WO2006120228A1 - Device for conveying wafers - Google Patents

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WO2006120228A1
WO2006120228A1 PCT/EP2006/062237 EP2006062237W WO2006120228A1 WO 2006120228 A1 WO2006120228 A1 WO 2006120228A1 EP 2006062237 W EP2006062237 W EP 2006062237W WO 2006120228 A1 WO2006120228 A1 WO 2006120228A1
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WO
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receiving
depositing
tool
driving gear
support means
Prior art date
Application number
PCT/EP2006/062237
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German (de)
French (fr)
Inventor
Reinhard Fredrich
Gerhard Rönsch
Heinrich Strobl
Uwe Timm
Original Assignee
Mühlbauer Ag
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Publication date
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67144—Apparatus for mounting on conductive members, e.g. leadframes or conductors on insulating substrates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/84—Star-shaped wheels or devices having endless travelling belts or chains, the wheels or devices being equipped with article-engaging elements
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    • B65G47/848—Star-shaped wheels or wheels equipped with article-engaging elements the article-engaging elements being suction or magnetic means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • B65G47/918—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers with at least two picking-up heads
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices

Definitions

  • the present invention is directed to a device for transporting platelets.
  • platelets are particularly, but not exclusively, semiconductor or chip platelets that are applied from a home position, such as a supply, to a target position, such as a carrier strip.
  • a transport device From WO03 / 058708 A1 such a transport device is known.
  • This has a chip turner, which lifts the chip to be transported by means of suction, rotates 180 degrees and passes to a rotor. This rotor transports the chip to its destination and drops it there.
  • the wafer is transferred in a predetermined orientation to the rotor or a tool arranged on the rotor and then rotates with a rotation of the rotor.
  • the present invention is therefore based on the object of providing a transport device which makes it possible, on the one hand, to prevent the orientation of the small plate. is correct or defined and on the other hand a correction of the orientation during the process is possible.
  • the device according to the invention for transporting platelets has a carrier device rotatably arranged about a predetermined main axis, on which a plurality of receiving and depositing tools is arranged, wherein at least one receiving and depositing tool is rotatable about an axis of rotation with respect to the carrier device Substantially parallel to the main axis.
  • the carrier device is generally understood to mean a device on which working elements are arranged.
  • a carrier device is understood to mean a rotor or rotor star, on whose outer region preferably a plurality of receiving and depositing tools are arranged.
  • the main axis is a geometric axis about which the support means is rotated.
  • the geometric main axis runs essentially through the geometric center of the carrier device and is perpendicular to the plane of the carrier device.
  • a picking and depositing tool is understood to mean a device which is suitable for picking up the platelets to be transported and preferably depositing them elsewhere. Preferably, the inclusion of the platelets by sucking the same and the deposition of the platelets by means of air pressure.
  • other recording mechanisms for example using electrostatic or magnetic forces conceivable.
  • the carrier device rotates in only one direction of rotation.
  • the rotation can be essentially continuous, but it can also be interrupted at predetermined time intervals in order to pick up the individual platelets or deposit them again at the destination.
  • the diameter of the carrier device is selected such that the geometric distance between the position at which the platelets are received and the position at which platelets are deposited again can be bridged solely by a rotation of the carrier device.
  • the use of additional axes or additional transport elements can be dispensed with.
  • the time intervals between two interruptions to deposit the platelets are between 40 ms and 160 ms, preferably between 70 ms and 110 ms and particularly preferably in the range of 90 ms.
  • the total cycle time i. the time including the time to deposit the platelets is between 80 ms and 240 ms, preferably between 120 ms and 180 ms and particularly preferably in the range of 150 ms.
  • each pick and place tool is in fixed connection with a driven gear and each of these driven gears is engaged with a common driving gear.
  • each of these driven gears is disposed about and fixedly connected to the axis of the pick and place tools such that rotation of this gear simultaneously effects rotation of the pick and place tool relative to the carrier.
  • each pick and place tool could be accomplished by one or more separate motors are effected. It would thus be possible to use suitable gear mechanisms to rotate all pick-up tools substantially synchronously with respect to the carrier device even without the common driving gearwheel. Also, each individual pick and place tool could be equipped with its own motor, which causes the rotation.
  • each pick and place tool rotates at the same rotational speed relative to the carrier.
  • all recorded platelets rotate in a rotation of the carrier device in the same way.
  • the receiving and depositing tools are arranged substantially uniformly on the carrier device. This means that the individual receiving and depositing tools in the circumferential direction of the support means are each spaced at the same angle from each other. Thus, if, for example, six receiving and depositing tools are provided, they are each spaced at an angle of 60 degrees.
  • the common driving gear hereinafter also referred to as the driving gear for short
  • the driving gear is arranged rotatable relative to the carrier device.
  • the driving gear is at least temporarily silent during rotation of the support means, so it is fixed in space.
  • the driven gears and the driving gear are matched to one another such that the rotational position of all receiving and depositing tools upon rotation of the support means of a predetermined Rest position to a further rest position remains substantially the same.
  • the support means is further rotated in sections by a predetermined angular range, this angular range corresponds to that angle by which the receiving and depositing tools are circumferentially spaced from each other.
  • the driven gears and the driving gear are matched to one another such that upon rotation of the support means by said partial angle corresponding to the distance of a picking tool to the next the receiving and depositing tool performs a full rotation and thus in each holding position of the support means substantially has constant orientation.
  • the driving gear is connected to a drive device, which enables a correction of the rotational position of at least one receiving and depositing tool relative to the carrier device.
  • the common number wheel is arranged movably with respect to the support means.
  • the drive device preferably has a servomotor.
  • the servomotor allows a particularly accurate adjustment of the position of the pick and place tools.
  • At least one receiving and depositing tool is displaceably arranged in the direction of the main axis.
  • all receiving and depositing tools are arranged displaceably in the direction of the main axis or in the direction of its own axis. Because of this displaceability, it is possible for the discard tools to be moved to the destination, such as the tape, to deposit the wafer on that tape.
  • At least one driven gear and the driving gear are matched to one another such that the driven gear and the driving gear remain engaged with each other during substantially the entire displacement movement of the picking and depositing tool relative to the carrier device. This means that no disengagement or engagement or disengagement or engagement of the driven gear relative to the driving gear before or after the sliding movement takes place.
  • the driving gear has a width which corresponds at least to the maximum displacement of the receiving and depositing tool relative to the support means. This means that the driven gear and the driving gear remain engaged with each other at any time during the sliding movement. Conversely, it would also be possible to provide the driven gears of one or all receiving and depositing tools with a greater width or both the widths of the driving gear as well as the individual driven gears of the pick and place tools match each other.
  • a displacement device which permits or effects the displacement of at least one receiving and depositing tool relative to the carrier device, wherein the displacement device preferably has a voice coil.
  • the displacement device is, as stated above, the depositing tool - for example, for depositing a small plate - relative to the support means that is preferably to move down.
  • This displacement device preferably has a displacement measuring device for measuring the displacement. In this way, it is achieved that only defined displacements of the receiving and depositing tool with respect to the carrier device occur.
  • the displacement device has a pre-tensioning device, which pretensions the receiving and depositing tool in a predetermined position relative to the carrier device.
  • This biasing device is preferably but not exclusively a spring element, which particularly preferably biases the receiving and depositing tool in an upper position, that is in the position that is not suitable for placing the plate on the destination. During the movement of the carrier device thereby the individual receiving and depositing tools remain in their predetermined positions in the direction of the main axis.
  • At least one driven gear of a pick-and-drop tool has a predetermined clearance relative to the counter-rotating gear. As explained above, the gears are shifted from each other to achieve in this way a displacement of the receiving and Ablegewerkmaschines the game serves to keep this shift smoothly.
  • a further preferred embodiment is at least one, preferably each receiving and depositing tool in connection with a vacuum source.
  • This vacuum source serves to achieve a temporary adhesion of the wafer to be transported to the receiving and depositing tool via the suction of air.
  • at least one receiving and depositing tool preferably all receiving and Ablegee- tools in conjunction with a compressed air source, by means of which the deposit of the platelets is conveyed at the destination.
  • the device has six receiving and depositing tools.
  • the invention is directed to a system for transporting platelets, wherein the system comprises a device of the type described above.
  • the system further comprises a turning device for the platelets.
  • the platelets are removed from a supply and later stored in inverted, that is rotated by preferably 180 degrees position at the destination.
  • the turning device sucks the platelets to be transported, and passes them after a rotation of 180 degrees to the transport device described above.
  • the aforementioned turning device also preferably uses vacuum or compressed air to pick up or deposit the platelets.
  • the system has a preferably optical examination device for measuring the platelets. More specifically, the dimensions of the wafer are determined.
  • the wafer is picked up with a pick-and-place tool, this pick-up and pick-up train is guided past the measuring device in order to measure the wafer and finally deposited at the depositing position at the destination.
  • the stations mentioned that is to say the recording, the examination and the depositing station, it is also possible to provide further stations, for example a station in which the plate is provided with an adhesive or the like. However, it is also possible to arrange an adhesive at the destination as in particular but not exclusively a carrier tape.
  • the invention is further directed to a method for transporting platelets, wherein in one method step the platelet is taken over at a predetermined first position by means of a receiving and depositing tool arranged on a carrier device, in a further method step the carrier device is rotated about a predefined main axis is and in a further process step, the platelets is stored at a second predetermined position.
  • the receiving and depositing tool is rotated relative to the carrier device about an axis which, in the considerably parallel to the main axis.
  • the rotation of the recording and depositing tool takes place during the rotation of the carrier device.
  • the picking and depositing tool is displaced at least a predetermined time substantially along the direction of the main axis. This shift along the direction of the major axis serves to deposit the picked up wafer at the destination.
  • the predetermined time is preferably a standstill time of the carrier device. This means that the support means is rotated and, when the pick and place tool has reached a predetermined position, stopped and in this position the tool is lowered. Thus, the displacement of the receiving and depositing tool essentially takes place during a standstill phase of the carrier device.
  • the rotational position of at least one receiving and depositing tool can be corrected relative to the carrier device.
  • This correction is carried out as described above by means of a driven driving gear through the rotation of which a rotation of the individual picking and depositing tools relative to the carrier device is effected.
  • Figure 1 is a partial perspective view of the transport device according to the invention.
  • Fig. 2 is a second perspective view of the device of Fig. 1;
  • FIG. 3 shows a further view of the transport device according to the invention.
  • FIG. 4 shows an enlarged detail of the view from FIG. 3;
  • FIG. 5 shows a further view of the transport device according to the invention
  • Fig. 6 is an enlarged detail of the view of Fig. 5;
  • Fig. 7 shows a plant according to the invention.
  • FIG. 1 shows an illustration of the transport device 1 according to the invention.
  • This has a carrier device 4, on which six holders 20 (of which only four are visible) are arranged in this embodiment.
  • These holding devices 20 contain receiving and depositing tools 21.
  • These receiving and depositing tools 21 have receiving and depositing elements 23, which in this embodiment are arranged in the form of tips which receive and deposit the platelets to be transported.
  • the carrier device 4 has external support elements 8, which connect the individual holders 20 with each other.
  • the receiving and depositing tools 21 are rotatably arranged on or in the holders 20, wherein the receiving and depositing tools 21 are each rotatable about an axis N.
  • the axes N are substantially parallel to a major axis H and the entire carrier 4 is rotatable about the major axis H.
  • the reference numeral 13 refers to a plurality of O-rings, which serve to seal for the respective terminals of the individual Vakuumabrise Kunststoffen or feed lines 44.
  • six of these discharge lines 44 are present and accordingly, as stated above, six receiving and depositing tools 21st
  • the reference numeral 11 refers to a driving gear, which is in engagement with the respective driven gears 25 of the individual receiving and depositing tools 21.
  • a cover 27 is arranged, for example, POM.
  • Fig. 2 shows another perspective view of the device according to the invention.
  • This has a bearing device 42 which serves to support the driving gear 11.
  • a bearing device 42 which serves to support the driving gear 11.
  • five further bearing devices 42 are provided in this embodiment, which serve to support the driving gear 11.
  • the reference numeral 30 refers to a displacement device which serves to move the individual receiving and depositing devices 21 upwards or downwards.
  • the movement device has a voice coil 31, which generates the movement of a bracket element 35.
  • the movement device has a frame 32.
  • the reference numeral 37 refers to a fastening device for the drive device 16.
  • This fastening device is a pivot bearing which presses the drive motor or the drive device 16 against the driving gear 11.
  • the drive device 16 has a (not shown) further gear, which is in engagement with the driving gear 11.
  • Fig. 3 shows a further illustration of the transport device according to the invention.
  • the reference numeral 46 refers to a valve for controlling the supply of air to the individual receiving and depositing means 21.
  • the valves 46 communicate with the feeders 44 via hoses (not shown).
  • the reference numeral 48 refers to a test station to check whether at the end of the process still a small plate or a semiconductor chip adheres to the receiving and depositing device.
  • FIG. 4 shows a detailed view from FIG. 3, more precisely the area shown in FIG. 3 by a dashed rectangle.
  • the carrier device 4 has on the outer support elements 8 a plurality of openings 18 for weight saving.
  • the biasing means 42 which, as stated above, serves to support the driving gear 11, has a rotatable rolling element 51 which, in use, rests against the inside of the driving gear 11.
  • the bearing device 42 is biased against the driving gear.
  • Fig. 5 shows a further illustration of the transport device according to the invention from below.
  • the support means in the present embodiment six radially extending webs 19, which also have a plurality of holes for weight saving.
  • a substantially circular opening 53 is provided, from which six intake manifolds 54 protrude in this embodiment. These intake ports 54 are arranged so that they move with the support means 4 with.
  • hoses are the intake manifold 54 with the individual receiving and depositing devices 21 in connection.
  • the reference numeral 55 refers to a drive device for the carrier device 4, which causes the rotation of the carrier device via a shaft 56.
  • the driving gear 11 is rotated by means of a driving gear 15.
  • FIG. 6 shows a detailed view of the device shown in FIG. 5. It can be seen that the bracket members 35 are arranged such that they at least partially surround the gear 25 of the receiving and depositing device 21 passing through them in this embodiment.
  • FIG. 7 shows an overall view of a system according to the invention which, in addition to the transport device 1 according to the invention, also has a turning device 60 and an optical examination device 70.
  • the turning device 60 has a rotatable shaft 61, at the end of which a head 62 is arranged. At least one transfer tool 64 is arranged on this head, which is suitable for receiving the platelets from their starting position. After shooting, the head 62 rotates 180 degrees such that the wafer is turned over and brought close to the pick and place tool 21. In this position, the platelet can be taken over by the pick-and-place tool 21. In another embodiment, it would also be possible for the head 62 of the turning device to rotate permanently or to have several transfer tools.
  • the carrier device 4 rotates permanently (viewed from below) in a clockwise direction.
  • the wafer is optically measured in the optical examination device 70.
  • the optical inspection device has radiation and detection devices and a device in this embodiment. form inclined mirror element 72 for visual representation. The optical measurement is used to determine the exact position of the plate during the transport process and, depending on this exact position, if necessary to make corrections to the driving gear 11 by means of the drive device 16.
  • the wafer with the turning device 60 is transferred to the transport device 1.
  • the wafer is measured by the optical inspection device 70 as described.
  • An empty station is connected to this station, and in the next station the plate is deposited by means of the movement device. After a further emptying station, it is finally checked by means of the test station 48 whether the plate is still present on the pick-up and placing tool or whether the plate has been successfully deposited.

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Abstract

The invention relates to a device for conveying wafers comprising a supporting device (4), which is mounted in a manner that enables it to rotate about a predetermined principal axis (H) and on which a multitude of picking and placing tools (21) is arranged, each picking and placing tool (21), with regard to the supporting device (4), being able to rotate about a rotation axis (N) extending essentially parallel to the principal axis (H).

Description

Vorrichtung zum Transportieren von Plättchen Device for transporting platelets
Beschreibungdescription
Die vorliegende Erfindung ist auf eine Vorrichtung zum Transportieren von Plättchen gerichtet. Bei diesen Plättchen handelt es sich insbesondere, aber nicht ausschließlich, um Halbleiter bzw. Chipplättchen, die ausgehend von einer Ausgangsposition, wie beispielsweise ei- nem Vorrat, in eine Zielposition, wie beispielsweise auf einen Trägerstreifen, aufgebracht werden.The present invention is directed to a device for transporting platelets. These platelets are particularly, but not exclusively, semiconductor or chip platelets that are applied from a home position, such as a supply, to a target position, such as a carrier strip.
Aus der WO03/058708 A1 ist eine derartige Transportvorrichtung bekannt. Diese weist einen Chipwender auf, der mittels Ansaugen den zu transportierenden Chip anhebt, um 180 Grad dreht und an einen Rotor übergibt. Dieser Rotor transportiert den Chip an seinen Zielort und setzt ihn dort ab.From WO03 / 058708 A1 such a transport device is known. This has a chip turner, which lifts the chip to be transported by means of suction, rotates 180 degrees and passes to a rotor. This rotor transports the chip to its destination and drops it there.
Bei dieser Vorrichtung wird das Plättchen in einer vorgegebenen Orientierung an den Rotor beziehungsweise ein auf dem Rotor angeordnetes Werkzeug übergeben und dreht sich an- schließend bei einer Drehung des Rotors mit. Das bedeutet, dass sich auch die Orientierung des Plättchens beziehungsweise Chips während der Drehung des Rotors dreht. Daher hängt die genaue Orientierung des Plättchens von dem Drehwinkel des Rotors ab. Eine Korrekturmöglichkeit, um eventuelle Fehlstellungen zu korrigieren ist bei dem genannten Stand der Technik nicht möglich.In this device, the wafer is transferred in a predetermined orientation to the rotor or a tool arranged on the rotor and then rotates with a rotation of the rotor. This means that the orientation of the chip or chip also rotates during the rotation of the rotor. Therefore, the exact orientation of the wafer depends on the angle of rotation of the rotor. A correction option to correct any misalignments is not possible in the cited prior art.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde eine Transporteinrichtung zur Verfügung zu stellen, die erlaubt, dass einerseits die Orientierung des Plättchens vorbe- stimmt beziehungsweise definiert bleibt und andererseits eine Korrektur der Orientierung während des Prozesses möglich ist.The present invention is therefore based on the object of providing a transport device which makes it possible, on the one hand, to prevent the orientation of the small plate. is correct or defined and on the other hand a correction of the orientation during the process is possible.
Dies wird erfindungsgemäß durch eine Vorrichtung nach Anspruch 1 sowie ein Verfahren nach Anspruch 23 erreicht. Vorteilhafte Ausführungsformen und Weiterbildungen sind Gegenstand der Unteransprüche.This is inventively achieved by a device according to claim 1 and a method according to claim 23. Advantageous embodiments and further developments are the subject of the dependent claims.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Transportieren von Plättchen weist eine um eine vorgegebene Hauptachse drehbar angeordnete Trägereinrichtung auf, an der eine Vielzahl von Aufnahme- und Ablegewerkzeugen angeordnet ist, wobei wenigstens ein Auf nah me- und Ablegewerkzeug bezüglich der Trägereinrichtung um eine Drehachse drehbar ist, die im Wesentlichen parallel zu der Hauptachse verläuft.The device according to the invention for transporting platelets has a carrier device rotatably arranged about a predetermined main axis, on which a plurality of receiving and depositing tools is arranged, wherein at least one receiving and depositing tool is rotatable about an axis of rotation with respect to the carrier device Substantially parallel to the main axis.
Unter der Trägereinrichtung wird allgemein eine Einrichtung verstanden, auf der Arbeitsele- mente angeordnet sind. Insbesondere aber nicht ausschließlich wird unter einer Trägereinrichtung ein Rotor oder Rotorstern verstanden, an dessen Außenbereich bevorzugt mehrere Aufnahme- und Ablegewerkzeuge angeordnet sind. Bevorzugt handelt es sich bei der Hauptachse um eine geometrische Achse, um die die Trägereinrichtung gedreht wird. Besonders bevorzugt verläuft die geometrische Hauptachse im Wesentlichen durch den geo- metrischen Mittelpunkt der Trägereinrichtung und steht zu der Ebene der Trägereinrichtung senkrecht.The carrier device is generally understood to mean a device on which working elements are arranged. In particular, but not exclusively, a carrier device is understood to mean a rotor or rotor star, on whose outer region preferably a plurality of receiving and depositing tools are arranged. Preferably, the main axis is a geometric axis about which the support means is rotated. Particularly preferably, the geometric main axis runs essentially through the geometric center of the carrier device and is perpendicular to the plane of the carrier device.
Unter einem Aufnahme- und Ablegewerkzeug wird eine Einrichtung verstanden, die geeignet ist, die zu transportierenden Plättchen aufzunehmen und bevorzugt an anderer Stelle wieder abzulegen. Bevorzugt erfolgt die Aufnahme der Plättchen durch Ansaugen derselben und das Ablegen der Plättchen mit Hilfe von Luftdruck. Es sind jedoch auch andere Aufnahmemechanismen, beispielsweise unter Verwendung elektrostatischer oder magnetischer Kräfte denkbar.A picking and depositing tool is understood to mean a device which is suitable for picking up the platelets to be transported and preferably depositing them elsewhere. Preferably, the inclusion of the platelets by sucking the same and the deposition of the platelets by means of air pressure. However, other recording mechanisms, for example using electrostatic or magnetic forces conceivable.
Durch diese Drehung eines Aufnahme- und Ablegewerkzeugs bezüglich der Trägereinrichtung wird erreicht, dass die Orientierung des aufgenommenen Plättchens, die bei der aus dem Stand der Technik bekannten Vorrichtung in nicht veränderbarer Weise durch die Drehung der Trägereinrichtung vorgegeben wird beeinflusst beziehungsweise kompensiert werden kann. Bevorzugt dreht sich die Trägereinrichtung in nur einer Drehrichtung. Dabei kann die Drehung im Wesentlichen kontinuierlich erfolgen, sie kann jedoch auch in vorgegebenen Zeitabständen unterbrochen werden, um die einzelnen Plättchen aufzunehmen beziehungsweise am Zielort wieder abzulegen.As a result of this rotation of a pick-and-place tool with respect to the carrier device, it is achieved that the orientation of the picked-up wafer, which is predetermined in the device known from the prior art in an unchangeable manner by the rotation of the carrier device, can be influenced or compensated. Preferably, the carrier device rotates in only one direction of rotation. The rotation can be essentially continuous, but it can also be interrupted at predetermined time intervals in order to pick up the individual platelets or deposit them again at the destination.
Bevorzugt ist der Durchmesser der Trägereinrichtung derart gewählt, dass der geometrische Abstand zwischen der Position, an der die Plättchen aufgenommen werden und der Position, an der Plättchen wieder abgelegt werden, allein durch eine Drehung der Trägereinrichtung überbrückt werden kann. Somit kann auf die Verwendung zusätzlicher Achsen oder zusätzlicher Transportelemente verzichtet werden.Preferably, the diameter of the carrier device is selected such that the geometric distance between the position at which the platelets are received and the position at which platelets are deposited again can be bridged solely by a rotation of the carrier device. Thus, the use of additional axes or additional transport elements can be dispensed with.
Die Zeitabstände zwischen zwei Unterbrechungen, um die Plättchen abzulegen, liegen zwischen 40 ms und 160 ms, bevorzugt zwischen 70 ms und 110 ms und besonders bevorzugt im Bereich von 90 ms.The time intervals between two interruptions to deposit the platelets are between 40 ms and 160 ms, preferably between 70 ms and 110 ms and particularly preferably in the range of 90 ms.
Die gesamte Taktzeit, d.h. die Zeit einschließlich der Zeit um die Plättchen abzulegen, liegt zwischen 80 ms und 240 ms, bevorzugt zwischen 120 ms und 180 ms und besonders bevorzugt im Bereich von 150 ms.The total cycle time, i. the time including the time to deposit the platelets is between 80 ms and 240 ms, preferably between 120 ms and 180 ms and particularly preferably in the range of 150 ms.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform steht jedes Aufnahme- und Ablegewerkzeug in fester Verbindung mit einem angetriebenen Zahnrad und jedes dieser angetriebenen Zahnräder im Eingriff mit einem gemeinsamen antreibenden Zahnrad. Bevorzugt ist jedes dieser angetriebenen Zahnräder um die Achse der Aufnahme- und Ablegewerkzeuge herum angeordnet und mit dieser fest verbunden, sodass eine Drehung dieses Zahnrades gleichzeitig eine Drehung des Aufnahme- und Ablegewerkezeugs gegenüber der Trägereinrichtung bewirkt. Durch den Eingriff jedes angetriebenen Zahnrads mit dem gemeinsamen antreibenden Zahnrad wird erreicht, dass bei einer Drehung der Trägereinrichtung gegenüber dem antreibenden Zahnrad jedes angetriebene Zahnrad eines jeden Aufnahme- und Ablegewerkzeugs gedreht wird und damit auch das jeweils aufgenommene Plättchen mitgedreht wird.In a preferred embodiment, each pick and place tool is in fixed connection with a driven gear and each of these driven gears is engaged with a common driving gear. Preferably, each of these driven gears is disposed about and fixedly connected to the axis of the pick and place tools such that rotation of this gear simultaneously effects rotation of the pick and place tool relative to the carrier. By the engagement of each driven gear with the common driving gear is achieved that upon rotation of the support means relative to the driving gear each driven gear of each receiving and depositing tool is rotated and thus also the respective recorded platelet is rotated.
Anstelle von Zahnrädern könnten jedoch auch andere Mittel zur Bewegungsübertragung eingesetzt werden wie beispielsweise Gummischeiben, Ketten, Bänder oder dergleichen. Auch könnte die Drehung jedes Aufnahme- und Ablegewerkzeugs durch einen oder mehrere separate Motoren bewirkt werden. So wäre es möglich, über geeignete Getriebemechanismen sämtliche Aufnahmewerkzeuge im Wesentlichen synchron gegenüber der Trägereinrichtung auch ohne das gemeinsame antreibende Zahnrad zu verdrehen. Auch könnte jedes einzelne Aufnahme- und Ablegewerkzeug mit einem eigenen Motor ausgestattet werden, der die Drehung bewirkt.Instead of gears, however, other means for transmitting motion could be used such as rubber discs, chains, belts or the like. Also, rotation of each pick and place tool could be accomplished by one or more separate motors are effected. It would thus be possible to use suitable gear mechanisms to rotate all pick-up tools substantially synchronously with respect to the carrier device even without the common driving gearwheel. Also, each individual pick and place tool could be equipped with its own motor, which causes the rotation.
Bevorzugt dreht sich jedes Aufnahme- und Ablegewerkzeug mit der gleichen Drehgeschwindigkeit gegenüber der Trägereinrichtung. Auf diese Weise wird erreicht, dass alle aufgenommenen Plättchen sich bei einer Drehung der Trägereinrichtung in der gleichen Weise drehen. Dies wird bevorzugt dadurch erreicht, dass die angetriebenen Zahnräder der einzelnen Aufnahme- und Ablegewerkzeuge aufeinander abgestimmt und insbesondere einander gleich sind.Preferably, each pick and place tool rotates at the same rotational speed relative to the carrier. In this way it is achieved that all recorded platelets rotate in a rotation of the carrier device in the same way. This is preferably achieved in that the driven gears of the individual receiving and depositing tools are coordinated and in particular equal to each other.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform sind die Aufnahme- und Ablegewerkzeuge im Wesentlichen gleichmäßig auf der Trägereinrichtung angeordnet. Dies bedeutet, dass die einzelnen Aufnahme- und Ablegewerkzeuge in Umfangsrichtung der Trägereinrichtung um jeweils den gleichen Winkel voneinander beabstandet sind. Wenn also beispielsweise sechs Aufnahme- und Ablegewerkzeuge vorgesehen sind, sind diese jeweils um einen Winkel 60 Grad voneinander beabstandet.In a further preferred embodiment, the receiving and depositing tools are arranged substantially uniformly on the carrier device. This means that the individual receiving and depositing tools in the circumferential direction of the support means are each spaced at the same angle from each other. Thus, if, for example, six receiving and depositing tools are provided, they are each spaced at an angle of 60 degrees.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist das gemeinsame antreibende Zahnrad, im Folgenden auch kurz als das antreibende Zahnrad bezeichnet, drehbar gegenüber der Trägereinrichtung angeordnet. Bevorzugt steht das antreibende Zahnrad während einer Drehung der Trägereinrichtung wenigstens zeitweise still, ist also raumfest. Zur Korrektur ist es jedoch auch möglich, das antreibende Zahnrad ebenfalls drehbar um die Hauptachse anzuordnen, wobei das antreibende Zahnrad unabhängig von der Trägereinrichtung gedreht werden kann. In diesem Falle ist durch die unabhängige Drehung des antreibenden Zahnrades eine Korrektur der Drehungen der einzelnen Aufnahme- und Ablegewerkzeuge möglich. Diese Korrekturmöglichkeit ist hilfreich, wenn die Plättchen in ihre Zielposition eingesetzt werden.In a further preferred embodiment, the common driving gear, hereinafter also referred to as the driving gear for short, is arranged rotatable relative to the carrier device. Preferably, the driving gear is at least temporarily silent during rotation of the support means, so it is fixed in space. However, for correction, it is also possible to arrange the driving gear rotatably about the main axis, wherein the driving gear can be rotated independently of the support means. In this case, a correction of the rotations of the individual receiving and depositing tools is possible by the independent rotation of the driving gear. This correction option is helpful when placing the tiles in their target position.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform sind die angetriebenen Zahnräder und das antreibende Zahnrad derart aufeinander abgestimmt, dass die Drehposition aller Aufnahme- und Ablegewerkzeuge bei einer Drehung der Trägereinrichtung von einer vorgegebenen Ruheposition zu einer weiteren Ruheposition im Wesentlichen gleich bleibt. Während des Herstellungsverfahrens wird die Trägereinrichtung abschnittsweise um einen vorgegebenen Winkelbereich weiter gedreht, wobei dieser Winkelbereich demjenigen Winkel entspricht, um den die Aufnahme- und Ablegewerkzeuge in Umfangsrichtung voneinander beabstandet sind. Bevorzugt sind die angetriebenen Zahnräder und das antreibende Zahnrad derart aufeinander abgestimmt, dass bei einer Drehung der Trägereinrichtung um den genannten Teilwinkel, der dem Abstand eines Aufnahmewerkzeugs zum nächsten entspricht das Aufnahme- und Ablegewerkzeug eine Volldrehung vollführt und damit in jeder Halteposition der Trägereinrichtung eine im Wesentlichen konstante Ausrichtung aufweist.In a further preferred embodiment, the driven gears and the driving gear are matched to one another such that the rotational position of all receiving and depositing tools upon rotation of the support means of a predetermined Rest position to a further rest position remains substantially the same. During the manufacturing process, the support means is further rotated in sections by a predetermined angular range, this angular range corresponds to that angle by which the receiving and depositing tools are circumferentially spaced from each other. Preferably, the driven gears and the driving gear are matched to one another such that upon rotation of the support means by said partial angle corresponding to the distance of a picking tool to the next the receiving and depositing tool performs a full rotation and thus in each holding position of the support means substantially has constant orientation.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist es auch möglich, die Räder derart aufeinander abzustimmen, dass die Drehung des Aufnahmewerkzeugs, welche durch die Drehung der Trägereinrichtung selbst bewirkt wird, genau kompensiert wird, das heißt die einzelnen Aufnahmewerkzeuge im Ergebnis bei einer Drehung der Trägereinrichtung im We- sentlichen drehfest gegenüber dem Raum sind. Dies wäre beispielsweise durch Zwischenschalten weiterer Zahnräder mit in geeigneter Weise aufeinander abgestimmten Radien möglich.In a further preferred embodiment, it is also possible to match the wheels to each other so that the rotation of the picking tool, which is caused by the rotation of the carrier device itself, is exactly compensated, that is, the individual picking tools as a result upon rotation of the carrier device in the We - are sentlichen against rotation of the room. This would be possible, for example, by interposing further gears with suitably matched radii.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform weist die Vorrichtung n Aufnahme- und Ablegewerkzeuge auf und die angetriebenen Zahnräder sind derart auf das antreibende Zahnrad abgestimmt, dass das Übersetzungsverhältnis (x • n • 1) : 1 beträgt, sich also die angetriebenen Zahnräder gegenüber dem antreibenden Zahnrad mit der (x • n • 1 ) -fachen Geschwindigkeit drehen, wobei x eine natürliche Zahl ist. Falls x = 1 ist, dreht sich das Aufnahme- und Ablagewerkzeug um 360°, wenn die Trägereinrichtung um den oben erwähnten Teilwinkel zwischen zwei Aufnahme- und Ablegewerkzeugen gedreht wird. Falls x = 2 ist, werden entsprechend 2 Volldrehungen durchgeführt, usw. Wenn eine höhere Anzahl von Aufnahme- und Ablegewerkzeugen gewünscht wird, kann es vorteilhaft sein, x größer als 1 zu wählen, bei der bevorzugten Ausführungsform ist x = 1.In a further preferred embodiment, the device has n receiving and depositing tools and the driven gears are adapted to the driving gear such that the transmission ratio (x • n • 1): 1, ie the driven gears with respect to the driving gear with rotate at (x • n • 1) -fold speed, where x is a natural number. If x = 1, the pick and place tool rotates 360 ° when the carrier is rotated about the above-mentioned pitch angle between two pick and place tools. If x = 2, then 2 full turns are performed, etc. If a higher number of pick and place tools is desired, it may be advantageous to choose x greater than 1, in the preferred embodiment x = 1.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform steht das antreibende Zahnrad mit einer Antriebseinrichtung in Verbindung, die eine Korrektur der Drehposition wenigstens eines Aufnahme- und Ablegewerkzeugs gegenüber der Trägereinrichtung ermöglicht. Bei dieser Ausführungsform ist, wie oben ausgeführt, das gemeinsame Zahlenrad beweglich gegenüber der Trägereinrichtung angeordnet. Mit Hilfe der Antriebseinrichtung kann das antreibende Zahnrad gedreht werden und über eine Drehung des antreibenden Zahnrads eine Drehung der angetriebenen Zahnräder der einzelnen Aufnahme- und Ablegewerkzeuge bewirkt werden. Durch diese Drehung kann die genaue Position der Ablegewerkzeuge und damit der durch diese Ablegewerkzeuge aufgenommenen Plättchen festgelegt werden.In a further preferred embodiment, the driving gear is connected to a drive device, which enables a correction of the rotational position of at least one receiving and depositing tool relative to the carrier device. In this embodiment, as stated above, the common number wheel is arranged movably with respect to the support means. With the help of the drive device, the driving To be rotated gear and a rotation of the driving gear, a rotation of the driven gears of the individual receiving and depositing tools are effected. By this rotation, the exact position of the depositing tools and thus the recorded by these depositing tools platelets can be determined.
Bevorzugt weist die Antriebseinrichtung einen Servomotor auf. Der Servomotor erlaubt eine besonders genaue Einstellung der Position der Aufnahme- und Ablegewerkzeuge.The drive device preferably has a servomotor. The servomotor allows a particularly accurate adjustment of the position of the pick and place tools.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist wenigstens ein Aufnahme- und Ablege- Werkzeug in Richtung der Hauptachse verschiebbar angeordnet. Bevorzugt sind sämtliche Aufnahme- und Ablegewerkzeuge in Richtung der Hauptachse beziehungsweise in Richtung ihrer eigenen Achse verschiebbar angeordnet. Aufgrund dieser Verschiebbarkeit wird ermöglicht, dass die Ablegwerkzeuge auf den Zielort wie beispielsweise das Band zu bewegt werden können, um das Plättchen auf diesem Band abzulegen.In a further preferred embodiment, at least one receiving and depositing tool is displaceably arranged in the direction of the main axis. Preferably, all receiving and depositing tools are arranged displaceably in the direction of the main axis or in the direction of its own axis. Because of this displaceability, it is possible for the discard tools to be moved to the destination, such as the tape, to deposit the wafer on that tape.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform sind wenigstens ein angetriebenes Zahnrad und das antreibende Zahnrad derart aufeinander abgestimmt, dass das angetriebene Zahnrad und das antreibende Zahnrad im Wesentlichen während der gesamten Verschiebebewegung des Aufnahme- und Ablegewerkzeugs gegenüber der Trägereinrichtung mitein- ander im Eingriff bleiben. Dies bedeutet, dass kein Aus- oder Einkuppeln beziehungsweise Aus- oder Einrasten des angetriebenen Zahnrads gegenüber dem antreibenden Zahnrad vor oder nach der Verschiebebewegung erfolgt.In a further preferred embodiment, at least one driven gear and the driving gear are matched to one another such that the driven gear and the driving gear remain engaged with each other during substantially the entire displacement movement of the picking and depositing tool relative to the carrier device. This means that no disengagement or engagement or disengagement or engagement of the driven gear relative to the driving gear before or after the sliding movement takes place.
Durch diese Ausführungsform wird erreicht, dass eine Korrektur der Drehposition des Auf- nähme- und Ablegewerkzeugs auch während oder nach einer Verschiebung desselben in Richtung der Hauptachse möglich ist. Auf diese Weise können auch noch Korrekturen unmittelbar vor dem Ablegen des Plättchens durchgeführt werden.By means of this embodiment it is achieved that a correction of the rotational position of the receiving and depositing tool is also possible during or after a displacement thereof in the direction of the main axis. In this way, even corrections can be performed immediately before the disc is placed.
Bevorzugt weist das antreibende Zahnrad eine Breite auf, die wenigstens dem maximalen Verschiebeweg des Aufnahme- und Ablegewerkzeugs gegenüber der Trägereinrichtung entspricht. Dies bedeutet, dass das angetriebene Zahnrad und das antreibende Zahnrad zu jedem Zeitpunkt auch während der Verschiebebewegung miteinander in Eingriff bleiben. Umgekehrt wäre es auch möglich, die angetriebenen Zahnräder einer oder aller Aufnahme- und Ablegewerkzeuge mit einer größeren Breite zu versehen oder auch sowohl die Breiten des antreibenden Zahnrads als auch der einzelnen angetriebenen Zahnräder der Aufnahme- und Ablegewerkzeuge einander anzupassen.Preferably, the driving gear has a width which corresponds at least to the maximum displacement of the receiving and depositing tool relative to the support means. This means that the driven gear and the driving gear remain engaged with each other at any time during the sliding movement. Conversely, it would also be possible to provide the driven gears of one or all receiving and depositing tools with a greater width or both the widths of the driving gear as well as the individual driven gears of the pick and place tools match each other.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist eine Verschiebeeinrichtung vorgesehen, die die Verschiebung wenigstens eines Aufnahme- und Ablegewerkzeugs gegenüber der Trägereinrichtung erlaubt, bzw. bewirkt, wobei die Verschiebeeinrichtung bevorzugt eine Schwingspule aufweist. Die Verschiebeeinrichtung dient, wie oben ausgeführt dazu, das Ablegewerkzeug - beispielsweise zum Ablegen eins Plättchens - gegenüber der Trägereinrichtung das heißt bevorzugt nach unten zu bewegen. Bevorzugt weist diese Verschiebeein- richtung eine Wegmesseinrichtung zur Messung der Verschiebung auf. Auf diese Weise wird erreicht das jeweils nur definierte Verschiebungen des Aufnahme- und Ablegewerkzeugs gegenüber der Trägereinrichtung auftreten.In a further preferred embodiment, a displacement device is provided which permits or effects the displacement of at least one receiving and depositing tool relative to the carrier device, wherein the displacement device preferably has a voice coil. The displacement device is, as stated above, the depositing tool - for example, for depositing a small plate - relative to the support means that is preferably to move down. This displacement device preferably has a displacement measuring device for measuring the displacement. In this way, it is achieved that only defined displacements of the receiving and depositing tool with respect to the carrier device occur.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform weist die Verschiebeeinrichtung eine Vor- Spanneinrichtung auf, die das Aufnahme- und Ablegewerkzeug in einer vorgegebenen Position gegenüber der Trägereinrichtung vorspannt. Bei dieser Vorspanneinrichtung handelt es sich bevorzugt aber nicht ausschließlich um ein Federelement, welches besonders bevorzugt das Aufnahme- und Ablegewerkzeug in einer oberen Position vorspannt das heißt in der Position, die nicht zum Ablegen des Plättchens auf dem Zielort geeignet ist. Während der Bewegung der Trägereinrichtung verbleiben dadurch die einzelnen Aufnahme- und Ablegewerkzeuge in ihren vorgegebenen Positionen in Richtung der Hauptachse.In a further preferred embodiment, the displacement device has a pre-tensioning device, which pretensions the receiving and depositing tool in a predetermined position relative to the carrier device. This biasing device is preferably but not exclusively a spring element, which particularly preferably biases the receiving and depositing tool in an upper position, that is in the position that is not suitable for placing the plate on the destination. During the movement of the carrier device thereby the individual receiving and depositing tools remain in their predetermined positions in the direction of the main axis.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform weist wenigstens ein angetriebenes Zahnrad eines Aufnahme- und Ablegewerkzeugs ein vorgegebenes Spiel gegenüber dem antrei- benden Zahnrad auf. Wie oben erläutert werden die Zahnräder gegeneinander verschoben um auf diese Weise eine Verschiebung des Aufnahme- und Ablegewerkzeugs zu erreichen wobei das Spiel dazu dient, diese Verschiebung leichtgängig zu halten.In a further preferred embodiment, at least one driven gear of a pick-and-drop tool has a predetermined clearance relative to the counter-rotating gear. As explained above, the gears are shifted from each other to achieve in this way a displacement of the receiving and Ablegewerkzeugs the game serves to keep this shift smoothly.
Einer weiteren bevorzugten Ausführungsform steht wenigstens ein, bevorzugt jedes Auf- nähme- und Ablegewerkzeug in Verbindung mit einer Vakuumquelle. Diese Vakuumquelle dient dazu, über das Ansaugen von Luft ein vorübergehendes Anhaften des zu transportierenden Plättchens an dem Aufnahme- und Ablegewerkzeug zu erreichen. Bevorzugt steht auch wenigstens ein Aufnahme- und Ablegewerkzeug, bevorzugt alle Aufnahme- und AbIe- gewerkzeuge in Verbindung mit einer Druckluftquelle, mittels derer des Ablegen der Plättchen am Zielort gefördert wird.A further preferred embodiment is at least one, preferably each receiving and depositing tool in connection with a vacuum source. This vacuum source serves to achieve a temporary adhesion of the wafer to be transported to the receiving and depositing tool via the suction of air. Preferably, at least one receiving and depositing tool, preferably all receiving and Ablegee- tools in conjunction with a compressed air source, by means of which the deposit of the platelets is conveyed at the destination.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform weist die Vorrichtung sechs Aufnahme- und Ablegewerkzeuge auf.In a further preferred embodiment, the device has six receiving and depositing tools.
Die Erfindung ist auf eine Anlage zum Transportieren von Plättchen gerichtet, wobei die Anlage eine Vorrichtung der oben beschriebenen Art aufweist. Bevorzugt weist die Anlage ferner eine Wendeeinrichtung für die Plättchen auf. Wie oben erwähnt, werden die Plättchen aus einem Vorrat entnommen und später in umgedrehter das heißt um bevorzugt 180 Grad gedrehter Position am Zielort abgelegt. Zu diesem Zweck saugt die Wendeeinrichtung die zu transportierenden Plättchen an, und übergibt sie nach einer Drehung um 180 Grad an die oben beschriebene Transportvorrichtung. Auch die genannte Wendeeinrichtung verwendet bevorzugt Vakuum beziehungsweise Druckluft, um die Plättchen aufzunehmen oder ab- zugeben.The invention is directed to a system for transporting platelets, wherein the system comprises a device of the type described above. Preferably, the system further comprises a turning device for the platelets. As mentioned above, the platelets are removed from a supply and later stored in inverted, that is rotated by preferably 180 degrees position at the destination. For this purpose, the turning device sucks the platelets to be transported, and passes them after a rotation of 180 degrees to the transport device described above. The aforementioned turning device also preferably uses vacuum or compressed air to pick up or deposit the platelets.
Einer weiteren bevorzugten Ausführungsform weist die Anlage eine bevorzugt optische Untersuchungseinrichtung zum Vermessen der Plättchen auf. Genauer gesagt werden die Abmessungen des Plättchens bestimmt. In einer bevorzugten Ausgestaltung wird zunächst das Plättchen mit einem Aufnahme- und Ablegewerkzeug aufgenommen, dieses Aufnahme- und Ablgegewerkezug an der Vermessungseinrichtung vorbei geführt um das Plättchen zu vermessen und schließlich an der Ablegeposition am Zielort abgelegt. Neben den genannten Stationen das heißt der Aufnahme-, der Untersuchungs- und der Ablegestation können auch weitere Stationen vorgesehen sein wie beispielsweise eine Station, in welcher das Plättchen mit einem Klebstoff oder dergleichen versehen wird. Es ist jedoch auch möglich, einen Klebstoff am Zielort wie insbesondere aber nicht ausschließlich einem Trägerband anzuordnen.In a further preferred embodiment, the system has a preferably optical examination device for measuring the platelets. More specifically, the dimensions of the wafer are determined. In a preferred embodiment, first the wafer is picked up with a pick-and-place tool, this pick-up and pick-up train is guided past the measuring device in order to measure the wafer and finally deposited at the depositing position at the destination. In addition to the stations mentioned, that is to say the recording, the examination and the depositing station, it is also possible to provide further stations, for example a station in which the plate is provided with an adhesive or the like. However, it is also possible to arrange an adhesive at the destination as in particular but not exclusively a carrier tape.
Die Erfindung ist ferner auf ein Verfahren zum Transportieren von Plättchen gerichtet, wobei in einem Verfahrensschritt das Plättchen an einer vorgegebenen ersten Position mittels ei- nem an einer Trägereinrichtung angeordneten Aufnahme- und Ablegewerkzeug übernommen wird, in einem weiteren Verfahrensschritt die Trägereinrichtung um eine vorgegebene Hauptachse gedreht wird und in einem weiteren Verfahrensschritt das Plättchen an einer zweiten vorgegebenen Position abgelegt wird. Dabei wird erfindungsgemäß das Auf nah me- und Ablegwerkzeug gegenüber der Trägereinrichtung um eine Achse gedreht, die im We- sentlichen parallel zu der Hauptachse verläuft. Bevorzugt erfolgt die Drehung des Auf nah me- und Ablegewerkzeugs während der Drehung der Trägereinrichtung.The invention is further directed to a method for transporting platelets, wherein in one method step the platelet is taken over at a predetermined first position by means of a receiving and depositing tool arranged on a carrier device, in a further method step the carrier device is rotated about a predefined main axis is and in a further process step, the platelets is stored at a second predetermined position. According to the invention, the receiving and depositing tool is rotated relative to the carrier device about an axis which, in the considerably parallel to the main axis. Preferably, the rotation of the recording and depositing tool takes place during the rotation of the carrier device.
Bevorzugt wird das Aufnahme- und Ablegewerkzeug zu wenigstens einem vorgegebenen Zeitpunkt im Wesentlichen entlang der Richtung der Hauptachse verschoben. Diese Verschiebung entlang der Richtung der Hauptachse dient dazu, das aufgenommene Plättchen am Zielort abzulegen.Preferably, the picking and depositing tool is displaced at least a predetermined time substantially along the direction of the main axis. This shift along the direction of the major axis serves to deposit the picked up wafer at the destination.
Bevorzugt handelt es sich bei dem vorgegebenen Zeitpunkt um einen Stillstandzeitpunkt der Trägereinrichtung. Dies bedeutet, dass die Trägereinrichtung gedreht wird, und, wenn das Aufnahme- und Ablegewerkzeug eine vorgegebene Position erreicht hat, angehalten wird und in dieser Position das Werkzeug abgesenkt wird. Damit erfolgt bevorzugt die Verschiebung des Aufnahme- und Ablegewerkzeugs im Wesentlichen während einer Stillstandphase der Trägereinrichtung.The predetermined time is preferably a standstill time of the carrier device. This means that the support means is rotated and, when the pick and place tool has reached a predetermined position, stopped and in this position the tool is lowered. Thus, the displacement of the receiving and depositing tool essentially takes place during a standstill phase of the carrier device.
Bevorzugt kann ferner die Drehposition wenigstens eines Aufnahme- und Ablegewerkzeugs bevorzugt aller Aufnahme- und Ablegewerkzeuge gegenüber der Trägereinrichtung korrigiert werden. Diese Korrektur erfolgt wie oben dargestellt mittels eines angetriebenen antreibenden Zahnrads durch dessen Drehung eine Drehung der einzelnen Aufnahme- und Ablege- Werkzeuge gegenüber der Trägereinrichtung bewirkt wird.Preferably, furthermore, the rotational position of at least one receiving and depositing tool, preferably of all receiving and depositing tools, can be corrected relative to the carrier device. This correction is carried out as described above by means of a driven driving gear through the rotation of which a rotation of the individual picking and depositing tools relative to the carrier device is effected.
Weitere Vorteile und Ausführungsformen ergeben sich aus den beigefügte Zeichnungen. Darin zeigen:Further advantages and embodiments will become apparent from the accompanying drawings. Show:
Fig. 1 eine perspektivische Teildarstellung der erfindungsgemäßen Transportvorrichtung;Figure 1 is a partial perspective view of the transport device according to the invention.
Fig. 2 eine zweite perspektivische Darstellung der Vorrichtung aus Fig. 1;Fig. 2 is a second perspective view of the device of Fig. 1;
Fig. 3 eine weitere Ansicht der erfindungsgemäßen Transportvorrichtung;3 shows a further view of the transport device according to the invention;
Fig. 4 einen vergrößerten Ausschnitt der Ansicht aus Fig. 3;4 shows an enlarged detail of the view from FIG. 3;
Fig. 5 eine weitere Ansicht der erfindungsgemäßen Transportvorrichtung; Fig. 6 einen vergrößerten Ausschnitt der Ansicht aus Fig. 5; und5 shows a further view of the transport device according to the invention; Fig. 6 is an enlarged detail of the view of Fig. 5; and
Fig. 7 eine erfindungsgemäße Anlage.Fig. 7 shows a plant according to the invention.
Fig. 1 zeigt eine Darstellung der erfindungsgemäßen Transportvorrichtung 1. Diese weist eine Trägereinrichtung 4 auf, an der in dieser Ausführungsform sechs Halterungen 20 (von denen nur vier sichtbar sind) angeordnet sind. In diesen Halterungen 20 befinden sich Aufnahme- und Ablegewerkzeuge 21. Diese Aufnahme- und Ablegewerkzeuge 21 weisen Auf- nähme- und Ablegeelemente 23 auf, die in dieser Ausführungsform in Gestalt von Spitzen angeordnet sind, die das zu transportierende Plättchen aufnehmen und ablegen.1 shows an illustration of the transport device 1 according to the invention. This has a carrier device 4, on which six holders 20 (of which only four are visible) are arranged in this embodiment. These holding devices 20 contain receiving and depositing tools 21. These receiving and depositing tools 21 have receiving and depositing elements 23, which in this embodiment are arranged in the form of tips which receive and deposit the platelets to be transported.
Die Trägereinrichtung 4 weist Außenträgerelemente 8 auf, die die einzelnen Halterungen 20 miteinander verbinden. Die Aufnahme- und Ablegewerkzeuge 21 sind drehbar an bzw. in den Halterungen 20 angeordnet, wobei die Aufnahme- und Ablegewerkzeuge 21 jeweils um eine Achse N drehbar sind. Die Achsen N sind im Wesentlichen parallel zu einer Hauptachse H und die gesamte Trägereinrichtung 4 ist um die Hauptachse H drehbar.The carrier device 4 has external support elements 8, which connect the individual holders 20 with each other. The receiving and depositing tools 21 are rotatably arranged on or in the holders 20, wherein the receiving and depositing tools 21 are each rotatable about an axis N. The axes N are substantially parallel to a major axis H and the entire carrier 4 is rotatable about the major axis H.
Das Bezugszeichen 13 bezieht sich auf eine Vielzahl von O-Ringen, die zur Abdichtung für die jeweiligen Anschlüsse der einzelnen Vakuumabführleitungen oder Zuführleitungen 44 dienen. Bei der hier gezeigten Ausführungsform sind sechs dieser Abführleitungen 44 vorhanden und dementsprechend wie oben ausgeführt auch sechs Aufnahme- und Ablegewerkzeuge 21.The reference numeral 13 refers to a plurality of O-rings, which serve to seal for the respective terminals of the individual Vakuumabführleitungen or feed lines 44. In the embodiment shown here, six of these discharge lines 44 are present and accordingly, as stated above, six receiving and depositing tools 21st
Das Bezugszeichen 11 bezieht sich auf ein antreibendes Zahnrad, welches in Eingriff mit dem jeweiligen angetriebenen Zahnrädern 25 der einzelnen Aufnahme- und Ablegewerkzeuge 21 steht. Auf den Zahnrädern 25 ist eine Abdeckscheibe 27 beispielsweise aus POM angeordnet.The reference numeral 11 refers to a driving gear, which is in engagement with the respective driven gears 25 of the individual receiving and depositing tools 21. On the gears 25 a cover 27 is arranged, for example, POM.
Über eine Antriebseinrichtung beziehungsweise einen Motor 16, der an einer Halteeinrichtung 17 montiert ist, wird das antreibende Zahnrad 11 angetrieben und damit auch die angetriebenen Zahnräder 25.Via a drive device or a motor 16, which is mounted on a holding device 17, the driving gear 11 is driven and thus also the driven gears 25th
Fig. 2 zeigt eine weitere perspektivische Ansicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung. Diese weist eine Lagereinrichtung 42 auf, die zur Lagerung des antreibenden Zahnrads 11 dient. Neben der gezeigten Lagereinrichtung 42 sind bei dieser Ausführungsform fünf weitere Lagereinrichtungen 42 vorhanden, die zur Lagerung des antreibenden Zahnrads 11 dienen.Fig. 2 shows another perspective view of the device according to the invention. This has a bearing device 42 which serves to support the driving gear 11. In addition to the illustrated bearing device 42, five further bearing devices 42 are provided in this embodiment, which serve to support the driving gear 11.
Das Bezugszeichen 30 bezieht sich auf eine Verschiebeeinrichtung, die dazu dient, die einzelnen Aufnahme- und Ablegeeinrichtungen 21 nach oben oder nach unten zu bewegen. Zu diesem Zweck weist die Bewegungseinrichtung eine Schwingspule 31 auf die die Bewegung eines Bügelelements 35 erzeugt. Die Bewegungseinrichtung weist einen Rahmen 32 auf.The reference numeral 30 refers to a displacement device which serves to move the individual receiving and depositing devices 21 upwards or downwards. For this purpose, the movement device has a voice coil 31, which generates the movement of a bracket element 35. The movement device has a frame 32.
Das Bezugszeichen 37 bezieht sich auf eine Befestigungseinrichtung für die Antriebseinrichtung 16. Bei dieser Befestigungseinrichtung handelt es sich um eine Schwenklagerung, die den Antriebsmotor beziehungsweise die Antriebseinrichtung 16 gegen das antreibende Zahnrad 11 drückt. Die Antriebseinrichtung 16 weist ein (nicht gezeigtes) weiteres Zahnrad auf, welches in Eingriff mit dem antreibenden Zahnrad 11 steht.The reference numeral 37 refers to a fastening device for the drive device 16. This fastening device is a pivot bearing which presses the drive motor or the drive device 16 against the driving gear 11. The drive device 16 has a (not shown) further gear, which is in engagement with the driving gear 11.
Fig. 3 zeigt eine weitere Darstellung der erfindungsgemäßen Transportvorrichtung. Das Bezugszeichen 46 bezieht sich auf ein Ventil, um die Luftzufuhr bzw. -abfuhr an die einzelnen Aufnahme- und Ablegeeinrichtungen 21 zu steuern. Die Ventile 46 stehen über (nicht gezeig- te) Schläuche mit den Zuführeinrichtungen 44 in Verbindung. Das Bezugszeichen 48 bezieht sich auf eine Prüfstation zur Überprüfung, ob am Ende des Verfahrens noch ein Plättchen beziehungsweise ein Halbleiterplättchen an der Aufnahme- und Ablegeeinrichtung haftet.Fig. 3 shows a further illustration of the transport device according to the invention. The reference numeral 46 refers to a valve for controlling the supply of air to the individual receiving and depositing means 21. The valves 46 communicate with the feeders 44 via hoses (not shown). The reference numeral 48 refers to a test station to check whether at the end of the process still a small plate or a semiconductor chip adheres to the receiving and depositing device.
Fig. 4 zeigt eine Detaildarstellung aus Fig. 3, genauer gesagt den in Fig. 3 durch ein gestri- cheltes Rechteck eingezeichneten Bereich. In der in Fig. 4 gezeigten Darstellung wurde das antreibende Zahnrad sowie die Aufnahme- und Ablegeeinrichtung, die in der Halteeinrichtung 20 angeordnet ist, weg gelassen. Die Trägereinrichtung 4 weist an den Außenträger- elementen 8 eine Vielzahl von Öffnungen 18 zur Gewichtseinsparung auf. Die Vorspanneinrichtung 42, die wie oben ausgeführt zur Lagerung des antreibenden Zahnrads 11 dient, weist ein drehbares Rollelement 51 auf, welches im Betrieb an der Innenseite des antreibenden Zahnrads 11 anliegt. Daneben wird die Lagereinrichtung 42 gegen das antreibende Zahnrad vorgespannt. Fig. 5 zeigt eine weitere Darstellung der erfindungsgemäßen Transportvorrichtung von unten. Neben den oben beschriebenen Außenträgerelementen 8 weist die Trägereinrichtung in der vorliegenden Ausführungsform sechs radial verlaufende Stege 19 auf, die ebenfalls zur Gewichtsersparung eine Vielzahl von Löchern aufweisen. Im Zentrum der Trägereinrichtung ist eine im Wesentlichen kreisrunde Öffnung 53 vorgesehen, aus der in dieser Ausführungsform sechs Ansaugstutzen 54 herausragen. Diese Ansaugstutzen 54 sind derart angeordnet, dass sie sich mit der Trägereinrichtung 4 mit bewegen. Über (nicht gezeigte) Schläuche stehen die Ansaugstutzen 54 mit den einzelnen Aufnahme- und Ablegevorrichtungen 21 in Verbindung. Das Bezugszeichen 55 bezieht sich auf eine Antriebseinrichtung für die Trägerein- richtung 4, die die Drehung der Trägereinrichtung über eine Welle 56 bewirkt. Das antreibende Zahnrad 11 wird mittels eines Antriebszahnrads 15 gedreht.FIG. 4 shows a detailed view from FIG. 3, more precisely the area shown in FIG. 3 by a dashed rectangle. In the illustration shown in FIG. 4, the driving gear and the pick-and-place device disposed in the holding device 20 have been omitted. The carrier device 4 has on the outer support elements 8 a plurality of openings 18 for weight saving. The biasing means 42, which, as stated above, serves to support the driving gear 11, has a rotatable rolling element 51 which, in use, rests against the inside of the driving gear 11. In addition, the bearing device 42 is biased against the driving gear. Fig. 5 shows a further illustration of the transport device according to the invention from below. In addition to the outer support elements 8 described above, the support means in the present embodiment, six radially extending webs 19, which also have a plurality of holes for weight saving. In the center of the support means, a substantially circular opening 53 is provided, from which six intake manifolds 54 protrude in this embodiment. These intake ports 54 are arranged so that they move with the support means 4 with. About (not shown) hoses are the intake manifold 54 with the individual receiving and depositing devices 21 in connection. The reference numeral 55 refers to a drive device for the carrier device 4, which causes the rotation of the carrier device via a shaft 56. The driving gear 11 is rotated by means of a driving gear 15.
Fig. 6 zeigt eine Detaildarstellung der in Fig. 5 gezeigten Vorrichtung. Man erkennt, dass die Bügelelemente 35 derart angeordnet sind, das sie in dieser Ausführungsform das Zahnrad 25 der sie durchlaufenden Aufnahme- und Ablegevorrichtung 21 wenigstens teilweise umgeben.FIG. 6 shows a detailed view of the device shown in FIG. 5. It can be seen that the bracket members 35 are arranged such that they at least partially surround the gear 25 of the receiving and depositing device 21 passing through them in this embodiment.
Fig. 7 zeigt eine Gesamtdarstellung einer erfindungsgemäßen Anlage die neben der erfindungsgemäßen Transportvorrichtung 1 auch eine Wendeeinrichtung 60 sowie eine optische Untersuchungseinrichtung 70 aufweist. Die Wendeeinrichtung 60 weist eine drehbare Welle 61 auf, an deren Ende ein Kopf 62 angeordnet ist. An diesem Kopf ist wenigstens ein Übergabewerkzeug 64 angeordnet, welches dazu geeignet ist die Plättchen von ihrer Ausgangsposition aufzunehmen. Nach der Aufnahme dreht sich der Kopf 62 um 180 Grad derart, dass das Plättchen gewendet wird, und in die Nähe des Aufnahme- und Ablegewerkzeugs 21 ver- bracht wird. In dieser Position kann das Plättchen von dem Aufnahme- und Ablegewerkzeug 21 übernommen werden. In einer anderen Ausführungsform wäre es auch möglich, dass sich der Kopf 62 der Wendeeinrichtung permanent dreht oder mehrere Übergabewerkzeuge aufweist.FIG. 7 shows an overall view of a system according to the invention which, in addition to the transport device 1 according to the invention, also has a turning device 60 and an optical examination device 70. The turning device 60 has a rotatable shaft 61, at the end of which a head 62 is arranged. At least one transfer tool 64 is arranged on this head, which is suitable for receiving the platelets from their starting position. After shooting, the head 62 rotates 180 degrees such that the wafer is turned over and brought close to the pick and place tool 21. In this position, the platelet can be taken over by the pick-and-place tool 21. In another embodiment, it would also be possible for the head 62 of the turning device to rotate permanently or to have several transfer tools.
Bei der hier gezeigten Ausführungsform dreht sich die Trägereinrichtung 4 permanent (von unten betrachtet) im Uhrzeigersinn. Nach der Aufnahme des Plättchens beziehungsweise der Übernahme von der Wendeeinrichtung 60 wird das Plättchen in der optischen Untersuchungseinrichtung 70 optisch vermessen. Zu diesem Zweck weist die optische Untersuchungseinrichtung Strahlungs- und Detektionseinrichtungen sowie ein in dieser Ausführungs- form schräg stehendes Spiegelelement 72 zur bildlichen Darstellung auf. Die optische Vermessung dient dafür, die genaue Position des Plättchens während des Transportvorgangs zu bestimmen und in Abhängigkeit von dieser genauen Position gegebenenfalls Korrekturen am antreibenden Zahnrad 11 mit Hilfe der Antriebseinrichtung 16 durchzuführen.In the embodiment shown here, the carrier device 4 rotates permanently (viewed from below) in a clockwise direction. After the wafer has been picked up or taken over by the turning device 60, the wafer is optically measured in the optical examination device 70. For this purpose, the optical inspection device has radiation and detection devices and a device in this embodiment. form inclined mirror element 72 for visual representation. The optical measurement is used to determine the exact position of the plate during the transport process and, depending on this exact position, if necessary to make corrections to the driving gear 11 by means of the drive device 16.
Bei der hier gezeigten Ausführungsform sind, wie oben erwähnt, sechs Aufnahme- und Ablegewerkzeuge 21 vorgesehen. Zunächst wird an die Transportvorrichtung 1 das Plättchen mit der Wendeeinrichtung 60 übergeben. Im nächsten Schritt wird das Plättchen wie ausgeführt durch die optische Untersuchungseinrichtung 70 vermessen. An diese Station schließt sich eine Leerstation an, und in der nächsten Station wird das Plättchen mit Hilfe der Bewegungseinrichtung abgelegt. Nach einer weiteren Leerstation wird schließlich mit Hilfe der Prüfstation 48 überprüft, ob an dem Aufnahme- und Ablegewerkzeug das Plättchen noch vorhanden ist bzw. ob das Plättchen erfolgreich abgelegt wurde.In the embodiment shown here, as mentioned above, six receiving and depositing tools 21 are provided. First, the wafer with the turning device 60 is transferred to the transport device 1. In the next step, the wafer is measured by the optical inspection device 70 as described. An empty station is connected to this station, and in the next station the plate is deposited by means of the movement device. After a further emptying station, it is finally checked by means of the test station 48 whether the plate is still present on the pick-up and placing tool or whether the plate has been successfully deposited.
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
1 Transportvorrichtung1 transport device
4 Trägereinrichtung4 support device
8 Außenträgerelement8 external support element
11 antreibendes Zahnrad11 driving gear
13 O-Ringe13 O-rings
15 Antriebszahnrad15 drive gear
16 Motor16 engine
17 Halteeinrichtung für Motor17 holding device for motor
18 Öffnungen18 openings
19 Stege19 bridges
20 Halterungen20 brackets
21 Aufnahme- und Ablegewerkzeuge21 pick-up and drop-off tools
23 Aufnahme- und Ablegeelemente23 pickup and storage elements
25 angetriebenes Zahnrad25 driven gear
30 Verschiebeeinrichtung30 displacement device
31 Schwingspule31 voice coil
32 Rahmen 35 Bügelelement32 frames 35 stirrup element
37 Befestigungseinrichtung für die Antriebseinrichtung37 fastening device for the drive device
42 Lagereinrichtung42 storage facility
44 Vakuumabführleitungen oder Zuführleitungen 46 Ventil44 vacuum discharge lines or supply lines 46 valve
48 Prüfstation48 testing station
51 Rollelement51 rolling element
53 kreisrunde Öffnung53 circular opening
54 Ansaugstutzen 55 Antriebseinrichtung für Trägereinrichtung54 intake manifold 55 drive means for carrier device
56 Welle56 wave
60 Wendeeinrichtung60 turning device
61 drehbare Welle61 rotatable shaft
62 Kopf 64 Übergabewerkzeug62 head 64 transfer tool
70 optische Untersuchungseinrichtung70 optical examination device
72 Spiegelelement 72 mirror element

Claims

Vorrichtung zum Transportieren von PlättchenPatentansprüche Device for transporting plateletsPatent claims
1. Vorrichtung zum Transportieren von Plättchen mit einer um eine vorgegebene Hauptachse (H) drehbar angeordneten Trägereinrichtung (4), an der eine Vielzahl von Aufnahme- und Ablegewerkzeugen (21) angeordnet ist, wobei jedes Aufnahme- und Ablegewerkzeug bezüglich der Trägereinrichtung um eine Drehachse (N) drehbar ist, die im wesentlichen parallel zu der Hauptachse (H) verläuft.Anspruch [en] A device for transporting platelets having a support means (4) rotatably mounted about a predetermined major axis (H) and having a plurality of receiving and depositing tools (21) disposed therein, each receiving and depositing tool being mounted about an axis of rotation with respect to the support means (N) which is substantially parallel to the main axis (H).
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass jedes Aufnahme- und Ablegewerkzeug (21 ) in fester Verbindung mit einem angetriebenen Zahnrad und jedes angetriebene Zahnrad (25) in Eingriff mit einem gemeinsamen antreibenden Zahnrad (11 ) steht.2. Apparatus according to claim 1, characterized in that each receiving and depositing tool (21) in fixed connection with a driven gear and each driven gear (25) is in engagement with a common driving gear (11).
3. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sich jedes Aufnahme- und Ablegewerkzeug (21) mit der gleichen Drehgeschwindigkeit gegenüber der Trägereinrichtung (4) dreht.3. A device according to at least one of the preceding claims, characterized in that each receiving and depositing tool (21) with the same rotational speed relative to the support means (4) rotates.
4. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahme- und Ablegewerkzeuge (21) im wesentlichen gleichmäßig auf der Trägereinrichtung (4) angeordnet sind.4. Device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the receiving and depositing tools (21) are arranged substantially uniformly on the carrier device (4).
5. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 2-4, dadurch gekennzeichnet, dass das gemeinsame antreibende Zahnrad (11) drehbar gegenüber der Trägereinrichtung angeordnet ist. 5. Device according to at least one of claims 2-4, characterized in that the common driving gear (11) is arranged rotatably relative to the carrier device.
6. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 2-5, dadurch gekennzeichnet, dass das gemeinsame antreibende Zahnrad (11) drehbar um die Hauptachse (H) angeordnet ist.6. Device according to at least one of claims 2-5, characterized in that the common driving gear (11) is arranged rotatably about the main axis (H).
7. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 2-6, dadurch gekennzeichnet, dass die angetriebenen Zahnräder (25) und das gemeinsame antreibende Zahnrad (11) derart aufeinander abgestimmt sind, dass die Drehposition aller Aufnahme- und Ablegewerkzeuge im Wesentlichen gleich ist.7. The device according to at least one of claims 2-6, characterized in that the driven gears (25) and the common driving gear (11) are matched to one another such that the rotational position of all receiving and depositing tools is substantially equal.
8. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 2-7, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung n Aufnahme- und Ablegewerkzeuge aufweist und die angetriebenen Zahnräder derart auf das antreibende Zahnrad abgestimmt sind, dass das Übersetzungsverhältnis (x-n-1): 1 beträgt wobei x eine natürliche Zahl ist.8. The device according to at least one of claims 2-7, characterized in that the device has n receiving and depositing tools and the driven gears are tuned to the driving gear such that the transmission ratio (xn-1): 1 wherein x is one natural number is.
9. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 2-8, dadurch gekennzeichnet, dass das antreibende Zahnrad (11) mit einer Antriebseinrichtung (16) in Verbindung steht, die eine Korrektur der Drehposition wenigstens eines Aufnahme- und Ablegewerkzeugs (21) gegenüber der Trägereinrichtung (4) ermöglicht.9. The device according to at least one of claims 2-8, characterized in that the driving gear (11) with a drive means (16) is in communication, the correction of the rotational position of at least one receiving and depositing tool (21) relative to the support means ( 4).
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebseinrichtung (16) einen Servomotor aufweist.10. The device according to claim 9, characterized in that the drive device (16) has a servo motor.
11. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein Aufnahme- und Ablegewerkzeug (21) in Richtung der Hauptachse (H) verschiebbar angeordnet ist. 11. The device according to at least one of the preceding claims, characterized in that at least one receiving and depositing tool (21) is arranged displaceably in the direction of the main axis (H).
12. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 2-11, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein angetriebenes Zahnrad (25) und das antreibende Zahnrad (11) derart aufeinander abgestimmt sind, dass das angetriebene Zahnrad (25) und das antrei- bende Zahnrad (11) im Wesentlichen während der gesamten Verschiebebewegung des Aufnahme- und Ablegewerkzeugs (21) gegenüber der Trägereinrichtung miteinander in Eingriff bleiben.12. The device according to at least one of claims 2-11, characterized in that at least one driven gear (25) and the driving gear (11) are matched to one another in such a way that the driven gear (25) and the driving gear (11 ) remain engaged with each other substantially during the entire sliding movement of the receiving and depositing tool (21) relative to the support means.
13. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 2 - 12, dadurch gekennzeichnet, dass das antreibende Zahnrad (11) eine Breite aufweist, die wenigstens dem maximalen Verschiebeweg des Aufnahme- und Ablegewerkzeugs (21) gegenüber der Trägereinrichtung (4) entspricht.13. The device according to at least one of claims 2-12, characterized in that the driving gear (11) has a width which corresponds at least to the maximum displacement of the receiving and depositing tool (21) relative to the support means (4).
14. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Verschiebeeinrichtung (30) vorgesehen ist, die eine Verschiebung wenigstens eines Aufnahme- und Ablegewerkzeugs (21) gegenüber der Trägereinrichtung (42) erlaubt, wobei diese Verschiebeeinrichtung (30) bevorzugt eine Schwingspule (31) aufweist.14. The device according to at least one of the preceding claims, characterized in that a displacement device (30) is provided which allows a displacement of at least one receiving and depositing tool (21) relative to the support means (42), said displacement device (30) preferably a Having voice coil (31).
15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Verschiebeeinrichtung (30) eine Wegmesseinrichtung zur Messung der Verschie- bung aufweist.15. The device according to claim 14, characterized in that the displacement device (30) has a displacement measuring device for measuring the displacement.
16. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 14 - 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Verschiebeeinrichtung eine Vorspanneinrichtung (30) aufweist, die das Aufnah- me- und Ablegewerkzeug (21) in einer vorgegebenen Position in Richtung der Hauptachse (H) gegenüber der Trägereinrichtung (4) vorspannt. 16. The device according to at least one of claims 14 - 15, characterized in that the displacement device comprises a biasing means (30), the receiving and depositing tool (21) in a predetermined position in the direction of the main axis (H) relative to the support means (4) pretensioned.
17. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 2 -16, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein angetriebenes Zahnrad (25) ein vorgegebenes Spiel gegenüber dem antreibenden Zahnrad (11) aufweist.17. The device according to at least one of claims 2 -16, characterized in that at least one driven gear (25) has a predetermined clearance relative to the driving gear (11).
18. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung sechs Aufnahme- und Ablegewerkzeuge aufweist.18. Device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the device has six receiving and depositing tools.
19. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein, bevorzugt jedes Aufnahme- und Ablegewerkzeug in Verbindung mit einer Vakuumquelle steht.19. Device according to at least one of the preceding claims, characterized in that at least one, preferably each receiving and depositing tool is in communication with a vacuum source.
20. Anlage zum Transportieren von Plättchen, wobei die Anlage eine Vorrichtung nach wenigstens einem der vorangegangenen Ansprüche aufweist.20. Plant for transporting platelets, the plant having a device according to at least one of the preceding claims.
21. Anlage nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass die Anlage eine Wendeeinrichtung (60) für die Plättchen aufweist.21. Plant according to claim 20, characterized in that the system has a turning device (60) for the platelets.
22. Anlage nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Anlage eine Untersuchungseinrichtung (70) zum Vermessen der Plättchen auf- weist.22. Installation according to one of the preceding claims, characterized in that the system has an examination device (70) for measuring the platelets has.
23. Verfahren zum Transportieren von Plättchen mit den Schritten23. Method of transporting platelets with the steps
- Übernahme des Plättchens an einer vorgegebenen ersten Position mittels einem an einer Trägereinrichtung (4) angeordneten Aufnahme- und Ablegewerkzeug (21) - Drehung der Trägereinrichtung (4) um eine vorgegebene Hauptachse (H)- Takeover of the wafer at a predetermined first position by means of a support means (4) arranged receiving and depositing tool (21) - Rotation of the support means (4) about a predetermined main axis (H)
- Ablegen des Plättchens an einer zweiten vorgegebenen Position dadurch gekennzeichnet, dass das Aufnahme- und Ablegewerkzeug (21 ) gegenüber der Trägereinrichtung (4) um eine Achse (N) gedreht wird, die im wesentlichen parallel zu der Hauptachse (H) ist.- Laying the plate at a second predetermined position characterized in that the pick and place tool (21) is rotated relative to the support means (4) about an axis (N) substantially parallel to the major axis (H).
24. Verfahren nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass das Aufnahme- und Ablegewerkzeug (21 ) zu wenigstens einem vorgegebenen Zeitpunkt im wesentlichen entlang der Richtung der Hauptachse (H) verschoben wird.24. The method according to claim 23, characterized in that the receiving and depositing tool (21) is displaced at least a predetermined time substantially along the direction of the main axis (H).
25. Verfahren nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass die Verschiebung des Aufnahme- und Ablegewerkzeugs (21) im Wesentlichen während einer Stillstandphase der Trägereinrichtung (4) erfolgt.25. The method according to claim 23, characterized in that the displacement of the receiving and depositing tool (21) substantially during a standstill phase of the carrier device (4).
26. Verfahren nach wenigstens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehposition wenigstens eines Aufnahme- und Ablegewerkzeugs (21) gegenüber der Trägereinrichtung (4) korrigiert werden kann. 26. The method according to at least one of the preceding claims, characterized in that the rotational position of at least one receiving and depositing tool (21) relative to the support means (4) can be corrected.
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