WO2011076503A1 - Interferometer and pressure sensor assembly having such an interferometer - Google Patents

Interferometer and pressure sensor assembly having such an interferometer Download PDF

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WO2011076503A1
WO2011076503A1 PCT/EP2010/067935 EP2010067935W WO2011076503A1 WO 2011076503 A1 WO2011076503 A1 WO 2011076503A1 EP 2010067935 W EP2010067935 W EP 2010067935W WO 2011076503 A1 WO2011076503 A1 WO 2011076503A1
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interferometer
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reflection
reflection surface
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Dietmar FRÜHAUF
Udo Grittke
Eberhard Manske
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Endress+Hauser Gmbh+Co.Kg
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Abstract

The invention relates to an interferometer for generating optical retardation in an irradiated, collimated white light comprising a first reflector body (16) having at least two parallel reflection surfaces (16a, 16b, 16c, 16d) arranged adjacent to each other, which are offset to one another in the direction of the surface normals of the reflection surfaces in order to generate a base optical retardation, a second reflector body (14) having at least one reference reflection surface; wherein the light reflected on the reflection surfaces (16a, 16b, 16c, 16d) of the first reflector body (16) at least partially overlaps in an interfering manner the light reflected on the second reflector body (14). The respective optical retardation between the light reflected on the reflection surfaces (16a, 16b, 16c, 16d) of the first reflector body (16) and the light reflected on the reflection surface of the second reflector body is continuously variable by moving the first reflector body in the direction of the surface normals of the reflection surfaces and/or by moving the second reflector body in the direction of the surface normals of the reference reflection surface.

Description

Interferometer und Drucksensoranordnung mit einem solchen  Interferometer and pressure sensor arrangement with such
Interferometer  interferometer
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Interferometer, insbesondere ein Weißlichtinterferometer, und eine Drucksensoranordnung mit einem solchen Interferometer. The present invention relates to an interferometer, in particular a white light interferometer, and a pressure sensor arrangement with such an interferometer.
Eine Drucksensoranordnung mit einem Weißlichtinterferometer umfasst eine Lichtquelle, mindestens einen Drucksensor mit einem A pressure sensor arrangement with a white light interferometer comprises a light source, at least one pressure sensor with a
Sensorinterferometer, welches einen druckabhängigen Gangunterschied über einen Wertebereich von Gangunterschieden aufweist, und ein Auswerteinterferometer, welches den Gangunterschied des Sensor interferometer, which has a pressure-dependent path difference over a range of value of gear differences, and an evaluation interferometer which the path difference of
Sensorinterferometers über den Wertebereich des Sensorinterferometers nachbildet, wobei die Lichtquelle, das Sensorinterferometer und das Auswerteinterferometer über Lichtleiter miteinander gekoppelt sind. Die Sensorinterferometer sind gewöhnlich Fabry-Perot-Interferometer, während die Auswerteinterferometer beispielsweise Michelson- Interferometer, Fabry-Perot-Interferometer oder Fizeau-Interferometer aufweisen können. Sensor interferometer over the range of values of the sensor interferometer simulates, wherein the light source, the sensor interferometer and the Auswerteinterferometer are coupled together via optical fibers. The sensor interferometers are usually Fabry-Perot interferometers, while the evaluation interferometers may comprise, for example, Michelson interferometers, Fabry-Perot interferometers or Fizeau interferometers.
Wenn die Signale mehrerer Sensorinterferometer mit einem If the signals of several sensor interferometer with a
Auswerteinterferometer auszuwerten sind, so ist es möglich, zur Evaluation interferometer are to evaluate, so it is possible to
Unterscheidbarkeit der Sensorinterferometer unterschiedliche Distinctness of the sensor interferometer different
Grundgangunterschiede für die verschiedenen Sensorinterferometer vorzusehen, wobei die Differenz zwischen den Grundgangunterschieden der einzelnen Sensorinterferometer größer ist als die druckabhängige Variation des Gangunterschieds eines einzelnen Sensorinterferometers. Provide basic differences for the different sensor interferometer, wherein the difference between the basic gear differences of the individual sensor interferometer is greater than the pressure-dependent variation of the path difference of a single sensor interferometer.
Ein Auswerteinterferometer für eine solche Messanordnung muss den gesamten Wertebereich der möglichen Gangunterschiede aller An evaluation interferometer for such a measurement arrangement must cover the entire value range of the possible path differences of all
Sensorinterferometer nachbilden können, deren Gangunterschiede bestimmt werden sollen. U.S. Patent Nr. 5,202,939 offenbart hierzu eine Anordnung mit einem Auswerteinterferometer, welches mehrere Fizeau- Interferometer umfasst, die gegeneinander um die Sensor interferometer can simulate whose path differences are to be determined. US Pat. No. 5,202,939 discloses a Arrangement with an evaluation interferometer, which comprises several Fizeau interferometers, which face each other around the
Grundgangunterschiede der zu betrachtenden Sensorinterferometer versetzt sind. Diese Anordnung mit Fizeau-Interferometern ermöglicht schnelle Messungen, da die Informationen über die zu ermittelnden Gangunterschiede unmittelbar als Ortsinformationen über die Fundamental differences of the sensor interferometer to be considered are offset. This arrangement with Fizeau interferometers allows fast measurements, since the information about the path differences to be determined directly as location information on the
Intensitätsmaxima innerhalb der jeweiligen Detektorzeilen der Fizeau- Interferometer vorgegeben sind. Ein Nachteil der beschriebenen Intensity maxima are specified within the respective detector lines of the Fizeau interferometer. A disadvantage of the described
Anordnung besteht jedoch darin, dass Veränderungen oder Störungen, die sich auf die einzelnen Grundgangunterschiede auswirken, nicht ohne weiteres detektierbar sind. Arrangement, however, is that changes or disturbances that affect the individual baseline differences, are not readily detectable.
Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Interferometer und eine Drucksensoranordnung bereitzustellen, welche die Nachteile des Stands der Technik überwinden. Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch das Interferometer gemäß Anspruch 1 und die Sensoranordnung gemäß Anspruch 10. It is therefore the object of the present invention to provide an interferometer and a pressure sensor arrangement which overcome the disadvantages of the prior art. The object is achieved by the interferometer according to claim 1 and the sensor arrangement according to claim 10.
Das Interferometer zum Erzeugen von Gangunterschieden in The interferometer for generating gear differences in
eingestrahltem, kollimierten Weißlicht umfasst einen ersten irradiated, collimated white light comprises a first
Reflektorkörper mit mindestens zwei nebeneinander angeordneten, parallelen Reflexionsflächen, die zur Erzeugung eines Reflector body with at least two juxtaposed, parallel reflection surfaces, which are used to produce a
Grundgangunterschieds zueinander in der Richtung der Flächennormalen der Reflexionsflächen versetzt sind; einen zweiten Reflektorkörper, mit mindestens einer Referenzreflexionsfläche; wobei das an den  Fundamental difference to each other in the direction of the surface normal of the reflection surfaces are offset; a second reflector body having at least one reference reflection surface; where the at the
Reflexionsflächen des ersten Reflektorkörpers reflektierte Licht dem an dem zweiten Reflektorkörper reflektierte Licht zumindest teilweise interferierend überlagert, wobei der jeweilige Gangunterschied zwischen dem an den Reflexionsflächen des ersten Reflektorkörpers reflektierten Licht und dem an der Reflexionsfläche des zweiten Reflektorkörpers reflektierten Licht durch Bewegen des ersten Reflektorkörpers in der Richtung der Flächennormalen der Reflexionsflächen und/oder durch Bewegen des zweiten Reflektorkörpers in der Richtung der Flächennormalen der Referenzreflexionsfläche kontinuierlich veränderlich ist. Reflecting surfaces of the first reflector body reflected light at least partially interfering superimposed on the light reflected at the second reflector body, wherein the respective path difference between the light reflected at the reflection surfaces of the first reflector body and the light reflected at the reflection surface of the second reflector body by moving the first reflector body in the direction the surface normal of the reflection surfaces and / or by moving the second reflector body in the direction of Surface normal of the reference reflection surface is continuously variable.
In einer Weiterbildung der Erfindung ist der maximale Hub zum In one embodiment of the invention, the maximum stroke for
kontinuierlichen Verändern der Gangunterschiede zwischen dem an den Reflexionsflächen des ersten Reflektorkörpers reflektierten Licht und dem an der Reflexionsfläche des zweiten Reflektorkörpers reflektierten Licht durch Bewegen des ersten Reflektorkörpers in der Richtung der continuously changing the path differences between the light reflected at the reflection surfaces of the first reflector body and the light reflected at the reflection surface of the second reflector body by moving the first reflector body in the direction of
Flächennormalen der Reflexionsflächen und/oder durch Bewegen des zweiten Reflektorkörpers in der Richtung der Flächennormalen der Referenzreflexionsfläche größer als der Grundgangunterschied aufgrund des Versatzes zwischen der ersten und der zweiten Reflexionsfläche des ersten Reflektorkörpers, wobei der Hub beispielsweise mindesten einen Grundgangunterschied, vorzugsweise mindestens das 1 ,5-fache und weiter bevorzugt mindestens das Doppelte eines Gangunterschieds aufgrund des Versatzes zwischen der ersten und der zweiten Surface normal of the reflection surfaces and / or by moving the second reflector body in the direction of the surface normal of the reference reflection surface greater than the baseline difference due to the offset between the first and the second reflection surface of the first reflector body, wherein the stroke, for example, at least one basic course difference, preferably at least the 1, 5 times, and more preferably at least twice, a path difference due to the offset between the first and second
Reflexionsfläche des ersten Reflektorkörpers beträgt. Reflection surface of the first reflector body is.
In einer Weiterbildung der Erfindung umfasst das Interferometer mindestens zwei lichtempfindliche Detektoren, wobei die Detektoren jeweils genau einer der Reflexionsflächen zugeordnet sind. In one development of the invention, the interferometer comprises at least two light-sensitive detectors, wherein the detectors are respectively assigned to exactly one of the reflection surfaces.
In einer Weiterbildung der Erfindung umfasst die Bewegung des ersten Reflektorkörpers und/oder des zweiten Reflektorkörpers eine Oszillation um eine Ruhelage. In one development of the invention, the movement of the first reflector body and / or the second reflector body comprises an oscillation around a rest position.
In einer Weiterbildung der Erfindung erfolgt eine Bestimmung der Position des oszillierenden Reflektorkörpers zur Ermittlung der aktuellen In one embodiment of the invention, a determination of the position of the oscillating reflector body to determine the current takes place
Gangunterschiede zwischen dem an den Reflexionsflächen des ersten Reflektorkörpers reflektierten Licht und dem an der Reflexionsfläche des zweiten Reflektorkörpers reflektierten Licht, durch Bestimmung der aktuellen Phasenlage der Oszillation, insbesondere über die Zeit. Gap differences between the light reflected at the reflection surfaces of the first reflector body and the light at the reflection surface of the second reflector body reflected light, by determining the current phase position of the oscillation, in particular over time.
In einer Weiterbildung der Erfindung umfasst das Interferometer weiterhin einen kapazitiven Wandler mit einer ersten, ortsfesten Elektrode und einer zweiten Elektrode, deren Position bezüglich der ersten Elektrode von der Position des bewegten Reflektorkörpers abhängt, wobei die In a further development of the invention, the interferometer further comprises a capacitive transducer with a first, fixed electrode and a second electrode whose position relative to the first electrode depends on the position of the moving reflector body, wherein the
Gangunterschiede zwischen dem an den Reflexionsflächen des ersten Reflektorkörpers reflektierten Licht und dem an der Reflexionsfläche des zweiten Reflektorkörpers reflektierten Licht über eine Gap differences between the light reflected at the reflection surfaces of the first reflector body and the light reflected at the reflection surface of the second reflector body via a light
Positionsbestimmung des bewegten Reflektorkörpers anhand der Determining the position of the moving reflector body on the basis of
Kapazität des kapazitiven Wandlers erfolgt. Capacitance of the capacitive transducer takes place.
In einer Weiterbildung der Erfindung umfasst das Interferometer ein Michelson-Interferometer. In a development of the invention, the interferometer comprises a Michelson interferometer.
In einer Weiterbildung der Erfindung umfasst das Interferometer einen Antrieb zum Bewegen mindestens eines Reflektorkörpers. Der Antrieb kann insbesondere ein Piezoantrieb, ein elektrostatischer Antrieb oder ein magnetischer Antrieb sein. In einer Weiterbildung der Erfindung umfasst das Interferometer weiterhin eine Steuereinheit zum Steuern der Gangunterschiede zwischen dem an den Reflexionsflächen des ersten Reflektorkörpers reflektierten Licht und dem an der Reflexionsfläche des zweiten Reflektorkörpers reflektierten Licht durch Steuern der Bewegung mindestens eines Reflektorkörpers, wobei die Steuereinheit dazu ausgelegt ist, zumindest in einem In one development of the invention, the interferometer comprises a drive for moving at least one reflector body. The drive may in particular be a piezo drive, an electrostatic drive or a magnetic drive. In a further development of the invention, the interferometer further comprises a control unit for controlling the path differences between the light reflected at the reflection surfaces of the first reflector body and the light reflected at the reflection surface of the second reflector body by controlling the movement of at least one reflector body, the control unit being designed at least in one
Überwachungsmodus den Hub der kontinuierlichen Veränderung der Gangunterschiede um mehr als einen Grundgangunterschied zu verändern, um einen ermittelten Gangunterschied aufgrund einer  Monitoring mode to change the stroke of the continuous change of the gait differences by more than one basic course difference to a determined retardation due to a
Reflexion an einer ersten Reflexionsfläche des ersten Reflektorkörpers mit einem ermittelten entsprechenden Gangunterschied aufgrund einer Reflexion an einer zweiten Reflexionsfläche des ersten Reflektorkörpers vergleichen zu können. Reflection on a first reflection surface of the first reflector body with to be able to compare a determined corresponding retardation due to a reflection on a second reflection surface of the first reflector body.
Wenn nämlich der Hub zur kontinuierlichen Veränderung des Namely, if the hub for the continuous change of
Gangunterschieds größer ist als der Grundgangunterschied aufgrund des Versatzes zwischen zwei Reflexionsflächen, dann kann das Interferometer einen Gangunterschied durch Reflexionen an verschiedenen Gap difference is greater than the baseline difference due to the offset between two reflective surfaces, then the interferometer can a retardation by reflections at different
Reflexionsflächen des ersten Reflexionskörpers darstellen. Hierzu ist lediglich der Gangunterschied um den Grundgangunterschied zu verändern zwischen den Reflexionsflächen zu verändern. Wenn sich dabei Abweichungen zwischen den auf diese Weise eingestellten Represent reflection surfaces of the first reflection body. For this, only the path difference to change the Grundgangunterschied to change between the reflection surfaces. If there are deviations between the set in this way
Gangunterschieden ergeben, bedeutet dies, dass der Gait differences, this means that the
Grundgangunterschied nicht mehr korrekt ist, oder dass der Hub des kontinuierlichen Gangunterschieds nicht korrekt ist. Anhand der beobachteten Abweichungen bzw. des beobachteten tatsächlichen Hubs, kann das Interferometer nachjustiert werden, und / oder es kann ein Fehler signalisiert werden. Basic difference is no longer correct, or that the stroke of the continuous retardation is incorrect. On the basis of the observed deviations or the observed actual stroke, the interferometer can be readjusted and / or an error can be signaled.
In einer Weiterbildung der Erfindung ist die Steuereinheit dazu ausgelegt in einem Messbetrieb den Hub der kontinuierlichen Veränderung der Gangunterschiede auf nicht mehr als einen Grundgangunterschied zu setzen. In a development of the invention, the control unit is designed to set the stroke of the continuous change in the path differences to no more than one basic course difference in a measuring mode.
Die erfindungsgemäße Sensoranordnung umfasst eine Lichtquelle insbesondere kohärenten Weißlichts; mindestens zwei The sensor arrangement according to the invention comprises a light source, in particular coherent white light; at least two
Sensorinterferomter, welche einen messgrößenabhängigen  Sensorinterferomter which a measured variable dependent
Gangunterschied aufweisen; ein Auswerteinterferometer, welches ein Interferometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche umfasst, eine Lichtleiteranordnung, welche die Lichtquelle, das Sensorinterferometer und das Auswerteinterferometer miteinander koppelt, und eine Path difference; an evaluation interferometer comprising an interferometer according to any one of the preceding claims, an optical fiber array comprising the light source, the sensor interferometer and the Auswerteinterferometer coupled together, and a
Kollimatoranordnung, um das Licht aus der Lichtleiteranordnung kollinniert in das Auswerteinterferometer einzustrahlen. Collimator arrangement for collimating the light from the light guide assembly into the Auswerteinterferometer.
In einer Weiterbildung der Erfindung weisen die Sensonnterferometer druckabhängige Gangunterschiede, oder temperaturabhängige In a development of the invention, the sensory interferometers have pressure-dependent path differences or temperature-dependent
Gangunterschiede auf. Gait differences.
Die Erfindung wird nun anhand des in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels erläutert. Es zeigt: Fig.1 : eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung. The invention will now be explained with reference to the embodiment shown in the drawing. 1 shows a schematic illustration of an exemplary embodiment of a sensor arrangement according to the invention.
Die Sensoranordnung in Fig.1 , ist insbesondere eine The sensor arrangement in Figure 1, is in particular a
Drucksensoranordnung mit einer Lichtquelle insbesondere kohärenten Weißlichts, die über eine Lichtleiteranordnung 4 an vier Pressure sensor arrangement with a light source, in particular coherent white light, via an optical fiber assembly 4 to four
Sensonnterferometer 6a, 6b, 6c, 6d mit druckabhängigen Sensortterferometer 6a, 6b, 6c, 6d with pressure-dependent
Gangunterschieden koppelt. Die Ruhelagen der Sensonnterferometer sind gegeneinander um Grundgangunterschiede versetzt, die größer sind als der maximale Hub der druckahängigen Gangunterschiede der einzelnen Sensonnterferometer. Das von den Sensorinterferometern 6a, 6b, 6c, 6d reflektierte Licht gelangt über einen Aperturwandler 8 an einem  Gang differences couples. The resting positions of the Sensonnterferometer are offset against each other by basic differences, which are greater than the maximum stroke of the pressure-dependent path differences of the individual Sensonnterferometer. The light reflected by the sensor interferometers 6a, 6b, 6c, 6d passes through an aperture converter 8 at a
interferometerseitigen Ende der Lichtleiteranordnung 4 und einen interferometer end of the light guide assembly 4 and a
Kollimator 10 in ein Auswerteinterferometer 1 , welches ein Michelson- Interferometer umfasst. Collimator 10 in a Auswerteinterferometer 1, which comprises a Michelson interferometer.
Das Auswerteinterferometer umfasst einen ersten Reflektorkörper 16 mit vier um die Grundgangunterschiede der Sensonnterferometer 6a, 6b, 6c, 6d gegeneinander versetzte Reflexionsflächen 16a, 16b, 16c, 16d und einen zweiten Reflektorkörper mit einer Referenzreflexionsfläche 14. Ein Strahlteiler 12, der in einem Winkel von 45° zum eingestrahlten Licht und den Reflexionsflächen 14, 16a, 16b, 16c, 16d angeordnet ist, führt das Licht den Reflektorkörpern 14, 16 zu und erlaubt die interferierende Überlagerung des reflektieren Lichts. Das Interferometer umfasst weiterhin eine Detektoranordnung 18, mit vier Detektoren 18a, 18b, 18c, 18d, die jeweils einer der Reflexionsflächen 16a, 16b, 16c, 16d des ersten The evaluation interferometer comprises a first reflector body 16 with four reflection surfaces 16a, 16b, 16c, 16d offset from one another by the fundamental differences of the sensor interferometers 6a, 6b, 6c, 6d and a second reflector body having a reference reflection surface 14. A beam splitter 12 which is at an angle of 45 ° ° to the incident light and the reflection surfaces 14, 16a, 16b, 16c, 16d, this leads Light the reflector bodies 14, 16 and allows the interfering superposition of the reflected light. The interferometer further comprises a detector arrangement 18, with four detectors 18a, 18b, 18c, 18d, each one of the reflection surfaces 16a, 16b, 16c, 16d of the first
Reflektorkörpers 16 zugeordnet sind, um Licht von dieser Reflexionsfläche zu empfangen. Reflector body 16 are assigned to receive light from this reflection surface.
Das Interferometer 1 umfasst weiterhin eine Steuer- und Auswerteeinheit 20, welche beispielsweise einen elektrostatischen Antrieb 22 für den zweiten Reflektorkörper steuert und Positionssignale von dem Antrieb empfängt, wobei über den Antrieb 22 die Gangunterschiede zwischen dem an den Reflexionsflächen 16a, 16b, 16c, 16d des ersten The interferometer 1 further comprises a control and evaluation unit 20 which controls, for example, an electrostatic drive 22 for the second reflector body and receives position signals from the drive, wherein via the drive 22, the path differences between the at the reflection surfaces 16 a, 16 b, 16 c, 16 d of the first
Reflektorkörpers reflektierten Licht und dem an der Reflector body reflected light and the at the
Referenzreflexionsfläche 14 des zweiten Reflektorkörpers reflektierten Licht kontinuierlich variiert werden können. Die erfassten Signale der Detektoranordnung 18 werden der Steuer- und Auswerteeinheit 20 zugeführt. Reference reflection surface 14 of the second reflector body reflected light can be varied continuously. The detected signals of the detector arrangement 18 are supplied to the control and evaluation unit 20.
Aus der Ermittlung der Gangunterschiede, bei denen die Detektoren 18a, 18b, 18c, 18d jeweils ein Intensitätsmaximum des Lichts detektieren, kann der Gangunterschied der Sensorinterferometer und daraus der jeweilige Druck bestimmt werden. From the determination of the path differences, in which the detectors 18a, 18b, 18c, 18d each detect an intensity maximum of the light, the path difference of the sensor interferometer and therefrom the respective pressure can be determined.
Der Hub zur kontinuierlichen Veränderung der Gangunterschiede durch Bewegen des zweiten Reflektorkörpers kann dadurch überprüft werden, dass nach einer Bestimmung eines Referenzgangunterschieds anhand der Reflexion an einer ersten Reflexionsfläche und nach einer Addition oder Subtraktion eines Grundgangunterschieds bei der Bewegung des zweiten Reflektorkörpers, der gleiche Gangunterschied durch Reflexion an einer um den Referenzgangunterschied versetzten Reflexionsfläche reproduzierbar sein muss. Abweichungen geben ggf. Anlass zu einer Nachjustierung des Hubs und/oder zu einer Fehlermeldung. The stroke for continuously varying the path differences by moving the second reflector body can be checked by determining the same path difference by reflection after determining a reference path difference based on the reflection at a first reflection surface and after adding or subtracting a fundamental difference in movement of the second reflector body must be reproducible at a reflection surface offset by the Referenzgangunterschied. Deviations may give rise to a readjustment of the stroke and / or to an error message.

Claims

Patentansprüche  claims
Interferometer zum Erzeugen von Gangunterschieden in Interferometer for generating gear differences in
eingestrahltem kollimierten Weißlicht, umfassend einen ersten Reflektorkörper (16) mit mindestens zwei irradiated collimated white light, comprising a first reflector body (16) with at least two
nebeneinander angeordneten, parallelen Reflexionsflächen (16a, 16b, 16c, 16d), die zur Erzeugung eines Grundgangunterschieds zueinander in der Richtung der Flächennormalen der arranged side by side, parallel reflecting surfaces (16a, 16b, 16c, 16d), which for generating a basic path difference to each other in the direction of the surface normal of
Reflexionsflächen versetzt sind einen zweiten Reflektorkörper (14) mit mindestens einer Reflecting surfaces are offset from a second reflector body (14) with at least one
Referenzreflexionsfläche, wobei das an den Reflexionsflächen (16a, 16b, 16c, 16d) des ersten Reflektorkörpers (16) reflektierte Licht dem an dem zweiten Reflektorkörper (14) reflektierte Licht, zumindest teilweise interferierend überlagert, wobei der jeweilige Gangunterschied zwischen dem an den Reference reflection surface, wherein the light reflected at the reflection surfaces (16a, 16b, 16c, 16d) of the first reflector body (16) is superimposed on the light reflected at the second reflector body (14), at least partially interfering, the respective path difference between the light reflected on the second reflector body (14)
Reflexionsflächen (16a, 16b, 16c, 16d) des ersten Reflektorkörpers (16) reflektierten Licht und dem an der Reflexionsfläche des zweiten Reflektorkörpers reflektierten Licht durch Bewegen des ersten Reflektorkörpers in der Richtung der Flächennormalen der Reflection surfaces (16a, 16b, 16c, 16d) of the first reflector body (16) reflect light and the light reflected on the reflection surface of the second reflector body by moving the first reflector body in the direction of the surface normal
Reflexionsflächen und/oder durch Bewegen des zweiten Reflection surfaces and / or by moving the second
Reflektorkörpers in der Richtung der Flächennormalen der Reflector body in the direction of the surface normals of
Referenzreflexionsfläche kontinuierlich veränderlich ist. Reference reflection surface is continuously variable.
Interferometer nach Anspruch 1 , wobei der maximale Hub zum kontinuierlichen Verändern der Gangunterschiede zwischen dem an den Reflexionsflächen (16a, 16b, 16c, 16d) des ersten The interferometer according to claim 1, wherein the maximum stroke for continuously varying the path differences between the one at the reflecting surfaces (16a, 16b, 16c, 16d) of the first
Reflektorkörpers (16) reflektierten Licht und dem an der Reflector body (16) reflected light and at the
Reflexionsfläche des zweiten Reflektorkörpers reflektierten Licht durch Bewegen des ersten Reflektorkörpers in der Richtung der Flächennormalen der Reflexionsflächen und/oder durch Bewegen des zweiten Reflektorkörpers in der Richtung der Flächennormalen der Referenzreflexionsfläche größer ist, als der Reflection surface of the second reflector body reflected light by moving the first reflector body in the direction of Surface normal of the reflection surfaces and / or by moving the second reflector body in the direction of the surface normal of the reference reflection surface is greater than that
Grundgangunterschied aufgrund des Versatzes zwischen der ersten und der zweiten Reflexionsfläche des ersten Reflektorkörpers, wobei der Hub beispielsweise mindesten einen Grundgangunterschied, vorzugsweise mindestens das 1 ,5-fache weiter bevorzugt Fundamental difference due to the offset between the first and the second reflection surface of the first reflector body, wherein the stroke, for example, at least one Grundgangunterschied, preferably at least 1.5 times more preferred
mindestens das Doppelte eines Gangunterschieds aufgrund des Versatzes zwischen der ersten und der zweiten Reflexionsfläche des ersten Reflektorkörpers beträgt. is at least twice a path difference due to the offset between the first and the second reflection surface of the first reflector body.
Interferometer nach Anspruch 1 , weiterhin umfassend mindestens zwei lichtempfindliche Detektoren (18a, 18b, 18c, 18d), wobei die Detektoren jeweils genau einer der Reflexionsflächen (16a, 16b, 16c, 16d) zugeordnet sind. Interferometer according to claim 1, further comprising at least two light-sensitive detectors (18a, 18b, 18c, 18d), wherein the detectors are each associated with exactly one of the reflection surfaces (16a, 16b, 16c, 16d).
Interferometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Bewegung des ersten Reflektorkörpers und/oder des zweiten Reflektorkörpers eine Oszillation um eine Ruhelage umfasst. Interferometer according to one of the preceding claims, wherein the movement of the first reflector body and / or the second reflector body comprises an oscillation about a rest position.
Interferometer nach Anspruch 4, wobei eine Bestimmung der An interferometer according to claim 4, wherein a determination of
Position des oszillierenden Reflektorkörpers zur Ermittlung der aktuellen Gangunterschiede zwischen dem an den Reflexionsflächen (16a, 16b, 16c, 16d) des ersten Reflektorkörpers (16) reflektierten Licht und dem an der Reflexionsfläche des zweiten Reflektorkörpers reflektierten Licht durch Bestimmung der aktuellen Phasenlage der Oszillation, insbesondere über die Zeit erfolgt. Interferometer nach einem der vorherigen Ansprüche, weiterhin umfassend einen kapazitiven Wandler mit einer ersten ortsfesten Elektrode und einer zweiten Elektrode, deren Position bezüglich der ersten Elektrode von der Position des bewegten Reflektorkörpers abhängt, wobei die Bestimmung der Gangunterschiede zwischen dem an den Reflexionsflächen (16a, 16b, 16c, 16d) des ersten Reflektorkörpers (16) reflektierten Licht und dem an der Position of the oscillating reflector body for determining the current path differences between the light reflected at the reflection surfaces (16a, 16b, 16c, 16d) of the first reflector body (16) and the light reflected at the reflection surface of the second reflector body by determining the current phase position of the oscillation, in particular done over time. Interferometer according to one of the preceding claims, further comprising a capacitive transducer with a first stationary electrode and a second electrode whose position relative to the first electrode depends on the position of the moving reflector body, wherein the determination of the path differences between the at the reflecting surfaces (16a, 16b , 16c, 16d) of the first reflector body (16) reflected light and at the
Reflexionsfläche des zweiten Reflektorkörpers reflektierten Licht über eine Positionsbestimmung des bewegten Reflektorkörpers anhand der Kapazität des kapazitiven Wandlers erfolgt. Reflection surface of the second reflector body reflected light via a position determination of the moving reflector body based on the capacitance of the capacitive transducer takes place.
Interferometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Interferometer ein Michelson-Interferometer umfasst. Interferometer according to one of the preceding claims, wherein the interferometer comprises a Michelson interferometer.
Interferometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, weiterhin umfassend eine Steuereinheit zum Steuern der Gangunterschiede zwischen dem an den Reflexionsflächen (16a, 16b, 16c, 16d) des ersten Reflektorkörpers (16) reflektierten Licht und dem an der Reflexionsfläche des zweiten Reflektorkörpers reflektierten Licht durch Steuern der Bewegung mindestens eines Reflektorkörpers, wobei die Steuereinheit dazu ausgelegt ist, zumindest in einem Überwachungsmodus den Hub der kontinuierlichen Veränderung der Gangunterschiede auf mehr als einen Grundgangunterschied zu setzen, um einen ermittelten Gangunterschied aufgrund einer Reflexion an einer ersten Reflexionsfläche (16a) des ersten An interferometer according to any one of the preceding claims, further comprising a control unit for controlling the path differences between the light reflected at the reflection surfaces (16a, 16b, 16c, 16d) of the first reflector body (16) and the light reflected at the reflection surface of the second reflector body by controlling the light Movement of at least one reflector body, wherein the control unit is adapted, at least in a monitoring mode, to set the stroke of the continuous change of the gait differences to more than one basic gait difference to a determined retardation due to reflection at a first reflection surface (16a) of the first
Reflektorkörpers (16) mit einem ermittelten entsprechenden Reflector body (16) with a determined corresponding
Gangunterschied aufgrund einer Reflexion an einer zweiten Retardation due to a reflection on a second
Reflexionsfläche (16b) des ersten Reflektorkörpers (16) vergleichen zu können. Reflection surface (16b) of the first reflector body (16) to be able to compare.
9. Interferometer nach Anspruch 8, wobei die Steuereinheit dazu ausgelegt ist, in einem Messbetrieb den Hub der kontinuierlichen Veränderung der Gangunterschiede auf nicht mehr als einen Grundgangunterschied zu setzen. The interferometer of claim 8, wherein the control unit is configured to set the stroke of the continuous change of the gait differences to no more than one basic gait difference during a measuring operation.
10. Sensoranordnung, umfassend: eine Lichtquelle (2) kohärenten Weißlichts; mindestens zwei Sensorinterferomter (6a, 6b, 6c, 6d), welche einen messgrößenabhängigen Gangunterschied aufweisen; ein Auswerteinterferonneter (1 ), welches ein Interferometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche umfasst, eine Lichtleiteranordnung (4), welche die Lichtquelle, das A sensor array comprising: a light source (2) of coherent white light; at least two sensor interferometers (6a, 6b, 6c, 6d), which have a measured variable-dependent path difference; an evaluation interferometer (1) comprising an interferometer according to one of the preceding claims, an optical waveguide arrangement (4) comprising the light source, the light source
Sensorinterferometer und das Auswerteinterferonneter miteinander koppelt, und eine Kollimatoranordnung (8, 10), um das Licht aus der Sensor interferometer and the Auswerteinterferonneter coupled to each other, and a collimator assembly (8, 10) to the light from the
Lichtleiteranordnung kollimiert in das Auswerteinterferonneter einzustrahlen. Light guide assembly collimated into the Auswerteinterferonneter irradiate.
1 1 Sensoranordnung, nach Anspruch 10, wobei die 1 1 sensor arrangement according to claim 10, wherein the
Sensorinterferometer druckabhängige Gangunterschiede, oder temperaturabhängige Gangunterschiede aufweisen.  Sensor interferometer pressure-dependent path differences, or have temperature-dependent path differences.
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