WO2009112107A1 - Druckmessvorrichtung und verfahren zum messen eines drucks - Google Patents

Druckmessvorrichtung und verfahren zum messen eines drucks Download PDF

Info

Publication number
WO2009112107A1
WO2009112107A1 PCT/EP2008/066295 EP2008066295W WO2009112107A1 WO 2009112107 A1 WO2009112107 A1 WO 2009112107A1 EP 2008066295 W EP2008066295 W EP 2008066295W WO 2009112107 A1 WO2009112107 A1 WO 2009112107A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
pressure
resonant circuit
sensor
pressure measuring
sensor resonant
Prior art date
Application number
PCT/EP2008/066295
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Marko Rocznik
Janpeter Wolff
Remigius Niekrawietz
Original Assignee
Robert Bosch Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch Gmbh filed Critical Robert Bosch Gmbh
Publication of WO2009112107A1 publication Critical patent/WO2009112107A1/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0092—Pressure sensor associated with other sensors, e.g. for measuring acceleration or temperature
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/12—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor
    • G01L9/125—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor with temperature compensating means

Definitions

  • the invention relates to a pressure measuring device and a corresponding method for measuring a pressure.
  • a motor vehicle is often equipped with at least one pressure sensor to measure, for example, the pressure within its engine or in a line leading to the engine.
  • the pressure sensor used for measurements on the engine is often exposed to a relatively high temperature, a chemically aggressive or a heavily polluted gas. For example, it is concluded that the loading state of diesel particulate filters via pressure sensors, which are exposed to a high risk of contamination in the exhaust system itself. Also, the attachment point of a boost pressure sensor is filled during an exhaust gas recirculation with a hot and chemically aggressive gas.
  • a pressure sensor installed on a motor vehicle therefore generally has to meet high robustness requirements.
  • Pressure sensor to improve by direct contact between the sensitive components of the pressure sensor, in particular the transmitter, and a hot, chemically aggressive or heavily polluted gas in the environment of the pressure sensor is prevented by applying a gel.
  • the attached to the pressure sensor and the associated evaluation gel serves as a diffusion barrier.
  • the gagging of a pressure sensor is associated with additional costs and difficulties in the manufacture and mounting of the pressure sensor in a motor vehicle.
  • chemically aggressive gases can often rapidly degrade the gel applied to the pressure sensor.
  • the protective effect of the applied gel is therefore often limited in time.
  • Another way to protect a sensitive transmitter of a pressure sensor from hot, chemically aggressive or heavily polluted gases is the separate arrangement a robust trained sensor element and the sensitive evaluation.
  • the sensor element for example a resonant circuit with a pressure-dependent resonance frequency, is arranged in a measuring space with the described ambient conditions.
  • Such a pressure sensor is described for example in DE 101 28 010 Al.
  • the pressure sensor has a resonant circuit whose inductive component has a pressure-dependent inductance.
  • the resonant frequency of the resonant circuit, and thus the pressure-dependent inductance queried without contact and converted into a pressure.
  • Resonance frequency of the resonant circuit of environmental factors such as a temperature, pressure or a chemical environment depends.
  • a current value of the resonant frequency can be interrogated without contact.
  • a pressure sensor with a resonant circuit for non-contact sensing of the pressure-dependent resonance frequency therefore often measures inaccurate or incorrect pressure values. This can lead to erroneous reactions when driving components of the associated vehicle.
  • the invention provides a pressure measuring device with the features of claim 1 and a method for measuring a pressure with the features of claim 11.
  • an environmental parameter is a size to understand, which reflects an environmental influence of the environment of a sensor resonant circuit.
  • Such an environmental parameter may be a pressure, a temperature and / or a chemical environment of the sensor resonant circuit.
  • the environmental parameter may also be a degree of contamination or a particle concentration of the surroundings of the sensor resonant circuit.
  • the present invention is based on the finding that it is possible to determine the pressure-independent displacement of a resonant frequency of a first sensor resonant circuit used as a sensor element due to disturbing influences by using a second sensor resonant circuit mounted in a spatial environment of the first sensor resonant circuit for a reference measurement.
  • the second sensor resonant circuit is arranged in the spatial environment of the first sensor resonant circuit so that act on him acting on the first sensor resonant circuit environmental parameters and the same pressure.
  • a shift of a resonance frequency is at least mainly due to a comparison of the shifts of the resonance frequencies.
  • a (partial) shift of a resonance frequency can be determined in this way, which is due to an increase or decrease of the pressure and not to a change of another environment parameter.
  • An internal or external evaluation device can then determine the associated pressure difference and / or the corresponding absolute pressure on the basis of the determined pressure-dependent (partial) shift of the resonance frequency.
  • the interrogation oscillating circuit may be a resonant circuit for establishing an electromagnetic H-near field.
  • the interrogation oscillation circuit is an ASIC (Application Specific Integrated Circuit) oscillating circuit whose coil is used to build up the electromagnetic H near field.
  • the interrogation loop therefore does not have to be an actively transmitting device.
  • the interrogation circuit supplies the at least two sensor circuits with energy and thus allows the construction of an electromagnetic H-near field at each of the at least two sensor circuits.
  • an H-near field of a sensor resonant circuit can influence the H-near field of the interrogation oscillating circuit and thus cause a frequency shift.
  • an actively transmitting device is often subject to certain limitations on the allowed frequency bands. Especially when using the actively transmitting device in a vehicle, a transmission of signals outside of these permitted frequency bands is often not allowed, regardless of the transmitted power.
  • An interrogation oscillating circuit which is designed as an ASIC resonant circuit, is only subject to EMC regulations when used in a vehicle, ie emission limits whose limit values must not be exceeded. Thus, the use of an ASIC resonant circuit in a vehicle is particularly advantageous.
  • the interrogation loop may also be an antenna. Instead of an antenna, however, any other known interrogation device for non-contact interrogation of the resonance frequencies of the at least two sensor resonant circuits can also be used as the interrogation oscillation circuit.
  • a measurement signal output by the interrogation oscillation circuit to the evaluation device can contain values for the resonance frequencies of the at least two sensor oscillation circuits and / or values for the shifts of the resonance frequencies with respect to predetermined output values.
  • the environmental parameter preferably comprises a temperature, a chemical state, a particle concentration and / or a degree of contamination in the pressure measuring chamber.
  • the evaluation device is preferably designed to filter out a conditional by the environmental parameters drift of the resonant frequency of the first sensor resonant circuit and / or the second sensor resonant circuit in the evaluation of the resonant frequency of the first sensor resonant circuit when using the resonant frequency of the second sensor resonant circuit. From the filtered residual shift of the resonant frequency, the pressure in the vicinity of the two sensor resonant circuits can then be determined using the pressure sensitivity of the associated sensor resonant circuit.
  • the evaluation device is designed to be based on the.
  • Environmental parameters conditional drift of the resonant frequency of the first sensor resonant circuit and / or the second sensor resonant circuit to determine the environmental parameters and / or a change of the environmental parameter in the pressure measuring chamber.
  • the pressure measuring device described here thus has the advantage that, in addition to its pressure measuring function, it is designed to have a temperature or a temperature prevailing in a motor vehicle area
  • Pollution degree for example, a soot particle density on a motor vehicle component to determine.
  • the first sensor resonant circuit comprises a pressure-sensitive capacitor and the second sensor resonant circuit comprises a pressure-resistant capacitor.
  • the flameproof condenser has at least one air flow opening or a fixed capacity without cavern, so that the resonance frequency of the associated sensor resonant circuit changes only as a function of a temperature, a chemical aggressiveness or a degree of contamination of an ambient gas. An increase or decrease in the pressure hardly affects the resonant frequency of the sensor resonant circuit with the pressure-resistant capacitor. The difference between the
  • Shifts of the resonant frequencies of the two sensor circuits is thus almost exclusively pressure-dependent. This facilitates the calculation of the pressure prevailing at the two sensor resonant circuits and the filtering out of the temperature- or contamination-dependent drift.
  • the pressure measuring device may also comprise a sensor resonant circuit, which has a different second pressure sensitivity with respect to the pressure sensitivity of the first sensor resonant circuit.
  • the at least two sensor resonant circuits have different membrane geometries, so that their resonance frequencies shift differently when the pressure changes. Sensor resonant circuits with different diaphragm geometries can be produced easily and thus ensure a cost-effective embodiment of the pressure measuring device.
  • the pressure measuring device comprises a third sensor resonant circuit arranged in the pressure measuring chamber, the resonant frequency of which can be interrogated by the interrogation oscillating circuit.
  • the evaluation device is designed in this case, based on the resonance frequencies of the first sensor resonant circuit, the second sensor resonant circuit and the third sensor resonant circuit additionally the temperature, the chemical state, the particle concentration, the degree of soiling and / or the change in temperature, the chemical state Particle concentration and / or the degree of contamination in the pressure measuring chamber to determine. This multifunctionality of the pressure measuring device thus leads to the saving of another temperature or pollution sensor.
  • the first sensor resonant circuit, the second sensor resonant circuit and / or the third sensor resonant circuit are arranged to each other such that the main emission directions of the at least two sensor resonant circuits are directed at a right angle to each other.
  • the first sensor resonant circuit, the second sensor resonant circuit and / or the third sensor resonant circuit can also be arranged in a large distance relative to their expansions. In this easily executable manner, an undesirable direct coupling between the at least two sensor resonant circuits, which may otherwise affect the resonant frequencies, can be minimized or suppressed.
  • At least one of the sensor resonant circuits comprises a capacitor in which at least one electrode is divided into individual sectors by means of radiating separation trenches. This prevents the formation of eddy currents in the electrode with the radial separating trenches, which may otherwise adversely affect the grades of the associated sensor resonant circuit.
  • at least one of the sensor resonant circuits may comprise a capacitor whose electrodes at least partially form an interdigital structure.
  • the electrodes are at least partially subdivided into a grid.
  • the two electrodes forming an interdigital structure lie in a plane near the surface of the capacitor or above it. Such formed electrodes are well suited as a pollution sensor element.
  • the pressure measuring device described in the above paragraphs can also be operated under the aggressive conditions of an air duct or exhaust system of a motor vehicle internal combustion engine. Even high temperature fluctuations between -40 0 C to 200 0 C do not lead to incorrectly determined pressure values. Layer stress on the sensor resonant circuits, which occur during such temperature fluctuations and conventionally lead to incorrect measurement results, can filter out the pressure measuring device. It also prevents the chemical environment from falsifying the measurement results.
  • the evaluation electronics are simultaneously hermetically and thermally separated from the measurement volume.
  • the interrogation of the at least two sensor resonant circuits is carried out without contact by means of the interrogation oscillating circuit.
  • the pressure measuring device described is also applicable in medical technology, since its sensor subunit is easily used inside an organism due to their small size, without a toxic or voluminous power supply must be implanted.
  • FIG. 1 shows a first example of a sensor resonant circuit of the pressure measuring device.
  • FIG. 2 is a schematic diagram for explaining the operation of a first embodiment of the pressure measuring device
  • Fig. 3 is a schematic representation of the first embodiment of the pressure measuring device; 4 shows an arrangement of two sensor resonant circuits of a second embodiment of the
  • Fig. 5 is a schematic representation of the second embodiment of the pressure measuring device
  • FIG. 6 shows a second example of a sensor resonant circuit of the pressure measuring device
  • FIG. 8 shows a fourth example of a sensor resonant circuit of the pressure measuring device.
  • Fig. 1 shows a first example of a sensor resonant circuit of the pressure measuring device.
  • the sensor resonant circuit 10 comprises a coil 12 and a capacitor 14. It is expressly understood that the sensor resonant circuit 10 has no active electronics, which has a high susceptibility to a hot, polluted or chemically aggressive environment has.
  • the sensor resonant circuit 10 is preferably formed of robust materials such as platinum and / or gold. To protect against chemically aggressive gases, corrosive liquids or contaminants, the sensor resonant circuit 10 may additionally be encased with a passivation layer.
  • the coil 12 has a high rigidity.
  • the inductance of the sensor resonant circuit 10 hardly changes in this case when the pressure in an environment of the sensor resonant circuit 10 increases or decreases.
  • the capacitor 14 has an outer electrode 16 and an inner electrode 18.
  • the two electrodes 16 and 18 are mutually adjustable so that the capacitor 14 has a desired pressure sensitivity.
  • at least one of the two electrodes 16 and 18 may be a membrane of a conductive material with a small layer thickness. In this case, the two electrodes 16 and 18 can be compressed even at a low pressure. The capacity of the capacitor 14 with a membrane thus has a high pressure sensitivity.
  • electrodes 16 and 18 may also be formed to have high compressive stiffness.
  • at least one of the two electrodes 16 and 18 have several continuous air flow openings.
  • a membrane thickness for at least one of the two electrodes 16 and 18 can be selected so that the compressive stiffness is significantly increased.
  • a fixed capacity without cavern can be formed on the sensor resonant circuit 10. The capacitance of the capacitor 14 does not change significantly in these cases described here by way of example, even with a significant increase or decrease of the pressure.
  • Fig. 2 is a schematic diagram for explaining the operation of a first embodiment of the pressure measuring device.
  • the reproduced pressure measuring device comprises a first sensor resonant circuit 20 and a second sensor resonant circuit 22.
  • Both sensor resonant circuits 20 and 22 have a coil 20a or 22a and a capacitor 20b or 22b.
  • the coils 20a and 22a have the same number of turns and the same stiffness.
  • the capacitor 20b of the first sensor resonant circuit 20 has a higher pressure sensitivity than the capacitor 22b of the second sensor resonant circuit 22.
  • the capacitor 20b is a pressure-sensitive capacitor with an electrode formed as a membrane.
  • the condenser 22b may be a pressure-resistant condenser having an electrode with a plurality of air flow openings.
  • the two sensor resonant circuits 20 and 22 are arranged in a common measuring chamber (not shown). Therefore, a temperature, an equal pressure and an identical chemical gas mixture act on both sensor resonant circuits 20 and 22.
  • an interrogation loop 24 of the pressure measuring device by means of schematically reproduced partitions 26 hermetically and thermally separated from the two sensor resonant circuits 20 and 22.
  • the partition walls 26 thus protect the sensing loop 24 from the temperature, pressure and chemical conditions inside the measuring chamber.
  • the dividing walls 26 are designed such that, for example, an electromagnetic signal 28 emitted by the interrogation oscillating circuit 24 can be received by the two sensor resonant circuits 20 and 22 or a coupling of the coils 20a and 22a to a unit for generating a magnetic field functioning as interrogation oscillator 24 possible is.
  • an electromagnetic coupling between the interrogation oscillating circuit 24 and the sensor resonant circuits 20 and 22, which can also be designated as an energetic coupling.
  • the interrogation oscillating circuit 24 is set to a frequency which corresponds to the resonant frequency of one of the sensor resonant circuits 20 or 22, the relevant sensor resonant circuit 20 or 22 extracts a greater amount of energy from the interrogation oscillator circuit 24.
  • a controller structure In order to compensate for the energy extracted from the interrogation loop 24, a controller structure must Retrieve check loop 24. The resonant frequencies of the two sensor resonant circuits 20 and 22 can thus be determined on the basis of the signal of the controller structure.
  • an electromagnetic coupling between the interrogator circuit 24 and each of the two sensor resonant circuits 20 and 22 is preferred.
  • an interaction 30 of the two sensor resonant circuits 20 and 22 can detune the resonance frequencies of the sensor resonant circuits 20 and 22 with each other, and thus falsify the pressure values determined from the resonance frequencies. Therefore, it is desirable to minimize the direct coupling of the two sensor circuits 20 and 22 together.
  • Embodiments of the pressure measuring device with a negligible coupling of the inductances of the two sensor resonant circuits 20 and 22 will be described in more detail below.
  • a low-cost embodiment of the interrogation oscillating circuit 24 may comprise, for example, an ASIC (Application Specific Integrated Circuit) oscillating circuit.
  • a voltage-controlled LC oscillator LC-VCO
  • the voltage-controlled LC oscillator has a regulator structure, for example an AGC (Automatic Gain Control), which keeps the resonant circuit voltage constant.
  • the interrogation loop 24 can be stimulated with a frequency within a predetermined frequency range.
  • the interrogation oscillating circuit 24 can have an impedance analyzer with which the results of the sensor resonant circuits 20 and 22 can be evaluated.
  • Fig. 3 shows a schematic representation of the first embodiment of the pressure measuring device.
  • the illustrated pressure measuring device has a housing 32 whose internal volume is subdivided by means of a dividing wall 34 into a measuring chamber 36 and into an insulating chamber 38.
  • An outer wall of the housing 32 has a Gaseintrittsöffhung 40, which leads into the measuring space 36. Due to the gas inlet opening 40, the same physical and chemical conditions can be established in the interior of the measuring chamber 36 as in the external environment of the pressure measuring device. The pressure and the temperature in the measuring chamber 36 are thus equal to the pressure and the temperature in the external environment of the pressure measuring device.
  • On two inner walls of the measuring chamber 36 the two already described sensor resonant circuits 20 and 22 are arranged. The sensor resonant circuits 20 and 22 are aligned parallel to each other.
  • the field lines and the main emission directions of the two sensor resonant circuits 20 and 22 are parallel to each other in such an orientation.
  • the sensor resonant circuits 20 and 22 are arranged at a large distance from one another. The large distance between the two sensor resonant circuits 20 and 22 reduces the factor of the direct electromagnetic coupling between the two sensor resonant circuits 20 and 22.
  • the detection swinging circuit 24 mounted in the insulating chamber 38 is hermetically and thermally protected from the atmospheric conditions inside the measuring chamber 36 due to the partition wall 34. In this way, it is possible to protect the sensing loop 24 with its sensitive electronics from the often high pressure and possibly hot, heavily polluted and / or chemically aggressive gases inside the measuring chamber 36.
  • the partition 34 is designed so that an electromagnetic coupling between the sensing swing 24 and each of the two sensor circuits 20 and 22 is present.
  • the housing 32 additionally has a plug chamber 42 into which a plug 44 connected to the interrogation loop 24 projects.
  • a plug 44 of the interrogation loop 24 can be supplied with power.
  • the plug 44 signals of the Abfrageschwingnikes 24 which, for example, information about the current resonant frequencies of the two sensor resonant circuits 20 and 22, to transmit to a separately arranged from the housing 32 evaluation.
  • the evaluation device can be additionally protected by the environmental conditions in the external environment of the pressure measuring device.
  • a further advantage of an evaluation device arranged separately from the housing 32 is that the housing 32 requires less installation space without the evaluation device.
  • the housing 32 is easier to insert in this case at a desired location in a motor vehicle.
  • Query swing circle 24 a central evaluation of the vehicle can be used.
  • the central evaluation device By means of the central evaluation device, further measurement signals which are measured by other measuring devices can also be evaluated.
  • This multi-functionality of the central evaluation device additionally reduces the costs for a motor vehicle with such a pressure measuring device.
  • 4 shows an arrangement of two sensor resonant circuits of a second embodiment of the pressure measuring device.
  • the two sensor resonant circuits 20 and 22 are arranged in this embodiment to each other so that their Hauptabstrahlraumen 46 and 48 intersect at an almost right angle.
  • the field lines of the two sensor resonant circuits 20 and 22 thus intersect at an effective average at an angle of approximately 90 °. In this way, a mutual influence of the two sensor resonant circuits 20 and 22 can be minimized even with a small distance between the two sensor resonant circuits 20 and 22.
  • Fig. 5 shows a schematic representation of the second embodiment of the pressure measuring device.
  • the measuring chamber 36 has two inner walls 50 and 52 which are inclined to each other by an angle of approximately 90 °. At one of the two inner walls 50 and 52, one of the two sensor resonant circuits 20 and 22 is attached. The two sensor resonant circuits 20 and 22 are thus arranged offset by approximately 90 ° to each other. The main radiation directions 46 and 48 of the two sensor resonant circuits 20 and 22 are aligned at a right angle to each other. Accordingly, the field lines of the two sensor resonant circuits 20 and 22 intersect in the effective mean at an angle of 90 °. Despite the small distance between the two sensor resonant circuits 20 and 22, the direct electromagnetic coupling between the two sensor resonant circuits 20 and 22 is negligible.
  • the angle of inclination between the two inner walls 50 and 52 and the definable Hauptabstrahlraum 54 of the Querstagschwivelnikes 24 is approximately equal to 45 °. This ensures electromagnetic coupling between the interrogation circuit 24 and each of the two sensor circuits 20 and 22.
  • the use of the term main radiation direction 54 does not mean that the interrogation circuit 24 is actively transmitting.
  • the orthogonal arrangement of the two sensor resonant circuits 20 and 22 has the advantage over the above-described arrangement of the two sensor resonant circuits 20 and 22 with a large spacing, that it less affects the electromagnetic coupling of the sensing oscillator 24 to each of the two sensor resonant circuits 20 and 22.
  • a mutual influencing of the two sensor resonant circuits 20 and 22 can be avoided without at the same time the electromagnetic coupling of the interrogation oscillating circuit 24 to each of the two sensor resonant circuits 20 and 22 being considerably reduced.
  • Fig. 6 shows a second example of a sensor resonant circuit of the pressure measuring device.
  • the illustrated sensor resonant circuit 60 includes a coil 62 and a capacitor 64 having two circular electrodes. Via a via 66, each of the two electrodes of the capacitor 64 is connected to the coil 62.
  • the resonant frequency can be in the MHz to GHz range. At frequencies in this range, however, eddy currents may occur in the electrode surfaces of the capacitor 64. These eddy currents can affect the quality of the sensor resonant circuit 60.
  • Fig. 7 shows a third example of a sensor resonant circuit of the pressure measuring device.
  • the illustrated sensor resonant circuit 70 has the already described coil 72 and the through-hole 76. In contrast to the example of a
  • the sensor resonant circuit 70 has a capacitor 74, whose electrodes are divided by radial cuts 78 in circular sectors.
  • the conventionally often occurring eddy currents can be suppressed. This improves the quality of the sensor resonant circuit 70.
  • the loss of electrode surfaces can be kept negligibly small.
  • Fig. 8 shows a fourth example of a sensor resonant circuit of the pressure measuring device.
  • the illustrated sensor resonant circuit 80 is listed as a contamination sensor. Of the
  • Sensor resonant circuit 80 has, in addition to a coil 82 and a via 86, a capacitor 84 with two gratings 90, which are held by a two-part frame holder 88. Particles, such as soot, may be deposited on the grids 90 from the environment of the capacitor 84. These deposits affect the stray field of the interdigital fingers of the gratings 90 and thus change the capacitance of the capacitor 84.
  • the two gratings 90 may also be referred to as an interdigital structure.
  • the capacitor 84 does not have to be designed to flow through. As a rule, the particles deposit only on the surface of the two grids 90.
  • the interdigital structures of the grids 90 can be arranged directly on an insulating layer, which is formed on a carrier substrate. The interdigital structures are thus not self-supporting.
  • the resonant frequency of the sensor resonant circuit 80 therefore reacts very sensitively to a gas which is highly enriched with particles in the vicinity of the capacitor 84.
  • the sensitivity of the sensor resonant circuit 80 designed as a contamination sensor can be influenced in a targeted manner by means of coatings. For example, a specific gas sensitivity can thus be achieved.
  • the sensor resonant circuit 80 can be used selectively to determine a degree of contamination in a measuring chamber.
  • the sensor resonant circuit 80 is mounted together with a non-contamination-sensitive sensor resonant circuit in a measuring chamber.
  • By compensating for the shifts in the resonant frequencies of the two sensor resonant circuits 80 it is possible to determine a contamination-dependent drift of the resonant frequency of the sensor resonant circuit 80 together with a pressure- and / or temperature-dependent drift of the resonant frequencies. In this way, in addition to the pressure and / or the temperature, a degree of contamination of the gas in the measuring chamber can be measured.
  • three sensor resonant circuits are mounted in a measuring chamber of a pressure measuring device.
  • the arrangement of the sensor resonant circuits is such that they are arranged offset in each case at angles of 90 ° to each other.
  • a first sensor resonant circuit is relatively pressure and contamination resistant.
  • Resonance frequency of this first sensor resonant circuit in this case depends only on a temperature in the measuring chamber.
  • a second sensor resonant circuit has a significantly higher contamination sensitivity than the first sensor resonant circuit.
  • the second sensor resonant circuit also has a temperature sensitivity.
  • the second sensor resonant circuit is relatively pressure-resistant.
  • the resonance frequencies of the three sensor resonant circuits By evaluating the resonance frequencies of the three sensor resonant circuits, it is possible to determine a temperature-dependent, a pressure-dependent and a contamination-dependent drift of the respective resonant frequencies of the three sensor resonant circuits. From the shift of the resonance frequency of the first sensor resonant circuit results in the temperature-dependent drift. A comparison of the shift of the resonant frequency of the second sensor resonant circuit with the shift of the resonant frequency of the first sensor resonant circuit makes it possible to detect the contamination-dependent drift. Accordingly, the pressure-dependent drift can be determined by means of a comparison of the displacement of the resonance frequency of the third sensor resonant circuit with the displacement of the resonant frequency of the second sensor resonant circuit. In this way, the temperature, the pressure and the degree of contamination in the measuring chamber of the pressure measuring device can be determined by interrogating the resonance frequencies of the three sensor resonant circuits.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Druckmessvorrichtung mit einem in einer Druckmesskammer (36) angeordneten ersten Sensorschwingkreis (20, 22), der so ausgelegt ist, dass seine Resonanzfrequenz eine erste Druckabhängigkeit gegenüber einer Änderung eines Drucks in der Druckmesskammer (36) hat und sensitiv gegenüber einer Änderung eines anderen Umgebungsparameters in der Druckmesskammer (36) ist; einem zweiten Sensorschwingkreis (20, 22), der so ausgelegt ist, dass seine Resonanzfrequenz eine geringere zweite Druckabhängigkeit gegenüber der Änderung des Drucks in der Druckmesskammer (36) hat; und einem Abfrageschwingkreis(24), welcherdazu ausgelegt ist, die Resonanzfrequenzen des ersten Sensorschwingkreises (20, 22) und des zweiten Sensorschwingkreises (20, 22) zu ermitteln und an eine interne oder externe Auswerteeinrichtung bereitzustellen, so dass mittels einer Auswertung der Resonanzfrequenz des ersten Sensorschwingkreises (20, 22) bei Heranziehen der Resonanzfrequenz des zweiten Sensorschwingkreises (20, 22) als Referenz der Druck und/oder die Änderung des Drucks in der Druckmesskammer (36) bestimmbar ist. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein entsprechendes Verfahren zum Messen eines Drucks.

Description

Beschreibung
Titel
Druckmessvorrichtung und Verfahren zum Messen eines Drucks
Die Erfindung betrifft eine Druckmessvorrichtung und ein entsprechendes Verfahren zum Messen eines Drucks.
Stand der Technik
Ein Kraftfahrzeug ist häufig mit mindestens einem Drucksensor ausgestattet, um beispielsweise den Druck innerhalb seines Motors oder in einer zum Motor führenden Leitung zu messen. Der für Messungen am Motor verwendete Drucksensor ist oft einer relativ hohen Temperatur, einem chemisch aggressiven oder einem stark verschmutzten Gas ausgesetzt. So wird beispielsweise auf den Beladungszustand von Dieselpartikelfiltern über Drucksensoren geschlossen, die im Abgastrakt selbst einem hohen Verschmutzungsrisiko ausgesetzt sind. Auch die Anbringstelle eines Ladedrucksensors ist während einer Abgasrückführung mit einem heißen und chemisch aggressiven Gas gefüllt. Ein an einem Kraftfahrzeug verbauter Drucksensor muss deshalb in der Regel hohe Robustheitsanforderungen erfüllen.
Herkömmlicherweise versucht man, die Robustheit eines in einem Kraftfahrzeug verbauten
Drucksensors zu verbessern, indem durch Aufbringen eines Gels ein direkter Kontakt zwischen den empfindlichen Komponenten des Drucksensors, insbesondere der Auswerteelektronik, und einem heißen, chemisch aggressiven oder stark verschmutzen Gas in der Umgebung des Drucksensors verhindert wird. Das an dem Drucksensor und der zugehörigen Auswerteelektronik angebrachte Gel dient dabei als Diffusionsbarriere. Allerdings ist das Vergelen eines Drucksensors mit zusätzlichen Kosten und Schwierigkeiten bei der Herstellung und der Anbringung des Drucksensors in einem Kraftfahrzeug verbunden. Des Weiteren können chemisch aggressive Gase das auf den Drucksensor aufgebrachte Gel oft schnell zersetzen. Die Schutzwirkung des aufgebrachten Gels ist deshalb häufig zeitlich stark begrenzt.
Eine weitere Möglichkeit zum Schützen einer sensiblen Auswerteelektronik eines Drucksensors vor heißen, chemisch aggressiven oder stark verschmutzten Gasen besteht in der getrennten Anordnung eines robust ausgebildeten Sensorelements und der sensiblen Auswerteelektronik. In diesem Fall wird nur das Sensorelement, beispielsweise ein Schwingkreis mit einer druckabhängigen Resonanzfrequenz, in einem Messraum mit den beschriebenen Umgebungsbedingungen angeordnet.
Ein derartiger Drucksensor ist beispielsweise in der DE 101 28 010 Al beschrieben. Der Drucksensor weist einen Schwingkreis auf, dessen induktives Bauteil eine druckabhängige Induktivität aufweist. Mittels eines Oszillators des Drucksensors wird die Resonanzfrequenz des Schwingkreises, und damit dessen druckabhängige Induktivität, berührungslos abgefragt und in einen Druck umgerechnet.
Auch die US 2007/0051176 Al beschreibt ein System mit einem Schwingkreis, wobei die
Resonanzfrequenz des Schwingkreises von Umweltfaktoren wie einer Temperatur, einem Druck oder einer chemischen Umgebung abhängt. Mittels eines Abfrage-Schwingkreises kann ein aktueller Wert der Resonanzfrequenz berührungslos abgefragt werden.
Die Sensitivität der Resonanzfrequenz des Sensorelements bezüglich der Temperatur und der chemischen Umgebung führt jedoch häufig zu Problemen beim Umrechnen der aktuellen Resonanzfrequenz in einen entsprechenden Druck. Insbesondere bei einer hohen Temperatur oder einer starken Verschmutzung des Gases in der Messkammer misst ein Drucksensor mit einem Schwingkreis zur berührungslosen Abfrage der druckabhängigen Resonanzfrequenz deshalb häufig ungenaue oder falsche Druckwerte. Dies kann zu Fehlreaktionen beim Ansteuern von Komponenten des zugehörigen Fahrzeugs führen.
Es ist deshalb wünschenswert, trotz der häufig extremen Umgebungsbedingungen in einem Kraftfahrzeug über eine verlässlichere Möglichkeit zur Druckbestimmung zu verfügen.
Offenbarung der Erfindung
Die Erfindung schaffte eine Druckmessvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und ein Verfahren zum Messen eines Drucks mit den Merkmalen des Anspruchs 11.
Unter einem Umgebungsparameter ist dabei eine Größe zu verstehen, welche einen Umwelteinfluss der Umgebung eines Sensorschwingkreises wiedergibt. Ein derartiger Umgebungsparameter kann ein Druck, eine Temperatur und/oder eine chemische Umgebung des Sensorschwingkreises sein. Beispielsweise kann der Umgebungsparameter auch ein Verschmutzungsgrad oder eine Partikelkonzentration der Umgebung des Sensorschwingkreises sein. Die vorliegende Erfindung beruht auf der Erkenntnis, dass es möglich ist, die auf Störeinflüsse zurückzuführende druckunabhängige Verschiebung einer Resonanzfrequenz eines als Sensorelement verwendeten ersten Sensorschwingkreises festzustellen, indem ein in einer räumlichen Umgebung des ersten Sensorschwingkreises angebrachter zweiter Sensorschwingkreis zu einer Referenzmessung herangezogen wird. Der zweite Sensorschwingkreis ist dabei in der räumlichen Umgebung des ersten Sensorschwingkreises so angeordnet, dass auf ihn die auf den ersten Sensorschwingkreis einwirkenden Umgebungsparameter und der gleiche Druck einwirken.
Aufgrund der unterschiedlichen Sensitivitäten der Resonanzfrequenzen der beiden Sensorschwingkreise führen Veränderungen der Umweltbedingungen in der räumlichen Umgebung zu unterschiedlichen Verschiebungen der Resonanzfrequenzen. Somit ist es möglich, durch einen Vergleich der Verschiebungen der Resonanzfrequenzen Rückschlüsse zu ziehen, auf welchem Umgebungsparameter eine Verschiebung einer Resonanzfrequenz zumindest hauptsächlich zurückzuführen ist. Insbesondere kann auf diese Weise eine (Teil-)Verschiebung einer Resonanzfrequenz bestimmt werden, welche auf eine Zu- oder Abnahme des Drucks und nicht auf eine Veränderung eines anderen Umgebungsparameters zurückzuführen ist. Eine interne oder externe Auswerteeinrichtung kann daraufhin anhand der festgestellten druckabhängigen (Teil-)Verschiebung der Resonanzfrequenz die zugehörigen Druckdifferenz und/oder den entsprechenden Absolutdruck ermitteln.
Der Abfrageschwingkreis kann ein Schwingkreis zum Aufbau eines elektromagnetischen H-Nahfeldes sein. Beispielsweise ist der Abfrageschwingkreis ein ASIC-Schwingkreis (Application Specific Integrated Circuit), dessen Spule zum Aufbau des elektromagnetischen H-Nahfeldes dient. Der Abfrageschwingkreis muss somit kein aktiv sendendes Gerät sein. Der Abfrageschwingkreis versorgt die mindestens zwei Sensorschwingkreise mit Energie und ermöglicht somit den Aufbau eines elektromagnetischen H-Nahfeldes an jedem der mindestens zwei Sensorschwingkreise. Über die induktive Kopplung kann dabei ein H-Nahfeld eines Sensorschwingkreises das H-Nahfeld des Abfrageschwingkreises beeinflussen und somit eine Frequenzverschiebung bewirken.
Die Verwendung eines aktiv sendenden Geräts unterliegt häufig bestimmten Beschränkungen hinsichtlich der erlaubten Frequenzbänder. Vor allem bei einer Verwendung des aktiv sendenden Geräts in einem Fahrzeug ist ein Aussenden von Signalen außerhalb dieser erlaubten Frequenzbänder unabhängig von der ausgesendeten Leistung häufig nicht zulässig. Ein Abfrageschwingkreis, welcher als ASIC-Schwingkreis ausgebildet ist, unterliegt bei einer Verwendung in einen Fahrzeug nur EMV- Bestimmungen, d.h. Emissionsgrenzen, deren Grenzwerte nicht überschritten werden dürfen. Somit ist die Verwendung eines ASIC-Schwingkreises in einem Fahrzeug besonders vorteilhaft. Selbstverständlich kann der Abfrageschwingkreis auch eine Antenne sein. Anstelle einer Antenne kann aber auch jede andere bekannte Abfrageeinrichtung zur berührungslosen Abfrage der Resonanzfrequenzen der mindestens zwei Sensorschwingkreise als Abfrageschwingkreis verwendet werden.
Ein von dem Abfrageschwingkreis an die Auswerteeinrichtung ausgegebenes Messsignal kann dabei Werte für die Resonanzfrequenzen der mindestens zwei Sensorschwingkreise und/oder Werte für die Verschiebungen der Resonanzfrequenzen gegenüber vorgegebenen Ausgangswerten enthalten.
Vorzugsweise umfasst der Umgebungsparameter eine Temperatur, einen chemischer Zustand, eine Partikelkonzentration und/oder einen Verschmutzungsgrad in der Druckmesskammer. Die Auswerteeinrichtung bevorzugt ist dazu ausgelegt, bei der Auswertung der Resonanzfrequenz des ersten Sensorschwingkreises bei Heranziehen der Resonanzfrequenz des zweiten Sensorschwingkreises eine durch den Umgebungsparameter bedingte Drift der Resonanzfrequenz des ersten Sensorschwingkreises und/oder des zweiten Sensorschwingkreises herauszufiltern. Aus der gefilterten Restverschiebung der Resonanzfrequenz kann anschließend unter Verwendung der Drucksensitivität des zugehörigen Sensorschwingkreises der Druck in der Umgebung der beiden Sensorschwingkreise bestimmt werden.
In einer Weiterbildung ist die Auswerteeinrichtung dazu ausgelegt, anhand der durch den
Umgebungsparameter bedingten Drift der Resonanzfrequenz des ersten Sensorschwingkreises und/oder des zweiten Sensorschwingkreises den Umgebungsparameter und/oder eine Änderung des Umgebungsparameters in der Druckmesskammer zu ermitteln. Die hier beschriebene Druckmessvorrichtung weist damit den Vorteil auf, dass sie zusätzlich zu ihrer Druckmessfunktion dazu ausgelegt ist, eine in einem Kraftfahrzeugbereich herrschende Temperatur oder einen
Verschmutzungsgrad, beispielsweise eine Russpartikeldichte an einer Kraftfahrzeugkomponente, zu bestimmen.
In einer bevorzugten Ausführungsform umfasst der erste Sensorschwingkreis einen drucksensitiven Kondensator und der zweite Sensorschwingkreis einen druckfesten Kondensator. Beispielsweise weist der druckfeste Kondensator mindestens eine Luftdurchströmöffnung oder eine Festkapazität ohne Kaverne auf, so dass sich die Resonanzfrequenz des zugehörigen Sensorschwingkreises lediglich in Abhängigkeit von einer Temperatur, einer chemischen Aggressivität oder einem Verschmutzungsgrad eines Umgebungsgases ändert. Eine Zu- oder Abnahme des Drucks beeinflusst die Resonanzfrequenz des Sensorschwingkreises mit dem druckfesten Kondensator kaum. Die Differenz zwischen den
Verschiebungen der Resonanzfrequenzen der beiden Sensorschwingkreise ist damit fast ausschließlich druckabhängig. Dies erleichtert das Berechnen des an den beiden Sensorschwingkreisen herrschenden Drucks und das Herausfiltern der temperatur- oder verschmutzungsabhängigen Drift.
Als Alternative oder als Ergänzung zu dem im oberen Absatz genannten druckfesten Kondensator, kann die Druckmessvorrichtung auch einen Sensorschwingkreis umfassen, welcher gegenüber der Drucksensitivität des ersten Sensorschwingkreises eine verschiedene zweite Drucksensitivität aufweist. Beispielsweise weisen die mindestens zwei Sensorschwingkreise unterschiedliche Membrangeometrien auf, so dass sich ihre Resonanzfrequenzen bei einer Druckänderung unterschiedlich verschieben. Sensorschwingkreise mit unterschiedlichen Membrangeometrien lassen sich einfach herstellen und gewährleisten somit eine kostengünstige Ausführungsform für die Druckmessvorrichtung.
In einer weiteren bevorzugten Weiterbildung umfasst die Druckmessvorrichtung einen in der Druckmesskammer angeordneten dritten Sensorschwingkreis, dessen Resonanzfrequenz durch den Abfrageschwingkreis abfragbar ist. Vorzugsweise ist die Auswerteeinrichtung in diesem Fall dazu ausgelegt, anhand der Resonanzfrequenzen des ersten Sensorschwingkreises, des zweiten Sensorschwingkreises und des dritten Sensorschwingkreises zusätzlich die Temperatur, den chemischen Zustand, die Partikelkonzentration, den Verschmutzungsgrad und/oder die Änderung der Temperatur, des chemischen Zustands, der Partikelkonzentration und/oder des Verschmutzungsgrads in der Druckmesskammer zu bestimmen. Diese Multifunktionalität der Druckmessvorrichtung führt damit zum Einsparen eines weiteren Temperatur- oder Verschmutzungssensors.
Bevorzugterweise sind der erste Sensorschwingkreis, der zweite Sensorschwingkreis und/oder der dritte Sensorschwingkreis so zueinander angeordnet, dass die Hauptabstrahlrichtungen der mindestens zwei Sensorschwingkreise in einem rechten Winkel zueinander gerichtet sind. Als Alternative oder als Ergänzung dazu können der erste Sensorschwingkreis, der zweite Sensorschwingkreis und/oder der dritte Sensorschwingkreis auch in einem im Verhältnis zu ihren Ausdehnungen großen Abstand angeordnet werden. Auf diese einfach ausführbare Weise lässt sich eine unerwünschte direkte Kopplung zwischen den mindesten zwei Sensorschwingkreisen, welche andernfalls die Resonanzfrequenzen beeinflussen kann, minimieren oder unterdrücken.
Vorteilhafter Weise umfasst mindestens einer der Sensorschwingkreise einen Kondensator, bei welchem mindestens eine Elektrode mittels strahlenförmig verlaufender Trenngräben in einzelne Sektoren unterteilt ist. Dies verhindert die Entstehung von Wirbelströmen in der Elektrode mit den strahlenförmig verlaufenden Trenngräben, welche andernfalls die Güten des zugehörigen Sensorschwingkreises negativ beeinflussen können. Als Alternative oder als Ergänzung dazu kann mindestens einer der Sensorschwingkreise einen Kondensator umfassen, dessen Elektroden zumindest teilweise eine Interdigitalstruktur bilden. Somit sind die Elektroden zumindest teilweise in ein Gitter unterteilt. Vorzugsweise liegen die beiden eine Interdigitalstruktur bildenden Elektroden in einer Ebene nahe der Oberfläche des Kondensators oder oberhalb von dieser. Derart ausgebildete Elektroden eignen sich gut als Verschmutzungssensorelement.
Die in den oberen Absätzen beschriebene Druckmessvorrichtung kann auch unter den aggressiven Bedingungen eines Luftführungs- oder Abgassystems eines Kraftfahrzeug- Verbrennungsmotors betreiben werden. Selbst hohe Temperaturschwankungen zwischen -400C bis 2000C führen dabei nicht zu falsch bestimmten Druckwerten. Schichtspannungen an den Sensorschwingkreisen, welche bei derartigen Temperaturschwankungen auftreten und herkömmlicherweise zu falschen Messergebnissen führen, kann die Druckmessvorrichtung herausfiltern. Ebenso wird verhindert, dass die chemische Umgebung die Messergebnisse verfälscht.
Die Auswerteelektronik ist gleichzeitig hermetisch und thermisch von dem Messvolumen getrennt. Das Abfragen der mindestens zwei Sensorschwingkreise erfolgt berührungslos mittels des Abfrageschwingkreises.
Die beschriebene Druckmessvorrichtung ist jedoch auch in der Medizintechnik anwendbar, da ihre Sensoruntereinheit aufgrund ihrer geringen Größe leicht im Inneren eines Organismus einsetzbar ist, ohne dass eine giftige oder voluminöse Stromversorgung implantiert werden muss.
Die in den oberen Absätzen beschriebenen Vorteile gelten auch für ein entsprechendes Verfahren zum Messen eines Drucks.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend anhand der Figuren erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 ein erstes Beispiel eines Sensorschwingkreises der Druckmessvorrichtung;
Fig. 2 eine schematische Darstellung zum Erläutern der Funktionsweise einer ersten Ausführungsform der Druckmessvorrichtung;
Fig. 3 eine schematische Darstellung der ersten Ausführungsform der Druckmessvorrichtung; Fig. 4 eine Anordnung zweier Sensorschwingkreise einer zweiten Ausführungsform der
Druckmessvorrichtung;
Fig. 5 eine schematische Darstellung der zweiten Ausführungsform der Druckmessvorrichtung;
Fig. 6 ein zweites Beispiel eines Sensorschwingkreises der Druckmessvorrichtung;
Fig. 7 ein drittes Beispiel eines Sensorschwingkreises der Druckmessvorrichtung; und
Fig. 8 ein viertes Beispiel eines Sensorschwingkreises der Druckmessvorrichtung.
Ausführungsformen der Erfindung
Fig. 1 zeigt ein erstes Beispiel eines Sensorschwingkreises der Druckmessvorrichtung.
Der Sensorschwingkreis 10 umfasst eine Spule 12 und einen Kondensator 14. Es wird hier ausdrücklich daraufhingewiesen, dass der Sensorschwingkreis 10 keine aktive Elektronik, welche eine hohe Anfälligkeit gegenüber einer heißen, verschmutzten oder chemisch aggressiven Umgebung aufweist, besitzt. Der Sensorschwingkreis 10 ist vorzugsweise aus robusten Materialien, wie beispielsweise Platin und/oder Gold, geformt. Zum Schutz vor chemisch aggressiven Gasen, ätzenden Flüssigkeiten oder Verschmutzungen kann der Sensorschwingkreis 10 zusätzlich mit einer Passivierungsschicht ummantelt sein.
Vorzugsweise weist die Spule 12 eine hohe Steifigkeit auf. Die Induktivität des Sensorschwingkreises 10 ändert sich in diesem Fall kaum bei Zu- oder Abnahme eines Drucks in einer Umgebung des Sensorschwingkreises 10.
Der Kondensator 14 hat eine äußere Elektrode 16 und eine innere Elektrode 18. Die beiden Elektroden 16 und 18 sind so zueinander verstellbar, dass der Kondensator 14 eine gewünschte Drucksensitivität hat. Beispielsweise kann mindestens eine der beiden Elektroden 16 und 18 eine Membran aus einem leitfähigen Material mit einer geringen Schichtdicke sein. In diesem Fall lassen sich die beiden Elektroden 16 und 18 schon bei einem geringen Druck zusammendrücken. Die Kapazität des Kondensators 14 mit einer Membran hat somit eine hohe Drucksensitivität.
Als Alternative dazu können die Elektroden 16 und 18 auch so ausgebildet werden, dass sie eine hohe Drucksteifigkeit aufweisen. Beispielsweise kann mindestens eine der beiden Elektroden 16 und 18 mehrere durchgehende Luftdurchströmöffnungen haben. Ebenso kann eine Membrandicke für mindestens eine der beiden Elektroden 16 und 18 so gewählt werden, dass die Drucksteifigkeit signifikant erhöht wird. Des Weiteren kann eine Festkapazität ohne Kaverne am Sensorschwingkreis 10 ausgebildet werden. Die Kapazität des Kondensators 14 ändert sich in diesen hier beispielhaft beschriebenen Fällen selbst bei einer signifikanten Zu- oder Abnahme des Drucks nicht wesentlich.
Fig. 2 zeigt eine schematische Darstellung zum Erläutern der Funktionsweise einer ersten Ausführungsform der Druckmessvorrichtung.
Die wiedergegebene Druckmessvorrichtung umfasst einen ersten Sensorschwingkreis 20 und einen zweiten Sensorschwingkreis 22. Beide Sensorschwingkreise 20 und 22 haben eine Spule 20a oder 22a und einen Kondensator 20b oder 22b. Vorzugsweise haben die Spulen 20a und 22a die gleichen Windungszahlen und die gleiche Steifigkeit. Allerdings weist der Kondensator 20b des ersten Sensorschwingkreises 20 eine höhere Drucksensitivität auf als der Kondensator 22b des zweiten Sensorschwingkreises 22. Beispielsweise ist der Kondensator 20b ein drucksensitiver Kondensator mit einer als Membran ausgebildeten Elektrode. Der Kondensator 22b kann ein druckfester Kondensator mit einer Elektrode mit mehreren Luftdurchströmöffnungen sein.
Die beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 sind in einer (nicht skizzierten) gemeinsamen Messkammer angeordnet. Auf beide Sensorschwingkreise 20 und 22 wirkt deshalb eine Temperatur, ein gleicher Druck und ein identisches chemisches Gasgemisch ein.
Demgegenüber ist ein Abfrageschwingkreis 24 der Druckmessvorrichtung mittels schematisch wiedergegebener Trennwände 26 hermetisch und thermisch von den beiden Sensorschwingkreisen 20 und 22 getrennt. Die Trennwände 26 schützen somit den Abfrageschwingkreis 24 vor der Temperatur, dem Druck und den chemischen Bedingungen im Inneren der Messkammer. Die Trennwände 26 sind so ausgebildet, dass beispielsweise ein von dem Abfrageschwingkreis 24 ausgesendetes elektromagnetisches Signal 28 von den beiden Sensorschwingkreisen 20 und 22 empfangen werden kann oder dass eine Kopplung der Spulen 20a und 22a an eine als Abfrageschwingkreis 24 fungierende Einheit zum Erzeugen eines magnetischen Felds möglich ist. Zwischen dem Abfrageschwingkreis 24 und den Sensorschwingkreisen 20 und 22 besteht somit eine elektromagnetische Kopplung, welche auch als eine energetische Kopplung bezeichenbar ist.
Wird der Abfrageschwingkreis 24 auf eine Frequenz eingestellt, welche der Resonanzfrequenz eines der Sensorschwingkreise 20 oder 22 entspricht, so entzieht der betreffende Sensorschwingkreis 20 oder 22 dem Abfrageschwingkreis 24 eine größere Menge an Energie. Um die dem Abfrageschwingkreis 24 entzogene Energie auszugleichen, muss eine Reglerstruktur den Abfrageschwingkreis 24 nachregeln. Anhand des Signals der Reglerstruktur lassen sich somit die Resonanzfrequenzen der beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 ermitteln.
Um ein berührungsloses Abfragen der Resonanzfrequenzen der beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 durch den Abfrageschwingkreis 24 zu ermöglichen, wird eine elektromagnetische Kopplung zwischen dem Abfrageschwingkreis 24 und jedem der beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 bevorzugt. Demgegenüber kann eine Interaktion 30 der beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 miteinander die Resonanzfrequenzen der Sensorschwingkreise 20 und 22 verstimmen, und somit die aus den Resonanzfrequenzen ermittelten Druckwerte verfälschen. Deshalb ist es wünschenswert, die direkte Kopplung der beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 miteinander zu minimieren. Man spricht dabei auch von einer geringen Ankopplung der Induktivitäten der beiden Sensorschwingkreise 20 und 22. Ausführungsbeispiele der Druckmessvorrichtung mit einer vernachlässigbaren Ankopplung der Induktivitäten der beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 werden im Folgenden noch genauer beschrieben.
Eine kostengünstige Ausführungsform des Abfrageschwingkreises 24 kann beispielsweise einen ASIC-Schwingkreis (Application Specific Integrated Circuit) aufweisen. Vorzugsweise ist in dem ASIC ein spannungsgesteuerter LC-Oszilator (LC-VCO) untergebracht, dessen Induktivität, beispielsweise zusammen mit einer Kapazitätsdiode, die Frequenz bestimmt. Der spannungsgesteuerte LC-Oszilator besitzt in diesem Fall eine Reglerstruktur, beispielsweise ein AGC (Automatic Gain Control), welche die Schwingkreisspannung konstant hält. Auf diese Weise lässt sich der Abfrageschwingkreis 24 mit einer Frequenz innerhalb eines vorgegebenen Frequenzbereichs anregen. In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform kann der Abfrageschwingkreis 24 einen Impedanzanalysator aufweisen, mit welchem sich die Ergebnisse der Sensorschwingkreise 20 und 22 auswerten lassen.
Fig. 3 zeigt eine schematische Darstellung der ersten Ausführungsform der Druckmessvorrichtung.
Die dargestellte Druckmessvorrichtung hat ein Gehäuse 32, dessen Innenvolumen mittels einer Trennwand 34 in eine Messkammer 36 und in eine Isolierkammer 38 unterteilt ist. Eine Außenwand des Gehäuses 32 weist eine Gaseintrittsöffhung 40 auf, welche in den Messraum 36 führt. Aufgrund der Gaseintrittsöffhung 40 können sich im Inneren der Messkammer 36 die gleichen physikalischen und chemischen Verhältnisse einstellen, wie in der äußeren Umgebung der Druckmessvorrichtung. Der Druck und die Temperatur in der Messkammer 36 sind somit gleich dem Druck und der Temperatur in der äußeren Umgebung der Druckmessvorrichtung. An zwei Innenwänden der Messkammer 36 sind die beiden schon beschriebenen Sensorschwingkreise 20 und 22 angeordnet. Die Sensorschwingkreise 20 und 22 sind dabei parallel zueinander ausgerichtet. Die Feldlinien und die Hauptabstrahlrichtungen der beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 verlaufen bei einer derartigen Ausrichtung parallel zueinander. Um eine direkte Kopplung zwischen den beiden Sensorschwingkreisen 20 und 22 dennoch zu minimieren, sind die Sensorschwingkreise 20 und 22 in einem großen Abstand zueinander angeordnet. Der große Abstand zwischen den beiden Sensorschwingkreisen 20 und 22 verkleinert den Faktor der direkten elektromagnetischen Kopplung zwischen den beiden Sensorschwingkreise 20 und 22.
Der in der Isolierkammer 38 angebrachte Abfrageschwingkreis 24 ist aufgrund der Trennwand 34 hermetisch und thermisch vor den Atmosphärenzuständen im Inneren der Messkammer 36 geschützt. Auf diese Weise ist es möglich, den Abfrageschwingkreis 24 mit seiner empfindlichen Elektronik von dem oftmals hohen Druck und den möglicherweise heißen, stark verschmutzten und/oder chemisch aggressiven Gasen im Inneren der Messkammer 36 zu schützen. Die Trennwand 34 ist dabei so gestaltet, dass eine elektromagnetische Kopplung zwischen dem Abfrageschwingkreis 24 und jedem der beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 vorliegt.
Das Gehäuse 32 hat zusätzlich eine Steckerkammer 42, in welche ein mit dem Abfrageschwingkreis 24 verbundener Stecker 44 hineinragt. Über den Stecker 44 kann der Abfrageschwingkreis 24 mit Strom versorgt werden. Zusätzlich besteht die Möglichkeit, über den Stecker 44 Signale des Abfrageschwingkreises 24, welche beispielsweise Informationen über die aktuellen Resonanzfrequenzen der beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 beinhalten, an eine getrennt von dem Gehäuse 32 angeordnete Auswerteeinrichtung zu übertragen. Auf diese Weise kann die Auswerteeinrichtung zusätzlich von den Umweltbedingungen in der äußeren Umgebung der Druckmessvorrichtung geschützt werden.
Ein weiterer Vorteil einer getrennt von dem Gehäuse 32 angeordneten Auswerteeinrichtung besteht darin, dass das Gehäuse 32 ohne die Auswerteeinrichtung weniger Bauraum benötigt. Das Gehäuse 32 lässt sich in diesem Fall leichter an einer gewünschten Stelle in einem Kraftfahrzeug einsetzen. In einer bevorzugten Ausführungsform kann für die Auswertung der Resonanzfrequenzen des
Abfrageschwingkreises 24 eine zentrale Auswerteeinrichtung des Fahrzeugs verwendet werden. Mittels der zentralen Auswerteeinrichtung können auch weitere Messsignale, die von anderen Messvorrichtungen gemessen werden, ausgewertet werden. Diese Multifunktionalität der zentralen Auswerteeinrichtung reduziert zusätzlich die Kosten für ein Kraftfahrzeug mit einer derartigen Druckmessvorrichtung. Fig. 4 zeigt eine Anordnung zweier Sensorschwingkreise einer zweiten Ausführungsform der Druckmessvorrichtung.
Die beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 sind bei dieser Ausführungsform so zueinander angeordnet, dass sich ihre Hauptabstrahlrichtungen 46 und 48 in einem nahezu rechten Winkel schneiden. Die Feldlinien der beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 kreuzen sich somit im effektiven Mittel unter einem Winkel von ungefähr 90°. Auf diese Weise lässt sich eine gegenseitige Beeinflussung der beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 auch bei einem geringen Abstand zwischen den beiden Sensorschwingkreisen 20 und 22 minimieren.
Fig. 5 zeigt eine schematische Darstellung der zweiten Ausführungsform der Druckmessvorrichtung.
Bei der dargestellten zweiten Ausführungsform weist die Messkammer 36 zwei Innenwände 50 und 52 auf, die zueinander um einen Winkel von ungefähr 90° geneigt sind. An jeweils einer der beiden Innenwände 50 und 52 ist einer der beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 befestigt. Die beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 sind somit um ungefähr 90° versetzt zueinander angeordnet. Die Hauptabstrahlrichtungen 46 und 48 der beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 sind in einem rechten Winkel zueinander ausgerichtet. Entsprechend kreuzen sich auch die Feldlinien der beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 im effektiven Mittel unter einem Winkel von 90°. Trotz des geringen Abstands zwischen den beiden Sensorschwingkreisen 20 und 22 ist die direkte elektromagnetische Kopplung zwischen den beiden Sensorschwingkreisen 20 und 22 vernachlässigbar.
Der Neigungswinkel zwischen den beiden Innenwänden 50 und 52 und der definierbaren Hauptabstrahlrichtung 54 des Abfrageschwingkreises 24 ist ungefähr gleich 45°. Dies gewährleistet eine elektromagnetische Kopplung zwischen dem Abfrageschwingkreis 24 und jedem der beiden Sensorschwingkreise 20 und 22. Die Verwendung des Begriffs Hauptabstrahlrichtung 54 bedeutet dabei nicht, dass der Abfrageschwingkreis 24 aktiv sendet.
Die rechtwinklige Anordnung der beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 weist gegenüber der oben beschriebenen Anordnung der beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 mit einem großen Zwischenabstand den Vorteil auf, dass sie die elektromagnetische Ankopplung des Abfrageschwingkreises 24 zu jedem der beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 weniger beeinträchtigt. Mittels der rechtwinkligen Anordnung lässt sich eine gegenseitige Beeinflussung der beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 vermeiden, ohne dass gleichzeitig die elektromagnetische Ankopplung des Abfrageschwingkreises 24 an jeden der beiden Sensorschwingkreise 20 und 22 erheblich reduziert wird. Fig. 6 zeigt ein zweites Beispiel eines Sensorschwingkreises der Druckmessvorrichtung.
Der gezeigte Sensorschwingkreis 60 umfasst eine Spule 62 und einen Kondensator 64 mit zwei kreisförmigen Elektroden. Über eine Durchkontaktierung 66 ist jede der beiden Elektroden des Kondensators 64 an die Spule 62 angeschlossen.
Aufgrund der relativ geringen Größe des Sensorschwingkreises 60 kann dessen Resonanzfrequenz im MHz- bis GHz-Bereich liegen. Bei Frequenzen im in diesem Bereich können jedoch Wirbelströme in den Elektrodenflächen des Kondensators 64 auftreten. Diese Wirbelströme können die Güte des Sensorschwingkreises 60 beeinträchtigen.
Fig. 7 zeigt ein drittes Beispiel eines Sensorschwingkreises der Druckmessvorrichtung.
Der dargestellte Sensorschwingkreis 70 weist die schon beschriebene Spule 72 und die Durchkontaktierung 76 auf. Im Gegensatz zu dem im oberen Absatz beschriebenen Beispiel eines
Sensorschwingkreises, hat der Sensorschwingkreis 70 einen Kondensator 74, dessen Elektroden durch strahlenförmige Einschnitte 78 in Kreissektoren unterteilt sind. Mittels dieser strahlenförmigen Einschnitte 78 lassen sich die herkömmlicherweise oft auftretenden Wirbelströme unterdrücken. Dies verbessert die Güte des Sensorschwingkreises 70. Gleichzeitig lässt sich bei einer schmalen Schnittbreite der strahlenförmigen Einschnitte 78 der Verlust an Elektrodenflächen vernachlässigbar klein gehalten.
Fig. 8 zeigt ein viertes Beispiel eines Sensorschwingkreises der Druckmessvorrichtung.
Der dargestellte Sensorschwingkreis 80 ist als Verschmutzungssensor aufgeführt. Der
Sensorschwingkreis 80 weist dazu zusätzlich zu einer Spule 82 und einer Durchkontaktierung 86 einen Kondensator 84 mit zwei Gittern 90 auf, welche von einer zweiteiligen Rahmenhalterung 88 gehalten werden. An die Gitter 90 können sich Partikel, wie beispielsweise Ruß, aus der Umgebung des Kondensators 84 ablagern. Diese Ablagerungen beeinflussen das Streufeld der Interdigitalfinger der Gitter 90 und ändern somit die Kapazität des Kondensators 84. Die beiden Gitter 90 können auch als Interdigitalstruktur bezeichnet werden.
Der Kondensator 84 muss nicht durchströmbar ausgebildet sein. Die Partikel lagern sich in der Regel nur auf der Oberfläche der beiden Gitter 90 ab. Die Interdigitalstrukturen der Gitter 90 können direkt auf einer Isolierschicht angeordnet sein, welche auf einem Trägersubstrat ausgebildet ist. Die Interdigitalstrukturen sind somit nicht freitragend ausgebildet. Bei einer derartigen Ausbildung des Kondensators 84 reagiert die Resonanzfrequenz des Sensorschwingkreises 80 deshalb sehr sensitiv auf ein mit Partikeln stark angereichertes Gas in der Umgebung des Kondensators 84. Die Sensitivität des als Verschmutzungssensor ausgebildeten Sensorschwingkreises 80 kann durch Beschichtungen gezielt beeinflusst werden. Beispielsweise lässt sich somit eine spezifische Gassensitivität erreichen.
Der Sensorschwingkreis 80 kann gezielt eingesetzt werden, um einen Verschmutzungsgrad in einer Messkammer zu ermitteln. Beispielsweise wird dazu der Sensorschwingkreis 80 zusammen mit einem nicht verschmutzungssensitiven Sensorschwingkreis in einer Messkammer angebracht. Durch eine Kompensierung der Verschiebungen der Resonanzfrequenzen der beiden Sensorschwingkreise 80 lässt sich eine verschmutzungsabhängige Drift der Resonanzfrequenz des Sensorschwingkreises 80 zusammen mit einer druck- und/oder temperaturabhängige Drift der Resonanzfrequenzen ermitteln. Auf diese Weise kann zusätzlich zu dem Druck und/oder der Temperatur auch ein Verschmutzungsgrad des Gases in der Messkammer gemessen werden.
In einer bevorzugten Weiterbildung werden drei Sensorschwingkreise in einer Messkammer einer Druckmessvorrichtung befestigt. Vorzugsweise geschieht die Anordnung der Sensorschwingkreise so, dass diese jeweils in Winkeln von 90° zueinander versetzt angeordnet sind.
Beispielsweise ist ein erster Sensorschwingkreis relativ druck- und verschmutzungsfest. Die
Resonanzfrequenz dieses ersten Sensorschwingkreises hängt in diesem Fall nur von einer Temperatur in der Messkammer ab. Ein zweiter Sensorschwingkreis weist gegenüber dem ersten Sensorschwingkreis eine deutlich höhere Verschmutzungssensitivität auf. Wie der erste Sensorschwingkreis hat der zweite Sensorschwingkreis auch eine Temperatursensitivität. Im Gegensatz zu einem dritten Sensorschwingkreis, welcher sensitiv auf eine Temperaturänderung, eine Druckänderung oder eine Verschmutzungsgradänderung reagiert, ist der zweite Sensorschwingkreis jedoch relativ druckfest.
Durch ein Auswerten der Resonanzfrequenzen der drei Sensorschwingkreise ist es möglich, eine temperaturabhängige, eine druckabhängige und eine verschmutzungsabhängige Drift der jeweiligen Resonanzfrequenzen der drei Sensorschwingkreise zu ermitteln. Aus der Verschiebung der Resonanzfrequenz des ersten Sensorschwingkreises ergibt sich die temperaturabhängige Drift. Ein Vergleich der Verschiebung der Resonanzfrequenz des zweiten Sensorschwingkreises mit der Verschiebung der Resonanzfrequenz des ersten Sensorschwingkreises ermöglicht das Feststellen der verschmutzungsabhängigen Drift. Entsprechend lässt sich mittels eines Vergleichs der Verschiebung der Resonanzfrequenz des dritten Sensorschwingkreises mit der Verschiebung der Resonanzfrequenz des zweiten Sensorschwingkreises die druckabhängige Drift festlegen. Auf diese Weise lässt sich über ein Abfragen der Resonanzfrequenzen der drei Sensorschwingkreise die Temperatur, der Druck und der Verschmutzungsgrad in der Messkammer der Druckmessvorrichtung ermitteln.

Claims

Ansprüche
1. Druckmessvorrichtung mit
einer Druckmesskammer (36);
einem in der Druckmesskammer (36) angeordneten ersten Sensorschwingkreis (10,20,22,60,70,80), der so ausgelegt ist, dass seine Resonanzfrequenz eine erste Druckabhängigkeit gegenüber einer Änderung eines Drucks in der Druckmesskammer (36) hat und sensitiv gegenüber einer Änderung eines anderen Umgebungsparameters in der Druckmesskammer (36) ist;
einem in der Druckmesskammer (36) angeordneten zweiten Sensorschwingkreis (10,20,22,60,70,80), der so ausgelegt ist, dass seine Resonanzfrequenz eine geringere als die erste Druckabhängigkeit zweite Druckabhängigkeit gegenüber der Änderung des Drucks in der Druckmesskammer (36) hat und sensitiv gegenüber der Änderung des anderen Umgebungsparameters in der Druckmesskammer (36) ist; und
einem Abfrageschwingkreis (24), welcher dazu ausgelegt ist, die Resonanzfrequenzen des ersten Sensorschwingkreises (10,20,22,60,70,80) und des zweiten Sensorschwingkreises (10,20,22,60,70,80) zu ermitteln und an eine interne oder externe Auswerteeinrichtung bereitzustellen, so dass mittels einer Auswertung der Resonanzfrequenz des ersten Sensorschwingkreises (10,20,22,60,70,80) bei Heranziehen der Resonanzfrequenz des zweiten Sensorschwingkreises (10,20,22,60,70,80) als Referenz der Druck und/oder die Änderung des Drucks in der Druckmesskammer (36) bestimmbar ist.
2. Druckmessvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Umgebungsparameter eine Temperatur, einen chemischer Zustand, eine Partikelkonzentration und/oder einen Verschmutzungsgrad in der Druckmesskammer (36) umfasst.
3. Druckmessvorrichtung nach Anspruch 2, wobei die Auswerteeinrichtung dazu ausgelegt ist, bei der Auswertung der Resonanzfrequenz des ersten Sensorschwingkreises (10,20,22,60,70,80) bei Heranziehen der Resonanzfrequenz des zweiten Sensorschwingkreises (10,20,22,60,70,80) eine durch den Umgebungsparameter bedingte Drift der Resonanzfrequenz des ersten Sensorschwingkreises (10,20,22,60,70,80) und/oder des zweiten Sensorschwingkreises (10,20,22,60,70,80) herauszufütern.
4. Druckmessvorrichtung nach Anspruch 3, wobei die Auswerteeinrichtung dazu ausgelegt ist, anhand der durch den Umgebungsparameter bedingten Drift der Resonanzfrequenz des ersten Sensorschwingkreises (10,20,22,60,70,80) und/oder des zweiten Sensorschwingkreises (10,20,22,60,70,80) den Umgebungsparameter und/oder eine Änderung des Umgebungsparameters in der Druckmesskammer (36) zu ermitteln.
5. Druckmessvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der erste
Sensorschwingkreis (10,20,22,60,70) einen drucksensitiven Kondensator (14,20b,22b,64,74) und der zweite Sensorschwingkreis (80) einen druckfesten Kondensator (84) umfasst.
6. Druckmessvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Druckmessvorrichtung einen in der Druckmesskammer (36) angeordneten dritten Sensorschwingkreis (10,20,22,60,70,80) umfasst, dessen Resonanzfrequenz durch den Abfrageschwingkreis (24) abfragbar ist.
7. Druckmessvorrichtung nach Anspruch 6, wobei die Auswerteeinrichtung dazu ausgelegt ist, anhand der Resonanzfrequenzen des ersten Sensorschwingkreises (10,20,22,60,70,80), des zweiten
Sensorschwingkreises (10,20,22,60,70,80) und des dritten Sensorschwingkreises (10,20,22,60,70,80) zusätzlich die Temperatur, den chemischen Zustand, die Partikelkonzentration, den Verschmutzungsgrad und/oder die Änderung der Temperatur, des chemischen Zustands, der Partikelkonzentration und/oder des Verschmutzungsgrads in der Druckmesskammer (36) zu bestimmen.
8. Druckmessvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der erste Sensorschwingkreis (10,20,22,60,70,80), der zweite Sensorschwingkreis (10,20,22,60,70,80) und/oder der dritte Sensorschwingkreis (10,20,22,60,70,80) so zueinander angeordnet sind, dass die Hauptabstrahlrichtungen (46,48) der mindestens zwei Sensorschwingkreise (10,20,22,60,70,80) in einem rechten Winkel zueinander gerichtet sind.
9. Druckmessvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei mindestens einer der Sensorschwingkreise (70) einen Kondensator (74) umfasst, bei welchem mindestens eine Elektrode mittels strahlenförmig verlaufender Trenngräben (78) in einzelne Sektoren unterteilt ist.
10. Druckmessvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei mindestens einer der Sensorschwingkreise (80) einen Kondensator (84) umfasst, dessen Elektroden zumindest teilweise eine Interdigitalstruktur (90) bilden.
11. Verfahren zum Messen eines Drucks mit den Schritten:
Anordnen eines ersten Sensorschwingkreises (10,20,22,60,70,80) in einer Druckmesskammer (36), wobei eine Resonanzfrequenz des ersten Sensorschwingkreises (10,20,22,60,70,80) eine erste Druckabhängigkeit gegenüber einer Änderung eines Drucks in der Druckmesskammer (36) hat und sensitiv gegenüber einer Änderung eines anderen Umgebungsparameters in der Druckmesskammer (36) ist;
Anordnen eines zweiten Sensorschwingkreises (10,20,22,60,70,80) in der Druckmesskammer (36), wobei eine Resonanzfrequenz des zweiten Sensorschwingkreises (10,20,22,60,70,80) eine geringere als die erste Druckabhängigkeit zweite Druckabhängigkeit gegenüber der Änderung des Drucks in der Druckmesskammer (36) hat und sensitiv gegenüber der Änderung des anderen Umgebungsparameters in der Druckmesskammer (36) ist;
Berührungsloses Ermitteln der Resonanzfrequenzen des ersten Sensorschwingkreises (10,20,22,60,70,80) und des zweiten Sensorschwingkreises (10,20,22,60,70,80) mittels eines Abfrageschwingkreises (24); und
Bestimmen des Drucks und/oder der Änderung des Drucks in der Druckmesskammer (36) mittels einer Auswertung der Resonanzfrequenz des ersten Sensorschwingkreises (10,20,22,60,70,80) bei Heranziehen der Resonanzfrequenz des zweiten Sensorschwingkreises (10,20,22,60,70,80) als Referenz.
PCT/EP2008/066295 2008-03-12 2008-11-27 Druckmessvorrichtung und verfahren zum messen eines drucks WO2009112107A1 (de)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102008000627.0 2008-03-12
DE102008000627 2008-03-12
DE102008040820A DE102008040820A1 (de) 2008-03-12 2008-07-29 Druckmessvorrichtung und Verfahren zum Messen eines Drucks
DE102008040820.4 2008-07-29

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2009112107A1 true WO2009112107A1 (de) 2009-09-17

Family

ID=40953164

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2008/066295 WO2009112107A1 (de) 2008-03-12 2008-11-27 Druckmessvorrichtung und verfahren zum messen eines drucks

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102008040820A1 (de)
WO (1) WO2009112107A1 (de)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008001102A1 (de) * 2008-04-10 2009-10-15 Robert Bosch Gmbh Druckmessvorrichtung und Herstellungsverfahren für eine Druckmessvorrichtung
DE102008042746A1 (de) * 2008-10-10 2010-04-22 Robert Bosch Gmbh Sensorsystem und Verfahren zum Betreiben eines Sensorsystems
US8499639B2 (en) 2010-06-21 2013-08-06 Robert Bosch Gmbh Inductively coupled pressure sensor
DE102020206952B3 (de) 2020-06-03 2021-10-14 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Sensorsystem zur kontinuierlichen Detektion von Fluiden und/oder Partikeln und Verfahren zum Betreiben des Sensorsystems

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5500509A (en) * 1994-03-01 1996-03-19 Borg-Warner Automotive, Inc. Microprocessor based universal digital pressure sensor
US6278379B1 (en) * 1998-04-02 2001-08-21 Georgia Tech Research Corporation System, method, and sensors for sensing physical properties
US6496019B1 (en) * 2000-08-18 2002-12-17 Setra Systems, Inc. Temperature compensated pressure sensor network
DE10128010A1 (de) * 2001-06-08 2003-01-02 Vogt Electronic Ag Drucksensor
DE102004002138A1 (de) * 2004-01-15 2005-08-04 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von physikalischen Eigenschaften eines Gases oder eines Gasgemisches im Bereich eines Hochfrequenz-Resonators
WO2007030440A1 (en) * 2005-09-08 2007-03-15 Honeywell International Inc. Passive hybrid lc/saw/baw wireless sensor
US20070107522A1 (en) * 2003-11-27 2007-05-17 Akira Oikawa Pressure sensor device

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5500509A (en) * 1994-03-01 1996-03-19 Borg-Warner Automotive, Inc. Microprocessor based universal digital pressure sensor
US6278379B1 (en) * 1998-04-02 2001-08-21 Georgia Tech Research Corporation System, method, and sensors for sensing physical properties
US6496019B1 (en) * 2000-08-18 2002-12-17 Setra Systems, Inc. Temperature compensated pressure sensor network
DE10128010A1 (de) * 2001-06-08 2003-01-02 Vogt Electronic Ag Drucksensor
US20070107522A1 (en) * 2003-11-27 2007-05-17 Akira Oikawa Pressure sensor device
DE102004002138A1 (de) * 2004-01-15 2005-08-04 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von physikalischen Eigenschaften eines Gases oder eines Gasgemisches im Bereich eines Hochfrequenz-Resonators
WO2007030440A1 (en) * 2005-09-08 2007-03-15 Honeywell International Inc. Passive hybrid lc/saw/baw wireless sensor

Also Published As

Publication number Publication date
DE102008040820A1 (de) 2009-09-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102020204601A1 (de) Landwirtschaftlicher feuchtigkeits- und testgewichtssensor mit koplanaren elektroden
DE69918850T2 (de) Kapazitiver messwertgeber
EP1356194B1 (de) Vorrichtung zur dosierung einer enzymfreien harnstofflösung mit sensoreinheit zur kontrolle physikalischer zustandsgrössen der harnstofflösung
EP0804744B1 (de) Verfahren zur berührungslosen abstandsmessung
EP1735595B1 (de) Vorrichtung, sensoranordnung und verfahren zur kapazitiven positionserfassung eines zielobjekts
EP1836484B1 (de) Messvorrichtung und -verfahren zur erkennung von fremdkörpern in tabak
EP2198241B1 (de) Sensoreinrichtung zur kapazitiven abstandsermittlung
CH698425B1 (de) Anordnung zum Messen einer physikalischen Grösse.
DE102013112025A1 (de) Vorrichtung zur Bestimmung oder Überwachung des Füllstands eines Mediums in einem Behälter
DE102015109463A1 (de) Verfahren zur Überprüfung der Funktionsfähigkeit eines Radar-basierten Füllstandsmessgeräts
WO2009112107A1 (de) Druckmessvorrichtung und verfahren zum messen eines drucks
DE102010028718A1 (de) Erfassung eines dielektrischen Objekts
EP0892912B1 (de) Verfahren und einrichtung zur messung einer teilchenzustandsgrösse
DE102021202134A1 (de) Verfahren zur Bestimmung, Messung und/oder Überwachung von Eigenschaften eines Sensorsystems
DE69837878T2 (de) Gerät zur kapazitiven elektrischen detektion
DE102008027921A1 (de) Admittanzmeßvorrichtung für einen Füllstandsensor
EP0742372A1 (de) Überwachungssystem zur Feststellung einer Kavitationsintensität
DE102017100269A1 (de) Verfahren zur Detektion eines Fehlerzustandes an einem FMCW-basierten Füllstandsmessgerät
EP2378270B1 (de) Verfahren zur Bestimmung einer Partikelkonzentration und Messvorrichtung
EP2483675B1 (de) Vorrichtung und verfahren zum detektieren mindestens einer substanz
EP1255969B1 (de) Vorrichtung zur bestimmung des füllstandes eines mediums in einem behälter
DE69722926T2 (de) Vorrichtung und verfahren zur feststellung eines fluids
EP3816609B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur ferndetektion eines zielgases
CH705156A2 (de) Sensoranordnungen zur Detektion der Nähe eines Materials zu einem Mikrowellenelement.
WO2020109565A1 (de) Verfahren und sensor zum bestimmen eines die impedanz einer suspension anzeigenden werts

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 08873299

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 08873299

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1