WO2015059018A1 - Method and device for forming an organic functional layer structure - Google Patents

Method and device for forming an organic functional layer structure Download PDF

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WO2015059018A1
WO2015059018A1 PCT/EP2014/072172 EP2014072172W WO2015059018A1 WO 2015059018 A1 WO2015059018 A1 WO 2015059018A1 EP 2014072172 W EP2014072172 W EP 2014072172W WO 2015059018 A1 WO2015059018 A1 WO 2015059018A1
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WO
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coating
substrate
organic material
coated
dimensional surface
Prior art date
Application number
PCT/EP2014/072172
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German (de)
French (fr)
Inventor
Arne FLEISSNER
Thomas Wehlus
Daniel Riedel
Johannes Rosenberger
Original Assignee
Osram Oled Gmbh
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Filing date
Publication date
Application filed by Osram Oled Gmbh filed Critical Osram Oled Gmbh
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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Definitions

  • the invention relates to a method and an apparatus for forming an organic functional layer structure.
  • organic light emitting diodes organic light emitting diodes
  • OLED organic light emitting diode
  • organic solar cells are increasingly being put to practical use.
  • OLEDs are finding widespread use in the
  • General lighting for example as a surface light source.
  • An organic optoelectronic device may include an anode and a cathode having an organic functional one
  • functional layer system can be one or more
  • Emitter layers have, in which electromagnetic
  • CGL Charge generation pair
  • electron blockade layers also referred to as
  • Hole transport layer and one or more hole block layers, also referred to as electron transport layer (s) (ETL), for directing the flow of current.
  • s electron transport layer
  • 2.5D refers to the shape of OLEDs on flexible substrates, which can be bent to some extent, so that, for example, a curved OLED can be formed. A simply curved
  • a three-dimensional surface in this description is a contiguous surface that is in different
  • Partial areas having different surface normal, wherein at least two of the surface normals spanning a plane and wherein at least one of the surface normal intersects the plane in exactly one point.
  • a surface normal is a straight line that is on a surface or a portion of a
  • OLEDs on arbitrarily shaped substrates with real SD surfaces are so far largely unknown.
  • the reason for this is the generally desired homogeneous deposition of the thin, organic functional layers on non-planar substrates.
  • organic layer stacks are usually formed by physical layers
  • the function of the OLED to apply the organic functional layers in a precisely defined thickness to the substrate, since otherwise the performance of the OLED can be low. In particular, lateral would be
  • Luminance gradients and / or color shifts lead.
  • Three-dimensional OLEDs can be achieved, for example, by the
  • a cube may be flat
  • Edge regions in particular the edges of the 2D OLEDs, and only edged 3D bodies are possible, which can be assembled from planar surfaces.
  • a method for forming an organic functional layer structure is provided that enables an opto-electronic
  • the method may enable the optoelectronic component without non-luminous edges and / or, for example, without
  • the method can enable three-dimensional outer surfaces and / or three-dimensional inner surfaces of substrates for optoelectronic components with a coherent, three-dimensional, homogeneous, organic functional
  • an apparatus for forming an organic functional layer structure which enables an optoelectronic
  • the device may allow, for example, the optoelectronic component without non-luminous edges and / or, for example without limitation, to produce an angular geometric shape and / or the optoelectronic component not from flat two-dimensional
  • the method may allow homogeneously coating coherent, three-dimensional outer surfaces and / or three-dimensional inner surfaces of substrates for optoelectronic components with a coherent three-dimensional organic functional layer structure.
  • a method of forming an organic functional layer structure for an optoelectronic device is provided.
  • Substrate of the optoelectronic component applied.
  • the coating source and the substrate are moved relative to one another during the application of the three-dimensional surface with the first organic material such that the first organic material is subsequently applied to other portions of the three-dimensional surface to be coated over the substrate and thus the entire three-dimensional surface is coated.
  • Layer structure produce, for example a
  • three-dimensional OLED In contrast to a 3D OLED assembled from flat OLEDs, the non-luminous edges and the restriction to an edgy are eliminated Outer shape. Furthermore, three-dimensional outer surfaces and / or three-dimensional inner surfaces of substrates which form, for example, hollow bodies can be homogeneously coated. Furthermore, three-dimensional surfaces can be coated, which would lead to shadowing in a conventional coating process, for example in an evaporation chamber. The application of the three-dimensional
  • the first organic material can be applied directly to the substrate,
  • first electrode layer of the substrate For example, be applied directly to a first electrode layer of the substrate, or to an intermediate layer over the substrate or the first electrode layer.
  • Coating and / or application may be steaming or spraying.
  • the organic material can be applied in gaseous form and / or by means of a carrier gas, for example via a physical vapor deposition via a tube / nozzle system, or the organic material can be applied in a liquid state or dissolved in liquid.
  • the coating source can be moved and the substrate remains stationary and thus the substrate can be used as a reference point or that the substrate is moved and the
  • Coating source can be used as a reference point or that the substrate and the coating source are moved.
  • the coating source may be relatively small relative to the three-dimensional surface to be coated and form a punctiform coating source.
  • the distance between the coating source and the three-dimensional surface to be coated may be relatively be low compared to the three-dimensional surface.
  • the coating source may be a directed
  • Coating axis or cone axis may be, for example, a conical steam jet or a cone-shaped spray jet. Accordingly, the coating axis may be, for example, a steam jet axis or a spray cone axis.
  • the actuator unit can be designed, for example, in the manner of a spray painting robot.
  • the actuator unit may move the substrate in front of the coating source.
  • a local deviation of the thickness of the corresponding layer from an average of the thickness of the entire corresponding layer may be in a range of, for example, 0, 5% to 20%, for example from 2.5% to 10%, for example from 4.0% to 8.0%.
  • Luminance emitted may be in this description
  • mean a local deviation of the luminance of an average of the luminance in a range is for example from 0.5% to 20%, for example from 2.5% to 10%, for example from 4.0% to 8.0%.
  • the relative movement between the coating source and substrate has a first rotation about a first axis and a second rotation about at least a second axis.
  • Coating source or the substrate as a reference point the substrate or the coating source is rotated about the first axis and about the second axis. This allows up
  • the relative movement between the coating source and the substrate has a first rotation about at least a first axis and a displacement in at least two spatial dimensions. In other words, the coating source and the substrate are moved relative to each other so that when setting the
  • Coating source or the substrate as a reference point the substrate or the coating source is rotated about the first axis and in two spatial dimensions, ie in two different spatial directions, is moved. This allows in a simple and effective way, by means of
  • Coating source to coat the three-dimensional surface homogeneously.
  • Relative movement between the coating source and substrate on a shift in at least three spatial dimensions are moved relative to one another in such a way that, when the coating source or the substrate is used as reference point, the substrate or the coating source has three spatial dimensions, ie three different ones
  • the relative movement between the coating source and substrate has a first rotation about a first axis and a second rotation about at least a second axis and a displacement in at least one dimension.
  • Coating source or the substrate as a reference point the substrate or the coating source is rotated about the first axis and about the second axis and in a dimension, ie in a spatial direction, is moved. This allows a simple and effective way to homogeneously coat the three-dimensional surface by means of the coating source.
  • the relative movement between the coating source and substrate has a first rotation about a first axis and a second rotation about at least a second axis and a displacement in at least two spatial dimensions.
  • the coating source and the substrate become so relative
  • Substrate or the coating source is rotated about the first axis and about the second axis and in two spatial
  • Three-dimensional surface with the second organic material relative to each other moves so that subsequently applied to the second organic material on other portions over the surface to be coated, which are coated with the first organic material, so that over the entire surface to be coated three-dimensional surface, a layer of the second organic material is formed.
  • Layer can be a coherent, homogeneous, three-dimensional layer.
  • the two layers may be different sublayers of the organic functional layer structure.
  • Partial layers of the organic functional layer structure by means of the same or further organic materials are formed accordingly.
  • the layers can be
  • a hole injection layer in particular a hole injection layer, a
  • the second organic material and / or other organic materials may be applied with the same coating source or with other appropriate coating sources.
  • Optoelectronic device on a three-dimensional support of the substrate accordingly, ie by means of
  • Coating source and substrate are formed, in which case the organic functional layer structure is formed on the first electrode. Further, optionally, after forming the organic functional layer structure, a second electrode may be on the organic functional one
  • three-dimensional surface is always the same or at least approximately the same. That the distance
  • Coating cone such as a steam cone or a spray cone
  • a surface normal on the currently to be coated part of the three-dimensional surface always the same or at least approximately the same.
  • the coating source and the substrate are moved relative to each other such that the angle between the
  • Coating axis and the surface normal of the current coated portion is always the same or at least approximately the same.
  • the fact that the angle is approximately equal may mean, for example, that the angle is equal within the scope of a possible accuracy of the relative movement, which depends on the actuator unit used, and / or that the angle varies as much as possible so that the generated three-dimensional layer is nevertheless homogeneous. This contributes to the fact that the coating situation over the entire three-dimensional surface to be coated is identical and / or that the entire three-dimensional surface to be coated is uniformly coated and / or that
  • Thickness variations of the layer produced are excluded and / or that the luminance of the generated during operation
  • an apparatus for forming an organic functional layer structure for an optoelectronic device has a substrate holder for holding a substrate of the optoelectronic component, wherein the substrate has a three-dimensional surface to be coated.
  • a coating apparatus of the apparatus has a coating source for applying a first
  • Device is connected to the substrate holder and / or
  • Coating source mechanically coupled.
  • a control unit of the device is connected to the actuator unit and the
  • Coating device electrically coupled.
  • Control unit, the coating unit and the actuator unit are formed so that the coating unit in
  • the portion above the three-dimensional surface is coated with the first organic material and that the
  • Control unit, the coating source and the substrate during the application of the three-dimensional surface with the first organic material is moved relative to one another such that the coating source applies the first organic material to other subregions above the three-dimensional surface, for example by spraying or vapor deposition, and thus coating the entire three-dimensional surface to be coated.
  • the actuator can, for example, a
  • the coating source may be formed as a point-like or as a linear source.
  • the actuator unit and the control unit may be designed according to a robot.
  • the actuator unit can have an arm,
  • a robot arm which is controllable by means of the control unit.
  • the device has a memory unit connected to the control unit
  • the control unit is electrically coupled and stored on the information regarding the geometric shape of the three-dimensional surface.
  • the control unit is configured to generate the motion signal depending on the information.
  • the information can, for example, by means of an electronic interface or by means of a
  • the information can for example meadow
  • the information can be detected, for example, by means of a sensor device.
  • the sensor device can, for example by means of laser, the three-dimensional to be coated
  • Coating source on a panel The aperture can help influence a shape of the coating cone. This can help the coating of the
  • a corresponding optoelectronic component has the substrate, which has the first electrode from which a three-dimensional boundary surface of the substrate is formed.
  • the three-dimensional interface is shaped to have a first surface normal, a second surface normal and
  • the organic functional layer structure is formed on the three-dimensional interface formed by the first electrode and has a homogeneous thickness.
  • a second electrode is on the organic functional
  • the first electrode first forms the three-dimensional surface.
  • Three-dimensional surface forms after application of the first organic material or the organic functional layer structure, the three-dimensional interface between the first electrode and the layer of first organic material or the organic functional
  • the first electrode may be formed on the three-dimensional boundary surface or on the entire three-dimensional interface formed by the first electrode and / or beyond the three-dimensional boundary surface formed by the first electrode.
  • the optoelectronic component may, for example, have a three-dimensional luminous surface which has a homogeneous luminance over its entire surface.
  • the first and / or the second electrode may have a homogeneous or at least approximately homogeneous thickness.
  • the organic functional layer structure may include the first organic material having small molecules, and the fact that the first organic material has small molecules does not necessarily mean that the corresponding molecules are small. small molecules "in the context of organic conductors and / or organic semiconductors for organic functional layer structures for organic
  • Low molecular weight compounds consisting of molecules with few atoms and / or few molecule groups.
  • the small molecules are in contrast to strong in this regard
  • FIG. 1 shows a conventional optoelectronic component
  • Figure 2 is a detailed sectional view of a
  • FIG. 1 Figure 3 shows an embodiment of an optoelectronic
  • Figure 4 shows an embodiment of an optoelectronic
  • FIG. 5 shows the optoelectronic component according to FIG. 3 in a state during one exemplary embodiment of a method for forming an organic functional layer structure of
  • FIG. 4 shows the optoelectronic component according to FIG. 4 in a state during an embodiment of a method for forming an organic functional layer structure of FIG
  • optoelectronic component an embodiment of an optoelectronic component in a state during an embodiment of a method for forming an organic functional layer structure of the optoelectronic component; an embodiment of an optoelectronic component in a state during an embodiment of a method for forming an organic functional layer structure of the optoelectronic component;
  • Figure 9 shows an embodiment of a
  • FIG. 10 is a flowchart of an embodiment of a
  • An optoelectronic component may be an electromagnetic radiation emitting device or a
  • An electromagnetic radiation absorbing component may be, for example, a solar cell.
  • Electromagnetic radiation emitting device may be, for example, a semiconductor device emitting electromagnetic radiation and / or as a diode emitting organic electromagnetic radiation, as a transistor emitting electromagnetic radiation or as an organic electromagnetic radiation
  • the radiation may, for example, be light in the visible range, UV light and / or infrared light.
  • the radiation may, for example, be light in the visible range, UV light and / or infrared light.
  • the radiation may, for example, be light in the visible range, UV light and / or infrared light.
  • electromagnetic radiation emitting device for example, as an organic light-emitting diode
  • OLED Organic light emitting diode
  • OLED Organic light emitting diode
  • the light-emitting device may be in different
  • Embodiments be part of an integrated circuit. Furthermore, a plurality of light-emitting
  • FIG. 1 shows a conventional optoelectronic component 1.
  • the conventional optoelectronic component 1 has a carrier 12.
  • On the carrier 12 is a
  • the optoelectronic layer structure formed.
  • the optoelectronic layer structure has a first one
  • Electrode layer 14 having a first contact portion 16, a second contact portion 18 and a first
  • Electrode layer 14 may also be referred to as a substrate.
  • the substrate may include or be formed by the carrier 12 and the first electrode layer 14.
  • the substrate may be formed by a three-dimensional body, for example a solid body or a hollow body.
  • the second contact section 18 is connected to the first electrode 20 of the optoelectronic
  • the first electrode 20 is electrically insulated from the first contact portion 16 by means of an electrical insulation barrier 21.
  • an organic functional layer structure 22 of the optoelectronic layer structure is formed over the substrate.
  • the organic functional layer structure 22 may comprise, for example, one, two or more sub-layers, as explained in greater detail below with reference to FIG.
  • a second electrode 23 of the optoelectronic layer structure is formed, which is electrically coupled to the first contact section 16.
  • the first electrode 20 serves, for example, as the anode or cathode of the optoelectronic layer structure.
  • the second electrode 23 serves corresponding to the first electrode as the cathode or anode of the optoelectronic
  • an encapsulation layer 24 of the optoelectronic layer structure is formed, which encapsulates the optoelectronic layer structure.
  • Encapsulation layer 24 a first recess of the encapsulation layer 24 are formed over the first contact portion 16 and a second recess of the encapsulation layer 24 over the second contact portion 18. In the first recess of the encapsulation layer 24, a first contact region 32 is exposed and in the second recess of the
  • Encapsulation layer 24 a second contact region 34 is exposed.
  • the first contact region 32 serves for
  • the adhesive layer 36 comprises, for example, an adhesive, for example an adhesive,
  • a laminating adhesive for example, a laminating adhesive, a paint and / or a resin.
  • a resin for example, a laminating adhesive, a paint and / or a resin.
  • Cover body 38 is formed.
  • the adhesive layer 36 serves to attach the cover body 38 to the
  • the cover body 38 has
  • the cover body 38 may be formed substantially of glass and a thin metal layer, such as a
  • Metal foil and / or a graphite layer, such as a graphite laminate, have on the glass body.
  • a graphite layer such as a graphite laminate
  • Cover body 38 serves to protect the conventional
  • cover body 38 may serve for distributing and / or dissipating heat, which in the conventional optoelectronic
  • Component 1 is generated.
  • the glass of the cover body 38 can serve as protection against external influences and the metal layer of the cover body 38 can be used for distributing and / or discharging during operation of the conventional
  • the conventional optoelectronic component 1 can
  • Process step are exposed, for example by means of an ablation process, for example by means of
  • FIG. 2 shows a detailed sectional view of a
  • the conventional optoelectronic component 1 can be designed as a top emitter and / or bottom emitter. If the conventional optoelectronic component 1 is designed as a top emitter and bottom emitter, the conventional
  • optoelectronic component 1 as an optically transparent component, for example a transparent organic compound
  • the conventional optoelectronic component 1 has the carrier 12 and an active region above the carrier 12.
  • Contact section 16 and / or the second contact section 18 may be referred to, for example, as a substrate on which the organic functional layer structure 22 is formed, or form the corresponding substrate.
  • a first, not shown, barrier layer for example, a first
  • the active region comprises the first electrode 20, the organic functional layer structure 22 and the second electrode 23.
  • Above the active region is the encapsulation layer 24
  • the encapsulation layer 24 may serve as a second barrier layer, for example as a second barrier layer
  • the cover body 38 is arranged.
  • the covering body 38 can be arranged, for example, by means of an adhesive layer 36 on the encapsulation layer 24.
  • the active region is an electrically and / or optically active region.
  • the active region is, for example, the region of the conventional optoelectronic component 1 in which electrical current flows for operation of the conventional optoelectronic component 1 and / or in which electromagnetic radiation is generated or absorbed.
  • the organic functional layer structure 22 may include one, two or more functional layered structure units and one, two or more intermediate layers between them
  • the carrier 12 may be translucent or transparent.
  • the carrier 12 serves as a carrier element for electronic elements or layers, for example light-emitting elements.
  • the carrier 12 may be, for example, glass, quartz, and / or a semiconductor material or any other have suitable material or be formed from it.
  • the carrier 12 may be a plastic film or a
  • Laminate with one or more plastic films Laminate with one or more plastic films
  • the plastic may have one or more polyolefins. Furthermore, the plastic may have one or more polyolefins. Furthermore, the plastic may have one or more polyolefins. Furthermore, the plastic may have one or more polyolefins. Furthermore, the plastic may have one or more polyolefins. Furthermore, the plastic may have one or more polyolefins. Furthermore, the plastic may have one or more polyolefins. Furthermore, the plastic may have one or more polyolefins. Furthermore, the
  • the carrier 12 may comprise or be formed from a metal, for example copper, silver, gold, platinum, iron, for example a metal compound,
  • the carrier 12 may be formed as a metal foil or metal-coated foil.
  • the carrier 12 may be part of or form part of a mirror structure.
  • the carrier 12 may have a mechanically rigid region and / or a mechanically flexible region or be formed in such a way.
  • the first electrode 20 may be formed as an anode or as a cathode.
  • the first electrode 20 may be translucent or transparent.
  • the first electrode 20 comprises an electrically conductive material, for example metal and / or a conductive transparent oxide
  • TCO transparent conductive oxide
  • the first electrode 20 may comprise a layer stack of a combination of a layer of a metal on a layer of a TCO, or vice versa.
  • An example is a silver layer deposited on an indium tin oxide (ITO) layer (Ag on ITO) or ITO-Ag-ITO multilayers.
  • ITO indium tin oxide
  • metal for example, Ag, Pt, Au, Mg, Al, Ba, In, Ca, Sm or Li, as well as compounds, combinations or
  • Transparent conductive oxides are transparent, conductive materials, such as metal oxides, such as Zinc oxide, tin oxide, cadmium oxide, titanium oxide, indium oxide, or indium tin oxide (ITO).
  • metal oxides such as Zinc oxide, tin oxide, cadmium oxide, titanium oxide, indium oxide, or indium tin oxide (ITO).
  • binary metal oxygen compounds such as ZnO, SnO 2 or In 2 O 3
  • ternary metal oxygen compounds such as AlZnO, Zn 2 SnO 4, Cd SnO 3, Zn SnO 3, Mgln 204, GalnO 3, Zn 2 In 2 O 5 or In 4 Sn 3 O 12 or mixtures are also included
  • the first electrode 20 may comprise, as an alternative or in addition to the materials mentioned: networks of metallic nanowires and particles, for example of Ag, networks of carbon nanotubes, graphene particles and layers and / or networks of semiconducting nanowires.
  • the first electrode 20 may have or be formed from one of the following structures: a network of metallic nanowires, for example of Ag, which are combined with conductive polymers
  • the first electrode 20 may comprise electrically conductive polymers or transition metal oxides.
  • the first electrode 20 may, for example, have a layer thickness in a range of 10 nm to 500 nm,
  • nm for example from 25 nm to 250 nm, for example from 50 nm to 100 nm.
  • the first electrode 20 may be a first electrical
  • the first electrical potential may be provided by a power source (not shown), such as a power source or a power source
  • Electrode 20 are indirectly fed via the carrier 12.
  • the first electrical potential may be, for example, the Ground potential or another predetermined reference potential.
  • the organic functional layer structure 22 may include a hole injection layer, a hole transport layer, a
  • Emitter layer an electron transport layer and / or an electron injection layer.
  • Emitter layer, the electron transport layer and / or the electron injection layer have various organic materials or are formed therefrom.
  • the hole injection layer may be on or above the first
  • Electrode 20 may be formed.
  • the hole injection layer may comprise or be formed from one or more of the following materials: HAT-CN, Cu (I) pFBz, MoOx, WOx, VOx, ReOx, F4-TCNQ, NDP-2, NDP-9, Bi (III) pFBz , F16CuPc; NPB ( ⁇ , ⁇ '-bis (naphthalen-1-yl) -N, '-bis (phenyl) -benzidine); beta-NPB N, N'-bis (naphthalen-2-yl) -N, '-bis (phenyl) -benzidine); TPD (N, '- bis (3-methylphenyl) - N,' - bis (phenyl) benzidine); Spiro TPD (N, '- bis (3-methylphenyl) - N,' - bis (phenyl) benzidine); Spiro-NPB (N, 'bis (naphthalen-1-yl
  • the hole injection layer may have a layer thickness in a range of about 10 nm to about 1000 nm, for example in a range of about 30 nm to about 300 nm, for example in a range of about 50 nm to about 200 nm.
  • the hole injection layer On or above the hole injection layer the
  • Hole transport layer may be formed.
  • Hole transport layer may comprise or be formed from one or more of the following materials: NPB ( ⁇ , ⁇ '-bis (naphthalen-1-yl) -N, '-bis (phenyl) -benzidine); beta-NPB N, '-Bis (naphthalen-2-yl) -N,' -bis (phenyl) -benzidine); TPD
  • the hole transport layer may have a layer thickness in a range of about 5 nm to about 50 nm, for example in a range of about 10 nm to about 30 nm, for example about 20 nm.
  • the one or more emitter layers may be formed, for example with fluorescent and / or phosphorescent emitters.
  • the emitter layer may be organic polymers, organic
  • the emitter layer may comprise or be formed from one or more of the following materials: organic or organometallic
  • Iridium complexes such as blue phosphorescent FIrPic
  • the first emitter layer may have a layer thickness in a range of about 5 nm to about 50 nm
  • nm for example in a range of about 10 nm to about 30 nm, for example about 20 nm.
  • the emitter layer may have single-color or different-colored (for example blue and yellow or blue, green and red) emitting emitter materials.
  • the Emitter layer have multiple sub-layers that emit light of different colors. By mixing the different colors, the emission of light can result in a white color impression. Alternatively or additionally, it can be provided in the beam path of the primary emission generated by these layers
  • a white radiation At least partially absorbed and emitted a secondary radiation of different wavelengths, so that from a (not yet white) primary radiation by the combination of primary radiation and secondary radiation, a white
  • the electron transport layer may include or be formed from one or more of the following materials: NET-18; 2, 2 ', 2 "- (1, 3, 5-benzyltriyl) tris (1-phenyl-1H-benzimidazoles); 2- (4-biphenylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1, 3 , 4-oxadiazoles, 2, 9-dimethyl-4,7-diphenyl-l, 10-phenanthrolines (BCP), 8-hydroxyquinolinolato-lithium, 4- (naphthalen-1-yl) -3, 5-diphenyl-4H- l, 2, 4-triazoles; 1, 3-bis [2- (2,2'-bipyridine-6-yl) -1,3,4-oxadiazo-5-yl] benzene; 4,7-diphenyl-1 , 10-phenanthrolines (BPhen); 3- (4-biphenylyl) -4-phenyl-5
  • the electron transport layer may have a layer thickness
  • nm in a range of about 5 nm to about 50 nm, for example, in a range of about 10 nm to about 30 nm, for example about 20 nm.
  • Electron injection layer may be formed.
  • Electron injection layer may include or may be formed of one or more of the following materials: NDN-26, MgAg, Cs 2 CO 3, Cs 3 PO 4, Na, Ca, K, Mg, Cs, Li, LiF; 2, 2 ', 2 "- (1,3,5-benzene triyl) tris (1-phenyl-1-H-benzimidazoles); 2- (4-biphenylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1 , 3, 4-oxadiazoles, 2, 9-dimethyl-4,7-diphenyl-l, 10-phenanthrolines (BCP), 8-hydroxyquinolinolato-lithium, 4- (naphthalen-1-yl) -3, 5-diphenyl- 4H-1,2,4-triazoles; 1,3-bis [2- (2,2'-bipyridine-6-yl) -1,3,4-oxadiazo-5-yl] benzene; 4,7-diphenyl -1,10-
  • the electron injection layer may have a layer thickness in a range of about 5 nm to about 200 nm, for example in a range of about 20 nm to about 50 nm, for example about 30 nm.
  • organic functional layer structure 22 having two or more organic functional layer structure units
  • corresponding intermediate layers may be interposed between the organic functional layer structure units
  • Layered structure units may each be formed individually according to one embodiment of the above-described organic functional layered structure 22.
  • the intermediate layer may be formed as an intermediate electrode.
  • the intermediate electrode may be electrically connected to an external voltage source.
  • the external voltage source can be at the intermediate electrode
  • the intermediate electrode can also have no external electrical connection, for example by the intermediate electrode having a floating electrical potential.
  • the organic functional layer structure unit may, for example, have a layer thickness of at most approximately 3 ⁇ m, for example a layer thickness of at most approximately 1 ⁇ m, for example a layer thickness of approximately approximately 300 nm.
  • the conventional optoelectronic component 1 can optionally have further functional layers, for example arranged on or above the one or more
  • Electron transport layer The other functional
  • Layers can be, for example, internal or external coupling / decoupling structures that enhance the functionality and thus the efficiency of the conventional optoelectronic
  • Component 1 can further improve.
  • the second electrode 23 may be formed according to any one of the configurations of the first electrode 20, wherein the first electrode 20 and the second electrode 23 are the same or
  • the second electrode 23 may be formed as an anode or as a cathode.
  • the second electrode 23 may have a second electrical connection to which a second electrical potential can be applied.
  • the second electrical potential may be provided by the same or a different energy source as the first electrical potential.
  • the second electrical potential can be different from the first electrical potential.
  • the second electrical potential can be different from the first electrical potential.
  • Difference from the first electrical potential has a value in a range of about 1.5 V to about 20 V, for example, a value in a range of about 2.5 V to about 15 V, for example, a value in a range of about 3 V. to about 12 V.
  • the encapsulation layer 24 may also be referred to as
  • Thin-layer encapsulation may be referred to.
  • Encapsulation layer 24 may be translucent or
  • Then be formed transparent layer.
  • Encapsulation layer 24 forms a barrier to chemical contaminants or atmospheric agents, especially to water (moisture) and oxygen.
  • the encapsulation layer 24 is designed such that it can be damaged by substances which can damage the optoelectronic component, for example water,
  • Oxygen or solvent not or at most can be penetrated at very low levels.
  • Encapsulation layer 24 may be formed as a single layer, a layer stack, or a layered structure.
  • the encapsulation layer 24 may include or be formed from: alumina, zinc oxide, zirconia,
  • the encapsulation layer 24 may have a layer thickness of about 0.1 nm (one atomic layer) to about 1000 nm
  • the encapsulation layer 24 may comprise a high refractive index material, for example, one or more high refractive index materials, such as one
  • the first barrier layer on the support 12 corresponding to a configuration of
  • Encapsulation layer 24 may be formed.
  • the encapsulation layer 24 may be formed, for example, by a suitable deposition method, e.g. by atomic layer deposition (ALD), e.g. a plasma-assisted ALD method.
  • ALD atomic layer deposition
  • plasma-assisted ALD atomic layer deposition
  • PEALD Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition
  • CVD plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-assisted plasma-
  • PECVD Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
  • a coupling or decoupling layer for example as an external film (not shown), on the support 12 or as an internal coupling-out layer (not shown) in
  • the input / outcoupling layer may have a matrix and scattering centers distributed therein, wherein the average refractive index of the input / outcoupling layer is greater than the average refractive index of the layer from which the
  • one or more antireflection coatings may additionally be formed.
  • the adhesive layer 36 may include, for example, adhesive and / or paint, by means of which the cover body 38, for example, arranged on the encapsulation layer 24, for example glued, is.
  • the adhesive layer 36 may be transparent or translucent.
  • Adhesive layer 36 may, for example, comprise particles which scatter electromagnetic radiation, for example light-scattering particles. As a result, the adhesive layer 36 can act as a scattering layer and lead to an improvement in the color angle distortion and the coupling-out efficiency. As light-scattering particles, dielectric
  • Metal oxide for example, silicon oxide (SiO 2), zinc oxide (ZnO), zirconium oxide (ZrO 2), indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO), gallium oxide (Ga 2 Ox) aluminum oxide, or titanium oxide.
  • Other particles may also be suitable provided they have a refractive index that is different from the effective refractive index of the matrix of the adhesive layer 36
  • nanoparticles for example, air bubbles, acrylate, or glass bubbles.
  • metallic nanoparticles metals such as gold, silver, iron nanoparticles, or the like may be provided as light-scattering particles.
  • the adhesive layer 36 may have a layer thickness greater than 1 ym, for example, a layer thickness of several ym. In various embodiments, the adhesive may be a lamination adhesive. The adhesive layer 36 may have a refractive index that is less than the refractive index of the cover body 38. The adhesive layer 36 may include, for example, a
  • the adhesive layer 36 may also have a
  • high refractive adhesive for example, has high refractive, non-diffusing particles and has a coating thickness-averaged refractive index
  • the functional layer structure 22 for example in a range of about 1.6 to 2.5, for example from 1.7 to about 2.0.
  • the active area may be a so-called
  • Getter layer or getter structure i. a laterally structured getter layer (not shown) may be arranged.
  • the getter layer can be translucent, transparent or opaque.
  • the getter layer may include or be formed from a material that includes fabrics
  • a getter layer may include or be formed from a zeolite derivative.
  • the getter layer may have a layer thickness greater than 1 ym,
  • a layer thickness of several ym for example, a layer thickness of several ym.
  • the getter layer may comprise a lamination adhesive or in the
  • the covering body 38 can be formed, for example, by a glass body, a metal foil or a sealed plastic film covering body.
  • the cover body 38 can be formed, for example, by a glass body, a metal foil or a sealed plastic film covering body.
  • Component 1 may be arranged on the encapsulation layer 24 or the active region.
  • the cover body 38 can For example, have a refractive index (for example, at a wavelength of 633 nm), for example, 1.3 to 3, for example, from 1.4 to 2, for example from 1.5 to 1.8.
  • FIG. 3 shows an exemplary embodiment of an optoelectronic component in a state during a conventional method for producing the organic functional
  • the optoelectronic component 10 has a carrier 12.
  • the carrier 12 is formed in cross-section example, double T-shaped.
  • the carrier 12 may be formed, for example, rotationally symmetrical to an axis of symmetry 55.
  • the carrier 12 is held by a substrate holder 54 and / or is fixedly connected to the substrate holder 54.
  • the carrier 12 has a continuous three-dimensional surface 40 to be coated.
  • the carrier 12 has a surface 42 that is not to be coated.
  • the non-coating surface 42 is the substrate holder 54
  • the carrier 12 is directly physically coupled to the substrate holder 54 on its surface 42 which is not to be coated.
  • the substrate comprises the carrier 12 and may also comprise electrode layer 14, in particular the first electrode 20, the first contact section 16 and / or the second contact section 18.
  • the substrate may be formed, for example, in one piece or in several pieces.
  • the substrate may be a metal layer, a metal body, for example a hollow body or a solid body
  • the substrate has good electrical conductivity, additional formation of the electrode layer 14, in particular the first electrode 20, the first contact section 16 and / or the second contact section 18 can be dispensed with.
  • the three-dimensional surface 40 is thereby
  • each of these surface normal is a straight line which intersects the three-dimensional surface 40 in the corresponding portion at right angles, wherein at least two of the surface normal one
  • the first electrode layer 14 may be formed (not shown in FIG. 3), of which, in particular, the first electrode 20 is formed.
  • the carrier 12 shown in FIG. 3 may be representative of the substrate of the optoelectronic component 10. From a side facing away from the carrier 12 of the first electrode layer 14, for example, the first electrode 20, thus can be coated to be coated three-dimensional surface 40 of
  • Optoelectronic device 10 may be formed.
  • Layer structure 22 may, for example, a first
  • Reservoir 50 can thus serve as a coating source.
  • the molecules of the first organic material increase in a first direction 52 from the conventional one
  • the first organic material then deposits in several subregions of the coating to be coated
  • uncoated portions 44 for example, due to Shading of these uncoated regions 44 due to the three-dimensional shape of the substrate and in particular of the carrier 12.
  • the uncoated portions 44 are seen from the coating source in one or more blind spots.
  • organic functional layer structure 22 in particular the partial layers of the organic functional
  • Layer structure 22 one above the other, is formed a non-contiguous, several separate sub-regions, having organic functional layer structure 22.
  • Layer structure 22 one above the other, is formed a non-contiguous, several separate sub-regions, having organic functional layer structure 22.
  • Layer structure 22 is formed. Thus, that can be
  • Optoelectronic device 10 manufactured, inter alia, by means of the conventional method, do not provide a coherent three-dimensional luminous surface, the one
  • the substrate could now be rotated so that the
  • uncoated portions 44 are no longer shaded, and the conventional method could be performed over the uncoated portions 44. However, this would result in transition areas between the first coated areas and the following
  • coated areas would be double coated, and again, no coherent three-dimensional surface 40 would be homogeneously coated.
  • FIG. 4 shows an embodiment of an optoelectronic component 10 in a state during the conventional method of forming the organic functional ones
  • the optoelectronic component 10 in particular the
  • Component 10 for example, largely in the
  • Optoelectronic device 10 has an outer shape through which in the conventional method of the
  • the carrier 12 may be hemispherical, half-tubular or cup-shaped.
  • the carrier 12 may be formed, for example, rotationally symmetrical to the axis of symmetry 55.
  • Optoelectronic device 10 may by means of
  • the organic functional layer structure 22 is formed homogeneously.
  • Subareas 46 in which the three-dimensional surface 40 is aligned parallel, nearly parallel or at an acute angle to the first direction 52, a small first thickness on and in second portions 48, in which the first
  • Direction 52 to the three-dimensional surface 40 has an obtuse angle or perpendicular to this, a large second thickness.
  • the second thickness is greater than the first thickness.
  • three-dimensional surface 40 are formed.
  • FIG. 5 shows the optoelectronic component 10 according to FIG. 3 in a state during one embodiment of a method for forming the organic functional ones
  • the method may be performed, for example, by means of an embodiment of an apparatus for forming the organic functional layer structure 22.
  • Device comprises the substrate holder 54, an actuator unit 56, a coating device 90 and a control unit 58.
  • the actuator unit 56 may be formed according to a robot, for example.
  • the actuator unit 56 may comprise an arm 57, for example a robot arm, which is coupled to a coating head 60.
  • Coating head 60 has a coating source 62.
  • the coating head 60 may, for example, have a joint by means of which the coating source 62 may be rotatably arranged about a first axis 70.
  • the actuator unit 56 is electrically and / or with the control unit 58
  • control unit 58 can in the
  • Actuator 56 may be integrated or disposed externally of this and be electrically coupled thereto.
  • the coating device 90 which is explained in more detail below with reference to FIG. 9, has the coating head 60. Coating device 90 may optionally include or be coupled to actuator unit 56. The coating device 90 may be electrically and / or physically coupled to the control unit 58.
  • Control unit 58 may be in the coating device 90th be integrated or disposed externally of this and be electrically coupled thereto.
  • the control unit 58 has a memory unit 59.
  • the control unit 58 is suitable for generating one and / or multiple motion signals and for transmitting the
  • Motion signals to the actuator 56 cause actuators, not shown, the actuator unit 56 to move the coating head 60 and / or the coating source 62 in accordance with the movement signals.
  • the control unit 58 is also suitable for generating one or more coating signals and for sending the coating signals to the coating device 90 and / or to the
  • Actuator 56 The coating signals cause actuators, not shown, the actuator unit 56 a promotion of a first organic material towards the
  • Allow coating source 62 and the first organic material is applied from the coating source toward the surface to be coated 40 on the surface 40 to be coated.
  • the first organic material is applied in the form of a first coating cone 64 towards the surface 40 to be coated.
  • the first organic material is in
  • the coating head 60 for example a spray head, conveyed, for example by means of a pump
  • Actuator unit 56 and from the coating source 62,
  • a spray source for example, a spray source
  • the first organic material may be in
  • Bedampfungskopf be promoted, for example by means of a shutter and / or valve of the actuator 56, and the coating source 62, for example a
  • Bedampfungsetti, off on the surface to be coated 40th be steamed. This process can be carried out, for example, according to OVPD and / or vaporjet deposition.
  • the actuator unit 56 with its actuators allows the
  • Coating three-dimensional surface 40 are moved so that a distance between the coating source 62 and the three-dimensional surface 40 to be coated is always the same or at least approximately the same.
  • the coating source 62 can be moved over all partial regions of the three-dimensional surface 40 to be coated in such a way that a coating axis of the first
  • Coating cone 64 always includes the same angle with the surface normals of the subregions of the coated to be coated three-dimensional surface 40.
  • the coating axis and the coating axis are the same angle with the surface normals of the subregions of the coated to be coated three-dimensional surface 40.
  • Coating cone 64 may be, for example, a steam cone or a spray cone. Accordingly, the
  • Coating axis for example, be a steam cone axis of the steam cone or a Sprühkegelachse the spray cone.
  • the substrate holder 54 may be coupled to the actuator unit 56.
  • the actuator unit 56 can then, with the aid of the actuators, not shown, move the substrate, in particular the carrier 12, past the coating source 62 in such a way that the entire coating to be coated
  • three-dimensional surface 40 can be coated by means of the coating head and the coating source 62.
  • the movement of the substrate during the Coating be such that the coating source 62 always has the same or at least approximately the same distance from the three-dimensional surface 40 during coating.
  • the coating source 62 always has the same or at least approximately the same distance from the three-dimensional surface 40 during coating.
  • Surface 40 includes. For example, the
  • Coating axis and the surface normals should always be aligned parallel to each other. In other words, the coating axis can always be perpendicular to the current too
  • the coating of the three-dimensional surface 40 thus takes place during a relative movement between the
  • Coating source 62 and the substrate may be performed by fixing the position of the substrate and moving the coating source 62, fixing the coating source 62 and moving the substrate, or moving the substrate and the coating source 62.
  • the relative movement is explained below on the basis of the situations in which the substrate, in particular the carrier 12, is arranged stationary and the coating source 62 is moved. It should be noted, however, that similar or the same or corresponding movements can also be achieved by fixing the coating source 62 and moving the substrate or by moving the substrate and the coating source 62. In other words, the substrate is used as a reference point below
  • the coating source 62 may be fixed and the substrate may be moved.
  • the entire three-dimensional surface 40 to be coated can be made, for example, with the first organic material coated by rotating the coating source 62 about the first axis 70 and / or about a second axis 72.
  • the second axis 72 is not parallel to the first axis 70.
  • the second axis 72 may not be an axis of symmetry and / or the substrate may not be symmetrical.
  • the entire three-dimensional surface 40 to be coated can be coated by displacing the coating source 62 in one, two or three spatial dimensions.
  • the three spatial dimensions are, for example, the three spatial dimensions of a three-dimensional space, the spatial dimensions being shown, for example, by the X-axis, the Y-axis and the Z-axis of one shown in FIG.
  • Coordinate system can be marked.
  • the three-dimensional surface 40 shown in FIG. 5 can be completely homogeneous
  • Material or optionally further organic materials are deposited over the three-dimensional surface to be coated. In this way, the coherent
  • three-dimensional surface 40 with a contiguous homogeneous organic functional layer structure 22 are coated.
  • Electrode 20 are formed on the support 12 or the second electrode 23 above the organic functional layer structure 22, in which case, however, the corresponding to the first and second electrode 20, 23 materials must be applied to the respective surface to be coated.
  • Electrodes 20, 23 of the optoelectronic component 10 may be formed mirror-like and / or non-transparent.
  • the top electrode that is to say the second electrode 23
  • the top electrode can be of one
  • opaque electrode of the OLED can with a
  • transparent first electrode 20 of the OLED more complex requirements are made.
  • This can e.g. consist of a thin (and thus semi-transparent) metal layer.
  • the metal layer can be formed, for example, by a method analogous to that described with respect to the organic functional layer structure 22, but this is associated with high thermal requirements for the source systems.
  • solution processable electrodes may be used.
  • silver nanowires are the first Electrode 20 on the three-dimensional surface 40 of the
  • FIG. 6 shows the optoelectronic shown in FIG.
  • Device 10 in a state during the process for forming the organic functional layer structure 22.
  • the method for example, according to the method explained with reference to Figure 5 and / or for example by means of the device explained with reference to Figure 5 for
  • Forming the organic functional layer structure 22 are performed.
  • the method and / or the device to be coated are performed.
  • the organic functional layer structure 22 are coated.
  • the organic functional layer structure 22 may be a
  • the organic materials and, accordingly, the organic functional layer structure 22 are applied to outer surfaces of the corresponding optoelectronic components 10.
  • the organic materials or the organic functional layer structure 22 can also be applied to inner surfaces of the
  • optoelectronic component 10 are applied, provided that the corresponding substrate forms a hollow body.
  • 7 shows an exemplary embodiment of an optoelectronic component 10 in a state during the method for forming the organic functional layer structure 22.
  • the substrate in particular the carrier 12, forms
  • the coating source 62 may be moved relative to the substrate such that the coating source 62 is in the cavity formed by the substrate.
  • the substrate source 62 may then be passed over the surface 40 to be coated by rotations about the first axis 70, the second axis 72 and / or displacements in the first, second and / or third dimension such that the entire surface to be coated
  • three-dimensional surface 40 is coated contiguously and homogeneously with the organic materials and thereby the homogeneous organic functional layer structure 22 is produced.
  • FIG. 8 shows an exemplary embodiment of an optoelectronic component in a state during the method for
  • Forming the organic functional layer structure 22 The method can be carried out, for example, according to the method explained with reference to Figure 7.
  • the method can be carried out, for example, according to the method explained with reference to Figure 7.
  • Substrate for example, can correspond almost to the substrate explained with reference to FIG. 7, except that the spherical shape or cylindrical shape over the hemisphere or the half cylinder
  • the coating head 60 may comprise a further joint which permits rotation of the
  • Coating source 62 allows a third axis 76.
  • the third axis of rotation 76 may, for example, be parallel or antiparallel to the first axis of rotation 70.
  • Coating device 90 is connected via the arm 57 with the
  • the coating device 90 has the coating head 60, a reservoir 92, a line system 94 and optionally a pumping system.
  • Line system 94 may be one, two or more, for example Have lines, pipes, valves and / or shutter.
  • the lines or pipes of the line system 94 can
  • the reservoir 92 may be, for example, a simple reservoir 92 in which only the first organic material is stored. in the
  • the reservoir 92 may however also be adapted to bring the first organic material into a state in which it can be conveyed via the conduit system 94 to the coating source 62 and can be applied out of the coating source 62.
  • the first organic material may be in
  • Coating source 62 are promoted.
  • the first organic material may be delivered to the coating source 62 by means of a carrier gas.
  • the first organic material may include, for example
  • Mixture of substances may contain one or more of the organic functional substances mentioned above
  • Layer structure 22 have.
  • the various substances of the substance mixture can already be found in the
  • the coating device 90, the coating head 60 and / or the line system 94 can accordingly be designed for feeding the substance mixture or the substances of the substance mixture. Further, a plurality of reservoir 92 may be provided accordingly.
  • the coating device 90 may, for example, have a diaphragm 80.
  • the aperture 80 has a recess 82 through which the first organic material can be applied. For example, the first organic occurs
  • the coating cone 64 has, for example, the first coating axis 78.
  • the shape of the first coating cone 64 may, for example, by means of the aperture 80 toward a shape of a second
  • Coating cones 84 are changed. The second
  • Coating cone 84 may have the same coating axis 78 as the first coating cone 64 or other coating axis.
  • the organic material may also be on one of
  • the aperture 80 can contribute to beam shaping, which may be advantageous for controlling the coating of the three-dimensional surface 40, but with a
  • Aperture 80 can be deposited.
  • the coating apparatus 90, the apparatus or method for forming the organic functional layer structure 22 can readily be applied to the spraying of second organic
  • the source of organic materials can be realized in various ways.
  • the organic material in the reservoir 92 may be thermally evaporated and passed through the heated line system 94 to the coating source 62, which then
  • Coating source 62 by means of an inert carrier gas.
  • FIG. 10 shows a flow chart of an embodiment of a method for forming the organic functional layer structure 22.
  • the first organic material may be prepared.
  • the first organic material in a liquid or gaseous
  • the first organic material may be mixed with, for example, a carrier liquid or a carrier gas. If the first organic material is a substance mixture, in step S2 the substances of the substance mixture can be prepared and / or mixed with one another.
  • coated three-dimensional surface 40 with the first organic material for example, sprayed or vapor-deposited. If the first organic material is a
  • step S4 the substances of the mixture can be mixed together in step S4, for example, directly before application to be coated
  • the coating source 62 is moved relative to the substrate in three spatial dimensions, for example as explained above
  • the steps S4 and S6 are simultaneously performed over a long period of time such that the entire three-dimensional surface 40 to be coated is homogeneously coated with the first organic material.
  • Step S8 a second organic material may be prepared. Step S8 may
  • steps S10 and S12 corresponding to steps S4 and S6, the entire three-dimensional surface 40 can then be coated with the second organic material. Furthermore, further sub-steps for
  • organic functional layer structure 22 is completely formed.
  • Devices for forming the organic functional layer structure 22 are any three-dimensional
  • Barrier layers and / or encapsulation layers and / or adhesive layers are provided with corresponding methods and / or apparatus for forming the corresponding layers.

Abstract

In various exemplary embodiments, a method for forming an organic functional layer structure (22) for an optoelectronic component (10) is provided. The method involves applying a first organic material of the organic functional layer structure (22) by means of a coating source (62) to a partial region of a three-dimensional surface (40) to be coated above a substrate (12) of the optoelectronic component (10). The coating source (62) and the substrate (12) are moved during the application of the three-dimensional surface (40) with the first organic material relative to one another such that the first organic material is subsequently applied to other partial regions of the surface (40) to be coated above the substrate (12), and the entire three-dimensional surface (40) is thus coated.

Description

Beschreibung description
Verfahren und Vorrichtung zum Ausbilden einer organischen funktionellen Schichtenstruktur Method and apparatus for forming an organic functional layer structure
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Ausbilden einer organischen funktionellen Schichtenstruktur. The invention relates to a method and an apparatus for forming an organic functional layer structure.
Optoelektronische Bauelemente auf organischer Basis, Organic-based optoelectronic components,
beispielsweise organische Leuchtdioden (organic light For example, organic light emitting diodes (organic light
emitting diode - OLED) oder organische Solarzellen, kommen zunehmend zur praktischen Anwendung. Beispielsweise finden OLEDs zunehmend verbreitete Anwendung in der emitting diode (OLED) or organic solar cells are increasingly being put to practical use. For example, OLEDs are finding widespread use in the
Allgemeinbeleuchtung, beispielsweise als Flächenlichtquelle.  General lighting, for example as a surface light source.
Ein organisches optoelektronisches Bauelement kann eine Anode und eine Kathode mit einem organischen funktionellen An organic optoelectronic device may include an anode and a cathode having an organic functional one
Schichtensystem dazwischen aufweisen. Das organische Have layer system in between. The organic
funktionelle Schichtensystem kann eine oder mehrere functional layer system can be one or more
Emitterschichten aufweisen, in denen elektromagnetische Emitter layers have, in which electromagnetic
Strahlung erzeugt wird, eine Ladungsträgerpaar-Erzeugungs- Schichtenstruktur aus jeweils zwei oder mehr  Radiation is generated, a charge carrier pair generation layer structure of two or more
Ladungsträgerpaar-Erzeugungs-Schichten („Charge generating layer", CGL) zur Ladungsträgerpaarerzeugung, sowie eine oder mehrere Elektronenblockadeschichten, auch bezeichnet alsCharge generation pair (CGL) charge carrier pair generation layers, and one or more electron blockade layers, also referred to as
Lochtransportschicht (en) („hole transport layer" -HTL) , und eine oder mehrerer Lochblockadeschichten, auch bezeichnet als Elektronentransportschicht (en) („electron transport layer" - ETL) , um den Stromfluss zu richten. Hole transport layer (HT), and one or more hole block layers, also referred to as electron transport layer (s) (ETL), for directing the flow of current.
Organische optoelektronische Bauelemente sind derzeit Organic optoelectronic devices are currently
praktisch nur in 2D, also zweidimensional und/oder flach, und in 2,5D verfügbar. Mit 2,5D bezeichnet man die Form von OLEDs auf flexiblen Substraten, die bis zu einem gewissen Maß gebogen werden können, so dass sich beispielsweise eine gekrümmte OLED formen lässt. Eine einfach gekrümmte practically only in 2D, so two-dimensional and / or flat, and available in 2.5D. 2.5D refers to the shape of OLEDs on flexible substrates, which can be bent to some extent, so that, for example, a curved OLED can be formed. A simply curved
Oberfläche wird in dieser Beschreibung somit nicht als dreidimensionale Oberfläche bezeichnet, sondern als 2,5- dimensionale Oberfläche. Surface is thus not in this description as three-dimensional surface, but as a 2.5-dimensional surface.
Eine dreidimensionale Oberfläche ist in dieser Beschreibung eine zusammenhängende Oberfläche, die in unterschiedlichenA three-dimensional surface in this description is a contiguous surface that is in different
Teilbereichen unterschiedliche Flächennormale aufweist, wobei mindestens zwei der Flächennormalen eine Ebene aufspannen und wobei mindestens eine der Flächennormalen die Ebene in genau einem Punkt schneidet. Eine Flächennormale ist eine Gerade, die auf einer Oberfläche oder einem Teilbereich einer Partial areas having different surface normal, wherein at least two of the surface normals spanning a plane and wherein at least one of the surface normal intersects the plane in exactly one point. A surface normal is a straight line that is on a surface or a portion of a
Oberfläche senkrecht steht. Surface is vertical.
OLEDs auf beliebig geformten Substraten mit echten SD- Oberflächen sind bislang weitgehend unbekannt. Grund dafür ist die in der Regel gewünschte homogene Abscheidung der dünnen, organischen funktionellen Schichten auf nicht-ebenen Substraten. Für leistungsstarke OLEDs werden in der Regel organische Schichtstapel durch physikalische OLEDs on arbitrarily shaped substrates with real SD surfaces are so far largely unknown. The reason for this is the generally desired homogeneous deposition of the thin, organic functional layers on non-planar substrates. For high-performance OLEDs, organic layer stacks are usually formed by physical layers
Dampfphasenabscheidung aufgebracht. Dies sind sogenannte Line-of-sight-Verfahren, die für flache (und ggf. für in Maßen gekrümmte) Substrate vollflächige Beschichtungen erlauben. Für die Beschichtung der Oberfläche eines komplexen 3D-Objekts sind die existierenden Verfahren jedoch Applied vapor deposition. These are so-called line-of-sight processes that allow full surface coatings for flat (and possibly curved in moderation) substrates. However, existing methods are for coating the surface of a complex 3D object
ungeeignet, da aufgrund von Abschattungen unbeschichtete Bereiche verbleiben. unsuitable, because due to shadowing uncoated areas remain.
Weiterhin ist es für die Funktion der OLED wünschenswert, die organischen Funktionsschichten in genau definierter Dicke auf das Substrat aufzubringen, da ansonsten die Performanz der OLED gering sein kann. Insbesondere würden laterale Furthermore, it is desirable for the function of the OLED to apply the organic functional layers in a precisely defined thickness to the substrate, since otherwise the performance of the OLED can be low. In particular, lateral would be
Schichtdickengradienten zu unerwünschten Layer thickness gradient to unwanted
Leuchtdichtegradienten und/oder Farbverschiebungen führen.  Luminance gradients and / or color shifts lead.
Bestehende Verfahren eignen sich daher selbst dann nicht zur Herstellung von OLEDs auf 3D-Oberflächen, wenn das Substrat so geformt wird, dass eine komplette Abschattung von Existing methods are therefore not suitable even for the production of OLEDs on 3D surfaces, if the substrate is shaped so that a complete shading of
Teilbereichen ausgeschlossen ist, da auf Grund der Is excluded because of the
unterschiedlichen Ausrichtung verschiedener Oberflächenbereiche relativ zur Beschichtungsquelle sich extreme Schichtdickenvariationen ergeben würden. different orientation different Surface areas relative to the coating source would result in extreme layer thickness variations.
Dreidimensionale OLEDs können beispielsweise durch das Three-dimensional OLEDs can be achieved, for example, by the
Zusammenfügen mehrerer 2D OLEDs zu 3D-Körpern gefertigt werden. Beispielsweise kann ein Würfel aus flachen Merging multiple 2D OLEDs to 3D bodies are made. For example, a cube may be flat
quadratischen 2D-OLEDs hergestellt werden. Dabei verbleiben an den Kanten des 3D-Körpers jedoch nicht leuchtende square 2D OLEDs are produced. However, at the edges of the 3D body remain non-luminous
Randbereiche, insbesondere die Ränder der 2D-OLEDs, und es sind nur kantige 3D-Körper möglich, die aus planaren Flächen zusammengefügt werden können. Edge regions, in particular the edges of the 2D OLEDs, and only edged 3D bodies are possible, which can be assembled from planar surfaces.
In verschiedenen Ausführungsformen wird ein Verfahren zum Ausbilden einer organischen funktionellen Schichtenstruktur bereitgestellt, das ermöglicht, ein optoelektronisches In various embodiments, a method for forming an organic functional layer structure is provided that enables an opto-electronic
Bauelement mit einer zusammenhängenden, homogenen Component with a coherent, homogeneous
dreidimensionalen organischen funktionellen Schichtenstruktur herzustellen. Alternativ oder zusätzlich kann das Verfahren beispielsweise ermöglichen, das optoelektronische Bauelement ohne nicht-leuchtende Kanten und/oder beispielsweise ohneproduce three-dimensional organic functional layer structure. Alternatively or additionally, for example, the method may enable the optoelectronic component without non-luminous edges and / or, for example, without
Beschränkung auf eine kantige geometrische Form herzustellen und/oder das optoelektronische Bauelement nicht aus flachen, zweidimensionalen Teilbauelementen zusammenzusetzten und/oder das optoelektronische Bauelement einfach und/oder Restriction to produce an edgy geometric shape and / or the optoelectronic component not zusammenzusetzten from flat, two-dimensional sub-components and / or the optoelectronic device simple and / or
kostengünstig herzustellen. Alternativ oder zusätzlich kann das Verfahren ermöglichen, dreidimensionale Außenflächen und/oder dreidimensional Innenflächen von Substraten für optoelektronische Bauelemente mit einer zusammenhängenden, dreidimensionalen, homogenen, organischen funktionellen inexpensive to produce. Alternatively or additionally, the method can enable three-dimensional outer surfaces and / or three-dimensional inner surfaces of substrates for optoelectronic components with a coherent, three-dimensional, homogeneous, organic functional
Schichtenstruktur zu beschichten. Coat layer structure.
In verschiedenen Ausführungsformen wird eine Vorrichtung zum Ausbilden einer organischen funktionellen Schichtenstruktur bereitgestellt, die ermöglicht, ein optoelektronisches In various embodiments, an apparatus for forming an organic functional layer structure is provided which enables an optoelectronic
Bauelement mit einer zusammenhängenden, homogenen, Component with a coherent, homogeneous,
dreidimensionalen, organischen funktionellen three-dimensional, organic functional
Schichtenstruktur herzustellen. Alternativ oder zusätzlich kann die Vorrichtung beispielsweise ermöglichen, das optoelektronische Bauelement ohne nicht-leuchtende Kanten und/oder beispielsweise ohne Beschränkung auf eine kantige geometrische Form herzustellen und/oder das optoelektronische Bauelement nicht aus flachen zweidimensionalen Layer structure produce. Alternatively or additionally, the device may allow, for example, the optoelectronic component without non-luminous edges and / or, for example without limitation, to produce an angular geometric shape and / or the optoelectronic component not from flat two-dimensional
Teilbauelementen zusammenzusetzen und/oder das Compose partial components and / or the
optoelektronische Bauelement einfach und/oder kostengünstig herzustellen. Alternativ oder zusätzlich kann das Verfahren ermöglichen, zusammenhängende, dreidimensionale Außenflächen und/oder dreidimensionale Innenflächen von Substraten für optoelektronische Bauelement mit einer zusammenhängenden dreidimensionalen organischen funktionellen Schichtenstruktur homogen zu beschichten. Optoelectronic device simple and / or inexpensive to manufacture. Alternatively or additionally, the method may allow homogeneously coating coherent, three-dimensional outer surfaces and / or three-dimensional inner surfaces of substrates for optoelectronic components with a coherent three-dimensional organic functional layer structure.
In verschiedenen Ausführungsformen wird ein Verfahren zum Ausbilden einer organischen funktionellen Schichtenstruktur für ein optoelektronisches Bauelement bereitgestellt. Bei dem Verfahren wird ein erstes organisches Material der In various embodiments, a method of forming an organic functional layer structure for an optoelectronic device is provided. In the method, a first organic material of the
organischen funktionellen Schichtenstruktur mittels einer Beschichtungsquelle auf einen Teilbereich einer zu organic functional layer structure by means of a coating source to a portion of a too
beschichtenden dreidimensionalen Oberfläche über einem Coating three-dimensional surface over one
Substrat des optoelektronischen Bauelements aufgebracht. Die Beschichtungsquelle und das Substrat werden während des Aufbringens der dreidimensionalen Oberfläche mit dem ersten organischen Material relativ zueinander so bewegt, dass das erste organische Material nachfolgend auf andere Teilbereiche der zu beschichtenden dreidimensionalen Oberfläche über dem Substrat aufgebracht wird und so die gesamte dreidimensionale Oberfläche beschichtet wird. Die Relativbewegung zwischen dem Substrat und der  Substrate of the optoelectronic component applied. The coating source and the substrate are moved relative to one another during the application of the three-dimensional surface with the first organic material such that the first organic material is subsequently applied to other portions of the three-dimensional surface to be coated over the substrate and thus the entire three-dimensional surface is coated. The relative movement between the substrate and the
Beschichtungsquelle derart, dass die dreidimensionale  Coating source such that the three-dimensional
Oberfläche beschichtet wird, ermöglicht, ein Surface is coated, allows one
optoelektronisches Bauelement mit einer zusammenhängenden, dreidimensionalen, homogenen, organischen funktionellen Optoelectronic component with a coherent, three-dimensional, homogeneous, organic functional
Schichtenstruktur herzustellen, beispielsweise eine Layer structure produce, for example a
dreidimensionale OLED. Im Gegensatz zu einer aus flachen OLEDs zusammengefügten 3D-OLED entfallen die nichtleuchtenden Kanten und die Einschränkung auf eine kantige Außenform. Ferner können dreidimensionale Außenflächen und/oder dreidimensionale Innenflächen von Substraten, die beispielsweise Hohlkörper bilden, homogen beschichtet werden. Ferner können dreidimensionale Oberflächen beschichtet werden, die in einem herkömmlichen Beschichtungsprozess , beispielsweise in einer Verdampfungskammer zu Abschattungen führen würden. Das Aufbringen der dreidimensionalen three-dimensional OLED. In contrast to a 3D OLED assembled from flat OLEDs, the non-luminous edges and the restriction to an edgy are eliminated Outer shape. Furthermore, three-dimensional outer surfaces and / or three-dimensional inner surfaces of substrates which form, for example, hollow bodies can be homogeneously coated. Furthermore, three-dimensional surfaces can be coated, which would lead to shadowing in a conventional coating process, for example in an evaporation chamber. The application of the three-dimensional
Oberfläche mit dem ersten organischen Material kann Surface with the first organic material can
beispielsweise kontinuierlich während der Relativbewegung zwischen Beschichtungsquelle und Substrat erfolgen. Das erste organische Material kann direkt auf das Substrat, for example, continuously during the relative movement between the coating source and the substrate. The first organic material can be applied directly to the substrate,
beispielsweise direkt auf eine erste Elektrodenschicht des Substrats, aufgebracht werden oder auf eine Zwischenschicht über dem Substrat bzw. der ersten Elektrodenschicht. For example, be applied directly to a first electrode layer of the substrate, or to an intermediate layer over the substrate or the first electrode layer.
Bei dem Beschichten und/oder dem Aufbringen kann es sich um ein Bedampfen oder um ein Besprühen handeln. Beispielsweise kann das organische Material gasförmig und/oder mit Hilfe eines Trägergases beispielsweise über eine physikalische Gasphasenabscheidung über ein Rohr/Düsen-System aufgebracht werden oder das organische Material kann in flüssigem Zustand oder in Flüssigkeit gelöst aufgebracht werden. Coating and / or application may be steaming or spraying. For example, the organic material can be applied in gaseous form and / or by means of a carrier gas, for example via a physical vapor deposition via a tube / nozzle system, or the organic material can be applied in a liquid state or dissolved in liquid.
Dass das Substrat und die Beschichtungsquelle relativ That the substrate and the coating source are relative
zueinander bewegt werden, kann beispielsweise bedeuten, dass die Beschichtungsquelle bewegt wird und das Substrat ortsfest bleibt und somit das Substrat als Bezugspunkt verwendet werden kann oder dass das Substrat bewegt wird und die can be moved to each other, for example, mean that the coating source is moved and the substrate remains stationary and thus the substrate can be used as a reference point or that the substrate is moved and the
Beschichtungsquelle ortsfest bleibt und somit die Coating source remains stationary and thus the
Beschichtungsquelle als Bezugspunkt verwendet werden kann oder dass das Substrat und die Beschichtungsquelle bewegt werden. Beispielsweise wird die zu beschichtende Coating source can be used as a reference point or that the substrate and the coating source are moved. For example, the to be coated
dreidimensionale Oberfläche des Substrats mit der three-dimensional surface of the substrate with the
Beschichtungsquelle abgefahren. Die Beschichtungsquelle kann relativ zu der zu beschichtenden dreidimensionalen Oberfläche relativ klein sein und eine punktförmige Beschichtungsquelle bilden. Der Abstand zwischen der Beschichtungsquelle und der zu beschichtenden dreidimensionalen Oberfläche kann relativ gering sein verglichen mit der dreidimensionalen Oberfläche. Die Beschichtungsquelle kann eine gerichtete Departing coating source. The coating source may be relatively small relative to the three-dimensional surface to be coated and form a punctiform coating source. The distance between the coating source and the three-dimensional surface to be coated may be relatively be low compared to the three-dimensional surface. The coating source may be a directed
Abstrahlcharakteristik aufweisen, beispielsweise einen Have radiation, for example, a
Beschichtungskegel mit einer wohldefinierten Coating cone with a well-defined
Beschichtungsachse bzw. Kegelachse. Der Beschichtungskegel kann beispielsweise ein kegelförmiger Dampfstrahl oder ein kegelförmiger Sprühstrahl sein. Dementsprechend kann die Beschichtungsachse beispielsweise eine DampfStrahlachse oder eine Sprühkegelachse sein. Coating axis or cone axis. The coating cone may be, for example, a conical steam jet or a cone-shaped spray jet. Accordingly, the coating axis may be, for example, a steam jet axis or a spray cone axis.
Das Bewegen der Beschichtungsquelle und/oder des Substrats derart, dass die Relativbewegung entsteht, kann Moving the coating source and / or the substrate such that the relative movement is formed can
beispielsweise mittels einer Aktoreinheit, beispielsweise mittels eines Roboters, erfolgen. Die Aktoreinheit kann beispielsweise nach Art eines Sprühlackierungsroboters ausgebildet sein. Alternativ dazu kann die Aktoreinheit das Substrat vor der Beschichtungsquelle bewegen. For example, by means of an actuator, for example by means of a robot, done. The actuator unit can be designed, for example, in the manner of a spray painting robot. Alternatively, the actuator unit may move the substrate in front of the coating source.
Dass die erzeugte dreidimensionale Schicht von erstem That the generated three-dimensional layer of the first
organischen Material oder die entsprechende dreidimensionale organische funktionelle Schichtenstruktur homogen ist oder eine homogene Dicke aufweist, kann in dieser Beschreibung beispielsweise bedeuten, dass eine lokale Abweichung der Dicke der entsprechenden Schicht von einem Mittelwert der Dicke der gesamten entsprechenden Schicht in einem Bereich liegt beispielsweise von 0,5% bis 20%, beispielsweise von 2,5% bis 10%, beispielsweise von 4,0% bis 8,0%. For example, in this specification, a local deviation of the thickness of the corresponding layer from an average of the thickness of the entire corresponding layer may be in a range of, for example, 0, 5% to 20%, for example from 2.5% to 10%, for example from 4.0% to 8.0%.
Dass die erzeugte dreidimensionale organische funktionelle Schichtenstruktur im Betrieb Licht mit einer homogenen That the generated three-dimensional organic functional layer structure in operation light with a homogeneous
Leuchtdichte emittiert, kann in dieser Beschreibung Luminance emitted may be in this description
beispielsweise bedeuten, dass eine lokale Abweichung der Leuchtdichte von einem Mittelwert der Leuchtdichte in einem Bereich liegt beispielsweise von 0,5% bis 20%, beispielsweise von 2,5% bis 10%, beispielsweise von 4,0% bis 8,0%. For example, mean a local deviation of the luminance of an average of the luminance in a range is for example from 0.5% to 20%, for example from 2.5% to 10%, for example from 4.0% to 8.0%.
Bei verschiedenen Ausführungsformen weist die Relativbewegung zwischen Beschichtungsquelle und Substrat eine erste Drehung um eine erste Achse und eine zweite Drehung um mindestens eine zweite Achse auf. In anderen Worten werden die In various embodiments, the relative movement between the coating source and substrate has a first rotation about a first axis and a second rotation about at least a second axis. In other words, the
Beschichtungsquelle und das Substrat derart relativ Coating source and the substrate so relatively
zueinander bewegt, dass bei einem Festlegen der moved to each other that when setting the
Beschichtungsquelle oder des Substrats als Bezugspunkt das Substrat bzw. die Beschichtungsquelle um die erste Achse und um die zweite Achse gedreht wird. Dies ermöglicht auf Coating source or the substrate as a reference point, the substrate or the coating source is rotated about the first axis and about the second axis. This allows up
einfache und effektive Weise, mittels der Beschichtungsquelle die dreidimensionale Oberfläche homogen zu beschichten. simple and effective way to homogeneously coat the three-dimensional surface by means of the coating source.
Bei der Drehung um eine Achse ist grundsätzlich sowohl eine Drehung um weniger als 360°, um genau 360° oder um mehr als 360° möglich. Bei verschiedenen Ausführungsformen weist die Relativbewegung zwischen Beschichtungsquelle und Substrat eine erste Drehung um mindestens eine erste Achse und eine Verschiebung in mindestens zwei räumlichen Dimensionen auf. In anderen Worten werden die Beschichtungsquelle und das Substrat derart relativ zueinander bewegt, dass bei einem Festlegen der When turning around an axis, basically a rotation of less than 360 °, exactly 360 ° or more than 360 ° is possible. In various embodiments, the relative movement between the coating source and the substrate has a first rotation about at least a first axis and a displacement in at least two spatial dimensions. In other words, the coating source and the substrate are moved relative to each other so that when setting the
Beschichtungsquelle oder des Substrats als Bezugspunkt das Substrat bzw. die Beschichtungsquelle um die erste Achse gedreht wird und in zwei räumlichen Dimensionen, also in zwei unterschiedliche Raumrichtungen, verschoben wird. Dies ermöglicht auf einfache und effektive Weise, mittels der Coating source or the substrate as a reference point, the substrate or the coating source is rotated about the first axis and in two spatial dimensions, ie in two different spatial directions, is moved. This allows in a simple and effective way, by means of
Beschichtungsquelle die dreidimensionale Oberfläche homogen zu beschichten. Coating source to coat the three-dimensional surface homogeneously.
Bei verschiedenen Ausführungsformen weist eine In various embodiments, a
Relativbewegung zwischen Beschichtungsquelle und Substrat eine Verschiebung in mindestens drei räumlichen Dimensionen auf. In anderen Worten werden die Beschichtungsquelle und das Substrat derart relativ zueinander bewegt, dass bei einem Festlegen der Beschichtungsquelle oder des Substrats als Bezugspunkt das Substrat bzw. die Beschichtungsquelle in drei räumlichen Dimensionen, also in drei unterschiedliche Relative movement between the coating source and substrate on a shift in at least three spatial dimensions. In other words, the coating source and the substrate are moved relative to one another in such a way that, when the coating source or the substrate is used as reference point, the substrate or the coating source has three spatial dimensions, ie three different ones
Raumrichtungen, verschoben wird. Dies ermöglicht auf einfache und effektive Weise, mittels der Beschichtungsquelle die dreidimensionale Oberfläche homogen zu beschichten. Spatial directions, is moved. This allows for easy and effective way of homogeneously coating the three-dimensional surface by means of the coating source.
Bei verschiedenen Ausführungsformen weist die Relativbewegung zwischen Beschichtungsquelle und Substrat eine erste Drehung um eine erste Achse und eine zweite Drehung um mindestens eine zweite Achse und eine Verschiebung in mindestens eine Dimension auf. In anderen Worten werden die In various embodiments, the relative movement between the coating source and substrate has a first rotation about a first axis and a second rotation about at least a second axis and a displacement in at least one dimension. In other words, the
Beschichtungsquelle und das Substrat derart relativ Coating source and the substrate so relatively
zueinander bewegt, dass bei einem Festlegen der moved to each other that when setting the
Beschichtungsquelle oder des Substrats als Bezugspunkt das Substrat bzw. die Beschichtungsquelle um die erste Achse und um die zweite Achse gedreht wird und in eine Dimension, also in eine Raumrichtung, verschoben wird. Dies ermöglicht auf einfache und effektive Weise, mittels der Beschichtungsquelle die dreidimensionale Oberfläche homogen zu beschichten.  Coating source or the substrate as a reference point, the substrate or the coating source is rotated about the first axis and about the second axis and in a dimension, ie in a spatial direction, is moved. This allows a simple and effective way to homogeneously coat the three-dimensional surface by means of the coating source.
Bei verschiedenen Ausführungsformen weist die Relativbewegung zwischen Beschichtungsquelle und Substrat eine erste Drehung um eine erste Achse und eine zweite Drehung um mindestens eine zweite Achse und eine Verschiebung in mindestens zwei räumlichen Dimensionen auf. In anderen Worten werden die Beschichtungsquelle und das Substrat derart relativ In various embodiments, the relative movement between the coating source and substrate has a first rotation about a first axis and a second rotation about at least a second axis and a displacement in at least two spatial dimensions. In other words, the coating source and the substrate become so relative
zueinander bewegt, dass bei einem Festlegen der moved to each other that when setting the
Beschichtungsquelle oder des Substrats als Bezugspunkt dasCoating source or the substrate as a reference point that
Substrat bzw. die Beschichtungsquelle um die erste Achse und um die zweite Achse gedreht wird und in zwei räumlichen Substrate or the coating source is rotated about the first axis and about the second axis and in two spatial
Dimensionen, also in zwei unterschiedliche Raumrichtungen, verschoben wird. Dies ermöglicht auf einfache und effektive Weise, mittels der Beschichtungsquelle die dreidimensionale Oberfläche homogen zu beschichten. Dimensions, ie in two different spatial directions, is moved. This allows a simple and effective way to homogeneously coat the three-dimensional surface by means of the coating source.
Bei verschiedenen Ausführungsformen wird ein zweites In various embodiments, a second
organisches Material der organischen funktionellen organic material of organic functional
Schichtenstruktur mittels der Beschichtungsquelle auf einen Teilbereich über der zu beschichtenden dreidimensionalen Oberfläche, der mit dem ersten organischen Material Layer structure by means of the coating source on a portion above the surface to be coated three-dimensional surface, with the first organic material
beschichtet ist, aufgebracht. Die Beschichtungsquelle und das Substrat werden während des Beschichtens der coated, applied. The coating source and the Substrate during coating of the
dreidimensionalen Oberfläche mit dem zweiten organischen Material relativ zueinander so bewegt, dass nachfolgend das zweite organische Material auf andere Teilbereiche über der zu beschichtenden Oberfläche, die mit dem ersten organischen Material beschichtet sind, so aufgebracht wird, dass über der gesamten zu beschichtenden dreidimensionalen Oberfläche eine Schicht des zweiten organischen Materials ausgebildet wird. Dies ermöglicht über der ersten Schicht aus dem ersten organischen Material eine zweite Schicht aus dem zweiten organischen Material auszubilden, wobei auch die zweite Three-dimensional surface with the second organic material relative to each other moves so that subsequently applied to the second organic material on other portions over the surface to be coated, which are coated with the first organic material, so that over the entire surface to be coated three-dimensional surface, a layer of the second organic material is formed. This makes it possible to form a second layer of the second organic material over the first layer of the first organic material, wherein the second
Schicht eine zusammenhängende, homogene, dreidimensionale Schicht sein kann. Beispielsweise können die beiden Schichten verschiedene Teilschichten der organischen funktionellen Schichtenstruktur sein. Ferner können noch weitere Layer can be a coherent, homogeneous, three-dimensional layer. For example, the two layers may be different sublayers of the organic functional layer structure. Furthermore, even more
Teilschichten der organischen funktionellen Schichtenstruktur mittels gleicher oder weiterer organischer Materialien entsprechend ausgebildet werden. Die Schichten können  Partial layers of the organic functional layer structure by means of the same or further organic materials are formed accordingly. The layers can
insbesondere eine Lochinjektionsschicht, eine in particular a hole injection layer, a
Lochtransportschicht, eine Emitterschicht, eine Hole transport layer, an emitter layer, a
Elektronentransportschicht und/oder eine Electron transport layer and / or a
Elektroneninjektionsschicht aufweisen. Das zweite organische Material und/oder weitere organische Materialien können mit derselben Beschichtungsquelle oder mit anderen entsprechenden Beschichtungsquellen aufgebracht werden.  Having electron injection layer. The second organic material and / or other organic materials may be applied with the same coating source or with other appropriate coating sources.
Optional kann vor dem Aufbringen des ersten organischen Optionally, before applying the first organic
Materials eine erste Elektrode des Substrats des Material a first electrode of the substrate of
optoelektronischen Bauelements auf einem dreidimensionalen Träger des Substrats entsprechend, also mittels Optoelectronic device on a three-dimensional support of the substrate accordingly, ie by means of
Beschichtungsquelle und Relativbewegung zwischen Coating source and relative movement between
Beschichtungsquelle und Substrat, ausgebildet werden, wobei dann die organische funktionelle Schichtenstruktur auf der ersten Elektrode ausgebildet wird. Ferner kann optional nach dem Ausbilden der organischen funktionellen Schichtenstruktur eine zweite Elektrode auf der organischen funktionellen Coating source and substrate are formed, in which case the organic functional layer structure is formed on the first electrode. Further, optionally, after forming the organic functional layer structure, a second electrode may be on the organic functional one
Schichtenstruktur entsprechend, also mittels Beschichtungsquelle und Relativbewegung zwischen Beschichtungsquelle und Substrat, ausgebildet werden. Layer structure accordingly, so by means of Coating source and relative movement between the coating source and the substrate to be formed.
Bei verschiedenen Ausführungsformen ist während des In various embodiments, during the
Beschichtens des Substrats mit dem ersten organischen Coating the substrate with the first organic
Material und/oder dem zweiten organischen Material ein Material and / or the second organic material
Abstand zwischen der Beschichtungsquelle und der zu Distance between the coating source and the to
beschichtenden Oberfläche immer gleich oder zumindest immer näherungsweise gleich. In anderen Worten werden die coating surface always the same or at least approximately the same. In other words, the
Beschichtungsquelle und das Substrat derart relativ Coating source and the substrate so relatively
zueinander bewegt, dass der Abstand zwischen der moved to each other, that the distance between the
Beschichtungsquelle und der zu beschichtenden Coating source and to be coated
dreidimensionalen Oberfläche immer gleich oder zumindest immer näherungsweise gleich ist. Dass der Abstand three-dimensional surface is always the same or at least approximately the same. That the distance
näherungsweise gleich ist, kann beispielsweise bedeuten, dass der Abstand im Rahmen einer möglichen Genauigkeit der is approximately equal, may mean, for example, that the distance within a possible accuracy of the
Relativbewegung, die von der verwendeten Aktoreinheit Relative movement, that of the actuator unit used
abhängt, gleich ist und/oder dass der Abstand maximal so variiert, dass die erzeugte dreidimensionale Schicht dennoch homogen ist und/oder dass die Leuchtdichte des erzeugten Lichts dennoch homogen ist. Dies trägt dazu bei, dass die Beschichtungssituation über die gesamte zu beschichtende dreidimensionale Oberfläche identisch ist und/oder dass die gesamte zu beschichtende dreidimensionale Oberfläche depends, is the same and / or that the distance varies so much that the generated three-dimensional layer is still homogeneous and / or that the luminance of the generated light is still homogeneous. This contributes to the fact that the coating situation over the entire three-dimensional surface to be coated is identical and / or that the entire three-dimensional surface to be coated
gleichmäßig beschichtet wird und/oder dass Dickenvariationen der erzeugten Schicht ausgeschlossen sind. is uniformly coated and / or that variations in thickness of the layer produced are excluded.
Bei verschiedenen Ausführungsformen ist während des In various embodiments, during the
Beschichtens des Substrats mit dem ersten Material ein Winkel zwischen einer Beschichtungsachse, beispielsweise eine Coating the substrate with the first material an angle between a coating axis, for example a
Dampfkegelachse oder eine Sprühkegelachse, eines Steam cone axis or a spray cone axis, one
Beschichtungskegels , beispielsweise eines Dampfkegels oder eines Sprühkegels, und einer Flächennormalen auf dem aktuell zu beschichtenden Teil der dreidimensionalen Oberfläche immer gleich oder zumindest immer näherungsweise gleich. In anderen Worten werden die Beschichtungsquelle und das Substrat derart relativ zueinander bewegt, dass der Winkel zwischen der Coating cone, such as a steam cone or a spray cone, and a surface normal on the currently to be coated part of the three-dimensional surface always the same or at least approximately the same. In other words, the coating source and the substrate are moved relative to each other such that the angle between the
Beschichtungsachse und der Flächennormalen des aktuell beschichteten Teilbereichs immer gleich oder zumindest immer näherungsweise gleich ist. Dass der Winkel näherungsweise gleich ist, kann beispielsweise bedeuten, dass der Winkel im Rahmen einer möglichen Genauigkeit der Relativbewegung, die von der verwendeten Aktoreinheit abhängt, gleich ist und/oder dass der Winkel maximal so variiert, dass die erzeugte dreidimensionale Schicht dennoch homogen ist. Dies trägt dazu bei, dass die Beschichtungssituation über die gesamte zu beschichtende dreidimensionale Oberfläche identisch ist und/oder dass die gesamte zu beschichtende dreidimensionale Oberfläche gleichmäßig beschichtet wird und/oder dass Coating axis and the surface normal of the current coated portion is always the same or at least approximately the same. The fact that the angle is approximately equal may mean, for example, that the angle is equal within the scope of a possible accuracy of the relative movement, which depends on the actuator unit used, and / or that the angle varies as much as possible so that the generated three-dimensional layer is nevertheless homogeneous. This contributes to the fact that the coating situation over the entire three-dimensional surface to be coated is identical and / or that the entire three-dimensional surface to be coated is uniformly coated and / or that
Dickenvariationen der erzeugten Schicht ausgeschlossen sind und/oder dass die Leuchtdichte des im Betrieb erzeugten Thickness variations of the layer produced are excluded and / or that the luminance of the generated during operation
Lichts homogen ist. Light is homogeneous.
In verschiedenen Ausführungsformen wird eine Vorrichtung zum Ausbilden einer organischen funktionellen Schichtenstruktur für ein optoelektronisches Bauelement bereitgestellt. Die Vorrichtung weist einen Substrathalter zum Halten eines Substrats des optoelektronischen Bauelements auf, wobei das Substrat eine zu beschichtende dreidimensionale Oberfläche aufweist. Eine Beschichtungsvorrichtung der Vorrichtung hat eine Beschichtungsquelle zum Aufbringen eines ersten In various embodiments, an apparatus for forming an organic functional layer structure for an optoelectronic device is provided. The device has a substrate holder for holding a substrate of the optoelectronic component, wherein the substrate has a three-dimensional surface to be coated. A coating apparatus of the apparatus has a coating source for applying a first
organischen Materials der organischen funktionellen organic functional organic material
Schichtenstruktur auf einen Teilbereich über der Layer structure on a section above the
dreidimensionalen Oberfläche. Eine Aktoreinheit der three-dimensional surface. An actuator unit of
Vorrichtung ist mit dem Substrathalter und/oder der Device is connected to the substrate holder and / or
Beschichtungsquelle mechanisch gekoppelt. Eine Steuereinheit der Vorrichtung ist mit der Aktoreinheit und der Coating source mechanically coupled. A control unit of the device is connected to the actuator unit and the
Beschichtungsvorrichtung elektrisch gekoppelt. Die Coating device electrically coupled. The
Steuereinheit, die Beschichtungseinheit und die Aktoreinheit sind so ausgebildet, dass die Beschichtungseinheit in  Control unit, the coating unit and the actuator unit are formed so that the coating unit in
Reaktion auf ein Beschichtungssignal der Steuereinheit den Teilbereich über der dreidimensionalen Oberfläche mit dem ersten organischen Material beschichtet und dass die In response to a coating signal from the control unit, the portion above the three-dimensional surface is coated with the first organic material and that the
Aktoreinheit in Reaktion auf ein Bewegungssignal der Actuator in response to a motion signal of
Steuereinheit die Beschichtungsquelle und das Substrat während des Aufbringens der dreidimensionalen Oberfläche mit dem ersten organischen Material relativ zueinander so bewegt, dass die Beschichtungsquelle das erste organische Material auf andere Teilbereiche über der dreidimensionalen Oberfläche aufbringt, beispielsweise aufsprüht oder aufdampft, und so die gesamte zu beschichtende dreidimensionale Oberfläche beschichtet. Die Aktoreinheit kann beispielsweise ein Control unit, the coating source and the substrate during the application of the three-dimensional surface with the first organic material is moved relative to one another such that the coating source applies the first organic material to other subregions above the three-dimensional surface, for example by spraying or vapor deposition, and thus coating the entire three-dimensional surface to be coated. The actuator can, for example, a
Shutter, ein Ventil, eine Pumpe und/oder einen oder mehrere elektromotorische Antriebe aufweisen. Die Beschichtungsquelle kann als punktförmige oder als linienförmige Quelle ausgebildet sein. Die Aktoreinheit und die Steuereinheit können gemäß einem Roboter ausgebildet sein. Beispielsweise kann die Aktoreinheit einen Arm, Shutter, a valve, a pump and / or one or more electric motor drives. The coating source may be formed as a point-like or as a linear source. The actuator unit and the control unit may be designed according to a robot. For example, the actuator unit can have an arm,
beispielsweise einen Roboterarm, aufweisen, der mit Hilfe der Steuereinheit steuerbar ist. For example, a robot arm, which is controllable by means of the control unit.
Bei verschiedenen Ausführungsformen weist die Vorrichtung eine Speichereinheit auf, die mit der Steuereinheit In various embodiments, the device has a memory unit connected to the control unit
elektrisch gekoppelt ist und auf der Informationen bezüglich der geometrischen Form der dreidimensionalen Oberfläche gespeichert sind. Die Steuereinheit ist so ausgebildet, dass sie das Bewegungssignal abhängig von den Informationen erzeugt. Die Informationen können beispielsweise mittels einer elektronischen Schnittstelle oder mittels einer is electrically coupled and stored on the information regarding the geometric shape of the three-dimensional surface. The control unit is configured to generate the motion signal depending on the information. The information can, for example, by means of an electronic interface or by means of a
Benutzerschnittstelle in die Speichereinheit eingegeben werden. Die Informationen können dazu beispielswiese User interface into the memory unit. The information can for example meadow
vorgegeben und/oder bekannt sein. Alternativ dazu können die Informationen beispielsweise mittels einer Sensorvorrichtung erfasst werden. Die Sensorvorrichtung kann beispielsweise mittels Lasers die zu beschichtende dreidimensionale be predetermined and / or known. Alternatively, the information can be detected, for example, by means of a sensor device. The sensor device can, for example by means of laser, the three-dimensional to be coated
Oberfläche abtasten und so die Informationen erhalten.  Scan surface and get the information.
Bei verschiedenen Ausführungsformen weist die In various embodiments, the
Beschichtungsquelle eine Blende auf. Die Blende kann dazu beitragen, eine Form des Beschichtungskegels zu beeinflussen. Dies kann dazu beitragen die Beschichtung der Coating source on a panel. The aperture can help influence a shape of the coating cone. This can help the coating of the
dreidimensionalen Oberfläche vorteilhaft zu kontrollieren. Ein entsprechendes optoelektronisches Bauelement weist das Substrat auf, das die erste Elektrode aufweist, von der eine dreidimensionale Grenzfläche des Substrats gebildet ist. Die dreidimensionale Grenzfläche ist so geformt, dass sie eine erste Flächennormale, eine zweite Flächennormale und Three-dimensional surface to control advantageous. A corresponding optoelectronic component has the substrate, which has the first electrode from which a three-dimensional boundary surface of the substrate is formed. The three-dimensional interface is shaped to have a first surface normal, a second surface normal and
mindestens eine dritte Flächennormale aufweist. Die erste und die zweite Flächennormale spannen eine Ebene auf. Die dritte Flächennormale schneidet die Ebene in genau einem Punkt. Die organische funktionelle Schichtenstruktur ist auf der von der ersten Elektrode gebildeten dreidimensionalen Grenzfläche ausgebildet und weist eine homogene Dicke auf. Eine zweite Elektrode ist auf der organischen funktionellen has at least a third surface normal. The first and second surface normals span a plane. The third surface normal cuts the plane in exactly one point. The organic functional layer structure is formed on the three-dimensional interface formed by the first electrode and has a homogeneous thickness. A second electrode is on the organic functional
Schichtenstruktur ausgebildet. Während des Verfahrens zum Herstellen des optoelektronischen Bauelements, beispielsweise zu Beginn des Verfahrens zum Ausbilden der organischen funktionellen Schichtenstruktur, bildet die erste Elektrode zunächst die dreidimensionale Oberfläche. Diese Layer structure formed. During the method for producing the optoelectronic component, for example at the beginning of the method for forming the organic functional layer structure, the first electrode first forms the three-dimensional surface. These
dreidimensionale Oberfläche bildet nach Aufbringen des ersten organischen Materials oder der organischen funktionellen Schichtenstruktur die dreidimensionale Grenzfläche zwischen der ersten Elektrode und der Schicht aus erstem organischen Material bzw. der organischen funktionellen Three-dimensional surface forms after application of the first organic material or the organic functional layer structure, the three-dimensional interface between the first electrode and the layer of first organic material or the organic functional
Schichtenstruktur. Die organische funktionelle Layer structure. The organic functional
Schichtenstruktur kann beispielsweise auf lediglich einen Teil der von der ersten Elektrode gebildeten Layer structure, for example, on only a part of the first electrode formed by the
dreidimensionalen Grenzfläche oder auf der gesamten von der ersten Elektrode gebildeten dreidimensionalen Grenzfläche ausgebildet sein und/oder über die von der ersten Elektrode gebildete dreidimensionale Grenzfläche hinausgehen. be formed on the three-dimensional boundary surface or on the entire three-dimensional interface formed by the first electrode and / or beyond the three-dimensional boundary surface formed by the first electrode.
Das optoelektronische Bauelement kann während des Betriebs des optoelektronischen Bauelements beispielsweise eine dreidimensionale Leuchtfläche aufweisen, die über ihre gesamte Fläche eine homogene Leuchtdichte aufweist. During the operation of the optoelectronic component, the optoelectronic component may, for example, have a three-dimensional luminous surface which has a homogeneous luminance over its entire surface.
Die erste und/oder die zweite Elektrode können eine homogene oder zumindest näherungsweise homogene Dicke aufweisen. Die organische funktionelle Schichtenstruktur kann das erste organische Material aufweisen, das organische kleine Moleküle (engl, „small molecules") aufweist. Dass das erste organische Material kleine Moleküle aufweist, bedeutet nicht zwingend, dass die entsprechenden Moleküle klein sind. Vielmehr steht der Begriff „kleine Moleküle" im Zusammenhang mit organischen Leitern und/oder organischen Halbleitern für organische funktionelle Schichtenstrukturen für organische The first and / or the second electrode may have a homogeneous or at least approximately homogeneous thickness. The organic functional layer structure may include the first organic material having small molecules, and the fact that the first organic material has small molecules does not necessarily mean that the corresponding molecules are small. small molecules "in the context of organic conductors and / or organic semiconductors for organic functional layer structures for organic
niedermolekulare Verbindungen, die aus Molekülen mit wenigen Atomen und/oder wenigen Molekülgruppen bestehen. Die kleinen Moleküle stehen diesbezüglich im Gegensatz zu stark Low molecular weight compounds consisting of molecules with few atoms and / or few molecule groups. The small molecules are in contrast to strong in this regard
vernetzten und/oder großen Molekülketten und/oder Polymeren. crosslinked and / or large molecular chains and / or polymers.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert. Embodiments of the invention are illustrated in the figures and are explained in more detail below.
Es zeigen: Show it:
Figur 1 ein herkömmliches optoelektronisches Bauelement; FIG. 1 shows a conventional optoelectronic component;
Figur 2 eine detaillierte Schnittdarstellung einer Figure 2 is a detailed sectional view of a
Schichtenstruktur des herkömmlichen  Layer structure of the conventional
optoelektronischen Bauelements gemäß Figur 1 ; Figur 3 ein Ausführungsbeispiel eines optoelektronischen  optoelectronic component according to FIG. 1; Figure 3 shows an embodiment of an optoelectronic
Bauelements in einem Zustand während eines herkömmlichen Verfahrens zum Ausbilden einer organischen funktionellen Schichtenstruktur des optoelektronischen Bauelements;  Device in a state during a conventional method for forming an organic functional layer structure of the optoelectronic device;
Figur 4 ein Ausführungsbeispiel eines optoelektronischen Figure 4 shows an embodiment of an optoelectronic
Bauelements in einem Zustand während eines herkömmlichen Verfahrens zum Ausbilden einer organischen funktionellen Schichtenstruktur des optoelektronischen Bauelements;  Device in a state during a conventional method for forming an organic functional layer structure of the optoelectronic device;
Figur 5 das optoelektronische Bauelement gemäß Figur 3 in einem Zustand während eines Ausführungsbeispiels eines Verfahrens zum Ausbilden einer organischen funktionellen Schichtenstruktur des FIG. 5 shows the optoelectronic component according to FIG. 3 in a state during one exemplary embodiment of a method for forming an organic functional layer structure of
optoelektronischen Bauelements; das optoelektronische Bauelement gemäß Figur 4 in einem Zustand während eines Ausführungsbeispiels eines Verfahrens zum Ausbilden einer organischen funktionellen Schichtenstruktur des  optoelectronic component; 4 shows the optoelectronic component according to FIG. 4 in a state during an embodiment of a method for forming an organic functional layer structure of FIG
optoelektronischen Bauelements; ein Ausführungsbeispiel eines optoelektronischen Bauelements in einem Zustand während eines Ausführungsbeispiels eines Verfahrens zum Ausbilden einer organischen funktionellen Schichtenstruktur des optoelektronischen Bauelements; ein Ausführungsbeispiel eines optoelektronischen Bauelements in einem Zustand während eines Ausführungsbeispiels eines Verfahrens zum Ausbilden einer organischen funktionellen Schichtenstruktur des optoelektronischen Bauelements;  optoelectronic component; an embodiment of an optoelectronic component in a state during an embodiment of a method for forming an organic functional layer structure of the optoelectronic component; an embodiment of an optoelectronic component in a state during an embodiment of a method for forming an organic functional layer structure of the optoelectronic component;
Figur 9 ein Ausführungsbeispiel einer Figure 9 shows an embodiment of a
Beschichtungs orrichtung;  Coating device;
Figur 10 ein Ablaufdiagramm eines Ausführungsbeispiels eines FIG. 10 is a flowchart of an embodiment of a
Verfahrens zum Ausbilden einer organischen funktionellen Schichtenstruktur eines  Method for forming an organic functional layer structure of a
optoelektronischen Bauelements.  optoelectronic component.
In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser Beschreibung bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsbeispiele gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben", „unten", „vorne", „hinten", „vorderes", „hinteres", usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur (en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsbeispielen in einer Anzahl In the following detailed description, reference is made to the accompanying drawings, which form a part of this specification, and in which is shown by way of illustration specific embodiments in which the invention may be practiced. In this regard, directional terminology such as "top", "bottom", "front", "back", "front", "rear", etc. is used with reference to the orientation of the described figure (s). There Components of embodiments in number
verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsbeispiele benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen Ausführungsbeispiele miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert . different orientations can be positioned, the directional terminology is illustrative and is in no way limiting. It should be understood that other embodiments may be utilized and structural or logical changes may be made without departing from the scope of the present invention. It should be understood that the features of the various embodiments described herein may be combined with each other unless specifically stated otherwise. The following detailed description is therefore not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is defined by the appended claims.
Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe In the context of this description, the terms
"verbunden", "angeschlossen" sowie "gekoppelt" verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung, eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist. "connected", "connected" and "coupled" used to describe both a direct and indirect connection, a direct or indirect connection and a direct or indirect coupling. In the figures, identical or similar elements are provided with identical reference numerals, as appropriate.
Ein optoelektronisches Bauelement kann ein elektromagnetische Strahlung emittierendes Bauelement oder ein An optoelectronic component may be an electromagnetic radiation emitting device or a
elektromagnetische Strahlung absorbierendes Bauelement sein. Ein elektromagnetische Strahlung absorbierendes Bauelement kann beispielsweise eine Solarzelle sein. Ein be electromagnetic radiation absorbing component. An electromagnetic radiation absorbing component may be, for example, a solar cell. One
elektromagnetische Strahlung emittierendes Bauelement kann beispielsweise ein elektromagnetische Strahlung emittierendes Halbleiter-Bauelement sein und/oder als eine organische elektromagnetische Strahlung emittierende Diode, als ein elektromagnetische Strahlung emittierender Transistor oder als ein organischer elektromagnetische Strahlung Electromagnetic radiation emitting device may be, for example, a semiconductor device emitting electromagnetic radiation and / or as a diode emitting organic electromagnetic radiation, as a transistor emitting electromagnetic radiation or as an organic electromagnetic radiation
emittierender Transistor ausgebildet sein. Die Strahlung kann beispielsweise Licht im sichtbaren Bereich, UV-Licht und/oder Infrarot-Licht sein. In diesem Zusammenhang kann das be formed emitting transistor. The radiation may, for example, be light in the visible range, UV light and / or infrared light. In this context, the
elektromagnetische Strahlung emittierende Bauelement beispielsweise als organische Licht emittierende Diode electromagnetic radiation emitting device for example, as an organic light-emitting diode
(organic light emitting diode, OLED) oder als organischer Licht emittierender Transistor ausgebildet sein. Das Licht emittierende Bauelement kann in verschiedenen (Organic light emitting diode, OLED) or be designed as an organic light emitting transistor. The light-emitting device may be in different
Ausführungsbeispielen Teil einer integrierten Schaltung sein. Weiterhin kann eine Mehrzahl von Licht emittierenden Embodiments be part of an integrated circuit. Furthermore, a plurality of light-emitting
Bauelementen vorgesehen sein, beispielsweise untergebracht in einem gemeinsamen Gehäuse. Fig.l zeigt ein herkömmliches optoelektronisches Bauelement 1. Das herkömmliche optoelektronische Bauelement 1 weist einen Träger 12 auf. Auf dem Träger 12 ist eine Be provided components, for example housed in a common housing. FIG. 1 shows a conventional optoelectronic component 1. The conventional optoelectronic component 1 has a carrier 12. On the carrier 12 is a
optoelektronische Schichtenstruktur ausgebildet. Die optoelektronische Schichtenstruktur weist eine ersteoptoelectronic layer structure formed. The optoelectronic layer structure has a first one
Elektrodenschicht 14 auf, die einen ersten Kontaktabschnitt 16, einen zweiten Kontaktabschnitt 18 und eine erste Electrode layer 14 having a first contact portion 16, a second contact portion 18 and a first
Elektrode 20 aufweist. Der Träger 12 und die erste Having electrode 20. The carrier 12 and the first
Elektrodenschicht 14 können auch als Substrat bezeichnet werden. In anderen Worten kann das Substrat den Träger 12 und die erste Elektrodenschicht 14 aufweisen oder von diesen gebildet sein. Das Substrat kann von einem dreidimensionalen Körper gebildet sein, beispielsweise von einem Vollkörper oder einem Hohlkörper. Der zweite Kontaktabschnitt 18 ist mit der ersten Elektrode 20 der optoelektronischen Electrode layer 14 may also be referred to as a substrate. In other words, the substrate may include or be formed by the carrier 12 and the first electrode layer 14. The substrate may be formed by a three-dimensional body, for example a solid body or a hollow body. The second contact section 18 is connected to the first electrode 20 of the optoelectronic
Schichtenstruktur elektrisch gekoppelt. Die erste Elektrode 20 ist von dem ersten Kontaktabschnitt 16 mittels einer elektrischen Isolierungsbarriere 21 elektrisch isoliert. Über der ersten Elektrode 20 ist eine organische funktionelle Schichtenstruktur 22 der optoelektronischen Schichtenstruktur ausgebildet. Die organische funktionelle Schichtenstruktur 22 ist somit über dem Substrat ausgebildet. Die organische funktionelle Schichtenstruktur 22 kann beispielsweise eine, zwei oder mehr Teilschichten aufweisen, wie weiter unten mit Bezug zu Figur 2 näher erläutert. Über der organischen funktionellen Schichtenstruktur 22 ist eine zweite Elektrode 23 der optoelektronischen Schichtenstruktur ausgebildet, die elektrisch mit dem ersten Kontaktabschnitt 16 gekoppelt ist. Die erste Elektrode 20 dient beispielsweise als Anode oder Kathode der optoelektronischen Schichtenstruktur. Die zweite Elektrode 23 dient korrespondierend zu der ersten Elektrode als Kathode bzw. Anode der optoelektronischen Layer structure electrically coupled. The first electrode 20 is electrically insulated from the first contact portion 16 by means of an electrical insulation barrier 21. Over the first electrode 20, an organic functional layer structure 22 of the optoelectronic layer structure is formed. The organic functional layer structure 22 is thus formed over the substrate. The organic functional layer structure 22 may comprise, for example, one, two or more sub-layers, as explained in greater detail below with reference to FIG. Over the organic functional layer structure 22, a second electrode 23 of the optoelectronic layer structure is formed, which is electrically coupled to the first contact section 16. The first electrode 20 serves, for example, as the anode or cathode of the optoelectronic layer structure. The second electrode 23 serves corresponding to the first electrode as the cathode or anode of the optoelectronic
Schichtenstruktur. Layer structure.
Über der zweiten Elektrode 23 und teilweise über dem ersten Kontaktabschnitt 16 und teilweise über dem zweiten Above the second electrode 23 and partially over the first contact portion 16 and partially over the second one
Kontaktabschnitt 18 ist eine Verkapselungsschicht 24 der optoelektronische Schichtenstruktur ausgebildet, die die optoelektronische Schichtenstruktur verkapselt. In der Contact section 18, an encapsulation layer 24 of the optoelectronic layer structure is formed, which encapsulates the optoelectronic layer structure. In the
Verkapselungsschicht 24 sind über dem ersten Kontaktabschnitt 16 eine erste Ausnehmung der Verkapselungsschicht 24 und über dem zweiten Kontaktabschnitt 18 eine zweite Ausnehmung der Verkapselungsschicht 24 ausgebildet. In der ersten Ausnehmung der Verkapselungsschicht 24 ist ein erster Kontaktbereich 32 freigelegt und in der zweiten Ausnehmung der Encapsulation layer 24, a first recess of the encapsulation layer 24 are formed over the first contact portion 16 and a second recess of the encapsulation layer 24 over the second contact portion 18. In the first recess of the encapsulation layer 24, a first contact region 32 is exposed and in the second recess of the
Verkapselungsschicht 24 ist ein zweiter Kontaktbereich 34 freigelegt. Der erste Kontaktbereich 32 dient zum Encapsulation layer 24, a second contact region 34 is exposed. The first contact region 32 serves for
elektrischen Kontaktieren des ersten Kontaktabschnitts 16 und der zweite Kontaktbereich 34 dient zum elektrischen electrical contacting of the first contact portion 16 and the second contact portion 34 is for electrical
Kontaktieren des zweiten Kontaktabschnitts 18. Contacting the second contact portion 18.
Über der Verkapselungsschicht 24 ist eine Haftmittelschicht 36 ausgebildet. Die Haftmittelschicht 36 weist beispielsweise ein Haftmittel, beispielsweise einen Klebstoff, Over the encapsulation layer 24, an adhesive layer 36 is formed. The adhesive layer 36 comprises, for example, an adhesive, for example an adhesive,
beispielsweise einen Laminierklebstoff, einen Lack und/oder ein Harz auf. Über der Haftmittelschicht 36 ist ein For example, a laminating adhesive, a paint and / or a resin. Above the adhesive layer 36 is a
Abdeckkörper 38 ausgebildet. Die Haftmittelschicht 36 dient zum Befestigen des Abdeckkörpers 38 an der Cover body 38 is formed. The adhesive layer 36 serves to attach the cover body 38 to the
Verkapselungsschicht 24. Der Abdeckkörper 38 weist  Encapsulation layer 24. The cover body 38 has
beispielsweise Glas und/oder Metall auf. Beispielsweise kann der Abdeckkörper 38 im Wesentlichen aus Glas gebildet sein und eine dünne Metallschicht, beispielsweise eine For example, glass and / or metal. For example, the cover body 38 may be formed substantially of glass and a thin metal layer, such as a
Metallfolie, und/oder eine Graphitschicht, beispielsweise ein Graphitlaminat, auf dem Glaskörper aufweisen. Der Metal foil, and / or a graphite layer, such as a graphite laminate, have on the glass body. Of the
Abdeckkörper 38 dient zum Schützen des herkömmlichen Cover body 38 serves to protect the conventional
optoelektronischen Bauelements 1, beispielsweise vor mechanischen Krafteinwirkungen von außen. Ferner kann der Abdeckkörper 38 zum Verteilen und/oder Abführen von Hitze dienen, die in dem herkömmlichen optoelektronischen optoelectronic component 1, for example before mechanical forces from outside. Further, the cover body 38 may serve for distributing and / or dissipating heat, which in the conventional optoelectronic
Bauelement 1 erzeugt wird. Beispielsweise kann das Glas des Abdeckkörpers 38 als Schutz vor äußeren Einwirkungen dienen und die Metallschicht des Abdeckkörpers 38 kann zum Verteilen und/oder Abführen der beim Betrieb des herkömmlichen Component 1 is generated. For example, the glass of the cover body 38 can serve as protection against external influences and the metal layer of the cover body 38 can be used for distributing and / or discharging during operation of the conventional
optoelektronischen Bauelements 1 entstehenden Wärme dienen. Das herkömmliche optoelektronische Bauelement 1 kann serve optoelectronic device 1 resulting heat. The conventional optoelectronic component 1 can
beispielsweise aus einem Bauelementverbund vereinzelt werden, indem der Träger 12 entlang seiner in Fig. 1 seitlich for example, be separated from a composite component by the carrier 12 along its in Fig. 1 laterally
dargestellten Außenkanten geritzt und dann gebrochen wird und indem der Abdeckkörper 38 gleichermaßen entlang seiner in Fig. 1 dargestellten seitlichen Außenkanten geritzt und dann gebrochen wird. Bei diesem Ritzen und Brechen wird die shown outer edges are scored and then broken and by the cover body 38 is equally scratched along its lateral outer edges shown in Fig. 1 and then broken. In this cracking and breaking is the
Verkapselungsschicht 24 über den Kontaktbereichen 32, 34 freigelegt. Nachfolgend können der erste Kontaktbereich 32 und der zweite Kontaktbereich 34 in einem weiteren Encapsulation layer 24 over the contact areas 32, 34 exposed. Subsequently, the first contact region 32 and the second contact region 34 in another
Verfahrensschritt freigelegt werden, beispielsweise mittels eines Ablationsprozesses , beispielsweise mittels Process step are exposed, for example by means of an ablation process, for example by means of
Laserablation, mechanischen Kratzens oder eines Laser ablation, mechanical scratching or a
Ätzverfahrens . Fig. 2 zeigt eine detaillierte Schnittdarstellung einer Etching process. Fig. 2 shows a detailed sectional view of a
Schichtstruktur eines Ausführungsbeispiels eines Layer structure of an embodiment of a
optoelektronischen Bauelementes, beispielsweise des im optoelectronic component, for example of im
Vorhergehenden erläuterten herkömmlichen optoelektronischen Bauelements 1, wobei die Kontaktabschnitte 16, 18 in dieser Detailansicht nicht dargestellt sind. Das herkömmliche optoelektronische Bauelement 1 kann als Top-Emitter und/oder Bottom-Emitter ausgebildet sein. Falls das herkömmliche optoelektronische Bauelement 1 als Top-Emitter und Bottom- Emitter ausgebildet ist, kann das herkömmliche Previously explained conventional optoelectronic component 1, wherein the contact portions 16, 18 are not shown in this detail view. The conventional optoelectronic component 1 can be designed as a top emitter and / or bottom emitter. If the conventional optoelectronic component 1 is designed as a top emitter and bottom emitter, the conventional
optoelektronische Bauelement 1 als optisch transparentes Bauelement, beispielsweise eine transparente organische optoelectronic component 1 as an optically transparent component, for example a transparent organic
Leuchtdiode, bezeichnet werden. Das herkömmliche optoelektronische Bauelement 1 weist den Träger 12 und einen aktiven Bereich über dem Träger 12 auf. Der Träger 12, die erste Elektrode 20, der erste LED, be designated. The conventional optoelectronic component 1 has the carrier 12 and an active region above the carrier 12. The carrier 12, the first electrode 20, the first
Kontaktabschnitt 16 und/oder der zweite Kontaktabschnitt 18 können beispielsweise als Substrat bezeichnet werden, auf dem die organische funktionelle Schichtenstruktur 22 ausgebildet ist, oder das entsprechende Substrat bilden. Zwischen dem Träger 12 und dem aktiven Bereich kann eine erste nicht dargestellte Barriereschicht, beispielsweise eine erste Contact section 16 and / or the second contact section 18 may be referred to, for example, as a substrate on which the organic functional layer structure 22 is formed, or form the corresponding substrate. Between the carrier 12 and the active region, a first, not shown, barrier layer, for example, a first
Barrieredünnschicht, ausgebildet sein. Der aktive Bereich weist die erste Elektrode 20, die organische funktionelle Schichtenstruktur 22 und die zweite Elektrode 23 auf. Über dem aktiven Bereich ist die Verkapselungsschicht 24 Barrier thin film, be formed. The active region comprises the first electrode 20, the organic functional layer structure 22 and the second electrode 23. Above the active region is the encapsulation layer 24
ausgebildet. Die Verkapselungsschicht 24 kann als zweite Barriereschicht, beispielsweise als zweite educated. The encapsulation layer 24 may serve as a second barrier layer, for example as a second barrier layer
Barrieredünnschicht, ausgebildet sein. Über dem aktiven  Barrier thin film, be formed. About the active
Bereich und gegebenenfalls über der Verkapselungsschicht 24, ist der Abdeckkörper 38 angeordnet. Der Abdeckkörper 38 kann beispielsweise mittels einer Haftmittelschicht 36 auf der Verkapselungsschicht 24 angeordnet sein. Area and optionally over the encapsulation layer 24, the cover body 38 is arranged. The covering body 38 can be arranged, for example, by means of an adhesive layer 36 on the encapsulation layer 24.
Der aktive Bereich ist ein elektrisch und/oder optisch aktiver Bereich. Der aktive Bereich ist beispielsweise der Bereich des herkömmlichen optoelektronischen Bauelements 1, in dem elektrischer Strom zum Betrieb des herkömmlichen optoelektronischen Bauelements 1 fließt und/oder in dem elektromagnetische Strahlung erzeugt oder absorbiert wird. The active region is an electrically and / or optically active region. The active region is, for example, the region of the conventional optoelectronic component 1 in which electrical current flows for operation of the conventional optoelectronic component 1 and / or in which electromagnetic radiation is generated or absorbed.
Die organische funktionelle Schichtenstruktur 22 kann ein, zwei oder mehr funktionelle Schichtenstruktur-Einheiten und eine, zwei oder mehr Zwischenschichten zwischen den The organic functional layer structure 22 may include one, two or more functional layered structure units and one, two or more intermediate layers between them
Schichtenstruktur-Einheiten aufweisen . Have layer structure units.
Der Träger 12 kann transluzent oder transparent ausgebildet sein. Der Träger 12 dient als Trägerelement für elektronische Elemente oder Schichten, beispielsweise lichtemittierende Elemente. Der Träger 12 kann beispielsweise Glas, Quarz, und/oder ein Halbleitermaterial oder irgendein anderes geeignetes Material aufweisen oder daraus gebildet sein. The carrier 12 may be translucent or transparent. The carrier 12 serves as a carrier element for electronic elements or layers, for example light-emitting elements. The carrier 12 may be, for example, glass, quartz, and / or a semiconductor material or any other have suitable material or be formed from it.
Ferner kann der Träger 12 eine Kunststofffolie oder ein Further, the carrier 12 may be a plastic film or a
Laminat mit einer oder mit mehreren Kunststofffolien Laminate with one or more plastic films
aufweisen oder daraus gebildet sein. Der Kunststoff kann ein oder mehrere Polyolefine aufweisen. Ferner kann der have or be formed from it. The plastic may have one or more polyolefins. Furthermore, the
Kunststoff Polyvinylchlorid (PVC) , Polystyrol (PS) , Polyester und/oder Polycarbonat (PC), Polyethylenterephthalat (PET), Polyethersulfon (PES) und/oder Polyethylennaphthalat (PEN) aufweisen. Der Träger 12 kann ein Metall aufweisen oder daraus gebildet sein, beispielsweise Kupfer, Silber, Gold, Platin, Eisen, beispielsweise eine Metallverbindung,  Plastic polyvinyl chloride (PVC), polystyrene (PS), polyester and / or polycarbonate (PC), polyethylene terephthalate (PET), polyethersulfone (PES) and / or polyethylene naphthalate (PEN). The carrier 12 may comprise or be formed from a metal, for example copper, silver, gold, platinum, iron, for example a metal compound,
beispielsweise Stahl. Der Träger 12 kann als Metallfolie oder metallbeschichtete Folie ausgebildet sein. Der Träger 12 kann ein Teil einer Spiegelstruktur sein oder diese bilden. Der Träger 12 kann einen mechanisch rigiden Bereich und/oder einen mechanisch flexiblen Bereich aufweisen oder derart ausgebildet sein. for example steel. The carrier 12 may be formed as a metal foil or metal-coated foil. The carrier 12 may be part of or form part of a mirror structure. The carrier 12 may have a mechanically rigid region and / or a mechanically flexible region or be formed in such a way.
Die erste Elektrode 20 kann als Anode oder als Kathode ausgebildet sein. Die erste Elektrode 20 kann transluzent oder transparent ausgebildet sein. Die erste Elektrode 20 weist ein elektrisch leitfähiges Material auf, beispielsweise Metall und/oder ein leitfähiges transparentes Oxid The first electrode 20 may be formed as an anode or as a cathode. The first electrode 20 may be translucent or transparent. The first electrode 20 comprises an electrically conductive material, for example metal and / or a conductive transparent oxide
(transparent conductive oxide, TCO) oder einen (transparent conductive oxide, TCO) or a
Schichtenstapel mehrerer Schichten, die Metalle oder TCOs aufweisen. Die erste Elektrode 20 kann beispielsweise einen Schichtenstapel einer Kombination einer Schicht eines Metalls auf einer Schicht eines TCOs aufweisen, oder umgekehrt. Ein Beispiel ist eine Silberschicht, die auf einer Indium-Zinn- Oxid-Schicht (ITO) aufgebracht ist (Ag auf ITO) oder ITO-Ag- ITO Multischichten. Layer stacks of multiple layers comprising metals or TCOs. For example, the first electrode 20 may comprise a layer stack of a combination of a layer of a metal on a layer of a TCO, or vice versa. An example is a silver layer deposited on an indium tin oxide (ITO) layer (Ag on ITO) or ITO-Ag-ITO multilayers.
Als Metall können beispielsweise Ag, Pt, Au, Mg, AI, Ba, In, Ca, Sm oder Li, sowie Verbindungen, Kombinationen oder As the metal, for example, Ag, Pt, Au, Mg, Al, Ba, In, Ca, Sm or Li, as well as compounds, combinations or
Legierungen dieser Materialien verwendet werden. Alloys of these materials are used.
Transparente leitfähige Oxide sind transparente, leitfähige Materialien, beispielsweise Metalloxide, wie beispielsweise Zinkoxid, Zinnoxid, Cadmiumoxid, Titanoxid, Indiumoxid, oder Indium-Zinn-Oxid (ITO). Neben binären Metallsauerstoff- Verbindungen, wie beispielsweise ZnO, Sn02, oder In203 gehören auch ternäre MetallsauerstoffVerbindungen, wie beispielsweise AlZnO, Zn2Sn04, CdSn03, ZnSn03, Mgln204, Galn03, Zn2In205 oder In4Sn3012 oder Mischungen Transparent conductive oxides are transparent, conductive materials, such as metal oxides, such as Zinc oxide, tin oxide, cadmium oxide, titanium oxide, indium oxide, or indium tin oxide (ITO). In addition to binary metal oxygen compounds such as ZnO, SnO 2 or In 2 O 3, ternary metal oxygen compounds such as AlZnO, Zn 2 SnO 4, Cd SnO 3, Zn SnO 3, Mgln 204, GalnO 3, Zn 2 In 2 O 5 or In 4 Sn 3 O 12 or mixtures are also included
unterschiedlicher transparenter leitfähiger Oxide zu der Gruppe der TCOs . Die erste Elektrode 20 kann alternativ oder zusätzlich zu den genannten Materialien aufweisen: Netzwerke aus metallischen Nanodrähten und -teilchen, beispielsweise aus Ag, Netzwerke aus Kohlenstoff-Nanoröhren, Graphen-Teilchen und -Schichten und/oder Netzwerke aus halbleitenden Nanodrähten. different transparent conductive oxides to the group of TCOs. The first electrode 20 may comprise, as an alternative or in addition to the materials mentioned: networks of metallic nanowires and particles, for example of Ag, networks of carbon nanotubes, graphene particles and layers and / or networks of semiconducting nanowires.
Beispielsweise kann die erste Elektrode 20 eine der folgenden Strukturen aufweisen oder daraus gebildet sein: ein Netzwerk aus metallischen Nanodrähten, beispielsweise aus Ag, die mit leitfähigen Polymeren kombiniert sind, ein Netzwerk aus By way of example, the first electrode 20 may have or be formed from one of the following structures: a network of metallic nanowires, for example of Ag, which are combined with conductive polymers
Kohlenstoff-Nanoröhren, die mit leitfähigen Polymeren Carbon nanotubes made with conductive polymers
kombiniert sind und/oder Graphen-Schichten und Komposite. Ferner kann die erste Elektrode 20 elektrisch leitfähige Polymere oder Übergangsmetalloxide aufweisen. combined and / or graphene layers and composites. Furthermore, the first electrode 20 may comprise electrically conductive polymers or transition metal oxides.
Die erste Elektrode 20 kann beispielsweise eine Schichtdicke aufweisen in einem Bereich von 10 nm bis 500 nm, The first electrode 20 may, for example, have a layer thickness in a range of 10 nm to 500 nm,
beispielsweise von 25 nm bis 250 nm, beispielsweise von 50 nm bis 100 nm. for example from 25 nm to 250 nm, for example from 50 nm to 100 nm.
Die erste Elektrode 20 kann einen ersten elektrischen The first electrode 20 may be a first electrical
Anschluss aufweisen, an den ein erstes elektrisches Potential anlegbar ist. Das erste elektrische Potential kann von einer Energiequelle (nicht dargestellt) bereitgestellt werden, beispielsweise von einer Stromquelle oder einer Have connection to which a first electrical potential can be applied. The first electrical potential may be provided by a power source (not shown), such as a power source or a power source
Spannungsquelle. Alternativ kann das erste elektrische Voltage source. Alternatively, the first electrical
Potential an den Träger 12 angelegt sein und der ersten Potential to be applied to the carrier 12 and the first
Elektrode 20 über den Träger 12 mittelbar zugeführt werden. Das erste elektrische Potential kann beispielsweise das Massepotential oder ein anderes vorgegebenes Bezugspotential sein . Electrode 20 are indirectly fed via the carrier 12. The first electrical potential may be, for example, the Ground potential or another predetermined reference potential.
Die organische funktionelle Schichtenstruktur 22 kann eine Lochinjektionsschicht, eine Lochtransportschicht, eine The organic functional layer structure 22 may include a hole injection layer, a hole transport layer, a
Emitterschicht, eine Elektronentransportschicht und/oder eine Elektroneninjektionsschicht aufweisen. Die  Emitter layer, an electron transport layer and / or an electron injection layer. The
Lochinjektionsschicht, die Lochtransportschicht, die Hole injection layer, the hole transport layer, the
Emitterschicht, die Elektronentransportschicht und/oder die Elektroneninjektionsschicht weisen verschiedene organische Materialen auf oder sind daraus gebildet. Emitter layer, the electron transport layer and / or the electron injection layer have various organic materials or are formed therefrom.
Die Lochinjektionsschicht kann auf oder über der ersten The hole injection layer may be on or above the first
Elektrode 20 ausgebildet sein. Die Lochinjektionsschicht kann eines oder mehrere der folgenden Materialien aufweisen oder daraus gebildet sein: HAT-CN, Cu(I)pFBz, MoOx, WOx, VOx, ReOx, F4-TCNQ, NDP-2, NDP-9, Bi(III)pFBz, F16CuPc; NPB (Ν,Ν'- Bis (naphthalen-l-yl) -N, ' -bis (phenyl) -benzidin) ; beta-NPB N, N ' -Bis (naphthalen-2-yl) -N, ' -bis (phenyl) -benzidin) ; TPD (N, ' -Bis ( 3-methylphenyl ) -N, ' -bis (phenyl ) -benzidin) ; Spiro TPD (N, ' -Bis (3-methylphenyl) -N, ' -bis (phenyl) -benzidin) ; Spiro-NPB (N, ' -Bis (naphthalen-l-yl) -N, ' -bis (phenyl) -spiro) ; DMFL-TPD Ν,Ν' -Bis (3-methylphenyl) -Ν,Ν' -bis (phenyl) -9, 9- dimethyl-fluoren) ; DMFL-NPB (N, N ' -Bis (naphthalen-l-yl) -N, N ' - bis (phenyl) -9, 9-dimethyl-fluoren) ; DPFL-TPD (N,N'-Bis(3- methylphenyl ) -N, ' -bis (phenyl) -9, 9-diphenyl-fluoren) ; DPFL- NPB (Ν,Ν' -Bis (naphthalen-l-yl) -Ν,Ν' -bis (phenyl) -9, 9-diphenyl- fluoren) ; Spiro-TAD (2 , 2 ' , 7 , 7 ' -Tetrakis (n, n-diphenylamino) - 9,9 ' -spirobifluoren) ; 9, 9-Bis [ 4- (N, N-bis-biphenyl-4-yl- amino) phenyl ] -9H-fluoren; 9, 9-Bis [4- (N, N-bis-naphthalen-2-yl- amino) phenyl ]-9H-fluoren; 9,9-Bis[4-(N,N' -bis-naphthalen-2- yl-N, ' -bis-phenyl-amino) -phenyl ]-9H-fluor; N, N ' Electrode 20 may be formed. The hole injection layer may comprise or be formed from one or more of the following materials: HAT-CN, Cu (I) pFBz, MoOx, WOx, VOx, ReOx, F4-TCNQ, NDP-2, NDP-9, Bi (III) pFBz , F16CuPc; NPB (Ν, Ν'-bis (naphthalen-1-yl) -N, '-bis (phenyl) -benzidine); beta-NPB N, N'-bis (naphthalen-2-yl) -N, '-bis (phenyl) -benzidine); TPD (N, '- bis (3-methylphenyl) - N,' - bis (phenyl) benzidine); Spiro TPD (N, '- bis (3-methylphenyl) - N,' - bis (phenyl) benzidine); Spiro-NPB (N, 'bis (naphthalen-1-yl) -N,' -bis (phenyl) -spiro); DMFL-TPD Ν, Ν'-bis (3-methylphenyl) -Ν, Ν'-bis (phenyl) -9,9-dimethyl-fluorene); DMFL-NPB (N, N'-bis (naphthalen-1-yl) -N, N'-bis (phenyl) -9,9-dimethyl-fluorene); DPFL-TPD (N, N'-bis (3-methylphenyl) -N, '-bis (phenyl) -9, 9-diphenyl-fluorene); DPFL-NPB (Ν, Ν'-bis (naphthalen-1-yl) -Ν, Ν'-bis (phenyl) -9,9-diphenyl-fluorene); Spiro-TAD (2, 2 ', 7, 7' tetrakis (n, n-diphenylamino) -9,9'-spirobifluorene); 9,9-bis [4- (N, N-bis-biphenyl-4-yl-amino) -phenyl] -9H-fluorene; 9,9-bis [4- (N, N-bis-naphthalen-2-yl-amino) -phenyl] -9H-fluorene; 9,9-bis [4- (N, N'-bis-naphthalen-2-yl-N, '-bis-phenyl-amino) -phenyl] -9H-fluoro; N, N '
bis (phenanthren- 9-yl ) -N, ' -bis (phenyl) -benzidin; 2,7 Bis[N,N- bis (9, 9-spiro-bifluorene-2-yl) -amino] -9, 9-spiro-bifluoren; 2,2'-Bis[N,N-bis (biphenyl-4-yl ) amino ] 9, 9-spiro-bifluoren;bis (phenanthrene-9-yl) -N, '-bis (phenyl) -benzidine; 2.7 bis [N, N-bis (9,9-spiro-bifluoren-2-yl) -amino] -9,9-spiro-bifluorene; 2,2'-bis [N, N-bis (biphenyl-4-yl) amino] 9,9-spiro-bifluorene;
2 , 2 ' -Bis (N, -di-phenyl-amino) 9, 9-spiro-bifluoren; Di- [4- (N, N- ditolyl-amino) -phenyl ] cyclohexan; 2, 2 ',7, 7' tetra (N, N-di- tolyl) amino-spiro-bifluoren; und/oder N, N, ' , ' -tetra- naphthalen-2-yl-benzidin . 2,2'-bis (N, -di-phenyl-amino) 9,9-spiro-bifluorene; Di- [4- (N, N-ditolylamino) -phenyl] cyclohexane; 2, 2 ', 7, 7' tetra (N, N-di- tolyl) amino-spiro-bifluorene; and / or N, N, ',' -tetra-naphthalen-2-yl-benzidine.
Die Lochinjektionsschicht kann eine Schichtdicke aufweisen in einem Bereich von ungefähr 10 nm bis ungefähr 1000 nm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 30 nm bis ungefähr 300 nm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 50 nm bis ungefähr 200 nm. Auf oder über der Lochinjektionsschicht kann die The hole injection layer may have a layer thickness in a range of about 10 nm to about 1000 nm, for example in a range of about 30 nm to about 300 nm, for example in a range of about 50 nm to about 200 nm. On or above the hole injection layer the
Lochtransportschicht ausgebildet sein. Die Hole transport layer may be formed. The
Lochtransportschicht kann eines oder mehrere der folgenden Materialien aufweisen oder daraus gebildet sein: NPB (Ν,Ν'- Bis (naphthalen-l-yl) -N, ' -bis (phenyl) -benzidin) ; beta-NPB N, ' -Bis (naphthalen-2-yl) -N, ' -bis (phenyl) -benzidin) ; TPD Hole transport layer may comprise or be formed from one or more of the following materials: NPB (Ν, Ν'-bis (naphthalen-1-yl) -N, '-bis (phenyl) -benzidine); beta-NPB N, '-Bis (naphthalen-2-yl) -N,' -bis (phenyl) -benzidine); TPD
(N, ' -Bis ( 3-methylphenyl ) -N, ' -bis (phenyl ) -benzidin) ; Spiro TPD (N, ' -Bis (3-methylphenyl) -N, ' -bis (phenyl) -benzidin) ; Spiro-NPB (N, ' -Bis (naphthalen-l-yl) -N, ' -bis (phenyl) -spiro) ; DMFL-TPD Ν,Ν' -Bis (3-methylphenyl) -Ν,Ν' -bis (phenyl) -9, 9- dimethyl-fluoren) ; DMFL-NPB (N, N ' -Bis (naphthalen-l-yl) -N, N ' - bis (phenyl) -9, 9-dimethyl-fluoren) ; DPFL-TPD (N,N'-Bis(3- methylphenyl ) -N, ' -bis (phenyl) -9, 9-diphenyl-fluoren) ; DPFL- NPB (Ν,Ν' -Bis (naphthalen-l-yl) -Ν,Ν' -bis (phenyl) -9, 9-diphenyl- fluoren) ; Spiro-TAD (2 , 2 ' , 7 , 7 ' -Tetrakis (n, n-diphenylamino) - 9,9 ' -spirobifluoren) ; 9, 9-Bis [4- (N, N-bis-biphenyl-4-yl- amino) phenyl ] -9H-fluoren; 9, 9-Bis [4- (N, N-bis-naphthalen-2-yl- amino) phenyl ]-9H-fluoren; 9,9-Bis[4-(N,N' -bis-naphthalen-2- yl-N, ' -bis-phenyl-amino) -phenyl ]-9H-fluor; N, N ' (N, '- bis (3-methylphenyl) - N,' - bis (phenyl) benzidine); Spiro TPD (N, '- bis (3-methylphenyl) - N,' - bis (phenyl) benzidine); Spiro-NPB (N, 'bis (naphthalen-1-yl) -N,' -bis (phenyl) -spiro); DMFL-TPD Ν, Ν'-bis (3-methylphenyl) -Ν, Ν'-bis (phenyl) -9,9-dimethyl-fluorene); DMFL-NPB (N, N'-bis (naphthalen-1-yl) -N, N'-bis (phenyl) -9,9-dimethyl-fluorene); DPFL-TPD (N, N'-bis (3-methylphenyl) -N, '-bis (phenyl) -9, 9-diphenyl-fluorene); DPFL-NPB (Ν, Ν'-bis (naphthalen-1-yl) -Ν, Ν'-bis (phenyl) -9,9-diphenyl-fluorene); Spiro-TAD (2, 2 ', 7, 7' tetrakis (n, n-diphenylamino) -9,9'-spirobifluorene); 9,9-bis [4- (N, N-bis-biphenyl-4-yl-amino) -phenyl] -9H-fluorene; 9,9-bis [4- (N, N-bis-naphthalen-2-yl-amino) -phenyl] -9H-fluorene; 9,9-bis [4- (N, N'-bis-naphthalen-2-yl-N, '-bis-phenyl-amino) -phenyl] -9H-fluoro; N, N '
bis (phenanthren- 9-yl ) -N, ' -bis (phenyl ) -benzidin; 2, 7-Bis [N, N- bis (9, 9-spiro-bifluorene-2-yl) -amino] -9, 9-spiro-bifluoren; 2,2'-Bis[N,N-bis (biphenyl-4-yl ) amino ] 9, 9-spiro-bifluoren; 2 , 2 ' -Bis (N, -di-phenyl-amino) 9, 9-spiro-bifluoren; Di- [4- (N, N- ditolyl-amino) -phenyl ] cyclohexan; 2 , 2 ' , 7 , 7 ' -tetra (N, N-di- tolyl) amino-spiro-bifluoren; und N, Ν,Ν',Ν' tetra-naphthalen- 2-yl-benzidin . bis (phenanthrene-9-yl) -N, '-bis (phenyl) -benzidine; 2, 7-bis [N, N-bis (9,9-spiro-bifluoren-2-yl) -amino] -9,9-spiro-bifluorene; 2,2'-bis [N, N-bis (biphenyl-4-yl) amino] 9,9-spiro-bifluorene; 2,2'-bis (N, -di-phenyl-amino) 9,9-spiro-bifluorene; Di- [4- (N, N-ditolylamino) -phenyl] cyclohexane; 2, 2 ', 7, 7' -tetra (N, N-diol-tolyl) amino-spiro-bifluorene; and N, Ν, Ν ', Ν'-tetra-naphthalen-2-yl-benzidine.
Die Lochtransportschicht kann eine Schichtdicke aufweisen in einem Bereich von ungefähr 5 nm bis ungefähr 50 nm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 10 nm bis ungefähr 30 nm, beispielsweise ungefähr 20 nm. The hole transport layer may have a layer thickness in a range of about 5 nm to about 50 nm, for example in a range of about 10 nm to about 30 nm, for example about 20 nm.
Auf oder über der Lochtransportschicht kann die eine oder mehrere Emitterschichten ausgebildet sein, beispielsweise mit fluoreszierenden und/oder phosphoreszierenden Emittern. Die Emitterschicht kann organische Polymere, organische On or above the hole transport layer, the one or more emitter layers may be formed, for example with fluorescent and / or phosphorescent emitters. The emitter layer may be organic polymers, organic
Oligomere, organische Monomere, organische kleine, nicht- polymere Moleküle („small molecules") oder eine Kombination dieser Materialien aufweisen. Die Emitterschicht kann eines oder mehrere der folgenden Materialien aufweisen oder daraus gebildet sein: organische oder organometallische Oligomers, organic monomers, organic small, non-polymeric molecules ("small molecules") or a combination of these materials The emitter layer may comprise or be formed from one or more of the following materials: organic or organometallic
Verbindungen, wie Derivate von Polyfluoren, Polythiophen und Polyphenylen (z.B. 2- oder 2 , 5-substituiertes Poly-p- phenylenvinylen) sowie Metallkomplexe, beispielsweise Compounds such as derivatives of polyfluorene, polythiophene and polyphenylene (e.g., 2- or 2,5-substituted poly-p-phenylenevinylene) as well as metal complexes, for example
Iridium-Komplexe wie blau phosphoreszierendes FIrPic Iridium complexes such as blue phosphorescent FIrPic
(Bis (3, 5-difluoro-2- (2-pyridyl) phenyl- (2-carboxypyridyl) - iridium III), grün phosphoreszierendes Ir (ppy) 3 (Tris (2- phenylpyridin) iridium III), rot phosphoreszierendes Ru (dtb- bpy)3*2(PF6) (Tris [ 4 , 4 ' -di-tert-butyl- (2 , 2 ' ) - bipyridin] ruthenium (III) komplex) sowie blau fluoreszierendes DPAVBi (4, 4-Bis [4- (di-p-tolylamino) styryl] biphenyl) , grün fluoreszierendes TTPA ( 9, 10-Bis [N, -di- (p-tolyl) - amino ] anthracen) und rot fluoreszierendes DCM2 (4- Dicyanomethylen) -2-methyl-6-j ulolidyl- 9-enyl-4H-pyran) als nichtpolymere Emitter. Die Emittermaterialien können in geeigneter Weise in einem Matrixmaterial eingebettet sein, beispielsweise einer technischen Keramik oder einem Polymer, beispielsweise einem Epoxid, oder einem Silikon. (Bis (3,5-difluoro-2- (2-pyridyl) phenyl- (2-carboxypyridyl) iridium III), green phosphorescing Ir (ppy) 3 (tris (2-phenylpyridine) iridium III), red phosphorescent Ru ( dtb-bpy) 3 * 2 (PF6) (tris [4, 4'-di-tert-butyl- (2,2'-bipyridine] ruthenium (III) complex) and blue fluorescent DPAVBi (4, 4-bis [ 4- (di-p-tolylamino) styryl] biphenyl), green fluorescent TTPA (9, 10-bis [N, -di (p-tolyl) -amino] anthracene) and red fluorescent DCM2 (4-dicyanomethylene) -2 -methyl-6-j ulolidyl-9-enyl-4H-pyran) as a non-polymeric emitter. The emitter materials may be suitably embedded in a matrix material, for example a technical ceramic or a polymer, for example an epoxy, or a silicone.
Die erste Emitterschicht kann eine Schichtdicke aufweisen in einem Bereich von ungefähr 5 nm bis ungefähr 50 nm, The first emitter layer may have a layer thickness in a range of about 5 nm to about 50 nm,
beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 10 nm bis ungefähr 30 nm, beispielsweise ungefähr 20 nm. for example in a range of about 10 nm to about 30 nm, for example about 20 nm.
Die Emitterschicht kann einfarbig oder verschiedenfarbig (zum Beispiel blau und gelb oder blau, grün und rot) emittierende Emittermaterialien aufweisen. Alternativ kann die Emitterschicht mehrere Teilschichten aufweisen, die Licht unterschiedlicher Farbe emittieren. Mittels eines Mischens der verschiedenen Farben kann die Emission von Licht mit einem weißen Farbeindruck resultieren. Alternativ oder zusätzlich kann vorgesehen sein, im Strahlengang der durch diese Schichten erzeugten Primäremission ein The emitter layer may have single-color or different-colored (for example blue and yellow or blue, green and red) emitting emitter materials. Alternatively, the Emitter layer have multiple sub-layers that emit light of different colors. By mixing the different colors, the emission of light can result in a white color impression. Alternatively or additionally, it can be provided in the beam path of the primary emission generated by these layers
Konvertermaterial anzuordnen, das die Primärstrahlung To arrange converter material that the primary radiation
zumindest teilweise absorbiert und eine Sekundärstrahlung anderer Wellenlänge emittiert, so dass sich aus einer (noch nicht weißen) Primärstrahlung durch die Kombination von primärer Strahlung und sekundärer Strahlung ein weißer At least partially absorbed and emitted a secondary radiation of different wavelengths, so that from a (not yet white) primary radiation by the combination of primary radiation and secondary radiation, a white
Farbeindruck ergibt. Color impression results.
Auf oder über der Emitterschicht kann die On or above the emitter layer, the
Elektronentransportschicht ausgebildet sein, beispielsweise abgeschieden sein. Die Elektronentransportschicht kann eines oder mehrere der folgenden Materialien aufweisen oder daraus gebildet sein: NET-18; 2, 2', 2" - (1, 3, 5-Benzinetriyl ) -tris (1- phenyl-l-H-benzimidazole) ; 2- (4-Biphenylyl) -5- (4-tert- butylphenyl) -1, 3, 4-oxadiazole, 2, 9-Dimethyl-4 , 7-diphenyl-l , 10- phenanthroline (BCP) ; 8-Hydroxyquinolinolato-lithium, 4- (Naphthalen-l-yl) -3, 5-diphenyl-4H-l , 2, 4-triazole; 1, 3-Bis [2- (2, 2 ' -bipyridine- 6-yl ) -1, 3, 4-oxadiazo-5-yl ] benzene; 4,7- Diphenyl-1, 10-phenanthroline (BPhen) ; 3- (4-Biphenylyl) -4- phenyl-5-tert-butylphenyl-l, 2, 4-triazole; Bis (2-methyl-8- quinolinolate) -4- (phenylphenolato) aluminium; 6,6'-Bis[5- (biphenyl-4-yl) -1, 3, 4-oxadiazo-2-yl ] -2,2' -bipyridyl; 2- phenyl-9, 10-di (naphthalen-2-yl) -anthracene; 2, 7-Bis [2- (2,2'- bipyridine- 6-yl ) -1, 3, 4-oxadiazo-5-yl ] -9, 9-dimethylfluorene ; 1,3-Bis[2 - (4-tert-butylphenyl) -1,3, 4-oxadiazo-5-yl ] benzene; 2- (naphthalen-2-yl) -4, 7-diphenyl-l, 10-phenanthroline; 2, 9- Bis (naphthalen-2-yl) -4, 7-diphenyl-l, 10-phenanthroline; Be formed electron transport layer, for example, be deposited. The electron transport layer may include or be formed from one or more of the following materials: NET-18; 2, 2 ', 2 "- (1, 3, 5-benzyltriyl) tris (1-phenyl-1H-benzimidazoles); 2- (4-biphenylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1, 3 , 4-oxadiazoles, 2, 9-dimethyl-4,7-diphenyl-l, 10-phenanthrolines (BCP), 8-hydroxyquinolinolato-lithium, 4- (naphthalen-1-yl) -3, 5-diphenyl-4H- l, 2, 4-triazoles; 1, 3-bis [2- (2,2'-bipyridine-6-yl) -1,3,4-oxadiazo-5-yl] benzene; 4,7-diphenyl-1 , 10-phenanthrolines (BPhen); 3- (4-biphenylyl) -4-phenyl-5-tert-butylphenyl-1,2,4-triazoles; bis (2-methyl-8-quinolinolates) -4- (phenylphenolato) aluminum; 6,6'-bis [5- (biphenyl-4-yl) -1,3,4-oxadiazol-2-yl] -2,2'-bipyridyl; 2-phenyl-9,10-di (naphthalene 2-yl) -anthracenes; 2, 7-bis [2- (2,2'-bipyridine-6-yl) -1, 3, 4-oxadiazo-5-yl] -9,9-dimethylfluorene; 1, 3-bis [2- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazol-5-yl] benzene; 2- (naphthalen-2-yl) -4,7-diphenyl-l, 10-phenanthroline; 2,9-bis (naphthalen-2-yl) -4,7-diphenyl-l, 10-phenanthrolines;
Tris (2, 4, 6-trimethyl-3- (pyridin-3-yl ) phenyl) borane; 1-methyl- 2 - (4 - (naphthalen-2-yl) phenyl) -lH-imidazo [4,5- f] [ 1 , 10 ] phenanthrolin; Phenyl-dipyrenylphosphine oxide; Tris (2, 4, 6-trimethyl-3- (pyridin-3-yl) phenyl) boranes; 1-methyl-2 - (4 - (naphthalen-2-yl) phenyl) -1H-imidazo [4,5- f] [1,10] phenanthroline; Phenyl-dipyrenylphosphine oxides;
Naphtahlintetracarbonsäuredianhydrid oder dessen Imide; Naphthalenetetracarboxylic dianhydride or its imides;
Perylentetracarbonsäuredianhydrid oder dessen Imide; und Stoffen basierend auf Silolen mit einer Perylenetetracarboxylic dianhydride or its imides; and Fabrics based on siloles with a
Silacyclopentadieneinheit . Silacyclopentadiene unit.
Die Elektronentransportschicht kann eine Schichtdicke The electron transport layer may have a layer thickness
aufweisen in einem Bereich von ungefähr 5 nm bis ungefähr 50 nm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 10 nm bis ungefähr 30 nm, beispielsweise ungefähr 20 nm. in a range of about 5 nm to about 50 nm, for example, in a range of about 10 nm to about 30 nm, for example about 20 nm.
Auf oder über der Elektronentransportschicht kann die On or above the electron transport layer, the
Elektroneninjektionsschicht ausgebildet sein. Die Electron injection layer may be formed. The
Elektroneninjektionsschicht kann eines oder mehrere der folgenden Materialien aufweisen oder daraus gebildet sein: NDN-26, MgAg, Cs2C03, Cs3P04, Na, Ca, K, Mg, Cs, Li, LiF; 2, 2', 2" -(1,3, 5-Benzinetriyl) -tris ( 1 -phenyl-1-H- benzimidazole) ; 2- (4-Biphenylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) - 1,3, 4-oxadiazole, 2, 9-Dimethyl-4 , 7-diphenyl-l , 10- phenanthroline (BCP) ; 8-Hydroxyquinolinolato-lithium, 4- (Naphthalen-l-yl) -3, 5-diphenyl-4H-l , 2, 4-triazole; 1, 3-Bis [2- (2, 2 ' -bipyridine- 6-yl ) -1, 3, 4-oxadiazo-5-yl ] benzene; 4,7- Diphenyl-1, 10-phenanthroline (BPhen) ; 3- (4-Biphenylyl) -4- phenyl-5-tert-butylphenyl-l , 2, 4-triazole; Bis (2-methyl-8- quinolinolate) -4- (phenylphenolato) aluminium; 6,6'-Bis[5- (biphenyl-4-yl) -1, 3, 4-oxadiazo-2-yl ] -2,2' -bipyridyl; 2- phenyl-9, 10-di (naphthalen-2-yl) -anthracene; 2, 7-Bis [2- (2,2'- bipyridine- 6-yl ) -1, 3, 4-oxadiazo-5-yl ] -9, 9-dimethylfluorene ; 1, 3-Bis [2 - (4-tert-butylphenyl) -1,3, 4-oxadiazo-5-yl ] benzene; 2- (naphthalen-2-yl) -4, 7-diphenyl-l, 10-phenanthroline; 2, 9- Bis (naphthalen-2-yl) -4, 7-diphenyl-l, 10-phenanthroline;  Electron injection layer may include or may be formed of one or more of the following materials: NDN-26, MgAg, Cs 2 CO 3, Cs 3 PO 4, Na, Ca, K, Mg, Cs, Li, LiF; 2, 2 ', 2 "- (1,3,5-benzene triyl) tris (1-phenyl-1-H-benzimidazoles); 2- (4-biphenylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1 , 3, 4-oxadiazoles, 2, 9-dimethyl-4,7-diphenyl-l, 10-phenanthrolines (BCP), 8-hydroxyquinolinolato-lithium, 4- (naphthalen-1-yl) -3, 5-diphenyl- 4H-1,2,4-triazoles; 1,3-bis [2- (2,2'-bipyridine-6-yl) -1,3,4-oxadiazo-5-yl] benzene; 4,7-diphenyl -1,10-phenanthrolines (BPhen); 3- (4-biphenylyl) -4-phenyl-5-tert-butylphenyl-1,2,4-triazoles; bis (2-methyl-8-quinolinolates) -4- ( phenylphenolato) aluminum; 6,6'-bis [5- (biphenyl-4-yl) -1,3,4-oxadiazo-2-yl] -2,2'-bipyridyl; 2-phenyl-9,10-di (naphthalen-2-yl) -anthracenes; 2, 7-bis [2- (2,2'-bipyridine-6-yl) -1, 3, 4-oxadiazo-5-yl] -9,9-dimethylfluorene; 1, 3-bis [2- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazo-5-yl] benzene; 2- (naphthalen-2-yl) -4,7-diphenyl-l, 10 phenanthrolines; 2,9-bis (naphthalen-2-yl) -4,7-diphenyl-l, 10-phenanthrolines;
Tris (2, 4, 6-trimethyl-3- (pyridin-3-yl ) phenyl) borane; 1-methyl- 2 - (4 - (naphthalen-2-yl) phenyl) -lH-imidazo [4,5- f] [ 1 , 10 ] phenanthroline ; Phenyl-dipyrenylphosphine oxide; Tris (2, 4, 6-trimethyl-3- (pyridin-3-yl) phenyl) boranes; 1-methyl-2 - (4 - (naphthalen-2-yl) phenyl) -1H-imidazo [4,5- f] [1,10] phenanthrolines; Phenyl-dipyrenylphosphine oxides;
Naphtahlintetracarbonsäuredianhydrid oder dessen Imide; Naphthalenetetracarboxylic dianhydride or its imides;
Perylentetracarbonsäuredianhydrid oder dessen Imide; und Stoffen basierend auf Silolen mit einer Perylenetetracarboxylic dianhydride or its imides; and fabrics based on siloles with a
Silacyclopentadieneinheit. Silacyclopentadieneinheit.
Die Elektroneninjektionsschicht kann eine Schichtdicke aufweisen in einem Bereich von ungefähr 5 nm bis ungefähr 200 nm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 20 nm bis ungefähr 50 nm, beispielsweise ungefähr 30 nm. The electron injection layer may have a layer thickness in a range of about 5 nm to about 200 nm, for example in a range of about 20 nm to about 50 nm, for example about 30 nm.
Bei einer organischen funktionellen Schichtenstruktur 22 mit zwei oder mehr organischen funktionellen Schichtenstruktur- Einheiten können entsprechende Zwischenschichten zwischen den organischen funktionellen Schichtenstruktur-Einheiten In an organic functional layer structure 22 having two or more organic functional layer structure units, corresponding intermediate layers may be interposed between the organic functional layer structure units
ausgebildet sein. Die organischen funktionellen be educated. The organic functional
Schichtenstruktur-Einheiten können jeweils einzeln für sich gemäß einer Ausgestaltung der im Vorhergehenden erläuterten organischen funktionellen Schichtenstruktur 22 ausgebildet sein. Die Zwischenschicht kann als eine Zwischenelektrode ausgebildet sein. Die Zwischenelektrode kann mit einer externen Spannungsquelle elektrisch verbunden sein. Die externe Spannungsquelle kann an der Zwischenelektrode Layered structure units may each be formed individually according to one embodiment of the above-described organic functional layered structure 22. The intermediate layer may be formed as an intermediate electrode. The intermediate electrode may be electrically connected to an external voltage source. The external voltage source can be at the intermediate electrode
beispielsweise ein drittes elektrisches Potential for example, a third electrical potential
bereitstellen. Die Zwischenelektrode kann jedoch auch keinen externen elektrischen Anschluss aufweisen, beispielsweise indem die Zwischenelektrode ein schwebendes elektrisches Potential aufweist. provide. However, the intermediate electrode can also have no external electrical connection, for example by the intermediate electrode having a floating electrical potential.
Die organische funktionelle Schichtenstruktur-Einheit kann beispielsweise eine Schichtdicke aufweisen von maximal ungefähr 3 ym, beispielsweise eine Schichtdicke von maximal ungefähr 1 ym, beispielsweise eine Schichtdicke von maximal ungefähr 300 nm. The organic functional layer structure unit may, for example, have a layer thickness of at most approximately 3 μm, for example a layer thickness of at most approximately 1 μm, for example a layer thickness of approximately approximately 300 nm.
Das herkömmliche optoelektronische Bauelement 1 kann optional weitere funktionale Schichten aufweisen, beispielsweise angeordnet auf oder über der einen oder mehreren The conventional optoelectronic component 1 can optionally have further functional layers, for example arranged on or above the one or more
Emitterschichten oder auf oder über der Emitter layers or on or over the
Elektronentransportschicht . Die weiteren funktionalen Electron transport layer. The other functional
Schichten können beispielsweise interne oder extern Ein- /Auskoppelstrukturen sein, die die Funktionalität und damit die Effizienz des herkömmlichen optoelektronischen Layers can be, for example, internal or external coupling / decoupling structures that enhance the functionality and thus the efficiency of the conventional optoelectronic
Bauelements 1 weiter verbessern können. Die zweite Elektrode 23 kann gemäß einer der Ausgestaltungen der ersten Elektrode 20 ausgebildet sein, wobei die erste Elektrode 20 und die zweite Elektrode 23 gleich oder Component 1 can further improve. The second electrode 23 may be formed according to any one of the configurations of the first electrode 20, wherein the first electrode 20 and the second electrode 23 are the same or
unterschiedlich ausgebildet sein können. Die zweite Elektrode 23 kann als Anode oder als Kathode ausgebildet sein. Die zweite Elektrode 23 kann einen zweiten elektrischen Anschluss aufweisen, an den ein zweites elektrisches Potential anlegbar ist. Das zweite elektrische Potential kann von der gleichen oder einer anderen Energiequelle bereitgestellt werden wie das erste elektrische Potential. Das zweite elektrische can be designed differently. The second electrode 23 may be formed as an anode or as a cathode. The second electrode 23 may have a second electrical connection to which a second electrical potential can be applied. The second electrical potential may be provided by the same or a different energy source as the first electrical potential. The second electrical
Potential kann unterschiedlich zu dem ersten elektrischen Potential sein. Das zweite elektrische Potential kann  Potential may be different from the first electrical potential. The second electrical potential can
beispielsweise einen Wert aufweisen derart, dass die For example, have a value such that the
Differenz zu dem ersten elektrischen Potential einen Wert in einem Bereich von ungefähr 1,5 V bis ungefähr 20 V aufweist, beispielsweise einen Wert in einem Bereich von ungefähr 2,5 V bis ungefähr 15 V, beispielsweise einen Wert in einem Bereich von ungefähr 3 V bis ungefähr 12 V. Die Verkapselungsschicht 24 kann auch als Difference from the first electrical potential has a value in a range of about 1.5 V to about 20 V, for example, a value in a range of about 2.5 V to about 15 V, for example, a value in a range of about 3 V. to about 12 V. The encapsulation layer 24 may also be referred to as
Dünnschichtverkapselung bezeichnet werden. Die  Thin-layer encapsulation may be referred to. The
Verkapselungsschicht 24 kann als transluzente oder Encapsulation layer 24 may be translucent or
transparente Schicht ausgebildet sein. Die be formed transparent layer. The
Verkapselungsschicht 24 bildet eine Barriere gegenüber chemischen Verunreinigungen bzw. atmosphärischen Stoffen, insbesondere gegenüber Wasser (Feuchtigkeit) und Sauerstoff. In anderen Worten ist die Verkapselungsschicht 24 derart ausgebildet, dass sie von Stoffen, die das optoelektronische Bauelement schädigen können, beispielsweise Wasser, Encapsulation layer 24 forms a barrier to chemical contaminants or atmospheric agents, especially to water (moisture) and oxygen. In other words, the encapsulation layer 24 is designed such that it can be damaged by substances which can damage the optoelectronic component, for example water,
Sauerstoff oder Lösemittel, nicht oder höchstens zu sehr geringen Anteilen durchdrungen werden kann. Die Oxygen or solvent, not or at most can be penetrated at very low levels. The
Verkapselungsschicht 24 kann als eine einzelne Schicht, ein Schichtstapel oder eine Schichtstruktur ausgebildet sein. Die Verkapselungsschicht 24 kann aufweisen oder daraus gebildet sein: Aluminiumoxid, Zinkoxid, Zirkoniumoxid, Encapsulation layer 24 may be formed as a single layer, a layer stack, or a layered structure. The encapsulation layer 24 may include or be formed from: alumina, zinc oxide, zirconia,
Titanoxid, Hafniumoxid, Tantaloxid Lanthaniumoxid, Titanium oxide, hafnium oxide, tantalum oxide, lanthanum oxide,
Siliziumoxid, Siliziumnitrid, Siliziumoxinitrid, Indiumzinnoxid, Indiumzinkoxid, Aluminium-dotiertes Zinkoxid, Poly (p-phenylenterephthalamid) , Nylon 66, sowie Mischungen und Legierungen derselben. Die Verkapselungsschicht 24 kann eine Schichtdicke von ungefähr 0,1 nm (eine Atomlage) bis ungefähr 1000 nm Silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, Indium tin oxide, indium zinc oxide, aluminum doped zinc oxide, poly (p-phenylene terephthalamide), nylon 66, and mixtures and alloys thereof. The encapsulation layer 24 may have a layer thickness of about 0.1 nm (one atomic layer) to about 1000 nm
aufweisen, beispielsweise eine Schichtdicke von ungefähr 10 nm bis ungefähr 100 nm, beispielsweise ungefähr 40 nm. For example, a layer thickness of about 10 nm to about 100 nm, for example about 40 nm.
Die Verkapselungsschicht 24 kann ein hochbrechendes Material aufweisen, beispielsweise ein oder mehrere Material (ien) mit einem hohen Brechungsindex, beispielsweise mit einem The encapsulation layer 24 may comprise a high refractive index material, for example, one or more high refractive index materials, such as one
Brechungsindex von 1,5 bis 3, beispielsweise von 1,7 bis 2,5, beispielsweise von 1,8 bis 2. Gegebenenfalls kann die erste Barriereschicht auf dem Träger 12 korrespondierend zu einer Ausgestaltung der Refractive index of 1.5 to 3, for example from 1.7 to 2.5, for example from 1.8 to 2. Optionally, the first barrier layer on the support 12 corresponding to a configuration of
Verkapselungsschicht 24 ausgebildet sein. Encapsulation layer 24 may be formed.
Die Verkapselungsschicht 24 kann beispielsweise mittels eines geeigneten Abscheideverfahrens gebildet werden, z.B. mittels eines Atomlagenabscheideverfahrens (Atomic Layer Deposition (ALD) ) , z.B. eines plasmaunterstützten The encapsulation layer 24 may be formed, for example, by a suitable deposition method, e.g. by atomic layer deposition (ALD), e.g. a plasma-assisted
Atomlagenabscheideverfahrens (Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD) ) oder eines plasmalosen  Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD)) or a plasmaless
Atomlageabscheideverfahrens (Plasma-less Atomic Layer Atomic deposition method (Plasma-less Atomic Layer
Deposition (PLALD) ) , oder mittels eines chemischen Deposition (PLALD)), or by means of a chemical
Gasphasenabscheideverfahrens (Chemical Vapor Deposition Gas phase deposition process (Chemical Vapor Deposition
(CVD) ) , z.B. eines plasmaunterstützten (CVD)), e.g. a plasma-assisted
Gasphasenabscheideverfahrens (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) ) oder eines plasmalosen  Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) or a plasmalase
Gasphasenabscheideverfahrens (Plasma-less Chemical Vapor Deposition (PLCVD) ) , oder alternativ mittels anderer  Gas phase deposition process (Plasma-less Chemical Vapor Deposition (PLCVD)), or alternatively by other means
geeigneter Abscheideverfahren. Optional kann eine Ein- oder Auskoppelschicht, beispielsweise als externe Folie (nicht dargestellt) , auf dem Träger 12 oder als interne Auskoppelschicht (nicht dargestellt) im suitable deposition method. Optionally, a coupling or decoupling layer, for example as an external film (not shown), on the support 12 or as an internal coupling-out layer (not shown) in
Schichtenquerschnitt des optoelektronischen Bauelements 10 ausgebildet sein. Die Ein-/Auskoppelschicht kann eine Matrix und darin verteilt Streuzentren aufweisen, wobei der mittlere Brechungsindex der Ein-/Auskoppelschicht größer ist als der mittlere Brechungsindex der Schicht, aus der die Layer cross section of the optoelectronic component 10 be educated. The input / outcoupling layer may have a matrix and scattering centers distributed therein, wherein the average refractive index of the input / outcoupling layer is greater than the average refractive index of the layer from which the
elektromagnetische Strahlung bereitgestellt wird. Ferner können zusätzlich eine oder mehrere Entspiegelungsschichten ausgebildet sein. electromagnetic radiation is provided. Furthermore, one or more antireflection coatings may additionally be formed.
Die Haftmittelschicht 36 kann beispielsweise Klebstoff und/oder Lack aufweisen, mittels dessen der Abdeckkörper 38 beispielsweise auf der Verkapselungsschicht 24 angeordnet, beispielsweise aufgeklebt, ist. Die Haftmittelschicht 36 kann transparent oder transluzent ausgebildet ein. Die The adhesive layer 36 may include, for example, adhesive and / or paint, by means of which the cover body 38, for example, arranged on the encapsulation layer 24, for example glued, is. The adhesive layer 36 may be transparent or translucent. The
Haftmittelschicht 36 kann beispielsweise Partikel aufweisen, die elektromagnetische Strahlung streuen, beispielsweise lichtstreuende Partikel. Dadurch kann die Haftmittelschicht 36 als Streuschicht wirken und zu einer Verbesserung des Farbwinkelverzugs und der Auskoppeleffizienz führen. Als lichtstreuende Partikel können dielektrische Adhesive layer 36 may, for example, comprise particles which scatter electromagnetic radiation, for example light-scattering particles. As a result, the adhesive layer 36 can act as a scattering layer and lead to an improvement in the color angle distortion and the coupling-out efficiency. As light-scattering particles, dielectric
Streupartikel vorgesehen sein, beispielsweise aus einem  Be provided scattering particles, for example, from a
Metalloxid, beispielsweise Siliziumoxid (Si02), Zinkoxid (ZnO) , Zirkoniumoxid (Zr02), Indium-Zinn-Oxid (ITO) oder Indium-Zink-Oxid (IZO), Galliumoxid (Ga20x) Aluminiumoxid, oder Titanoxid. Auch andere Partikel können geeignet sein, sofern sie einen Brechungsindex haben, der von dem effektiven Brechungsindex der Matrix der Haftmittelschicht 36 Metal oxide, for example, silicon oxide (SiO 2), zinc oxide (ZnO), zirconium oxide (ZrO 2), indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO), gallium oxide (Ga 2 Ox) aluminum oxide, or titanium oxide. Other particles may also be suitable provided they have a refractive index that is different from the effective refractive index of the matrix of the adhesive layer 36
verschieden ist, beispielsweise Luftblasen, Acrylat, oder Glashohlkugeln. Ferner können beispielsweise metallische Nanopartikel , Metalle wie Gold, Silber, Eisen-Nanopartikel , oder dergleichen als lichtstreuende Partikel vorgesehen sein. is different, for example, air bubbles, acrylate, or glass bubbles. Furthermore, for example, metallic nanoparticles, metals such as gold, silver, iron nanoparticles, or the like may be provided as light-scattering particles.
Die Haftmittelschicht 36 kann eine Schichtdicke größer 1 ym aufweisen, beispielsweise eine Schichtdicke von mehreren ym. In verschiedenen Ausführungsbeispielen kann der Klebstoff ein Laminations-Klebstoff sein. Die Haftmittelschicht 36 kann einen Brechungsindex aufweisen, der kleiner ist als der Brechungsindex des Abdeckkörpers 38. Die Haftmittelschicht 36 kann beispielsweise einen The adhesive layer 36 may have a layer thickness greater than 1 ym, for example, a layer thickness of several ym. In various embodiments, the adhesive may be a lamination adhesive. The adhesive layer 36 may have a refractive index that is less than the refractive index of the cover body 38. The adhesive layer 36 may include, for example, a
niedrigbrechenden Klebstoff aufweisen, wie beispielsweise ein Acrylat, der einen Brechungsindex von ungefähr 1,3 aufweist. Die Haftmittelschicht 36 kann jedoch auch einen low-refractive adhesive, such as an acrylate having a refractive index of about 1.3. However, the adhesive layer 36 may also have a
hochbrechenden Klebstoff aufweisen, der beispielsweise hochbrechende, nichtstreuende Partikel aufweist und der einen schichtdickengemittelten Brechungsindex aufweist, der Having high refractive adhesive, for example, has high refractive, non-diffusing particles and has a coating thickness-averaged refractive index, the
ungefähr dem mittleren Brechungsindex der organisch about the mean refractive index of the organic
funktionellen Schichtenstruktur 22 entspricht, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1,6 bis 2,5, beispielsweise von 1,7 bis ungefähr 2,0. Auf oder über dem aktiven Bereich kann eine sogenannte functional layer structure 22, for example in a range of about 1.6 to 2.5, for example from 1.7 to about 2.0. On or above the active area may be a so-called
Getter-Schicht oder Getter-Struktur, d.h. eine lateral strukturierte Getter-Schicht, (nicht dargestellt) angeordnet sein. Die Getter-Schicht kann transluzent, transparent oder opak ausgebildet sein. Die Getter-Schicht kann ein Material aufweisen oder daraus gebildet sein, das Stoffe, die Getter layer or getter structure, i. a laterally structured getter layer (not shown) may be arranged. The getter layer can be translucent, transparent or opaque. The getter layer may include or be formed from a material that includes fabrics
schädlich für den aktiven Bereich sind, absorbiert und bindet. Eine Getter-Schicht kann beispielsweise ein Zeolith- Derivat aufweisen oder daraus gebildet sein. Die Getter- Schicht kann eine Schichtdicke größer 1 ym aufweisen, are harmful to the active area, absorbs and binds. For example, a getter layer may include or be formed from a zeolite derivative. The getter layer may have a layer thickness greater than 1 ym,
beispielsweise eine Schichtdicke von mehreren ym. In for example, a layer thickness of several ym. In
verschiedenen Ausführungsbeispielen kann die Getter-Schicht einen Laminations-Klebstoff aufweisen oder in der According to various embodiments, the getter layer may comprise a lamination adhesive or in the
Haftmittelschicht 36 eingebettet sein. Der Abdeckkörper 38 kann beispielsweise von einem Glaskörper, einer Metallfolie oder einem abgedichteten Kunststofffolien- abdeckkörper gebildet sein. Der Abdeckkörper 38 kann Adhesive layer 36 embedded. The covering body 38 can be formed, for example, by a glass body, a metal foil or a sealed plastic film covering body. The cover body 38 can
beispielsweise mittels einer Fritten-Verbindung (engl, glass frit bonding/glass soldering/seal glass bonding) mittels eines herkömmlichen Glaslotes in den geometrischen For example, by means of a frit bonding (glass frit bonding / glass soldering / seal glass bonding) by means of a conventional glass solder in the geometric
Randbereichen des herkömmlichen optoelektronischen Edge regions of the conventional optoelectronic
Bauelements 1 auf der Verkapselungsschicht 24 bzw. dem aktiven Bereich angeordnet sein. Der Abdeckkörper 38 kann beispielsweise einen Brechungsindex (beispielsweise bei einer Wellenlänge von 633 nm) von beispielsweise 1,3 bis 3, beispielsweise von 1,4 bis 2, beispielsweise von 1,5 bis 1,8 aufweisen . Component 1 may be arranged on the encapsulation layer 24 or the active region. The cover body 38 can For example, have a refractive index (for example, at a wavelength of 633 nm), for example, 1.3 to 3, for example, from 1.4 to 2, for example from 1.5 to 1.8.
Fig. 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines optoelektronischen Bauelements in einem Zustand während eines herkömmlichen Verfahrens zum Herstellen der organischen funktionellen FIG. 3 shows an exemplary embodiment of an optoelectronic component in a state during a conventional method for producing the organic functional
Schichtenstruktur 22 des optoelektronischen Bauelements 10. Layer structure 22 of the optoelectronic component 10.
Das optoelektronische Bauelement 10 weist einen Träger 12 auf. Der Träger 12 ist in Querschnitt beispielsweise doppelt- T-förmig ausgebildet. Der Träger 12 kann beispielsweise rotationssymmetrisch zu einer Symmetrieachse 55 ausgebildet sein. Der Träger 12 wird von einem Substrathalter 54 gehalten und/oder ist fest mit dem Substrathalter 54 verbunden. Der Träger 12 weist eine zusammenhängende zu beschichtende dreidimensionale Oberfläche 40 auf. Der Träger 12 weist eine nicht zu beschichtende Oberfläche 42 auf. Die nicht zu beschichtende Oberfläche 42 ist dem Substrathalter 54 The optoelectronic component 10 has a carrier 12. The carrier 12 is formed in cross-section example, double T-shaped. The carrier 12 may be formed, for example, rotationally symmetrical to an axis of symmetry 55. The carrier 12 is held by a substrate holder 54 and / or is fixedly connected to the substrate holder 54. The carrier 12 has a continuous three-dimensional surface 40 to be coated. The carrier 12 has a surface 42 that is not to be coated. The non-coating surface 42 is the substrate holder 54
zugewandt. Beispielsweise ist der Träger 12 an seiner nicht zu beschichtenden Oberfläche 42 mit dem Substrathalter 54 direkt körperlich gekoppelt. Das Substrat umfasst den Träger 12 und kann auch Elektrodenschicht 14, insbesondere die erste Elektrode 20, den ersten Kontaktabschnitt 16 und/oder den zweiten Kontaktabschnitt 18 aufweisen. Das Substrat kann beispielsweise einstückig oder mehrstückig ausgebildet sein. Das Substrat kann eine Metallschicht, einen Metallkörper, beispielsweise einen Hohlkörper oder einen Vollkörper facing. By way of example, the carrier 12 is directly physically coupled to the substrate holder 54 on its surface 42 which is not to be coated. The substrate comprises the carrier 12 and may also comprise electrode layer 14, in particular the first electrode 20, the first contact section 16 and / or the second contact section 18. The substrate may be formed, for example, in one piece or in several pieces. The substrate may be a metal layer, a metal body, for example a hollow body or a solid body
aufweisen oder davon gebildet sein. Falls das Substrat eine gute elektrische Leitfähigkeit aufweist, so kann auf ein zusätzliches Ausbilden der Elektrodenschicht 14, insbesondere der ersten Elektrode 20, des ersten Kontaktabschnitts 16 und/oder des zweiten Kontaktabschnitts 18 verzichtet werden. or be formed thereof. If the substrate has good electrical conductivity, additional formation of the electrode layer 14, in particular the first electrode 20, the first contact section 16 and / or the second contact section 18 can be dispensed with.
Die dreidimensionale Oberfläche 40 ist dadurch The three-dimensional surface 40 is thereby
gekennzeichnet, dass sie verschiedene, voneinander characterized in that they are different from each other
unterschiedliche Teilbereiche aufweist, die je eine Flächennormale aufweisen, wobei jede dieser Flächennormalen eine Gerade ist, die die dreidimensionale Oberfläche 40 in dem entsprechenden Teilbereich im rechten Winkel schneidet, wobei mindestens zwei der Flächennormalen eine has different sub-areas, each one Have surface normals, each of these surface normal is a straight line which intersects the three-dimensional surface 40 in the corresponding portion at right angles, wherein at least two of the surface normal one
zweidimensionale Ebene aufspannen und wobei mindestens eine der Flächennormalen diese Ebene in genau einem Punkt span two-dimensional plane and at least one of the surface normal this plane in exactly one point
schneidet. Somit stehen die Flächennormalen in dem cuts. Thus, the surface normals are in the
entsprechenden Teilbereich immer in einem rechten Winkel zu der dreidimensionalen Oberfläche 40 und sind voneinander linear unabhängig. corresponding portion always at a right angle to the three-dimensional surface 40 and are linearly independent of each other.
Auf der zu beschichtenden dreidimensionalen Oberfläche 40 des Trägers 12 kann die erste Elektrodenschicht 14 ausgebildet sein (in Figur 3 nicht gezeigt) , von der insbesondere die erste Elektrode 20 gebildet ist. In anderen Worten kann der in Figur 3 gezeigte Träger 12 repräsentativ für das Substrat des optoelektronischen Bauelements 10 sein. Von einer dem Träger 12 abgewandten Seite der ersten Elektrodenschicht 14, beispielsweise der ersten Elektrode 20, kann somit die zu beschichtende dreidimensionale Oberfläche 40 des On the three-dimensional surface 40 of the carrier 12 to be coated, the first electrode layer 14 may be formed (not shown in FIG. 3), of which, in particular, the first electrode 20 is formed. In other words, the carrier 12 shown in FIG. 3 may be representative of the substrate of the optoelectronic component 10. From a side facing away from the carrier 12 of the first electrode layer 14, for example, the first electrode 20, thus can be coated to be coated three-dimensional surface 40 of
optoelektronischen Bauelements 10 gebildet sein. Optoelectronic device 10 may be formed.
Bei dem herkömmlichen Verfahren zum Beschichten des Substrats bzw. zum Ausbilden der organischen funktionellen In the conventional method for coating the substrate or for forming the organic functional
Schichtenstruktur 22 kann beispielsweise ein erstes Layer structure 22 may, for example, a first
organisches Material der organischen funktionellen organic material of organic functional
Schichtenstruktur 22 in einem herkömmlichen Vorratsbehälter 50 erhitzt werden, bis es verdampft. Der herkömmliche Layer structure 22 are heated in a conventional reservoir 50 until it evaporates. The conventional one
Vorratsbehälter 50 kann somit als Beschichtungsquelle dienen. Die Moleküle des ersten organischen Materials steigen in einer ersten Richtung 52 aus dem herkömmlichen Reservoir 50 can thus serve as a coating source. The molecules of the first organic material increase in a first direction 52 from the conventional one
Vorratsbehälter 50 in Richtung hin zu dem optoelektronischen Bauelement 10 auf. Das erste organische Material lagert sich dann in mehreren Teilbereichen der zu beschichtenden Reservoir 50 toward the optoelectronic device 10 on. The first organic material then deposits in several subregions of the coating to be coated
dreidimensionalen Oberfläche 40 an und bildet in jedem der Teilbereiche eine Teilschicht der organischen funktionellen Schichtenstruktur 22. Es verbleiben jedoch andere 3-dimensional surface 40 and forms a sub-layer of the organic functional layer structure 22 in each of the subregions. However, others remain
unbeschichtete Teilbereiche 44, beispielsweise aufgrund der Abschattung dieser unbeschichteten Bereiche 44 aufgrund der dreidimensionalen Form des Substrats und insbesondere des Trägers 12. In anderen Worten liegen die unbeschichteten Teilbereiche 44 von der Beschichtungsquelle aus gesehen in einem oder mehreren toten Winkeln. Somit kann gemäß dem herkömmlichen Verfahren zum Ausbilden der organischen uncoated portions 44, for example, due to Shading of these uncoated regions 44 due to the three-dimensional shape of the substrate and in particular of the carrier 12. In other words, the uncoated portions 44 are seen from the coating source in one or more blind spots. Thus, according to the conventional method for forming the organic
funktionellen Schichtenstruktur 22 nicht die gesamte functional layer structure 22 not the entire
dreidimensionale Oberfläche 40 des Substrats mit dem ersten organischen Material beschichtet werden. Dies kann three-dimensional surface 40 of the substrate are coated with the first organic material. This can
beispielsweise dazu beitragen, dass von den beschichteten Teilbereichen keine zusammenhängende Schicht sondern For example, help ensure that of the coated sub-areas no coherent layer but
voneinander getrennte Einzelschichten gebildet sind. separated individual layers are formed.
Nachdem gemäß diesem herkömmlichen Verfahren und/oder gemäß anderen herkömmlichen Verfahren ein zweites organisches After according to this conventional method and / or according to other conventional methods, a second organic
Material und/oder weitere organische Materialien der Material and / or other organic materials of the
organischen funktionellen Schichtenstruktur 22, insbesondere der Teilschichten der organischen funktionellen organic functional layer structure 22, in particular the partial layers of the organic functional
Schichtenstruktur 22, übereinander ausgebildet sind, ist eine nicht zusammenhängende, mehrere getrennte Teilbereiche aufweisende, organische funktionelle Schichtenstruktur 22 ausgebildet. Insbesondere ist in den unbeschichteten Layer structure 22, one above the other, is formed a non-contiguous, several separate sub-regions, having organic functional layer structure 22. In particular, in the uncoated
Teilbereichen 44 keine organische funktionelle Subareas 44 no organic functional
Schichtenstruktur 22 ausgebildet. Somit kann das Layer structure 22 is formed. Thus, that can
optoelektronische Bauelement 10, hergestellt unter anderem mit Hilfe des herkömmlichen Verfahrens, keine zusammenhängend dreidimensionale Leuchtfläche bereitstellen, die eine Optoelectronic device 10, manufactured, inter alia, by means of the conventional method, do not provide a coherent three-dimensional luminous surface, the one
homogene Leuchtdichte bereitstellt. Zum Beschichten der gesamten zu beschichtenden Oberfläche 40 könnte nun das Substrat so gedreht werden, dass die provides homogeneous luminance. For coating the entire surface 40 to be coated, the substrate could now be rotated so that the
unbeschichteten Teilbereiche 44 nicht mehr abgeschattet sind, und das herkömmliche Verfahren könnte über den noch nicht beschichteten Teilbereichen 44 durchgeführt werden. Dies würde jedoch dazu führen, dass Übergangsbereiche zwischen den zuerst beschichteten Bereichen und den nachfolgend uncoated portions 44 are no longer shaded, and the conventional method could be performed over the uncoated portions 44. However, this would result in transition areas between the first coated areas and the following
beschichteten Bereichen doppelt beschichtet werden würden, und dass wiederum keine zusammenhängende dreidimensionale Oberfläche 40 homogen beschichtet werden würde. coated areas would be double coated, and again, no coherent three-dimensional surface 40 would be homogeneously coated.
Fig. 4 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines optoelektronischen Bauelements 10 in einem Zustand während des herkömmlichen Verfahrens zum Ausbilden der organischen funktionellen FIG. 4 shows an embodiment of an optoelectronic component 10 in a state during the conventional method of forming the organic functional ones
Schichtenstruktur 22. Layer structure 22.
Das optoelektronische Bauelement 10, insbesondere das The optoelectronic component 10, in particular the
Substrat bzw. der Träger 12 des optoelektronischen Substrate or the carrier 12 of the optoelectronic
Bauelements 10, kann beispielsweise weitgehend dem im  Component 10, for example, largely in the
Vorhergehenden erläuterten optoelektronischen Bauelement 10 entsprechen. Das optoelektronische Bauelement 10, Previously explained optoelectronic component 10 correspond. The optoelectronic component 10,
insbesondere das Substrat bzw. der Träger 12 des in particular the substrate or the carrier 12 of the
optoelektronischen Bauelements 10, weist eine Außenform auf, durch die bei dem herkömmlichen Verfahren von dem Optoelectronic device 10, has an outer shape through which in the conventional method of the
herkömmlichen Vorratsbehälter 50 aus gesehen keine conventional reservoir 50 seen from no
abgeschatteten Bereiche entstehen und/oder kein toter Winkel besteht. Beispielsweise kann der Träger 12 halbkugelförmig, halbröhrenförmig oder schalenförmig ausgebildet sein. Der Träger 12 kann beispielsweise rotationssymmetrisch zu der Symmetrieachse 55 ausgebildet sein. shaded areas arise and / or there is no blind spot. For example, the carrier 12 may be hemispherical, half-tubular or cup-shaped. The carrier 12 may be formed, for example, rotationally symmetrical to the axis of symmetry 55.
Die gesamte dreidimensionale Oberfläche 40 dieses The entire three-dimensional surface 40 of this
optoelektronischen Bauelements 10 kann mittels des Optoelectronic device 10 may by means of
herkömmlichen Verfahrens zum Ausbilden der organischen funktionellen Schichtenstruktur 22 vollständig beschichtet werden. Die organische funktionelle Schichtenstruktur 22 ist jedoch nicht homogen ausgebildet. Insbesondere weist die organische funktionelle Schichtenstruktur 22 in ersten conventional method for forming the organic functional layer structure 22 are completely coated. However, the organic functional layer structure 22 is not formed homogeneously. In particular, the organic functional layer structure 22 in the first
Teilbereichen 46, in denen die dreidimensionale Oberfläche 40 parallel, nahezu parallel oder in einem spitzen Winkel zu der ersten Richtung 52 ausgerichtet ist, eine geringe erste Dicke auf und in zweiten Teilbereichen 48, in denen die erste  Subareas 46, in which the three-dimensional surface 40 is aligned parallel, nearly parallel or at an acute angle to the first direction 52, a small first thickness on and in second portions 48, in which the first
Richtung 52 zu der dreidimensionalen Oberfläche 40 einen stumpfen Winkel aufweist oder senkrecht auf dieser steht, eine große zweite Dicke auf. Die zweite Dicke ist größer als die erste Dicke. Mit dem herkömmlichen Verfahren zum Ausbilden der organischen funktionellen Schichtenstruktur 22 kann somit keine homogene organische funktionelle Schichtenstruktur 22 auf der Direction 52 to the three-dimensional surface 40 has an obtuse angle or perpendicular to this, a large second thickness. The second thickness is greater than the first thickness. With the conventional method for forming the organic functional layer structure 22, therefore, no homogeneous organic functional layer structure 22 on the
dreidimensionalen Oberfläche 40 ausgebildet werden. three-dimensional surface 40 are formed.
Fig. 5 zeigt das optoelektronische Bauelement 10 gemäß Figur 3 in einem Zustand während eines Ausführungsbeispiels eines Verfahrens zum Ausbilden der organischen funktionellen FIG. 5 shows the optoelectronic component 10 according to FIG. 3 in a state during one embodiment of a method for forming the organic functional ones
Schichtenstruktur 22. Layer structure 22.
Das Verfahren kann beispielsweise durchgeführt werden mittels eines Ausführungsbeispiels einer Vorrichtung zum Ausbilden der organischen funktionellen Schichtenstruktur 22. Die The method may be performed, for example, by means of an embodiment of an apparatus for forming the organic functional layer structure 22. The
Vorrichtung weist den Substrathalter 54, eine Aktoreinheit 56, eine Beschichtungsvorrichtung 90 und eine Steuereinheit 58 auf. Device comprises the substrate holder 54, an actuator unit 56, a coating device 90 and a control unit 58.
Die Aktoreinheit 56 kann beispielsweise gemäß einem Roboter ausgebildet sein. Beispielsweise kann die Aktoreinheit 56 einen Arm 57, beispielsweise einen Roboterarm, aufweisen, der mit einem Beschichtungskopf 60 gekoppelt ist. Der The actuator unit 56 may be formed according to a robot, for example. For example, the actuator unit 56 may comprise an arm 57, for example a robot arm, which is coupled to a coating head 60. Of the
Beschichtungskopf 60 weist eine Beschichtungsquelle 62 auf. Der Beschichtungskopf 60 kann beispielsweise ein Gelenk aufweisen, mittels dessen die Beschichtungsquelle 62 um eine erste Achse 70 drehbar angeordnet sein kann. Die Aktoreinheit 56 ist mit der Steuereinheit 58 elektrisch und/oder Coating head 60 has a coating source 62. The coating head 60 may, for example, have a joint by means of which the coating source 62 may be rotatably arranged about a first axis 70. The actuator unit 56 is electrically and / or with the control unit 58
körperlich gekoppelt. Die Steuereinheit 58 kann in die physically coupled. The control unit 58 can in the
Aktoreinheit 56 integriert sein oder extern von dieser angeordnet und mit dieser elektrisch gekoppelt sein. Actuator 56 may be integrated or disposed externally of this and be electrically coupled thereto.
Die Beschichtungsvorrichtung 90, die weiter unten mit Bezug zu Figur 9 näher erläutert ist, weist den Beschichtungskopf 60 auf. Die Beschichtungsvorrichtung 90 kann optional die Aktoreinheit 56 aufweisen oder mit dieser gekoppelt sein. Die Beschichtungsvorrichtung 90 kann mit der Steuereinheit 58 elektrisch und/oder körperlich gekoppelt sein. Die The coating device 90, which is explained in more detail below with reference to FIG. 9, has the coating head 60. Coating device 90 may optionally include or be coupled to actuator unit 56. The coating device 90 may be electrically and / or physically coupled to the control unit 58. The
Steuereinheit 58 kann in die Beschichtungsvorrichtung 90 integriert sein oder extern von dieser angeordnet und mit dieser elektrisch gekoppelt sein. Control unit 58 may be in the coating device 90th be integrated or disposed externally of this and be electrically coupled thereto.
Die Steuereinheit 58 weist eine Speichereinheit 59 auf. Die Steuereinheit 58 eignet sich zum Erzeugen von einem und/oder mehreren Bewegungssignalen und zum Senden der The control unit 58 has a memory unit 59. The control unit 58 is suitable for generating one and / or multiple motion signals and for transmitting the
Bewegungssignale an die Aktoreinheit 56. Die Bewegungssignale bewirken, dass nicht dargestellte Aktoren der Aktoreinheit 56 den Beschichtungskopf 60 und/oder die Beschichtungsquelle 62 entsprechend der Bewegungssignale bewegen. Die Steuereinheit 58 eignet sich des Weiteren zum Erzeugen eines oder mehrerer Beschichtungssignale und zum Senden der Beschichtungssignale an die Beschichtungsvorrichtung 90 und/oder an die  Motion signals to the actuator 56. The movement signals cause actuators, not shown, the actuator unit 56 to move the coating head 60 and / or the coating source 62 in accordance with the movement signals. The control unit 58 is also suitable for generating one or more coating signals and for sending the coating signals to the coating device 90 and / or to the
Aktoreinheit 56. Die Beschichtungssignale bewirken, dass nicht dargestellte Aktoren der Aktoreinheit 56 eine Förderung eines ersten organischen Material hin zu der Actuator 56. The coating signals cause actuators, not shown, the actuator unit 56 a promotion of a first organic material towards the
Beschichtungsquelle 62 ermöglichen und das erste organische Material aus der Beschichtungsquelle in Richtung hin zu der zu beschichtenden Oberfläche 40 auf die zu beschichtende Oberfläche 40 aufgebracht wird. Beispielsweise wird das erste organische Material in Form eines ersten Beschichtungskegels 64 hin zu der zu beschichtenden Oberfläche 40 aufgebracht.  Allow coating source 62 and the first organic material is applied from the coating source toward the surface to be coated 40 on the surface 40 to be coated. For example, the first organic material is applied in the form of a first coating cone 64 towards the surface 40 to be coated.
Beispielsweise wird das erste organische Material in For example, the first organic material is in
flüssigem Zustand und/oder in einer Flüssigkeit gelöst hin zu dem Beschichtungskopf 60, beispielsweise einem Sprühkopf, gefördert, beispielsweise mittels einer Pumpe der liquid state and / or dissolved in a liquid towards the coating head 60, for example a spray head, conveyed, for example by means of a pump
Aktoreinheit 56, und von der Beschichtungsquelle 62, Actuator unit 56, and from the coating source 62,
beispielsweise einer Sprühquelle, aus auf die zu for example, a spray source, out to the
beschichtende Oberfläche 40 gesprüht. coating surface 40 sprayed.
Alternativ dazu kann das erste organische Material in Alternatively, the first organic material may be in
gasförmigem Zustand und/oder mit Hilfe eines Trägergases hin zu dem Beschichtungskopf 60, beispielsweise einem gaseous state and / or with the aid of a carrier gas to the coating head 60, for example a
Bedampfungskopf, gefördert werden, beispielsweise mittels eines Shutters und/oder Ventils der Aktoreinheit 56, und von der Beschichtungsquelle 62, beispielsweise einer Bedampfungskopf be promoted, for example by means of a shutter and / or valve of the actuator 56, and the coating source 62, for example a
Bedampfungsquelle, aus auf die zu beschichtende Oberfläche 40 gedampft werden. Diese Verfahren kann beispielsweise gemäß OVPD und/oder Vaporjet Deposition durchgeführt werden. Bedampfungsquelle, off on the surface to be coated 40th be steamed. This process can be carried out, for example, according to OVPD and / or vaporjet deposition.
Die Aktoreinheit 56 mit ihren Aktoren ermöglicht, die The actuator unit 56 with its actuators allows the
Beschichtungsquelle 62 über die gesamte zu beschichtendeCoating source 62 over the entire to be coated
Oberfläche 40 zu bewegen. Dadurch kann die zusammenhängende homogene Schicht aus organischem Material auf der gesamten beschichtenden dreidimensionalen Oberfläche 40 ausgebildet werden. Mit Hilfe der Aktoreinheit 56 kann die Surface 40 to move. Thereby, the coherent homogeneous layer of organic material can be formed on the entire coating three-dimensional surface 40. With the help of the actuator 56, the
Beschichtungsquelle 62 über alle Teilbereiche der zu Coating source 62 over all parts of the zu
beschichtenden dreidimensionalen Oberfläche 40 so bewegt werden, dass ein Abstand zwischen der Beschichtungsquelle 62 und der zu beschichtenden dreidimensionalen Oberfläche 40 immer gleich oder zumindest näherungsweise gleich ist. Coating three-dimensional surface 40 are moved so that a distance between the coating source 62 and the three-dimensional surface 40 to be coated is always the same or at least approximately the same.
Alternativ oder zusätzlich kann mit Hilfe der Aktoreinheit 56 die Beschichtungsquelle 62 über alle Teilbereiche der zu beschichtenden dreidimensionalen Oberfläche 40 so bewegt werden, dass eine Beschichtungsachse des ersten Alternatively or additionally, with the aid of the actuator unit 56, the coating source 62 can be moved over all partial regions of the three-dimensional surface 40 to be coated in such a way that a coating axis of the first
Beschichtungskegels 64 immer den gleichen Winkel mit den Flächennormalen der zu beschichtenden Teilbereiche der zu beschichtenden dreidimensionalen Oberfläche 40 einschließt. Beispielsweise können die Beschichtungsachse und die Coating cone 64 always includes the same angle with the surface normals of the subregions of the coated to be coated three-dimensional surface 40. For example, the coating axis and the
Flächennormalen immer parallel zueinander ausgerichtet sein. In anderen Worten kann die Beschichtungsachse immer senkrecht auf dem aktuell zu beschichtenden Teilbereich stehen. DerSurface normals always be aligned parallel to each other. In other words, the coating axis can always be perpendicular to the current area to be coated. Of the
Beschichtungskegel 64 kann beispielsweise ein Dampfkegel oder ein Sprühkegel sein. Dementsprechend kann die Coating cone 64 may be, for example, a steam cone or a spray cone. Accordingly, the
Beschichtungsachse beispielsweise eine Dampfkegelachse des Dampfkegels bzw. eine Sprühkegelachse des Sprühkegels sein. Coating axis, for example, be a steam cone axis of the steam cone or a Sprühkegelachse the spray cone.
Alternativ oder zusätzlich kann die Substrathalterung 54 mit der Aktoreinheit 56 gekoppelt sein. Die Aktoreinheit 56 kann dann mit Hilfe der nicht dargestellten Aktoren das Substrat, insbesondere den Träger 12, so an der Beschichtungsquelle 62 vorbeibewegen, dass die gesamte zu beschichtende Alternatively or additionally, the substrate holder 54 may be coupled to the actuator unit 56. The actuator unit 56 can then, with the aid of the actuators, not shown, move the substrate, in particular the carrier 12, past the coating source 62 in such a way that the entire coating to be coated
dreidimensionale Oberfläche 40 mittels des Beschichtungskopfs und der Beschichtungsquelle 62 beschichtet werden kann. three-dimensional surface 40 can be coated by means of the coating head and the coating source 62.
Insbesondere kann die Bewegung des Substrats während der Beschichtung derart erfolgen, dass die Beschichtungsquelle 62 während des Beschichtens immer den gleichen oder zumindest näherungsweise gleichen Abstand zu der dreidimensionalen Oberfläche 40 hat. Alternativ oder zusätzlich kann die In particular, the movement of the substrate during the Coating be such that the coating source 62 always has the same or at least approximately the same distance from the three-dimensional surface 40 during coating. Alternatively or additionally, the
Bewegung des Substrats während der Beschichtung derart erfolgen, dass die Beschichtungsachse des Beschichtungskegels 64 immer den gleichen oder zumindest näherungsweise gleichen Winkel mit den Flächennormalen der dreidimensionalen Movement of the substrate during the coating carried out such that the coating axis of the coating cone 64 always the same or at least approximately the same angle with the surface normal of the three-dimensional
Oberfläche 40 einschließt. Beispielsweise können die Surface 40 includes. For example, the
Beschichtungsachse und die Flächennormalen immer parallel zueinander ausgerichtet sein. In anderen Worten kann die Beschichtungsachse immer senkrecht auf dem aktuell zu Coating axis and the surface normals should always be aligned parallel to each other. In other words, the coating axis can always be perpendicular to the current too
beschichtenden Teilbereich stehen. Die Beschichtung der dreidimensionalen Oberfläche 40 erfolgt somit während einer Relativbewegung zwischen der standing coating part. The coating of the three-dimensional surface 40 thus takes place during a relative movement between the
Beschichtungsquelle 62 und dem Substrat. Die Relativbewegung kann erfolgen durch Festlegen der Position des Substrats und durch Bewegen der Beschichtungsquelle 62, durch Festlegen der Beschichtungsquelle 62 und durch Bewegen des Substrats oder durch Bewegen des Substrats und der Beschichtungsquelle 62. Coating source 62 and the substrate. The relative movement may be performed by fixing the position of the substrate and moving the coating source 62, fixing the coating source 62 and moving the substrate, or moving the substrate and the coating source 62.
Aus Gründen der besseren Anschaulichkeit und zum Vermeiden von Wiederholungen wird nachfolgend die Relativbewegung anhand der Situationen erläutert, in denen das Substrat, insbesondere der Träger 12, ortsfest angeordnet ist und die Beschichtungsquelle 62 bewegt wird. Es ist jedoch anzumerken, dass ähnliche oder gleiche oder korrespondierende Bewegungen auch durch Festlegen der Beschichtungsquelle 62 und durch Bewegen des Substrats oder durch Bewegen des Substrats und der Beschichtungsquelle 62 erzielt werden können. In anderen Worten wird nachfolgend das Substrat als Bezugspunkt For reasons of better clarity and to avoid repetition, the relative movement is explained below on the basis of the situations in which the substrate, in particular the carrier 12, is arranged stationary and the coating source 62 is moved. It should be noted, however, that similar or the same or corresponding movements can also be achieved by fixing the coating source 62 and moving the substrate or by moving the substrate and the coating source 62. In other words, the substrate is used as a reference point below
festgelegt und die Beschichtungsquelle 62 wird bewegt. set and the coating source 62 is moved.
Alternativ dazu kann die Beschichtungsquelle 62 festgelegt werden und das Substrat kann bewegt werden. Alternatively, the coating source 62 may be fixed and the substrate may be moved.
Die gesamte zu beschichtende dreidimensionale Oberfläche 40 kann beispielsweise mit dem ersten organischen Material beschichtet werden, indem die Beschichtungsquelle 62 um die erste Achse 70 und/oder um eine zweite Achse 72 gedreht wird. Die zweite Achse 72 ist dabei nicht parallel zu der ersten Achse 70. Beispielsweise kann die zweite Achse 72 eine The entire three-dimensional surface 40 to be coated can be made, for example, with the first organic material coated by rotating the coating source 62 about the first axis 70 and / or about a second axis 72. The second axis 72 is not parallel to the first axis 70. For example, the second axis 72 a
Symmetrieachse des Substrats sein, die zweite Achse 72 kann jedoch auch keine Symmetrieachse sein und/oder das Substrat kann nicht symmetrisch sein. Alternativ oder zusätzlich kann die gesamte zu beschichtende dreidimensionale Oberfläche 40 beschichtet werden, indem die Beschichtungsquelle 62 in eine, zwei oder drei räumlichen Dimensionen verschoben wird. Die drei räumlichen Dimensionen sind beispielsweise die drei räumlichen Dimensionen eines dreidimensionalen Raumes, wobei die räumlichen Dimensionen beispielsweise durch die X-Achse, die Y-Achse und die Z-Achse eines in Figur 5 gezeigten However, the second axis 72 may not be an axis of symmetry and / or the substrate may not be symmetrical. Alternatively or additionally, the entire three-dimensional surface 40 to be coated can be coated by displacing the coating source 62 in one, two or three spatial dimensions. The three spatial dimensions are, for example, the three spatial dimensions of a three-dimensional space, the spatial dimensions being shown, for example, by the X-axis, the Y-axis and the Z-axis of one shown in FIG
Koordinatensystems gekennzeichnet sein können. Coordinate system can be marked.
Für den in Figur 5 gezeigten Körper ist die Drehung um die erste und die zweite Achse 70, 72 erforderlich. Es sind jedoch auch andere dreidimensionale Oberflächen 40 denkbar, für die die Verschiebung in drei räumlichen Dimensionen ausreichend ist und keine Drehung notwendig ist oder For the body shown in Figure 5, rotation about the first and second axes 70, 72 is required. However, other three-dimensional surfaces 40 are conceivable for which the displacement in three spatial dimensions is sufficient and no rotation is necessary or
bestimmte Kombinationen von Drehung und Verschiebung certain combinations of rotation and displacement
notwendig sind. Beispielsweise kann die in Figur 5 gezeigte dreidimensionale Oberfläche 40 vollständig homogen necessary. For example, the three-dimensional surface 40 shown in FIG. 5 can be completely homogeneous
beschichtet werden, indem die Beschichtungsquelle 62 relativ zu der zu beschichtenden Oberfläche 40 um die erste Achse 70 und um die zweite Achse 72 gedreht wird und in mindestens eine Dimension, beispielsweise in Z-Richtung, verschoben wird. Zusätzlich kann die Verschiebung in eine zweite coated by rotating the coating source 62 about the first axis 70 and about the second axis 72 relative to the surface 40 to be coated, and is displaced in at least one dimension, for example in the Z-direction. In addition, the shift into a second
Dimension, beispielsweise in X-Richtung erfolgen. Dimension, for example, in the X direction.
Nachdem die zu beschichtende dreidimensionale Oberfläche 40 vollständig und homogen mit dem ersten organischen Material beschichtet ist, kann auch noch das zweite organische After the coated three-dimensional surface 40 is fully and homogeneously coated with the first organic material, also the second organic
Material oder ggf. weitere organische Materialien über der zu beschichtenden dreidimensionalen Oberfläche abgeschieden werden. Auf diese Weise kann die zusammenhängende Material or optionally further organic materials are deposited over the three-dimensional surface to be coated. In this way, the coherent
dreidimensionale Oberfläche 40 mit einer zusammenhängenden homogenen organischen funktionellen Schichtenstruktur 22 beschichtet werden. three-dimensional surface 40 with a contiguous homogeneous organic functional layer structure 22 are coated.
Optional kann mit einem nahezu identischen Verfahren und/oder mit einer nahezu identischen Vorrichtung auch die erste Optionally, with a nearly identical method and / or with a nearly identical device, the first
Elektrode 20 auf dem Träger 12 oder die zweite Elektrode 23 über der organischen funktionellen Schichtenstruktur 22 ausgebildet werden, wobei dann jedoch die zu der ersten bzw. zweiten Elektrode 20, 23 entsprechenden Materialien auf die jeweils zu beschichtende Oberfläche aufgebracht werden müssen .  Electrode 20 are formed on the support 12 or the second electrode 23 above the organic functional layer structure 22, in which case, however, the corresponding to the first and second electrode 20, 23 materials must be applied to the respective surface to be coated.
Bei verschiedenen Ausführungsbeispielen kann eine der In various embodiments, one of the
Elektroden 20, 23 des optoelektronischen Bauelements 10 spiegelnd und/oder nicht durchsichtig ausgebildet sein. Electrodes 20, 23 of the optoelectronic component 10 may be formed mirror-like and / or non-transparent.
Beispielsweise kann bei einer bottom-emittierenden OLED die Top-Elektrode, also die zweite Elektrode 23 von einer  For example, in the case of a bottom-emitting OLED, the top electrode, that is to say the second electrode 23, can be of one
spiegelnden metallischen Schicht gebildet sein. Die be formed reflective metal layer. The
undurchsichtige Elektrode der OLED kann mit einem opaque electrode of the OLED can with a
herkömmlichen Verfahren, beispielsweise mittels mehrfachen herkömmlichen Beschichtens der dreidimensionalen Oberfläche 40 aus unterschiedlichen Richtungen ausgebildet werden, um Abschattungen zu vermeiden, die sonst keine vollständige und/oder geschlossene Beschichtung der dreidimensionalen Oberfläche 40 zulassen. conventional methods, for example by means of multiple conventional coating of the three-dimensional surface 40 are formed from different directions in order to avoid shadowing that would otherwise not complete and / or closed coating of the three-dimensional surface 40 allow.
An die in diesem Fall transparente erste Elektrode 20 der OLED sind komplexere Anforderungen gestellt. Diese kann z.B. aus einer dünnen (und damit semi-transparenten) Metallschicht bestehen. Um die Anforderungen an die Schichtdickenkontrolle und -homogenität dieser Metallschicht zu gewährleisten, kann die Metallschicht beispielsweise mittels eines Verfahrens analog zu dem mit Bezug zu der organischen funktionellen Schichtenstruktur 22 beschriebenen Verfahren ausgebildet werden, was jedoch mit hohen thermischen Anforderungen an das Quellensystemen verbunden ist. Alternativ dazu können aus Lösung prozessierbare Elektroden verwendet werden. To the in this case transparent first electrode 20 of the OLED more complex requirements are made. This can e.g. consist of a thin (and thus semi-transparent) metal layer. In order to ensure the requirements for the layer thickness control and homogeneity of this metal layer, the metal layer can be formed, for example, by a method analogous to that described with respect to the organic functional layer structure 22, but this is associated with high thermal requirements for the source systems. Alternatively, solution processable electrodes may be used.
Beispielsweise ist es denkbar, Silber-Nanodrähte als erste Elektrode 20 auf die dreidimensionale Oberfläche 40 des For example, it is conceivable that silver nanowires are the first Electrode 20 on the three-dimensional surface 40 of the
Trägers 12 aufzusprühen, oder den dreidimensionalen Träger 12 mit einer aus Lösung prozessierten ITO-Schicht zu versehen. Fig. 6 zeigt das in Figur 4 gezeigte optoelektronische To spray carrier 12, or to provide the three-dimensional support 12 with a solution-processed ITO layer. FIG. 6 shows the optoelectronic shown in FIG
Bauelement 10 in einem Zustand während des Verfahrens zum Ausbilden der organischen funktionellen Schichtenstruktur 22. Das Verfahren kann beispielsweise gemäß dem mit Bezug zu Figur 5 erläuterten Verfahren und/oder beispielsweise mittels der mit Bezug zu Figur 5 erläuterten Vorrichtung zum  Device 10 in a state during the process for forming the organic functional layer structure 22. The method, for example, according to the method explained with reference to Figure 5 and / or for example by means of the device explained with reference to Figure 5 for
Ausbilden der organischen funktionellen Schichtenstruktur 22 durchgeführt werden. Insbesondere kann mit dem Verfahren und/oder der Vorrichtung die zu beschichtende  Forming the organic functional layer structure 22 are performed. In particular, with the method and / or the device to be coated
dreidimensionale Oberfläche 40 zusammenhängend, vollständig und homogen mit der organischen funktionellen three-dimensional surface 40 coherent, complete and homogeneous with the organic functional
Schichtenstruktur 22 beschichtet werden. Insbesondere kann die organische funktionelle Schichtenstruktur 22 eine  Layer structure 22 are coated. In particular, the organic functional layer structure 22 may be a
homogene Dicke aufweisen. Bei den in Figur 5 und Figur 6 gezeigten optoelektronischen Bauelementen 10 werden die organischen Materialien und dementsprechend die organische funktionelle Schichtenstruktur 22 auf Außenflächen der entsprechenden optoelektronischen Bauelemente 10 aufgetragen. Alternativ oder zusätzlich können die organischen Materialien bzw. die organische funktionelle Schichtenstruktur 22 auch auf Innenflächen des have homogeneous thickness. In the optoelectronic components 10 shown in FIG. 5 and FIG. 6, the organic materials and, accordingly, the organic functional layer structure 22 are applied to outer surfaces of the corresponding optoelectronic components 10. Alternatively or additionally, the organic materials or the organic functional layer structure 22 can also be applied to inner surfaces of the
optoelektronischen Bauelements 10 aufgebracht werden, sofern das entsprechende Substrat einen Hohlkörper bildet. Fig. 7 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines optoelektronischen Bauelements 10 in einem Zustand während des Verfahrens zum Ausbilden der organischen funktionellen Schichtenstruktur 22. Das Substrat, insbesondere der Träger 12, bildet optoelectronic component 10 are applied, provided that the corresponding substrate forms a hollow body. 7 shows an exemplary embodiment of an optoelectronic component 10 in a state during the method for forming the organic functional layer structure 22. The substrate, in particular the carrier 12, forms
beispielsweise einen halbkugel- oder halbzylinderförmigen oder schalenförmigen Hohlkörper. Die Beschichtungsquelle 62 kann derart relativ zu dem Substrat bewegt werden, dass sich die Beschichtungsquelle 62 in dem von dem Substrat gebildeten Hohlraum befindet. Die Substratquelle 62 kann dann durch Drehungen um die erste Achse 70, die zweite Achse 72 und/oder durch Verschiebungen in die erste, zweite und/oder dritte Dimension derart über die zu beschichtende Oberfläche 40 geführt werden, dass die gesamte zu beschichtende for example, a hemispherical or semi-cylindrical or cup-shaped hollow body. The coating source 62 may be moved relative to the substrate such that the coating source 62 is in the cavity formed by the substrate. The substrate source 62 may then be passed over the surface 40 to be coated by rotations about the first axis 70, the second axis 72 and / or displacements in the first, second and / or third dimension such that the entire surface to be coated
dreidimensionale Oberfläche 40 zusammenhängend und homogen mit den organischen Materialien beschichtet wird und dadurch die homogene organische funktionelle Schichtenstruktur 22 erzeugt wird. three-dimensional surface 40 is coated contiguously and homogeneously with the organic materials and thereby the homogeneous organic functional layer structure 22 is produced.
Fig. 8 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines optoelektronischen Bauelements in einem Zustand während des Verfahrens zum FIG. 8 shows an exemplary embodiment of an optoelectronic component in a state during the method for
Ausbilden der organischen funktionellen Schichtenstruktur 22. Das Verfahren kann beispielsweise gemäß dem mit Bezug zu Figur 7 erläuterten Verfahren durchgeführt werden. Das  Forming the organic functional layer structure 22. The method can be carried out, for example, according to the method explained with reference to Figure 7. The
Substrat kann beispielsweise nahezu dem mit Bezug zu Figur 7 erläuterten Substrat entsprechen, nur dass die Kugelform bzw. Zylinderform über die Halbkugel bzw. den Halbzylinder Substrate, for example, can correspond almost to the substrate explained with reference to FIG. 7, except that the spherical shape or cylindrical shape over the hemisphere or the half cylinder
hinausgeht. Optional kann der Beschichtungskopf 60 ein weiteres Gelenk aufweisen, das eine Drehung der goes. Optionally, the coating head 60 may comprise a further joint which permits rotation of the
Beschichtungsquelle 62 um eine dritte Achse 76 ermöglicht. Die dritte Drehachse 76 kann beispielsweise parallel oder antiparallel zu der ersten Drehachse 70 sein. Coating source 62 allows a third axis 76. The third axis of rotation 76 may, for example, be parallel or antiparallel to the first axis of rotation 70.
Fig. 9 zeigt die Beschichtungsvorrichtung 90. Die 9 shows the coating device 90. The
Beschichtungsvorrichtung 90 ist über den Arm 57 mit der Coating device 90 is connected via the arm 57 with the
Aktoreinheit 56 gekoppelt. Die Beschichtungsvorrichtung 90 weist den Beschichtungskopf 60, einen Vorratsbehälter 92 ein Leitungssystem 94 und optional ein Pumpsystem auf. Das Actuator 56 coupled. The coating device 90 has the coating head 60, a reservoir 92, a line system 94 and optionally a pumping system. The
Leitungssystem 94 kann beispielsweise eine, zwei oder mehr Leitungen, Rohre, Ventile und/oder Shutter aufweisen. Die Leitungen bzw. Rohre des Leitungssystems 94 können Line system 94 may be one, two or more, for example Have lines, pipes, valves and / or shutter. The lines or pipes of the line system 94 can
beispielsweise beheizt sein. Der Vorratsbehälter 92 kann beispielsweise ein einfacher Vorratsbehälter 92 sein, in dem lediglich das erste organische Material gelagert wird. Imbe heated, for example. The reservoir 92 may be, for example, a simple reservoir 92 in which only the first organic material is stored. in the
Unterschied dazu kann der Vorratsbehälter 92 jedoch auch dazu geeignet sein, das erste organische Material in einen Zustand zu bringen, in dem es über das Leitungssystem 94 hin zu der Beschichtungsquelle 62 gefördert werden kann und aus der Beschichtungsquelle 62 heraus aufgebracht werden kann. In contrast, the reservoir 92 may however also be adapted to bring the first organic material into a state in which it can be conveyed via the conduit system 94 to the coating source 62 and can be applied out of the coating source 62.
Beispielsweise kann das erste organische Material in For example, the first organic material may be in
flüssigem oder in gasförmigem Zustand zu der liquid or gaseous state to the
Beschichtungsquelle 62 gefördert werden. Optional kann das erste organische Material mit Hilfe eines Trägergases zu der Beschichtungsquelle 62 gefördert werden. Coating source 62 are promoted. Optionally, the first organic material may be delivered to the coating source 62 by means of a carrier gas.
Das erste organische Material kann beispielsweise ein The first organic material may include, for example
Stoffgemisch aufweisen oder ein Stoffgemisch sein. Das Have substance mixture or be a mixture of substances. The
Stoffgemisch kann einen oder mehrere der im Vorstehenden genannten Stoffe der organischen funktionellen Mixture of substances may contain one or more of the organic functional substances mentioned above
Schichtenstruktur 22 aufweisen. Die verschiedenen Stoffe des Stoffgemischs können beispielsweise bereits im  Layer structure 22 have. For example, the various substances of the substance mixture can already be found in the
Vorratsbehälter 92 der Beschichtungsvorrichtung 90 oder erst im Beschichtungskopf 60 oder erst beim Beschichten selber miteinander gemischt werden. Die Beschichtungsvorrichtung 90, der Beschichtungskopf 60 und/oder das Leitungssystem 94 können dementsprechend für das Zuführen des Stoffgemischs bzw. der Stoffe des Stoffgemischs ausgelegt sein. Ferner können entsprechend mehrere Vorratsbehälter 92 vorgesehen sein. Reservoir 92 of the coating device 90 or only in the coating head 60 or only during coating themselves mixed together. The coating device 90, the coating head 60 and / or the line system 94 can accordingly be designed for feeding the substance mixture or the substances of the substance mixture. Further, a plurality of reservoir 92 may be provided accordingly.
Die Beschichtungsvorrichtung 90 kann beispielsweise eine Blende 80 aufweisen. Die Blende 80 weist eine Ausnehmung 82 auf, durch die das erste organische Material aufgebracht werden kann. Beispielsweise tritt das erste organische The coating device 90 may, for example, have a diaphragm 80. The aperture 80 has a recess 82 through which the first organic material can be applied. For example, the first organic occurs
Material aus der Beschichtungsquelle 62 in Form des ersten Beschichtungskegels 64 aus. Der Beschichtungskegel 64 weist beispielsweise die erste Beschichtungsachse 78 auf. Die Form des ersten Beschichtungskegels 64 kann beispielsweise mittels der Blende 80 hin zu einer Form eines zweiten Material from the coating source 62 in the form of the first coating cone 64 from. The coating cone 64 has, for example, the first coating axis 78. The shape of the first coating cone 64 may, for example, by means of the aperture 80 toward a shape of a second
Beschichtungskegels 84 verändert werden. Der zweite Coating cones 84 are changed. The second
Beschichtungskegel 84 kann die gleiche Beschichtungsachse 78 haben wie der erste Beschichtungskegel 64 oder eine andere Beschichtungsachse. Beim Verwenden der Blende 80 kann sich das organische Material auch auf einer der Coating cone 84 may have the same coating axis 78 as the first coating cone 64 or other coating axis. When using the aperture 80, the organic material may also be on one of
Beschichtungsquelle 62 zugewandten Rückseite 86 der Blende 80 ablagern. Die Blende 80 kann zur Strahlformung beitragen, was für die Kontrolle der Beschichtung der dreidimensionalen Oberfläche 40 vorteilhaft sein kann, jedoch mit einer  Deposit coating source 62 facing rear 86 of the aperture 80. The aperture 80 can contribute to beam shaping, which may be advantageous for controlling the coating of the three-dimensional surface 40, but with a
schlechteren Materialausbeute einhergehen kann, da sich ein Teil des organischen Materials auf der Rückseite 86 der may be associated with poorer material yield, since a portion of the organic material on the back 86 of the
Blende 80 abscheiden kann. Aperture 80 can be deposited.
Die Funktion der Beschichtungsvorrichtung 90, die Vorrichtung und das Verfahren zum Ausbilden der organischen funktionellen Schichtenstruktur 22 wurden mit Bezug zu dem ersten The function of the coating apparatus 90, the apparatus, and the method of forming the organic functional layer structure 22 have been described with reference to the first
organischen Material erläutert. Die Beschichtungsvorrichtung 90, die Vorrichtung bzw. das Verfahren zum Ausbilden der organischen funktionellen Schichtenstruktur 22 können jedoch ohne weiteres auf das Sprühen von zweitem organischen explained organic material. However, the coating apparatus 90, the apparatus or method for forming the organic functional layer structure 22 can readily be applied to the spraying of second organic
Material oder weiterem organischen Material übertragen werden . Material or other organic material.
Die Quelle der organischen Materialien kann auf verschiedene Arten realisiert werden. Beispielsweise kann das organische Material in dem Vorratsbehälter 92 thermisch verdampft werden und durch das beheizte Leitungssystem 94 zu der Beschichtungsquelle 62 geleitet werden, die dann The source of organic materials can be realized in various ways. For example, the organic material in the reservoir 92 may be thermally evaporated and passed through the heated line system 94 to the coating source 62, which then
beispielsweise als Punktquelle wirken kann. Alternativ dazu kann der Transport des organischen Materials zur For example, it can act as a point source. Alternatively, the transport of the organic material to
Beschichtungsquelle 62 mittels eines inerten Trägergases erfolgen. Vom Grundprinzip kann es sich um eine strahlförmige OVJP-Quelle (OVJP = Organic Vapour Jet Deposition) handeln, jedoch mit einer großen Austrittsöffnung, um eine effektive Beschichtung großer dreidimensionaler Oberflächen zu Coating source 62 by means of an inert carrier gas. The basic principle may be a jet-shaped OVJP source (OVJP = Organic Vapor Jet Deposition), but with a large exit orifice for effective coating of large three-dimensional surfaces
ermöglichen. enable.
Fig. 10 zeigt ein Ablaufdiagramm eines Ausführungsbeispiels eines Verfahrens zum Ausbilden der organischen funktionellen Schichtenstruktur 22. 10 shows a flow chart of an embodiment of a method for forming the organic functional layer structure 22.
In einem optionalen Schritt S2 kann das erste organische Material vorbereitet werden. Beispielsweise kann das erste organische Material in einen flüssigen oder gasförmigen In an optional step S2, the first organic material may be prepared. For example, the first organic material in a liquid or gaseous
Zustand überführt werden. Ferner kann das erste organische Material beispielsweise mit einer Trägerflüssigkeit oder einem Trägergas vermischt werden. Falls das erste organische Material ein Stoffgemisch ist, können in dem Schritt S2 die Stoffe des Stoffgemischs vorbereitet und/oder miteinander gemischt werden. Condition are transferred. Further, the first organic material may be mixed with, for example, a carrier liquid or a carrier gas. If the first organic material is a substance mixture, in step S2 the substances of the substance mixture can be prepared and / or mixed with one another.
In einem Schritt S4 wird ein Teilbereich der zu In a step S4, a partial area of the
beschichtenden dreidimensionalen Oberfläche 40 mit dem ersten organischen Material beschichtet, beispielsweise besprüht oder bedampft. Falls das erste organische Material ein coated three-dimensional surface 40 with the first organic material, for example, sprayed or vapor-deposited. If the first organic material is a
Stoffgemisch ist, können in dem Schritt S4 die Stoffe des Stoffgemischs miteinander gemischt werden, beispielsweise direkt vor dem Aufbringen auf die zu beschichtende Mixture is, the substances of the mixture can be mixed together in step S4, for example, directly before application to be coated
dreidimensionale Oberfläche 40 oder während des Aufbringens auf die zu beschichtende dreidimensionale Oberfläche 40. Die Stoffe können dabei über gleiche oder verschiedene Leitungen und/oder Rohre gefördert werden. In einem Schritt S6 wird die Beschichtungsquelle 62 relativ zu dem Substrat in drei räumlichen Dimensionen bewegt, beispielsweise durch die im Vorhergehenden erläuterte three-dimensional surface 40 or during application on the three-dimensional surface 40 to be coated. The materials can be conveyed via the same or different lines and / or pipes. In a step S6, the coating source 62 is moved relative to the substrate in three spatial dimensions, for example as explained above
Drehungen um die eine oder die beiden Achsen 70, 72 und/oder die Verschiebung in einer, zwei oder drei räumlichen Rotations about the one or both axes 70, 72 and / or the displacement in one, two or three spatial
Dimensionen. Dimensions.
Die Schritte S4 und S6 werden gleichzeitig über einen längeren Zeitraum derart durchgeführt, dass die gesamte zu beschichtende dreidimensionale Oberfläche 40 homogen mit dem ersten organischen Material beschichtet wird. The steps S4 and S6 are simultaneously performed over a long period of time such that the entire three-dimensional surface 40 to be coated is homogeneously coated with the first organic material.
In einem optionalen Schritt S8 kann ein zweites organisches Material vorbereitet werden. Der Schritt S8 kann In an optional step S8, a second organic material may be prepared. Step S8 may
beispielsweise korrespondierend zu dem Schritt S2, nur mit dem zweiten organischen Material, durchgeführt werden. for example, corresponding to the step S2, with only the second organic material performed.
In Schritten S10 und S12 kann dann korrespondierend zu den Schritten S4 und S6 die gesamte dreidimensionale Oberfläche 40 mit dem zweiten organischen Material beschichtet werden. Ferner können nachfolgend weitere Teilschritte zum In steps S10 and S12, corresponding to steps S4 and S6, the entire three-dimensional surface 40 can then be coated with the second organic material. Furthermore, further sub-steps for
Beschichten der zu beschichtenden dreidimensionalen Coating the three-dimensional to be coated
Oberfläche 40 mit dritten, vierten und/oder weiteren Surface 40 with third, fourth and / or further
organischen Materialien abgearbeitet werden, bis die organic materials are processed until the
organische funktionelle Schichtenstruktur 22 vollständig ausgebildet ist. organic functional layer structure 22 is completely formed.
Die Erfindung ist nicht auf die angegebenen The invention is not limited to those specified
Ausführungsbeispiele beschränkt. Beispielsweise kann mit Hilfe der im Vorhergehenden erläuterten Verfahren und Embodiments limited. For example, with Help the above explained methods and
Vorrichtungen zum Ausbilden der organischen funktionellen Schichtenstruktur 22 jede beliebige dreidimensionale Devices for forming the organic functional layer structure 22 are any three-dimensional
Oberfläche 40, also anders geformte Träger 12 oder Substrate, homogen mit einer organischen funktionellen Schichtenstruktur 22 beschichtet werden. Ferner können noch weitere Schichten, wie beispielsweise die Elektroden 20, 23 und/oder Surface 40, so differently shaped carrier 12 or substrates, homogeneously coated with an organic functional layer structure 22. Furthermore, further layers, such as the electrodes 20, 23 and / or
Barriereschichten und/oder Verkapselungsschichten und/oder Haftmittelschichten mit korrespondierenden Verfahren und/oder Vorrichtungen zum Ausbilden der entsprechenden Schichten versehen werden. Barrier layers and / or encapsulation layers and / or adhesive layers are provided with corresponding methods and / or apparatus for forming the corresponding layers.

Claims

Patentansprüche claims
1. Verfahren zum Ausbilden einer organischen funktionellen Schichtenstruktur (22) für ein optoelektronisches Bauelement (10), bei dem A method for forming an organic functional layer structure (22) for an optoelectronic component (10), in which
- ein erstes organisches Material der organischen funktionellen Schichtenstruktur (22) mittels einer  a first organic material of the organic functional layer structure (22) by means of a
Beschichtungsquelle (62) auf einen Teilbereich einer zu beschichtenden dreidimensionalen Oberfläche (40) über einem Substrat (12) des optoelektronischen Bauelements (10) aufgebracht wird, Coating source (62) is applied to a portion of a three-dimensional surface (40) to be coated over a substrate (12) of the optoelectronic component (10),
- die Beschichtungsquelle (62) und das Substrat während des Sprühens des ersten organischen Materials relativ  the coating source (62) and the substrate during the spraying of the first organic material relative
zueinander so bewegt werden, dass das erste organische be moved to each other so that the first organic
Material nachfolgend auf andere Teilbereiche der zu Material below to other parts of the
beschichtenden Oberfläche (40) über dem Substrat aufgebracht wird und so die gesamte dreidimensionale Oberfläche (40) beschichtet wird, und coating surface (40) is applied over the substrate and so the entire three-dimensional surface (40) is coated, and
- eine Relativbewegung zwischen Beschichtungsquelle (62) und Substrat eine erste Drehung um eine erste Achse (70) und eine zweite Drehung um mindestens eine zweite Achse (72) aufweist .  - A relative movement between the coating source (62) and the substrate has a first rotation about a first axis (70) and a second rotation about at least one second axis (72).
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die Relativbewegung zwischen Beschichtungsquelle (62) und Substrat eine 2. The method of claim 1, wherein the relative movement between the coating source (62) and substrate a
Verschiebung in mindestens einer Dimension aufweist.  Has displacement in at least one dimension.
3. Verfahren nach Anspruch 2, bei dem die Relativbewegung zwischen Beschichtungsquelle (62) und Substrat eine 3. The method of claim 2, wherein the relative movement between the coating source (62) and substrate a
Verschiebung in mindestens zwei räumlichen Dimensionen aufweist . Has displacement in at least two spatial dimensions.
4. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem4. The method according to any one of the preceding claims, wherein
- ein zweites organisches Material der organischen funktionellen Schichtenstruktur (22) mittels der a second organic material of the organic functional layer structure (22) by means of
Beschichtungsquelle (62) auf einen Teilbereich über der zu beschichtenden dreidimensionalen Oberfläche (40), der mit dem ersten organischen Material beschichtet ist, aufgebracht wird und Coating source (62) on a portion above the surface to be coated three-dimensional surface (40), with the first organic material is coated, applied and
- die Beschichtungsquelle (62) und das Substrat während des Beschichtens der dreidimensionalen Oberfläche (40) mit dem zweiten organischen Material relativ zueinander so bewegt werden, dass nachfolgend das zweite organische Material auf andere Teilbereiche über der zu beschichtenden Oberfläche (40), die mit dem ersten organischen Material beschichtet sind, so aufgebracht wird, dass über der gesamten zu  the coating source (62) and the substrate are moved relative to one another during the coating of the three-dimensional surface (40) with the second organic material such that subsequently the second organic material is applied to other portions above the surface (40) to be coated which are in contact with the substrate first organic material are coated, so that is applied over the entire too
beschichtenden dreidimensionalen Oberfläche (40) eine Schicht des zweiten organischen Materials ausgebildet wird. Coating three-dimensional surface (40) is formed a layer of the second organic material.
5. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem während des Sprühens des ersten organischen Materials und/oder des zweiten organischen Materials ein Abstand zwischen der Beschichtungsquelle (62) und der zu 5. The method according to any one of the preceding claims, wherein during the spraying of the first organic material and / or the second organic material, a distance between the coating source (62) and the zu
beschichtenden dreidimensionalen Oberfläche (40) immer gleich oder zumindest immer näherungsweise gleich ist. Coating three-dimensional surface (40) is always the same or at least approximately the same.
6. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem während des Sprühens des ersten organischen Materials ein Winkel zwischen einer Beschichtungsachse (78) eines A method according to any one of the preceding claims, wherein during the spraying of the first organic material, an angle between a coating axis (78) of a
Beschichtungskegels (64, 84) und einer Flächennormalen auf dem aktuell zu beschichtenden Teilbereich über der Coating cone (64, 84) and a surface normal on the currently to be coated portion above the
dreidimensionalen Oberfläche (40) immer gleich oder zumindest immer näherungsweise gleich ist. three-dimensional surface (40) is always the same or at least approximately the same.
7. Vorrichtung zum Ausbilden einer organischen 7. Apparatus for forming an organic
funktionellen Schichtenstruktur (22) für ein functional layered structure (22) for a
optoelektronisches Bauelement (10), aufweisend optoelectronic component (10) comprising
- einen Substrathalter (54) zum Halten eines Substrats des optoelektronischen Bauelements (10), wobei das Substrat eine zu beschichtende dreidimensionale Oberfläche (40) aufweist,  a substrate holder (54) for holding a substrate of the optoelectronic component (10), the substrate having a three-dimensional surface (40) to be coated,
- eine Beschichtungsvorrichtung (90) mit einer  a coating device (90) having a
Beschichtungsquelle (62) zum Aufbringen eines ersten  Coating source (62) for applying a first
organischen Materials der organischen funktionellen Schichtenstruktur (22) auf einen Teilbereich über der organic functional organic material Layer structure (22) on a portion above the
dreidimensionalen Oberfläche (40), three-dimensional surface (40),
- eine Aktoreinheit (56) , die mit dem Substrathalter (54) und/oder der Beschichtungsquelle (62) mechanisch  - An actuator unit (56) with the substrate holder (54) and / or the coating source (62) mechanically
gekoppelt ist, coupled,
- eine Steuereinheit (58), die mit der Aktoreinheit (56) und der Beschichtungsvorrichtung (90) elektrisch gekoppelt ist,  a control unit (58) which is electrically coupled to the actuator unit (56) and the coating device (90),
wobei die Steuereinheit (58), die Beschichtungsvorrichtung (90) und die Aktoreinheit (56) so ausgebildet sind, dass die Beschichtungsvorrichtung (90) in Reaktion auf ein wherein the control unit (58), the coating device (90) and the actuator unit (56) are formed so that the coating device (90) in response to a
Beschichtungssignal der Steuereinheit (58) den Teilbereich über der dreidimensionalen Oberfläche (40) mit dem ersten organischen Material beschichtet und dass die Aktoreinheit (56) in Reaktion auf ein Bewegungssignal der SteuereinheitCoating signal of the control unit (58) coated the portion above the three-dimensional surface (40) with the first organic material and that the actuator unit (56) in response to a motion signal of the control unit
(58) die Beschichtungsquelle (62) und das Substrat während des Sprühens des ersten organischen Materials relativ (58) relative to the coating source (62) and the substrate during the spraying of the first organic material
zueinander so bewegt, dass die Beschichtungsquelle (62) das erste organische Material nachfolgend auf andere Teilbereiche über der dreidimensionalen Oberfläche (40) des Substrats aufbringt und so die gesamte zu beschichtende to each other so that the coating source (62) applies the first organic material subsequently to other portions over the three-dimensional surface (40) of the substrate and thus the entire to be coated
dreidimensionale Oberfläche (40) beschichtet und dass eine Relativbewegung zwischen Beschichtungsquelle (62) und Coated three-dimensional surface (40) and that a relative movement between the coating source (62) and
Substrat eine erste Drehung um eine erste Achse (70) und eine zweite Drehung um mindestens eine zweite Achse (72) aufweist. Substrate has a first rotation about a first axis (70) and a second rotation about at least one second axis (72).
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, die eine Speichereinheit8. Apparatus according to claim 7, which is a storage unit
(59) aufweist, die mit der Steuereinheit (58) elektrisch gekoppelt ist und auf der Informationen bezüglich der (59) electrically coupled to the control unit (58) and having information relating to
geometrischen Form der dreidimensionalen Oberfläche (40) gespeichert sind, wobei die Steuereinheit (58) so ausgebildet ist, dass sie das Bewegungssignal abhängig von den geometric shape of the three-dimensional surface (40) are stored, wherein the control unit (58) is adapted to the movement signal depending on the
Informationen erzeugt. Information generated.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 oder 8, bei der die Beschichtungsquelle (62) eine Blende (80) aufweist. 9. Device according to one of claims 7 or 8, wherein the coating source (62) has a diaphragm (80).
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