WO2007073902A1 - Method for producing a glass sheet with defined protuberances and mould for use in such a method - Google Patents

Method for producing a glass sheet with defined protuberances and mould for use in such a method Download PDF

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WO2007073902A1
WO2007073902A1 PCT/EP2006/012192 EP2006012192W WO2007073902A1 WO 2007073902 A1 WO2007073902 A1 WO 2007073902A1 EP 2006012192 W EP2006012192 W EP 2006012192W WO 2007073902 A1 WO2007073902 A1 WO 2007073902A1
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WO
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base plate
glass sheet
punch
glass
mold
Prior art date
Application number
PCT/EP2006/012192
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German (de)
French (fr)
Inventor
Ulrich Kriems
Original Assignee
Berliner Glas Kgaa Herbert Kubatz Gmbh & Co.
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Publication date
Application filed by Berliner Glas Kgaa Herbert Kubatz Gmbh & Co. filed Critical Berliner Glas Kgaa Herbert Kubatz Gmbh & Co.
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B23/00—Re-forming shaped glass
    • C03B23/02—Re-forming glass sheets
    • C03B23/023—Re-forming glass sheets by bending
    • C03B23/025—Re-forming glass sheets by bending by gravity
    • C03B23/0252—Re-forming glass sheets by bending by gravity by gravity only, e.g. sagging
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B23/00—Re-forming shaped glass
    • C03B23/02—Re-forming glass sheets
    • C03B23/023—Re-forming glass sheets by bending
    • C03B23/035—Re-forming glass sheets by bending using a gas cushion or by changing gas pressure, e.g. by applying vacuum or blowing for supporting the glass while bending
    • C03B23/0352—Re-forming glass sheets by bending using a gas cushion or by changing gas pressure, e.g. by applying vacuum or blowing for supporting the glass while bending by suction or blowing out for providing the deformation force to bend the glass sheet
    • C03B23/0357—Re-forming glass sheets by bending using a gas cushion or by changing gas pressure, e.g. by applying vacuum or blowing for supporting the glass while bending by suction or blowing out for providing the deformation force to bend the glass sheet by suction without blowing, e.g. with vacuum or by venturi effect

Definitions

  • the invention relates to a method for producing a glass sheet with defined bulges according to the preamble of claim 1 and a tool mold for use in such a method.
  • a generic method is known from the document DE 101 47 648 Al. This provides, first to put a glass sheet on a negative mold with at least one mold cavity and then by heating the glass sheet to a temperature above the transformation temperature of the glass sheet and by a force acting on the glass pane the lying over the mold cavity of the negative mold part of the glass in the Press molding recess or pull, so that there is a molding. It is further provided to remove at least a portion of the molding in order to produce at least one defined breakthrough.
  • a tool mold which has a substantially planar base plate with at least one recess and at least one punch.
  • a punch is inserted into a recess of the base plate, wherein the inserted punch provides a protrusion or recess with respect to the base plate.
  • the base plate and the at least one stamp further have a different coefficient of thermal expansion and the coefficient of thermal expansion of the punch is greater than the coefficient of thermal expansion of the glass sheet, which is processed by the method described.
  • the stamp By using a stamp having a greater coefficient of thermal expansion than the glass pane to be processed, it is achieved that the stamp during cooling of the mold and arranged on the mold glass more reduced in volume and length than those resting on the base plate glass pane. This creates a gap between the glass pane and the stamp in the cooled state.
  • the glass sheet In the forming process at elevated temperature, the glass sheet is applied directly to the stamp and exactly matches the shape and contour of the stamp on its surface facing the stamp. After cooling, the shape and contour of the stamp are still contained in the glass pane. Due to the higher volume and length compression of the punch due to its higher coefficient of thermal expansion, however, the glass pane no longer rests against the punch, so that the glass pane can be removed much more easily and without the risk of breakage.
  • the solution according to the invention is thus based on a hybrid technique using two different materials with different thermal expansion coefficients for the
  • a given topography of the tool mold provided by the two materials is transferred into the glass pane during the forming process with high positioning accuracy and high contour sharpness.
  • thermal expansion coefficient of the base is equal to the coefficient of thermal expansion of the glass pane or these values differ only slightly, in particular by less than 10% 'of each other. This ensures that no or only minimal stresses occur between the glass pane and the base plate during cooling.
  • the material selection for the at least one punch and the base plate is preferably such that the difference between the coefficient of thermal expansion of the punch and the thermal expansion coefficient of the base plate is as large as possible.
  • the materials used are optimized in this respect. The larger the difference in the coefficients of thermal expansion, the greater is the gap which arises during cooling between the punch and the glass pane. The larger this gap is, the easier it is to remove the glass sheet from the mold after it has been formed.
  • the punches and the base plate are both made of graphite, whereby kart the base plate consists of a graphite, which has a coefficient of thermal expansion between 3 and 4.5 x 10 "6 / K at 20 0 C, and wherein the one or more stamps consist of a graphite, which at a temperature of 20 0 C ei - NEN thermal expansion coefficient between 7 and 8 x 10 "6 / K has.
  • the base plate of boron nitride and the or the punch made of graphite or steel.
  • the base plate is made of graphite and the punch or dies are made of steel.
  • the at least one punch and the associated recess in the base plate each have a diameter such that there is a gap at room temperature between the punch and the inner surface of the base plate delimiting the recess.
  • the width of the gap, the coefficient of thermal expansion of the punch and the thermal expansion coefficient z of the base plate are chosen such that the gap at a maximum temperature at which the forming of the glass pane is substantially reduced to zero. This leads to an automatic centering of the punch in the respective recesses and a correspondingly accurate shaping of the glass pane during the forming process.
  • a negative pressure is preferably applied between the surface of the mold and the glass sheet.
  • the base plate is preferably placed on a support, via which a negative pressure is applied to the gap between the punch and the base plate.
  • pressure can be exerted on the glass pane during forming, for example by pressing from above with a suitably shaped die or by providing an overpressure on the side of the glass pane facing away from the mold .
  • the heating, shaping and cooling of the glass pane is preferably carried out completely or partially under a non-oxidizing inert gas.
  • the step of removing the glass sheet from the tool mold is followed by the further step that at least a portion of the at least one protrusion is removed for the purpose of forming at least one opening in the glass sheet.
  • the glass pane is preferably a glass wafer.
  • a glass wafer according to the invention with defined bulges or openings or openings is used, for example, in the encapsulation of MEMS (micro-electro-mechanical systems).
  • the finished glass pane which is preferably designed as a glass wafer with a plurality of openings in raster form, isolated.
  • a variety of glass elements are preferably each incorporated in a complex component, in particular in an electrical component, an optoelectronic component or a MEMS component.
  • singulation takes place only after packaging of electrical or optoelectronic chips at the wafer level using the glass wafer.
  • the present invention also relates to a device, in particular an electrical device, an optoelectronic device or a MEMS device, which is a glass element which is produced by separation of a glass sheet produced by the process according to the invention.
  • a glass element is for example square or rectangular and has a central opening.
  • the tool mold according to the invention has a substantially planar base plate with at least one recess and at least one punch, wherein in each case a punch is inserted into a recess of the base plate and provides a survey or depression with respect to the base plate, and wherein the thermal expansion coefficient of the at least one punch is greater than the thermal expansion coefficient of the base plate.
  • the modular design of the mold allows a quick and cost-effective repair. For example, if a stamp is damaged, it can be easily and quickly replaced.
  • the stamps used can basically have any shape, in particular round, oval or n-shaped, in particular square or rectangular.
  • a plurality of recesses and punches which are arranged in the form of a two-dimensional matrix.
  • Figure 1 is an exploded view of a mold for producing a glass sheet with defined openings consisting of a base plate, inserted into the base plate punches, a support and a glass sheet.
  • FIG. 2 is a plan view of the assembled tool mold of FIG. 1; FIG.
  • FIG. 3 shows a section through the tool mold of FIG. 2 along the line A-A in a first method step
  • FIG. 4 shows a section through the tool mold of FIG. 2 along the line A-A in a second method step
  • FIG 5 shows a section through the tool mold of Figure 2 along the line A-A in a third method step.
  • FIG. 6 shows a glass pane after forming in the tool of FIGS. 1 to 5 and the finished glass pane with defined openings
  • FIG. 1 shows an exploded view of a tool mold, which consists of a base plate 1 with recesses 12, a plurality of punches 2 and a support 3. Also shown is a glass sheet 4, which was originally flat and is shown in Figure 1 in an intermediate step of their processing.
  • the base plate 1 has an outer region 10 and, subsequently to the center of the base plate, a slope 13 and a recessed, flat base surface 11.
  • a total of 9 recesses 12 are formed in a symmetrical arrangement, which extend through the base plate 1 therethrough.
  • the base plate 1 has adjacent to the recesses 12 each have an inner surface 121 which is perpendicular to the base surface 11.
  • the illustrated base plate is to be understood only as an example.
  • number, arrangement and shape of the recesses 12 may be different.
  • the surface of the base plate is not necessarily divided into an outer area, a slope and a lower surface; it can also have a completely flat surface.
  • Each punch 2 has an upper portion 21 of smaller diameter, which partially protrudes through the recesses 12 and partially protrudes from the base 11 of the base plate 1. Furthermore, each punch 2 has a lower region 22 of larger diameter.
  • the stop 23 forming in the transition region between the two areas 2.1, 22 serves for the form-fitting arrangement of the punch 2 in the base plate 1, wherein the stop 23 fixes the punch 2 in the vertical direction and prevents it from being pulled out of the openings 12 can.
  • each punch 2 forms an upwardly directed end face 211 and a lateral peripheral wall 212, at whose junction a peripheral edge 213 extends.
  • the exact shape and design of the stamp 2 is shown in FIG. 1 by way of example only.
  • the stamp 2 may be formed, for example, alternatively quadrangular, rectangular or oval.
  • the support 3 is used to provide a negative pressure in the region of the openings 12 of the base plate 1.
  • a central terminal 33 is provided, which is connectable, for example, with a vacuum pump, not shown.
  • the negative pressure applied in connection 33 is rectilinear over one extending channel 32 into a plurality of annular gaps 31, which extend with a different radius around the centrally located terminal 33 circular.
  • the surface of the support 3 is flat.
  • the negative pressure can alternatively also be supplied to the recesses 12 of the base plate 1 via channels which run differently.
  • the glass plate 4 is shown in the figure 1, as already mentioned, in an intermediate step of the machining, after a deformation, in which the originally flat glass 4 a contour corresponding to the contour of the base plate
  • the glass plate 4 has a planar plane 41 from which protrusions 43, hereinafter referred to as bulges, protrude from the material deformation.
  • the bulges 43 have towards the base plate 1 and to the punches 2 toward a contour which represents the positive of the surface of the mold.
  • the base plate 1 and the punch 2 in this case form a matrix, which represents the negative of the glass contour in the illustrated processing state.
  • the bulges 43 each have an upper peripheral edge 431 and a lower peripheral edge 432. Furthermore, an edge region 42 of the glass pane 4 can be seen, the shape of which is produced by the bevel 13 of the base plate 1.
  • the base plate 1 and the stamp 2 are preferably both made of graphite, wherein for the base plate 1 and for the stamp
  • Graphite which is used for the base plate 1, is identical to the thermal expansion coefficients of the glass plate 4 or as far as possible approximated to these. This has the advantage that the glass pane 4 and the base 11 on which rests the glass plate 4 after the forming process to be explained, change in volume to a same extent with a cooling, whereby the formation of stresses between the base plate 1 and the glass sheet 4 is prevented.
  • glass having a thermal longitudinal expansion coefficient of 3.2 to 8.7 x 10 -6 / K is used. Particular preference is given to the use of borosilicate glass, as described, for example, by the names Schottofloat 33 TM, AF 45 TM, AF 37 TM from Schott and under the designations 7740 TM, 1737 TM and Eagle 2000 TM by Corning will be produced. Likewise, a soda lime float gas can be used.
  • the punches are also made of graphite, which is preferably the case, the coefficient of thermal expansion of the graphite used for the base plate 1 and the thermal expansion coefficient of the glass plate 4 are in the range between 3.2 and 4.5 ⁇ 10 -6 / K
  • the punch 2 is made of a graphite having a coefficient of thermal expansion between 7 and 8.7 ⁇ 10 -6 / K.
  • the punches 2 consist of a material other than graphite, for example of steel with a typical coefficient of thermal expansion of 16 ⁇ 10 -6 / K
  • the glass pane 4 and the graphite of the base plate 1 can also have a thermal expansion coefficient of up to 8.7 ⁇ 10 Own 6 / K.
  • the base plate can also be made of a material other than graphite. Examples game, 1 boron nitride, as the material for the base plate are used, the x has a typical coefficient of thermal expansion of 4.5 10 "6 / K. Applicable methods however, graphite is preferred because graphite is not wetted by glass even at temperatures above the transformation temperature and therefore separation of graphite and glass is possible without the use of release agents. If materials other than graphite are used for the base plate 1 and / or the punches 2, they are wetted with a release agent prior to placing the glass sheet.
  • FIG. 2 shows a plan view of the assembled arrangement of FIG. 1.
  • the glass pane 4 with the bulges 43 and the edge region 42 as well as the outer region 10 of the base plate 1 can be seen.
  • the centers M of the recesses in the base plate 1 and thus the centers of the punches 2 and the bulges 43 of the glass plate 4 are arranged along the points of a two-dimensional matrix, wherein in the present example a 3 ⁇ 3 matrix is shown.
  • the recesses and punches are preferably arranged along an n ⁇ m matrix, where n and m are natural numbers ⁇ 1.
  • FIG. 3 shows a first processing state in which the glass pane is placed on the tool mold consisting of the base plate 1 and the punches 2.
  • the glass sheet 4 is at the beginning of the process a completely flat glass sheet. Its thickness is preferably between 0.5 and 2 mm and more preferably 1.1 mm.
  • the stamp 2 are used in the recesses 12 of the base plate 1.
  • the stop 23 of the punch 2 which extends between the upper region 21 and the lower region 22, lies in a form-fitting manner against a stop 23, which is formed in the base plate 1. This results in a positive fixation of the stamp 2 in the vertical direction.
  • the punches 2 protrude respectively from the base 11 of the base plate 1, and with a height which is greater than the thickness of the glass 4.
  • the gap 5 which allows a limited amount in the unheated state, a relative movement between the punch 2 and the base plate 1 in the horizontal direction.
  • the gap 5 increases in the direction of the support 3 to a gap 6 of greater width.
  • Below this gap 6 is one of the annular gaps 31 of the support 3, so that over the annular gap 31 and the two gaps 6, 5, a negative pressure in the area between the surface of the mold and the glass sheet 4 can be provided.
  • the arrangement is now - increased, for example, by introducing it into a furnace - to a temperature which is above the transformation temperature of the glass sheet.
  • the transformation temperature is the temperature at which the viscosity of a glass melt reaches a viscosity of 10 13 Pa * s and thus is considered to be a solid.
  • the arrangement is increased to a temperature at which the glass only has a viscosity of less than 10 8 dPa * s.
  • this is done by heating to a temperature of about 850 0 C to 950 ° C, in particular of about 880 0 C.
  • the glass sheet is then reformed to form a contour with respect to the tool shape, which represents the positive of the surface of the tool mold. This results in the bulges 43 of the glass pane 4 shown in FIG. 1, which correspond to the contour of the punches 2.
  • Operating point designates - for a defined period of time Vacuum applied in the manner already described.
  • the glass pane 4 which is already deforming due to the gravitational force, is additionally drawn in the direction of the surface of punch 2 and base area 11 by the negative pressure.
  • the result is the contour shown in Figure 4.
  • the inner side 433 of the bulge 43 in this case represents a vertically extending structure flank, which has an exactly vertical course and forms high-quality edges 431, 432, in particular on its inner side facing the punch 2.
  • the gap 5 between the peripheral wall 212 of the punch 2 and the inner surface 121 of the base plate 1 is ideally reduced to zero when heated at the operating point due to the different volume change of the punch 2 and the base plate 1.
  • This has the advantage of an automatic centering of the stamp 2 with respect to the recesses 12 of the base plate.
  • the stamp 2 and thus the bulges 43 of the glass 4 are thus highly accurately and centrally positioned with respect to the recesses 12.
  • the reduction of the gap 5 to zero or approximately zero further prevents the entry of glass into the gap 5 during forming of the glass sheet 4 and thus allows a degree-free impression.
  • the closing of the gap 5 in the heating by no means prevents that a negative pressure between the surface of the mold and the glass sheet 4 can be applied. Due to a high porosity of graphite, an evacuation over the surface can take place even when the gap 5 is substantially closed. Alternatively, especially when using materials other than graphite for the stamp, a residual gap is maintained, which is so small that it does not significantly affect the exact positioning of the punch 2.
  • the glass sheet is cooled after the forming to a temperature below the transformation temperature.
  • the glass be 4 is now again a solid, wherein in this solid body, the contour of the surface of the mold is transferred.
  • FIG. 5 shows the state after cooling of the arrangement of glass pane 4 and the mold consisting of base plate 1 and stamps 2. It can be seen that again a gap 5 has formed between the circumferential wall 212 of the punch 2 and the inner surface 121 of the base plate 1.
  • the recessed gap 5 is caused by the fact that the thermal expansion coefficient of the material constituting the punch 2 is larger than the coefficient of thermal expansion of the material constituting the base plate 1. It is also greater than the coefficient of thermal expansion of the glass sheet, which, as explained, is chosen so that it does not differ, or only slightly, from the thermal expansion coefficient of the base plate 1.
  • undercuts and bulges 43 can be realized with conically converging side walls 433.
  • the glass pane After removing the glass sheet from the tool mold, the glass pane has the shape shown on the left in FIG. 1 and in FIG.
  • the edge region 42 of the glass pane is preferably first removed by, for example, sawing or grinding.
  • the disc is preferably ground, the bulges 43 are removed and recesses 44 remain in the glass sheet 41. The grinding can be done on one or both sides.
  • polishing and ultrasonic cleaning of the produced glass pane preferably take place. The result is a glass sheet with defined recesses 44th
  • the realized in the finished glass sheet 41 openings 44 are accurately positioned in the glass. They have structure flanks 433 and edges which have an outstanding contour sharpness and preferably extend exactly vertically.
  • the structure flanks 433 have a substantially particle-free surface. Since the production of the recesses 44 does not require any machining processes and only the forming of the glass took place, interfering particles are not present on the surface of the structural flanks 433 or only to a very limited extent.
  • FIGS. 7A to 7D show further possible processing steps of the glass pane 41 of FIG. 6.
  • FIG. 7A again shows the finished glass pane 41 shown in FIG. 6 in plan view.
  • the glass pane 41 is further processed by sawing along vertical and horizontal lines 45, corresponding saw marks being produced in the glass pane 41.
  • FIG. 7C the wafer shaped glass sheet 41 separated after sawing, wherein individual glass elements 46, each having a central opening 44 is formed.
  • the corresponding individual glass elements 46 have a square shape with central openings 44 and are shown in FIG. 7D.
  • the individual glass elements 46 may also have, for example, a rectangular shape.
  • the glass elements 46 are integrated after their separation into a complex component, such as an electrical or optoelectronic component or in a micro-electro-mechanical system (MEMS).
  • a complex component such as an electrical or optoelectronic component or in a micro-electro-mechanical system (MEMS).
  • MEMS micro-electro-mechanical system
  • the glass element 46 is used to encapsulate a MEMS device and is part of such a device.
  • the glass wafer 41 of FIG. 6 or of FIG. 7A is used in the context of wafer-level packaging.
  • the glass wafer 41 is thus processed at the wafer level. Only after providing a desired wafer level structure are the respective chips, including the glass wafer 41, singulated.
  • the packaging or packaging of chips thus takes place at the wafer level. For example, MEMS are produced at the wafer level and then singulated.
  • a glass element 46 is part of the finished device.

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Abstract

The invention relates to a method for producing a glass sheet with at least one defined protuberance (43), which has the following steps: providing a planar glass sheet (4) of a certain thickness, providing a mould (1, 2), placing the glass sheet (4) on the mould (1, 2), heating the glass sheet (4) to a temperature above the transformation temperature, re-forming the glass sheet (4), thereby producing a contour towards the mould (1, 2) that represents the positive of the surface of the mould (1, 2), wherein the glass sheet (4) forms at least one protuberance (43) corresponding to an associated elevation (2) or depression of the mould (1, 2), cooling the glass sheet (4) to a temperature below the transformation temperature, and removing the glass sheet (4) from the mould (1, 2). In this case, the mould has a substantially planar baseplate (1) with at least one recess (12) and at least one plunger (2), a plunger (2) is respectively inserted into a recess (12) of the baseplate (1) and provides an elevation or a depression with respect to the baseplate (1). The coefficient of thermal expansion of the at least one plunger (2) differs from the coefficient of thermal expansion of the baseplate (1) and is greater than the coefficient of thermal expansion of the glass sheet (4). The invention also relates to a mould for use in the method.

Description

Verfahren zur Herstellung einer Glasscheibe mit definierten Ausbuchtungen und Werkzeugform zur Verwendung in einem solchen Verfahren A process for producing a glass sheet with defined protrusions and mold for use in such a process
Beschreibungdescription
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Glasscheibe mit definierten Ausbuchtungen gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und eine Werkzeugform zur Verwendung in einem solchen Verfahren.The invention relates to a method for producing a glass sheet with defined bulges according to the preamble of claim 1 and a tool mold for use in such a method.
Ein gattungsgemäßes Verfahren ist aus der Druckschrift DE 101 47 648 Al bekannt. Diese sieht vor, eine Glasscheibe zunächst auf eine Negativform mit mindestens einer Formvertiefung zu legen und anschließend durch Erwärmen der Glasscheibe auf eine Temperatur über der Transformationstemperatur der Glasscheibe und durch einen auf die Glasscheibe einwirkenden Druck den über der Formvertiefung der Negativform liegenden Teil der Glasscheibe in die Formvertiefung zu drücken oder zu ziehen, so dass dort eine Ausformung entsteht. Weiter ist vorgesehen, mindestens einen Teil der Ausformung abzutragen, um dabei mindestens einen definierten Durchbruch zu erzeugen.A generic method is known from the document DE 101 47 648 Al. This provides, first to put a glass sheet on a negative mold with at least one mold cavity and then by heating the glass sheet to a temperature above the transformation temperature of the glass sheet and by a force acting on the glass pane the lying over the mold cavity of the negative mold part of the glass in the Press molding recess or pull, so that there is a molding. It is further provided to remove at least a portion of the molding in order to produce at least one defined breakthrough.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das aus der DE 101 47 648 Al bekannte Verfahren weiter zu bilden und zu verbessern, wobei die Möglichkeit geschaffen werden soll, Glasscheiben mit definierten Ausbuchtungen bereitzustellen, die sich durch eine im Wesentlichen partikelfreie Oberfläche, eine hervorragende Konturschärfe und bevorzugt senkrechte Strukturflächen auszeichnen.It is an object of the present invention to further develop and improve the process known from DE 101 47 648 A1, wherein the possibility is to be provided of providing glass panes with defined bulges, which are characterized by an essentially particle-free surface, an outstanding contour sharpness and preferably designate vertical structural surfaces.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und eine Werkzeugform mit den Merkmalen des Anspruchs 32 gelöst. Bevorzugte und vorteilhaf- te Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.This object is achieved by a method with the features of claim 1 and a mold with the features of claim 32. Preferred and advantageous embodiments of the invention are specified in the subclaims.
BESTÄTiGUMGSKOPIE Danach ist vorgesehen, dass eine Werkzeugform eingesetzt wird, die eine im Wesentlichen ebene Grundplatte mit mindestens einer Aussparung und mindestens einen Stempel aufweist. Es ist jeweils ein Stempel in eine Aussparung der Grundplatte eingesetzt, wobei der eingesetzte Stempel eine Erhebung oder Vertiefung in Bezug auf die Grundplatte bereitstellt. Erfindungsgemäß weisen die Grundplatte und der mindestens eine Stempel des weiteren einen unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten auf und ist der Wärmeausdehnungskoeffi- zient des Stempels größer als der Wärmeausdehnungskoeffizient der Glasscheibe, die mit dem beschriebenen Verfahren bearbeitet wird.BESTÄTiGUMGSKOPIE Thereafter, it is provided that a tool mold is used, which has a substantially planar base plate with at least one recess and at least one punch. In each case, a punch is inserted into a recess of the base plate, wherein the inserted punch provides a protrusion or recess with respect to the base plate. According to the invention, the base plate and the at least one stamp further have a different coefficient of thermal expansion and the coefficient of thermal expansion of the punch is greater than the coefficient of thermal expansion of the glass sheet, which is processed by the method described.
Durch Verwendung eines Stempels, der einen größeren Wärmeaus- dehnungskoeffizienten aufweist als die zu bearbeitende Glasscheibe, wird erreicht, dass sich der Stempel beim Abkühlen der Werkzeugform und der auf der Werkzeugform angeordneten Glasscheibe stärker in seinem Volumen und seiner Länge reduziert als die auf der Grundplatte aufliegende Glasscheibe. Hierdurch entsteht im abgekühlten Zustand ein Spalt zwischen der Glasscheibe und dem Stempel. Beim Umformprozess bei erhöhter Temperatur liegt die Glasscheibe direkt an dem Stempel an und nimmt an ihrer dem Stempel zugewandten Oberfläche exakt die Form und Kontur des Stempels exakt an. Nach dem Ab- kühlen sind Form und Kontur des Stempels weiterhin in der Glasscheibe enthalten. Durch die stärkere Volumen- und Längenkompression des Stempels aufgrund seines höheren Wärmeausdehnungskoeffizienten liegt die Glasscheibe aber nicht mehr am Stempel an, so dass die Glasscheibe sich wesentlich leich- ter und ohne die Gefahr eines Bruches entfernen lässt.By using a stamp having a greater coefficient of thermal expansion than the glass pane to be processed, it is achieved that the stamp during cooling of the mold and arranged on the mold glass more reduced in volume and length than those resting on the base plate glass pane. This creates a gap between the glass pane and the stamp in the cooled state. In the forming process at elevated temperature, the glass sheet is applied directly to the stamp and exactly matches the shape and contour of the stamp on its surface facing the stamp. After cooling, the shape and contour of the stamp are still contained in the glass pane. Due to the higher volume and length compression of the punch due to its higher coefficient of thermal expansion, however, the glass pane no longer rests against the punch, so that the glass pane can be removed much more easily and without the risk of breakage.
Gleichzeitig ist die Kontur des Stempels mit hoher Präzision und hervorragender Konturschärfe in die Glasscheibe übertragen. Dies ermöglicht es, Ausbuchtungen mit einer sehr guten Kantenqualität zu realisieren. Die Wandungen der Ausbuchtungen können dabei mit hoher Exaktheit senkrecht verlaufen (entsprechend einer senkrechten Anordnung der Stempel gegen- über der Oberfläche der Grundplatte) .At the same time, the contour of the stamp is transferred into the glass pane with high precision and excellent contour sharpness. This makes it possible to realize bulges with a very good edge quality. The walls of the bulges can thereby run vertically with high accuracy (corresponding to a vertical arrangement of the stamps). above the surface of the base plate).
Aufgrund der erhöhten Volumenreduzierung des Stempels beim Abkühlen können aber auch leichte Hinterschnitte in der Glas- scheibe realisiert werden, ohne dass dies zu Problemen bei der Ablösung der Glasscheibe von der Oberfläche der Werkzeugform führt.Due to the increased volume reduction of the stamp during cooling, however, it is also possible to realize slight undercuts in the glass pane, without this leading to problems in detaching the glass pane from the surface of the mold.
Die erfindungsgemäße Lösung basiert somit auf einer hybriden Technik unter Verwendung zweier unterschiedlicher Materialien mit unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten für dieThe solution according to the invention is thus based on a hybrid technique using two different materials with different thermal expansion coefficients for the
Werkzeugform. Eine vorgegebene, durch die beiden Materialen bereitgestellte Topographie der Werkzeugform wird beim Um- formprozess mit hoher Positioniergenauigkeit und hoher Kon- turschärfe in die Glasscheibe übertragen.Mold. A given topography of the tool mold provided by the two materials is transferred into the glass pane during the forming process with high positioning accuracy and high contour sharpness.
In einer bevozugten Ausgestaltung ist der Wärmeausdehnungskoeffizient der Grundplatte gleich dem Wärmeausdehnungskoeffizienten der Glasscheibe oder unterscheiden sich diese Werte nur geringfügig, insbesondere um weniger als 10%' voneinander . Hierdurch wird sichergestellt, dass zwischen der Glasscheibe und der Grundplatte beim Abkühlen keine oder nur minimale Spannungen auftreten.In a bevozugten embodiment of the thermal expansion coefficient of the base is equal to the coefficient of thermal expansion of the glass pane or these values differ only slightly, in particular by less than 10% 'of each other. This ensures that no or only minimal stresses occur between the glass pane and the base plate during cooling.
Weiter erfolgt die Materialauswahl für den mindestens einen Stempel und die Grundplatte bevorzugt derart, das der Unterschied zwischen dem Wärmeausdehungskoeffizienten des Stempels und dem Wärmeausdehungskoeffizienten der Grundplatte möglichst groß ist. Die verwendeten Materialen werden insofern optimiert. Je größer die Differenz der Wärmeausdehungskoeffi- zienten ist, desto größer ist der Spalt, der beim Abkühlen zwischen dem Stempel und der Glasscheibe entsteht. Je größer dieser Spalt ist, desto einfacher aber lässt sich die Glasscheibe nach dem Umformen von der Werkzeugform entfernen.Further, the material selection for the at least one punch and the base plate is preferably such that the difference between the coefficient of thermal expansion of the punch and the thermal expansion coefficient of the base plate is as large as possible. The materials used are optimized in this respect. The larger the difference in the coefficients of thermal expansion, the greater is the gap which arises during cooling between the punch and the glass pane. The larger this gap is, the easier it is to remove the glass sheet from the mold after it has been formed.
Die Stempel und die Grundplatte bestehen in einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung beide aus Graphit, wobei bevor- zugt die Grundplatte aus einem Graphit besteht, der bei 200C einen thermischen Längenausdehnungskoeffizienten zwischen 3 und 4,5 x 10"6/K besitzt, und wobei der oder die Stempel aus einem Graphit bestehen, der bei einer Temperatur von 200C ei- nen thermischen Längenausdehnungskoeffizienten zwischen 7 und 8 x 10"6/K besitzt.In a preferred embodiment of the invention, the punches and the base plate are both made of graphite, whereby zugt the base plate consists of a graphite, which has a coefficient of thermal expansion between 3 and 4.5 x 10 "6 / K at 20 0 C, and wherein the one or more stamps consist of a graphite, which at a temperature of 20 0 C ei - NEN thermal expansion coefficient between 7 and 8 x 10 "6 / K has.
Alternativ bestehen die Grundplatte aus Bornitrid und der oder die Stempel aus Graphit oder aus Stahl. In einer weite- ren Alternative besteht die Grundplatte aus Graphit und bestehen der oder die Stempel aus Stahl.Alternatively, the base plate of boron nitride and the or the punch made of graphite or steel. In a further alternative, the base plate is made of graphite and the punch or dies are made of steel.
Der mindestens eine Stempel und die zugehörige Aussparung in der Grundplatte weisen in einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung jeweils einen Durchmesser derart auf, dass zwischen dem Stempel und der die Aussparung begrenzenden Innenfläche der Grundplatte bei Raumtemperatur ein Spalt vorliegt. Die Breite des Spaltes, der Wärmeausdehnungskoeffizient des Stempels und der Wärmeausdehnungskoeffizientz der Grundplatte sind dabei derart gewählt, dass der Spalt bei einer maximalen Temperatur, bei der das Umformen der Glasscheibe erfolgt, sich im Wesentlichen auf Null reduziert. Dies führt zu einer automatischen Zentrierung der Stempel in den jeweiligen Aussparungen und eine entsprechend exakte Formgebung der Glas- Scheibe beim Umformprozess .In an advantageous embodiment of the invention, the at least one punch and the associated recess in the base plate each have a diameter such that there is a gap at room temperature between the punch and the inner surface of the base plate delimiting the recess. The width of the gap, the coefficient of thermal expansion of the punch and the thermal expansion coefficient z of the base plate are chosen such that the gap at a maximum temperature at which the forming of the glass pane is substantially reduced to zero. This leads to an automatic centering of the punch in the respective recesses and a correspondingly accurate shaping of the glass pane during the forming process.
Bei dem Verfahrensschritt des Umformens der Glasscheibe wird zwischen der Oberfläche der Werkzeugform und der Glasscheibe bevorzugt ein Unterdruck angelegt. Hierzu wird die Grundplat- te bevorzugt auf eine Auflage aufgesetzt, über die ein Unterdruck an den Spalt zwischen dem Stempel und der Grundplatte angelegt wird. Es wird jedoch darauf hingewiesen, dass statt eines Unterdruckes auch in anderer Weise ein Druck auf die Glasscheibe beim Umformen ausgeübt werden kann, beispielswei- se durch Drücken von oben mit einem geeignet geformten Stempel oder durch Bereitstellung eines Überdrucks auf der der Werkzeugform abgewandten Seite der Glasscheibe. Die Erwärmung, Umformung und Abkühlung der Glasscheibe erfolgt bevorzugt ganz oder teilweise unter einem nicht oxidie- renden Schutzgas.In the process step of forming the glass sheet, a negative pressure is preferably applied between the surface of the mold and the glass sheet. For this purpose, the base plate is preferably placed on a support, via which a negative pressure is applied to the gap between the punch and the base plate. It is pointed out, however, that instead of a negative pressure, pressure can be exerted on the glass pane during forming, for example by pressing from above with a suitably shaped die or by providing an overpressure on the side of the glass pane facing away from the mold , The heating, shaping and cooling of the glass pane is preferably carried out completely or partially under a non-oxidizing inert gas.
In einer bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens schließt sich an den Schritt des Entfernens der Glasscheibe von der Werkzeugforms der weitere Schritt an, dass zumindest ein Teil der mindestens einen Ausbuchtung zur BiI- düng mindestens eines Durchbruchs in der Glasscheibe abgetragen wird. Nach dem Abtragen der entstandenen Ausbuchtungen liegen Durchbrüche mit einer sehr guten Kantenqualität vor. Die Wandungen der Duchbrüche können dabei mit hoher Exaktheit senkrecht verlaufen.In a preferred embodiment of the method according to the invention, the step of removing the glass sheet from the tool mold is followed by the further step that at least a portion of the at least one protrusion is removed for the purpose of forming at least one opening in the glass sheet. After the removal of the resulting bulges there are breakthroughs with a very good edge quality. The walls of the fractures can be perpendicular with high accuracy.
Bei der Glasscheibe handelt es sich bevorzugt um einen Glas- wafer. Ein erfindungsgemäßer Glaswafer mit definierten Ausbuchtungen oder Durchbrüchen bzw. Öffnungen findet beispielsweise bei der Kapselung von MEMS (Mikro-Elektro-Mechanische Systeme) Verwendung.The glass pane is preferably a glass wafer. A glass wafer according to the invention with defined bulges or openings or openings is used, for example, in the encapsulation of MEMS (micro-electro-mechanical systems).
So wird in einer Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens die fertige Glasscheibe, die bevorzugt als Glaswafer mit einer Vielzahl von Öffnungen in Rasterform ausgebildet ist, vereinzelt. Beim Vereinzeln der Glasscheibe entstehen eine Vielzahl von Glaselementen. Diese werden bevorzugt jeweils in einen komplexen Baustein, insbesondere in einen elektrischen Baustein, einen optoelektronischen Baustein oder einen MEMS- Baustein eingebaut. Vor einem Vereinzeln der Glasscheibe kann diese im Rahmen eines Wafer-Level-Packagings verarbeitet werden, d.h. ein Vereinzeln erfolgt in dieser Ausführungsvariante erst nach einem Packaging elektrischer oder optoelektronischer Chips auf Waferebene unter Verwendung des Glaswafers.Thus, in one embodiment of the method according to the invention, the finished glass pane, which is preferably designed as a glass wafer with a plurality of openings in raster form, isolated. When separating the glass, a variety of glass elements. These are preferably each incorporated in a complex component, in particular in an electrical component, an optoelectronic component or a MEMS component. Before separating the glass pane, it can be processed as part of a wafer-level packaging, i. In this embodiment, singulation takes place only after packaging of electrical or optoelectronic chips at the wafer level using the glass wafer.
Die vorliegenden Erfindung betrifft auch einen Baustein, insbesondere einen elektrischen Baustein, einen optoelektronischen Baustein oder einen MEMS-Baustein, der ein Glaselement aufweist, das durch Vereinzelung einer nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Glasscheibe erzeugt ist. Ein solches Glaselement ist beispielsweise quadratisch oder rechteckig ausgebildet und weist eine mittige Öffnung auf.The present invention also relates to a device, in particular an electrical device, an optoelectronic device or a MEMS device, which is a glass element which is produced by separation of a glass sheet produced by the process according to the invention. Such a glass element is for example square or rectangular and has a central opening.
Die erfindungsgemäße Werkzeugform weist eine im wesentlichen ebene Grundplatte mit mindestens einer Aussparung und mindestens einen Stempel auf, wobei jeweils ein Stempel in eine Aussparung der Grundplatte eingesetzt ist und eine Erhebung oder Vertiefung in Bezug auf die Grundplatte bereitstellt, und wobei der Wärmeausdehnungkoeffizient des mindestens einen Stempels größer ist als der Wärmeausdehungskoeffizienten der Grundplatte.The tool mold according to the invention has a substantially planar base plate with at least one recess and at least one punch, wherein in each case a punch is inserted into a recess of the base plate and provides a survey or depression with respect to the base plate, and wherein the thermal expansion coefficient of the at least one punch is greater than the thermal expansion coefficient of the base plate.
Der modulare Aufbau der Werkzeugform ermöglicht eine schnelle und kostengünstige Reparatur. Wenn beispielsweise ein Stempel beschädigt ist, kann dieser in einfacher Weise und schnell ausgewechselt werden.The modular design of the mold allows a quick and cost-effective repair. For example, if a stamp is damaged, it can be easily and quickly replaced.
Die verwendeten Stempel können grundsätzlich eine beliebige Form ausweisen, insbesondere rund, oval oder als n-Eck, insbesondere quadratisch oder rechteckig ausgebildet sind.The stamps used can basically have any shape, in particular round, oval or n-shaped, in particular square or rectangular.
Es sind bevorzugt mehrere Aussparungen und Stempel vorgesehen sind, die in Form einer zweidimensionalen Matrix angeordnet sind.There are preferably provided a plurality of recesses and punches, which are arranged in the form of a two-dimensional matrix.
Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Figuren anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert. Es zeigen:The invention will be explained in more detail with reference to the figures with reference to an embodiment. Show it:
Fig. 1 eine Explosionsdarstellung einer Werkzeugform zur Herstellung einer Glasscheibe mit definierten Durchbrüchen bestehend aus einer Grundplatte, in die Grundplatte eingesetzten Stempeln, einer Auflage und einer Glasscheibe; Fig. 2 eine Draufsicht auf die zusammengesetzte Werkzeugform der Figur 1;Figure 1 is an exploded view of a mold for producing a glass sheet with defined openings consisting of a base plate, inserted into the base plate punches, a support and a glass sheet. FIG. 2 is a plan view of the assembled tool mold of FIG. 1; FIG.
Fig. 3 einen Schnitt durch die Werkzeugform der Figur 2 entlang der Linie A-A in einem ersten Verfahrensschritt;FIG. 3 shows a section through the tool mold of FIG. 2 along the line A-A in a first method step; FIG.
Fig. 4 einen Schnitt durch die Werkzeugform der Figur 2 entlang der Linie A-A in einem zweiten Verfahrens- schritt;FIG. 4 shows a section through the tool mold of FIG. 2 along the line A-A in a second method step; FIG.
Fig. 5 einen Schnitt durch die Werkzeugform der Figur 2 entlang der Linie A-A in einem dritten Verfahrensschritt;5 shows a section through the tool mold of Figure 2 along the line A-A in a third method step.
Fig. 6 eine Glasscheibe nach Umformung in dem Werkzeug der Figuren 1 bis 5 sowie die fertig hergestellte Glasscheibe mit definiertem Durchbrüchen; undFIG. 6 shows a glass pane after forming in the tool of FIGS. 1 to 5 and the finished glass pane with defined openings; FIG. and
Fig.7A-7D weitere Bearbeitungsschritte einer Glasscheibe gemäß der Figur 6.7A-7D further processing steps of a glass sheet according to the figure 6.
Die Figur 1 zeigt eine Explosionsdarstellung einer Werkzeugform, die aus einer Grundplatte 1 mit Aussparungen 12, einer Mehrzahl Stempel 2 und einer Auflage 3 besteht. Ebenfalls dargestellt ist eine Glasscheibe 4, die ursprünglich eben war und in der Figur 1 in einem Zwischenschritt ihrer Bearbeitung dargestellt ist.FIG. 1 shows an exploded view of a tool mold, which consists of a base plate 1 with recesses 12, a plurality of punches 2 and a support 3. Also shown is a glass sheet 4, which was originally flat and is shown in Figure 1 in an intermediate step of their processing.
Die Grundplatte 1 weist einen Außenbereich 10 und daran anschließend zur Mitte der Grundplatte hin eine Schräge 13 und eine vertieft angeordnete, ebene Grundfläche 11 auf. In der Grundfläche 11 sind in symmetrischer Anordnung insgesamt 9 Aussparungen 12 ausgebildet, die sich durch die Grundplatte 1 hindurch erstrecken. Die Grundplatte 1 weist angrenzend an die Aussparungen 12 jeweils eine Innenfläche 121 auf, die senkrecht zur Grundfläche 11 verläuft. Es wird darauf hingewiesen, dass die dargestellte Grundplatte nur beispielhaft zu verstehen ist. Beispielsweise können Anzahl, Anordnung und Form der Aussparungen 12 unterschiedlich sein. Auch ist nicht notwendigerweise die Oberfläche der Grundplatte in einen Außenbereich, eine Schräge und eine tiefer liegende Grundfläche unterteilt; sie kann auch eine vollständig ebene Oberfläche aufweisen.The base plate 1 has an outer region 10 and, subsequently to the center of the base plate, a slope 13 and a recessed, flat base surface 11. In the base 11 a total of 9 recesses 12 are formed in a symmetrical arrangement, which extend through the base plate 1 therethrough. The base plate 1 has adjacent to the recesses 12 each have an inner surface 121 which is perpendicular to the base surface 11. It should be noted that the illustrated base plate is to be understood only as an example. For example, number, arrangement and shape of the recesses 12 may be different. Also, the surface of the base plate is not necessarily divided into an outer area, a slope and a lower surface; it can also have a completely flat surface.
Die Aussparungen 12 der Grundplatte 1 dienen jeweils der Aufnahme eines Stempels 2. Jeder Stempel 2 weist einen oberen Bereich 21 geringeren Durchmessers auf, der teilweise durch die Aussparungen 12 ragt und gegenüber der Grundfläche 11 der Grundplatte 1 teilweise hervorsteht. Des Weiteren weist jeder Stempel 2 einen unteren Bereich 22 größeren Durchmessers auf. Der im Übergangsbereich zwischen den beiden Bereichen 2.1, 22 sich dabei bildende Anschlag 23 dient der formschlüssigen Anordnung des Stempels 2 in der Grundplatte 1, wobei der Anschlag 23 den Stempel 2 in vertikaler Richtung- fixiert und verhindert, dass dieser aus den Öffnungen 12 herausgezogen werden kann.Each punch 2 has an upper portion 21 of smaller diameter, which partially protrudes through the recesses 12 and partially protrudes from the base 11 of the base plate 1. Furthermore, each punch 2 has a lower region 22 of larger diameter. The stop 23 forming in the transition region between the two areas 2.1, 22 serves for the form-fitting arrangement of the punch 2 in the base plate 1, wherein the stop 23 fixes the punch 2 in the vertical direction and prevents it from being pulled out of the openings 12 can.
Der obere Bereich 21 jedes Stempels 2 bildet eine nach oben gerichtete Stirnfläche 211 und eine seitliche Umfangswandung 212 aus, an deren Übergang eine umlaufende Kante 213 verläuft.The upper portion 21 of each punch 2 forms an upwardly directed end face 211 and a lateral peripheral wall 212, at whose junction a peripheral edge 213 extends.
Die genaue Form und Ausgestaltung der Stempel 2 ist in der Figur 1 lediglich beispielhaft dargestellt. Die Stempel 2 können beispielsweise alternativ viereckig, rechteckig oder oval ausgebildet sein.The exact shape and design of the stamp 2 is shown in FIG. 1 by way of example only. The stamp 2 may be formed, for example, alternatively quadrangular, rectangular or oval.
Die Auflage 3 dient der Bereitstellung eines Unterdruckes im Bereich der Öffnungen 12 der Grundplatte 1. Hierzu ist ein zentraler Anschluss 33 vorgesehen, der beispielsweise mit einer nicht dargestellten Vakuumpumpe verbindbar ist. Der im Anschluss 33 anliegende Unterdruck wird über einen geradlinig verlaufenden Kanal 32 in eine Mehrzahl Ringspalte 31 geleitet, die sich mit unterschiedlichem Radius um den mittig angeordneten Anschluss 33 kreisförmig erstrecken. Die Oberfläche der Auflage 3 ist eben.The support 3 is used to provide a negative pressure in the region of the openings 12 of the base plate 1. For this purpose, a central terminal 33 is provided, which is connectable, for example, with a vacuum pump, not shown. The negative pressure applied in connection 33 is rectilinear over one extending channel 32 into a plurality of annular gaps 31, which extend with a different radius around the centrally located terminal 33 circular. The surface of the support 3 is flat.
Statt über Ringspalte kann der Unterdruck alternativ auch ü- ber anders verlaufende Kanäle den Aussparungen 12 der Grundplatte 1 zugeführt werden.Instead of using annular gaps, the negative pressure can alternatively also be supplied to the recesses 12 of the base plate 1 via channels which run differently.
Die Glasplatte 4 ist in der Figur 1, wie bereits erwähnt, in einem Zwischenschritt der Bearbeitung dargestellt, und zwar nach einer Umformung, bei der die ursprünglich ebene Glasscheibe 4 eine Kontur entsprechend der Kontur der GrundplatteThe glass plate 4 is shown in the figure 1, as already mentioned, in an intermediate step of the machining, after a deformation, in which the originally flat glass 4 a contour corresponding to the contour of the base plate
1 und der darin angeordneten Stempel 2 angenommen hat. Dies wird anhand der Figuren 3 bis 5 noch im Einzelnen erläutert werden.1 and the stamp 2 arranged therein has assumed. This will be explained in more detail with reference to Figures 3 to 5.
Im dargestellten Bearbeitungszustand weist die Glasplatte 4 eine plane Ebene 41 auf, aus der durch Materialumformung ent- standen Ausformungen 43, im Nachfolgenden auch als Ausbuchtungen bezeichnet, hervorstehen. Die Ausbuchtungen 43 weisen zur Grundplatte 1 und zu den Stempeln 2 hin eine Kontur auf, die das Positiv der Oberfläche der Werkzeugform darstellt. Die Grundplatte 1 und der Stempel 2 bilden dabei eine Matri- ze, welche das Negativ der Glaskontur in dem dargestellten Bearbeitungszustand darstellt. Die Ausbuchtungen 43 weisen jeweils eine obere umlaufende Kante 431 und eine untere umlaufende Kante 432 auf. Des Weiteren ist ein Randbereich 42 der Glasscheibe 4 zu erkennen, dessen Form durch die Schräge 13 der Grundplatte 1 erzeugt ist.In the illustrated processing state, the glass plate 4 has a planar plane 41 from which protrusions 43, hereinafter referred to as bulges, protrude from the material deformation. The bulges 43 have towards the base plate 1 and to the punches 2 toward a contour which represents the positive of the surface of the mold. The base plate 1 and the punch 2 in this case form a matrix, which represents the negative of the glass contour in the illustrated processing state. The bulges 43 each have an upper peripheral edge 431 and a lower peripheral edge 432. Furthermore, an edge region 42 of the glass pane 4 can be seen, the shape of which is produced by the bevel 13 of the base plate 1.
Die Grundplatte 1 und die Stempel 2 bestehen bevorzugt beide aus Graphit, wobei für die Grundplatte 1 und für die StempelThe base plate 1 and the stamp 2 are preferably both made of graphite, wherein for the base plate 1 and for the stamp
2 jedoch Graphite mit unterschiedlichem Wärmeausdehnungskoef- fizient verwendet werden. Der Wärmeausdehnungskoeffizient desHowever, graphites with different coefficients of thermal expansion are used. The thermal expansion coefficient of
Graphit, der für die Grundplatte 1 verwendet wird, ist durch geeignete Materialauswahl identisch mit dem Wärmeausdehnungs- koeffizienten der Glasplatte 4 bzw. soweit wie möglich an diesen angenähert. Dies weist den Vorteil auf, dass die Glasscheibe 4 und die Grundfläche 11, auf der die Glasplatte 4 nach dem noch zu erläuternden Umformprozess aufliegt, sich in gleichem Maße bei einer Abkühlung in ihrem Volumen verändern, wodurch die Entstehung von Spannungen zwischen der Grundplatte 1 und der Glasscheibe 4 verhindert wird.Graphite, which is used for the base plate 1, is identical to the thermal expansion coefficients of the glass plate 4 or as far as possible approximated to these. This has the advantage that the glass pane 4 and the base 11 on which rests the glass plate 4 after the forming process to be explained, change in volume to a same extent with a cooling, whereby the formation of stresses between the base plate 1 and the glass sheet 4 is prevented.
Es werden bevorzugt Glasscheiben mit einem thermischen Län- genausdehnungskoeffizienten zwischen 3,2 und 8,7 x 10~6/K verwendet. Besonders bevorzugt ist der Einsatz von Borosili- katglas, wie es beispielsweise unter den Bezeichnungen Bo- rofloat 33™, AF 45™, AF 37™ von der Firma Schott und unter den Bezeichnungen 7740™, 1737™ und Eagle 2000™ von der Firma Corning hergestellt wird. Ebenfalls kann ein Kalk-Natron- Floatgas eingesetzt werden.There are preferably glass having a thermal longitudinal expansion coefficient of 3.2 to 8.7 x 10 -6 / K is used. Particular preference is given to the use of borosilicate glass, as described, for example, by the names Schottofloat 33 ™, AF 45 ™, AF 37 ™ from Schott and under the designations 7740 ™, 1737 ™ and Eagle 2000 ™ by Corning will be produced. Likewise, a soda lime float gas can be used.
Sofern die Stempel ebenfalls aus Graphit bestehen, was bevorzugt der Fall ist, liegen der Wärmeausdehnungskoeffizient des Graphits, das für die Grundplatte 1 verwendet wird, sowie der Wärmeausdehnungskoeffizient der Glasplatte 4 im Bereich zwischen 3,2 und 4,5 x 10"6/K. Der Stempel 2 ist für diesen Fall aus einem Graphit mit einem thermischen Ausdehnungskoeffizient zwischen 7 und 8,7 x 10~6/K hergestellt.If the punches are also made of graphite, which is preferably the case, the coefficient of thermal expansion of the graphite used for the base plate 1 and the thermal expansion coefficient of the glass plate 4 are in the range between 3.2 and 4.5 × 10 -6 / K In this case, the punch 2 is made of a graphite having a coefficient of thermal expansion between 7 and 8.7 × 10 -6 / K.
Sofern die Stempel 2 aus einem anderem Material als aus Graphit bestehen, beispielsweise aus Stahl mit einem typischen thermischen Längenausdehnungskoeffizienten von 16 x 10"6/K, können die Glasscheibe 4 und das Graphit der Grundplatte 1 auch einen thermischen Längenausdehnungskoeffizienten bis 8,7 x 10"6/K besitzen.If the punches 2 consist of a material other than graphite, for example of steel with a typical coefficient of thermal expansion of 16 × 10 -6 / K, the glass pane 4 and the graphite of the base plate 1 can also have a thermal expansion coefficient of up to 8.7 × 10 Own 6 / K.
Es wird darauf hingewiesen, dass die Grundplatte auch aus einem anderen Material als Graphit hergestellt sein kann. Bei- spielsweise kann als Material für die Grundplatte 1 Bornitrid verwendet werden, das einen typischen thermischen Längenausdehnungskoeffizienten von 4,5 x 10"6/K besitzt. Die Verwen- düng von Graphit ist jedoch bevorzugt, da Graphit durch Glas auch bei Temperaturen oberhalb der Transformationstemperatur nicht benetzt wird und daher eine Trennung von Graphit und Glas ohne die Nutzung von Trennmitteln möglich ist. Sofern andere Materialien als Graphit für die Grundplatte 1 und/oder die Stempel 2 verwendet werden, werden diese vor der Auflegen der Glasscheibe mit einem Trennmittel benetzt.It should be noted that the base plate can also be made of a material other than graphite. Examples game, 1 boron nitride, as the material for the base plate are used, the x has a typical coefficient of thermal expansion of 4.5 10 "6 / K. Applicable methods however, graphite is preferred because graphite is not wetted by glass even at temperatures above the transformation temperature and therefore separation of graphite and glass is possible without the use of release agents. If materials other than graphite are used for the base plate 1 and / or the punches 2, they are wetted with a release agent prior to placing the glass sheet.
Die Figur 2 zeigt eine Draufsicht auf die zusammengesetzte Anordnung der Figur 1. In der Draufsicht sind die Glasscheibe 4 mit den Ausbuchtungen 43 und dem Randbereich 42 sowie der Außenbereich 10 der Grundplatte 1 zu erkennen. Die Mittelpunkte M der Aussparungen in der Grundplatte 1 und damit die Mittelpunkte der Stempel 2 und der Ausbuchtungen 43 der Glas- platte 4 sind entlang den Punkten einer zweidimensionalen Matrix angeordnet, wobei im vorliegenden Beispiel eine 3x3 Matrix dargestellt ist. Allgemein sind die Aussparungen und Stempel bevorzugt entlang einer n x m Matrix angeordnet, wobei n und m natürliche Zahlen ≥ 1 sind.FIG. 2 shows a plan view of the assembled arrangement of FIG. 1. In the plan view, the glass pane 4 with the bulges 43 and the edge region 42 as well as the outer region 10 of the base plate 1 can be seen. The centers M of the recesses in the base plate 1 and thus the centers of the punches 2 and the bulges 43 of the glass plate 4 are arranged along the points of a two-dimensional matrix, wherein in the present example a 3 × 3 matrix is shown. Generally, the recesses and punches are preferably arranged along an n × m matrix, where n and m are natural numbers ≥ 1.
Das Verfahren zur Herstellung einer Glasscheibe mit einer Mehrzahl definierter Durchbrüche wird nun anhand der Figuren 3 bis 5 erläutert.The method for producing a glass pane having a plurality of defined openings will now be explained with reference to FIGS. 3 to 5.
Die Figur 3 zeigt einen ersten Bearbeitungszustand, bei dem die Glasscheibe auf die aus der Grundplatte 1 und den Stempeln 2 bestehenden Werkzeugform aufgelegt wird. Die Glasscheibe 4 ist am Anfang des Verfahrens eine vollständig ebene Glasscheibe. Ihre Dicke liegt bevorzugt zwischen 0,5 und 2 mm und besonders bevorzugt bei 1,1 mm. In die Aussparungen 12 der Grundplatte 1 sind die Stempel 2 eingesetzt. Der Anschlag 23 des Stempels 2, der sich zwischen dem oberen Bereich 21 und dem unteren Bereich 22 erstreckt, liegt dabei formschlüssig an einem Anschlag 23 an, der in der Grundplatte 1 ausge- bildet ist. Hierdurch erfolgt eine formschlüssige Fixierung der Stempel 2 in vertikaler Richtung. Die Stempel 2 ragen jeweils aus der Grundfläche 11 der Grundplatte 1 hervor, und zwar mit einer Höhe, die größer ist als die Dicke der Glasscheibe 4. Zwischen der Umfangswandung 212 eines Stempels 2 und der Innenfläche 121 der Grundplatte 1, die die entsprechende Aussparung 12 begrenzt, befindet sich ein Spalt 5, der in einem begrenzten Maß im nicht erwärmten Zustand eine Relativbewegung zwischen dem Stempel 2 und der Grundplatte 1 in horizontaler Richtung erlaubt. Der Spalt 5 vergrößert sich in Richtung der Auflage 3 zu einem Spalt 6 größerer Breite. Unterhalb dieses Spaltes 6 befindet sich einer der Ringspalte 31 der Auflage 3, so dass über den Ringspalt 31 und die beiden Spalte 6, 5 ein Unterdruck in dem Bereich zwischen der Oberfläche der Werkzeugform und der Glasscheibe 4 bereitgestellt werden kann.FIG. 3 shows a first processing state in which the glass pane is placed on the tool mold consisting of the base plate 1 and the punches 2. The glass sheet 4 is at the beginning of the process a completely flat glass sheet. Its thickness is preferably between 0.5 and 2 mm and more preferably 1.1 mm. In the recesses 12 of the base plate 1, the stamp 2 are used. The stop 23 of the punch 2, which extends between the upper region 21 and the lower region 22, lies in a form-fitting manner against a stop 23, which is formed in the base plate 1. This results in a positive fixation of the stamp 2 in the vertical direction. The punches 2 protrude respectively from the base 11 of the base plate 1, and with a height which is greater than the thickness of the glass 4. Between the peripheral wall 212 of a punch 2 and the inner surface 121 of the base plate 1, the corresponding recess 12th limited, there is a gap 5, which allows a limited amount in the unheated state, a relative movement between the punch 2 and the base plate 1 in the horizontal direction. The gap 5 increases in the direction of the support 3 to a gap 6 of greater width. Below this gap 6 is one of the annular gaps 31 of the support 3, so that over the annular gap 31 and the two gaps 6, 5, a negative pressure in the area between the surface of the mold and the glass sheet 4 can be provided.
Die Anordnung wird nun - beispielsweise durch Einbringen in einen Ofen - auf eine Temperatur erhöht, die über der Transformationstemperatur der Glasscheibe liegt. Die Transformationstemperatur ist die Temperatur, unter der die Viskosität einer Glasschmelze eine Viskosität von 1013 Pa*s erreicht und somit als Festkörper gilt. Besonders bevorzugt wird die Anordnung auf eine Temperatur erhöht, bei der das Glas nur noch eine Viskosität von weniger als 108 dPa*s besitzt. Bei der Verwendung vom Borosilikatglas für die Glasscheibe erfolgt hierzu ein Erwärmen bis zu einer Temperatur von etwa 8500C bis 950°C, insbesondere von etwa 8800C.The arrangement is now - increased, for example, by introducing it into a furnace - to a temperature which is above the transformation temperature of the glass sheet. The transformation temperature is the temperature at which the viscosity of a glass melt reaches a viscosity of 10 13 Pa * s and thus is considered to be a solid. Particularly preferably, the arrangement is increased to a temperature at which the glass only has a viscosity of less than 10 8 dPa * s. When using the borosilicate glass for the glass, this is done by heating to a temperature of about 850 0 C to 950 ° C, in particular of about 880 0 C.
Es erfolgt nun ein Umformen der Glasscheibe unter Entstehung einer Kontur zur Werkzeugform hin, die das Positiv der Ober- fläche der Werkzeugform darstellt. Dabei entstehen die in der Figur 1 dargestellten Ausbuchtungen 43 der Glasscheibe 4, die der Kontur der Stempel 2 entsprechen.The glass sheet is then reformed to form a contour with respect to the tool shape, which represents the positive of the surface of the tool mold. This results in the bulges 43 of the glass pane 4 shown in FIG. 1, which correspond to the contour of the punches 2.
Zur Beschleunigung und hochpräzisen Realisierung der Umfor- mung der Glasscheibe 4 wird bei Erreichen der höchsten bei der Erwärmung realisierten Temperatur - nachfolgend auch alsFor the acceleration and high-precision realization of the deformation of the glass pane 4, when the highest temperature achieved during the heating is reached - hereinafter also referred to as
Arbeitspunkt bezeichnet - für einen definierten Zeitraum ein Unterdruck in der bereits beschriebenen Art und Weise angelegt. Die sich bereits aufgrund der Gravitationskraft verformende Glasscheibe 4 wird durch den Unterdruck zusätzlich in Richtung der Oberfläche von Stempel 2 und Grundfläche 11 ge- zogen. Es entsteht die in Figur 4 dargestellte Kontur. Die Innenseite 433 der Ausbuchtung 43 stellt dabei eine senkrecht verlaufende Strukturflanke dar, die einen exakt senkrechten Verlauf aufweist und hochwertige Kanten 431, 432, insbesondere an ihrer dem Stempel 2 zugewandten Innenseite ausbildet.Operating point designates - for a defined period of time Vacuum applied in the manner already described. The glass pane 4, which is already deforming due to the gravitational force, is additionally drawn in the direction of the surface of punch 2 and base area 11 by the negative pressure. The result is the contour shown in Figure 4. The inner side 433 of the bulge 43 in this case represents a vertically extending structure flank, which has an exactly vertical course and forms high-quality edges 431, 432, in particular on its inner side facing the punch 2.
Es wird darauf hingewiesen, dass der Spalt 5 zwischen der Um- fangswandung 212 des Stempels 2 und der Innenfläche 121 der Grundplatte 1 aufgrund der unterschiedlichen Volumenänderung des Stempels 2 und der Grundplatte 1 bei der Erwärmung im Ar- beitspunkt idealerweise auf Null reduziert ist. Dies weist den Vorteil einer automatischen Zentrierung der Stempel 2 in Bezug auf die Aussparungen 12 der Grundplatte auf. Die Stempel 2 und damit die Ausbuchtungen 43 der Glasscheibe 4 sind somit hochgenau und zentrisch in Bezug auf die Aussparungen 12 positioniert. Die Reduzierung des Spaltes 5 auf Null oder annähernd Null verhindert des weiteren den Eintritt von Glas in den Spalt 5 beim Umformen der Glasscheibe 4 und ermöglicht damit eine gradfreie Abformung .It should be noted that the gap 5 between the peripheral wall 212 of the punch 2 and the inner surface 121 of the base plate 1 is ideally reduced to zero when heated at the operating point due to the different volume change of the punch 2 and the base plate 1. This has the advantage of an automatic centering of the stamp 2 with respect to the recesses 12 of the base plate. The stamp 2 and thus the bulges 43 of the glass 4 are thus highly accurately and centrally positioned with respect to the recesses 12. The reduction of the gap 5 to zero or approximately zero further prevents the entry of glass into the gap 5 during forming of the glass sheet 4 and thus allows a degree-free impression.
Dabei wird darauf hingewiesen, dass das Schließen des Spaltes 5 bei der Erwärmung keineswegs verhindert, dass ein Unterdruck zwischen der Oberfläche der Werkzeugform und der Glasscheibe 4 angelegt werden kann. Aufgrund einer hohen Porosität von Graphit kann eine Evakuierung über die Oberfläche auch bei im Wesentlichen geschlossenem Spalt 5 erfolgen. Alternativ, insbesondere bei Verwendung anderer Stoffe als Graphit für den Stempel, wird ein Restspalt beibehalten, der jedoch derart klein ist, dass er die exakte Positionierung der Stempel 2 nicht wesentlich beeinflusst.It should be noted that the closing of the gap 5 in the heating by no means prevents that a negative pressure between the surface of the mold and the glass sheet 4 can be applied. Due to a high porosity of graphite, an evacuation over the surface can take place even when the gap 5 is substantially closed. Alternatively, especially when using materials other than graphite for the stamp, a residual gap is maintained, which is so small that it does not significantly affect the exact positioning of the punch 2.
Die Glasscheibe wird nach dem Umformen auf eine Temperatur unter der Transformationstemperatur abgekühlt. Die Glasschei- be 4 ist nun wieder ein Festkörper, wobei in diesen Festkörper die Kontur der Oberfläche der Werkzeugform übertragen ist.The glass sheet is cooled after the forming to a temperature below the transformation temperature. The glass be 4 is now again a solid, wherein in this solid body, the contour of the surface of the mold is transferred.
Die Figur 5 zeigt den Zustand nach Abkühlen der Anordnung von Glasscheibe 4 und der aus Grundplatte 1 und Stempeln 2 bestehenden Werkzeugform. Es ist erkennbar, dass sich erneut ein Spalt 5 zwischen der Umfangswandung 212 des Stempels 2 und der Innenfläche 121 der Grundplatte 1 ausgebildet hat. Der erneute Spalt 5 wird durch den Umstand bewirkt, dass der Wärmeausdehnungskoeffizient des Materials, aus dem der Stempel 2 besteht, größer ist als der Wärmeausdehnungskoeffizient des Materials, aus dem die Grundplatte 1 besteht. Er ist auch größer als der Wärmeausdehnungskoeffizient der Glasscheibe, der wie erläutert so gewählt wird, dass er sich, nicht oder nur geringfügig vom Wärmeausdehnungskoeffizienten der Grundplatte 1 unterscheidet. Natürlich besteht somit nunmehr auch ein Spalt zwischen dem Stempel 2 und der Glasscheibe bzw. der Ausbuchtung 43, und zwar sowohl im vertikaler Richtung als auch in horizontaler Richtung.FIG. 5 shows the state after cooling of the arrangement of glass pane 4 and the mold consisting of base plate 1 and stamps 2. It can be seen that again a gap 5 has formed between the circumferential wall 212 of the punch 2 and the inner surface 121 of the base plate 1. The recessed gap 5 is caused by the fact that the thermal expansion coefficient of the material constituting the punch 2 is larger than the coefficient of thermal expansion of the material constituting the base plate 1. It is also greater than the coefficient of thermal expansion of the glass sheet, which, as explained, is chosen so that it does not differ, or only slightly, from the thermal expansion coefficient of the base plate 1. Of course, there is now also a gap between the punch 2 and the glass plate or the bulge 43, both in the vertical direction and in the horizontal direction.
Aufgrund der Existenz dieses Spaltes ist es nun einfach, die Glasscheibe 4 von der Werkzeugform zu entfernen. Es kann sogar vorgesehen werden, leichte Hinterschnitte und somit schräg verlaufende Innenflanken 433 der Ausbuchtungen 43 zu realisieren. Das Maß, in dem Hinterschnitte realisiert werden können, hängt von der Differenz der jeweiligen Wärmeausdehnungskoeffizienten ab.Due to the existence of this gap, it is now easy to remove the glass sheet 4 from the mold. It can even be provided to realize slight undercuts and thus inclined inner flanks 433 of the bulges 43. The extent to which undercuts can be realized depends on the difference between the respective thermal expansion coefficients.
Natürlich können statt Hinterschnitten auch Ausbuchtungen 43 mit konisch zusammenlaufenden Seitenwänden 433 realisiert werden .Of course, instead of undercuts and bulges 43 can be realized with conically converging side walls 433.
Für ein einfaches Entfernen der Glasscheibe 4 von der Werk- zeugform ist es des Weiteren von Bedeutung, dass eine vertikale Bewegung der Stempel 2 durch deren formschlüssige Anordnung in der Grundplatte 1 verhindert ist. Nach Abnehmen der Glasscheibe von der Werkzeugform weist die Glasscheibe die in der Figur 1 und in der Figur 6 links dargestellte Gestalt auf. Es können nun in Abhängigkeit von der vorgesehenen Nutzung der umgeformten Glasscheibe weitere, an sich aus der DE 101 47 648 Al bekannte Bearbeitungsschritte folgen, wobei insofern ausdrücklich auf die DE 101 47 648 Al verwiesen wird. Insbesondere wird bevorzugt zunächst der Randbereich 42 der Glasscheibe beispielsweise durch Sägen o- der Schleifen entfernt. Anschließend wird die Scheibe bevorzugt geschliffen, wobei die Ausbuchtungen 43 entfernt werden und Aussparungen 44 in der Glasscheibe 41 übrig bleiben. Das Schleifen kann ein- oder beidseitig erfolgen. Weiter erfolgt bevorzugt ein Polieren und ein Ultraschallreinigen der herge- stellten Glasscheibe. Es entsteht eine Glasscheibe mit definierten Aussparungen 44.For a simple removal of the glass sheet 4 of the tool mold, it is also important that a vertical movement of the stamp 2 is prevented by the form-fitting arrangement in the base plate 1. After removing the glass sheet from the tool mold, the glass pane has the shape shown on the left in FIG. 1 and in FIG. Depending on the intended use of the formed glass pane, further processing steps known per se from DE 101 47 648 A1 can now follow, in which respect express reference is made to DE 101 47 648 A1. In particular, the edge region 42 of the glass pane is preferably first removed by, for example, sawing or grinding. Subsequently, the disc is preferably ground, the bulges 43 are removed and recesses 44 remain in the glass sheet 41. The grinding can be done on one or both sides. Furthermore, polishing and ultrasonic cleaning of the produced glass pane preferably take place. The result is a glass sheet with defined recesses 44th
Die in der fertig hergestellten Glasscheibe 41 realisierten Öffnungen 44 sind exakt in der Glasscheibe positioniert. Sie weisen Strukturflanken 433 und Kanten auf, die eine hervorragende Konturschärfe besitzen und bevorzugt exakt senkrecht verlaufen .The realized in the finished glass sheet 41 openings 44 are accurately positioned in the glass. They have structure flanks 433 and edges which have an outstanding contour sharpness and preferably extend exactly vertically.
Weiter wird darauf hingewiesen, dass die Strukturflanken 433 eine im Wesentlichen partikelfreie Oberfläche aufweisen. Da die Herstellung der Aussparungen 44 ohne spanende Verfahren auskommt und lediglich ein Umformen des Glases erfolgte, sind störende Partikel an der Oberfläche der Strukturflanken 433 nicht oder in nur sehr geringem Maße vorhanden.It should also be noted that the structure flanks 433 have a substantially particle-free surface. Since the production of the recesses 44 does not require any machining processes and only the forming of the glass took place, interfering particles are not present on the surface of the structural flanks 433 or only to a very limited extent.
Die Figuren 7A bis 7D zeigen weitere mögliche Bearbeitungsschritte der Glasscheibe 41 der Figur 6. Die Figur 7A zeigt nochmals die in der Figur 6 dargestellte fertige Glasscheibe 41 in Draufsicht. Gemäß der Figur 7B wird die Glasscheibe 41 durch Sägen entlang vertikaler und horizontaler Linien 45 weiter bearbeitet, wobei entsprechende Sägespuren in der Glasscheibe 41 erzeugt werden. Gemäß Figur 7C wird die wafer- förmige Glasscheibe 41 nach dem Sägen aufgetrennt, wobei einzelne Glaselemente 46 mit jeweils einer mittigen Öffnung 44 entsteht. Die entsprechenden vereinzelten Glaselemente 46 weisen eine quadratische Form mit mittigen Öffnungen 44 auf und sind in der Figur 7D dargestellt. Alternativ können die vereinzelten Glaselemente 46 auch beispielsweise eine rechteckige Form besitzten.FIGS. 7A to 7D show further possible processing steps of the glass pane 41 of FIG. 6. FIG. 7A again shows the finished glass pane 41 shown in FIG. 6 in plan view. According to FIG. 7B, the glass pane 41 is further processed by sawing along vertical and horizontal lines 45, corresponding saw marks being produced in the glass pane 41. According to FIG. 7C, the wafer shaped glass sheet 41 separated after sawing, wherein individual glass elements 46, each having a central opening 44 is formed. The corresponding individual glass elements 46 have a square shape with central openings 44 and are shown in FIG. 7D. Alternatively, the individual glass elements 46 may also have, for example, a rectangular shape.
In einer Ausgestaltung ist vorgesehen, dass die Glaselemente 46 nach ihrer Vereinzelung in ein komplexes Bauteil, beispielsweise ein elektrisches oder optoelektronisches Bauteil oder in ein mikro-elektromechanisches System (MEMS) integriert wird. Beispielsweise wird das Glaselement 46 zur Kapselung eines MEMS-Bausteins verwendet und ist Teil eines sol- chen Bausteins.In one embodiment, it is provided that the glass elements 46 are integrated after their separation into a complex component, such as an electrical or optoelectronic component or in a micro-electro-mechanical system (MEMS). For example, the glass element 46 is used to encapsulate a MEMS device and is part of such a device.
In einer weiteren Ausgestaltung wird der Glaswafer 41 der Figur 6 bzw. der Figur 7A im Rahmen eines Wafer-Level-Packaging eingesetzt. Der Glaswafer 41 wird somit auf Waferebene verar- beitet. Erst nach Bereitstellen eines gewünschten Aufbaus auf Waferebene werden die entsprechenden Chips einschließlich des Glaswafers 41 vereinzelt. Die Packetierung bzw. Häusung von Chips erfolgt somit auf Waferebene. Beispielsweise werden MEMS auf Waferebene hergestellt und anschließend vereinzelt. Auch bei dieser Ausgestaltung ist ein Glaselement 46 Teil des fertigen Bausteins. In a further embodiment, the glass wafer 41 of FIG. 6 or of FIG. 7A is used in the context of wafer-level packaging. The glass wafer 41 is thus processed at the wafer level. Only after providing a desired wafer level structure are the respective chips, including the glass wafer 41, singulated. The packaging or packaging of chips thus takes place at the wafer level. For example, MEMS are produced at the wafer level and then singulated. Also in this embodiment, a glass element 46 is part of the finished device.

Claims

Patentansprüche claims
1. Verfahren zur Herstellung einer Glasscheibe mit mindestens einer definierten Ausbuchtung (43) , das folgende Schritte aufweist:A process for producing a glass sheet having at least one defined bulge (43), comprising the following steps:
Bereitstellen einer ebenen Glasscheibe (4) mit einer bestimmten Dicke,Providing a flat glass sheet (4) of a certain thickness,
Bereitstellen einer Werkzeugform (1, 2) mit einer Oberfläche, die mindestens eine Erhebung (2) oder mindes- tens eine Vertiefung einer Tiefe besitzt, die größer ist als die Dicke der Glasscheibe (4), wobei o die Werkzeugform eine im wesentlichen ebene Grundplatte (1) mit mindestens einer Aussparung (12) und mindestens einen Stempel (2) aufweist, jeweils ein Stempel (2) in eine Aussparung (12) der Grundplatte (1) eingesetzt ist und eine Erhebung oder Vertiefung in Bezug auf die Grundplatte (1) bereitstellt, und o der Wärmeausdehnungkoeffizient des mindestens ei- nen Stempels (2) sich von dem Wärmeausdehungskoef- fizienten der Grundplatte (1) unterscheidet und größer ist als der Wärmeausdehnungskoeffizient der Glasscheibe (4),Providing a tool mold (1, 2) having a surface having at least one protrusion (2) or at least one depression of a depth greater than the thickness of the glass sheet (4), wherein the mold is a substantially planar base plate (1) having at least one recess (12) and at least one punch (2), in each case a punch (2) in a recess (12) of the base plate (1) is inserted and a survey or depression with respect to the base plate (1 ), and o the thermal expansion coefficient of the at least one punch (2) is different from the coefficient of thermal expansion of the base plate (1) and is greater than the thermal expansion coefficient of the glass sheet (4),
Auflegen der Glasscheibe (4) auf die Werkzeugform (1, 2),Placing the glass sheet (4) on the mold (1, 2),
Erwärmen der Glasscheibe (4) auf eine Temperatur über der Transformationstemperatur,Heating the glass sheet (4) to a temperature above the transformation temperature,
Umformen der Glasscheibe (4) unter Entstehung einer Kontur zur Werkzeugform (1, 2) hin, die das Positiv der Oberfläche der Werkzeugform (1, 2) darstellt, wobei die Glasscheibe (4) mindestens eine Ausbuchtung (43) entsprechend einer zugehörigen Erhebung (2) oder Vertiefung der Werkzeugform (1, 2) ausbildet, Abkühlen der Werkzeugform und der Glasscheibe (4) auf eine Temperatur unter der Transformationstemperatur, wobei sich der mindestens eine Stempel (2) beim Abküh- len der Werkzeugform stärker in seinem Volumen reduziert als die Glasscheibe (4), und - Entfernen der Glasscheibe (4) von der Werkzeugform (1,Forming the glass sheet (4) to form a contour to the mold (1, 2), which represents the positive of the surface of the mold (1, 2), the glass sheet (4) at least one bulge (43) corresponding to an associated survey ( 2) or depression of the tool mold (1, 2), cooling the mold and the glass sheet (4) to a temperature below the transformation temperature, wherein the at least one punch (2) during cooling len of the mold more reduced in volume than the glass sheet (4), and - removing the glass sheet (4) of the mold (1,
2) .2).
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Wärmeausdehnungskoeffizient der Grundplatte (1) gleich dem Wärmeausdehnungskoeffizienten der Glasscheibe (4) ist oder sich diese Werte nur geringfügig, insbeson- dere um weniger als 10% voneinander unterscheiden.2. The method according to claim 1, characterized in that the thermal expansion coefficient of the base plate (1) is equal to the thermal expansion coefficient of the glass sheet (4) or these values differ only slightly, in particular by less than 10% from each other.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet:, dass die Materialauswahl für den mindestens einen Stempel3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the material selection for the at least one stamp
(2) und die Grundplatte (1) derart erfolgt, das der Un- terschied zwischen dem Wärmeausdehungskoeffizienten des(2) and the base plate (1) is made such that the difference between the thermal expansion coefficient of the
Stempels (2) und dem Wärmeausdehungskoeffizienten der Grundplatte (1) möglichst groß ist.Stamp (2) and the thermal expansion coefficient of the base plate (1) is as large as possible.
4. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl der oder die Stempel (2) als auch die Grundplatte (1) aus Graphit bestehen.4. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that both the or the stamp (2) and the base plate (1) consist of graphite.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Grundplatte (1) aus Graphit besteht, der bei 200C ei- nen thermischen Längenausdehnungskoeffizienten zwischen 3 und 4,5 x 10"6/K besitzt, und der oder die Stempel (2) aus einem Graphit bestehen, der bei einer Temperatur von 200C einen thermischen Längenausdehnungskoeffizienten zwischen 7 und 8,7 x 10"6/K besitzt.5. The method according to claim 4, characterized in that the base plate (1) consists of graphite at 20 0 C NEN coefficient of thermal expansion between 3 and 4.5 x egg has 10 "6 / K, and the punch or punches ( 2) consist of a graphite, which has a thermal expansion coefficient between 7 and 8.7 x 10 "6 / K at a temperature of 20 0 C.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Grundplatte (1) aus Bornitrid und der oder die Stempel (2) aus Graphit oder aus Stahl bestehen. 6. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the base plate (1) made of boron nitride and the or the stamp (2) made of graphite or steel.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Grundplatte (1) aus Graphit und der oder die Stempel aus Stahl (2) bestehen.7. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the base plate (1) made of graphite and the or the punch made of steel (2).
8. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Stempel (2) und die zugehörige Aussparung (12) in der Grundplatte (1) jeweils einen Durchmesser derart aufweisen, dass zwischen dem Stempel (2) und der die Aussparung (12) begrenzenden Innenfläche (121) der Grundplatte (1) bei Raumtemperatur ein Spalt (5, 6) vorliegt.8. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the at least one punch (2) and the associated recess (12) in the base plate (1) each have a diameter such that between the punch (2) and the recess (12) limiting inner surface (121) of the base plate (1) at room temperature, a gap (5, 6) is present.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Breite des Spaltes (5), der Wärmeausdehnungskoeffi- zient des Stempels (2) und der Wärmeausdehnungskoeffi- zientz der Grundplatte (1) derart gewählt sind, dass der Spalt (5) bei einer maximalen Temperatur, bei der das Umformen der Glasscheibe (4) erfolgt, sich im Wesentlichen auf Null reduziert hat.9. The method according to claim 8, characterized in that the width of the gap (5), the coefficient of thermal expansion of the punch (2) and the coefficient of thermal expansion of the base plate (1) are selected such that the gap (5) in a maximum temperature at which the forming of the glass sheet (4), has been reduced to substantially zero.
10. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass beim Verfahrensschritt des Umformens der Glasscheibe (4) zwischen der Oberfläche der Werkzeugform (1, 2) und der Glasscheibe (4) ein Unterdrück ange- legt wird.10. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that in the process step of forming the glass sheet (4) between the surface of the mold (1, 2) and the glass sheet (4) is applied a suppression.
11. Verfahren nach den Ansprüchen 8 und 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Grundplatte (1) auf eine Auflage (3) aufgesetzt wird, über die ein Unterdruck an den Spalt (5, 6) zwischen dem Stempel (2) und der Grundplatte (1) angelegt wird.11. The method according to claims 8 and 10, characterized in that the base plate (1) is placed on a support (3) via which a negative pressure to the gap (5, 6) between the punch (2) and the base plate ( 1) is created.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass beim Verfahrensschritt des Umformens der Glasscheibe (4) ein Drücken von oben mit einem geeignet geformten Stempel erfolgt oder ein Überdruck auf der der Werkzeugform (1, 2) abgewandten Seite der Glasscheibe (4) bereitgestellt wird.12. The method according to any one of claims 1 to 9, characterized in that in the step of forming the glass sheet (4) is a pressing from above with a suitably shaped stamp or an overpressure on the the mold (1, 2) facing away from the glass sheet (4) is provided.
13. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Umfangsflache (212) des mindestens einen Stempels (2) exakt senkrecht zur Oberfläche der Grundplatte (1) verläuft.13. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the peripheral surface (212) of the at least one punch (2) is exactly perpendicular to the surface of the base plate (1).
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch ge- kennzeichnet, dass die Umfangsflache (212) des mindestens einen Stempels (2) eine geringfügige Neigung gegenüber der Oberfläche der Grundplatte aufweist, insbesondere eine Neigung kleiner als 10°.14. The method according to any one of claims 1 to 12, character- ized in that the peripheral surface (212) of the at least one punch (2) has a slight inclination relative to the surface of the base plate, in particular an inclination of less than 10 °.
15. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sofern der mindestens eine Stempel (2) ein metallischer Stempel ist und dieser vor dem Auflegen der Glasscheibe (4) auf die Werkzeugform (1, 2) mit einem Trennmittel versehen wird, das es erlaubt, die Glasscheibe (4) nach dem Abkühlen der Glasscheibe auf eine Temeperatur unter der Transformationstemperatur in einfacher Weise wieder von der Werkzeugform (1, 2) zu entfernen .15. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that if the at least one stamp (2) is a metallic stamp and this is provided before placing the glass sheet (4) on the mold (1, 2) with a release agent, the it allows the glass sheet (4) after cooling the glass sheet to a temperature below the transformation temperature in a simple manner to remove again from the mold (1, 2).
16. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Glasscheibe (4) einen thermischen Längenausdehnungskoeffizienten bei 200C zwischen 3,2 und 8,7 x 10"6/K besitzt.16. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the glass sheet (4) has a thermal expansion coefficient at 20 0 C between 3.2 and 8.7 x 10 "6 / K.
17. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Glasscheibe (4) aus Borosili- katglas oder einem Kalk-Natron-Floatglas besteht.17. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the glass pane (4) made of borosilicate glass or a soda lime float glass.
18. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Glasscheibe (4) eine Dicke zwischen 0,5 und 2,5 mm aufweist. 18. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the glass pane (4) has a thickness between 0.5 and 2.5 mm.
19. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Glasscheibe (4) beim Verfahrensschritt des Umformens auf eine Temperatur erhitzt wird, bei der das Glas eine Viskosität kleiner als 108 dPa*s aufweist.19. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the glass sheet (4) is heated in the step of forming to a temperature at which the glass has a viscosity of less than 10 8 dPa * s.
20. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Erwärmung, Umformung und Abkühlung der Glasscheibe (4) ganz oder teilweise unter einem nicht oxidierenden Schutzgas durchgeführt wird.20. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the heating, deformation and cooling of the glass sheet (4) is carried out wholly or partly under a non-oxidizing inert gas.
21. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Entfernen der Glasscheibe21. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that after removing the glass sheet
(4) von der Werkzeugform (1, 2) zumindest ein Teil der mindestens einen Ausbuchtung (43) zur Bildung mindestens eines Durchbruchs (44) in der Glasscheibe abgetragen wird.(4) at least part of the at least one bulge (43) is removed from the tool mold (1, 2) to form at least one opening (44) in the glass pane.
22. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Abtragens ein Abschleifen der mindestens einen Ausbuchtung (43) umfasst.22. The method according to claim 21, characterized in that the step of removing comprises a grinding of the at least one bulge (43).
23. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Glasscheibe (4) als Glaswafer ausgebildet ist.23. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the glass pane (4) is designed as a glass wafer.
24. Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass in der Glasscheibe (4) eine Vielzahl von Durchbrüchen (44) erzeugt werden, die als zweidimen- sionales Raster in der Glasscheibe (41) angeordnet sind.24. The method according to any one of claims 21 to 23, characterized in that in the glass pane (4) a plurality of openings (44) are generated, which are arranged as a two-dimensional grid in the glass sheet (41).
25. Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 24, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Entfernen der Glasscheibe (4) von der Werkzeugform (1, 2) der Randbereich (42) der Glasscheibe (4) entfernt wird. 25. The method according to any one of claims 21 to 24, characterized in that after removal of the glass sheet (4) of the tool mold (1, 2) of the edge region (42) of the glass sheet (4) is removed.
26. Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 25, dadurch gekennzeichnet, dass die fertig hergestellte Glascheibe26. The method according to any one of claims 21 to 25, characterized in that the finished glass slice
(41) im Rahmen eines Wafer-Level-Packaging weiterverarbeitet wird.(41) is further processed as part of wafer-level packaging.
27. Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 26, dadurch gekennzeichnet, dass die fertig hergestellte Glascheibe (41) vereinzelt wird.27. The method according to any one of claims 21 to 26, characterized in that the finished glass plate (41) is separated.
28. Verfahren nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, dass bei Vereinzeln der Glasscheibe (41) eine Vielzahl von Glaselementen (46) entsteht.28. The method according to claim 27, characterized in that when separating the glass sheet (41) creates a plurality of glass elements (46).
29. Verfahren nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, dass die Glaselemente (46) jeweils in .einen komplexen Baustein, insbesondere in einen elektrischen Baustein, einen optoelektronischen Baustein oder einen MEMS-Baustein eingebaut werden.29. The method according to claim 28, characterized in that the glass elements (46) are each incorporated in .einen complex component, in particular in an electrical component, an optoelectronic component or a MEMS module.
30. Verfahren nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, dass der Einbau in einen komplexen Baustein auf Waferebene erfolgt.30. The method according to claim 29, characterized in that the installation takes place in a complex building block at the wafer level.
31. Baustein, insbesondere elektrischer Baustein, optoe- lektronischer Baustein oder MEMS-Baustein, gekennzeichnet durch ein Glaselement (46) hergestellt nach dem Verfahren des Anspruchs 28.31. Component, in particular electrical component, optoelectronic component or MEMS module, characterized by a glass element (46) produced by the method of claim 28.
32. Werkzeugform zur Verwendung in dem Verfahren nach An- spruch 1, gekennzeichnet durch32. Tool mold for use in the method according to claim 1, characterized by
- eine im wesentlichen ebene Grundplatte (1) mit mindestens einer Aussparung (12) und- A substantially flat base plate (1) with at least one recess (12) and
- mindestens einen Stempel (2), wobei - jeweils ein Stempel (2) in eine Aussparung (12) der Grundplatte (1) eingesetzt ist und eine Erhebung oder Vertiefung in Bezug auf die Grundplatte (1) bereitstellt, und der Wärmeausdehnungkoeffizient des mindestens einen Stempels (2) größer ist als der Wärmeausdehungskoeffi- zienten der Grundplatte (1) .- At least one punch (2), wherein - each a punch (2) in a recess (12) of the base plate (1) is inserted and a survey or Recess with respect to the base plate (1) provides, and the coefficient of thermal expansion of the at least one punch (2) is greater than the Wärmeausdehungskoeffi- cient of the base plate (1).
33. Werkzeugform nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Stempel (2) und die zugehörige33. Tool mold according to claim 32, characterized in that the at least one punch (2) and the associated
Aussparung (12) in der Grundplatte (1) jeweils einen Durchmesser derart aufweisen, dass zwischen dem StempelRecess (12) in the base plate (1) each have a diameter such that between the punch
(2) und der die Aussparung (12) begrenzenden Innenfläche (121) der Grundplatte (1) bei Raumtemperatur ein Spalt (5, 6) vorliegt.(2) and the recess (12) defining inner surface (121) of the base plate (1) at room temperature, a gap (5, 6) is present.
34. Werkzeugform nach Anspruch 33, dadurch gekennzeichnet, dass das Spaltmaß und die Wärmeausdehnungskoeffizienten des Stempels (1) und der Grundplatte (1) derart bemessen sind, dass der Spalt (5) bei einer maximalen Arbeitstemperatur im Wesentlichen auf eine Breite gleich Null redu- ziert ist.34. Tool mold according to claim 33, characterized in that the gap dimension and the thermal expansion coefficients of the punch (1) and the base plate (1) are dimensioned such that the gap (5) at a maximum operating temperature substantially to a width equal to zero redu- is decorated.
35. Werkzeugform nach einem der Ansprüche 32 bis 34, gekennzeichnet durch Mittel zum Bereitstellen eines Unterdruckes zwischen der Oberfläche der Grundplatte (1) und ei- ner auf die Grundplatte (1) aufgelegten Glasscheibe.35. Tool mold according to one of claims 32 to 34, characterized by means for providing a negative pressure between the surface of the base plate (1) and a ner on the base plate (1) placed glass.
36. Werkzeugform nach Anspruch 35, dadurch gekennzeichnet, dass zusätzlich eine Auflage (3) vorgesehen ist, auf die die Grundplatte (1) aufgelegt ist, wobei durch die Aufla- ge (3) ein Unterdruck bereitgestellt wird.36. Tool mold according to claim 35, characterized in that in addition a support (3) is provided, on which the base plate (1) is placed, wherein by the support (3) a negative pressure is provided.
37. Werkzeugform nach Anspruch 36, dadurch gekennzeichnet, dass die Auflage (3) mehrere Ringspalte (31) aufweist, über die ein Unterdruck verteilt und an die Spalte (5, 6) angelegt wird, die zwischen Stempel (2) und Aussparung37. Tool mold according to claim 36, characterized in that the support (3) has a plurality of annular gaps (31), distributed over the negative pressure and to the column (5, 6) is applied between the punch (2) and recess
(3) in der Grundplatte (1) ausgebildet sind. (3) are formed in the base plate (1).
38. Werkzeugform nach einem der Ansprüche 32 bis 37, dadurch gekennzeichnet, dass der oder die Stempel (2) rund, oval oder als n-Eck, insbesondere quadratisch oder rechteckig, ausgebildet sind.38. Tool mold according to one of claims 32 to 37, characterized in that the one or more stamp (2) round, oval or n-shaped, in particular square or rectangular, are formed.
39. Werkzeugform nach einem der Ansprüche 32 bis 38, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Aussparungen (12) und Stempel (2) vorgesehen sind, die in Form einer zweidimensionalen Matrix angeordnet sind.39. Tool mold according to one of claims 32 to 38, characterized in that a plurality of recesses (12) and punch (2) are provided, which are arranged in the form of a two-dimensional matrix.
40. Werkzeugform nach einem der Ansprüche 32 bis 39, dadurch gekennzeichnet, dass der oder die Stempel (2) formschlüssig in der Grundplatte (1) angeordnet sind.40. Tool mold according to one of claims 32 to 39, characterized in that the one or more punches (2) are arranged in a form-fitting manner in the base plate (1).
41. Werkzeugform nach einem der Ansprüche 32 bis 40, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl der mindestens eine Stempel (2) als auch die Grundplatte (19) aus Graphit bestehen.41. Tool mold according to one of claims 32 to 40, characterized in that both the at least one punch (2) and the base plate (19) consist of graphite.
42. Werkzeugform nach Anspruch 41, dadurch gekennzeichnet, dass die Grundplatte (1) aus Graphit besteht, der bei 200C einen thermischen Längenausdehnungskoeffizienten zwischen 3 und 4,5 x 10"6/K besitzt, und der oder die Stempel (2) aus einem Graphit bestehen, der bei einer Temperatur von 200C einen thermischen Längenausdehnungs- koeffizienten zwischen 7 und 8,7 x 10~6/K besitzt.42. mold according to claim 41, characterized in that the base plate (1) consists of graphite, which has a coefficient of thermal expansion between 3 and 4.5 x 10 "6 / K at 20 0 C, and the die or the stamp (2) consist of a graphite, which at a temperature of 20 0 C has a thermal coefficient of linear expansion between 7 and 8.7 x 10 ~ 6 / K.
43. Werkzeugform nach einem der Ansprüche 32 bis 40, dadurch gekennzeichnet, dass die Grundplatte (1) aus Bornitrid und der oder die Stempel (2) aus Graphit oder aus Stahl bestehen.43. Tool mold according to one of claims 32 to 40, characterized in that the base plate (1) made of boron nitride and the or the stamp (2) made of graphite or steel.
44. Werkzeugform nach einem der Ansprüche 32 bis 40, dadurch gekennzeichnet, dass die Grundplatte (1) aus Graphit und der oder die Stempel aus Stahl (2) bestehen. 44. Tool mold according to one of claims 32 to 40, characterized in that the base plate (1) made of graphite and the or the punch made of steel (2).
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2518212A (en) * 2013-09-13 2015-03-18 Kaleido Technology Aps A mould and a method of moulding
WO2015180816A1 (en) * 2014-05-30 2015-12-03 Audi Ag Operating element for a motor vehicle, and method for producing a glass panel for a touch-sensitive operating element
CN111138074A (en) * 2020-01-09 2020-05-12 瑞声通讯科技(常州)有限公司 Glass product forming die, forming equipment and processing method
CN113677465A (en) * 2019-04-09 2021-11-19 康宁股份有限公司 Shaped article, method and apparatus for shaping the same, and liquid lens comprising the same
CN114216518A (en) * 2022-01-18 2022-03-22 付涛 Preparation method of alkali metal atom air chamber

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102012020609B4 (en) 2012-10-19 2014-11-27 Audi Ag Operating element for a motor vehicle and method for producing a control element
DE102013221064A1 (en) 2013-10-17 2015-04-23 Robert Bosch Gmbh Cover for a radar sensor for motor vehicles
DE102014110920C5 (en) 2014-07-31 2023-08-03 Schott Ag Shaped glass article with predetermined geometry
KR101735473B1 (en) * 2014-10-30 2017-05-16 삼성전자주식회사 Forming machine of glass
US11753347B2 (en) * 2019-10-14 2023-09-12 Corning Incorporated Rapid forming of glass and ceramics
DE102019216893A1 (en) * 2019-10-31 2021-05-06 Flabeg Deutschland Gmbh Process for forming flat glass into a glass component and forming tool for use in the process

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3422347A1 (en) * 1984-06-15 1985-12-19 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Process for flattening thin glasses
US4822397A (en) * 1987-03-30 1989-04-18 Crossley John W Method for making taxidermic eyes
DE10147648A1 (en) * 2001-09-27 2003-04-17 Berliner Glas Kgaa Production of a passage in a glass pane comprises placing the pane on a negative mold having a recess, pressing and/or drawing the part of the pane lying over the recess of the negative mold, and removing a part of the recess

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6363747B1 (en) * 2000-05-12 2002-04-02 Eastman Kodak Company Glass mold material for precision glass molding

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3422347A1 (en) * 1984-06-15 1985-12-19 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Process for flattening thin glasses
US4822397A (en) * 1987-03-30 1989-04-18 Crossley John W Method for making taxidermic eyes
DE10147648A1 (en) * 2001-09-27 2003-04-17 Berliner Glas Kgaa Production of a passage in a glass pane comprises placing the pane on a negative mold having a recess, pressing and/or drawing the part of the pane lying over the recess of the negative mold, and removing a part of the recess

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2518212A (en) * 2013-09-13 2015-03-18 Kaleido Technology Aps A mould and a method of moulding
WO2015180816A1 (en) * 2014-05-30 2015-12-03 Audi Ag Operating element for a motor vehicle, and method for producing a glass panel for a touch-sensitive operating element
CN106458685A (en) * 2014-05-30 2017-02-22 奥迪股份公司 Operating element for a motor vehicle, and method for producing a glass panel for a touch-sensitive operating element
CN113677465A (en) * 2019-04-09 2021-11-19 康宁股份有限公司 Shaped article, method and apparatus for shaping the same, and liquid lens comprising the same
CN111138074A (en) * 2020-01-09 2020-05-12 瑞声通讯科技(常州)有限公司 Glass product forming die, forming equipment and processing method
CN111138074B (en) * 2020-01-09 2021-07-30 诚瑞光学(常州)股份有限公司 Glass product forming die, forming equipment and processing method
CN114216518A (en) * 2022-01-18 2022-03-22 付涛 Preparation method of alkali metal atom air chamber
CN114216518B (en) * 2022-01-18 2024-03-29 付涛 Preparation method of alkali metal atomic gas chamber

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