WO2011141237A1 - Sensorteil für einen infrarot-sensor sowie verfahren zu dessen herstellung - Google Patents

Sensorteil für einen infrarot-sensor sowie verfahren zu dessen herstellung Download PDF

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sensor
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Gerhard Röhner
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Carl Freudenberg KG
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Definitions

  • the invention relates to a sensor part comprising an IR-sensitive detector, at least one reference source emitting IR radiation and an IR-sensitive reference detector.
  • the invention further relates to an IR sensor according to claim 12 and a method according to claim 13 for the production of the sensor part.
  • MID Molded Interconnect Devices
  • three-dimensional electronic components can be produced, for example by hot stamping, laser structuring, using masks or back-injected foils.
  • sensor parts for IR detectors can not be reliably produced in large numbers due to the small dimensions (a few millimeters for the sensor part in total, for the detectors or reference sources, if necessary, less than 1 millimeter).
  • the carrier on the first side of which the detector, which has at least one reference source and the reference detector, wherein the carrier comprises a sectionally bent blank made of a flexible material, in particular a section-wise bent blank of a flexible printed circuit board, can be described as provide substantially flat, two-dimensional blank, wherein in the further implementation of the method by bending or bending portions of the body of the carrier, the three-dimensional sensor part is formed.
  • the detector, the reference detector and the at least one reference source are mounted on a common, first side, are present in large numbers and already have the electrical connections between the detector, the reference detector and the at least one reference source or connect to a downstream electronics.
  • the detector, the reference detector and the at least one reference source can be fixed by gluing and electrically connected by means of bonding.
  • the body of the carrier comprises a main section extending in the direction of the incident radiation and a detector section, wherein the detector is arranged on the detector section, and wherein the detector section of the main section at a second bending edge at an angle, in particular essentially at right angles, protrudes.
  • the detector section is turned off from the main section of the body of the carrier by bending, whereby the second bending edge is formed.
  • the body of the carrier comprises a main portion extending in the direction of the incident radiation and a reference portion, wherein the reference portion is disposed on a cantilever arm, wherein the cantilever arm is connected to the main portion, and wherein the reference portion at a first bending edge of the cantilever arm at an angle, in particular substantially at right angles, protrudes.
  • the reference section is turned off by bending to form the first bending edge of the cantilever arm, wherein the curved cantilever ensures that the bent around the second bending edge detector portion is arranged in the direction of the incident beam spaced from the reference portion ,
  • the detector section and the reference section are formed as substantially parallel, offset in the direction of the incident beam and along the extension of the main portion of the body of the carrier portions of a three-dimensional sensor part, previously as a two-dimensional flat blank on which already the detector, the reference detector and the at least one reference source were attached, was formed. It is preferably provided that the reference section has a niksegmentformige outline contour.
  • the niksegmentformige outline contour ensures that the reference section and the finished sensor part can be received in a sleeve that is part of the IR sensor.
  • a radius of the circular segment of the outline contour is selected with regard to the bending radius of the cantilever arm curved to form a ring segment such that the reference section is accommodated within the cantilever arm.
  • the cantilever arm is bent in the manner of a ring segment.
  • the bent cantilever arm limits the sensor part laterally and abuts, for example, under a prestress on an inner wall of a sleeve, in which the sensor part is arranged as a whole.
  • the cantilever arm is formed substantially L-shaped, wherein at one end of the short arm, the reference portion is arranged, and wherein at one end of the long arm of the main portion is arranged.
  • the L-shaped configuration of the cantilever arm ensures that the reference portion is offset from the detector portion after forming the first bending edge and bending the long portion of the cantilever arm to the ring segment substantially parallel and in the direction of the incident beam.
  • the sensor part encompasses a mirror element, wherein the mirror element is arranged opposite the reference detector and the at least one reference source on a second side of the carrier opposite the first side of the carrier.
  • the mirror element it is preferably provided that the mirror element is arranged on a side of the detector section opposite the detector.
  • the mirror element it is particularly preferred that the mirror element is formed by a section of the material of the carrier, in particular by an exposed metallic section of a flexible circuit board comprising a metallic layer. It is preferably provided that the main portion has a crowning transversely to its extension.
  • the cambered main portion of the body of the carrier stiffens the sensor part and may, for example, abut against the sleeve in which the sensor part is received in order to form the IR sensor.
  • the main section comprises a widened section.
  • Further electronic elements may be provided on this widened portion, in particular the flat blank of the carrier may be provided with the electronic elements prior to the formation of the bending edges or the curvature of the cantilever arm or before the crowning of the main portion.
  • the widened portion also contributes to stiffen the sensor part mechanically so far that the further processing of the sensor part to the sensor, the handling is simplified.
  • the invention further relates to a method with which the sensor part according to claim 1 can be produced, for example, with the steps of providing a substantially flat section of a flexible material, in particular a flat section of a flex circuit board, as a carrier,
  • FIG. 1 is a perspective side view of the embodiment of FIG. 1, showing a plan view of the embodiment of FIGS. 1 and 2, and showing a plan view of one embodiment of a sensor part according to the invention Intermediate, which results in the implementation of the method according to the invention in the production of the embodiment shown in Fig. 1 to Fig. 3.
  • Fig. 1 shows a sensor part for an infrared sensor, not shown, wherein the body of the sensor part an IR-sensitive detector 1, a plurality of IR radiation emitting reference sources, of which only one is shown and by the reference numeral, 2 'is provided and an IR-sensitive reference detector 3, which has a distance from the detector 1 in the direction of the incident IR radiation (arrow 4).
  • the reference source 2 is arranged laterally from the reference detector 3.
  • the Sensor part further comprises a carrier 5, wherein on a surface of the first side 6 of the detector 1, the reference source 2 and the reference detector 3 are arranged.
  • the carrier 5 comprises a sectionally bent blank of a flexible material, namely a bent section of a flex circuit board.
  • the body of the carrier 5 comprises a main section 7 extending in the direction of the incident radiation (arrow 4) and a detector section 8, the detector 1 being arranged on the detector section 8, and the detector section 8 being separated from the main section 7 at a second bending edge 9 at an angle, namely substantially at right angles, protrudes.
  • the body of the carrier 5 comprises, in addition to the main portion 7 extending in the direction of the incident radiation (arrow 4), a reference portion 10, the reference portion 10 being disposed at one end of a cantilever arm 11, the cantilever arm 11 being connected to the main portion 7 is, and wherein the reference portion 10 at a first bending edge 12 of the cantilever arm 1 1 at an angle, namely substantially at right angles, protrudes.
  • the reference section 10 has a substantially circular segment-shaped outline contour, wherein the circular segment covers an angle of about 300 °.
  • the circle segment of the outline contour is interrupted by a straight section 13, which faces a second side 14 of the main section 7 of the body of the carrier 5 and forms a narrow gap with the second side 14.
  • the radius of the circle segment of the reference section is about 4 millimeters.
  • the cantilever arm 1 which connects the main part 7 with the reference part 10, is bent in a ring segment shape, wherein an angle of slightly less than approximately 90 ° is swept over (FIG. 3).
  • the cantilever arm 1 1 is substantially L-shaped, wherein at a nem end of the short arm 15 of the cantilever arm 1 1 of the reference portion 10 is arranged, and wherein at one end of a long arm 16 of the main portion 7 is arranged.
  • the length of the short arm 15 of the cantilever arm 1 1 is dimensioned so that the first bending edge 12 is formed completely within the short arm 15, in particular, the first bending edge 12 extends completely in the short arm 15. This ensures that in the bending of the material in which the first bending edge 12 is formed, the long arm 16 of the cantilever arm 1 1 is not distorted, in particular not twisted.
  • the sensor part further comprises a mirror element, which is arranged opposite the reference detector 3 and the reference source 2 on a second side 14 of the carrier 5 opposite the first side 6 of the carrier 5.
  • the arrangement of the mirror element can be seen in FIG. 2 and provided with a reference numeral 17 '.
  • the mirror element is indicated in the illustration of Fig. 2 as above the surface of the second side 14, it should be noted, however, that the mirror element formed by a portion of the material of the carrier, namely by an exposed metallic portion of the flexure plate comprising a metallic layer is, that is formed as a depression in the second side 14 in the region of the detector section 8.
  • the flex circuit board comprises several metallic layers and a cover made of a transparent insulator.
  • FIG. 2 further shows that the mirror element 17 is arranged on a side of the detector section 8 opposite the detector 1.
  • FIG. 1 further shows that the main portion 7 comprises a widened portion 18.
  • the extension of the main section increases perpendicularly to its longitudinal extension, in particular the width of the main section doubles.
  • the widened Section 18 has an approximately trapezoidal outline and extends to both sides of the main section 7. Electronic elements are arranged on the widened section 18, which do not find sufficient space on the detector section 8 or the reference section 10, for example.
  • Fig. 1 further shows that the main portion 7 has a crowning transversely to its extension (arrow 4).
  • the radius of curvature of the crowning is based on the circle radius of the circle segment of the outline contour of the reference section 10 chosen so that the reference portion 10 is within the circle contour described by the crown, as the plan view in the direction of the incident radiation (arrow 4) in Fig. 3 shows.
  • the crowning of the main portion 7 merges into the widened portions 18 on both sides of the main portion 7, as the side view of Fig. 2 shows.
  • the crowning extends from one end 19 of the main section 7 (FIG. 2) over approximately two thirds of the longitudinal extension of the main section 7 to the point at which the extension arm 1 1 leaves the main section at an angle.
  • the main portion 7 extends substantially flat, without bending.
  • the carrier 5 described above has a body bent at three sections, namely in the region of the first bending edge 12, in the region of the second bending edge 9 and in the region of the curved long arm 16 of the extension arm 11.
  • the crowning described above is provided only as an option, in particular it can be provided that the main portion 7 is formed flat along its entire extent.
  • the detector 1, the reference detector 3 and the at least one reference source 2 are each designed as small-sized electronic components, in particular special as so-called Dies, formed.
  • the detector 1 is fixed by means of an electrically conductive adhesive to the surface of the detector section 8, wherein an electrically conductive connection is formed.
  • the detector 1 is further connected by means of a bonding process with the electrical lines in the flex circuit board. The same applies to the reference detector
  • the flex circuit board in this case has a thickness of about 300 microns, so that it is easily bendable and in particular in the region of the two bending edges 9, 12 by approximately 90 ° and an essentially linear bending edge 9, 12 forms, transverse to the extension of the short arm 15 of the extension arm 1 1 or transverse to the extension of the main portion 7 of the support 5 extends.
  • the detector section 8 has two covering arms, one of which is provided with the reference numeral '20'.
  • the detector section 8 thus has a substantially Y-shaped peripheral contour, wherein the detector 1 is arranged at the point where the two cover arms 20 meet.
  • FIG. 3 which is a plan view in the direction of the incident beam (arrow
  • the two covering arms 20 of the detector section 8 partially cover the reference sources 2 arranged on the reference section 10, as is indicated for the reference source 2.
  • the mutual arrangement of the cover arms 20 and the reference sources 2 on both sides of the reference detector 3 is made such that the infrared radiation radiated from the reference sources 2 is reflected at the side of the detector section facing the reference section 10.
  • sensor part is part of an infrared sensor, not shown in the further.
  • the sensor part is accommodated in a sleeve which is filled with a gel permeable to IR radiation, for example based on silicone, so that the mutual position of the detector 1, the reference detector 3 and the reference sources 2 no longer changes.
  • the gel continues to displace oxygen and water vapor from inside the sleeve.
  • the IR sensor further includes image lines, not shown electrical lines for electrical connection of the IR sensor.
  • the IR sensor includes an IR-transmissive cover, specifically a sapphire plate, which terminates the sheath toward one end side.
  • the sensor part described above was produced as follows:
  • a substantially flat section of a flexible material namely a flat section of the flexi terplatte, provided as a carrier 5.
  • This flat portion already had the main section 7, the cantilever arm 1 1, the detector section 8 and the reference section 10.
  • the electrical contacts for the detector 1, the reference detector 3 and the reference source 2 were already provided.
  • the IR-sensitive detector 1 on a first portion of the body of the carrier 5, namely on a detector section 8 of the body of the carrier (5), and the at least one reference source 2 and the IR-sensitive reference detector 3 on a second portion of the body of the carrier 5, namely on the reference carrier 10, wherein the second portion or the reference carrier 10 is connected via a cantilever arm 1 1 with a main portion 7 of the body of the carrier 5.
  • the order in which the detector 1, the reference detector 3 and the reference source 2 are attached, is insignificant.
  • the attachment of the detector 1 is carried out by applying an electrically conductive adhesive, wherein the detector 1 is subsequently connected to the electrical line on the flex circuit board by bonding.
  • the reference detector 3 and the at least one reference source 2 are electrically connected.
  • the resulting intermediate product, in which the support 5 is flat, is shown in FIG.
  • the first bending edge 12 was formed, with which the second portion, namely the reference portion 10, is substantially turned off by the cantilever arm 1 1, in the representation of FIG. 4, the reference portion 10 in the paper plane in this case gene, so that in the region of the short arm 15 of the extension arm 1 1, the first bending edge 12 formed as a linear edge.
  • the long arm 16 was curved in the shape of a segment of a segment into the plane of the paper, so that the ring segment described approximately a quarter circle.
  • a second bending edge 9 was formed, with which the first section, namely the detector section 8, was removed from the remaining body of the carrier 5, in particular with which the detector section 8 was turned off the main section 7 , To form the second bending edge 9, the detector section 8 was bent into the plane of the paper by approximately 90 °, so that the substantially linear second bending edge 9 was formed at one end of the main section 7.
  • the order in which the third, fourth and fifth method steps are carried out can be changed.
  • the formation of the second bending edge 9, the first bending edge 12 and the curving of the cantilever arm 1 1, in particular the curving of the long arm 16 of the cantilever arm 1 1 is carried out in such a way that in the direction of incidence of the radiation (arrow 4) the detector 1 of the parked portion 10 with the reference sensor 3 and the at least one reference source 2 has a distance, namely such that in a viewing direction in the direction of incidence of the beam (arrow 4, Fig. 1) of the detector section 8, in particular its cover arms 20, the reference section 10th partially covered, wherein the cover arms 20 partially covers only the at least one reference source 2, but not the reference detector 3. Further, the reference portion 10 is aligned substantially parallel to the detector section 8.
  • the sensor part produced in this way can optionally also be given a crowning, for example in the area of the main part 7 of the body of the carrier 5.
  • a mirror element may be provided, for example the mirror element 17 described above on the second side 14 of the carrier 5, in the region of the detector section 8, the detector 1 arranged on the first side 6 can be provided opposite one another, wherein the mirror element 17 is formed by an exposed metallic portion of the flex circuit board. It lends itself here to provide the flex circuit board or the carrier 5 with the mirror element 17 already before the first method step, that is to say already to expose the portion of the flex circuit board forming the mirror element 17. This section is hidden in the illustration of FIG. 4, wherein the mirror element 17 is indicated by a dashed circle.
  • the at least one reference source 2 and the reference detector 3 further electronic components can be attached to the support 5, for example in the region of the widened portions 18, which extend to both Extend the pages of the main section 7.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Sensorteil für einen Infrarot-Sensor, umfassend einen IR-sensitiven Detektor (1), mindestens eine IR-Strahlung ausstrahlende Referenzquelle (2), sowie einen IR-sensitiven Referenzdetektor (3), der in Richtung der einfallenden IR-Strahlung einen Abstand von dem Detektor (1) aufweist, wobei die mindestens eine Referenzquelle (2) seitlich von dem Referenzdetektor (3) angeordnet ist, und einen Träger (5), auf dessen erster Seite (6) der Detektor (1), die mindestens eine Referenzquelle (2) und der Referenzdetektor (3) angeordnet sind, wobei der Träger (5) einen abschnittsweise gebogenen Zuschnitt aus einem biegsamen Material, insbesondere einen abschnittsweise gebogenen Zuschnitt einer Flexleiterplatte, umfasst. Die Erfindung löst dabei die Aufgabe, ein nach einem einfachen Verfahren herstellbares dreidimensionales Sensorteil für einen IR-Sensor anzugeben. Die Erfindung betrifft weiter ein Verfahren zur Herstellung des Sensorteils sowie einen IR-Sensor.

Description

Bezeichnung der Erfindung
Sensorteil für einen Infrarot-Sensor sowie Verfahren zu dessen Herstellung
Beschreibung
Gebiet der Erfindung Die Erfindung betrifft ein Sensorteil, umfassend einen IR-sensitiven Detektor, mindestens eine IR-Strahlung ausstrahlende Referenzquelle, sowie einen IR-sensitiven Referenzdetektor. Die Erfindung betrifft weiter einen IR- Sensor nach Anspruch 12 sowie ein Verfahren nach Anspruch 13 zur Herstellung des Sensorteils.
Aus dem Stand der Technik sind dreidimensional strukturierte Sensorteile für IR-Sensoren bekannt, die beispielsweise auf einem Halbleitersubstrat als Träger für den Detektor, den Referenzdetektor und die Referenzquelle ausgebildet sind. Die Herstellung derartiger Sensorteile ist aufwendig, insbe- sondere im Hinblick auf eine Massenfertigung.
Mittels der MID- (Molded Interconnect Devices)-Technologie lassen sich zwar beispielsweise durch Heissprägen, Laserstrukturierung, unter Einsatz von Masken oder hinterspritzten Folien dreidimensionale elektronische Bauteile fertigen. Sensorteile für IR-Detektoren lassen sich jedoch aufgrund der nur geringen Abmessungen (einige Millimeter für das Sensorteil insgesamt, für die Detektoren bzw. Referenzquellen ggf. weniger als 1 Millimeter) nicht zuverlässig in großen Stückzahlen fertigen. Aufgabe der Erfindung
Es ist die Aufgabe der Erfindung, ein nach einem einfachen Verfahren her- stellbares dreidimensionales Sensorteil für einen IR-Sensor anzugeben.
Zusammenfassung der Erfindung Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein beispielsweise nach dem Verfahren gemäß Anspruch 13 hergestelltes Sensorteil nach Anspruch 1 gelöst.
Der Träger, auf dessen erster Seite der Detektor, die mindestens eine Refe- renzquelle und der Referenzdetektor angeordnet sind, wobei der Träger einen abschnittsweise gebogenen Zuschnitt aus einem biegsamen Material, insbesondere einen abschnittsweise gebogenen Zuschnitt einer Flexlei- terplatte, umfasst, lässt sich als im wesentlichen ebener, zweidimensionaler Zuschnitt bereitstellen, wobei bei der weiteren Durchführung des Verfahrens durch Biegen bzw. Krümmen von Abschnitten des Korpus des Trägers das dreidimensionale Sensorteil ausgebildet wird.
Flexleiterplatten, auf denen der Detektor, der Referenzdetektor sowie die mindestens eine Referenzquelle auf einer gemeinsamen, ersten Seite befes- tigt sind, sind in großer Stückzahl vorhanden und weisen bereits die elektrischen Verbindungen auf, die den Detektor, den Referenzdetektor sowie die mindestens eine Referenzquelle untereinander bzw. mit einer nachgeschalteten Elektronik verbinden können. Auf derartigen Flexleiterplatten lassen sich der Detektor, der Referenzdetektor sowie die mindestens eine Refe- renzquelle mittels Kleben befestigen sowie mittels eines Bondens elektrisch verbinden. Vorzugsweise ist vorgesehen, dass das Korpus des Trägers einen sich in Richtung der einfallenden Strahlung erstreckenden Hauptabschnitt sowie einen Detektorabschnitt umfasst, wobei der Detektor auf dem Detektorabschnitt angeordnet ist, und wobei der Detektorabschnitt von dem Hauptab- schnitt an einer zweiten Biegekante unter einem Winkel, insbesondere im wesentlichen rechtwinklig, absteht. Bei der Durchführung des Verfahrens wird in einem der Verfahrensschritte der Detektorabschnitt von dem Hauptabschnitt des Korpus des Trägers durch ein Biegen abgestellt, wobei sich die zweite Biegekante ausbildet.
Vorzugsweise ist vorgesehen, dass das Korpus des Trägers einen sich in Richtung der einfallenden Strahlung erstreckenden Hauptabschnitt sowie einen Referenzabschnitt umfasst, wobei der Referenzabschnitt an einem Auslegerarm angeordnet ist, wobei der Auslegerarm mit dem Hauptabschnitt verbunden ist, und wobei der Referenzabschnitt an einer ersten Biegekante von dem Auslegerarm unter einem Winkel, insbesondere im wesentlichen rechtwinklig, absteht. Bei der Durchführung des Verfahrens wird dabei in einem der Verfahrensschritte der Referenzabschnitt durch Biegen unter Ausbildung der ersten Biegekante von dem Auslegerarm abgestellt, wobei der gekrümmte Auslegerarm sicherstellt, dass der um die zweite Biegekante gebogene Detektorabschnitt in Richtung des einfallenden Strahls beabstandet von dem Referenzabschnitt angeordnet ist. Der Detektorabschnitt und der Referenzabschnitt sind dabei als im wesentlichen parallele, in Richtung des einfallenden Strahles und entlang der Erstreckung des Hauptabschnittes des Korpus des Trägers versetzte Abschnitte eines dreidimensionalen Sensorteils ausgebildet, das zuvor als zweidimensionaler flacher Zuschnitt, an dem bereits der Detektor, der Referenzdetektor und der mindestens eine Referenzquelle befestigt waren, ausgebildet war. Vorzugsweise ist vorgesehen, dass der Referenzabschnitt eine kreissegmentformige Umrisskontur aufweist. Die kreissegmentformige Umrisskontur stellt sicher, dass der Referenzabschnitt sowie das fertig gestellte Sensorteil in einer Hülse aufgenommen werden kann, die Bestandteil des IR-Sensors ist. Ein Radius des Kreissegmentes der Umrisskontor ist hinsichtlich des Biegeradius des zu einem Ringsegment gekrümmten Auslegerarms so gewählt, dass der Referenzabschnitt innerhalb des Auslegerarms aufgenom- men ist.
Vorzugsweise ist vorgesehen, dass der Auslegerarm ringsegmentförmig gebogen ist. Der gebogene Auslegerarm begrenzt das Sensorteil seitlich und liegt beispielsweise unter einer Vorspannung an einer Innenwand einer Hülse an, in der das Sensorteil insgesamt angeordnet ist.
Vorzugsweise ist vorgesehen, dass der Auslegerarm im wesentlichen L- förmig ausgebildet ist, wobei an einem Ende des kurzen Arms der Referenzabschnitt angeordnet ist, und wobei an einem Ende des langen Arms der Hauptabschnitt angeordnet ist. Die L-förmige Ausbildung des Auslegerarms stellt sicher, dass der Referenzabschnitt nach dem Ausbilden der ersten Biegekante sowie dem Biegen des langen Abschnittes des Auslegerarms zu dem Ringsegment im wesentlichen parallel und in Richtung des einfallenden Strahles versetzt zu dem Detektorabschnitt angeordnet ist.
Vorzugsweise ist vorgesehen, dass das Sensorteil ein Spiegelelement um- fasst, wobei das Spiegelelement auf einer der ersten Seite des Trägers gegenüberliegenden zweiten Seite des Trägers dem Referenzdetektor sowie der mindestens einen Referenzquelle gegenüberliegend angeordnet ist. Hinsichtlich des Spiegelelementes ist vorzugsweise vorgesehen, dass das Spiegelelement auf einer dem Detektor gegenüberliegenden Seite des Detektorabschnittes angeordnet ist. Besonders bevorzugt ist hinsichtlich des Spiegelelementes vorgesehen, dass das Spiegelelement durch einen Abschnitt des Materials des Trägers, insbesondere durch einen freigelegten metallischen Abschnitt einer eine metallische Lage umfassenden Flexlei- terplatte ausgebildet ist. Vorzugsweise ist vorgesehen, dass der Hauptabschnitt eine Bombierung quer zu seiner Erstreckung aufweist. Der bombierte Hauptabschnitt des Korpus des Trägers versteift das Sensorteil und kann beispielsweise an der Hülse anliegen, in der das Sensorteil aufgenommen ist, um den IR-Sensor auszubilden.
Vorzugsweise ist vorgesehen, dass der Hauptabschnitt einen verbreiterten Abschnitt umfasst. Auf diesem verbreiterten Abschnitt können weitere elektronische Elemente vorgesehen sein, insbesondere kann der flache Zuschnitt des Trägers vor dem Ausbilden der Biegekanten bzw. der Krümmung des Auslegerarms oder vor dem Bombieren des Hauptabschnittes mit den elektronischen Elementen versehen sein. Der verbreiterte Abschnitt trägt ebenfalls dazu bei, das Sensorteil mechanisch so weit zu versteifen, dass die weitere Verarbeitung des Sensorteils zu dem Sensor die Handhabbarkeit vereinfacht wird.
Die Erfindung betrifft weiter ein Verfahren, mit dem das Sensorteil nach Anspruch 1 beispielsweise herstellbar ist, mit den Schritten Bereitstellen eines im wesentlichen flachen Abschnittes aus einem biegsamen Material, insbesondere eines flachen Abschnittes einer Flexleiterplatte, als Träger,
Befestigen eines IR-sensitiven Detektor auf einem ersten Abschnitt des Korpus des Trägers, insbesondere auf einem Detektorabschnitt des Korpus des Trägers,
Befestigen mindestens einer IR-Strahlung ausstrahlenden Referenz- quelle sowie eines IR-sensitiven Referenzdetektors auf einem zweiten
Abschnitt des Korpus des Trägers, insbesondere auf einem Referenzträger, wobei der zweite Abschnitt bzw. der Referenzträger über einen Auslegerarm mit einem Hauptabschnitt des Korpus des Trägers verbunden ist,
Ausbilden einer ersten Biegekante, mit der der zweite Abschnitt von dem Auslegerarm abgestellt wird,
Krümmen des Auslegerarms zu einem Ringsegment,
Ausbilden einer zweite Biegekante, mit der der erste Abschnitt von dem verbleibenden Korpus des Trägers abgestellt wird, insbesondere mit der der Detektorabschnitt von dem Hauptabschnitt abgestellt wird, wobei das Ausbilden der ersten Biegekante, der zweiten Biegekante und das Krümmen des Auslegerarms so ausgeführt wird, dass in Ein- fallsrichtung der Strahlung der Detektor von dem abgestellten Abschnitt mit dem Referenzsensor sowie der mindestens einen Referenzquelle einen Abstand aufweist.
Bei diesem Verfahren wird ausgehend von einem flachen, zweidimensiona- len Träger, der noch als flaches Ausgangsprodukt mit dem Detektor, dem Referenzdetektor und der mindestens einen Referenzquelle bestückt wird, wobei die Reihenfolge der Bestückung beliebig ist, dann durch Ausbilden der beiden Biegekanten sowie dem Krümmen des Auslegerarms ein dreidimensionales Endprodukt erzeugt, das als Sensorteil in einen IR-Sensor ein- gebaut werden kann. Auf die genaue Reihenfolge, in der die erste Biegekante oder die zweite Biegekante ausgebildet oder der Auslegerarm zu dem Ringsegment gekrümmt wird, kommt es dabei nicht entscheidend an.
Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den abhän- gigen Ansprüchen sowie aus der Beschreibung eines Ausführungsbeispiels.
Die Erfindung wird im folgenden unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert und beschrieben.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen zeigt eine perspektivische Ansicht eines nach einer beispielhaften Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens hergestellten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Sensorteils, zeigt eine perspektivische Seitenansicht des Ausführungsbeispiels aus Fig. 1 , zeigt eine Draufsicht des Ausführungsbeispiels aus Fig. 1 und 2, und zeigt eine Draufsicht eines Zwischenproduktes, das bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens bei der Herstellung des in Fig. 1 bis Fig. 3 dargestellten Ausführungsbeispiels entsteht.
Detaillierte Beschreibung der Zeichnungen
Fig. 1 zeigt ein Sensorteil für einen nicht weiter dargestellten Infrarot- Sensor, wobei das Korpus des Sensorteils einen IR-sensitiven Detektor 1 , mehrere eine IR-Strahlung ausstrahlende Referenzquellen, von denen nur eine dargestellt ist und mit dem Bezugszeichen ,2' versehenen ist, sowie einen IR-sensitiven Referenzdetektor 3, der in Richtung der einfallenden IR- Strahlung (Pfeil 4) einen Abstand von dem Detektor 1 aufweist, umfasst. Die Referenzquelle 2 ist seitlich von dem Referenzdetektor 3 angeordnet. Das Sensorteil umfasst weiter einen Träger 5, wobei auf einer Fläche der ersten Seite 6 der Detektor 1 , die Referenzquelle 2 und der Referenzdetektor 3 angeordnet sind. Der Träger 5 umfasst einen abschnittsweise gebogenen Zuschnitt aus einem biegsamen Material, nämlich einen gebogenen Zu- schnitt einer Flexleiterplatte.
Das Korpus des Trägers 5 umfasst einen sich in Richtung der einfallenden Strahlung (Pfeil 4) erstreckenden Hauptabschnitt 7 sowie einen Detektorabschnitt 8, wobei der Detektor 1 auf dem Detektorabschnitt 8 angeordnet ist, und wobei der Detektorabschnitt 8 von dem Hauptabschnitt 7 an einer zweiten Biegekante 9 unter einem Winkel, nämlich im wesentlichen rechtwinklig, absteht.
Das Korpus des Trägers 5 umfasst zusätzlich zu dem sich in Richtung der einfallenden Strahlung (Pfeil 4) erstreckenden Hauptabschnitt 7 einen Referenzabschnitt 10, wobei der Referenzabschnitt 10 an einem Ende eines Auslegerarms 1 1 angeordnet ist, wobei der Auslegerarm 1 1 mit dem Hauptabschnitt 7 verbunden ist, und wobei der Referenzabschnitt 10 an einer ersten Biegekante 12 von dem Auslegerarm 1 1 unter einem Winkel, nämlich im wesentlichen rechtwinklig, absteht. Dabei weist der Referenzabschnitt 10 eine im wesentlichen kreissegmentförmige Umrisskontur auf, wobei das Kreissegment einen Winkel von ca. 300° überdeckt. Das Kreissegment der Umrisskontur wird durch einen gerade Abschnitt 13 unterbrochen, der zu einer zweiten Seite 14 des Hauptabschnittes 7 des Korpus des Trägers 5 weist und mit der zweiten Seite 14 einen engen Spalt ausbildet. Der Radius des Kreissegmentes des Referenzabschnittes beträgt ca. 4 Millimeter.
Der Auslegerarm 1 1 , der das Hauptteil 7 mit dem Referenzteil 10 verbindet, ist ringsegmentförmig gebogen, wobei ein Winkel von etwas weniger als ca. 90° überstrichen wird (Fig. 3).
Der Auslegerarm 1 1 ist im wesentlichen L-förmig ausgebildet, wobei an ei- nem Ende des kurzen Arm 15 des Auslegerarms 1 1 der Referenzabschnitt 10 angeordnet ist, und wobei an einem Ende eines langen Arms 16 der Hauptabschnitt 7 angeordnet ist. Die Länge des kurzen Arms 15 des Auslegerarms 1 1 ist so bemessen, dass sich die erste Biegekante 12 vollständig innerhalb des kurzen Arms 15 ausbildet, insbesondere erstreckt sich die erste Biegekante 12 vollständig in dem kurzen Arm 15. Damit ist sichergestellt, dass bei dem Biegen des Materials, bei dem die erste Biegekante 12 ausgebildet wird, der lange Arm 16 des Auslegerarms 1 1 nicht verzerrt, insbesondere nicht verdreht wird.
Das Sensorteil umfasst weiter ein Spiegelelement, das auf einer der ersten Seite 6 des Trägers 5 gegenüberliegenden zweiten Seite 14 des Trägers 5 dem Referenzdetektor 3 sowie der Referenzquelle 2 gegenüberliegend angeordnet ist. Die Anordnung des Spiegelelementes ist in Fig. 2 erkennbar und mit einem Bezugszeichen ,17' versehen. Das Spiegelelement ist in der Darstellung von Fig. 2 als über die Fläche der zweiten Seite 14 vorstehend angedeutet, zu beachten ist jedoch, dass das Spiegelelement durch einen Abschnitt des Materials des Trägers, nämlich durch einen freigelegten metallischen Abschnitt der eine metallische Lage umfassenden Flexleiterplatte ausgebildet ist, also als Vertiefung in der zweiten Seite 14 im Bereich des Detektorabschnittes 8 ausgebildet ist. Die Flexleiterplatte umfasst dabei mehrere metallische Lagen sowie eine Abdeckung aus einem transparenten Isolator. Wird die Isolatorschicht entfernt, wird eine der metallischen Lagen, beispielsweise eine Nickel- oder Gold-Lage der Flexleiterplatte, freigelegt, so dass die freigelegte metallische Lage als Spiegelelement wird. Fig. 2 zeigt weiter, dass das Spiegelelement 17 auf einer dem Detektor 1 gegenüberliegenden Seite des Detektorabschnittes 8 angeordnet ist.
Fig. 1 zeigt weiter, dass der Hauptabschnitt 7 einen verbreiterten Abschnitt 18 umfasst. In diesem verbreiterten Abschnitt vergrößert sich die Erstre- ckung des Hauptabschnittes senkrecht zu dessen Längserstreckung, insbesondere verdoppelt sich die Breite des Hauptabschnittes. Der verbreiterte Abschnitt 18 weist einen annähernd trapezförmigen Umriss auf und erstreckt sich zu beiden Seiten des Hauptabschnittes 7. An dem verbreiterten Abschnitt 18 sind elektronische Elemente angeordnet, die beispielsweise auf dem Detektorabschnitt 8 oder dem Referenzabschnitt 10 keinen ausreichen- den Platz finden.
Fig. 1 zeigt weiter, dass der Hauptabschnitt 7 eine Bombierung quer zu seiner Erstreckung (Pfeil 4) aufweist. Der Krümmungsradius der Bombierung ist bezogen auf den Kreisradius des Kreissegmentes der Umrisskontur des Referenzabschnittes 10 so gewählt, dass der Referenzabschnitt 10 innerhalb der von der Bombierung beschriebenen Kreiskontur liegt, wie die Draufsicht in Blickrichtung der einfallenden Strahlung (Pfeil 4) in Fig. 3 zeigt.
Die Bombierung des Hauptabschnittes 7 geht in die verbreiterten Abschnitte 18 zu beiden Seiten des Hauptabschnittes 7 über, wie die Seitenansicht von Fig. 2 zeigt. Die Bombierung erstreckt sich von einem Ende 19 des Hauptabschnittes 7 (Fig. 2) über ca. zwei Drittel der Längserstreckung des Hauptabschnittes 7 bis zu der Stelle, an der der Auslagerarm 1 1 von dem Hauptabschnitt unter einem Winkel abgeht. Zwischen dem Auslegerarm 1 1 und dem zweiten Ende des Hauptabschnittes 7, an dem die zweite Biegekante 9 angeordnet ist, verläuft der Hauptabschnitt 7 im wesentlichen flach, also ohne Biegung.
Der vorstehend beschriebene Träger 5 weist ein an drei Abschnitten gebo- genes Korpus aus, nämlich im Bereich der ersten Biegekante 12, im Bereich der zweiten Biegekante 9 sowie im Bereich des gekrümmten langen Arms 16 des Auslegerarms 1 1 . Die oben beschriebene Bombierung ist nur optional vorgesehen, insbesondere kann vorgesehen sein, dass der Hauptabschnitt 7 entlang seiner gesamten Erstreckung flach ausgebildet ist.
Der Detektor 1 , der Referenzdetektor 3 sowie die mindestens eine Referenzquelle 2 sind jeweils als kleinbauende elektronische Bauelemente, ins- besondere als sogenannte Dies, ausgebildet. Der Detektor 1 ist mittels eines elektrisch leitenden Klebers an der Fläche des Detektorabschnittes 8 befestigt, wobei eine elektrisch leitende Verbindung ausgebildet ist. Der Detektor 1 ist weiter mittels eines Bondprozesses mit den elektrischen Leitungen in der Flexleiterplatte verbunden. Entsprechendes gilt für den Referenzdetektor
3 sowie die Referenzquellen. Die Flexleiterplatte weist dabei eine Dicke von ca. 300 Mikrometern auf, so dass diese leicht biegbar und insbesondere im Bereich der beiden Biegekanten 9, 12 um ca. 90° abwinkelbar ist und sich einen im wesentlichen linienhafte Biegekante 9, 12 bildet, die quer zu der Erstreckung des kurzen Arms 15 des Auslegerarms 1 1 bzw. quer zu der Erstreckung des Hauptabschnittes 7 des Trägers 5 verläuft.
Der Detektorabschnitt 8 weist zwei Abdeckarme auf, deren einer mit dem Bezugszeichen ,20' versehen ist. Der Detektorabschnitt 8 weist damit eine im wesentlichen Y-förmige Umfangskontur auf, wobei der Detektor 1 an der Stelle angeordnet ist, an dem sich die beiden Abdeckarme 20 treffen. Wie die Fig. 3, die eine Draufsicht in Blickrichtung des einfallenden Strahls (Pfeil
4 in Fig. 1 ) zeigt, erkennen lässt, überdecken die beiden Abdeckarme 20 des Detektorabschnittes 8 die auf dem Referenzabschnitt 10 angeordneten Referenzquellen 2 teilweise, wie dies für die Referenzquelle 2 angedeutet ist. Die gegenseitige Anordnung der Abdeckarme 20 bzw. der Referenzquellen 2 zu beiden Seiten des Referenzdetektors 3 ist so getroffen, dass die von den Referenzquellen 2 abgestrahlte Infrarotstrahlung an der auf den Referenzabschnitt 10 weisenden Seite des Detektorabschnittes reflektiert wird.
Das ist in Fig. 1 bis 3 aus unterschiedlichen Blickrichtungen dargestellte Sensorteil ist Bestandteil eines im weiteren nicht dargestellten Infrarot- Sensors. Insbesondere ist das Sensorteil in einer Hülse aufgenommen, die mit einem für IR-Strahlung durchlässigen Gel auf beispielsweise Silicon- Basis gefüllt ist, so dass sich die gegenseitige Lage des Detektors 1 , des Referenzdetektors 3 und der Referenzquellen 2 nicht mehr ändert. Das Gel verdrängt weiter Sauerstoff und Wasserdampf aus dem Inneren der Hülse. Der IR-Sensor umfasst weiter bildlich nicht dargestellte elektrische Leitungen zur elektrischen Verbindung des IR-Sensors. Weiter umfasst der IR- Sensor eine IR-durchlässige Abdeckung, speziell eine Saphir-Platte, die die Hülle zu einer Endseite hin abschließt.
Das vorstehend beschriebene Sensorteil dabei wie folgt hergestellt worden:
In einem ersten Verfahrensschritt ein im wesentlichen flacher Abschnitt aus einem biegsamen Material, nämlich eines flachen Abschnittes der Flexlei- terplatte, als Träger 5 bereitgestellt. Dieser flache Abschnitt wies bereits den Hauptabschnitt 7, den Auslegerarm 1 1 , den Detektorabschnitt 8 sowie den Referenzabschnitt 10 auf. Auf der Flexleiterplatten waren bereits die elektrischen Kontaktierungen für den Detektor 1 , den Referenzdetektor 3 sowie die Referenzquelle 2 vorgesehen.
In einem zweiten Verfahrensschritt wurden der IR-sensitive Detektor 1 auf einem ersten Abschnitt des Korpus des Trägers 5, nämlich auf einem Detektorabschnitt 8 des Korpus des Trägers (5), und die mindestens eine Refe- renzquelle 2 sowie der IR-sensitive Referenzdetektor 3 auf einem zweiten Abschnitt des Korpus des Trägers 5, nämlich auf dem Referenzträger 10, wobei der zweite Abschnitt bzw. der Referenzträger 10 über einen Auslegerarm 1 1 mit einem Hauptabschnitt 7 des Korpus des Trägers 5 verbunden ist. Die Reihenfolge, mit der der Detektor 1 , der Referenzdetektor 3 bzw. die Referenzquelle 2 befestigt werden, ist unwesentlich. Die Befestigung des Detektors 1 wird durch Aufbringen eines elektrisch leitfähigen Klebers durchgeführt, wobei nachträglich der Detektor 1 mit der elektrischen Leitung auf der Flexleiterplatte durch ein Bonden verbunden wird. Entsprechend werden der Referenzdetektor 3 sowie die mindestens eine Referenzquelle 2 elekt- risch verbunden. Das dabei erhaltene Zwischenprodukt, bei dem der Träger 5 flach ist, ist in Fig. 4 dargestellt. In einem dritten Verfahrensschritt wurde die erste Biegekante 12 ausgebildet, mit der der zweite Abschnitt, nämlich der Referenzabschnitt 10, von dem Auslegerarm 1 1 im wesentlichen abgestellt wird, bei der Darstellung aus Fig. 4 wurde hierzu der Referenzabschnitt 10 in die Papierebene hinein gebo- gen, so dass sich im Bereich des kurzen Arms 15 des Auslegerarms 1 1 die erste Biegekante 12 als linienhafte Kante ausbildete.
Danach wurde, in einem vierten Verfahrensschritt, der lange Arm 16 ring- segmentförmig in die Papierebene hinein gekrümmt, so dass das Ringseg- ment ca. einen Viertelkreis beschrieb.
In einem fünften Verfahrensschritt wurde eine zweite Biegekante 9 ausgebildet, mit der der den Detektor 1 aufnehmende erste Abschnitt, nämlich der Detektorabschnitt 8, von dem verbleibenden Korpus des Trägers 5 abge- stellt wurde, insbesondere mit der der Detektorabschnitt 8 von dem Hauptabschnitt 7 abgestellt wurde. Zum Ausbilden der zweiten Biegekante 9 wurde der Detektorabschnitt 8 in die Papierebene hinein um ca. 90° gebogen, so dass sich die im wesentlichen linienhafte zweite Biegekante 9 an einem Ende des Hauptabschnittes 7 ausbildete.
Bei der Durchführung des Verfahrens versteht es sich hierbei, dass die Reihenfolge abgeändert werden kann, mit der der dritte, vierte und fünfte Verfahrensschritt durchgeführt werden. Das Ausbilden der zweiten Biegekante 9, der ersten Biegekante 12 und das Krümmen des Auslegerarms 1 1 , insbesondere das Krümmen des langen Arms 16 des Auslegerarms 1 1 wird in der Weise durchgeführt, dass in Einfallsrichtung des Strahlung (Pfeil 4) der Detektor 1 von dem abgestellten Abschnitt 10 mit dem Referenzsensor 3 sowie der mindestens einen Refe- renzquelle 2 einen Abstand aufweist, nämlich derart, dass in einer Blickrichtung in Einfallsrichtung des Strahles (Pfeil 4, Fig. 1 ) der Detektorabschnitt 8, insbesondere dessen Abdeckarme 20, den Referenzabschnitt 10 teilweise überdeckt, wobei die Abdeckarme 20 nur die mindestens eine Referenzquelle 2 partiell überdeckt, nicht jedoch den Referenzdetektor 3. Weiter ist der Referenzabschnitt 10 im wesentlichen parallel zu dem Detektorabschnitt 8 ausgerichtet.
Das auf diese Weise hergestellte Sensorteil kann optional noch eine Bombierung erhalten, beispielsweise im Bereich des Hauptteils 7 des Korpus des Trägers 5. Bei der Durchführung des beschriebenen Verfahrens versteht es sich, dass ein Spiegelelement vorgesehen sein kann, beispielsweise das oben beschriebene Spiegelelement 17, das an der zweiten Seite 14 des Trägers 5, im Bereich des Detektorabschnitts 8, dem auf der ersten Seite 6 angeordneten Detektor 1 gegenüberliegend vorgesehen sein kann, wobei das Spiegel- element 17 durch einen freigelegten metallischen Abschnitt der Flexleiterplatte ausgebildet ist. Es bietet sich dabei an, die Flexleiterplatte bzw. den Träger 5 bereits vor dem ersten Verfahrensschritt mit dem Spiegelelement 17 zu versehen, also bereits den das Spiegelelement 17 bildenden Abschnitt der Flexleiterplatte freizulegen. Dieser Abschnitt ist in der Darstellung von Fig. 4 verdeckt, wobei das Spiegelelement 17 durch einen gestrichelten Kreis angedeutet ist.
Bei der Durchführung des beschriebenen Verfahrens versteht es sich weiter, dass zusätzlich zu dem Detektor 1 , der mindestens einen Referenzquelle 2 und dem Referenzdetektor 3 weitere elektronische Bauelemente an dem Träger 5 befestigt werden können, beispielsweise im Bereich der verbreiterten Abschnitte 18, die sich zu beiden Seiten des Hauptabschnitts 7 erstre- cken. Bezugszeichenliste
1 Detektor
2 Referenzquelle
3 Referenzdetektor
4 Richtung einfallender Strahl (Pfeil)
5 Träger
6 erste Seite des Trägers 5
7 Hauptabschnitt
8 Detektorabschnitt
9 zweite Biegekante
10 Referenzabschnitt
1 1 Auslegerarm
12 erste Biegekante
13 gerade Abschnitt
14 zweite Seite des Trägers 5
15 kurzer Arm des Auslegerarms 1 1
16 langer Arm des Auslegerarms 1 1
17 Spiegelelement
18 verbreiterter Abschnitt
19 Ende des Hauptabschnittes 7
20 Abdeckarm

Claims

Patentansprüche
Sensorteil für einen Infrarot-Sensor, umfassend
einen IR-sensitiven Detektor (1 ),
mindestens eine IR-Strahlung ausstrahlende Referenzquelle (2), sowie
einen IR-sensitiven Referenzdetektor (3), der in Richtung der einfallenden IR-Strahlung einen Abstand von dem Detektor (1 ) aufweist,
wobei die mindestens eine Referenzquelle (2) seitlich von dem Referenzdetektor (3) angeordnet ist, und
einen Träger (5), auf dessen erster Seite (6) der Detektor (1 ), die mindestens eine Referenzquelle (2) und der Referenzdetektor (3) angeordnet sind, wobei der Träger (5) einen abschnittsweise gebogenen Zuschnitt aus einem biegsamen Material, insbesondere einen abschnittsweise gebogenen Zuschnitt einer Flexleiterplatte, umfasst.
Sensorteil nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass das Korpus des Trägers (5) einen sich in Richtung der einfallenden Strahlung erstreckenden Hauptabschnitt (7) sowie einen Detektorabschnitt (8) umfasst, wobei der Detektor (1 ) auf dem Detektorabschnitt (8) angeordnet ist, und wobei der Detektorabschnitt (8) von dem Hauptabschnitt (7) an einer zweiten Biegekante (9) unter einem Winkel absteht.
3. Sensorteil nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Korpus des Trägers (5) einen sich in Richtung der einfallenden Strahlung erstreckenden Hauptabschnitt (7) sowie einen Referenzabschnitt (10) umfasst, wobei der Referenzabschnitt (10) an einem Aus- legerarm (1 1 ) angeordnet ist, wobei der Auslegerarm (1 1 ) mit dem
Hauptabschnitt (7) verbunden ist, und wobei der Referenzabschnitt (10) an einer ersten Biegekante (12) von dem Auslegerarm (1 1 ) unter einem Winkel absteht.
4. Sensorteil nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Referenzabschnitt (10) eine kreissegmentförmige Umrisskontur aufweist.
5. Sensorteil nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Auslegerarm (1 1 ) ringsegmentförmig gebogen ist.
6. Sensorteil nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Auslegerarm (1 1 ) im wesentlichen L-förmig ausgebildet ist, wobei an einem Ende eines kurzen Arms (15) der Referenzabschnitt (1 1 ) angeordnet ist, und wobei an einem Ende eines langen Arms (16) der Hauptabschnitt (7) angeordnet ist.
7. Sensorteil nach einem der Ansprüche 1 bis 6, weiter umfassend ein Spiegelelement, das auf einer der ersten Seite (6) des Trägers (5) gegenüberliegenden zweiten Seite (14) des Trägers (5) dem Refe- renzdetektor (3) sowie der mindestens einen Referenzquelle (2) gegenüberliegend angeordnet ist.
8. Sensorteil nach Anspruch 2 sowie einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Spiegelelement (17) auf einer dem Detektor (1 ) gegenüberliegenden Seite des Detektorabschnittes (8) angeordnet ist.
Sensorteil nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Spiegelelement (17) durch einen Abschnitt des Materials des Trägers (5), insbesondere durch einen freigelegten metallischen Abschnitt einer eine metallische Lage umfassenden Flexleiterplatte ausgebildet ist.
10. Sensorteil nach einem der Ansprüche 2 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Hauptabschnitt (7) mindestens abschnittsweise eine Bombierung quer zu seiner Erstreckung aufweist.
1 1 . Sensorteil nach einem der Ansprüche 2 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Hauptabschnitt (7) einen verbreiterten Abschnitt (18) umfasst.
12. IR-Sensor, umfassend ein Sensorteil nach einem der Ansprüche 1 bis 1 1 .
Verfahren zur Herstellung eines Sensorteil für einen IR-Sensor, insbesondere zur Herstellung eines Sensorteils nach einem der Ansprüche 1 bis 1 1 , umfassend die Schritte
Bereitstellen eines im wesentlichen flachen Abschnittes aus einem biegsamen Material, insbesondere eines flachen Abschnittes einer Flexleiterplatte, als Träger (5),
Befestigen eines IR-sensitiven Detektor (1 ) auf einem ersten Abschnitt des Korpus des Trägers (5), insbesondere auf einem Detektorabschnitt (8) des Korpus des Trägers (5), Befestigen mindestens einer IR-Strahlung ausstrahlenden Referenzquelle (2) sowie eines IR-sensitiven Referenzdetektors (3) auf einem zweiten Abschnitt des Korpus des Trägers (5), insbesondere auf einem Referenzträger (10), wobei der zweite Abschnitt bzw. der Referenzträger (10) über einen Ausleger- arm (1 1 ) mit einem Hauptabschnitt (7) des Korpus des Trägers (5) verbunden ist,
Ausbilden einer ersten Biegekante (12), mit der der zweite Abschnitt (10) von dem Auslegerarm (1 1 ) abgestellt wird,
Krümmen des Auslegerarms (1 1 ) zu einem Ringsegment, Ausbilden einer zweite Biegekante (9), mit der der erste Abschnitt (8) von dem verbleibenden Korpus des Trägers (5) abgestellt wird, insbesondere mit der der Detektorabschnitt (8) von dem Hauptabschnitt (7) abgestellt wird,
wobei das Ausbilden der ersten Biegekante (12), der zweiten Biegekante (9) und das Krümmen des Auslegerarms (1 1 ) so ausgeführt wird, dass in Einfallsrichtung des Strahlung der Detektor (1 ) von dem abgestellten Abschnitt (10) mit dem Referenzsensor (3) sowie der mindestens einen Referenzquelle (2) einen Abstand aufweist.
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