WO2007028765A1 - Dispositif d'emission de lumiere avec couche filtrante - Google Patents

Dispositif d'emission de lumiere avec couche filtrante Download PDF

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WO2007028765A1
WO2007028765A1 PCT/EP2006/065886 EP2006065886W WO2007028765A1 WO 2007028765 A1 WO2007028765 A1 WO 2007028765A1 EP 2006065886 W EP2006065886 W EP 2006065886W WO 2007028765 A1 WO2007028765 A1 WO 2007028765A1
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Philippe Ballet
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    • H01S5/2004—Confining in the direction perpendicular to the layer structure
    • H01S5/2018—Optical confinement, e.g. absorbing-, reflecting- or waveguide-layers
    • H01S5/2022—Absorbing region or layer parallel to the active layer, e.g. to influence transverse modes

Definitions

  • the invention relates to the field of light emitting devices as presented for example in the document FR-2 833 757.
  • FIG. 1 represents such a stack described in this prior document, which comprises, between two Bragg mirrors 2, 4, barrier layers 6, 8, a well layer 10 and a stop layer 12.
  • the barrier layer 12 is in CdHgTe, with an alloy composition equal to that of the photon emitter well.
  • the advantage of such a device is that the stop layer 12 no longer induces optical loss and can even participate in the light emission.
  • the participation of this layer in the emission of light is not optimal because the maximum of the electric field, ie the maximum coupling point between the photons and the microcavity, is located at the level of the layer 10 wells.
  • This microcavity of FIG. 1 produces a non-monochromatic radiation but of low spectral width thanks to the coupling with the microcavity. This radiation is for example used to analyze the presence of certain gases.
  • the composition of the well layer is chosen to obtain an optimum spectral overlap between the emitted radiation and the absorption spectrum of the gas considered.
  • Microcavities of this type have a defect, which is to offer an unspecified spectral selectivity.
  • the spectral width of the photoluminescence spectrum is too great to allow complete selectivity via the coupling to the microcavity.
  • Figure 2 shows a spectrum (curve I) of photoluminescence typical of these known structures. This spectrum has a tail 20, on the high energy side, which is intrinsic to the emission of CdHgTe at room temperature. Superimposed on this spectrum is also shown a curve II, or transmission spectrum typical of a pair of Bragg mirrors (Fabry-Perrot resonator) such as those added to the CdHgTe stack to form the final transmitter device.
  • curve I spectrum of photoluminescence typical of these known structures. This spectrum has a tail 20, on the high energy side, which is intrinsic to the emission of CdHgTe at room temperature.
  • curve II or transmission spectrum typical of a pair of Bragg mirrors (Fabry-Perrot resonator) such as those added to the CdHg
  • the finite width of the reflectivity band means that it does not not cover the high energy tail of the photoluminescence spectrum.
  • the final emission of the emitting device is the result of the filtering by the mirrors of the optical emission (photoluminescence). It is visible in Figure 3. We can see the refinement of the main emission line 24 (main advantage of the microcavity) but we also see that the cavity leaves to pass parasitic radiation 26 on the high energy side.
  • this parasitic radiation 26 drastically decreases the spectral selectivity of such a device. Indeed, even if the parasite intensity is much lower than that of the main peak, the former may, however (this is often the case) coincide spectrally with the absorption lines of a compound present in a much larger proportion than the gas to be analyzed. This can be particularly troublesome if the parasitic emission corresponds to the absorption domain of the water molecules.
  • the emission spectrum of the active layer of the transmitter is recentered by the presence of the resonant cavity. This allows other wavelengths to pass outside its reflectivity band, in particular shorter wavelengths.
  • the superposition of the two spectra constitutes the emission spectrum of the transmitter: parasitic wavelengths appear, the presence of which is detrimental to the accuracy of the device.
  • the etching stop layer already present in the stack is used as the filtering layer.
  • This layer therefore plays two roles: that of the stop layer and the filter layer.
  • barrier layer As a barrier layer, it is chemically different from the substrate to be removed; of the more it has a composition that can cut unwanted wavelengths.
  • a material similar to that used in the active layer is preferably chosen, which facilitates the manufacturing process.
  • the invention therefore relates to a light-emitting device comprising, between an input mirror and an output mirror forming a cavity, the latter having a reflectivity band, a stack comprising itself a stop layer of etching and an active layer characterized in that the barrier layer is capable of filtering at least the wavelengths lower than the lower limit of the reflectivity band.
  • the active layer is for example Cd x Hg- x Te, and the stop layer Cd y Hgi_ y Te, with x ⁇ y.
  • the cavity may include two barrier layers of composition Cd z Hgi_ z Te, where y ⁇ z.
  • the active layer is preferably of a material capable of emitting in the infrared range.
  • a device according to the invention may further comprise two Bragg mirrors, the barrier layer being located in the vicinity of the Bragg mirrors.
  • the barrier layer is for example of a thickness between 50 nm and 200 nm.
  • a device according to the invention is for example capable of emitting at least one wavelength absorbed by methane or a carbon oxide or a nitrogen oxide.
  • FIG. 1 represents a device known from the prior art
  • FIG. 2 represents an emission spectrum of a barrier / well / barrier assembly and a transmission spectrum of a pair of Bragg mirrors forming a microcavity
  • FIG. 3 represents the spectrum of a known device, resulting from the microcavity effect
  • FIG. 4 represents a stack according to the invention, with a filter layer and a stop layer combined
  • FIG. 5 represents the spectra of the different elements of a device according to the invention
  • FIG. 6 represents the resulting spectrum for a device according to the invention.
  • FIG. 4 A first exemplary embodiment of the invention is illustrated in FIG. 4.
  • the numerical references identical to those of FIG. 1 designate identical or similar elements.
  • the barrier layer is also a filtering layer 20, for example a CdHgTe layer whose composition is chosen so that this layer absorbs the parasitic radiation.
  • this layer 20 has a Cd content greater than that of the well 10.
  • the barrier layers 6, 8 may also have compositions of CdHgTe type, in which case the Cd content of the layer 20 is between that of the well 10 and that of the barriers 6, 8.
  • the layer 20 does not interfere with the emission at the wavelength of the device and does not participate, either, in the emission at this wavelength.
  • This layer 20 is inserted directly into the structure, it can therefore be produced by epitaxy at the same time as the cavity (barriers 6.8 + well 10).
  • This layer 20 is located directly in the vicinity of the Bragg mirrors 2 or 4, which can be deposited on this same layer.
  • FIG. 5 is equivalent to FIG. 2, but the transmission spectrum III of a thick layer equivalent to the filter layer 20 and whose CdHgTe alloy composition has been chosen to absorb the portion of the photoluminescence spectrum located below the lower cut of the mirrors, that is to say to filter the wavelengths lower than the lower limit of the reflectivity band of the cavity.
  • curve I The spectrum (curve I) of photoluminescence, which has a tail 20, on the high energy side is recognized; superimposed on this spectrum is also represented the curve II, or spectrum of reflectivity typical of a pair of Bragg mirrors (Fabry-Perrot resonator).
  • the resulting emission spectrum is, because of the filter layer, purged from the parasitic emission 26 visible in FIG.
  • the filter layer 20 may not be a thick layer (it has for example a thickness of between 50 nm and 200 nm). Its absorption efficiency may therefore be less than that shown in Figure 5.
  • this disadvantage is offset by the fact that the photons perform multiple back and forth in the cavity before being extracted via the output mirror. In the end, the emission spectrum of the transmitter will be effectively free of any parasitic emission high energy side. The spectral selectivity of this type of structure is thus ensured by the addition, in the structure, of the filter layer.
  • the stack is produced according to a method comprising the following steps.
  • a filter layer 20 which also has the function of a barrier layer,
  • a barrier layer 8 A first mirror is then deposited. By etching until the stop layer, we remove the substrate. On the released surface is deposited the second mirror.
  • the filter / stop layer has a cadmium composition greater than that of the emitting layer and lower than that of the barrier layers. Its thickness may be low because it is located in the cavity.
  • the structure of a cavity according to the invention is the following:
  • the cadmium composition x of the filter / barrier layer can take all the values between the composition Cd of the emitting layer and that of the emitting layer. (z) barriers.
  • the thickness of this layer can typically vary between 50 nm and 200 nm. The thicknesses of the other layers, in particular those of the barrier layers, will then be recalculated to maintain a cavity " ⁇ ".
  • gases can also be detected by adapting the composition of the material, for example carbon oxides (CO, and / or CO2) and / or nitrogen oxides (NO).
  • CO carbon oxides
  • NO nitrogen oxides
  • other materials can be used, for example GaInAsSb compounds with all possible compositions such as ternary GaAsSb and InAsSb.

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Abstract

L'invention concerne un dispositif d'émission de lumière comportant, entre un miroir d'entrée (2) et un miroir de sortie (4) formant une cavité, celle-ci Présentant une bande de réflectivité, un empilement comportant lui-même une couche d'arrêt de gravure (12) et une couche active (10) caractérisé en ce que la couche d'arrêt est apte à filtrer au moins les longueurs d'onde inférieures à la limite inférieure de la bande de réflectivité.

Description

DISPOSITIF D'EMISSION DE LUMIERE AVEC COUCHE FILTRANTE
DESCRIPTION
DOMAINE TECHNIQUE ET ART ANTÉRIEUR
L' invention concerne le domaine des dispositifs d'émission de lumière tels que présentés par exemple dans le document FR-2 833 757.
Dans ce document est décrit un procédé de fabrication d'un dispositif d'émission de lumière pour lequel une couche d' arrêt est insérée dans la structure.
La figure 1 représente un tel empilement décrit dans ce document antérieur, qui comporte, entre deux miroirs de Bragg 2, 4, des couches barrière 6, 8, une couche de puits 10 et une couche d'arrêt 12. La couche d'arrêt 12 est en CdHgTe, avec une composition d'alliage égale à celle du puits 10 émetteur de photons . L'avantage d'un tel dispositif est que la couche d'arrêt 12 n'induit plus de perte optique et peut même participer à l'émission de lumière. En pratique, la participation de cette couche à l'émission de lumière n'est pas optimale car le maximum du champ électrique, c'est à dire le lieu de couplage maximal entre les photons et la microcavité, est situé au niveau de la couche 10 de puits. Cette microcavité de la figure 1 produit un rayonnement non monochromatique mais de largeur spectrale faible grâce au couplage avec la microcavité. Ce rayonnement est par exemple utilisé pour analyser la présence de certains gaz. Pour cela, la composition de la couche de puits est choisie pour obtenir un recouvrement spectral optimal entre le rayonnement émis et le spectre d'absorption du gaz considéré.
Les microcavités de ce type ont un défaut, qui est d' offrir une sélectivité spectrale non garantie. La largeur spectrale du spectre de photoluminescence est trop importante pour permettre une sélectivité complète via le couplage à la microcavité . La figure 2 montre un spectre (courbe I) de photoluminescence typique de ces structures connues. Ce spectre présente une queue 20, du coté des hautes énergies, qui est intrinsèque à l'émission de CdHgTe à température ambiante. Superposé à ce spectre est également représentée une courbe II, ou spectre de transmission typique d'un couple de miroirs de Bragg (résonateur Fabry-Perrot) tels que ceux qui sont rajoutés à l'empilement CdHgTe pour former le dispositif émetteur final. La bande de réflectivité des miroirs (%T=0) a une largeur finie et présente, à la longueur d'onde λr de résonance, un pic de transmission 22. La largeur finie de la bande de réflectivité fait que celle-ci ne couvre pas la queue haute énergie 20 du spectre de photoluminescence. L'émission finale du dispositif émetteur est la résultante du filtrage par les miroirs de l'émission optique (photoluminescence) . Elle est visible sur la figure 3. On voit bien l'affinement de la raie principale d'émission 24 (principal avantage de la microcavité) mais on voit aussi que la cavité laisse passer du rayonnement 26 parasite du côté des hautes énergies .
La présence de ce rayonnement parasite 26 diminue drastiquement la sélectivité spectrale d'un tel dispositif. En effet, même si l'intensité parasite est très inférieure à celle du pic principal, la première peut cependant (c'est fréquemment le cas) coïncider spectralement avec les raies d'absorption d'un composé présent en beaucoup plus grande proportion que le gaz à analyser. Cela peut-être particulièrement gênant si l'émission parasite correspond au domaine d'absorption des molécules d'eau.
Le spectre d'émission de la couche active de l'émetteur est recentré par la présence de la cavité résonante. Celle-ci laisse passer d'autres longueurs d'onde en dehors de sa bande de réflectivité, en particulier des longueurs d'onde plus courtes. La superposition des deux spectres constitue le spectre d'émission de l'émetteur : il apparaît alors des longueurs d'onde parasites dont la présence est préjudiciable à la précision du dispositif.
EXPOSÉ DE L'INVENTION
Selon l'invention, afin de filtrer ces longueurs d'onde gênantes, on met en œuvre, en tant que couche filtrante, la couche d'arrêt de gravure déjà présente dans l'empilement. Cette couche joue donc deux rôles : celui de couche d' arrêt et de couche de filtrage .
En tant que couche d'arrêt, elle est chimiquement différente du substrat à éliminer ; de plus elle a une composition qui permet de couper les longueurs d'onde indésirables.
Pour cette couche filtrante, on choisit de préférence un matériau voisin de celui utilisé dans la couche active, ce qui facilite le procédé de fabrication .
Ainsi, pour une couche en CdHgTe, sa composition est choisie de manière à absorber le rayonnement parasite. L'invention concerne donc un dispositif d'émission de lumière comportant, entre un miroir d'entrée et un miroir de sortie formant une cavité, celle-ci présentant une bande de réflectivité, un empilement comportant lui-même une couche d'arrêt de gravure et une couche active caractérisé en ce que la couche d'arrêt est apte à filtrer au moins les longueurs d'onde inférieures à la limite inférieure de la bande de réflectivité.
La couche active est par exemple en CdxHgi-xTe , et la couche d' arrêt en CdyHgi_yTe , avec x < y .
Si la couche d'arrêt est en CdyHgi_yTe, la cavité peut comporter deux couches barrières de composition CdzHgi_zTe, avec y < z. La couche active est de préférence en un matériau apte à émettre dans le domaine infrarouge.
Un dispositif selon l'invention peut comporter en outre deux miroirs de Bragg, la couche d'arrêt étant située au voisinage des miroirs de Bragg. La couche d'arrêt est par exemple d'une épaisseur comprise entre 50 nm et 200 nm. Un dispositif selon l'invention est par exemple apte à émettre au moins une longueur d' onde absorbée par le méthane ou un oxyde de carbone ou un oxyde d'azote.
BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS
- La figure 1 représente un dispositif connu de l'art antérieur,
- la figure 2 représente un spectre d'émission d'un ensemble barrière/puits/barrière et un spectre de transmission d'un couple de miroirs de Bragg formant une microcavité,
- la figure 3 représente le spectre d'un dispositif connu, résultant de l'effet de microcavité
(filtrage de la luminescence par les miroirs) , - la figure 4 représente un empilement selon l'invention, avec couche filtrante et couche d'arrêt confondues,
- la figure 5 représente les spectres des différents éléments d'un dispositif selon l'invention, - la figure 6 représente le spectre résultant pour un dispositif selon l'invention.
EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS
Un premier exemple de réalisation de l'invention est illustré en figure 4. Les références numériques identiques à celles de la figure 1 désignent des éléments identiques ou similaires.
Dans cette structure d'un dispositif d'émission selon l'invention la couche d'arrêt est également une couche filtrante 20, par exemple une couche en CdHgTe dont la composition est choisie pour que cette couche absorbe le rayonnement parasite. Dans le cas où la couche 10 est également en CdHgTe, cette couche 20 a une teneur en Cd supérieure à celle du puits 10. Les couches barrières 6, 8 peuvent aussi avoir des compositions de type CdHgTe, auquel cas la teneur en Cd de la couche 20 est comprise entre celle du puits 10 et celle des barrières 6, 8.
La couche 20 ne gêne donc pas l'émission à la longueur d'onde du dispositif et ne participe pas, non plus, à l'émission à cette longueur d'onde.
Cette couche 20 est insérée directement dans la structure, elle peut donc être réalisée par épitaxie en même temps que la cavité (barrières 6,8 + puits 10) .
Cette couche 20 est située directement au voisinage des miroirs de Bragg 2 ou 4, qui peuvent être déposés sur cette même couche.
La figure 5 est équivalente à la figure 2 mais on y a ajouté le spectre III de transmission d'une couche épaisse équivalente à la couche filtre 20 et dont la composition d'alliage CdHgTe a été choisie pour absorber la partie du spectre de photoluminescence située en dessous de la coupure inférieure des miroirs, c'est-à-dire pour filtrer les longueurs d'onde inférieures à la limite inférieure de la bande de réflectivité de la cavité.
On reconnaît le spectre (courbe I) de photoluminescence, qui présente une queue 20, du coté des hautes énergies ; superposée à ce spectre est également représentée la courbe II, ou spectre de réflectivité typique d'un couple de miroirs de Bragg (résonateur Fabry-Perrot) .
Le spectre d'émission résultant est, du fait de la couche filtre, purgé de l'émission parasite 26 visible en figure 3.
La couche filtre 20 peut ne pas être une couche épaisse (elle a par exemple une épaisseur comprise entre 50 nm et 200 nm) . Son efficacité d'absorption pourra donc être moindre que celle présentée sur la figure 5. Cependant cet inconvénient est compensé par le fait que les photons effectuent des allers-retours multiples dans la cavité avant d'être extraits via le miroir de sortie. Au final, le spectre d'émission de l'émetteur sera efficacement débarrassé de toute émission parasite côté hautes énergies. La sélectivité spectrale de ce type de structures est donc assurée par l'ajout, dans la structure, de la couche filtre.
Selon un exemple de réalisation d'un dispositif selon l'invention, avec couche d'arrêt cumulant la fonction de filtre, l'empilement est élaboré selon un procédé comportant les étapes suivantes. Sur un substrat, on fait croître, par exemple par épitaxie : - une couche filtre 20 qui possède aussi la fonction de couche d'arrêt,
- une couche barrière 6,
- une couche émettrice 10,
- une couche barrière 8. On dépose ensuite un premier miroir. Par gravure jusqu'à la couche d'arrêt, on supprime le substrat. Sur la surface libérée est déposé le deuxième miroir .
La couche filtre/arrêt a une composition en cadmium supérieure à celle de la couche émettrice et inférieure à celle des couches barrière. Son épaisseur peut être faible car elle est située dans la cavité.
Elle bénéficie donc des allers-retours des photons dans cette cavité.
Par exemple, pour un émetteur qui est prévu pour détecter le CH4 (à 3,31 μm) et pour une microcavité dite « λ » (microcavité dont l'épaisseur vaut exactement λ/n, où λ est la longueur d'onde des photons
(ici : 3.31 μm) et où n est l'indice du matériau), la structure d'une cavité selon l'invention est la suivante :
- substrat,
- miroir : 3 bicouches ZnS/YF3 d'épaisseur par exemple 2700 nm,
- couche 20 filtre/arrêt : composition en cadmium 0.40 (CdxHgi_xTe, x = 0,4), d'épaisseur 100 nm,
- couche barrière 6 : composition en cadmium 0.65 (CdzHgi_zTe, z = 0,65), épaisseur 350nm,
- couche émettrice 10: composition 0.36 en cadmium (CdyHgi_yTe, y = 0,36), d'épaisseur 200 nm, - couche barrière 8 : composition en cadmium 0.65 (CdzHgi_zTe, z = 0,65), épaisseur 430 nm,
- miroir : 6 bicouches ZnS/YF3 d'épaisseur par exemple 5400 nm.
La composition x en cadmium de la couche filtre/barrière peut prendre toutes les valeurs entre la composition y en Cd de la couche émettrice et celle (z) des barrières. L'épaisseur de cette couche peut varier typiquement entre 50 nm et 200nm. Les épaisseurs des autres couches, notamment celles des couches barrières, seront alors recalculées pour conserver une cavité "λ".
D'autres gaz peuvent aussi être détectés en adaptant la composition du matériau, par exemple les oxydes de carbone (CO, et/ou CO2) et/ou les oxydes d' azote (NO) . Par ailleurs, d'autres matériaux peuvent être utilisés comme par exemple les composés GaInAsSb avec toutes les compositions possibles comme les ternaires GaAsSb et InAsSb.

Claims

REVENDICATIONS
1. Dispositif d'émission de lumière comportant, entre un miroir d'entrée (2) et un miroir de sortie (4) formant une cavité, celle-ci présentant une bande de réflectivité, un empilement comportant lui-même une couche d'arrêt de gravure (20) et une couche active (10) caractérisé en ce que la couche d'arrêt est apte à filtrer au moins les longueurs d'onde inférieures à la limite inférieure de la bande de réflectivité, la couche active (10) étant en CdxHgχ_ xTe, et la couche d'arrêt (20) en CdyHgi_yTe, avec x < y.
2. Dispositif selon l'une des revendications 1, la couche active (10) étant en un matériau apte à émettre dans le domaine infrarouge.
3. Dispositif selon l'une des revendications 1 ou 2, la couche d'arrêt (10) étant en CdyHgi-yTe, la cavité comportant en outre deux couches barrières (6, 8) de composition CdzHgi_zTe, avec y < z.
4. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 3, les miroirs d'entrée et de sortie étant deux miroirs de Bragg (2, 4), la couche d'arrêt étant située au voisinage des miroirs de Bragg.
5. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 4, la couche d'arrêt (20) ayant une épaisseur comprise entre 50 nm et 200 nm.
6. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, apte à émettre au moins une longueur d' onde absorbée par le méthane ou un oxyde de carbone ou un oxyde d'azote.
PCT/EP2006/065886 2005-09-05 2006-08-31 Dispositif d'emission de lumiere avec couche filtrante WO2007028765A1 (fr)

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