WO2009132891A3 - Composant micromécanique et son procédé de production - Google Patents

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WO2009132891A3
WO2009132891A3 PCT/EP2009/052970 EP2009052970W WO2009132891A3 WO 2009132891 A3 WO2009132891 A3 WO 2009132891A3 EP 2009052970 W EP2009052970 W EP 2009052970W WO 2009132891 A3 WO2009132891 A3 WO 2009132891A3
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Michael Stumber
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Abstract

L'invention concerne un procédé de production de composants micromécaniques, consistant à structurer un substrat (1) avec au moins une couche métallique (3, 6, 7, 7') ainsi qu'une couche sacrificielle (5, 5') comprenant du SiGe, puis à éliminer au moins partiellement la couche sacrificielle (5, 5') par gravure avec un composé fluoré tel que le ClF3, le substrat (1) revêtu de la couche sacrificielle (5, 5') et de la couche métallique (3, 6. 7, 7') étant chauffé à une température de ≥ 100°C à ≤ 400°avant la gravure de la couche sacrificielle (5, 5'). Le matériau de la couche métallique (3, 6, 7, 7') peut comprendre de l'aluminium. L'invention concerne en outre un composant micromécanique comprenant une couche métallique (3, 6, 7, 7'), le matériau de la couche métallique présentant une structure polycristalline, et ≥ 90% des cristallites présentant une taille de ≥ 1µm à ≤ 100 µm, ainsi que l'utilisation d'un tel composant micromécanique en tant que capteur de pression, commutateur haute fréquence ou diode varactor.
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