WO2015044035A8 - Microscope optique confocal et procédé d'analyse d'un échantillon au moyen d'un microscope optique confocal - Google Patents
Microscope optique confocal et procédé d'analyse d'un échantillon au moyen d'un microscope optique confocal Download PDFInfo
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Abstract
L'invention concerne un microscope optique comprenant une source lumineuse qui émet une lumière d'éclairage en direction d'un échantillon, un dispositif de détection qui enregistre des images de l'échantillon et un moyen de reproduction optique qui concentre la lumière d'éclairage sous la forme d'un motif de taches lumineuses sur un niveau de hauteur de l'échantillon et qui dirige la lumière provenant de l'échantillon vers le dispositif de détection. La source lumineuse et le moyen de reproduction optique sont conçus pour, pendant un temps d'intégration de la caméra du dispositif de détection, éclairer avec le motif de taches lumineuses plusieurs zones latérales de l'échantillon espacées les unes des autres. Le microscope optique selon l'invention est caractérisé en ce que la source lumineuse, le moyen de reproduction optique et le dispositif de détection sont conçus pour permettre la prise de vue d'au moins deux images de l'échantillon pour lesquelles le motif de taches lumineuses est concentré sur différents niveaux de hauteur et/ou pour lesquelles différents niveaux de hauteur sont reproduits sur le dispositif de détection, la source lumineuse, le moyen de reproduction optique et le dispositif de détection étant agencés dans l'espace de manière identique pour chaque prise de vue des différentes images de l'échantillon. Des zones latérales respectivement identiques de l'échantillon sont alors éclairées dans les deux ou plus de deux images de l'échantillon. En outre, des moyens d'évaluation électroniques sont conçus pour calculer des informations de hauteur de l'échantillon à l'aide des deux ou plus de deux images de l'échantillon. L'invention concerne par ailleurs un procédé associé permettant d'analyser un échantillon au moyen d'un microscope optique.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE201310016367 DE102013016367A1 (de) | 2013-09-30 | 2013-09-30 | Lichtmikroskop und Verfahren zum Untersuchen einer Probe mit einem Lichtmikroskop |
DE102013016367.6 | 2013-09-30 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2015044035A1 WO2015044035A1 (fr) | 2015-04-02 |
WO2015044035A8 true WO2015044035A8 (fr) | 2015-04-30 |
Family
ID=51846612
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/EP2014/069953 WO2015044035A1 (fr) | 2013-09-30 | 2014-09-19 | Microscope optique confocal et procédé d'analyse d'un échantillon au moyen d'un microscope optique confocal |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102013016367A1 (fr) |
WO (1) | WO2015044035A1 (fr) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
LU93022B1 (de) * | 2016-04-08 | 2017-11-08 | Leica Microsystems | Verfahren und Mikroskop zum Untersuchen einer Probe |
CN106443995B (zh) * | 2016-11-25 | 2019-01-01 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 用于空间生物样品荧光观察的光纤共聚焦显微成像仪器 |
CN106970047A (zh) * | 2017-05-12 | 2017-07-21 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 反射率分布测量系统及方法 |
LU101084B1 (de) * | 2018-12-21 | 2020-06-22 | Abberior Instruments Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum punktförmigen Beleuchten einer Probe in einem Mikroskiop |
CN114460020B (zh) * | 2022-01-30 | 2023-11-17 | 清华大学深圳国际研究生院 | 一种基于数字微反射镜的高光谱扫描系统及方法 |
CN117232792B (zh) * | 2023-11-14 | 2024-01-30 | 南京木木西里科技有限公司 | 基于图像信息的显微镜缺陷检测系统 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19713362A1 (de) * | 1997-03-29 | 1998-10-01 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Konfokale mikroskopische Anordnung |
US6867406B1 (en) | 1999-03-23 | 2005-03-15 | Kla-Tencor Corporation | Confocal wafer inspection method and apparatus using fly lens arrangement |
JP3610569B2 (ja) * | 1999-03-23 | 2005-01-12 | 株式会社高岳製作所 | 能動共焦点撮像装置とそれを用いた三次元計測方法 |
TW498152B (en) * | 2000-09-11 | 2002-08-11 | Olympus Optical Co | Confocal microscope |
US6657216B1 (en) * | 2002-06-17 | 2003-12-02 | Nanometrics Incorporated | Dual spot confocal displacement sensor |
DE10242373B4 (de) * | 2002-09-12 | 2009-07-16 | Siemens Ag | Konfokaler Abstandssensor |
DE102004014048B4 (de) * | 2004-03-19 | 2008-10-30 | Sirona Dental Systems Gmbh | Vermessungseinrichtung und Verfahren nach dem Grundprinzip der konfokalen Mikroskopie |
DE102005052743B4 (de) * | 2005-11-04 | 2021-08-19 | Precitec Optronik Gmbh | Messsystem zur Vermessung von Grenz- oder Oberflächen von Werkstücken |
DE102006027836B4 (de) | 2006-06-16 | 2020-02-20 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Mikroskop mit Autofokuseinrichtung |
US7570795B2 (en) | 2006-07-18 | 2009-08-04 | Mitutoyo Corporation | Multi-region autofocus tool and mode |
JP2008268387A (ja) * | 2007-04-18 | 2008-11-06 | Nidec Tosok Corp | 共焦点顕微鏡 |
US8304704B2 (en) | 2009-07-27 | 2012-11-06 | Sensovation Ag | Method and apparatus for autofocus using a light source pattern and means for masking the light source pattern |
-
2013
- 2013-09-30 DE DE201310016367 patent/DE102013016367A1/de not_active Ceased
-
2014
- 2014-09-19 WO PCT/EP2014/069953 patent/WO2015044035A1/fr active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102013016367A1 (de) | 2015-04-02 |
WO2015044035A1 (fr) | 2015-04-02 |
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Legal Events
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NENP | Non-entry into the national phase in: |
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122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
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