WO2014063888A1 - Method for operating an air flow meter - Google Patents

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WO2014063888A1
WO2014063888A1 PCT/EP2013/069845 EP2013069845W WO2014063888A1 WO 2014063888 A1 WO2014063888 A1 WO 2014063888A1 EP 2013069845 W EP2013069845 W EP 2013069845W WO 2014063888 A1 WO2014063888 A1 WO 2014063888A1
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air mass
sensor element
mass flow
internal combustion
combustion engine
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PCT/EP2013/069845
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Inventor
Stephan Schürer
Stephen Setescak
Thorsten Knittel
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Continental Automotive Gmbh
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    • F02D41/24Electrical control of supply of combustible mixture or its constituents characterised by the use of digital means
    • F02D41/2406Electrical control of supply of combustible mixture or its constituents characterised by the use of digital means using essentially read only memories
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    • F02D41/2429Methods of calibrating or learning
    • F02D41/2451Methods of calibrating or learning characterised by what is learned or calibrated
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    • G01F25/15Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters specially adapted for gas meters

Definitions

  • the invention relates to a method for operating an air mass meter for determining an air mass supplied to an internal combustion engine, wherein the air mass meter has a trained in micro-electro-mechanical design sensor element ⁇ .
  • Air mass meters are used, for example, in motor vehicles for determining the intake of an internal combustion engine air mass.
  • On the basis of the most reliable possible information on an intake air mass combustion by an electronic control of the internal combustion engine can be then optimized ⁇ a way that an exactly to the air mass coordinated quantity of fuel to the respective combustion chambers supplied ⁇ leads is. As a result, thereby a better energy ⁇ utilization is achieved with reduced pollutant emissions.
  • an air mass meter which is inserted into an intake passage for determining an air mass, wherein a defined proportion of the total flow passes through the air mass sensor.
  • this is designed as a plug-in duct air mass meter.
  • the air mass meter environmentally summarizes a valve disposed in a measuring channel sensor element, which is arranged in a housing electronics for evaluating and / or acquisition of measured values of the sensor element, and an off ⁇ flow channel beyond the sensor element.
  • the said channels or air guide paths U-, S- or C-shaped so that a total of compact, designed as a plug-in device is formed.
  • sensor elements formed as microelectromechanical systems have a number of advantages which are not to be dispensed with, and it is therefore an object of the invention to eliminate or at least keep within narrow limits the falsification of the measurement results due to the contamination of the sensor element.
  • A determination of a first measured value of the air mass meter with the sensor element at a zero mass flow
  • E comparing the first measured value with the second measured value
  • F Correction of the offset of the characteristic curve of the sensor element when determining a deviation between the first measured value and the second measured value.
  • a reliable reference value is obtained with which it is possible to detect contamination-induced signal drift.
  • This measured value is stored in an electronic memory.
  • the electronic memory may be a component of the air mass ⁇ knife itself or be formed in an external control device.
  • a contamination-related signal drift of the sensor element can be detected.
  • a correction of the offset of the characteristic curve of the sensor element takes place. In this way, a pollution-induced offset drift of trained in microelectromechanical sensor design can constantly correct element, resulting in highly accurate measurement resulting ⁇ nissen MAF over its entire lifetime.
  • the zero mass flow is determined when the internal combustion engine for
  • the zero mass flow is determined when the internal combustion engine is cooled. This ensures that chimney effects that can result even when switched off the engine when hot combustion ⁇ combustion engines in the intake air flows to be excluded.
  • the stoppage of the internal combustion engine is detected by the air mass meter itself. This can be done by an electronic circuit which is arranged in the air mass meter and recognizes independently based on parameters, whether the internal combustion engine has come to a standstill.
  • Such a parameter may be the pulsation of the air mass flow.
  • the air mass meter detects the stoppage of the internal combustion engine when there is no pulsation in the measuring signal of the air mass flow sensor. Pulsations are cyclic He ⁇ increases and reductions in the air mass flow in the intake of the engine. The reductions may go as far as reversing the air mass flow at which the air mass moves away from the engine. Pulsations of the air mass occur particularly pronounced in internal combustion engines with four cylinders.
  • the trained in microelectromechanical design sensor element can pulsations particularly well he ⁇ know because it can react very quickly to changes in the air mass flow.
  • Figure 2 is a as a microelectromechanical system (MEMS), from ⁇ formed sensor element
  • Figure 3 is a as a microelectromechanical system (MEMS) from ⁇ formed sensor element which is arranged in an auxiliary tube of the air mass meter,
  • MEMS microelectromechanical system
  • Figure 4 shows a situation in which the air mass flow through the
  • Inlet port flows in the auxiliary tube of the mass air flow sensor, Figure 5, the as microelectromechanical system (MEMS) from ⁇ formed sensor element in an air-mass meter, which is integrated as an insertion finger in an intake pipe, Figure 6, the sensor element with the first temperature sensor element and the second temperature sensor element,
  • MEMS microelectromechanical system
  • FIG. 1 shows a mass flow sensor which is designed here as an air mass meter 2.
  • the air mass meter 2 is shown in this example as Einsteckfinger which is inserted into an intake pipe 1 and fixedly connected to the intake pipe 1.
  • the intake pipe 1 carries a mass flow, which here is an air mass flow 10, towards the cylinders of an internal combustion engine.
  • a mass flow which here is an air mass flow 10
  • the air mass meter 2 in Figure 1 shows a first Temperature sensor element 7 and a second temperature sensor ⁇ element 8.
  • the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8 are arranged at different locations on ⁇ .
  • the temperature sensor elements 7, 8 are formed from resistors or thermopiles which assume different resistance values in accordance with the temperature prevailing at the temperature sensor element.
  • a heating element 12 is formed between the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8.
  • the air mass flow 10 which enters through the inlet opening 4 in the housing 3 of the air ⁇ mass meter 2 via first flows the first Tem ⁇ peratursensorelement 7, and then the heater 12, after which the air mass flow 10 reaches the second temperature sensor element 8 and along the auxiliary pipe 5 to the outlet opening 6 of the air mass meter 2 is passed.
  • the air mass flow 10 reaches the first temperature sensor element 7 at a certain temperature.
  • the air mass flow 10 passes over the heating element 12, wherein the air mass flow 10 is heated more or less depending on the passing mass.
  • the air mass flow 10 reaches the second temperature sensor element 8
  • the now present temperature of the air mass flow 10 with the second temperature sensor element 8 is determined.
  • the air mass meter 2 itself may contain an evaluation unit 13, which evaluates the measurement signals of the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8. The information obtained about the air mass flow 10 is forwarded to a not shown motor control wei ⁇ .
  • FIG. 2 shows a sensor element 15 for an air mass meter 1.
  • the sensor element 15 is designed as a microelectromechanical system (MEMS) on a single silicon chip.
  • MEMS microelectromechanical system
  • the sensor element 15 operates on the differential temperature method, whereby the mass of the passing air quantity 10 is determined.
  • a first temperature sensor element 7 and a second temperature sensor element 8 are formed on a thin membrane 17.
  • the first and the second temperature sensor element 7, 8 are located at different locations on the surface 16 of the membrane 17.
  • a heating element 12 is arranged between the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8, a heating element 12 is arranged.
  • a transmitter 13 is integrated, which evaluate the measurement signals of the temperature sensor elements 7, 8 immediately and can convert a signal that is proportional to the air mass flow 10.
  • the transmitter 13 may just as well be integrated in a downstream electronic device. The information about the air mass flow 10 are then forwarded via connection pads 19 and connecting wires 18 to a subsequent electronic engine control, not shown here.
  • FIG. 3 shows a sensor element 15 designed as a microelectromechanical system (MEMS) for an air mass meter 2, which is formed on a single substrate, the substrate being arranged in an auxiliary tube 5 of the air mass meter 2.
  • MEMS microelectromechanical system
  • FIG. 3 shows a sensor element 15 designed as a microelectromechanical system (MEMS) for an air mass meter 2, which is formed on a single substrate, the substrate being arranged in an auxiliary tube 5 of the air mass meter 2.
  • MEMS microelectromechanical system
  • FIG. 4 shows a situation in which an air mass flow 10 flows through the inlet opening 4 into the auxiliary pipe 5 of the air mass meter 2.
  • the temperature distribution 20 around the heating element 12 is now clearly displaced in the direction of the second temperature sensor element 8.
  • the second temperature ⁇ sensor element 8 measures a significantly higher temperature than the first temperature sensor element 7.
  • the sum of the temperatures also reacts to the mass flow 10.
  • the sum of the temperatures also reacts to the thermal properties of the air mass, such as the heat capacity and / or the thermal conductivity of the passing air mass flow 10.
  • Summentemperatursignal can on the changed thermal Conductivity and / or the changed heat capacity of the passing air mass are closed.
  • FIG. 5 shows the sensor element 15 of the air mass meter 2, which is designed as a microelectromechanical system (MEMS), in an air mass meter 2, which is integrated as an insertion finger in an intake pipe 1.
  • MEMS microelectromechanical system
  • the air mass flow 10 reaches the inlet opening 4 and enters the auxiliary tube 5.
  • the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8 can be seen.
  • the heating element 12 is arranged.
  • the air mass flow 10 initially reaches the first temperature sensor element 7, then flows over the heating element 12, in order then to reach the second temperature sensor element 8.
  • the air mass flow 10 also contains contaminants 9.
  • contaminants 9 for example, water droplets 6, oil droplets 11 and / or
  • Figure 6 shows the sensor element 15 with the first temperature ⁇ tursensorelement 7 and the second temperature sensor element 8 and the disposed between the temperature sensing elements 7 and 8 the heating element 12.
  • the direction of the air mass flow 10 is shown. This is located in the Flow direction of the air mass flow 10, the first Tempe ⁇ temperature sensor element 7 in front of the heating element 12 and the second Tem ⁇ temperature sensor element 8 behind the heating element 12.
  • Both the first temperature sensor element 7 and the second temperature ture sensorelement 8 set in this example as electrical series circuits of a measuring resistor 22 and at least two comparison resistors 21 together. It can be seen that the measuring resistors 22 are arranged in the inner region of the thin membrane, and the comparison resistors 21 are arranged in the edge region of the membrane 17.
  • FIG. 6 shows that contaminants 9, and in this case primarily oil droplets 11, are transported to the mass flow 10 to the sensor element 15.
  • the oil droplets 11 deposit on the sensor element 15.
  • the deposition of the oil droplets 11 on the sensor element 15 is particularly strong in the region of the resistors, which are downstream of the heating element 12 in the flow direction of the air mass flow 10.
  • This asymmetrical deposition of oil droplets 11 on the sensor element 15 leads to a signal drift, which ultimately leads to the falsification of the measured values for the air mass flow 10 detected by the sensor element 15.
  • the deposition of the contaminants preferably takes place in the edge region of the membrane 17.
  • the asymmetrical deposition of the oil droplets 11 has physical reasons which originate in particular in the higher temperature in the region of the second sensor element 8 and in the temperature gradient in the edge region of the membrane 17.
  • FIG. 7 shows a flow diagram which represents the invention
  • a method for operating an air mass meter is closer.
  • This method according to the invention can be used particularly successfully with air mass meters which have sensor elements that have been manufactured as microelectromechanical systems.
  • the stored in the electronic memory first measured value is maintained at least as long in the electronic memory until after operation of the internal combustion engine and the determination of the added of the engine air mass flow with the mass air flow meter, a determination of a second measured value of the air mass meter, which measured also at a Nullmas ⁇ senstrom is, however, after a certain period of operation of the sensor element and the associated possible contamination of the sensor element by z. B. oil droplets.
  • the internal combustion engine can be parked, for example.
  • the first measured value for the zero mass flow is then compared with the second measured value for the zero mass flow in method step E, and it is determined in method step F whether there is a deviation between the first measured value and the second measured value.
  • the method can be restarted at step A, wherein the determination of a further first measured value of the air mass meter with the sensor element takes place at a zero mass flow.
  • a correction of the offset of the characteristic curve of the sensor element ⁇ does not have to be completed in order
  • the result is not an excessive incorrect correction of the offset of the characteristic curve.

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Abstract

The invention relates to a method for operating an air flow meter for identifying an air mass flow supplied to an internal combustion engine, wherein the air flow meter has a sensor element having a micro-electromechanical design. In order to resolve, or at least greatly restrict falsification of the measurement results due to contamination of the sensor element, the following method steps are carried out according to the invention: A: Determining a first measurement value of the air flow meter by means of the sensor element in the case of a zero mass flow, B: Storing the first measurement value of the air flow meter in an electronic memory, C: Operating of the internal combustion engine and identifying the air mass flow supplied to the internal combustion engine by means of the air flow meter, D: Determining a second measurement value of the air flow meter after operating the internal combustion engine in the case of a zero mass flow, E: Comparing the first measurement value to the second measurement value, F: Correcting the offset of the characteristic curve of the sensor element upon determining a deviation between the first measurement value and the second measurement value.

Description

Beschreibung description
Verfahren zum Betreiben eines Luftmassenmessers Method for operating an air mass meter
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines Luftmassenmessers zur Ermittlung eines einer Brennkraftmaschine zugeführten Luftmasse, wobei der Luftmassenmesser ein in mikro- elektromechanischer Bauweise ausgebildetes Sensorelement auf¬ weist. The invention relates to a method for operating an air mass meter for determining an air mass supplied to an internal combustion engine, wherein the air mass meter has a trained in micro-electro-mechanical design sensor element ¬ .
Luftmassenmesser werden beispielsweise in Kraftfahrzeugen zur Ermittlung der von einer Brennkraftmaschine angesaugten Luftmasse verwendet. Auf der Basis einer möglichst zuverlässigen Information über eine angesaugte Luftmasse kann eine Verbrennung durch eine elektronische Steuerung der Brennkraftmaschine dahin¬ gehend optimiert werden, dass eine genau auf die Luftmasse abgestimmte KraftStoffmenge den jeweiligen Brennräumen zuge¬ führt wird. Im Ergebnis wird dadurch eine bessere Energie¬ ausnutzung bei verringertem Schadstoffausstoß erzielt. Air mass meters are used, for example, in motor vehicles for determining the intake of an internal combustion engine air mass. On the basis of the most reliable possible information on an intake air mass combustion by an electronic control of the internal combustion engine can be then optimized ¬ a way that an exactly to the air mass coordinated quantity of fuel to the respective combustion chambers supplied ¬ leads is. As a result, thereby a better energy ¬ utilization is achieved with reduced pollutant emissions.
Aus der DE 44 07 209 AI ist ein Luftmassenmesser bekannt, der in einen Ansaugkanal zur Bestimmung einer Luftmasse eingesteckt wird, wobei ein definierter Anteil der GesamtStrömung den Luftmassensensor durchströmt. Hierzu ist dieser als Einsteck- kanal-Luftmassenmesser ausgebildet. Der Luftmassenmesser um- fasst ein in einem Messkanal angeordnetes Sensorelement, eine in einem Gehäuse angeordnete Elektronik zur Auswertung und/oder Erfassung der Messwerte des Sensorelementes, sowie einen Aus¬ lasskanal jenseits des Sensorelements. Für eine platzsparende Anordnung werden die genannten Kanäle bzw. Luftführungswege U-, S- oder C-förmig ausgebildet, so dass eine insgesamt kompakte, als Einsteckelement ausgebildete, Vorrichtung gebildet wird. From DE 44 07 209 Al an air mass meter is known, which is inserted into an intake passage for determining an air mass, wherein a defined proportion of the total flow passes through the air mass sensor. For this purpose, this is designed as a plug-in duct air mass meter. The air mass meter environmentally summarizes a valve disposed in a measuring channel sensor element, which is arranged in a housing electronics for evaluating and / or acquisition of measured values of the sensor element, and an off ¬ flow channel beyond the sensor element. For a space-saving arrangement, the said channels or air guide paths U-, S- or C-shaped, so that a total of compact, designed as a plug-in device is formed.
Ein gemäß der Lehre der WO 03/089884 AI ausgebildeter Luftmassenmesser, der als Heißfilmanemometer ausgebildet ist, hat sich prinzipiell bewährt. Bei der Entwicklung moderner Luftmassenmesser, die auf der Grundlage von Sensorelementen arbeiten, die als mikroelek- tromechanische Systeme (MEMS) ausgebildet sind, hat sich herausgestellt, dass die Messergebnisse der Sensorelemente besonders von Verschmutzungen nachteilig beeinflusst werden. Durch Verschmutzungen, die zum Beispiel von Öltröpfchen im Luftmassenstrom hervorgerufen werden, entsteht im Sensorelement über die Zeit eine Signaldrift, die zu falschen Messwerten für den Luftmassenstrom führen kann. Als mikroelektromechanische Systeme ausgebildete Sensorelemente besitzen jedoch eine Vielzahl von Vorteilen, auf die nicht verzichtet werden soll, und daher ist es eine Aufgabe der Erfindung, die Verfälschung der Messergebnisse durch die Verschmutzung des Sensorelementes zu beseitigen oder zumindest in engen Grenzen zu halten. A trained according to the teaching of WO 03/089884 AI air mass meter, which is designed as a hot-film anemometer, has proven itself in principle. In the development of modern air mass sensors, which work on the basis of sensor elements, which are designed as microelectromechanical systems (MEMS), it has been found that the measurement results of the sensor elements are particularly adversely affected by contamination. As a result of contamination caused, for example, by oil droplets in the air mass flow, a signal drift arises in the sensor element over time which can lead to incorrect measured values for the air mass flow. However, sensor elements formed as microelectromechanical systems have a number of advantages which are not to be dispensed with, and it is therefore an object of the invention to eliminate or at least keep within narrow limits the falsification of the measurement results due to the contamination of the sensor element.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des unabhängigen Anspruchs gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche. This object is solved by the features of the independent claim. Advantageous embodiments are the subject of the dependent claims.
Erfindungsgemäß werden zur Lösung der Aufgabe die folgenden Verfahrensschritte ausgeführt: According to the invention, the following method steps are carried out to solve the problem:
A: Ermittlung eines ersten Messwertes des Luftmassenmessers mit dem Sensorelement bei einem Nullmassenstrom, A: determination of a first measured value of the air mass meter with the sensor element at a zero mass flow,
B: Ablegen des ersten Messwertes des Luftmassenmessers in einem elektronischen Speicher, B: storing the first measured value of the air mass meter in an electronic memory,
C: Betreiben der Brennkraftmaschine und Ermittlung des der Brennkraftmaschine zugeführten Luftmassenstromes mit dem Luftmassenmesser , C: operating the internal combustion engine and determining the air mass flow supplied to the internal combustion engine with the air mass meter,
D: Ermittlung eines zweiten Messwertes des Luftmassenmessers nach dem Betreiben der Brennkraftmaschine bei einem Nullmassenstrom, D: determination of a second measured value of the air mass meter after the operation of the internal combustion engine at a zero mass flow,
E: Vergleichen des ersten Messwertes mit dem zweiten Messwert, F: Korrektur des Offsets der Kennlinie des Sensorelementes bei einer Feststellung einer Abweichung zwischen dem ersten Messwert und dem zweiten Messwert. E: comparing the first measured value with the second measured value, F: Correction of the offset of the characteristic curve of the sensor element when determining a deviation between the first measured value and the second measured value.
Durch die Ermittlung eines ersten Messwertes des Luftmassenmessers mit dem Sensorelement bei einem Nullmassenstrom erhält man eine zuverlässige Bezugsgröße, mit der die Erkennung einer verschmutzungsbedingten Signaldrift möglich ist. Dieser Mess- wert wird in einem elektronischen Speicher abgelegt. Der elektronische Speicher kann ein Bestandteil des Luftmassen¬ messers selber sein oder in einem externen Steuergerät ausgebildet sein. Beim Betreiben der Brennkraftmaschine und der Ermittlung des der Brennkraftmaschine zugeführten Luftmassen- Stromes mit dem Luftmassenmesser kann es zu Verschmutzungen auf dem Sensorelement kommen, die zu einer Signaldrift führen. Mit der Signaldrift verfälschen sich die Messwerte, die vom Luft¬ massenmessers für den der Brennkraftmaschine zugeführten Luftmassenstrom ermittelt werden. Um dies zu erkennen, erfolgt die Ermittlung eines zweiten Messwertes des Luftmassenmessers mit dem in dem Betreiben der Brennkraftmaschine eventuell verschmutzten Sensorelement bei einem Nullmassenstrom. Durch den Vergleich des ersten Messwertes mit dem zweiten Messwert kann eine verschmutzungsbedingte Signaldrift des Sensorelementes erkannt werden. Bei der Feststellung einer Abweichung zwischen dem ersten Messwert und dem zweiten Messwert erfolgt eine Korrektur des Offsets der Kennlinie des Sensorelementes. Auf diese Art lässt sich eine verschmutzungsbedingte Offsetdrift des in mikroelektromechanischer Bauweise ausgebildetes Sensor- elementes ständig korrigieren, was zu sehr genauen Messergeb¬ nissen des Luftmassenmessers über seine gesamte Lebenszeit führt . By determining a first measured value of the air mass meter with the sensor element at a zero mass flow, a reliable reference value is obtained with which it is possible to detect contamination-induced signal drift. This measured value is stored in an electronic memory. The electronic memory may be a component of the air mass ¬ knife itself or be formed in an external control device. When the internal combustion engine is operated and the air mass flow supplied to the internal combustion engine with the air mass meter is determined, contamination can occur on the sensor element, which leads to signal drift. With the signal drift distort the measured values, which are determined by the air ¬ mass meter for the internal combustion engine supplied air mass flow. To detect this, the determination of a second measured value of the air mass meter with the possibly polluted in the operation of the internal combustion engine sensor element at a zero mass flow. By comparing the first measured value with the second measured value, a contamination-related signal drift of the sensor element can be detected. When determining a deviation between the first measured value and the second measured value, a correction of the offset of the characteristic curve of the sensor element takes place. In this way, a pollution-induced offset drift of trained in microelectromechanical sensor design can constantly correct element, resulting in highly accurate measurement resulting ¬ nissen MAF over its entire lifetime.
Bei einer Ausgestaltung des erfinderischen Verfahrens wird der Nullmassenstrom ermittelt, wenn die Brennkraftmaschine zumIn one embodiment of the inventive method, the zero mass flow is determined when the internal combustion engine for
Stillstand gekommen ist. In diese Situation wird keine Luftmasse zu der Brennkraftmaschine gefördert, womit gut reproduzierbare Verhältnisse bestehen, um den Nullmassenstrom zu messen. Standstill has come. In this situation, no air mass promoted to the internal combustion engine, which are well reproducible conditions to measure the zero mass flow.
Bei einer Weiterbildung der Erfindung wird der Nullmassenstrom ermittelt, wenn die Brennkraftmaschine ausgekühlt ist. Damit wird sichergestellt, dass Kamineffekte, die bei heißen Brenn¬ kraftmaschinen im Ansaugtrakt zu Luftströmungen auch bei ausgeschalteter Brennkraftmaschine führen können, ausgeschlossen werden . In a further development of the invention, the zero mass flow is determined when the internal combustion engine is cooled. This ensures that chimney effects that can result even when switched off the engine when hot combustion ¬ combustion engines in the intake air flows to be excluded.
Bei einer Ausgestaltung der Erfindung wird der Stillstand der Brennkraftmaschine vom Luftmassenmesser selber erkannt. Dies kann durch einen eine elektronische Schaltung erfolgen, die im Luftmassenmesser angeordnet ist und die anhand von Parametern Selbständig erkennt, ob die Brennkraftmaschine zum Stillstand gekommen ist. In one embodiment of the invention, the stoppage of the internal combustion engine is detected by the air mass meter itself. This can be done by an electronic circuit which is arranged in the air mass meter and recognizes independently based on parameters, whether the internal combustion engine has come to a standstill.
Ein solcher Parameter kann die Pulsation des Luftmassenstroms sein. Der Luftmassenmesser erkennt den Stillstand der Brennkraftmaschine, wenn keine Pulsation im Messsignal des Luft- massenstromsensors vorliegt. Pulsationen sind zyklische Er¬ höhungen und Verringerungen des Luftmassenstromes im Ansaugkanal der Brennkraftmaschine. Die Verringerungen können bis hin zur Umkehr des Luftmassenstromes gehen, bei der sich die Luftmasse von der Brennkraftmaschine weg bewegt. Pulsationen der Luftmasse treten besonders ausgeprägt bei Brennkraftmaschinen mit vier Zylindern auf. Das in mikroelektromechanischer Bauweise ausgebildetes Sensorelement kann Pulsationen besonders gut er¬ kennen, weil es sehr schnell auf Änderungen im Luftmassenstrom reagieren kann. Such a parameter may be the pulsation of the air mass flow. The air mass meter detects the stoppage of the internal combustion engine when there is no pulsation in the measuring signal of the air mass flow sensor. Pulsations are cyclic He ¬ increases and reductions in the air mass flow in the intake of the engine. The reductions may go as far as reversing the air mass flow at which the air mass moves away from the engine. Pulsations of the air mass occur particularly pronounced in internal combustion engines with four cylinders. The trained in microelectromechanical design sensor element can pulsations particularly well he ¬ know because it can react very quickly to changes in the air mass flow.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung werden nachfolgend unter Beschreibung eines Ausführungsbeispiels mit Bezugnahme auf die Abbildungen der Zeichnung angegeben. Über die verschiedenen Abbildungen hinweg werden nachfolgend gleiche Begriffe und Bezugszeichen für gleiche Bauelemente verwendet werden. Dabei zeigt : Figur 1 einen Luftmassenmesser, Further features and advantages of the invention are given below with description of an embodiment with reference to the figures of the drawing. Throughout the various illustrations, the same terms and reference symbols will be used below for identical components. Showing: 1 shows an air mass meter,
Figur 2 ein als mikroelektromechanisches System (MEMS) aus¬ gebildetes Sensorelement, Figure 2 is a as a microelectromechanical system (MEMS), from ¬ formed sensor element
Figur 3 ein als mikroelektromechanisches System (MEMS) aus¬ gebildetes Sensorelement, das in einem Hilfsrohr des Luftmassenmessers angeordnet ist, Figure 3 is a as a microelectromechanical system (MEMS) from ¬ formed sensor element which is arranged in an auxiliary tube of the air mass meter,
Figur 4 eine Situation, bei der der Luftmassenstrom durch die Figure 4 shows a situation in which the air mass flow through the
Einlassöffnung in das Hilfsrohr des Luftmassenmessers einströmt , Figur 5 das als mikroelektromechanisches System (MEMS) aus¬ gebildete Sensorelement in einem Luftmassenmesser, der als Einsteckfinger in einem Ansaugrohr integriert ist , Figur 6 das Sensorelement mit dem ersten Temperatursensorelement und dem zweiten Temperatursensorelement, Inlet port flows in the auxiliary tube of the mass air flow sensor, Figure 5, the as microelectromechanical system (MEMS) from ¬ formed sensor element in an air-mass meter, which is integrated as an insertion finger in an intake pipe, Figure 6, the sensor element with the first temperature sensor element and the second temperature sensor element,
Figur 7 ein Ablaufdiagramm. Figur 1 zeigt einen Massenstromsensor der hier als Luftmassenmesser 2 ausgebildet ist. Der Luftmassenmesser 2 ist in diesem Beispiel als Einsteckfinger gezeigt, der in ein Ansaugrohr 1 eingesteckt wird und mit dem Ansaugrohr 1 fest verbunden ist . Das Ansaugrohr 1 führt einen Massenstrom, der hier ein Luftmas- senstrom 10 ist, hin zu den Zylindern einer Brennkraftmaschine. Zur effizienten Verbrennung des Treibstoffes in den Zylindern einer Brennkraftmaschine ist es notwendig, eine genaue In¬ formation über die zur Verfügung stehende Luftmasse zu erhalten. Anhand der zur Verfügung stehenden Luftmasse kann auf den verfügbaren Sauerstoff geschlossen werden, der zur Verbrennung des in die Zylinder eingespritzten Kraftstoffes notwendig ist. Darüber hinaus zeigt der Luftmassenmesser 2 in Figur 1 ein erstes Temperatursensorelement 7 und ein zweites Temperatursensor¬ element 8. Das erste Temperatursensorelement 7 und das zweite Temperatursensorelement 8 sind an unterschiedlichen Orten an¬ geordnet. Die Temperatursensorelemente 7, 8 werden in der Regel aus Widerständen oder Thermopiles gebildet, die entsprechend der am Temperatursensorelement herrschenden Temperatur unterschiedliche Widerstandswerte annehmen. Zwischen dem ersten Temperatursensorelement 7 und dem zweiten Temperatursensorelement 8 ist ein Heizelement 12 ausgebildet. Der Luftmassenstrom 10, der durch die Einlassöffnung 4 in das Gehäuse 3 des Luft¬ massenmessers 2 eintritt, überströmt zunächst das erste Tem¬ peratursensorelement 7 und dann das Heizelement 12, wonach der Luftmassenstrom 10 das zweite Temperatursensorelement 8 erreicht und entlang des Hilfsrohres 5 zur Auslassöffnung 6 des Luft- massenmessers 2 geleitet wird. Der Luftmassenstrom 10 erreicht das erste Temperatursensorelement 7 mit einer bestimmten Temperatur. Diese Temperatur wird vom ersten Temperatursensorelement 7 erfasst. Danach überstreicht der Luftmassenstrom 10 das Heizelement 12, wobei der Luftmassenstrom 10 je nach vorbeiströmender Masse mehr oder weniger aufgeheizt wird. Wenn der aufgeheizte Luftmassenstrom 10 das zweite Temperatursensorelement 8 erreicht, wird die nun vorliegende Temperatur des Luftmassenstroms 10 mit dem zweiten Temperatursensorelement 8 bestimmt. Aus der Differenz der vom ersten Temperatursensor- element 7 und vom zweiten Temperatursensorelement 8 gemessenen Temperaturen kann die vorbeigeströmte Luftmasse bestimmt werden. Dazu kann der Luftmassenmesser 2 selber eine Auswerteelektronik 13 enthalten, die die Messsignale des ersten Temperatursensorelementes 7 und des zweiten Temperatursensorelementes 8 auswertet. Die so gewonnene Information über den Luftmassenstrom 10 wird an eine hier nicht dargestellte Motorsteuerung wei¬ tergeleitet . Figure 7 is a flowchart. FIG. 1 shows a mass flow sensor which is designed here as an air mass meter 2. The air mass meter 2 is shown in this example as Einsteckfinger which is inserted into an intake pipe 1 and fixedly connected to the intake pipe 1. The intake pipe 1 carries a mass flow, which here is an air mass flow 10, towards the cylinders of an internal combustion engine. For the efficient combustion of the fuel into the cylinders of an internal combustion engine, it is necessary to get an accurate In ¬ formation about the available air mass. On the basis of the available air mass can be closed on the available oxygen, which is necessary for the combustion of the injected fuel into the cylinder. In addition, the air mass meter 2 in Figure 1 shows a first Temperature sensor element 7 and a second temperature sensor ¬ element 8. The first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8 are arranged at different locations on ¬ . As a rule, the temperature sensor elements 7, 8 are formed from resistors or thermopiles which assume different resistance values in accordance with the temperature prevailing at the temperature sensor element. Between the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8, a heating element 12 is formed. The air mass flow 10 which enters through the inlet opening 4 in the housing 3 of the air ¬ mass meter 2 via first flows the first Tem ¬ peratursensorelement 7, and then the heater 12, after which the air mass flow 10 reaches the second temperature sensor element 8 and along the auxiliary pipe 5 to the outlet opening 6 of the air mass meter 2 is passed. The air mass flow 10 reaches the first temperature sensor element 7 at a certain temperature. This temperature is detected by the first temperature sensor element 7. Thereafter, the air mass flow 10 passes over the heating element 12, wherein the air mass flow 10 is heated more or less depending on the passing mass. When the heated air mass flow 10 reaches the second temperature sensor element 8, the now present temperature of the air mass flow 10 with the second temperature sensor element 8 is determined. From the difference between the temperature measured by the first temperature sensor element 7 and by the second temperature sensor element 8, the air mass flowed past can be determined. For this purpose, the air mass meter 2 itself may contain an evaluation unit 13, which evaluates the measurement signals of the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8. The information obtained about the air mass flow 10 is forwarded to a not shown motor control wei ¬.
Es sei darauf hingewiesen, dass die Erfindung beispielhaft anhand eines Luftmassenmessers beschrieben wird, was jedoch keineIt should be noted that the invention is described by way of example with reference to an air mass meter, but this is not
Einschränkung des Verfahrens zum Betreiben eines Massenstrom- sensors auf die Messung von Luftmassenströmen bedeutet. Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren können auch andere Massenströme vorteilhaft erfasst und vermessen werden. Limitation of the method for operating a mass flow sensor on the measurement of air mass flows means. With the According to the invention, other mass flows can be advantageously detected and measured.
Figur 2 zeigt ein Sensorelement 15 für einen Luftmassenmesser 1. Das Sensorelement 15 ist als mikroelektromechanisches System (MEMS) auf einem einzigen Silizium-Chip ausgebildet. Das Sensorelement 15 arbeitet nach dem Differenztemperaturverfahren, womit die Masse der vorbeiströmenden Luftmenge 10 bestimmt wird. Hierzu sind auf einer dünnen Membran 17 ein erstes Tempera- tursensorelement 7 und ein zweites Temperatursensorelement 8 ausgebildet. Das erste und das zweite Temperatursensorelement 7, 8 befinden sich an unterschiedlichen Orten auf der Oberfläche 16 der Membran 17. Zwischen dem ersten Temperatursensorelement 7 und dem zweiten Temperatursensorelement 8 ist ein Heizelement 12 angeordnet. Auf dem als mikroelektromechanisches System auf¬ gebauten Sensorelement 15 ist zudem eine Auswerteelektronik 13 integriert, die die Messsignale der Temperatursensorelemente 7, 8 sofort auswerten und in ein Signal, das proportional zum Luftmassenstrom 10 ist, umwandeln kann. Die Auswerteelektronik 13 kann jedoch ebenso gut in einem nachgeschalteten elektronischen Gerät integriert sein. Die Informationen über den Luftmassenstrom 10 werden dann über Anschlusspads 19 und Anschlussdrähte 18 an eine hier nicht dargestellte nachfolgende elektronische Motorsteuerung weitergeleitet. FIG. 2 shows a sensor element 15 for an air mass meter 1. The sensor element 15 is designed as a microelectromechanical system (MEMS) on a single silicon chip. The sensor element 15 operates on the differential temperature method, whereby the mass of the passing air quantity 10 is determined. For this purpose, a first temperature sensor element 7 and a second temperature sensor element 8 are formed on a thin membrane 17. The first and the second temperature sensor element 7, 8 are located at different locations on the surface 16 of the membrane 17. Between the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8, a heating element 12 is arranged. On the micro-electromechanical system built on ¬ Sensor element 15 also a transmitter 13 is integrated, which evaluate the measurement signals of the temperature sensor elements 7, 8 immediately and can convert a signal that is proportional to the air mass flow 10. However, the transmitter 13 may just as well be integrated in a downstream electronic device. The information about the air mass flow 10 are then forwarded via connection pads 19 and connecting wires 18 to a subsequent electronic engine control, not shown here.
In Figur 3 wird ein als mikroelektromechanisches System (MEMS) ausgebildetes Sensorelement 15 für einen Luftmassenmesser 2 gezeigt, das auf einem einzigen Substrat ausgebildet ist, wobei das Substrat in einem Hilfsrohr 5 des Luftmassenmessers 2 an- geordnet ist. In Figur 3 strömt durch die Einlassöffnung 4 kein Luftmassenstrom 10, was zum Beispiel bei ausgestellter Brennkraftmaschine der Fall sein wird. Dieser Zustand wird im Rahmen der vorliegenden Offenbarung als Nullmassenstrom bezeichnet. Wenn das Heizelement 12 auf dem Sensorelement 15 mit elektrischer Energie versorgt wird, entsteht um das Heizelement 12 die hier dargestellte symmetrische Temperaturverteilung 20. Damit misst das erste Temperatursensorelement 7 und das zweite Tempera- n FIG. 3 shows a sensor element 15 designed as a microelectromechanical system (MEMS) for an air mass meter 2, which is formed on a single substrate, the substrate being arranged in an auxiliary tube 5 of the air mass meter 2. In FIG. 3, no air mass flow 10 flows through the inlet opening 4, which will be the case, for example, when the internal combustion engine is issued. This state is referred to as zero mass flow in the context of the present disclosure. When the heating element 12 is supplied with electrical energy on the sensor element 15, the symmetrical temperature distribution 20 shown here is produced around the heating element 12. Thus, the first temperature sensor element 7 and the second temperature measuring element n
tursensorelement 8 die gleiche Temperatur und nach der Dif¬ ferenzbildung der Temperaturmesssignale der Temperatursensorelemente 7, 8 wird von der Auswerteelektronik 13 erkannt, dass kein Luftmassenstrom 10 im Hilfsrohr 5 des Luftmassenmessers 2 vorliegt. Diese ideale Gleichheit der Temperaturmesssignale bei einem Nullmassenstrom kann jedoch zum Beispiel durch Verunreinigungen auf dem Sensorelement 15 gestört werden. tursensorelement 8 the same temperature and after Dif ¬ ference of the temperature measurement signals of the temperature sensor elements 7, 8 is detected by the transmitter 13 that no air mass flow 10 is present in the auxiliary tube 5 of the air mass meter 2. However, this ideal equality of the temperature measurement signals at a zero mass flow can be disturbed, for example, by impurities on the sensor element 15.
Figur 4 zeigt eine Situation, bei der ein Luftmassenstrom 10 durch die Einlassöffnung 4 in das Hilfsrohr 5 des Luftmassenmessers 2 einströmt. Die Temperaturverteilung 20 um das Heizelement 12 wird nun deutlich sichtbar in Richtung des zweiten Temperatursensorelementes 8 verschoben. Damit misst das zweite Temperatur¬ sensorelement 8 eine deutlich höhere Temperatur als das erste Temperatursensorelement 7. Durch die Feststellung der Diffe¬ renztemperatur der beiden Temperatursensorelemente 7, 8 mit der Auswerteelektronik 13 lässt sich nun der Luftmassenstrom 10 bestimmen. Jedoch wären die Einflüsse von Verschmutzungen auf dem Sensorelement nach wie vor wirksam und sie würden die Mess- ergebnisse überlagern. Die Summe der Temperaturen reagiert ebenfalls auf den Massenstrom 10. Darüber hinaus reagiert jedoch die Summe der Temperaturen auch auf die thermischen Eigenschaften der Luftmasse, wie zum Beispiel die Wärmekapazität und/oder die thermische Leitfähigkeit des vorbeiströmenden Luftmassenstromes 10. Erhöht sich zum Beispiel bei gleichem Luftmassenstrom 10 die thermische Leitfähigkeit der Luftmasse, so kühlt das System ab und die Summe der Temperaturen wird deutlich geringer. Die Differenztemperatur des ersten Temperatursensorelementes 7 und des zweiten Temperatursensorelementes 8 bleibt jedoch in erster Näherung unverändert. Somit kann durch das Summensignal des ersten Temperatursensorelementes 7 und des zweiten Tempera¬ tursensorelementes 8 eine Änderung der thermischen Eigenschaften, wie zum Beispiel der Wärmekapazität, oder der thermischen Leitfähigkeit der Luftmasse gemessen werden. FIG. 4 shows a situation in which an air mass flow 10 flows through the inlet opening 4 into the auxiliary pipe 5 of the air mass meter 2. The temperature distribution 20 around the heating element 12 is now clearly displaced in the direction of the second temperature sensor element 8. Thus, the second temperature ¬ sensor element 8 measures a significantly higher temperature than the first temperature sensor element 7. By determining the Diffe ¬ temperature of the two temperature sensor elements 7, 8 with the transmitter 13 can now determine the mass air flow 10. However, the effects of contamination on the sensor element would still be effective and they would superimpose the measurement results. The sum of the temperatures also reacts to the mass flow 10. In addition, however, the sum of the temperatures also reacts to the thermal properties of the air mass, such as the heat capacity and / or the thermal conductivity of the passing air mass flow 10. Increases, for example, at the same air mass flow 10 the thermal conductivity of the air mass, the system cools down and the sum of the temperatures is significantly lower. However, the differential temperature of the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8 remains unchanged in a first approximation. Thus, a change of the thermal properties such as the heat capacity or the thermal conductivity of the air mass can be measured by the sum signal of the first temperature sensor element 7 and the second temperature ¬ tursensorelementes. 8
Verrechnet man nun das Differenztemperatursignal mit demNow calculate the differential temperature signal with the
Summentemperatursignal , kann auf die veränderte thermische Leitfähigkeit und/oder die veränderte Wärmekapazität der vorbeiströmenden Luftmasse geschlossen werden. Summentemperatursignal, can on the changed thermal Conductivity and / or the changed heat capacity of the passing air mass are closed.
Figur 5 zeigt das Sensorelement 15 des Luftmassenmessers 2, das als mikroelektromechanisches System (MEMS) ausgebildet ist, in einem Luftmassenmesser 2, der als Einsteckfinger in einem Ansaugrohr 1 integriert ist. Der Luftmassenstrom 10 erreicht auch hier die Einlassöffnung 4 und tritt in das Hilfsrohr 5 ein. Auf der Oberfläche 16 der Membran 17 sind das erste Temperatursensor- element 7 und das zweite Temperatursensorelement 8 zu erkennen. Zwischen dem ersten Temperatursensorelement 7 und dem zweiten Temperatursensorelement 8 ist das Heizelement 12 angeordnet. Der Luftmassenstrom 10 erreicht zunächst das erste Temperatursensorelement 7, überströmt dann das Heizelement 12, um danach das zweite Temperatursensorelement 8 zu erreichen. FIG. 5 shows the sensor element 15 of the air mass meter 2, which is designed as a microelectromechanical system (MEMS), in an air mass meter 2, which is integrated as an insertion finger in an intake pipe 1. Here too, the air mass flow 10 reaches the inlet opening 4 and enters the auxiliary tube 5. On the surface 16 of the membrane 17, the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8 can be seen. Between the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8, the heating element 12 is arranged. The air mass flow 10 initially reaches the first temperature sensor element 7, then flows over the heating element 12, in order then to reach the second temperature sensor element 8.
In Figur 5 ist zu erkennen, dass der Luftmassenstrom 10 auch Verschmutzungen 9 beinhaltet. Mit dem Luftmassenstrom 10 werden zum Beispiel Wassertröpfchen 6, Öltröpfchen 11 und/oder It can be seen in FIG. 5 that the air mass flow 10 also contains contaminants 9. With the air mass flow 10, for example, water droplets 6, oil droplets 11 and / or
Staubteilchen 14 hin zum Luftmassenmesser 2 transportiert. Diese Verschmutzungen 9 gelangen durch die Einlassöffnung 4 des Luftmassenmessers 2 bis zum Sensorelement 15. Wenn sich die Verschmutzungen 9 im Bereich des ersten Temperatursensorelementes 7 und des zweite Temperatursensorelementes 8 ablagern, kann es mit der Zeit zu einer massiven Verfälschung des Messwertes für den Luftmassenstrom 10 kommen. Da sich diese Verfälschung durch die Akkumulation der Verschmutzung auf dem Sensorelement 15 über einem langen Zeitraum immer weiter aufbaut, spricht man in diesem Zusammenhang auch von einer Singaldrift des Luft- massenmessers 2. Dieser Signaldrift ist unerwünscht und sie sollte unterdrückt und/oder kompensiert werden. Dust particles 14 transported to the air mass meter 2. If the contaminants 9 deposit in the area of the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8, a massive falsification of the measured value for the air mass flow 10 can occur over time , Since this adulteration continues to build up over a long period of time due to the accumulation of soiling on the sensor element 15, this is also referred to as a single drift of the air mass meter 2. This signal drift is undesirable and should be suppressed and / or compensated.
Figur 6 zeigt das Sensorelement 15 mit dem ersten Tempera¬ tursensorelement 7 und dem zweiten Temperatursensorelement 8 sowie dem zwischen den Temperatursensorelementen 7 und 8 angeordneten Heizelement 12. Mit dem Pfeil ist die Richtung des Luftmassenstromes 10 dargestellt. Damit befindet sich in der Strömungsrichtung des Luftmassenstromes 10 das erste Tempe¬ ratursensorelement 7 vor dem Heizelement 12 und das zweite Tem¬ peratursensorelement 8 hinter dem Heizelement 12. Sowohl das erste Temperatursensorelement 7 als auch das zweite Tempera- tursensorelement 8 setzen sich in diesem Beispiel als elektrische Reihenschaltungen aus einem Messwiderstand 22 und mindestens zwei Vergleichswiderständen 21 zusammen. Es ist zu erkennen, dass die Messwiderstände 22 im inneren Bereich der dünnen Membran angeordnet sind, und die Vergleichswiderstände 21 im Randbereich der Membran 17 angeordnet sind. Figure 6 shows the sensor element 15 with the first temperature ¬ tursensorelement 7 and the second temperature sensor element 8 and the disposed between the temperature sensing elements 7 and 8 the heating element 12. By the arrow, the direction of the air mass flow 10 is shown. This is located in the Flow direction of the air mass flow 10, the first Tempe ¬ temperature sensor element 7 in front of the heating element 12 and the second Tem ¬ temperature sensor element 8 behind the heating element 12. Both the first temperature sensor element 7 and the second temperature ture sensorelement 8 set in this example as electrical series circuits of a measuring resistor 22 and at least two comparison resistors 21 together. It can be seen that the measuring resistors 22 are arranged in the inner region of the thin membrane, and the comparison resistors 21 are arranged in the edge region of the membrane 17.
Weiterhin zeigt die Figur 6, dass Verschmutzungen 9, und hierbei vornehmlich Öltröpfchen 11, mit dem Massenstrom 10 zu dem Sensorelement 15 transportiert werden. Insbesondere die Öl- tröpfchen 11 lagern sich auf dem Sensorelement 15 ab. Es ist deutlich zu erkennen, dass die Ablagerung der Öltröpfchen 11 auf dem Sensorelement 15 besonders stark im Bereich der Widerstände erfolgt, die in Strömungsrichtung des Luftmassenstromes 10 dem Heizelement 12 nachgelagert sind. Diese unsymmetrische Abla- gerung von Öltröpfchen 11 auf dem Sensorelement 15 führt zu einer Signaldrift, die letztlich zur Verfälschung der vom Sensorelement 15 erfassten Messwerte für den Luftmassenstrom 10 führt. Darüber hinaus erfolgt die Ablagerung der Verschmutzungen bevorzugt im Randbereich der Membran 17. Die unsymmetrische Ablagerung der Öltröpfchen 11 hat physikalische Gründe, die ihren Ursprung insbesondere in der höheren Temperatur im Bereich des zweiten Sensorelementes 8 und im Temperaturgradienten im Randbereich der Membran 17 finden. Figur 7 zeigt ein Ablaufdiagramm, das das erfindungsgemäßeFurthermore, FIG. 6 shows that contaminants 9, and in this case primarily oil droplets 11, are transported to the mass flow 10 to the sensor element 15. In particular, the oil droplets 11 deposit on the sensor element 15. It can be clearly seen that the deposition of the oil droplets 11 on the sensor element 15 is particularly strong in the region of the resistors, which are downstream of the heating element 12 in the flow direction of the air mass flow 10. This asymmetrical deposition of oil droplets 11 on the sensor element 15 leads to a signal drift, which ultimately leads to the falsification of the measured values for the air mass flow 10 detected by the sensor element 15. In addition, the deposition of the contaminants preferably takes place in the edge region of the membrane 17. The asymmetrical deposition of the oil droplets 11 has physical reasons which originate in particular in the higher temperature in the region of the second sensor element 8 and in the temperature gradient in the edge region of the membrane 17. FIG. 7 shows a flow diagram which represents the invention
Verfahren zum Betreiben eines Luftmassenmessers näher darstellt. Dieses erfindungsgemäße Verfahren kann besonders erfolgreich bei Luftmassenmessern eingesetzt werden, die Sensorelemente auf¬ weisen, die als mikroelektromechanische Systeme gefertigt wurden. Die Anfälligkeit dieser mikroelektromechanischenA method for operating an air mass meter is closer. This method according to the invention can be used particularly successfully with air mass meters which have sensor elements that have been manufactured as microelectromechanical systems. The susceptibility of this microelectromechanical
Systeme gegenüber Verschmutzungen und die daraus resultierende Signaldrift dieser Sensorelemente wurde bereits im Vorgenannten erläutert. Zur Vermeidung der Signaldrift bzw. zur Kompensation dieser Signaldrift erfolgt in einem ersten Schritt A die Er¬ mittlung eines Messwertes des Luftmassenmessers mit dem Sen¬ sorelement bei einem Nullmassenstrom. Dieser bei einem Null- massenstrom ermittelter Messwert stellt einen Referenzwert dar, der in einem Schritt B in einem elektronischen Speicher abgelegt wird. Der im elektronischen Speicher abgelegte erste Messwert bleibt im elektronischen Speicher mindestens so lange erhalten, bis nach dem Betrieb der Brennkraftmaschine und der Ermittlung des der Brennkraftmaschine zugefügten Luftmassenstromes mit dem Luftmassenmesser eine Ermittlung eines zweiten Messwertes des Luftmassenmessers erfolgt, der ebenfalls bei einem Nullmas¬ senstrom gemessen wird, jedoch nach einer gewissen Betriebszeit des Sensorelementes und der damit verbundenen möglichen Ver- schmutzung des Sensorelementes durch z . B. Öltröpfchen. Dazu kann die Brennkraftmaschine zum Beispiel abgestellt sein. Der erste Messwert für den Nullmassenstrom wird dann mit dem zweiten Messwert für den Nullmassenstrom im Verfahrensschritt E verglichen und es wird in dem Verfahrensschritt F festgestellt, ob eine Abweichung zwischen dem ersten Messwert und dem zweiten Messwert besteht. Sollte keine Abweichung zwischen dem ersten Messwert und dem zweiten Messwert bestehen, kann das Verfahren bei Schritt A erneut gestartet werden, wobei die Ermittlung eines weiteren ersten Messwertes des Luftmassenmessers mit dem Sensorelement bei einem Nullmassenstrom erfolgt . Besteht jedoch eine Abweichung zwischen dem ersten Messwert und dem zweiten Messwert des Luftmassenmessers bei Nullmassenströmen, dann erfolgt eine Korrektur des Offsets der Kennlinie des Sensor¬ elementes. Diese Offset-Korrektur der Sensorkennlinie muss in diesem Fall nicht vollständig erfolgen, um z. B. bei fehlerhaften ersten und zweiten Messwerten für einen Nullmassenstrom nicht zu einer zu starken Fehlkorrektur des Offsets der Kennlinie zu gelangen. Es ist denkbar bei einer Abweichung zwischen dem ersten Messwert und dem zweiten Messwert des Luftmassenmessers für einen Nullmassenstrom, nur eine geringe Offset-Korrektur der Kennlinie des Sensorelementes einzuleiten und dann das erfindungsgemäße Verfahren erneu bei Punkt A zu starten, um sich interativ an die durch die Verschmutzung verursachte Offset-Drift des Sensor¬ elementes heranzuarbeiten und diese in mehreren Durchläufen des Verfahrens schrittweise zu korrigieren. Systems against contamination and the resulting signal drift of these sensor elements has already been mentioned above explained. He ¬ the mediation of a measured value of the air-mass meter with the Sen ¬ sorelement takes place to avoid the signal drift and to compensate for these signal drift in a first step A, at a zero mass flow. This measured value determined with a zero mass flow represents a reference value which is stored in an electronic memory in a step B. The stored in the electronic memory first measured value is maintained at least as long in the electronic memory until after operation of the internal combustion engine and the determination of the added of the engine air mass flow with the mass air flow meter, a determination of a second measured value of the air mass meter, which measured also at a Nullmas ¬ senstrom is, however, after a certain period of operation of the sensor element and the associated possible contamination of the sensor element by z. B. oil droplets. For this purpose, the internal combustion engine can be parked, for example. The first measured value for the zero mass flow is then compared with the second measured value for the zero mass flow in method step E, and it is determined in method step F whether there is a deviation between the first measured value and the second measured value. If there is no deviation between the first measured value and the second measured value, the method can be restarted at step A, wherein the determination of a further first measured value of the air mass meter with the sensor element takes place at a zero mass flow. However, there is a deviation between the first measurement value and the second measured value of the air flow meter at zero mass flow rates, then a correction of the offset of the characteristic curve of the sensor element ¬. In this case, this offset correction of the sensor characteristic curve does not have to be completed in order For example, in the case of faulty first and second measured values for a zero mass flow, the result is not an excessive incorrect correction of the offset of the characteristic curve. It is conceivable in the case of a deviation between the first measured value and the second measured value of the air mass meter for a zero mass flow to initiate only a small offset correction of the characteristic curve of the sensor element and then to restart the method according to the invention at point A in order to interact with the caused by the pollution caused offset drift of the sensor ¬ element and gradually correct this in several rounds of the process.

Claims

Verfahren zum Betreiben eines Luftmassenmessers (2) zur Ermittlung eines einer Brennkraftmaschine zugeführten Luftmassenstromes (10), wobei der Luftmassenmesser (2) ein in mikroelektromechanischer Bauweise ausgebildetes Sensorelement (15) aufweist, mit den folgenden Verfahrens¬ schritten : A method of operating an air mass meter (2) for determining a an internal combustion engine supplied air mass flow (10), wherein the air mass meter (2) has a hole formed in micro-electro-mechanical construction sensor element (15), with the following method ¬ steps of:
A: Ermittlung eines ersten Messwertes des Luftmassenmessers (2) mit dem Sensorelement (15) bei einem Nullmassenstrom, A: determination of a first measured value of the air mass meter (2) with the sensor element (15) at a zero mass flow,
B: Ablegen des ersten Messwertes des Luftmassenmessers (2) in einem elektronischen Speicher (13), B: storing the first measured value of the air mass meter (2) in an electronic memory (13),
C: Betreiben der Brennkraftmaschine und Ermittlung des der Brennkraftmaschine zugeführten Luftmassenstromes (10) mit dem Luftmassenmesser (2), C: operating the internal combustion engine and determining the air mass flow (10) supplied to the internal combustion engine with the air mass meter (2),
D: Ermittlung eines zweiten Messwertes des Luftmassenmessers (2) nach dem Betreiben der Brennkraftmaschine bei einem Nullmassenstrom, D: determination of a second measured value of the air mass meter (2) after operation of the internal combustion engine at a zero mass flow,
E: Vergleichen des ersten Messwertes mit dem zweiten Messwert , E: comparing the first measured value with the second measured value,
F: Korrektur des Offsets der Kennlinie des Sensorelementes (15) bei einer Feststellung einer Abweichung zwischen dem ersten Messwert und dem zweiten Messwert. F: Correction of the offset of the characteristic of the sensor element (15) upon detection of a deviation between the first measured value and the second measured value.
Verfahren zum Betreiben eines Luftmassenmessers (2) nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass der Nullmassenstrom ermittelt wird, wenn die Brennkraftmaschine zum Stillstand gekommen ist. Verfahren zum Betreiben eines Luftmassenmessers (2) nach Anspruch 1 oder 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass der Nullmassenstrom ermittelt wird, wenn die Brennkraftmaschine ausgekühlt ist. Method for operating an air mass meter (2) according to claim 1, characterized in that the zero mass flow is determined when the internal combustion engine has come to a standstill. Method for operating an air mass meter (2) according to claim 1 or 2, characterized in that the zero mass flow is determined when the internal combustion engine is cooled down.
Verfahren zum Betreiben eines Luftmassenmessers (2) nach Anspruch 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass der Stillstand der Brennkraftmaschine vom Luftmas¬ senmesser (2) selber erkannt wird. Method for operating an air mass meter (2) according to claim 2, characterized in that the stoppage of the internal combustion engine from the Luftmas ¬ senmesser (2) itself is detected.
5. Verfahren zum Betreiben eines Luftmassenmessers (2) nach Anspruch 4, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass der Luftmassenmesser (2) den Stillstand der Brennkraftmaschine erkennt, wenn keine Pulsation im Messsignal des Luftmassenmessers (2) vorliegt. 5. A method for operating an air mass meter (2) according to claim 4, characterized in that the air mass meter (2) detects the stoppage of the internal combustion engine when no pulsation in the measurement signal of the air mass meter (2) is present.
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