WO2009016114A1 - Accelerometre d'unite de mesure inertielle a cout reduit et securite amelioree - Google Patents

Accelerometre d'unite de mesure inertielle a cout reduit et securite amelioree Download PDF

Info

Publication number
WO2009016114A1
WO2009016114A1 PCT/EP2008/059788 EP2008059788W WO2009016114A1 WO 2009016114 A1 WO2009016114 A1 WO 2009016114A1 EP 2008059788 W EP2008059788 W EP 2008059788W WO 2009016114 A1 WO2009016114 A1 WO 2009016114A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
accelerometer
masses
mass
sensitive
axial
Prior art date
Application number
PCT/EP2008/059788
Other languages
English (en)
Inventor
Jacques Leclerc
Original Assignee
Thales
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Thales filed Critical Thales
Publication of WO2009016114A1 publication Critical patent/WO2009016114A1/fr

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/097—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by vibratory elements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/18—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions

Definitions

  • the present invention relates to an accelerometer of an inertial measurement unit and to an inertial measurement unit based on such an accelerometer.
  • French Patent 2,848,298 of the Applicant discloses a micro-machined uni-axial accelerometer in a silicon plate for example, which is composed of one or two seismic masses suspended in a plane and guided along a preferential axis. common displacement.
  • a force amplification system associated with each seismic mass makes it possible to amplify the force it produces, when it is subjected to acceleration, and to apply it to the corresponding resonator, maintained in vibration by a dedicated electronic circuit.
  • the detection chip comprising the aforementioned elements is a vacuum cavity to obtain a large quality factor for the resonators.
  • Such an accelerometer has been shown diagrammatically in FIG. 1, for example, in a dual-mass configuration.
  • the uni-axial accelerometer of FIG. 1 essentially comprises two plane seismic masses 1, 2 movable in translation under the action of an acceleration ⁇ applied along the sensitive axis of the accelerometer (axis parallel to the arrows 3, 4 representing the forces of acceleration M ⁇ applied to the respective centers of gravity of these masses M) 5 these masses being suspended in the same plane by arms B to a rigid frame 5 forming part of the substrate on which the accelerometer is formed.
  • Each of these two masses 1, 2 is connected by a jack 6, 7 in the form of a pantograph to a resonator 8, 9 respectively.
  • These jacks are connected by one of their vertices to the corresponding ground and their opposite peak to a fixed portion 10, 11 of the substrate, located between the two masses.
  • the resonators 8, 9 are fixed between the two other tops of the pantographs.
  • an acceleration ⁇ or an acceleration component
  • the mass 1 compresses the pantograph 6 and therefore stretches the resonator 8, while the mass 2 stretches the pantograph 7 by compressing the resonator 9, which changes their respective resonant frequencies.
  • Such an accelerometer is in the form of a “chip” (monolithic element “MEMS", for “Micro ElectroMechanical System”) which is mounted in a cell-housing allowing its mechanical positioning, and the electrical connections to the resonators. It is also possible to create the vacuum in the cell when it was not possible to make it in the chip, the chip being provided with evacuation vents.
  • MEMS Micro ElectroMechanical System
  • This known accelerometer is equipped with a temperature measurement system for making the appropriate compensations and two-way proximity electronic circuits for maintaining the two resonators in vibration at resonance. The signals of the two frequency measuring channels are converted and addressed to digital electronic circuits providing the servocontrols, the restoration of the acceleration by difference of the two frequencies or by more sophisticated processing, compensation and digital output format. .
  • An inertial measurement unit (IMU) of the prior art consists, in particular, of three uni-axial accelerometers arranged in orthogonal planes two by two, ie three cells each containing a chip, three temperature measuring circuits, six frequency measuring channels and a digital processing circuit.
  • the present invention relates to an accelerometer unit of inertial measurement to reduce the cost and / or improve the safety of this unit of inertial measurement.
  • the accelerometer according to the invention is a resonator-type inertial measurement unit accelerometer whose resonance frequency is modified by a device with at least one mobile mass as a function of the accelerations undergone by this mobile mass, and it is characterized in that it is biaxial and comprises at least two mobile masses responsive to accelerations occurring along any axis in a plane and each associated with a device for converting the force applied to the mass sensitive to acceleration in electrical signals , the sensitive axes of these masses being mutually arranged so as to allow the determination of their components in said plane.
  • the accelerometer comprises two moving masses each associated with a force conversion device
  • the sensitive axes of their force conversion devices are oriented relative to each other at a different angle. 0 or 90 °.
  • such an embodiment is more economical than those comprising more than two moving masses, but is less secure than the latter.
  • the accelerometer comprises N moving masses (N> 3)
  • their sensitive axes are substantially concurrent at one point and form, step by step, an angle of approximately 2 ⁇ / N.
  • bi-axial accelerometer means that this accelerometer is capable of measuring any acceleration of direction in a plane.
  • the device responsive to accelerations comprises at least three seismic masses whose sensitive axes are non-parallel and for example distributed at 120 ° to each other, and which are each associated with a device. conversion of the force applied to the mass into electrical signals.
  • an inertial measurement unit is constituted using two such accelerometers.
  • FIG. 1 already described above, is a simplified diagram of a cell of the prior art sensing accelerations along a single axis
  • - Figure 2 is a simplified diagram of a cell according to the present invention for capturing accelerations in any direction in a plane
  • FIG. 3 is a plan view of an exemplary embodiment of a
  • the accelerometer of the invention comprises at least two mobile masses also called seismic masses.
  • FIG. 2 shows the case where it comprises three seismic masses.
  • the accelerometer of FIG. 2 comprises three sensors 12, 13, 14 comprising each a seismic mass 15, 16 and 17 respectively. These seismic masses are coplanar and each associated with a force conversion device comprising essentially a resonator 18, 19 and 20 respectively, integral with a pantograph 21, 22 and 23 respectively, each resonator being connected to an excitation circuit, to frequency conversion and signal processing (not shown).
  • the pantographs are anchored to fixed zones, respectively 24 to 26, of the substrate on which the seismic masses are formed.
  • These sensors are made for example according to the method described in the aforementioned French patent, but adapted to the invention obviously for those skilled in the art.
  • Each of the masses 15 to 17 is maintained in the plane common to these three masses by suspension arms (not shown).
  • the three masses are arranged so that their respective centers of gravity form the vertices of a triangle, for example equilateral, and their suspension devices are such that they guide them along three sensitive axes arranged at about 120 °. one another.
  • the three masses 15 to 17 are sufficiently spaced apart from each other to leave between them a space such that it makes it possible to house their respective force conversion devices and resonators (in particular with the elements 18 at 26).
  • the resonant frequency changes of the three resonators 18 to 20 are then measured and converted into accelerations values, in a manner known in the art.
  • accelerations values in a manner known in the art.
  • the biaxial chip containing the accelerometer such as that of FIG. 2 is substantially larger than in the case of a uni-axial accelerometer (surface multiplied by 1.5 to 2), and it requires 1.5 times more electrical connections than the latter (or a little less if common points are possible). It is carried in a cell-box. A single thermal compensation system is required for the bi-axial accelerometer and the frequency processing paths of the resonators are identical to the uni-axial case.
  • FIG. 3 shows an exemplary embodiment of a bi-axial chip according to the invention.
  • the center of the accelerometer chip is occupied by a small mobile part C in the shape of an equilateral triangle.
  • This piece C serves as a coupling means between the three movable masses 27 to 29, which are identical and surround this central piece.
  • Each of the masses 27 to 29 has a general trapezoidal shape widening from the center to the periphery, its small base being parallel to one side of the triangle C.
  • the three masses are part of a polygon which is substantially an equilateral triangle whose sides are respectively parallel to the sides of the triangle C to which they are connected by arms, for example folded arms (not shown).
  • Flat damping electrodes 30 to 32 are arranged at the three vertices of the triangle circumscribed to the masses, parallel to the plane of the moving masses, in this plane.
  • the moving masses 27 to 29 are each associated with a set jack + resonator referenced as a whole 33 to 35, respectively, each of these sets being disposed substantially in the center of the corresponding moving mass, in a recess practiced in this mass.
  • Each of these masses is guided along a sensitive axis parallel to the sensitive axis by guide arms B.
  • Excitation electrodes E placed under the masses, close to the corresponding resonators, excite them to resonance.
  • Sensing electrodes D are also arranged under the masses, near the resonators S
  • An UMI according to the invention is therefore composed of two bi-axial accelerometers whose planes are mutually orthogonal.
  • the assembly thus comprises two cells each containing a chip, two temperature measuring devices, six frequency variation processing channels of the resonators and a digital processing device.
  • this architecture has a safer operation because it has a redundant measurement axis, which gives it four sensitive axes, thus enabling it to resist a failure of a frequency processing channel.
  • the UMI is without redundancy and consists of a bi-axial accelerometer XY and a uni-axial accelerometer Z.
  • this variant is more economical than the embodiment with two bi-axial accelerometers, but is less secure than the latter.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)

Abstract

La présente invention a pour objet un accéléromètre d'unité de mesure ïnertielle permettant de réduire Ie coût et/ou d'améliorer la sécurité de cette unité de mesure inertielle. L' accéléromètre conforme à l'invention est un accéléromètre d'unité de mesure inertielle du type à résonateur dont la fréquence de résonance est modifiée par un dispositif à au moins une masse mobile en fonction des accélérations subies par cette masse mobile, et il est caractérisé en ce qu'il est bî-axial et comprend au moins deux masses mobiles sensibles aux accélérations se produisant selon un axe quelconque dans un plan et associées chacune à un dispositif de conversion de la force appliquée à la masse sensible aux accélérations en signaux électriques, les axes sensibles de ces masses étant mutuellement disposés de façon à permettre la détermination de leurs composantes dans ledit plan.

Description

ACCELEROMETRE D'UNITE DE MESURE INERTIELLE A COUT REDUIT ET SECURITE AMELIOREE
La présente invention se rapporte à un accéléromètre d'unité de mesure inertielle ainsi qu'à une unité de mesure inertielle basée sur un tel accéléromètre.
On connaît d'après le brevet français 2 848 298 du Demandeur un accéléromètre uni-axial micro-usiné dans une plaque de silicium par exemple, qui est composé d'une ou de deux masses sismiques suspendues dans un plan et guidées selon un axe préférentiel commun de déplacement. Un système d'amplification de force associé à chaque masse sismique permet d'amplifier la force qu'elle produit, lorsqu'elle est soumise à une accélération, et de l'appliquer au résonateur correspondant, entretenu en vibration par un circuit électronique dédié. La puce de détection comportant les éléments précités constitue une cavité sous vide permettant d'obtenir un grand facteur de qualité pour les résonateurs. Un tel accéléromètre a été schématisé en figure 1 par exemple en configuration bi- masses.
L' accéléromètre uni-axial de la figure 1 comporte essentiellement deux masses sismiques planes 1, 2 mobiles en translation sous l'action d'une accélération γ appliquée selon i'axe sensible de l' accéléromètre (axe parallèle aux flèches 3, 4 représentant les forces d'accélération Mγ appliquées aux centres de gravité respectifs de ces masses M)5 ces masses étant suspendues dans un même plan par des bras B à un cadre rigide 5 faisant partie du substrat sur lequel est formé l' accéléromètre. Chacune de ces deux masses 1, 2 est reliée par un cric 6, 7 en forme de pantographe à un résonateur 8, 9 respectivement. Ces crics sont reliés par un de leurs sommets à la masse correspondante et par leur sommet opposé à une partie fixe 10, 11 du substrat, située entre les deux masses. Les résonateurs 8, 9 sont fixés entre les deux autres sommets des pantographes. Ainsi, lorsqu'une accélération γ (ou une composante d'accélération) est appliquée (horizontalement et vers la droite sur le dessin), la masse 1 comprime le pantographe 6 et étire donc le résonateur 8, tandis que la masse 2 étire Ie pantographe 7 en comprimant le résonateur 9, ce qui modifie leurs fréquences de résonance respectives.
Un tel accéléromètre se présente sous forme d'une « puce » (élément monolithique « MEMS », pour « Micro ElectroMechanical System ») qui est montée dans un boîtier-cellule permettant son positionnement mécanique, et les connexions électriques aux résonateurs. Il est par ailleurs possible de créer le vide dans la cellule lorsqu'il n'a pas été possible de le réaliser dans la puce, la puce étant dotée d'évents de mise au vide. Cet accéléromètre connu est doté d'un système de mesure de température pour effectuer les compensations appropriées et de circuits électroniques de proximité à deux voies permettant d'entretenir les deux résonateurs en vibration à la résonance. Les signaux des deux voies de mesure de fréquence sont convertis et adressés à des circuits électroniques numériques réalisant les asservissements, la restitution de l'accélération par différence des deux fréquences ou par des traitements plus sophistiqués, les compensations et la mise au format de sortie numérique.
Une unité de mesure inertielle (UMI ) de l'art antérieur est constituée, en particulier, de trois accéléromètres uni-axiaux disposés dans des plans orthogonaux deux à deux, soit trois cellules contenant chacune une puce, trois circuits de mesure de température, six voies de mesure de fréquence et un circuit de traitement numérique.
La présente invention a pour objet un accéléromètre d'unité de mesure inertielle permettant de réduire le coût et/ou d'améliorer Ia sécurité de cette unité de mesure inertielle. L' accéléromètre conforme à l'invention est un accéléromètre d'unité de mesure inertielle du type à résonateur dont la fréquence de résonance est modifiée par un dispositif à au moins une masse mobile en fonction des accélérations subies par cette masse mobile, et il est caractérisé en ce qu'il est bi-axial et comprend au moins deux masses mobiles sensibles aux accélérations se produisant selon un axe quelconque dans un plan et associées chacune à un dispositif de conversion de la force appliquée à la masse sensible aux accélérations en signaux électriques, les axes sensibles de ces masses étant mutuellement disposés de façon à permettre la détermination de leurs composantes dans ledit plan.
Dans le cas où l'accéléromètre comporte deux masses mobiles associées chacune à un dispositif de conversion de force, les axes sensibles de leurs dispositifs de conversion de force sont orientés l'un par rapport à l'autre selon un angle différent de 0 ou 90°. Bien entendu, un tel mode de réalisation est plus économique que ceux comportant plus de deux masses mobiles, mais est moins sécurisé que ces derniers.
Dans le cas où Faccéléromètre comporte N masses mobiles (N>3), leurs axes sensibles sont sensiblement concourants en un point et forment, de proche en proche, un angle d'environ 2π/N.
Dans toute la présente description, «accéléromètre bi-axial » signifie que cet accéléromètre est capable de mesurer une accélération de direction quelconque dans un plan.
Selon un premier mode de réalisation de l'invention, le dispositif sensible aux accélérations comprend au moins trois masses sismiques dont les axes sensibles sont non parallèles et par exemple répartis à 120° les uns des autres, et qui sont associées chacune à un dispositif de conversion de la force appliquée à la masse en signaux électriques.
Selon une autre caractéristique de l'invention, on constitue une unité de mesure inertielle à l'aide de deux tels accéléromètres.
La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description détaillée d'un mode de réalisation, pris à titre d'exemple non limitatif et illustré par le dessin annexé, sur lequel : - la figure 1, déjà décrite ci-dessus est un schéma simplifié d'une cellule de l'art antérieur captant des accélérations selon un seul axe, - la figure 2 est un schéma simplifié d'une cellule conforme à la présente invention destinée à capter des accélérations selon une direction quelconque dans un plan, et - la figure 3 est une vue en plan d'un exemple de réalisation d'une
« puce » d'accéléromètre conforme à l'invention.
L' accéléromètre de l'invention comporte au moins deux masses mobiles également dénommées masses sismiques. On a représenté sur la figure 2 le cas où il comporte trois masses sismiques.
L 'accéléromètre de la figure 2 comporte trois capteurs 12, 13, 14 comprenant chacun une masse sismique 15, 16 et 17 respectivement. Ces masses sismiques sont coplanaires et associées chacune à un dispositif de conversion de force comprenant essentiellement un résonateur 18, 19 et 20 respectivement, solidaire d'un pantographe 21, 22 et 23 respectivement, chaque résonateur étant relié à un circuit d'excitation, de conversion de fréquence et de traitement du signal (non représentés). Les pantographes sont ancrés à des zones fixes, respectivement 24 à 26, du substrat sur lequel sont formées les masses sismîques. Ces capteurs sont réalisés par exemple selon le procédé décrit dans le brevet français précité, mais adapté à l'invention de façon évidente pour l'homme de Fart. Chacune des masses 15 à 17 est maintenue dans le plan commun à ces trois masses par des bras de suspension (non représentés). Dans cette configuration, les trois masses sont disposées de façon que leurs centres de gravité respectifs forment les sommets d'un triangle, par exemple équilatéral, et leurs dispositifs de suspension sont tels qu'ils les guident selon trois axes sensibles disposés à 120° environ les uns des autres. Comme représenté en figure 2, les trois masses 15 à 17 sont suffisamment écartées les unes des autres pour laisser entre elles un espace tel qu'il permet d'y loger leurs dispositifs de conversion de force et résonateurs respectifs (comportant en particulier les éléments 18 à 26).
Dans le cas, représenté en figure 2, où une accélération γ est appliquée à l'accéléromètre selon un axe sensiblement parallèle à l'axe sensible de la masse 17, une composante de cette accélération (dirigée selon l'axe sensible de la masse 15) est appliquée à la masse 15, ce qui a pour effet de comprimer le pantographe 21 et d'étirer le résonateur 18. D'autre part, une composante de cette accélération γ (composante dirigée selon l'axe sensible de la masse 16), est appliquée à la masse 16, ce qui a pour effet d'étirer le pantographe 22 et de comprimer le résonateur 19. Enfin, une autre composante de cette accélération γ (composante dirigée selon l'axe sensible de la masse 17) est appliquée à la masse 17, ce qui a pour effet d'étirer le pantographe 23 et de comprimer le résonateur 20. Les modifications de fréquence de résonance des trois résonateurs 18 à 20 sont alors mesurées et converties en valeurs d'accélérations, de façon connue en soi Par un calcul simple de composition vectorielle, en combinant de façon connue en soi les trois composantes d'accélération ainsi mesurées (par projection selon les cosinus directeurs des axes sensibles des résonateurs), on arrive à déterminer la direction et l'intensité de l'accélération γ.
La puce bi-axiale renfermant P accéléromètre tel que celui de la figure 2 est sensiblement plus grande que dans le cas d'un accéléromètre uni-axial (surface multipliée par 1,5 à 2), et elle nécessite 1,5 fois plus de connexions électriques que cette dernière ( voire un peu moins si des points communs sont possibles). Elle est reportée dans un boîtier-cellule. Un seul système de compensation thermique est nécessaire pour l' accéléromètre bi-axial et les voies de traitement de fréquence des résonateurs sont identiques au cas uni-axial.
On a représenté en figure 3 un exemple de réalisation d'une puce bi-axiale conforme à l'invention. Dans ce mode de réalisation, le centre de la puce accélérométrique est occupé par une petite pièce mobile C en forme de triangle équilatéral. Cette pièce C sert de moyen de couplage entre les trois masses mobiles 27 à 29, qui sont identiques et entourent cette pièce centrale. Chacune des masses 27 à 29 a une forme générale de trapèze s'élargissant du centre vers la périphérie, sa petite base étant parallèle à un côté du triangle C. Les trois masses s'inscrivent dans un polygone qui est sensiblement un triangle équilatéral dont les côtés sont respectivement parallèles aux côtés du triangle C auquel elles sont reliées par des bras, par exemple des bras repliés (non représentés). Des électrodes planes d'amortissement 30 à 32, par exemple en forme de losanges, sont disposées aux trois sommets du triangle circonscrit aux masses, parallèlement au plan des masses mobiles, sous ce plan.
Les masses mobiles 27 à 29 sont associées chacune à un ensemble cric + résonateur référencé dans son ensemble 33 à 35, respectivement, chacun de ces ensembles étant disposé sensiblement au centre de la masse mobile correspondante, dans un évidemment pratiqué dans cette masse. Chacune de ces masses est guidée selon un axe sensible parallèle à l'axe sensible par des bras de guidage B.
Des électrodes d'excitation E, disposées sous les masses, à proximité des résonateurs correspondants, les excitent à la résonance. Des électrodes de détection D, sont également disposées sous les masses, à proximité des résonateurs S
correspondants, et recueillent les variations de fréquence de résonance des résonateurs correspondants, ces variations apparaissant lorsque les masses sont soumises à des accélérations et étirent ou compriment ces résonateurs.
Une UMI conforme à l'invention est dès lors constituée de deux accéléromètres bi-axiaux dont les plans sont mutuellement orthogonaux. L'ensemble comporte donc deux cellules contenant chacune une puce, deux dispositifs de mesure de température, six voies de traitement des variations des fréquences des résonateurs et un dispositif de traitement numérique. Ainsi, cette architecture a un fonctionnement plus sûr, car elle dispose d'un axe de mesure redondant, ce qui lui confère quatre axes sensibles, lui permettant ainsi de résister à une panne d'une voie de traitement de fréquence.
Selon une variante de l'invention, l'UMI est sans redondance et est constituée d'un accéléromètre bi-axial XY et d'un accéléromètre uni-axial Z. Bien entendu, cette variante est plus économique que le mode de réalisation à deux accéléromètres bi-axiaux, mais est moins sécurisée que ce dernier.
On a résumé dans le tableau ci-dessous les avantages et inconvénients des différentes possibilités de réalisation d'une UMI, à savoir la solution de l'art antérieur à trois accéléromètres (ou capteurs) uni-axiaux et les solutions de l'invention à deux accéléromètres bi-axiaux et à un accéléromètre uni-axial et un accéléromètre bi-axial.
Figure imgf000008_0001

Claims

?REVENDICATIONS
1. Accéléromètre d'unité de mesure inertielle du type à résonateur dont la fréquence de résonance est modifiée par un dispositif à au moins une masse mobile en fonction des accélérations subies par cette masse mobile, caractérisé en ce qu'il est bi-axial et comprend au moins deux masses mobiles sensibles aux accélérations se produisant selon un axe quelconque dans un plan et associées chacune à un dispositif de conversion de la force appliquée à la masse sensible aux accélérations en signaux électriques, les axes sensibles de ces masses étant mutuellement disposés de façon à permettre la détermination de leurs composantes dans ledit plan.
2. Accéléromètre selon la revendication I5 caractérisé en ce qu'il comporte deux masses mobiles et que les axes sensibles de leurs dispositifs de conversion de force sont orientés l'un par rapport à l'autre selon un angle différent de 0 ou 90°.
3. Accéléromètre selon la revendication 1, caractérisé en ce que le dispositif sensible aux accélérations comprend N masses mobiles (N>3) dont les axes sensibles sont sensiblement concourants en un point et forment, de proche en proche, un angle d'environ 2π/N.
4. Unité de mesure inertielle, caractérisée en ce qu'elle comporte deux accéléromètres bi-axiaux selon l'une des revendications 1 à 3.
5. Unité de mesure inertielle, caractérisée en ce qu'elle comporte un accéléromètre bi-axial selon l'une des revendications 1 à 3 et un accéléromètre uni-axial.
PCT/EP2008/059788 2007-07-27 2008-07-25 Accelerometre d'unite de mesure inertielle a cout reduit et securite amelioree WO2009016114A1 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0705525 2007-07-27
FR0705525A FR2919392A1 (fr) 2007-07-27 2007-07-27 Accelerometre d'unite de mesure inertielle a cout reduit et securite amelioree.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2009016114A1 true WO2009016114A1 (fr) 2009-02-05

Family

ID=39363944

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2008/059788 WO2009016114A1 (fr) 2007-07-27 2008-07-25 Accelerometre d'unite de mesure inertielle a cout reduit et securite amelioree

Country Status (2)

Country Link
FR (1) FR2919392A1 (fr)
WO (1) WO2009016114A1 (fr)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10187977B2 (en) 2015-06-29 2019-01-22 Microsoft Technology Licensing, Llc Head mounted computing device, adhesive joint system and method

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20200132540A1 (en) * 2018-10-30 2020-04-30 Texas Instruments Incorporated Piezoelectric accelerometer

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0318152A2 (fr) * 1987-10-22 1989-05-31 Richard A. Hanson Dispositif de mesure de force à cristal vibrant
US4920801A (en) * 1987-07-29 1990-05-01 The Marconi Company Limited Accelerometer
FR2821433A1 (fr) * 2001-02-26 2002-08-30 Sagem Accelerometre a lames vibrantes
FR2848298A1 (fr) * 2002-12-10 2004-06-11 Thales Sa Accelerometre a poutre vibrante

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4920801A (en) * 1987-07-29 1990-05-01 The Marconi Company Limited Accelerometer
EP0318152A2 (fr) * 1987-10-22 1989-05-31 Richard A. Hanson Dispositif de mesure de force à cristal vibrant
FR2821433A1 (fr) * 2001-02-26 2002-08-30 Sagem Accelerometre a lames vibrantes
FR2848298A1 (fr) * 2002-12-10 2004-06-11 Thales Sa Accelerometre a poutre vibrante

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10187977B2 (en) 2015-06-29 2019-01-22 Microsoft Technology Licensing, Llc Head mounted computing device, adhesive joint system and method

Also Published As

Publication number Publication date
FR2919392A1 (fr) 2009-01-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2410767B1 (fr) Capteur de pression dynamique mems, en particulier pour des applications à la réalisation de microphones
EP1835294B1 (fr) Accelerometre triaxal a membrane
FR2627592A1 (fr) Accelerometre pendulaire non asservi a poutre resonante
CH642460A5 (fr) Ensemble de captage pour un transducteur.
EP2520900B1 (fr) Gyromètre a capacités parasites reduites
EP1960307A1 (fr) Systeme micro-electromecanique comprenant une partie deformable et un detecteur de contrainte
EP1680796B1 (fr) Detecteur de mouvement a six degres de liberte avec trois capteurs de position et procede de fabrication d'un capteur
EP1902453A1 (fr) Dispositif capacitif a volume capacitif optimise
EP2617129A1 (fr) Dispositif a poutre suspendue et moyens de detection piezoresistive du deplacement de celle-ci, et procede de fabrication du dispositif
EP2546188B1 (fr) Procédé de réalisation d'une structure à membrane suspendue et à électrode enterrée
EP3257808B1 (fr) Dispositif microelectromecanique et/ou nanoelectromecanique a deplacement hors-plan comportant des moyens capacitifs a variation de surface
FR3056978A1 (fr) Capteur de pression, en particulier microphone a agencement ameliore
WO2009016114A1 (fr) Accelerometre d'unite de mesure inertielle a cout reduit et securite amelioree
WO2009016120A1 (fr) Accelerometre simplifie d'unite de mesure inertielle a cout reduit ou securite amelioree
FR3048781A1 (fr) Accelerometre lineaire amorti
EP1235074B1 (fr) Accéléromètre miniature à deux cellules
WO1997022011A1 (fr) Accelerometre electromagnetique
EP2862000B1 (fr) Capteur de champ magnetique a force de laplace
EP1245960A2 (fr) Accéléromètre à lames vibrantes.
FR3063991A1 (fr) Micro-dispositif a plusieurs elements mobiles disposes au sein de plusieurs cavites imbriquees
WO2021130280A1 (fr) Capteur autonome à membrane
WO2018172661A1 (fr) Micro-dispositif comprenant au moins deux elements mobiles
FR2813122A1 (fr) Accelerometre miniature non asservi
EP3910344A1 (fr) Dispositif de détection utilisant transducteur piézorésistif
FR3144612A1 (fr) Systeme électromécanique comprenant des moyens capacitifs de mesure ou d’actionnement

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 08786449

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 08786449

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1