WO2013067395A3 - Procédé et appareil pour améliorer un dépôt d'encre - Google Patents

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Abstract

L'invention porte sur un dispositif, qui comprend différents micro-porte-à-faux sous une configuration structurelle pour déterminer une meilleure impression d'encres à partir des porte-à-faux dans une nanolithographie à écriture directe. L'invention porte également sur un procédé qui comprend : la disposition d'au moins un groupement passif d'une pluralité de micro-porte-à-faux, chaque micro-porte-à-faux ayant au moins une pointe nanoscopique sur celui-ci ; la disposition sur les micro-porte-à-faux d'une composition d'encre unique comprenant un matériau de réalisation de motif ; le dépôt des matériaux de réalisation de motif sur un substrat pour produire un substrat comprenant une pluralité de dépôts ; l'inspection des dépôts pour déterminer lequel des porte-à-faux produit un dépôt préféré.
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