WO2012133225A1 - Electro copper plating additive and electro copper plating bath - Google Patents

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WO2012133225A1
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内田 廣記
啓規 杉浦
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上村工業株式会社
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    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
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    • C25D3/02Electroplating: Baths therefor from solutions
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Abstract

Provided is an electro copper plating additive which forms a uniform plating film from low current density parts to high current density parts, imparting a lustrous shine, and which is not depleted when the bath is not in use. Also provided is an electro copper plating bath containing the additive. The present invention involves adding an electric copper plating additive comprising a block polymer compound represented by general formula (1) below to an electro copper plating bath. (In the formula, R represents a straight-chain or branched-chain alkenyl group or alkyl group having 1 to 15 carbon atoms, m is an integer from 1 to 30, and n is an integer from 1 to 40.)

Description

電気銅めっき用添加剤及び電気銅めっき浴Additive for electrolytic copper plating and electrolytic copper plating bath
 本発明は、電気銅めっき用添加剤及び電気銅めっき浴に関し、特に硫酸銅めっき浴の光沢剤として好適な電気銅めっき用添加剤及びその添加剤を含有した電気銅めっき浴に関する。
 本出願は、日本国において2011年3月28日に出願された日本特許出願番号特願2011-070667を基礎として優先権を主張するものであり、これらの出願を参照することにより、本出願に援用される。
The present invention relates to an additive for electrolytic copper plating and an electrolytic copper plating bath, and more particularly to an additive for electrolytic copper plating suitable as a brightener for a copper sulfate plating bath and an electrolytic copper plating bath containing the additive.
This application claims priority on the basis of Japanese Patent Application No. 2011-070667 filed on Mar. 28, 2011 in Japan. By referring to these applications, the present application Incorporated.
 従来、電気銅めっき浴に光沢剤を添加して光沢のある銅めっき被膜を与えることが行われている。その光沢剤としては、例えば有機チオ化合物、酸素含有高分子有機化合物等が知られている(例えば、特許文献1又は2参照。)。有機チオ化合物としては、NaOSCS-SCSONaなどのジスルファイド系化合物が汎用され、また酸素含有高分子有機化合物としては、オキシアルキレンポリマー、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコールなどが使用されている。 Conventionally, a bright copper plating film is provided by adding a brightening agent to an electrolytic copper plating bath. As the brightener, for example, an organic thio compound, an oxygen-containing polymer organic compound, and the like are known (see, for example, Patent Document 1 or 2). As organic thio compounds, disulfide compounds such as NaO 3 SC 3 H 6 S—SC 3 H 6 SO 3 Na are widely used, and as oxygen-containing polymer organic compounds, oxyalkylene polymers, polyethylene glycol, polypropylene glycol, etc. Is used.
 また、上記化合物以外の光沢剤として、下記一般式
 H-(EO)a-(PO)m-(EO)b-H
で示される、ポリプロピレングリコールにエチレンオキサイドを付加したポリマーが使用されている。なお、上記式中において、EOはオキシエチレン基を表し、POはオキシプロピレン基を表し、n=a+bとする。
Further, as brighteners other than the above compounds, the following general formula H- (EO) a- (PO) m- (EO) b-H
A polymer obtained by adding ethylene oxide to polypropylene glycol is used. In the above formula, EO represents an oxyethylene group, PO represents an oxypropylene group, and n = a + b.
 しかしながら、これら従来使用されてきた光沢剤は、銅めっき被膜の低電流密度部における光沢性やつきまわり性が十分ではなく、粗雑な被膜を形成させていた。その原因として、例えば上記一般式で示されるポリマーでは、その分子構造において、疎水基の(PO)mが両側の(EO)nに挟まれているため、疎水基としての効果が弱められているためと考えられる。その結果、このポリマーからなる化合物を電気銅めっき浴の光沢剤として用いた場合には、低電流密度部や高電流密度部において電流分布が乱れ、均一な電着を阻害し、微細なピットやくもりを発生させるなど、不良めっきが生じることとなっていた。 However, these conventionally used brighteners are not sufficient in glossiness and throwing power in the low current density part of the copper plating film, and form a rough film. As a cause thereof, for example, in the polymer represented by the above general formula, in the molecular structure, (PO) m of the hydrophobic group is sandwiched between (EO) n on both sides, so that the effect as the hydrophobic group is weakened. This is probably because of this. As a result, when this polymer compound is used as a brightening agent for an electrolytic copper plating bath, the current distribution is disturbed in the low current density part and the high current density part, and uniform electrodeposition is hindered. Defective plating would occur, such as clouding.
 また、電気銅めっき用の光沢剤としては、管理し易く、不使用時においても消耗しないことが望まれている。 Also, as a brightener for electrolytic copper plating, it is desired to be easy to manage and not to be consumed even when not in use.
特開2005-194608号公報JP 2005-194608 A 特開2008-297221号公報JP 2008-297221 A
 そこで、本発明は、上述のような従来の実情に鑑みてなされたものであり、低電流密度部から高電流密度部まで均一なめっき被膜を形成させて良好な光沢性を付与し、また不使用時においても消耗しない電気銅めっき用添加剤及びその添加剤を含有した電気銅めっき浴を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made in view of the above-described conventional situation, and a uniform plating film is formed from a low current density portion to a high current density portion to give a good gloss, and is not good. An object of the present invention is to provide an additive for electrolytic copper plating that does not wear even during use, and an electrolytic copper plating bath containing the additive.
 本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討を重ねた結果、疎水基の効果を高めたブロックポリマー化合物を添加剤として用いることによって、低電流密度部から高電流密度部まで均一なめっき被膜を形成させて良好な光沢性を付与できることを見出し、本発明を完成させるに至った。 As a result of intensive studies in order to solve the above problems, the present inventors have used a block polymer compound having an enhanced effect of a hydrophobic group as an additive, so that a uniform from a low current density part to a high current density part can be obtained. It has been found that a good gloss can be imparted by forming a plating film, and the present invention has been completed.
 すなわち、本発明に係る電気銅めっき用添加剤は、下記一般式(1)で示されるブロックポリマー化合物からなる。 That is, the additive for electrolytic copper plating according to the present invention comprises a block polymer compound represented by the following general formula (1).
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
(但し、式中、Rは直鎖又は分岐鎖の炭素数1~15のアルキル基又はアルケニル基を表し、mは1~30、nは1~40の整数である。)
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
(Wherein, R represents a linear or branched alkyl group or alkenyl group having 1 to 15 carbon atoms, m is an integer of 1 to 30, and n is an integer of 1 to 40.)
 また、本発明に係る電気銅めっき浴は、上記一般式(1)で示されるブロックポリマー化合物からなる添加剤を含有する。 Further, the electrolytic copper plating bath according to the present invention contains an additive composed of a block polymer compound represented by the general formula (1).
 本発明によれば、低電流密度部から高電流密度部まで均一なめっき被膜を形成させて良好な光沢性を付与することができ、また不使用時においても消耗せず安定的に良好なめっき被膜を形成させることができる。 According to the present invention, a uniform plating film can be formed from a low current density part to a high current density part to give a good gloss, and stable and good plating without being consumed even when not in use. A film can be formed.
 以下、本実施の形態に係る電気銅めっき用添加剤及びその添加剤を含有した電気銅めっき浴について詳細に説明する。 Hereinafter, the electrolytic copper plating additive and the electrolytic copper plating bath containing the additive according to the present embodiment will be described in detail.
 本実施の形態に係る電気銅めっき用添加剤は、下記一般式(1)で示されるブロックポリマー化合物からなるものである。 The additive for electrolytic copper plating according to the present embodiment is composed of a block polymer compound represented by the following general formula (1).
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
 ここで、一般式(1)中、Rは直鎖又は分岐鎖の炭素数1~15のアルキル基又はアルケニル基を表し、mは1~30、nは1~40の整数である。 Here, in the general formula (1), R represents a linear or branched alkyl group or alkenyl group having 1 to 15 carbon atoms, m is an integer of 1 to 30, and n is an integer of 1 to 40.
 直鎖又は分岐鎖の炭素数1~15のアルキル基又はアルケニル基であるRとしては、例えば、メチル基、エチル基、n-プロピル基、アリル基、n-ブチル基、n-ペンチル基、n-ヘキシル基、1-メチルヘキシル基、2-エチルヘキシル基、n-ヘプチル基、n-オクチル基、n-ノニル基、n-デシル基、n-ウンデシル基、n-ドデシル基、n-トリデシル基、n-テトラデシル基、n-ペンタデシル基などを挙げることができる。 Examples of R which is a linear or branched alkyl group or alkenyl group having 1 to 15 carbon atoms include, for example, methyl group, ethyl group, n-propyl group, allyl group, n-butyl group, n-pentyl group, n -Hexyl group, 1-methylhexyl group, 2-ethylhexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, n-nonyl group, n-decyl group, n-undecyl group, n-dodecyl group, n-tridecyl group, Examples thereof include an n-tetradecyl group and an n-pentadecyl group.
 また、一般式(1)中のm及びnは、上述したRの種類に応じて適宜設定することができる。具体的には、Rの炭素数が増加するにつれ疎水性が高まることから、そのRの種類に応じてm及びnのモル比を調整することによって、めっき浴への適度な溶解性を備えるようにすることができる。また、m及びnは、好ましくは上記一般式(1)で示されるブロックポリマーの分子量が500~2000となるように設定することができる。 Further, m and n in the general formula (1) can be appropriately set according to the type of R described above. Specifically, since the hydrophobicity increases as the carbon number of R increases, by adjusting the molar ratio of m and n according to the type of R, it is possible to have appropriate solubility in the plating bath. Can be. Further, m and n can be preferably set so that the molecular weight of the block polymer represented by the general formula (1) is 500 to 2,000.
 上記一般式(1)に示されるように、この添加剤は、オキシプロピレン基側の末端がアルキル基又はアルケニル基でキャップされた構造となっている。このように、オキシプロピレン基の末端をアルキル基又はアルケニル基でキャップすることによって、オキシプロピレン基の疎水基としての効果を高めることができる。 As shown in the general formula (1), this additive has a structure in which the terminal on the oxypropylene group side is capped with an alkyl group or an alkenyl group. Thus, by capping the terminal of the oxypropylene group with an alkyl group or an alkenyl group, the effect of the oxypropylene group as a hydrophobic group can be enhanced.
 そしてさらに、上記一般式(1)に示す添加剤は、オキシプロピレン基(PO)とオキシエチレン基(EO)の順番が一定であり、常にR-O-(PO)m-(EO)n-Hの構造からなるブロックポリマーである。これにより、上述のように末端がアルキル基又はアルケニル基でキャップされたオキシプロピレン基((PO)m)により、上記一般式(1)において、「R-O-(PO)m」の部分がまとめて疎水基として作用し、高い疎水性を有するようになる。 Further, in the additive represented by the general formula (1), the order of the oxypropylene group (PO) and the oxyethylene group (EO) is constant, and R—O— (PO) m— (EO) n— It is a block polymer having a structure of H. As a result, the oxypropylene group ((PO) m) whose end is capped with an alkyl group or an alkenyl group as described above allows the portion of “RO— (PO) m” in the general formula (1) to be Collectively, it acts as a hydrophobic group and has high hydrophobicity.
 このことから予測される作用としては、一般に化合物の疎水基は、水中から界面に押し出されるため、水溶液に被めっき物が浸漬されると、被めっき物のめっき面が界面となり、高い疎水性を有する添加剤はめっき面に濃縮され、添加剤の効果が高まる。その結果、低電流密度部から高電流密度部までの全体にわたって添加剤の効果が発揮されるため、均一なめっき被膜を形成させて良好な光沢性を付与できるものと考えられる。 As expected from this, the hydrophobic group of the compound is generally pushed out of the water to the interface, so when the object to be plated is immersed in an aqueous solution, the plating surface of the object becomes the interface, and the hydrophobicity is high. The additive having is concentrated on the plating surface, and the effect of the additive is enhanced. As a result, since the effect of the additive is exhibited throughout the low current density portion to the high current density portion, it is considered that a uniform plating film can be formed and good glossiness can be imparted.
 さらに、このようなブロックポリマーであることにより、他方の末端のオキシエチレン基により適度な溶解性を備えるようにすることができ、電気銅めっき浴中に良好にポリマー化合物が溶解し、まためっき浴中において安定的に維持させることができ、電解処理の不使用時において経時的に消耗していくことを抑制できる。 Furthermore, by being such a block polymer, it can be made to have appropriate solubility by the oxyethylene group at the other end, and the polymer compound dissolves well in the electrolytic copper plating bath, and the plating bath It can be stably maintained inside, and can be prevented from being consumed with time when the electrolytic treatment is not used.
 上記一般式(1)で示されるブロックポリマー化合物は、例えば以下の方法により製造することができる。すなわち、窒素ガスなどの不活性ガス雰囲気下において、先ず、炭素数1~15のアルキルアルコール又はアルケニルアルコールにプロピレンオキサイドを付加反応させる。プロピレンオキサイドの付加反応の終了後、次に、エチレンオキサイドを加えてエチレンオキサイドの付加反応を行うことによって得ることができる。 The block polymer compound represented by the general formula (1) can be produced, for example, by the following method. That is, in an inert gas atmosphere such as nitrogen gas, first, propylene oxide is added to an alkyl alcohol or alkenyl alcohol having 1 to 15 carbon atoms. After completion of the addition reaction of propylene oxide, it can be obtained by adding ethylene oxide and carrying out addition reaction of ethylene oxide.
 このように、ブロックポリマー化合物は、炭素数1~15のアルキルアルコール又はアルケニルアルコールにプロピレンオキサイドを付加反応させた後に、エチレンオキサイドを加えて付加反応させて合成することによって、アルキル基又はアルケニル基でキャップされた(PO)mに(EO)nが付加された一定の構造からなるブロック体とすることができる。 As described above, the block polymer compound is synthesized by performing addition reaction of propylene oxide to alkyl alcohol or alkenyl alcohol having 1 to 15 carbon atoms and then adding addition reaction of ethylene oxide to form an alkyl group or alkenyl group. A block body having a certain structure in which (EO) n is added to capped (PO) m can be obtained.
 ブロックポリマー化合物の製造方法における反応温度としては、特に限定されないが、90~160℃とすることが好ましい。反応温度を90℃以上とすることにより、適度な反応速度を得ることができ効率的にプロピレンオキサイド及びエチレンオキサイドの付加反応を生じさせることができる。また、反応温度を160℃以下とすることにより、副反応物などの生成を抑制し、生成させるブロックポリマー化合物の収率を高めることができる。なお、アルキルアルコールにプロピレンオキサイドを付加反応させた後にエチレンオキサイドを付加させるに際し、上述の90~160℃でプロピレンオキサイドを付加反応させた後、一度冷却させてから、同様の温度条件でエチレンオキサイドの付加反応を行うことが好ましい。 The reaction temperature in the production method of the block polymer compound is not particularly limited, but is preferably 90 to 160 ° C. By setting the reaction temperature to 90 ° C. or higher, an appropriate reaction rate can be obtained and an addition reaction of propylene oxide and ethylene oxide can be efficiently generated. Moreover, the production | generation of a side reaction product etc. can be suppressed by making reaction temperature 160 degrees C or less, and the yield of the block polymer compound to produce | generate can be raised. In addition, when adding ethylene oxide after the addition reaction of propylene oxide to alkyl alcohol, after the addition reaction of propylene oxide at the above-mentioned 90 to 160 ° C., after cooling once, the ethylene oxide is subjected to the same temperature conditions. It is preferable to perform an addition reaction.
 また、反応時間としては、特に限定されず反応温度によっても異なるが、プロピレンオキサイド及びエチレンオキサイドのそれぞれの付加反応において、15時間以内であることが好ましい。15時間以内とすることにより、副反応物などの生成を抑制し、生成させるブロックポリマー化合物の収率を高めることができる。 Further, the reaction time is not particularly limited, but varies depending on the reaction temperature, but is preferably within 15 hours in each addition reaction of propylene oxide and ethylene oxide. By making it within 15 hours, production of by-products and the like can be suppressed, and the yield of the block polymer compound to be produced can be increased.
 また、付加反応に際しては、加圧下で行うことが好ましく、付加反応開始時の圧力としては2~5kg/cmとすることが好ましい。 The addition reaction is preferably carried out under pressure, and the pressure at the start of the addition reaction is preferably 2 to 5 kg / cm 2 .
 上記一般式(1)で示されるブロックポリマー化合物を電気銅めっきの添加剤として使用する場合、そのときの添加濃度としては0.05~1.0g/Lとすることが好ましい。添加濃度を0.05g/L以上とすることによって、十分な光沢性を有するめっき被膜を形成させることができる。また、添加濃度を1.0g/L以下とすることによって、有効に使用可能な電流密度範囲が狭まることを防止して、低電流密度部から高電流密度部まで均一に良好なめっき被膜を形成させることができる。 When the block polymer compound represented by the general formula (1) is used as an additive for electrolytic copper plating, the additive concentration at that time is preferably 0.05 to 1.0 g / L. By setting the additive concentration to 0.05 g / L or more, a plating film having sufficient gloss can be formed. In addition, by making the additive concentration 1.0 g / L or less, the effective current density range is prevented from narrowing, and a uniform plating film is formed uniformly from the low current density part to the high current density part. Can be made.
 次に、上述した一般式(1)で示されるブロックポリマー化合物からなる添加剤が添加される電気銅めっき浴、及びその電気銅めっき浴を用いためっき処理について説明する。電気銅めっき浴としては、特に限定されないが、特に硫酸銅めっき浴とすることが好ましい。このように、硫酸銅めっき浴に上述したブロックポリマー化合物を添加させることによって、幅広い電流密度範囲において、均一に、優れた光沢性を有する銅めっき被膜を形成させることができ、装飾用めっき処理に用いるめっき浴として好適に用いることができる。 Next, an electrolytic copper plating bath to which an additive composed of the block polymer compound represented by the general formula (1) described above is added, and a plating process using the electrolytic copper plating bath will be described. The electrolytic copper plating bath is not particularly limited, but is particularly preferably a copper sulfate plating bath. Thus, by adding the block polymer compound described above to the copper sulfate plating bath, a copper plating film having excellent gloss can be uniformly formed in a wide current density range, and can be used for decorative plating treatment. It can use suitably as a plating bath to be used.
 具体的に、硫酸銅めっき浴の組成としては、例えば硫酸銅(CuSO・5HO)50~250g/L、濃硫酸50~250g/Lを基本組成とするめっき浴とすることができる。なお、硫酸銅めっき浴には、通常微量(10~200mg/L程度)の塩化物イオンを含有させる。具体的には、例えばNaCl等の水溶性塩化物を添加することにより含有させることができる。 Specifically, the composition of the copper sulfate plating bath is, for example, a plating bath having a basic composition of 50 to 250 g / L of copper sulfate (Cu 2 SO 4 · 5H 2 O) and 50 to 250 g / L of concentrated sulfuric acid. it can. The copper sulfate plating bath usually contains a trace amount (about 10 to 200 mg / L) of chloride ions. Specifically, for example, it can be contained by adding a water-soluble chloride such as NaCl.
 なお、上述した電気銅めっき浴には、さらに既知の添加剤を添加させることによって光沢性や平滑性をより向上させるようにしてもよい。具体的には、例えば有機チオ化合物や有機酸アミド類、酸素含有高分子有機化合物などを添加することができる。 In addition, glossiness and smoothness may be further improved by adding a known additive to the above-described electrolytic copper plating bath. Specifically, for example, organic thio compounds, organic acid amides, oxygen-containing polymer organic compounds, and the like can be added.
 上述した電気銅めっき浴を用いためっき処理条件として、pHは1以下とする。また、めっき温度としては20~50℃の範囲とし、陰極電流密度としては0.1~8A/dmとすることが好ましい。また、陽極としては、銅板、不溶性陽極を用いることができる。さらに、より均一な光沢性を有するめっき被膜を形成させるため、空気攪拌、カソードロッキング等の攪拌を十分に行うことが好ましい。 As a plating treatment condition using the above-described electrolytic copper plating bath, the pH is set to 1 or less. The plating temperature is preferably in the range of 20 to 50 ° C., and the cathode current density is preferably 0.1 to 8 A / dm 2 . Moreover, a copper plate and an insoluble anode can be used as the anode. Furthermore, in order to form a plating film having more uniform gloss, it is preferable to sufficiently perform stirring such as air stirring and cathode locking.
 また、上述しためっき処理が施される被めっき処理物としては、特に制限されないが、例えばプラスチックなどの被めっき処理物に対して装飾めっきを施すことを目的として、上述した添加剤を添加した電気銅めっき浴を好適に用いることができる。なお、その他、スルホールを有するプリント配線基板や電気・電子部品などを対象としてめっき処理を施してもよい。このように、上述した添加剤を添加した電気銅めっき浴は、装飾的な用途から機能的な目的まで、幅広く適用することができる。 In addition, the object to be plated to be subjected to the above-described plating treatment is not particularly limited, but for example, an electric to which the above-mentioned additives are added for the purpose of performing decorative plating on the object to be plated such as plastic. A copper plating bath can be suitably used. In addition, a plating process may be applied to a printed wiring board having a through hole or an electric / electronic component. Thus, the electrolytic copper plating bath to which the above-mentioned additive is added can be widely applied from a decorative use to a functional purpose.
 以下、本発明の具体的な実施例について説明する。なお、下記のいずれかの実施例に本発明が限定されるものではない。 Hereinafter, specific examples of the present invention will be described. Note that the present invention is not limited to any of the following examples.
 下記に説明する各実施例では、表1に示すブロックポリマー(R-O-(PO)m-(EO)n-H)を合成し、そのブロックポリマー化合物を添加剤として添加した銅めっき浴を用いてめっき処理を行い、析出形成されためっき被膜を評価した。なお、銅めっき浴には、空気を吹き込んで十分攪拌し、特に陰極の近傍が攪拌されるように空気を被めっき物に当たるようにした。 In each example described below, a copper plating bath in which a block polymer (RO— (PO) m— (EO) n—H) shown in Table 1 was synthesized and the block polymer compound was added as an additive was prepared. Using this, plating treatment was performed, and the plating film formed by precipitation was evaluated. Note that air was blown into the copper plating bath and sufficiently stirred, and air was applied to the object to be plated so that the vicinity of the cathode was particularly stirred.
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
 <実施例1>
 (ブロックポリマーの合成)
 気密反応容器に、n-プロパノール600g(10モル)と水酸化カリウム5.6g(0.1モル)を採り、窒素ガス雰囲気下でプロピレンオキサイド870g(15モル)を90~130℃、2~5kg/cmの加圧下で付加反応させた。プロピレンオキサイドの付加反応終了後、反応容器を冷却し、次にエチレンオキサイド660g(15モル)を加えて、同様の条件で付加反応させた。
<Example 1>
(Synthesis of block polymer)
In an airtight reaction vessel, 600 g (10 mol) of n-propanol and 5.6 g (0.1 mol) of potassium hydroxide are taken, and 870 g (15 mol) of propylene oxide is added at 90 to 130 ° C. and 2 to 5 kg in a nitrogen gas atmosphere. The addition reaction was carried out under a pressure of / cm 2 . After completion of the addition reaction of propylene oxide, the reaction vessel was cooled, and then 660 g (15 mol) of ethylene oxide was added to carry out the addition reaction under the same conditions.
 次に、反応容器に、合成吸着材(キョーワード600、協和化学工業株式会社製)を50g添加し、70℃で30分攪拌処理後にろ過して、ポリオキシエチレン(15)ポリオキシプロピレン(15)プロピルエーテル2070gを得た。 Next, 50 g of a synthetic adsorbent (KYOWARD 600, manufactured by Kyowa Chemical Industry Co., Ltd.) is added to the reaction vessel, followed by stirring at 70 ° C. for 30 minutes, followed by filtration to obtain polyoxyethylene (15) polyoxypropylene (15 ) 2070 g of propyl ether was obtained.
 (めっき処理及びめっき被膜評価)
 下記組成
 硫酸銅(CuSO・5HO) 200g/L
 濃硫酸              50g/L
 NaCl            115mg/L
からなる硫酸銅めっき液に、添加剤として、ビス-(ω-スルホプロピル)-ジスルフィド2ナトリウム塩10mg/L、ジエチルサフラニンのジアゾ化処理物50mg/L、及び上述のようにして合成したポリオキシエチレン(15)ポリオキシプロピレン(15)プロピルエーテル0.2g/Lを加えためっき浴を用い、総電流2A、時間10分でハルセル試験器を用いてめっき処理を行った。なお、pH<1、温度25℃、陰極電流密度0.15~4A/dmのめっき処理条件とした。
(Plating treatment and plating film evaluation)
Following composition Copper sulfate (Cu 2 SO 4 · 5H 2 O) 200g / L
Concentrated sulfuric acid 50g / L
NaCl 115mg / L
A copper sulfate plating solution comprising bis- (ω-sulfopropyl) -disulfide disodium salt 10 mg / L, diethylsafranine diazotized product 50 mg / L, and polyoxy synthesized as described above Using a plating bath to which 0.2 g / L of ethylene (15) polyoxypropylene (15) propyl ether was added, plating treatment was performed using a Hull Cell tester at a total current of 2 A and time of 10 minutes. The plating conditions were pH <1, temperature 25 ° C., cathode current density 0.15 to 4 A / dm 2 .
 その結果、低電流密度部から高電流密度部まで良好な光沢を有する析出物を均一に形成させることができた。 As a result, precipitates having good gloss from the low current density part to the high current density part could be uniformly formed.
 また、上述したハルセル試験器に銅板を入れたまま一晩放置した後、同様にしてめっき処理を行った場合でも、最初のめっき処理と同様に良好な光沢を有する析出物を均一に形成させることができた。このことから、添加剤は、不使用時においてもめっき浴中で消耗することなく安定的に維持されることがわかった。 In addition, even if the plating process is performed after leaving the copper plate in the above-described Hull Cell tester overnight, the precipitate having a good gloss should be uniformly formed as in the first plating process. I was able to. From this, it was found that the additive was stably maintained without being consumed in the plating bath even when not in use.
 <実施例2>
 (ブロックポリマーの合成)
 気密反応容器に、アリルアルコール(2-プロペン-1-オール)580g(10モル)と水酸化カリウム5.6g(0.1モル)を採り、窒素ガス雰囲気下でプロピレンオキサイド870g(15モル)を90~130℃、2~5kg/cmの加圧下で付加反応させた。プロピレンオキサイドの付加反応終了後、反応容器を冷却し、次にエチレンオキサイド660g(15モル)を加えて、同様の条件で付加反応させた。
<Example 2>
(Synthesis of block polymer)
In an airtight reaction vessel, 580 g (10 mol) of allyl alcohol (2-propen-1-ol) and 5.6 g (0.1 mol) of potassium hydroxide are taken, and 870 g (15 mol) of propylene oxide is added in a nitrogen gas atmosphere. The addition reaction was performed at 90 to 130 ° C. under a pressure of 2 to 5 kg / cm 2 . After completion of the addition reaction of propylene oxide, the reaction vessel was cooled, and then 660 g (15 mol) of ethylene oxide was added to carry out the addition reaction under the same conditions.
 次に、反応容器に、合成吸着材(キョーワード600、協和化学工業株式会社製)を50g添加し、70℃で30分攪拌処理後にろ過して、ポリオキシエチレン(15)ポリオキシプロピレン(15)アリルエーテル2050gを得た。 Next, 50 g of a synthetic adsorbent (KYOWARD 600, manufactured by Kyowa Chemical Industry Co., Ltd.) is added to the reaction vessel, followed by stirring at 70 ° C. for 30 minutes, followed by filtration to obtain polyoxyethylene (15) polyoxypropylene (15 ) 2050 g of allyl ether was obtained.
 (めっき処理及びめっき被膜評価)
 実施例2では、添加剤として、ビス-(ω-スルホプロピル)-ジスルフィド2ナトリウム塩10mg/L、ジエチルサフラニンのジアゾ化処理物50mg/L、及び上述のようにして合成したポリオキシエチレン(15)ポリオキシプロピレン(15)アリルエーテル0.2g/Lを加えた硫酸銅めっき浴を用いたこと以外は、実施例1と同様にしてハルセル試験器を用いてめっき処理を行った。
(Plating treatment and plating film evaluation)
In Example 2, as additives, bis- (ω-sulfopropyl) -disulfide disodium salt 10 mg / L, diazotized product of diethyl safranin 50 mg / L, and polyoxyethylene (15 ) Plating was performed using a Hull cell tester in the same manner as in Example 1 except that a copper sulfate plating bath to which 0.2 g / L of polyoxypropylene (15) allyl ether was added was used.
 その結果、低電流密度部から高電流密度部まで良好な光沢を有する析出物を均一に形成させることができた。また、上述したハルセル試験器に銅板を入れたまま一晩放置した後、同様にしてめっき処理を行った場合でも、最初のめっき処理と同様に良好な光沢を有する析出物を均一に形成させることができた。 As a result, precipitates having good gloss from the low current density part to the high current density part could be uniformly formed. In addition, even if the plating process is performed after leaving the copper plate in the above-described Hull Cell tester overnight, the precipitate having a good gloss should be uniformly formed as in the first plating process. I was able to.
 <実施例3>
 (ブロックポリマーの合成)
 気密反応容器に、n-ブタノール740g(10モル)と水酸化カリウム5.6g(0.1モル)を採り、窒素ガス雰囲気下でプロピレンオキサイド580g(10モル)を90~130℃、2~5kg/cmの加圧下で付加反応させた。プロピレンオキサイドの付加反応終了後、反応容器を冷却し、次にエチレンオキサイド660g(15モル)を加えて、同様の条件で付加反応させた。
<Example 3>
(Synthesis of block polymer)
In an airtight reaction vessel, 740 g (10 mol) of n-butanol and 5.6 g (0.1 mol) of potassium hydroxide are taken, and 580 g (10 mol) of propylene oxide is added at 90 to 130 ° C. and 2 to 5 kg in a nitrogen gas atmosphere. The addition reaction was carried out under a pressure of / cm 2 . After completion of the addition reaction of propylene oxide, the reaction vessel was cooled, and then 660 g (15 mol) of ethylene oxide was added to carry out the addition reaction under the same conditions.
 次に、反応容器に、合成吸着材(キョーワード600、協和化学工業株式会社製)を50g添加し、70℃で30分攪拌処理後にろ過して、ポリオキシエチレン(15)ポリオキシプロピレン(10)ブチルエーテル1920gを得た。 Next, 50 g of a synthetic adsorbent (KYOWARD 600, manufactured by Kyowa Chemical Industry Co., Ltd.) is added to the reaction vessel, followed by stirring at 70 ° C. for 30 minutes, followed by filtration to obtain polyoxyethylene (15) polyoxypropylene (10 ) 1920 g of butyl ether was obtained.
 (めっき処理及びめっき被膜評価)
 実施例3では、添加剤として、ビス-(ω-スルホプロピル)-ジスルフィド2ナトリウム塩10mg/L、ジエチルサフラニンのジアゾ化処理物50mg/L、及び上述のようにして合成した、ポリオキシエチレン(15)ポリオキシプロピレン(10)ブチルエーテル0.2g/Lを加えた硫酸銅めっき浴を用いたこと以外は、実施例1と同様にしてハルセル試験器を用いてめっき処理を行った。
(Plating treatment and plating film evaluation)
In Example 3, as additives, bis- (ω-sulfopropyl) -disulfide disodium salt 10 mg / L, diazotized product of diethyl safranin 50 mg / L, and polyoxyethylene ( 15) Plating was performed using a Hull cell tester in the same manner as in Example 1 except that a copper sulfate plating bath to which 0.2 g / L of polyoxypropylene (10) butyl ether was added was used.
 その結果、低電流密度部から高電流密度部まで良好な光沢を有する析出物を均一に形成させることができた。また、上述したハルセル試験器に銅板を入れたまま一晩放置した後、同様にしてめっき処理を行った場合でも、最初のめっき処理と同様に良好な光沢を有する析出物を均一に形成させることができた。 As a result, precipitates having good gloss from the low current density part to the high current density part could be uniformly formed. In addition, even if the plating process is performed after leaving the copper plate in the above-described Hull Cell tester overnight, the precipitate having a good gloss should be uniformly formed as in the first plating process. I was able to.
 <実施例4>
 (ブロックポリマーの合成)
 気密反応容器に、n-ヘキサノール1020g(10モル)と水酸化カリウム5.6g(0.1モル)を採り、窒素ガス雰囲気下でプロピレンオキサイド290g(5モル)を90~130℃、2~5kg/cmの加圧下で付加反応させた。プロピレンオキサイドの付加反応終了後、反応容器を冷却し、次にエチレンオキサイド880g(20モル)を加えて、同様の条件で付加反応させた。
<Example 4>
(Synthesis of block polymer)
In an airtight reaction vessel, 1020 g (10 mol) of n-hexanol and 5.6 g (0.1 mol) of potassium hydroxide are taken, and 290 g (5 mol) of propylene oxide is 90 to 130 ° C. and 2 to 5 kg in a nitrogen gas atmosphere. The addition reaction was carried out under a pressure of / cm 2 . After completion of the addition reaction of propylene oxide, the reaction vessel was cooled, and then 880 g (20 mol) of ethylene oxide was added to cause addition reaction under the same conditions.
 次に、反応容器に、合成吸着材(キョーワード600、協和化学工業株式会社製)を50g添加し、70℃で30分攪拌処理後にろ過して、ポリオキシエチレン(20)ポリオキシプロピレン(5)ヘキシルエーテル2130gを得た。 Next, 50 g of a synthetic adsorbent (KYOWARD 600, manufactured by Kyowa Chemical Industry Co., Ltd.) is added to the reaction vessel, followed by stirring at 70 ° C. for 30 minutes, followed by filtration to obtain polyoxyethylene (20) polyoxypropylene (5 ) 2130 g of hexyl ether was obtained.
 (めっき処理及びめっき被膜評価)
 実施例4では、添加剤として、ビス-(ω-スルホプロピル)-ジスルフィド2ナトリウム塩10mg/L、ジエチルサフラニンのジアゾ化処理物50mg/L、及び上述のようにして合成した、ポリオキシエチレン(20)ポリオキシプロピレン(5)ヘキシルエーテル0.2g/Lを加えた硫酸銅めっき浴を用いたこと以外は、実施例1と同様にしてハルセル試験器を用いてめっき処理を行った。
(Plating treatment and plating film evaluation)
In Example 4, as additives, bis- (ω-sulfopropyl) -disulfide disodium salt 10 mg / L, diazotized product of diethyl safranin 50 mg / L, and polyoxyethylene (as described above) ( 20) Plating was performed using a Hull cell tester in the same manner as in Example 1 except that a copper sulfate plating bath added with 0.2 g / L of polyoxypropylene (5) hexyl ether was used.
 その結果、低電流密度部から高電流密度部まで良好な光沢を有する析出物を均一に形成させることができた。また、上述したハルセル試験器に銅板を入れたまま一晩放置した後、同様にしてめっき処理を行った場合でも、最初のめっき処理と同様に良好な光沢を有する析出物を均一に形成させることができた。 As a result, precipitates having good gloss from the low current density part to the high current density part could be uniformly formed. In addition, even if the plating process is performed after leaving the copper plate in the above-described Hull Cell tester overnight, the precipitate having a good gloss should be uniformly formed as in the first plating process. I was able to.
 <実施例5>
 (ブロックポリマーの合成)
 気密反応容器に、2-エチルヘキサノール1300g(10モル)と水酸化カリウム5.6g(0.1モル)を採り、窒素ガス雰囲気下でプロピレンオキサイド174g(3モル)を90~130℃、2~5kg/cmの加圧下で付加反応させた。プロピレンオキサイドの付加反応終了後、反応容器を冷却し、次にエチレンオキサイド1100g(25モル)を加えて、同様の条件で付加反応させた。
<Example 5>
(Synthesis of block polymer)
In an airtight reaction vessel, 1300 g (10 mol) of 2-ethylhexanol and 5.6 g (0.1 mol) of potassium hydroxide are taken, and 174 g (3 mol) of propylene oxide is added at 90 to 130 ° C. under a nitrogen gas atmosphere. The addition reaction was carried out under a pressure of 5 kg / cm 2 . After completion of the addition reaction of propylene oxide, the reaction vessel was cooled, and then 1100 g (25 mol) of ethylene oxide was added to cause addition reaction under the same conditions.
 次に、反応容器に、合成吸着材(キョーワード600、協和化学工業株式会社製)を50g添加し、70℃で30分攪拌処理後にろ過して、ポリオキシエチレン(25)ポリオキシプロピレン(3)2-エチルヘキシルエーテル2500gを得た。 Next, 50 g of a synthetic adsorbent (KYOWARD 600, manufactured by Kyowa Chemical Industry Co., Ltd.) is added to the reaction vessel, followed by stirring at 70 ° C. for 30 minutes, followed by filtration to obtain polyoxyethylene (25) polyoxypropylene (3 ) 2500 g of 2-ethylhexyl ether was obtained.
 (めっき処理及びめっき被膜評価)
 実施例5では、添加剤として、ビス-(ω-スルホプロピル)-ジスルフィド2ナトリウム塩10mg/L、ジエチルサフラニンのジアゾ化処理物50mg/L、及び上述のようにして合成した、ポリオキシエチレン(25)ポリオキシプロピレン(3)2-エチルヘキシルエーテル0.2g/Lを加えた硫酸銅めっき浴を用いたこと以外は、実施例1と同様にしてハルセル試験器を用いてめっき処理を行った。
(Plating treatment and plating film evaluation)
In Example 5, as additives, bis- (ω-sulfopropyl) -disulfide disodium salt 10 mg / L, diazotized product of diethyl safranin 50 mg / L, and polyoxyethylene (as described above) ( 25) Plating was performed using a Hull cell tester in the same manner as in Example 1 except that a copper sulfate plating bath to which 0.2 g / L of polyoxypropylene (3) 2-ethylhexyl ether was added was used.
 その結果、低電流密度部から高電流密度部まで良好な光沢を有する析出物を均一に形成させることができた。また、上述したハルセル試験器に銅板を入れたまま一晩放置した後、同様にしてめっき処理を行った場合でも、最初のめっき処理と同様に良好な光沢を有する析出物を均一に形成させることができた。 As a result, precipitates having good gloss from the low current density part to the high current density part could be uniformly formed. In addition, even if the plating process is performed after leaving the copper plate in the above-described Hull Cell tester overnight, the precipitate having a good gloss should be uniformly formed as in the first plating process. I was able to.
 <実施例6>
 (ブロックポリマーの合成)
 気密反応容器に、1-ドデカノール1860g(10モル)と水酸化カリウム5.6g(0.1モル)を採り、窒素ガス雰囲気下でプロピレンオキサイド116g(2モル)を90~130℃、2~5kg/cmの加圧下で付加反応させた。プロピレンオキサイドの付加反応終了後、反応容器を冷却し、次にエチレンオキサイド1320g(30モル)を加えて、同様の条件で付加反応させた。
<Example 6>
(Synthesis of block polymer)
In an airtight reaction vessel, 1860 g (10 mol) of 1-dodecanol and 5.6 g (0.1 mol) of potassium hydroxide are taken, and 116 g (2 mol) of propylene oxide is added at 90 to 130 ° C. and 2 to 5 kg in a nitrogen gas atmosphere. The addition reaction was carried out under a pressure of / cm 2 . After completion of the addition reaction of propylene oxide, the reaction vessel was cooled, and then 1320 g (30 mol) of ethylene oxide was added to carry out the addition reaction under the same conditions.
 次に、反応容器に、合成吸着材(キョーワード600、協和化学工業株式会社製)を50g添加し、70℃で30分攪拌処理後にろ過して、ポリオキシエチレン(30)ポリオキシプロピレン(2)ドデシルエーテル3200gを得た。 Next, 50 g of a synthetic adsorbent (KYOWARD 600, manufactured by Kyowa Chemical Industry Co., Ltd.) is added to the reaction vessel, followed by stirring at 70 ° C. for 30 minutes, followed by filtration to obtain polyoxyethylene (30) polyoxypropylene (2 ) 3200 g of dodecyl ether was obtained.
 (めっき処理及びめっき被膜評価)
 実施例6では、添加剤として、ビス-(ω-スルホプロピル)-ジスルフィド2ナトリウム塩10mg/L、ジエチルサフラニンのジアゾ化処理物50mg/L、及び上述のようにして合成した、ポリオキシエチレン(30)ポリオキシプロピレン(2)ドデシルエーテル0.2g/Lを加えた硫酸銅めっき浴を用いたこと以外は、実施例1と同様にしてハルセル試験器を用いてめっき処理を行った。
(Plating treatment and plating film evaluation)
In Example 6, as additives, bis- (ω-sulfopropyl) -disulfide disodium salt 10 mg / L, diazotized product of diethyl safranine 50 mg / L, and polyoxyethylene ( 30) Plating was performed using a Hull cell tester in the same manner as in Example 1 except that a copper sulfate plating bath to which 0.2 g / L of polyoxypropylene (2) dodecyl ether was added was used.
 その結果、低電流密度部から高電流密度部まで良好な光沢を有する析出物を均一に形成させることができた。また、上述したハルセル試験器に銅板を入れたまま一晩放置した後、同様にしてめっき処理を行った場合でも、最初のめっき処理と同様に良好な光沢を有する析出物を均一に形成させることができた。 As a result, precipitates having good gloss from the low current density part to the high current density part could be uniformly formed. In addition, even if the plating process is performed after leaving the copper plate in the above-described Hull Cell tester overnight, the precipitate having a good gloss should be uniformly formed as in the first plating process. I was able to.
 <比較例1>
 (めっき処理及びめっき被膜評価)
 比較例1では、添加剤として、ビス-(ω-スルホプロピル)-ジスルフィド2ナトリウム塩10mg/L、ジエチルサフラニンのジアゾ化処理物50mg/L、及びポリエチレングリコール0.2g/Lを加えた硫酸銅めっき浴を用いたこと以外は、実施例1と同様にしてハルセル試験器を用いてめっき処理を行い、析出形成されためっき被膜の評価を行った。なお、この比較例1並びに下記比較例2及び3においても、銅めっき浴には空気を吹き込んで十分に攪拌を行った。
<Comparative Example 1>
(Plating treatment and plating film evaluation)
In Comparative Example 1, copper sulfate to which bis- (ω-sulfopropyl) -disulfide disodium salt 10 mg / L, diazotized product of diethyl safranin 50 mg / L, and polyethylene glycol 0.2 g / L were added as additives. Except for using a plating bath, the plating treatment was performed using a Hull cell tester in the same manner as in Example 1 to evaluate the deposited plating film. In Comparative Example 1 and Comparative Examples 2 and 3 below, air was blown into the copper plating bath and sufficiently stirred.
 その結果、析出物は良好な光沢を有するものであったが、微細なピットや白くもりが生じてしまい、低電流密度部から高電流密度部まで均一な析出物は形成されず、不良な外観のめっき被膜であった。 As a result, the precipitate had a good gloss, but fine pits and white cloudiness occurred, and a uniform precipitate was not formed from the low current density portion to the high current density portion, resulting in a poor appearance. It was a plating film.
 <比較例2>
 (めっき処理及びめっき被膜評価)
 比較例2では、添加剤として、ビス-(ω-スルホプロピル)-ジスルフィド2ナトリウム塩10mg/L、ジエチルサフラニンのジアゾ化処理物50mg/L、及びポリプロピレングリコール0.2g/Lを加えた硫酸銅めっき浴を用いたこと以外は、実施例1と同様にしてハルセル試験器を用いてめっき処理を行い、析出形成されためっき被膜の評価を行った。
<Comparative Example 2>
(Plating treatment and plating film evaluation)
In Comparative Example 2, copper sulfate to which bis- (ω-sulfopropyl) -disulfide disodium salt 10 mg / L, diazotized product of diethyl safranin 50 mg / L, and polypropylene glycol 0.2 g / L were added as additives. Except that a plating bath was used, the plating treatment was performed using a Hull cell tester in the same manner as in Example 1 to evaluate the deposited plating film.
 その結果、析出物は良好な光沢を有するものであったが、微細なピットや白くもりが生じてしまい、低電流密度部から高電流密度部まで均一な析出物は形成されず、不良な外観のめっき被膜であった。 As a result, the precipitate had a good gloss, but fine pits and white cloudiness occurred, and a uniform precipitate was not formed from the low current density portion to the high current density portion, resulting in a poor appearance. It was a plating film.
 <比較例3>
 (めっき処理及びめっき被膜評価)
 比較例3では、添加剤として、ビス-(ω-スルホプロピル)-ジスルフィド2ナトリウム塩10mg/L、ジエチルサフラニンのジアゾ化処理物50mg/L、及び、ポリプロピレングリコールにエチレンオキサイドを付加して得られたブロックポリマー(H-(EO)a-(PO)m-(EO)b-H、m=17、n=a+b=9)0.2g/Lを加えた硫酸銅めっき浴を用いたこと以外は、実施例1と同様にしてハルセル試験器を用いてめっき処理を行い、析出形成されためっき被膜の評価を行った。
<Comparative Example 3>
(Plating treatment and plating film evaluation)
In Comparative Example 3, the additive was obtained by adding ethylene oxide to bis- (ω-sulfopropyl) -disulfide disodium salt 10 mg / L, diazotized product of diethyl safranin 50 mg / L, and polypropylene glycol. Other than using a copper sulfate plating bath to which 0.2 g / L of a block polymer (H- (EO) a- (PO) m- (EO) b-H, m = 17, n = a + b = 9) was added In the same manner as in Example 1, plating treatment was performed using a Hull cell tester, and the deposited plating film was evaluated.
 その結果、析出物は良好な光沢を有するものであったが、微細なピットや白くもりが生じてしまい、低電流密度部から高電流密度部まで均一な析出物は形成されず、不良な外観のめっき被膜であった。 As a result, the precipitate had a good gloss, but fine pits and white cloudiness occurred, and a uniform precipitate was not formed from the low current density portion to the high current density portion, resulting in a poor appearance. It was a plating film.
 <比較例4>
 (めっき処理及びめっき被膜評価)
 比較例4では、添加剤として、ビス-(ω-スルホプロピル)-ジスルフィド2ナトリウム塩10mg/L、ジエチルサフラニンのジアゾ化処理物50mg/L、及び、n-ブタノールにエチレンオキサイドとプロピレンオキサイドとを同時に付加して得られたランダムポリマー0.2g/Lを加えた硫酸銅めっき浴を用いたこと以外は、実施例1と同様にしてハルセル試験器を用いてめっき処理を行い、析出形成されためっき被膜の評価を行った。
<Comparative example 4>
(Plating treatment and plating film evaluation)
In Comparative Example 4, bis- (ω-sulfopropyl) -disulfide disodium salt 10 mg / L, diethylsafranine diazotized product 50 mg / L, and ethylene oxide and propylene oxide in n-butanol were used as additives. Except for using a copper sulfate plating bath to which 0.2 g / L of a random polymer obtained by addition at the same time was used, plating was performed using a Hull cell tester in the same manner as in Example 1 to form a precipitate. The plating film was evaluated.
 その結果、析出物は良好な光沢を有するものであったが、ステップ状に変化して析出する段地めっきとなり、低電流密度部ではめっきは析出されず、不良な外観のめっき被膜であった。 As a result, although the deposit had a good gloss, it became a stepped plating that changed into a step shape and deposited, and the plating was not deposited at the low current density portion, and the plating film had a poor appearance. .

Claims (3)

  1.  下記一般式(1)で示されるブロックポリマー化合物からなる電気銅めっき用添加剤。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
    (但し、式中、Rは直鎖又は分岐鎖の炭素数1~15のアルキル基又はアルケニル基を表し、mは1~30、nは1~40の整数である。)
    The additive for electrolytic copper plating which consists of a block polymer compound shown by following General formula (1).
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
    (Wherein, R represents a linear or branched alkyl group or alkenyl group having 1 to 15 carbon atoms, m is an integer of 1 to 30, and n is an integer of 1 to 40.)
  2.  上記ブロックポリマー化合物は、不活性ガス雰囲気下、炭素数1~15のアルキルアルコール又はアルケニルアルコールにプロピレンオキサイドを付加反応させた後、エチレンオキサイドを加えて付加反応させて得られることを特徴とする請求項1記載の電気銅めっき用添加剤。 The block polymer compound is obtained by subjecting an addition reaction of propylene oxide to an alkyl alcohol or alkenyl alcohol having 1 to 15 carbon atoms in an inert gas atmosphere, followed by addition reaction of ethylene oxide. Item 4. The additive for electrolytic copper plating according to Item 1.
  3.  上記請求項1記載の電気銅めっき用添加剤を含有した電気銅めっき浴。 An electrolytic copper plating bath containing the additive for electrolytic copper plating according to claim 1.
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