WO2009141655A3 - Générateur de faisceau de particules amélioré - Google Patents
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Abstract
L'invention porte, selon des modes de réalisation de l'invention, sur un appareil générateur de faisceau de particules comprenant : un élément source; une première électrode; et une seconde électrode, le générateur étant utilisable pour extraire des particules de l'élément source au moyen d'une différence de potentiel appliquée entre l'élément source et la première électrode, la première électrode étant agencée pour concentrer les particules vers un foyer situé à une distance F1 de la première électrode, la seconde électrode étant agencée pour concentrer les particules en un point situé à une distance F1' de la première électrode, la distance F1' étant supérieure à la distance F1 pour ainsi augmenter une longueur focale effective de la première électrode.
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SIEGFRIED SCHILLER / ULLRICH HEISIG / SIEGFRIED PANZER: "Electron Beam Technology", 1982, WILEY-INTERSCIENCE, BERLIN, ISBN: 0-471-06056-9, XP002545103 * |
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