WO2015043964A1 - Vacuum pump housing - Google Patents

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WO2015043964A1
WO2015043964A1 PCT/EP2014/069346 EP2014069346W WO2015043964A1 WO 2015043964 A1 WO2015043964 A1 WO 2015043964A1 EP 2014069346 W EP2014069346 W EP 2014069346W WO 2015043964 A1 WO2015043964 A1 WO 2015043964A1
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WO
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pump housing
cooling element
vacuum pump
groove
relative
Prior art date
Application number
PCT/EP2014/069346
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German (de)
French (fr)
Inventor
Sascha WERKER
Original Assignee
Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh
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Filing date
Publication date
Application filed by Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh filed Critical Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/58—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
    • F04D29/582—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/584—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps cooling or heating the machine
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/601—Mounting; Assembling; Disassembling specially adapted for elastic fluid pumps

Definitions

  • the invention relates to a vacuum pump housing with a cooling element.
  • Vacuum pumps have pumping elements in a pump chamber formed by a housing.
  • vacuum pumps are screw pumps, single-stage and multistage roots pumps, rotary vane pumps, claw pumps, side channel blowers, Siegbahn Gaede or turbo-molecular pump stages.
  • a fluid is conveyed from an inlet to an outlet. Heat is generated by the compression of the pumped medium, which heats the housing of the vacuum pump.
  • the vacuum pumps are operated at as constant an operating temperature as possible, in order to avoid changes in the gap due to different temperature expansions of the housing and the pump elements. Therefore, it is necessary to provide cooling elements for cooling the pump housing.
  • Cooling elements are usually attached to the outside of the pump housing by a screw connection. When installing the vacuum pumps, it may therefore happen that the externally mounted cooling elements difficult or even prevent installation due to the small amount of available space. In this case, the cooling element must be removed consuming and either retrofitted, or even offset. For moving it is necessary new Provide holes in the pump housing. This step is laborious, requires tools, and is irreversible beyond that. Thus, it may be necessary that in a new installation of the vacuum pump in another system again new holes must be provided. This reduces the quality of the pump and may eventually even damage the pump.
  • the object of the invention is therefore to provide a pump housing with a cooling element, which can be easily and reversibly changed in its position relative to the pump housing.
  • a vacuum pump housing has a pump housing which forms a pump chamber.
  • the pump elements are arranged with which a fluid is moved from a suction side to a pressure side of the pump.
  • the vacuum pump housing can be used for vacuum pumps, which are in particular screw pumps, one-stage and multi-stage Roots pumps, rotary vane pumps, claw pumps, side channel blower, Siegbahn Gaede or turbomolecular pump stages.
  • the pump housing in this case has a bottom side on which the pump is usually placed. The bottom side opposite the pump housing has an end face. Bottom side and front side are connected to each other via an outer side of the pump housing.
  • the vacuum pump housing to a cooling element, which is arranged on the outside of the pump housing, such that the cooling element rests against the outside of the pump housing.
  • a cooling element which is arranged on the outside of the pump housing, such that the cooling element rests against the outside of the pump housing.
  • the fastening element is connected to the bottom side of the pump housing. Furthermore, since the cooling element bears against the outside of the pump housing, a substantially right angle results between the fastening element and the cooling element.
  • the fastening element is plate-shaped, so that the overall length of the vacuum pump housing is not significantly extended.
  • the fastener is immovably connected to the pump housing relative to the pump housing.
  • the connection of the fastening element with the pump housing can therefore preferably be effected by screwing, clamping or welding.
  • the fastener is immovable relative to the pump housing. It is thereby created a firm connection between the fastener and the pump housing. This connection also does not have to change the location of the Chiller for installation changed or loosened and restored.
  • the cooling element is movably connected to the fastening element relative to the pump housing. Since the fastening element is immovable relative to the pump housing, the cooling element is also movable relative to the fastening element, thus the cooling element can be moved in a changed position relative to the pump housing, without that the connection between the cooling element and fastener must be canceled. A change in the position of the cooling element relative to the pump housing can therefore preferably be done without tools.
  • the connection from the cooling element to the fastening element can be fixed by a fixing element, in particular by a knurled nut, such that the cooling element is immovable relative to the pump housing. When dissolved fixing the cooling element is movable relative to the pump housing.
  • the fixing element may in particular be a knurled nut, so that a loosening and tightening of the fixing element can be done without tools.
  • other designs are conceivable as fixing, such. As a nut, a wing nut or the like.
  • the fastening element has a groove.
  • this groove extends substantially parallel to the outside of the pump housing.
  • the cooling element preferably has a slide or a sliding block, which is guided in the groove, so that the cooling element is movable along the groove relative to the pump housing.
  • the cooling element is always applied to the outside of the pump housing. Since the cooling element is connected only via the fastening element with the pump housing, further stability is created by the concern of the cooling element on the outside of the pump housing.
  • a connection is provided in which the cooling element is movable relative to the pump housing, without that the connection between the cooling element and fastener should be repealed, but only needs to be solved.
  • the setting can be fixed in the groove by this fixing element, so that the cooling element is immobile relative to the pump housing.
  • the fastening element which has the groove
  • the fastening element with the groove is formed integrally with the pump housing.
  • the fastener can be produced by a common casting of fastener and pump housing.
  • the one-piece of fastener and pump housing is achieved by welding.
  • the groove, in which the backdrop of the cooling element is guided be integrated into the pump housing. In this case, in particular the outside, the front side or the bottom side has a groove in which the backdrop of the cooling element is guided.
  • An additional fastening element is in this case required neither as a separate component nor as an integrally connected to the pump housing element. If the groove is integrated in the pump housing, then not only one side of the pump housing are formed by the outside, the front side or the bottom side but also fulfill the function that the cooling element can be connected by a link movable relative to the pump housing with one of these sides.
  • the pump housing has a substantially cylindrical shape
  • the cooling element is located on the circumference of Pump housing on.
  • the groove is bent and preferably parallel to the circumference of the pump housing.
  • the cooling element is movable relative to the pump housing along the circumference of the pump housing.
  • the cooling element can be moved in this case in particular over an angle of at least 20 °, preferably at least 90 ° and particularly preferably at least 270 ° along the circumference of the pump housing.
  • the pump housing is formed substantially parallelepiped, so that the cooling element rests against one of the side surfaces.
  • the groove is arranged parallel to one of the side surfaces, so that the cooling element along one side surface of the pump housing is movable.
  • the cooling element is movable over the entire width of the side surface, so that the greatest possible variability of the position of the cooling element is achieved.
  • the fastener has recesses for connected to the pump housing connections.
  • This may be, for example, the vacuum port or the Vorvakuumstutzen, as well as connections for the control of the pump or for the power supply.
  • the cooling element has a fan.
  • the cooling element may be the water-cooled or fluid-cooled heat exchanger.
  • the cooling element may be formed as a Peltier element, with fans are used here as well in the rule.
  • the cooling element may be formed as a passive cooling element and in this case in particular have radiator fins. If the cooling element has fans, the cooling element is preferably arranged in at least one area at a distance from the outside of the pump housing. As a result, ventilation slots are formed between the cooling element and the outside of the pump housing, through which the air flow of the cooling element can escape from the cooling element. In a particular arrangement, these vents are mounted laterally on the cooling element so that the cooling air of the fan flows along the outside of the pump housing and thereby convective heat is dissipated.
  • FIG. 1 is a schematic sectional view of the vacuum pump housing along the I-I line of Figure 2,
  • Figure 2 is a schematic plan view of the vacuum pump housing in Ii-direction of Figure 1 and
  • FIG. 3 A schematic perspective view of the cooling element and the fastening element of the embodiment of FIG. 1.
  • the vacuum pump housing has a pump housing 10 (shown in dashed lines).
  • the pump housing 10 has a bottom side 12 and a bottom side opposite end face 14. Bottom side 12 and end face 14 are connected to an outer side 16 of the pump housing 10.
  • the pump housing 10 is substantially cylindrical.
  • the outer side 16 of the pump housing 10 is formed as a circumference.
  • a fastening element 18 is provided on the bottom side 12 of the pump housing 10.
  • the fastener 18 is firmly connected by screws or pins 20 with the pump housing 10. In this case, the fastening element 18 is immovable relative to the pump housing 10. A movement of the Fastener 18 relative to the pump housing 10 is prevented by the pins or screws 20.
  • the vacuum pump housing has a cooling element 22, in which two fans 24 are arranged.
  • a groove 26 is provided in the fastener 18.
  • the cooling element 22 has a link 28 which is guided in the groove 26.
  • the gate 28 is shown exploded in Figures 1 and 3. Through the gate 28, the cooling element 22 is movably connected to the fastening element 18. Since the groove 26 of the fastening element 18 extends parallel to the circumference 16 of the pump housing, the cooling element 22 is also along the circumference of the pump housing 10 according to the arrow 30 movable.
  • the position of the cooling element 22 can be fixed relative to the pump housing 10 by the fixing elements designed as knurled nuts 32.
  • the fixing elements 32 are also shown exploded in Figures 1 and 3. When dissolved fixing elements 32 as described above, the cooling element 22 relative to the pump housing 10 along the groove 26 is freely movable.
  • the fixing elements 32 tightened, the link 28 jammed in the groove 26 and the cooling element 22 is fixed in position relative to the pump housing 10 and therefore immovable relative to the pump housing 10. A separation of the fastener 18 from the pump housing 10 is not required for this purpose. Accordingly, if the position of the cooling element 22 is to be changed, first the knurled nuts 32 are loosened so that the cooling element 22 is movable relative to the pump housing 10. Then, the cooling element 22 along the groove 26 is moved according to the arrow 30 until the desired position of the cooling element 22 is reached. Finally, the knurled nuts 32 are tightened again, so that the cooling element is fixed in its position. No tools are required during this process. In particular, it is not necessary to produce mounting options such as holes on the pump housing.
  • the cooling element 22 is arranged in the regions 34 at a distance from the outer side 16 of the pump housing 10.
  • 34 ventilation slots are generated in the areas through which the moving air of the fan 24 can escape from the cooling element 22. Since the ventilation slots in the region 34 are arranged laterally from the cooling element, the moving air flows along the outer side 16 of the pump housing 10, whereby a further convective cooling is achieved.

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Abstract

The invention relates to a vacuum pump housing comprising a pump housing which forms a suction chamber. A cooling element is arranged on an outer face of the pump housing. Furthermore, a fastening element is connected to the pump housing. According to the invention, the cooling element is connected to the fastening element and rests against the outer face of the pump housing.

Description

Vakuumpumpenqehäuse  Vakuumpumpenqehäuse
Die Erfindung betrifft ein Vakuumpumpengehäuse mit einem Kühlelement. The invention relates to a vacuum pump housing with a cooling element.
Vakuumpumpen weisen in einem durch ein Gehäuse gebildeten Schöpfraum Pumpelemente auf. Bei Vakuumpumpen handelt es sich insbesondere um Schraubenpumpen, ein- und mehrstufige Rootspumpen, Drehschieberpumpen, Klauenpumpen, Seitenkanalverdichter, Siegbahn- Gaede- oder Turbo- molekularpumpenstufe. Durch die Pumpenelemente im Schöpfraum wird ein Fördermedium von einem Einlass zu einem Auslass gefördert. Durch die Kompression des Fördermediums entsteht Wärme, wodurch sich das Gehäuse der Vakuumpumpe erwärmt. Zur Erzeugung von Vakuum ist es jedoch erforderlich, dass zwischen den Pumpenelementen und der Innenwand des Schöpfraums ein möglichst schmaler Spalt realisiert ist. Insofern ist es erforderlich, das Vakuumpumpen bei einer möglichst gleichbleibenden Betriebstemperatur betrieben werden, um Veränderungen des Spalts auf Grund von unterschiedlichen Temperaturausdehnungen des Gehäuses und der Pumpenelemente zu vermeiden. Daher ist es erforderlich zur Kühlung des Pumpengehäuses Kühlelemente vorzusehen. Vacuum pumps have pumping elements in a pump chamber formed by a housing. In particular, vacuum pumps are screw pumps, single-stage and multistage roots pumps, rotary vane pumps, claw pumps, side channel blowers, Siegbahn Gaede or turbo-molecular pump stages. By the pump elements in the pump chamber, a fluid is conveyed from an inlet to an outlet. Heat is generated by the compression of the pumped medium, which heats the housing of the vacuum pump. In order to generate a vacuum, however, it is necessary that as narrow a gap as possible is realized between the pump elements and the inner wall of the pump chamber. In this respect, it is necessary that the vacuum pumps are operated at as constant an operating temperature as possible, in order to avoid changes in the gap due to different temperature expansions of the housing and the pump elements. Therefore, it is necessary to provide cooling elements for cooling the pump housing.
Kühlelemente werden üblicherweise an der Außenseite des Pumpengehäuses durch eine Schraubenverbindung befestigt. Beim Einbau der Vakuumpumpen kann es daher vorkommen, dass durch die außen angebrachten Kühlelemente der Einbau durch den geringen zur Verfügung stehenden Platz erschwert oder sogar verhindert wird. In diesem Fall muss das Kühlelement aufwendig abgenommen werden und entweder nachträglich wieder befestigt werden, oder sogar versetzt werden. Für das Versetzen ist es erforderlich neue Bohrungen im Pumpengehäuse vorzusehen. Dieser Schritt ist aufwendig, erfordert Werkzeug und ist darüber hinaus irreversible. So kann es erforderlich sein, dass bei einem erneuten Einbau der Vakuumpumpe in eine andere Anlage wiederum neue Bohrungen vorgesehen werden müssen. Dies mindert die Qualität der Pumpe und kann letztendlich sogar zu einer Beschädigung der Pumpe führen. Cooling elements are usually attached to the outside of the pump housing by a screw connection. When installing the vacuum pumps, it may therefore happen that the externally mounted cooling elements difficult or even prevent installation due to the small amount of available space. In this case, the cooling element must be removed consuming and either retrofitted, or even offset. For moving it is necessary new Provide holes in the pump housing. This step is laborious, requires tools, and is irreversible beyond that. Thus, it may be necessary that in a new installation of the vacuum pump in another system again new holes must be provided. This reduces the quality of the pump and may eventually even damage the pump.
Aufgabe der Erfindung ist es daher ein Pumpengehäuse zu schaffen mit einem Kühlelement, welches einfach und reversible in seiner Lage relativ zum Pumpengehäuse verändert werden kann. The object of the invention is therefore to provide a pump housing with a cooling element, which can be easily and reversibly changed in its position relative to the pump housing.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch ein Vakuumpumpengehäuse gemäß Anspruch 1. The object is achieved according to the invention by a vacuum pump housing according to claim 1.
Ein Vakuumpumpengehäuse weist ein Pumpengehäuse auf, das einen Schöpfraum ausbildet. In dem Schöpfraum sind die Pumpenelemente angeordnet mit denen ein Fördermedium von einer Saugseite zu einer Druckseite der Pumpe bewegt wird. Dabei kann das Vakuumpumpengehäuse für Vakuumpumpen verwendet werden, bei denen es sich insbesondere um Schraubenpumpen, ein- und mehrstufige Rootspumpen, Drehschieberpumpen, Klauenpumpen, Seitenkanalverdichter, Siegbahn- Gaede- oder Turbomolekularpumpenstufen handelt. Das Pumpengehäuse weist dabei eine Bodenseite auf, auf der die Pumpe üblicherweise aufgestellt wird . Der Bodenseite gegenüber weist das Pumpengehäuse eine Stirnseite auf. Bodenseite und Stirnseite sind dabei über eine Außenseite des Pumpengehäuses miteinander verbunden. Erfindungsgemäß weist das Vakuumpumpengehäuse ein Kühlelement auf, welches an der Außenseite des Pumpengehäuses angeordnet ist, derart, dass das Kühlelement an der Außenseite des Pumpengehäuses anliegt. Durch das Anliegen des Kühlelements an die Außenseite des Pumpengehäuses wird ein guter Wärmetransport zwischen dem Kühlelement und dem Pumpengehäuse gewährleistet. Weiter ist mit dem Pumpengehäuse ein Befestigungselement verbunden. Das Kühlelement ist dabei mit dem Befestigungselement verbunden. Für eine Änderung der Lage des Kühlelements an der Außenseite des Pumpengehäuses muss daher lediglich die Verbindung zwischen dem Kühlelement und dem Befestigungselement gelöst, jedoch nicht zwingenderweise aufgehoben werden. Sodann lässt sich das Kühlelement neu positionieren und wiederum mit dem Befestigungselement verbinden. Da das Kühlelement lediglich an der Außenseite des Pumpengehäuses anliegt, ist ein Verbinden des Kühlelements mit dem Pumpengehäuse direkt nicht erforderlich. Dieser Schritt würde einen erheblichen Aufwand bedeuten und ist erfindungsgemäß vermieden. Durch die Zweiteiligkeit von Kühlelement und Befestigungselement wird ein variables System geschaffen um die Lage des Kühlelements zu verändern um einen Einbau der Vakuumpumpe mit dem erfindungsgemäßen Vakuumpumpengehäuse in eine Anlage zu ermöglichen, jedoch zumindest zu erleichtern. A vacuum pump housing has a pump housing which forms a pump chamber. In the pump chamber, the pump elements are arranged with which a fluid is moved from a suction side to a pressure side of the pump. In this case, the vacuum pump housing can be used for vacuum pumps, which are in particular screw pumps, one-stage and multi-stage Roots pumps, rotary vane pumps, claw pumps, side channel blower, Siegbahn Gaede or turbomolecular pump stages. The pump housing in this case has a bottom side on which the pump is usually placed. The bottom side opposite the pump housing has an end face. Bottom side and front side are connected to each other via an outer side of the pump housing. According to the invention, the vacuum pump housing to a cooling element, which is arranged on the outside of the pump housing, such that the cooling element rests against the outside of the pump housing. By the concern of the cooling element to the outside of the pump housing, a good heat transfer between the cooling element and the pump housing is ensured. Next is a fastener with the pump housing connected. The cooling element is connected to the fastening element. For a change in the position of the cooling element on the outside of the pump housing, therefore, only the connection between the cooling element and the fastener has to be solved, but not necessarily abolished. Then the cooling element can be repositioned and in turn connected to the fastener. Since the cooling element rests only on the outside of the pump housing, a connection of the cooling element with the pump housing is not required directly. This step would mean a considerable effort and is inventively avoided. Due to the bipartite cooling element and fastener a variable system is created to change the position of the cooling element to allow installation of the vacuum pump with the vacuum pump housing according to the invention in a system, but at least to facilitate.
Insbesondere ist das Befestigungselement mit der Bodenseite des Pumpengehäuses verbunden. Da weiterhin das Kühlelement an der Außenseite des Pumpengehäuses anliegt, ergibt sich ein im Wesentlichen rechter Winkel zwischen dem Befestigungselement und dem Kühlelement. Insbesondere ist dabei das Befestigungselement plattenförmig ausgebildet, sodass sich die Baulänge des Vakuumpumpengehäuses nicht wesentlich verlängert. In particular, the fastening element is connected to the bottom side of the pump housing. Furthermore, since the cooling element bears against the outside of the pump housing, a substantially right angle results between the fastening element and the cooling element. In particular, the fastening element is plate-shaped, so that the overall length of the vacuum pump housing is not significantly extended.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist das Befestigungselement relativ zum Pumpengehäuse unbeweglich mit dem Pumpengehäuse verbunden. Die Verbindung des Befestigungselements mit dem Pumpengehäuse kann daher bevorzugt durch Verschrauben, Klemmung oder Verschweißen erfolgen. Jedoch ist es auch möglich, das Befestigungselement einstückig mit dem Pumpengehäuse auszubilden. In jedem Fall ist das Befestigungselement relativ zum Pumpengehäuse unbeweglich. Es wird hierdurch eine feste Verbindung zwischen dem Befestigungselement und dem Pumpengehäuse geschaffen. Diese Verbindung muss auch nicht für eine Änderung der Lage des Kühlelements für den Einbau geändert bzw. gelöst und wieder hergestellt werden. In a preferred embodiment, the fastener is immovably connected to the pump housing relative to the pump housing. The connection of the fastening element with the pump housing can therefore preferably be effected by screwing, clamping or welding. However, it is also possible to form the fastening element integrally with the pump housing. In any case, the fastener is immovable relative to the pump housing. It is thereby created a firm connection between the fastener and the pump housing. This connection also does not have to change the location of the Chiller for installation changed or loosened and restored.
Insbesondere ist das Kühlelement jedoch relativ zum Pumpengehäuse beweglich mit dem Befestigungselement verbunden. Da das Befestigungselement relativ zum Pumpengehäuse unbeweglich ist, ist das Kühlelement auch relativ zum Befestigungselement beweglich, somit kann das Kühlelement in eine veränderte Lage relativ zum Pumpengehäuse bewegt werden, ohne, dass die Verbindung zwischen dem Kühlelement und Befestigungselement aufgehoben werden muss. Eine Veränderung der Lage des Kühlelements relativ zum Pumpengehäuse kann daher vorzugsweise werkzeuglos erfolgen. Bevorzugt ist die Verbindung vom Kühlelement mit dem Befestigungselement durch ein Fixierelement insbesondere durch eine Rändelmutter derart fixierbar, dass das Kühlelement relativ zum Pumpengehäuse unbeweglich ist. Bei gelöstem Fixierelement ist das Kühlelement relativ zum Pumpengehäuse beweglich. Wird jedoch das Fixierelement festgezogen, wird die Beweglichkeit des Kühlelements relativ zum Pumpengehäuse verhindert, sodass das Kühlelement in seiner Lage fixiert ist. Bei dem Fixierelement kann es sich insbesondere um eine Rändelmutter handeln, sodass ein Lösen und Festziehen des Fixierelements werkzeuglos erfolgen kann. Jedoch sind auch andere Ausführungen als Fixierelement denkbar, wie z. B. eine Schraubenmutter, eine Flügelmutter oder dergleichen. In particular, however, the cooling element is movably connected to the fastening element relative to the pump housing. Since the fastening element is immovable relative to the pump housing, the cooling element is also movable relative to the fastening element, thus the cooling element can be moved in a changed position relative to the pump housing, without that the connection between the cooling element and fastener must be canceled. A change in the position of the cooling element relative to the pump housing can therefore preferably be done without tools. Preferably, the connection from the cooling element to the fastening element can be fixed by a fixing element, in particular by a knurled nut, such that the cooling element is immovable relative to the pump housing. When dissolved fixing the cooling element is movable relative to the pump housing. However, if the fixing element is tightened, the mobility of the cooling element is prevented relative to the pump housing, so that the cooling element is fixed in its position. The fixing element may in particular be a knurled nut, so that a loosening and tightening of the fixing element can be done without tools. However, other designs are conceivable as fixing, such. As a nut, a wing nut or the like.
Insbesondere weist das Befestigungselement eine Nut auf. Bevorzugt verläuft diese Nut im Wesentlichen parallel zur Außenseite des Pumpengehäuses. Weiter weist das Kühlelement vorzugsweise eine Kulisse bzw. einen Nutstein auf, die in der Nut geführt wird, sodass das Kühlelement entlang der Nut relativ zum Pumpengehäuse bewegbar ist. Erfindungsgemäß liegt dabei das Kühlelement stets an der Außenseite des Pumpengehäuses an. Da das Kühlelement lediglich über das Befestigungselement mit dem Pumpengehäuse verbunden ist, wird durch das Anliegen des Kühlelements an der Außenseite des Pumpengehäuses weitere Stabilität erzeugt. Durch die Nut des Befestigungselements in der die Kulisse des Kühlelements geführt wird, ist eine Verbindung geschaffen, bei der das Kühlelement relativ zum Pumpengehäuse bewegbar ist, ohne, dass die Verbindung zwischen Kühlelement und Befestigungselement aufgehoben werden müsste, sondern lediglich gelöst werden muss. Insbesondere wenn ein Fixierelement vorgesehen ist, kann durch dieses Fixierelement die Kulisse in der Nut fixiert werden, sodass das Kühlelement relativ zum Pumpengehäuse unbeweglich wird . In particular, the fastening element has a groove. Preferably, this groove extends substantially parallel to the outside of the pump housing. Furthermore, the cooling element preferably has a slide or a sliding block, which is guided in the groove, so that the cooling element is movable along the groove relative to the pump housing. According to the invention, the cooling element is always applied to the outside of the pump housing. Since the cooling element is connected only via the fastening element with the pump housing, further stability is created by the concern of the cooling element on the outside of the pump housing. Through the groove of Fastening element in which the backdrop of the cooling element is guided, a connection is provided in which the cooling element is movable relative to the pump housing, without that the connection between the cooling element and fastener should be repealed, but only needs to be solved. In particular, if a fixing element is provided, the setting can be fixed in the groove by this fixing element, so that the cooling element is immobile relative to the pump housing.
Insbesondere kann das Befestigungselement, welches die Nut aufweist, als separates Bauteil ausgeführt sein, welches über geeignete Befestigungselemente, wie Schrauben oder dergleichen, mit dem Pumpengehäuse verbunden werden kann. In einer alternativen Ausführungsform ist das Befestigungselement mit der Nut einteilig mit dem Pumpengehäuse ausgebildet. Somit kann das Befestigungselement durch einen gemeinsamen Gießvorgang von Befestigungselement und Pumpengehäuse erzeugt werden. Es ist jedoch auch denkbar, dass die Einteiligkeit von Befestigungselement und Pumpengehäuse durch Verschweißen erreicht wird . Als weitere alternative Ausführungsform kann die Nut, in der die Kulisse des Kühlelements geführt wird, in das Pumpengehäuse integriert sein. Hierbei weist insbesondere die Außenseite, die Stirnseite oder die Bodenseite eine Nut auf, in der die Kulisse des Kühlelements geführt wird . Ein zusätzliches Befestigungselement ist hierbei weder als separates Bauteil noch als einteilig mit dem Pumpengehäuse verbundenes Element erforderlich. Ist die Nut in das Pumpengehäuse integriert, so werden durch die Außenseite, die Stirnseite oder die Bodenseite nicht nur eine Seite des Pumpengehäuses gebildet sondern erfüllen auch die Funktion, dass das Kühlelement durch eine Kulisse beweglich relativ zum Pumpengehäuse mit einer dieser Seiten verbunden werden kann. In particular, the fastening element, which has the groove, be designed as a separate component, which can be connected via suitable fastening elements, such as screws or the like, with the pump housing. In an alternative embodiment, the fastening element with the groove is formed integrally with the pump housing. Thus, the fastener can be produced by a common casting of fastener and pump housing. However, it is also conceivable that the one-piece of fastener and pump housing is achieved by welding. As a further alternative embodiment, the groove, in which the backdrop of the cooling element is guided, be integrated into the pump housing. In this case, in particular the outside, the front side or the bottom side has a groove in which the backdrop of the cooling element is guided. An additional fastening element is in this case required neither as a separate component nor as an integrally connected to the pump housing element. If the groove is integrated in the pump housing, then not only one side of the pump housing are formed by the outside, the front side or the bottom side but also fulfill the function that the cooling element can be connected by a link movable relative to the pump housing with one of these sides.
In einer bevorzugten Ausführungsform weist das Pumpengehäuse eine im Wesentlichen zylindrische Form auf, und das Kühlelement liegt am Umfang des Pumpengehäuses an. Hierbei ist insbesondere die Nut gebogen und vorzugsweise parallel zum Umfang des Pumpengehäuses. Somit ist das Kühlelement relativ zum Pumpengehäuse beweglich entlang des Umfangs des Pumpengehäuses. Das Kühlelement lässt sich hierbei insbesondere über einen Winkel von mindestens 20°, bevorzugt mindestens 90° und besonders bevorzugt mindestens 270° entlang des Umfangs des Pumpengehäuses bewegen. Hierdurch wird eine große Variabilität der Lage des Kühlelements erzeugt, sodass beim Einbau sichergestellt ist, dass eine Lage des Kühlelements gefunden werden kann, um den Einbau zu erleichtern oder gar zu ermöglichen. In a preferred embodiment, the pump housing has a substantially cylindrical shape, and the cooling element is located on the circumference of Pump housing on. In this case, in particular, the groove is bent and preferably parallel to the circumference of the pump housing. Thus, the cooling element is movable relative to the pump housing along the circumference of the pump housing. The cooling element can be moved in this case in particular over an angle of at least 20 °, preferably at least 90 ° and particularly preferably at least 270 ° along the circumference of the pump housing. As a result, a large variability of the position of the cooling element is generated, so that it is ensured during installation that a position of the cooling element can be found to facilitate installation or even to allow.
In einer alternativen Ausführungsform ist das Pumpengehäuse im Wesentlichen quaderförmig ausgebildet, sodass das Kühlelement an einer der Seitenflächen anliegt. Insbesondere ist hierbei die Nut parallel zu einer der Seitenflächen angeordnet, sodass das Kühlelement entlang der einen Seitenfläche des Pumpengehäuses beweglich ist. Bevorzugt ist dabei das Kühlelement über die gesamte Breite der Seitenfläche beweglich, sodass eine möglichst große Variabilität der Lage des Kühlelements erreicht wird . In an alternative embodiment, the pump housing is formed substantially parallelepiped, so that the cooling element rests against one of the side surfaces. In particular, in this case, the groove is arranged parallel to one of the side surfaces, so that the cooling element along one side surface of the pump housing is movable. Preferably, the cooling element is movable over the entire width of the side surface, so that the greatest possible variability of the position of the cooling element is achieved.
Insbesondere weist das Befestigungselement Aussparungen auf für mit dem Pumpengehäuse verbundene Anschlüsse. Hierbei kann es sich beispielweise um den Vakuumstutzen bzw. den Vorvakuumstutzen handeln, wie auch um Anschlüsse für die Steuerung der Pumpe bzw. für die Stromversorgung . In particular, the fastener has recesses for connected to the pump housing connections. This may be, for example, the vacuum port or the Vorvakuumstutzen, as well as connections for the control of the pump or for the power supply.
Insbesondere weist das Kühlelement einen Lüfter auf. Alternativ hierzu kann es sich bei dem Kühlelement um den Wärmetauscher einer Wasserkühlung bzw. einer Fluidkühlung handeln. Auch kann das Kühlelement als Peltier- Element ausgebildet sein, wobei auch hier in der Regel Lüfter verwendet werden. Insbesondere kann das Kühlelement als passives Kühlelement ausgebildet sein und hierbei insbesondere Kühlerrippen aufweisen. Weist das Kühlelement Lüfter auf, so ist das Kühlelement bevorzugt in mindestens einem Bereich beabstandet zur Außenseite des Pumpengehäuses angeordnet. Hierdurch werden Lüftungsschlitze zwischen dem Kühlelement und der Außenseite des Pumpengehäuses ausgeformt, durch die die Luftströmung des Kühlelements aus dem Kühlelement austreten kann. Bei einer besonderen Anordnung sind diese Lüftungsschlitze seitlich am Kühlelement angebracht, sodass die Kühlluft des Lüfters entlang der Außenseite des Pumpengehäuses strömt und hierdurch konvektiv Wärme abgeleitet wird. In particular, the cooling element has a fan. Alternatively, the cooling element may be the water-cooled or fluid-cooled heat exchanger. Also, the cooling element may be formed as a Peltier element, with fans are used here as well in the rule. In particular, the cooling element may be formed as a passive cooling element and in this case in particular have radiator fins. If the cooling element has fans, the cooling element is preferably arranged in at least one area at a distance from the outside of the pump housing. As a result, ventilation slots are formed between the cooling element and the outside of the pump housing, through which the air flow of the cooling element can escape from the cooling element. In a particular arrangement, these vents are mounted laterally on the cooling element so that the cooling air of the fan flows along the outside of the pump housing and thereby convective heat is dissipated.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsform unter Bezugnahme der anliegenden Zeichnungen näher erläutert. The invention will be explained in more detail with reference to preferred embodiment with reference to the accompanying drawings.
Es zeigen : Show it :
Figur 1 Eine schematische Schnittansicht des Vakuumpumpengehäuses entlang der I-I-Linie der Figur 2, 1 is a schematic sectional view of the vacuum pump housing along the I-I line of Figure 2,
Figur 2 Eine schematische Draufsicht des Vakuumpumpengehäuses in Ii- Richtung der Figur 1 und Figure 2 is a schematic plan view of the vacuum pump housing in Ii-direction of Figure 1 and
Figur 3 Eine schematische perspektivische Ansicht des Kühlelements und des Befestigungselements der Ausführungsform der Figur 1. FIG. 3 A schematic perspective view of the cooling element and the fastening element of the embodiment of FIG. 1.
Das erfindungsgemäße Vakuumpumpengehäuse weist ein Pumpengehäuse 10 (gestrichelt dargestellt) auf. Das Pumpengehäuse 10 weist eine Bodenseite 12 und eine der Bodenseite gegenüberliegende Stirnseite 14 auf. Bodenseite 12 und Stirnseite 14 sind mit einer Außenseite 16 des Pumpengehäuses 10 verbunden. In der gezeigten Ausführungsform ist dabei das Pumpengehäuse 10 im Wesentlichen zylindrisch ausgebildet. Hierdurch ist die Außenseite 16 des Pumpengehäuses 10 als Umfang ausgebildet. An der Bodenseite 12 des Pumpengehäuses 10 ist ein Befestigungselement 18 vorgesehen. Das Befestigungselement 18 ist dabei über Schrauben bzw. Stifte 20 mit dem Pumpengehäuse 10 fest verbunden. Dabei ist das Befestigungselement 18 relativ zum Pumpengehäuse 10 unbeweglich. Eine Bewegung des Befestigungselements 18 relativ zum Pumpengehäuse 10 wird durch die Stifte bzw. Schrauben 20 verhindert. The vacuum pump housing according to the invention has a pump housing 10 (shown in dashed lines). The pump housing 10 has a bottom side 12 and a bottom side opposite end face 14. Bottom side 12 and end face 14 are connected to an outer side 16 of the pump housing 10. In the embodiment shown, the pump housing 10 is substantially cylindrical. As a result, the outer side 16 of the pump housing 10 is formed as a circumference. On the bottom side 12 of the pump housing 10, a fastening element 18 is provided. The fastener 18 is firmly connected by screws or pins 20 with the pump housing 10. In this case, the fastening element 18 is immovable relative to the pump housing 10. A movement of the Fastener 18 relative to the pump housing 10 is prevented by the pins or screws 20.
Weiter weist das Vakuumpumpengehäuse ein Kühlelement 22 auf, in welchem zwei Lüfter 24 angeordnet sind . Furthermore, the vacuum pump housing has a cooling element 22, in which two fans 24 are arranged.
Im Befestigungselement 18 ist eine Nut 26 vorgesehen. Das Kühlelement 22 weist eine Kulisse 28 auf, die in der Nut 26 geführt wird . Die Kulisse 28 ist dabei in den Figuren 1 und 3 explosionsartig dargestellt. Durch die Kulisse 28 ist das Kühlelement 22 beweglich mit dem Befestigungselement 18 verbunden. Da die Nut 26 des Befestigungselement 18 parallel zum Umfang 16 des Pumpengehäuses verläuft, ist das Kühlelement 22 ebenfalls entlang des Umfangs des Pumpengehäuses 10 entsprechend dem Pfeil 30 bewegbar. Hierdurch ist gewährleistet, dass das Kühlelement 22 relativ zum Pumpengehäuse 10 beweglich ist und hierdurch die Lage des Kühlelements 22 für den Einbau verändert werden kann, ohne, dass die Verbindung zwischen dem Kühlelement 22 und dem Befestigungselement 18 aufgehoben werden müsste, sondern lediglich gelöst werden muss. Hierdurch ist es insbesondere möglich das Kühlelement 22 in seiner Lage ohne die Verwendung eines Werkzeugs zu verändern. Darüber hinaus ist die Lage des Kühlelements 22 relativ zum Pumpengehäuse 10 durch die als Rändelmuttern 32 ausgebildeten Fixierelemente fixierbar. Die Fixierelemente 32 sind dabei ebenfalls in den Figuren 1 und 3 explosionsartig dargestellt. Bei gelösten Fixierelemente 32 ist wie oben beschrieben das Kühlelement 22 relativ zum Pumpengehäuse 10 entlang der Nut 26 frei beweglich. Werden jedoch die Fixierelemente 32 angezogen, verklemmt sich die Kulisse 28 in der Nut 26 und das Kühlelement 22 ist in seiner Lage relativ zum Pumpengehäuse 10 fixiert und daher relativ zum Pumpengehäuse 10 unbeweglich. Ein Trennen des Befestigungselements 18 vom Pumpengehäuse 10 ist hierfür nicht erforderlich. Soll demnach die Lage des Kühlelements 22 verändert werden, werden zunächst die Rändelmuttern 32 gelöst, sodass das Kühlelement 22 relativ zum Pumpengehäuse 10 beweglich ist. Sodann wird das Kühlelement 22 entlang der Nut 26 gemäß dem Pfeil 30 verschoben bis die gewünschte Lage des Kühlelements 22 erreicht ist. Abschließend werden die Rändelmuttern 32 wieder angezogen, sodass das Kühlelement in seiner Lage fixiert wird . Bei diesem Vorgang ist kein Werkzeug erforderlich. Insbesondere ist es nicht erforderlich Befestigungsmöglichkeiten wie Bohrungen am Pumpengehäuse herzustellen. In the fastener 18, a groove 26 is provided. The cooling element 22 has a link 28 which is guided in the groove 26. The gate 28 is shown exploded in Figures 1 and 3. Through the gate 28, the cooling element 22 is movably connected to the fastening element 18. Since the groove 26 of the fastening element 18 extends parallel to the circumference 16 of the pump housing, the cooling element 22 is also along the circumference of the pump housing 10 according to the arrow 30 movable. This ensures that the cooling element 22 is movable relative to the pump housing 10 and thereby the position of the cooling element 22 can be changed for installation, without that the connection between the cooling element 22 and the fastener 18 should be repealed, but only needs to be solved , This makes it possible in particular to change the cooling element 22 in its position without the use of a tool. In addition, the position of the cooling element 22 can be fixed relative to the pump housing 10 by the fixing elements designed as knurled nuts 32. The fixing elements 32 are also shown exploded in Figures 1 and 3. When dissolved fixing elements 32 as described above, the cooling element 22 relative to the pump housing 10 along the groove 26 is freely movable. However, if the fixing elements 32 tightened, the link 28 jammed in the groove 26 and the cooling element 22 is fixed in position relative to the pump housing 10 and therefore immovable relative to the pump housing 10. A separation of the fastener 18 from the pump housing 10 is not required for this purpose. Accordingly, if the position of the cooling element 22 is to be changed, first the knurled nuts 32 are loosened so that the cooling element 22 is movable relative to the pump housing 10. Then, the cooling element 22 along the groove 26 is moved according to the arrow 30 until the desired position of the cooling element 22 is reached. Finally, the knurled nuts 32 are tightened again, so that the cooling element is fixed in its position. No tools are required during this process. In particular, it is not necessary to produce mounting options such as holes on the pump housing.
Darüber hinaus ist das Kühlelement 22 in den Bereichen 34 beabstandet zur Außenseite 16 des Pumpengehäuses 10 angeordnet. Somit werden in den Bereichen 34 Lüftungsschlitze erzeugt, durch die die bewegte Luft der Lüfter 24 aus dem Kühlelement 22 austreten kann. Da die Lüftungsschlitze im Bereich 34 seitlich vom Kühlelement angeordnet sind, strömt die bewegte Luft entlang der Außenseite 16 des Pumpengehäuses 10 wodurch eine weitere konvektive Kühlung erreicht wird . In addition, the cooling element 22 is arranged in the regions 34 at a distance from the outer side 16 of the pump housing 10. Thus, 34 ventilation slots are generated in the areas through which the moving air of the fan 24 can escape from the cooling element 22. Since the ventilation slots in the region 34 are arranged laterally from the cooling element, the moving air flows along the outer side 16 of the pump housing 10, whereby a further convective cooling is achieved.

Claims

Ansprüche claims
Vakuumpumpengehäuse, mit einem einen Schöpfraum ausbildenden Pumpengehäuse (10), einem an einer Außenseite (16) des Pumpengehäuses (10) angeordneten Kühlelement (22), gekennzeichnet durch ein mit dem Pumpengehäuse (10) verbundenem Befestigungselement (18), wobei das Kühlelement (22) an der Außenseite (16) des Pumpengehäuses (10) anliegt und mit dem Befestigungselement (18) verbunden ist. Vacuum pump housing, having a pump housing (10) forming a pump chamber, a cooling element (22) arranged on an outer side (16) of the pump housing (10), characterized by a fastening element (18) connected to the pump housing (10), the cooling element (22 ) rests against the outside (16) of the pump housing (10) and is connected to the fastening element (18).
Vakuumpumpengehäuse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Befestigungselement (18) mit einer Bodenseite (12) des Pumpengehäuses (10) verbunden ist. Vacuum pump housing according to claim 1, characterized in that the fastening element (18) with a bottom side (12) of the pump housing (10) is connected.
Vakuumpumpengehäuse nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Befestigungselement (18) relativ zum Pumpengehäuse (10) unbeweglich mit dem Pumpengehäuses (10) verbunden ist. Vacuum pump housing according to claim 1 or 2, characterized in that the fastening element (18) relative to the pump housing (10) is immovably connected to the pump housing (10).
Vakuumpumpengehäuse nach einem der Ansprüche 1 - 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Kühlelement (22) relativ zum Pumpengehäuse (10) beweglich mit dem Befestigungselement (18) verbunden ist. Vacuum pump housing according to one of claims 1 - 3, characterized in that the cooling element (22) relative to the pump housing (10) is movably connected to the fastening element (18).
Vakuumpumpengehäuse nach einem der Ansprüche 1 - 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindung vom Kühlelement (22) mit dem Befestigungselement (18) durch ein Fixierelement, insbesondere durch eine Rändelmutter (32) derart fixierbar ist, dass das Kühlelement (22) relativ zum Pumpengehäuse (10) unbeweglich ist. Vacuum pump housing according to one of claims 1 - 4, characterized in that the connection from the cooling element (22) with the Fixing element (18) by a fixing element, in particular by a knurled nut (32) is fixable such that the cooling element (22) relative to the pump housing (10) is immovable.
6. Vakuumpumpengehäuse nach einem der Ansprüche 1 - 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Befestigungselement (18) eine insbesondere im Wesentlichen parallel zur Außenseite (16) verlaufende Nut (26) aufweist und das Kühlelement (22) eine Kulisse (28), die in der Nut (26) geführt wird, so dass das Kühlelement (22) entlang der Nut (26) relativ zum Pumpengehäuse (10) bewegbar ist. 6. Vacuum pump housing according to one of claims 1-5, characterized in that the fastening element (18) has a particular substantially parallel to the outside (16) extending groove (26) and the cooling element (22) has a link (28) in the the groove (26) is guided, so that the cooling element (22) along the groove (26) relative to the pump housing (10) is movable.
7. Vakuumpumpengehäuse nach einem der Ansprüche 1 - 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Befestigungselement (18) Aussparungen aufweist für mit dem Pumpengehäuse (10) verbundene Anschlüsse. 7. Vacuum pump housing according to one of claims 1-6, characterized in that the fastening element (18) has recesses for connected to the pump housing (10) connections.
8. Vakuumpumpengehäuse, mit einem einen Schöpfraum ausbildenden Pumpengehäuse (10), einem an einer Außenseite (16) des Pumpengehäuses (10) angeordneten Kühlelement (22), dadurch gekennzeichnet, dass das Pumpengehäuse eine insbesondere im Wesentlichen parallel zur Außenseite (16) verlaufende Nut (26) aufweist und das Kühlelement (22) eine Kulisse (28), die in der Nut (26) geführt wird, so dass das Kühlelement (22) entlang der Nut (26) relativ zum Pumpengehäuse (10) bewegbar ist, wobei das Kühlelement (22) an der Außenseite (16) des Pumpengehäuses (10) anliegt. 8. Vacuum pump housing, with a pump chamber forming a pump chamber (10), one on an outer side (16) of the pump housing (10) arranged cooling element (22), characterized in that the pump housing in particular a substantially parallel to the outer side (16) extending groove (26) and the cooling element (22) a gate (28) which is guided in the groove (26), so that the cooling element (22) along the groove (26) relative to the pump housing (10) is movable, said Cooling element (22) on the outside (16) of the pump housing (10) rests.
9. Vakuumpumpengehäuse nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindung vom Kühlelement (22) mit dem Pumpengehäuse durch ein Fixierelement, insbesondere durch eine Rändelmutter (32) derart fixierbar ist, dass das Kühlelement (22) relativ zum Pumpengehäuse (10) unbeweglich ist. 9. Vacuum pump housing according to claim 8, characterized in that the connection of the cooling element (22) with the pump housing by a fixing element, in particular by a knurled nut (32) is fixable such that the cooling element (22) relative to the pump housing (10) is immovable ,
10. Vakuumpumpengehäuse nach einem der Ansprüche 1 - 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Pumpengehäuse (10) eine im Wesentlichen zylindrische Form hat und das Kühlelement (22) am Umfang des Pumpengehäuses (10) anliegt. 10. Vacuum pump housing according to one of claims 1-9, characterized in that the pump housing (10) has a substantially cylindrical shape and the cooling element (22) rests on the circumference of the pump housing (10).
11. Vakuumpumpengehäuse nach Anspruch 10, gekennzeichnet durch eine insbesondere parallel zum Umfang des Pumpengehäuses (10) gebogene Nut (26). 11. Vacuum pump housing according to claim 10, characterized by a particular parallel to the circumference of the pump housing (10) curved groove (26).
12. Vakuumpumpengehäuse nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Kühlelement (22) über einen Winkel von mindestens 20°, insbesondere mindestens 90° und bevorzugt mindestens 270° entlang des Umfangs des Pumpengehäuses (10) relativ zum Pumpengehäuse (10) beweglich ist. 12. Vacuum pump housing according to claim 11, characterized in that the cooling element (22) over an angle of at least 20 °, in particular at least 90 ° and preferably at least 270 ° along the circumference of the pump housing (10) relative to the pump housing (10) is movable.
13. Vakuumpumpengehäuse nach einem der Ansprüche 1 - 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Pumpengehäuse (10) im Wesentlichen quaderförmig ausgebildet ist und das Kühlelement (22) an einer der Seitenflächen anliegt. 13. Vacuum pump housing according to one of claims 1-9, characterized in that the pump housing (10) is formed substantially cuboid and the cooling element (22) rests against one of the side surfaces.
14. Vakuumpumpengehäuse nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Nut (26) parallel zu der einen Seitenfläche angeordnet ist und das Kühlelement (22) insbesondere über die gesamte Breite der Seitenfläche beweglich ist. 14. Vacuum pump housing according to claim 13, characterized in that the groove (26) is arranged parallel to the one side surface and the cooling element (22) is movable in particular over the entire width of the side surface.
15. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 - 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Kühlelement (24) in mindestens einem Bereich (34) beabstandet zur Außenseite (16) des Pumpengehäuses (10) angeordnet ist und hierdurch Lüftungsschlitze zwischen dem Kühlelement (22) und der Außenseite (16) des Pumpengehäuses (10) ausgeformt sind . 15. Vacuum pump according to one of claims 1-14, characterized in that the cooling element (24) in at least one region (34) spaced from the outside (16) of the pump housing (10) is arranged and thereby ventilation slots between the cooling element (22) and the outside (16) of the pump housing (10) are formed.
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