WO2007104065A1 - Werkstoffverbund mit periodisch veränderter mikrostruktur - Google Patents

Werkstoffverbund mit periodisch veränderter mikrostruktur Download PDF

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WO2007104065A1
WO2007104065A1 PCT/AT2007/000119 AT2007000119W WO2007104065A1 WO 2007104065 A1 WO2007104065 A1 WO 2007104065A1 AT 2007000119 W AT2007000119 W AT 2007000119W WO 2007104065 A1 WO2007104065 A1 WO 2007104065A1
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composite material
material according
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layer
microstructure
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PCT/AT2007/000119
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Claus Daniel
Martin Kathrein
Frank MÜCKLICH
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Ceratizit Austria Gesellschaft M.B.H.
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    • C23C14/58—After-treatment
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/56—After-treatment

Definitions

  • the invention relates to a composite material comprising a base body made of a wear-resistant material and a hard material layer.
  • the group of wear-resistant materials includes hard metals, cermet materials, hard materials and tool steels, to name the most important representatives.
  • hard metal is meant a composite material which is composed of a carbide hard material phase and a metallic binder, preferably cobalt.
  • the material group of cermet materials includes all materials that are composed of one or more ceramic phases and one or more metallic phases.
  • Hard materials summarize all substances with a hardness of> 1,000 HV. These are in particular compounds of the elements of IVa to VIa groups of
  • Tool steels are according to DIN 17300 steels, which are defined by their application in tools.
  • Coatings can be applied, for example, by Physical Vapor Deposition (PVD) or Chemical Vapor Deposition (CVD) processes. There are many process variants for the layer deposition in both the PVD and the CVD method.
  • PVD Physical Vapor Deposition
  • CVD Chemical Vapor Deposition
  • the hard material layer is modified by the action of a laser beam such that arise in periodic sequence areas with altered microstructure. These areas of altered microstructure can arise by:
  • US Pat. No. 6,146,714 describes a method for pulsed laser deposition of, for example, ceramic layers. At the same time as the deposition process, a heat treatment with a laser beam is carried out in order to achieve a rapid heating and cooling of the individual layer layers. Thus, amorphous, columnar or polycrystalline structures can be adjusted.
  • EP 0 819 782 describes a process for producing a layer by laser ablation, wherein the deposited layer is melted or recrystallized by the action of a laser beam.
  • WO 2004/097064 discloses the irradiation of a layer during brief interruptions of the coating process or during the layer formation process with a pulsed laser beam as Temperpuls or with multiple pulsed laser beams of different wavelength and pulse duration, each with predetermined energy fluence and pulse repetition frequency. These are preferably those layers which are deposited by deposition of at least one preferably pulsed particle stream on a pulsed laser beam as Temperpuls or with multiple pulsed laser beams of different wavelength and pulse duration, each with predetermined energy fluence and pulse repetition frequency. These are preferably those layers which are deposited by deposition of at least one preferably pulsed particle stream on a
  • Substrate are formed in a vacuum.
  • the irradiation of lateral areas of the layer takes place in order to achieve the required energy fluence.
  • This periodic sequence of regions of altered microstructure with regions of untreated microstructure results in a change in local mechanical properties. This results in a microstructural surface composite, which has a significantly improved wear behavior. It is essential that areas which have formed a modified microstructure under the action of a laser beam alternate with untreated areas.
  • the surface roughness, the individual distances can vary slightly.
  • the regions of modified microstructure occurring in periodic sequence are preferably punctiform, linear or net-shaped. All the combinations of the abovementioned possibilities, also in combination with others, lead to the improvement of the wear behavior according to the invention.
  • the periodically arranged, point-shaped regions advantageously have a diameter of 1 to 10 ⁇ m and a depth of at least 50 nm to 0.8 x layer thickness.
  • a length of 5 .mu.m to 10 mm a width of 1 .mu.m to 10 .mu.m and a depth of 50 nm to a maximum of 0.8 x layer thickness is advantageous.
  • a mesh width of 3 to 10 ⁇ m and a depth of 50 nm to 0.8 x layer thickness has proven to be advantageous.
  • carbide and cermet materials are suitable for this purpose.
  • all ceramic layers are suitable as hard material layers in which microstructural changes take place under the action of heat during the heating or cooling process.
  • carbides, nitridic and carbonitridic layers and here again in particular the carbides, nitrides and carbonitrides of the metals titanium, zirconium, hafnium, chromium, molybdenum, tungsten, vanadium, niobium, tantalum and aluminum and mixtures thereof.
  • the surface is preferably treated by the laser interference method.
  • the electromagnetic radiation provided on the surface by means of a laser is initially not absorbed thermally in areas close to the surface, provided the laser radiation provided has an angular frequency above the material-specific plasma frequency.
  • This non-thermally absorbed energy is thermalized in a short-pulse laser (ns pulse) by the electron-lattice interaction in the so-called photothermal mechanism.
  • ns pulse short-pulse laser
  • this treatment primarily corresponds to an extremely rapid heating of the material in the range of 20 nanoseconds to about 1,500 K 0 and a subsequent quenching in the time regime of 100 nanoseconds to room temperature.
  • the texture can change insofar that further orientations are added to the strongly oriented preferred directions in columnar areas. Phases can change in both nature and quantity.
  • the change in the microstructure can also lead to a change in the residual stress state of the layer.
  • composite materials with microstructures changed in periodic succession have residual compressive stresses, which has a favorable effect on the crack initiation properties of the hard material layer.
  • the periodic change in the microstructure in the near-surface regions of the hard material layer allows the setting of a periodic composite material with precise long-range order.
  • the microscopic mechanical properties are significantly influenced, which leads to a significant improvement in the macroscopic wear behavior. In the case of the action of the laser beam according to the invention, generally no or no appreciable material removal occurs.
  • the laser treatment can be limited locally in wear-stressed surface areas or carried out on large surface areas.
  • the surface does not have to be flat.
  • the penetration depth of the radiation or of the interaction region is variable depending on the radiation energy, the radiation guidance and the material system and can extend into the ⁇ m range.
  • FIG. 1a shows a SEM image of the topography of a hard material layer in the untreated state (prior art).
  • FIG. 1b shows an SEM image of the fracture pattern of a hard material layer in the untreated state (prior art).
  • FIG. 2 shows a SEM image of the topography of a hard material layer of a microstructure changed in punctate / dog-bone-like regions.
  • Figure 3a, b, c show SEM images of the topography of in-line
  • FIG. 4a, b show SEM images of the topography in a net-shaped one
  • FIGS. 5 a, b show TEM details, wherein a) represents a globular, ultrafine-grained microstructure in a modified microstructure region (at a laser interference maximum), and b) a columnar microstructure at an unmodified site.
  • a Ti-Al-V-NATi-Al-N multilayer coating was applied by physical vapor deposition on a WC / TiC-Co cemented carbide substrate having a cobalt content of 11 wt% and a titanium carbide content of 4 wt%.
  • X-ray diffractometry revealed that the film was a face centered cubic aluminum nitride (fcc-TiAIN) as the main constituent.
  • the layer had a columnar superstructure, which is perpendicular to the
  • Substrate surface extends.
  • the layer thickness was 4 ⁇ m on average.
  • the third harmonic of a 355nm Nd: YAG high power laser was used to fabricate regions of locally altered periodic microstructure. For the experiment, 10 pulses with the respective laser fluence of 620 to
  • the tribological investigations were carried out by means of a pin-on-disc test with a radius of 3 mm, a normal force of 5 N and a total distance between 200 and 300 m. After the trial, the topography of the wear track was analyzed.
  • Table 1 shows the depths of the wear marks and shows that the samples according to the invention have a significantly lower depth of wear than the prior art samples.

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Werkstoffverbund, der einen Grundkörper aus einem verschleißbeständigen Werkstoff und eine Hartstoffschicht umfasst, wobei die Hartstoffschicht durch die Einwirkung eines Laserstrahles in periodischer Abfolge Bereiche mit einer veränderten Mikrostruktur aufweist.

Description

WERKSTOFFVERBUND MIT PERIODISCH
VERÄNDERTER MIKROSTRUKTUR
Die Erfindung betrifft einen Werkstoffverbund, der einen Grundkörper aus einem verschleißbeständigen Werkstoff und eine Hartstoffschicht umfasst.
Zu der Gruppe der verschleißbeständigen Werkstoffe zählen Hartmetalle, Cermet-Werkstoffe, Hartstoffe und Werkzeugstähle, um die wichtigsten Vertreter zu nennen. Unter Hartmetall versteht man dabei einen Verbundwerkstoff, der aus einer karbidischen Hartstoffphase und einem metallischen Binder, bevorzugt Kobalt, aufgebaut ist. Die Werkstoffgruppe der Cermet-Werkstoffe umfasst alle Werkstoffe, die aus einer oder mehreren keramischen Phasen und aus einer oder mehreren metallischen Phasen aufgebaut sind. Unter Hartstoffen werden alle Stoffe mit einer Härte von > 1.000 HV zusammengefasst. Dies sind insbesondere Verbindungen der Elemente der IVa bis VIa Gruppen des
Periodensystems mit den Elementen Kohlenstoff, Stickstoff, Bor und Silizium. Jedoch auch Diamant, kubisches Bornitrid, Siliziumkarbid, Sialone, Aluminiumoxid, Aluminiumnitrid und Siliziumnitrid, um die wichtigsten zu nennen, fallen in diese Werkstoffgruppe. Werkzeugstähle sind nach DIN 17300 Stähle, die durch ihre Anwendung in Werkzeugen definiert sind.
Um die Verschleißfähigkeit zu erhöhen, werden speziell auf Hartmetallen, Cermets und Werkzeugstählen hoch verschleißfeste Hartstoffschichten auf der Basis von Karbiden, Nitriden, Boriden, Suiziden und Oxiden aufgebracht. Diese Schichten weisen Härtewerte auf, die üblicherweise im Bereich von 1.500 HV bis über 4.000 HV liegen.
Beschichtungen können beispielsweise mittels Physical Vapour Deposition (PVD) oder Chemical Vapour Deposition (CVD) Verfahren aufgetragen werden. Es existieren viele Verfahrensvarianten für die Schichtabscheidung sowohl beim PVD - als auch beim CVD-Verfahren.
Beispielsweise werden chemische Aufdampfverfahren auch plasmaunterstützt (plasma assisted) durchgeführt, mit so genannten PA-CVD-Verfahren. Einlagige Hartstoffschichten genügen den gestiegenen Anforderungen vielfach nicht mehr. Es werden daher vielfach mehrlagige Beschichtungen eingesetzt, wobei dies von weniglagigen Beschichtungsarchitekturen bis hin zu Vielschichtsystemen reicht. Des Weiteren geht die Entwicklung von Ein- / Zweikomponentenschichten hin zu Mehrkomponentenbeschichtungen. So finden ternäre Schichtsysteme, wie beispielsweise (Ti1AI)N, (AI1Cr)N oder quatemäre Schichtsysteme, wie beispielsweise (Ti,AI,V)N, (Ti,AI,Cr)N oder (Ti1AI1Si)N Verwendung. Durch dieses Zulegieren von weiteren Komponenten ist es möglich, die Härte von Schichtsystemen zu erhöhen. Damit verbunden ist jedoch im Allgemeinen eine Reduzierung der Bruchzähigkeit. Weitere Schwerpunkte sind die Entwicklung von Nano-Kompositstrukturen, von reibungsvermindemden Schichten, z.B. auf der Basis von MoS2, CrN, VN und von tribologisch aktiven Schichten, zum Beispiel auf der Basis des diamantähnlichen amorphen Kohlenstoffs. Im Rahmen der Entwicklung der gegenständlichen Erfindung wurde nun versucht, die Struktur der Schicht oder der Schichtsysteme durch eine thermische Nachbehandlung zu modifizieren. Diese thermische Nachbehandlung wurde durch ein Glühen in einem Ofen durchgeführt. Um jedoch die Gefüge- und Mikrostruktur der keramischen Schicht zu ändern, sind Temperaturen von über 6000C notwendig. Diese thermische Nachbehandlung führte bei einigen Substratwerkstoffen zu einer unzulässigen Verschlechterung der Eigenschaften und Beeinträchtigungen der Schichthaftung. Zudem haben die Versuche gezeigt, dass durch die thermische Behandlung des gesamten Schichtvolumens im Allgemeinen nicht sowohl Härte und Duktilität verbessert werden, was eine Voraussetzung für ein optimiertes Verschleißverhalten der Schicht / des Schichtsystems ist.
Es ist daher die Aufgabe der gegenständlichen Erfindung eine thermische Nachbehandlung einer Hartstoffschicht bereit zu stellen, die zu einer Verbesserung der Verschleißbeständigkeit der Schicht führt, ohne dass dadurch jedoch die mechanischen Eigenschaften des Substratwerkstoffes sowie die Adhäsion der Schicht auf dem Substratwerkstoff negativ beeinflusst werden. Die Aufgabe wird durch den unabhängigen Anspruch gelöst.
Die Hartstoffschicht wird dabei durch die Einwirkung eines Laserstrahles derart modifiziert, dass in periodischer Abfolge Bereiche mit veränderter Mikrostruktur entstehen. Diese Bereiche mit veränderter Mikrostruktur können entstehen indem:
■ metastabile Phasen sich in stabilere / stabile Phasen oder Phasenbestandteile umwandeln,
■ atomare Umlagerungen erfolgen,
■ Ausscheidung von neuen Phasen stattfinden; ■ sich die Korngröße oder Kornform ändert oder
■ Änderungen in der Struktur oder Textur stattfinden.
Die Verwendung von Laserstrahlen in Verbindung mit Schichten ist vielfach vorbeschrieben. So beschreibt die US 6,146,714 eine Methode zur gepulsten Laserabscheidung von beispielsweise keramischen Schichten. Zeitgleich mit dem Abscheideprozess wird eine Wärmebehandlung mit einem Laserstrahl durchgeführt, um eine rasche Aufheizung und Abkühlung der einzelnen Schichtlagen zu erzielen. So können amorphe, kolumnare oder polykristalline Strukturen eingestellt werden. Die EP 0 819 782 beschreibt einen Prozess zur Herstellung einer Schicht durch Laser-Ablation, wobei die abgeschiedene Schicht durch Einwirkung eines Laserstrahls aufgeschmolzen oder rekristallisiert wird.
Die WO 2004/097064 offenbart die Bestrahlung einer Schicht während kurzzeitiger Unterbrechungen des Beschichtungsprozesses oder während des Schichtbildungsprozesses mit einem gepulsten Laserstrahl als Temperpuls oder mit mehreren gepulsten Laserstrahlen verschiedener Wellenlänge und Pulsdauer mit jeweils vorgegebener Energiefluenz und Pulswiederholfrequenz. Dabei handelt es sich bevorzugt um solche Schichten, die durch Ablagerung von wenigstens einem vorzugsweise gepulsten Teilchenstrom auf einem
Substrat im Vakuum gebildet werden. Bei der Beschichtung größerer Substrate erfolgt die Bestrahlung von lateralen Bereichen der Schicht, um die erforderliche Energiefluenz zu erreichen. Diese Dokumente beschreiben die lagenweise Modifikation von Schichten während des Beschichtungsprozesses. Die Modifikation der Schicht durch eine periodische Veränderung der Mikrostruktur in zumindest einer zur Schichtoberfläche parallelen Richtung ist nicht beschrieben.
Diese periodische Abfolge von Bereiche mit veränderter Mikrostruktur mit Bereichen mit unbehandelter Mikrostruktur, führt zu einer Veränderung der lokalen mechanischen Eigenschaften. Damit entsteht ein mikrostruktureller Oberflächenkomposit, welcher ein signifikant verbessertes Verschleißverhalten aufweist. Wesentlich dabei ist, dass sich Bereiche, die unter der Einwirkung eines Laserstrahls eine modifizierte Mikrostruktur ausgebildet haben, mit unbehandelten Bereichen abwechseln.
Unter Periodizität ist dabei grundsätzlich zu verstehen, dass sich Bereiche mit veränderter Mikrostruktur mit nicht modifizierten Bereichen abwechseln. In bevorzugter Weise sind die Abstände zwischen den einzelnen Bereichen konstant oder folgen einer bestimmten Gesetzesmäßigkeit. Beispielhaft ist dies nachfolgend ausgeführt, wobei A, B, C,... die Abstände zwischen den Bereichen mit modifizierter Mikrostruktur bezeichnen:
/Aj /Aj * »J * *ϊ * »J /Aj /Aj /Aj ■ ■ ■ ■ A, B, A, B, A, B, A, B, A, B, A, B, A ...
- A, B, C, A, B, C, A, B, C, A, B1 C ...
- A, B, C, A, B, A, B, C, A, B, A, B, C, A, B ...
■ U.S.W.
Auf Grund beispielsweise der Oberflächenrauhigkeit können die einzelnen Abstände dabei leicht variieren.
Die in periodischer Abfolge auftretenden Bereiche mit modifizierter Mikrostruktur sind bevorzugt punktförmig, linienförmig oder netzförmig ausgebildet. Auch alle Kombinationen der zuvor angeführten Möglichkeiten auch in Kombination mit weiteren führen zur erfindungsgemäßen Verbesserung des Verschleißverhaltens. Die periodisch angeordneten, punktförmigen Bereiche weisen dabei in vorteilhafter Weise einen Durchmesser von 1 bis 10 μm und eine Tiefe von zumindest 50 nm bis 0,8 x Schichtdicke auf. Bei Verwendung von linienförmigen Bereichen, die wiederum periodisch auftreten, ist eine Länge von 5 μm bis 10 mm, eine Breite von 1 μm bis 10 μm und eine Tiefe von 50 nm bis maximal 0,8 x Schichtdicke vorteilhaft. Sind die Bereiche mit veränderter Mikrostruktur netzförmig angeordnet, so hat sich eine Maschenweite von 3 bis 10 μm und eine Tiefe von 50 nm bis 0,8 x Schichtdicke als vorteilhaft erwiesen.
Für den Grundkörper finden die üblichen verschleißbeständigen Werkstoffe, insbesondere solche mit einer Härte > 500 HV Verwendung. Im Besonderen eignen sich dafür Hartmetall und Cermet-Werkstoffe. Als Hartstoffschichten eigenen sich grundsätzlich alle keramischen Schichten, bei denen unter Einwirkung von Wärme während des Aufheiz- oder Abkühlvorganges mikrostrukturellen Veränderungen stattfinden. Im Besonderen sind hier karbidische, nitridische und karbonitridische Schichten zu nennen und hier wiederum insbesondere die Karbide, Nitride und Karbonitride der Metalle Titan, Zirkon, Hafnium, Chrom, Molybdän, Wolfram, Vanadium, Niob, Tantal und Aluminium sowie Mischungen davon.
Um die Bereiche mit veränderter Mikrostruktur, die sich in periodischer Abfolge wiederholen, herzustellen, wird die Oberfläche in bevorzugter Weise mittels des Laser-Interferenzverfahrens behandelt. Die an der Oberfläche mittels eines Lasers bereitgestellte elektromagnetische Strahlung wird zunächst nicht thermisch in oberflächennahen Bereichen absorbiert, vorausgesetzt die zur Verfügung gestellte Laserstrahlung weist eine Kreisfrequenz oberhalb der werkstoffspezifischen Plasmafrequenz auf. Diese nicht-thermisch absorbierte Energie wird bei einem Kurzpufslaser (ns-Puls) durch die Elektron-Gitter- Wechselwirkung im so genannten fotothermischen Mechanismus thermalisiert. Somit entspricht diese Behandlung primär einer extrem schnellen Aufheizung des Materials im Bereich von 20 Nanosekunden auf über 1.5000K und einer anschließenden Abschreckung im Zeitregime von 100 Nanosekunden auf Raumtemperatur.
Werden zwei oder mehrere kohärente Teilstrahlen über der Probe zur Deckung gebracht, bildet sich eine stehende Lichtwelle aus und die Wärmebehandlung geschieht nicht mehr an einem Fokuspunkt, sondern parallel periodisch über die gesamte bestrahlte Fläche. Es können Linien-, Netz- und Punktmuster erzeugt werden. Durch die Variation der Winkel zwischen den Strahlen können die Abstände und Breiten der Linien und Punkte variiert werden. Durch diese in periodischen Abständen erfolgende Wärmebehandlung können sowohl die Mikrostruktur, die Eigenspannungen und auch die Topografie der Hartstoffschicht beeinflusst werden. Im Falle der mikrostrukturellen
Beeinflussung sind im Besonderen lokale Phasenbildungen, Änderungen der Korngröße und der Textur und Ausscheidungen zu nennen. Es kann periodisch zu kurzzeitigen, mikroskopischen Aufschmelzungen der oberflächennahen Schichtbereiche kommen, was zudem einen prinzipiellen Zugang zu allen bekannten metallurgischen Prozessen ermöglicht. Dieser Aufschmelzvorgang kann auch zu einer topografischen Veränderung der Oberfläche der Hartstoffschicht führen. Auch diese Veränderung der Topografie ist periodisch. Mittels PVD- und CVD-Verfahren abgeschiedene Schichten weisen üblicherweise eine kolumnare Struktur auf. Durch die periodische Einwirkung des Laserstrahls und die auftretenden, sehr hohen Abkühlgeschwindigkeiten kommt es zu einer Ausbildung eines ultrafeinkörnigen globularen Gefüges mit Korngrößen im Bereich von 2 bis 50 nm.
Die Textur kann sich insofern verändern, dass zu den stark orientierten Vorzugsrichtungen in kolumnaren Bereichen weitere Orientierungen hinzukommen. Phasen können sich sowohl in Art und Menge verändern. Die Veränderung der Mikrostruktur kann auch zu einer Änderung des Eigenspannungszustandes der Schicht führen. So konnte festgestellt werden, dass Werkstoffverbunde mit in periodischer Abfolge veränderter Mikrostruktur Druckeigenspannungen aufweisen, was sich günstig in Hinblick auf die Risseinleitungseigenschaften der Hartstoffschicht auswirkt. Die periodische Veränderung der Mikrostruktur in den oberflächennahen Bereichen der Hartstoffschicht ermöglicht die Einstellung eines periodischen Komposit-Werkstoffes mit präziser Fernordnung. Die mikroskopisch mechanischen Eigenschaften werden signifikant beeinflusst, wodurch es zu einer signifikanten Verbesserung des makroskopischen Verschleißverhaltens kommt. Bei der erfindungsgemäßen Einwirkung des Laserstrahles tritt im Allgemeinen kein oder kein nennenswerter Werkstoffabtrag auf. Die Laserbehandlung kann lokal in auf Verschleiß beanspruchten Oberflächenbereichen begrenzt bleiben oder auf großen Oberflächenbereichen erfolgen. Die Oberfläche muss dabei nicht eben vorliegen. So ist es möglich, auch gekrümmte Oberflächenbereiche, wie diese beispielsweise bei Spanleitstufen von Wendeschneidplatten, Schneidkanten oder Bolzen und Kugeln vorliegen, erfindungsgemäß zu behandeln. Die Eindringtiefe der Strahlung bzw. des Wechselwirkungsbereiches ist in Abhängigkeit der Strahlungsenergie, der Strahlungsführung und des Werkstoffsystems variabel und kann bis in den μm-Bereich hineinreichen.
Bekannte Multikomponenten-Schichtsysteme für spezifische tribologische Anwendungsfälle können durch die Erzeugung von periodisch angeordneten Bereichen mit veränderter Mikrostruktur zusätzlich im Hinblick auf ihr Verschleißverhalten verbessert werden. Dies gilt ebenfalls für Multifunktions- Werkzeuge, welche unterschiedlichen tribologischen Anforderungen während des Einsatzes ausgesetzt sind.
Im Folgenden ist die Erfindung durch Beispiele näher beschrieben.
Beispiele
Figur 1 a zeigt eine REM-Aufnahme der Topografie einer Hartstoffschicht im unbehandelten Zustand (Stand der Technik).
Figur 1 b zeigt eine REM-Aufnahme des Bruchbildes einer Hartstoffschicht im unbehandelten Zustand (Stand der Technik). Figur 2 zeigt eine REM-Aufnahme der Topografie einer Hartstoffschicht einer in punktförmigen / hundeknochenartigen Bereichen veränderten Mikrostruktur.
Figur 3a, b, c zeigen REM-Aufnahmen der Topografie von in linienförmigen
Bereichen veränderter Mikrostruktur mit unterschiedlichen Linienbreiten und
Linienabständen. Figur 4a, b zeigen REM-Aufnahmen der Topografie einer in netzförmigen
Bereichen veränderten Mikrostruktur. Figur 5ä, b zeigen TEM-Detailauf nahmen, wobei a) ein globulares, ultrafeinkörniges Gefüge in einem Bereich mit modifizierter Mikrostruktur (unter einem Laserinterferenzmaximum), und b) ein kolumnares Gefüge an einer nicht modifizierten Stelle darstellt.
Eine Ti-AI-V-NATi-AI-N Viellagenbeschichtung wurde mittels physikalischer Gasphasenabscheidung auf einem WC/TiC-Co-Hartmetallsubstrat mit einem Kobaltgehalt von 11 Gew.% und einem Titankarbidgehalt von 4 Gew.% aufgebracht. Röntgendiffraktometrisch zeigte die Schicht ein kubisch flächenzentriertes Titanaluminiumnitrid (fcc-TiAIN) als Hauptbestandteil. Weiters wies die Schicht eine kolumnare Überstruktur auf, die sich senkrecht zur
Substratoberfläche erstreckt. Die Schichtdicke betrug durchschnittlich 4 μm. Zur Herstellung der Bereiche mit örtlich in periodischer Abfolge veränderter Mikrostruktur wurde die dritte Harmonische eines Nd:YAG-Hochleistungslasers mit der Wellenlänge von 355 nm genutzt. Für den Versuch wurden an der Probenoberfläche 10 Pulse mit der jeweiligen Laserfluenz von 620 bis
650 mJ/cm2 zur Verfügung gestellt. Die austretende Strahlung wurde mittels eines optischen Systems in zwei bzw. drei kohärente Teilstrahlen getrennt und über der Probe zur Interferenz gebracht. So wurden für die nachfolgenden Verschleißexperimente 9 Proben mit einer strukturierten Fläche von jeweils ca. 50 mm2, wie in der folgenden Tabelle 1 aufgelistet, hergestellt.
Die Untersuchung der Mikrostruktur wurde im
Transmissionselektronenmikroskop durchgeführt. Dafür wurde in einem fokussierten lonenstrahlmikroskop eine TEM-Folie senkrecht zu Strukturlinien herauspräpariert und gedünnt, um die periodisch mikroskopischen Effekte zu analysieren. Es konnte gezeigt werden, dass im Bereich der Laserdifferenzmaxima die Kornstruktur signifikant verändert wurde. Die Bereiche mit Lasereinwirkung, die ursprünglich eine kolumnare Struktur aufwiesen, wurden aufgeschmolzen und kristallisierten bei sehr hohen Abkühlgeschwindigkeiten in Ultra feinkörnigem globularen Gefüge mit einer Korngröße von ca. 15 nm.
Figure imgf000010_0001
Tabelle 1
Die tribologischen Untersuchungen wurden mittels eines Pin-on-Disc-Versuches mit 3 mm Radius, einer Normalkraft von 5 N und einer Gesamtstrecke zwischen 200 und 300 m durchgeführt. Nach dem Versuch wurde die Topografie der Verschleißspur analysiert.
Tabelle 1 gibt die Tiefen der Verschleißspuren wieder und zeigt, dass die erfindungsgemäßen Proben eine deutlich geringere Verschleißtiefe aufweisen, als die Stand der Technik Proben.

Claims

Patentansprüche
1. Werkstoffverbund umfassend einen Grundkörper aus einem verschleißbeständigen Werkstoff und eine Hartstoffschicht, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass die Hartstoffschicht durch die Einwirkung eines Laserstrahles in periodischer Abfolge in zumindest einer Richtung parallel zur Schichtoberfläche Bereiche mit einer, im Vergleich zu umgebenden Bereichen, sich unterscheidenden Mikrostruktur aufweist.
2. Werkstoffverbund nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass zumindest 10, bevorzugt zumindest 100 Bereiche mit einer, im Vergleich zu umgebenden Bereichen, sich unterscheidenden Mikrostruktur periodisch angeordnet sind.
3. Werkstoffverbund nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Bereiche in Art und/oder Menge der Ausscheidungen unterscheiden.
4. Werkstoffverbund nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Bereiche in Art und/oder Menge der Phasen unterscheiden.
5. Werkstoffverbund nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Bereiche in ihrer Korngröße und/oder Kornform unterscheiden.
6. Werkstoffverbund nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Bereiche auch in ihrer Topografie unterscheiden.
7. Werkstoffverbund nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Bereiche mit einer, im Vergleich zu umgebenden Bereichen, sich unterscheidenden Mikrostruktur punktförmig, linienförmig und/oder netzförmig ausgebildet sind.
8. Werkstoffverbund nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die punktförmigen Bereiche einen Durchmesser von 1 bis 10 μm und eine Tiefe von 50 nm bis 0,8 x Schichtdicke aufweisen.
9. Werkstoffverbund nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die linienförmigen Bereiche eine Länge von 5 μm bis 10 mm, eine Breite von 1 μm bis 10 μm und eine Tiefe von 50 nm bis 0,8 x Schichtdicke aufweisen.
10. Werkstoffverbund nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die netzförmigen Bereiche eine Maschenweite von 3 μm bis 10 μm und eine Tiefe von 50 nm bis 0,8 x Schichtdicke aufweisen.
11.Werkstoffverbund nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der verschleißbeständige Werkstoff Hartmetall oder ein Cermet ist.
12. Werkstoffverbund nach einem der Ansprüche 1 bis 11 , dadurch gekennzeichnet, dass die Hartstoffschicht aus einem Karbid, Nitrid, Karbonitrid, Oxid, Borid oder Silizid gebildet ist.
13. Werkstoffverbund nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die
Hartstoffschicht aus einem Karbid, Nitrid oder Karbonitrid der Metalle Ti, Zr, Hf, Cr, Mo, W, V, Nb, Ta, AI gebildet ist.
14. Verfahren zur Herstellung eines Werkstoffverbunds nach einem der
Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass der in periodischer Abfolge einwirkende Laserstrahl durch zwei oder mehrere kohärente Laserteilstrahlen erzeugt wird, die unter Ausbildung einer stehenden Welle zur Interferenz gebracht werden.
15. Verfahren zur Herstellung eines Werkstoffverbunds nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass der Laserstrahl eine Kreisfrequenz oberhalb der werkstoffspezifischen Plasmafrequenz aufweist.
16. Verfahren zur Herstellung eines Werkstoffverbunds nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Einwirkung des Laserstrahls lokal eine Aufheizrate von > 1 x 109 °C/s erzeugt.
17. Verfahren zur Herstellung eines Werkstoffverbunds nach einem der Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass nach Einwirkung des
Laserstrahls lokal eine Abkühlrate von > 1 x 108 °C/s auftritt.
18. Verfahren zur Herstellung eines Werkstoffverbunds nach einem der Ansprüche 14 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Bereiche mit einer, im Vergleich zu umgebenden Bereichen, sich unterscheidenden
Mikrostruktur durch die Einwirkung der dritten Harmonischen eines Nd:YAG Lasers mit der Wellenlänge von 355 nm erzeugt werden.
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