WO2013023787A1 - Détermination de la position de sous-ouvertures sur un échantillon lors de mesures de surface sur l'échantillon - Google Patents

Détermination de la position de sous-ouvertures sur un échantillon lors de mesures de surface sur l'échantillon Download PDF

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Abstract

Selon la présente invention, la détermination de la position de sous-ouvertures sur un échantillon comporte les étapes suivantes : a) création d'un jeu de données à partir d'une mesure de sous-ouverture de l'échantillon (1) à l'aide d'un dispositif de mesure (2), b) calcul des coordonnées d'au moins une position de l'échantillon (1) ou de l'interféromètre (2) dans un premier système de coordonnées au moins bidimensionnel, et de préférence tridimensionnel, c)élargissement du jeu de données obtenu à l'étape a) par les coordonnées obtenues à l'étape b). Si on utilise un échantillon avec une surface présentant des premiers et seconds repères (3) ou un interféromètre (2) avec une surface présentant des premiers et seconds repères (3), on a en outre une étape a) de saisie d'au moins une première image bidimensionnelle à partir d'un premier champ de prise de vues qui couvre les premiers et seconds repères (3). Le calcul à l'étape b) se fait à partir des positions des premiers et seconds repères (3) sur les premières images par triangulation. La détermination de position sert avantageusement à effectuer un procédé d'assemblage. La présente invention concerne également un dispositif adapté pour la détermination de position.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107525656A (zh) * 2017-09-15 2017-12-29 上海汽车集团股份有限公司 发光体在车窗玻璃的成像点定位方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014005281B4 (de) * 2014-04-09 2016-07-14 Rodenstock Gmbh Bestimmung der Position zumindest eines Brillenglases im Raum
CN113048878B (zh) * 2019-12-27 2023-08-29 苏州因确匹电子科技有限公司 光学定位系统、方法以及多视图三维重建系统、方法

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4594003A (en) 1983-07-20 1986-06-10 Zygo Corporation Interferometric wavefront measurement
US5805289A (en) * 1997-07-07 1998-09-08 General Electric Company Portable measurement system using image and point measurement devices
EP0895096A2 (fr) * 1997-07-31 1999-02-03 The Boeing Company Système portable numériseur à laser pour grands objets
WO2001018734A1 (fr) * 1999-09-07 2001-03-15 Nextec Ltd. Procede d'etalonnage de mesure de forme
WO2001077613A1 (fr) * 2000-04-06 2001-10-18 Bae Systems Plc Systeme et methode de mesure
EP1324006A1 (fr) * 2001-12-18 2003-07-02 QED Technologies, Inc. Adaption simultanée et auto-étalonnée des ouvertures partielles pour mesurer la forme d'une surface ( interferomètre )
WO2005108020A1 (fr) * 2004-05-04 2005-11-17 Kuka Roboter Gmbh Dispositif de mesure optique guide par robot et procede et dispositif auxiliaire pour calibrer ce dispositif de mesure
US6987570B1 (en) * 2001-06-25 2006-01-17 Veeco Instruments Inc. Reference signal for stitching of interferometric profiles
US20060033934A1 (en) * 2004-08-13 2006-02-16 Evans Christopher J Method and apparatus for interferometric measurement of components with large aspect ratios
WO2007023042A1 (fr) 2005-08-26 2007-03-01 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Procede pour mesurer une propriete optique d'une piece a examiner, par interferometrie, et dispositif servant a la mise en oeuvre de ce procede
US20090310869A1 (en) * 2008-06-11 2009-12-17 Sirona Dental Systems Gmbh System, apparatus, method, and computer program product for determining spatial characteristics of an object using a camera and a search pattern
WO2011023784A2 (fr) * 2009-08-26 2011-03-03 Degudent Gmbh Procédé et agencement permettant de déterminer un ensemble de données globales d'un organe masticateur à mesurer

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004061338B4 (de) * 2004-12-20 2011-12-29 Steinbichler Optotechnik Gmbh Automatische Bauteilprüfung

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4594003A (en) 1983-07-20 1986-06-10 Zygo Corporation Interferometric wavefront measurement
US5805289A (en) * 1997-07-07 1998-09-08 General Electric Company Portable measurement system using image and point measurement devices
EP0895096A2 (fr) * 1997-07-31 1999-02-03 The Boeing Company Système portable numériseur à laser pour grands objets
WO2001018734A1 (fr) * 1999-09-07 2001-03-15 Nextec Ltd. Procede d'etalonnage de mesure de forme
WO2001077613A1 (fr) * 2000-04-06 2001-10-18 Bae Systems Plc Systeme et methode de mesure
US6987570B1 (en) * 2001-06-25 2006-01-17 Veeco Instruments Inc. Reference signal for stitching of interferometric profiles
EP1324006A1 (fr) * 2001-12-18 2003-07-02 QED Technologies, Inc. Adaption simultanée et auto-étalonnée des ouvertures partielles pour mesurer la forme d'une surface ( interferomètre )
WO2005108020A1 (fr) * 2004-05-04 2005-11-17 Kuka Roboter Gmbh Dispositif de mesure optique guide par robot et procede et dispositif auxiliaire pour calibrer ce dispositif de mesure
US20060033934A1 (en) * 2004-08-13 2006-02-16 Evans Christopher J Method and apparatus for interferometric measurement of components with large aspect ratios
WO2007023042A1 (fr) 2005-08-26 2007-03-01 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Procede pour mesurer une propriete optique d'une piece a examiner, par interferometrie, et dispositif servant a la mise en oeuvre de ce procede
US20090310869A1 (en) * 2008-06-11 2009-12-17 Sirona Dental Systems Gmbh System, apparatus, method, and computer program product for determining spatial characteristics of an object using a camera and a search pattern
WO2011023784A2 (fr) * 2009-08-26 2011-03-03 Degudent Gmbh Procédé et agencement permettant de déterminer un ensemble de données globales d'un organe masticateur à mesurer

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"Untersuchung eines linearen direkten Verfahrens zur Kamerakalibration", VISION AND VOICE MAGAZINE, vol. 6, no. 1, 1992, pages 31 - 36

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107525656A (zh) * 2017-09-15 2017-12-29 上海汽车集团股份有限公司 发光体在车窗玻璃的成像点定位方法
CN107525656B (zh) * 2017-09-15 2019-07-26 上海汽车集团股份有限公司 发光体在车窗玻璃的成像点定位方法

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