WO2014154697A1 - Druckmesszelle mit einer einbauanordnung - Google Patents

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WO2014154697A1
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pressure measuring
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arrangement
installation
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Jörn Jacob
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Vega Grieshaber KG
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    • G01L19/147—Details about the mounting of the sensor to support or covering means

Definitions

  • the present invention relates to a pressure measuring cell with an installation arrangement.
  • Pressure measuring cells with mounting arrangements are known from the prior art, wherein it is customary in the prior art to grasp a pressure measuring cell radially and to seal it by means of radially provided seals with respect to a process environment located on the front side of the pressure measuring cell.
  • a great effort must be made in this regard to ensure a gap-free and sufficiently tight connection of the pressure measuring cell to the process environment.
  • the application forms known from the prior art on the one hand with regard to their tightness due to thermal effects and due to corrosion or aging of the sealing material used can not be made permanently tight.
  • a pressure measuring cell according to the invention has an installation arrangement with a metallic bottom and a circumferential metallic wall, the pressure measuring cell having on the front side a measuring diaphragm which is arranged on the bottom side in the installation arrangement.
  • a diffusion-tight unit is created, which can be arranged or fastened dichtungsf egg in a process connection or to a process environment.
  • a seal-free attachment of the pressure measuring cell with the installation arrangement in the process connection or to the process environment can be achieved, for example, by welding the metallic installation arrangement into a corresponding recess of a wall of the process environment.
  • An arrangement of the pressure measuring cell in the installation arrangement can be achieved particularly easily by means of an adhesive layer, which is preferably provided over the entire surface at least on the front side, between the pressure measuring cell and the floor of the installation arrangement.
  • a thickness of the bottom and a thickness of the adhesive layer are matched to one another and to the pressure measuring cell used in such a way that a pressure measurement is still possible without problems.
  • the adhesive layer consists of a silicone adhesive.
  • the mounting arrangement may preferably be made in one piece of metal, preferably of titanium.
  • a one-piece design of the mounting arrangement has the advantage that the mounting arrangement itself stress-free, d. H. in particular without tufts, such as welds, introduced tensions, in particular in the region of the bottom can be formed.
  • An embodiment of titanium also has the advantage that this one to a ceramic material that is often used in pressure measuring cells, only slightly different coefficients of thermal expansion, so that thermal stresses can be avoided by this combination of materials.
  • titanium is also advantageous because titanium is inert to a variety of engineering processes and also acts as a diffusion barrier.
  • this can at least front, d. H. on the process-facing side of the fastening arrangement, a hard material coating and / or a non-stick coating have.
  • a hard material coating can consist, for example, of silicon carbide or DLC (diamond-like carbon).
  • the pressure measuring cell can preferably be designed as a ceramic pressure measuring cell, with this in particular re in combination with a mounting arrangement made of titanium is advantageous.
  • the mounting arrangement and the pressure measuring cell are preferably matched to one another such that they have a coefficient of thermal expansion which differs from each other by at most 15%. In this way, thermally induced measurement errors are largely excluded.
  • a particularly simple usability of the pressure measuring cell with installation arrangement can be achieved if the installation arrangement is fastened in a process connection, preferably welded to the process connection.
  • a process connection By attaching the mounting assembly in a process connection use with conventional process connections, such as commonly used threads, possible, with a threading of the mounting arrangement is not necessary, which in particular stresses in the region of the bottom can be avoided.
  • Welding the installation arrangement into the process connection can in turn lead to an absolutely gap-free and planar arrangement on the front side by a subsequent wiping of the weld seam, so that use in particular in the chemical, pharmaceutical and food industry is particularly suitable.
  • the bottom of the assembly has a thickness of 0.03 mm to 0.1 mm, preferably about 0.05
  • the adhesive layer also has a thickness of 0.005 mm to 0.15 mm, preferably about 0.02 mm.
  • the wall of the installation arrangement preferably has a diameter which exceeds the diameter of the pressure measuring cell by at most 5 mm, so that the bottom of the installation arrangement experiences a sufficient deflection under pressure, which is transmitted to the measuring diaphragm of the pressure measuring cell.
  • a particularly good attachment of the pressure measuring cell in the mounting arrangement is achieved if, in addition, a circumferential bond is arranged between the pressure measuring cell and the circumferential metallic wall.
  • a circumferential, in particular lateral bonding of the pressure measuring cell with the mounting arrangement has the advantage that a more stable arrangement and a better transfer of the front-acting pressure forces can be achieved by an additional fixation in the edge region.
  • the process connection is preferably made of titanium. In this way, it becomes an all-titanium process that is inert and impermeable to diffusion. Created order that can be used well in otherwise critical processes.
  • a receiving ring with a circumferential step which engages over the pressure measuring cell back in the radial ⁇ direction. It is achieved in this way an arrangement in which the pressure measuring cell mechanically stable inside ⁇ half stored the combination of mounting assembly and receiving ring and at the same time completely protected against external mechanical influences.
  • the receiving ring to avoid thermal stresses between the materials used can preferably be made of metal, particularly preferably made of titanium.
  • the receiving ring is preferably fixedly connected to the mounting assembly, which can preferably be done by welding.
  • FIG. 1 shows a longitudinal section through an exemplary embodiment of the arrangement according to the invention
  • FIG. 1 shows a longitudinal section through an embodiment of a pressure measuring cell 1, which is arranged in an installation arrangement 3.
  • the pressure measuring cell 1 is formed as a substantially zy ⁇ -cylindrical capsule having a rectangular cross section in the example shown in Figure 1 a longitudinal section.
  • a measuring membrane 11 is arranged on the front side over a peripheral glass seam 15, which enables a measurement of a force acting on the measuring membrane 11, for example a pressure, via capacitors formed, for example, between the measuring membrane 11 and the base body 13 by opposing metallizations.
  • the measuring cell is fastened in the installation arrangement 3 via an adhesive layer 5 arranged over the entire surface between the measuring diaphragm 11 and a base 31 of the mounting arrangement 3.
  • the mounting arrangement 3 also has a peripheral wall 33, so that the mounting assembly 3 is designed overall cup-shaped.
  • the bottom 31 and the adhesive layer 5 are formed with extremely small thickness.
  • the bottom 31 has, for example, a thickness of 0.05 mm and the adhesive layer 5 has a thickness of 0.02 mm.
  • the adhesive layer 5 may be formed, for example, from a highly elastic silicone adhesive, so that a tension-free mounting of the pressure measuring cell 1 in the Einbauanord- 3 is reached.
  • the mounting assembly 3 is welded at the rear with a receiving ring 35 which is formed with a circumferential inwardly projecting step 37, the
  • Pressure measuring cell 1 engages behind in the radial direction. Between see the wall 33 of the mounting assembly 3 and the pressure measuring cell 1 is a circumferential bond 7 is arranged, which holds the pressure measuring cell 1 in the radial direction of stress in the mounting assembly 3.
  • the circumferential bond 7 is preferably made of the same high-viscosity silicone adhesive from which the adhesive layer 5 is made. It is also provided between the receiving ring 35, in particular between its radially extending to the pressure measuring cell 1 section and the peripheral step 37, which engages over the pressure measuring cell 1 back in Radialrich ⁇ tion, a rear-side bonding 8. By this back-bonding 8 ensures that the pressure measuring cell 1 is stored pressure-free in the axial direction.
  • the receiving ring 35 is circumferentially welded to the mounting assembly 3, so that after a grinding of the weld a separately manageable arrangement is formed.
  • the installation arrangement 3 is peripherally welded into a process connection 9, which may have, for example, an external thread.
  • the process connection 9 is configured in a manner corresponding to the combination of installation arrangement 3 and receiving ring 35 and welded circumferentially to the installation arrangement 3 on the front side. After a grinding of a weld seam 6, a gap-free, absolutely plane and diffusion-tight coupling to a process environment is ensured on the one side.
  • FIG. 2 shows an A.usitessver magnification of Figure 1.
  • the detail enlargement shown in Figure 2 shows particularly well arranged between the bottom 31 and the measuring membrane 11 adhesive layer 5, which continues seamlessly in the lateral circumscribing bond 7 between the wall 33 and the measuring cell body 13 of the pressure measuring cell 1.
  • the bottom 31 and the adhesive layer 5 as shown in the present embodiment, in a thickness which corresponds approximately to the thickness of the measuring diaphragm 11, there is an excellent transfer of pressure forces acting on the bottom 31 on the front side over the adhesive layer 5 ensures the measuring diaphragm 11.
  • the mounting arrangement 3, the receiving ring 35 and the process connection 9 are all made of titanium.
  • the use of titanium as a material ensures a high diffusion density.
  • a high chemical inertness (inert) of the arrangement compared to many processes.

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Druckmesszelle (1) mit einer Einbauanordnung (3) mit einem metallischen Boden und einer umlaufenden metallischen Wandung (33), wobei die Druckmesszelle (1) vorderzeitig eine Messmembran (11) aufweist, die bodenseitig in der Einbauanordnung (3) angeordnet ist.

Description

Druckmesszelle mit einer Einbauanordnung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Druckmesszelle mit einer Einbauanordnung.
Aus dem Stand der Technik sind Druckmesszellen mit Einbauanordnungen bekannt, wobei es im Stand der Technik üblich ist, eine Druckmesszelle radial zu fassen und mittels radial vorgesehener Dichtungen gegenüber einer vorderseitig der Druckmesszelle befindlichen Prozessumgebung abzudichten. Insbesondere in der chemischen und pharmazeutischen Industrie, aber auch in der Lebensmittelindustrie, muss diesbezüglich ein großer Aufwand betrieben werden, um eine spaltfreie und hinreichend dichte Anbindung der Druckmesszelle an die Prozessumgebung zu gewährleisten. Es wird dabei als nachteilig empfunden, dass die aus dem Stand der Technik bekannten Anwendungsformen einerseits hinsichtlich ihrer Dichtigkeit aufgrund von thermischen Effekten sowie aufgrund einer Korrosion beziehungsweise Alterung des verwendeten Dichtungsmaterials nicht dauerhaft dicht ausgestaltet werden können. Es wird außerdem als nachteilig empfunden, dass die bislang bekannten Anordnungen nicht diffusionsdicht sind und damit eine Diffusion von Bestandteilen aus der Prozessumgebung in Richtung der Druckmesszelle nicht vermieden werden kann. Es ist außerdem bei dem aus dem Stand der Technik bekannten Anbindungsvarianten nur mit großem Aufwand möglich, eine spaltfreie Anbindung der Druckmesszelle an eine Prozessumgebung zu erreichen.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Druckmess- zelle mit einer Einbauanordnung zur Verfügung zu stellen, die die Nachteile aus dem Stand der Technik nicht aufweist . Diese Aufgabe wird durch eine Druckmesszelle mit einer Einbauanordnung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst.
Vorteilhafte Weiterbildungen sind Gegenstand abhängiger An- sprüche .
Eine erfindungsgemäße Druckmesszelle weist eine Einbauanordnung mit einem metallischen Boden und einer umlaufenden metallischen Wandung auf, wobei die Druckmesszelle vorderseitig ei- ne Messmembran aufweist, die bodenseitig in der Einbauanordnung angeordnet ist.
Durch eine Anordnung der Druckmesszelle in einer Einbauanordnung mit einem metallischen Boden und einer umlaufenden metal- Irschen Wandung, d. h. in einer topfförmig ausgestalteten Einbauanordnung, wobei die Druckmesszelle und die Einbauanordnung mit der Bodenseite der Einbauanordnung zum Prozess hin orientiert sind, wird eine diffusionsdichte Einheit geschaffen, die dichtungsf ei in einem Prozessanschluss oder zu einer Prozess- Umgebung hin anordenbar beziehungsweise befestigbar ist. Eine dichtungsfreie Befestigung der Druckmesszelle mit der Einbauanordnung in dem Prozessanschluss beziehungsweise zu der Prozessumgebung hin kann beispielsweise durch ein Einschweißen der metallischen Einbauanordnung in eine entsprechende Ausneh- mung einer Wandung der Prozessumgebung erreicht werden. Durch ein Einschweißen und anschließendes Schleifen der Schweißnaht kann eine absolut plane, dichtungsfreie, diffusionsdichte und spaltfreie Anordnung geschaffen werden, die insbesondere bei einem Einsatz in Prozessen der chemischen, pharmazeutischen oder Lebensmittelindustrie vorteilhaft ist.
Durch eine hinreichend dünne Ausgestaltung des Bodens der Einbauanordnung werden Druckkräfte, die auf diesen von der Pro- zessumgebung her wirken, annähernd unverändert auf die boden- seitig in der Einbauanordnung angeordnete Messmembran der Druckmesszelle übertragen, sodass eine Druckmessung weiterhin problemlos möglich ist.
Eine Anordnung der Druckmesszelle in der Einbauanordnung kann besonders einfach durch eine wenigstens vorderseitig vorgesehene bevorzugt vollflächig ausgebildete Klebeschicht zwischen der Druckmesszelle und dem Boden der Einbauanordnung erreicht werden .
Durch eine Verklebung der Druckmesszelle mit der Einbauanordnung, insbesondere im Bereich zwischen der Messmembran und dem Boden wird eine spannungsfreie Lagerung der Druckmesszelle innerhalb der Einbauanordnung gewährleistet, sodass insbesondere thermisch induzierte Messfehler aufgrund von unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten zwischen der Druckmesszelle und der Einbauanordnung vermieden werden können. Bei einer hinreichend dünnen Ausgestaltung der Klebeschicht werden außerdem auf den Boden der Einbauanordnung wirkende Druckkräfte auch über die Klebeschicht hinweg ohne signifikante Verluste auf die Messmembran der Druckmesszelle übertragen, sodass weiterhin eine Druckmessung problemlos möglich ist.
Bevorzugt sind eine Dicke des Bodens und eine Dicke der Klebeschicht derart aufeinander und auf die verwendete Druckmesszelle abgestimmt, dass eine Druckmessung weiterhin problemlos möglich ist .
In einer weiteren Ausgestaltungsform besteht die Klebeschicht aus einem Silikonkleber. Durch die Verwendung eines hochelastischen Silikonklebers wird einerseits die spannungsf eie Lagerung der Druckmesszelle innerhalb der Einbauanordnung weiter unterstützt und" andererseits bei einer hinreichend dünnen Kle¬ beschicht eine verlustfreie Druckübertragung auf die Messmembran der Druckmesszelle gewährleistet.
Die Einbauanordnung kann vorzugsweise einstückig aus Metall, bevorzugt aus Titan, gefertigt sein.
Eine einstückige Ausbildung der Einbauanordnung weist den Vorteil auf, dass die Einbauanordnung selbst spannungsfrei, d. h. insbesondere ohne durch Fügestellen, beispielsweise Schweißnähte, eingebrachte Spannungen insbesondere im Bereich des Bodens ausgebildet sein kann. Eine Ausbildung aus Titan bringt außerdem den Vorteil, dass dieses einen zu einem keramischen Material, das bei Druckmesszellen häufig zum Einsatz kommt, nur gering abweichenden Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, sodass durch diese Materialkombination thermische Spannungen vermieden werden können.
Die Verwendung von Titan ist außerdem vorteilhaft, da Titan gegenüber einer Vielzahl technischer Prozesse inert ist und außerdem als Diffusionssperre wirkt.
Um eine zusätzliche mechanische Verbesserung der vorliegenden Anordnung zu erreichen, kann diese wenigstens vorderseitig, d. h. an der dem Prozess zugewandten Seite der Befestigungsanordnung, eine Hartstoffbeschichtung und/oder eine Antihaft- beschichtung aufweisen. Eine solche Hartstoffbeschichtung kann beispielsweise aus Siliziumcarbid oder DLC (Diamond-Like- Carbon) bestehen.
Wie bereits erwähnt, kann die Druckmesszelle vorzugsweise als Keramikdruckmesszelle ausgebildet sein, wobei dies insbesonde- re in Kombination mit einer Einbauanordnung aus Titan vorteilhaft ist.
Bei anderen Materialkombinationen sind die Einbauanordnung und die Druckmesszelle bevorzugt derart aufeinander abgestimmt, dass diese einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweisen, der sich um höchstens 15 % voneinander unterscheidet. Auf diese Weise werden thermisch induzierte Messfehler weitgehend ausgeschlossen .
Eine besonders einfache Einsetzbarkeit der Druckmesszelle mit Einbauanordnung kann erreicht werden, wenn die Einbauanordnung in einem Prozessanschluss befestigt, bevorzugt mit dem Pro- zessanschluss verschweißt, ist. Durch eine Befestigung der Einbauanordnung in einem Prozessanschluss wird eine Verwendung mit üblichen Prozessanbindungen, beispielsweise üblicherweise verwendeten Gewinden, möglich, wobei ein Aufbringen eines Gewindes auf die Befestigungsanordnung nicht notwendig ist, wodurch insbesondere Spannungen im Bereich des Bodens vermieden werden können. Insbesondere ist es außerdem nicht notwendig, Einbauanordnungen mit verschiedenen, an den jeweilig verwendeten Gerätetyp angepassten Außendurchmessern vorzuhalten, da eine Anpassung über den Prozessanschluss erfolgt.
Ein Anschweißen der Einbauanordnung in den Prozessanschluss kann vorderseitig durch ein anschließendes Verschleifen der Schweißnaht wiederum zu einer absolut spaltfreien und planen Anordnung führen, sodass ein Einsatz insbesondere im Bereich der chemischen, pharmazeutischen und Lebensmittelindustrie besonders geeignet ist.
In einer bevorzugten Ausgestaltungsform hat der Boden der Anordnung eine Dicke von 0,03 mm bis 0,1 mm, bevorzugt etwa 0,05 mm Die Klebeschicht weist außerdem eine Dicke von 0,005 mm bis 0,15 mm, bevorzugt etwa 0,02 mm auf.
Die Wandung der Einbauanordnung weist bevorzugt einen Durch- messer auf, der den Durchmesser der Druckmesszelle um höchstens 5 mm übersteigt, sodass der Boden der Einbauanordnung bei einer Druckeinwirkung eine hinreichende Durchbiegung erfährt, die auf die Messmembran der Druckmesszelle übertragen wird.
Durch eine Ausbildung des Bodens mit einer Dicke von etwa 0,05 mm und der Klebeschicht mit einer Dicke von etwa 0, 02 mm wird bei üblichen Druckmesszellen für einen Druckbereich von
25 mbar bis 60 bar und einem Durchmesser der Druckmesszelle von 28 mm eine hinreichend gute Druckübertragung über den Boden und die Klebeschicht auf die Messmembran der Druckmesszelle erreicht, sodass ein Einsatz der vorgeschlagenen Anordnung problemlos möglich ist .
Eine besonders gute Befestigung der Druckmesszelle in der Einbauanordnung wird erreicht, wenn außerdem zwischen der Druckmesszelle und der umlaufenden metallischen Wandung eine umlaufende Verklebung angeordnet ist. Eine umlaufende, insbesondere seitliche Verklebung der Druckmesszelle mit der Einbauanordnung hat den Vorteil, dass durch eine zusätzliche Fixierung im Randbereich eine stabilere Anordnung sowie eine bessere Übertragung der vorderseitig wirkenden Druckkräfte erzielbar ist.
Um thermische Verspannungen zwischen der Einbauanordnung und dem Prozessanschluss zu minimieren und außerdem, um eine inerte Gesamtanordnung zur Verfügung zu stellen, kann es sinnvoll sein, wenn der Prozessanschluss bevorzugt aus Titan gefertigt ist. Es wird auf diese Weise eine zum Prozess hin vollständig aus Titan bestehende und damit inerte und diffusionsdichte An- Ordnung geschaffen, die bei ansonsten kritischen Prozessen gut zum Einsatz kommen kann.
Um eine gegen äußere Krafteinwirkungen geschützte Lagerung der Druckmesszelle zu erreichen und gleichzeitig eine gut handhab¬ bare Einheit zu schaffen, kann vorzugsweise rückseitig der Einbauanordnung ein Aufnahmering mit einer umlaufenden Stufe angeordnet sein, der die Druckmesszelle rückseitig in Radial¬ richtung übergreift. Es wird auf diese Weise eine Anordnung erreicht, bei der die Druckmesszelle mechanisch stabil inner¬ halb der Kombination aus Einbauanordnung und Aufnahmering gelagert und gleichzeitig vollständig vor äußeren mechanischen Einflüssen geschützt ist. Wie zuvor mehrfach erwähnt, kann auch der Aufnahmering zur Vermeidung thermischer Spannungen zwischen den verwendeten Materialien bevorzugt aus Metall, besonders bevorzugt aus Titan, gefertigt sein.
Um eine nach außen hin als eine Einheit erscheinende Anordnung zu schaffen, ist der Aufnahmering bevorzugt mit der Einbauanordnung fest verbunden, was bevorzugt durch Verschweißen erfolgen kann.
Um eine spannungsfreie Lagerung der Druckmesszelle innerhalb der Kombination aus Einbauanordnung und Aufnahmering zu gewährleisten, ist es sinnvoll, wenn zwischen der umlaufenden Stufe und der Druckmesszelle eine rückseitige Verklebung angeordnet ist. Eine solche rückseitige Verklebung, die bevorzugt wie auch die Klebeschicht und die umlaufende Verklebung mit einem hochelastischen Silikonkleber ausgeführt ist, gewährleistet eine vollständig spannungsfreie Lagerung der Druck- messzelle. Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend anhand eines Aus¬ führungsbeispieles unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren eingehend erläutert. Es zeigen: Fig. 1 einen Längsschnitt durch ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Anordnung und
Fig. 2 eine Detailvergrößerung des Längsschnittes aus Figur 1. Figur 1 zeigt einen Längsschnitt durch ein Ausführungsbeispiel einer Druckmesszelle 1, die in einer Einbauanordnung 3 angeordnet ist. Die Druckmesszelle 1 ist als im Wesentlichen zy¬ lindrische Kapsel ausgebildet, die in dem in Figur 1 dargestellten Längsschnitt einen rechteckigen Querschnitt aufweist . An einem Messzellenkörper 13 ist vorderseitig über eine umlaufende Glasnaht 15 eine Messmembran 11 angeordnet, die über beispielsweise zwischen der Messmembran 11 und dem Grundkörper 13 durch gegenüberliegende Metallisierungen gebildete Kondensatoren eine Messung einer auf die Messmembran 11 einwirkenden Kraft, beispielsweise eines Druckes, ermöglicht.
Die Messzelle ist über eine vollflächig zwischen der Messmembran 11 und einem Boden 31 der Einbauanordnung 3 angeordnete Klebeschicht 5 in der Einbauanordnung 3 befestigt. Die Einbau- anordnung 3 weist außerdem eine umlaufende Wandung 33 auf, sodass die Einbauanordnung 3 insgesamt topfförmig ausgestaltet ist. Es ist in diesem Zusammenhang darauf hinzuweisen, dass der Boden 31 sowie die Klebeschicht 5 mit äußert geringer Dicke ausgebildet sind. Der Boden 31 weist beispielsweise eine Dicke von 0,05 mm und die Klebeschicht 5 eine Dicke von 0,02 mm auf. Die Klebeschicht 5 kann dabei beispielsweise aus einem hochelastischen Silikonkleber gebildet sein, sodass eine spannungsfreie Lagerung der Druckmesszelle 1 in der Einbauanord- nung 3 erreicht wird. Die Einbauanordnung 3 ist rückseitig mit einem Aufnahmering 35 verschweißt, der mit einer umlaufenden nach innen springenden Stufe 37 ausgebildet ist, die die
Druckmesszelle 1 rückseitig in Radialrichtung übergreift. Zwi- sehen der Wandung 33 der Einbauanordnung 3 und der Druckmesszelle 1 ist eine umlaufende Verklebung 7 angeordnet, die die Druckmesszelle 1 auch in Radialrichtung spannungsfrei in der Einbauanordnung 3 haltert . Die umlaufende Verklebung 7 besteht vorzugsweise aus dem gleichen hochviskosen Silikonkleber, aus dem auch die Klebeschicht 5 besteht. Es ist außerdem zwischen dem Aufnahmering 35, insbesondere zwischen dessen radial zur Druckmesszelle 1 verlaufenden Abschnitt und der umlaufenden Stufe 37, die die Druckmesszelle 1 rückseitig in Radialrich¬ tung übergreift, eine rückseitige Verklebung 8 vorgesehen. Durch diese rückseitige Verklebung 8 wird gewährleistet, dass die Druckmesszelle 1 auch in Axialrichtung druckfrei gelagert ist .
Der Aufnahmering 35 ist mit der Einbauanordnung 3 umlaufend verschweißt, sodass nach einem Verschleifen der Schweißnaht eine separat handhabbare Anordnung gebildet ist .
Vorderseitig ist die Einbauanordnung 3 im vorliegenden Ausführungsbeispiel umlaufend in einen Prozessanschluss 9, der bei- spielsweise ein Außengewinde aufweisen kann, eingeschweißt.
Der Prozessanschluss 9 ist korrespondierend zu der Kombination aus Einbauanordnung 3 und Aufnahmering 35 ausgestaltet und vorderseitig umlaufend mit der Einbauanordnung 3 verschweißt . Nach einem Schleifen einer Schweißnaht 6 ist damit eine vor- derseitig spaltfreie, absolut plane und diffusionsdichte An- kopplung an eine Prozessumgebung gewährleistet.
Figur 2 zeigt eine A.usschnittsvergrößerung aus Figur 1. Die in Figur 2 dargestellte Ausschnittsvergrößerung zeigt besonders gut die zwischen dem Boden 31 und der Messmembran 11 angeordnete Klebeschicht 5, die sich übergangslos in der seit- lieh umlaufenden Verklebung 7 zwischen der Wandung 33 und dem Messzellenkörper 13 der Druckmesszelle 1 fortsetzt. Dadurch, dass der Boden 31 und die Klebeschicht 5, wie im vorliegenden Ausführungsbeispiel gezeigt, in einer Dicke ausgeführt sind, die in etwa der Dicke der Messmembran 11 entspricht, ist eine hervorragende Übertragung von auf den Boden 31 vorderseitig einwirkenden Druckkräften über die Klebeschicht 5 auf die Messmembran 11 gewährleistet. Insbesondere wird dadurch, dass der Boden 31 einen Radius aufweist, der nur geringfügig größer als ein Außendurchmesser der Druckmesszelle 1 ist, gewährleis- tet, dass eine Durchbiegung des Bodens 31 insbesondere in einem Mittelbereich, d./h. in einem von der umlaufenden Wandung 33 beabstandeten Bereich, unmittelbar auf die Messmembran 11 übertragen wird. In der in Figur 2 dargestellten Ausschnittsvergrößerung ist außerdem die umlaufende Schweißnaht 6 zwischen der Einbauanordnung 3 und dem Prozessanschluss 9 besonders gut zu erkennen. Wie aus Figur 2 hervorgeht, ist die Schweißnaht 6 vorderseitig geschliffen, sodass eine spalt- und erhebungsfreie Stirnseite der Anordnung erreicht wird. Dies ist besonders günstig für Anwendungen im Lebensmittelbereich, da bei derartigen Anwendungen Ablagerungen in sich ergebenden Spalten vermieden werden müssen. In einer bevorzugten Ausgestaltungsvariante sind die Einbauanordnung 3, der Aufnahmering 35 und der Prozessanschluss 9 allesamt aus Titan gefertigt. Eine Verwendung von Titan als Werkstoff gewährleistet einerseits eine hohe Diffusionsdich- tigkeit der vorgeschlagenen Anordnung und andererseits eine hohe chemische Inaktivität (inert) der Anordnung gegenüber vielen Prozessen.
Bezugszeichenliste
I Druckmesszelle
3 Einbauanordnung
5 Klebeschicht
7 Verklebung
8 . rückseitige Verklebung
9 Prozes sabschluss
II Messmembran
13 Messzellenkörper 15 Glasnaht
31 Boden
33 Wandung
35 Aufnahmering
37 umlaufende Stufe

Claims

Patentansprüche
1. Druckmesszelle (1) mit einer Einbauanordnung (3) mit
einem metallischen Boden und einer umlaufenden metallischen Wandung (33) , wobei die Druckmesszelle (1) vorderzeitig eine Messmembran (11) aufweist, die bodenseitig in der Einbauanordnung (3) angeordnet ist.
2. Druckmesszelle (1) mit einer Einbauanordnung (3) gemäß Anspruch 1,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
wenigstens vorderseitig, bevorzugt vollflächig eine Klebeschicht (5) zwischen der Druckmesszelle (1) und dem Boden (31) angeordnet ist.
3. Druckmesszelle (1) mit einer Einbauanordnung (3) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
die Klebeschicht (5) aus einem Silikonkleber besteht.
4. Druckmesszelle (1) mit einer Einbauanordnung (3) gemäß nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
die Einbauanordnung (3) einstückig aus einem Metall, bevorzugt aus Titan, gefertigt ist.
5. Druckmes s zelle (1) mit einer Einbauanordnung (3) gemäß nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
die Einbauanordnung (3) wenigstens vorderseitig eine Hartstoffbeschichtung und / oder eine Antihaftbeschich- tung aufweist . Druckmesszelle (1) mit einer Einbauanordnung (3) gemäß Anspruch 5,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
die Hartstoffbeschichtung aus Siliziumkarbid oder
Diamond-Like-Carbon besteht.
Druckmesszelle (1) mit einer Einbauanordnung (3) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
die Druckmesszelle (1) als Keramikdruckmesszelle ausgebildet ist.
Druckmesszelle (1) mit einer Einbauanordnung (3) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
die Einbauanordnung (3) in einem Prozessanschluss (9) befestigt, bevorzugt mit einem Prozessanschluss (9) verschweißt ist.
Druckmesszelle (1) mit einer Einbauanordnung (3) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
der Boden (31) eine Dicke von 0,03 mm bis 0,1 mm, bevorzugt etwa 0,05 mm und / oder die Klebeschicht (5) eine Dicke von 0,005 mm bis 0,15 mm, bevorzugt etwa 0,02 mm auf eist .
Druckmesszelle (1) mit einer Einbauanordnung (3) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
zwischen der Wandung (33) und der Druckmesszelle (1) eine umlaufende Verklebung (7) angeordnet ist. Druckmesszelle (1) mit einer Einbauanordnung (3) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche 8-10,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
der Prozessanschluss (9) bevorzugt aus Titan gefertigt ist .
Druckmesszelle (1) mit einer Einbauanordnung (3) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
rückseitig der Einbauanordnung (3) ein Aufnahmering (35) mit einer umlaufenden Stufe (37) angeordnet ist, der die Druckmesszelle (1) rückseitig in Radialrichtung übergreift .
Druckmesszelle (1) mit einer Einbauanordnung (3) gemäß Anspruch 13,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass
der Aufnahmering (35) aus Metall, bevorzugt aus Titan, gefertigt ist.
Druckmesszelle (1) mit einer Einbauanordnung (3) gemäß einem der Ansprüche 13 oder 14,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass der Aufnahmering (35) und die Einbauanordnung (3) fest miteinander verbunden, bevorzugt verschweißt, sind.
Druckmesszelle 81) mit einer Einbauanordnung (3) gemäß einem der Ansprüche 12-14,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass zwischen der umlaufenden Stufe (37) und der Druckmesszel le (1) eine rückseitige Verklebung (8) angeordnet ist.
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