plurality of container holding members installed on the turntable is configured to sequentially move between the container supply position, the coating processing position, and the container take-out position as the turntable rotates. ,
    A coating apparatus for a resin container in which the container holding member and the electrode member are combined after the moving mechanism moves the container holding member arranged at the coating processing position to the separation position.
  2.  前記回転台上には、前記容器保持部材が前記離間位置へ移動することをガイドするガイド部材が設けられている、請求項1に記載の樹脂容器用コーティング装置。 The coating apparatus for a resin container according to claim 1, wherein a guide member for guiding the container holding member to move to the separated position is provided on the turntable.
  3.  前記移動機構は、前記コーティング処理位置に配置された前記容器保持部材と接続して、前記容器保持部材と前記電極部材とで形成される内部空間の空気を外部へ排気するための排気経路を構成する排気部材である、請求項1または請求項2に記載の樹脂容器コーティング装置。 The moving mechanism is connected to the container holding member arranged at the coating processing position, and constitutes an exhaust path for exhausting the air in the internal space formed by the container holding member and the electrode member to the outside The resin container coating apparatus according to claim 1, wherein the resin container coating apparatus is an exhaust member.
  4.  前記容器保持部材は、第1シールド部材を有し、
     前記電極部材は、第2シールド部材を有し、
     前記容器保持部材と前記電極部材とが組み合わされた状態において、前記第1シールド部材と第2シールド部材とは互いに電気的に接続して遮蔽空間を形成し、前記容器保持部材と前記電極保持部材は、前記遮蔽空間の内部に配置される、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の樹脂容器コーティング装置。
    The container holding member has a first shield member,
    The electrode member has a second shield member,
    In a state where the container holding member and the electrode member are combined, the first shield member and the second shield member are electrically connected to each other to form a shielding space, and the container holding member and the electrode holding member Is a resin container coating apparatus according to any one of claims 1 to 3, which is disposed inside the shielding space.
  5.  前記第1シールド部材と前記第2シールド部材の少なくとも一方には、導電性の弾性部材が設けられ、
     前記容器保持部材と前記電極部材とが組み合わされた状態において、前記第1シールド部材と第2シールド部材とは、互いに前記弾性部材を介して電気的に接続する、請求項4に記載の樹脂容器コーティング装置。
    At least one of the first shield member and the second shield member is provided with a conductive elastic member,
    The resin container according to claim 4, wherein the first shield member and the second shield member are electrically connected to each other via the elastic member in a state where the container holding member and the electrode member are combined. Coating equipment.
  6.  前記樹脂容器を製造する樹脂容器製造装置と、
     請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の樹脂容器用コーティング装置と、
     前記樹脂容器製造装置によって製造され保持された状態の複数の前記樹脂容器の各々を、前記樹脂容器製造装置から一括して取り出して前記樹脂容器用コーティング装置の前記容器供給位置まで搬送し、前記容器保持部材に複数の前記樹脂容器の各々を保持させる樹脂容器搬送装置と、
     を備えることを特徴とする樹脂容器製造システム。
    A resin container manufacturing apparatus for manufacturing the resin container;
    A coating apparatus for a resin container according to any one of claims 1 to 5,
    Each of the plurality of resin containers manufactured and held by the resin container manufacturing apparatus is collectively taken out from the resin container manufacturing apparatus and conveyed to the container supply position of the resin container coating apparatus. A resin container transport device that holds each of the plurality of resin containers on a holding member;
    A resin container manufacturing system comprising:
  7.  搬送部材を有する搬送機構と、
     前記搬送部材上に設置され、複数の樹脂容器を保持することが可能な容器保持部材と、
     前記容器保持部材と組み合わされた状態において、前記容器保持部材に保持された前記樹脂容器の内面に薄膜を形成するコーティング処理を行うことが可能な電極部材と、
     前記搬送部材上に設置された前記容器保持部材を前記搬送部材から離間する離間位置へ移動させる移動機構と、
     を備え、
     前記容器保持部材は、前記樹脂容器が供給される容器供給位置と、前記電極部材と組み合わされた状態で前記コーティング処理が行われるコーティング処理位置と、前記コーティング処理によって薄膜が形成された前記樹脂容器を取り出すことが可能な容器取出位置とに配置されるように前記搬送部材上に複数設置され、
     前記搬送部材上に複数設置された前記容器保持部材の各々は、前記搬送部材の移動に伴い、前記容器供給位置と、前記コーティング処理位置と、前記容器取出位置とを順次移動するように構成され、
     前記コーティング処理位置に配置された前記容器保持部材を前記移動機構が前記離間位置へ移動させた後に、前記容器保持部材と前記電極部材とが組み合わされる、樹脂容器用コーティング装置。
    A transport mechanism having a transport member;
    A container holding member installed on the transport member and capable of holding a plurality of resin containers;
    In the state combined with the container holding member, an electrode member capable of performing a coating process for forming a thin film on the inner surface of the resin container held by the container holding member;
    A moving mechanism for moving the container holding member installed on the conveying member to a separation position separated from the conveying member;
    With
    The container holding member includes a container supply position to which the resin container is supplied, a coating process position in which the coating process is performed in combination with the electrode member, and the resin container in which a thin film is formed by the coating process. Are installed on the transport member so as to be placed at a container take-out position from which it can be taken out,
    Each of the plurality of container holding members installed on the transport member is configured to sequentially move between the container supply position, the coating processing position, and the container take-out position as the transport member moves. ,
    A coating apparatus for a resin container in which the container holding member and the electrode member are combined after the moving mechanism moves the container holding member arranged at the coating processing position to the separation position.
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