WO2009090133A1 - Interferometer - Google Patents

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WO2009090133A1
WO2009090133A1 PCT/EP2009/050124 EP2009050124W WO2009090133A1 WO 2009090133 A1 WO2009090133 A1 WO 2009090133A1 EP 2009050124 W EP2009050124 W EP 2009050124W WO 2009090133 A1 WO2009090133 A1 WO 2009090133A1
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WO
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light
interferometer
spectrum
light spectrum
light emission
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PCT/EP2009/050124
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Inventor
Matthias Fleischer
Jan Fischer
Jonathan Becker
Original Assignee
Robert Bosch Gmbh
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    • G01B9/02—Interferometers
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    • G01B9/0209—Low-coherence interferometers

Definitions

  • the invention relates to an interferometer according to the preamble of claim 1.
  • Interferometers are interferometric measuring devices used for precision measurements such as length measurements, refractive index measurements, angle measurements and spectroscopy.
  • an output light emission of a light source is split into two coherent partial beams, which are later superimposed again.
  • a measurement object is mounted in one of the two partial beams.
  • the superimposed partial beams are directed to a sensor, for example a camera chip, on which an interference pattern is then imaged.
  • the interference pattern is determined by the difference of the optical paths, which have covered the two partial beams to the union.
  • interferometers have a single light source with a fixed wavelength.
  • interferometers which have a tunable laser light source, wherein the tunable laser light source is used to lent possible shortest possible measurement times.
  • a disadvantage of the known interferometers with tunable laser light source on the one hand, the high cost of the Laser light source and on the other hand the only small tuning range.
  • the invention has for its object to provide a cost-manufacturable interferometer whose output light emission has a wide adjustable output light spectrum.
  • the invention is based on the idea of using at least two light sources for producing an output light emission, the light spectrums of which each have a wavelength range and which have a different center of gravity wavelength.
  • the output light spectrum of the output light emission is set in an interferometer designed according to the concept of the invention. That from the individual light spectra of the light sources resulting output light spectrum thus results as the sum of the two proportionately weighted light spectra of the light sources used.
  • the centroid wavelength which represents the standard for the interferometric measurement, can be set within wide limits in a simple manner.
  • the distance of the boundaries in which the center wavelength of the output light spectrum can move depends essentially on the width and the overlapping area of the individual, mixed light spectra of the light sources used.
  • the inventive combination of at least two light sources to a common interferometer light source whose output light emission has an output light spectrum, which is composed by proportionately superimposing the light spectra of the light emissions of the individual light sources, the output light spectrum in a wide frequency range is tunable.
  • An interferometer designed according to the concept of the invention is particularly suitable for interferometric measuring methods that rely on a variable wavelength, such as a multi-wavelength method or a frequency analysis method with tuned wavelength.
  • the interferometer is preferably a flat measuring device. Of particular advantage is an embodiment with more than two light sources.
  • the tuning range of the common interferometer light source can be expanded.
  • the output light spectrum of the output light emission can be set by changing the power density (intensity) of at least one of the at least two light spectrums to be mixed with one another.
  • the size of the electrical supply voltage and / or the electrical supply current of the associated light source is preferably set for this purpose.
  • composition of the output light spectrum of the output light emission can additionally or alternatively be varied by pulse-modulating the supply current and / or the supply voltage of at least one of the two light sources.
  • the at least two light sources emit incoherent light emissions. These are, in particular, light emissions which are more spatially and / or temporally incoherent than a laser light emission. By providing such incoherent light sources, the interferometer becomes less susceptible to speckle phenomena, which in particular causes problems in measuring rough surfaces.
  • At least one of the at least two light sources comprises / comprises at least one LED or is designed as an LED.
  • at least one interference filter in the beam path of the first light emission and / or the second light emission and / or preferably the output light emission or the split output light emission, larger measurement ranges can be realized due to greater achievable coherence lengths.
  • At least one optical mixer preferably a beam splitter, grating or prism is advantageous.
  • the interferometer can be used or used as a multi-wavelength interferometer, in particular as a white-light interferometer.
  • it is a flat measuring device.
  • FIG 1 shows a schematic representation of a possible construction of an interferometer with an interferometer light source composed of two light sources and
  • FIG 2 shows a diagram in which the power density is plotted against the wavelength and shows the result of the mixture (output light spectrum) of two light spectra.
  • Fig. 1 is a possible structure of an interferometer 1, comprising a first, incoherent, designed as an LED first light source 2, and a second incoherent, also designed as an LED light source 3.
  • the first light source 2 emits a first light emission 4 and the second light source 3 a second light emission 5 from.
  • the first light emission 4 has a first light spectrum 6, which is plotted in the diagram according to FIG.
  • the second light emission 5 has a second light spectrum 7, which differs from the first light spectrum 6, but the light spectra 6, 7, as shown in FIG. 2, overlap / overlap.
  • the two light spectra 6, 7 differ essentially by mutually different centroid wavelengths 8, 9, the first centroid wavelength of the first light spectrum 6 being smaller than the second centroid wavelength 9 of the second light spectrum 7.
  • the light emissions 4, 5 are fed to a known optical mixer 10. From the output 11 of the optical mixer 10 is a common output light emission 12, which has the output light spectrum 13 shown in FIG. 2, which is obtained by mixing the light spectra 6, 7. Striking is the center of gravity wavelengths 8, 9 of the first light spectra 6, 7 different center wavelength 14 of the output light spectrum 13.
  • the centroid wavelength 14 is greater than the first centroid wavelength 8 and smaller than the second centroid wavelength 9 and has a greater intensity than the first and second center wavelength 8, 9.
  • the addition of the optical mixer 10 results in a common, tunable interferometer light source 15.
  • the interferometer light source 15 For example, only the supply power of at least one of the two light sources 2, 3, must be varied.
  • the output light emission 12 or the output light emission beam impinges on a first beam splitter 16, which divides the output emission 12 into a first and a second partial beam 17, 18.
  • a sample 19 In the first part of the beam 17 is to be measured a sample 19, in which the first part of the beam 17 moves at a changed speed.
  • the two partial beams 17, 18 are deflected via mirrors 20, 21 and finally via a prism 22 to a
  • the total beam 23 is directed to a suitable sensor 24, for example a camera chip, with which the interference pattern 25 is detected and is visualized by suitable electronics, not shown.

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Abstract

The invention relates to an interferometer (1) having a first light source (2) for producing a first light emission (4) with a first light spectrum (6) and having at least one second light source (3) for producing a second light emission (5) with a second light spectrum (7). It is provided according to the invention that the first light spectrum (6) has a centroid wavelength (8, 9) which differs from the second light spectrum (7) and that an output light emission (12) with an output light spectrum (13) which is made up of the first light spectrum (6) and the second light spectrum (7) can be produced.

Description

Beschreibungdescription
Titeltitle
Interferometerinterferometer
Stand der TechnikState of the art
Die Erfindung betrifft ein Interferometer gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The invention relates to an interferometer according to the preamble of claim 1.
Interferometer sind interferometrische Messeinrichtungen, die für Präzisionsmessungen, beispielsweise für Längenmessungen, Brechzahlmessungen, Winkelmessungen und zur Spektroskopie eingesetzt werden. Dabei wird üblicherweise eine Ausgangslichtemission einer Lichtquelle in zwei kohärente Teilstrahlen aufgespalten, die später wieder überlagert werden. Üblicherweise ist ein Messobjekt in einer der beiden Teilstrahlen angebracht. Die überlagerten Teilstrahlen werden auf einen Sensor, beispielsweise einen Kamera-Chip, geleitet, auf dem dann ein Interferenzmuster abgebildet wird. Das Interferenzmuster wird dabei durch die Differenz der optischen Wege bestimmt, die die beiden Teilstrahlen bis zur Vereinigung zurückgelegt haben.Interferometers are interferometric measuring devices used for precision measurements such as length measurements, refractive index measurements, angle measurements and spectroscopy. In this case, usually an output light emission of a light source is split into two coherent partial beams, which are later superimposed again. Usually, a measurement object is mounted in one of the two partial beams. The superimposed partial beams are directed to a sensor, for example a camera chip, on which an interference pattern is then imaged. The interference pattern is determined by the difference of the optical paths, which have covered the two partial beams to the union.
Die meisten kommerziell erhältlichen Interferometer besitzen dabei eine einzige Lichtquelle mit einer fest definierten Wellenlänge. Daneben sind Interferometer bekannt, die eine durchstimmbare Laserlichtquelle aufweisen, wobei die durchstimmbare Laserlichtquelle eingesetzt wird, um mög- liehst kurze Messzeiten zu realisieren. Nachteilig bei den bekannten Interferometern mit durchstimmbarer Laserlichtquelle sind zum einen die hohen Kosten für die Laserlichtquelle und zum anderen der nur kleine Durchstimmungsbereich .Most commercially available interferometers have a single light source with a fixed wavelength. In addition, interferometers are known, which have a tunable laser light source, wherein the tunable laser light source is used to lent possible shortest possible measurement times. A disadvantage of the known interferometers with tunable laser light source, on the one hand, the high cost of the Laser light source and on the other hand the only small tuning range.
Aus der SU-1663416 Al ist ein Interferometer mit zwei Lichtquellen bekannt, die jeweils kohärentes Licht aussenden .From SU-1663416 Al an interferometer with two light sources is known, each emitting coherent light.
Offenbarung der Erfindung Technische AufgabeDISCLOSURE OF THE INVENTION Technical Problem
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein kostengünstiges herstellbares Interferometer vorzuschlagen, dessen Ausgangslichtemission ein in weiten Grenzen einstellbares Ausgangslichtspektrum aufweist.The invention has for its object to provide a cost-manufacturable interferometer whose output light emission has a wide adjustable output light spectrum.
Technische LösungTechnical solution
Diese Aufgabe wird mit einem Interferometer mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben. In den Rahmen der Erfindung fallen auch sämtliche Kombinationen aus zumindest zwei von in der Beschreibung, den Ansprüchen und/oder den Figuren offenbarten Merkmalen.This object is achieved with an interferometer having the features of claim 1. Advantageous developments of the invention are specified in the subclaims. All combinations of at least two features disclosed in the description, the claims and / or the figures also fall within the scope of the invention.
Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, zum Erzeugen einer Ausgangslichtemission mindestens zwei Lichtquellen einzusetzen, deren sich jeweils über einen Wellenlängenbereich erstreckende Lichtspektren eine voneinander unterschiedliche Schwerpunktswellenlänge aufweisen. Durch anteiliges Mischen der sich, zumindest abschnittsweise, überschneidenden Lichtspektren wird bei einem nach dem Konzept der Erfindung ausgebildeten Interferometer das Ausgangslichtspektrum der Ausgangslichtemission eingestellt. Das aus den einzelnen Lichtspektren der Lichtquellen resultierende Ausgangslichtspektrum ergibt sich also als Summe der beiden anteilig gewichteten Lichtspektren der eingesetzten Lichtquellen. Mit einem nach dem Konzept der Erfindung ausgebildeten Interferometer kann auf einfache Weise die Schwerpunktwellenlänge, die den Maßstab für die inter- ferometrische Messung darstellt, in weiten Grenzen eingestellt werden. Dabei hängt der Abstand der Grenzen, in denen sich die Schwerpunktswellenlänge des Ausgangs- lichtspektrums bewegen kann, im Wesentlichen ab von der Breite und dem Überlappungsbereich der einzelnen, miteinander gemischten Lichtspektren der eingesetzten Lichtquellen. Durch die erfindungsgemäße Kombination von mindestens zwei Lichtquellen zu einer gemeinsamen Interferometer-Lichtquelle, deren Ausgangslichtemission ein Ausgangslichtspektrum aufweist, das durch anteiliges Überlagern der Lichtspektren der Lichtemissionen der Einzel-Lichtquellen zusammengesetzt ist, ist das Ausgangslichtspektrum in einem weiten Frequenzbereich durchstimmbar . Ein nach dem Konzept der Erfindung ausgebildetes Interferometer eignet sich insbesondere für interferometrische Messverfahren, die auf eine veränderbare Wellenlänge angewiesen sind, wie beispielsweise ein Mehr- Wellenlängen-Verfahren oder ein Frequenz-Analyse-Verfahren mit durchgestimmter Wellenlänge. Bevorzugt handelt es sich bei dem Interferometer um eine flächig messende Messvorrichtung. Von besonderem Vorteil ist eine Ausführungsform mit mehr als zwei Lichtquellen. Durch das Vorsehen einer Vielzahl von Lichtquellen lässt sich der Durchstimmbereich der gemeinsamen Interferometer- Lichtquelle erweitern. In Weiterbildung der Erfindung ist mit Vorteil vorgesehen, dass das Ausgangslichtspektrum der Ausgangslichtemission durch Verändern der Leistungsdichte (Intensität) mindestens eines der mindestens zwei miteinander zu mischenden Licht- spektren einstellbar ist. Bevorzugt wird hierzu die Größe der elektrischen Versorgungsspannung und/oder des elektrischen Versorgungsstroms der zugehörigen Lichtquelle eingestellt. Durch Verändern der Leistungsdichte mindestens eines der zu mischenden Lichtspektren wird die Zusammenset- zung des Ausgangslichtspektrums verändert, d. h. die Schwerpunktswellenlänge des Ausgangslichtspektrums verschoben .The invention is based on the idea of using at least two light sources for producing an output light emission, the light spectrums of which each have a wavelength range and which have a different center of gravity wavelength. By proportionally mixing the, at least in sections, overlapping light spectra, the output light spectrum of the output light emission is set in an interferometer designed according to the concept of the invention. That from the individual light spectra of the light sources resulting output light spectrum thus results as the sum of the two proportionately weighted light spectra of the light sources used. With an interferometer designed according to the concept of the invention, the centroid wavelength, which represents the standard for the interferometric measurement, can be set within wide limits in a simple manner. In this case, the distance of the boundaries in which the center wavelength of the output light spectrum can move depends essentially on the width and the overlapping area of the individual, mixed light spectra of the light sources used. The inventive combination of at least two light sources to a common interferometer light source whose output light emission has an output light spectrum, which is composed by proportionately superimposing the light spectra of the light emissions of the individual light sources, the output light spectrum in a wide frequency range is tunable. An interferometer designed according to the concept of the invention is particularly suitable for interferometric measuring methods that rely on a variable wavelength, such as a multi-wavelength method or a frequency analysis method with tuned wavelength. The interferometer is preferably a flat measuring device. Of particular advantage is an embodiment with more than two light sources. By providing a plurality of light sources, the tuning range of the common interferometer light source can be expanded. In a development of the invention, it is advantageously provided that the output light spectrum of the output light emission can be set by changing the power density (intensity) of at least one of the at least two light spectrums to be mixed with one another. For this purpose, the size of the electrical supply voltage and / or the electrical supply current of the associated light source is preferably set for this purpose. By varying the power density of at least one of the light spectra to be mixed, the composition of the output light spectrum is changed, ie the center wavelength of the output light spectrum is shifted.
Die Zusammensetzung des Ausgangslichtspektrums der Aus- gangslichtemission kann zusätzlich oder alternativ dadurch variiert werden, dass der Versorgungsstrom und/oder die Versorgungsspannung mindestens einer der beiden Lichtquellen pulsweitenmoduliert wird.The composition of the output light spectrum of the output light emission can additionally or alternatively be varied by pulse-modulating the supply current and / or the supply voltage of at least one of the two light sources.
Die mindestens zwei Lichtquellen senden inkohärente Lichtemissionen aus. Darunter sind insbesondere Lichtemissionen zu verstehen, die räumlich und/oder zeitlich inkohärenter sind als eine Laserlichtemission. Durch das Vorsehen von derart inkohärenten Lichtquellen wird das Interferometer weniger anfällig gegenüber Specklephänomenen, die insbesondere Probleme beim Messen von rauen Oberflächen verursachen.The at least two light sources emit incoherent light emissions. These are, in particular, light emissions which are more spatially and / or temporally incoherent than a laser light emission. By providing such incoherent light sources, the interferometer becomes less susceptible to speckle phenomena, which in particular causes problems in measuring rough surfaces.
Eine besonders kostengünstige und robuste Ausführungsform wird erhalten, wenn mindestens eine der mindestens zwei Lichtquellen, vorzugsweise sämtliche Lichtquellen, mindestens eine LED umfassen/umfasst bzw. als LED ausgebildet sind/ist . Durch das Vorsehen mindestens eines Interferenzfilters im Strahlengang der ersten Lichtemission und/oder der zweiten Lichtemission und/oder bevorzugt der Ausgangslichtemission bzw. der aufgeteilten Ausgangslichtemission können aufgrund größerer erzielbarer Kohärenzlängen größere Messbereiche realisiert werden.A particularly cost-effective and robust embodiment is obtained if at least one of the at least two light sources, preferably all light sources, comprises / comprises at least one LED or is designed as an LED. By providing at least one interference filter in the beam path of the first light emission and / or the second light emission and / or preferably the output light emission or the split output light emission, larger measurement ranges can be realized due to greater achievable coherence lengths.
Um die mindestens zwei Lichtspektren eines resultierenden Ausgangslichtspektrums auf einfache Weise mischen zu können, ist der Einsatz mindestens eines optischen Mischers, vorzugsweise eines Strahlteilers, Gitters oder Prismas von Vorteil.In order to mix the at least two light spectra of a resulting output light spectrum in a simple manner, the use of at least one optical mixer, preferably a beam splitter, grating or prism is advantageous.
Von besonderem Vorteil ist eine Ausführungsform, bei der der Interferometer als Mehrwellenlängeninterferometer, insbesondere als Weißlichtinterferometer einsetzbar bzw. nutzbar ist. Mit Vorteil handelt es sich um eine flächig messende Messvorrichtung.Of particular advantage is an embodiment in which the interferometer can be used or used as a multi-wavelength interferometer, in particular as a white-light interferometer. Advantageously, it is a flat measuring device.
Kurze Beschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings
Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele sowie anhand der Zeichnungen. Diese zeigen in:Further advantages, features and details of the invention will become apparent from the following description of preferred embodiments and from the drawings. These show in:
Fig. 1: in einer schematischen Darstellung einen möglichen Aufbau eines Interferometers mit einer aus zwei Lichtquellen zusammengesetzten Interferome- ter-Lichtquelle und Fig. 2: ein Diagramm, bei dem die Leistungsdichte über die Wellenlänge aufgetragen ist und das das Mischungsergebnis (Ausgangslichtspektrum) zweier Lichtspektren zeigt.1 shows a schematic representation of a possible construction of an interferometer with an interferometer light source composed of two light sources and FIG 2 shows a diagram in which the power density is plotted against the wavelength and shows the result of the mixture (output light spectrum) of two light spectra.
Ausführungsformen der ErfindungEmbodiments of the invention
In den Figuren sind gleiche Bauteile und Bauteile mit der gleichen Funktion mit den gleichen Bezugszeichen beschrieben .In the figures, the same components and components with the same function are described by the same reference numerals.
In Fig. 1 ist ein möglicher Aufbau eines Interferometers 1, umfassend eine erste, inkohärente, als LED ausgebildete erste Lichtquelle 2, und eine zweite inkohärente, ebenfalls als LED ausgebildete Lichtquelle 3. Die erste Lichtquelle 2 strahlt eine erste Lichtemission 4 und die zweite Lichtquelle 3 eine zweite Lichtemission 5 ab. Die erste Lichtemission 4 hat ein erstes Lichtspektrum 6, welches in dem Diagramm gemäß Fig. 2 aufgetragen ist. Die zweite Lichtemission 5 hat ein zweites, von dem ersten Lichtspektrum 6 unterschiedliches Lichtspektrum 7, wobei sich jedoch die Lichtspektren 6, 7, wie sich aus Fig. 2 ergibt, überschneiden/überlappen. Die beiden Lichtspektren 6, 7 unterscheiden sich im Wesentlichen durch voneinander unterschiedliche Schwerpunktwellenlängen 8, 9, wobei die erste Schwerpunktwellenlänge des ersten Lichtspektrums 6 kleiner ist als die zweite Schwerpunktwellenlänge 9 des zweiten Lichtspektrums 7.In Fig. 1 is a possible structure of an interferometer 1, comprising a first, incoherent, designed as an LED first light source 2, and a second incoherent, also designed as an LED light source 3. The first light source 2 emits a first light emission 4 and the second light source 3 a second light emission 5 from. The first light emission 4 has a first light spectrum 6, which is plotted in the diagram according to FIG. The second light emission 5 has a second light spectrum 7, which differs from the first light spectrum 6, but the light spectra 6, 7, as shown in FIG. 2, overlap / overlap. The two light spectra 6, 7 differ essentially by mutually different centroid wavelengths 8, 9, the first centroid wavelength of the first light spectrum 6 being smaller than the second centroid wavelength 9 of the second light spectrum 7.
Die Lichtemissionen 4, 5 werden einem an sich bekannten optischen Mischer 10 zugeführt. Aus dem Ausgang 11 des optischen Mischers 10 wird eine gemeinsame Ausgangslichtemis- sion 12 ausgestrahlt, die das in Fig. 2 gezeigte Ausgangslichtspektrum 13 aufweist, welches durch Mischen der Lichtspektren 6, 7 erhalten wird. Auffällig ist die von den Schwerpunktwellenlängen 8, 9 der ersten Lichtspektren 6, 7 unterschiedliche Schwerpunktwellenlänge 14 des Ausgangslichtspektrums 13. Die Schwerpunktwellenlänge 14 ist größer als die erste Schwerpunktwellenlänge 8 und kleiner als die zweite Schwerpunktwellenlänge 9 und weist eine größere Intensität auf als die erste und die zweite Schwerpunktwellenlänge 8, 9.The light emissions 4, 5 are fed to a known optical mixer 10. From the output 11 of the optical mixer 10 is a common output light emission 12, which has the output light spectrum 13 shown in FIG. 2, which is obtained by mixing the light spectra 6, 7. Striking is the center of gravity wavelengths 8, 9 of the first light spectra 6, 7 different center wavelength 14 of the output light spectrum 13. The centroid wavelength 14 is greater than the first centroid wavelength 8 and smaller than the second centroid wavelength 9 and has a greater intensity than the first and second center wavelength 8, 9.
Durch das Vorsehen der beiden Lichtquellen 2, 3 wird durch das Hinzufügen des optischen Mischers 10 eine gemeinsame, durchstimmbare Interferometerlichtquelle 15 erhalten. Zum Durchstimmen der Interferometerlichtquelle 15 muss beispielsweise nur die Versorgungsleistung zumindest einer der beiden Lichtquellen 2, 3, variiert werden.By providing the two light sources 2, 3, the addition of the optical mixer 10 results in a common, tunable interferometer light source 15. To tune the interferometer light source 15, for example, only the supply power of at least one of the two light sources 2, 3, must be varied.
Wie sich weiterhin aus Fig. 1 ergibt, trifft die Ausgangs- lichtemission 12 bzw. der Ausgangslichtemissionsstrahl auf einen ersten Strahlenteiler 16, der die Ausgangsemission 12 in einen ersten und einen zweiten Teilstrahl 17, 18 aufteilt. Im ersten Teilstrahl 17 befindet sich dabei eine zu vermessende Probe 19, in der sich der erste Teilstrahl 17 mit einer geänderten Geschwindigkeit fortbewegt. Die beiden Teilstrahlen 17, 18 werden über Spiegel 20, 21 umgelenkt und schließlich über ein Prisma 22 zu einemAs is also apparent from FIG. 1, the output light emission 12 or the output light emission beam impinges on a first beam splitter 16, which divides the output emission 12 into a first and a second partial beam 17, 18. In the first part of the beam 17 is to be measured a sample 19, in which the first part of the beam 17 moves at a changed speed. The two partial beams 17, 18 are deflected via mirrors 20, 21 and finally via a prism 22 to a
Gesamtstrahl 23 zusammengefasst, in welchem sich dieTotal beam 23 summarized, in which the
Teilstrahlen 17, 18 überlagern und miteinander interferieren. Der Gesamtstrahl 23 wird auf einen geeigneten Sensor 24, beispielsweise einen Kamerachip geleitet, mit dem das Interferenzmuster 25 detektiert wird und durch eine geeignete, nicht gezeigte, Elektronik sichtbar gemacht wird. Superimpose partial beams 17, 18 and interfere with each other. The total beam 23 is directed to a suitable sensor 24, for example a camera chip, with which the interference pattern 25 is detected and is visualized by suitable electronics, not shown.

Claims

Ansprücheclaims
1 Interferometer mit einer ersten Lichtquelle (2) zum Erzeugen einer ersten Lichtemission (4) mit einem ers- ten Lichtspektrum (6) und mit mindestens einer zweiten Lichtquelle (3) zum Erzeugen einer zweiten Lichtemission (5) mit einem zweiten Lichtspektrum (7),1 interferometer with a first light source (2) for generating a first light emission (4) with a first light spectrum (6) and with at least one second light source (3) for generating a second light emission (5) with a second light spectrum (7) .
dadurch gekennzeichnet,characterized,
dass das erste Lichtspektrum (6) eine von dem zweiten Lichtspektrum (7) unterschiedliche Schwerpunktswellenlänge (8, 9) aufweist, und dass eine Ausgangslichtemission (12) mit einem aus dem ersten Lichtspektrum (6) und dem zweiten Lichtspektrum (7) zusammengesetzten Ausgangslichtspektrum (13) erzeugbar ist.in that the first light spectrum (6) has a center-of-mass wavelength (8, 9) different from the second light spectrum (7), and in that an output light emission (12) is combined with an output light spectrum (1) composed of the first light spectrum (6) and the second light spectrum (7). 13) can be generated.
2. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Anteile des ersten und des zweiten Lichtspektrums (6, 7) an dem Ausgangslichtspektrum (13) durch Einstellen der Größe des elektrischen Versorgungsstroms und/oder der Größe der elektrischen Versorgungsspannung der ersten und/oder der zweiten Lichtquelle (2, 3) einstellbar sind.2. Interferometer according to claim 1, characterized in that the proportions of the first and second light spectrum (6, 7) on the output light spectrum (13) by adjusting the size of the electrical supply current and / or the size of the electrical supply voltage of the first and / or the second light source (2, 3) are adjustable.
3. Interferometer nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Anteile des ersten und des zweiten Lichtspektrums (6, 7) an dem Ausgangslichtspektrum (13) durch eine Pulsweitenmodulation des elektrischen Versorgungsstroms und/oder der elektrischen Versorgungsspannung der ersten und/oder der zweiten Lichtquelle (2, 3) einstellbar sind.3. Interferometer according to one of claims 1 or 2, characterized in that the proportions of the first and the second light spectrum (6, 7) on the output light spectrum (13) by a pulse width modulation of the electrical supply current and / or the electric Supply voltage of the first and / or the second light source (2, 3) are adjustable.
4. Interferometer nach einem der vorhergehenden Ansprü- che, dadurch gekennzeichnet, dass die erste und/oder die zweite Lichtemission (4,4. Interferometer according to one of the preceding claims, characterized in that the first and / or the second light emission (4,
5) inkohärent sind/ist.5) are incoherent.
5. Interferometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dass die erste und/oder die zweite Lichtquelle (2, 3) eine LED umfassen/umfasst .5. Interferometer according to one of the preceding claims, that the first and / or the second light source (2, 3) comprises an LED /.
6. Interferometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im Strahlengang der ersten Lichtemission (4) und/oder der zweiten Lichtemission (5) und/oder der Ausgangslichtemission (12) mindestens ein Interferenzfilter angeordnet sind/ist.6. Interferometer according to one of the preceding claims, characterized in that in the beam path of the first light emission (4) and / or the second light emission (5) and / or the output light emission (12) at least one interference filter are arranged / is.
7. Interferometer nach einem der vorhergehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, dass zum Mischen der ersten und der zweiten Lichtemissionen (4, 5) ein optischer Mischer (10), insbesondere ein elektro-optischer Mischer, vorgesehen ist.7. Interferometer according to one of the preceding claims, characterized in that for mixing the first and the second light emissions (4, 5), an optical mixer (10), in particular an electro-optical mixer, is provided.
8. Interferometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Interferometer (1) als Mehrwellenlängeninter- ferometer, insbesondere als Weißlichtinterferometer, ausgebildet ist. 8. Interferometer according to one of the preceding claims, characterized in that the interferometer (1) is designed as a multi-wavelength interferometer, in particular as a white-light interferometer.
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