WO2010052060A3 - Procédé de fonctionnement d'une pompe à vide à joint d'huile et pompe à vide à joint d'huile - Google Patents

Procédé de fonctionnement d'une pompe à vide à joint d'huile et pompe à vide à joint d'huile Download PDF

Info

Publication number
WO2010052060A3
WO2010052060A3 PCT/EP2009/062161 EP2009062161W WO2010052060A3 WO 2010052060 A3 WO2010052060 A3 WO 2010052060A3 EP 2009062161 W EP2009062161 W EP 2009062161W WO 2010052060 A3 WO2010052060 A3 WO 2010052060A3
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
vacuum pump
oil
tight vacuum
operating
tight
Prior art date
Application number
PCT/EP2009/062161
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
WO2010052060A2 (fr
Inventor
Hans ROTTLÄNDER
Gerhard Voss
Michael HÖLZEMER
Jean Luc Abraham
Original Assignee
Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh filed Critical Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh
Priority to EP09783213A priority Critical patent/EP2342462A2/fr
Publication of WO2010052060A2 publication Critical patent/WO2010052060A2/fr
Publication of WO2010052060A3 publication Critical patent/WO2010052060A3/fr

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/001Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/005Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/08Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids characterised by varying the rotational speed
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/28Safety arrangements; Monitoring

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

Dans un procédé de fonctionnement d'une pompe à vide à joint d'huile, a lieu comme première étape une mesure de la pression totale d'aspiration régnant dans une canalisation d'aspiration (22) de la pompe à vide. Afin de réduire le risque de retour de vapeur d'huile dans une zone sous vide raccordée à la canalisation d'aspiration, la vitesse de rotation de la pompe à vide est régulée en fonction de la pression totale d'aspiration mesurée sur une plage de pressions prédéterminée. L'invention concerne en outre une pompe à vide à joint d'huile, la canalisation d'aspiration (22) de la pompe à vide, reliée à l'espace d'aspiration, étant recourbée immédiatement avant une ouverture d'admission (36).
PCT/EP2009/062161 2008-11-08 2009-09-21 Procédé de fonctionnement d'une pompe à vide à joint d'huile et pompe à vide à joint d'huile WO2010052060A2 (fr)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP09783213A EP2342462A2 (fr) 2008-11-08 2009-09-21 Procede de fonctionnement d'une pompe a vide a joint d'huile et pompe a vide a joint d'huile

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200810057548 DE102008057548A1 (de) 2008-11-08 2008-11-08 Verfahren zum Betreiben einer ölgedichteten Vakuumpumpe sowie ölgedichtete Vakuumpumpe
DE102008057548.8 2008-11-08

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2010052060A2 WO2010052060A2 (fr) 2010-05-14
WO2010052060A3 true WO2010052060A3 (fr) 2010-07-29

Family

ID=42096522

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2009/062161 WO2010052060A2 (fr) 2008-11-08 2009-09-21 Procédé de fonctionnement d'une pompe à vide à joint d'huile et pompe à vide à joint d'huile

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP2342462A2 (fr)
DE (1) DE102008057548A1 (fr)
WO (1) WO2010052060A2 (fr)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108414406B (zh) * 2018-04-27 2024-04-12 华北电力大学 一种超临界视窗实验系统
GB2592573A (en) * 2019-12-19 2021-09-08 Leybold France S A S Lubricant-sealed vacuum pump, lubricant filter and method.
GB2619105A (en) * 2022-05-23 2023-11-29 Leybold France S A S Pump start up control

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3711143A1 (de) * 1986-04-14 1987-10-15 Hitachi Ltd Zweistufige vakuumpumpenvorrichtung
EP1813818A2 (fr) * 1999-11-17 2007-08-01 Teijin Seiki Co., Ltd. Appareil d'évacuation

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB747344A (en) * 1952-02-29 1956-04-04 Edwards & Co London Ltd W Improvements in or relating to oil sealed rotary vacuum pumps
CH359237A (de) * 1958-05-07 1961-12-31 Balzers Hochvakuum Ein- oder mehrstufige Gasballastpumpe
CH419421A (de) * 1964-09-14 1966-08-31 Balzers Patent Beteilig Ag Drehschieberpumpe
AU5180279A (en) * 1978-10-27 1980-05-01 Dynavac Pty. Ltd. Vacuum pump inlet valve
DE3828608A1 (de) * 1988-08-23 1990-03-08 Alcatel Hochvakuumtechnik Gmbh Vakuumpumpvorrichtung
JP2009517583A (ja) * 2005-11-23 2009-04-30 ベンジェンス・パワー・インコーポレーテッド 内燃機関

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3711143A1 (de) * 1986-04-14 1987-10-15 Hitachi Ltd Zweistufige vakuumpumpenvorrichtung
EP1813818A2 (fr) * 1999-11-17 2007-08-01 Teijin Seiki Co., Ltd. Appareil d'évacuation

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP2342462A2 *

Also Published As

Publication number Publication date
WO2010052060A2 (fr) 2010-05-14
EP2342462A2 (fr) 2011-07-13
DE102008057548A1 (de) 2010-05-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
IN266866B (fr)
WO2009110677A3 (fr) Silencieux pour compresseur
WO2010047543A3 (fr) Silencieux d'aspiration pour compresseur hermétique
PL1774140T3 (pl) Turbina parowa i sposób eksploatacji turbiny parowej
WO2011015193A3 (fr) Aube
WO2009155094A3 (fr) Compresseur possédant un système de modulation de capacité
WO2010041120A3 (fr) Orifice d’évacuation de compresseur haute efficacité
ATE519036T1 (de) Verdichterschaufel
WO2009087274A3 (fr) Agencement de superchargeur pour moteur à piston
WO2010119038A3 (fr) Pompe à vide à vis
EP2169230A3 (fr) Cylindre et compresseur rotatif doté de celui-ci
WO2013189931A3 (fr) Pompe à vide volumétrique automobile
EP2243413A3 (fr) Ensemble de moteur de ventilateur pour aspirateur
WO2010123604A3 (fr) Bloc gaz à régulation de pression
WO2010052060A3 (fr) Procédé de fonctionnement d'une pompe à vide à joint d'huile et pompe à vide à joint d'huile
EP2458215A3 (fr) Controle de capacité pour un compresseur rotatif à vis
WO2011064281A3 (fr) Pompe à palettes
WO2010058182A3 (fr) Compresseur à vis
WO2010016685A3 (fr) Compresseur rotatif
EP2249041A3 (fr) Pompe à vide à palettes avec une soupape d'évacuation d'huile
WO2010122021A3 (fr) Carter de pompe à vide et ensemble d'éléments de refroidissement pour carter de pompe à vide
WO2007120503A3 (fr) Pompe à déplacement variable dotée d'un rotor denté
WO2013024117A3 (fr) Pompe à vide perfectionnée
WO2010046491A3 (fr) Dispositif de guidage de flux pour un appareil de cuisson
WO2008024987A3 (fr) Pompe rotative muni d'un rotor de soupape et d'un ou plusieurs rotors à aube, et procédés pour pomper des fluides

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 09783213

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2009783213

Country of ref document: EP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE