WO2013039325A2 - 의료용 대면적 마이크로웨이브 플라즈마 발생기 및 이를 이용한 의료기기 - Google Patents
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Definitions
- the present invention relates to a large-area plasma generator used in dental diseases or skin diseases, and more particularly, using a high frequency low power (3-10 W) in the hundreds of MHz to several kilohertz bands, and using a parallel-plate transmission line.
- the present invention relates to a medical large-area microwave plasma generator for generating a large-area plasma in a line shape at an open end and a medical device using the same.
- microwave plasma using high frequency in the band of hundreds of MHz to several kHz has no thermal damage to the object in its characteristic, low electrical risk due to low discharge voltage, high power efficiency, It has a high possibility as a plasma equipment for biomedical applications compared to low frequency plasma equipment such as the superiority of the effect due to the high plasma component.
- Korean Patent Publication No. 10-1012345 (registered on Jan. 26, 2011) discloses a "low power portable microwave plasma generator" having a coaxial cable, an external conductor, a connecting conductor and a connecting member. It is.
- the plasma generator includes a dielectric having a coaxial cable surrounding a first inner conductor and the first inner conductor, the outer conductor surrounding the coaxial cable, and the connection conductor comprises at least one gas inlet pipe. In addition, it is configured to electrically connect the first inner conductor and the outer conductor at one end of the coaxial cable.
- the connecting member includes a second inner conductor penetrating the outer conductor and connected to the first inner conductor.
- the plasma generator configured as described above generates plasma using resonance energy of a microwave signal of 900 MHz or 2.45 GHz applied through the second inner conductor.
- the present invention is to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a parallel-plate transmission line (parallel-plate transmission line) structure in the medical microwave plasma generator using a high frequency of several hundred MHz ⁇ several kHz band
- the present invention provides a medical large-area microwave plasma generator capable of uniformly supplying a large-area plasma and a medical device using the same by configuring a resonator using the same.
- the present invention includes a chamber in which one end is closed and the other end is opened, and the gas inlet connected to an external gas supply line at the closed one end is supplied with the gas.
- a conductive ground electrode portion formed to communicate with the conductive ground electrode portion;
- a conductive power electrode unit installed to maintain a predetermined distance from the upper and lower surfaces of the chamber inside the chamber of the ground electrode unit, and one end of which is fixedly connected to the closed one end of the ground electrode unit; It is connected to the ground electrode unit and the power electrode unit, and connected to an external power supply source for applying a high frequency power of several hundred MHz ⁇ several kHz band to the power electrode unit and at the same time electrically connecting the ground electrode unit with an external power supply source. It provides a medical large-area microwave plasma generator comprising a power connection.
- a high frequency and a low power power of 3 ⁇ 10W of the hundreds of MHz ⁇ several kHz band is applied to the power electrode portion, the resonance occurs at the frequency of the applied power source, the open end of the ground electrode portion and power electrode portion Plasma discharge is generated in the part, so that a separate microwave matching device is not necessary. That is, there is an advantage that self matching is possible.
- the plasma gas having a horizontal width of 10 to 50 mm is discharged through the open ends of the ground electrode part and the power electrode part having the parallel plate transmission line structure, there is an advantage that a larger area can be processed at a time.
- the plasma gas can be supplied to a larger area of the object, thereby further reducing the processing time.
- FIG. 1 is a perspective view schematically showing a medical large-area microwave plasma generator according to an embodiment of the present invention.
- FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the plasma generator of FIG. 1.
- FIG. 3 is a cross-sectional view of the plasma generator of FIG. 1.
- FIG. 4 is a cross-sectional view of a plasma generator according to another embodiment of the present invention.
- FIG. 5 is a plan view showing a tooth whitening medical device using a plasma generator according to the present invention.
- the medical large-area microwave plasma generator 1 includes a ground electrode part 10 and a power having a parallel-plate transmission line structure.
- Insulation cover 40 is coupled to surround the electrode portion 20, the power connection portion 30, and the outer surface of the ground electrode portion 10.
- the ground electrode part 10 is made of a conductive metal material, and has a rectangular parallelepiped box shape in which a chamber 11 is formed at the center thereof.
- the chamber 11 has a structure in which one end is closed and the other end 15 is opened.
- a plurality of gas inlets 12 are connected to an external gas supply line 50 to supply a gas to a closed end of the chamber 11 of the ground electrode unit 10. It is formed in communication with (11).
- the power electrode part 20 is formed of a rectangular flat plate made of a conductive metal material, and is installed to maintain a predetermined distance from the upper and lower surfaces of the chamber 11 inside the chamber 11 of the ground electrode part 10. One end of the power electrode 20 is integrally formed with one closed end of the ground electrode 10.
- the power electrode unit 20 preferably maintains an interval of 0.1 to 5 mm with the upper and lower surfaces of the ground electrode unit 10, respectively.
- the ground electrode portion 10 and the power electrode portion 20 form a parallel-plate transmission line structure in which the ground electrode portions 10 are disposed in parallel on the upper and lower portions of the power electrode portion 20.
- One end of the ground electrode unit 10 and the power electrode unit 20 is closed and the other end is opened to operate as a resonator of the micro signal resonating at a specific frequency.
- the power connection unit 30 electrically connects the ground electrode unit 10 and the power electrode unit 20 with an external power supply source (not shown), and provides the power electrode unit 20 with several hundreds MHz.
- the high frequency and low power (for example, 3 to 10W) power of 500 to 1000 MHz band is applied and the ground electrode unit 10 is electrically connected to an external power supply (not shown).
- the power connection unit 30 is disposed at a predetermined distance from the closed end of the ground electrode unit 10 so as to satisfy a specific impedance, for example, 50 kHz according to the input frequency.
- the power connection unit 30 has a ground terminal 31 installed at one side (lower surface) of the ground electrode unit 10 and a hole 31a formed at the center of the ground terminal 31. And a power connector 32 electrically connected to the power electrode unit 20.
- the power connector 32 is insulated from the ground terminal 31 and the ground electrode part 10.
- the power connector 32 may be a wire for electrically connecting an external power supply source (not shown) and the power electrode unit 20.
- the insulator cover 40 has a rectangular parallelepiped box shape corresponding to the ground electrode part 10, and protects the ground electrode part 10 and improves the user's convenience or grip.
- the plasma generator 1 of the present invention having the structure as described above functions as follows.
- Gas is supplied through an external gas supply line 50.
- the gas supplied through the gas supply line 50 may be any one of helium gas, argon gas, nitrogen gas, oxygen gas, or a complex gas thereof (for example, helium 99% and oxygen 1%). .
- Gas supplied through the gas supply line 50 is introduced into the chamber 11 through a plurality of gas inlets 12 formed in the closed portion of the ground electrode part 10, and then opened in the chamber 11. Flow to the end 15.
- a high frequency and low power for example, 10 W
- several hundred MHz to several kHz for example, 900 MHz
- an external power supply (not shown) through the power connector 32. )
- a high electric field is concentrated at the open end portion 15 of the ground electrode portion 10 and the power electrode portion 20 by the high frequency power applied to the power electrode portion 20, which causes plasma discharge to occur.
- a plasma gas in a linear form having a width of 10 to 50 mm is discharged.
- a high frequency power is applied to the power electrode unit 20, and resonance occurs at a frequency of the applied power, so that the plasma is formed at the open end portion 15 of the ground electrode unit 10 and the power electrode unit 20. Since the discharge is generated, a separate microwave matching device is not necessary.
- the plasma gas having a width of 10 to 50 mm is discharged through the ground electrode portion 10 having the parallel plate transmission line structure and the open end portion 15 of the power electrode portion 20, a larger area than before. There is an advantage that can be handled at once.
- the plasma generator 1 of the above-described embodiment is made of a straight line of the open end portion 15 of the ground electrode portion 10 and the power electrode portion 20, but to apply the plasma generator to teeth whitening or dental diseases, etc.
- the open end 15 of the ground electrode 10 and the power electrode 20 may be formed in a curved shape.
- the closed portion 13 of the ground electrode portion 10 and the power electrode portion 20 may also have a curved shape corresponding to the open end portion 15 in order to generate a uniform plasma gas. Do.
- a medical device including a plurality of plasma generators 1 installed in parallel to correspond to the oral structure of a human body may be configured to supply plasma gas to a plurality of teeth at once.
- the present invention can be applied to medical devices or skin care devices such as dental diseases or skin diseases.
Abstract
본 발명은 수백 ㎒ ~ 수 ㎓ 대역의 고주파를 사용하는 의료용 마이크로웨이브 플라즈마 발생기에 관한 것으로, 본 발명에 따른 의료용 마이크로웨이브 플라즈마 발생기는, 일단부가 폐쇄되고 타단부가 개방되게 형성된 챔버를 구비하며, 상기 폐쇄된 일단부에 외부의 가스공급라인과 연결되어 가스를 공급받는 가스유입구가 상기 챔버와 연통되게 형성되어 있는 도전성의 접지전극부와; 상기 접지전극부의 챔버 내측에서 챔버의 상하부면과 일정 간격을 유지하도록 설치되며, 일단부가 상기 접지전극부의 폐쇄된 일단부에 고정되게 연결되는 도전성의 파워전극부와; 상기 접지전극부 및 파워전극부에 연결되며, 외부의 전원공급원과 연결되어 상기 파워전극부에 수백 ㎒ ~ 수 ㎓ 대역의 고주파 전원을 인가함과 동시에 상기 접지전극부를 외부 전원공급원과 전기적으로 연결하는 전원연결부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 치과 질환 또는 피부 질환 등에 이용되는 대면적 플라즈마 발생기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 수백 ㎒ ~ 수 ㎓ 대역의 고주파 저전력(3~10W)을 사용하고, 평행 평판 전송 선로(parallel-plate transmission line) 구조를 이용한 공진기를 구성하여 자가 매칭이 가능하며, 개방된 끝단부에서 선 형태의 대면적 플라즈마를 발생시키는 의료용 대면적 마이크로웨이브 플라즈마 발생기 및 이를 이용한 의료기기에 관한 것이다.
세계 의료 시장은 지속적인 성장세를 보이고 있으며, 의료 시장 중 의료 장비의 비중이 가장 높은 것으로 확인되었다. 특히 고령화 사회 도래 및 삶의 질 향상에 대한 높은 욕구 등 사회적 변화는 이러한 추세를 더욱 가속화할 것으로 예상되고 있다.
최근 대기압 플라즈마를 이용한 살균, 지혈, 치아 미백 등 생의학 응용 분야에 대한 연구가 국내외 연구 기관에 의해 활발히 연구되고 있으며 탁월한 효과가 증명되고 있다. 다양한 대기압 플라즈마 방전 방법 중, 수백 ㎒ ~ 수 ㎓ 대역의 고주파를 사용하는 마이크로웨이브 플라즈마의 경우, 그 특성에 있어서 처리 대상에 열적 손상이 없고, 낮은 방전 전압으로 인해 전기적 위험성이 낮으며 전력 효율이 높고, 높은 플라즈마 성분으로 인한 그 효과의 우수성 등 저주파 플라즈마 장비에 비해서 생의학 응용을 위한 플라즈마 장비로서 높은 가능성을 가진다.
이러한 마이크로웨이브 플라즈마 발생기로서 대한민국 등록특허공보 제10-1012345호(2011. 01. 26. 등록)에 동축케이블과, 외부도체, 연결도체 및 연결부재를 구비한 "저 전력 휴대용 마이크로파 플라즈마 발생기"가 개시되어 있다. 상기 등록특허공보의 플라즈마 발생기는 동축케이블이 제1내부도체와 이 제1내부도체를 둘러싸는 유전체를 구비하며, 상기 외부도체가 상기 동축케이블을 둘러싸고, 상기 연결도체는 적어도 하나의 가스유입관을 구비함과 더불어 상기 동축케이블의 일단에서 상기 제1내부도체와 상기 외부도체를 전기적으로 연결하는 구성으로 이루어진다. 그리고, 상기 연결부재는 상기 외부도체를 관통하여 상기 제1내부도체와 연결되는 제2내부도체를 구비한다. 이와 같이 구성된 플라즈마 발생기는 제2내부도체를 통해 인가되는 900MHz 또는 2.45GHz의 마이크로파 신호의 공진에너지를 이용하여 플라즈마를 생성한다.
하지만, 상기와 같은 종래의 마이크로파 플라즈마 발생기의 경우 효과적인 전력 전달을 위해서 사용되는 매칭 박스로 인해 장비의 크기가 크고, 플라즈마 방전을 위해 높은 전력을 사용해야 하는 문제점이 발생되었다. 또한, 지혈, 상처 치유, 피부 미용과 같은 분야에서 넓은 처리 면적이 요구되고 있으나, 고주파 전력을 사용할 경우 사용 전력의 파장이 매우 짧아 넓은 면적에 균일한 전기장을 만드는 것과 균일한 가스 공급이 어려워 넓은 면적의 플라즈마를 발생시키는 것이 어렵다는 문제점이 발생되었다.
본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 수백 ㎒ ~ 수 ㎓ 대역의 고주파를 사용하는 의료용 마이크로웨이브 플라즈마 발생기에 있어서, 평행 평판 전송 선로(parallel-plate transmission line) 구조를 이용한 공진기를 구성하여 자가 매칭이 가능하며, 기존보다 대면적의 플라즈마를 균일하게 공급할 수 있는 의료용 대면적 마이크로웨이브 플라즈마 발생기 및 이를 이용한 의료기기를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 일단부가 폐쇄되고 타단부가 개방되게 형성된 챔버를 구비하며, 상기 폐쇄된 일단부에 외부의 가스공급라인과 연결되어 가스를 공급받는 가스유입구가 상기 챔버와 연통되게 형성되어 있는 도전성의 접지전극부와; 상기 접지전극부의 챔버 내측에서 챔버의 상하부면과 일정 간격을 유지하도록 설치되며, 일단부가 상기 접지전극부의 폐쇄된 일단부에 고정되게 연결되는 도전성의 파워전극부와; 상기 접지전극부 및 파워전극부에 연결되며, 외부의 전원공급원과 연결되어 상기 파워전극부에 수백 ㎒ ~ 수 ㎓ 대역의 고주파 전원을 인가함과 동시에 상기 접지전극부를 외부 전원공급원과 전기적으로 연결하는 전원연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 의료용 대면적 마이크로웨이브 플라즈마 발생기를 제공한다.
이와 같은 본 발명에 따르면, 파워전극부에 수백 ㎒ ~ 수 ㎓ 대역의 고주파 및 3~10W의 저전력 전원이 인가되고, 인가된 전원의 주파수에서 공진이 발생하여 접지전극부 및 파워전극부의 개방된 끝단부에서 플라즈마 방전이 발생하게 되므로 별도의 마이크로웨이브 매칭 장치가 필요없게 된다. 즉, 자가 매칭이 가능하게 되는 이점이 있다.
또한, 평행 평판 전송 선로 구조를 갖는 접지전극부와 파워전극부의 개방된 끝단부를 통해서 좌우 폭이 10~50㎜ 의 플라즈마 가스가 방출되므로 기존보다 넓은 면적을 한번에 처리할 수 있는 이점이 있다.
이와 더불어, 전술한 구조로 이루어진 본 발명의 마이크로웨이브 플라즈마 발생기를 복수개 병렬 구성하여 의료기기를 만들게 되면, 대상물의 더 넓은 면적에 플라즈마 가스를 공급할 수 있으므로 처리 시간을 더욱 단축시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 의료용 대면적 마이크로웨이브 플라즈마 발생기를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 플라즈마 발생기의 종단면도이다.
도 3은 도 1의 플라즈마 발생기의 횡단면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 발생기의 횡단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 플라즈마 발생기를 이용한 치아 미백용 의료기기를 나타낸 평면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 의료용 대면적 마이크로웨이브 플라즈마 발생기 및 이를 이용한 의료기기의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 의료용 대면적 마이크로웨이브 플라즈마 발생기(1)는 평행 평판 전송 선로(parallel-plate transmission line) 구조를 이루는 접지전극부(10) 및 파워전극부(20)와, 전원연결부(30), 그리고 상기 접지전극부(10)의 외면을 둘러싸도록 결합되는 절연체 커버(40)를 포함한다.
상기 접지전극부(10)는 도전성 금속 재질로 이루어지며, 중앙부에 챔버(11)가 형성되어 있는 직육면체 박스 형태를 갖는다. 상기 챔버(11)는 일단부가 폐쇄되고 타단부(15)가 개방되게 형성된 구조를 갖는다. 상기 접지전극부(10)의 챔버(11)의 폐쇄된 일단부에는 외부의 가스공급라인(50)과 연결되어 가스를 공급받는 복수개(이 실시예에서 4개)의 가스유입구(12)가 챔버(11)와 연통되게 형성된다.
상기 파워전극부(20)는 도전성 금속 재질의 직사각형 평판으로 이루어지며, 상기 접지전극부(10)의 챔버(11) 내측에서 챔버(11)의 상하부면과 일정한 간격을 유지하도록 설치된다. 상기 파워전극부(20)의 일단부는 상기 접지전극부(10)의 폐쇄된 일단부에 일체로 형성된다.
상기 파워전극부(20)는 상기 접지전극부(10)의 상부면 및 하부면과 각각 0.1~5㎜의 간격을 유지하는 것이 바람직하다.
이와 같은 접지전극부(10)와 파워전극부(20)는 파워전극부(20)의 상하부에 접지전극부(10)가 평행하게 배치된 평행 평판 전송 선로(parallel-plate transmission line) 구조를 이루며, 접지전극부(10)와 파워전극부(20)의 일단부는 폐쇄되고 타단부는 개방되어 특정 주파수에서 공진하는 마이크로 신호의 공진기(resonator)로 동작하게 된다.
상기 전원연결부(30)는 상기 접지전극부(10) 및 파워전극부(20)를 외부의 전원공급원(미도시)과 전기적으로 연결하여, 상기 파워전극부(20)에 수백 ㎒ ~ 수 ㎓ (예를 들어 500 ~ 1000 ㎒) 대역의 고주파 및 저전력(예를 들어 3~10W) 전원을 인가함과 동시에 상기 접지전극부(10)를 외부 전원공급원(미도시)과 전기적으로 연결하는 작용을 한다. 상기 전원연결부(30)는 입력되는 주파수에 따라 특정 임피던스, 예컨대 50Ω 을 만족시킬 수 있도록 상기 접지전극부(10)의 폐쇄된 일단부로부터 소정의 거리에 배치된다.
이 실시예에서 상기 전원연결부(30)는 상기 접지전극부(10)의 일측(하부면)에 설치되는 접지단자(31)와, 상기 접지단자(31)의 중앙에 형성된 홀(hole)(31a)을 관통하여 상기 파워전극부(20)와 전기적으로 연결되는 전원컨넥터(32)를 포함한다. 상기 전원컨넥터(32)는 접지단자(31) 및 접지전극부(10)와 절연되어 있다. 여기서, 상기 전원컨넥터(32)는 외부 전원공급원(미도시)과 파워전극부(20)를 전기적으로 연결하는 전선일 수 있다.
상기 절연체 커버(40)는 상기 접지전극부(10)와 대응하는 직육면체 박스 형태를 가지며, 접지전극부(10)를 보호하고, 사용자의 편의성 또는 그립감을 향상시키는 기능을 한다.
상기와 같은 구조를 갖는 본 발명의 플라즈마 발생기(1)는 다음과 같이 작용한다.
치료자가 접지전극부(10)를 손으로 잡고 접지전극부(10)의 개방된 끝단을 대상물(예를 들어 인체의 치아 또는 피부 등)에 접근시키고, 플라즈마 발생기의 컨트롤러(미도시)를 동작시키면 외부의 가스공급라인(50)을 통해서 가스가 공급된다. 여기서, 상기 가스공급라인(50)을 통해서 공급되는 가스는 헬륨 가스, 아르곤 가스, 질소 가스, 산소 가스 중 어느 하나, 또는 이들의 복합가스(예를 들어 헬륨 99%, 산소 1%)일 수 있다.
상기 가스공급라인(50)을 통해서 공급되는 가스는 접지전극부(10)의 폐쇄된 부분에 형성된 복수개의 가스유입구(12)를 통해 챔버(11) 내부로 유입된 후 챔버(11)의 개방된 끝단부(15)로 유동한다.
이 때, 외부의 전원공급원(미도시)으로부터 상기 전원컨넥터(32)를 통해 상기 파워전극부(20)에 수백 ㎒ ~ 수 ㎓ (예를 들어 900 ㎒) 대역의 고주파 및 저전력(예를 들어 10W)의 전원이 인가된다. 상기 파워전극부(20)로 인가되는 고주파 전원에 의해 접지전극부(10) 및 파워전극부(20)의 개방된 끝단부(15)에서 높은 전기장이 집중되고, 이로 인해 플라즈마 방전이 발생하여 좌우 폭이 10~50㎜ 인 선형태의 플라즈마 가스가 배출된다.
상술한 것과 같이 파워전극부(20)에 고주파 전원이 인가되고, 인가된 전원의 주파수에서 공진이 발생하여 접지전극부(10) 및 파워전극부(20)의 개방된 끝단부(15)에서 플라즈마 방전이 발생하게 되므로 별도의 마이크로웨이브 매칭 장치가 필요없게 된다.
또한, 평행 평판 전송 선로 구조를 갖는 접지전극부(10)와 파워전극부(20)의 개방된 끝단부(15)를 통해서 좌우 폭이 10~50㎜ 의 플라즈마 가스가 방출되므로 기존보다 넓은 면적을 한번에 처리할 수 있는 이점이 있다.
한편, 전술한 실시예의 플라즈마 발생기(1)는 접지전극부(10) 및 파워전극부(20)의 개방된 끝단부(15)가 직선형으로 이루어져 있지만, 플라즈마 발생기를 치아 미백 또는 치과 질환 등에 적용하고자 할 경우 도 4에 다른 실시예로 도시한 것과 같이 접지전극부(10) 및 파워전극부(20)의 개방된 끝단부(15)를 곡선형으로 형성할 수도 있다. 이 때, 균일한 플라즈마 가스 생성을 위하여 접지전극부(10)와 파워전극부(20)의 폐쇄된 부분(13) 역시 상기 개방된 끝단부(15)와 대응하는 형태의 곡선형으로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 도 5에 도시한 것과 같이 치의학에 적용할 때 인체의 구강 구조에 대응하도록 복수개의 플라즈마 발생기(1)를 병렬로 설치한 의료기기를 구성하여, 한번에 복수개의 치아에 플라즈마 가스를 공급할 수도 있을 것이다.
이상에서는 본 발명에 대한 기술사상을 첨부 도면과 함께 서술하였지만 이는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 기술적 사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.
본 발명은 치과 질환 또는 피부 질환 등의 의료기기 또는 피부미용기기 등에 적용될 수 있다.
Claims (10)
- 일단부가 폐쇄되고 타단부가 개방되게 형성된 챔버(11)를 구비하며, 상기 폐쇄된 일단부에 외부의 가스공급라인(50)과 연결되어 가스를 공급받는 가스유입구(12)가 상기 챔버(11)와 연통되게 형성되어 있는 도전성의 접지전극부(10)와;상기 접지전극부(10)의 챔버(11) 내측에서 챔버(11)의 상하부면과 일정 간격을 유지하도록 설치되며, 일단부가 상기 접지전극부(10)의 폐쇄된 일단부에 고정되게 연결되는 도전성의 파워전극부(20)와;상기 접지전극부(10) 및 파워전극부(20)에 연결되며, 외부의 전원공급원과 연결되어 상기 파워전극부(20)에 수백 ㎒ ~ 수 ㎓ 대역의 고주파 전원을 인가함과 동시에 상기 접지전극부(10)를 외부 전원공급원과 전기적으로 연결하는 전원연결부(30)를 포함하는 것을 특징으로 하는 의료용 대면적 마이크로웨이브 플라즈마 발생기.
- 제1항에 있어서, 상기 전원연결부(30)는 상기 접지전극부(10)의 일측에 설치되는 접지단자(31)와, 상기 접지단자(31)를 관통하여 상기 파워전극부(20)와 전기적으로 연결되는 전원컨넥터(32)를 포함하는 것을 특징으로 하는 의료용 대면적 마이크로웨이브 플라즈마 발생기.
- 제1항에 있어서, 상기 접지전극부(10)의 외측을 둘러싸도록 결합되는 절연체 커버(40)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 의료용 대면적 마이크로웨이브 플라즈마 발생기.
- 제1항에 있어서, 상기 접지전극부(10)는 일단이 개방된 직육면체의 박스 형태로 이루어지며, 상기 파워전극부(20)는 평판 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 의료용 대면적 마이크로웨이브 플라즈마 발생기.
- 제1항에 있어서, 상기 접지전극부(10) 및 파워전극부(20)의 개방된 끝단부(15)는 곡선형인 것을 특징으로 하는 의료용 대면적 마이크로웨이브 플라즈마 발생기.
- 제5항에 있어서, 상기 접지전극부(10)의 챔버(11)의 폐쇄된 부분(13)은 상기 개방된 끝단부(15)의 형태와 대응하는 곡선형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 의료용 대면적 마이크로웨이브 플라즈마 발생기.
- 제1항에 있어서, 상기 접지전극부(10)의 챔버(11)의 개방된 끝단부에서 발생하는 플라즈마 가스의 좌우 폭이 10~50㎜ 인 것을 특징으로 하는 의료용 대면적 마이크로웨이브 플라즈마 발생기.
- 제1항에 있어서, 상기 파워전극부(20)의 일면에서 상기 접지전극부(10)의 챔버(11)의 일면까지의 간격은 0.1~5㎜ 인 것을 특징으로 하는 의료용 대면적 마이크로웨이브 플라즈마 발생기.
- 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항의 플라즈마 발생기를 복수개 병렬 설치하여 구성된 것을 특징으로 하는 의료기기.
- 제9항에 있어서, 상기 의료기기가 치의학에 적용될 경우 상기 복수개의 플라즈마 발생기의 개방된 끝단부들은 인체의 구강 구조와 대응하도록 곡선형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 의료기기.
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