WO2015104015A2 - Sensorelement zur bestimmung von dehnungen - Google Patents

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WO2015104015A2
WO2015104015A2 PCT/DE2015/000012 DE2015000012W WO2015104015A2 WO 2015104015 A2 WO2015104015 A2 WO 2015104015A2 DE 2015000012 W DE2015000012 W DE 2015000012W WO 2015104015 A2 WO2015104015 A2 WO 2015104015A2
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electrically conductive
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sensor element
polymer
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Irene Jansen
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Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
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    • G01L1/20—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
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    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/26—Auxiliary measures taken, or devices used, in connection with the measurement of force, e.g. for preventing influence of transverse components of force, for preventing overload

Definitions

  • the invention relates to a sensor element for determining strains.
  • larger strains can also be determined dynamically.
  • With a suitable arrangement and mounting and deformation of components or substrates can be detected.
  • strain gauges One of the most common ways of determining strains and deformations that can also be used to determine forces or moments is strain gauges. These are glued, for example, on the surface of a component. When the component is stretched or deformed, changing electrical variables can then be measured and used to determine the parameters mentioned.
  • Strain gauges are usually made of metal or of metal layers which are supported on a dielectric carrier, in particular a foil. are solidified.
  • the strain gauges have a suitable geometric shape and are formed, for example, meandering.
  • a sensitive element is mounted on a surface of a component or substrate. Alone or in addition to this, it can be held clamped on at least two positions arranged at a distance from one another.
  • the sensitive element can be fixed cohesively to a surface of a component or substrate. This may be the case over the entire surface of the sensitive element on the surface of the sensitive element facing the surface of the component or substrate. But it can also be sufficient fixation at least two positions / points.
  • the fixation can be alone or additionally a mechanical positive and / or non-positive attachment with a cohesive connection.
  • a sensitive element may be held clamped at two oppositely disposed edges.
  • a sensitive element which is held clamped and connected to no surface of a component or substrate, can be used, for example, for determining tion of a changing distance between two components or a changing gap dimension can be used.
  • the sensitive element is formed from an elastically deformable polymer, in which electrically conductive particles, with a proportion in which the percolation threshold is exceeded, are embedded.
  • At least two contact points designed for connection to an electrical voltage source are present or formed on the sensitive element at a distance from one another, so that an occurring strain on the sensitive element is determined by detecting a correspondingly varying electrical voltage, an electrical current and / or an electrical resistance can be.
  • a suitable measuring device can be connected and connected to the contact points.
  • the electrical resistance increases due to elongation. At least in one area this is almost linear.
  • the selection of the polymer, the nature and the proportion of electrically conductive or other particles and their arrangement exert an influence within the sensitive element.
  • the number of contact points between electrically conductive particles is reduced and the electrical resistance increases.
  • the sensitive element returns to its initial state and / or its length is reduced in the previously stretched direction, the electrical resistance decreases again.
  • a small hysteresis can occur at least in a region of interest, which can be taken into account and compensated during the evaluation.
  • the strain can be determined in an axial direction, which is determined by the arrangement of the contact points and follows a straight line connecting the contact points.
  • a sensitive element which is fixed in a planar manner on a surface of a component or substrate
  • more than two contact points can be arranged on the same axis, as has been explained in advance with the straight line. In this case, a quasi "spatially resolved" strain determination in each case between two adjacent contact points be performed.
  • more than two contact points can also be arranged differently and not lie on a common axis / line.
  • strains in more than one axial direction can be determined by suitable electrical interconnection and evaluation.
  • three contact points can form a triangular, four contact points a quadrangular arrangement, so that strains in a plurality of axial directions can be determined.
  • Electrically conductive particles should be present in the polymer with a proportion and / or an orientation at which the percolation threshold does not fall below at least 10%, preferably 30%, in the case of an elongation of the sensitive element in at least one axial direction. As a result, significantly greater strains or deformations can be determined than is possible with the conventional strain gauges.
  • the orientation of particles is particularly important in the case of particles having a higher aspect ratio with regard to their length to their width, as is the case with carbon nanotubes, horns or fibers. These should be embedded in the polymer as parallel as possible relative to a surface of a sensitive element. Thereby, the electrical conductivity can be maintained even at even greater strains than is possible, for example, with spherical particles, with equal proportions of particles embedded in the polymer.
  • electrically conductive particles may be carbon nanotubes (CNTs), carbon nanohorns (carbon nanohorns - CNHs), carbon black, graphite, graphene and / or a metal, in particular particles or fibrous particles of silver or gold. They should be dimensioned nanoscale so that their maximum extension in one axial direction should not exceed 100 nm. Spherical particles should have an outer diameter less than 50 nm.
  • the particles used can influence the changing electrical conductivity during expansion.
  • longer particles, such as CNTs are, even with larger strains can also have a still detectable and changing depending on the respective strain electrical conductivity. When stretched, the electrical conductivity decreases and the electrical resistance increases accordingly.
  • At least one surface of the sensitive element may be coated with a protective layer consisting of an elastically deformable polymer, preferably the same polymer as the polymer with which the sensitive element is formed.
  • the protective layer should not be electrically or significantly less electrically conductive than the sensitive element.
  • the protective layer can thus form an insulator to a component or substrate of an electrically conductive material.
  • a protective layer can also completely surround a sensitive element, so that the sensitive element is covered over its entire surface by a protective layer.
  • a protective layer can also provide protection against influences from the environment so that chemical reactions, corrosion or a change in the electrical properties of the sensitive element are prevented, for example, by penetration of chemical elements or compounds into the polymer containing the electrically conductive particles However, it can be hampered. Thus, the penetration of liquids or gases can be avoided or obstructed.
  • a protective layer may be covered by another layer at least on surfaces that are not in touching contact with a substrate or component to which the sensitive element is fixed.
  • the further layer is electrically conductive and can be connected to ground potential.
  • another layer can provide protection against electromagnetic interference.
  • a further layer can completely surround a sensitive element which is at least partially, preferably completely enclosed by a protective layer, in order to allow this protection against electromagnetic or electrical external influences.
  • the protective layer forms between the sensitive element and further layer an electrical insulator.
  • the electrical conductivity of another layer can be determined by embedded electrically conductive particles, preferably be achieved analogous to the sensitive element.
  • the same particles can be used in the same polymer.
  • a protective layer and / or a further layer may contain additional particles which have an absorbing effect, in particular for gases and / or liquids.
  • additional particles which have an absorbing effect, in particular for gases and / or liquids.
  • zeolites can be used. Zeolites or other suitable materials can temporarily absorb penetrating liquids and / or gases so that they do not alter the properties of a sensitive element, and in particular its electrical conductivity. Under suitable environmental conditions, desorption may also occur and any liquid or gas absorbed until then may be returned to the environment.
  • nanoscale particles may be contained in a ceramic.
  • the permittivity of the polymer can be influenced.
  • an increase of the permittivity and an increase of the electrical resistance to improve the insulation effect can be achieved.
  • ceramic particles those of magnesium niobate titanate, barium titanate and similar ceramics can be used.
  • a protective layer and / or another layer should be selected such that they have no or a defined influence on the expansion behavior and the associated change in the electrical resistance of the sensitive element.
  • the selection of the polymer and optionally contained functional particles can be taken into account.
  • a sensitive element may be a flat planar structure, which may be formed, for example, similar to a film. It can preferably be firmly bonded to one of the two larger surfaces on the surface of a component or substrate. It may have a suitable geometric shape, which may be adapted to the respective strain to be determined in its axial direction. For example, a rectangular shape can be selected if strains in an axial direction are to be determined. The sensitive element should in this case have a greater length in this axial direction than in the direction perpendicular thereto Axis direction. Square shapes lend themselves when expansions are to be determined in two orthogonal axial directions. The contact points should then be arranged according to the axial directions on the respective axes.
  • contact points can be formed by means of specific and locally defined removal of polymeric material on the surface of the sensitive element. By at least partially exposing electrically conductive particles, the electrical resistance can be reduced. It is possible to exploit the fact that they often approach surfaces as a result of their production
  • the proportion of electrically conductive particles is smaller than in the interior.
  • suitable laser radiation can be used.
  • Contact points can also be alone or in addition by locally defined
  • Order of an electrically conductive material can be formed.
  • an electrical conductive adhesive can be applied with an increased proportion of electrically conductive particles at positions for contact points.
  • the material removal of polymer in the near-surface region of the sensitive element can take place at these positions.
  • an electrically conductive connection for example via electrically conductive cable to the measuring instruments for electrical voltage, electric current and / or electrical resistance and the electrical voltage source can be made simultaneously by gluing electrical conductors.
  • strains of more than 100% can be detected with sufficient accuracy.
  • Suitable polymers may preferably be silicones, polyurethanes or even other elastomers. Influence on the expansion behavior can also be taken by a selected ratio between resin and hardener.
  • a polymer which is elastically deformable in the finished state with electrically conductive nanoscale particles can be printed on a component / substrate, a temporary carrier or on an elastically deformable dielectric film formed from a polymer which can form a dielectric protective layer form one or more sensitive elements.
  • the polymer for the sensitive element (s) should not be fully cured or fully polymerized, at least not yet.
  • the polymer contains electrically conductive particles in dispersed form.
  • at least the outer geometric edge contour of the sensitive elements can be formed.
  • the printing of the one suitable for printing suitable viscosity electroconductive polymer can be carried out by means of masks in which openings corresponding to the geometric outer edge contour are formed, in which the electrically conductive polymer is printed in the openings.
  • the masks can be used during mask transfer printing during the
  • the temporary support or the film of dielectric polymer are placed resting.
  • a sensitive element printed on a temporary support can be removed from the temporary support after sufficient polymerization or curing and then used or further processed by applying further layers.
  • the production can also take place in such a way that the printing takes place in such a way that the electrically conductive polymer having a viscosity suitable for printing has at least one pressure roller, on the outer surface of which the geometric edge contour of one or more sensitive elements is taken into account for temporarily receiving the electrically conductive polymer are formed.
  • the electrical conductivity can be achieved with the electrically conductive particles contained in the polymer.
  • the counter-holder for the printing of sensitive elements on the upper side of the film with the pressure roller be.
  • the printing can also be done on both surfaces with oppositely arranged pressure rollers.
  • Masks can be removed after printing and possibly reused. When trained as an endless belt masks this can be recycled in the circulation.
  • the film forming a dielectric protective layer may be wound on a roll before being printed.
  • the cutting can preferably be carried out by means of a laser beam which can be operated electronically, for example controlled by CAD programs.
  • contact points as well as possibly additional electrical conductor tracks, which may represent electrically conductive connections, are also printed.
  • an electrically conductive polymer or an electrically conductive adhesive substance which can differ from the electrically conductive polymer with which the sensitive elements are produced. It may, for example, have a higher electrical conductivity.
  • the masks used can be designed so that they also take into account the structure of the contact points and possibly the electrical interconnects and correspondingly formed openings are present in the masks.
  • electrical interconnects can also be produced with the same polymer, whereby a better adaptation of the mechanical and thermal properties can be achieved.
  • polyurethanes, polyacrylates or silicones can be used as the polymer.
  • the same polymer can be used for the dielectric protective layer and the sensitive elements.
  • One or more sensitive element (s) can be completely enclosed by a protective layer by overprinting with a polymer which is not electrically conductive in order to achieve an electrical isolation to the outside.
  • a surface area covered by a protective layer or a sensitive element completely enclosed by a protective layer can likewise be covered by means of a printing process with a further layer, which in turn is electrically conductive, which is coated with a polymer in the disperse layer.
  • pergierter form containing electrically conductive particles can be achieved.
  • the printing can be achieved in the form described above.
  • protective layers or further layers their layer thickness can be influenced with a doctor blade.
  • this can be done with more than one pressure roller.
  • two pressure rollers can be used, which have identically structured surfaces, so that a double printing can take place, whereby a more uniform layer formation with a constant layer thickness can be achieved.
  • the curing or polymerization can be carried out in a continuous furnace and / or by irradiation.
  • suitably suitable radiation can be used, depending on whether removal of solvent or crosslinking is to be carried out.
  • radiation from the wavelength spectrum of the UV light can be used.
  • radiation from the wavelength spectrum of NIR or IR radiation is suitable.
  • the distribution of the electrically conductive particles within the sensitive elements formed as a layer can not be homogeneous. Particularly in the outer boundary layer areas, the proportion of electrically conductive particles (metal, graphite and also carbon nanotubes - CNTs) is reduced, which leads to a reduction in the electrical conductivity in these areas. For the electrical connection from the outside, therefore, separate contact points are required, as are, for example, separately produced copper contacts.
  • a material removal can take place in an outer edge layer in which predominantly polymer is removed, in which no or only a small amount of electrical embedded conductive particles.
  • a material removal with a thickness of a few nanometers can be sufficient there, whereby the maximum thickness of the removed material should be 20 nm, preferably 10 nm or at most 5% of the total layer thickness of a sensitive element.
  • This material removal can be achieved with laser radiation whose wavelength is well absorbed by the respective polymer.
  • laser radiation having a wavelength of 1062 nm can be used as the polymer used for a silicone.
  • the respective ablated material quantity or layer thickness can be taken into account by suitable control or regulation of the laser radiation.
  • the energy density in the focal spot and the feed rate and a pulsation are suitable
  • the electrical conductivity at contact points provided for electrical contacting can be markedly increased and the specific electrical resistance to unprocessed surface areas at which no such material removal has been carried out can be correspondingly reduced. It is possible to reduce the specific electrical resistance by up to 90%. It can be achieved as a direct and immediate electrical contact and dispensed with additional electrical contact elements.
  • Figure 1 is a diagram with detected electrical resistances at different strains.
  • the example described below relates to a two-layer structure in which an addition-crosslinking silicone has been used as the polymer. Both layers are made with the same polymer.
  • the sensitive element was fabricated so that single-walled carbon nanotubes (SWCNTs) manufactured by the Fraunhofer Institute for Material and Beam Technology were dispersed into the still viscous silicone until the percolation threshold was exceeded and sufficient electrical conductivity was achieved.
  • the specific resistances of l, 8xl0 14 OH mcm for the unfilled base polymer silicone were reduced to 1.7x10 2 ohmcm.
  • Three masses of the SWCNT's were introduced into the polymer, dispersed and homogenized.
  • An insulating carrier layer was produced from the unmodified base polymer, ie from the pure silicone.
  • the layer thickness of the insulating support layer was about 100 ⁇ and the layer thickness of the sensitive element about 75 ⁇ .
  • the layer structure was produced using the mask transfer printing developed for this system, as described in DE 10 2012 016 375 A1.
  • the insulating carrier layer was prepared in advance and was before the coating process to form the sensitive element as a film material.
  • the mask dimensions and thus the dimensions of the sensitive element were 6 cm x 15 cm.
  • Two copper tabs were introduced as contact points to bypass the CNT-depleted layer near the surface and to directly electrically contact the conductive layer of the insensitive element.
  • the sensitive element was formed by means of the masks and a doctor blade. The mask determines the geometry and the adjustable squeegee adjusts the layer height. Finally, the curing took place in an oven.
  • the sensory characterization was carried out with a tensile testing machine, which allowed a defined adjustment of the elongation. Since the sensitive element was electrically insulated only on one side by means of the carrier layer, became local another insulation layer applied to avoid a shunt across the machine frame. The change in electrical resistance was recorded with a digital multimeter and then assigned to the associated strains. The strains and changes of the electrical resistance thus detected are to be taken from the diagram shown in FIG. 1 with the curve A for 25% elongation, the curve B for 50% elongation and the curve C for 100% elongation. It can be clearly seen that strains with a sensor element according to the invention can be determined with sufficient accuracy and also for very large strains.

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Abstract

Bei einem erfindungsgemäßen Sensorelement zur Bestimmung von Dehnungen ist ein sensitives Element auf einer Oberfläche eines Bauteils oder Substrats befestigt und/oder an mindestens zwei in einem Abstand zueinander angeordneten Positionen eingespannt gehalten. Das sensitive Element ist aus einem elastisch verformbaren Polymer gebildet, in dem elektrisch leitende Partikel, mit einem Anteil bei dem die Perkolationsschwelle überschritten ist, eingebettet sind. Außerdem sind am sensitiven Element in einem Abstand zueinander mindestens zwei für einen Anschluss an eine elektrische Spannungsquelle ausgebildete Kontaktpunkte vorhanden oder ausgebildet, so dass eine auftretende Dehnung am sensitiven Element durch Erfassung einer sich entsprechend verändernden elektrischen Spannung, eines elektrischen Stromes und/oder eines elektrischen Widerstandes mit einem Messgerät bestimmbar ist/sind.

Description

Sensorelement zur Bestimmung von Dehnungen
Die Erfindung betrifft ein Sensorelement zur Bestimmung von Dehnungen. Dabei können insbesondere größere Dehnungen auch dynamisch bestimmt werden. Bei geeigneter Anordnung und Befestigung können auch Verformungen von Bauteilen oder Substraten erfasst werden.
Eine der am weitesten verbreiteten Möglichkeit zur Bestimmung von Dehnungen und Verformungen, die auch zur Bestimmung von Kräften oder Momenten genutzt werden können, sind Dehnungsmessstreifen. Diese werden beispielsweise auf die Oberfläche eines Bauteils geklebt. Bei einer Dehnung oder Verformung des Bauteils können dann sich dadurch ändernde elektrische Größen gemessen und für die Bestimmung der genannten Parameter genutzt werden.
Üblicherweise bestehen Dehnungsmessstreifen aus Metall oder aus Metallschichten, die auf einem dielektrischen Träger, insbesondere einer Folie be- festigt sind. Die Dehnungsmessstreifen haben dabei eine geeignete geometrische Gestalt und sind beispielsweise mäanderförmig ausgebildet.
Aufgrund der eingesetzten Werkstoffe und Geometrien sind sie jedoch lediglich geeignet, kleine Dehnungen oder Verformungen zu erfassen, da sie ansonsten beschädigt oder zerstört werden können.
Probleme treten auch beim Einsatz bei erhöhten Temperaturen auf, die ebenfalls zur Beschädigung oder zu Messfehlern führen können.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, Möglichkeiten für die Bestimmung/Erfassung von Dehnungen anzugeben, die größer als bei herkömmlichen Systemen sind und bei mindestens 5 % des Ausgangszustandes liegen, wobei eine ausreichende Messgenauigkeit und möglichst auch eine hohe Lebensdauer erreicht werden sollte.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einem Sensorelement, das die Merkmale des Anspruchs 1 aufweist, gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung können mit in untergeordneten Ansprüchen bezeichneten Merkmalen realisiert werden.
Bei einem erfindungsgemäßen Sensorelement ist ein sensitives Element auf einer Oberfläche eines Bauteils oder Substrats befestigt. Allein oder zusätzlich dazu kann es an mindestens zwei in einem Abstand zueinander angeordneten Positionen eingespannt gehalten sein. Das sensitive Element kann dabei an einer Oberfläche eines Bauteils oder Substrats stoffschlüssig fixiert sein. Dies kann über die gesamte Fläche des sensitiven Elements an der der Oberfläche des Bauteils oder Substrats zugewandten Oberfläche des sensitiven Elements, der Fall sein. Es kann aber auch eine Fixierung an mindestens zwei Positionen/Punkten ausreichend sein. Die Fixierung kann mit einer stoffschlüssigen Verbindung allein oder zusätzlich auch eine mechanische form- und/oder kraftschlüssige Befestigung sein. So kann ein sensitives Element beispielsweise an zwei gegenüberliegend angeordneten Rändern eingeklemmt gehalten sein.
Ein sensitives Element, das so geklemmt gehalten und mit keiner Oberfläche eines Bauteils oder Substrats verbunden ist, kann beispielsweise zur Bestim- mung eines sich ändernden Abstandes zwischen zwei Bauteilen oder eines sich verändernden Spaltmaßes genutzt werden.
Das sensitive Element ist aus einem elastisch verformbaren Polymer gebildet, in dem elektrisch leitende Partikel, mit einem Anteil bei dem die Perkolations- schwelle überschritten ist, eingebettet sind.
Am sensitiven Element sind in einem Abstand zueinander mindestens zwei für einen Anschluss an eine elektrische Spannungsquelle ausgebildete Kontaktpunkte vorhanden oder ausgebildet, so dass eine auftretende Dehnung am sensitiven Element durch Erfassung einer sich entsprechend verändernden elektrischen Spannung, eines elektrischen Stromes und/oder eines elektrischen Widerstandes bestimmt werden kann. Hierfür kann ein geeignetes Messgerät angeschlossen und mit den Kontaktpunkten verbunden werden.
Bei der Bestimmung der Dehnung kann ausgenutzt werden, dass sich der elektrische Widerstand infolge Dehnung erhöht. Zumindest in einem Bereich erfolgt dies nahezu linear. Dabei kann die Auswahl des Polymers, die Art und der Anteil an elektrisch leitfähigen oder anderen Partikeln sowie deren Anordnung innerhalb des sensitiven Elements einen Einfluss ausüben. Bei einer Dehnung reduzieren sich die Anzahl der Kontaktstellen zwischen elektrisch leitenden Partikeln und der elektrische Widerstand steigt so an. Geht das sensitive Element wieder in seinen Ausgangszustand zurück und/oder seine Länge in der bis dahin gedehnten Richtung reduziert sich, verringert sich der elektrische Widerstand wieder. Es kann dabei zumindest in einem interessierenden Bereich eine kleine Hysterese auftreten, die bei der Auswertung berücksichtigt und kompensiert werden kann.
Mit zwei Kontaktpunkten kann die Dehnung in einer Achsrichtung, die durch die Anordnung der Kontaktpunkte bestimmt ist und einer die Kontaktpunkte miteinander verbindenden Gerade folgt, bestimmt werden. Insbesondere bei flächig auf einer Oberfläche eines Bauteils oder Substrats fixiertem sensitiven Element können auch mehr als zwei Kontaktpunkte genutzt werden. Diese können auf der gleichen Achse angeordnet sein, wie dies vorab mit der Geraden erläutert worden ist. In diesem Fall kann eine quasi„ortsaufgelöste" Dehnungsbestimmung jeweils zwischen zwei benachbarten Kontaktpunkten durchgeführt werden.
Mehr als zwei Kontaktpunkte können aber auch anders angeordnet sein und nicht auf einer gemeinsamen Achse/Geraden liegen. In diesem Fall können durch geeignete elektrische Verschaltung und Auswertung auch Dehnungen in mehr als eine Achsrichtung bestimmt werden. So können beispielsweise drei Kontaktpunkte eine Dreieck-, vier Kontaktpunkte eine Viereckanordnung bilden, so dass Dehnungen in mehreren Achsrichtungen bestimmt werden können.
Elektrisch leitende Partikel sollten im Polymer mit einem Anteil und/oder einer Ausrichtung enthalten sein, bei dem/der die Perkolationsschwelle bei einer Dehnung des sensitiven Elements in mindestens eine Achsrichtung mit mindestens 10 %, bevorzugt 30 % nicht unterschritten ist. Dadurch können erheblich größere Dehnungen oder Verformungen bestimmt werden, als dies mit den herkömmlichen Dehnungsmessstreifen möglich ist.
Die Ausrichtung von Partikeln spielt insbesondere eine Rolle, wenn es sich um Partikel mit einem höheren Aspektverhältnis bezüglich ihrer Länge zu ihrer Breite handelt, wie dies bei Kohlenstoffnanoröhren, -hörnern oder Fasern der Fall ist. Diese sollten möglichst parallel in Bezug zu einer Oberfläche eines sensitiven Elements ausgerichtet im Polymer eingebettet sein. Dadurch kann die elektrische Leitfähigkeit auch bei noch größeren Dehnungen beibehalten werden, als dies beispielsweise mit sphärischen Partikeln, bei gleichen Anteilen an im Polymer eingebetteten Partikeln möglich ist.
Wie bereits angesprochen können elektrisch leitende Partikel Kohlenstoffnanoröhren (CNT's), Kohlenstoffnanohörner (Carbon Nanohorns - CNH's), Ruß, Graphit, Graphen und/oder ein Metall, insbesondere Partikel oder faserförmi- ge Partikel aus Silber oder Gold sein. Sie sollten nanoskalig dimensioniert sein, so dass ihre maximale Ausdehnung in eine Achsrichtung 100 nm nicht überschreiten sollte. Sphärische Partikel sollten einen Außendurchmesser kleiner 50 nm aufweisen.
Die eingesetzten Partikel können Einfluss auf die sich verändernde elektrische Leitfähigkeit bei einer Dehnung nehmen. Insbesondere in einer Achsrichtung längere Partikel, wie dies z.B. CNT's sind, können auch bei größeren Dehnungen auch eine noch detektierbare und sich in Abhängigkeit der jeweiligen Dehnung verändernde elektrische Leitfähigkeit aufweisen. Bei einer Dehnung verringert sich die elektrische Leitfähigkeit und der elektrische Widerstand steigt entsprechend an.
Mindestens eine Oberfläche des sensitiven Elements kann mit einer Schutzschicht überzogen sein, die aus einem elastisch verformbaren Polymer, bevor- zugt demselben Polymer, wie das Polymer mit dem das sensitive Element gebildet ist, besteht. Die Schutzschicht sollte elektrisch nicht oder erheblich geringer elektrisch leitend sein, als das sensitive Element. Die Schutzschicht kann so einen Isolator zu einem Bauteil oder Substrat aus einem elektrisch leitfähigen Werkstoff bilden. Bevorzugt kann eine Schutzschicht ein sensitives Ele- ment aber auch vollumfänglich umschließen, so dass das sensitive Element an seiner gesamten Oberfläche von einer Schutzschicht überdeckt ist.
Eine Schutzschicht kann aber auch einen Schutz gegenüber Einflüssen aus der Umgebung bieten, so dass chemische Reaktionen, Korrosion oder eine Verän- derung der elektrischen Eigenschaften des sensitiven Elements beispielsweise durch Eindringen von chemischen Elementen oder Verbindungen in das die elektrisch leitenden Partikel enthaltende Polymer ver- zumindest jedoch behindert werden kann. So kann ein Eindringen von Flüssigkeiten oder Gasen vermieden bzw. behindert werden.
Eine Schutzschicht kann zumindest an Oberflächen, die nicht in berührendem Kontakt mit einem Substrat oder Bauteil stehen, an denen das sensitive Element fixiert ist, von einer weiteren Schicht überdeckt sein. Die weitere Schicht ist elektrisch leitend und kann an Erdpotential angeschlossen werden. So kann eine weitere Schicht einen Schutz vor elektromagnetischen Interferenzen darstellen. Eine weitere Schicht kann ein sensitives von einer Schutzschicht zumindest teilweise, bevorzugt vollständig umschlossenes sensitives Element vollflächig umschließen, um diesen Schutz vor elektromagnetischen bzw. elektrischen äußeren Einflüssen zu ermöglichen. Die Schutzschicht bildet zwi- sehen sensitivem Element und weiterer Schicht einen elektrischen Isolator.
Die elektrische Leitfähigkeit einer weiteren Schicht kann mit im Polymer ein- gebetteten elektrisch leitenden Partikeln, bevorzugt analog zum sensitiven Element erreicht werden. Es können die gleichen Partikel im gleichen Polymer eingesetzt werden.
In einer Schutzschicht und/oder einer weiteren Schicht können zusätzliche Partikel enthalten sein, die eine absorbierende Wirkung, insbesondere für Gase und/oder Flüssigkeiten aufweisen. Hierfür können beispielsweise Zeolithe genutzt werden. Zeolithe oder andere geeignete Werkstoffe können eindringende Flüssigkeiten und/oder Gase temporär absorbieren, so dass sie die Eigenschaften eines sensitiven Elements und insbesondere dessen elektrische Leitfähigkeit nicht verändern. Bei geeigneten Umweltbedingungen kann auch eine Desorption erfolgen und bis dahin absorbierte Flüssigkeit oder Gas kann wieder an die Umgebung abgegeben werden.
In einer Schutzschicht können auch andere nanoskalige Partikel aus einer Keramik enthalten sein. Mit ihnen kann die Permittivität des Polymers beein- flusst werden. So kann eine Steigerung der Permittivität und eine Erhöhung des elektrischen Widerstands zur Verbesserung der Isolationswirkung erreicht werden. Als keramische Partikel können solche aus Magnesium-Niobat- Titatanat, Barium-Titanat und ähnliche Keramiken eingesetzt werden.
Eine Schutzschicht und/oder eine weitere Schicht sollten so ausgewählt sein, dass sie keinen oder einen definierten Einfluss auf das Dehnungsverhalten und der damit verbundenen Änderung des elektrischen Widerstands des sensitiven Elements nehmen. Dabei kann/können die Auswahl des Polymers und ggf. enthaltene funktionelle Partikel Berücksichtigung finden.
Ein sensitives Element kann ein ebenes flächiges Gebilde sein, das beispielsweise ähnlich wie eine Folie ausgebildet sein kann. Es kann mit einer der beiden größeren Oberflächen auf der Oberfläche eines Bauteils oder Substrats bevorzugt stoffschlüssig fixiert sein. Es kann dabei eine geeignete geometrische Gestalt haben, die der jeweiligen zu bestimmenden Dehnung in ihrer Achsrichtung angepasst sein kann. So kann beispielsweise eine rechteckige Form gewählt werden, wenn Dehnungen in einer Achsrichtung bestimmt werden sollen. Das sensitive Element sollte in diesem Fall in dieser Achsrichtung eine größere Länge aufweisen, als in der senkrecht dazu ausgerichteten Achsrichtung. Quadratische Formen bieten sich an, wenn in zwei senkrecht zueinander ausgerichteten Achsrichtungen Dehnungen bestimmt werden sollen. Die Kontaktpunkte sollten dann entsprechend der Achsrichtungen auf den jeweiligen Achsen angeordnet sein.
Vorteilhaft können Kontaktpunkte mittels spezifischem und lokal definiertem Abtrag an polymerem Werkstoff an der Oberfläche des sensitiven Elements ausgebildet werden. Durch zumindest teilweises Freilegen elektrisch leitender Partikel kann der elektrische Widerstand reduziert werden. Dabei kann aus- genutzt werden, dass häufig infolge der Herstellung in Oberflächen nahen
Bereichen eines sensitiven Elements der Anteil an elektrisch leitfähigen Partikeln kleiner als im Inneren ist. Für den Werkstoffabtrag kann geeignete Laserstrahlung eingesetzt werden. Kontaktpunkte können aber auch allein oder zusätzlich durch lokal definierten
Auftrag eines elektrisch leitfähigen Werkstoffs ausgebildet werden. Hierzu kann beispielsweise ein elektrischer Leitkleber mit erhöhtem Anteil an elektrisch leitenden Partikeln an Positionen für Kontaktpunkte aufgetragen werden. An diesen Positionen kann, wie vorab erläutert der Werkstoffabtrag von Polymer im oberflächennahen Bereich des sensitiven Elements erfolgt sein.
Bei Einsatz eines elektrischen Leitklebers kann eine elektrisch leitende Verbindung, beispielsweise über elektrisch leitende Kabel zu den Messinstrumenten für elektrische Spannung, elektrischen Strom und/oder des elektrischen Widerstands sowie der elektrischen Spannungsquelle gleichzeitig hergestellt werden, indem elektrische Leiter eingeklebt werden.
Bei einer geeigneten Auswahl eines Polymers mit dem ein sensitives Element hergestellt werden kann und seiner Dimensionierung sowie seiner geometrischen Gestalt können Dehnungen von mehr als 100 % mit ausreichender Ge- nauigkeit detektiert werden.
Geeignete Polymere können bevorzugt Silikone, Polyurethane oder aber auch weitere Elastomere sein. Einfluss auf das Dehnungsverhalten kann auch durch ein gewähltes Verhältnis zwischen Harz und Härter genommen werden.
Da ein sensitives Element und die ggf. zusätzlich vorhandene Schutzschicht bzw. eine Schutzschicht mit weiterer Schicht, die mit einem Polymer gebildet sind, treten keine Materialinkompatibilitäten auf. So können hohe Dehnungen und eine lange Lebensdauer erreicht werden, ohne dass es zu Schäden, die eine unerwünschte Änderung des elektrischen Widerstands bewirken bzw. zu einer nicht mehr ausreichenden Messgenauigkeit führen, kommt.
Bei geeigneter Auswahl des Polymers kann eine gute chemische Beständigkeit und Temperaturstabilität erreicht werden. Auch die Permeation unerwünschter Flüssigkeiten oder Gase kann verhindert bzw. mindestens behindert wer- den.
Bei der Herstellung kann wie folgt vorgegangen werden.
Bei der Herstellung kann auf ein Bauteil/Substrat, einen temporären Träger oder auf eine elastisch verformbare, dielektrische, aus einem Polymer gebildete Folie, die eine dielektrische Schutzschicht bilden kann, ein im fertigen Zustand elastisch verformbares Polymer mit elektrisch leitenden nanoskaligen Partikeln aufgedruckt werden, um ein oder mehrere sensitive Elemente auszubilden. Das Polymer für das/die sensitive(n) Element(e) sollte zumindest noch nicht vollständig ausgehärtet oder nicht vollständig polymerisiert sein.
Es kann auch in zumindest teilweise gelöster Form aufgedruckt werden. In dem Polymer sind elektrisch leitende Partikel in dispergierter Form enthalten. Beim Aufdrucken kann zumindest die äußere geometrische Randkontur der sensitiven Elemente ausgebildet werden.
Das Aufdrucken, des eine für das Drucken geeignete Viskosität aufweisenden elektrisch leitenden Polymers, kann mittels Masken erfolgen, in denen Durchbrechungen, die der geometrischen äußeren Randkontur entsprechen, ausgebildet sind, in dem das elektrisch leitende Polymer in die Durchbrechungen gedruckt wird. Die Masken können beim Maskentransferdruck während des
Druckens unmittelbar auf der zu bedruckenden Oberfläche des Bauteils, des temporären Trägers oder der Folie aus dielektrischem Polymer aufliegend angeordnet werden. Ein auf einen temporären Träger aufgedrucktes sensitives Element kann nach erfolgter ausreichender Polymerisation oder Aushär- tung vom temporären Träger entfernt und dann so eingesetzt bzw. weiter verarbeitet werden, indem weitere Schichten aufgebracht werden. Die Herstellung kann aber auch so erfolgen, dass das Aufdrucken so erfolgt, dass das eine für das Drucken geeignete Viskosität aufweisenden elektrisch leitende Polymer mit mindestens einer Druckwalze, an deren äußerer Oberfläche die geometrische Randkontur von einem oder mehreren sensitiven Elementen berücksichtigende Drucknäpfchen zur temporären Aufnahme des elektrisch leitenden Polymers ausgebildet sind. Auch in diesem Fall kann die elektrische Leitfähigkeit mit den im Polymer enthaltenen elektrisch leitenden Partikeln erreicht werden.
Nach dem Aufdrucken wird eine vollständige Aushärtung oder Polymerisation durchgeführt. Die so erhaltenen sensitiven Elemente können beispielsweise durch ein Schneidverfahren vereinzelt werden. Bei einem gleichzeitigen Aufdrucken von zwei Seiten kann beispielsweise das
Aufdrucken von der Oberseite mittels Druckwalze und von der Unterseite mittels Maskentransferdruck erfolgen. Dabei kann an der Unterseite mit der für das Maskendrucken ausgebildeten Vorrichtung, der Gegenhalter für das Aufdrucken von sensitiven Elementen an der Oberseite der Folie mit der Druck- walze sein. Das Aufdrucken kann aber auch an beiden Oberflächen mit gegenüberliegend angeordneten Druckwalzen erfolgen.
Es besteht aber auch die Möglichkeit, jeweils eine der beiden vorab beschrie benen Vorgehensweisen sowohl für das Aufdrucken an der Oberseite, wie auch an der Unterseite einzusetzen.
Beim Drucken mit Masken können diese in Form eines Bandes, bevorzugt eines Endlosbandes, in dem die äußere Randkontur von sensitiven Elementen berücksichtigende Durchbrechungen ausgebildet sind, eingesetzt werden.
Masken können nach dem Aufdrucken wieder abgezogen und ggf. wieder verwendet werden. Bei als Endlosband ausgebildeten Masken kann dieses im Kreislauf rückgeführt werden. Die eine dielektrische Schutzschicht bildende Folie kann auf einer Rolle aufgewickelt sein, bevor sie bedruckt wird. Für eine flexible Fertigung ist es besonders günstig, die Durchbrechungen in die Masken unmittelbar vor dem Aufdrucken auszuschneiden. Dabei können die unterschiedlichsten Randgeometrien und Dimensionierungen von herzustellenden sensitiven Elementen berücksichtigt werden. Es kann sehr schnell auf sich verändernde Anforderungen reagiert werden. Das Schneiden kann bevorzugt mittels eines Laserstrahls durchgeführt werden, der elektronisch, z.B. mittels CAD-Programmen gesteuert, betrieben werden kann.
Es besteht auch die Möglichkeit, dass Kontaktpunkte sowie ggf. zusätzlich elektrische Leiterbahnen, die elektrisch leitende Verbindungen darstellen können, ebenfalls aufgedruckt werden. Hierfür kann ebenfalls ein elektrisch leitendes Polymer bzw. eine elektrisch leitender Kleberstoff eingesetzt werden, das/der sich vom elektrisch leitenden Polymer, mit dem die sensitiven Elemente hergestellt werden, unterscheiden kann. Es kann beispielsweise eine höhere elektrische Leitfähigkeit besitzen. Dabei können die eingesetzten Masken so ausgebildet sein, dass sie auch die Struktur der Kontaktpunkte und ggf. der elektrischen Leiterbahnen berücksichtigen und entsprechend ausgebildete Durchbrechungen in den Masken vorhanden sind. Elektrische Leiterbahnen können aber auch mit dem gleichen Polymer hergestellt werden, wodurch eine bessere Anpassung der mechanischen und thermischen Eigenschaften erreicht werden kann.
Für die als dielektrische Schutzschicht fungierende elastische Folie und auch die sensitiven Elemente können als Polymer Polyurethane, Polyacrylate oder Silikone eingesetzt werden. Für die dielektrische Schutzschicht und die sensitiven Elemente kann dasselbe Polymer eingesetzt werden.
Ein oder mehrere sensitive Element(e) kann/können durch ein Überdrucken mit einem Polymer, das nicht elektrisch leitend ist vollständig von einer Schutzschicht umschlossen werden, um eine elektrische Isolation nach außen zu erreichen.
Ein mit einer Schutzschicht überdeckter Oberflächenbereich oder ein vollständig mit einer Schutzschicht umschlossenes sensitives Element kann ebenfalls mittels eines Druckverfahrens mit einer weiteren Schicht überdeckt werden, die wiederum elektrisch leitend ist, was mit einem Polymer in dem dis- pergierter Form elektrisch leitende Partikel enthalten sind, erreicht werden kann. Das Bedrucken kann in der vorab beschriebenen Form erreicht werden.
In jedem Fall sollte beachtet werden, dass nach der Ausbildung einer Schutzschicht und/oder weiteren Schicht die Kontaktpunkte am jeweiligen sensitiven Element weiter zugänglich sind oder elektrische Anschlüsse nach außen geführt sind.
Nach oder bei dem Aufdrucken von sensitiven Elementen, Schutzschichten oder weiteren Schichten, kann deren Schichtdicke mit einem Rakel beeinflusst werden.
Wird mit Druckwalzen aufgedruckt, kann dies mit mehr als einer Druckwalze durchgeführt werden. Es können beispielsweise zwei Druckwalzen eingesetzt werden, die identisch strukturierte Oberflächen aufweisen, so dass ein zweifaches Drucken erfolgen kann, wodurch eine gleichmäßigere Schichtausbildung mit konstanter Schichtdicke erreicht werden kann.
Das Aushärten oder Polymerisieren kann in einem Durchlaufofen und/oder durch eine Bestrahlung erfolgen. Bei einer Bestrahlung kann entsprechend geeignete Strahlung eingesetzt werden, je nach dem ob eine Entfernung von Lösungsmittel oder eine Vernetzung durchgeführt werden soll. Bei einer Vernetzung kann beispielsweise Strahlung aus dem Wellenlängenspektrum des UV-Lichts eingesetzt werden. Für die Entfernung von Lösungsmittel ist Strahlung aus dem Wellenlängenspektrum der NIR- oder IR-Strahlung geeignet.
Bei den mit polymeren Werkstoffen gebildeten sensitiven Elementen, bei denen elektrisch leitende Partikel in das Polymer eingebettet sind, kann die Verteilung der elektrisch leitenden Partikel innerhalb von als Schicht ausgebildeten sensitiven Elementen nicht homogen ist. Besonders in den äußeren Randschichtbereichen ist der Anteil an elektrisch leitenden Partikeln (Metall, Graphit und auch Kohlenstoffnanoröhren - CNT's) reduziert, was zur Verringerung der elektrischen Leitfähigkeit in diesen Bereichen führt. Für den elektrischen Anschluss von außen sind daher gesonderte Kontaktpunkte erforderlich, wie dies beispielsweise gesondert herzustellende Kupferkontakte sind. Dabei muss der erhöhte elektrische Widerstand der äußeren Randschicht der elastisch verformbaren mit Polymer gebildeten sensitiven Elemente beachtet werden, um höhere elektrische Übergangswiderstände zu vermeiden.
Diesem Problem kann entgegengetreten werden, in dem in Bereichen der sensitiven Elemente, die für eine elektrische Kontaktierung als Kontaktpunkte vorgesehen sind, ein Werkstoffabtrag in einer äußeren Randschicht erfolgen kann, bei dem überwiegend Polymer abgetragen wird, in das keine oder nur ein geringer Anteil an elektrisch leitenden Partikeln eingebettet sind. Dabei kann dort ein Werkstoffabtrag mit einer Dicke von wenigen Nanometern aus- reichen, wobei die maximale Dicke des abgetragenen Werkstoffs bei 20 nm, bevorzugt 10 nm oder maximal 5 % der Gesamtschichtdicke eines sensitiven Elements liegen sollte.
Dieser Werkstoffabtrag kann mit Laserstrahlung erreicht werden, deren Wel- lenlänge gut vom jeweiligen Polymer absorbiert wird. So kann beispielsweise bei einem Silikon als eingesetztem Polymer Laserstrahlung mit einer Wellenlänge von 1062 nm eingesetzt werden. Die jeweilige abgetragene Werkstoffmenge bzw. Schichtdicke kann durch geeignete Steuerung oder Regelung der Laserstrahlung berücksichtigt werden. Dabei sind besonders die Energiedichte im Brennfleck und die Vorschubgeschwindigkeit sowie eine Pulsung geeignete
Parameter.
Durch diesen Werkstoffabtrag kann die elektrische Leitfähigkeit an für eine elektrische Kontaktierung vorgesehenen Kontaktpunkten deutlich erhöht und der spezifische elektrische Widerstand gegenüber unbearbeiteten Oberflächenbereichen, an denen kein solcher Werkstoffabtrag durchgeführt wurde, entsprechend reduziert werden. Es besteht die Möglichkeit den spezifischen elektrischen Widerstand um bis zu 90 % zu reduzieren. Es kann so eine direkte und unmittelbare elektrische Kontaktierung erreicht und auf zusätzliche elektrische Kontaktelemente verzichtet werden.
Nachfolgend soll die Erfindung anhand eines Beispiels näher erläutert werden. Dabei zeigt:
Figur 1 ein Diagramm mit erfassten elektrischen Widerständen bei unterschiedlichen Dehnungen.
Das nachfolgend beschriebene Beispiel betrifft einen zweischichtigen Aufbau, bei dem als Polymer ein additionsvernetzendes Silikon eingesetzt worden ist. Beide Schichten sind mit dem identischen Polymer hergestellt. Das sensitive Element wurde so hergestellt, dass einwandige Kohlenstoffnanoröhren (SWCNT's), die vom Fraunhofer Institut für Werkstoff und Strahltechnik hergestellt wurden, in das noch viskose Silikon dispergiert wurden, bis die Perko- lationsschwelle überschritten und eine ausreichende elektrische Leitfähigkeit erreicht worden war. Dabei wurden die spezifischen Widerstände von l,8xl014 Oh mcm für das ungefüllte Basispolymer Silikon auf l,7xl02 Ohmcm gesenkt. Es wurden 3 Masse- der SWCNT's in das Polymer eingebracht, dispergiert und homogenisiert. Eine isolierende Trägerschicht wurde aus dem unmodifizierten Basispolymer, also aus dem puren Silikon hergestellt. Die Schichtdicke der isolierenden Trägerschicht betrug ca. 100 μιη und die Schichtdicke des sensitiven Elements ca. 75 μιη.
Die Herstellung des Schichtaufbaus erfolgte über den für dieses Systeme entwickelten Maskentransferdruck, wie er in DE 10 2012 016 375 AI beschrieben ist. Die isolierende Trägerschicht wurde vorab hergestellt und lag vor dem Beschichtungsprozess zur Ausbildung des sensitiven Elements als Folienmaterial vor. Die Maskenabmessungen und somit die Abmessungen des sensitiven Elements betrugen 6 cm x 15 cm. Als Kontaktpunkte wurden zwei Kupferfahnen eingebracht, um die CNT-verarmte Schicht nahe der Oberfläche zu umgehen und die leitfähige Schicht des sesnsitiven Elements direkt elektrisch zu kontaktieren. Das sensitive Element wurde mittels der Masken und einem Rakel ausgebildet. Dabei bestimmt die Maske die Geometrie und der justierbare Rakel stellt die Schichthöhe ein. Abschließend erfolgte die Aushärtung in einem Ofen.
Die sensorische Charakterisierung erfolgte mit einer Zugprüfmaschine, die eine definierte Einstellung der Dehnung ermöglichte. Da das sensitive Element nur einseitig mittels der Trägerschicht elektrisch isoliert war, wurde örtlich eine weitere Isolationsschicht aufgebracht, um einen Nebenschluss über das Maschinengestell zu vermeiden. Die Änderung des elektrischen Widerstands wurde mit einem digitalen Multimeter aufgezeichnet und anschließend den zugehörigen Dehnungen zugeordnet. Die so erfassten Dehnungen und Ände- rungen des elektrischen Widerstands sind dem in Figur 1 gezeigten Diagramm mit dem Kurvenverlauf A für 25 % Dehnung, dem Kurvenverlauf B für 50 % Dehnung und dem Kurvenverlauf C für 100 % Dehnung zu entnehmen. Es ist deutlich erkennbar, dass Dehnungen mit einem erfindungsgemäßen Sensorelement ausreichend genau und auch für sehr große Dehnungen bestimmt werden können.

Claims

Patentansprüche
1. Sensorelement zur Bestimmung von Dehnungen, bei dem ein sensitives Element auf einer Oberfläche eines Bauteils oder Substrats befestigt und/oder an mindestens zwei in einem Abstand zueinander angeordneten Positionen eingespannt gehalten ist; und
das sensitive Element aus einem elastisch verformbaren Polymer gebildet ist, in dem elektrisch leitende Partikel, mit einem Anteil bei dem die Perkolationsschwelle überschritten ist, eingebettet sind, und am sensitiven Element in einem Abstand zueinander mindestens zwei für einen Anschluss an eine elektrische Spannungsquelle ausgebildete Kontaktpunkte vorhanden oder ausgebildet sind, so dass eine auftretende Dehnung am sensitiven Element durch Erfassung einer sich entsprechend verändernden elektrischen Spannung, eines elektrischen Stromes und/oder eines elektrischen Widerstandes mit einem Messgerät bestimmbar ist/sind.
2. Sensorelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass elektrisch leitende Partikel im Polymer mit einem Anteil und/oder einer Ausrichtung enthalten sind, bei dem/der die Perkolationsschwelle bei einer Dehnung des sensitiven Elements in mindestens eine Achsrichtung mit mindestens 10 % nicht unterschritten ist.
3. Sensorelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die eingebetteten elektrisch leitenden Partikel Kohlenstoffnanoröhren, Kohlenstoffnanohömer, Ruß, Graphit, Graphen und/oder ein Metall, insbesondere Partikel oder faserförmige Partikel aus Silber oder Gold sind.
4. Sensorelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Oberfläche des sensitiven Elements mit einer Schutzschicht überzogen ist, die aus einem elastisch verformbaren Polymer, bevorzugt demselben Polymer, wie das Poly- mer mit dem das sensitive Element gebildet ist und elektrisch nicht oder erheblich geringer elektrisch leitend ist, als das sensitive Element.
5. Sensorelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schutzschicht zumindest an Oberflächen, die nicht in berührendem Kontakt mit einem Substrat oder Bauteil stehen, an denen das sensitive Element fixiert ist, bevorzugt vollumfänglich von einer weiteren Schicht überdeckt ist, wobei die weitere Schicht elektrisch leitend und an Erdpotential anschließbar ist.
6. Sensorelement nach den zwei vorhergehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, dass in einer Schutzschicht und/oder einer weiteren Schicht zusätzliche Partikel enthalten sind, die eine absorbierende Wirkung, insbesondere für Gase und/oder Flüssigkeiten aufweisen.
7. Sensorelement nach den zwei vorhergehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, dass in einer weiteren Schicht elektrisch leitende Partikel, bevorzugt die gleichen Partikel wie im sensitiven Element enthalten sind.
8. Sensorelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das sensitive Element ein ebenes flächiges Gebilde ist.
9. Sensorelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Kontaktpunkte mittels spezifischem und lokal definiertem Abtrag an polymerem Werkstoff an der Oberfläche des sensitiven Elements und dadurch zumindest teilweises Freilegen elektrisch leitender Partikel ausgebildet sind.
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