WO2015174665A1 - 잉곳 성장 장치 - Google Patents

잉곳 성장 장치 Download PDF

Info

Publication number
WO2015174665A1
WO2015174665A1 PCT/KR2015/004391 KR2015004391W WO2015174665A1 WO 2015174665 A1 WO2015174665 A1 WO 2015174665A1 KR 2015004391 W KR2015004391 W KR 2015004391W WO 2015174665 A1 WO2015174665 A1 WO 2015174665A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
support
load cell
housing
support roller
ingot
Prior art date
Application number
PCT/KR2015/004391
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
박진섭
김진노
권혁철
Original Assignee
(주)에스테크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)에스테크 filed Critical (주)에스테크
Priority to US14/897,559 priority Critical patent/US9410264B2/en
Publication of WO2015174665A1 publication Critical patent/WO2015174665A1/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/20—Controlling or regulating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/30—Mechanisms for rotating or moving either the melt or the crystal
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
    • C30B29/02—Elements
    • C30B29/06—Silicon

Definitions

  • the present invention relates to an ingot growth apparatus.
  • single crystal ingots are manufactured by Czochralski crystal growth method (CZ method). More specifically, the crucible installed in the hot zone region is filled with a solid raw material such as polysilicon, heated and melted with an electrothermal heater to form a melt, and then a single crystal seed is suspended in the seed connector to contact the melt. Rotate and raise slowly. The seed connector is then pulled up in the order of a neck part, a shoulder part with increasing diameter, and a body part having a cylindrical shape with a constant diameter, and finally a tail with decreasing diameter. A single crystal ingot ending part) is obtained.
  • CZ method Czochralski crystal growth method
  • Ingot growth apparatus for growing a single crystal ingot in the same manner as described above is a main chamber equipped with cooling means, a quartz crucible for melting polysilicon (Hot Melt) is installed inside the main chamber, a graphite crucible for supporting the quartz crucible, quartz Pedestal supporting crucibles and graphite crucibles, electric heat heaters for heating crucibles, power supply means for supplying large electric power to electric heat heaters, drive shafts and drive means for supporting, rotating, raising and lowering crucibles and pedestals, main Dome chamber installed at the top of the main chamber, gate valve and viewport installed at the dome chamber, pull chamber installed at the top of the dome chamber, and ingot impression cable installed at the full chamber And pulling means (Seed Mechanism).
  • a quartz crucible for melting polysilicon Hot Melt
  • a graphite crucible for supporting the quartz crucible
  • quartz Pedestal supporting crucibles and graphite crucibles for supporting the quartz crucibles
  • the ingot growth apparatus includes a vacuum means for maintaining the full chamber, the dome chamber and the inside of the main chamber in a vacuum state, a cooling means for cooling the ingot, a sensing means for detecting a state necessary for ingot growth, and various sensing means Control means, measurement means and the like.
  • the conventional ingot growth apparatus had no function or means for measuring the weight of the ingot. Therefore, ingot growth was performed by measuring the length of the ingot by calculating the weight of the ingot and the melt remaining weight. The process had to be stopped to measure the weight of the ingot and the melt residual weight at the setpoint or when the length of the ingot reached the setpoint. In addition, if the process is stopped in this way, a lot of expensive residual melts remain, and the remaining residual melts can be used by melting, but there is a problem that the quality is greatly degraded.
  • One embodiment of the present invention to provide an ingot growth apparatus that can easily and accurately measure the weight of the growing ingot.
  • One embodiment of the present invention is to provide an ingot growth apparatus that can easily and accurately calculate the weight of the melt residue.
  • the main chamber including a crucible for accommodating the raw material and a heater for heating the crucible to melt the raw material, a dome chamber installed on the top of the crucible, and installed on an upper portion of the dome chamber.
  • the ingot growth apparatus includes an opening formed at one side of the housing, a support roller support positioned at the opening side to support the support roller, and an expansion and contraction sealing the support roller support and the opening so that the inside of the housing is maintained in a vacuum state.
  • a load cell support is installed outside the member and the housing, and the load cell may support the support roller support in a state supported by the load cell support.
  • the opening may be formed on the upper side of the housing.
  • the ingot growth apparatus may have an upper end of the support roller support protrude out of the housing through the opening.
  • the support roller support supports the support roller and has a first support formed to penetrate through the opening and an opposite surface protruding outward from an end of the first support and opposing an outer circumferential surface of the opening. It includes a second support provided, wherein the elastic member may include a bellows installed between the opposing surface of the second support and the outer peripheral surface of the opening.
  • the ingot growth apparatus may include a fixed plate on which the load cell is fixed, and a plurality of support legs for supporting the fixed plate spaced apart from an upper surface of the housing.
  • the ingot growth apparatus includes a load cell adjusting part installed on the load cell support to adjust the position of the load cell, wherein the load cell adjusting part is installed on the side of the fixed plate to adjust the horizontal position of the load cell and the plurality of first adjusting bolts. Is installed on the support legs of the may include a second adjustment bolt for adjusting the height of the fixing plate.
  • the ingot growth apparatus includes a support roller control unit installed on the load cell to adjust the height of the support roller, wherein the support roller control unit connects the load cell and the second support through a fixing hole formed in the center of the fixing plate. And an adjusting nut connected to one end of the third adjusting bolt and the third adjusting bolt connected to the second support and installed on the second support to fix the load cell to the second support. It may include.
  • the ingot growth apparatus includes a driving unit for moving the seed cable supported by the support roller, wherein the driving unit is a drum to which one end of the seed cable is wound, a driving motor for rotating the drum, the drum and the driving unit. It may include a reducer installed between the motor.
  • Ingot growth apparatus can be measured easily and accurately the weight of the growing ingot using a load cell and the support roller is efficient in the work process.
  • the load cell is installed outside the housing of the vacuum to improve the measurement accuracy and easy to adjust the trajectory.
  • FIG. 1 is a side view showing an ingot growth apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing a portion of an ingot growth apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG 3 is a cross-sectional view showing a weight measuring unit and a driving unit of the ingot growth apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a weight measuring unit and a driving unit of the ingot growth apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • 2 is a cross-sectional view showing a portion of an ingot growth apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 3 is a side view showing the ingot growth apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • an ingot growth apparatus includes a base 20, a main chamber 30, a dome chamber 90, a full chamber 80, a weight measuring unit 50, and a driving unit 40. ).
  • the base 20 is installed on the bottom surface on which the ingot growth apparatus 10 is placed to support the ingot growth apparatus.
  • the base 20 may have a form in which a plurality of frames are combined.
  • the main chamber support 32 is installed on the base 20, and the main chamber 30 is installed on the main chamber support.
  • the main chamber 30 may have a cylindrical shape.
  • a crucible 33 containing a raw material and a heater 31 for heating the crucible 33 to melt the raw material may be installed in the main chamber 30.
  • the dome chamber 90 is installed above the crucible 33.
  • the dome chamber 90 may have a cylindrical shape.
  • a cooling device (not shown) for cooling the ingot 13 growing in the crucible 33 may be installed.
  • the cooling device may be formed to circulate the cooling water therein.
  • the full chamber 80 is installed above the dome chamber 90.
  • the full chamber 80 may have a cylindrical shape.
  • the growing ingot 13 passes along the seed cable 57 and passes through the inside of the full chamber 80.
  • the full chamber serves as a passage through which the ingot can pass.
  • the weight measuring unit 50 is installed above the full chamber 80 to measure the weight of the ingot 13.
  • the weight measuring unit 50 may include a housing 51, a support roller 55, and a load cell 53.
  • the housing 51 is installed above the full chamber 80 and is maintained in a vacuum state.
  • the housing 51 may have a cylindrical shape.
  • the housing 52 may have an opening 52 formed at one side thereof. In the present embodiment, the opening 52 is formed on the upper side of the housing 51.
  • the drum 43, the support roller 55, and the support roller support 77 are positioned inside the housing 51.
  • the support roller 55 is installed inside the housing 51 and supports the seed cable 57.
  • the support roller 55 may be cylindrical.
  • a lifting hole 54 in which the seed cable 57 is raised and lowered is formed below the support roller 55.
  • the seed cable 57 is rotated and hung in the outer circumferential groove of the support roller 55.
  • the seed cable 57 may descend to the upper portion of the melt 11 through the lifting hole 54.
  • the support roller 55 is connected with the support roller support 77.
  • the support roller support 77 may include a first support 78 and a second support 79.
  • the support roller support 77 is located on the opening 52 side of the housing 51 to support the support roller 55.
  • the upper end of the support roller support 77 may protrude out of the housing 51 through the opening 52 formed in the upper surface of the housing 51.
  • the first support 78 may be formed to support the support roller 55 and penetrate the opening 52 of the housing 51.
  • the first support 78 may have a cylindrical shape. One end of the first support 78 may be connected to the support roller 55 and the other end may be connected to the second support 79.
  • the second support 79 may protrude outward from the end of the first support 78, for example in the transverse direction as seen in FIG. 3.
  • the second support 79 may have a circular or rectangular cross section in the vertical direction.
  • the second support 79 may include an opposing surface 79a facing the outer circumferential surface of the opening 52 of the housing 51.
  • an elastic member 58 may be installed on the support roller support 77.
  • the elastic member 58 is provided between the opposing surface 79a of the second support 79 and the outer circumferential surface 52a of the opening 52 formed in the housing 51.
  • the elastic member 58 seals between the support roller support 77 and the opening 52 of the housing 51 so that the inside of the housing 51 maintains a vacuum state.
  • the stretchable member 58 is a member which can be sealed while having elasticity as seen in FIG. The stretchable member 58 may be stretched.
  • the support roller adjustment 67 may include a third adjustment bolt 68 and adjustment nut 69.
  • the support roller adjustment unit 67 is installed above the load cell 53 and is connected to the second support 79.
  • the second support 79 is connected to the support roller 55 so that the height of the support roller 55 can be adjusted by adjusting the height of the second support 79.
  • the third adjustment bolt 68 may connect the load cell 53 and the second support 79 through the fixing hole 66 formed at the center of the fixing plate 65. Accordingly, the height of the second support 79 is adjusted by rotating the third adjustment bolt 68. This is to adjust the height of the support roller (55).
  • the adjusting nut 69 is connected to one end of the third adjusting bolt 68 and is installed at the upper center of the second support 79.
  • the adjusting nut 69 fixes the load cell 53 to the second support 79. This fixes the support roller 55 fixed to the load cell 53 and the second support 79.
  • the driving unit 40 may include a drum 43, a driving motor 45, and a speed reducer 47.
  • the driver 40 moves the seed cable 57 supported by the support roller 55.
  • the drum 43 may be cylindrical.
  • the drum 43 is installed inside the housing 51 in a vacuum state.
  • One end of the seed cable 57 is wound around the drum 43 to raise the ingot 13.
  • the drum 43 is driven by receiving a driving force from the driving motor 45 provided outside the housing 51.
  • the seed cable 57 between the drum 43 and the ingot 13 is supported by a support roller 55.
  • the seed cable 57 is wound from the drum 43 to the support roller 55 and extends to the dome chamber 90 so that the ingot 13 is connected to the end thereof.
  • the reduction gear 47 is installed between the drum 43 and the drive motor 47.
  • the reducer 47 adjusts the speed of the ingot 13 wound by the seed cable 57 so that the rising ingot 13 hits the full chamber 80 and is not damaged.
  • the seed cable 57 is wound around a plurality of spiral grooves formed on the surface of the drum 43. It rotates in the outer circumferential groove of the support roller 55 and then descends to the upper portion of the melt 11 through the lifting hole 54.
  • a seed 15 and a seed chuck (not shown) are installed at the end of the seed cable 57 to raise the grown ingot 13. As the ingot 13 grows, when the driving motor 45 rotates and the drum 43 rotates, the seed cable 57 is wound around the drum 43 to slowly raise the growing ingot 13.
  • the load cell 53 detects the displacement of the support roller 55 to measure the weight of the ingot connected to the end of the seed cable 55. More specifically, since the tension of the seed cable 57 proportional to the weight of the ingot 13 acts on the support roller, the support roller 55 is displaced upward as the weight of the ingot 13 increases. The displacement of the load cell 53 is sensed to measure the weight of the ingot 13.
  • the load of the support roller 55 supporting the seed cable 57 may be sensed by the load cell 53 to accurately measure the weight of the ingot 13. As the weight of the rising ingot 13 is precisely measured in real time, the process may be performed.
  • the ingot growth apparatus may include a load cell support 59 installed outside the housing 51, and include a fixed plate 65 and a plurality of support legs 62. have.
  • the fixing plate 65 has a fixing hole 66 formed at the center thereof and may have a circular or rectangular cross section in the vertical direction.
  • the load cell 53 is fixed to the center of the fixing plate 65.
  • a plurality of support legs 62 may be formed on both side surfaces of the fixing plate 65.
  • One end of the plurality of support legs 62 is connected to the upper side of the housing 51 and the other end thereof is connected to the fixing plate 65 to support the fixing plate 65 spaced apart from the upper side of the housing 51.
  • the load cell adjusting unit 72 is installed on the plurality of support legs 62.
  • the load cell adjusting unit 72 may include a first adjusting bolt 73 and a second adjusting bolt 75.
  • the load cell adjusting unit 72 may be installed on the load cell support 59 to adjust the position of the load cell 53.
  • the first adjustment bolt 73 is installed on the side of the fixing plate to adjust the horizontal position of the load cell 53 by rotating the first adjustment bolt 73.
  • the second adjustment bolt 75 is installed on the plurality of support legs 59 to adjust the height of the fixing plate 65 by rotating the second adjustment bolt 75.
  • the supply unit 60 serves to supply polysilicon during the growth of the ingot 13 and is located at one side of the main chamber 30.
  • the supply means 60 extends through the crucible 33 through one side of the main chamber 30 to supply polysilicon to the crucible 33.
  • the supply means 60 supplies polysilicon to the crucible 33 in consideration of the decreasing melt 11 weight inside the crucible 33.
  • the amount of decrease in the weight of the melt 11 in the crucible 33 is proportional to the amount of increase in the weight of the ingot 13. Therefore, by measuring the weight increase amount of the ingot 13 in the load cell 53 it is possible to determine the decrease in the weight of the melt (11).
  • the supply means 60 supplies polysilicon to the crucible 33. That is, the supply means 60 may supply polysilicon to the crucible 33 in response to the weight increase amount of the ingot 13 measured by the load cell 53.
  • Ingot growth apparatus can be carried out while the load cell 53 of the weight measuring unit 50 is located outside the housing 51, which is a vacuum, while accurately measuring the weight of the growing ingot in real time.
  • the housing 51 of the ingot growth apparatus means a place in a vacuum state where the process of the ingot 13 is performed. Therefore, the exterior of the housing 51 in the present invention means that it is located in the atmosphere, not the vacuum.
  • the load cell 53 is installed on the outside of the housing 51 to facilitate the installation, replacement and repair of the load cell 53 and check the state of the load cell 53 from time to time can do.
  • Ingot growth apparatus can be easily and accurately measured the weight of the growing ingot using a load cell and the support roller is efficient in the work process, there is industrial applicability.
  • Ingot growth apparatus has an industrial applicability since the load cell is installed outside the vacuum housing to improve measurement accuracy and to easily adjust the trajectory.

Abstract

잉곳 성장 장치가 제시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 성장 장치는 원료물질을 수용하는 도가니와 상기 도가니를 가열시켜 상기 원료물질을 용융시키는 히터를 포함하는 메인 챔버, 상기 도가니의 상부에 설치되는 돔 챔버, 상기 돔 챔버의 상부에 설치되는 풀 챔버, 상기 도가니로부터 성장된 잉곳을 상기 돔 챔버 및 상기 풀 챔버 내부에서 이동시키는 시드 케이블 및 상기 시드 케이블을 작동시키도록 상기 풀 챔버 상부에 설치되는 무게 측정부를 포함하되, 상기 무게 측정부는, 상기 풀 챔버 상부에 설치되며 내부가 진공 상태로 유지되는 하우징, 상기 하우징 내부에 설치되어 상기 시드 케이블을 지지하는 지지 롤러 및 상기 하우징 외부에 설치되어 상기 지지 롤러에 의하여 지지되는 잉곳의 무게를 측정하는 로드셀을 포함한다.

Description

잉곳 성장 장치
본 발명은 잉곳 성장 장치에 관한 것이다.
일반적으로 단결정 잉곳(Ingot)은 초크랄스키(Czochralski) 결정 성장법(CZ 법)으로 제조된다. 보다 구체적으로, 핫죤 영역에 설치되는 도가니에 폴리 실리콘 등의 고체 원료를 충전하고 전열히터로 가열 및 용융시켜 융액(Melt)을 만든 다음, 단결정 시드(seed)를 시드 커넥터에 매달아 융액에 접촉시킨 후 서서히 회전 및 인상시킨다. 그러면 시드 커넥터에는 네크부(neck part), 직경이 증가하는 숄더부(shoulder part), 직경이 일정한 원기둥 형태의 바디부(body part)의 순서로 인상되고, 마지막으로 직경이 감소하는 테일부(tail part)를 끝으로 하는 단결정 잉곳이 얻어진다.
상기와 같은 방법으로 단결정 잉곳을 성장시키기 위한 잉곳 성장 장치는 냉각수단이 구비된 메인 챔버, 메인 챔버 내부에 설치되고 폴리 실리콘(Hot Melt)을 용융시키는 석영도가니, 석영도가니를 지지하는 흑연도가니, 석영도가니와 흑연도가니를 지지하는 페데스탈, 도가니를 가열하는 전열히터, 전열히터로 대전력(大電力)을 공급하는 전원공급수단, 도가니 및 페데스탈을 지지ㆍ회전ㆍ상승ㆍ하강시키는 구동축 및 구동수단, 메인챔버(Main Chamber) 상부에 설치되는 돔챔버(Dome Chamber), 돔챔버에 설치되는 게이트밸브 및 뷰포트, 돔챔버 상부에 설치되는 풀 챔버(Pull Chamber), 풀 챔버에 설치되는 잉곳(Ingot) 인상 케이블 및 인상 수단(Seed Mechanism)을 포함할 수 있다.
또한 잉곳 성장 장치는 풀 챔버, 돔 챔버 및 메인 챔버 내부를 진공 상태로 유지하기 위한 진공수단, 잉곳을 냉각시키기 위한 냉각수단 및 잉곳 성장에 필요한 상태를 감지하는 감지수단, 각종 감지 수단을 제어하기 위한 제어수단 및 계측 수단 등을 포함할 수 있다.
그런데 종래의 잉곳 성장 장치는 잉곳의 무게를 측정하는 기능이나 수단이 없었다. 따라서 성장중인 잉곳의 무게와 멜트 잔류 무게를 계산하는 방법으로 잉곳의 길이를 측정하여 잉곳 성장을 진행하였다. 잉곳의 무게와 멜트 잔류무게가 설정값에 도달하는 경우 또는 잉곳의 길이가 설정길이에 도달하는 경우 측정하기 위해서 공정을 중단시켜야 하였다. 또한 이렇게 공정을 중단시키면 고가의 잔류 멜트가 많이 남게 되며 남는 잔류 멜트는 녹여 사용할 수 있으나 품질이 크게 떨어지게 되는 문제가 있있다.
본 발명의 일 실시예는 성장중인 잉곳의 무게를 쉽고 정확하게 측정할 수 있는 잉곳 성장 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예는 멜트 잔류의 무게를 쉽고 정확하게 계산할 있는 잉곳 성장 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따르면 원료물질을 수용하는 도가니와 상기 도가니를 가열시켜 상기 원료물질을 용융시키는 히터를 포함하는 메인 챔버, 상기 도가니의 상부에 설치되는 돔 챔버, 상기 돔 챔버의 상부에 설치되는 풀 챔버, 상기 도가니로부터 성장된 잉곳을 상기 돔 챔버 및 상기 풀 챔버 내부에서 이동시키는 시드 케이블 및 상기 풀 챔버 상부에 설치되는 무게 측정부를 포함하되, 상기 무게 측정부는, 상기 풀 챔버 상부에 설치되며 내부가 진공 상태로 유지되는 하우징, 상기 하우징 내부에 설치되어 상기 시드 케이블을 지지하는 지지 롤러 및 상기 하우징 외부에 설치되어 상기 지지 롤러에 의하여 지지되는 잉곳의 무게를 측정하는 로드셀을 포함하는 잉곳 성장 장치가 제공된다.
잉곳 성장 장치는 상기 하우징의 일측에 형성된 개구부, 상기 지지 롤러를 지지하기 위하여 상기 개구부 측에 위치되는 지지 롤러 지지대, 상기 하우징 내부가 진공 상태를 유지하도록 상기 지지 롤러 지지대와 상기 개구부 사이를 밀봉하는 신축 부재 및 상기 하우징 외부에 설치되는 로드셀 지지대를 포함하며, 상기 로드셀은 상기 로드셀 지지대에 의하여 지지된 상태에서 상기 지지 롤러 지지대를 지지할 수 있다.
잉곳 성장 장치는 상기 개구부는 상기 하우징의 상측면에 형성될 수 있다.
잉곳 성장 장치는 상기 지지 롤러 지지대의 상단부가 상기 개구부를 통하여 상기 하우징의 외부로 돌출될 수 있다.
잉곳 성장 장치는 상기 지지 롤러 지지대는 상기 지지 롤러를 지지하며 상기 개구부를 관통하도록 형성되는 제 1 지지대 및 상기 제 1 지지대의 단부로부터 외측 방향으로 돌출되며 상기 개구부의 외측 둘레면과 대향하는 대향면을 구비한 제 2 지지대를 포함하며, 상기 신축 부재는 상기 제 2 지지대의 대향면과 상기 개구부의 외측 둘레면 사이에 설치되는 벨로즈를 포함할 수 있다.
잉곳 성장 장치는 상기 로드셀 지지대는 중앙에 상기 로드셀이 고정되는 고정판 및 상기 고정판을 상기 하우징의 상측면으로부터 이격 지지하는 복수의 지지 다리를 포함할 수 있다.
잉곳 성장장치는 상기 로드셀 지지대에 설치되어 상기 로드셀의 위치를 조절하는 로드셀 조절부를 포함하되, 상기 로드셀 조절부는 상기 고정판의 측면에 설치되어 상기 로드셀의 수평 방향 위치를 조절하는 제 1 조절 볼트 및 상기 복수의 지지 다리에 설치되어 상기 고정판의 높이를 조절하는 제 2 조절 볼트를 포함할 수 있다.
잉곳 성장 장치는 상기 로드셀 상측에 설치되어 상기 지지 롤러의 높이를 조절하는 지지 롤러 조절부를 포함하되, 상기 지지 롤러 조절부는 상기 고정판의 중앙에 형성된 고정홀을 관통하여 상기 로드셀과 상기 제2 지지대를 연결되어 상기 제2 지지대와 연결된 상기 지지 롤러의 높이를 조절하는 제3 조절 볼트 및 상기 제3 조절 볼트의 일단에 연결되고 상기 제2 지지대에 설치되어 상기 로드셀을 상기 제2 지지대에 고정시키는 조절너트를 포함할 수 있다.
잉곳 성장 장치는 상기 지지 롤러에 의하여 지지되는 시드 케이블을 이동시키기 위한 구동부를 포함하되, 상기 구동부는 상기 시드 케이블의 일 단부가 감기는 드럼 및 상기 드럼을 회전시키기 위한 구동 모터, 상기 드럼 및 상기 구동 모터 사이에 설치되는 감속기를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 성장 장치는 로드셀과 지지롤러를 이용하여 성장중인 잉곳의 무게를 쉽고 정확하게 측정할 수 있어 작업 공정에 효율적이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 성장 장치는 로드셀이 진공의 하우징 외부에 설치되어 측정 정밀도를 향상시키고 궤도의 조절이 용이하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 성장 장치를 도시한 측면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 성장 장치의 부분을 도시한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 성장 장치의 무게 측정부 및 구동부를 도시한 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 성장 장치의 무게 측정부 및 구동부를 도시한 단면도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 성장 장치의 부분을 도시한 단면도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 성장 장치를 도시한 측면도이다. 이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 성장 장치를 보다 상세히 설명하도록 한다. 이 때, 본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 성장 장치를 설명함에 있어 본 발명의 사상이 되는 구성을 중심으로 잉곳 성장 장치를 설명하도록 하고 본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 성장 장치의 구성 중 본 발명의 사상과 직접적인 관련이 없거나 공지인 구성과 동일한 구성에 대하여는 상세한 설명을 생략하도록 한다.
도 1을 참조하면 본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 성장 장치는 베이스(20), 메인 챔버(30), 돔 챔버(90), 풀 챔버(80), 무게 측정부(50) 및 구동부(40)를 포함한다.
베이스(20)는 잉곳 성장 장치(10)가 놓이는 바닥면에 설치되어 잉곳 성장 장치를 지지하는 구성이다. 베이스(20)는 복수의 프레임이 결합된 형태로 이루어질 수 있다.
도 1을 참조하면, 베이스(20) 상에는 메인 챔버 지지대(32)가 설치되며 메인 챔버 지지대 상에는 메인 챔버(30)가 설치된다.
메인 챔버(30)는 원통형으로 이루어질 수 있다. 도 2를 참조하면, 메인 챔버(30) 내에는 원료 물질을 수용하는 도가니(33)와 상기 도가니(33)를 가열시켜 원료 물질을 용융시키는 히터(31)가 설치될 수 있다.
돔 챔버(90)는 상기 도가니(33)의 상부에 설치된다. 상기 돔 챔버(90)는 원통형으로 이루어질 수 있다. 돔 챔버(90) 내에는 상기 도가니(33)에서 성장하는 잉곳(13)을 냉각시키는 냉각장치(도면 미기재)가 설치될 수 있다. 상기 냉각장치는 내부에 냉각수가 순환할 수 있도록 형성될 수 있다.
도 2를 참조하면, 풀 챔버(80)는 상기 돔 챔버(90)의 상부에 설치된다. 상기 풀 챔버(80)는 원통형으로 이루어질 수 있다. 풀 챔버(80) 내에는 성장하는 잉곳(13)이 시드 케이블(57)을 따라 상승하면서 풀 챔버(80) 내부를 통과한다. 즉, 풀 챔버는 잉곳이 지나갈 수 있는 통로 역할을 한다.
무게 측정부(50)는 상기 풀 챔버(80)의 상부에 설치되어 잉곳(13)의 무게를 측정한다.
도 3을 참조하면, 상기 무게 측정부(50)는 하우징(51), 지지 롤러(55), 로드셀(53)을 포함할 수 있다. 보다 상세히, 하우징(51)은 상기 풀 챔버(80)의 상부에 설치되며 내부가 진공상태로 유지된다. 상기 하우징(51)은 원통형으로 이루어질 수 있다. 하우징은 일측에 개구부(52)가 형성될 수 있다. 본 실시예에서 개구부(52)는 하우징(51)의 상측면에 형성된다. 하우징(51) 내부에는 드럼(43), 지지롤러(55) 및 지지 롤러 지지대(77)가 위치된다.
지지 롤러(55)는 하우징(51) 내부에 설치되고 시드 케이블(57)을 지지한다. 지지 롤러(55)는 원통형으로 이루어질 수 있다. 상기 지지 롤러(55) 하부에는 시드 케이블(57)이 상승 및 하강하는 승강 홀(54)이 형성된다. 지지 롤러(55)의 외주홈에는 시드 케이블(57)이 회전되어 걸려 있다. 상기 시드 케이블(57)은 승강홀(54)을 통하여 멜트(11) 상부까지 하강할 수 있다. 지지 롤러(55)는 지지 롤러 지지대(77)와 연결되어 있다.
지지 롤러 지지대(77)는 제1 지지대(78) 및 제2 지지대(79)를 포함할 수 있다. 지지 롤러 지지대(77)는 지지 롤러(55)를 지지하기 위하여 하우징(51)의 개구부(52) 측에 위치된다. 지지 롤러 지지대(77)의 상단부는 하우징(51)의 상측면에 형성된 개구부(52)를 통하여 하우징(51)의 외부로 돌출될 수 있다.
도 3을 참조하면, 제1 지지대(78)는 지지 롤러(55)를 지지하며 상기 하우징(51)의 개구부(52)를 관통하도록 형성될 수 있다. 제1 지지대(78)는 원통형으로 이루어질 수 있다. 제1 지지대(78)의 일단은 지지 롤러(55)와 연결되고 타단은 제2 지지대(79)와 연결될 수 있다.
제2 지지대(79)는 상기 제1 지지대(78)의 단부로부터 외측, 예를 들어 도 3에서 볼 때 횡 방향으로 돌출될 수 있다. 제2 지지대(79)는 상하 방향으로 단면이 원형 또는 사각형으로 이루어질 수 있다. 제2 지지대(79)는 상기 하우징(51)의 개구부(52)의 외측 둘레면과 대향하는 대향면(79a)을 포함할 수 있다.
도 3을 참조하면, 지지 롤러 지지대(77)에는 신축 부재(58)가 설치될 수 있다. 신축 부재(58)는 상기 제2 지지대(79)의 대향면(79a)과 상기 하우징(51)에 형성된 개구부(52)의 외측 둘레면(52a) 사이에 설치된다.
신축 부재(58)는 하우징(51) 내부가 진공 상태를 유지하도록 지지 롤러 지지대(77)와 상기 하우징(51)의 개구부(52) 사이를 밀봉한다. 신축 부재(58)는 도 3에서 볼 때, 탄력성을 갖고 있으면서 밀봉할 수 있는 부재이다. 신축 부재(58)신축 부재(58)루어질 수 있다.
지지 롤러 조절부(67)는 제3 조절 볼트(68) 및 조절 너트(69)를 포함할 수 있다. 지지 롤러 조절부(67)는 로드셀(53) 상측에 설치되어 제2 지지대(79)와 연결되어 있다. 또한 제2 지지대(79)는 지지 롤러(55)와 연결되어 있어 상기 제2 지지대(79)의 높이를 조절함으로써 지지 롤러(55)의 높이를 조절할 수 있다.
제3 조절 볼트(68)는 상기 고정판(65)의 중앙에 형성된 고정홀(66)을 관통하여 로드셀(53)과 제2 지지대(79)를 연결할 수 있다. 따라서 제3 조절 볼트(68)를 회전시킴으로써 제2 지지대(79)의 높이가 조절된다. 이를 통해 지지 롤러(55)의 높이를 조절하는 것이다.
조절 너트(69)는 제3 조절 볼트(68)의 일단에 연결되고 제2 지지대(79) 상측 중앙에 설치된다. 조절 너트(69)는 로드셀(53)을 제2 지지대(79)에 고정시킨다. 이는 로드셀(53)과 상기 제2 지지대(79)에 고정된 지지 롤러(55)를 고정시킨다.
구동부(40)는 드럼(43), 구동 모터(45) 및 감속기(47)를 포함할 수 있다. 구동부(40)는 지지 롤러(55)에 의하여 지지되는 시드 케이블(57)을 이동시킨다.
드럼(43)은 원통형으로 이루어질 수 있다. 드럼(43)은 진공 상태인 하우징(51) 내부에 설치된다. 드럼(43)은 시드 케이블(57)의 일 단부가 감겨서 잉곳(13)을 상승시킨다. 드럼(43)은 하우징(51)의 외부에 구비된 구동 모터(45)로부터 구동력을 전달받아 구동된다.
드럼(43)과 잉곳(13) 사이의 시드 케이블(57)은 지지 롤러(55)가 지지한다. 시드 케이블(57)은 드럼(43)으로부터 상기 지지 롤러(55) 순으로 감기고 돔 챔버(90)로 연장되어 말단에 잉곳(13)이 연결된다.
감속기(47)는 드럼(43) 및 상기 구동 모터(47) 사이에 설치된다. 감속기(47)는 시드 케이블(57)에 의해 감기는 잉곳(13)의 속도를 조절하여 상승하는 잉곳(13)이 풀 챔버(80)에 부딪쳐서 손상되지 않도록 한다.
시드 케이블(57)은 드럼(43)의 표면에 형성된 복수의 나선홈에 감긴다. 상기 지지 롤러(55)의 외주홈에 회전된 다음 승강홀(54)을 통하여 멜트(11) 상부까지 하강한다. 상기 시드 케이블(57)의 단부에는 성장되는 잉곳(13)을 상승시킬수 있게 시드(15) 및 시드척(도면 미도시)이 설치된다. 잉곳(13)이 성장함에 따라 구동 모터(45)가 회전하고 드럼(43)이 회전하면 시드 케이블(57)이 드럼(43)에 감기면서 성장 중인 잉곳(13)을 천천히 상승시키게 된다.
도 3을 참조하면, 로드셀(53)은 지지 롤러(55)의 변위량을 감지하여 시드 케이블(55)의 말단에 연결된 잉곳의 무게를 측정한다. 더욱 상세하게 지지 롤러에는 잉곳(13)의 무게에 비례하는 시드 케이블(57)의 장력이 작용하므로 잉곳(13)의 무게가 증가할수록 지지 롤러(55)는 상측으로 변위가 발생한다. 이러한 변위를 로드셀(53)에서 감지하여 잉곳(13)의 무게를 측정한다.
시드 케이블(57)을 지지하는 지지 롤러(55)의 하중을 로드셀(53)로 감지하여 잉곳(13)의 무게를 정밀 측정할 수 있다. 이렇듯 상승하는 잉곳(13)의 무게가 실시간으로 정밀 측정되면서 공정 진행이 이루어질 수 있다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 성장 장치는 로드셀 지지대(59)가 하우징(51)의 외부에 설치되고, 고정판(65) 및 복수의 지지다리(62)를 포함할 수 있다.
고정판(65)은 중심에 고정홀(66)이 형성되어 있고 상하 방향으로 단면이 원형 또는 사각형으로 이루어질 수 있다. 상기 고정판(65)의 중앙에는 로드셀(53)이 고정된다. 고정판(65)의 양 측면에는 복수의 지지다리(62)가 형성될 수 있다.
복수의 지지다리(62)는 일단이 하우징(51)의 상측면에 연결되고 타단이 고정판(65)과 연결되어 고정판(65)을 하우징(51)의 상측면으로부터 이격되게 지지한다. 상기 복수의 지지다리(62)에는 로드셀 조절부(72)가 설치된다.
도 3을 참조하면, 로드셀 조절부(72)는 제1 조절 볼트(73) 및 제2 조절 볼트(75)를 포함할 수 있다. 로드셀 조절부(72)는 로드셀 지지대(59)에 설치되어 로드셀(53)의 위치를 조절할 수 있다.
제1 조절 볼트(73)는 고정판의 측면에 설치되어 제1 조절 볼트(73)를 회전시킴으로써 로드셀(53)의 수평 방향 위치를 조절할 수 있다.
제2 조절 볼트(75)는 복수의 지지 다리(59)에 설치되어 제2 조절 볼트(75)를 회전시킴으로써 고정판(65)의 높이를 조절할 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 공급수단(60)은 잉곳(13)의 성장 중에 폴리 실리콘을 공급하는 역할을 수행하는 것으로 메인 챔버(30)의 일측에 위치한다. 공급수단(60)은 폴리 실리콘을 도가니(33)에 공급할 수 있도록 메인 챔버(30)의 일측에 관통하여 도가니(33)와 연장된다.
도가니(33)에서 잉곳(13)을 성장시켜 상승시키면 도가니(33) 내부의 멜트(11) 무게는 감소하게 된다. 공급수단(60)은 도가니(33) 내부의 감소하는 멜트(11) 무게를 고려하여 폴리 실리콘을 도가니(33)에 공급한다.
도가니(33) 내부의 멜트(11) 무게의 감소량은 잉곳(13)의 무게 증가량과 비례한다. 따라서 로드셀(53)에서 잉곳(13)의 무게 증가량을 측정하면 멜트(11) 무게의 감소량을 파악할 수 있다. 이를 기초로 하여 공급수단(60)은 도가니(33)에 폴리 실리콘을 공급한다. 즉 로드셀(53)에서 측정한 잉곳(13)의 무게 증가량에 대응하여 공급수단(60)은 도가니(33)에 폴리 실리콘을 공급할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 성장 장치는 무게 측정부(50)의 로드셀(53)이 진공인 하우징(51) 외부에 위치하여 성장중인 잉곳의 무게를 실시간으로 정밀 측정되면서 공정진행이 이루어질 수 있다. 또한 본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 성장 장치의 하우징(51)은 잉곳(13)의 공정과정이 이루어지는 진공상태인 장소를 의미한다. 따라서 본 발명에서 하우징(51)의 외부란 진공이 아닌 대기 중에 위치되는 것을 의미한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 성장 장치(10)는 로드셀(53)이 하우징(51) 외부에 설치되어 로드셀(53)의 설치, 교체 및 수리가 용이하고 로드셀(53)의 상태를 수시로 체크할 수 있다.
이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 성장 장치는 로드셀과 지지롤러를 이용하여 성장중인 잉곳의 무게를 쉽고 정확하게 측정할 수 있어 작업 공정에 효율적이므로 산업상 이용가능성이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 성장 장치는 로드셀이 진공의 하우징 외부에 설치되어 측정 정밀도를 향상시키고 궤도의 조절이 용이하므로 산업상 이용가능성이 있다.

Claims (9)

  1. 원료물질을 수용하는 도가니와 상기 도가니를 가열시켜 상기 원료물질을 용융시키는 히터를 포함하는 메인 챔버;
    상기 도가니의 상부에 설치되는 돔 챔버;
    상기 돔 챔버의 상부에 설치되는 풀 챔버;
    상기 도가니로부터 성장된 잉곳을 상기 돔 챔버 및 상기 풀 챔버 내부에서 이동시키는 시드 케이블 및
    상기 풀 챔버 상부에 설치되는 무게 측정부를 포함하되,
    상기 무게 측정부는,
    상기 풀 챔버 상부에 설치되며 내부가 진공 상태로 유지되는 하우징;
    상기 하우징 내부에 설치되어 상기 시드 케이블을 지지하는 지지 롤러 및
    상기 하우징 외부에 설치되어 상기 지지 롤러에 의하여 지지되는 잉곳의 무게를 측정하는 로드셀을 포함하는, 잉곳 성장 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 하우징의 일측에 형성된 개구부;
    상기 지지 롤러를 지지하기 위하여 상기 개구부 측에 위치되는 지지 롤러 지지대;
    상기 하우징 내부가 진공 상태를 유지하도록 상기 지지 롤러 지지대와 상기 개구부 사이를 밀봉하는 신축 부재 및
    상기 하우징 외부에 설치되는 로드셀 지지대를 포함하며,
    상기 로드셀은 상기 로드셀 지지대에 의하여 지지된 상태에서 상기 지지 롤러 지지대를 지지하는 잉곳 성장장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 개구부는 상기 하우징의 상측면에 형성되는 잉곳 성장 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 지지 롤러 지지대의 상단부가 상기 개구부를 통하여 상기 하우징의 외부로 돌출된 잉곳 성장 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 지지 롤러 지지대는 상기 지지 롤러를 지지하며 상기 개구부를 관통하도록 형성되는 제 1 지지대 및 상기 제 1 지지대의 단부로부터 외측 방향으로 돌출되며 상기 개구부의 외측 둘레면과 대향하는 대향면을 구비한 제 2 지지대를 포함하며, 상기 신축 부재는 상기 제 2 지지대의 대향면과 상기 개구부의 외측 둘레면 사이에 설치되는 벨로즈를 포함하는 잉곳 성장 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 로드셀 지지대는 중앙에 상기 로드셀이 고정되는 고정판 및 상기 고정판을 상기 하우징의 상측면으로부터 이격 지지하는 복수의 지지 다리를 포함하는 잉곳 성장장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 로드셀 지지대에 설치되어 상기 로드셀의 위치를 조절하는 로드셀 조절부를 포함하되,
    상기 로드셀 조절부는
    상기 고정판의 측면에 설치되어 상기 로드셀의 수평 방향 위치를 조절하는 제 1 조절 볼트 및
    상기 복수의 지지 다리에 설치되어 상기 고정판의 높이를 조절하는 제 2 조절 볼트를 포함하는 잉곳 성장장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 로드셀 상측에 설치되어 상기 지지 롤러의 높이를 조절하는 지지 롤러 조절부를 포함하되,
    상기 지지 롤러 조절부는
    상기 고정판의 중앙에 형성된 고정홀을 관통하여 상기 로드셀과 상기 제2 지지대를 연결되어 상기 제2 지지대와 연결된 상기 지지 롤러의 높이를 조절하는 제3 조절 볼트 및
    상기 제3 조절 볼트의 일단에 연결되고 상기 제2 지지대에 설치되어 상기 로드셀을 상기 제2 지지대에 고정시키는 조절너트를 포함하는 잉곳 성장 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지 롤러에 의하여 지지되는 시드 케이블을 이동시키기 위한 구동부를 포함하되,
    상기 구동부는
    상기 시드 케이블의 일 단부가 감기는 드럼 및
    상기 드럼을 회전시키기 위한 구동 모터;
    상기 드럼 및 상기 구동 모터 사이에 설치되는 감속기를 포함하는 잉곳 성장 장치.
PCT/KR2015/004391 2014-05-14 2015-04-30 잉곳 성장 장치 WO2015174665A1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US14/897,559 US9410264B2 (en) 2014-05-14 2015-04-30 Ingot growing apparatus

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140057994A KR101574611B1 (ko) 2014-05-14 2014-05-14 잉곳 성장 장치
KR10-2014-0057994 2014-05-14

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2015174665A1 true WO2015174665A1 (ko) 2015-11-19

Family

ID=54480162

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2015/004391 WO2015174665A1 (ko) 2014-05-14 2015-04-30 잉곳 성장 장치

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9410264B2 (ko)
KR (1) KR101574611B1 (ko)
WO (1) WO2015174665A1 (ko)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06234593A (ja) * 1993-02-10 1994-08-23 Komatsu Electron Metals Co Ltd 半導体単結晶製造装置
KR20010082689A (ko) * 2000-02-17 2001-08-30 추후제출 단결정인상장치
KR101153979B1 (ko) * 2011-09-09 2012-06-08 주식회사 대진기계 잉곳 성장기
KR101155413B1 (ko) * 2009-11-30 2012-06-21 (주)에스테크 잉곳성장장치의 잉곳 무게 측정장치
KR101159270B1 (ko) * 2012-01-02 2012-06-22 주식회사 대진기계 잉곳 성장기

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200528592A (en) * 2004-02-19 2005-09-01 Komatsu Denshi Kinzoku Kk Method for manufacturing single crystal semiconductor

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06234593A (ja) * 1993-02-10 1994-08-23 Komatsu Electron Metals Co Ltd 半導体単結晶製造装置
KR20010082689A (ko) * 2000-02-17 2001-08-30 추후제출 단결정인상장치
KR101155413B1 (ko) * 2009-11-30 2012-06-21 (주)에스테크 잉곳성장장치의 잉곳 무게 측정장치
KR101153979B1 (ko) * 2011-09-09 2012-06-08 주식회사 대진기계 잉곳 성장기
KR101159270B1 (ko) * 2012-01-02 2012-06-22 주식회사 대진기계 잉곳 성장기

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150130846A (ko) 2015-11-24
KR101574611B1 (ko) 2015-12-04
US9410264B2 (en) 2016-08-09
US20160122898A1 (en) 2016-05-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2014185572A1 (ko) 잉곳 원료 공급시스템
CN101429677A (zh) 一种多晶硅铸锭炉
WO2016117847A2 (ko) 단결정 잉곳의 직경 제어 시스템 및 제어 방법
WO2012108563A1 (ko) 실리콘 용융 도가니에 실리콘 원재료를 투입하는 장치
CN114277440A (zh) 一种夹具、晶棒抓取装置和单晶炉
WO2015174665A1 (ko) 잉곳 성장 장치
WO2011108830A2 (en) Single crystal cooling apparatus and single crystal grower including the same
KR101155413B1 (ko) 잉곳성장장치의 잉곳 무게 측정장치
CN212316281U (zh) 一种单晶炉
WO2010058980A2 (en) Single crystal growing apparatus
CN114717649B (zh) 上提拉开放式单晶炉
WO2019156323A1 (ko) 실리콘 공급부, 이를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳의 성장 장치 및 방법
KR101078220B1 (ko) 잉곳성장장치의 시드 메카니즘 중량 밸런싱장치
KR20140060019A (ko) 실리콘 단결정 잉곳 성장장치
CN112501682B (zh) 一种半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置
CN105018715B (zh) 卧式罩式炉
WO2011111907A1 (ko) 단결정 실리콘 잉곳 성장 시스템용 마그네트 수직 이송 장치
WO2019143175A1 (ko) 실리콘 단결정 성장 방법 및 장치
EP0416799B1 (en) A single crystal pulling apparatus
CN115029770B (zh) 一种坩埚大气下降炉装置及方法
CN114232071B (zh) 一种单晶炉拉晶装置
CN116288708B (zh) 一种单晶硅生产装置及生产方法
TW202231943A (zh) 線軸平衡之晶種提升
WO2021141176A1 (ko) 실리콘 단결정 잉곳의 성장 장치 및 방법
KR101383956B1 (ko) 단결정 성장장치

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 14897559

Country of ref document: US

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 15792853

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 15792853

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1