WO2008081555A1 - ブレーズ型回折格子の製造方法 - Google Patents

ブレーズ型回折格子の製造方法 Download PDF

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Abstract

　ガラス等の基板１上に設けたホトレジスト層２にホログラフィック露光法により正弦全波又は正弦半波状のレジストパターン３を形成を形成した後、その基板１に対し、選択比（基板に対するエッチング速度／ホトレジストに対するエッチング速度）が１未満であるエッチングガスを使用し、ブレーズ方向とは反対方向の斜めからイオンビームを照射する。そうしてレジストパターン３が完全に消失するまでイオンビームエッチングを実行することで、レジストパターン３の正弦波状の格子溝を基板に転写刻線して断面鋸歯状の格子溝４パターンを形成する。基板１に対するエッチング速度を低くすることで小さなブレーズ角を形成することができ、その場合でも、ブレーズ方向と同方向でなく反対方向の斜め上からイオンビームを当てることで、ブレーズ面を挟んでブレーズ角と反対側のエッジの角度を小さくして回折効率を高めることができる。
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