WO2007000199A1 - Method and device for optically scanning a sample - Google Patents

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WO2007000199A1
WO2007000199A1 PCT/EP2006/003227 EP2006003227W WO2007000199A1 WO 2007000199 A1 WO2007000199 A1 WO 2007000199A1 EP 2006003227 W EP2006003227 W EP 2006003227W WO 2007000199 A1 WO2007000199 A1 WO 2007000199A1
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WO
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sample
scanning device
sensor
adjustment
adjusting unit
Prior art date
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PCT/EP2006/003227
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German (de)
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Inventor
Jürgen TÜMPNER
Original Assignee
Olympus Soft Imaging Solutions Gmbh
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Publication date
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    • GPHYSICS
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    • G02B21/365Control or image processing arrangements for digital or video microscopes

Definitions

  • the present invention relates to a method for the optical scanning of a sample, comprising an adjusting unit and a scanning device, according to which the
  • Probe is moved by means of the acted upon by a control unit adjusting unit relative to the scanning unit, or vice versa, and then by means of a sample sensor, a movement window for the adjustment and / or the
  • Scanning is defined within which mechanical collisions between the sample and the scanner are excluded.
  • a method of the embodiment described above is presented in DE 102 39 794 A1. This is about a measuring device that is equipped with a protective device, which prevents a moving part colliding with an object.
  • the protector includes a protector body and a sensor protruding from the protector body over a predetermined length to sense a distance between the object and the protector body by its elastic deformation upon contact with the object.
  • Comparable is the JP 022 47 967 A before.
  • an electrode is realized, which closes an electrical circuit in contact with a sample and thus emits an alarm to prevent further movement of the adjustment.
  • the respective sample may be a biological sample, a cell section or even a material science sample, such as a material cut.
  • the scanning device always captures only a specific section of the sample with the desired resolution and consequently generates a single image.
  • the adjustment unit now ensures that the respective individual images taken with the scanning device are combined to form at least one overall image in the control system. This is not mandatory.
  • the scanner has mostly an optical unit and a recording unit.
  • CCD Charge Coupled Device
  • the recording unit or the CCD chip is regularly in the image plane of the associated microscope objective to record the individual image and transfer it to the control system.
  • the control system in turn reads the recording unit and stores the respective frame. After all the individual images have been acquired, they are combined to form the one or more overall images.
  • the sample is moved with the aid of the adjusting unit relative to the scanning device.
  • the sample is regularly held by a sample table, which in turn is moved via adjusting or adjusting devices.
  • the adjustment unit usually also provides for an adjustment in the Z direction, that is to say the height direction, which is always required when, for example, focusing is to be effected with the aid of the microscope objective or the optical unit.
  • the focusing can be done both automatically and manually.
  • the image contrast is examined with the aid of gray value deviations and the picture with the highest contrast is classified as belonging to the focus.
  • a manual focus is possible.
  • the invention comprises modifications in such a way that it is not the adjusting unit or the sample table that is moved relative to the scanning device, but the scanning device additionally or alternatively with respect to the adjusting unit. Of course, both are possible, as the latter application makes clear.
  • the sample table is moved in the X / Y plane, whereas the scanning device undergoes a movement in the Z direction.
  • the sample is accidentally damaged. This is particularly painful in the case that the sample is a particularly valuable individual piece or a living cell culture, which can be irreparably destroyed by such an operation. This is where the invention starts.
  • the invention is based on the technical problem of further developing a method of the embodiment described at the beginning in such a way that sample preparation Damage can be excluded in any case.
  • a correspondingly suitable device should be specified.
  • the invention proposes in a generic method for the optical scanning of a sample, that the sample sensor operates without contact, preferably with reference to electromagnetic waves and / or sound waves.
  • the sample sensor operates without contact, preferably with reference to electromagnetic waves and / or sound waves.
  • both distance measurements (interferometric) and time measurements (transit time of a pulse) are conceivable.
  • work is done on sound waves.
  • a movement window is usually specified for the adjustment unit and / or the scanning device, usually within the control system, so that the adjustment unit and / or the scanning device can only be moved within this movement window or an alarm message is issued when the movement window is exited.
  • the movement window is determined and specified with the aid of the non-contact sample sensor.
  • the motion window is set depending on various parameters. These parameters may not be limited to the size of the sample, the initial position and speed of the adjustment and / or scanning device (4, 5) and possibly their design. Depending on this, the movement window is set variably in each case.
  • the sample sensor defines - as already mentioned - said movement window.
  • the sample sensor preferably reports, once or continuously, distance measurement values between the sample and / or the adjustment unit and the scanning device to the control system.
  • the sample sensor may, for example, sample the size of the sample and transfer associated sample dimension values to the control system. If, in addition, the initial position of the adjusting unit and, for example, the design of the sample receiving sample stage are stored in the control system, a free space between the sample and the scanning device can be easily deduced in connection with said sample dimension values. This free space can be equated with the maximum possible motion window.
  • the movement window limits movements of the adjustment unit and / or the scanning device in one dimension, usually the Z direction.
  • the motion window will usually be much smaller than the previously mentioned free space. Values of 50% to 80% are conceivable here. That is, the motion window occupies 50% to 80% of the free space.
  • a displacement sensor is additionally implemented. With the help of this adjustment sensor movements of the adjustment unit can be detected - starting with their previously determined initial position.
  • the adjustment sensor serves to record and evaluate movements of the adjustment unit in the Z direction. If the movement window is fixed in the Z direction, it can be determined directly with the aid of the adjustment sensor whether the adjustment unit or the sample moves in the direction of one of the two boundaries of the movement window or not.
  • the movement window is in each case variably adapted to the movement of the sample relative to the scanning device.
  • an alarm signal for example, is emitted acoustically and / or optically.
  • the sample sensor Since the sample sensor operates without contact, it can detect the free space between the sample and the scanning device in a corresponding manner, without the sample being damaged.
  • the sample sensor may work with (ultra-) sound waves and / or electromagnetic waves. Conceivable here are continuous processes, for example with the aid of an interferometer, to measure the free space and derive the motion window therefrom. However, it is also possible to work with wave pulses which, for example, are emitted by the scanning device and reflected by the sample. From their runtime or an associated time measurement, the free space can be determined and consequently derive the motion window.
  • the sample sensor is usually capable of scanning the sample for its sample dimensions.
  • the adjustment sensor is usually associated with one or more adjustment of the adjustment.
  • the adjustment sensor is usually assigned to a handwheel or a corresponding Z drive provided at this point.
  • the adjustment can be designed as a rotary encoder. In the latter case, it may be a displacement sensor or the like.
  • a method which, by defining a motion window for the adjustment unit, ensures that mechanical Collisions between the sample and the scanner can be reliably excluded. This is achieved essentially by the fact that the free space between the sample and the scanning device is determined without contact and serves as the basis for defining a variable movement window.
  • the non-contact sample sensor based on preferably electromagnetic waves and / or (ultra-) sound waves ensures that the associated sample is not damaged. Because in contrast to the prior art, for example according to DE 102 39 749 A1, a mechanical contact is omitted in any case. This circumstance is of particular importance against the background that even the tiniest touch can irreparably damage most biological samples. This is excluded in the context of the invention in any case.
  • sample sensor according to the invention can not simply work without contact, but it represents an advantageous embodiment, as it were a lateral image of the sample or its shadow.
  • the invention is based on the further knowledge that the accuracy of the determination of the Free space and therefore of the movement window.
  • the distance between the sample and the scanner during adjustment changes permanently and can be put on an even more reliable basis by this procedure.
  • the sample sensor is otherwise placed either in the scanning device and / or the adjustment, so that changes in their distance from each other by the in Direction of the change in distance and not perpendicular to this (as in the shadow) working sample sensor can be determined.
  • the invention also provides a device for optically scanning a sample as described in claim 6.
  • Advantageous embodiments of this device are treated in claims 7 to 10.
  • Fig. 1 shows a device according to the invention schematically
  • FIG. 2 and 3 are each an enlarged detail of FIG. 1.
  • a device for optical scanning of a sample 1 is shown, which is not limited to a transparent biological tissue section. This is illuminated by means of a white light source W or the like, which is located below an adjustment unit 2, 3.
  • the adjusting unit 2, 3 is composed of adjusting devices 2 and a sample table 3.
  • the sample table 3 can be moved in the example case in the X / Y direction, so that different areas of the sample 1 can be recorded.
  • the sample table 3 can optionally also be adjusted in the Z direction. This is not shown.
  • a scanning device 4, 5 in the Z direction is accomplished in the present case, that the scanning device 4, 5 is associated with a further adjusting device 6, in which it is not limiting to a handwheel 6 in conjunction with a Z Actuator acts.
  • the scanning device 4, 5 is composed of a plurality of objectives or microscope objectives 4 as an optical unit 4, which can image different sized image sections of the sample 1 to a recording unit 5 selectively.
  • the recording unit 5 is a CCD chip with, for example, 1 million pixels.
  • the image of the transmitted sample 1 generated on the CCD chip is recorded in a control system 7 as a single image E.
  • the control unit 7 combines a plurality of individual images E into an overall image.
  • the control system 7 also controls the adjusting device 2 or the adjusting unit 2, 3 and optionally the optical unit 4 by a desired lens 4 is selected. In addition, the control system 7 also controls the adjusting device 6 in the Z direction. In fact, the illustrated device with the aid of the adjusting device 6 enables both automatic focusing of the sample 1 with the aid of the selected objective 4 and manual focusing with the illustrated handwheel 6.
  • this distance A is a maximum possible movement window F for the adjusting unit 2, 3, within which mechanical collisions with the scanning device 4, 5 are excluded (see FIG 3).
  • the movement window F is usually set smaller than the said (maximum) distance A, for example, the movement window F is 80% of the distance A, so that the following applies:
  • the illustrated device has at least one sample sensor 8 which records once or continuously distance measurement values, ie the distance A, between the sample 1 and / or the adjustment unit 2. 3 and the scanning device 4, 5 reports to the control system 7.
  • the sample 1 can be scanned with the aid of the sample sensor 8 with regard to its sample dimensions. This is usually the case.
  • the sample sensor 8 is arranged on a stationary holding arm for the scanning device 4, 5 or in this. If the selected lens 4 is known and also its dimensions, it can be determined from a projection Ü of the objective 4 with respect to a lower edge of the holding arm according to the distance of the lower edge of the lens 4 from
  • H indicates the "height" of the sample 1 above the sample table 3 and has been previously determined, for example.
  • the sample sensor 8 may also be attached directly (head-side) to the objective 4 and continuously transmit the distance A to the control system 7.
  • the sample sensor 8 scans the sample 1 with respect to its sample dimensions, which also happens without contact.
  • the sample sensor 8 can laterally illuminate the sample 1 and close it from the shadow image at its height "H” (see FIG. 3).
  • the sample sensor 8 is fixedly attached to the scanner 4, 5, or lens 4, and directly measures the distance A from its mounting location to a head of the sample 1. This head usually coincides with the surface of a cover glass. wherein the sample 1 is placed between said coverslip and a slide, as Fig. 3 makes clear.
  • the sample sensor 8 is able to determine the height H of the sample 1 in comparison to the surface of the sample table 3 and also the distance A of the sample 1 to the lower edge of the lens 4 and possibly the distance A 1 .
  • the distance A results simply from the distance of the selected objective 4 or its projection U and its distance from the surface of the sample table 3 minus the height H of the sample 1 in accordance with equation (3) given above.
  • the control system 7 Based on this determined variable distance A, the control system 7 now predefines the movement window F according to the previously specified rule (1) or (2).
  • an adjustment sensor 9 is additionally realized in addition to the sample sensor 8, which detects movements of the adjustment unit 2, 3.
  • the adjustment sensor 9 is the handwheel 6 or the Adjusting device 6 assigned to the movement of the scanning device 4, 5 in the Z direction.
  • the adjustment sensor 9 is a rotation angle sensor which detects movements of the handwheel 6 or the additionally or alternatively provided adjustment drive 6 '.
  • the scanning device 4, 5 - starting in its initial position - moves relative to the sample table 3 and consequently the sample 1 calculates the control system 7 from the associated adjustment - recorded using the Verstellsensors 9 - the remaining distance A between the microscope objective 4 and the sample 1 and its head.
  • the distance A needs only once in the initial position of the scanning device 4, 5 are determined relative to the sample 1. All changes in the distance A are then taken into account via the adjustment sensor 9 and the control system 7 via the adjustment. In order to increase safety, however, as a rule the distance A is continuously measured and tested for conformity with the values calculated in the control system 7 via the adjustment path and the displacement sensor 9.
  • the handwheel 6 is empty or it is issued a warning signal.
  • the hand wheel 6 is not mechanically coupled directly to an actuator or the like, but rather rotational movements of the handwheel 6 with the adjustment sensor 9 are detected and tapped and then converted into adjusting movements of the additionally provided actuating drive 6 'with the aid of the control system 7.
  • these adjusting movements of the handwheel 6 and thus adjustment of the Verstellsensors 9 have been evaluated in the control system 7, to the extent that the adjoining adjustment path is possible or not.
  • the control system 7 ensures in the example case that the actuator 6 'is only adjusted so far that the minimum distance is complied with.
  • the sample sensor 8 is not only able to determine the variable distance A with the aid of the control unit 7 and to specify the movement window F. Rather, the respective position of the scanning device 4, 5 with respect to the sample 1 in the control system 7 can be logged with the help of the sample sensor 8 in addition. If these logged values are simultaneously compared with those of the adjustment sensor 9, statements about the positioning accuracy of the handwheel 6 or of the additionally or alternatively provided positioning drive 6 'can be made.
  • the invention is able to dispense with particularly elaborate actuators 6 'or handwheels 6, because ultimately the sample sensor 8 in conjunction with the Verstellsensor 9 and the control system 7 for a corresponding correction and compensation possibly (mechanical) inaccurate - worries.

Abstract

The invention relates to a method and a device for optically scanning a sample, especially using a microscope. To this end, an adjustment unit (2, 3) and a scanning device (4, 5) are provided. The sample (1) is displaced in relation to the scanning device (4, 5) by means of the adjustment unit (2, 3) which is acted upon by a control installation (7), or vice versa. According to the invention, a displacement window (F) is defined for the adjustment unit (2, 3) and/or the scanning device (4, 5), inside which mechanical collisions between the sample (1) and the scanning device are prevented. This is especially advantageous in biological samples. A non-contact sample sensor (8) is provided for the prevention of collisions, said sensor operating, for example, by electromagnetic or acoustic waves.

Description

Verfahren und Vorrichtung zur optischen Abtastung einer Probe Method and apparatus for optically scanning a sample
Beschreibung:Description:
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur optischen Abtastung einer Probe, mit einer Verstelleinheit sowie einer Abtasteinrichtung, wonach dieThe present invention relates to a method for the optical scanning of a sample, comprising an adjusting unit and a scanning device, according to which the
Probe mittels der von einer Steueranlage beaufschlagten Verstelleinheit gegenüber der Abtasteinheit bewegt wird, oder umgekehrt, und wonach mittels eines Probensensors ein Bewegungsfenster für die Verstelleinheit und/oder dieProbe is moved by means of the acted upon by a control unit adjusting unit relative to the scanning unit, or vice versa, and then by means of a sample sensor, a movement window for the adjustment and / or the
Abtasteinrichtung definiert wird, innerhalb dessen mechanische Kollisionen zwischen der Probe und der Abtasteinrichtung ausgeschlossen sind.Scanning is defined within which mechanical collisions between the sample and the scanner are excluded.
Ein Verfahren der eingangs beschriebenen Ausgestaltung wird in der DE 102 39 794 A1 vorgestellt. Hier geht es um eine Messvorrichtung, die mit einer Schutzeinrichtung ausgerüstet ist, welche verhindert, dass ein Bewegungsteil mit einem Objekt zusammenstößt. Die Schutzeinrichtung verfügt über einen Schutzeinrichtungskörper und einen Sensor, der von dem Schutzeinrichtungskörper über eine vorgegebene Länge hervorsteht, um einen Abstand zwischen dem Objekt und dem Schutzeinrichtungskörper durch seine elastische Deformation bei Berührung mit dem Objekt abzutasten.A method of the embodiment described above is presented in DE 102 39 794 A1. This is about a measuring device that is equipped with a protective device, which prevents a moving part colliding with an object. The protector includes a protector body and a sensor protruding from the protector body over a predetermined length to sense a distance between the object and the protector body by its elastic deformation upon contact with the object.
Vergleichbar geht die JP 022 47 967 A vor. Denn hier ist eine Elektrode realisiert, welche bei Berührung mit einer Probe einen elektrischen Stromkreis schließt und somit einen Alarm ausgibt, um eine weitere Bewegung der Verstelleinheit zu verhindern.Comparable is the JP 022 47 967 A before. For here an electrode is realized, which closes an electrical circuit in contact with a sample and thus emits an alarm to prevent further movement of the adjustment.
Im Rahmen der AT 197 096 wird schließlich ein Mikroskopobjektiv mit Schutzvorrichtung vorgestellt. In diesem Fall ist ein die Optik tragendes Teil gegenüber einem Fassungsteil in axialer Richtung gegen Federkraft verschiebbar angeordnet. Bei der Verschiebung des die Optik tragenden Teiles wird ein Kontakt betätigt, welcher seinerseits ein akustisches oder ein optisches Signal auslöst. Beim Stand der Technik ist es grundsätzlich erforderlich, dass zwischen den verschiedenen und unterschiedlich gestalteten Probensensoren und der Probe ein mechanischer Kontakt zustande kommt. Das ist bei hochsensiblen Proben nachteilig, weil diese hierdurch - auch bei nur geringfügiger Berührung - be- schädigt werden können.In the context of AT 197 096 finally a microscope objective with protective device is presented. In this case, a part carrying the optic is displaceable relative to a socket part in the axial direction against spring force. During the displacement of the optics-carrying part, a contact is actuated, which in turn triggers an acoustic or an optical signal. In the prior art, it is fundamentally necessary for mechanical contact to be established between the different and differently designed sample sensors and the sample. This is disadvantageous in the case of highly sensitive specimens, because they can be damaged thereby, even if only slight contact is made.
Im Allgemeinen wird zur optischen Abtastung der Probe diese zumeist hinsichtlich ihrer Transmission untersucht. Grundsätzlich sind auch Reflexionsmessungen möglich. Bei der jeweiligen Probe mag es sich um eine biologische Probe, einen Zellschnitt oder auch eine werkstoffwissenschaftliche Probe, wie einen Materialschnitt handeln.Generally, for optical scanning of the sample, it is mostly examined for transmission. In principle, reflection measurements are also possible. The respective sample may be a biological sample, a cell section or even a material science sample, such as a material cut.
Üblicherweise erfasst die Abtasteinrichtung immer nur einen bestimmten Ausschnitt der Probe mit der gewünschten Auflösung und erzeugt demzufolge ein Einzelbild. Die Verstelleinheit sorgt nun dafür, dass die mit der Abtasteinrichtung aufgenommenen jeweiligen Einzelbilder zu wenigstens einem Gesamtbild in der Steueranlage zusammengesetzt werden. Das ist jedoch nicht zwingend.Usually, the scanning device always captures only a specific section of the sample with the desired resolution and consequently generates a single image. The adjustment unit now ensures that the respective individual images taken with the scanning device are combined to form at least one overall image in the control system. This is not mandatory.
In jedem Fall verfügt die Abtasteinrichtung größtenteils über eine Optikeinheit und eine Aufzeichnungseinheit. Bei der Optikeinheit handelt es sich nicht einschränkend um ein oder mehrere Mikroskopobjektive, während die Aufzeichnungseinheit beispielsweise als CCD-Chip (CCD = Charge coupled device) ausgeführt ist oder einen solchen beinhaltet. Die Aufzeichnungseinheit bzw. der CCD-Chip befindet sich regelmäßig in der Bildebene des zugehörigen Mikroskopobjektives, um das Einzelbild aufzunehmen und an die Steueranlage zu übergeben. Die Steueranlage liest ihrerseits die Aufzeichnungseinheit aus und speichert das jeweilige Einzelbild ab. Nachdem alle Einzelbilder erfasst worden sind, werden diese zu dem einen oder den mehreren Gesamtbildern zusam- mengesetzt. Üblicherweise wird die Probe mit Hilfe der Verstelleinheit gegenüber der Abtasteinrichtung bewegt. Dazu wird die Probe regelmäßig von einem Probentisch gehalten, welcher seinerseits über Verstelleinrichtungen bzw. Stellvorrichtungen bewegt wird. Dabei findet meistens nicht nur eine Bewegung in X-/Y-Ebene statt, um die jeweiligen Einzelbilder aufzunehmen und in der Steueranlage abzulegen. Tatsächlich sorgt die Verstelleinheit üblicherweise auch noch für eine Verstellung in Z-, also Höhenrichtung, welche immer dann erforderlich ist, wenn beispielsweise mit Hilfe des Mikroskopobjektives bzw. der Optikeinheit fokus- siert werden soll. Dabei kann die Fokussierung sowohl automatisch als auch manuell vorgenommen werden. Im erstgenannten Fall wird der Bildkontrast mit Hilfe von Grauwertabweichungen untersucht und das kontrastreichste Bild als zum Focus gehörig qualifiziert. Daneben ist natürlich auch eine manuelle Fokussierung möglich. Ebenso umfasst die Erfindung Abwandlungen dergestalt, dass nicht die Verstelleinheit bzw. der Probentisch gegenüber der Abtasteinrichtung bewegt wird, sondern die Abtasteinrichtung ergänzend oder alternativ gegenüber der Verstelleinheit. Selbstverständlich ist auch beides möglich, wie der letztgenannte Anwendungsfall deutlich macht.In any case, the scanner has mostly an optical unit and a recording unit. The optical unit is not limited to one or more microscope objectives, while the recording unit is embodied, for example, as a CCD chip (CCD = Charge Coupled Device) or includes such. The recording unit or the CCD chip is regularly in the image plane of the associated microscope objective to record the individual image and transfer it to the control system. The control system in turn reads the recording unit and stores the respective frame. After all the individual images have been acquired, they are combined to form the one or more overall images. Usually, the sample is moved with the aid of the adjusting unit relative to the scanning device. For this purpose, the sample is regularly held by a sample table, which in turn is moved via adjusting or adjusting devices. It usually takes place not only a movement in X- / Y-level, to record the respective frames and store in the control system. In fact, the adjustment unit usually also provides for an adjustment in the Z direction, that is to say the height direction, which is always required when, for example, focusing is to be effected with the aid of the microscope objective or the optical unit. The focusing can be done both automatically and manually. In the former case, the image contrast is examined with the aid of gray value deviations and the picture with the highest contrast is classified as belonging to the focus. In addition, of course, a manual focus is possible. Likewise, the invention comprises modifications in such a way that it is not the adjusting unit or the sample table that is moved relative to the scanning device, but the scanning device additionally or alternatively with respect to the adjusting unit. Of course, both are possible, as the latter application makes clear.
Dann wird der Probentisch in X-/Y-Ebene bewegt, wohingegen die Abtastein- richtung eine Bewegung in Z-Richtung erfährt. Bei einer solchen Variante und auch ansonsten besteht die Gefahr, dass die Probe unbeabsichtigt beschädigt wird. Das ist besonders schmerzlich für den Fall, dass es sich bei der Probe um ein besonders wertvolles Einzelstück oder eine lebende Zellkultur handelt, die durch einen solchen Vorgang unwiederbringbar zerstört werden kann. Hier setzt die Erfindung ein.Then, the sample table is moved in the X / Y plane, whereas the scanning device undergoes a movement in the Z direction. In such a variant and otherwise there is a risk that the sample is accidentally damaged. This is particularly painful in the case that the sample is a particularly valuable individual piece or a living cell culture, which can be irreparably destroyed by such an operation. This is where the invention starts.
Der Erfindung liegt das technische Problem zugrunde, ein Verfahren der eingangs beschriebenen Ausgestaltung so weiter zu entwickeln, dass Probenbe- Schädigungen in jedem Fall ausgeschlossen werden können. Außerdem soll eine entsprechend geeignete Vorrichtung angegeben werden.The invention is based on the technical problem of further developing a method of the embodiment described at the beginning in such a way that sample preparation Damage can be excluded in any case. In addition, a correspondingly suitable device should be specified.
Zur Lösung dieser technischen Problemstellung schlägt die Erfindung bei einem gattungsgemäßen Verfahren zur optischen Abtastung einer Probe vor, dass der Probensensor berührungslos arbeitet, und zwar vorzugsweise unter Rückgriff auf elektromagnetische Wellen und/oder Schallwellen. Im erstgenannten Fall sind sowohl Abstandsmessungen (interferometrisch) als auch Zeitmessungen (Laufzeit eines Impulses) denkbar. Ähnlich wird bei Schallwellen gearbeitet.To solve this technical problem, the invention proposes in a generic method for the optical scanning of a sample, that the sample sensor operates without contact, preferably with reference to electromagnetic waves and / or sound waves. In the former case, both distance measurements (interferometric) and time measurements (transit time of a pulse) are conceivable. Similarly, work is done on sound waves.
Für die Verstelleinheit und/oder die Abtasteinrichtung wird demzufolge ein Bewegungsfenster - zumeist innerhalb der Steueranlage - vorgegeben, so dass sich die Verstelleinheit und/oder die Abtasteinrichtung nur innerhalb dieses Bewegungsfensters bewegen lässt bzw. beim Verlassen des Bewegungsfensters eine Alarmmeldung erfolgt. Das Bewegungsfenster wird mit Hilfe des berührungslos arbeitenden Probensensors ermittelt und vorgegeben.Accordingly, a movement window is usually specified for the adjustment unit and / or the scanning device, usually within the control system, so that the adjustment unit and / or the scanning device can only be moved within this movement window or an alarm message is issued when the movement window is exited. The movement window is determined and specified with the aid of the non-contact sample sensor.
Dabei hat es sich bewährt, wenn das Bewegungsfenster in Abhängigkeit verschiedener Parameter eingestellt wird. Zu diesen Parametern mag nicht einschränkend die Größe der Probe, die Anfangsposition und Geschwindigkeit der Verstelleinheit und/oder Abtasteinrichtung (4, 5) sowie ggf. deren Ausgestaltung gehören. In Abhängigkeit hiervon wird das Bewegungsfenster jeweils variabel eingestellt.It has proven useful if the motion window is set depending on various parameters. These parameters may not be limited to the size of the sample, the initial position and speed of the adjustment and / or scanning device (4, 5) and possibly their design. Depending on this, the movement window is set variably in each case.
Der Probensensor definiert - wie bereits ausgeführt - das besagte Bewegungsfenster. Dabei meldet der Probensensor vorzugsweise einmalig oder kontinuierlich Abstandsmesswerte zwischen der Probe und/oder der Verstelleinheit und der Abtasteinrichtung an die Steueranlage. Tatsächlich kann der Probensensor beispielsweise die Probe von ihrer Größe her abtasten und zugehörige Probendimensionswerte an die Steueranlage übergeben. Wenn nun noch die Anfangsposition der Verstelleinheit und beispielsweise die Ausgestaltung des die Probe aufnehmenden Probentisches in der Steueranlage abgelegt sind, kann in Verbindung mit den besagten Probendimensionswerten problemlos auf einen Freiraum zwischen der Probe und der Abtasteinrichtung rückgeschlossen werden. Dieser Freiraum lässt sich mit dem maximal möglichen Bewegungsfenster gleichsetzen. In der Regel begrenzt das Bewegungsfenster Bewegungen der Verstelleinheit und/oder der Abtasteinrichtung in einer Dimension, meistens der Z-Richtung. Wenn der Freiraum zwischen der Probe und der Abtasteinrichtung bekannt ist, kann dieser unmittelbar in Werte für das Bewegungsfenster in dieser Z-Richtung umgesetzt werden. Dabei wird man das Bewegungsfenster aus Sicherheitsgründen meist deutlich kleiner als den vorerwähnten Freiraum wählen. Denkbar sind hier Werte von 50 % bis 80 %. D. h., das Bewegungsfenster nimmt 50 % bis 80 % des Freiraumes ein.The sample sensor defines - as already mentioned - said movement window. In this case, the sample sensor preferably reports, once or continuously, distance measurement values between the sample and / or the adjustment unit and the scanning device to the control system. In fact, the sample sensor may, for example, sample the size of the sample and transfer associated sample dimension values to the control system. If, in addition, the initial position of the adjusting unit and, for example, the design of the sample receiving sample stage are stored in the control system, a free space between the sample and the scanning device can be easily deduced in connection with said sample dimension values. This free space can be equated with the maximum possible motion window. As a rule, the movement window limits movements of the adjustment unit and / or the scanning device in one dimension, usually the Z direction. If the free space between the sample and the scanner is known, this can be converted directly into values for the movement window in this Z direction. For safety reasons, the motion window will usually be much smaller than the previously mentioned free space. Values of 50% to 80% are conceivable here. That is, the motion window occupies 50% to 80% of the free space.
Zusätzlich zu dem Probensensor hat es sich bewährt, wenn ergänzend ein Verstellsensor realisiert wird. Mit Hilfe dieses Verstellsensors lassen sich Bewegungen der Verstelleinheit - beginnend bei ihrer zuvor ermittelten Anfangsposition - erfassen. Im Beispielfall dient der Verstellsensor dazu, Bewegungen der Verstelleinheit in Z-Richtung aufzunehmen und auszuwerten. Steht das Bewegungsfenster in Z-Richtung fest, so kann mit Hilfe des Verstellsensors unmittelbar ermittelt werden, ob sich die Verstelleinheit respektive die Probe in Richtung auf eine der beiden Grenzen des Bewegungsfensters bewegt oder nicht. Dabei wird das Bewegungsfenster jeweils variabel an die Bewegung der Probe gegenüber der Abtasteinrichtung angepasst. Als Folge hiervon ändern sich natürlich auch die Abstandsmesswerte zwischen der Probe und der Abtasteinrichtung und selbstverständlich die Größe des Freiraumes. Bewegt sich die Probe auf eine Grenze des Bewegungsfensters zu, so wird beispielsweise ein Alarmsignal akustisch und/oder optisch ausgegeben. Es kann aber auch so vorgegangen werden, dass die Probe bei Erreichen einer Grenze des Bewegungsfensters nicht mehr weiter mit Hilfe der Verstelleinheit bewegt werden kann, die Verstelleinheit folglich blockiert wird.In addition to the sample sensor, it has proven useful if a displacement sensor is additionally implemented. With the help of this adjustment sensor movements of the adjustment unit can be detected - starting with their previously determined initial position. In the example case, the adjustment sensor serves to record and evaluate movements of the adjustment unit in the Z direction. If the movement window is fixed in the Z direction, it can be determined directly with the aid of the adjustment sensor whether the adjustment unit or the sample moves in the direction of one of the two boundaries of the movement window or not. In this case, the movement window is in each case variably adapted to the movement of the sample relative to the scanning device. As a result, of course, the distance measurement values between the sample and the scanner and, of course, the size of the free space change as well. If the sample moves toward a boundary of the movement window, an alarm signal, for example, is emitted acoustically and / or optically. However, it is also possible to proceed in such a way that, when a limit of the movement window is reached, the sample can no longer be moved further with the aid of the adjustment unit, thus blocking the adjustment unit.
Da der Probensensor berührungslos arbeitet, kann er den zwischen der Probe und der Abtasteinrichtung vorhandenen Freiraum in entsprechender Weise erfassen, und zwar ohne dass die Probe beschädigt wird. Dabei mag der Probensensor mit (Ultra-)Schallwellen und/oder elektromagnetischen Wellen arbeiten. Denkbar sind hier kontinuierliche Verfahren, beispielsweise mit Hilfe eines Interferometers, um den Freiraum zu messen und daraus das Bewegungsfenster abzuleiten. Es kann aber auch mit Wellenimpulsen gearbeitet werden, die beispielsweise von der Abtasteinrichtung ausgehend ausgesandt und von der Probe reflektiert werden. Aus deren Laufzeit bzw. einer zugehörigen Zeitmessung lässt sich der Freiraum ermitteln und folglich das Bewegungsfenster ableiten. Zusätzlich ist der Probensensor meistens in der Lage, die Probe hinsichtlich ihrer Probendimensionen abzutasten.Since the sample sensor operates without contact, it can detect the free space between the sample and the scanning device in a corresponding manner, without the sample being damaged. The sample sensor may work with (ultra-) sound waves and / or electromagnetic waves. Conceivable here are continuous processes, for example with the aid of an interferometer, to measure the free space and derive the motion window therefrom. However, it is also possible to work with wave pulses which, for example, are emitted by the scanning device and reflected by the sample. From their runtime or an associated time measurement, the free space can be determined and consequently derive the motion window. In addition, the sample sensor is usually capable of scanning the sample for its sample dimensions.
Der Verstellsensor ist üblicherweise einer oder mehreren Verstelleinrichtungen der Verstelleinheit zugeordnet. Im Falle, dass der Verstellsensor eine Bewegung der Abtasteinrichtung bzw. des Mikroskopobjektives in Z-Richtung erfassen soll, ordnet man den Verstellsensor üblicherweise einem an dieser Stelle vorgesehenen Handrad oder einem entsprechenden Z-Antrieb zu. In erstgenanntem Fall kann der Verstellsensor als Drehwinkelgeber ausgeführt sein. In letztgenanntem Fall mag es sich um einen Wegsensor oder ähnliches handeln.The adjustment sensor is usually associated with one or more adjustment of the adjustment. In the event that the adjustment sensor is intended to detect a movement of the scanning device or of the microscope objective in the Z direction, the adjustment sensor is usually assigned to a handwheel or a corresponding Z drive provided at this point. In the former case, the adjustment can be designed as a rotary encoder. In the latter case, it may be a displacement sensor or the like.
Im Ergebnis wird ein Verfahren zur Verfügung gestellt, welches durch Definition eines Bewegungsfensters für die Verstelleinheit sicherstellt, dass mechanische Kollisionen zwischen der Probe und der Abtasteinrichtung zuverlässig ausgeschlossen werden können. Das gelingt im Wesentlichen dadurch, dass der Freiraum zwischen der Probe und der Abtasteinrichtung berührungslos ermittelt wird und als Basis zur Definition eines variablen Bewegungsfensters dient.As a result, a method is provided which, by defining a motion window for the adjustment unit, ensures that mechanical Collisions between the sample and the scanner can be reliably excluded. This is achieved essentially by the fact that the free space between the sample and the scanning device is determined without contact and serves as the basis for defining a variable movement window.
Dabei gewährleistet der berührungslos arbeitende Probensensor auf Basis von vorzugsweise elektromagnetischen Wellen und/oder (Ultra-)Schallwellen, dass die zugehörige Probe nicht beschädigt wird. Denn im Gegensatz zum Stand der Technik, beispielsweise nach der DE 102 39 749 A1 , wird auf einen mechanischen Kontakt in jedem Fall verzichtet. Dieser Umstand ist von besonderer Bedeutung vor dem Hintergrund, dass selbst kleinste Berührungen die meistens biologischen Proben unwiederbringbar schädigen können. Das ist im Rahmen der Erfindung in jedem Fall ausgeschlossen.The non-contact sample sensor based on preferably electromagnetic waves and / or (ultra-) sound waves ensures that the associated sample is not damaged. Because in contrast to the prior art, for example according to DE 102 39 749 A1, a mechanical contact is omitted in any case. This circumstance is of particular importance against the background that even the tiniest touch can irreparably damage most biological samples. This is excluded in the context of the invention in any case.
Darüber hinaus kann der Probensensor erfindungsgemäß nicht schlichtweg berührungslos arbeiten, sondern er stellt nach vorteilhafter Ausgestaltung gleichsam ein seitliches Abbild der Probe bzw. dessen Schattenwurf dar. Hierbei geht die Erfindung von der weiteren Erkenntnis aus, dass sich durch diese Vorgehensweise die Genauigkeit für die Bestimmung des Freiraumes und folglich des Bewegungsfensters steigern lässt.In addition, the sample sensor according to the invention can not simply work without contact, but it represents an advantageous embodiment, as it were a lateral image of the sample or its shadow. Here, the invention is based on the further knowledge that the accuracy of the determination of the Free space and therefore of the movement window.
Tatsächlich ändert sich der Abstand zwischen der Probe und der Abtasteinrichtung während des Verstellens permanent und kann durch diese Vorgehensweise auf eine noch zuverlässigere Basis gestellt werden. Denn die Bestimmung des Schattenwurfes lässt sich mit einem stationären Probensensor bestimmen, welcher den Freiraum zwischen der Probe und der Abtasteinrichtung von der Seite her erfasst. Dagegen ist der Probensensor ansonsten entweder in der Abtasteinrichtung und/oder der Verstelleinheit platziert, so dass Änderungen ihres Abstandes zueinander durch den in Richtung der Abstandsänderung und nicht senkrecht hierzu (wie beim Schattenwurf) arbeitenden Probensensor ermittelt werden.In fact, the distance between the sample and the scanner during adjustment changes permanently and can be put on an even more reliable basis by this procedure. For the determination of the shadow cast can be determined with a stationary sample sensor which detects the free space between the sample and the scanning device from the side. In contrast, the sample sensor is otherwise placed either in the scanning device and / or the adjustment, so that changes in their distance from each other by the in Direction of the change in distance and not perpendicular to this (as in the shadow) working sample sensor can be determined.
Gegenstand der Erfindung ist auch eine Vorrichtung zur optischen Abtastung einer Probe, wie sie im Anspruch 6 beschrieben wird. Vorteilhafte Ausgestaltungen dieser Vorrichtung werden in den Ansprüchen 7 bis 10 behandelt.The invention also provides a device for optically scanning a sample as described in claim 6. Advantageous embodiments of this device are treated in claims 7 to 10.
Im Folgenden wird die Erfindung anhand einer lediglich ein Ausführungsbeispiel darstellenden Zeichnung näher erläutert; es zeigen:In the following the invention will be explained in more detail with reference to a drawing showing only one exemplary embodiment; show it:
Fig. 1 eine erfindungsgemäße Vorrichtung schematisch undFig. 1 shows a device according to the invention schematically and
Fig. 2 sowie 3 jeweils einen vergrößerten Ausschnitt aus Fig. 1.2 and 3 are each an enlarged detail of FIG. 1.
In den Figuren ist eine Vorrichtung zur optischen Abtastung einer Probe 1 dargestellt, bei welcher es sich nicht einschränkend um einen transparenten biologischen Gewebeschnitt handelt. Dieser wird mit Hilfe einer Weißlichtquelle W oder dergleichen durchleuchtet, die sich unterhalb einer Verstelleinheit 2, 3 befindet. Die Verstelleinheit 2, 3 setzt sich aus Stellvorrichtungen 2 sowie einem Probentisch 3 zusammen.In the figures, a device for optical scanning of a sample 1 is shown, which is not limited to a transparent biological tissue section. This is illuminated by means of a white light source W or the like, which is located below an adjustment unit 2, 3. The adjusting unit 2, 3 is composed of adjusting devices 2 and a sample table 3.
Mit Hilfe der Stellvorrichtungen 2 kann der Probentisch 3 im Beispielfall in X-/Y-Richtung verfahren werden, so dass unterschiedliche Bereiche der Probe 1 aufgenommen werden können. Zusätzlich lässt sich der Probentisch 3 ggf. auch in Z-Richtung verstellen. Das ist jedoch nicht dargestellt. Denn eine Relativbewegung zwischen der Probe 1 und einer Abtasteinrichtung 4, 5 in Z-Richtung wird vorliegend so bewerkstelligt, dass der Abtasteinrichtung 4, 5 eine weitere Stellvorrichtung 6 zugeordnet ist, bei welcher es sich nicht einschränkend um ein Handrad 6 in Verbindung mit einem Z-Stelltrieb handelt. Die Abtasteinrichtung 4, 5 setzt sich aus mehreren Objektiven bzw. Mikroskopobjektiven 4 als Optikeinheit 4 zusammen, die wahlweise unterschiedlich große Bildausschnitte der Probe 1 auf eine Aufzeichnungseinheit 5 abbilden. Bei der Aufzeichnungseinheit 5 handelt es sich um einen CCD-Chip mit beispielsweise 1 Million Pixeln. Das auf dem CCD-Chip erzeugte Bild der transmittierten Probe 1 wird in einer Steueranlage 7 als Einzelbild E aufgenommen. Wie angedeutet, setzt die Steueranlage 7 mehrere Einzelbilder E zu einem Gesamtbild zusammen.With the help of the adjusting devices 2, the sample table 3 can be moved in the example case in the X / Y direction, so that different areas of the sample 1 can be recorded. In addition, the sample table 3 can optionally also be adjusted in the Z direction. This is not shown. For a relative movement between the sample 1 and a scanning device 4, 5 in the Z direction is accomplished in the present case, that the scanning device 4, 5 is associated with a further adjusting device 6, in which it is not limiting to a handwheel 6 in conjunction with a Z Actuator acts. The scanning device 4, 5 is composed of a plurality of objectives or microscope objectives 4 as an optical unit 4, which can image different sized image sections of the sample 1 to a recording unit 5 selectively. The recording unit 5 is a CCD chip with, for example, 1 million pixels. The image of the transmitted sample 1 generated on the CCD chip is recorded in a control system 7 as a single image E. As indicated, the control unit 7 combines a plurality of individual images E into an overall image.
Die Steueranlage 7 steuert auch die Stellvorrichtung 2 bzw. die Verstelleinheit 2, 3 sowie ggf. die Optikeinheit 4 an, indem ein gewünschtes Objektiv 4 ausgewählt wird. Zusätzlich steuert die Steueranlage 7 auch die Stellvorrichtung 6 in Z-Richtung. Tatsächlich ermöglicht die dargestellte Vorrichtung mit Hilfe der Stellvorrichtung 6 sowohl eine automatische Fokussierung der Probe 1 mit Hilfe des ausgewählten Objektives 4 als auch eine manuelle Fokussierung mit dem dargestellten Handrad 6.The control system 7 also controls the adjusting device 2 or the adjusting unit 2, 3 and optionally the optical unit 4 by a desired lens 4 is selected. In addition, the control system 7 also controls the adjusting device 6 in the Z direction. In fact, the illustrated device with the aid of the adjusting device 6 enables both automatic focusing of the sample 1 with the aid of the selected objective 4 and manual focusing with the illustrated handwheel 6.
Bei der Fokussierung wird mit Hilfe der Stellvorrichtung 6 ein Abstand A zwischen der Probe 1 und der Abtasteinrichtung 4, 5 verändert. Ausgehend von der zeichnerisch dargestellten Anfangsposition der Verstelleinheit 2, 3 gegenüber der Abtasteinrichtung 4, 5 gibt dieser Abstand A ein maximal mögliches Bewegungsfenster F für die Verstelleinheit 2, 3 vor, innerhalb dessen mechanische Kollisionen mit der Abtasteinrichtung 4, 5 ausgeschlossen sind (vgl. Fig. 3). Tatsächlich wird das Bewegungsfenster F meist kleiner als der besagte (maximale) Abstand A eingestellt, beispielsweise beträgt das Bewegungsfenster F 80 % des Abstandes A, so dass gilt:When focusing a distance A between the sample 1 and the scanning device 4, 5 is changed by means of the adjusting device 6. Starting from the illustrated starting position of the adjusting unit 2, 3 with respect to the scanning device 4, 5, this distance A is a maximum possible movement window F for the adjusting unit 2, 3, within which mechanical collisions with the scanning device 4, 5 are excluded (see FIG 3). In fact, the movement window F is usually set smaller than the said (maximum) distance A, for example, the movement window F is 80% of the distance A, so that the following applies:
(1 ) F = 0,8 A. Selbstverständlich sind auch andere Werte denkbar, so dass folgender Bereich vorteilhaft abgedeckt wird:(1) F = 0.8A. Of course, other values are also conceivable, so that the following range is advantageously covered:
(2) 0,5 A ≤ F < 1 ,0 A.(2) 0.5A ≦ F <1.0A
Um nun das Bewegungsfenster F bzw. den Abstand A im Detail variabel festzulegen und zu erfassen, verfügt die dargestellte Vorrichtung über zumindest einen Probensensor 8, welcher einmalig oder kontinuierlich Abstandsmesswerte, also den Abstand A, zwischen der Probe 1 und/oder der Verstelleinheit 2, 3 und der Abtasteinrichtung 4, 5 an die Steueranlage 7 meldet. Zusätzlich kann die Probe 1 mit Hilfe des Probensensors 8 hinsichtlich ihrer Probendimensionen abgetastet werden. So wird meistens vorgegangen.In order to variably determine and record the movement window F or the distance A in detail, the illustrated device has at least one sample sensor 8 which records once or continuously distance measurement values, ie the distance A, between the sample 1 and / or the adjustment unit 2. 3 and the scanning device 4, 5 reports to the control system 7. In addition, the sample 1 can be scanned with the aid of the sample sensor 8 with regard to its sample dimensions. This is usually the case.
Im Beispielfall der Fig. 1 ist der Probensensor 8 an einem ortsfesten Haltearm für die Abtasteinrichtung 4, 5 bzw. in dieser angeordnet. Der Probensensor 8 misst berührungslos und meistens kontinuierlich oder in von der Steueranlage 7 vorgegebenen Zeitabständen seinen Abstand A zum Probentisch 3. Wenn das ausgewählte Objektiv 4 bekannt ist und auch dessen Dimensionen, so lässt sich aus einem Überstand Ü des Objektives 4 gegenüber einer Unterkante des Haltearmes entsprechend dem Abstand der Unterkante des Objektives 4 vomIn the example of FIG. 1, the sample sensor 8 is arranged on a stationary holding arm for the scanning device 4, 5 or in this. If the selected lens 4 is known and also its dimensions, it can be determined from a projection Ü of the objective 4 with respect to a lower edge of the holding arm according to the distance of the lower edge of the lens 4 from
Probensensor 8 auf den Abstand des Objektives 4 gegenüber dem ProbentischSample sensor 8 to the distance of the lens 4 relative to the sample table
3 wie folgt rückschließen:3 infer as follows:
(3) A = A - O - H,(3) A = A - O - H,
wobei H die "Höhe" der Probe 1 über dem Probentisch 3 angibt und beispielsweise zuvor bestimmt wurde. Selbstverständlich kann der Probensensor 8 auch unmittelbar (kopfseitig) am Objektiv 4 angebracht sein und kontinuierlich den Abstand A an die Steueranlage 7 übermitteln. Als weitere Alternative tastet der Probensensor 8 die Probe 1 hinsichtlich ihrer Probendimensionen ab, was ebenfalls berührungslos geschieht. Zu diesem Zweck kann der Probensensor 8 die Probe 1 seitlich beleuchten und aus dem Schattenbild auf dessen Höhe "H" schließen (vgl. Fig. 3). Bei der dargestellten Ausführungsform ist der Probensensor 8 jedoch fest an der Abtasteinrichtung 4, 5 bzw. einem Objektiv 4 angebracht und misst direkt den Abstand A von seinem Anbringungsort bis zu einem Kopf der Probe 1. Dieser Kopf fällt üblicherweise mit der Oberfläche eines Deckglases zusammen, wobei die Probe 1 zwischen dem besagten Deckglas und einem Objektträger platziert ist, wie die Fig. 3 deutlich macht.where H indicates the "height" of the sample 1 above the sample table 3 and has been previously determined, for example. Of course, the sample sensor 8 may also be attached directly (head-side) to the objective 4 and continuously transmit the distance A to the control system 7. As a further alternative, the sample sensor 8 scans the sample 1 with respect to its sample dimensions, which also happens without contact. For this purpose, the sample sensor 8 can laterally illuminate the sample 1 and close it from the shadow image at its height "H" (see FIG. 3). However, in the illustrated embodiment, the sample sensor 8 is fixedly attached to the scanner 4, 5, or lens 4, and directly measures the distance A from its mounting location to a head of the sample 1. This head usually coincides with the surface of a cover glass. wherein the sample 1 is placed between said coverslip and a slide, as Fig. 3 makes clear.
Jedenfalls ist der Probensensor 8 in der Lage, die Höhe H der Probe 1 im Vergleich zur Oberfläche des Probentisches 3 zu bestimmen und auch den Abstand A der Probe 1 bis zur Unterkante des Objektives 4 sowie ggf. den Abstand A1. Unter der Voraussetzung, dass in der Steueranlage 7 bekannt ist, welches Objektiv 4 aktuell zum Einsatz kommt, und zwar unter Berücksichtigung der hiermit verbundenen Abmessungen, insbesondere des Überstandes Ü, kann mit Hilfe der Höhe H unmittelbar auf den Abstand A rückgeschlossen werden, wenn beispielsweise der Probensensor 8 den Abstand A1 misst. Denn dieser Abstand A ergibt sich einfach aus dem Abstand des ausgewählten Objektives 4 bzw. dessen Überstand Ü und seinem Abstand gegenüber der Oberfläche des Probentisches 3 abzüglich der Höhe H der Probe 1 entsprechend der zuvor angegebenen Gleichung (3).In any case, the sample sensor 8 is able to determine the height H of the sample 1 in comparison to the surface of the sample table 3 and also the distance A of the sample 1 to the lower edge of the lens 4 and possibly the distance A 1 . Assuming that in the control system 7 is known which lens 4 is currently used, and taking into account the associated dimensions, in particular the supernatant Ü, with the help of the height H can be directly deduced the distance A, if, for example the sample sensor 8 measures the distance A 1 . For this distance A results simply from the distance of the selected objective 4 or its projection U and its distance from the surface of the sample table 3 minus the height H of the sample 1 in accordance with equation (3) given above.
Basierend auf diesem ermittelten variablen Abstand A gibt die Steueranlage 7 nun das Bewegungsfenster F nach der zuvor angegebenen Vorschrift (1 ) oder (2) vor. Um nun Bewegungen der Abtasteinrichtung 4, 5 gegenüber der Probe 1 dynamisch zu berücksichtigen, ist neben dem Probensensor 8 zusätzlich ein Verstellsensor 9 realisiert, welcher Bewegungen der Verstelleinheit 2, 3 erfasst. Im Ausführungsbeispiel ist der Verstellsensor 9 dem Handrad 6 bzw. der Stellvorrichtung 6 zur Bewegung der Abtasteinrichtung 4, 5 in Z-Richtung zugeordnet.Based on this determined variable distance A, the control system 7 now predefines the movement window F according to the previously specified rule (1) or (2). In order to take dynamic movements of the scanning device 4, 5 with respect to the sample 1, an adjustment sensor 9 is additionally realized in addition to the sample sensor 8, which detects movements of the adjustment unit 2, 3. In the exemplary embodiment, the adjustment sensor 9 is the handwheel 6 or the Adjusting device 6 assigned to the movement of the scanning device 4, 5 in the Z direction.
Tatsächlich handelt es sich bei dem Verstellsensor 9 um einen Drehwinkel- sensor, welcher Bewegungen des Handrades 6 bzw. des zusätzlich oder alternativ vorgesehenen Stelltriebes 6' erfasst. Je nachdem, wie sich die Abtasteinrichtung 4, 5 - beginnend in ihrer Anfangsposition - gegenüber dem Probentisch 3 und folglich der Probe 1 bewegt, errechnet die Steueranlage 7 aus dem zugehörigen Verstellweg - erfasst mit Hilfe des Verstellsensors 9 - den verbleibenden Abstand A zwischen dem Mikroskopobjektiv 4 und der Probe 1 bzw. dessen Kopf. Dazu braucht der Abstand A lediglich einmal in der Anfangsposition der Abtasteinrichtung 4, 5 gegenüber der Probe 1 ermittelt werden. Sämtliche Änderungen des Abstandes A werden dann über den Verstellsensor 9 und die Steueranlage 7 über den Verstellweg berücksichtigt. Um die Sicherheit zu steigern, wird jedoch in der Regel der Abstand A kontinuierlich gemessen und mit den über den Verstellweg und den Verstellsensor 9 errechneten Werten in der Steueranlage 7 auf Übereinstimmung geprüft.In fact, the adjustment sensor 9 is a rotation angle sensor which detects movements of the handwheel 6 or the additionally or alternatively provided adjustment drive 6 '. Depending on how the scanning device 4, 5 - starting in its initial position - moves relative to the sample table 3 and consequently the sample 1, calculates the control system 7 from the associated adjustment - recorded using the Verstellsensors 9 - the remaining distance A between the microscope objective 4 and the sample 1 and its head. For this purpose, the distance A needs only once in the initial position of the scanning device 4, 5 are determined relative to the sample 1. All changes in the distance A are then taken into account via the adjustment sensor 9 and the control system 7 via the adjustment. In order to increase safety, however, as a rule the distance A is continuously measured and tested for conformity with the values calculated in the control system 7 via the adjustment path and the displacement sensor 9.
Kommt es zu einer Abweichung, wird ein Alarmsignal ausgegeben und/oder die Stellvorrichtung 6 mittels der Steueranlage 7 blockiert. Dasselbe tritt ein, falls sich die Verstelleinheit 2, 3 an den Rand des Bewegungsfensters F bewegt bzw. diesen erreicht. Dabei kann je nach der Geschwindigkeit der Verstellung in Z-Richtung auch mit anderen Multiplikatoren als 0,8 in den Gleichungen (1 ) und (2) gearbeitet werden, um das Bewegungsfenster F aus dem Abstand A abzuleiten. Denkbar ist es, bei großen Geschwindigkeiten der Abtasteinrichtung 4, 5 in Z-Richtung den Faktor bis auf 0,5 zu verringern. Dagegen lässt eine langsame Verstellung in Z-Richtung unter Umständen auch Werte bis nahezu 1 ,0 zu. Erreicht bei diesem Vorgang also die Abtasteinrichtung 4, 5 einen minimalen Abstand A gegenüber der Probe 1 bzw. eine Untergrenze des Bewegungsfensters F, so geht das Handrad 6 leer bzw. es wird ein Warnsignal ausgegeben. Tatsächlich ist das Handrad 6 nämlich nicht unmittelbar mechanisch an einen Stelltrieb oder dergleichen gekoppelt, sondern es werden vielmehr Drehbewegungen des Handrades 6 mit dem Verstellsensor 9 erfasst und abgegriffen und dann erst in Stellbewegungen des zusätzlich vorgesehenen Stelltriebes 6' mit Hilfe der Steueranlage 7 umgewandelt. Zuvor sind diese Stellbewegungen des Handrades 6 und damit Verstellwege des Verstellsensors 9 in der Steueranlage 7 ausgewertet worden, und zwar dahingehend, ob der hiermit verbundene Verstellweg möglich ist oder nicht. Wird der minimale Abstand A zwischen der Probe 1 und dem Mikroskopobjektiv 4 unterschritten (beispielsweise 1 mm oder ein anderer Wert, je nach Anwendungsfall), so sorgt die Steueranlage 7 im Beispielfall dafür, dass der Stelltrieb 6' nur soweit verstellt wird, dass der Minimalabstand eingehalten wird.If there is a deviation, an alarm signal is output and / or the adjusting device 6 is blocked by means of the control system 7. The same occurs if the adjustment unit 2, 3 moves to the edge of the movement window F or reaches it. Depending on the speed of adjustment in the Z direction, it is also possible to work with multipliers other than 0.8 in equations (1) and (2) in order to derive the motion window F from the distance A. It is conceivable to reduce the factor to 0.5 at high speeds of the scanning device 4, 5 in the Z direction. On the other hand, a slow adjustment in the Z direction may also give values of up to almost 1.0. Achieved in this process so the scanning device 4, 5 a minimum distance A relative to the sample 1 and a lower limit of the movement window F, the handwheel 6 is empty or it is issued a warning signal. In fact, the hand wheel 6 is not mechanically coupled directly to an actuator or the like, but rather rotational movements of the handwheel 6 with the adjustment sensor 9 are detected and tapped and then converted into adjusting movements of the additionally provided actuating drive 6 'with the aid of the control system 7. Previously, these adjusting movements of the handwheel 6 and thus adjustment of the Verstellsensors 9 have been evaluated in the control system 7, to the extent that the adjoining adjustment path is possible or not. If the minimum distance A between the sample 1 and the microscope objective 4 is undershot (for example, 1 mm or another value, depending on the application), the control system 7 ensures in the example case that the actuator 6 'is only adjusted so far that the minimum distance is complied with.
Darüber hinaus und unabhängig von der bisher beschriebenen Funktionsweise ist der Probensensor 8 nicht nur in der Lage, den variablen Abstand A mit Hilfe der Steueranlage 7 zu ermitteln und das Bewegungsfenster F vorzugeben. Vielmehr kann mit Hilfe des Probensensors 8 zusätzlich die jeweilige Position der Abtasteinrichtung 4, 5 gegenüber der Probe 1 in der Steueranlage 7 mitprotokolliert werden. Wenn diese protokollierten Werte gleichzeitig mit denjenigen des Verstellsensors 9 verglichen werden, können Aussagen über die Stellgenauigkeit des Handrades 6 bzw. des zusätzlich oder alternativ vorge- sehenen Stelltriebes 6', getroffen werden.In addition, and independent of the previously described mode of operation, the sample sensor 8 is not only able to determine the variable distance A with the aid of the control unit 7 and to specify the movement window F. Rather, the respective position of the scanning device 4, 5 with respect to the sample 1 in the control system 7 can be logged with the help of the sample sensor 8 in addition. If these logged values are simultaneously compared with those of the adjustment sensor 9, statements about the positioning accuracy of the handwheel 6 or of the additionally or alternatively provided positioning drive 6 'can be made.
Auch ist es möglich, aus etwaigen Abweichungen zwischen der tatsächlich gemessenen Position der Abtasteinrichtung 4, 5 im Vergleich zu der Vorgabe entsprechend dem Verstellsensor 9 ggf. eine Korrektur vorzunehmen. D. h., mit dem Stelltrieb 6' bzw. dem Handrad 6 wird ein bestimmter Abstand A der Abtasteinrichtung 4, 5 gegenüber der Probe 1 eingestellt und mit dem tatsächlich erreichten und seitens des Probensensors 8 gemessenen Wert verglichen. Wenn nun diese Prozedur für verschiedene Abstände A durchgeführt wird, so lassen sich jeweils Korrekturwerte K in Abhängigkeit von dem Abstand A vor- geben entsprechend K (A).It is also possible, if necessary, to make a correction from any deviations between the actually measured position of the scanning device 4, 5 in comparison to the specification according to the adjustment sensor 9. D. h., With the actuator 6 'and the handwheel 6 is a certain distance A of Scanning device 4, 5 set against the sample 1 and compared with the actually achieved and measured by the sample sensor 8 value. If this procedure is now carried out for different distances A, correction values K can be given in each case as a function of the distance A, corresponding to K (A).
Dadurch ist die Erfindung in der Lage, auf besonders aufwendig gearbeitete Stelltriebe 6' bzw. Handräder 6 zu verzichten, weil letztlich der Probensensor 8 in Verbindung mit dem Verstellsensor 9 sowie der Steueranlage 7 für eine entsprechende Korrektur und den Ausgleich evtl. (mechanischer) Ungenauig- keiten sorgen. Thus, the invention is able to dispense with particularly elaborate actuators 6 'or handwheels 6, because ultimately the sample sensor 8 in conjunction with the Verstellsensor 9 and the control system 7 for a corresponding correction and compensation possibly (mechanical) inaccurate - worries.

Claims

Patentansprüche: claims:
1. Verfahren zur optischen Abtastung einer Probe (1 ), mit einer Verstelleinheit (2, 3) sowie eine Abtasteinrichtung (4, 5), wonach die Probe (1 ) mittels der von einer Steueranlage (7) beaufschlagten Verstelleinheit (2, 3) gegenüber der Abtasteinrichtung (4, 5) bewegt wird, oder umgekehrt, und wonach mittels eines Probensensors (8) ein Bewegungsfenster (F) für die Verstelleinheit (2, 3) und/oder die Abtasteinrichtung (4, 5) definiert wird, innerhalb dessen mechanische Kollisionen zwischen der Probe (1 ) und der Abtasteinrichtung (4, 5) ausgeschlossen sind, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass der Probensensor (8) berührungslos, beispielsweise unter Rückgriff auf elektromagnetische und/oder Schallwellen, arbeitet.1. A method for optical scanning of a sample (1), comprising an adjusting unit (2, 3) and a scanning device (4, 5), after which the sample (1) by means of the control unit (7) acted upon adjusting unit (2, 3) relative to the scanning device (4, 5) is moved, or vice versa, and then by means of a sample sensor (8) a movement window (F) for the adjusting unit (2, 3) and / or the scanning device (4, 5) is defined within which mechanical collisions between the sample (1) and the scanning device (4, 5) are excluded, characterized in that the sample sensor (8) without contact, for example, with reference to electromagnetic and / or sound waves works.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass das Bewegungs- fenster (F) in Abhängigkeit verschiedener Parameter wie der Größe der Probe2. The method according to claim 1, characterized in that the movement window (F) depending on various parameters such as the size of the sample
(1 ), der Anfangsposition und Geschwindigkeit der Verstelleinheit (2, 3) und/oder der Abtasteinrichtung (4, 5) sowie ggf. deren Ausgestaltung variabel eingestellt wird.(1), the initial position and speed of the adjusting unit (2, 3) and / or the scanning device (4, 5) and optionally their configuration is set variably.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Bewegungsfenster (F) Bewegungen der Verstelleinheit (2, 3) und/oder der Abtasteinrichtung (4, 5) in einer Dimension begrenzt.3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the movement window (F) limits movements of the adjusting unit (2, 3) and / or the scanning device (4, 5) in one dimension.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Probensensor (8) einmalig oder kontinuierlich Abstandsmesswerte zwischen der Probe (1 ) und/oder der Verstelleinheit (2, 3) und der Abtasteinrichtung (4, 5) an die Steueranlage (7) meldet. 4. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the sample sensor (8) once or continuously distance measurement values between the sample (1) and / or the adjusting unit (2, 3) and the scanning device (4, 5) to the Control system (7) reports.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass neben dem Probensensor (8) ein Verstellsensor (9) realisiert wird, welcher Bewegungen der Verstelleinheit (2, 3) erfasst.5. The method according to any one of claims 1 to 4, characterized in that in addition to the sample sensor (8) an adjustment sensor (9) is realized, which detects movements of the adjustment unit (2, 3).
6. Vorrichtung zur optischen Abtastung einer Probe (1 ), mit einer Verstelleinheit (2, 3) sowie einer Abtasteinrichtung (4, 5), wobei die Probe (1 ) mittels der von einer Steueranlage (7) beaufschlagten Verstelleinheit (2, 3) gegenüber der Abtasteinrichtung (4, 5) bewegt wird, oder umgekehrt, und wonach mittels eines Probensensors (8) ein Bewegungsfenster (F) für die Verstelleinheit (2, 3) und/oder die Abtasteinrichtung (4, 5) definiert wird, innerhalb dessen mechanische Kollisionen zwischen der Probe (1 ) und der Abtasteinrichtung (4, 5) ausgeschlossen sind, dadurch gekennzeichnet, dass der Probensensor (8) unter Rückgriff auf beispielsweise elektromagnetische und/oder Schallwellen berührungslos arbeitet.6. An apparatus for optical scanning of a sample (1), comprising an adjusting unit (2, 3) and a scanning device (4, 5), wherein the sample (1) is acted upon by the adjusting device (2, 3) acted upon by a control system (7). relative to the scanning device (4, 5) is moved, or vice versa, and then by means of a sample sensor (8) a movement window (F) for the adjusting unit (2, 3) and / or the scanning device (4, 5) is defined within which mechanical collisions between the sample (1) and the scanning device (4, 5) are excluded, characterized in that the sample sensor (8) operates without contact, using, for example, electromagnetic and / or sound waves.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Probensensor (8) einen zwischen der Probe (1 ) und der Abtasteinrichtung (4, 5) vorhandenen Freiraum erfasst.7. The device according to claim 6, characterized in that the sample sensor (8) detects between the sample (1) and the scanning device (4, 5) existing free space.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Probensensor (8) zusätzlich oder alternativ die Probe (1) abtastet.8. Apparatus according to claim 6 or 7, characterized in that the sample sensor (8) additionally or alternatively scans the sample (1).
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass zusätzlich zu dem Probensensor (8) ein Verstellsensor (9) vorgesehen ist.9. Device according to one of claims 6 to 8, characterized in that in addition to the sample sensor (8), an adjustment sensor (9) is provided.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Verstellsensor (9) einer oder mehreren Verstelleinrichtungen (2, 6) der Verstelleinheit (2, 3) zugeordnet ist. 10. Device according to one of claims 6 to 9, characterized in that the adjustment sensor (9) one or more adjusting devices (2, 6) of the adjusting unit (2, 3) is assigned.
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