WO2007020008A2 - Motion device having a double-sided suction bar - Google Patents

Motion device having a double-sided suction bar Download PDF

Info

Publication number
WO2007020008A2
WO2007020008A2 PCT/EP2006/007916 EP2006007916W WO2007020008A2 WO 2007020008 A2 WO2007020008 A2 WO 2007020008A2 EP 2006007916 W EP2006007916 W EP 2006007916W WO 2007020008 A2 WO2007020008 A2 WO 2007020008A2
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
suction
suction bar
movement device
axis movement
axis
Prior art date
Application number
PCT/EP2006/007916
Other languages
German (de)
French (fr)
Other versions
WO2007020008A3 (en
Inventor
Josef Moser
Original Assignee
Josef Moser
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE102005038976.7A external-priority patent/DE102005038976B4/en
Application filed by Josef Moser filed Critical Josef Moser
Priority to JP2008526414A priority Critical patent/JP2009505410A/en
Publication of WO2007020008A2 publication Critical patent/WO2007020008A2/en
Publication of WO2007020008A3 publication Critical patent/WO2007020008A3/en

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/02—Gripping heads and other end effectors servo-actuated
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
    • B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices

Definitions

  • the invention according to the earlier main patent application DE 10 2004 007 558.1 relates to the production of a multi-axis motion device based on articulated rockers and a drive system in which a moving part is moved with a sinusoidal movement as possible by means of a suction bar, its application for general manipulation tasks, in particular the printed circuit board industry, semiconductor industry, for the production of displays, in the automotive industry and the like fields of application.
  • Such multiaxial movement devices which move a part to be moved by means of articulated oscillations, are currently used for a wide variety of manipulation tasks which are intended to reduce the manufacturing costs of the movement device and production time.
  • the movement device described in the earlier application DE 10 2004 007 558.1 improves the movement sequence for the manipulation of parts and objects with regard to the expense of a control for such complicated movement sequences, since an almost sinusoidal movement sequence forms a flowing movement sequence, wherein the movement devices known from the prior art curve linear Forming sequences of movements which execute jerky movement transitions between the respective movement sub-sequences. This also leads to an increase in production time.
  • the production time is also influenced by the use of a suction bar according to the earlier application DE 10 2004 007 558.1, since this can only accommodate a single part for manipulation, so that an improvement of this suction bar also leads to an optimization of the manipulation time and the entire production time.
  • the object of the present invention is accordingly to develop a movement device with a suction bar according to the main patent DE 10 2004 007 558.1 in such a way that a further optimization of the manipulation time leads to an overall reduced production time.
  • suction openings extending in the longitudinal direction of the suction bar are at an angle of 180 ° to one another.
  • the invention is not limited thereto. They can also be arranged at an angle of 90 ° to each other.
  • the invention also relates to all angular range between 90 ° and 180 °.
  • the term used in claim 1 "suction openings arranged on both sides" thus relates to all four sides of a cuboid.
  • sowing holes are on opposite sides.
  • the invention is not limited thereto. It is also envisaged to arrange the suction openings at an angle of 90 °, ie on immediately adjacent sides.
  • suction bar according to the invention is used on table devices application, which make it necessary to insert and remove a substrate.
  • the necessary manipulation time of printed circuit boards on tabletop devices is thereby reduced to about 1/3 of the conventional manipulation time.
  • the moving means comprises a suction bar, which on both sides of the arrangement of a suction device for receiving printed circuit boards, substrates, wafers or the like plate-shaped objects and the suction bar has a rotary bearing, which a rotational movement of at least 180 ° to 360 ° executes about its axially extending longitudinal axis.
  • a suction bar with a suction device for two-sided circuit boards and the like for example, from a stack or from a magazine from a substrate and moves the suction bar or the recording bar with the free pickup point on the suction device to the finished substrate on the tabletop or slanting device and takes there Substrate off.
  • the suction bar rotates about 180 ° and places / transfers the new substrate to the receiving table of the table unit.
  • the still existing on one side of the suction bar substrate is moved to another device or magazine and transferred for further processing.
  • the suction bar also serve several input-output devices and thereby substrates can be exchanged as well as moved out and be removed from pass lines or magazines or placed in pass lines or stored in magazines or assumes a waiting position, as such table devices or Angular or vertical devices process substrates in sequence.
  • the input area corresponds to the output area.
  • the double-sided suction bar according to the invention is not limited to the embodiment with a suction device. Rather, all known to the prior art handling devices, such as the arrangement of gripping tongs, gripping arms and the like holding systems claimed in such a movement device.
  • Such an embodiment of a suction bar has the significant advantage that the suction bar according to the invention is now able to receive a sheet-like material to be processed on each side by means of a corresponding suction device and due to its degrees of freedom according to the main patent DE 10 2004 007 558.1 manipulation tasks with an optimized manipulation time or production time of input and output devices. Moreover, it is necessary for a two-sided suction bar of table systems (input and output devices) in which substrates are inserted separately for processing and then removed again a control is necessary, which quickly and precisely implements the necessary movements and works smoothly ,
  • the one-sided suction bar has a relatively flat construction.
  • the suction bar according to the invention each have on its opposite sides suction devices, which are designed for receiving and transporting each of a sheet-like substrate.
  • the lower side of the suction bar is directed toward the finished substrate for receiving an already processed substrate.
  • the processed substrate is picked up by the suction bar, the suction bar performs, for example, a 180 ° rotation and places the substrate still to be processed on the table of the processing machine.
  • the movement device travels with the already processed substrate to a waiting position in front of another processing machine or to a magazine and deposits the processed substrate.
  • the movement device preferably carries out transport movements when the double-sided suction bar is equipped with at least one substrate to be transported.
  • the invention should not be limited to the use of a suction bar, which performs a rotational movement of almost 180 ° and in particular up to 360 °. Rather, all known prior art drive systems for such rotational movements claimed in the invention.
  • the suction devices are acted upon by means of a corresponding control, depending on the nature of the work task to be performed with a vacuum for sucking and holding the substrate. It is envisaged that the suction devices can be controlled on each side, so that each side can be subjected to vacuum independently.
  • each side of the suction bar can, independently of one another, form or deposit a substrate.
  • Figure 1 a schematic representation of a multi-axis movement device according to the earlier application DE 10 2004 007 558.1 with three axes and a double-sided suction bar;
  • Figure 2 is a schematic representation of a two-sided suction bar with suction device and pivot bearing
  • FIG. 3 shows a perspective view of a movement device with a suction bar with suction devices arranged on two sides.
  • the movement device 1 shown in Figure 1 shows a movement device 1 with three axes 7, 8, 9 according to the earlier application DE 10 2004 007 558.1.
  • the axis 7 represents the main axis for driving the first arm 3.
  • the second axis 8 moves the second arm 8 and the third axis 9 moves the bilateral suction bar 40.
  • the connection between the axis 9 and the bilateral suction bar 40 is by means of a standstill
  • the axis 9 is rotatably mounted on the shaft bearings 46, 47 in the arm 4, so that the entire suction bar 40 by means of a corresponding drive 15 performs a rotational movement up to 180 ° and in particular up to 360 ° in the direction of rotation 50 about the axial axis of rotation 49.
  • This axle receptacle also serves as a connecting part between an upper and lower frame 42, 43, which in turn serves to receive the suction devices 6.
  • the suction devices 6 are controlled separately by means of a corresponding control 24 via the cable guide 19 to pages and supplied with a gaseous medium, so that upon appropriate control, the suction devices 6 generate a vacuum according to the Venturi principle and perform the recording of printed circuit boards 16 or the like.
  • the separate control of the suction devices 6 is used for reciprocal or simultaneous recording of printed circuit boards, substrates or the like 16, 46 on the lower and upper side 44, 45 of the Saugbalkenrahmens 42, 43rd
  • the suction bar 40 preferably has a flat design in order to have to move the moving device as little as necessary from the work area when performing a rotary movement of the suction bar for changing substrates 16, 46.
  • FIG. 2 shows an enlarged view of a suction bar 40 according to the invention with suction devices 6 arranged on both sides for receiving and transporting printed circuit boards, substrates, wafers or the like 16, 46.
  • FIG. 3 shows a suction bar 40 according to the invention according to FIG. 1 and FIG. 2 with suction devices 6 arranged on both sides in a perspective view.

Abstract

The invention relates to a multi-axle motion device (1) having a substantially sinusoidal sequence of motions of the gripper which is arranged on the free end of an arm (3, 4) that has a multi-axle drive. Every arm is associated with a stepping drive motor (13, 14, 15) and the stepping motors for driving the independent axles (7, 8, 9) operate independently of each other and in a self-sufficient manner, one stepping motor not giving any feedback to the other stepping motor. The invention is characterized in that the motion device comprises a suction bar (40) which, at both ends, is configured as a suction device for receiving printed circuits, substrates, wavers or the like.

Description

Bewegunqseinrichtung mit sinusförmigem Bewegungsablauf (Zusatzanmeldung zu DE 10 2004 007 558.1 ) Moving device with sinusoidal motion sequence (additional application to DE 10 2004 007 558.1)
Die Erfindung gemäß der älteren Hauptpatentanmeldung DE 10 2004 007 558.1 betrifft die Herstellung einer mehrachsigen Bewegungseinrichtung auf Basis von Knickschwingen und einem Antriebssystem, bei dem ein zu bewegendes Teil mit einem möglichst sinusförmigen Bewegungsablauf mittels eines Saugbalkens bewegt wird, dessen Anwendung für allgemeine Manipulationsaufgaben, insbesondere in der Leiterplattenindustrie, Halbleiterindustrie, zur Herstellung von Displays, in der Automobilindustrie und dergleichen Anwendungsbereichen ist.The invention according to the earlier main patent application DE 10 2004 007 558.1 relates to the production of a multi-axis motion device based on articulated rockers and a drive system in which a moving part is moved with a sinusoidal movement as possible by means of a suction bar, its application for general manipulation tasks, in particular the printed circuit board industry, semiconductor industry, for the production of displays, in the automotive industry and the like fields of application.
Derartige mehrachsige Bewegungseinrichtungen, welche ein zu bewegendes Teil mittels Knickschwingen bewegen, werden in der heutigen Zeit für unterschiedlichste Manipulationsaufgaben verwendet, welche die Herstellkosten der Bewegungseinrichtung sowie Produktionszeit verringern sollen.Such multiaxial movement devices, which move a part to be moved by means of articulated oscillations, are currently used for a wide variety of manipulation tasks which are intended to reduce the manufacturing costs of the movement device and production time.
Die in der älteren Anmeldung DE 10 2004 007 558.1 beschriebene Bewegungseinrichtung verbessert den Bewegungsablauf zur Manipulation von Teilen und Gegenständen hinsichtlich des Kostenaufwands einer Steuerung für derartig komplizierte Bewegungsabläufe, da ein nahezu sinusförmiger Bewegungsablauf einen fließenden Bewegungsablauf ausbildet, wobei die zum Stand der Technik bekannten Bewegungseinrichtungen kurvenlineare Bewegungsabläufe ausbilden, welche ruckweise Bewegungsübergänge zwischen den jeweiligen Bewegungsteilabläufen ausführen. Dies führt ebenfalls zu einer Erhöhung der Produktionszeit.The movement device described in the earlier application DE 10 2004 007 558.1 improves the movement sequence for the manipulation of parts and objects with regard to the expense of a control for such complicated movement sequences, since an almost sinusoidal movement sequence forms a flowing movement sequence, wherein the movement devices known from the prior art curve linear Forming sequences of movements which execute jerky movement transitions between the respective movement sub-sequences. This also leads to an increase in production time.
Die Produktionszeit wird durch den Einsatz eines Saugbalkens gemäß der älteren Anmeldung DE 10 2004 007 558.1 ebenfalls beeinflusst, da dieser lediglich ein einzelnes Teil zur Manipulation aufnehmen kann, so dass eine Verbesserung dieses Saugbalkens ebenfalls zu einer Optimierung der Manipulationszeit sowie der gesamten Produktionszeit führt. Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht demnach darin, , eine Bewegungseinrichtung mit einem Saugbalken nach dem Hauptpatent DE 10 2004 007 558.1 derart weiterzubilden, dass eine weitere Optimierung der Manipulationszeit zu insgesamt einer verringerten Produktionszeit führt.The production time is also influenced by the use of a suction bar according to the earlier application DE 10 2004 007 558.1, since this can only accommodate a single part for manipulation, so that an improvement of this suction bar also leads to an optimization of the manipulation time and the entire production time. The object of the present invention is accordingly to develop a movement device with a suction bar according to the main patent DE 10 2004 007 558.1 in such a way that a further optimization of the manipulation time leads to an overall reduced production time.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die technische Lehre des aufgeführten Anspruches 1 gekennzeichnet.This object is according to the invention characterized by the technical teaching of the listed claim 1.
Wesentlich hierbei ist, dass ein beidseitig „fliegender" Saugbalken mit einem zusätzlichen Freiheitsgrad insgesamt zwei flächenförmige Bearbeitungsteile (Substrate) bewegt.It is essential here that a double-sided "flying" suction bar with an additional degree of freedom moves a total of two planar processing parts (substrates).
Es wird bevorzugt, wenn die sich in Längsrichtung des Saugbalkens erstreckenden Saugöffnungen im Winkel von 180° zueinander stehen. Hierauf ist die Erfindung jedoch nicht beschränkt. Sie können auch in einem Winkel von 90° zueinander angeordnet werden. Selbstverständlich betrifft die Erfindung auch alle Winkelbereich zwischen 90° und 180°. Der im Anspruch 1 verwendete Begriff „beidseitig angeordnete Saugöffnungen" betrifft somit alle vier Seiten eines Quaders.It is preferred if the suction openings extending in the longitudinal direction of the suction bar are at an angle of 180 ° to one another. However, the invention is not limited thereto. They can also be arranged at an angle of 90 ° to each other. Of course, the invention also relates to all angular range between 90 ° and 180 °. The term used in claim 1 "suction openings arranged on both sides" thus relates to all four sides of a cuboid.
So wird es zwar bevorzugt, wenn die Sauöffnungen auf zueinander gegenüberliegenden Seiten liegen. Hierauf ist die Erfindung jedoch nicht beschränkt. Es ist auch vorgesehen, die Saugöffnungen im Winkel von 90°, also an unmittelbar benachbarten Seiten anzuordnen.So it is indeed preferred if the sowing holes are on opposite sides. However, the invention is not limited thereto. It is also envisaged to arrange the suction openings at an angle of 90 °, ie on immediately adjacent sides.
Bisher wurde dies in der Leiterplattenindustrie noch nicht realisiert und ist speziell für jene Art von Geräten sinnvoll, die mit einem verfahrbaren Tisch arbeiten, beispielsweise ein AOI (Automatic Optical Inspection)-Gerät, Direct Imaging Gerät, ein Legend-Printing Gerät, ein EL-Test-Gerät, eine Bohrmaschine und dergleichen, sowie Ein- und Ausgabegeräte.So far, this has not yet been realized in the circuit board industry and is particularly useful for those types of devices that work with a movable table, such as an AOI (Automatic Optical Inspection) device, Direct Imaging device, a Legend Printing device, an EL Test device, a drill and the like, as well as input and output devices.
Durchlaufanlagen, für die bisher die meisten Automaten konzipiert wurden sind für die Anwendung eines erfindungsgemäßen Saugbalkens weniger geeignet, können damit jedoch ebenfalls ausgerüstet werden. Bevorzugt findet der erfindungsgemäße Saugbalken auf Tischgeräten Anwendung, welche ein Einlegen und Herausnehmen eines Substrates erforderlich machen.Continuous systems, for which most machines have been designed so far are less suitable for the application of a suction bar according to the invention, but can thus also be equipped. Preferably, the suction bar according to the invention is used on table devices application, which make it necessary to insert and remove a substrate.
Die notwendige Manipulationszeit von Leiteplatten an Tischgeräten wird hierdurch auf ungefähr 1/3 der herkömmlichen Manipulationszeit reduziert.The necessary manipulation time of printed circuit boards on tabletop devices is thereby reduced to about 1/3 of the conventional manipulation time.
Wichtig bei der Erfindung ist, dass die Bewegungseinrichtung einen Saugbalken aufweist, welcher beidseitig die Anordnung einer Saugvorrichtung zur Aufnahme von Leiterplatten, Substraten, Wafern oder dergleichen plattenförmige Gegenstände ausbildet und der Saugbalken eine Drehlagerung aufweist, welche eine Drehbewegung von mindestens 180° bis zu 360° um seine axial verlaufende Längsachse ausführt. Dadurch können von beiden gegenüber liegenden Seiten des Saugbalkens Gegenstände von einer Fläche aufgenommen und an anderer Stelle wieder abgelegt werden.Important in the invention is that the moving means comprises a suction bar, which on both sides of the arrangement of a suction device for receiving printed circuit boards, substrates, wafers or the like plate-shaped objects and the suction bar has a rotary bearing, which a rotational movement of at least 180 ° to 360 ° executes about its axially extending longitudinal axis. As a result, objects from one surface can be picked up by two opposite sides of the suction bar and deposited again at another location.
Ein Saugbalken mit einer zweiseitig ausgebildeten Saugvorrichtung für Leiterplatten und dergleichen nimmt beispielsweise von einem Stapel oder aus einem Magazin ein Substrat ab und bewegt den Saugbalken beziehungsweise den Aufnahmebalken mit der freien Aufnahmestelle an der Saugvorrichtung zum fertig bearbeiteten Substrat an dem Tischgerät beziehungsweise Schräggerät und nimmt dort dieses Substrat ab.A suction bar with a suction device for two-sided circuit boards and the like, for example, from a stack or from a magazine from a substrate and moves the suction bar or the recording bar with the free pickup point on the suction device to the finished substrate on the tabletop or slanting device and takes there Substrate off.
Danach führt der Saugbalken eine Drehbewegung um ca. 180° aus und legt/übergibt das neue Substrat auf den Aufnahmetisch des Tischgerätes ab.Thereafter, the suction bar rotates about 180 ° and places / transfers the new substrate to the receiving table of the table unit.
Danach wird das noch an der einen Seite des Saugbalkens vorhandene Substrat zu einem anderen Gerät oder Magazin bewegt und zur weiteren Bearbeitung übergeben.Thereafter, the still existing on one side of the suction bar substrate is moved to another device or magazine and transferred for further processing.
Nach der Übergabe des Substrates an ein weiteres Bearbeitungsgerät oder eine Bearbeitungslinie kann nunmehr die Bewegungseinrichtung mit dem Saugbalken ohne Substrat(e) in die ursprüngliche Ausgangslage zurückgefahren werden und der Vorgang wird erneut gestartet. Es kann jedoch die Bewegungseinrichtung mit den Saugbalken auch mehrere Ein-Ausgabegeräte bedienen und dabei können Substrate ausgetauscht werden als auch hinein- oder herausgefahren werden und derart von Durchlauflinien oder von Magazinen abgenommen werden oder in Durchlauflinien gelegt werden oder in Magazine abgelegt werden oder nimmt eine Warteposition ein, da derartige Tischgeräte beziehungsweise Schräg- oder Vertikalgeräte Substrate der Reihe nach bearbeiten.After the transfer of the substrate to another processing device or a processing line can now be moved back the moving means with the suction bar without substrate (s) in the original starting position and the process is restarted. However, it can with the movement device The suction bar also serve several input-output devices and thereby substrates can be exchanged as well as moved out and be removed from pass lines or magazines or placed in pass lines or stored in magazines or assumes a waiting position, as such table devices or Angular or vertical devices process substrates in sequence.
Vorzugsweise entspricht bei derartigen Maschinen per Definition der Eingabebereich dem Ausgabebereich .Preferably, in such machines by definition, the input area corresponds to the output area.
Durch den Einsatz eines derartigen Systems (Roboter), welches mit einem zweiseitigen Saugbalken ausgebildet ist, werden Geräte mit einem Eingabe- und Ausgabebereich sehr effizient automatisiert, wodurch die operative Zeit gegenüber dem Stand der Technik verringert wird und derart der Wirkungsgrad eines Ein- und Ausgabegerätes erhöht wird.By using such a system (robot), which is formed with a two-sided suction bar, devices with an input and output area are automated very efficiently, whereby the operating time is reduced compared to the prior art and thus the efficiency of an input and output device is increased.
Die gilt natürlich nicht nur für Leiterplatten und Halbleitersubstrate, sondern generell für plattenförmige Substrate.Of course, this does not only apply to printed circuit boards and semiconductor substrates, but generally to plate-shaped substrates.
Der erfindungsgemäße doppelseitige Saugbalken ist jedoch nicht auf die Ausführung mit einer Saugeinrichtung beschränkt. Vielmehr werden alle zum Stand der Technik bekannten Handhabungsvorrichtungen, wie zum Beispiel die Anordnung von Greifzangen, Greifarmen und dergleichen Festhaltesysteme an einer derartigen Bewegungseinrichtung beansprucht.However, the double-sided suction bar according to the invention is not limited to the embodiment with a suction device. Rather, all known to the prior art handling devices, such as the arrangement of gripping tongs, gripping arms and the like holding systems claimed in such a movement device.
Eine derartige Ausführungsform eines Saugbalkens weist den wesentlichen Vorteil auf, dass der erfindungsgemäße Saugbalken nunmehr in der Lage ist auf jeder Seite ein flächenförmiges Bearbeitungsgut mittels einer entsprechenden Saugvorrichtung aufzunehmen und auf Grund seiner erfindungsgemäßen Freiheitsgrade nach dem Hauptpatent DE 10 2004 007 558.1 Manipulationsaufgaben mit einer optimierten Manipulationszeit beziehungsweise Produktionszeit von Ein- und Ausgabegeräten auszuführen. Darüber hinaus ist es erforderlich, dass für einen zweiseitigen Saugbalken von Tisch-Systemen (Ein- und Ausgabegeräten), in denen Substrate zur Bearbeitung separat eingelegt und danach wieder entnommen werden eine Steuerung notwendig ist, welche die notwendigen Bewegungsabläufe rasch und präzise realisiert und störungsfrei arbeitet.Such an embodiment of a suction bar has the significant advantage that the suction bar according to the invention is now able to receive a sheet-like material to be processed on each side by means of a corresponding suction device and due to its degrees of freedom according to the main patent DE 10 2004 007 558.1 manipulation tasks with an optimized manipulation time or production time of input and output devices. Moreover, it is necessary for a two-sided suction bar of table systems (input and output devices) in which substrates are inserted separately for processing and then removed again a control is necessary, which quickly and precisely implements the necessary movements and works smoothly ,
Zusätzlich ist ein relativ hoher Freiheitsgrad der möglichen Bewegung gefordert, welche ebenfalls mit einer derartigen Steuerung realisiert werden kann.In addition, a relatively high degree of freedom of the possible movement is required, which can also be realized with such a control.
Natürlich ist es möglich, derartige Bewegungsabläufe durch die Anwendung mit zwei unabhängig voneinander arbeitenden Robotersystemen mit einem einseitigen Saugbalken ebenfalls zu realisieren. Jedoch erfordert der Einsatz von zwei getrennten Robotersystemen eine sehr umfangreiche Steuerung, da die Bewegungsabläufe ineinander greifen.Of course, it is possible to realize such motion sequences by using two independently operating robot systems with a single-sided suction bar as well. However, the use of two separate robotic systems requires a very extensive control, as the motions interlock.
Zusätzlich ist es erforderlich, dass der einseitig ausgebildete Saugbalken eine relativ flache Bauweise aufweist.In addition, it is necessary that the one-sided suction bar has a relatively flat construction.
Dies führt zu hohen Herstellkosten, da eine derartige Steuerung sehr kostenaufwendig ist, wobei der Einsatz von zwei getrennt arbeitenden Robotersystemen mit einem einseitig ausgebildeten flachen Saugbalken ebenfalls sehr kostenaufwendig ist.This leads to high production costs, since such a control is very expensive, with the use of two separate working robot systems with a single-sided flat suction bar is also very expensive.
Viele extrem teure Bearbeitungssysteme arbeiten nicht im Durchlaufprinzip, sonder mit einem Eingabetisch, auf welchen ein Substrat (flächiges Bearbeitungsgut) aufgelegt wird und dabei direkt bei der Übergabe oder erst am Eingabetisch vorpositioniert oder registriert wird und anschließend in die Bearbeitungsposition gebracht wird. Nach der Bearbeitung wird das Substrat wieder in die Eingabeposition zurück gebracht.Many extremely expensive processing systems do not work in a continuous flow, but with an input table, on which a substrate (flat work) is placed and thereby pre-positioned or registered at the transfer or at the input table and is then brought into the processing position. After processing, the substrate is returned to the input position.
Bei diesen Bewegungsabläufen ist der Transport des Substrates von und zum Bearbeitungsgerät zwar ein wesentliches Kriterium. Die oftmals sehr teuren Geräte beziehungsweise Anlagen, welche die Bearbeitungsvorgänge ausführen müssen in Betrieb gehalten werden und es müssen möglichst geringe nicht-produktive Laufzeiten erreicht werden.Although the movement of the substrate from and to the processing device is an essential criterion in these sequences of movements. The often very expensive devices or systems that have to perform the machining operations in Be maintained and it must be achieved as low non-productive runtimes.
Daher ist es erforderlich, dass die Betriebszeit optimiert wird. Eine derartige Optimierung kann durch den Einsatz eines erfindungsgemäßen zweiseitig ausgebildeten Saugbalkens erfolgen.Therefore, it is necessary that the operating time be optimized. Such an optimization can be achieved by the use of a double-sided suction bar according to the invention.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist vorgesehen, dass der erfindungsgemäße Saugbalken jeweils an seinen gegenüberliegenden Seiten Saugvorrichtungen aufweist, welche zur Aufnahme und Transport von je einem flächenförmigen Substrat ausgebildet sind.In a preferred embodiment, it is provided that the suction bar according to the invention each have on its opposite sides suction devices, which are designed for receiving and transporting each of a sheet-like substrate.
Mittels einer angeordneten Drehlagerung zwischen der oberen und unteren Seite des Saugbalkens führt der Saugbalken eine Drehbewegung aus, welche nahezu 180° in axialer Drehrichtung des Saugbalkens beträgt.By means of an arranged rotary bearing between the upper and lower sides of the suction bar of the suction bar performs a rotational movement, which is almost 180 ° in the axial direction of rotation of the suction bar.
Dadurch ist gewährleistet, dass eine erste Seite des Saugbalkens ein Substrat von einem Lagerstapel aufnimmt und zur Bearbeitungsposition mittels einer Bewegungseinrichtung gemäß der älteren Anmeldung DE 10 2004 007 558.1 transportiert. (Robotersystem)This ensures that a first side of the suction bar receives a substrate from a storage stack and transports it to the processing position by means of a movement device according to the earlier application DE 10 2004 007 558.1. (Robot system)
Während des Bewegungsablaufs der Bewegungseinrichtung zur Bearbeitungsposition führt der Saugbalken eine Drehung von 180° um seine axiale Drehachse aus, wodurch das bereits aufgenommene Substrat an die obere Seite des Saugbalkens erscheint.During the movement of the movement device to the processing position of the suction bar performs a rotation of 180 ° about its axial axis of rotation, whereby the already recorded substrate appears on the upper side of the suction bar.
Daraufhin ist die untere Seite des Saugbalkens zur Aufnahme eines bereits bearbeiteten Substrates in Richtung des fertig bearbeiteten Substrates gerichtet.Thereupon, the lower side of the suction bar is directed toward the finished substrate for receiving an already processed substrate.
Das bearbeitete Substrat wird von dem Saugbalken aufgenommen, der Saugbalken führt beispielsweise eine 180° Drehung aus und legt das noch zu bearbeitende Substrat auf den Tisch der Bearbeitungsmaschine ab. Die Bewegungseinrichtung fährt mit dem bereits bearbeiteten Substrat zu einer Warteposition vor einer weiteren Bearbeitungsmaschine oder zu einem Magazin und legt das bearbeitete Substrat ab.The processed substrate is picked up by the suction bar, the suction bar performs, for example, a 180 ° rotation and places the substrate still to be processed on the table of the processing machine. The movement device travels with the already processed substrate to a waiting position in front of another processing machine or to a magazine and deposits the processed substrate.
Diese Bewegungsabläufe werden nunmehr in ständiger Reihenfolge wiederholt.These movements are now repeated in constant order.
Es sind auch andere Kombinationen von Bewegungsabläufen möglich.There are also other combinations of movements possible.
Wichtig hierbei ist, dass die Bewegungseinrichtung (Robotersystem) vorzugsweise Transportbewegungen durchführt, wenn der zweiseitig ausgebildete Saugbalken mit mindestens einem zu transportierenden Substrat ausgestattet ist.It is important here that the movement device (robot system) preferably carries out transport movements when the double-sided suction bar is equipped with at least one substrate to be transported.
Die Erfindung soll nicht auf die Verwendung eines Saugbalkens beschränkt werden, welcher eine Drehbewegung von nahezu 180° und insbesondere bis zu 360° ausführt. Vielmehr sind alle zum Stand der Technik bekannten Antriebssysteme für derartige Drehbewegungen erfindungsgemäß beansprucht.The invention should not be limited to the use of a suction bar, which performs a rotational movement of almost 180 ° and in particular up to 360 °. Rather, all known prior art drive systems for such rotational movements claimed in the invention.
Die Saugvorrichtungen werden mittels einer entsprechenden Steuerung je nach Art und Weise der durchzuführenden Arbeitsaufgabe mit einem Vakuum zum Ansaugen und Festhalten des Substrates beaufschlagt. Dabei ist es vorgesehen, dass die Saugvorrichtungen je Seite ansteuerbar sind, so dass jede Seite unabhängig voneinander mit Vakuum beaufschlagt werden kann.The suction devices are acted upon by means of a corresponding control, depending on the nature of the work task to be performed with a vacuum for sucking and holding the substrate. It is envisaged that the suction devices can be controlled on each side, so that each side can be subjected to vacuum independently.
Dies hat den Vorteil, dass beim Ablegen beziehungsweise Aufnehmen eines Substrates jede Seite des Saugbalkens unabhängig voneinander ein Substrat Aufbeziehungsweise Ablegen kann.This has the advantage that when depositing or picking up a substrate, each side of the suction bar can, independently of one another, form or deposit a substrate.
Dadurch wird gewährleistet, dass der erfindungsgemäße Saugbalken mit zweiseitiger Saugvorrichtung mit einer einzigen Bewegungsvorrichtung Manipulationsaufgaben in einer optimierten Zeit ausführt, welche mittels aus dem Stand der Technik bekannte Saugbalken lediglich durch den Einsatz von insgesamt zwei unabhängig voneinander arbeitenden Saugbalken ausführen. Im Folgenden wird die Erfindung anhand von lediglich einen Ausführungsweg darstellenden Zeichnungen näher erläutert. Hierbei gehen aus den Zeichnungen und ihrer Beschreibung weitere erfindungswesentliche Merkmale und Vorteile der Erfindung hervor.This ensures that the suction bar according to the invention performs with two-sided suction device with a single movement manipulation tasks in an optimized time, which perform by known from the prior art suction bar only by the use of a total of two independently operating suction bars. In the following the invention will be explained in more detail with reference to drawings showing only one embodiment. Here are from the drawings and their description further features essential to the invention and advantages of the invention.
Dabei zeigen:Showing:
Figur 1 : eine schematische Darstellung einer mehrachsigen Bewegungseinrichtung gemäß der ältere Anmeldung DE 10 2004 007 558.1 mit drei Achsen und einem zweiseitig ausgebildeten Saugbalken;Figure 1: a schematic representation of a multi-axis movement device according to the earlier application DE 10 2004 007 558.1 with three axes and a double-sided suction bar;
Figur 2: eine schematische Darstellung einen zweiseitig ausgebildeten Saugbalken mit Saugvorrichtung und Drehlagerung;Figure 2 is a schematic representation of a two-sided suction bar with suction device and pivot bearing;
Figur 3: eine perspektivische Ansicht einer Bewegungseinrichtung mit einem Saugbalken mit zweiseitig angeordneten Saugvorrichtungen.FIG. 3 shows a perspective view of a movement device with a suction bar with suction devices arranged on two sides.
Die in Figur 1 dargestellte Bewegungseinrichtung 1 zeigt eine Bewegungseinrichtung 1 mit drei Achsen 7, 8, 9 gemäß der älteren Anmeldung DE 10 2004 007 558.1.The movement device 1 shown in Figure 1 shows a movement device 1 with three axes 7, 8, 9 according to the earlier application DE 10 2004 007 558.1.
Die Achse 7 stellt die Hauptachse zum Antrieb des ersten Armes 3 dar. Die zweite Achse 8 bewegt den zweiten Arm 8 und die dritte Achse 9 bewegt den zweiseitigen Saugbalken 40. Die Verbindung zwischen Achse 9 und dem zweiseitigen Saugbalken 40 wird mittels einer aus dem Stand der Technik bekannten Aufnahmeeinrichtung einer Achsaufnahme 41 zur Befestigung einer Welle oder Achse an einem Maschinenbauteil und ist als kraftschlüssige Verbindung ausgelegt.The axis 7 represents the main axis for driving the first arm 3. The second axis 8 moves the second arm 8 and the third axis 9 moves the bilateral suction bar 40. The connection between the axis 9 and the bilateral suction bar 40 is by means of a standstill The known art recording device of an axle 41 for mounting a shaft or axle on a machine component and is designed as a positive connection.
Die Achse 9 ist über die Wellenlagerungen 46, 47 im Arm 4 drehend gelagert, so dass der gesamte Saugbalken 40 mittel einem entsprechenden Antrieb 15 eine Drehbewegung bis zu 180° und insbesondere bis zu 360° in Drehrichtung 50 um die axiale Drehachse 49 ausführt. Diese Achsaufnahme dient gleichzeitig als Verbindungsteil zwischen einem oberen und unteren Rahmengestell 42, 43, welches wiederum zur Aufnahme der Saugvorrichtungen 6 dient.The axis 9 is rotatably mounted on the shaft bearings 46, 47 in the arm 4, so that the entire suction bar 40 by means of a corresponding drive 15 performs a rotational movement up to 180 ° and in particular up to 360 ° in the direction of rotation 50 about the axial axis of rotation 49. This axle receptacle also serves as a connecting part between an upper and lower frame 42, 43, which in turn serves to receive the suction devices 6.
Die Saugvorrichtungen 6 werden mittels einer entsprechenden Steuerung 24 über die Kabelführung 19 nach Seiten getrennt angesteuert und mit einem gasförmigen Medium versorgt, so dass bei entsprechender Ansteuerung die Saugvorrichtungen 6 nach dem Venturi-Prinzip ein Vakuum erzeugen und die Aufnahme von Leiterplatten 16 oder ähnliches ausführen.The suction devices 6 are controlled separately by means of a corresponding control 24 via the cable guide 19 to pages and supplied with a gaseous medium, so that upon appropriate control, the suction devices 6 generate a vacuum according to the Venturi principle and perform the recording of printed circuit boards 16 or the like.
Die separate Ansteuerung der Saugvorrichtungen 6 dient zur wechselseitigen oder gleichzeitigen Aufnahme der Leiterplatten, Substrate oder dergleichen 16, 46 auf der unteren und oberen Seite 44, 45 des Saugbalkenrahmens 42, 43.The separate control of the suction devices 6 is used for reciprocal or simultaneous recording of printed circuit boards, substrates or the like 16, 46 on the lower and upper side 44, 45 of the Saugbalkenrahmens 42, 43rd
Der Saugbalken 40 weist vorzugsweise eine flache Bauform auf, um bei Ausführung einer Drehbewegung des Saugbalkens zum wechseln von Substraten 16, 46 die Bewegungseinrichtung so wenig wie nötig aus dem Arbeitsbereich verfahren zu müssen.The suction bar 40 preferably has a flat design in order to have to move the moving device as little as necessary from the work area when performing a rotary movement of the suction bar for changing substrates 16, 46.
In Figur 2 wird eine vergrößerte Ansicht eines erfindungsgemäßen Saugbalkens 40 mit beidseitig angeordneten Saugvorrichtungen 6 zur Aufnahme und Transport von Leiterplatten, Substraten, Wafer oder dergleichen 16, 46 dargestellt.FIG. 2 shows an enlarged view of a suction bar 40 according to the invention with suction devices 6 arranged on both sides for receiving and transporting printed circuit boards, substrates, wafers or the like 16, 46.
In Figur 3 ist ein erfindungsgemäßer Saugbalken 40 gemäß Figur 1 und Figur 2 mit beidseitig angeordneten Saugvorrichtungen 6 in einer perspektivischen Ansicht dargestellt.FIG. 3 shows a suction bar 40 according to the invention according to FIG. 1 and FIG. 2 with suction devices 6 arranged on both sides in a perspective view.
Der Erfindungsgegenstand der vorliegenden Erfindung ergibt sich nicht nur aus dem Gegenstand der einzelnen Patentansprüche, sondern auch aus der Kombination der einzelnen Patentansprüche untereinander.The subject of the present invention results not only from the subject matter of the individual claims, but also from the combination of the individual claims with each other.
Alle in den Unterlagen, einschließlich der Zusammenfassung offenbarten Angaben und Merkmale, insbesondere die in den Zeichnungen dargestellte räumliche Ausbildung, werden als erfindungswesentlich beansprucht, soweit sie einzeln oder in Kombination gegenüber dem Stand der Technik neu sind. All information and features disclosed in the documents, including the abstract, in particular the spatial ones shown in the drawings Training, are claimed as essential to the invention, as far as they are new individually or in combination over the prior art.
Zeichnungslegendedrawing Legend
1 mehrachsige Bewegungseinrichtung1 multi-axis motion device
2 Basis 3 Arm 12 base 3 arm 1
4 Arm 24 arm 2
6 Halteeinrichtung z.B. Saugeinrichtung und dergleichen6 holding device e.g. Suction device and the like
7 Schulterachse Arm 17 shoulder axis arm 1
8 Schulterachse Arm 2 9 Achse Saugbalken8 shoulder axis arm 2 9 axis suction bar
10 Arbeitsbereich10 workspace
11 Bewegungsablauf bzw. Bahnkurve (beispielhaft)11 Course of motion or trajectory (by way of example)
12 Null-Punkt12 zero point
13 Antrieb Arm 1 14 Antrieb Arm 213 drive arm 1 14 drive arm 2
15 Antrieb Saugbalken15 drive suction bar
16 Teil (zum Beispiel eine Leiterplatte, ein Wafer, ein Glassubstrat, etc.)16 part (for example, a circuit board, a wafer, a glass substrate, etc.)
17 Arbeitsniveau17 work level
19 Kabelführung (Versorgungsleitungen, Signalleitungen) 20 Ausgleichselement (Feder, Gewicht, etc.)19 Cable routing (supply lines, signal lines) 20 Compensation element (spring, weight, etc.)
21 Antriebselement 121 drive element 1
22 Antriebselement 2 a, b22 drive element 2 a, b
23 Antriebselement 3 a, b, c23 drive element 3 a, b, c
24 Antriebssteuerung 25 Bahnkurve (Achse 9)24 Drive control 25 Trajectory (axis 9)
26 Position26 position
27 Position27 position
28 Achse28 axis
29 Greifermittelpunkt 30 Teilunterkante29 gripper center 30 lower edge of the sub-section
31 Unterkante-Bahnkurve31 lower edge trajectory
32 Bahnkurve (Achse 8)32 trajectory (axis 8)
33 Drehzahlkurve (7)33 speed curve (7)
34 Drehzahlkurve (8) 35 Drehzahlkurve (9)34 speed curve (8) 35 speed curve (9)
36 Position36 position
37 Position37 position
38 Position 39 Pfeilrichtung38 Position 39 Arrow direction
40 doppelseitiger Saugbalken40 double-sided suction bars
41 Achsaufnahme41 axle mounting
42 Rahmen, oben42 frames, above
43 Rahmen, unten 44 Saugbalken Seite oben43 frames, bottom 44 suction bars top side
45 Saugbalken Seite unten45 suction bars bottom side
46 Teil (z. B. Leiterplatte, ein Wafer, ein Glassubstrat, etc.)46 part (eg, circuit board, a wafer, a glass substrate, etc.)
47 Wellenlagerung47 shaft bearing
48 Wellenlagerung 49 Drehachse48 Shaft bearing 49 Rotary axis
50 Drehrichtung 50 direction of rotation

Claims

Patentansprüche claims
1. Mehrachsige Bewegungseinrichtung (1 ) mit weitgehend sinusförmigem Bewegungsablauf (11 ) eines Greifers, der am freien Ende eines mehrachsig angetriebenen Armes angeordnet ist, wobei jedem Arm (7, 8, 9) ein schrittweise angetriebener Antriebsmotor (Schrittmotor) zugeordnet ist und die Schrittmotoren (13-15) zum Antrieb der unabhängigen Achsen (7, 8, 9) unabhängig und autark voneinander arbeiten und eine Rückmeldung des einen Schrittmotors auf den anderen nicht statt findet (Zusatz zu DE 10 2004 007 558.1), dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegungseinrichtung (1 ) einen Saugbalken (40) aufweist, welcher beidseitig die Anordnung einer Saugvorrichtung (6) zur Aufnahme von Leiterplatten, Substraten, Wafer oder dergleichen plattenförmigen Gegenständen(16, 46) ausbildet.1. multi-axis movement device (1) with substantially sinusoidal movement (11) of a gripper, which is arranged at the free end of a multi-axially driven arm, each arm (7, 8, 9) is associated with a stepwise driven drive motor (stepping motor) and the stepper motors (13-15) for driving the independent axles (7, 8, 9) operate independently and independently from each other and feedback from one stepper motor to the other does not take place (supplement to DE 10 2004 007 558.1), characterized in that the movement device (1) has a suction bar (40), which on both sides of the arrangement of a suction device (6) for receiving printed circuit boards, substrates, wafers or the like plate-shaped objects (16, 46) is formed.
2. Mehrachsige Bewegungseinrichtung (1 ) dadurch gekennzeichnet, dass der Saugbalken (40) eine Drehlagerung aufweist, welche eine Drehbewegung von mindestens 180° und insbesondere bis zu 360° um seine axial verlaufende Drehachse (49) ausführt.2. Multi-axis movement device (1) characterized in that the suction bar (40) has a pivot bearing, which performs a rotational movement of at least 180 ° and in particular up to 360 ° about its axially extending axis of rotation (49).
3. Mehrachsige Bewegungseinrichtung (1 ) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der mit der Saugeinrichtung (6) zweiseitig ausgebildete Saugbalken (40) direkt mit der Achse (9) mittels einer Achsaufnahme (41 ) kraftschlüssig verbunden ist.3. Multi-axis movement device (1) according to claim 1 or 2, characterized in that with the suction device (6) formed on two sides suction bar (40) directly to the axis (9) by means of an axle (41) is non-positively connected.
4. Mehrachsige Bewegungseinrichtung (1 ) nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Saugbalken (40) zur gleichzeitigen Aufnahme von zwei Leiterplatten, Substraten, Wafern (16, 4) oder dergleichen ausgebildet ist.4. multi-axis movement device (1) according to claim 1 and 2, characterized in that the suction bar (40) for the simultaneous recording of two circuit boards, substrates, wafers (16, 4) or the like is formed.
5. Mehrachsige Bewegungseinrichtung (1 ) nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Saugvorrichtung (6) seiten-unabhängig voneinander ansteuerbar ausgebildet ist. 5. Multi-axis movement device (1) according to claims 1 to 3, characterized in that the suction device (6) is designed to be independently controllable side by side.
6. Mehrachsige Bewegungseinrichtung (1 ) nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Saugbalken (4) eine kastenförmige, flache Bauform aufweist,6. multi-axis movement device (1) according to claims 1 to 4, characterized in that the suction bar (4) has a box-shaped, flat design,
7. Mehrachsige Bewegungseinrichtung (1 ) nach den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Anordnung des Saugbalkens (40) die Manipulationszeit der Bewegungseinrichtung insgesamt verringert.7. Multi-axis movement device (1) according to claims 1 to 5, characterized in that the arrangement of the suction bar (40) reduces the total manipulation time of the movement device.
8. Mehrachsige Bewegungseinrichtung (1 ) nach den Ansprüchen 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Saugöffnungen des Saugbalkens (4) diametral einander gegenüber liegen und gegeneinander gerichtet sind8. Multi-axis movement device (1) according to claims 1 to 6, characterized in that the suction openings of the suction bar (4) are diametrically opposite each other and are directed against each other
9. Mehrachsige Bewegungseinrichtung (1 ) nach den Ansprüchen 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Saugöffnungen des Saugbalkens im Winkel von 90° zueinander angeordnet sind.9. Multi-axis movement device (1) according to claims 1 to 7, characterized in that the suction openings of the suction bar are arranged at an angle of 90 ° to each other.
10. Mehrachsige Bewegungseinrichtung (1 ) nach den Ansprüchen 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Saugöffnungen des Saugbalkens in einem Winkelbereich von 90° bis 270° zueinander angeordnet sind.10. Multi-axis movement device (1) according to claims 1 to 8, characterized in that the suction openings of the suction bar are arranged in an angular range of 90 ° to 270 ° to each other.
11. Mehrachsige Bewegungseinrichtung (1 ) nach den Ansprüchen 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Saugöffnungen des Saugbalkens einstellbar und veränderbar in einem Winkelbereich von 90° bis 270° zueinander angeordnet sind. 11. Multi-axis movement device (1) according to claims 1 to 9, characterized in that the suction openings of the suction bar are arranged adjustable and variable in an angular range of 90 ° to 270 ° to each other.
PCT/EP2006/007916 2005-08-16 2006-08-10 Motion device having a double-sided suction bar WO2007020008A2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008526414A JP2009505410A (en) 2005-08-16 2006-08-10 Exercise device with a suction bar with two faces

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005038976.7 2005-08-16
DE102005038976.7A DE102005038976B4 (en) 2004-02-17 2005-08-16 Movement device with sinusoidal motion sequence

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2007020008A2 true WO2007020008A2 (en) 2007-02-22
WO2007020008A3 WO2007020008A3 (en) 2007-05-10

Family

ID=37574514

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2006/007916 WO2007020008A2 (en) 2005-08-16 2006-08-10 Motion device having a double-sided suction bar

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP2009505410A (en)
KR (1) KR20080037718A (en)
CN (1) CN101304847A (en)
TW (2) TW200714425A (en)
WO (1) WO2007020008A2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3084518A1 (en) * 2018-07-25 2020-01-31 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives DEVICE FOR GRIPPING A SINGLE-LAYER OR MULTI-LAYER STRUCTURE COMPRISING A ROTARY AND THERMAL GRIP ELEMENT

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI829201B (en) * 2022-06-17 2024-01-11 和淞科技股份有限公司 Adjustable negative pressure suction module

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0135772A2 (en) * 1983-08-29 1985-04-03 Hitachi, Ltd. Operation control apparatus for robots
US5967578A (en) * 1998-05-29 1999-10-19 Sez North America, Inc. Tool for the contact-free support of plate-like substrates
WO2000078654A1 (en) * 1999-06-17 2000-12-28 Speedfam-Ipec Corporation Improved wafer handling apparatus
EP1085558A2 (en) * 1999-09-16 2001-03-21 Applied Materials, Inc. Multiple sided robot blade for semiconductor processing equipment
US6327517B1 (en) * 2000-07-27 2001-12-04 Applied Materials, Inc. Apparatus for on-the-fly center finding and notch aligning for wafer handling robots
EP1464455A1 (en) * 2001-12-04 2004-10-06 Rorze Corporation Scalar type robot for carrying flat plate-like object; and flat plate-like object processing system
DE102004007558A1 (en) * 2004-02-17 2005-09-08 Josef Moser Multi-axle system with gripping elements, e.g. for PCB, comprising individually and independently driven arms

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06318628A (en) * 1993-05-07 1994-11-15 Fujitsu Ltd Method and apparatus for transferring component

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0135772A2 (en) * 1983-08-29 1985-04-03 Hitachi, Ltd. Operation control apparatus for robots
US5967578A (en) * 1998-05-29 1999-10-19 Sez North America, Inc. Tool for the contact-free support of plate-like substrates
WO2000078654A1 (en) * 1999-06-17 2000-12-28 Speedfam-Ipec Corporation Improved wafer handling apparatus
EP1085558A2 (en) * 1999-09-16 2001-03-21 Applied Materials, Inc. Multiple sided robot blade for semiconductor processing equipment
US6327517B1 (en) * 2000-07-27 2001-12-04 Applied Materials, Inc. Apparatus for on-the-fly center finding and notch aligning for wafer handling robots
EP1464455A1 (en) * 2001-12-04 2004-10-06 Rorze Corporation Scalar type robot for carrying flat plate-like object; and flat plate-like object processing system
DE102004007558A1 (en) * 2004-02-17 2005-09-08 Josef Moser Multi-axle system with gripping elements, e.g. for PCB, comprising individually and independently driven arms

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3084518A1 (en) * 2018-07-25 2020-01-31 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives DEVICE FOR GRIPPING A SINGLE-LAYER OR MULTI-LAYER STRUCTURE COMPRISING A ROTARY AND THERMAL GRIP ELEMENT

Also Published As

Publication number Publication date
KR20080037718A (en) 2008-04-30
WO2007020008A3 (en) 2007-05-10
TWM464295U (en) 2013-11-01
JP2009505410A (en) 2009-02-05
TW200714425A (en) 2007-04-16
CN101304847A (en) 2008-11-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60127409T2 (en) ROBOT WITH INDEPENDENT MOTION OF THE GRIPPING DEVICE
EP1871570B1 (en) Production line for flexibly machining workpieces
DE10026069C2 (en) CNC machining center and woodworking processes
EP3260232B1 (en) Positioning system
DE10302103A1 (en) Mounting device for electronic components and mounting head unit for electronic components
DE19549045C1 (en) Device for handling disc-shaped objects
DE19518965C5 (en) Machining center for wood and plastic materials
DE60219267T2 (en) Gripping unit for the automated machining of workpieces, and apparatus and method with such a unit
WO2006045283A1 (en) Device for transporting and altering the position of workpieces
EP2015981A1 (en) Device for machining components, in particular of a vehicle body
DE3718940A1 (en) ADAPTABLE CONNECTION
DE19711683C2 (en) IC module assembly / disassembly system and assembly / disassembly head for such an IC module assembly / disassembly system
EP2916994B1 (en) Manufacturing plant for producing an assembly consisting of a plurality of components
WO2007020008A2 (en) Motion device having a double-sided suction bar
DE102005038976B4 (en) Movement device with sinusoidal motion sequence
DE10112395B4 (en) Device for transporting molded parts
EP3482935B1 (en) Screen unit for a printing device
DE102009031018A1 (en) Processing system for manufacturing, assembling, processing or analyzing product in process steps, has two processing levels and two function columns perpendicular to processing levels, where processing levels have process modules
WO2008132049A1 (en) Pcb assembly machine and method for mounting components onto substrates
DE102008024397A1 (en) Transfer module for use in changeable production system, has supporting arm for receiving workpiece at one location and for transporting workpiece in direction, where driving of supporting arm takes place perpendicular to direction
DE102017124571A1 (en) Modular device handling device with protruding from a rotation axis component gripping tools
DE102018109207A1 (en) Gripping device for a robot
EP3718659B1 (en) Automation device
DE102018105661A1 (en) TRANSPORT SYSTEM
DE102004051994A1 (en) Device for positionally correct positioning of printed circuit boards

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 200680035557.2

Country of ref document: CN

DPE2 Request for preliminary examination filed before expiration of 19th month from priority date (pct application filed from 20040101)
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2008526414

Country of ref document: JP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1020087006492

Country of ref document: KR

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 06776737

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2